[go: up one dir, main page]

JP2010257877A - UV irradiation equipment - Google Patents

UV irradiation equipment Download PDF

Info

Publication number
JP2010257877A
JP2010257877A JP2009109280A JP2009109280A JP2010257877A JP 2010257877 A JP2010257877 A JP 2010257877A JP 2009109280 A JP2009109280 A JP 2009109280A JP 2009109280 A JP2009109280 A JP 2009109280A JP 2010257877 A JP2010257877 A JP 2010257877A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
ultraviolet
ultraviolet lamp
lamp
tube
arc tube
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP2009109280A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Yoshitaka Fujita
義貴 藤田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Lighting and Technology Corp
Original Assignee
Harison Toshiba Lighting Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Harison Toshiba Lighting Corp filed Critical Harison Toshiba Lighting Corp
Priority to JP2009109280A priority Critical patent/JP2010257877A/en
Priority to KR1020100024650A priority patent/KR101640608B1/en
Priority to FR1052132A priority patent/FR2944913A1/en
Priority to CN201010155648.8A priority patent/CN101877301B/en
Publication of JP2010257877A publication Critical patent/JP2010257877A/en
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Discharge Lamps And Accessories Thereof (AREA)
  • Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)

Abstract

【課題】ランプ温度に影響を受ける紫外線ランプと冷却ユニットとの距離に制限を加えることで、高入力電力の場合での早期の失透や黒化等を抑制する。
【解決手段】紫外線透過性の石英ガラスで気密性を有する放電空間13を備えた発光管14内の軸方向に一対の放電用の電極15a,15bを対向して配置する。放電空間13内にアーク放電させた状態を維持するために十分な量の希ガス、水銀、ハロゲン、発光金属からなる封入物を封入することで紫外線ランプ100を構成し、点灯時に紫外光を発光させる。紫外線ランプ100は、内管21と外管22との間に紫外線ランプ100を冷却させる冷却液24を循環させ、紫外線を透過させる二重構造の冷却ユニット200の内管21内に収容する。紫外線ランプ100と冷却ユニット200の内管21との距離D[mm]と紫外線ランプ100の入力電力P[W/cm]は、D≦−0.2P+35の関係を満足するものとした。
【選択図】図1
An object of the present invention is to suppress early devitrification and blackening in the case of high input power by limiting the distance between an ultraviolet lamp and a cooling unit that are affected by lamp temperature.
A pair of discharge electrodes 15a and 15b are arranged opposite to each other in an axial direction in an arc tube 14 having an airtight discharge space 13 made of ultraviolet transmissive quartz glass. An ultraviolet lamp 100 is configured by enclosing a sufficient amount of a noble gas, mercury, halogen, and a light emitting metal enclosure to maintain an arc discharge state in the discharge space 13, and emits ultraviolet light when it is turned on. Let The ultraviolet lamp 100 is accommodated in the inner tube 21 of the dual structure cooling unit 200 that circulates a coolant 24 for cooling the ultraviolet lamp 100 between the inner tube 21 and the outer tube 22 and transmits ultraviolet rays. The distance D [mm] between the ultraviolet lamp 100 and the inner tube 21 of the cooling unit 200 and the input power P [W / cm] of the ultraviolet lamp 100 satisfy the relationship of D ≦ −0.2P + 35.
[Selection] Figure 1

Description

この発明は、紫外線ランプから照射される紫外線で光化学処理、光殺菌、光洗浄等に用いられる紫外線照射装置に関する。   The present invention relates to an ultraviolet irradiation device used for photochemical treatment, photodisinfection, photowashing, and the like with ultraviolet rays irradiated from an ultraviolet lamp.

