[go: up one dir, main page]

JP2011167067A - Vibration actuator - Google Patents

Vibration actuator Download PDF

Info

Publication number
JP2011167067A
JP2011167067A JP2011120191A JP2011120191A JP2011167067A JP 2011167067 A JP2011167067 A JP 2011167067A JP 2011120191 A JP2011120191 A JP 2011120191A JP 2011120191 A JP2011120191 A JP 2011120191A JP 2011167067 A JP2011167067 A JP 2011167067A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
vibration actuator
center line
relative motion
rotor
rotation center
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2011120191A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Yoshiko Sumitomo
美子 住友
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nikon Corp
Original Assignee
Nikon Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nikon Corp filed Critical Nikon Corp
Priority to JP2011120191A priority Critical patent/JP2011167067A/en
Publication of JP2011167067A publication Critical patent/JP2011167067A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a vibration actuator which is compact and generates less noise. <P>SOLUTION: The vibration actuator includes: a vibrator 1 which is excited by a drive signal and generates a vibration wave on a drive surface; a relatively moving member 5 which has a through-hole portion, is pressurized in contact on the drive surface and rotatably driven with the through-hole portion as a center by the vibration wave; a pressurizing section 9 which pressurizes the vibrator and the relatively moving member so as to contact each other; an output extracting member 14 which is engaged with at least a part of the through-hole portion and extracts the rotation movement of the relatively moving member by performing rotation movement together with the relatively moving member; and a flange ring portion 11 which is engaged with the output extracting member, can move in the rotary center line direction of the output extracting member and rotatably moves together with the output extracting member. The output extracting member and the relatively moving member are formed so as to have the degree of freedom so that the rotation center line of the output extracting member and the rotation center line of the relatively moving member can rotate while relatively fluctuating within an angle of a predetermined range. <P>COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT

Description

本発明は、弾性体に振動を発生させて振動エネルギーを生じさせ、この振動エネルギーを出力として取り出し、駆動力を得る振動アクチュエータに関するものである。   The present invention relates to a vibration actuator that generates vibration energy by generating vibration in an elastic body, extracts the vibration energy as an output, and obtains a driving force.

従来、この種の振動アクチュエータでは、特許文献1に開示されているように、圧電体の伸縮を利用して、弾性体の駆動面(移動子との接触面)に進行性振動波を発生させ、この進行性振動波によって、駆動面には楕円運動が生じ、楕円運動の波頭に加圧接触した移動子が駆動される。このような振動アクチュエータは、低回転でも高トルクを有するといった特徴があるので、駆動装置に搭載した場合に駆動装置のギアを省略することができるため、ギア騒音の静音化や、位置決め精度が向上できるといったような利点がある。   Conventionally, in this type of vibration actuator, as disclosed in Patent Document 1, by using expansion and contraction of a piezoelectric body, a progressive vibration wave is generated on the driving surface (contact surface with the moving element) of the elastic body. Due to this progressive vibration wave, an elliptical motion is generated on the drive surface, and the movable element in pressure contact with the wavefront of the elliptical motion is driven. Since such a vibration actuator has a feature of having a high torque even at a low rotation, the gear of the drive device can be omitted when mounted on the drive device, so that the noise of the gear noise is reduced and the positioning accuracy is improved. There is an advantage that can be done.

しかし、特許文献1の振動アクチュエータは、その振動体、移動体等が中空であり、径が大きく、カメラのレンズ枠等を直接駆動するには適しているが、それ以外の用途等で小型の製品の駆動部に搭載するには大きいため、より小型化、軽量化された振動アクチュエータが提案されてきている。そのような振動アクチュエータでは、外力等により振動体の駆動面と移動体の摺動面とが角度をなし、振動体の駆動面と移動体の摺動面との摺動が安定せず、異音の発生や、駆動効率の低下等が生じるという問題があった。また、異音は、移動体の回転数を上げて高速で回転させた場合等に、より発生しやすくなるという問題があった。   However, the vibration actuator of Patent Document 1 has a hollow vibrating body, a moving body and the like, and has a large diameter, which is suitable for directly driving a lens frame of a camera, but is small for other purposes. Since it is large to be mounted on a drive unit of a product, vibration actuators that are smaller and lighter have been proposed. In such a vibration actuator, the driving surface of the vibrating body and the sliding surface of the moving body form an angle due to an external force or the like, and the sliding between the driving surface of the vibrating body and the sliding surface of the moving body is not stable. There is a problem that sound is generated, driving efficiency is lowered, and the like. Further, there has been a problem that abnormal noise is more likely to occur when the rotational speed of the moving body is increased and rotated at a high speed.

特公平1−17354号公報Japanese Patent Publication No. 1-17354

本発明の課題は、小型であり、異音発生の少ない振動アクチュエータを提供することである。   An object of the present invention is to provide a vibration actuator that is small in size and generates less abnormal noise.

