JP2010234714A - 印刷装置および印刷方法 - Google Patents
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- 238000007639 printing Methods 0.000 title claims abstract description 186
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 85
- 238000003825 pressing Methods 0.000 claims abstract description 47
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 55
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 32
- 230000008569 process Effects 0.000 description 30
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 27
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 25
- 238000007645 offset printing Methods 0.000 description 14
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 9
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 7
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 6
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 5
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 5
- 230000008859 change Effects 0.000 description 4
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 4
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 4
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 description 4
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 3
- 238000004088 simulation Methods 0.000 description 3
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 2
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 230000018109 developmental process Effects 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000011835 investigation Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 230000007261 regionalization Effects 0.000 description 1
- 238000013519 translation Methods 0.000 description 1
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Abstract
【課題】高精度にかつ高い再現性で印刷することが可能な印刷装置を提供する。
【解決手段】印刷装置1Aは、印刷版または基板である平板Aが載置されるステージ12a,12bと、シート状のブランケット14を保持する可撓性のブランケット保持板13と、ブランケット保持板13の一端部13aを移動不能に支持する固定支持部15と、ブランケット保持板13の他端部13bを移動可能に支持する単純支持部16と、ブランケット保持板13を押圧することでブランケット14を平板Aに接触させるエアバルーン18と、単純支持部16によるブランケット保持板13の他端部13bの支持位置を可変に調節することで平板Aに対してブランケット14を順次接触させて接触端の位置を可変に調節する接触端位置調節部と、接触端における平板Aとブランケット14との接触圧が略一定となるようにエアバルーン18の内圧を調節する接触圧調節部とを備える。
【選択図】図5
【解決手段】印刷装置1Aは、印刷版または基板である平板Aが載置されるステージ12a,12bと、シート状のブランケット14を保持する可撓性のブランケット保持板13と、ブランケット保持板13の一端部13aを移動不能に支持する固定支持部15と、ブランケット保持板13の他端部13bを移動可能に支持する単純支持部16と、ブランケット保持板13を押圧することでブランケット14を平板Aに接触させるエアバルーン18と、単純支持部16によるブランケット保持板13の他端部13bの支持位置を可変に調節することで平板Aに対してブランケット14を順次接触させて接触端の位置を可変に調節する接触端位置調節部と、接触端における平板Aとブランケット14との接触圧が略一定となるようにエアバルーン18の内圧を調節する接触圧調節部とを備える。
【選択図】図5
Description
本発明は、印刷装置および印刷方法に関し、より特定的には、可撓性を有する平板状のブランケット保持板に取付けられたブランケットを用いてオフセット印刷を行なう印刷装置および印刷方法に関する。
一般的に、電子部品や光学部品等の製造の際に行なわれる微細パターンの形成には、フォトレジストを用いたフォトリソグラフィ法が利用される。たとえば、液晶パネルの製造の際に行なわれる配線パターンの形成や素子形成には、フォトリソグラフィ法を利用したレジストの加工やエッチング等が行なわれる。
しかしながら、フォトリソグラフィ法は、レジストの塗布工程、露光工程および現像工程といった複雑な工程を必要とするものであり、必ずしも簡便に微細パターンが形成できるプロセスとは言えない。そのため、フォトリソグラフィ法を利用して微細パターンを形成することとした場合には、製造に要する処理時間が長くなるといった問題や巨額の設備投資を必要とするといった問題を招来し、結果として製造コストを圧迫してしまうことになっていた。したがって、より簡便に微細パターンの形成が行なえるプロセスの考案が求められている。
このような要求に応える微細パターンの形成プロセスとして、従来より、オフセット印刷法の利用が提案されている。オフセット印刷法とは、インクパターンを印刷版からブランケットと呼ばれる弾性部材に転写した後に、当該インクパターンを再度ブランケットから印刷すべき基板に転写することにより、基板上に所望のインクパターンを付着させて微細パターンを形成する方法である。
一般的に、オフセット印刷法は、シート状のブランケットを巻き付けた円柱状の転胴を回転させ、これと同期させて印刷版もしくは基板を相対的に並進運動させてブランケットと印刷版もしくは基板を接触させ、これによりインクパターンを印刷版からブランケットへもしくはブランケットから基板へ転写することで印刷を行なう技術である(たとえば、特開平11−58921号公報(特許文献1)、特開2004−249696号公報(特許文献2)等参照)。
