JP2011117471A - Fluid device - Google Patents
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- Flanged Joints, Insulating Joints, And Other Joints (AREA)
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Abstract
Description
本発明は、半導体製造装置の材料ガス供給ライン等を構成するものであって、複数の流体機器及び配管を縦横に接続してなるガスパネル等の流体装置に関するものである。 The present invention relates to a material gas supply line or the like of a semiconductor manufacturing apparatus, and relates to a fluid device such as a gas panel in which a plurality of fluid devices and pipes are connected vertically and horizontally.
いわゆるフランジ継手とは、管の端部に設けたフランジ部同士を結合することによって管同士を接続するものであり、その一種として、特許文献１に示すように、対向するフランジ部に外嵌して各フランジ部に設けた傾斜面を径方向に押圧し、その際に発生する軸方向の分力によってフランジ部同士を圧着結合し、管を直列接続する結合リングを具備したものが知られている。
この結合リングによるフランジ継手の特徴は、軸方向の長さを可及的に短くできることにある。
The so-called flange joint is to connect the pipes by joining the flanges provided at the ends of the pipes, and as one type, as shown in Patent Document 1, it is externally fitted to the opposing flange parts. It is known to have a connecting ring that presses the inclined surface provided in each flange portion in the radial direction, crimps the flange portions together by axial component force generated at that time, and connects the tubes in series. Yes.
The feature of the flange joint by this coupling ring is that the axial length can be shortened as much as possible.
しかして、本発明者らは、この発明を完成させるにあたって、半導体製造装置の材料ガス供給に用いられるような、縦横の流体ラインを有する流体装置にこの種のフランジ継手を利用したものを検討した。これが、図１に示す構成のものである。これをネジ式管継手を用いた図２に示すものと比較すると、フランジ継手を利用することで、非常にコンパクトに構成できることがわかる。 Therefore, the inventors of the present invention have studied the use of this type of flange joint for a fluid device having vertical and horizontal fluid lines, such as those used for supplying a material gas of a semiconductor manufacturing apparatus, in completing the present invention. . This is the structure shown in FIG. If this is compared with what is shown in FIG. 2 using a screw-type pipe joint, it turns out that it can comprise very compactly by utilizing a flange joint.
特に、図１のように、縦の流体ラインＬ１に流体機器が設けられている構成の場合、縦方向寸法は流体機器の大きさによってコンパクト化が制限されることから、横方向の寸法を如何に小さくするかが大きなポイントとなるところ、図１の流体装置は、図２の流体装置に比べて横方向寸法が小さく、この点で大きなメリットがある。 In particular, as shown in FIG. 1, in the configuration in which the fluid device is provided in the vertical fluid line L1, the size in the vertical direction is limited by the size of the fluid device. However, the fluid device shown in FIG. 1 has a smaller lateral dimension than the fluid device shown in FIG. 2, and has a great merit in this respect.
なお、図１、図２中、符号Ｌ１はガス供給ライン、符号Ｌ２はクリーニングガス供給ライン、符号Ｌ３は出口共通化ライン、符号１１はマスフローコントローラ、符号１２、１３はバルブや圧力センサ、符号２、２’、２”はフランジ継手、符号２Ａはネジ式管継手、符号４、４’、４”は配管を示している。 1 and 2, reference numeral L1 is a gas supply line, reference numeral L2 is a cleaning gas supply line, reference numeral L3 is an outlet common line, reference numeral 11 is a mass flow controller, reference numerals 12 and 13 are valves and pressure sensors, reference numeral 2 Reference numerals 2 ′ and 2 ″ denote flange joints, reference numeral 2A denotes a threaded pipe joint, and reference numerals 4, 4 ′ and 4 ″ denote pipes.
しかしながら、前記フランジ継手は、短くかつ強固に管同士を結合できるが故に、配管の変形などが極めて小さく、寸歩誤差の許容範囲が狭いという不具合がある。これは、図１のように縦横に流体ラインを接続した場合に顕著となる。 However, since the flange joint is short and can connect the pipes firmly, there is a problem that the deformation of the pipe is extremely small and the tolerance of the step error is narrow. This becomes remarkable when fluid lines are connected vertically and horizontally as shown in FIG.