前記課題を解決するために、請求項1の発明は、駆動信号により励振され、駆動面に振動波を生じる振動体と、貫通孔部を有し、前記駆動面に加圧接触され、前記振動波により前記貫通孔部を中心として回転駆動される相対運動部材と、前記振動体と前記相対運動部材とを加圧接触させる加圧部と、前記貫通孔部の少なくとも一部と嵌合し、前記相対運動部材とともに回転運動することにより、前記相対運動部材の回転運動を取り出す出力取り出し部材と、前記出力取り出し部材に嵌合し、前記出力取り出し部材の回転中心線方向に移動可能であり、前記出力取り出し部材とともに回転運動するフランジリング部と、を備えた振動アクチュエータにおいて、前記出力取り出し部材と前記相対運動部材とは、前記出力取り出し部材の回転中心線と前記相対運動部材の回転中心線とが所定の範囲内の角度で、相対的に揺動しながら回転可能なように自由度を有して設けられていること、を特徴とする振動アクチュエータである。
請求項2の発明は、請求項1に記載の振動アクチュエータにおいて、前記加圧部による加圧方向において、前記出力取り出し部材に対する前記フランジリング部及び前記相対運動部材の位置を規制する規制部材を備えること、を特徴とする振動アクチュエータである。
請求項3の発明は、請求項2に記載の振動アクチュエータにおいて、前記規制部材は、前記出力取り出し部材に設けられた溝部に嵌まる止め輪であること、を特徴とする振動アクチュエータである。
請求項4の発明は、請求項2又は請求項3に記載の振動アクチュエータにおいて、前記フランジリング部と前記相対運動部材との間に設けられ、前記相対運動部材の回転中心線方向の振動を吸収する緩衝部材を備えること、を特徴とする振動アクチュエータである。
請求項5の発明は、請求項1から請求項4のいずれかに記載の振動アクチュエータにおいて、前記振動体は、1つのベアリングを介して前記出力取り出し部材に回転可能に取り付けられていること、を特徴とする振動アクチュエータである。
請求項6の発明は、請求項5に記載の振動アクチュエータにおいて、前記加圧部による加圧方向において、前記相対移動部材と前記ベアリングとの間に前記振動体が配置されていること、を特徴とする振動アクチュエータである。
請求項7の発明は、請求項1から請求項6のいずれかに記載の振動アクチュエータにおいて、前記加圧部による加圧方向において、前記相対運動部材と前記加圧部との間に前記振動体が配置されていること、を特徴とする振動アクチュエータである。
In order to solve the above-mentioned problem, the invention of claim 1 has a vibrating body that is excited by a driving signal and generates a vibration wave on a driving surface, and a through-hole portion, is in pressure contact with the driving surface, and A relative motion member that is rotationally driven around the through-hole portion by a wave, a pressurizing portion that pressurizes and contacts the vibrating body and the relative motion member, and at least a part of the through-hole portion, By rotating together with the relative motion member, an output take-out member that takes out the rotational motion of the relative motion member, and fitted to the output take-out member, are movable in the direction of the rotation center line of the output take-out member, In the vibration actuator comprising a flange ring portion that rotates with the output extraction member, the output extraction member and the relative motion member are rotation center lines of the output extraction member. A vibration actuator characterized in that it is provided with a degree of freedom so that it can rotate while relatively swinging at an angle within a predetermined range with respect to the rotation center line of the relative motion member. .
According to a second aspect of the present invention, in the vibration actuator according to the first aspect of the present invention, the vibration actuator includes a regulating member that regulates a position of the flange ring portion and the relative motion member with respect to the output extraction member in a pressing direction of the pressing portion. This is a vibration actuator characterized by the above.
A third aspect of the present invention is the vibration actuator according to the second aspect, wherein the regulating member is a retaining ring that fits into a groove provided in the output extraction member.
According to a fourth aspect of the present invention, in the vibration actuator according to the second or third aspect, the vibration actuator is provided between the flange ring portion and the relative motion member, and absorbs vibration in a rotation center line direction of the relative motion member. The vibration actuator is provided with a buffer member.
According to a fifth aspect of the present invention, in the vibration actuator according to any one of the first to fourth aspects, the vibrating body is rotatably attached to the output takeout member via a single bearing. This is a characteristic vibration actuator.
According to a sixth aspect of the present invention, in the vibration actuator according to the fifth aspect, the vibrating body is disposed between the relative movement member and the bearing in the pressurizing direction of the pressurizing portion. This is a vibration actuator.
According to a seventh aspect of the present invention, in the vibration actuator according to any one of the first to sixth aspects, the vibrating body is interposed between the relative motion member and the pressurizing unit in a pressurizing direction by the pressurizing unit. Is a vibration actuator characterized by being arranged.

本発明によれば、出力取り出し部材と相対運動部材とは、出力取り出し部材の回転中心線と相対運動部材回転中心線とが所定の範囲内の角度で、相対的に揺動しながら回転可能なように自由度を有して設けられている。従って、出力取り出し部材にその回転中心線方向以外の外力が加わり、出力取り出し部材の回転中心線が相対運動部材と角度をなす場合にも、相対運動部材の摺動面は、振動体との駆動面と角度なすことなく安定して摺動するので、起動性や駆動効率が向上し、異音の発生を低減できる。また、振動体が、組立ばらつきや寸法不良等の理由により、出力取出し部材に対して垂直に固定されていない場合や、温度変化により振動体の駆動面が傾いた場合等にも、振動体の駆動面と相対運動部材との摺動面が安定して摺動し、起動性や駆動効率のよい、異音の発生が低減できる等々の効果がある。   According to the present invention, the output take-out member and the relative motion member are rotatable while relatively swinging at an angle within a predetermined range between the rotation center line of the output take-out member and the relative motion member rotation center line. It is provided with a degree of freedom. Therefore, even when an external force other than the rotation center line direction is applied to the output extraction member, and the rotation center line of the output extraction member forms an angle with the relative movement member, the sliding surface of the relative movement member is driven by the vibrating body. Since it slides stably without making an angle with the surface, the startability and drive efficiency are improved, and the generation of abnormal noise can be reduced. In addition, when the vibrating body is not fixed perpendicular to the output extraction member due to assembly variation or dimension failure, or when the driving surface of the vibrating body is inclined due to a temperature change, the vibrating body The sliding surfaces of the driving surface and the relative motion member are stably slid, and there are effects such as good startability and driving efficiency, and reduction of abnormal noise.

本発明による振動アクチュエータの実施例1を模式的に示す断面図である。It is sectional drawing which shows typically Example 1 of the vibration actuator by this invention. 本発明による振動アクチュエータの比較例を模式的に示す断面図である。It is sectional drawing which shows typically the comparative example of the vibration actuator by this invention. 本発明による振動アクチュエータの実施例2を模式的に示す断面図である。It is sectional drawing which shows typically Example 2 of the vibration actuator by this invention.

本発明は、小型であり、異音発生が小さい振動アクチュエータを提供するという目的を、出力軸とロータとを、出力軸の回転中心線とロータの回転中心線とが所定の範囲内の角度をなす場合にも、相対的に揺動しながら、ともに回転可能なように自由度を有して設けることにより実現した。   The present invention aims to provide a vibration actuator that is small in size and generates less abnormal noise. The output shaft and the rotor are arranged so that the rotation center line of the output shaft and the rotation center line of the rotor have an angle within a predetermined range. In this case, it was realized by providing a degree of freedom so as to be able to rotate together while relatively swinging.

