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JP2011155161A - Method of manufacturing heat sink - Google Patents

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JP2011155161A JP2010016131A JP2010016131A JP2011155161A JP 2011155161 A JP2011155161 A JP 2011155161A JP 2010016131 A JP2010016131 A JP 2010016131A JP 2010016131 A JP2010016131 A JP 2010016131A JP 2011155161 A JP2011155161 A JP 2011155161A
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base plate
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Hiroki Yamada
太起 山田
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SAE Magnetics HK Ltd
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SAE Magnetics HK Ltd
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method of manufacturing a heat sink excelling in work efficiency, low in manufacturing cost, and capable of reducing the size by reducing an interval between fins. <P>SOLUTION: This method of manufacturing a heat sink includes processes of: forming a laminated body 3 by laminating a plurality of flat plates 2a each having an adhesive 4 applied to one-side surface, and integrating them together by solidifying the adhesive 4; respectively mounting end faces of the respective flat plates 2a on a flat base plate 1 to fix the laminated body 3 on the base plate 1; and dissolving the adhesive 4 to be removed from among the flat plates 2a. The process of fixing the laminated body 3 on the base plate 1 may be a process of dividing the laminated body 3 into a plurality of small blocks 3' and thereafter fixing the small blocks 3' on the base plate 1. <P>COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT

Description

本発明は電気部品、電子部品、機械部品等に取り付けられるヒートシンクの製造方法に関する。   The present invention relates to a method of manufacturing a heat sink attached to an electrical component, an electronic component, a mechanical component, or the like.

ヒートシンクは、電気部品、電子部品、機械部品等に取り付けられて、熱を放散させることによって各部品を冷却させるものである。このヒートシンクは、熱伝導性の高い物質、例えば、アルミニウムや銅などの金属やAlN(窒化アルミニウム)などの熱伝導性の高いセラミックからなり、放熱面積、すなわち表面積が大きくなるように設計されている。一例としては、ヒートシンクは、大きな放熱面積を確保するために、フィンと呼ばれる突起物を備えた構造を有している。このフィンを有する構造を実現するために、ヒートシンクは、主に、押し出し法、かしめ法、切削法、鋳造法、圧延法、プレス法などを用いて製造されている。   The heat sink is attached to an electrical component, an electronic component, a mechanical component, etc., and cools each component by dissipating heat. This heat sink is made of a material having a high thermal conductivity, for example, a metal such as aluminum or copper, or a ceramic having a high thermal conductivity such as AlN (aluminum nitride), and is designed to have a large heat radiation area, that is, a surface area. . As an example, the heat sink has a structure including protrusions called fins in order to secure a large heat radiation area. In order to realize the structure having the fins, the heat sink is mainly manufactured using an extrusion method, a caulking method, a cutting method, a casting method, a rolling method, a pressing method, or the like.

押し出し法は、コンテナ内に入れた素材の周囲に圧縮力を作用させ、ダイス穴を通して所望形状の製品を得る方法であり、アルミや鉛などの柔らかい材料を用いる場合に特に適している(非特許文献1参照)。   The extrusion method is a method of obtaining a product with a desired shape through a die hole by applying a compressive force around the material placed in the container, and is particularly suitable when using a soft material such as aluminum or lead (non-patent Reference 1).

かしめ法は、ベース板に、別途形成されたフィンを圧着して固定させる方法である。   The caulking method is a method in which a separately formed fin is crimped and fixed to a base plate.

切削法は、ブロック状の材料に、刃によって切り溝を入れることにより、フィンを作成する方法である。特に押し出し法やかしめ法を実施できないセラミック材料を用いる場合に適している。   The cutting method is a method of creating fins by making a groove into a block-shaped material with a blade. It is particularly suitable when using a ceramic material that cannot be subjected to extrusion or caulking.