従来の紫外線照射装置は、紫外線を照射させる紫外線照射用ランプの表面が高温となる。そのため破損を防止する冷却機構が必要となり、一般的には空冷による冷却方式が使用されている。空冷方式にはランプに直接気体を当て冷却する直接的手法とランプ外周方向に設置した透過容器を液体により冷却することで透過容器周囲の気体を冷却し、ランプを冷却する間接的手法がある。特に、被照射物の温度上昇の抑制またはランプ外周方向に被照射物である液体がある場合には後者の手法が用いられる。(例えば、特許文献1)   In the conventional ultraviolet irradiation device, the surface of the ultraviolet irradiation lamp that irradiates ultraviolet rays becomes high temperature. Therefore, a cooling mechanism for preventing breakage is necessary, and generally a cooling method by air cooling is used. The air cooling method includes a direct method in which a gas is directly applied to a lamp for cooling, and an indirect method in which the gas around the transmission container is cooled by cooling the transmission container installed in the outer peripheral direction of the lamp with a liquid, thereby cooling the lamp. In particular, the latter method is used when the temperature rise of the irradiated object is suppressed or when there is a liquid that is the irradiated object in the lamp outer peripheral direction. (For example, Patent Document 1)

特開2008−226806公報JP 2008-226806 A

上記した特許文献1の技術は、ランプ入力電力を上昇させることで、被照射物に対する処理能力を向上させることができるものの、ランプ周囲の気体を冷却させることでランプを冷却する間接的手法では、冷却能力に限界があることから120W/cm以下の入力電力に制限される。一般にランプ表面温度が850℃以上で点灯し続けた場合、早期に失透、黒化等の不具合が生じる、という問題があった。   Although the technique of the above-mentioned patent document 1 can improve the processing capability for the irradiated object by increasing the lamp input power, the indirect method of cooling the lamp by cooling the gas around the lamp, Since the cooling capacity is limited, the input power is limited to 120 W / cm or less. In general, when the lamp surface temperature continues to be lit at 850 ° C. or higher, there is a problem that defects such as devitrification and blackening occur at an early stage.

この発明の目的は、ランプ温度に影響のある紫外線ランプと冷却ユニットとの距離に制限を加えることで、高入力電力による点灯でも長寿命化を図ることのできる紫外線照射装置を提供することにある。   SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide an ultraviolet irradiation device capable of extending the life even by lighting with high input power by limiting the distance between the ultraviolet lamp that has an influence on the lamp temperature and the cooling unit. .

上記した課題を解決するために、この発明の紫外線照射装置は、紫外線透過性の材料で気密性を有する放電空間を備えた発光管と、前記発光管の軸方向の該発光管に対向して配置された一対の放電用の電極と、前記放電空間内でアーク放電させた状態を維持するために十分な量の希ガス、水銀、ハロゲン、発光金属からなる封入物と、からなる紫外線ランプと、前記紫外線ランプを収容し、内管と外管との間に紫外線ランプを冷却させる冷却液を循環させるとともに、紫外線を透過させる構造の冷却ユニットと、を具備し、前記紫外線ランプと前記冷却ユニットの内管との距離D[mm]と前記紫外線ランプの入力電力P[W/cm]は、D≦−0.2P+35の関係を満足することを特徴とする。   In order to solve the above-described problems, an ultraviolet irradiation device according to the present invention includes an arc tube provided with a discharge space having an airtight property made of an ultraviolet light transmissive material, and an arc tube in the axial direction of the arc tube. An ultraviolet lamp comprising: a pair of discharge electrodes arranged; and an enclosure composed of a rare gas, mercury, halogen, and a luminescent metal in an amount sufficient to maintain an arc discharge in the discharge space. A cooling unit that houses the ultraviolet lamp, circulates a cooling liquid for cooling the ultraviolet lamp between the inner tube and the outer tube, and transmits ultraviolet rays, and includes the ultraviolet lamp and the cooling unit. The distance D [mm] from the inner tube and the input power P [W / cm] of the ultraviolet lamp satisfy the relationship of D ≦ −0.2P + 35.

この発明によれば、ランプ温度に影響のある紫外線ランプと冷却ユニットとの距離を制限したことにより、120W/cm以上の高入力電力による点灯でもランプの長寿命化を図ることが可能となる。   According to the present invention, by limiting the distance between the ultraviolet lamp that has an influence on the lamp temperature and the cooling unit, it is possible to extend the life of the lamp even when it is turned on with a high input power of 120 W / cm or more.

