JP2012004480A - Method for manufacturing electronic component and electronic component - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、電子部品の製造方法及びその製造方法により製造された電子部品に関する。 The present invention relates to an electronic component manufacturing method and an electronic component manufactured by the manufacturing method.
従来の積層コンデンサの製造方法として、グリーンシートと内部電極材料を交互に積層して焼成することによって形成した素体の端面を導電性ペーストに浸漬させてペースト層を形成し、一方の端面に形成されたペースト層と他方の端面に形成されたペースト層との乾燥状態を近づけるように乾燥させた後、焼成して外部電極を形成するものが知られている(例えば、特許文献1参照)。 As a conventional multilayer capacitor manufacturing method, the end face of the element body formed by alternately laminating and firing green sheets and internal electrode materials is immersed in a conductive paste to form a paste layer, and formed on one end face It is known that an external electrode is formed by drying the paste layer and the paste layer formed on the other end face so as to be close to each other and then firing the paste layer (see, for example, Patent Document 1).
上述の電子部品の製造方法においては、素体を形成した後、導電性ペーストに端部を浸漬させて焼成することによって外部電極を形成している。しかしながら、この製造方法では、浸漬後に素体を引き離す際、端面の中央位置付近で導電性ペーストが引っ張られることによって、ペースト膜の中央位置付近の厚みが大きくなる一方、素体の端面と側面の間の角部分付近の厚みが薄くなっていた。この結果、外部電極の厚みは、湾曲した角部分付近で薄くなり、焼成工程後のメッキ工程において、薄くなった部分からメッキ液等の水分が素体内に浸入するおそれがあった。従って、従来の製造方法によって製造された電子部品では、メッキ工程の際に素体内に浸入した水分の影響によって、電子部品の特性が劣化してしまうおそれがあった。 In the above-described method for manufacturing an electronic component, after forming an element body, the external electrode is formed by immersing the end portion in a conductive paste and baking it. However, in this manufacturing method, when the element body is pulled away after immersion, the conductive paste is pulled near the center position of the end face, thereby increasing the thickness near the center position of the paste film, while the end face and side surfaces of the element body are increased. The thickness near the corners between them was thin. As a result, the thickness of the external electrode is reduced in the vicinity of the curved corner portion, and in the plating step after the firing step, there is a possibility that moisture such as a plating solution may enter the element body from the thinned portion. Therefore, in the electronic component manufactured by the conventional manufacturing method, the characteristic of the electronic component may be deteriorated due to the influence of moisture that has entered the element body during the plating process.
この点に関して、上記電子部品の製造方法においてペースト膜の角部分付近の厚みを確保しようとすると、これに伴って端面の中央位置付近及び素体の側面部分のペースト膜が更に厚くなってしまう。これにより、外部電極が大きくなることで製品外形寸法が大きくなる。そのため、製品寸法が決められている場合には、電子部品の実効機能を確保する素体の実効体積を圧迫し、製品特性を達成させることが困難になるといった問題があった。 In this regard, if it is attempted to secure a thickness near the corner portion of the paste film in the method of manufacturing the electronic component, the paste film near the center position of the end surface and the side surface portion of the element body is further increased accordingly. As a result, the outer dimensions of the product increase due to the increase in the external electrodes. Therefore, when the product dimensions are determined, there is a problem that it is difficult to achieve product characteristics by pressing the effective volume of the element body that secures the effective function of the electronic component.
また、従来の製造方法では、導電性ペーストに素体の端面を浸漬させてペースト層を形成している。直方体をなす素体においては、端面、一対の主面及び一対の側面の五面に外部電極が形成される。そのため、基板への実装時において、電子部品の側面に形成された外部電極にはんだが周り込むため、リフロー時のセルフアライメント性が悪くなる。これにより、高密度に電子部品を実装すると、実装位置のずれやチップ立ち等の実装不良が生じるといった問題があった。 In the conventional manufacturing method, the paste layer is formed by immersing the end face of the element body in the conductive paste. In the element body that forms a rectangular parallelepiped, external electrodes are formed on the five faces of the end face, the pair of main faces, and the pair of side faces. For this reason, when mounting on the substrate, the solder goes around the external electrode formed on the side surface of the electronic component, so that the self-alignment property at the time of reflow is deteriorated. As a result, when electronic components are mounted at a high density, there is a problem in that mounting defects such as mounting position shift and chip standing occur.
本発明は、上記課題を解決するためになされたものであり、メッキ液等の水分が素体内に浸入することを防止すると共に電子部品の実装不良及び製品寸法の増大を防止し、電子部品の信頼性を向上させることができる電子部品の製造方法及び電子部品を提供することを目的とする。 The present invention has been made to solve the above-described problems, and prevents moisture such as plating solution from entering the element body and prevents mounting failure of electronic components and increase in product dimensions. An object of the present invention is to provide an electronic component manufacturing method and an electronic component capable of improving reliability.
上記課題を解決するために、本発明に係る電子部品の製造方法は、互いに対向する一対の端面と、一対の端面間を連結するように伸び且つ互いに対向する一対の主面と、一対の主面を連結するように伸び且つ互いに対向する一対の側面とを備える素体と、素体の端面側に形成された外部電極とを備える電子部品の製造方法であって、端面と主面及び側面との間の角部分が湾曲した湾曲面を有する素体を準備する素体準備工程と、端面と湾曲面とに第一導電性ペーストをスクリーン印刷することによって、第一ペースト層を形成する第一ペースト層形成工程と、主面及び側面の何れか一方の面の片面又は両面と湾曲面とに第二導電性ペーストをスクリーン印刷することによって、第二ペースト層を形成する第二ペースト層形成工程と、を有し、第一ペースト層形成工程又は第二ペースト層形成工程において、第一ペースト層と第二ペースト層とが湾曲面にて接合されるように第一ペースト層又は第二ペースト層が形成されることを特徴とする。 In order to solve the above problems, an electronic component manufacturing method according to the present invention includes a pair of opposed end surfaces, a pair of main surfaces extending so as to connect between the pair of end surfaces, and a pair of main surfaces. A method for manufacturing an electronic component, comprising: an element body including a pair of side surfaces extending so as to connect the surfaces and facing each other; and an external electrode formed on an end surface side of the element body, wherein the end surface, the main surface, and the side surface Forming a first paste layer by screen-printing a first conductive paste on an end surface and a curved surface; One paste layer forming step, and forming a second paste layer by screen-printing a second conductive paste on one or both of the main surface and the side surface and the curved surface And having a process In the one paste layer forming step or the second paste layer forming step, the first paste layer or the second paste layer is formed so that the first paste layer and the second paste layer are joined on a curved surface. And
この電子部品の製造方法では、端面と主面及び側面との間の角部分が湾曲した湾曲面を有する素体について、端面及び湾曲面にスクリーン印刷して第一ペースト層を形成する第一ペースト層形成工程と、側面又は主面の片面もしくは両面にスクリーン印刷して第二ペースト層を形成する第二ペースト層形成工程とを有し、第一ペースト層と第二ペースト層とは、湾曲面にて接合されている。スクリーン印刷にて第一ペースト層を形成することにより、浸漬工法にて形成される場合に比べて、角部分付近の厚みを十分に確保しつつ、端面の中央位置付近の厚みの増大を防止することができる。また、スクリーン印刷にて第二ペースト層を形成することにより、素体の主面又は側面における第二ペースト層の厚みを小さくできる。そして、第一ペースト層と第二ペースト層とを湾曲面で接合することにより、導電性ペーストを付与すべき面以外の面への導電性ペーストの周り込みが防止されるため、主面及び側面における外部電極の厚みの増大を抑制できると共に、端面における外部電極の厚みを小さくできる。以上のように、第一ペースト層によって角部分付近の厚みが確保されているためメッキ液等の水分が素体内に浸入することを防止できると共に、外部電極の厚みの増大を抑制することで製品寸法の増大を防止できるため、素体の実効体積を確保でき、製品特性を十分に達成させることができる。 In this method of manufacturing an electronic component, a first paste that forms a first paste layer by screen printing on an end surface and a curved surface of an element body having a curved surface with curved corner portions between the end surface, the main surface, and the side surface A layer forming step, and a second paste layer forming step of forming a second paste layer by screen printing on one side or both sides of the side surface or the main surface, wherein the first paste layer and the second paste layer are curved surfaces It is joined with. By forming the first paste layer by screen printing, compared with the case of being formed by the dipping method, the thickness near the corner portion is sufficiently secured and the increase in the thickness near the center position of the end face is prevented. be able to. Moreover, the thickness of the 2nd paste layer in the main surface or side surface of an element | base_body can be made small by forming a 2nd paste layer by screen printing. Then, by joining the first paste layer and the second paste layer with a curved surface, the conductive paste is prevented from entering the surface other than the surface to which the conductive paste is to be applied. The increase in the thickness of the external electrode can be suppressed, and the thickness of the external electrode on the end face can be reduced. As described above, since the thickness near the corner portion is secured by the first paste layer, it is possible to prevent moisture such as plating solution from entering the element body, and to suppress an increase in the thickness of the external electrode. Since the increase in dimensions can be prevented, the effective volume of the element body can be secured, and the product characteristics can be sufficiently achieved.