しかしながら、上述した如くの構成のブランケットおよび転胴を用いて大型の基板に対して印刷を行なうこととした場合には、転胴が大型化することに伴って転胴の回転時にブレが生じ易くなり、そのため転写されるインクパターンの位置精度に低下が生じ、形成される微細パターンに歪みが発生してしまう問題があった。たとえば、近年の液晶パネルはその大型化が飛躍的に進んでおり、この大型の液晶パネルの製造に際して上述した如くの構成のブランケットおよび転胴を用いてオフセット印刷を行なった場合には、位置精度の低下に伴って均一な微細パターンの形成が困難になり、印刷精度が低下してしまう問題が生じてしまうことになる。
そこで、このような問題を解決することを目的として考案されたオフセット印刷法として、特開2008−132743号公報(特許文献3)に開示の如くのオフセット印刷法がある。上記特許文献3に開示のオフセット印刷法は、シート状のブランケットを平板状の可撓性を有するブランケット保持板に貼り合わせるとともに、当該ブランケット保持板の背後に加圧機を配置し、加圧機を用いてブランケット保持板を一端部から他端部にかけて徐々に押圧することでブランケットを印刷版もしくは基板に順次接触させ、これによりインクパターンを印刷版からブランケットへもしくはブランケットから基板へ転写して印刷を行なうものである。このようなオフセット印刷法を利用すれば、上述した位置ずれの問題の発生が未然に防止できることになり、転写されるインクパターンの位置精度を高精度に管理することが可能になる。
しかしながら、上述した特許文献3においては、加圧機によってブランケットに印加される加圧力について何ら検討が行なわれていない。そのため、上述した特許文献3に開示の如くのオフセット印刷装置およびオフセット印刷法をそのまま利用して印刷を行なった場合には、ブランケットを印刷版もしくは基板に接触させる際の接触圧が何ら制御されていないことになり、インクパターンを転写する面内において部位毎に接触圧がばらついて転写精度が不均一になり、再現性よくインクパターンを転写することができなくなる問題が生じる。
そこで、本発明は、上述の問題点を解決すべくなされたものであり、高精度にかつ高い再現性で印刷することが可能な印刷装置および印刷方法を提供することを目的とする。
本発明に基づく印刷装置は、ステージと、ブランケットと、ブランケット保持板と、圧力付与部材と、第1支持部と、第2支持部と、接触端位置調節部と、接触圧調節部とを備える。上記ステージは、印刷版または基板である平板を支持するためのものであり、上記ブランケットは、上記ステージに対向配置されている。上記ブランケット保持板は、上記ブランケットを保持する可撓性の部材からなり、上記ブランケットから見て上記ステージが位置する側とは反対側に上記ブランケットに沿うように配置されている。上記圧力付与部材は、上記ブランケット保持板を押圧することで上記ブランケットを上記平板に接触させるためのものであり、上記ブランケット保持板から見て上記ステージが位置する側とは反対側に配置されている。上記第1支持部は、上記ブランケット保持板の一端部を移動不能に支持するものであり、上記第2支持部は、上記ブランケット保持板の他端部と上記ステージとの間の距離が可変となるように、上記ブランケット保持板の上記他端部を移動可能に支持するものである。上記接触端位置調節部は、上記ブランケット保持板の上記他端部と上記ステージとの間の距離が徐々に小さくなるように上記第2支持部を駆動することにより、上記平板に対して上記ブランケットを上記ブランケット保持板の上記一端部寄りの位置から上記ブランケット保持板の上記他端部寄りの位置に向けて順次接触させ、これにより上記平板と上記ブランケットとの接触部分のうち、上記ブランケット保持板の上記他端部寄りに位置する接触端の位置を可変に調節する部位である。上記接触圧調節部は、上記接触端位置調節部によって上記接触端の位置を可変に調節するに際し、上記接触端における上記平板と上記ブランケットとの接触圧が、上記接触端が上記ブランケット保持板の上記一端部寄りの位置から上記ブランケット保持板の上記他端部寄りの位置にまで移動する間で略一定となるように、上記圧力付与部材の駆動を制御する部位である。
上記本発明に基づく印刷装置は、上記接触端の位置を検出する接触端位置検出部をさらに備えていることが好ましく、その場合に、上記接触圧調節部が、上記接触端位置検出部によって検出された接触端の位置情報に基づいて上記圧力付与部材の駆動を制御するように構成されていることが好ましい。
上記本発明に基づく印刷装置は、上記ブランケット保持板を支持することで上記第2支持部に印加されることとなる荷重を検出する支持荷重検出部をさらに備えていることが好ましく、その場合に、上記接触圧調節部が、上記接触端位置検出部によって検出された接触端の位置情報と上記支持荷重検出部によって検出された荷重情報とに基づいて上記圧力付与部材の駆動を制御するように構成されていることが好ましい。
上記本発明に基づく印刷装置は、上記第2支持部によって支持された部分の上記ブランケット保持板の位置を検出する支持位置検出部をさらに備えていることが好ましく、その場合に、上記接触圧調節部が、上記接触端位置検出部によって検出された接触端の位置情報と上記支持位置検出部によって検出された支持位置情報とに基づいて上記圧力付与部材の駆動を制御するように構成されていることが好ましい。
上記本発明に基づく印刷装置にあっては、上記圧力付与部材が、上記ブランケット保持板を押圧する加減圧可能なエアバルーンを含んでいてもよく、その場合に、上記接触圧調節部が、上記エアバルーンの内圧を制御して上記ブランケット保持板に対する上記エアバルーンの押圧力を調節することで上記接触圧を調節するように構成されていることが好ましい。
上記本発明に基づく印刷装置にあっては、上記圧力付与部材が、上記ブランケット保持板上を移動しつつ上記ブランケット保持板を押圧する押圧ローラを含んでいてもよく、その場合に、上記接触圧調節部が、上記ブランケット保持板に対する上記押圧ローラの押圧力を調節することで上記接触圧を調節するように構成されていることが好ましい。
上記本発明に基づく印刷装置にあっては、上記圧力付与部材が、上記ブランケット保持板の異なる位置を各々が押圧可能な複数の押圧パッドを含んでいてもよく、その場合に、上記接触圧調節部が、上記ブランケット保持板に対する上記複数の押圧パッドの押圧力を個別に調節することで上記接触圧を調節するように構成されていることが好ましい。
本発明に基づく印刷方法は、一端部が移動不能に支持されるとともに他端部が移動可能に支持された可撓性を有するブランケット保持板によって保持されたブランケットを、印刷版または基板である平板に対向するように配置し、上記ブランケット保持板の上記他端部と上記平板との間の距離が徐々に小さくなるように上記ブランケット保持板の上記他端部の位置を変化させつつ上記ブランケット保持板を圧力付与部材を用いて押圧することにより、上記ブランケット保持板の上記一端部寄りの位置から上記ブランケット保持板の上記他端部寄りの位置に向けて上記ブランケットを上記平板に順次接触させて印刷を行なう方法であって、上記平板と上記ブランケットとの接触部分のうち、上記ブランケット保持板の上記他端部寄りに位置する接触端における上記平板と上記ブランケットとの接触圧が、上記接触端が上記ブランケット保持板の上記一端部寄りの位置から上記ブランケット保持板の上記他端部寄りの位置にまで移動する間で略一定となるように、上記圧力付与部材の駆動を制御することを特徴とするものである。