特許文献1には、鋳造法、圧延法、プレス法を用いてヒートシンクを製造する方法が例示されている。具体的には、特許文献1のヒートシンクは、複数の放熱板(フィン)が支柱によって互いに間隔をおいて平行に保持された形状であり、鋳造法の場合には、1対の分割鋳型を合わせてそのキャビティ内に溶湯を注入して、支柱と放熱板を一体形成する。一方、圧延法またはプレス法は個々の放熱板を形成するために用いられ、各放熱板にそれぞれ形成された孔に支柱を挿入し、接着剤を用いて固定することによってヒートシンクを製造する。   Patent Document 1 exemplifies a method of manufacturing a heat sink using a casting method, a rolling method, and a pressing method. Specifically, the heat sink of Patent Document 1 has a shape in which a plurality of heat radiating plates (fins) are held parallel to each other by support columns, and in the case of casting, a pair of divided molds are combined. The molten metal is injected into the cavity to integrally form the support and the heat sink. On the other hand, a rolling method or a pressing method is used to form individual heat sinks, and a heat sink is manufactured by inserting a support column into a hole formed in each heat sink and fixing it with an adhesive.

特開平11−340383号公報Japanese Patent Laid-Open No. 11-340383

「押出加工」、日本金属学会編「金属便覧」第1160頁、平成2年3月31日発行"Extrusion", edited by the Japan Institute of Metals, "Metal Handbook", page 1160, published on March 31, 1990

前記した従来例のうち、押し出し法を用いてヒートシンクを製造する方法では、使用可能な材料が比較的柔らかい材料に限定されており、現状では、ヒートシンク用材料としては、アルミニウムが主に使用される。しかし、この押し出し法では、フィン同士の間隔を狭くすることに限界があり、現在では10mm程度が限界である。放熱面積はフィンの数が多いほど広く、このフィン同士の間隔の限界は放熱面積の限界となる。また、アルミニウムは、比較的高い熱伝導性を持つ材料であるが、銅に比べると半分程度の熱伝導性しか有していない。一方、熱伝導性の高い銅は展延性が足りないため、銅を用いて押し出し法を実施するのは困難である。   Among the conventional examples described above, in the method of manufacturing a heat sink using the extrusion method, usable materials are limited to relatively soft materials, and at present, aluminum is mainly used as a heat sink material. . However, with this extrusion method, there is a limit to narrowing the gap between the fins, and currently about 10 mm is the limit. The heat radiation area is wider as the number of fins is larger, and the limit of the distance between the fins is the limit of the heat radiation area. Aluminum is a material having relatively high thermal conductivity, but has only about half the thermal conductivity of copper. On the other hand, copper having high thermal conductivity is insufficient in spreadability, so it is difficult to carry out the extrusion method using copper.

かしめ法によると、押し出し法に比べてフィン同士の間隔を狭くでき、4mm程度の間隔が実現可能である。しかし、これ以上間隔を小さくすることは困難である。また、フィンを1枚ずつかしめる作業が必要であり、押し出し法に比べて作業が煩雑で効率が悪く製造コストが高い。   According to the caulking method, the interval between the fins can be narrowed compared to the extrusion method, and an interval of about 4 mm can be realized. However, it is difficult to reduce the interval further. Further, the work of caulking the fins one by one is necessary, and the work is complicated, inefficient and low in manufacturing cost as compared with the extrusion method.

切削法では、AlNのように、Siと熱膨張係数が近く、熱伝導率の高い材料が用いられる。これは、ヒートシンクと、主にSiからなる半導体の熱膨張が同じであれば、ヒートシンクを半導体に直接接触しても、膨張の差によるクラックが半導体に発生しないからである。この切削法は、押し出し法やかしめ法を実施することが困難な場合に特に有効な方法であるが、切削部分は廃棄することになるので、材料コストが高く、フィンの厚さ(>5mm)と間隔(5mm)に限界があるという問題がある。   In the cutting method, a material having a thermal expansion coefficient close to that of Si, such as AlN, is used. This is because if the heat expansion of the heat sink and the semiconductor mainly made of Si are the same, even if the heat sink is in direct contact with the semiconductor, cracks due to the difference in expansion do not occur in the semiconductor. This cutting method is particularly effective when it is difficult to carry out the extrusion method or the caulking method. However, since the cutting portion is discarded, the material cost is high, and the thickness of the fin (> 5 mm). There is a problem that the distance (5 mm) is limited.

特許文献1に例示されている鋳造法は、使用可能な材料の制約が大きい。また、圧延法やプレス法を用いる場合には、かしめ法と同様に、孔と接着剤を用いて支柱にフィンを1枚ずつ取り付ける煩雑な作業が必要であり、作業効率が悪く製造コストが高い。   The casting method exemplified in Patent Document 1 has a great limitation on usable materials. In addition, when using a rolling method or a pressing method, as in the caulking method, a complicated operation of attaching the fins one by one to the support using holes and an adhesive is necessary, resulting in poor work efficiency and high manufacturing cost. .

