JP2011017692A - 基板収納容器、及びこれを具備した基板検査装置 - Google Patents

Abstract

【課題】基板検査工程の生産性を向上させる基板収納容器と、これを具備した基板検査装置を提供する。
【解決手段】本発明による基板収納容器Ｍと、これを具備した基板検査装置は、上下方向に積層された複数の基板Ｓが収納されるカセットがハウジングに対して垂直に積載され、検査対象基板の大きさに適合したカセットを個別に備える。
【選択図】図２

Description

本発明は、基板を収納する容器と、これを利用して基板をローディング、又はアンローディングする基板検査装置に関する。

記憶装置（Ｍｅｍｏｒｙ）は、コンピュータ、通信システム、画像処理システム等で使われるデータや命令等を一時的に、又は永久的に保存するために使われ、代表的には、半導体、テープ、ディスク、光学方式等があるが、現在は、半導体メモリーが大部分を占めている。
メモリーを実際にシステムに使用する時は、モジュールとして生産される。モジュールは、１つの機能を有する素子の集合であり、印刷回路基板ＰＣＢの上に様々な半導体素子が搭載され、複数の接続ピンであるタップによってパネル等に連結され、タップの構造によってＳＩＭＭ（Ｓｉｎｇｌｅ Ｉｎ−ｌｉｎｅ Ｍｅｍｏｒｙ Ｍｏｄｕｌｅ）とＤＩＭＭ（Ｄｕａｌ Ｉｎ−ｌｉｎｅ Ｍｅｍｏｒｙ Ｍｏｄｕｌｅ）に区分される。このようなモジュールの生産では、印刷回路基板に部品素子を装着する前に、印刷回路基板に形成されたパターンの異常有無を確認する必要がある。

韓国特許第１０−０６８３２６５号公報

本発明は、上述の問題点に鑑みてなされたもので、その目的は、基板検査工程の生産性を向上させることができる基板収納容器と、これを具備した基板検査装置を提供することにある。
なお、本発明の目的は、これに制限されず、言及しない他の目的は、以下の記載から当業者に明確に理解できる。

本発明の実施形態による基板収納容器は、上下方向に積層された複数の基板を収容し、上部が開放されたカセットと、前記カセットが垂直に積載されるスロットが複数形成されたハウジングと、を含むことを特徴とする。
上述したような構成を有する本発明による基板収納容器であって、前記ハウジングは、支持板と、前記支持板の上面に対向するように垂直に設置され、対向面に垂直する方向に前記スロットが突出された一対の第１側板と、を含むことができる。

前記スロットは、前記第１側板の対向面の上の両側垂直エッジとの間の領域に提供されることができる。
前記ハウジングは、前記スロットの配列方向に垂直に提供され、前記第１側板の何れか一側の前記垂直エッジに結合される第２側板をさらに含むことができる。
前記ハウジングは、前記第１側板の何れか一側の前記垂直エッジから前記スロットの突出方向に突出された突出部をさらに含むことができる。
前記ハウジングは、前記第１側板を中心で対称を成すように前記支持板に設置される把持部をさらに含むことができる。
前記支持板には、前記支持板を固定するピン部材が挿入される第１ホールが貫通して形成されることができる。

前記カセットは、前記ハウジングの前記スロットによって、支持される四角形形状の第１プレートと、前記スロットの長さ方向に向け、前記第１プレートのエッジから前記第１プレートに垂直する方向に延長される第２プレートと、前記第２プレートの下端から互いに対向する方向に延長され、前記基板を支持する第１下敷板と、を含むことができる。
前記カセットは、前記第１プレートの下端中心部から前記第１プレートに垂直する方向に延長され、前記基板を支持する第２下敷板をさらに含むことができる。
前記第１下敷板と前記第２下敷板との間の領域に対応する前記支持板状の位置には、前記基板を昇降させる昇降機構が挿入される第２ホールが形成されることができる。
前記カセットは、前記第２プレートの内面に互いに対向するように設置され、前記第１及び第２下敷板によって、支持される前記基板の側面を支持する側面支持部材をさらに含むことができる。
前記カセットは、前記第２プレートに対応する形状を有し、前記第１プレートと前記第２下敷板との間に脱着可能に提供される仕切り壁をさらに含むことができる。

本発明の実施形態による基板収納容器は、基板が上下方向に積層されるように前記基板を収容するカセットと、前記カセットこの受容される空間を有するハウジングと、を含み、各々の前記カセットは、前記ハウジングにスライド方式によって、移動して分離、及び挿入ができるように提供されることを特徴とする。

上述したような構成を有する本発明による基板収納容器であって、前記ハウジングは、互いに対向するように離隔配置され、長さ方向が上下方向に向けるスロットが形成された一対の第１側板を含み、各々の前記カセットは、前記スロットによって、支持され、前記スロットに沿ってスライド移動可能な第１プレートと、前記第１プレートの両端に連結される第２プレートと、を含み、前記第１プレートと前記第２プレートとは、これらの間に提供された空間に前記基板が収納されるように提供されることができる。
前記第１プレートと前記第２プレートは、上部から見る時、互いに組合わせて、逆「コ」の字の形状に提供されることができる。
前記カセットは、前記第２プレートとの間に位置されて前記第２プレートとの間の空間を分離し、前記第１プレートに脱着可能に提供される仕切り壁をさらに含むことができる。
前記カセットは、前記第１側板の配置方向に垂直１第２方向に沿って一列に並べて位置するように提供されることができる。

本発明の実施形態による基板検査装置は、基板が収納された第１容器が置かれるローディング部と、前記ローディング部から伝えられる前記基板に光を照射して前記基板を検査する検査部と、前記検査部で検査された前記基板が収納される第２容器が置かれるアンローディング部と、を含み、前記第１及び第２容器は、上下方向に積層された複数の前記基板を収容し、上部が開放されたカセットと、前記カセットが垂直に積載されるスロットが形成されたハウジングと、を含むことを特徴とする。

上述したような構成を有する本発明による基板検査装置において、支持板と、前記支持板の上面に対向するように垂直に設置され、対向面に垂直する方向に前記スロットが突出された一対の第１側板と、を含むことができる。
前記スロットは、前記第１側板の対向面の上の両側垂直エッジとの間の領域に提供され、前記ハウジングは、前記スロットの配列方向に垂直に提供され、前記第１側板の何れか一側の前記垂直エッジに結合される第２側板と、前記第１側板の何れか一側の前記垂直エッジから前記スロットの突出方向に突出された突出部部と、をさらに含むことができる。
前記カセットは、前記ハウジングの前記スロットによって、支持される四角形形状の第１プレートと、前記スロットの長さ方向に向け、前記第１プレートのエッジから前記第１プレートに垂直する方向に延長される第２プレートと、前記第２プレートの下端から互いに対向する方向に延長され、前記基板を支持する第１下敷板と、前記第１プレートの下端中心部から前記第１プレートに垂直する方向に延長され、前記基板を支持する第２下敷板と、を含むことができる。
前記カセットは、前記第２プレートの内面に互いに対向するように設置され、前記第１及び第２下敷板によって、支持される前記基板の側面を支持する側面支持部材をさらに含むことができる。
前記カセットは、前記第２プレートに対応する形状を有し、前記第１プレートと前記第２下敷板との間に脱着可能に提供される仕切り壁をさらに含むことができる。
前記支持板には、前記支持板を固定するピン部材が挿入される第１ホールが貫通して形成されることができる。
前記第１下敷板と前記第２下敷板との間の領域に対応する前記支持板状の位置には、前記基板を昇降させる昇降機構が挿入される第２ホールが形成されることができる。