上記本発明に基づく印刷方法にあっては、好ましくは、上記接触端の位置を検出しつつ、検出された上記接触端の位置情報に基づいて上記圧力付与部材の駆動を制御する。
上記本発明に基づく印刷方法にあっては、好ましくは、上記ブランケット保持板の上記他端部を支持する荷重を検出しつつ、検出された上記接触端の位置情報と検出された荷重情報とに基づいて上記圧力付与部材の駆動を制御する。
上記本発明に基づく印刷方法にあっては、好ましくは、上記ブランケット保持板の上記他端部を支持する位置を検出しつつ、検出された上記接触端の位置情報と検出された支持位置情報とに基づいて上記圧力付与部材の駆動を制御する。
上記本発明に基づく印刷方法にあっては、上記圧力付与部材が、上記ブランケット保持板を押圧する加減圧可能なエアバルーンを含んでいてもよく、その場合には、好ましくは、上記エアバルーンの内圧を制御して上記ブランケット保持板に対する上記エアバルーンの押圧力を調節することで上記接触圧を調節する。
上記本発明に基づく印刷方法にあっては、上記圧力付与部材が、上記ブランケット保持板上を移動しつつ上記ブランケット保持板を押圧する押圧ローラを含んでいてもよく、その場合には、好ましくは、上記ブランケット保持板に対する上記押圧ローラの押圧力を調節することで上記接触圧を調節する。
上記本発明に基づく印刷方法にあっては、上記圧力付与部材が、上記ブランケット保持板の異なる位置を各々が押圧可能な複数の押圧パッドを含んでいてもよく、その場合には、好ましくは、上記ブランケット保持板に対する上記複数の押圧パッドの押圧力を個別に調節することで上記接触圧を調節する。
本発明により、高精度にかつ高い再現性で印刷することが可能な印刷装置および印刷方法とすることができる。
以下においては、まず上述した特許文献3に開示のオフセット印刷法を利用する場合の印刷装置の具体的な構成例および印刷方法の具体的な手順例について、これを関連技術として図を参照して詳細に説明する。
(関連技術)
図1は、関連技術に係る印刷装置の具体的な構成例および印刷方法の具体的な手順例を説明するための模式図である。
図1は、関連技術に係る印刷装置の具体的な構成例および印刷方法の具体的な手順例を説明するための模式図である。
図1(A)ないし図1(C)に示すように、関連技術に係る印刷装置1Fは、印刷版または基板である平板Aを保持するステージ112と、ステージ112の上方に位置する加圧盤117と、ステージ112と加圧盤117との間に配置された板バネ状のブランケット保持板113とを主として備えている。加圧盤117は、その一方端に設けられた回転軸119によって回転可能に支持されている。ブランケット保持板113は、平板状の可撓性を有する板状部材にて構成されており、上述した回転軸119が設けられた側と同じ側の端部である一端部113aが固定支持部(不図示)によって移動不能に支持されており、他端部113bが単純支持部(不図示)によって移動可能に支持されている。加圧盤117の下面には、所定容量の空気が封入されたエアバルーン118が設けられており、ブランケット保持板113の下面には、インクパターンを保持可能なシート状のブランケット114が設けられている。
当該印刷装置1Fを用いて印刷を行なう場合には、加圧盤117およびブランケット保持板113をステージ112から遠ざけた位置に配置し、ステージ112上に平板Aをセットし、加圧盤117を回転させることでエアバルーン118をブランケット保持板113に押し当ててブランケット保持板113を撓ませる(図1(A)参照)。次に、加圧盤117をさらに徐々に回転させることにより、ブランケット114を平板Aに対してブランケット保持板113の一端部113a寄りの位置から順次ブランケット保持板113の他端部113b寄りの位置に向けて接触させていく(図1(B)参照)。そして、ブランケット保持板113の撓みがなくなりブランケット保持板113と平板Aとが平行になるまで加圧盤117を回転させる(図1(C)参照)。以上により、平板Aとして印刷版を用いた場合には、インクパターンが印刷版からブランケット114に転写され、平板Aとして基板を用いた場合には、インクパターンがブランケット114から基板に転写されることになる。
上述した関連技術に係る印刷装置および印刷方法では、形成されるインクパターンの位置精度が向上して歪みが生じ難いため、印刷すべき基板が大型である場合に特に有効に利用され得るが、その一方で、板バネ状のブランケット保持板113によって印刷版または基板の面を全面的に均一に加圧できているかが重要になる。すなわち、板バネ状のブランケット保持板113によって印刷版または基板の面を全面的に均一に加圧できなければ、インクパターンを転写する面内において部位毎に転写精度が不均一になり、再現性よくインクパターンを転写できない問題が生じる。この点について、次に検討を行なう。
図2は、関連技術に係る印刷装置および印刷方法を用いて印刷を行なう場合に、ブランケット保持板に加わる圧力の変化およびブランケットと平板の接触圧の変化を模式的に表した図である。ここで、図2(A)に示す初期状態は、加圧盤117が下降する前の状態であり、図2(B)に示す第1加圧過程状態は、加圧盤117が僅かに下降してブランケット114が平板Aに接触し始めた状態である。また、図2(C)に示す第2加圧過程状態は、加圧盤117がさらに下降してブランケット114と平板Aの接触範囲が広がった状態であり、図2(D)に示す最終加圧状態は、加圧盤117がさらに下降してブランケット114と平板Aとが完全に接触した状態である。一方、図3は、関連技術に係る印刷装置および印刷方法を用いて印刷を行なう場合に、上述した初期状態から最終加圧状態に至るまでの間に平板に加わった接触圧の最大値を部位毎に表した図である。
図2(A)に示す初期状態においては、エアバルーン118によってブランケット保持板113に均一な圧力Pが加わっている。この状態においては、ブランケット保持板113を支持する一対の支点である固定支持部115および単純支持部116によってブランケット保持板113に加わる力(圧力Pの総和)が支えられており、これら固定支持部115および単純支持部116には、それぞれ圧力Pよりも大きな力F10,F20が加わっている。
図2(B)に示す第1加圧過程状態においては、ブランケット114と平板Aとが接触する境界部分である接触端において上記圧力Pとは大きさの異なる接触圧F11が生じる。当該接触圧F11は、ブランケット保持板113をエアバルーン118が加圧する圧力Pと単純支持部116の位置により決まるが、ブランケット保持板113に加わる力のうちブランケット114と平板Aとの非接触エリアに対応する部分に加わる圧力Pの総和をこの接触端と単純支持部116とで支えることになる。図示する如くの第1加圧過程状態においては、ブランケット114と平板Aとの非接触エリアが大きいため、接触端において生じる接触圧F11は圧力Pよりも明らかに大きい力となり、単純支持部116に加わる力F21も圧力Pよりも大きい力となる。