そこで本発明の目的は、作業効率が良くかつ製造コストが低く、フィン同士の間隔を小さくすることにより小型化が可能なヒートシンクの製造方法を提供することにある。   SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a method of manufacturing a heat sink that has good working efficiency and low manufacturing cost and can be miniaturized by reducing the interval between fins.

本発明のヒートシンクの製造方法は、一方の面に接着剤が塗布された平板を複数枚積層して、接着剤を固化させることにより一体化して積層体を形成する工程と、平坦なベース板上に各平板の端面をそれぞれ載置して、積層体をベース板上に固着する工程と、接着剤を溶解させて平板同士の間から除去する工程と、を含む。   The method of manufacturing a heat sink according to the present invention includes a step of laminating a plurality of flat plates each coated with an adhesive on one surface and solidifying the adhesive to form a laminated body, and a flat base plate And a step of fixing the laminated body on the base plate and a step of dissolving the adhesive and removing it from between the flat plates.

積層体をベース板上に固着する工程は、積層体を複数の小ブロックに分割してから、小ブロックをベース板上に固着する工程であってもよい。   The step of fixing the laminate on the base plate may be a step of fixing the small block on the base plate after dividing the laminate into a plurality of small blocks.

本発明のもう1つのヒートシンクの製造方法は、一方の面に接着剤が塗布された平板を巻回して巻回体を形成する工程と、平坦なベース板上に平板の端面を載置して、巻回体をベース板上に固着する工程と、接着剤を溶解させて平板同士の間から除去する工程と、を含む。   Another heat sink manufacturing method of the present invention includes a step of winding a flat plate coated with an adhesive on one surface to form a wound body, and placing an end surface of the flat plate on a flat base plate. And a step of fixing the wound body on the base plate and a step of dissolving the adhesive and removing it from between the flat plates.

巻回体をベース板上に固着する工程は、巻回体を長手方向に直交する方向に切断して切り出したコイル体をベース板上に固着する工程であってもよい。   The step of fixing the wound body on the base plate may be a step of fixing the coil body cut by cutting the wound body in a direction perpendicular to the longitudinal direction on the base plate.

本発明によると、ヒートシンクにおいて非常に小さな間隔で複数のフィンを配置することができるため、同じ大きさのヒートシンクにおいてより多くのフィンを有する構成にすることができる。そして、同程度の放熱効果を有するヒートシンクを従来よりも小型化することができる。さらに、多数のフィンを有するヒートシンクを高い作業効率かつ低コストで容易に製造することができる。   According to the present invention, since a plurality of fins can be arranged at very small intervals in the heat sink, it is possible to have a configuration having more fins in the same size heat sink. And the heat sink which has a comparable heat dissipation effect can be reduced in size compared with the past. Furthermore, a heat sink having a large number of fins can be easily manufactured with high work efficiency and low cost.