前記ローディング部は、検査される基板が収納された前記第１容器が置かれ、一列に配置される複数の第１搬入ポート、空の前記第１容器が置かれ、前記第１搬入ポートと並べて一列に配置される複数の第１搬出ポートと、前記第１搬入ポートと前記第１搬出ポートとの間に配置され、前記検査部へ伝えられる基板が収納された前記第１容器が置かれる工程ポートと、前記第１搬入ポートとの間、前記工程ポートと前記工程ポートに隣接する前記第１搬入ポート及び前記第１搬出ポートとの間、そして前記第１搬出ポートとの間に前記第１容器を伝達するローディングロボットと、を含むことができる。
前記ローディング部は、前記工程ポートの下に配置され、前記工程ポートに置かれた前記第１容器に収納された前記基板を昇降させる昇降機構をさらに含み、前記昇降機構は、長さ方向が上下方向に向け、前記第１容器の前記支持板に貫通して形成されたホールに整列される昇降ロードと、前記昇降ロードを上下方向に直線駆動させる昇降駆動部材と、を含むことができる。
前記ローディング部と前記検査部との間に配置され、前記基板を整列する整列部と、前記ローディング部から前記整列部へ前記基板を移送する基板移送ロボットと、をさらに含み、前記整列部は、前記基板移送ロボットによって、伝えられる前記基板が置かれる整列テーブルと、前記整列テーブルに置かれた前記基板の第１方向に向ける第１側面を加圧して前記基板を整列する第１整列機構と、前記整列テーブルに置かれた前記基板の前記第１方向に垂直１第２方向に向ける第２側面を加圧して前記基板を整列する第２整列機構と、を含むことができる。
前記第１整列機構は、長さ方向が前記第２方向に向け、前記第１方向に離隔され、互いに近づく方向へ移動可能な１対の第１整列ロードを含むことができる。
前記第１整列機構は、長さ方向が前記第２方向に向け、前記第１整列ロードの間に位置し、前記第１整列ロードに向かって互いに遠ざかる方向へ移動可能な１対の第２整列ロードをさらに含むことができる。
前記第２整列ロードの互いに対向する面には、突出部が形成され、前記第２整列ロードは、前記突出部が交互されるように互いに隣接するように配置されることができる。
前記基板の前記第１側面を加圧する加圧突起部が前記突出部の下面に形成されることができる。
前記第１整列ロードと前記第２整列ロードとは、前記第１方向に沿って並べて複数に配置されることができる。

前記検査部は、前記基板の下面を検査する第１検査部と、前記基板の上面を検査する第２検査部を含み、前記第１検査部と前記第２検査部は、一列に並べて配置されることができる。
前記第１検査部は、前記整列テーブルに置かれた前記基板の上面を真空吸着する第１吸着テーブルと、前記第１吸着テーブルを直線移動させる第１移送ロボットと、前記第１吸着テーブルの下に配置されて、前記第１移送ロボットによって、移動する前記基板の下面に光を照射する第１照明機構と、前記第１照明機構の光が照射される前記基板の下面を撮影する第１撮影機構と、を含むことができる。
前記第１検査部は、前記整列部と前記第１照明機構との間に配置され、前記第１移送ロボットによって、移動する前記基板の下面と接触して前記基板の下面の異質物をクリーニングする第１基板クリーニングローラをさらに含むことができる。
前記第２検査部は、前記第１吸着テーブルの下に位置し、前記第１吸着テーブルに吸着された前記基板を伝達を受けて前記基板の下面を真空吸着する第２吸着テーブルと、前記第２吸着テーブルを直線移動させる第２移送ロボットと、前記第２吸着テーブルの上部に配置されて、前記第２移送ロボットによって、移動する前記基板の上面に光を照射する第２照明機構と、前記第２照明機構の光が照射される前記基板の上面を撮影する第２撮影機構と、を含むことができる。
前記第２検査部は、前記第１検査部と前記第２照明機構との間に配置され、前記第２移送ロボットによって、移動する前記基板の上面と接触して前記基板対面の異質物をクリーニングする第２基板クリーニングローラをさらに含むことができる。
前記第１及び第２検査部の検査結果によって前記基板を良品と不良品とに分類して前記アンローディング部に置かれた前記第２容器に選別積載する分類−積載ロボットをさらに含むことができる。

前記アンローディング部は、空の前記第２容器が置かれて、一列に配置される複数の第２搬入ポートと、前記第２搬入ポートと並べて一列に配置される複数の搬出ローラと、前記第２搬入ポートと前記搬出ローラとの間に配置され、前記分類−積載ロボットによって、移送される前記基板が収納される前記第２容器が置かれる積載ポートと、前記第２搬入ポート間、前記積載ポートと前記積載ポートに隣接する前記第２搬入ポート間に前記第２容器を伝達する第１アンローディングロボットと、前記積載ポートに置かれた前記第２容器を前記搬出ローラの上に伝達する第２アンローディングロボットと、を含むことができる。
前記複数の搬出ローラは、配列方向に沿って行くと、下へ傾くように配置されることができる。
前記アンローディング部は、前記積載ポートの下に配置され、前記積載ポートに置かれた前記第２容器に収納される前記基板を下降させる下降機構をさらに含み、前記下降機構は、長さ方向が上下方向に向け、前記第２容器の前記支持板に貫通して形成されたホールに整列される下降ロードと、前記下降ロードを上下方向に直線駆動させる下降駆動部材と、を含むことができる。

本発明によれば、検査対象基板の大きさに適合したカセットを個別的に具備し、これを利用して基板検査装置に基板をローディングすることによって、基板検査工程の生産性を向上させることができる。

本発明の実施形態による光学検査装置の平面図である。 図１の光学検査装置の側面図である。 容器の斜視図である。 図３の容器の平面図である。 カセットが分離された状態の容器を示す図である。 他の実施形態によるカセットの斜視図である。 図１のローディング部の拡大図である。 図７のローディング部の側面図である。 ローディングロボットの動作状態を示す図である。 ローディングロボットの動作状態を示す図である。 ローディングロボットの動作状態を示す図である。 ローディングロボットの動作状態を示す図である。 基板搬送ロボットの正面図である。 図１０の吸着部材の側面図である。 整列部の平面図である。 図１２の整列部の側面図である。 図１２の整列部の正面図である。 整列部の動作状態を示す図である。 図１５の整列ロードを拡大して示す図である。 図１５の整列ロードを拡大して示す図である。 第１検査部の側面図である。 図１７の第１基板クリーニングローラの拡大図である。 第２検査部の側面図である。 図１９の第２基板クリーニングローラの拡大図である。 分類−積載ロボットの側面図である。 図１のアンローディング部の拡大図である。 図２２のアンローディング部の側面図である。

以下、添付された図面を参照して本発明の望ましい実施形態による基板収納容器と、これを具備した基板検査装置について詳細に説明する。まず、各図面の構成要素に参照符号を付加することにおいて、同一構成要素に対しては、他の図面に表示されても可能なかぎり同一符号を有するようにしている。また、本発明の説明において、関連した公知構成、又は機能に対する具体的な説明が、本発明の要旨に関係しないと判断される場合には、その詳細な説明は、省略する。

図１は、本発明の実施形態による光学検査装置１の平面図であり、図２は、図１の光学検査装置１の側面図である。
以下、図１の平面上での設備の配列方向を第１方向Ｉ、同一平面上での第１方向Ｉに垂直な方向を第２方向ＩＩ、そして、第１方向Ｉと第２方向ＩＩとに垂直な方向を第３方向ＩＩＩとする。