この発明の紫外線照射装置に関する一実施形態について説明するためのシステム構造図である。It is a system structure figure for explaining one embodiment about the ultraviolet irradiation device of this invention. 図1で用いる紫外線ランプについて説明するための構成図である。It is a block diagram for demonstrating the ultraviolet lamp used in FIG. 図1のI−I’線断面図である。It is the I-I 'sectional view taken on the line of FIG. 紫外線ランプと冷却ユニットとの距離の関係について説明するための説明図である。It is explanatory drawing for demonstrating the relationship of the distance of an ultraviolet lamp and a cooling unit. 入力電力と紫外線ランプおよび冷却ユニット間距離との関係について説明するための説明図である。It is explanatory drawing for demonstrating the relationship between input electric power and the distance between an ultraviolet lamp and a cooling unit. この発明の紫外線照射装置に関する他の実施形態について説明するためのシステム構造図である。It is a system structure figure for demonstrating other embodiment regarding the ultraviolet irradiation device of this invention. 図6で用いる紫外線ランプについて説明するための構成図である。It is a block diagram for demonstrating the ultraviolet lamp used in FIG. 図6のII−II’線断面図である。It is the II-II 'sectional view taken on the line of FIG.

以下、この発明を実施するための形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。   Hereinafter, embodiments for carrying out the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

図1〜図3は、この発明の紫外線照射装置に関する一実施形態について説明するための、図1は基本的なシステム構造図、図2は図1に用いる紫外線ランプについて説明するための構成図、図3は図2のI−I’線断面図である。   1 to 3 are diagrams for explaining an embodiment of the ultraviolet irradiation apparatus according to the present invention. FIG. 1 is a basic system structure diagram. FIG. 2 is a configuration diagram for explaining an ultraviolet lamp used in FIG. 3 is a cross-sectional view taken along the line II ′ of FIG.

紫外線照射装置は、紫外線ランプ100と冷却ユニット200から構成される。紫外線ランプ100と冷却ユニット200は、紫外線ランプ100のソケット11a,11bに取り付けられたスペーサ12a,12bにより所定の間隔に位置決めされる。   The ultraviolet irradiation device includes an ultraviolet lamp 100 and a cooling unit 200. The ultraviolet lamp 100 and the cooling unit 200 are positioned at predetermined intervals by spacers 12a and 12b attached to the sockets 11a and 11b of the ultraviolet lamp 100.

図2に示すように、紫外線ランプ100は、紫外線透過性を有する石英ガラス製で放電空間13を形成する発光管14の長手方向両端の内部には、例えばタングステン材の電極15a,15bが配置される。発光管14は、例えば外径φが27.5mm、肉厚mが1.5mm、発光長Lが100mm程度の一重管で構成される。   As shown in FIG. 2, the ultraviolet lamp 100 is made of quartz glass having ultraviolet transparency, and electrodes 15 a and 15 b made of, for example, tungsten are disposed inside both ends in the longitudinal direction of the arc tube 14 that forms the discharge space 13. The The arc tube 14 is constituted by a single tube having an outer diameter φ of 27.5 mm, a wall thickness m of 1.5 mm, and a light emission length L of about 100 mm, for example.

電極15a,15bは、それぞれインナーリード16a,16bを介してモリブデン箔17a,17bの一端に溶接される。モリブデン箔17a,17bの他端には、図示しないアウターリードの一端を溶接する。モリブデン箔17a,17bの部分は発光管14のインナーリード16a,16bからアウターリードの一端までの発光管14を加熱して封止する。   The electrodes 15a and 15b are welded to one end of the molybdenum foils 17a and 17b via the inner leads 16a and 16b, respectively. One end of an outer lead (not shown) is welded to the other end of the molybdenum foils 17a and 17b. The portions of the molybdenum foils 17a and 17b heat and seal the arc tube 14 from the inner leads 16a and 16b of the arc tube 14 to one end of the outer lead.