本発明の第1の実施形態によって製造されたヒートシンクを示す概略図である。It is the schematic which shows the heat sink manufactured by the 1st Embodiment of this invention. 図1に示すヒートシンクの製造方法を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the manufacturing method of the heat sink shown in FIG. 図2に示すヒートシンクの製造方法に用いられる、一方の面に接着剤が塗布された平板を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the flat plate by which the adhesive agent was apply | coated to one side used for the manufacturing method of the heat sink shown in FIG. 図3に示す平板が積層された積層体を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the laminated body on which the flat plate shown in FIG. 3 was laminated | stacked. 図4に示す積層体を分割する工程を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the process of dividing the laminated body shown in FIG. 図4に示す積層体から分割された小ブロックをベース板に固着した状態を示す正面図である。It is a front view which shows the state which fixed the small block divided | segmented from the laminated body shown in FIG. 4 to the base board. 図6に示す小ブロックを有機溶剤中に浸漬する工程を示す正面図である。It is a front view which shows the process of immersing the small block shown in FIG. 6 in the organic solvent. 本発明の第2の実施形態のヒートシンクの製造方法を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the manufacturing method of the heat sink of the 2nd Embodiment of this invention. 本発明の第2の実施形態によって製造されたヒートシンクを示す概略図であり、(a)は斜視図、(b)は断面図である。It is the schematic which shows the heat sink manufactured by the 2nd Embodiment of this invention, (a) is a perspective view, (b) is sectional drawing. 図8に示すヒートシンクの製造方法に用いられる、一方の面に接着剤が塗布された長尺の平板を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the elongate flat plate with which the adhesive agent was apply | coated to one surface used for the manufacturing method of the heat sink shown in FIG. 図10に示す平板が巻回された巻回体を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the wound body by which the flat plate shown in FIG. 10 was wound. (a)は図11に示す巻回体を切断する工程を示す斜視図、(b)は切り出されたコイル体を示す平面図である。(A) is a perspective view which shows the process of cut | disconnecting the winding body shown in FIG. 11, (b) is a top view which shows the cut-out coil body. 図12(b)に示すコイル体を研磨する工程を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the process of grind | polishing the coil body shown in FIG.12 (b). (a)は図13に示す研磨されたコイル体をベース板に固着した状態を示す正面図、(b)はその断面図である。(A) is a front view which shows the state which adhered the ground | polished coil body shown in FIG. 13 to the base board, (b) is the sectional drawing. (a)は図14に示すコイル体を有機溶剤中に浸漬する工程を示す正面図、(b)はその断面図である。(A) is a front view which shows the process of immersing the coil body shown in FIG. 14 in the organic solvent, (b) is the sectional drawing.

以下、本発明の実施の形態について、図面を参照して説明する。   Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

本発明によって製造されたヒートシンクは、電子部品、電気部品、機械部品等に取り付けられ、各部品から伝達された熱を外部に放散することによって、各部品を冷却するものである。具体的には、図1に示すように、平坦な(平板状の)ベース板1の一方の面に、実質的に垂直に起立する複数のフィン2が平行に並んで固定された構成である。このヒートシンクのフィン2同士の間隔は、従来に比べて非常に小さく、例えば1mmである。   The heat sink manufactured by the present invention is attached to an electronic component, an electrical component, a mechanical component, and the like, and cools each component by dissipating heat transferred from each component to the outside. Specifically, as shown in FIG. 1, a plurality of fins 2 erected substantially vertically are fixed in parallel on one surface of a flat (planar) base plate 1. . The distance between the fins 2 of this heat sink is very small compared to the conventional case, for example, 1 mm.

本発明によるヒートシンクの製造方法について、図2に示すフローチャートを参照して説明する。まず、図3に示すように、ヒートシンクのフィン2の材料となる平板2aを用意する。この平板2aは、銅やアルミニウムなどの伝熱性の高い金属や、窒化アルミニウム(AlN)などの伝熱性の高いセラミックである。図4に示すように、製造するヒートシンク(図1参照)のフィン2の数と同じ数だけ平板2aを用意して、それらを積層してブロック状の積層体3を形成する(ステップS1)。例えば、一方の面に接着剤4が塗布された平板2aを必要な枚数だけ積層して、一定の圧力を加えつつ接着剤4を固化させることにより一体化する。接着剤4は、後述する有機溶剤5に溶けるものであって、例えば、日本合成化工株式会社のアメックスX−2990A,2990B(商品名)等が用いられる。   The manufacturing method of the heat sink by this invention is demonstrated with reference to the flowchart shown in FIG. First, as shown in FIG. 3, a flat plate 2a as a material for the fins 2 of the heat sink is prepared. The flat plate 2a is a metal having a high heat transfer property such as copper or aluminum, or a ceramic having a high heat transfer property such as aluminum nitride (AlN). As shown in FIG. 4, as many flat plates 2a as the number of fins 2 of a heat sink to be manufactured (see FIG. 1) are prepared and stacked to form a block-shaped laminate 3 (step S1). For example, a necessary number of flat plates 2a coated with the adhesive 4 are stacked on one surface, and the adhesive 4 is solidified while applying a certain pressure to be integrated. The adhesive 4 is soluble in an organic solvent 5 to be described later. For example, Amex X-2990A, 2990B (trade name) manufactured by Nippon Synthetic Chemical Industry Co., Ltd. is used.