光学検査装置１は、ＤＩＭＭ（Ｄｕａｌ Ｉｎ−ｌｉｎｅ Ｍｅｍｏｒｙ Ｍｏｄｕｌｅ）や、ＳＯ−ＤＩＭＭ（Ｓｍａｌｌ Ｏｕｔｌｉｎｅ Ｄｕａｌ Ｉｎ−ｌｉｎｅ Ｍｅｍｏｒｙ Ｍｏｄｕｌｅ）のようなメモリーモジュールの印刷回路基板（以下、‘基板’という）を検査する。
図１及び図２を参照すると、光学検査装置１は、ローディング部１００、基板搬送ロボット２００、整列部３００、第１及び第２検査部４００、５００、分類−積載ロボット６００、及びアンローディング部７００を含む。ローディング部１００とアンローディング部７００とは、長さ方向が第２方向ＩＩに向け、互いに平行に離隔配置される。整列部３００と、第１及び第２検査部４００、５００とは、ローディング部１００とアンローディング部６００との間に第１方向Ｉに沿って順次的に配置される。整列部３００は、ローディング部１００に隣接するように配置され、第２検査部５００は、アンローディング部７００に隣接するように配置され、第１検査部４００は、整列部３００と第２検査部５００との間に配置される。基板移送ロボット２００は、ローディング部１００と整列部３００との上部空間に配置され、分類−積載ロボット６００は、第２検査部５００とアンローディング部７００の上部空間に配置される。
ローディング部１００には、検査対象の基板Ｓが収納された容器Ｍが置かれる。基板搬送ロボット２００は、容器Ｍに収納された基板Ｓを整列部３００へ搬送する。整列部３００は、基板Ｓを整列する。第１検査部４００は、整列部３００から基板Ｓを受け取って、基板Ｓの下面に形成されたパターンの異常有無を検査する。第２検査部５００は、第１検査部４００から基板Ｓを受け取り、基板Ｓの上面に形成されたパターンの異常有無を検査する。分類−積載ロボット６００は、第１及び第２検査部４００、５００の検査結果によって基板Ｓを良品Ｓ１と不良品Ｓ２とに分類し、アンローディング部７００に置かれた容器Ｍ１、Ｍ２に基板を選別して積載する。アンローディング部７００は、容器Ｍ１、Ｍ２を外部へ搬出する。

図３は、図１及び図２の容器Ｍ、Ｍ１、Ｍ２の斜視図であり、図４は、図３の容器の平面図であり、図５は、カセットが分離された状態の容器を示す図面である。図１及び図２のローディング部１００で使われる容器Ｍと、アンローディング部７００で使われる容器Ｍ１、Ｍ２とは、全て同一構造を有する。

図３乃至図５を参照すると、容器Ｍは、カセット１０とハウジング２０とを含む。カセット１０は、上下方向に積層された複数の基板を収容し、ハウジング２０に形成されたスロット２３ａ、２３ｂに垂直に積載される。カセット１０は、上部が開放された構造を有し、基板は、カセット１０の開放された上部を通じて搬出入できる。
ハウジング２０は、支持板２１を有する。支持板２１は、略四角形形状のプレートであり得り、支持板２１の上面には、一対の第１側板２２ａ、２２ｂが設置される。第１側板２２ａ、２２ｂは、四角形の形状のプレートであり、第１側板２２ａ、２２ｂは、支持板２１の上面に対向するように垂直に設置される。第１側板２２ａ、２２ｂの互いに対向する対向面、すなわち内面には、複数のスロット２３ａ、２３ｂが内面に垂直な方向に突出する。スロット２３ａ、２３ｂは、第１側板２２ａ、２２ｂに脱着できるように結合され、また、第１側板２２ａ、２２ｂに対して一体に形成される。
スロット２３ａ、２３ｂは、第１側板２２ａ、２２ｂの対向面上の両側垂直エッジとの間の領域に設置される。そして、第１側板２２ａ、２２ｂの何れか一側板の垂直エッジには、スロット２３ａ、２３ｂの配列方向に対して垂直に設置される第２側板２４が結合され、第１側板２２ａ、２２ｂの何れか一側板の垂直エッジには、スロット２３ａ、２３ｂの突出方向に突出部２５ａ、２５ｂが突出形成される。
支持板２１には、手作業による容器Ｍの移動の際に容器Ｍを把持できる把持部２６ａ、２６ｂが形成される。把持部２６ａ、２６ｂは、第１側板２２ａ、２２ｂを中心に、対称となるように支持板２１に設置される。そして、支持板２１には、支持板２１を固定するピン部材（図示せず）が挿入可能なように、第１ホール２７が貫通して形成される。例えば、第１ホール２７ａ、２７ｂは、支持板２１の対角線方向に沿って支持板２１のエッジに隣接した領域に形成される。
カセット１０は、第１プレート１１、第２プレート１２ａ、１２ｂ、第１下敷板１３ａ、１３ｂ、そして、第２下敷板１４を含む。第１プレート１１は、四角形形状のプレートであり、ハウジング２０のスロット２３ａ、２３ｂによって支持される。第２プレート１２ａ、１２ｂは、スロット２３ａ、２３ｂの長さ方向に向いた第１プレート１１のエッジから第１プレート１１に垂直な方向に延長され、第１下敷板１３ａ、１３ｂは、第２プレート１２ａ、１２ｂの下端から互いに対向する方向に延長される。第２下敷板１４は、第１プレート１１の下端の中心部から第１プレート１１に向けて垂直に延長される。
一方、ハウジング２０の支持板２１の上の第１下敷板１３ａ、１３ｂと第２下敷板１４との間の領域に対応する位置には、第２ホール２８が形成される。後述する昇降機構（図示せず）、及び下降機構（図示せず）は、第２ホール２８を通じて容器Ｍ内へ進入して基板を昇降、又は下降させる。
カセット１０に収納される基板は、ＤＩＭＭ（Ｄｕａｌ Ｉｎ−ｌｉｎｅ Ｍｅｍｏｒｙ Ｍｏｄｕｌｅ）や、ＳＯ−ＤＩＭＭ（Ｓｍａｌｌ Ｏｕｔｌｉｎｅ Ｄｕａｌ Ｉｎ−ｌｉｎｅ Ｍｅｍｏｒｙ Ｍｏｄｕｌｅ）のようなメモリーモジュールの印刷回路基板である。ＳＯ−ＤＩＭＭ用基板の長さは、ＤＩＭＭ用基板の長さより小さく、カセット１０は、これに対応できる構造を有しなければならない。このために、図５に示したＳＯ−ＤＩＭＭ用カセット１０は、仕切り壁１５を備える。仕切り壁１５は、第２プレート１２ａ、１２ｂに対応する形状を有し、第１プレート１１と第２下敷板１４との間に脱着できるように設置される。また、仕切り壁１５は、第１プレート１１と第２下敷板１４との間に一体型に固定される。
このような構造によって、長さが短いＳＯ−ＤＩＭＭ用基板は、第１下敷板１３ａと第２下敷板１４とによって支持でき、又は、第２下敷板１４と第１下敷板１３ｂとによって支持できる。すなわち、図５のカセット１０は、ＳＯ−ＤＩＭＭ用基板を２列に収納できる。
ＤＩＭＭ用基板の長さは、ＳＯ−ＤＩＭＭ用基板の長さより長く、図６のカセット１０’は、ＤＩＭＭ用基板が収納できるカセットである。ＤＩＭＭ用基板の両端の下面は、第１下敷板１３ａ、１３ｂによって支持され、ＤＩＭＭ用基板の中央部の下面は、第２下敷板１４によって支持できる。そして、図６のカセット１０’は、ＤＩＭＭ用基板の両端の側面を支持するための側面支持部材１６を備える。側面支持部材１６は、第２プレート１２ａ、１２ｂの内面に互いに対向するように設置される。側面支持部材１６は、第２プレート１２ａ、１２ｂの長さに対応する長さを有する直四角形の形状のプレート１６−１と、プレート１６−１の一面に突出形成された突起部１６−２を有する。突起部１６−２は、プレート１６−１の長さと同じように形成され、プレート１６−１の上に複数個提供される。

以下、上記のような構成を有する容器を利用して基板の検査工程を実施する基板検査装置に対して詳細に説明する。容器に収納される検査対象基板は、ＳＯ−ＤＩＭＭ用基板、又はＤＩＭＭ用基板であり、基板の種類によって他の種類のカセット１０、１０’を選択して使用しても良い。