さらに、主面及び側面の何れか一方の面の片面又は両面と湾曲面とに第二ペースト層を形成するため、主面又は側面の一方の面にのみ第二ペースト層が形成される。つまり、主面又は側面の一方の面には外部電極が形成されないため、基板への実装時において電子部品の実装面の電極から隣接する側面側の電極にはんだが周り込むことを抑制できる。したがって、リフロー時のセルフアライメント性を確保でき、電子部品の実装不良を防止できる。以上のように、素体の主面又は側面の外部電極の厚みを小さくできると共に、端面の中央位置付近の厚みの増大も防止できるため、電子部品の外形寸法の増大を抑えることができる。また、第一ペースト層にて角部分付近の外部電極の厚みを確保でるので、メッキを行う際に、角部分付近等からメッキ液などの水分が素体内に侵入することを防止することができる。更には、電子部品の実装不良を防止でき、その結果、信頼性の向上を図ることができる。 Furthermore, since the second paste layer is formed on one surface or both surfaces of one of the main surface and the side surface and the curved surface, the second paste layer is formed only on one surface of the main surface or the side surface. In other words, since the external electrode is not formed on one of the main surface or the side surface, it is possible to suppress the solder from flowing from the electrode on the mounting surface of the electronic component to the electrode on the side surface adjacent to the mounting surface on the substrate. Therefore, the self-alignment property at the time of reflow can be ensured, and mounting failure of electronic parts can be prevented. As described above, the thickness of the external electrode on the main surface or side surface of the element body can be reduced, and an increase in the thickness in the vicinity of the center position of the end surface can be prevented, so that an increase in the external dimension of the electronic component can be suppressed. In addition, since the thickness of the external electrode in the vicinity of the corner portion can be secured by the first paste layer, it is possible to prevent moisture such as a plating solution from entering the element body from the vicinity of the corner portion when performing plating. . Furthermore, mounting failure of electronic components can be prevented, and as a result, reliability can be improved.
ここで、第一ペースト層形成工程では、主面及び側面に第一導電性ペーストが付与されないように第一ペースト層を形成し、第二ペースト層形成工程では、端面に第二導電性ペーストが付与されないように第二ペースト層を形成することが好ましい。この場合には、導電性ペーストを付与すべき面以外の面に導電性ペーストが付与されないため、外部電極の厚みの増大を確実に抑制することで製品寸法の増大を抑制でき、その結果、素体の実効体積を確保できる。 Here, in the first paste layer forming step, the first paste layer is formed so that the first conductive paste is not applied to the main surface and the side surface, and in the second paste layer forming step, the second conductive paste is formed on the end surface. It is preferable to form the second paste layer so as not to be applied. In this case, since the conductive paste is not applied to the surface other than the surface to which the conductive paste is to be applied, the increase in the product dimension can be suppressed by reliably suppressing the increase in the thickness of the external electrode. The effective volume of the body can be secured.
第一ペースト層形成工程及び第二ペースト層形成工程のうち、先にペースト層を形成したペースト層形成工程の後に、ペースト層を焼き付けて第一焼付電極を形成する第一焼付工程と、第一焼付工程の後、次のペースト層形成工程にて形成されたペースト層を焼き付けて第二焼付電極を形成する第二焼付工程とを更に有することが好ましい。この場合には、先に形成されたペースト層が二回焼き付けられるため、強度が大幅に改善される。また、先に形成したペースト層を焼き付けているため、次のペースト層を形成するにあたって素体を整列、配置する際の機械的な衝撃等によって先に形成したペースト層の欠陥の発生を防止できる。 Of the first paste layer forming step and the second paste layer forming step, after the paste layer forming step in which the paste layer is formed first, the first baking step of baking the paste layer to form the first baking electrode, It is preferable to further include a second baking step of baking the paste layer formed in the next paste layer forming step to form a second baking electrode after the baking step. In this case, since the previously formed paste layer is baked twice, the strength is greatly improved. In addition, since the paste layer previously formed is baked, it is possible to prevent occurrence of defects in the previously formed paste layer due to mechanical impact or the like when aligning and arranging the element body in forming the next paste layer. .
第一焼付電極及び第二焼付電極の全体を覆うように金属メッキ層を形成するメッキ層形成工程と、金属メッキ層を加熱処理する熱処理工程とを更に有することが好ましい。このように、金属メッキ層を形成して熱処理を行うことで、金属メッキ層を形成した際のメッキ膜中の水分やメッキ液等の残留物を揮発させることができ、残留メッキ液による電子部品の信頼性の低下を防止できる。また、第一及び第二焼付電極と金属メッキ層とを強固に結合させることができる。さらには、第一及び第二焼付電極間の電気的、機械的接合が完全に形成されると共に、緻密な外部電極を形成することができる。 It is preferable to further include a plating layer forming step for forming a metal plating layer so as to cover the entire first baking electrode and the second baking electrode, and a heat treatment step for heat-treating the metal plating layer. In this way, by forming a metal plating layer and performing heat treatment, it is possible to volatilize residues such as moisture and plating solution in the plating film when the metal plating layer is formed. It is possible to prevent a decrease in reliability. Further, the first and second baked electrodes and the metal plating layer can be firmly bonded. Furthermore, the electrical and mechanical joints between the first and second baked electrodes are completely formed, and a dense external electrode can be formed.
熱処理工程は、金属メッキ層を酸素雰囲気中で加熱処理する第一熱処理工程と、第一熱処理工程の後、金属メッキ層を還元雰囲気中で加熱処理する第二熱処理工程と、を含むことが好ましい。これにより、金属メッキ層は、酸素雰囲気中において熱処理されることにより酸化し、水分やメッキ液等の残留物は、酸化分解、燃焼分解等によって離脱される。また、金属メッキ層内に形成された空隙やボイド等も、酸素雰囲気中の熱処理に伴う体積膨張により消滅させることができる。そして、還元雰囲気中において熱処理を行うことにより、緻密化された状態のまま金属メッキ層を金属に還元すると共に、第一及び第二焼付電極と金属メッキ層とを強固に結合することができる。したがって、緻密な外部電極を形成することができるので、従来のように、素体内へのメッキ液の侵入防止のために焼付電極を厚く形成しなくとも、素体内へのメッキ液等の侵入を防止することができる。そのため、従来よりも素体の主面又は側面における焼付電極の厚み、素体の端面の中央位置付近における焼付電極の厚みを小さくすることができ、これに伴い外部電極の外形寸法を小さくすることができる。 The heat treatment step preferably includes a first heat treatment step in which the metal plating layer is heat-treated in an oxygen atmosphere, and a second heat treatment step in which the metal plating layer is heat-treated in a reducing atmosphere after the first heat treatment step. . As a result, the metal plating layer is oxidized by heat treatment in an oxygen atmosphere, and residues such as moisture and plating solution are separated by oxidative decomposition, combustion decomposition, and the like. Further, voids and voids formed in the metal plating layer can be eliminated by volume expansion accompanying heat treatment in an oxygen atmosphere. Then, by performing heat treatment in a reducing atmosphere, the metal plating layer can be reduced to a metal in a densified state, and the first and second baking electrodes and the metal plating layer can be firmly bonded. Therefore, since a dense external electrode can be formed, the plating solution or the like can be prevented from entering the element without forming a baked electrode thickly in order to prevent the plating solution from entering the element as in the prior art. Can be prevented. Therefore, the thickness of the baked electrode on the main surface or side surface of the element body and the thickness of the baked electrode near the center position of the end surface of the element body can be made smaller than before, and the external dimensions of the external electrode can be reduced accordingly. Can do.
