JP2010218695A - バー型イオナイザ取り付け具およびバー型イオナイザの取り付け方法 - Google Patents

Abstract

【課題】取り付けが非常に容易であり、かつ、取り付け時における破損のおそれを低減したバー型イオナイザ取り付け具を提供する。
【解決手段】バー型イオナイザ取り付け具６１は、所定の場所に固定するための固定部６２と、固定部６２に接続されており、バー型イオナイザの長手方向に交わる方向に延在して、バー型イオナイザを介して固定部６２と対向する位置においてバー型イオナイザを支持する支持部６３とを備える。
【選択図】図１２

Description

この発明は、バー型イオナイザ取り付け具およびバー型イオナイザの取り付け方法に関するものであり、特に、装置や部屋の天井に長尺のバー型イオナイザを取り付ける際に用いられるバー型イオナイザ取り付け具およびバー型イオナイザの取り付け方法に関するものである。

従来において、ＦＰＤ（Ｆｌａｔ Ｐａｎｅｌ Ｄｉｓｐｌａｙ）ガラス基板やフィルムにおける静電気破壊や静電気による塵付着、基板同士の貼りつきを防止するため、製造工程において発生した静電気を除去するに際し、静電気除去装置、いわゆる、イオナイザが用いられていた。イオナイザの種類としては、発生させたイオンを含む空気をファンにより除電対象物に吹き付けるファン型イオナイザや、いわゆる棒状であって、長手方向の複数の箇所からイオンを発生させ、イオンを含む空気を除電対象物に吹き付けるバー型イオナイザ等がある。

ここで、バー型イオナイザの構成について簡単に説明する。バー型イオナイザは、イオン発生用の高電圧の発生および制御を行なう高電圧制御部と、高電圧制御部により発生させた高電圧によりイオンを発生させ、除電対象物に吹き付けるイオン発生部と、高電圧制御部およびイオン発生部を収容するフレームとを備える。高電圧制御部およびイオン発生部は、鉛直方向、すなわち、高さ方向に二段となるようにフレーム内に組み込まれる。イオン発生部は、長手方向に所定の間隔を開けて設けられる複数の放電針を含む。この複数の放電針に対して高電圧制御部により発生させた高電圧をかけ、放電針の先端部近辺でコロナ放電させて空気をイオン化させ、除電対象物にイオンを含んだ空気を吹き付けて静電気を除去する。このような構成のバー型イオナイザは、例えば、ＦＰＤを製造するクリーンルーム内において、製造装置の出口の天井付近等に水平方向、すなわち、長手方向が天井に対して平行となるように（鉛直方向下向きまたは水平方向にイオンを吹き付けるように）取り付けられ、製造されたＦＰＤガラス基板等の最終的な静電気の除去等を行なう。

近年においては、長手方向に長さの異なる複数の種類のバー型イオナイザがあるが、除電対象物となるＦＰＤガラス基板等は大型化されており、これに伴って、除電領域の長いバー型イオナイザの要求がある。

なお、このような構成のバー型イオナイザに関する技術については、特開２００６−５９７２６号公報（特許文献１）に開示されている。

特開２００６−５９７２６号公報

ここで、バー型イオナイザの設置について考えると、バー型イオナイザは、上記したように製造装置の天井等に取り付けられるが、従来においては、図１９および図２０に示すような取り付け具が用いられていた。図１９に示すＬ字状取り付け具１０１は、略Ｌ字形状の取り付け金具であって、バー型イオナイザ１０３の長手方向両端部に取り付けられる。また、図２０に示す中間取り付け具１０２は、長手方向にスライドするようにしてバー型イオナイザ１０３に取り付けられる。中間取り付け具１０２は、バー型イオナイザ１０３が長手方向に長くなるに従い、中央部が自重で撓んでしまうことを防止するため、バー型イオナイザ１０３の中央部上側に係合するように取り付けられるものである。Ｌ字状取り付け具１０１および中間取り付け具１０２はそれぞれ、予めバー型イオナイザ１０３に取り付けられた後、製造装置の天井等にビス止めされる。なお、従来において、Ｌ字状取り付け具１０１および中間取り付け具１０２を用いて天井１０４に取り付けたバー型イオナイザ１０３の状態を、図２１に示す。

ここで、バー型イオナイザ１０３を天井１０４に取り付ける場合において、Ｌ字状取り付け具１０１や中間取り付け具１０２を天井１０４にビス等で取り付ける際に、バー型イオナイザ１０３が一時的に撓んだり、局部的に負荷がかかってしまうおそれがある。具体的には、予めＬ字状取り付け具１０１や中間取り付け具１０２をバー型イオナイザ１０３に取り付けた後、バー型イオナイザ１０３を天井１０４に固定する際に、固定されていない側のバー型イオナイザ１０３の端部が自重により垂れた状態となる。これは、中央取り付け具１０２を先に固定した場合も同様である。そうすると、内部に形成された高電圧配線やエアー流路が撓みの影響で、バー型イオナイザ１０３が破損してしまうおそれがある。

一方、このような状態を回避するためには、バー型イオナイザの天井への取り付け時において、複数人の作業者が、下側から端部および中央部を支えなければならず、作業性が非常に悪くなる。特許文献１によると、フレームの剛性を確保することができるが、取り付け時の作業性の悪化を改善する余地はない。