すなわち、この図１の構成において、仮にマスフローコントローラやそこから延伸する配管に寸法誤差があって、１本のガス供給ラインに長さの違いが若干あったとする。その状態でクリーニングガス供給ラインを各ガス供給ラインに接続すると、出口共通化ラインが接続されるバルブ間に縦方向の位置ずれが生じる。ところが、この位置ずれを配管の変形等で吸収できないため、出口共通化ラインを形成できないという事態が生じ得る。これは、出口共通化ラインを先に接続しても同じである。 That is, in the configuration of FIG. 1, it is assumed that there is a dimensional error in the mass flow controller and piping extending therefrom and there is a slight difference in length in one gas supply line. When the cleaning gas supply line is connected to each gas supply line in this state, a vertical displacement occurs between the valves connected to the outlet common line. However, since this misalignment cannot be absorbed by deformation of the piping or the like, a situation may occur in which an exit common line cannot be formed. This is the same even if the exit common line is connected first.
そこで、本発明は、縦横に流体ラインが配設されてこれらが互いに接続された流体装置において、結合リングを利用した前述のフランジ継手の特徴を可及的に活かしつつも、該フランジ継手の短所である寸歩誤差の許容範囲が狭く組み立てに齟齬を生じやすいという不具合を解決すべく図ったものである。 Therefore, the present invention provides a fluid device in which fluid lines are arranged vertically and horizontally and are connected to each other, while making the best use of the characteristics of the flange joint using a coupling ring as much as possible. This is intended to solve the problem that the tolerance of the step error is narrow and the assembly is likely to be wrinkled.
すなわち、本発明に係る流体装置は、直列接続した１又は複数の流体機器及び配管を具備する縦流体ラインと、１又は直列接続した複数の配管を具備する横流体ラインとを具備し、前記縦流体ラインを互いに平行に複数配置するとともに、隣接する縦流体ライン間に、これらを接続する複数の横流体ラインを並列させた流体装置において、
前記横流体ラインのうちの１つを、隣接する端部にフランジ部を設けた直列する複数の配管と、前記隣接するフランジ部に外嵌してそれらフランジ部に設けた傾斜面を径方向に押圧し、その際に発生する軸方向の分力によってフランジ部同士を圧着結合する結合リングとを具備するものとし、
並列する前記横流体ラインのうちの他の１つを、隣接する縦流体ラインの配管間に配置され、つなぎパイプによってこれら縦流体ラインの配管に接続された配管を具備するものとしたことを特徴とする。
That is, the fluid device according to the present invention includes a vertical fluid line including one or more fluid devices and pipes connected in series, and a horizontal fluid line including one or a plurality of pipes connected in series. In a fluid device in which a plurality of fluid lines are arranged in parallel to each other and a plurality of transverse fluid lines connecting these fluid lines are arranged in parallel between adjacent longitudinal fluid lines.
One of the transverse fluid lines has a plurality of pipes in series with flange portions provided at adjacent ends, and an inclined surface that is externally fitted to the adjacent flange portions and provided at the flange portions in the radial direction. And a coupling ring that presses and bonds the flange portions with each other by an axial component force generated at that time,
The other one of the horizontal fluid lines arranged in parallel is arranged between the pipes of adjacent vertical fluid lines, and has a pipe connected to the pipes of these vertical fluid lines by a connecting pipe. And
かかるつなぎパイプによる配管接続は、溶接等による固着であることから、一旦接続した後は取り外しができないという不自由さはあるものの、配管長を大きくとれるので、構造的にある程度撓んだり、組み立て時に調整したりすることによって配管や流体機器の寸歩誤差を許容でき、コンパクト性をも担保できるものである。 Since the pipe connection by such a connecting pipe is fixed by welding or the like, there is inconvenience that it cannot be removed once connected, but since the pipe length can be taken large, it is structurally bent to some extent or during assembly By adjusting it, it is possible to allow a step error of piping and fluid equipment, and to ensure compactness.
したがって、本発明によれば、このつなぎパイプとフランジ継手とを巧みに混在させているので、フランジ継手による組み立てや取り外しの容易性を維持しつつ、フランジ継手のリジッド性による不具合を、つなぎパイプによる柔軟性で解決し、かつ少なくとも横方向にコンパクトに構成できる。 Therefore, according to the present invention, since the connecting pipe and the flange joint are skillfully mixed, a problem due to the rigid nature of the flange joint can be prevented by using the connecting pipe while maintaining ease of assembly and removal by the flange joint. It solves with flexibility and can be configured compactly at least in the lateral direction.