第二熱処理工程の後、金属メッキ層を焼き付ける第三焼付工程を更に有することが好ましい。金属メッキ層は、第一熱処理工程において酸化され、更に第二熱処理工程において元の金属に戻る過程で初期の層の結晶構造が再構成されて緻密化される。この状態において、更に焼き付けることにより、金属メッキ層の焼結が進むので、外部電極の緻密化を更に図ることができる。 It is preferable to further include a third baking step of baking the metal plating layer after the second heat treatment step. The metal plating layer is oxidized in the first heat treatment step, and in the process of returning to the original metal in the second heat treatment step, the crystal structure of the initial layer is reconstructed and densified. In this state, by further baking, sintering of the metal plating layer proceeds, so that the external electrode can be further densified.
本発明に係る電子部品は、上述のいずれかの電子部品の製造方法によって製造された電子部品である。上述の方法によって電子部品を製造することにより、メッキ液等の水分が素体内に浸入することを防止すると共に電子部品の実装不良及び製品寸法の増大を防止し、電子部品の信頼性を向上させることができる。 The electronic component according to the present invention is an electronic component manufactured by any one of the above-described electronic component manufacturing methods. By manufacturing an electronic component by the above-described method, moisture such as plating solution can be prevented from entering the element body, mounting failure of the electronic component and an increase in product size can be prevented, and the reliability of the electronic component can be improved. be able to.
本発明によれば、メッキ液等の水分が素体内に浸入することを防止すると共に電子部品の実装不良及び製品寸法の増大を防止し、電子部品の信頼性を向上させることができる。 ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, while preventing moisture, such as plating solution, permeating into a body, the mounting defect of an electronic component and the increase in a product dimension can be prevented, and the reliability of an electronic component can be improved.
以下、図面を参照して、本発明の好適な実施形態について詳細に説明する。なお、説明において、同一要素又は同一機能を有する要素には、同一符号を用いることとし、重複する説明は省略する。 Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. In the description, the same reference numerals are used for the same elements or elements having the same function, and redundant description is omitted.
図1及び図2を参照して、本発明の実施形態に係る電子部品の製造方法によって製造された電子部品の構成を説明する。図1は、本発明の一実施形態に係る電子部品の製造方法によって製造された電子部品を示す斜視図であり、図2は、図1に示す電子部品の断面図である。 With reference to FIG.1 and FIG.2, the structure of the electronic component manufactured by the manufacturing method of the electronic component which concerns on embodiment of this invention is demonstrated. FIG. 1 is a perspective view showing an electronic component manufactured by an electronic component manufacturing method according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a cross-sectional view of the electronic component shown in FIG.
図1及び図2に示すように、電子部品1は、例えば、セラミックコンデンサなどの電子部品であり、複数の板状のセラミックグリーンシートを積層して一体化することによって略直方体形状に構成された素体2と、素体2の両端面側に形成された外部電極3,4とを備えて構成される。素体2は、素体2の長手方向に向かい合って互いに平行をなす一対の端面2a,2bと、一対の端面2a,2b間を連結するように伸び且つ互いに対向する一対の主面2c,2dと、一対の主面2c,2dを連結するように伸び且つ互いに対向する一対の側面2e,2fと、を有する。外部電極3は、一方の端面2a及び端面2aと直交する二つの主面2c,2dの各縁部の一部を覆うように形成されている。この二つの主面2c,2dを覆う部分の大きさ、すなわち、外部電極3の端面2aを覆う部分における厚みが最大となる位置と主面2cを覆う部分における端部との間の寸法(図2においてBで示される)を以下B寸法と呼ぶ。このB寸法は、例えば、0.5mm〜0.6mm程度に設定される。また、外部電極4は、他方の端面2b及び端面2bと直交する二つの主面2c,2dの各縁部の一部を覆うように形成されている。電子部品1は、例えば、縦が1.9mm〜2.2mm程度に設定され、横が1.1mm〜1.3mm程度に設定され、厚みが1.1mm〜1.3mm程度に設定されている。
As shown in FIGS. 1 and 2, the
素体2は、図2に示すように、複数の長方形板状の誘電体層6と、複数の内部電極7及び内部電極8とが積層された積層体として構成されている。内部電極7と内部電極8とは、素体2内において誘電体層6の積層方向(以下、単に「積層方向」と称する。)に沿ってそれぞれ一層ずつ配置されている。内部電極7と内部電極8とは、少なくとも一層の誘電体層6を挟むように対向配置されている。実際の電子部品1では、複数の誘電体層6は、互いの間の境界が視認できない程度に一体化されている。この素体2は、内部電極7,8と誘電体層6とが交互に複数積層される領域である第一領域2Aと、第一領域2Aを積層方向に挟み込む一対の誘電体層6からなる領域である第二領域2Bとを有している。なお、第二領域2Bは、二対以上の複数の誘電体層6から形成されていてもよい。
As shown in FIG. 2, the
素体2には、端面2a,2bと主面2c,2d及び側面2e,2fとの間の角部分9が湾曲して所定の曲率半径を有する湾曲面9aとなるように面取り加工が施されている。主面2c,2dと側面2e,2fとの間の角部分も湾曲して曲率半径を有する湾曲面9bとなるように面取り加工が施されている。素体2の湾曲面9a,9bの曲率半径は、例えば0.05mm〜0.15mm程度とされている。なお、湾曲面9aとは、素体2の角部分9にカケチッピングを防止するために付与されているコーナー面取り部分であり、隣接する端面2a,2b及び主面2cの最大高さ面から各面に平行に接線を引いた交点と実際の素体2の角部分との寸法差分の形状部である。
The
内部電極7,8は、例えばNiやCuなどの導電材を含んでいる。内部電極7,8の厚みは、例えば1μm〜5μm程度である。内部電極7,8は、積層方向から見て互いに重なりあう領域を有するような形状であれば、特に形状は限定されず、例えば矩形状などの形状をなしている。内部電極7,8は、上記導電性材料を含む導電性ペーストの焼結体として構成される。内部電極7は外部電極3と電気的に接続されており、内部電極8は外部電極4と電気的に接続されている。
The
外部電極3,4は、断面コ字状を呈しており、素体2の端面2a,2bと積層方向において対向する一対の主面2c,2dの両面とに跨って形成されている。つまり、外部電極3,4は、側面2e,2fには形成されておらず、三面電極となっている。外部電極3,4は、素体2の外面にCuやNi、あるいはAg、Pd等を主成分とする導電性ペーストを後述の方法によって付着させた後に所定温度(例えば、700℃程度)にて焼き付け、更に電気メッキを施すことにより形成される。電気メッキには、Cu、Ni、Sn等を用いることができる。
The
また、図2に示すように、電子部品1において、素体2の第一領域2Aと第二領域2Bの境界部分、すなわち積層方向の最も外側の内部電極8の位置における外部電極3,4の寸法(図2においてFで示される)を以下F寸法とし、素体2の主面2c,2dにおける外部電極3,4の寸法(図2においてHで示される)を以下H寸法とし、素体2の端面2a,2bの中央位置付近における外部電極3,4の寸法(図2においてTで示される)を以下T寸法とする。
As shown in FIG. 2, in the
続いて、図3〜図8を参照して本発明の実施形態に係る電子部品1の製造方法について説明する。図3は、電子部品の製造方法を示すフロー図である。
Then, the manufacturing method of the