図2(C)に示す第2加圧過程状態においては、ブランケット114と平板Aとが接触する境界部分である接触端において上記圧力Pとは大きさの異なる接触圧F12が生じる。当該接触圧F12は、やはりブランケット保持板113をエアバルーン118が加圧する圧力Pと単純支持部116の位置により決まるが、接触端の位置が上述した第1加圧過程状態に比べて単純支持部116側へと移動することでブランケット114と平板Aとの非接触エリアが小さくなることに伴い、接触圧F11よりも小さい力となる。なお、単純支持部116に加わる力F22も上述した力F21よりも小さい力となる。
図2(D)に示す最終加圧状態においては、ブランケット保持板113をエアバルーン118が加圧する圧力Pがブランケット114を介してそのまま平板Aに加わることになるため、ブランケット114と平板Aの接触圧は、この圧力Pに対応した大きさの力となる。
ここで、図3に示すように、平板Aに加わる接触圧の最大値F1maxは、固定支持部115側の端部から単純支持部116側の端部に向かうにつれて徐々に減少していることが分かる。このように、関連技術に係る印刷装置および印刷方法を用いて印刷を行なう場合には、平板Aに加わる接触圧の最大値F1maxが部位毎に異なることになり、転写精度の低下やインクパターンの再現性の低下が、この不均一な接触圧に起因して生じることが理解される。
また、図4は、上述した関連技術に係る印刷装置および印刷方法を用いて印刷を行なう場合に、平板に加わることとなる接触圧の圧力分布のシミュレーションの結果を示す図である。なお、図4(A)は、上述した第1加圧過程状態を示す図であり、図4(B)は、当該第1加圧過程状態において平板Aの面に加わる接触圧の圧力分布を示す図であり、図4(C)は、当該第1加圧過程状態において平板Aの中央位置Cに加わる接触圧の圧力分布と、平板Aの中央位置Cに加わる接触圧の最大値を部位毎にプロットした結果を示す図である。
図4(A)ないし図4(C)を参照して、シミュレーション結果からも、接触端においてその周囲よりも大きい接触圧が平板Aに加わることや、平板Aに加わる接触圧の最大値が固定支持部115側の端部から単純支持部116側の端部に向かうにつれて徐々に減少していることが確認できる。
以上を踏まえ、本発明者らは、関連技術における印刷装置および印刷方法において、接触端における接触圧を適宜に調節して当該接触圧の均一化を図ることにより、転写精度の低下やインクパターンの再現性の低下が防止できることに着想し、以下に示す如くの本発明の実施の形態1ないし3における印刷装置および印刷方法を考案した。以下においては、これら本発明の実施の形態1ないし3について、図を参照して詳細に説明する。
(実施の形態1)
図5は、本発明の実施の形態1における印刷装置の構成を示す概略斜視図であり、図6は、本実施の形態における印刷装置の要部拡大平面図である。また、図7は、本実施の形態における印刷装置の機能ブロックの構成を示す図である。まず、これら図5ないし図7を参照して、本実施の形態における印刷装置の構成について説明する。
図5は、本発明の実施の形態1における印刷装置の構成を示す概略斜視図であり、図6は、本実施の形態における印刷装置の要部拡大平面図である。また、図7は、本実施の形態における印刷装置の機能ブロックの構成を示す図である。まず、これら図5ないし図7を参照して、本実施の形態における印刷装置の構成について説明する。
図5に示すように、本実施の形態における印刷装置1Aは、印刷版用ステージ12aと、基板用ステージ12bと、ブランケット保持板13と、ブランケット14と、第1支持部としての固定支持部15と、第2支持部としての単純支持部16と、圧力付与部材としてのエアバルーン18とを主として備えている。
印刷版用ステージ12aは、平板Aとしての印刷版を支持するためのステージであり、基板用ステージ12bは、平板Aとしての基板を支持するためのステージである。印刷版用ステージ12aおよび基板用ステージ12bの各々は、それぞれ真空チャックを行なうことで平板Aとしての印刷版および基板を保持する。これら印刷版用ステージ12aおよび基板用ステージ12bは、基台10上に設けられたガイドレール11上に配置されており、基台10上を図中矢印B方向に沿ってスライド移動可能となるように構成されている。基台10、ガイドレール11、印刷版用ステージ12aおよび基板用ステージ12bは、いずれも後述するエアバルーン18によって印加される加圧力に対して十分な剛性を示す構造体にて構成されている。
印刷版用ステージ12a上にて保持される印刷版は、ブランケット14にインクパターンを転写するためのものであり、凹版を用いるグラビアオフセット印刷版や凹凸のない平版を用いるオフセット印刷版等が利用される。一方、基板用ステージ12b上にて保持される基板は、ブランケット14によって保持されたインクパターンが転写されて微細パターンがその表面に形成されるものであり、たとえばガラス基板等である。
ここで、基板用ステージ12bは、図示しない位置調節機構によってその位置が微動調節可能とされている。具体的には、位置調節機構は、図6中に示すx,yおよびθ方向に基板用ステージ12bを微動調節可能であり、当該位置調節機構を駆動することで基板用ステージ12bによって保持された基板の位置合わせが行なわれる。当該位置合わせには、基板に予め付されているアラインメントマークが利用され、図示しないカメラにて当該アラインメントマークを認識し、これに基づいてアライナーを用いて基板用ステージ12bの微動調節が行なわれることで基板の位置合わせが行なわれる。なお、印刷版用ステージ12aにも同様の位置調節機構が設けられており、当該位置調節機構を用いて印刷版用ステージ12aが微動調節されることで印刷版用ステージ12aによって保持された印刷版の位置合わせが行なわれる。
図5に示すように、基台10の所定位置の上方には、ブランケット保持板13が配置されている。ブランケット保持板13は、平板状の可撓性を有する部材からなり、ブランケット14をその下面に保持している。ブランケット14は、シート状の弾性部材にて構成されており、その表面にインクパターンを一時的に保持可能なものが利用される。ブランケット保持板13の一端部13aは、基台10上に設けられた固定支持部15によって固定されており、ブランケット保持板13の他端部13bは、基台10上に設けられた単純支持部16によって支持されている。
固定支持部15は、たとえばブランケット保持板13の一端部13aを挟みこむことで当該一端部13aを移動不能に固定している。一方、単純支持部16は、たとえば基台10から立設する一対の支柱16aと、この一対の支柱16aによって橋渡しされて支持されることでブランケット保持板13の他端部13bを下方から支持可能なシャフト16bとによって構成され、シャフト16bが上下方向に昇降可能に一対の支柱16aによって支持されることで、ブランケット保持板13の他端部13bを上下方向に移動可能に支持している。シャフト16bとしては、ブランケット保持板13の他端部13bを支持した状態において当該ブランケット保持板13に曲げモーメントが発生しないものであることが好ましい。したがって、シャフト16bとしては、円柱状または円筒状の形状を有しているものを利用することが好ましく、また一対の支柱16aによって回転可能に支持されていることが好ましい。