(実施例1)
以下、図面等を参照して、本発明の実施の形態について、さらに詳しく説明する。
図1は、本発明による振動アクチュエータの実施例1を模式的に示す断面図である。
実施例1の振動アクチュエータ100は、振動体1、ロータ5等を有し、振動体1側を固定とし、ロータ5側を回転駆動する形態となっている。
Example 1
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in more detail with reference to the drawings.
FIG. 1 is a cross-sectional view schematically showing a first embodiment of a vibration actuator according to the present invention.
The vibration actuator 100 according to the first embodiment includes a vibrating body 1, a rotor 5, and the like. The vibrating body 1 side is fixed and the rotor 5 side is rotationally driven.

振動体1は、弾性体2と、弾性体2に接合された圧電体3とを有するステータであり、圧電体3の弾性体2側とは反対側の面には、圧電体3を励振する駆動信号を供給するフレキシブルプリント基板4が接続されている。
振動体1は、圧電体3の励振により進行性振動波(以下、「進行波」とする)が発生する。一例として、1周あたり9波の進行波で説明する。
The vibrating body 1 is a stator having an elastic body 2 and a piezoelectric body 3 joined to the elastic body 2, and the piezoelectric body 3 is excited on a surface of the piezoelectric body 3 opposite to the elastic body 2 side. A flexible printed circuit board 4 for supplying drive signals is connected.
The vibrator 1 generates a progressive vibration wave (hereinafter referred to as “traveling wave”) by the excitation of the piezoelectric body 3. As an example, a description will be given with 9 traveling waves per round.

弾性体2は、共振先鋭度の大きい金属材料からなり、その形状は、略円環形状である。弾性体2は、圧電体3が接合される面の反対側の面に、溝を切った櫛歯部12aが形成されており、この先端面が駆動面となり、ロータ5に加圧接触される。櫛歯部12aを設ける理由は、進行波の中立面をできる限り圧電体3側に近づけ、駆動面の進行波の振幅を増幅させるためである。
また、弾性体2は、その内周側に弾性体フランジ部2bが形成され、この弾性体フランジ部2bでステータ取付台6に取り付けられている。ステータ取付台6には、ベアリング7を介して、後述する出力軸13が回転可能に取り付けられている。
The elastic body 2 is made of a metal material having a high resonance sharpness, and has a substantially annular shape. In the elastic body 2, a comb tooth portion 12 a having a groove is formed on the surface opposite to the surface to which the piezoelectric body 3 is joined, and this tip surface serves as a driving surface and is in pressure contact with the rotor 5. . The reason for providing the comb-tooth portion 12a is to amplify the amplitude of the traveling wave on the drive surface by bringing the neutral surface of the traveling wave as close as possible to the piezoelectric body 3 side.
Further, the elastic body 2 has an elastic flange portion 2b formed on the inner peripheral side thereof, and is attached to the stator mounting base 6 by the elastic body flange portion 2b. An output shaft 13 (described later) is rotatably attached to the stator mount 6 via a bearing 7.

圧電体3は、電気エネルギーを機械エネルギーに変換する電気機械変換素子であり、例えば、電歪素子や圧電素子等が用いられる。この圧電体3は、弾性体2の周方向に沿って2つの相(A相、B相)の電気信号が入力される範囲があり、各相に対応する範囲においては、1/2波長毎に分極が交互になった要素が並べられており、A相とB相との間には、1/4波長分間隔が空くようにしてある。
フレキシブルプリント基板4は、その配線が圧電体3の各相の電極に接続されており、このフレキシブルプリント基板4に外部から供給された駆動信号により、圧電体3は伸縮し、弾性体2を励振する。
The piezoelectric body 3 is an electromechanical conversion element that converts electrical energy into mechanical energy. For example, an electrostrictive element or a piezoelectric element is used. The piezoelectric body 3 has a range in which electric signals of two phases (A phase and B phase) are input along the circumferential direction of the elastic body 2, and in a range corresponding to each phase, every 1/2 wavelength. The elements in which the polarizations are alternately arranged are arranged, and an interval of ¼ wavelength is provided between the A phase and the B phase.
The flexible printed circuit board 4 is connected to electrodes of each phase of the piezoelectric body 3, and the piezoelectric body 3 expands and contracts by the drive signal supplied from the outside to the flexible printed circuit board 4 to excite the elastic body 2. To do.

ロータ5は、例えば、アルミニウム等の軽金属により形成され、振動体1と加圧接触することにより、櫛歯部12aの先端面である弾性体2の駆動面に生じた進行波による楕円運動により回転駆動される相対運動部材である。
ロータ5は、回転中心線を中心軸として形成される回転体であり、その中心には略円筒形状の貫通孔部5aが形成されている。この貫通孔部5aは、後述する出力軸13と嵌合し、その径は出力軸13の径に対して公差分だけ大きい。
The rotor 5 is made of, for example, a light metal such as aluminum, and is rotated by an elliptical motion caused by a traveling wave generated on the driving surface of the elastic body 2 that is the tip surface of the comb tooth portion 12a by being in pressure contact with the vibrating body 1. A relative motion member to be driven.
The rotor 5 is a rotating body formed with a rotation center line as a central axis, and a substantially cylindrical through-hole portion 5a is formed at the center thereof. The through hole 5 a is fitted to an output shaft 13 described later, and the diameter thereof is larger than the diameter of the output shaft 13 by a tolerance.

出力軸13は、樹脂により形成された略円筒形状の部材であり、ロータ5の貫通孔部5aに嵌合し、ロータ5とともに回転運動することにより、ロータ5の回転運動を取り出す出力取り出し部材である。出力軸13は、ロータ5の貫通孔部5aと嵌合する端部の少なくとも一部にはDカットが施され、他方の端部は、不図示のギア等に接合され、ギアは被駆動部材に出力を伝える。
フランジリング11は、出力軸13に嵌合し、出力軸13の回転中心線方向に移動可能であり、出力軸13とともに回転する部材である。フランジリング11とロータ5との間には、緩衝部材10が設けられている。この緩衝部材10は、例えば、ゴム等により形成された略円環形状の部材であり、出力軸13に嵌合し、ロータ5の回転中心線方向の振動を吸収する。
Eリング12は、出力軸13の端部に設けられた溝部13aに嵌められ、後述する加圧部9の加圧方向において、出力軸13に対するフランジリング11及びロータ5の位置を規制する規制部材である。
The output shaft 13 is a substantially cylindrical member made of resin, and is an output take-out member that fits into the through hole portion 5a of the rotor 5 and rotates with the rotor 5 to extract the rotational motion of the rotor 5. is there. The output shaft 13 has a D-cut at least at a part of the end fitting with the through hole 5a of the rotor 5, the other end is joined to a gear (not shown), and the gear is a driven member. Tell the output to.
The flange ring 11 is a member that is fitted to the output shaft 13, is movable in the direction of the rotation center line of the output shaft 13, and rotates together with the output shaft 13. A buffer member 10 is provided between the flange ring 11 and the rotor 5. The buffer member 10 is a substantially ring-shaped member formed of rubber or the like, for example, is fitted to the output shaft 13 and absorbs vibration in the rotation center line direction of the rotor 5.
The E-ring 12 is fitted in a groove 13a provided at the end of the output shaft 13, and a regulating member that regulates the positions of the flange ring 11 and the rotor 5 with respect to the output shaft 13 in the pressurizing direction of the pressurizing unit 9 described later. It is.