具体的には、各平板2aの厚さは製造するヒートシンクの各フィン2の厚さと同じにし、平板2a同士の間隔は製造するヒートシンクのフィン2同士の間隔と同じにする。各平板2aの厚さは数十μmから数mm程度の範囲で、使用環境を考慮して適宜に選択することができる。接着剤4は樹脂などからなり、1μmから10mm程度の層厚を有している。この接着剤4の層厚が、完成後のヒートシンクのフィン2同士の間の間隔となるので、製品の使用環境を考慮して適宜に選択される。図示しないが、接着剤4に、粒径が揃った球状のスペーサ(プラスチック球、セラミック球など)を混入していてもよく、その場合、スペーサの粒径が接着剤4の厚さ、すなわちフィン2同士の間隔を精度良く規定する。接着方法は、使用する接着剤4の特性に合わせて、自然固化や加熱固化などの方法を適宜に選択すればよい。なお、接着剤4の固化時に加える圧力は、接着剤4中のスペーサを破壊しない程度の大きさに設定される。   Specifically, the thickness of each flat plate 2a is the same as the thickness of each fin 2 of the heat sink to be manufactured, and the interval between the flat plates 2a is the same as the interval between the fins 2 of the heat sink to be manufactured. The thickness of each flat plate 2a is in the range of about several tens of μm to several mm, and can be appropriately selected in consideration of the use environment. The adhesive 4 is made of resin and has a layer thickness of about 1 μm to 10 mm. Since the layer thickness of the adhesive 4 is the distance between the fins 2 of the heat sink after completion, it is appropriately selected in consideration of the use environment of the product. Although not shown, spherical spacers (plastic sphere, ceramic sphere, etc.) having a uniform particle diameter may be mixed in the adhesive 4, and in this case, the particle diameter of the spacer is the thickness of the adhesive 4, that is, the fins. The interval between the two is accurately defined. As the bonding method, a method such as natural solidification or heat solidification may be appropriately selected according to the characteristics of the adhesive 4 to be used. Note that the pressure applied when the adhesive 4 is solidified is set to a level that does not break the spacers in the adhesive 4.

次に、図5に示すように、積層体3を、製造するヒートシンクのフィン2の平面寸法に合わせて切断する(ステップS2)。切断は、超鋼刃、GC(グリーンカーボン)砥石、ダイヤモンド砥石、ワイヤソー、メタルバンドソーなどのうち、平板2aの材料の特性に適した工具を用いた方法で行われる。図5に示す例では、1つの積層体3を8つに分割するように切断して、8つの小ブロック3’を得ている。   Next, as shown in FIG. 5, the laminated body 3 is cut | disconnected according to the planar dimension of the fin 2 of the heat sink to manufacture (step S2). Cutting is performed by a method using a tool suitable for the characteristics of the material of the flat plate 2a among super steel blades, GC (green carbon) grindstones, diamond grindstones, wire saws, metal band saws, and the like. In the example shown in FIG. 5, one laminated body 3 is cut so as to be divided into eight to obtain eight small blocks 3 ′.

図6に示すように、積層体3を切断して形成された小ブロック3’の各平板2aの端面をベース板1上に載置して固着する(ステップS3)。小ブロック3’のベース板1上への固着は、半田付け、ロウ付け、接着等のうちから、平板2aおよびベース板1の材料の特性に適した方法で行われる。ただし、接着剤4と同じ接着剤を用いて接着することは、後述する有機溶剤5への浸漬時に剥離する可能性が高いため好ましくない。有機溶剤5への浸漬時に剥離する可能性がなく、しかも高い熱伝導性が得られるという点で、半田付けやロウ付けのような金属を用いた固着方法が好ましい。なお、ベース板1は、平板2aと同じ材料からなるものであってよい。ベース板1が平板2aとは異なる材料からなるものである場合であっても、熱伝導性の高い材料からなることが好ましい。   As shown in FIG. 6, the end face of each flat plate 2a of the small block 3 'formed by cutting the laminated body 3 is placed on and fixed to the base plate 1 (step S3). The small block 3 ′ is fixed to the base plate 1 by a method suitable for the characteristics of the material of the flat plate 2 a and the base plate 1 among soldering, brazing, adhesion, and the like. However, bonding with the same adhesive as the adhesive 4 is not preferable because there is a high possibility of peeling when immersed in the organic solvent 5 described later. A fixing method using a metal such as soldering or brazing is preferable in that there is no possibility of peeling when immersed in the organic solvent 5 and high thermal conductivity is obtained. The base plate 1 may be made of the same material as the flat plate 2a. Even when the base plate 1 is made of a material different from that of the flat plate 2a, the base plate 1 is preferably made of a material having high thermal conductivity.