ここで、固定支持部15および単純支持部16は、上述した基台10に設けられたガイドレール11を挟み込む位置に設けられている。そのため、これら固定支持部15および単純支持部16によってその一端部13aおよび他端部13bが固定および支持されたブランケット保持板13は、ガイドレール11を跨ぐように配置されることになる。したがって、ガイドレール11上を印刷版用ステージ12aが移動してブランケット保持板13の下方に位置した状態においては、ブランケット14が印刷版用ステージ12a上に保持された印刷版と対向配置されることになり、ガイドレール11上を基板用ステージ12bが移動してブランケット保持板13の下方に位置した状態においては、ブランケット14が基板用ステージ12b上に保持された基板と対向配置されることになる。
ブランケット保持板13の上方には、ブランケット保持板13の上面に沿うようにエアバルーン18が配置されている。エアバルーン18は、基台10に設けられた側面視略L字状の固定枠17aの先端に取付けられた固定板17bにその上部が固定されている。エアバルーン18は、ブランケット14が取付けられた部分に対応するブランケット保持板13の上面部分を押圧可能な大きさを有している。
図7に示すように、本実施の形態における印刷装置1Aは、上述した構成要素に加え、制御部30と、ステージ駆動機構31と、単純支持部駆動機構32と、加減圧機構33と、圧力検出部34と、接触端位置検出部20とを備えている。制御部30は、印刷装置1Aの全体の動作を制御するための部位であり、印刷装置1Aに含まれる上述した各部等に対して制御信号をそれぞれ出力する。
ステージ駆動機構31は、上述した印刷版用ステージ12aおよび基板用ステージ12bをスライド移動させるための部位であり、制御部30から入力された制御信号に基づいて印刷版用ステージ12aおよび基板用ステージ12bを駆動する。ステージ駆動機構31は、たとえばモータ等のアクチュエータを駆動源として含んでいる。なお、印刷版用ステージ12aおよび基板用ステージ12bのスライド移動は、これらの間の距離が所定の大きさ以上となるように間隔が保たれて行なわれる。
単純支持部駆動機構32は、上述した単純支持部16によるブランケット保持板13の他端部13bの支持位置を調節するための部位であり、制御部30から入力された制御信号に基づいて単純支持部16を駆動する。単純支持部駆動機構32は、たとえばモータ等のアクチュエータを駆動源として含んでおり、当該駆動源によって一対の支柱16aによって橋渡し支持されたシャフト16bの位置(高さ)を調節することにより、単純支持部16によるブランケット保持板13の他端部13bの支持位置(支持高さ)が調節される。
ここで、制御部30の制御信号に基づいて単純支持部駆動機構32が単純支持部16を駆動し、これにより単純支持部16によるブランケット保持板13の他端部13bの支持位置が調節されることにより、印刷版または基板である平板Aとブランケット14との接触状態が種々変更されることになる。具体的には、ブランケット保持板13の一端部13aが固定支持部15によって移動不能に固定されているため、単純支持部16によるブランケット保持板13の他端部13bの支持位置が上下動することに伴い、ブランケット14と平板Aとの接触部分の大きさが可変に調節されることになる。したがって、ブランケット14と平板Aとの接触部分のうち、ブランケット保持板13の他端部13b寄りに位置する接触端は、上述した単純支持部16によるブランケット保持板13の他端部13bの支持位置に応じて移動することになり、その結果、上述した単純支持部駆動機構32および制御部30が接触端位置調節部の機能を果たすことになる。
加減圧機構33は、エアバルーン18を加減圧することでエアバルーン18の内圧を可変に調節するための部位であり、制御部30から入力された制御信号に基づいて駆動する。加減圧機構33としては、たとえばコンプレッサと制御弁の組み合わせが好適に利用される。
ここで、制御部30の制御信号に基づいて加減圧機構33の駆動が制御されてエアバルーン18の内圧が種々調節されることにより、エアバルーン18によってブランケット保持板13に印加される押圧力が可変に調節されることになる。したがって、上記接触端におけるブランケット14と平板Aとの接触圧も、エアバルーン18の内圧によって可変に調節されることになり、その結果、上述した加減圧機構33および制御部30が接触圧調節部の機能を果たすことになる。
圧力検出部34は、エアバルーン18の内圧を検出し、検出した圧力に応じた信号を制御部30に入力する。圧力検出部34としては、たとえば静電容量式の圧力センサや圧電素子を利用した圧力センサ等が利用可能である。
接触端位置検出部20は、上述した接触端がどの位置にあるかを検出するための検出素子(図5参照)を含んでおり、検出した接触端の位置に応じた信号を位置情報として制御部30に入力する。接触端位置検出部20としては、たとえば図5に示す如く、印刷版用ステージ12aおよび基板用ステージ12bに着脱自在に取付け可能なユニット状の形態を有するものとして構成されていることが好ましい。図5に示す接触端位置検出部20にあっては、直線状に整列して配置された複数の光電センサが検出素子21として利用されており、当該検出素子21にブランケット保持板13が接近したか否かを検出することで接触端の位置が検出される。なお、検出素子21としては、上述した非接触式の光電センサの他にも、非接触式の検出素子である近接センサや磁気センサ、接触式の検出素子であるタクトスイッチやタッチセンサ等が利用可能である。
本実施の形態における印刷装置1Aを用いて印刷を行なう場合の印刷方法としては、まず上述した印刷版用ステージ12a上に平板Aとしての印刷版をセットするとともに、基板用ステージ12b上に平板Aとしての基板をセットする。つづいて、上述した位置調節機構を用いて平板Aである印刷版および基板の位置合わせを行なった後、ステージ駆動機構31を用いてブランケット14の下方に印刷版用ステージ12aを配置する。そして、ブランケット14を印刷版に接触させた後にこれらの接触を解除することでインクパターンを印刷版からブランケット14へと転写する。次に、ステージ駆動機構31を用いてブランケット14の下方に基板用ステージ12bを配置し、ブランケット14を基板に接触させた後にこれらの接触を解除することでインクパターンをブランケット14から基板へと転写する。
図8は、本実施の形態における印刷装置の印刷動作フローを示す図であり、図9は、本実施の形態における印刷装置の印刷動作時の状態を示す概略側面図である。以下においては、上述した転写処理を行なう際の印刷装置1Aの動作について、これら図8および図9を参照してより詳細に説明する。なお、印刷版からブランケット14への転写の場合とブランケット14から基板への転写の場合とでその転写動作は同様である。
図8に示すように、転写処理を行なうに当たっては、まずエアバルーン18の内圧が予め定めた初期圧力に達することとなるようにエアバルーン18を加圧する(ステップS101)。具体的には、制御部30の指令に基づいて加減圧機構33が駆動されることでエアバルーン18の加圧が行なわれ、圧力検出部34によって検出されたエアバルーン18の内圧の情報に基づいて制御部30が予め定めた初期圧力に達したか否かを判断することでエアバルーン18の内圧の調整が行なわれる。その際、図9(A)に示すように、単純支持部16によるブランケット保持板13の他端部13bの支持位置は、平板Aから離間した上方の位置とし、これによりブランケット保持板13を撓ませた状態としておく。なお、ブランケット保持板13の上面は、エアバルーン18に接触した状態とされている。