図3に示すように、電子部品1の製造工程は、素体準備工程S1から工程を開始する。この素体準備工程S1では以下の処理がなされる。すなわち、誘電体層6となるセラミックグリーンシートを形成した後、当該セラミックグリーンシート上に内部電極7,8のパターンを導電性ペーストで印刷し、乾燥することによって電極パターンを形成する。このように電極パターンが形成されたセラミックグリーンシートを複数枚重ね合わせ、そのセラミックグリーンシートの積層体をそれぞれ素体2の大きさのチップとなるように切断する。続いて、ポリエチレン等の材料からなる密閉回転ポットに水と複数のチップと研磨用のメディアを入れて、この密閉回転ポットを回転させることによって、チップの角部分9の面取りが行われ、それぞれの角部分9が湾曲して所定の曲率半径を有する湾曲面9a,9bとなる(バレル研磨)。面取り加工を施したチップに所定温度で所定時間加熱処理を施すことによって脱バインダを行う。脱バインダを行った後、更に焼成を行うことで素体2を得る。以上の処理によって、素体準備工程S1が終了する。
As shown in FIG. 3, the manufacturing process of the
素体準備工程S1の後、素体保持工程S2が行われる。図4は、素体保持工程S2及び第一ペースト層形成工程S3の工程内容を示す図である。この素体保持工程S2は、素体準備工程S1で準備した素体2を複数並べて保持する工程である。素体保持工程S2では、キャリアプレートなどの公知の保持冶具50を用いて、素体2の一方の端面2aが上方を向くように他方の端面2b側において主面2c,2dを保持する。
After the element body preparation step S1, an element body holding step S2 is performed. FIG. 4 is a diagram showing process contents of the element body holding step S2 and the first paste layer forming step S3. This element body holding step S2 is a process of holding a plurality of
素体保持工程S2の後、第一ペースト層形成工程S3が行われる。この第一ペースト層形成工程S3は、端面2aと角部分9をスクリーンメッシュ(製版)51で覆ってスクリーン印刷することによって、端面2a及び端面2a側の角部分9に第一ペースト層16を形成する工程である。第一ペースト層形成工程S3では、具体的には、図4に示すように、保持冶具50に固定された素体2の端面2aをスクリーンメッシュ51で上方から覆い、スクリーンメッシュ51の上面側で、第一導電性ペースト52を一の方向D1に向かって掻き寄せるようにスキージ53を移動させる。これによって、図5(a)及び(b)に示すように、スキージ53で素体2の端面2aにスクリーンメッシュ51が押し当てられる際に、端面2a及び端面2a側の湾曲面9a、すなわち端面2a側から主面2dに周り込まない部分の湾曲面9aに第一導電性ペースト52が印刷され、主面2dに第一導電性ペースト52が付与されないように第一ペースト層16が形成される。なお、第一導電性ペースト52は、Cuを主成分とする金属粉末からなり、ガラスを含有している。
After the element body holding step S2, a first paste layer forming step S3 is performed. In this first paste layer forming step S3, the
第一ペースト層16が形成された後、乾燥工程が行われ、第一ペースト層16の硬化が行われる。端面2a側の第一ペースト層16の乾燥工程の後、上述の素体保持工程S2及び第一ペースト層形成工程S3の工程内容が行われることによって、端面2b側にも第一ペースト層16が形成され、乾燥によって硬化が行われる。第一ペースト層形成工程S3の後、第一焼付工程S4が行われる。第一焼付工程S4では、第一ペースト層16を例えば780℃で熱処理を行うことによって、図7(a)に示すような第一焼付電極16aを形成する。
After the
第一焼付工程S4が行われた後、第二ペースト層形成工程S5が行われる。この第二ペースト層形成工程S5は、主面2cと角部分9をスクリーンメッシュ55で覆ってスクリーン印刷することによって、主面2c及び主面2c側の角部分9に第二ペースト層17を形成する工程である。第二ペースト層形成工程S5では、具体的には、図6に示すように、土台上に配置された素体2の主面2cをスクリーンメッシュ55で上方から覆い、スクリーンメッシュ55の上面側で、第二導電性ペースト56を一の方向D2に向かって掻き寄せるようにスキージ57を移動させる。これによって、スキージ57で素体2の主面2cにスクリーンメッシュ55が押し当てられる際に、主面2c及び主面2c側の湾曲面9a、すなわち主面2c側から端面2aに周り込まない部分の湾曲面9aに第二導電性ペースト56が印刷され、端面2a側に第二導電性ペースト56が付与されないように第二ペースト層17が形成される。このとき、第二ペースト層17は、第一焼付電極16aと湾曲面9a(角部分9)で接合するように形成される。第二導電性ペースト56は、第一導電性ペースト52と同じものであってもよいし、組成の異なるものであってもよい。
After the first baking step S4 is performed, a second paste layer forming step S5 is performed. In the second paste layer forming step S5, the
第二ペースト層17が形成された後、乾燥工程が行われ、第二ペースト層17の硬化が行われる。主面2c側の第二ペースト層17の乾燥工程の後、上述の第二ペースト層形成工程S5の工程内容が行われることによって、主面2d側にも第二ペースト層17が形成され、乾燥によって硬化が行われる。第二ペースト層形成工程S5の後、第二焼付工程S6が行われる。第二焼付工程S6では、第二ペースト層17を例えば780℃で熱処理を行うことによって、図7(b)に示すような第二焼付電極17aを形成する。
After the
第二焼付工程S6が行われた後、メッキ層形成工程S7が行われる。メッキ層形成工程S7は、湿式メッキ工法によって第一及び第二焼付電極16a,17a全体を覆うようにメッキ膜を析出させてメッキ層(金属メッキ層)18を形成する工程である。メッキ層形成工程S7においては、シアン化銅、硫酸銅、又はピロリン酸銅等にてメッキ浴を行い、図8(a)に示すように、メッキ層18を形成する。このとき、メッキ層18の厚みは、第一及び第二焼付電極16a,17aを覆う程度の厚みであればよく、例えば3μm〜20μmである。メッキ層形成工程S7が行われた後、酸化熱処理工程(第一熱処理工程)S8が行われる。酸化熱処理工程S8は、酸素雰囲気中にてメッキ層18の熱処理を行う工程である。この酸化熱処理工程S8では、酸素雰囲気中の熱処理炉内においてメッキ層18が形成された素体2を例えば500℃にて加熱し、メッキ層18を酸化させると共に、メッキ層18の表面にCuO層19を形成する。この酸化熱処理工程S8における温度は、温度が低いとメッキ層形成工程S7における残留物の昇華、酸化分解、及び燃焼分解が不十分となり、更にメッキ層18のCuO化が不十分となる一方、温度が高すぎると第一及び第二焼付電極16a,17aが過度に酸化され、更にガラス成分とCuOとが反応してしまうため、好ましくは300℃〜700℃であり、より好ましくは400℃〜600℃である。
After the second baking step S6 is performed, a plating layer forming step S7 is performed. The plating layer forming step S7 is a step of forming a plating layer (metal plating layer) 18 by depositing a plating film so as to cover the entire first and
酸化熱処理工程S8が行われた後、還元熱処理工程(第二熱処理工程)S9が行われる。還元熱処理工程S9は、酸化熱処理が施されたメッキ層18を還元雰囲気中にて熱処理を行うことにより、酸化されたメッキ層18(CuO)をCu金属に還元する工程である。この還元熱処理工程S9では、例えば水素を添加した窒素雰囲気中(還元雰囲気中)の熱処理炉内においてメッキ層18が形成された素体2を例えば500℃にて加熱して、酸化されたメッキ層18をCu金属に還元すると共に、メッキ層18の表面に形成されたCuO層19を連続した構造のCu金属層とする。この還元熱処理工程S9における温度は、温度が低すぎるとメッキ層18の還元が不十分となる一方、温度が高すぎると素体2の誘電体層6が還元されるため、好ましくは300℃〜600℃、より好ましくは350℃〜550℃である。
After the oxidation heat treatment step S8 is performed, a reduction heat treatment step (second heat treatment step) S9 is performed. The reduction heat treatment step S9 is a step of reducing the oxidized plating layer 18 (CuO) to Cu metal by heat-treating the
還元熱処理工程S9が終了すると、第三焼付工程S10が行われる。第三焼付工程S10では、例えば700℃で熱処理を行うことによって、図8(b)に示すように外部電極3,4を形成する。第三焼付工程S10における温度は、温度が低すぎると焼結効果を十分に得ることができないが、温度が高すぎると素体2に与える熱負荷が大きくなるため、好ましくは500℃〜850℃、より好ましくは550℃〜800℃である。第三焼付工程S10が行われた後、メッキ工程S11が行われる。メッキ工程S11は、電子部品1の表面にNiメッキ層やSnメッキ層を形成する工程である。具体的に、このメッキ工程S11では、バレル内のメッキ液に電子部品1を浸漬させた後、バレルを回転させつつ電子部品1の表面にメッキが施される。以上によって、図3に示す工程が終了し、電子部品1を得ることができる。
When the reduction heat treatment step S9 is completed, a third baking step S10 is performed. In the third baking step S10, for example, heat treatment is performed at 700 ° C., thereby forming the