図７は、図１のローディング部の拡大図である。そして、図８は、図７のローディング部の側面図である。図７及び図８を参照すると、ローディング部１００は、第１搬入ポート１１０ａ、１１０ｂ、１１０ｃ、１１０ｄ、第１搬出ポート１２０ａ、１２０ｂ、そして、工程ポート１３０を含む。第１搬入ポート１１０ａ、１１０ｂ、１１０ｃ、１１０ｄは、第２方向ＩＩに沿って、２列に配置され、第１搬入ポート１１０ａ、１１０ｂ、１１０ｃ、１１０ｄには、検査される基板が収納された第１容器Ｍが置かれる。第１搬出ポート１２０ａ、１２０ｂは、第１搬入ポート１１０ａ、１１０ｂ、１１０ｃ、１１０ｄと並べて第２方向ＩＩに沿って２列に配置され、第１搬入ポート１１０ａ、１１０ｂ、１１０ｃ、１１０ｄから所定の間隔で配置される。第１搬出ポート１２０ａ、１２０ｂには、空の第１容器Ｍが置かれる。工程ポート１３０は、第１搬入ポート１１０ａ、１１０ｂ、１１０ｃ、１１０ｄと第１搬出ポート１２０ａ、１２０ｂとの間に配置され、工程ポート１３０には、整列部３００へ搬送される基板が収納された第１容器Ｍが置かれる。

第１容器Ｍは、第１搬入ポート１１０ａ、１１０ｂ、１１０ｃ、１１０ｄの上から順次移動した後、工程ポート１３０に置かれ、収納された基板が全て整列部３００へ搬送されると、工程ポート１３０から順次第１搬出ポート１２０ａ、１２０ｂへ移動される。
第１搬入ポート１１０ａ、１１０ｂ、１１０ｃ、１１０ｄの下には、第１ローディングロボット１５０が配置され、第１搬出ポート１２０ａ、１２０ｂの下には、第２ローディングロボット１６０が配置される。第１ローディングロボット１５０は、第１搬入ポート１１０ａ、１１０ｂ、１１０ｃ、１１０ｄとの間、そして、工程ポート１３０に隣接する第１搬入ポート１１０ｄと工程ポート１３０との間に第１容器Ｍを搬送する。第２ローディングロボット１６０は、工程ポート１３０と工程ポート１３０に隣接する第１搬出ポート１２０ａとの間、そして、第１搬出ポート１２０ａ、１２０ｂとの間に第１容器Ｍを搬送する。

第１ローディングロボット１５０は、第１搬入ポート１１０ａ、１１０ｂ、１１０ｃ、１１０ｄの開口部に対応する大きさの昇降板１５６を有する。昇降板１５６の上面には、第１容器Ｍの第１ホール２７ａ、２７ｂに挿入されるピン部材１５７が設置される。ピン部材１５７が第１ホール２７ａ、２７ｂに挿入されると、第１容器Ｍが昇降板１５６に固定される。昇降板１５６の下部には、昇降板１５６を上下方向へ移動させるシリンダー１５４が連結され、シリンダー１５４は、ガイドレール１４０の上でスライディングするスライダー１５２に固定される。スライダー１５２には、リニアモーター（図示せず）が内蔵され、スライダー１５２は、その他もシリンダー機構のような他の種類の駆動手段によってもスライディングできる。
第１ローディングロボット１５０が第１搬入ポート１１０ｄに置かれた第１容器Ｍを工程ポート１３０へ移動させる工程は、次の通りである。

図９（ａ）乃至図９（ｄ）に示す通り、先ずシリンダー１５４が昇降板１５６を上側へ移動させ、第１搬入ポート１１０ｄに置かれた第１容器Ｍを昇降させる。以後、スライダー１５２がスライディングすることによって、昇降板１５６は、第２方向ＩＩへ移動し、スライダー１５２は、第１容器Ｍが工程ポート１３０の上部に位置するところまで第２方向ＩＩへ移動する。この状態で、シリンダー１５４が昇降板１５６を下降させることで、第１容器Ｍが工程ポート１３０に置かれる。
第２ローディングロボット１６０は、第１ローディングロボット１５０と同じ構造を有するので、これに対する詳細な説明は、省略する。ただし、説明されない符号１６２は、スライダー、１６４は、シリンダー、１６６は、昇降板である。
工程ポート１３０の下には、昇降機構１７０が配置される。昇降機構１７０は、工程ポート１３０に置かれた第１容器Ｍに収納された基板を昇降させる。昇降機構１７０は、長さ方向が上下方向に向かい、第１容器Ｍの支持板２１に形成された第２ホール２８に整列された昇降ロード１７２を有する。昇降ロード１７２は、昇降駆動部材１７４によって、上下方向に直線移動する。

図１０は、基板搬送ロボットの正面図であり、図１１は、図１０の吸着部材の側面図である。

図１０及び図１１を参照すると、基板搬送ロボット２００は、工程ポート１３０に置かれた第１容器Ｍから整列部３００に基板を搬送する。基板搬送ロボット２００は、工程ポート１３０と整列部３００の上部空間に第１方向Ｉに沿って水平に配置される水平支持台２１０を有する。水平支持台２１０には、ガイドレール２１２が提供され、ガイドレール２１２上には、スライダー２２０が設置される。スライダー２２０には、リニアモーター（図示せず）が装着され、リニアモーターの駆動によって、スライダー２２０がガイドレール２１２上でスライディングする。
スライダー２２０には、第３方向ＩＩＩ、すなわち上下方向に直線駆動力を提供する駆動部材２３０が設置される。駆動部材２３０には、長さ方向が第３方向ＩＩＩに向かう第１連結ロード２３２の一端が連結され、第１連結ロード２３２の他端には、長さ方向が第１方向Ｉに向かう第２連結ロード２３４が連結される。第２連結ロード２３４の上には、基板を吸着する複数の吸着部材２４０が設置される。吸着部材２４０各々は、長さ方向が第２方向ＩＩに向かう支持台２４２と、支持台２４２上に長さ方向に沿って一列に設置される吸着機構２４４を含む。支持台２４２の一端は、第２連結ロード２３４に連結される。吸着機構２４４は、負圧を作用させて基板を吸着する。
吸着部材２４０は、スライダー２２０のスライディングによってローディング部１００の工程ポート１３０と整列部３００の上部空間を移動できる。ローディング部１００の工程ポート１３０上部へ移動した吸着部材２４０は、駆動部材２３０によって下の方向へ移動し、工程ポート１３０に置かれた第１容器Ｍに収納される基板を吸着する。以後、吸着部材２４０は、駆動部材２３０によって、上の方向へ移動し、スライダー２００のスライディングによって、整列部３００の整列テーブル３１０の上部空間へ移動する。整列テーブル３１０の上部空間へ移動された吸着部材２４０は、駆動部材２３０によって、下の方向へ移動した後、基板に加えられた負圧を解除して整列テーブル３１０に基板をローディングする。

図１２は、整列部の平面図であり、図１３は、図１２の整列部の側面図であり、図１４は、図１２の整列部の正面図である。そして、図１５は、整列部の動作状態を示す図面であり、図１６（ａ）、及び図１６（ｂ）は、図１５の整列ロードを拡大して示す図面である。