つなぎパイプでの溶接等による固着作業を容易化するには、前記横流体ラインのうちの他の１つを、最も端側のものに設定することが好ましい。 In order to facilitate the fixing work by welding or the like at the connecting pipe, it is preferable to set the other one of the transverse fluid lines to the endmost one.
本発明によれば、つなぎパイプによる配管接続が配管等の寸法誤差を許容するので、フランジ継手による組み立てや取り外しの容易性を維持しつつ、フランジ継手のリジッド性による不具合を、つなぎパイプによる柔軟性で解決し、かつ少なくとも横方向にコンパクトに構成できる。 According to the present invention, the piping connection by the connecting pipe allows a dimensional error of the piping, etc., so that the trouble due to the rigid nature of the flange joint can be reduced while maintaining the ease of assembly and removal by the flange joint. And can be configured compactly at least in the lateral direction.
以下、本発明の一実施形態を、図面を参照して説明する。 Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.
本実施形態に係る流体装置１００は、半導体製造装置の一部であるガスパネル形式の流体供給装置を構成するものである。
ガスパネル形式の流体供給装置（以下、単にガスパネルと称することもある。）とは、複数の流体機器を平面的に配置してその間を配管等で接続したものである。ここでのガスパネルは、その配管接続の少なくとも一部に、後述するフランジ継手が使用されたものである。
さて、元に戻って、本実施形態に係る流体装置１００は、図３に示すように、平行に設けた３本の縦流体ラインたるガス供給ラインＬ１と、これらガス供給ラインＬ１間に設けられた２つの横流体ライン、ここでは各ガス供給ラインＬ１にクリーニングガスを供給するクリーニングガス供給ラインＬ２及び各ガス供給ラインＬ１の出口を１本化する出口共通化ラインＬ３とを具備したものである。
The fluid device 100 according to the present embodiment constitutes a gas panel type fluid supply device which is a part of a semiconductor manufacturing apparatus.
A gas panel type fluid supply device (hereinafter also simply referred to as a gas panel) is a device in which a plurality of fluid devices are arranged in a plane and connected between them by piping or the like. The gas panel here uses a flange joint described later for at least a part of the pipe connection.
Now, referring back to FIG. 3, the fluid device 100 according to the present embodiment is provided between three gas supply lines L1, which are three vertical fluid lines provided in parallel, and these gas supply lines L1. Two horizontal fluid lines, here, a cleaning gas supply line L2 for supplying a cleaning gas to each gas supply line L1 and an outlet common line L3 for unifying the outlets of each gas supply line L1. .
次に各ラインＬ１〜Ｌ３について説明する。
ガス供給ラインＬ１は、複数の流体機器１１〜１３と、各流体機器１１〜１３から一体に延伸する配管４と、前記配管４同士を接続することによって前記各流体機器１１〜１３を直列接続するフランジ継手２とを具備したものである。
Next, each line L1-L3 is demonstrated.
The gas supply line L1 connects the fluid devices 11 to 13 in series by connecting the plurality of fluid devices 11 to 13, the piping 4 extending integrally from the fluid devices 11 to 13, and the pipings 4 to each other. A flange joint 2 is provided.
流体機器とは、例えばここではマスフローコントローラ１１や開閉バルブ１２、圧力センサ１３のことを示すが、その他の流体制御機器や流体測定機器等でも構わない。 For example, the fluid device here refers to the mass flow controller 11, the on-off valve 12, and the pressure sensor 13, but other fluid control devices, fluid measuring devices, and the like may be used.
配管４は、特に図４に示すように、各流体機器１１〜１３のインレットポートやアウトレットポートに予め基端が接続してあるもので、組み立て前の状態ではその先端部には後述するフランジ部２１が設けられている。また、ここでは各配管４に全て同一径のものを用いている。 As shown in FIG. 4, the pipe 4 has a base end connected in advance to the inlet ports and outlet ports of the fluid devices 11 to 13. 21 is provided. Here, the pipes 4 are all the same diameter.
フランジ継手２は、図４〜図８に示すように、前記配管４の先端部外周に溶接等によって一体に形成したフランジ部２１と、配管４同士を接続すべく対向させた前記フランジ部２１間に介在するガスケット２２と、前記フランジ部２１同士の軸合わせをする位置決めリング２３と、これらフランジ部２１を圧接結合する結合部材たる結合リング２４とを具備したものである。 As shown in FIGS. 4 to 8, the flange joint 2 is formed between the flange portion 21 integrally formed on the outer periphery of the distal end portion of the pipe 4 by welding or the like and the flange portion 21 opposed to connect the pipes 4 to each other. And a positioning ring 23 for axial alignment of the flange portions 21 and a coupling ring 24 as a coupling member for pressure-bonding the flange portions 21 to each other.