モリブデン箔17a,17bは、発光管14を形成する石英ガラスの熱膨張率に近い材料であれば何でもよいが、この条件に適したものとしてモリブデンを使用する。モリブデン箔17a,17bに一端がそれぞれ接続されたアウターリードには、例えばセラミック製のソケット18a,18bの内部で電気的に接続された給電用のリード線19a,19bを絶縁封止するとともに図示しない電源回路に接続される。   The molybdenum foils 17a and 17b may be any material that has a thermal expansion coefficient close to that of quartz glass forming the arc tube 14, but molybdenum is used as a material suitable for this condition. The outer leads connected at one end to the molybdenum foils 17a and 17b, respectively, are insulated and sealed with power supply lead wires 19a and 19b electrically connected inside, for example, ceramic sockets 18a and 18b. Connected to the power circuit.

発光管14内には、アーク放電を維持させるための希ガスである十分な量のアルゴンガスが1.3kPaで、水銀それに紫外光を発光させるための金属である鉄、スズ、インジウム、ビスマス、タリウム、マンガンのうちの少なくとも1種とハロゲンが封入されている。   In the arc tube 14, a sufficient amount of argon gas, which is a rare gas for maintaining arc discharge, is 1.3 kPa, and iron, tin, indium, bismuth, which are metals for emitting mercury and ultraviolet light, At least one of thallium and manganese and a halogen are enclosed.

冷却ユニット200は、円筒状の石英ガラス等の紫外線透過性の透明な材料よりなり、内管21とその外側に設けられた外管22を備え、二重管構造となっている。紫外線ランプ100は、内管21に内包されている。   The cooling unit 200 is made of a transparent material that is transparent to ultraviolet rays, such as cylindrical quartz glass. The cooling unit 200 includes an inner tube 21 and an outer tube 22 provided outside thereof, and has a double tube structure. The ultraviolet lamp 100 is included in the inner tube 21.

図3に示すように、冷却ユニット200の内管21は、例えば内径d1を32mm、外径d2を36mmとし、外管22は、例えば内径d3を66mm、外径d4を70mmとする。   As shown in FIG. 3, the inner tube 21 of the cooling unit 200 has an inner diameter d1 of 32 mm and an outer diameter d2 of 36 mm, and the outer tube 22 has an inner diameter d3 of 66 mm and an outer diameter d4 of 70 mm, for example.

冷却ユニット200は外周端部に設けられた接続管23a,23bを通して外部から水などの冷却液24が循環される。冷却液24は、図1に示すように、接続管23aから温度の低いものを入水し、接続管23bから紫外線ランプ100の冷却を行い、暖められたものを出水する。暖められた出水は、冷却され再び接続管23aから入力するようにしてある。   In the cooling unit 200, a coolant 24 such as water is circulated from the outside through connection pipes 23a and 23b provided at outer peripheral ends. As shown in FIG. 1, the coolant 24 has a low temperature from the connecting pipe 23a, cools the ultraviolet lamp 100 from the connecting pipe 23b, and discharges the warmed water. The warmed water is cooled and input again from the connection pipe 23a.

外管22の外表面には、金属酸化物膜が被着して形成されている。この金属酸化物としては、TiO,CeO,ZnO,SnO,ZrOの少なくとも1種により構成される。金属酸化物膜は、紫外線ランプ100から放射される光のうち、300nm以下の波長成分を吸収するように成分調整がなされている。 A metal oxide film is deposited on the outer surface of the outer tube 22. This metal oxide is composed of at least one of TiO 2 , CeO 2 , ZnO 2 , SnO 2 , and ZrO 2 . The metal oxide film is component-adjusted so as to absorb a wavelength component of 300 nm or less in the light emitted from the ultraviolet lamp 100.