図7に示すように、小ブロック3’とベース板1とを固着して一体化したものを有機溶剤5中に浸漬する。このとき、平板2a同士の間に介在している樹脂製の接着剤4を、有機溶剤5によって溶解させて除去する(ステップS4)。その結果、接着剤4が除去されて、ベース板1上に複数のフィン2(平板2a)同士が互いに所定の間隔(接着剤4の層厚に相当)をおいて並んで配置された状態になる。それから、有機溶剤5中から引き上げて乾燥させることによって、図1に示すヒートシンクが完成する(ステップS5)。なお、有機溶剤5としては、接着剤4の材質に合わせて、IPA(イソプロピルアルコール)等のアルコール、アセトン、NMP(N−メチル−ピロリドン)等を用いる。   As shown in FIG. 7, the small block 3 ′ and the base plate 1 fixed and integrated are immersed in an organic solvent 5. At this time, the resin adhesive 4 interposed between the flat plates 2a is dissolved and removed by the organic solvent 5 (step S4). As a result, the adhesive 4 is removed, and the plurality of fins 2 (flat plates 2a) are arranged on the base plate 1 side by side with a predetermined interval (corresponding to the layer thickness of the adhesive 4). Become. Then, the heat sink shown in FIG. 1 is completed by pulling up from the organic solvent 5 and drying it (step S5). As the organic solvent 5, alcohol such as IPA (isopropyl alcohol), acetone, NMP (N-methyl-pyrrolidone) or the like is used according to the material of the adhesive 4.

以上説明した例では、製造するヒートシンクのフィン2の平面形状よりも大きな平板2aを用いて積層体3を形成し、その積層体3を分割して、複数のヒートシンクを製造するための複数の小ブロック3’を作製している。しかし、製造するヒートシンクのフィン2の平面形状と同じ大きさを有する平板2aを用いて積層体3を形成し、その積層体3を分割することなくベース板1に固着して1つのヒートシンクを製造するようにしてもよい。   In the example described above, the laminated body 3 is formed using the flat plate 2a larger than the planar shape of the fin 2 of the heat sink to be manufactured, and the laminated body 3 is divided into a plurality of small pieces for manufacturing a plurality of heat sinks. Block 3 'is produced. However, the laminated body 3 is formed using the flat plate 2a having the same size as the planar shape of the fin 2 of the heat sink to be manufactured, and the laminated body 3 is fixed to the base plate 1 without being divided to manufacture one heat sink. You may make it do.

本発明によると、非常に小さな間隔(例えば1mm未満)で複数のフィン2を配置することができるため、ヒートシンクの大きさが同じである場合には、従来よりも多数のフィンを有する構成にすることができ、放熱効果(冷却効果)を高めることができる。また、同程度の放熱効果を有するヒートシンクを製造する場合には、ヒートシンクを従来よりも小型化することができる。さらに、多数のフィンを有するヒートシンクを製造する際に、個々のフィンを個別にベース板に取り付けるのではなく、一括して固着可能であり、接着剤の除去も一括して行えるので、製造が容易で作業効率が高く、製造コストを低く抑えられる。   According to the present invention, since the plurality of fins 2 can be arranged at a very small interval (for example, less than 1 mm), when the size of the heat sink is the same, a configuration having a larger number of fins than in the past is adopted. The heat dissipation effect (cooling effect) can be enhanced. Moreover, when manufacturing a heat sink having a similar heat dissipation effect, the heat sink can be made smaller than before. In addition, when manufacturing a heat sink with a large number of fins, the individual fins can be fixed together, instead of being individually attached to the base plate, and the adhesive can be removed in a batch, facilitating manufacturing. The work efficiency is high and the manufacturing cost can be kept low.