フランジ部２１は、図４、図８に示すように、円環板状をなすもので、その先端面（以下対向面とも言う）には閉じた円環状の突条２１ａが設けてある。また、その裏面には先端ほど径が拡がる向きの傾斜面２１ｂが形成してあり、その外周面における先端部分２１ｃには、段を形成してこの先端部分２１ｃの外径が他の部分よりも小さくなるように構成してある。 As shown in FIGS. 4 and 8, the flange portion 21 has an annular plate shape, and a closed annular ridge 21 a is provided on the tip surface (hereinafter also referred to as an opposing surface). Further, an inclined surface 21b whose diameter increases toward the tip is formed on the back surface, and a step is formed on the tip portion 21c on the outer peripheral surface so that the outer diameter of the tip portion 21c is larger than that of the other portions. It is configured to be small.
ガスケット２２は、図４、図８に示すように、その内径が配管４の内径と一致し、外径が前記フランジ部先端部分２１ｃの外径と一致する薄い等厚円環板状をなすものである。 As shown in FIGS. 4 and 8, the gasket 22 has a thin, equal-thickness annular plate shape whose inner diameter matches the inner diameter of the pipe 4 and whose outer diameter matches the outer diameter of the flange end portion 21 c. It is.
位置決めリング２３は、図５に示すように、円筒状をなすものであり、弾性変形可能な金属を用いて構成してある。そして、前記フランジ部先端部分２１ｃにガタ無く外嵌するように、この位置決めリング２３の内径を前記先端部分２１ｃの外径と一致させてある。 As shown in FIG. 5, the positioning ring 23 has a cylindrical shape and is made of an elastically deformable metal. The inner diameter of the positioning ring 23 is made to coincide with the outer diameter of the tip end portion 21c so that the flange portion tip end portion 21c is fitted out without play.
結合リング２４は、図４、図６〜図８に示すように、隣り合うもの同士が互いに回転可能に連結された一連のリングパーツ２４１と、両端のリングパーツ２４１同士を結合して環状とするための締結具２４２とを具備したものである。各リングパーツ２４１（ここでは３つ）の内周面には、周方向に延びる有底嵌合溝２４ａが設けてある。そして、この嵌合溝２４ａの側面には前記フランジ部２１の裏面に形成した傾斜面２１ｂに対応する傾斜面２４ａ１が形成してある。 As shown in FIGS. 4 and 6 to 8, the coupling ring 24 is formed by connecting a series of ring parts 241 in which adjacent ones are rotatably connected to each other and ring parts 241 at both ends to form an annular shape. And a fastener 242 for the purpose. A bottomed fitting groove 24a extending in the circumferential direction is provided on the inner peripheral surface of each ring part 241 (here, three). And the inclined surface 24a1 corresponding to the inclined surface 21b formed in the back surface of the said flange part 21 is formed in the side surface of this fitting groove 24a.
かかるフランジ継手２によって前記配管４同士を接続する際には、まず接続すべき一方の配管４に設けたフランジ部先端部分２１ｃに前記位置決めリング２３の一端部を外嵌する。次に位置決めリング２３の他端部にガスケット２２と他方の配管４に設けたフランジ部先端部分２１ｃとをこの順で軸方向から嵌め込む。その結果、各フランジ部２１及びガスケット２２、ひいては各配管４が中心軸を一致させて保持される。 When the pipes 4 are connected to each other by the flange joint 2, first, one end of the positioning ring 23 is externally fitted to the flange part tip part 21 c provided on one pipe 4 to be connected. Next, the gasket 22 and the flange end portion 21c provided on the other pipe 4 are fitted into the other end of the positioning ring 23 in this order from the axial direction. As a result, each flange portion 21 and gasket 22, and thus each pipe 4 are held with their central axes aligned.