図１２乃至図１６Ｂを参照すると、整列部３００は、整列テーブル３１０、第１整列機構３３０、そして、第２整列機構３７０を含む。基板搬送ロボット２００によって搬送された基板は、整列テーブル３１０に置かれる。第１整列機構３３０は、整列テーブル３１０に置かれた基板の縦方向、すなわち第１方向Ｉの両側面を加圧して基板を第１方向Ｉに整列する。第２整列機構３７０は、整列テーブル３１０に置かれた基板の横方向、すなわち第２方向ＩＩの両側面を加圧して基板を第２方向ＩＩに整列する。
整列テーブル３１０は、四角形の形状の板部材に提供されることができ、整列テーブル３１０は、下面に連結された垂直支持台３１３によって支持できる。垂直支持台３１３は、板部材で提供され、第２方向ＩＩに向かうように整列テーブル３１０のエッジ領域に連結する。垂直支持台３１０の下端は、板形状の水平支持台３１４に連結する。水平支持台３１４は、スライダー３２２の上に設置され、スライダー３２２は、長さ方向が第２方向ＩＩに向かうように提供されたガイド部材３２４に設置される。スライダー３２２は、ガイド部材３２４によって案内されて第２方向ＩＩにスライディングされる。
第１整列機構３３０は、一対の第１整列ロード３３１、３３３と一対の第２整列ロード３３５、３３６とを有する。第１整列ロード３３１、３３３は、長さ方向が第２方向ＩＩに向かい、第１方向Ｉに対して互いに離隔して配置される。第２整列ロード３３５、３３６は、長さ方向が第２方向ＩＩに向けて、第１整列ロード３３１、３３３のとの間に配置されることができる。第１整列ロード３３１、３３３は、モーター、及びベルト−フリーアセンブリーで構成される駆動部材３４０によって、互いに近づく方向へ移動できる。そして、第２整列ロード３３５、３３６は、シリンダー（図示せず）によって、第１整列ロード３３１、３３３に向かう方向へ移動できる。すなわち、第２整列ロード３３５は、第１整列ロード３３１に向かう方向へ移動して、第２整列ロード３３６は、第１整列ロード３３３に向かう方向へ移動できる。一方、第２整列ロード３３５、３３６は、別途のシリンダー（図示せず）によって、上下方向へ移動できる。
整列テーブル３１０へ搬送された基板が、長さが比較的長いＤＩＭＭ用印刷回路基板である場合、基板は、第１整列ロード３３１、３３３によって、第１方向Ｉに整列できる。この時、第２整列ロード３３５、３３６は、基板との干渉を避けるために、シリンダー（図示せず）によって、上側へ移動される。
整列テーブル３１０へ搬送された基板が、長さが比較的短いＳＯ−ＤＩＭＭ用印刷回路基板である場合、基板は、第１整列ロード３３１、３３３と第２整列ロード３３５、３３６とによって、第１方向Ｉに整列できる。第２整列ロード３３５、３３６は、シリンダー（図示せず）によって、下側へ移動される。そして、第１整列ロード３３１、３３３は、互いに近づく方向へ移動して、第２整列ロード３３５、３３６は、互いに遠ざかる方向へ移動する。結果的に、第１整列ロード３３１と第２整列ロード３３５とが互いに近づく方向へ移動して基板を整列し、第１整列ロード３３３と第２整列ロード３３６とが互いに近づく方向へ移動して基板を整列する。

上記のような構成を有する第１整列ロード３３１、３３３と第２整列ロード３３５、３３６とは、第１方向Ｉに沿って並べて複数個が配置され、これは、基板検査装置で基板を搬送する容器Ｍの数に連動する。本実施形態の場合、ローディング部１００に容器Ｍが２列に置かれるために、第１整列ロード３３１、３３３と第２整列ロード３３５、３３６とは、２つ配置されることができる。ここで、図１５の説明されない符号３３２と３３４は、第１整列ロードであり、符号３３７、３３８は、第２整列ロードである。

図１６（ａ）に示す通り、第１整列ロード３３１、３３２、３３３、３３４の中に整列テーブル３１０の中央部に対応する第１整列ロール３３３、３３４の下面には、基板の第１側面を加圧する加圧突起部３３３、３３４が突出形成される。
図１６（ｂ）に示す通り、第２整列ロード３３５、３３６の互いに対向する面には、突出部３３５−１、３３６−１が形成され、第２整列ロード３３５、３３６は、突出部３３５−１、３３６−１が交互されるように、互いに隣接するように配置される。そして、突出部３３５−１、３３６−１の下面には、基板の第１側面を加圧する加圧突起部３３５−２、３３６−２が形成される。
第１整列機構３３０、駆動部材３４０、そして、シリンダー（図示せず）は、直線駆動部材３５０によって、上下方向へ移動できる。そして、第１整列機構３３０、駆動部材３４０、シリンダー（図示せず）、及び直線駆動部材３５０は、整列テーブル３１０の下端部に固定設置される直線駆動部材３６０によって、第２方向ＩＩへ移動できる。直線駆動部材３５０は、第２方向ＩＩにスライディングするスライダー３５２に連結することができ、スライダー３５２は、整列テーブル３１０の下端に固定設置されたガイド部材３５４によって案内される。ガイド部材３５４の長さ方向は、第２方向ＩＩである。
図１４、及び図１５に示す通り、第２整列機構３７０は、複数の整列ピン３７２、３７４を有する。整列ピン３７２、３７４は、整列テーブル３１０に貫通して形成されたホール３１２に挿入され、整列テーブル３１０の対面から突出される。整列ピン３７２、３７４における１群の整列ピン３７２は、他の群の整列ピン３７２と反対方向に駆動される。すなわち、１群の整列ピン３７２は、第２方向ＩＩを基準として、整列テーブル３１０の先端部に向かう方向に駆動し、他の群の整列ピン３７４は、整列テーブル３１０の後端部に向かう方向に駆動する。
一群の整列ピン３７２は、第１整列板３７１に連結され、他の群の整列ピン３７４は、第２整列板３７３に連結される。第１整列板３７１は、第１スライド機構３７５ａに連結されて第２方向ＩＩに沿って整列テーブル３１０の先端部に向かう方向へ移動でき、第２整列板３７３は、第２スライド機構３７５ｂに連結して第２方向ＩＩに沿って整列テーブル３１０の後端部に向かう方向へ移動できる。そして、第１及び第２スライド機構３７５ａ、３７５ｂは、水平支持台３７６に設置され、水平支持台３７６は、シリンダー３７７によって、上下方向へ移動できる。

図１７は、第１検査部の側面図であり、図１８は、図１７の第１基板クリーニングローラの拡大図である。第１検査部４００は、基板の下面を検査する。

図２、図１７、及び図１８を参照すると、第１検査部４００は、第１吸着テーブル４１０、第１搬送ロボット４２０、４３０、第１照明機構４４０、そして、第１撮影機構４５０を含む。第１吸着テーブル４１０は、整列テーブル３１０の上部空間へ提供され、整列テーブル３１０に置かれた基板の上面を真空吸着する。第１搬送ロボット４２０、４３０は、第１吸着テーブル４１０を上下方向と水平方向に直線移動させる。シリンダー４２０は、第１吸着テーブル４１０の上面に連結し、第１吸着テーブル４１０を上下方向へ移動させる。シリンダー４２０は、水平駆動部材４３０に連結されて水平方向へ移動される。水平駆動部材４３０は、シリンダー４２０の上部に連結するスライダー４３２と、スライダー４３２がスライディングできるように設置される水平支持台４３４を有する。スライダー４３２には、リニアモーター（図示せず）が内蔵される。
第１照明機構４４０と第１撮影機構４５０とは、第１吸着テーブル４１０が移動する経路の下部に配置される。第１照明機構４４０は、基板上のパターン領域のイメージ獲得のために光を照射する照明機構４４２と、基板上の半田レジスター領域のイメージ獲得のための光を照射する照明機構４４４を含む。第１吸着テーブル４１０は、各々の照明機構４４２、４４４が独立して基板に光を照射することができるように水平方向に往復運動する。第１撮影機構４５０は、第１照明機構４４０の光が照射される基板の下面を撮影してパターン領域と半田レジスター領域のイメージを獲得する。
整列部３００と第１照明機構４４０との間には、基板をクリーニングする第１基板クリーニングローラ４６０が配置される。第１基板クリーニングローラ４６０は、上部ローラ４６２と下部ローラ４６４とを有する。上部ローラ４６２と下部ローラ４６４とは、回転軸が第２方向ＩＩに向かうように配置され、各々の回転軸は、第３方向ＩＩＩに整列される。上部ローラ４６２は、下部ローラ４６４の上側に配置される。上部ローラ４６２は、第１搬送ロボット４２０、４３０によって、移動する基板の下面に接触し、基板下面の異質物をクリーニングする。下部ローラ４６４は、上部ローラ４６２と接触し、上部ローラ４６２をクリーニングする。下部ローラ４６４は、基板のクリーニングの際には、上部ローラ４６２と接触し、基板クリーニングの後には、シリンダー４６６によって、下へ移動して上部ローラ４６２から離隔される。上部ローラ４６２、下部ローラ４６４、及びシリンダー４６６は、支持フレーム４６８によって支持される。