そして、ランプ長が100cmのときにランプ電力を16kW(160W/cm)が供給され、紫外線ランプ100から紫外線を放射されると、外管22の外面に被着した金属酸化物膜が300nm以下の波長成分を吸収する。従って、樹脂の硬化に有効な300〜430nmの波長域の紫外線が冷却ユニット200を透過させ、紫外線硬化樹脂などの被照射物に照射させる。   When the lamp length is 100 cm and a lamp power of 16 kW (160 W / cm) is supplied and ultraviolet rays are emitted from the ultraviolet lamp 100, the metal oxide film deposited on the outer surface of the outer tube 22 is 300 nm or less. Absorbs wavelength components. Accordingly, ultraviolet rays having a wavelength range of 300 to 430 nm effective for curing the resin are transmitted through the cooling unit 200 and irradiated onto an irradiation object such as an ultraviolet curable resin.

このとき、冷却ユニット200は冷却液24を循環させ、紫外線ランプ100の発光管14の温度が850℃を超えないように制御している。発光管14の表面温度は、850℃以上になると封入ガスと発光管14の材料である石英ガラスとの反応により黒化現象が生じることが知られている。   At this time, the cooling unit 200 circulates the coolant 24 and controls so that the temperature of the arc tube 14 of the ultraviolet lamp 100 does not exceed 850 ° C. It is known that when the surface temperature of the arc tube 14 reaches 850 ° C. or more, a blackening phenomenon occurs due to the reaction between the sealed gas and quartz glass which is the material of the arc tube 14.

ここで、上記した構成の紫外線ランプ100の発光管14と上記した構成の冷却ユニット200の内管21との距離をD[mm]とランプ入力電力P[W/cm]の関係について、図4、図5を参照しながら説明する。   Here, regarding the relationship between the distance D between the luminous tube 14 of the ultraviolet lamp 100 having the above-described configuration and the inner tube 21 of the cooling unit 200 having the above-described configuration, D [mm] and the lamp input power P [W / cm], FIG. This will be described with reference to FIG.

図4では、80,120,140,160,170W/cmの5種類の入力電力が紫外線ランプ100に供給された場合の850℃以下における良好な発光管14と冷却ユニット200の内管21との距離Dを示している。図4では、紫外線ランプ100と冷却ユニット200との接触の弊害を考え、1mmを最小値とした例をデータとしている。   In FIG. 4, when the five types of input power of 80, 120, 140, 160, and 170 W / cm are supplied to the ultraviolet lamp 100, the favorable arc tube 14 and the inner tube 21 of the cooling unit 200 at 850 ° C. or less. The distance D is shown. In FIG. 4, considering the adverse effect of contact between the ultraviolet lamp 100 and the cooling unit 200, data is an example in which 1 mm is the minimum value.

80W/cmでは、図4に示した15mmまでのいずれにおいても発光管14の表面温度が850℃を超えることはなく、ランプ寿命の点では良好である。しかし、この場合は入力電力が小さいことから所望の照度が得られないという問題がある。   At 80 W / cm, the surface temperature of the arc tube 14 does not exceed 850 ° C. in any of up to 15 mm shown in FIG. 4, which is favorable in terms of lamp life. However, in this case, there is a problem that the desired illuminance cannot be obtained because the input power is small.

また、120W/cmでは約11mm以下の距離に、140W/cmでは約6.5mm以下の距離に、160W/cmでは約3mm以下の距離に、170W/cmでは約1.3mm以下の距離にそれぞれ設定した場合には、850℃以下で良好な照度を得つつ、封入物と発光管14との反応による黒化現象を防止できることからランプの長寿化を図ることができる。   In addition, the distance is about 11 mm or less at 120 W / cm, the distance is about 6.5 mm or less at 140 W / cm, the distance is about 3 mm or less at 160 W / cm, and the distance is about 1.3 mm or less at 170 W / cm. When set, the lamp can be made to have a long life since the blackening phenomenon due to the reaction between the enclosed material and the arc tube 14 can be prevented while obtaining good illuminance at 850 ° C. or lower.