次に、本発明の実施形態に係る電子部品1の製造方法の作用・効果について説明する。
Next, operations and effects of the method for manufacturing the
従来の電子部品の製造方法にあっては、素体を形成した後、導電性ペーストに端部を浸漬させて焼き付けることによって外部電極を形成していた。しかし、この製造方法では、浸漬後に素体を引き離す際、端面の中央位置付近で導電性ペーストが引っ張られることによって、ペースト膜の中央位置付近の厚くなる一方、素体の角部分付近の厚みが薄くなっていた。この結果、外部電極の厚みは、曲率半径を有する角部分付近で薄くなり、焼付工程後のメッキ工程において、薄くなった部分からメッキ液等の水分が素体内に浸入するおそれがあった。従って、従来の製造方法によって製造された電子部品では、メッキ工程の際に素体に浸入した水分の影響によって、電子部品の特性が劣化してしまうおそれがあった。特に、MLCC(Multi-Layer Ceramic Capacitor:積層セラミックコンデンサ)においては、メッキ液等が素体内に浸入して残留すると、信頼性、特に耐湿性が著しく低下するおそれがあった。 In the conventional method for manufacturing an electronic component, after forming an element body, the external electrode is formed by immersing the end portion in a conductive paste and baking it. However, in this manufacturing method, when the element body is pulled away after immersion, the conductive paste is pulled near the center position of the end face, so that the thickness near the center position of the paste film is increased, while the thickness near the corner portion of the element body is increased. It was thin. As a result, the thickness of the external electrode is reduced in the vicinity of the corner portion having the radius of curvature, and in the plating step after the baking step, moisture such as a plating solution may enter the element body from the thinned portion. Therefore, in the electronic component manufactured by the conventional manufacturing method, the characteristic of the electronic component may be deteriorated due to the influence of moisture that has entered the base body during the plating process. In particular, in MLCC (Multi-Layer Ceramic Capacitor), if a plating solution or the like penetrates into the element body and remains, reliability, particularly moisture resistance, may be significantly reduced.
また、従来の電子部品の製造方法では、導電性ペーストに素体の端部を浸漬させてペースト層を形成しているため、直方体をなす素体においては、端面、一対の主面及び一対の側面の五面に外部電極(五面電極)が形成される。そのため、基板への実装時において電子部品の側面に形成された外部電極にもはんだが周り込み、リフロー時のセルフアライメント性が悪くなる。そのため、高密度に電子部品を実装すると、実装位置のずれやチップ立ち等の実装不良が生じるといった問題があった。 Further, in the conventional method for manufacturing an electronic component, since the paste layer is formed by immersing the end portion of the element body in the conductive paste, the element body forming a rectangular parallelepiped has an end face, a pair of main surfaces, and a pair of elements. External electrodes (five-side electrodes) are formed on the five sides. For this reason, the solder also wraps around the external electrode formed on the side surface of the electronic component when mounted on the substrate, and the self-alignment property during reflow deteriorates. For this reason, when electronic components are mounted at a high density, there is a problem that mounting defects such as a shift in mounting position and chip standing occur.
これに対して、本実施形態に係る電子部品1の製造方法では、端面2a,2bと主面2c,2dとの間の角部分9が湾曲した湾曲面9aを有する素体2について、端面2a,2b及び湾曲面9aにスクリーン印刷して主面2c,2dに第一導電性ペースト52が付与されないように第一ペースト層16を形成する第一ペースト層形成工程S3と、主面2c,2dにスクリーン印刷して端面2a,2bに第二導電性ペースト56が付与されないように第二ペースト層17を形成する第二ペースト層形成工程S5とを有している。スクリーン印刷にて第一ペースト層16を形成することにより、浸漬工法にて形成される場合に比べて、角部分9付近の厚みを十分に確保しつつ、端面2a,2bの中央位置付近の厚みの増大を防止することができる。また、主面2c,2dに第一導電性ペースト52が付与されないようにすることで、主面2c,2dにおける外部電極3,4の厚み(H寸法)の増大を抑制できる。また、スクリーン印刷にて第二ペースト層17を形成することにより、素体2の主面2c,2dにおける第二ペースト層17の厚みを小さくできると共に、端面2a,2bに第二導電性ペースト56が付与されないようにすることで、端面2a,2bにおける外部電極3,4の厚み(T寸法)を小さくできる。
On the other hand, in the manufacturing method of the
そして、第一ペースト層16と第二ペースト層17とを湾曲面9aで接合することにより、導電性ペーストを付与すべき面以外の面への導電性ペーストの周り込みが防止されるため、主面2c,2dにおける外部電極3,4の厚みの増大を抑制できると共に、端面2a,2bにおける外部電極3,4の厚みを小さくできる。以上のように、第一ペースト層16によって角部分9付近の厚みが確保されているためメッキ液等の水分が素体2内に浸入することを防止できると共に、外部電極3,4の厚みの増大を抑制することで製品寸法の増大を防止できるため、素体2の実効体積を確保でき、製品特性を十分に達成させることができる。
Then, by joining the
また、本実施形態の電子部品1の製造方法にて製造される電子部品1は、端面2a,2bと主面2c,2dの三面に跨ってコ字状の外部電極3,4が形成されるため、下面(実装面)の外部電極3,4に隣接する従来ハンダ実装時の接合上必要の無かった側面電極が排除されている。そのため、製品の幅寸法の最大限まで素体2の幅を広げることができる。これにより、素体2の実効体積を大幅に拡大できる。また、第一ペースト層16及び第二ペースト層17は、スクリーン印刷によって形成されるため、端面2a,2bや主面2cの全面に亘って均一に薄く形成することが可能であり、従来の浸漬工法で形成された外部電極のように中央部分が厚く盛り上がらない。そのため、製品の長さ寸法を圧迫しないので、素体2の実効体積を更に拡大できる。
Further, in the
また、信頼性を確保する上で重要な内部電極7,8の引き出し部を有する素体2の端面2a,2bには、第一ペースト層16がスクリーン印刷によって形成される。そのため、従来の浸漬工法で形成される場合ように、端面2a,2bの角部分9近傍の外部電極3,4の厚み(F寸法)が端面2a,2b中央部分の厚みと比較して著しく薄くなることが避けられる。また、素体2の端面2a,2bの外部電極3,4の厚み(T寸法)が均一の場合には、浸漬工法と比較して厚いF寸法が得られるため、外部電極3,4の形成に引き続くメッキ工程S11でのメッキ液の素体2内部への浸入が効果的に抑制でき、電子部品1の信頼性を著しく高めることが可能となる。
The
また、電子部品1には、基板に実装される実装電極が形成された主面2c,2dに隣接する側面2e,2fに外部電極が形成されない。そのため、電子部品1においては、ハンダフィレットが側面2e,2fに形成されず、実装時のセルフアライメント性が大幅に向上すると共に、狭隣接実装時に隣接部品とのハンダブリッジの発生を大幅に抑制することができる。さらに、外部電極3,4がスクリーン印刷にて面内に均一な厚みで形成されるため、浸漬工法で形成された外部電極のように中央部分が凸形状をならず、更に側面2e,2fに電極が形成されない実装時のチップ立ち不良が発生しない。
Further, in the