次に、本発明のヒートシンクの製造方法の第2の実施形態について、図8のフローチャートを参照して説明する。本実施形態では、図9に示すように、平面形状が円形のヒートシンクを製造しており、積層体3を形成する代わりに巻回体6を形成している点で、第1の実施形態と相違する。それ以外の工程は第1の実施形態と実質的に同じであるので、説明を省略する。   Next, a second embodiment of the heat sink manufacturing method of the present invention will be described with reference to the flowchart of FIG. In the present embodiment, as shown in FIG. 9, the heat sink having a circular planar shape is manufactured, and the wound body 6 is formed instead of the stacked body 3. Is different. Since other processes are substantially the same as those in the first embodiment, the description thereof is omitted.

本実施形態では、図10に示すように、一方の面に接着剤4が塗布された長尺の平板2aを用意し、図11に示すように、長尺の平板2aを巻回して巻回体6を形成する(ステップS6)。巻回体6の巻き数(平板2aを巻回する回数)は、製造するヒートシンクのフィン2の数の半分にする。そして、長尺の平板2aは、平板2aをフィン2の数の半分の巻き数だけ巻回することができる長さであって、ベース板1の平面形状と一致する大きさの巻回体6が形成できるような長さに形成されている。   In this embodiment, as shown in FIG. 10, a long flat plate 2a having an adhesive 4 applied on one surface is prepared, and as shown in FIG. 11, the long flat plate 2a is wound and wound. The body 6 is formed (step S6). The number of windings 6 (the number of times the flat plate 2a is wound) is half the number of fins 2 of the heat sink to be manufactured. The long flat plate 2a is long enough to wind the flat plate 2a by the number of turns that is half the number of the fins 2, and has a winding body 6 having a size that matches the planar shape of the base plate 1. Is formed in such a length that can be formed.

それから、図12に示すように、巻回体6を長手方向に直交する方向に輪切り状に切断して、コイル体6’を切り出す(ステップS7)。さらに、必要に応じて、図13に示すように、切り出したコイル体6’を、研磨盤7等を用いて研磨する(ステップS8)。巻回体6を切り出して研磨した後のコイル体6’の高さを、製造するヒートシンクのフィン2の高さに一致させる。ただし、研磨を行わなくても、コイル体6’を所望の高さにすることができ、許容できる表面粗さが得られる場合には、ステップS8は省略可能である。   Then, as shown in FIG. 12, the wound body 6 is cut into a ring shape in a direction perpendicular to the longitudinal direction, and the coil body 6 'is cut out (step S7). Further, as necessary, as shown in FIG. 13, the cut-out coil body 6 'is polished using the polishing board 7 or the like (step S8). The height of the coil body 6 'after cutting out and polishing the wound body 6 is made to coincide with the height of the fin 2 of the heat sink to be manufactured. However, step S8 can be omitted if the coil body 6 'can be brought to a desired height and an acceptable surface roughness can be obtained without polishing.

その後、図14に示すように、コイル体6’の平板の端面2aをベース板1上に載置して固着する(ステップS9)。図15に示すように、コイル体6’とベース板1とを固着して一体化したものを有機溶剤5中に浸漬し、平板2a同士の間に介在している樹脂製の接着剤4を、有機溶剤5によって溶解させて除去する(ステップS10)。そして、有機溶剤5中から引き上げて乾燥させることによって、図9に示すヒートシンクが完成する(ステップS11)。これらのステップS9〜S11は、前記した第1の実施形態のステップS3〜S5と同様の方法で行うことができる。   After that, as shown in FIG. 14, the flat plate end surface 2a of the coil body 6 'is placed on and fixed to the base plate 1 (step S9). As shown in FIG. 15, the coil body 6 ′ and the base plate 1 fixed and integrated are immersed in an organic solvent 5, and the resin adhesive 4 interposed between the flat plates 2 a is used. Then, the organic solvent 5 is dissolved and removed (step S10). And the heat sink shown in FIG. 9 is completed by pulling up from the organic solvent 5 and making it dry (step S11). These steps S9 to S11 can be performed by the same method as steps S3 to S5 of the first embodiment described above.

以上の説明は、平面形状が円形のヒートシンクを製造する例に関するが、平面形状が矩形などのヒートシンクを製造する場合には、矩形の巻回体6を作製すればよく、場合によっては外形が矩形のコアの周りに平板2aを巻回するようにしてもよい。   The above description relates to an example of manufacturing a heat sink having a circular planar shape. However, when manufacturing a heat sink having a rectangular planar shape, a rectangular wound body 6 may be manufactured. The flat plate 2a may be wound around the core.