図5では、このときの入力電力[W/cm]と良好な発光管14と内管21との距離をD[mm]のプロットを取り、直線で結んだ特性を示している。この図5からもわかるように、ランプ表面温度が850℃となる入力に対する距離Dの関係から、D=−0.2P+35となる近似式が求めらる。このことから、D≦−0.2P+35の条件の場合、ランプ温度を850℃以下に制御することが可能となった。ただし、入力電力P(W/cm)は、120≦P≦170の条件下とする。   FIG. 5 shows a characteristic in which the input power [W / cm] at this time and the distance between the good arc tube 14 and the inner tube 21 are plotted in D [mm] and connected by a straight line. As can be seen from FIG. 5, an approximate expression D = −0.2P + 35 is obtained from the relationship of the distance D to the input at which the lamp surface temperature is 850 ° C. From this, it was possible to control the lamp temperature to 850 ° C. or lower under the condition of D ≦ −0.2P + 35. However, the input power P (W / cm) is assumed to be 120 ≦ P ≦ 170.

この実施形態では、入力電力が120W/cm〜170W/cmの間において、発光管14と内管21との距離D[mm]が、D≦−0.2P+35の近似式を満足する条件であれば、所望の照度が得られつつ、黒化現象を抑えることが可能となり長寿命化を図ることができる。   In this embodiment, when the input power is between 120 W / cm and 170 W / cm, the distance D [mm] between the arc tube 14 and the inner tube 21 is a condition that satisfies the approximate expression of D ≦ −0.2P + 35. Thus, the blackening phenomenon can be suppressed while the desired illuminance is obtained, and the life can be extended.

図6〜図8は、この発明の紫外線照射装置に関する他の実施形態について説明するための、図6は基本的なシステム構造図、図7は図6に用いる紫外線ランプについて説明するための構成図、図8は図7のII−II’線断面図である。なお、上記した実施形態と同一の構成部分には同一の符号を付してここでの説明は省略する。   6 to 8 are diagrams for explaining another embodiment of the ultraviolet irradiation apparatus according to the present invention. FIG. 6 is a basic system structure diagram, and FIG. 7 is a configuration diagram for explaining an ultraviolet lamp used in FIG. 8 is a cross-sectional view taken along the line II-II ′ of FIG. In addition, the same code | symbol is attached | subjected to the component same as above-described embodiment, and description here is abbreviate | omitted.

この実施形態は、紫外線ランプ100の発光管14の長手方向の中間部の外表面に、先端が尖塔あるいは丸みを帯びた形状とした突起61を、一体的に形成したものである。   In this embodiment, a protrusion 61 whose tip is a spire or rounded shape is integrally formed on the outer surface of the intermediate portion in the longitudinal direction of the arc tube 14 of the ultraviolet lamp 100.

突起61は、希ガス等の封入物を発光管14内に封入させるためのチップとも言われる排気管痕とは区別され、設けた突起61の発光管14の外周面からの高さは、排気管痕より高さとなっている。なお、排気管痕は、発光管14の封止する部分を利用することにより、必ずしも必要なものではなく、なくすことも可能である。   The protrusion 61 is distinguished from an exhaust pipe trace, which is also referred to as a chip for enclosing an inclusion such as a rare gas in the arc tube 14, and the height of the provided projection 61 from the outer peripheral surface of the arc tube 14 is the exhaust gas. It is higher than the tube mark. The exhaust tube trace is not necessarily required by using the portion sealed by the arc tube 14, and can be eliminated.

突起61の高さHは、入力電力が120W/cm〜170W/cmの間において、発光管14と内管21との距離D[mm]が、D≦−0.2P+35の近似式を満足する値よりも低い(H<D)関係とする。この条件下において、突起61の高さをどの値にするかは、入力電力値の関係や同じ入力電力でも得たい照度との兼ね合いで適宜決定されるものである。   The height H of the protrusion 61 is such that the distance D [mm] between the arc tube 14 and the inner tube 21 satisfies the approximate expression of D ≦ −0.2P + 35 when the input power is between 120 W / cm and 170 W / cm. The relationship is lower (H <D) than the value. Under this condition, the value of the height of the protrusion 61 is determined as appropriate in consideration of the relationship between the input power values and the illuminance desired to be obtained with the same input power.