その後、対向近接した一対のフランジ部２１に、端部リングパーツ２４１同士が連結されていないオープン状態とした結合リング２４を回し込み、その嵌合溝２４ａをフランジ部２１の外周縁部に嵌め込む。そして、この結合リング２４の端部リングパーツ２４１同士を、前記締結具２４２によって結合し締め付ける。このことによって、結合リング２４の内径が縮小し、嵌合溝２４ａの側面傾斜面２４ａ１が各フランジ部２１の裏面傾斜面２１ｂを径方向に押圧する。その際、前記傾斜面２１ｂによって各フランジ部２１を軸方向に相寄る向きに移動させる分力が発生し、この分力によって、フランジ部２１同士が、その円環突条２１ａをガスケット２２に食い込ませながら圧着され、配管４同士が気密に接続される。 Thereafter, the coupling ring 24 that is in an open state in which the end ring parts 241 are not connected to each other is turned into a pair of flange portions 21 that are opposed to each other, and the fitting groove 24a is fitted into the outer peripheral edge portion of the flange portion 21. . Then, the end ring parts 241 of the coupling ring 24 are coupled and tightened by the fasteners 242. As a result, the inner diameter of the coupling ring 24 is reduced, and the side inclined surface 24a1 of the fitting groove 24a presses the back inclined surface 21b of each flange portion 21 in the radial direction. At this time, a component force is generated by the inclined surface 21b to move each flange portion 21 in a direction close to the axial direction, and the flange portions 21 bite the annular protrusion 21a into the gasket 22 by this component force. The pipes 4 are connected in an airtight manner.
クリーニングガス供給ラインＬ２は、図３に示すように、前記各ガス供給ラインＬ１における流体機器１１〜１３のうち、ここではマスフローコントローラ１１の入口側に設けたバルブ１２間を接続するものであり、当該各バルブ１２から横方向に一体に延伸する配管４’と、前記配管４’同士を接続することによって前記バルブ１２同士を接続するフランジ継手２’とを具備したものである。配管４’及びフランジ継手２’の構造は前記ガス供給ラインＬ１のものと同じであるため、ここでの説明は省略する。 As shown in FIG. 3, the cleaning gas supply line L <b> 2 connects the valves 12 provided on the inlet side of the mass flow controller 11 among the fluid devices 11 to 13 in the gas supply lines L <b> 1. A pipe 4 ′ that extends integrally from each valve 12 in the lateral direction and a flange joint 2 ′ that connects the valves 12 by connecting the pipes 4 ′ are provided. Since the structures of the pipe 4 'and the flange joint 2' are the same as those of the gas supply line L1, description thereof is omitted here.
出口共通化ラインＬ３は、図３に示すように、前記各ガス供給ラインＬ１の最も出口よりに設けた配管４同士を接続するものであり、各配管４間に設けた配管４’’と、配管４及び配管４’’を接続するための溶接型管継手６とを具備したものである。溶接型管継手６とは、エルボー型やＴ字型等のつなぎパイプ６１、６２に配管４、４’’を嵌め込み、それらを溶接して管同士を気密に接続するものである。ここでは、一端のガス供給ラインＬ１に、エルボー型のつなぎパイプ６１を用い、その他のガス供給ラインＬ１にはＴ字型のつなぎパイプ６２を用いている。 As shown in FIG. 3, the outlet common line L3 connects the pipes 4 provided from the most outlets of the gas supply lines L1, and pipes 4 '' provided between the pipes 4; It comprises a welded pipe joint 6 for connecting the pipe 4 and the pipe 4 ''. The welded type pipe joint 6 is one in which pipes 4 and 4 ″ are fitted into connecting pipes 61 and 62 such as elbow type and T-shaped, and the pipes are welded to connect the pipes in an airtight manner. Here, an elbow-type connecting pipe 61 is used for the gas supply line L1 at one end, and a T-shaped connecting pipe 62 is used for the other gas supply lines L1.
しかしてこのようなものであれば、寸法誤差をつなぎパイプ６１、６２が吸収するので、寸法誤差がある場合であっても、フランジ継手２、２‘を利用して、縦横にそれぞれ複数の流体ラインＬ１〜Ｌ３を有する流体装置１００を、よりコンパクトかつ更に容易に着脱できるように構成でき、特に横方向寸法をより小さくできる。また、フランジ継手２、２‘は狭小な作業空間であっても径方向から容易に着脱でき、軸方向の長さを可及的に短くできる。 If this is the case, since the connecting pipes 61 and 62 absorb the dimensional error, even if there is a dimensional error, the flange joints 2 and 2 ′ are used to make a plurality of fluids vertically and horizontally. The fluid device 100 having the lines L1 to L3 can be configured to be more compact and more easily detachable, and in particular, the lateral dimension can be further reduced. Further, the flange joints 2 and 2 'can be easily attached and detached from the radial direction even in a narrow work space, and the length in the axial direction can be shortened as much as possible.