図１９は、第２検査部の側面図であり、図２０は、図１９の第２基板クリーニングローラの拡大図である。第２検査部５００は、基板の下面を検査する。

図２、図１９、及び図２０を参照すると、第２検査部５００は、第２吸着テーブル５１０、第２搬送ロボット５２０、第２照明機構５３０、及び第２撮影機構５４０を含む。第２吸着テーブル５１０は、第１吸着テーブル４１０の下部空間に設置され、第１吸着テーブル４１０に吸着された基板を受け取って基板の下面を真空吸着する。第２搬送ロボット５２０は、第２吸着テーブル５１０を水平方向に直線移動させる。第２搬送ロボット５２０は、第２吸着テーブル５１０の下部に連結するスライダー５２２と、スライダー５２２がスライディングできるように設置される水平支持台５２４を有する。スライダー５２２には、リニアモーター（図示せず）が内蔵される。
第２照明機構５３０と第２撮影機構５４０とは、第２吸着テーブル５１０が移動する経路の上部に設置される。第２照明機構５３０は、基板上のパターン領域のイメージ獲得のための光を照射する照明機構５３２と、基板上の半田レジスター領域のイメージ獲得のための光を照射する照明機構５３４を含む。第２吸着テーブル５１０は、各々の照明機構５３２、５３４が独立して基板に光を照射することができるように水平方向に往復運動する。第２撮影機構５４０は、第２照明機構５３０の光が照射される基板の上面を撮影してパターン領域と半田レジスター領域のイメージを取得する。
第１検査部４００と第２照明機構５３０との間には、基板をクリーニングする第２基板クリーニングローラ５５０が配置される。第２基板クリーニングローラ５５０は、上部ローラ５５４と下部ローラ５５２を有する。上部ローラ５５４と下部ローラ５５２とは、回転軸が第２方向ＩＩに向かうように配置され、各々の回転軸は、第３方向ＩＩＩに整列される。上部ローラ５５４は、下部ローラ５５２の上側に配置される。下部ローラ５５２は、第２搬送ロボット５２０によって、移動する基板の上面と接触し、基板対面の異質物をクリーニングする。上部ローラ５５４は、下部ローラ５５２と接触し、下部ローラ５５２をクリーニングする。上部ローラ５５４と下部ローラ５５２とは、支持フレーム５５６によって支持される。

図２１は、分類−積載ロボットの側面図である。分類−積載ロボット６００は、第１及び第２検査部４００、５００の検査結果によって検査された基板を良品Ｓ１と不良品Ｓ２に分類してアンローディング部７００に置かれた第２容器Ｍ１、Ｍ２に選別して積載する。
図２１を参照すると、分類−積載ロボット６００は、第２検査部５００の第２吸着テーブル５１０に置かれた基板をアンローディング部７００の積載ポート７３０に置かれた第２容器Ｍ１、Ｍ２へ搬送する。分類−積載ロボット６００は、第２検査部５００と積載ポート７３０の上部空間に第１方向Ｉに沿って水平に配置される第１水平支持台６１２を有する。第１水平支持台６１２には、ガイドレールが提供され、ガイドレール上には、スライダー６１４が設置される。スライダー６１４には、リニアモーター（図示せず）が装着でき、リニアモーターの駆動によって、スライダー６１４がガイドレール上から第１方向Ｉへスライディングする。
スライダー６１４には、第２方向ＩＩに沿って水平となるように配置される第２水平支持台６２２が設置される。第２水平支持台６２２には、ガイドレールが提供され、ガイドレール上には、スライダー６２４が設置される。スライダー６２４には、リニアモーター（図示せず）が装着でき、リニアモーターの駆動によって、スライダー６２４がガイドレール上から第２方向ＩＩにスライディングする。
スライダー６２４の下部には、連結部材６４２が結合され、連結部材６４２には、第３方向ＩＩＩ、すなわち上下方向に直線駆動力を提供するシリンダー６４４が設置される。シリンダー６４４には、吸着部材支持板６３２が連結され、吸着部材支持板６３２の下面には、基板を吸着する複数の吸着部材６３４が設置される。
吸着部材６３４は、第１及び第２水平支持台６１２、６２２と、これらによって、支持されるスライダー６１４、６２４によって、第１及び第２方向Ｉ、ＩＩに直線移動され、シリンダー６４４によって、第３方向ＩＩＩに直線移動される。このような駆動メカニズムによって、吸着部材６３４は、第２検査部５００の第２吸着テーブル５１０とアンローディング部７００の積載ポート７３０の上部空間へ移動できる。
第２検査部５００の第２吸着テーブル５１０上部へ移動された吸着部材６３４は、シリンダー６４４によって下方向へ移動して、第２吸着テーブル５１０に置かれた基板を吸着する。以後、吸着部材６３４は、シリンダー６４４によって上の方向へ移動し、第１及び第２水平支持台６１２、６２２によって、支持されるスライダー６１４、６２４のスライディングによって、アンローディング部７００の積載ポート７３０上部空間へ移動する。
積載ポート７３０の上部空間へ移動した吸着部材６３４は、シリンダー６４４によって、下の方向へ移動した後、基板に加えられた負圧を解除して積載ポート７３０に置かれた第２容器Ｍ１、Ｍ２に基板を収納する。この時、第１及び第２検査部４００、５００から良品と判定された基板Ｓ１は、第２容器Ｍ１に収納され、第１及び第２検査部４００、５００から不良品と判定された基板Ｓ２は、第２容器Ｍ２に収納される。

図２２は、図１のアンローディング部の拡大図である。そして図２３は、図２２のアンローディング部の側面図である。図２２及び図２３を参照すると、アンローディング部７００は、第２搬入ポート７１０ａ、７１０ｂ、７１０ｃ、７１０ｄ、搬出ローラ７２０、そして積載ポート７３０を含む。第２搬入ポート７１０ａ、７１０ｂ、７１０ｃ、７１０ｄは、第２方向ＩＩに沿って２列に配置され、第２搬入ポート７１０ａ、７１０ｂ、７１０ｃ、７１０ｄには、基板が収納されない空の第２容器Ｍ１、Ｍ２が置かれる。搬出ローラ７２０は、第２搬入ポート７１０ａ、７１０ｂ、７１０ｃ、７１０ｄと並べて第２方向ＩＩに沿って２列に配置され、第２搬入ポート７１０ａ、７１０ｂ、７１０ｃ、７１０ｄから所定の間隔に配置される。搬出ローラ７２０は、第２方向ＩＩに沿って、下へ傾くように配置される。搬出ローラ７２０には、良品の基板Ｓ１が収納された第２容器Ｍ１と、不良品の基板Ｓ２が収納された第２容器Ｍ２とが置かれる。第２容器Ｍ１、Ｍ２は、傾くように配置される搬出ローラ７２０に置かれるので、第２容器Ｍ１、Ｍ２の自らの重さによって、搬出ローラ７２０の端部へ移動することができる。積載ポート７３０は、第２搬入ポート７１０ａ、７１０ｂ、７１０ｃ、７１０ｄと搬出ローラ７２０との間に配置され、積載ポート７３０には、分類−積載ロボット６００から搬送される良品と不良品との基板が収納される第２容器Ｍ１、Ｍ２が置かれる。一方、搬出ローラ７２０の積載ポート７３０と隣接した位置には、搬出ローラ７２０に置かれた第２容器Ｍ１、Ｍ２を搬出ローラ７２０の配列方向に押さえる手段を備える。
第２容器Ｍ１、Ｍ２は、第２搬入ポート７１０ａ、７１０ｂ、７１０ｃ、７１０ｄ上から順次移動した後、積載ポート７３０に置かれ、第２容器Ｍ１、Ｍ２への基板の収納が完了すると、積載ポート７３０から搬出ローラ７２０の上へ移動される。
第２搬入ポート７１０ａ、７１０ｂ、７１０ｃ、７１０ｄの下には、第１アンローディングロボット７５０が配置され、搬出ローラ７２０の下には、第２アンローディングロボット７６０が配置される。第１アンローディングロボット７５０は、第２搬入ポート７１０ａ、７１０ｂ、７１０ｃ、７１０ｄとの間、そして積載ポート７３０に隣接する第２搬入ポート７１０ｄと積載ポート７３０との間に第２容器Ｍ１、Ｍ２を搬送する。第２アンローディングロボット７６０は、積載ポート７３０に置かれた第２容器Ｍ１、Ｍ２を搬出ローラ７２０の上に搬送する。
第２アンローディングロボット７５０は、第２搬入ポート７１０ａ、７１０ｂ、７１０ｃ、７１０ｄの開口部に対応する大きさの昇降板７５６を有する。昇降板７５６の上面には、第２容器Ｍ１、Ｍ２の第１ホール２７ａ、２７ｂに挿入されるピン部材７５７が設置される。ピン部材７５７が第１ホール２７ａ、２７ｂに挿入されると、第２容器Ｍ１、Ｍ２が昇降板７５６に固定される。昇降板７５６の下部には、昇降板７５６を上下方向へ移動させるシリンダー７５４が連結され、シリンダー７５４は、ガイドレール７４０上でスライディングするスライダー７５２に固定される。スライダー７５２には、リニアモーター（図示せず）が内蔵され、スライダー７５２は、この他にもシリンダー機構のような他の種類の駆動手段によってもスライディングできる。
第１アンローディングロボット７５０が第２搬入ポート７１０ｄに置かれた第２容器Ｍ１、Ｍ２を積載ポート７３０へ搬送する工程は、先に説明した第１ローディングロボット１５０の動作工程と同一であるので、これに対する説明は、省略する。そして、第２アンローディングロボット７６０は、第１アンローディングロボット７５０と同じ構造を有するので、これに対する詳細な説明は、省略する。
積載ポート７３０の下には、下降機構７７０が配置される。下降機構７７０は、積載ポート７３０に置かれた第２容器Ｍ１、Ｍ２に収納される基板を下降させる。下降機構７７０は、図２に示す通り、長さ方向が上下方向に向け、第２容器Ｍ１、Ｍ２の支持板２１に形成された第２ホール２８に整列された下降ロード７７２を有する。下降ロード７７２は、下降駆動部材７７４によって、上下方向に直線移動する。下降駆動部材７７４は、駆動源とこの動力を伝達するベルト−フリーアセンブリーを含む。