次に、図8に示すように、接触端の位置が転写完了位置にあるか否かを判断する(ステップS102)。具体的には、接触端位置検出部20によって検出された接触端の位置情報に基づいて制御部30が接触端が転写完了位置にあるか否かを判断する。接触端が転写完了位置にあると判断した場合(ステップS102においてYESの場合)には、転写を完了し、エアバルーン18を減圧しつつ単純支持部16によるブランケット14の他端部13bの支持位置を初期位置に復帰させる。接触端が転写完了位置にないと判断した場合(ステップS102においてNOの場合)には、後述するステップS103へと移行する。
ステップS102において、接触端が転写完了位置にないと判断した場合には、ブランケット保持板13を所定量だけ下降させる(ステップS103)。具体的には、制御部30の指令に基づいて単純支持部駆動機構32を駆動し、単純支持部16を下方に所定量だけ下降させることでブランケット14の他端部13bの支持位置を下降させる。
次に、接触端の位置を検出し(ステップS104)、つづいてエアバルーン18の内圧を検出する(ステップS105)。具体的には、接触端位置検出部20から入力された接触端の位置情報を制御部30が認識することで接触端の位置が検出され、圧力検出部34から入力された圧力情報を制御部30が認識することでエアバルーン18の内圧が検出される。
次に、エアバルーン18の内圧が接触端の位置に応じた内圧となっているか否かを判断する(S106)。具体的には、制御部30は、接触端の位置に応じた最適なエアバルーンの内圧が定められたテーブルを予め記憶しており、上述したステップS104およびステップS105において検出された接触端の位置情報とエアバルーン18の圧力情報とに基づき、上記テーブルを参照してエアバルーン18の内圧が接触端の位置に応じた内圧となっているか否かを判断する。エアバルーン18の内圧が接触端の位置に応じた内圧となっていると判断した場合(ステップS106においてYESの場合)には、ステップS102へと移行する。一方、エアバルーン18の内圧が接触端の位置に応じた内圧となっていないと判断した場合(ステップS106においてNOの場合)には、ステップS107へと移行する。
ステップS106において、エアバルーン18の内圧が接触端の位置に応じた内圧となっていないと判断した場合には、エアバルーンを所定量だけ加圧する(ステップS107)。具体的には、制御部30の指令に基づいて加減圧機構33が駆動されることでエアバルーン18の加圧が行なわれる。なお、ステップS107の加圧処理が完了した後は、ステップS105へと移行する。
以上において説明した如くの動作フローに従って転写処理を行なうことにより、図9(B)に示すように、ブランケット14が平板Aに対してブランケット保持板13の一端部13a寄りの位置からブランケット保持板13の他端部13b寄りの位置に向けて順次接触することになる。したがって、接触端は、ブランケット保持板13の一端部13a寄りの位置からブランケット保持板13の他端部13b寄りの位置に向けて順次移動することになる。ここで、上述した如くの動作フローに従えば、接触端における接触圧が随時最適化されることになる。
なお、ブランケット14と平板Aの接触が完了した後にこれらを剥離する処理においても、上述したブランケット14を平板Aに接触させる場合の処理と同様に、接触端における接触圧が変動しないように制御を行うことが好ましい。
ここで、本実施の形態における印刷装置1Aにあっては、接触圧調節部としての制御部30が、接触端における平板Aとブランケット14との接触圧が、接触端がブランケット保持板13の一端部13a寄りの位置からブランケット保持板13の他端部13b寄りの位置にまで移動する間で略一定となるように、エアバルーンの内圧が制御される。したがって、このような圧力調整を行ないつつ転写処理を行なわれることにより、板バネ状のブランケット保持板13によって平板Aの面が全面的にほぼ均一に加圧されることになり、転写精度が均一化して再現性よくインクパターンが転写されることになる。
上述したステップS106において、接触端の位置とエアバルーン18の内圧との関係が適合しているか否かの判断基準となるテーブルとしては、実験的に導き出されたデータの使用や理論的に導き出されたデータの使用が考えられる。たとえば、理論的に導き出されたデータを使用することとした場合には、以下の手法で当該データが導き出せる。
図10(A)は、本実施の形態における印刷装置の加圧過程状態を模式的に示した図であり、図10(B)は、本実施の形態において使用するデータをグラフ化した図である。また、図11(A)ないし図11(C)は、本実施の形態における印刷装置において、エアバルーンの内圧制御の参考としたモデルを導き出すための説明図である。
図10(A)に示す加圧過程において、各種変数を以下のように定義する。
F1:接触端における接触圧
P:エアバルーン18の内圧(ブランケット保持板13に加わる単位長当たりの力)
a:固定支持部15から加圧領域まで(ブランケット14の固定支持部15側の端部まで)の距離
b:加圧領域(ブランケット14の固定支持部15側の端部から単純支持部16側の端部まで)の長さ
l:ブランケット保持板13の支持部間距離(固定支持部15と単純支持部16の距離)
x:固定支持部15から接触端までの距離
E:ブランケット保持板13のヤング率
I:ブランケット保持板13の断面2次モーメント
K:ブランケット保持板13の曲げ量定数
その場合、制御対象であるエアバルーン18の内圧Pは、上記変数に基づいて以下の式(1)で表される。
F1:接触端における接触圧
P:エアバルーン18の内圧(ブランケット保持板13に加わる単位長当たりの力)
a:固定支持部15から加圧領域まで(ブランケット14の固定支持部15側の端部まで)の距離
b:加圧領域(ブランケット14の固定支持部15側の端部から単純支持部16側の端部まで)の長さ
l:ブランケット保持板13の支持部間距離(固定支持部15と単純支持部16の距離)
x:固定支持部15から接触端までの距離
E:ブランケット保持板13のヤング率
I:ブランケット保持板13の断面2次モーメント
K:ブランケット保持板13の曲げ量定数
その場合、制御対象であるエアバルーン18の内圧Pは、上記変数に基づいて以下の式(1)で表される。
上記式(1)に基づき、制御対象であるエアバルーン18の内圧Pと接触端の位置xとの関係をグラフ化すると、図10(B)の如くとなる。ここで、図10(B)においては、横軸に接触端の位置xをとり、縦軸にエアバルーン18の内圧Pをとっている。この図から理解されるように、接触端における接触圧を一定に保つためには、エアバルーン18の内圧Pを徐々に昇圧することが必要である。なお、図10(B)においては、一定に制御すべきブランケット14と平板Aとの部位毎の接触圧の最大値F1maxについてもこれをグラフ化して表示している。
この図10(B)に示す関係は、図11(C)に示すモデルにて算出したものを利用している。図11(A)は、上述した加圧過程を模式的に示したものであり、ブランケット保持板13が平板Aと接触し、接触端において所定の接触圧F1が発生している状態である。図11(B)は、これを梁に置き換えて考えたモデルであり、接触端の接触圧より図中左側(すなわち固定支持部15が位置する側)では、ブランケット保持板13と平板Aとの間でこれらに加わる力のバランスがとれているため、当該部分の圧力を無視して考えると上記加圧過程は、図11(C)に示す如くにモデル化される。上述した式(1)は、このモデルに従って導き出されたものである。