この実施形態では、発光管長手方向の中間付近に、紫外線ランプの発光管と冷却ユニットの内管との距離Dより低い突起を一体形成させた。これにより、距離D以内として長寿命を確保することができる。これに加え、長尺化した発光管の長手方向の中間部分が自重や熱ストレス等が原因の経時変化により曲がって冷却ユニットに直接触れ、接触部分にランプ内の水銀が集まり蒸気圧が低下し、ランプ電圧が低下してしまうことの防止にも寄与する。   In this embodiment, a protrusion lower than the distance D between the arc tube of the ultraviolet lamp and the inner tube of the cooling unit is integrally formed near the middle in the longitudinal direction of the arc tube. Thereby, long life can be ensured within the distance D. In addition to this, the middle part of the elongated arc tube in the longitudinal direction bends due to changes over time due to its own weight, thermal stress, etc. and directly touches the cooling unit, mercury in the lamp gathers at the contact part and the vapor pressure decreases. This also contributes to preventing the lamp voltage from decreasing.

なお、この実施形態の突起61は、発光管14の外周面に少なくとも1個で構わないが、図8に示すように周面方向に複数箇所形成しても構わない。この場合、図8に示すように必ずしも同一周回上ではなく、同一周回からズレた位置であっても構わない。さらに、突起61が複数箇所に形成される場合は、軸方向に同一線上になくても良い。   In this embodiment, at least one protrusion 61 may be formed on the outer peripheral surface of the arc tube 14, but a plurality of protrusions 61 may be formed in the peripheral surface direction as shown in FIG. In this case, as shown in FIG. 8, the position may not be on the same lap but may be shifted from the same lap. Furthermore, when the protrusions 61 are formed at a plurality of locations, they do not have to be on the same line in the axial direction.

100 紫外線ランプ
13 放電空間
14 発光管
15a,15b 電極
200 冷却ユニット
21 内管
22 外管
24 冷却液
61 突起
100 UV lamp 13 Discharge space 14 Arc tube 15a, 15b Electrode 200 Cooling unit 21 Inner tube 22 Outer tube 24 Coolant 61 Projection

Claims (6)