なお、本発明は前記実施形態に限られない。例えば、図９に示すように、縦ラインがＬ１が２本のものでも構わないし、この図９に示す流体装置１００を１ユニットとして、複数の流体装置１００を縦横に並べて接続した構成でも構わない。 The present invention is not limited to the above embodiment. For example, as shown in FIG. 9, the vertical line may have two L1s, or the fluid device 100 shown in FIG. 9 may be one unit, and a plurality of fluid devices 100 may be arranged side by side. .
また、２つの縦流体ラインを接続する複数の並列した横流体ラインにおいて、つなぎパイプを利用したものとフランジ継手を利用したものとが混在してさえいればよい。すなわち、例えば図３のように３以上の縦流体ラインがある場合、同図では、直列する２つの横流体ラインＬ２（又はＬ３）が同種のものであったが、直列する２つの横流体ラインの一方が、つなぎパイプを利用したもので他方がフランジ継手を利用したものでも構わない。 In addition, it is only necessary that a plurality of parallel horizontal fluid lines connecting the two vertical fluid lines have a mixture of a connection pipe and a flange joint. That is, for example, when there are three or more vertical fluid lines as shown in FIG. 3, the two horizontal fluid lines L2 (or L3) in series in FIG. One of them may use a connecting pipe and the other may use a flange joint.
さらに、フランジ継手は、前記実施形態のような傾斜面によるくさび作用を利用したものに限られず、ネジ止めによるものなど、他の形式のもので構わない。 Further, the flange joint is not limited to the one using the wedge action by the inclined surface as in the above-described embodiment, but may be another type such as one using screws.
流体はガスのみならず液体でも構わないし、縦流体ラインや横流体ラインの本数に制限があるものでもない。また、横流体ラインが配管や継手の他に、流体機器を有したものにも適用可能である。
その他、本発明はその趣旨を逸脱しない範囲で種々変形が可能である。
The fluid may be liquid as well as gas, and the number of vertical fluid lines and horizontal fluid lines is not limited. Further, the horizontal fluid line can be applied to a pipe having a fluid device in addition to a pipe and a joint.
In addition, the present invention can be variously modified without departing from the spirit of the present invention.
１００・・・流体装置
１１、１２、１３・・・流体機器
４、４’、４”・・・配管
Ｌ１・・・縦流体ライン（ガス供給ライン）
Ｌ２・・・横流体ライン（クリーニングガス供給ライン）
Ｌ３・・・横流体ライン（出口共通化ライン）
２・・・フランジ継手
２１・・・フランジ部
２１ｂ・・・傾斜面
２４・・・結合リング
６１、６２・・・つなぎパイプ
DESCRIPTION OF SYMBOLS 100 ... Fluid apparatus 11, 12, 13 ... Fluid equipment 4, 4 ', 4 "... Pipe L1 ... Vertical fluid line (gas supply line)
L2 ... Horizontal fluid line (cleaning gas supply line)
L3 ... Horizontal fluid line (exit common line)
2 ... Flange joint 21 ... Flange 21b ... Inclined surface 24 ... Coupling rings 61, 62 ... Connecting pipe
Claims (2)
前記横流体ラインのうちの１つは、隣接する端部にフランジ部を設けた直列する複数の配管と、前記隣接するフランジ部を結合する結合部材とを具備するものであり、
並列する前記横流体ラインのうちの他の１つは、隣接する縦流体ラインの配管間に配置され、つなぎパイプによってこれら縦流体ラインの配管に接続された配管を具備するものであることを特徴とする流体装置。 A vertical fluid line including one or more fluid devices and pipes connected in series, and a horizontal fluid line including one or more pipes connected in series, and a plurality of the vertical fluid lines are arranged in parallel to each other. A plurality of horizontal fluid lines connecting these are arranged in parallel between adjacent vertical fluid lines,
One of the transverse fluid lines comprises a plurality of serial pipes provided with flange portions at adjacent end portions, and a coupling member for coupling the adjacent flange portions,
The other one of the horizontal fluid lines arranged in parallel is arranged between the pipes of the adjacent vertical fluid lines and includes a pipe connected to the pipes of the vertical fluid lines by a connecting pipe. Fluid device.
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