以上において説明した本実施の形態における印刷装置および印刷方法を用いて印刷を行なうことにより、簡便にブランケット保持板13によって平板Aである印刷版または基板の面を全面的に略均一に加圧できるようになるため、転写精度の向上が図られ、再現性よくインクパターンを転写することが可能になる。したがって、大型の基板への印刷に本実施の形態における印刷装置および印刷方法を利用することにより、高精度にかつ高い再現性での印刷が可能になる。
なお、図10(A)に示す加圧過程において、単純支持部16の支持力(単純支持部16に加わる荷重)をF2とした場合には、支持荷重F2は、制御対象であるエアバルーン18の内圧Pと接触端の位置xと接触端における接触圧F1を用いて以下の式(2)で表される。
したがって、単純支持部16にロードセル等の支持荷重検出部を追加して単純支持部16の支持力(支持荷重)を検出し、制御対象であるエアバルーン18の内圧を接触端の位置に応じて最適化するに際して、支持荷重検出部にて検出された荷重情報を利用することとすれば、さらに高精度に接触圧を調節することが可能になる。なお、図10(B)においては、支持荷重F2と接触端の位置xとの関係についてもこれをグラフ化して表示している。
また、単純支持部16に支持位置検出部を追加して単純支持部16によるブランケット保持板13の他端部13bの支持位置(支持高さ)を検出し、制御対象であるエアバルーン18の内圧を接触端の位置に応じて最適化するに際して、支持位置検出部にて検出された支持位置情報を利用することとすれば、さらに高精度に接触圧を調節することも可能である。
なお、上述した本実施の形態における印刷装置1Aにおいて設けられていた接触端位置検出部20については、印刷装置1Aの調整時のみ取り付けを行い、ブランケット14と平板Aの接触端移動速度、エアバルーン18の加圧速度、ブランケット保持板13の他端部13bを支持する単純支持部16の下降速度の関係を制御部30に記憶させた後には、取外すこととしても構わない。また、上述した支持荷重検出部や支持位置検出部についても、上述した接触端位置検出部20と同様に、印刷装置1Aの調整時のみの取り付けとしてもよい。
(実施の形態2)
図12は、本発明の実施の形態2における印刷装置の構成を示す概略側面図である。なお、上述した実施の形態1における印刷装置1Aと同様の部分については図中同一の符号を付し、その説明はここでは繰り返さない。
図12は、本発明の実施の形態2における印刷装置の構成を示す概略側面図である。なお、上述した実施の形態1における印刷装置1Aと同様の部分については図中同一の符号を付し、その説明はここでは繰り返さない。
図12に示すように、本実施の形態における印刷装置1Bにおいては、上述した実施の形態1における印刷装置1Aと圧力付与部材の構成において相違している。本実施の形態における印刷装置1Bにおいては、上述した実施の形態1における印刷装置1Aにおいて使用していた圧力付与部材としてのエアバルーン18に代えて、ブランケット保持板13上を移動しつつブランケット保持板13を押圧する押圧ローラ42を圧力付与部材として具備している。
ここで、押圧ローラ42は、ロードセル43を介してアクチュエータ44に接続されており、これにより押圧ローラ42によるブランケット保持板13への押圧力が制御される。また、押圧ローラ42は、もう一つのアクチュエータ41にも接続されており、当該アクチュエータ41に駆動されることで印刷方向に沿って移動する。なお、上述したアクチュエータ41,44は、いずれも制御部30に接続されてその動作が制御される。
このように構成した場合にも、上述した本発明の実施の形態1において説明した効果と同様の効果を得ることができる。すなわち、上記構成を採用することにより、簡便にブランケット保持板13によって平板Aである印刷版または基板の面を全面的に略均一に加圧できるようになり、転写精度の向上が図られ、再現性よくインクパターンを転写することが可能になる。
(実施の形態3)
図13は、本発明の実施の形態3における印刷装置の構成を示す概略側面図である。なお、上述した実施の形態1における印刷装置1Aと同様の部分については図中同一の符号を付し、その説明はここでは繰り返さない。
図13は、本発明の実施の形態3における印刷装置の構成を示す概略側面図である。なお、上述した実施の形態1における印刷装置1Aと同様の部分については図中同一の符号を付し、その説明はここでは繰り返さない。
図13に示すように、本実施の形態における印刷装置1Cにおいては、上述した実施の形態1における印刷装置1Aと圧力付与部材の構成において相違している。本実施の形態における印刷装置1Cにおいては、上述した実施の形態1における印刷装置1Aにおいて使用していた圧力付与部材としてのエアバルーン18に代えて、ブランケット保持板13の異なる位置を各々が押圧可能な複数の押圧パッド53を圧力付与部材として具備している。
複数の押圧パッド53は、印刷方向に整列して配置されている。そして、各々の押圧パッド53は、それぞれロードセル52を介してアクチュエータ51に接続されており、これにより各々の押圧パッド53によるブランケット保持板13への押圧力が制御される。なお、押圧パッド53としては、たとえばゴム、バルーン等の柔軟性を有するものにて構成されていることが好ましい。
このように構成した場合にも、上述した本発明の実施の形態1において説明した効果と同様の効果を得ることができる。すなわち、上記構成を採用することにより、簡便にブランケット保持板13によって平板Aである印刷版または基板の面を全面的に略均一に加圧できるようになり、転写精度の向上が図られ、再現性よくインクパターンを転写することが可能になる。
今回開示した上記各実施の形態はすべての点で例示であって、制限的なものではない。本発明の技術的範囲は特許請求の範囲によって画定され、また特許請求の範囲の記載と均等の意味および範囲内でのすべての変更を含むものである。
1A〜1C,1F 印刷装置、10 基台、11 ガイドレール、12a 印刷版用ステージ、12b 基板用ステージ、13 ブランケット保持板、13a 一端部、13b 他端部、14 ブランケット、15 固定支持部、16 単純支持部、16a 支柱、16b シャフト、17a 固定枠、17b 固定板、18 エアバルーン、20 接触端位置検出部、21 検出素子、30 制御部、31 ステージ駆動機構、32 単純支持部駆動機構、33 加減圧機構、34 圧力検出部、41,44 アクチュエータ、42 押圧ローラ、43 ロードセル、51 アクチュエータ、52 ロードセル、53 押圧パッド、A 平板。
Claims (14)
- 印刷版または基板である平板を支持するためのステージと、
前記ステージと対向配置されたブランケットと、
前記ブランケットから見て前記ステージが位置する側とは反対側に前記ブランケットに沿うように配置され、前記ブランケットを保持する可撓性のブランケット保持板と、
前記ブランケット保持板から見て前記ステージが位置する側とは反対側に配置され、前記ブランケット保持板を押圧することで前記ブランケットを前記平板に接触させる圧力付与部材と、
前記ブランケット保持板の一端部を移動不能に支持する第1支持部と、
前記ブランケット保持板の他端部と前記ステージとの間の距離が可変となるように、前記ブランケット保持板の前記他端部を移動可能に支持する第2支持部と、