加圧部9は、振動体1とロータ5とを加圧接触させる機構であり、出力軸13に設けられている。この加圧部9は、加圧力を発生するバネ9aと、ベアリング7に接して配置され、バネ9aの一端を押さえる押さえリング9bと、バネ9aの他端を押さえる押さえリング9cと、出力軸13に形成された溝に挿入され、押さえリング9cの位置を規制するEリング9dとを備えている。
この加圧部9は、出力軸13の回転中心線方向に振動体1とロータ5とを加圧する。
The pressurizing unit 9 is a mechanism that pressurizes the vibrating body 1 and the rotor 5, and is provided on the output shaft 13. The pressurizing unit 9 is disposed in contact with the spring 9a that generates pressure, the press ring 9b that presses one end of the spring 9a, the press ring 9c that presses the other end of the spring 9a, and the output shaft 13. And an E-ring 9d that restricts the position of the pressing ring 9c.
The pressurizing unit 9 pressurizes the vibrating body 1 and the rotor 5 in the direction of the rotation center line of the output shaft 13.

ここで、比較例の振動アクチュエータを用いて、本発明による振動アクチュエータの効果を説明する。
図2は、本発明による振動アクチュエータの比較例を模式的に示す断面図である。
比較例1の振動アクチュエータ300は、図1に示した実施例1の振動アクチュエータ100と出力軸8の形状等の点が相違する。よって、図1に示した実施例1の振動アクチュエータ100と略同様な機能を果たす部分には、同一の符号を付して、重複する説明を適宜省略する。
Here, the effect of the vibration actuator according to the present invention will be described using the vibration actuator of the comparative example.
FIG. 2 is a cross-sectional view schematically showing a comparative example of the vibration actuator according to the present invention.
The vibration actuator 300 of Comparative Example 1 is different from the vibration actuator 100 of Example 1 shown in FIG. Therefore, parts having substantially the same functions as those of the vibration actuator 100 according to the first embodiment shown in FIG.

出力軸8は、略円筒形状をしており、ロータ5の貫通孔部5aに嵌合し、ロータ5とともに回転運動し、ロータ5の回転運動を出力として取り出す出力取り出し部材である。出力軸8の貫通孔部5aと嵌合する側の端部には、略円盤形状のフランジ部8aが形成され、他方の端部には、不図示の被駆動部材に出力を伝達する不図示のギア等が接合されている。
このフランジ部8aとロータ5との間には、ロータ5の回転中心線方向の振動を吸収する緩衝部材10が設けられている。
The output shaft 8 has a substantially cylindrical shape, and is an output take-out member that fits into the through-hole portion 5a of the rotor 5, rotates with the rotor 5, and takes out the rotational motion of the rotor 5 as an output. A substantially disc-shaped flange portion 8a is formed at an end portion of the output shaft 8 on the side to be fitted with the through hole portion 5a, and an output is transmitted to a driven member (not shown) at the other end portion. Gears etc. are joined.
Between the flange portion 8 a and the rotor 5, a buffer member 10 that absorbs vibration in the rotation center line direction of the rotor 5 is provided.

このような振動アクチュエータは、出力軸の回転中心線が、ロータの回転中心線と一致しており、ステータの駆動面に対して垂直な状態で駆動されると、ロータの駆動面と弾性体の駆動面との摺動が安定し、異音の発生がなく、起動性や駆動効率もよく、理想的な振動アクチュエータとなる。   When such a vibration actuator is driven in a state where the rotation center line of the output shaft coincides with the rotation center line of the rotor and is perpendicular to the drive surface of the stator, the drive surface of the rotor and the elastic body The sliding with the driving surface is stable, no abnormal noise is generated, the startability and the driving efficiency are good, and it becomes an ideal vibration actuator.

しかし、図2に示すような比較例の振動アクチュエータ300では、出力軸8のフランジ部8aが緩衝部材10等を介してロータ5の回転中心線方向の動きを規制しており、かつ、出力軸8の貫通孔部5aとの嵌合部分が、ロータ5の回転運動の径方向の動きを規制している。
そのため、例えば、出力軸8は、その回転中心線方向以外の方向からの外力、例えば、図中の矢印Fに示すような外力を受けると、出力軸8の回転中心線が傾いてロータ5の回転中心線と角度をなし、弾性体2の駆動面に対して垂直ではなくなる。ロータ5は、偏荷重を受けて、この出力軸8の傾きに追従して傾き、その摺動面が弾性体2の駆動面に対して角度をなすため、弾性体2の駆動面とロータ5の摺動面とが安定して摺動しない。
このような状態で比較例の振動アクチュエータ300を駆動すると、弾性体2の進行波が十分にロータ5に伝わらず、比較例の振動アクチュエータ300の駆動効率が下がるという問題や、異音が発生するという問題があった。
However, in the vibration actuator 300 of the comparative example as shown in FIG. 2, the flange portion 8a of the output shaft 8 regulates the movement of the rotor 5 in the rotation center line direction via the buffer member 10 and the like, and the output shaft The fitting portion with the eight through-hole portions 5 a regulates the radial movement of the rotor 5.
Therefore, for example, when the output shaft 8 receives an external force from a direction other than the rotation center line direction, for example, an external force as indicated by an arrow F in the figure, the rotation center line of the output shaft 8 is inclined and the rotor 5 It forms an angle with the rotation center line and is not perpendicular to the drive surface of the elastic body 2. The rotor 5 receives an offset load and tilts following the tilt of the output shaft 8, and its sliding surface forms an angle with respect to the drive surface of the elastic body 2. The sliding surface does not slide stably.
When the vibration actuator 300 of the comparative example is driven in such a state, the traveling wave of the elastic body 2 is not sufficiently transmitted to the rotor 5, so that the drive efficiency of the vibration actuator 300 of the comparative example is reduced and abnormal noise is generated. There was a problem.