ここで、図9(a)に示すように、第一ペースト層16及び第二ペースト層17を焼き付けて形成した第一及び第二焼付電極16a,17aは、導電性金属粒子の焼結によって形成されているため、表面に凹凸が発生する。このとき、図9(b)に示すように、第一及び第二焼付電極16a,17a上には凹凸を覆うようにメッキ層18が形成されるため、第一及び第二焼付電極16a,17aの微小な凹凸を埋めて欠陥を補修する効果が得られる。また、メッキ層18を形成する際に、メッキ液及びメッキ層形成工程S7に起因する水分が第一及び第二焼付電極16a,17aの空隙や素体2内、及びメッキ層18自体に残留することがある。この残留成分Sは、電解質であるため、Ni、Snメッキと同様に、素体2及び外部電極3,4内に残留することで電子部品1の信頼性を低下させ、特に耐湿負荷特性を劣化させる。
Here, as shown in FIG. 9A, the first and
これに対して、本実施形態の電子部品1の製造方法では、メッキ層形成工程S7の後に酸性雰囲気中において熱処理を行う酸化熱処理工程S8を実施することにより、図10(a)に示すように、水分の揮発だけでなく、電子部品1の信頼性を低下させるメッキ液等の残留成分Sが酸化分解及び燃焼分解によって素体2内から離脱されると共に、非昇華性の残留物を安定的な酸化物とすることができる。また、メッキ層18も酸素雰囲気中の熱処理によりCuO層化するが、このとき体積膨張によって層内に形成された空隙やボイド等の消滅効果が得られる。そして、還元熱処理工程S9を実施することにより、図10(b)に示すように、メッキ層18の表面に形成されたCuO層19が連続した構造のCu金属層になり、また、第一及び第二焼付電極16a,17aと酸化処理されたメッキ層18とが金属への還元過程を経ることでより強固に結合される。これにより、外部電極3,4が緻密化されるため、素体2内へのメッキ液等の浸入が確実に防止される。
On the other hand, in the manufacturing method of the
更に、還元雰囲気中において熱処理をした後に更に高温で焼き付けることにより、外部電極3,4が更に緻密化されると共に、前述の凹凸形状が緩和されて平坦化し、外部電極3において局所的に厚みを有する部分が修正される。これにより、電子部品1の製品寸法を小さくすることができる。なお、第三焼付工程S10における焼付温度は、還元熱処理工程S9において外部電極3,4の表面に緻密で連続したCu層が形成されているため、第一及び第二焼付電極16a,17a等からのガラス浮きが発生せず、従来よりも高温で熱処理が可能となっている。その結果、外部電極3,4の更なる緻密化を図ることができる。
Furthermore, the
以下、実施例及び比較例に基づいて本発明を更に具体的に説明するが、本発明は以下の実施例に何ら限定されるものではない。 EXAMPLES Hereinafter, although this invention is demonstrated more concretely based on an Example and a comparative example, this invention is not limited to a following example at all.
本発明者らは、上述の製造方法により電子部品を作製した。素体は、縦が910μm、横が456μm、高さが460μmのC1005形状品を用いた。素体の端面と主面との間の角部分は湾曲しており、その曲率半径は、R=30μmである。また、外部電極を形成するため、導電性ペーストとして、電極ペーストAを準備した。電極ペーストAは、Cu平均粒径2μm、固形分70wt%、粘度25Pas、エチルセルロース系バインダペーストである。 The present inventors produced an electronic component by the manufacturing method described above. As the element body, a C1005 shape product having a length of 910 μm, a width of 456 μm, and a height of 460 μm was used. The corner portion between the end face and the main surface of the element body is curved, and the radius of curvature is R = 30 μm. Moreover, in order to form an external electrode, electrode paste A was prepared as a conductive paste. The electrode paste A is a Cu average particle diameter of 2 μm, a solid content of 70 wt%, a viscosity of 25 Pas, and an ethyl cellulose binder paste.
(比較例1)
まず、平板(メタライザー)上にドクターブレード法にて電極ペーストAを約200μmの厚さとなるように均一なペースト膜を形成し、キャリアプレートに保持した素体をペースト膜に浸漬させて電極ペーストAを素体の端面側に塗布した。そして、電極ペーストAを塗布した後に所定の温度で乾燥させて800℃で焼き付けた。その後、バレルメッキによって4μmのNiメッキ膜と、4μmのSnメッキ膜とを形成して外部電極を形成し、比較例1を得た。
(Comparative Example 1)
First, a uniform paste film is formed on a flat plate (metalizer) by a doctor blade method so as to have a thickness of about 200 μm, and an element body held on a carrier plate is immersed in the paste film to form an electrode paste A Was applied to the end face side of the element body. And after apply | coating the electrode paste A, it was made to dry at predetermined temperature and baked at 800 degreeC. Thereafter, a 4 μm Ni plating film and a 4 μm Sn plating film were formed by barrel plating to form external electrodes, and Comparative Example 1 was obtained.
(実施例1)
次に、素体の端面に電極ペーストAをスクリーン印刷によって付与して第一ペースト層を形成した。第一のペースト層の形成には、#260テトロン版のスクリーンメッシュを用い、スキージに10kg〜20kgの印圧を印加して印刷を行った。続いて、第一ペースト層を形成してから乾燥させ、素体の主面の一方(片面)に電極ペーストAをスクリーン印刷によって付与して第二ペースト層を形成した。第二ペースト層の形成には、#360テトロン版のスクリーンメッシュを用いた。第二ペースト層の形成に用いるスクリーンメッシュは、素体の幅寸法及び長さ寸法よりも若干大きいものを用いた。そして、第二ペースト層を形成してから乾燥させ、800℃で第一ペースト層及び第二ペースト層を焼き付けて第一焼付電極及び第二焼付電極を形成した。その後、バレルメッキによって4μmのNiメッキ膜と、4μmのSnメッキ膜とを形成して外部電極を形成し、実施例1を得た。
Example 1
Next, electrode paste A was applied to the end face of the element body by screen printing to form a first paste layer. For the formation of the first paste layer, printing was performed by applying a printing pressure of 10 kg to 20 kg to a squeegee using a screen mesh of # 260 Tetron. Subsequently, the first paste layer was formed and then dried, and electrode paste A was applied to one (one side) of the main surface of the element body by screen printing to form a second paste layer. For forming the second paste layer, a # 360 Tetron screen mesh was used. The screen mesh used for forming the second paste layer was slightly larger than the width and length dimensions of the element body. And after forming the 2nd paste layer, it was made to dry and the 1st paste layer and the 2nd paste layer were baked at 800 degreeC, and the 1st baked electrode and the 2nd baked electrode were formed. Thereafter, a 4 μm Ni plating film and a 4 μm Sn plating film were formed by barrel plating to form external electrodes, and Example 1 was obtained.
(実施例2)
また、実施例1の工程において、第一ペースト層の印刷と乾燥とを2回行い、実施例2を得た。
(Example 2)
Moreover, in the process of Example 1, printing and drying of the first paste layer were performed twice, and Example 2 was obtained.