前記ブランケット保持板の前記他端部と前記ステージとの間の距離が徐々に小さくなるように前記第2支持部を駆動することにより、前記平板に対して前記ブランケットを前記ブランケット保持板の前記一端部寄りの位置から前記ブランケット保持板の前記他端部寄りの位置に向けて順次接触させ、これにより前記平板と前記ブランケットとの接触部分のうち、前記ブランケット保持板の前記他端部寄りに位置する接触端の位置を可変に調節する接触端位置調節部と、
前記接触端位置調節部によって前記接触端の位置を可変に調節するに際し、前記接触端における前記平板と前記ブランケットとの接触圧が、前記接触端が前記ブランケット保持板の前記一端部寄りの位置から前記ブランケット保持板の前記他端部寄りの位置にまで移動する間で略一定となるように、前記圧力付与部材の駆動を制御する接触圧調節部とを備えた、印刷装置。 - 前記接触端の位置を検出する接触端位置検出部をさらに備え、
前記接触圧調節部は、前記接触端位置検出部によって検出された接触端の位置情報に基づいて前記圧力付与部材の駆動を制御する、請求項1に記載の印刷装置。 - 前記ブランケット保持板を支持することで前記第2支持部に印加されることとなる荷重を検出する支持荷重検出部をさらに備え、
前記接触圧調節部は、前記接触端位置検出部によって検出された接触端の位置情報と前記支持荷重検出部によって検出された荷重情報とに基づいて前記圧力付与部材の駆動を制御する、請求項2に記載の印刷装置。 - 前記第2支持部によって支持された部分の前記ブランケット保持板の位置を検出する支持位置検出部をさらに備え、
前記接触圧調節部は、前記接触端位置検出部によって検出された接触端の位置情報と前記支持位置検出部によって検出された支持位置情報とに基づいて前記圧力付与部材の駆動を制御する、請求項2に記載の印刷装置。 - 前記圧力付与部材は、前記ブランケット保持板を押圧する加減圧可能なエアバルーンを含み、
前記接触圧調節部は、前記エアバルーンの内圧を制御して前記ブランケット保持板に対する前記エアバルーンの押圧力を調節することで前記接触圧を調節する、請求項1から4のいずれかに記載の印刷装置。 - 前記圧力付与部材は、前記ブランケット保持板上を移動しつつ前記ブランケット保持板を押圧する押圧ローラを含み、
前記接触圧調節部は、前記ブランケット保持板に対する前記押圧ローラの押圧力を調節することで前記接触圧を調節する、請求項1から4のいずれかに記載の印刷装置。 - 前記圧力付与部材は、前記ブランケット保持板の異なる位置を各々が押圧可能な複数の押圧パッドを含み、
前記接触圧調節部は、前記ブランケット保持板に対する前記複数の押圧パッドの押圧力を個別に調節することで前記接触圧を調節する、請求項1から4のいずれかに記載の印刷装置。 - 一端部が移動不能に支持されるとともに他端部が移動可能に支持された可撓性を有するブランケット保持板によって保持されたブランケットを、印刷版または基板である平板に対向するように配置し、前記ブランケット保持板の前記他端部と前記平板との間の距離が徐々に小さくなるように前記ブランケット保持板の前記他端部の位置を変化させつつ前記ブランケット保持板を圧力付与部材を用いて押圧することにより、前記ブランケット保持板の前記一端部寄りの位置から前記ブランケット保持板の前記他端部寄りの位置に向けて前記ブランケットを前記平板に順次接触させて印刷を行なう印刷方法であって、
前記平板と前記ブランケットとの接触部分のうち、前記ブランケット保持板の前記他端部寄りに位置する接触端における前記平板と前記ブランケットとの接触圧が、前記接触端が前記ブランケット保持板の前記一端部寄りの位置から前記ブランケット保持板の前記他端部寄りの位置にまで移動する間で略一定となるように、前記圧力付与部材の駆動を制御することを特徴とする、印刷方法。 - 前記接触端の位置を検出しつつ、検出された前記接触端の位置情報に基づいて前記圧力付与部材の駆動を制御することを特徴とする、請求項8に記載の印刷方法。
- 前記ブランケット保持板の前記他端部を支持する荷重を検出しつつ、検出された前記接触端の位置情報と検出された荷重情報とに基づいて前記圧力付与部材の駆動を制御することを特徴とする、請求項9に記載の印刷方法。
- 前記ブランケット保持板の前記他端部を支持する位置を検出しつつ、検出された前記接触端の位置情報と検出された支持位置情報とに基づいて前記圧力付与部材の駆動を制御することを特徴とする、請求項9に記載の印刷方法。
- 前記圧力付与部材は、前記ブランケット保持板を押圧する加減圧可能なエアバルーンを含み、
前記エアバルーンの内圧を制御して前記ブランケット保持板に対する前記エアバルーンの押圧力を調節することで前記接触圧を調節することを特徴とする、請求項8から11のいずれかに記載の印刷方法。 - 前記圧力付与部材は、前記ブランケット保持板上を移動しつつ前記ブランケット保持板を押圧する押圧ローラを含み、
前記ブランケット保持板に対する前記押圧ローラの押圧力を調節することで前記接触圧を調節することを特徴とする、請求項8から11のいずれかに記載の印刷方法。 - 前記圧力付与部材は、前記ブランケット保持板の異なる位置を各々が押圧可能な複数の押圧パッドを含み、
前記ブランケット保持板に対する前記複数の押圧パッドの押圧力を個別に調節することで前記接触圧を調節することを特徴とする、請求項8から11のいずれかに記載の印刷方法。
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JP2010234714A true JP2010234714A (ja) | 2010-10-21 |
Family
ID=43089517
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009086563A Withdrawn JP2010234714A (ja) | 2009-03-31 | 2009-03-31 | 印刷装置および印刷方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2010234714A (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013111909A (ja) * | 2011-11-30 | 2013-06-10 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | パターン転写装置 |
JP2013111907A (ja) * | 2011-11-30 | 2013-06-10 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | パターン形成装置およびパターン形成方法 |
JP2014144628A (ja) * | 2013-01-30 | 2014-08-14 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | パターン形成装置 |
CN104070865A (zh) * | 2013-03-27 | 2014-10-01 | 大日本网屏制造株式会社 | 图案转印系统以及图案转印方法 |
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-
2009
- 2009-03-31 JP JP2009086563A patent/JP2010234714A/ja not_active Withdrawn
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