また、弾性体2の駆動面が、製造の際の組立ばらつきや寸法不良等の理由により、出力軸8の回転中心線に対して垂直に固定されていない場合や、温度変化等により弾性体2の駆動面が傾いた場合等に、ロータ5の摺動面は弾性体2の駆動面に追従して傾き、ロータ5の傾きに追従して出力軸8の回転中心線が傾く。そのため、振動アクチュエータ300は、異音が発生したり、起動性や駆動効率が低下したりするという問題があった。   Further, the elastic body 2 may be driven when the driving surface of the elastic body 2 is not fixed perpendicularly to the rotation center line of the output shaft 8 due to assembly variations or dimensional defects during manufacturing, or due to a temperature change or the like. When the driving surface is inclined, the sliding surface of the rotor 5 is inclined following the driving surface of the elastic body 2, and the rotation center line of the output shaft 8 is inclined following the inclination of the rotor 5. For this reason, the vibration actuator 300 has a problem in that abnormal noise is generated or startability and driving efficiency are reduced.

しかし、実施例1の振動アクチュエータ100は、出力軸13とフランジリング11とが別部材であるので、例えば、出力軸13にその回転中心線方向以外の外力がかかって出力軸13が傾いた場合にも、フランジリング11は、出力軸13の傾きに追従して傾き難く、ロータ5を傾けることがない。   However, since the output shaft 13 and the flange ring 11 are separate members in the vibration actuator 100 according to the first embodiment, for example, when the output shaft 13 is inclined due to an external force applied to the output shaft 13 other than the rotation center line direction. In addition, the flange ring 11 hardly tilts following the tilt of the output shaft 13 and does not tilt the rotor 5.

従って、このような出力軸13、フランジリング11等を設けることにより、ロータ5と出力軸13とは、ともに回転しながら、相対的に揺動可能となり、ロータ5の摺動面と弾性体2の駆動面との摺動を安定させることができ、小型であり、ロータ5を駆動する速度領域に関わらず異音の発生がなく、起動性や駆動効率のよい振動アクチュエータを提供することができる。
また、実施例1の振動アクチュエータ100は、弾性体2が組立ばらつきや寸法不良等によって、出力軸13に対して垂直に固定されていない場合や、温度変化等により弾性体2の駆動面が傾く場合等に対しても、同様の効果が得られる。
Accordingly, by providing the output shaft 13 and the flange ring 11 and the like, the rotor 5 and the output shaft 13 can be relatively swung while rotating together, and the sliding surface of the rotor 5 and the elastic body 2 can be rotated. It is possible to provide a vibration actuator that can stabilize sliding with the drive surface, is small in size, does not generate abnormal noise regardless of the speed region in which the rotor 5 is driven, and has good startability and drive efficiency. .
Further, in the vibration actuator 100 according to the first embodiment, the elastic body 2 is not fixed perpendicularly to the output shaft 13 due to assembly variation, dimension failure, or the like, or the driving surface of the elastic body 2 is inclined due to a temperature change or the like. The same effect can be obtained for cases.

(実施例2)
図3は、本発明による振動アクチュエータの実施例2を模式的に示す断面図である。
実施例2の振動アクチュエータ200は、出力軸14の形状が、実施例1の振動アクチュエータ100と相違する。よって、図1に示した実施例1の振動アクチュエータ100と略同様な機能を果たす部分には、同一の符号を付して、重複する説明を適宜省略する。
(Example 2)
FIG. 3 is a sectional view schematically showing a second embodiment of the vibration actuator according to the present invention.
The vibration actuator 200 of the second embodiment is different from the vibration actuator 100 of the first embodiment in the shape of the output shaft 14. Therefore, parts having substantially the same functions as those of the vibration actuator 100 according to the first embodiment shown in FIG.

出力軸14は、樹脂により形成された略円筒形状の部材であり、一方の端部は、フランジ部14a、嵌合部14b、逃げ部14cを有し、他方の端部は、不図示のギアに接合されている。
フランジ部14aは、出力軸14の端部に設けられ、略円盤状であり、加圧部9の加圧方向において、出力軸14に対するロータ5の位置を規制している。このフランジ部14aとロータ5との間には、緩衝部材10が設けられている。
嵌合部14bは、フランジ部14aと後述する逃げ部14cとの間に設けられ、ロータ5の貫通孔部5aの内壁の一部と嵌合する部分である。
逃げ部14cは、貫通孔部5aの内壁と接しないようにその外形を十分小さく設けられた部分である。
The output shaft 14 is a substantially cylindrical member formed of resin. One end portion has a flange portion 14a, a fitting portion 14b, and a relief portion 14c, and the other end portion is a gear (not shown). It is joined to.
The flange portion 14 a is provided at the end of the output shaft 14 and has a substantially disk shape, and restricts the position of the rotor 5 with respect to the output shaft 14 in the pressurizing direction of the pressurizing unit 9. A buffer member 10 is provided between the flange portion 14 a and the rotor 5.
The fitting portion 14 b is a portion that is provided between the flange portion 14 a and a later-described escape portion 14 c and is fitted to a part of the inner wall of the through hole portion 5 a of the rotor 5.
The escape portion 14c is a portion provided with a sufficiently small outer shape so as not to contact the inner wall of the through-hole portion 5a.

出力軸14とロータ5とは、図3に示すように、嵌合部14bと貫通孔部5aのフランジ部14a側の端部の内壁とでのみ嵌合しており、嵌合部14bよりベアリング側には逃げ部14cが設けられており、貫通孔部5aの内壁とは接していない。   As shown in FIG. 3, the output shaft 14 and the rotor 5 are fitted only on the fitting portion 14b and the inner wall of the end portion on the flange portion 14a side of the through-hole portion 5a. An escape portion 14c is provided on the side, and is not in contact with the inner wall of the through-hole portion 5a.