(実施例3)
また、実施例2の工程において、第一ペースト層の印刷及び乾燥を2回行った後に第一ペースト層を焼き付けて第一焼付電極を形成し、その後に第二ペースト層を印刷して焼き付けて第二焼付電極を形成した。そして、第一及び第二焼付電極を形成した後に、バレルメッキによって4μmのNiメッキ膜と、4μmのSnメッキ膜とを形成して外部電極を形成し、実施例3を得た。
(Example 3)
Moreover, in the process of Example 2, after printing and drying the first paste layer twice, the first paste layer is baked to form a first baking electrode, and then the second paste layer is printed and baked. A second baked electrode was formed. Then, after forming the first and second baking electrodes, a 4 μm Ni plating film and a 4 μm Sn plating film were formed by barrel plating to form an external electrode, and Example 3 was obtained.
(実施例4)
また、実施例1と同様に第一焼付電極及び第二焼付電極を形成した後に、ピロリン酸によるメッキ浴を用いてCuメッキ層を形成した。このとき、Cuメッキ膜(層)を狙い値5μmで析出させた。そして、窒素雰囲気中の熱処理炉において焼き付け温度600℃で焼き付けた後、バレルメッキによって4μmのNiメッキ膜と、4μmのSnメッキ膜とを形成して外部電極を形成し、実施例4を得た。
Example 4
Moreover, after forming the 1st baking electrode and the 2nd baking electrode similarly to Example 1, the Cu plating layer was formed using the plating bath by pyrophosphoric acid. At this time, a Cu plating film (layer) was deposited at a target value of 5 μm. Then, after baking at a baking temperature of 600 ° C. in a heat treatment furnace in a nitrogen atmosphere, a 4 μm Ni plating film and a 4 μm Sn plating film were formed by barrel plating to form an external electrode, and Example 4 was obtained. .
(実施例5)
また、実施例4の工程によってCuメッキ層を形成した後に、酸素雰囲気中の熱処理炉において500℃にて酸化熱処理を行い、更に窒素雰囲気中の熱処理炉において500℃にて還元熱処理を行った。その後、バレルメッキによって4μmのNiメッキ膜と、4μmのSnメッキ膜とを形成して外部電極を形成し、実施例5を得た。
(Example 5)
Further, after forming a Cu plating layer by the process of Example 4, an oxidation heat treatment was performed at 500 ° C. in a heat treatment furnace in an oxygen atmosphere, and a reduction heat treatment was further performed at 500 ° C. in a heat treatment furnace in a nitrogen atmosphere. Thereafter, a 4 μm Ni plating film and a 4 μm Sn plating film were formed by barrel plating to form external electrodes, and Example 5 was obtained.
(実施例6)
また、実施例5の工程において窒素雰囲気中の熱処理炉において500℃にて還元熱処理を行った後に、更に窒素雰囲気中の熱処理炉において焼き付け温度700℃で焼き付けた後に、バレルメッキによって4μmのNiメッキ膜と、4μmのSnメッキ膜とを形成して外部電極を形成し、実施例6を得た。
(Example 6)
In addition, after performing reduction heat treatment at 500 ° C. in a heat treatment furnace in a nitrogen atmosphere in the process of Example 5, and further baking at a baking temperature of 700 ° C. in a heat treatment furnace in a nitrogen atmosphere, 4 μm Ni plating is performed by barrel plating. An external electrode was formed by forming a film and a 4 μm Sn plating film, and Example 6 was obtained.
(実施例7)
また、実施例1と同様に第一ペースト層を形成した後に、素体の主面の両面に電極ペーストAをスクリーン印刷によって付与して第二ペースト層を形成し、乾燥させた後に800℃で第一ペースト層及び第二ペースト層を焼き付けて第一焼付電極及び第二焼付電極を形成した。その後、バレルメッキによって4μmのNiメッキ膜と、4μmのSnメッキ膜とを形成して外部電極を形成し、実施例7を得た。
(Example 7)
Moreover, after forming a 1st paste layer similarly to Example 1, electrode paste A was provided by screen printing on both surfaces of the main surface of an element | base_body, a 2nd paste layer was formed, and it dried at 800 degreeC. The first paste layer and the second paste layer were baked to form a first baked electrode and a second baked electrode. Thereafter, a 4 μm Ni plating film and a 4 μm Sn plating film were formed by barrel plating to form external electrodes, and Example 7 was obtained.
そして、比較例1及び実施例1〜7の電子部品の各工程段階での寸法を計測した。計測結果を図11に示す。また、Niメッキ、Snメッキの形成の前に、実体顕微鏡及び金属顕微鏡にて外部電極の表面の外観に異常がないかを確認した。 And the dimension in each process step of the electronic component of the comparative example 1 and Examples 1-7 was measured. The measurement results are shown in FIG. Further, prior to the formation of Ni plating and Sn plating, it was confirmed by using a stereomicroscope and a metal microscope whether the appearance of the surface of the external electrode was abnormal.
また、比較例1及び実施例1〜7を、プレッシャークッカー槽に投入し、121℃−湿度95%の雰囲気下で電圧印加を行う加速耐湿負荷試験(PCBT試験)を実施した。これらの試験によって得られた結果を図12に示す。 Moreover, the comparative example 1 and Examples 1-7 were thrown into the pressure cooker tank, and the accelerated moisture-proof load test (PCBT test) which performs a voltage application in the atmosphere of 121 degreeC-humidity 95% was implemented. The results obtained by these tests are shown in FIG.
図11に示すように、本発明の実施例1〜7は、何れも比較例と比較して、大幅に製品寸法が削減されており、製品最大外形から計算される製品体積が比較例1に対して82%〜84%と大幅に削減されている。この削減体積を電子部品の実効機能(静電容量)を確保する素体の実効体積の増大に割り当てることが可能であり、内部構造の設計方法にも依存するが、静電容量換算で約15〜20%の容量増加を図ることが可能になる。 As shown in FIG. 11, in each of Examples 1 to 7 of the present invention, the product dimensions are greatly reduced compared to the comparative example, and the product volume calculated from the product maximum outer shape is the comparative example 1. On the other hand, it is greatly reduced to 82% to 84%. This reduced volume can be allocated to an increase in the effective volume of the element body that ensures the effective function (capacitance) of the electronic component, and depends on the design method of the internal structure, but is approximately 15 in terms of capacitance. It is possible to increase the capacity by ~ 20%.
図12に示すように、比較例1の電子部品は、全てにおいて、電子部品の端面のコーナー付近で外部電極が掠れた様な状態となり、異常が確認された。これは、ペースト層の焼き付け時に外部電極のCuと素体の内部電極のNiが反応した反応層が、外部電極の薄い部分で外観異常として検出されたためと考えられる。また超加速耐湿負荷試験では、比較例の35%に絶縁抵抗不良が確認された。 As shown in FIG. 12, all of the electronic components of Comparative Example 1 were in a state in which the external electrodes were swollen near the corners of the end faces of the electronic components, and abnormalities were confirmed. This is presumably because a reaction layer in which Cu of the external electrode and Ni of the internal electrode of the base body reacted when the paste layer was baked was detected as an abnormal appearance in a thin portion of the external electrode. Further, in the super accelerated moisture resistance load test, insulation resistance failure was confirmed in 35% of the comparative examples.
これに対し実施例1の電子部品は端子外観異常率が26%と低減し、超加速耐湿負荷試験結果もNG率が5%に改善された。更に、端面に2回スクリーン印刷を施した実施例2の電子部品は、端子外観の結果、比較例1及び実施例1で発生した素体端面のコーナー付近での電極の掠れは発生しなかった。検出された1%の外観異常は、コーナー部に微小な電極剥離が発生したものであり、これは第一ペースト層を印刷して乾燥した後に、引き続いて第二ペースト層を印刷する際、素体を整列配置する際に治具等に接触したことにより、焼成前の機械的強度の弱い乾燥塗膜に機械的衝撃により欠陥が生じた物と考えられる。実施例2の電子部品は、超加速耐湿負荷試験NG率は333ppmと比較例と比べて大幅に改善されている。 On the other hand, the electronic component of Example 1 had a terminal appearance abnormality rate reduced to 26%, and the NG rate was also improved to 5% in the super accelerated moisture resistance load test result. Furthermore, in the electronic component of Example 2 in which the end face was screen-printed twice, as a result of the appearance of the terminal, the electrode was not bent near the corner of the element end face that occurred in Comparative Example 1 and Example 1. . The detected 1% appearance abnormality is the occurrence of minute electrode peeling at the corners. This is because when the first paste layer is printed and dried, the second paste layer is subsequently printed. It is considered that a defect occurred due to mechanical impact on the dried coating film having low mechanical strength before firing due to contact with a jig or the like when aligning the bodies. The electronic component of Example 2 has a super accelerated moisture resistance load test NG ratio of 333 ppm, which is significantly improved compared to the comparative example.