以上の説明は、本発明の技術思想を例示的に説明したに過ぎず、本発明が属する技術分野で通常の知識を有する者は、本発明の本質的な特性から逸脱しない範囲で多様な修正、及び変形が可能である。したがって、本発明に開示された実施形態は、本発明の技術思想を限定せず、単なる説明するためのものであり、このような実施形態によって本発明の技術思想の範囲は、限定されない。本発明の保護範囲は、特許請求の範囲によって解析されなければならず、これと同等な範囲内にあるあらゆる技術思想は、本発明の権利範囲に含まれることと解析されるべきである。

Ｍ、Ｍ１、Ｍ２ 容器
Ｓ、Ｓ１、Ｓ２ 基板
１００ ローディング部
２００ 基板搬送ロボット
３００ 整列部
４００ 第１検査部
５００ 第２検査部
６００ 分類−積載ロボット
７００ アンローディング部

Claims (42)

1. 上下方向に積層された複数の基板を収容し、上部が開放されたカセットと、
   前記カセットが垂直に積載されるスロットが複数形成されたハウジングと、
   を含むことを特徴とする基板収納容器。
2. 前記ハウジングは、
   支持板と、
   前記支持板の上面に対向するように垂直に設置され、対向面に垂直する方向に前記スロットが突出された一対の第１側板と、
   を含むことを特徴とする請求項１に記載の基板収納容器。
3. 前記スロットは、前記第１側板の対向面の上の両側垂直エッジとの間の領域に設置されることを特徴とする請求項２に記載の基板収納容器。
4. 前記ハウジングは、
   前記スロットの配列方向に対して垂直に設置され、前記第１側板の何れか１つの前記垂直エッジに結合される第２側板をさらに含むことを特徴とする請求項３に記載の基板収納容器。
5. 前記ハウジングは、
   前記第１側板の何れか１つの前記垂直エッジから前記スロットの突出方向に突出された突出部をさらに含むことを特徴とする請求項４に記載の基板収納容器。
6. 前記ハウジングは、
   前記第１側板を中心に対して対称となるように前記支持板に設置される把持部をさらに含むことを特徴とする請求項２に記載の基板収納容器。
7. 前記支持板には、前記支持板を固定するピン部材が挿入される第１ホールが貫通して形成されることを特徴とする請求項２に記載の基板収納容器。
8. 前記カセットは、
   前記ハウジングの前記スロットによって支持される四角形形状の第１プレートと、
   前記スロットの長さ方向に向け、前記第１プレートのエッジから前記第１プレートに対して垂直な方向に延長される第２プレートと、
   前記第２プレートの下端から互いに対向する方向に延長され、前記基板を支持する第１下敷板と、を含むことを特徴とする請求項２乃至請求項７の中に何れか１つに記載の基板収納容器。
9. 前記カセットは、
   前記第１プレートの下端中心部から前記第１プレートに垂直な方向に延長され、前記基板を支持する第２下敷板をさらに含むことを特徴とする請求項８に記載の基板収納容器。
10. 前記第１下敷板と前記第２下敷板との間の領域に対応する前記支持板の位置には、前記基板を昇降させる昇降機構が挿入される第２ホールが形成されることを特徴とする請求項９に記載の基板収納容器。
11. 前記カセットは、
    前記第２プレートの内面に互いに対向するように設置され、前記第１及び第２下敷板によって支持される前記基板の側面を支持する側面支持部材をさらに含むことを特徴とする請求項１０に記載の基板収納容器。
12. 前記カセットは、
    前記第２プレートに対応する形状を有し、前記第１プレートと前記第２下敷板との間に脱着可能に設置される仕切り壁をさらに含むことを特徴とする請求項１０に記載の基板収納容器。
13. 基板が上下方向に積層されるように前記基板を収容するカセットと、
    前記カセットを受容する空間を有するハウジングと、を含み、
    各々の前記カセットは、前記ハウジングにスライド方式によって、移動して分離、及び挿入ができるように構成されることを特徴とする基板収納容器。
14. 前記ハウジングは、互いに対向するように離隔配置され、長さ方向が上下方向に向かうスロットが形成された一対の第１側板を含み、
    各々の前記カセットは、
    前記スロットによって支持され、前記スロットに沿ってスライド移動可能な第１プレートと、
    前記第１プレートの両端に連結される第２プレートと、を含み、
    前記第１プレートと前記第２プレートとは、これらの間に形成された空間に前記基板が収納されるように構成されることを特徴とする請求項１３に記載の基板収納容器。
15. 前記第１プレートと前記第２プレートとは、上部から見た場合、互いに組合わされたときにコの字形状となることを特徴とする請求項１４に記載の基板収納容器。
16. 前記カセットは、
    前記第２プレートとの間に位置し、前記第２プレートとの間の空間を分離し、前記第１プレートに脱着可能に設置される仕切り壁をさらに含むことを特徴とする請求項１４に記載の基板収納容器。
17. 前記カセットは、
    前記第１側板の配置方向に垂直な第２方向に沿って一列に並べて位置するように設置されることを特徴とする請求項１４乃至請求項１６の中に何れか１つに記載の基板収納容器。
18. 基板が収納された第１容器が置かれるローディング部と、
    前記ローディング部から搬送された前記基板に光を照射して前記基板を検査する検査部と、
    前記検査部で検査された前記基板が収納される第２容器が置かれるアンローディング部と、を含み、
    前記第１及び第２容器は、
    上下方向に積層された複数の前記基板を収容し、上部が開放されたカセットと、
    前記カセットが垂直に積載されるスロットが形成されたハウジングと、を含むことを特徴とする基板検査装置。
19. 前記ハウジングは、
    支持板と、
    前記支持板の上面に対向するように垂直に設置され、対向面に対して垂直な方向に前記スロットが突出された一対の第１側板と、を含むことを特徴とする請求項１８に記載の基板検査装置。
20. 前記スロットは、前記第１側板の対向面の上の両側垂直エッジとの間の領域に設置され、
    前記ハウジングは、
    前記スロットの配列方向に対して垂直に設置され、前記第１側板の何れか１つの前記垂直エッジに結合される第２側板と、
    前記第１側板の何れか１つの前記垂直エッジから前記スロットの突出方向に突出された突出部と、をさらに含むことを特徴とする請求項１９に記載の基板検査装置。
21. 前記カセットは、
    前記ハウジングの前記スロットによって支持される四角形形状の第１プレートと、
    前記スロットの長さ方向に向け、前記第１プレートのエッジから前記第１プレートに対して垂直な方向に延長される第２プレートと、
    前記第２プレートの下端から互いに対向する方向に延長され、前記基板を支持する第１下敷板と、
    前記第１プレートの下端中心部から前記第１プレートに対して垂直な方向に延長され、前記基板を支持する第２下敷板と、を含むことを特徴とする請求項１９に記載の基板検査装置。
22. 前記カセットは、
    前記第２プレートの内面に互いに対向するように設置され、前記第１及び第２下敷板によって、支持される前記基板の側面を支持する側面支持部材をさらに含むことを特徴とする請求項２１に記載の基板検査装置。
23. 前記カセットは、