このような出力軸14とすることにより、嵌合部14bがロータ5の回転運動の径方向のロータ5の動きを規制する点と、フランジ部14aがロータ5の回転中心線方向のロータ5の動きを規制する点とが近くなるので、出力軸14とロータ5とは、ともに回転して駆動力を伝達しながら、より自由度を持つことができる。
また、出力軸14は、嵌合部14b、逃げ部14cを有しているので、出力軸14がロータ5に対して傾く等、ロータ5の回転中心線が出力軸14の回転中心線と角度をなした場合にも、嵌合部14b以外の部分がロータ5の貫通孔部5aの内壁に当接することがない。従って、ロータ5は、その駆動面を弾性体2の駆動面に対して角度をなすことなく、安定して摺動できる。
By adopting such an output shaft 14, the fitting portion 14 b regulates the movement of the rotor 5 in the radial direction of the rotational movement of the rotor 5, and the flange portion 14 a is arranged in the rotation center line direction of the rotor 5. Since the point where the movement is restricted is close, the output shaft 14 and the rotor 5 can have more degrees of freedom while rotating together to transmit the driving force.
Further, since the output shaft 14 has the fitting portion 14 b and the escape portion 14 c, the rotation center line of the rotor 5 is at an angle with the rotation center line of the output shaft 14 such that the output shaft 14 is inclined with respect to the rotor 5. Even in this case, portions other than the fitting portion 14b do not contact the inner wall of the through hole portion 5a of the rotor 5. Therefore, the rotor 5 can slide stably without making an angle of the drive surface with respect to the drive surface of the elastic body 2.

よって、本実施例によれば、実施例1の振動アクチュエータ200と略同様に、ロータ5と出力軸14とがともに回転しながら相対的に揺動可能であり、起動性や駆動効率のよい、異音の発生しない振動アクチュエータを提供することができる。
また、実施例2の振動アクチュエータ200は、実施例1の振動アクチュエータ100に比べて部品数が少ないので、製造工程を簡素化でき、生産コストを抑えることができる。
以上、上述の実施例によれば、以下の効果を奏することができる。
Therefore, according to the present embodiment, substantially the same as the vibration actuator 200 of the first embodiment, the rotor 5 and the output shaft 14 can be relatively swung while rotating together, and startability and driving efficiency are good. A vibration actuator that does not generate abnormal noise can be provided.
Further, since the vibration actuator 200 of the second embodiment has fewer parts than the vibration actuator 100 of the first embodiment, the manufacturing process can be simplified and the production cost can be reduced.
As mentioned above, according to the above-mentioned Example, there can exist the following effects.

実施例1及び2によれば、出力軸13とロータ5とは、出力軸13の回転中心線とロータ5回転中心線とが所定の範囲内の角度で、相対的に揺動しながら回転可能なように自由度を有して設けられている。従って、出力軸13にその回転中心線方向以外の外力が加わり、出力軸13の回転中心線がロータ5と角度をなす場合にも、ロータ5の摺動面は、振動体1との駆動面と角度なすことなく安定して摺動するので、起動性や駆動効率が向上し、異音の発生を低減できる。また、振動体1が、組立ばらつきや寸法不良等の理由により、出力軸13に対して垂直に固定されていない場合や、温度変化により振動体1の駆動面が傾いた場合等にも、振動体1の駆動面とロータ5との摺動面が安定して摺動し、起動性や駆動効率のよい、異音の発生が低減できる。
実施例1によれば、フランジリング部11は、出力軸13に嵌合し、出力軸13の回転中心線方向に移動可能であり、出力軸13とともに回転運動し、規制部材12は、加圧部9の加圧方向において、出力軸13に対するフランジリング部11及びロータ5の位置を規制する。このような構造とすることにより、出力軸13にその回転中心線方向以外の外力がかかる等により、出力軸13の回転中心線が、ロータ5の回転中心線と角度をなし、振動体1の駆動面に対して垂直でない場合にも、フランジリング部11は、出力軸13とは別部材であるので、出力軸13の傾きに追従して傾き難く、振動体1の駆動面とロータ5の摺動面との摺動を安定させることができる。
実施例1によれば、規制部材12は、出力軸13に設けられた溝部に嵌まるEリング12であるので、汎用の部材を使用することができ、生産コストを抑えることができる。
実施例1によれば、緩衝部材10は、フランジリング部11とロータ5との間に設けられ、ロータ5の回転中心線方向の振動を吸収するので、駆動時に、ロータ5がその回転中心線方向に振動することにより発生する異音を低減でき、かつ、ロータ5の回転運動を安定させ、駆動効率を向上できる。
実施例2によれば、出力軸13は、ロータ5の貫通孔部5aの内壁の一部に嵌合する嵌合部14bと、貫通孔部5aの内壁と接しないように外形寸法が小さく設けられた逃げ部14cと、出力軸13の端部に設けられ、加圧部9の加圧方向において、出力軸13に対するロータ5の位置を規制するフランジ部14aとを有する。このような構造とすることにより、出力軸13の回転中心線とロータ5の回転中心線とが角度をなすときに、出力軸13がロータ5の貫通孔部5aの内壁に当接してロータ5を傾けることがない。従って、振動体1の駆動面とロータ5の摺動面とが安定して摺動し、起動性や駆動効率を向上でき、異音の発生を低減できる。
実施例2によれば、嵌合部14bは、フランジ部14aと逃げ部14cとの間に設けられ、貫通孔部5aのフランジ部14a寄りの内壁と嵌合するので、出力軸13の回転中心線とロータ5の回転中心線とが角度をなす場合に、嵌合部14bがロータ5の傾きを規制する点と、フランジ部14aがロータ5の傾きを規制する点とが近くなる。従って、出力軸13とロータ5とは、駆動力を伝達しつつ、より自由度を持った構造とすることができる。
実施例2によれば、緩衝部材10は、フランジ部14aと相対運度部材との間に設けられ、ロータ5の回転中心線方向の振動を吸収するので、ロータ5の回転中心線方向の振動により発生する異音を防止し、かつ、ロータ5の回転運動を安定させ、駆動効率を向上できる。
According to the first and second embodiments, the output shaft 13 and the rotor 5 can rotate while relatively swinging at an angle within a predetermined range between the rotation center line of the output shaft 13 and the rotation center line of the rotor 5. Thus, it is provided with a degree of freedom. Therefore, even when an external force other than the rotation center line direction is applied to the output shaft 13 and the rotation center line of the output shaft 13 forms an angle with the rotor 5, the sliding surface of the rotor 5 is the driving surface with the vibrating body 1. Therefore, the startability and driving efficiency are improved, and the generation of abnormal noise can be reduced. The vibration body 1 is also vibrated when it is not fixed perpendicularly to the output shaft 13 due to assembly variation or dimension failure, or when the driving surface of the vibration body 1 is inclined due to a temperature change. The sliding surface between the driving surface of the body 1 and the rotor 5 slides stably, and generation of abnormal noise with good startability and driving efficiency can be reduced.
According to the first embodiment, the flange ring portion 11 is fitted to the output shaft 13, is movable in the direction of the rotation center line of the output shaft 13, rotates with the output shaft 13, and the regulating member 12 is pressurized. In the pressurizing direction of the portion 9, the positions of the flange ring portion 11 and the rotor 5 with respect to the output shaft 13 are restricted. With such a structure, the rotation center line of the output shaft 13 forms an angle with the rotation center line of the rotor 5 due to an external force applied to the output shaft 13 other than the rotation center line direction. Even when not perpendicular to the drive surface, the flange ring portion 11 is a separate member from the output shaft 13, so that it is difficult to follow the inclination of the output shaft 13, and the drive surface of the vibrating body 1 and the rotor 5 Sliding with the sliding surface can be stabilized.
According to the first embodiment, since the regulating member 12 is the E ring 12 that fits into the groove provided in the output shaft 13, a general-purpose member can be used, and the production cost can be suppressed.
According to the first embodiment, the buffer member 10 is provided between the flange ring portion 11 and the rotor 5 and absorbs vibration in the direction of the rotation center line of the rotor 5. Abnormal noise generated by vibrating in the direction can be reduced, the rotational motion of the rotor 5 can be stabilized, and driving efficiency can be improved.
According to the second embodiment, the output shaft 13 is provided with a small outer dimension so as not to come into contact with the fitting portion 14b fitted to a part of the inner wall of the through hole portion 5a of the rotor 5 and the inner wall of the through hole portion 5a. And a flange portion 14a that is provided at an end portion of the output shaft 13 and regulates the position of the rotor 5 with respect to the output shaft 13 in the pressurizing direction of the pressurizing portion 9. With such a structure, when the rotation center line of the output shaft 13 and the rotation center line of the rotor 5 form an angle, the output shaft 13 abuts against the inner wall of the through-hole portion 5a of the rotor 5 and the rotor 5 Never tilt. Therefore, the driving surface of the vibrating body 1 and the sliding surface of the rotor 5 slide stably, the startability and driving efficiency can be improved, and the occurrence of abnormal noise can be reduced.
According to the second embodiment, the fitting portion 14b is provided between the flange portion 14a and the relief portion 14c and is fitted to the inner wall of the through hole portion 5a near the flange portion 14a. When the line and the rotation center line of the rotor 5 form an angle, the point at which the fitting portion 14 b regulates the inclination of the rotor 5 and the point at which the flange portion 14 a regulates the inclination of the rotor 5 are close. Therefore, the output shaft 13 and the rotor 5 can be configured to have more flexibility while transmitting the driving force.
According to the second embodiment, the buffer member 10 is provided between the flange portion 14a and the relative mobility member and absorbs vibration in the rotation center line direction of the rotor 5, so that vibration in the rotation center line direction of the rotor 5 occurs. Therefore, it is possible to prevent abnormal noises generated by the above-mentioned operation, stabilize the rotational movement of the rotor 5 and improve the driving efficiency.