なお、前記した例では、製造するヒートシンクのフィン2の高さよりも大きい幅を有する平板2aを用いて長い巻回体6を形成し、その巻回体6を長手方向に直交する方向に切断して、コイル体6’を作製している。しかし、製造するヒートシンクのフィン2の高さと同じ大きさの幅を有する平板2aを用いて巻回体6を形成し、その巻回体6を切断することなくベース板1に固着してヒートシンクを製造するようにしてもよい。   In the above-described example, the long wound body 6 is formed using the flat plate 2a having a width larger than the height of the fin 2 of the heat sink to be manufactured, and the wound body 6 is cut in a direction perpendicular to the longitudinal direction. Thus, the coil body 6 ′ is produced. However, the wound body 6 is formed using the flat plate 2a having the same width as the height of the fin 2 of the heat sink to be manufactured, and the wound body 6 is fixed to the base plate 1 without being cut and the heat sink is attached. You may make it manufacture.

本実施形態によると、前記した本発明の効果を発揮できるのに加えて、複数の平板2aを積層する工程が不要であり、平板2aの一方の面に接着剤4を塗布する工程は1回のみでよいため、製造効率が良く製造コストが低く抑えられる。   According to this embodiment, in addition to being able to exhibit the effects of the present invention described above, the step of laminating the plurality of flat plates 2a is unnecessary, and the step of applying the adhesive 4 to one surface of the flat plate 2a is performed once. Therefore, the manufacturing efficiency is good and the manufacturing cost can be kept low.

1 ベース板
2 フィン
2a 平板
3 積層体
3’ 小ブロック
4 接着剤
5 有機溶剤
6 巻回体
6’ コイル体
7 研磨盤
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Base plate 2 Fin 2a Flat plate 3 Laminate 3 'Small block 4 Adhesive 5 Organic solvent 6 Winding body 6' Coil body 7 Polishing board

Claims (4)

一方の面に接着剤が塗布された平板を複数枚積層して、前記接着剤を固化させることにより一体化して積層体を形成する工程と、
平坦なベース板上に前記各平板の端面をそれぞれ載置して、前記積層体を前記ベース板上に固着する工程と、
前記接着剤を溶解させて前記平板同士の間から除去する工程と、
を含むヒートシンクの製造方法。
Laminating a plurality of flat plates coated with an adhesive on one surface and solidifying the adhesive to form a laminated body,
Placing each end face of each flat plate on a flat base plate, and fixing the laminate on the base plate;
Dissolving the adhesive and removing it from between the flat plates;
A method for manufacturing a heat sink.
前記積層体を前記ベース板上に固着する工程は、前記積層体を複数の小ブロックに分割してから、該小ブロックを前記ベース板上に固着する工程である、請求項1に記載のヒートシンクの製造方法。   The heat sink according to claim 1, wherein the step of fixing the laminated body on the base plate is a step of fixing the small block on the base plate after dividing the laminated body into a plurality of small blocks. Manufacturing method. 一方の面に接着剤が塗布された平板を巻回して巻回体を形成する工程と、
平坦なベース板上に前記平板の端面を載置して、前記巻回体を前記ベース板上に固着する工程と、
前記接着剤を溶解させて前記平板同士の間から除去する工程と、
を含むヒートシンクの製造方法。
A step of winding a flat plate coated with an adhesive on one surface to form a wound body;
Placing the end face of the flat plate on a flat base plate, and fixing the wound body on the base plate;
Dissolving the adhesive and removing it from between the flat plates;
A method for manufacturing a heat sink.
前記巻回体を前記ベース板上に固着する工程は、前記巻回体を長手方向に直交する方向に切断して切り出したコイル体を前記ベース板上に固着する工程である、請求項3に記載のヒートシンクの製造方法。   The step of fixing the wound body on the base plate is a step of fixing the coil body cut by cutting the wound body in a direction perpendicular to the longitudinal direction on the base plate. The manufacturing method of the heat sink as described.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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WO2016076330A1 (en) * 2014-11-12 2016-05-19 武延 本郷 Heat dissipation structure and illumination device
JP2017224686A (en) * 2016-06-14 2017-12-21 ルネサスエレクトロニクス株式会社 Semiconductor device and manufacturing method of semiconductor device

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