    前記第２プレートに対応する形状を有し、前記第１プレートと前記第２下敷板との間に脱着可能に構成される仕切り壁をさらに含むことを特徴とする請求項２１に記載の基板検査装置。
24. 前記支持板には、前記支持板を固定するピン部材が挿入される第１ホールが貫通して形成されることを特徴とする請求項１９に記載の基板検査装置。
25. 前記第１下敷板と前記第２下敷板との間の領域に対応する前記支持板の位置には、前記基板を昇降させる昇降機構が挿入される第２ホールが形成されることを特徴とする請求項２４に記載の基板検査装置。
26. 前記ローディング部は、
    前記検査される基板が収納された前記第１容器が置かれ、一列に配置される複数の第１搬入ポートと、
    空の前記第１容器が置かれ、前記第１搬入ポートと並べて一列に配置される複数の第１搬出ポートと、
    前記第１搬入ポートと前記第１搬出ポートとの間に配置され、前記検査部へ伝えられる基板が収納された前記第１容器が置かれる工程ポートと、
    前記第１搬入ポートとの間、前記工程ポートと前記工程ポートに隣接する前記第１搬入ポート及び前記第１搬出ポートとの間、及び前記第１搬出ポートとの間に前記第１容器を搬送するローディングロボットと、
    を含むことを特徴とする請求項１９に記載の基板検査装置。
27. 前記ローディング部は、前記工程ポートの下に配置され、前記工程ポートに置かれた前記第１容器に収納された前記基板を昇降させる昇降機構をさらに含み、
    前記昇降機構は、
    長さ方向が上下方向に向け、前記第１容器の前記支持板に貫通して形成されたホールに整列される昇降ロードと、
    前記昇降ロードを上下方向に直線駆動させる昇降駆動部材と、
    を含むことを特徴とする請求項２６に記載の基板検査装置。
28. 前記ローディング部と前記検査部との間に配置され、前記基板を整列する整列部と、
    前記ローディング部から前記整列部へ前記基板を移送する基板搬送ロボットと、をさらに含み、
    前記整列部は、
    前記基板搬送ロボットによって搬送された前記基板が置かれる整列テーブルと、
    前記整列テーブルに置かれた前記基板の第１方向に向ける第１側面を加圧して前記基板を整列する第１整列機構と、
    前記整列テーブルに置かれた前記基板の前記第１方向に垂直１第２方向に向ける第２側面を加圧して前記基板を整列する第２整列機構と、
    を含むことを特徴とする請求項１９に記載の基板検査装置。
29. 前記第１整列機構は、
    長さ方向が前記第２方向に向け、前記第１方向に離隔され、互いに近づく方向へ移動可能な１対の第１整列ロードを含むことを特徴とする請求項２８に記載の基板検査装置。
30. 前記第１整列機構は、
    長さ方向が前記第２方向に向け、前記第１整列ロードの間に位置し、前記第１整列ロードに向かって互いに遠ざかる方向へ移動可能な１対の第２整列ロードをさらに含むことを特徴とする請求項２９に記載の基板検査装置。
31. 前記第２整列ロードの互いに対向する面には、突出部が形成され、前記第２整列ロードは、前記突出部が交互されるように互いに隣接するように配置されることを特徴とする請求項３０に記載の基板検査装置。
32. 前記基板の前記第１側面を加圧する加圧突起部が、前記突出部の下面に形成されることを特徴とする請求項３１に記載の基板検査装置。
33. 前記第１整列ロードと前記第２整列ロードとは、前記第１方向に沿って並べて複数に配置されることを特徴とする請求項３０乃至請求項３２中の何れか１つに記載の基板検査装置。
34. 前記検査部は、前記基板の下面を検査する第１検査部と、前記基板の上面を検査する第２検査部とを含み、
    前記第１検査部と前記第２検査部とは、一列に並べて配置されることを特徴とする請求項３３に記載の基板検査装置。
35. 前記第１検査部は、
    前記整列テーブルに置かれた前記基板の上面を真空吸着する第１吸着テーブルと、
    前記第１吸着テーブルを直線移動させる第１搬送ロボットと、
    前記第１吸着テーブルの下に配置されて、前記第１搬送ロボットによって移動する前記基板の下面に光を照射する第１照明機構と、
    前記第１照明機構の光が照射される前記基板の下面を撮影する第１撮影機構と、を含むことを特徴とする請求項３４に記載の基板検査装置。
36. 前記第１検査部は、
    前記整列部と前記第１照明機構との間に配置され、前記第１搬送ロボットによって移動する前記基板の下面と接触して前記基板の下面の異質物をクリーニングする第１基板クリーニングローラをさらに含むことを特徴とする請求項３５に記載の基板検査装置。
37. 前記第２検査部は、
    前記第１吸着テーブルの下に位置し、前記第１吸着テーブルに吸着された前記基板が搬送されたことを受けて、前記基板の下面を真空吸着する第２吸着テーブルと、
    前記第２吸着テーブルを直線移動させる第２搬送ロボットと、
    前記第２吸着テーブルの上部に配置されて、前記第２搬送ロボットによって移動した前記基板の上面に光を照射する第２照明機構と、
    前記第２照明機構の光が照射される前記基板の上面を撮影する第２撮影機構と、を含むことを特徴とする請求項３４に記載の基板検査装置。
38. 前記第２検査部は、
    前記第１検査部と前記第２照明機構との間に配置され、前記第２搬送ロボットによって移動する前記基板の上面と接触して前記基板対面の異質物をクリーニングする第２基板クリーニングローラをさらに含むことを特徴とする請求項３７に記載の基板検査装置。
39. 前記第１及び第２検査部の検査結果によって前記基板を良品と不良品とに分類して前記アンローディング部に置かれた前記第２容器に選別して積載する分類−積載ロボットをさらに含むことを特徴とする請求項１９に記載の基板検査装置。
40. 前記アンローディング部は、
    空の前記第２容器が置かれて、一列に配置される複数の第２搬入ポートと、
    前記第２搬入ポートと並べて一列に配置される複数の搬出ローラと、
    前記第２搬入ポートと前記搬出ローラとの間に配置され、前記分類−積載ロボットによって搬送された前記基板が収納される前記第２容器が置かれる積載ポートと、
    前記第２搬入ポート間、前記積載ポートと前記積載ポートに隣接する前記第２搬入ポート間に前記第２容器を搬送する第１アンローディングロボットと、
    前記積載ポートに置かれた前記第２容器を前記搬出ローラの上に搬送する第２アンローディングロボットと、
    を含むことを特徴とする請求項３９に記載の基板検査装置。
41. 前記複数の搬出ローラは、配列方向に沿って下へ傾くように配置されることを特徴とする請求項４０に記載の基板検査装置。
42. 前記アンローディング部は、前記積載ポートの下に配置され、前記積載ポートに置かれた前記第２容器に収納される前記基板を下降させる下降機構をさらに含み、
    前記下降機構は、
    長さ方向が上下方向に向け、前記第２容器の前記支持板に貫通して形成されたホールに整列される下降ロードと、
    前記下降ロードを上下方向に直線駆動させる下降駆動部材と、
    を含むことを特徴とする請求項４０に記載の基板検査装置。
    

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