(変形例)
以上説明した実施例に限定されることなく、種々の変形や変更が可能であって、それらも本発明の技術的範囲内である。
(1)各実施例において、出力軸13,14は樹脂により形成される例を示したが、これに限らず、例えば、金属等により形成してもよいし、特に限定しない。
(Modification)
Without being limited to the embodiments described above, various modifications and changes are possible, and these are also within the technical scope of the present invention.
(1) In each of the embodiments, the output shafts 13 and 14 are formed of resin. However, the present invention is not limited to this. For example, the output shafts 13 and 14 may be formed of metal or the like.

(2)実施例1において、出力軸13は、フランジリング11、Eリング12を有する例を示し、実施例2において、出力軸14は、フランジ部14a、嵌合部14b、逃げ部14cを有する例を示したが、これらを適宜組み合わせて実施してもよい。 (2) In the first embodiment, the output shaft 13 shows an example having the flange ring 11 and the E ring 12, and in the second embodiment, the output shaft 14 has the flange portion 14a, the fitting portion 14b, and the escape portion 14c. Although examples have been shown, these may be implemented in appropriate combinations.

(3)実施例2において、出力軸14は、樹脂により一体成形された部材である例を示したが、これに限らず、例えば、フランジ部を、出力軸とは別体としてもよい。 (3) In the second embodiment, the output shaft 14 is an example of a member integrally formed of resin. However, the present invention is not limited to this. For example, the flange portion may be separated from the output shaft.

1:振動体、2:弾性体、3:圧電体、5:ロータ、5a:貫通孔部、8,13,14:出力軸、9:加圧部、10:緩衝部材、11:フランジリング、12:Eリング、14a:フランジ部、14b:嵌合部、14c:逃げ部、100,200,300:振動アクチュエータ   1: vibrating body, 2: elastic body, 3: piezoelectric body, 5: rotor, 5a: through-hole portion, 8, 13, 14: output shaft, 9: pressurizing portion, 10: buffer member, 11: flange ring, 12: E ring, 14a: flange part, 14b: fitting part, 14c: relief part, 100, 200, 300: vibration actuator

Claims (7)