紫外線透過性の材料で気密性を有する放電空間を備えた発光管と、
前記発光管の軸方向の該発光管に対向して配置された一対の放電用の電極と、
前記放電空間内でアーク放電させた状態を維持するために十分な量の希ガス、水銀、ハロゲン、発光金属からなる封入物と、からなる紫外線ランプと、
前記紫外線ランプを収容し、内管と外管との間に紫外線ランプを冷却させる冷却液を循環させるとともに、紫外線を透過させる構造の冷却ユニットと、を具備し、
前記紫外線ランプと前記冷却ユニットの内管との距離D[mm]と前記紫外線ランプの入力電力P[W/cm]は、D≦−0.2P+35の関係を満足することを特徴とする紫外線照射装置。
An arc tube with a discharge space having an airtightness made of an ultraviolet light transmissive material;
A pair of discharge electrodes disposed opposite the arc tube in the axial direction of the arc tube;
An ultraviolet lamp comprising an enclosure made of a rare gas, mercury, halogen, and luminescent metal in a sufficient amount to maintain an arc discharge in the discharge space;
A cooling unit that houses the ultraviolet lamp, circulates a cooling liquid that cools the ultraviolet lamp between the inner tube and the outer tube, and transmits ultraviolet rays; and
The distance D [mm] between the ultraviolet lamp and the inner tube of the cooling unit and the input power P [W / cm] of the ultraviolet lamp satisfy the relationship of D ≦ −0.2P + 35. apparatus.
前記ランプ入力電力P[W/cm]は、120W/cm〜170W/cmの範囲内であることを特徴とする請求項1記載の紫外線照射装置。   The ultraviolet irradiation apparatus according to claim 1, wherein the lamp input power P [W / cm] is in a range of 120 W / cm to 170 W / cm. 前記発光管の長手方向の中間部外表面に、前記距離Dよりも高さの低い突起を一体形成したことを特徴とする請求項1または2記載の紫外線照射装置。   3. The ultraviolet irradiation apparatus according to claim 1, wherein a protrusion having a height lower than the distance D is integrally formed on the outer surface of the middle portion in the longitudinal direction of the arc tube. 前記突起は、前記発光管の長手方向の外表面に少なくとも1箇所設けることたことを特徴とする請求項3記載の紫外線照射装置。   4. The ultraviolet irradiation device according to claim 3, wherein at least one projection is provided on the outer surface in the longitudinal direction of the arc tube. 前記突起は、前記発光管側は太く、先端は細くしたことを特徴とする請求項3または4記載の紫外線照射装置。   5. The ultraviolet irradiation device according to claim 3, wherein the protrusion has a thicker side on the arc tube side and a thinner tip. 前記突起の先端は、尖塔あるいは丸み形状としたことを特徴とする請求項3〜5のいずれかに記載の紫外線照射装置。   The ultraviolet irradiation device according to claim 3, wherein the tip of the protrusion has a spire or a round shape.
JP2009109280A 2009-04-28 2009-04-28 UV irradiation equipment Withdrawn JP2010257877A (en)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2009109280A JP2010257877A (en) 2009-04-28 2009-04-28 UV irradiation equipment
KR1020100024650A KR101640608B1 (en) 2009-04-28 2010-03-19 Apparatus for radiating ultraviolet ray
FR1052132A FR2944913A1 (en) 2009-04-28 2010-03-24 ULTRAVIOLET RAY IRRADIATION DEVICE
CN201010155648.8A CN101877301B (en) 2009-04-28 2010-03-30 UV ray irradiation device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2009109280A JP2010257877A (en) 2009-04-28 2009-04-28 UV irradiation equipment

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2010257877A true JP2010257877A (en) 2010-11-11

Family

ID=43318561

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2009109280A Withdrawn JP2010257877A (en) 2009-04-28 2009-04-28 UV irradiation equipment

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2010257877A (en)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2011110492A (en) Ultraviolet irradiation apparatus
TWI383424B (en) High pressure discharge lamp and high pressure discharge lamp device
CN102306609B (en) The manufacture method of ultraviolet lamp, ultraviolet irradiation method, ultraviolet lamp
JP2011107264A (en) Uv ray irradiation device
CN101877301B (en) UV ray irradiation device
JP4897618B2 (en) UV light source
TWI455173B (en) Metal halide lamp
JP5217021B2 (en) Metal halide lamp
TWI463523B (en) Metal halide lamp
TWI344320B (en) Short arc type discharge lamp operating apparatus, ultraviolet irradiation apparatus and method of ultraviolet irradiating
JP2010257877A (en) UV irradiation equipment
JP2011076892A (en) Metal halide lamp, and ultraviolet irradiation device
JP2008226806A (en) UV light source
JP2021051937A (en) Barrier discharge lamp and UV irradiation unit
JP4394096B2 (en) Discharge lamp
JP4203651B2 (en) Electrodeless discharge lamp and electrodeless discharge lamp light source device
JP2011204434A (en) Metal halide lamp and ultraviolet irradiation device
JP7459673B2 (en) UV irradiation device
CN112447493A (en) Discharge lamp and ultraviolet irradiation device
JP2024044510A (en) excimer lamp
JP2023025358A (en) Metal halide lamp and UV irradiation device
JP5629985B2 (en) Discharge lamp device
JP5652614B2 (en) Long arc type metal halide lamp
JP2021112723A (en) Light irradiation device and processing device
JP5640966B2 (en) Excimer lamp

Legal Events

Date Code Title Description
A300 Withdrawal of application because of no request for examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300

Effective date: 20120703