また、第一ペースト層を印刷して形成した後に焼成を行い、さらに、第二ペースト層を印刷して焼成を行った実施例3に関しては、端子外観、超加速耐湿負荷試験ともNG品の検出が無く、本発明により信頼性が著しく改善されていることが確認された。 In addition, regarding Example 3 in which the first paste layer was printed and then fired, and further, the second paste layer was printed and fired, both the terminal appearance and the super accelerated moisture resistance load test were detected as NG products. It was confirmed that the reliability was remarkably improved by the present invention.
また、実施例4のCuメッキを施した電子部品は、端子外観の結果、実施例1で観察された素体の端面のコーナー付近での電極が掠れた様な異常の発生は無くなり、端子表面に結晶状の微小な析出物の残渣が3%発生した。この電子部品の超加速耐湿負荷試験は、NG率が2666ppmとなり、実施例1の5%より大幅に改善していることが確認できた。端子表面の析出物は、Cuメッキ時のメッキ残渣が焼結熱処理時に素体内部から析出され窒素雰囲気中の熱処理では分解出来ずに残渣として残留した物と考えられる。
Further, in the electronic component plated with Cu of Example 4, as a result of the terminal appearance, the occurrence of abnormality such as the electrode near the corner of the end face of the element observed in Example 1 disappeared, and the
酸化還元熱処理をCuメッキ後に行った実施例5、及びその後に更に熱処理を行った実施例6は、何れも端子外観では外観異常は無く、上記のメッキ残渣が酸化還元熱処理により完全に分解揮発された物と考えられる。また超加速耐湿負荷試験結果も、666ppm、0ppmと著しく改善されることが分かった。 In Example 5 in which the oxidation-reduction heat treatment was performed after Cu plating and in Example 6 in which the heat treatment was further performed thereafter, there was no abnormality in the appearance of the terminal, and the plating residue was completely decomposed and volatilized by the oxidation-reduction heat treatment. It is thought that It was also found that the results of the super accelerated moisture resistance load test were significantly improved to 666 ppm and 0 ppm.
本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。例えば、上記実施形態では、主面2c,2dに外部電極3,4を形成しているが、側面2e,2fに外部電極3,4が形成されてもよい。
The present invention is not limited to the above embodiment. For example, in the above embodiment, the
また、上記実施形態では、第一ペースト層16を形成した後に第二ペースト層17を形成しているが、第二ペースト層17を形成した後に第一ペースト層16を形成してもよい。また、第一ペースト層16を形成して乾燥させた後に第二ペーストを形成して乾燥させ、第一ペースト層16と第二ペースト層17とを一括して焼き付けてもよい。
In the above embodiment, the
また、上記実施形態では、外部電極3,4が端面2a,2bと一対の主面2c,2dとの3面に跨って形成されているが、例えば端面2a,2bと一方の主面2cの2面に跨って形成されてもよい。具体的には、図13に示すように、電子部品1Aにおいて、外部電極3A,4Aは、断面L字状を呈しており、端面2a,2bと一方の主面2c(片面)の2面に跨って形成されている。
Moreover, in the said embodiment, although the
1…電子部品、2…素体、2a,2b…端面、2c,2d…主面、2e,2f…側面、3,4…外部電極、9…角部分、9a…湾曲面、16…第一ペースト層、16a…第一焼付電極、17…第二ペースト層、17a…第二焼付電極、18…メッキ層、52…第一導電性ペースト、56…第二導電性ペースト、S3…第一ペースト層形成工程、S4…第一焼付工程、S5…第二ペースト層形成工程、S6…第二焼付工程、S7…メッキ層形成工程(金属メッキ層形成工程)、S8…酸化熱処理工程(第一熱処理工程、熱処理工程)、S9…還元熱処理工程(第二熱処理工程、熱処理工程)、S10…第三焼付工程。
DESCRIPTION OF
Claims (7)
前記素体の前記端面側に形成された外部電極とを備える電子部品の製造方法であって、
前記端面と前記主面及び前記側面との間の角部分が湾曲した湾曲面を有する前記素体を準備する素体準備工程と、
前記端面と前記湾曲面とに第一導電性ペーストをスクリーン印刷することによって、第一ペースト層を形成する第一ペースト層形成工程と、
前記主面及び前記側面の何れか一方の面の片面又は両面と前記湾曲面とに第二導電性ペーストをスクリーン印刷することによって、第二ペースト層を形成する第二ペースト層形成工程と、を有し、
前記第一ペースト層形成工程又は前記第二ペースト層形成工程において、前記第一ペースト層と前記第二ペースト層とが前記湾曲面にて接合されるように前記第一ペースト層又は前記第二ペースト層が形成されることを特徴とする電子部品の製造方法。 A pair of end surfaces facing each other, a pair of main surfaces extending so as to connect the pair of end surfaces and facing each other, and a pair of side surfaces extending so as to connect the pair of main surfaces and facing each other With the body,
A method of manufacturing an electronic component comprising an external electrode formed on the end face side of the element body,
An element body preparing step of preparing the element body having a curved surface in which a corner portion between the end surface and the main surface and the side surface is curved;
A first paste layer forming step of forming a first paste layer by screen-printing a first conductive paste on the end surface and the curved surface;
A second paste layer forming step of forming a second paste layer by screen-printing a second conductive paste on one or both of the main surface and the side surface and the curved surface; Have
In the first paste layer forming step or the second paste layer forming step, the first paste layer or the second paste so that the first paste layer and the second paste layer are joined at the curved surface. A method of manufacturing an electronic component, wherein a layer is formed.
前記第二ペースト層形成工程では、前記端面に前記第二導電性ペーストが付与されないように前記第二ペースト層を形成することを特徴とする請求項1記載の電子部品の製造方法。 In the first paste layer forming step, the first paste layer is formed so that the first conductive paste is not applied to the main surface and the side surface,
2. The method of manufacturing an electronic component according to claim 1, wherein in the second paste layer forming step, the second paste layer is formed so that the second conductive paste is not applied to the end face.
前記第一焼付工程の後、次のペースト層形成工程にて形成されたペースト層を焼き付けて第二焼付電極を形成する第二焼付工程と、
を更に有することを特徴とする請求項1又は2記載の電子部品の製造方法。 Of the first paste layer forming step and the second paste layer forming step, a first baking step of baking the paste layer to form a first baking electrode after the paste layer forming step of previously forming the paste layer; ,
After the first baking step, a second baking step of baking the paste layer formed in the next paste layer forming step to form a second baking electrode;
The method of manufacturing an electronic component according to claim 1, further comprising:
前記金属メッキ層を加熱処理する熱処理工程と、
を更に有することを特徴とする請求項3記載の電子部品の製造方法。 A plating layer forming step of forming a metal plating layer so as to cover the whole of the first baking electrode and the second baking electrode;
A heat treatment step for heat-treating the metal plating layer;
The method of manufacturing an electronic component according to claim 3, further comprising:
前記金属メッキ層を酸素雰囲気中で加熱処理する第一熱処理工程と、
前記第一熱処理工程の後、前記金属メッキ層を還元雰囲気中で加熱処理する第二熱処理工程と、
を含むことを特徴とする請求項4記載の電子部品の製造方法。 The heat treatment step includes
A first heat treatment step of heat-treating the metal plating layer in an oxygen atmosphere;
After the first heat treatment step, a second heat treatment step of heat-treating the metal plating layer in a reducing atmosphere;
The manufacturing method of the electronic component of Claim 4 characterized by the above-mentioned.
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