駆動信号により励振され、駆動面に振動波を生じる振動体と、
貫通孔部を有し、前記駆動面に加圧接触され、前記振動波により前記貫通孔部を中心として回転駆動される相対運動部材と、
前記振動体と前記相対運動部材とを加圧接触させる加圧部と、
前記貫通孔部の少なくとも一部と嵌合し、前記相対運動部材とともに回転運動することにより、前記相対運動部材の回転運動を取り出す出力取り出し部材と、
前記出力取り出し部材に嵌合し、前記出力取り出し部材の回転中心線方向に移動可能であり、前記出力取り出し部材とともに回転運動するフランジリング部と、
を備えた振動アクチュエータにおいて、
前記出力取り出し部材と前記相対運動部材とは、前記出力取り出し部材の回転中心線と前記相対運動部材の回転中心線とが所定の範囲内の角度で、相対的に揺動しながら回転可能なように自由度を有して設けられていること、
を特徴とする振動アクチュエータ。
A vibrator that is excited by a drive signal and generates a vibration wave on the drive surface;
A relative motion member having a through-hole portion, in pressure contact with the drive surface, and driven to rotate about the through-hole portion by the vibration wave;
A pressurizing unit that pressurizes and contacts the vibrating body and the relative motion member;
An output taking-out member that fits at least a part of the through-hole portion and rotates with the relative motion member to extract the rotational motion of the relative motion member;
A flange ring part that fits into the output take-out member and is movable in the direction of the rotation center line of the output take-out member, and rotates with the output take-out member;
In a vibration actuator with
The output take-out member and the relative motion member can be rotated while relatively swinging at an angle within a predetermined range between the rotation center line of the output take-out member and the rotation center line of the relative motion member. Is provided with a degree of freedom,
Vibration actuator characterized by
請求項1に記載の振動アクチュエータにおいて、
前記加圧部による加圧方向において、前記出力取り出し部材に対する前記フランジリング部及び前記相対運動部材の位置を規制する規制部材を備えること、
を特徴とする振動アクチュエータ。
The vibration actuator according to claim 1,
A regulating member that regulates a position of the flange ring portion and the relative motion member with respect to the output extraction member in a pressing direction by the pressing portion;
Vibration actuator characterized by
請求項2に記載の振動アクチュエータにおいて、
前記規制部材は、前記出力取り出し部材に設けられた溝部に嵌まる止め輪であること、
を特徴とする振動アクチュエータ。
The vibration actuator according to claim 2,
The regulating member is a retaining ring that fits into a groove provided in the output take-out member;
Vibration actuator characterized by
請求項2又は請求項3に記載の振動アクチュエータにおいて、
前記フランジリング部と前記相対運動部材との間に設けられ、前記相対運動部材の回転中心線方向の振動を吸収する緩衝部材を備えること、
を特徴とする振動アクチュエータ。
The vibration actuator according to claim 2 or 3,
A buffer member provided between the flange ring portion and the relative motion member and absorbing vibrations in a rotation center line direction of the relative motion member;
Vibration actuator characterized by
請求項1から請求項4のいずれかに記載の振動アクチュエータにおいて、
前記振動体は、1つのベアリングを介して前記出力取り出し部材に回転可能に取り付けられていること、
を特徴とする振動アクチュエータ。
The vibration actuator according to any one of claims 1 to 4,
The vibrating body is rotatably attached to the output take-out member via one bearing;
Vibration actuator characterized by
請求項5に記載の振動アクチュエータにおいて、
前記加圧部による加圧方向において、前記相対移動部材と前記ベアリングとの間に前記振動体が配置されていること、
を特徴とする振動アクチュエータ。
The vibration actuator according to claim 5, wherein
The vibrating body is disposed between the relative movement member and the bearing in a pressing direction by the pressing unit;
Vibration actuator characterized by
請求項1から請求項6のいずれかに記載の振動アクチュエータにおいて、
前記加圧部による加圧方向において、前記相対運動部材と前記加圧部との間に前記振動体が配置されていること、
を特徴とする振動アクチュエータ。
The vibration actuator according to any one of claims 1 to 6,
The vibrating body is disposed between the relative motion member and the pressurizing unit in a pressurizing direction by the pressurizing unit;
Vibration actuator characterized by
JP2011120191A 2011-05-30 2011-05-30 Vibration actuator Pending JP2011167067A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2011120191A JP2011167067A (en) 2011-05-30 2011-05-30 Vibration actuator

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2011120191A JP2011167067A (en) 2011-05-30 2011-05-30 Vibration actuator

Related Parent Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2005155782A Division JP4784154B2 (en) 2005-05-26 2005-05-27 Vibration actuator

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2011167067A true JP2011167067A (en) 2011-08-25

Family

ID=44597031

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2011120191A Pending JP2011167067A (en) 2011-05-30 2011-05-30 Vibration actuator

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2011167067A (en)

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02269481A (en) * 1989-02-28 1990-11-02 Sony Corp Ultrasonic motor
JPH06121555A (en) * 1992-10-06 1994-04-28 Matsushita Electric Ind Co Ltd Ultrasonic motor
JPH06121554A (en) * 1992-10-06 1994-04-28 Matsushita Electric Ind Co Ltd Ultrasonic motor

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02269481A (en) * 1989-02-28 1990-11-02 Sony Corp Ultrasonic motor
JPH06121555A (en) * 1992-10-06 1994-04-28 Matsushita Electric Ind Co Ltd Ultrasonic motor
JPH06121554A (en) * 1992-10-06 1994-04-28 Matsushita Electric Ind Co Ltd Ultrasonic motor

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US9417424B2 (en) Vibration actuator, lens barrel, and camera
US20060267454A1 (en) Vibrational actuator and method for driving vibrational actuator
JP5262170B2 (en) Lens barrel, camera
JP4882279B2 (en) Vibration wave motor
JP5459192B2 (en) Vibration wave motor, lens barrel and camera
JP5932402B2 (en) Vibration wave drive
JP4784154B2 (en) Vibration actuator
JP7195900B2 (en) Vibration wave motor and electronic equipment having the same
JP5326325B2 (en) Vibration actuator, lens barrel, optical equipment
JP2011167067A (en) Vibration actuator
JP5049523B2 (en) Vibration wave drive
US8531086B2 (en) Vibration actuator, lens barrel, and camera
JP5541281B2 (en) Vibration actuator, lens barrel and camera
JP2011010539A (en) Vibration actuator and electric device
JP4844135B2 (en) Vibration actuator device, lens barrel and camera system
JP4630676B2 (en) Drive device
JP2006197697A (en) Drive unit
JPH09201081A (en) Apparatus and method for driving by using vibrating actuator
JP2002357760A (en) Lens driving device for camera
JP5573121B2 (en) Vibration actuator, lens barrel and camera
JP2006280175A (en) Vibration actuator
JP2005287246A (en) Oscillator and oscillation wave motor
JP2013179734A (en) Vibration actuator
WO2013129573A1 (en) Vibration actuator and lens barrel
JP2007097266A (en) Vibrating actuator

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20110530

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20121204

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20121205

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20130204

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20130716