この発明の目的は、取り付けが非常に容易であり、かつ、取り付け時における破損のおそれを低減したバー型イオナイザ取り付け具を提供することである。

この発明に係るバー型イオナイザ取り付け具は、長手方向に所定の間隔を開けて設けられる複数の放電針を有し、放電針によるイオン発生用の高電圧を発生すると共に発生させた高電圧の制御を行なう高電圧制御部と、高電圧制御部により発生および制御された高電圧を放電針にかけてイオンを発生させるイオン発生部と、高電圧制御部およびイオン発生部を収容するフレームとを含むバー型イオナイザを所定の場所に取り付けるバー型イオナイザ取り付け具である。バー型イオナイザ取り付け具は、所定の場所に固定するための固定部と、固定部に接続されており、バー型イオナイザの長手方向に交わる方向に延在して、バー型イオナイザを介して固定部と対向する位置においてバー型イオナイザを支持する支持部とを備える。

このような構成のバー型イオナイザ取り付け具によると、予め固定部を所定の場所に固定した後、固定部および支持部により取り付けることができる。そうすると、バー型イオナイザを所定の場所に取り付ける際に、支持部上にバー型イオナイザを支持させながら取り付けることができる。したがって、バー型イオナイザを水平方向に取り付ける際に、バー型イオナイザが取り付け時において自重により垂れることはなく、また、複数人の作業者による下方向からの支持も必要がない。このようなバー型イオナイザ取り付け具によると、取り付け時におけるバー型イオナイザの破損のおそれを低減すると共に、バー型イオナイザの取り付けが容易となる。

好ましくは、バー型イオナイザの所定の箇所に係合する係合部を備える。

さらに好ましくは、係合部は、バー型イオナイザに設けられた凹部または凸部に係合する凸部または凹部を含む。

さらに好ましくは、所定の箇所は、放電針が設けられた位置を避けた位置である。

さらに好ましくは、固定部および支持部のうちの少なくとも一方と着脱自在であって、固定部および支持部を接続する接続部を含む。

さらに好ましくは、接続部には、接続状態を維持するロック機構が設けられている。

さらに好ましくは、固定部は、バー型イオナイザの取り付け角度を変更できる角度変更手段を含む。

この発明の他の局面においては、バー型イオナイザの取り付け方法は、長手方向に所定の間隔を開けて設けられる複数の放電針を有し、放電針によるイオン発生用の高電圧を発生すると共に発生させた高電圧の制御を行なう高電圧制御部と、高電圧制御部により発生および制御された高電圧を放電針にかけてイオンを発生させるイオン発生部と、高電圧制御部およびイオン発生部を収容するフレームとを含むバー型イオナイザを所定の場所に取り付けるバー型イオナイザ取り付け方法であって、所定の場所に固定するための固定部と、固定部に接続されており、バー型イオナイザの長手方向に交わる方向に延在して、バー型イオナイザを介して固定部と対向する位置においてバー型イオナイザを支持する支持部とを備えるバー型イオナイザ取り付け具を複数準備する工程と、複数のバー型イオナイザ取り付け具に含まれる固定部を所定の場所に所定の間隔を開けて取り付ける工程と、複数のバー型イオナイザ取り付け具に含まれる支持部の上にバー型イオナイザの下方端部を接触させるようにして配置する工程とを含む。

このような構成のバー型イオナイザ取り付け具およびバー型イオナイザの取り付け方法によると、予め固定部を所定の場所に固定した後、固定部および支持部により取り付けることができる。そうすると、バー型イオナイザを所定の場所に取り付ける際に、支持部上にバー型イオナイザを支持させながら取り付けることができる。したがって、バー型イオナイザを水平方向に取り付ける際に、バー型イオナイザが取り付け時において自重により垂れることはなく、また、複数人の作業者による下方向からの支持も必要がない。このようなバー型イオナイザ取り付け具およびバー型イオナイザの取り付け方法によると、取り付け時におけるバー型イオナイザの破損のおそれを低減すると共に、バー型イオナイザの取り付けが容易となる。

この発明の一実施形態に係るバー型イオナイザ取り付け具により取り付けられるバー型イオナイザを、長手方向に直交する平面で切断した場合の断面図である。 図１に示すバー型イオナイザに含まれるフレームを示す断面図である。 図１に示すバー型イオナイザの分解斜視図である。 図１に示すバー型イオナイザの側面図であり、図１中の矢印ＩＶで示す方向から見た図である。 図１に示すバー型イオナイザの側面図であり、図４中の矢印Ｖで示す方向から見た図である。 図１に示すバー型イオナイザの側面図であり、図１中の矢印ＶＩで示す方向から見た図である。 図５に示すバー型イオナイザの一部を、図５中のＶＩＩ−ＶＩＩ断面で切断した場合の断面図である。 図７に示すバー型イオナイザのうち、ＶＩＩＩで示す部分の拡大図である。 図７に示すバー型イオナイザのうち、ＩＸで示す部分の拡大図である。 図１に示すバー型イオナイザに含まれるエンドキャップを示す斜視図である。 図１０に示すエンドキャップを長手方向から見た図である。 この発明の一実施形態に係るバー型イオナイザ取り付け具の斜視図であり、接続状態のロックを解除した状態を示す。 図１２に示すバー型イオナイザ取り付け具において、接続状態をロックした状態の斜視図である。 この発明の一実施形態に係るバー型イオナイザ取り付け具の斜視図であり、接続状態のロックを解除した状態を示す。 図１２に示すバー型イオナイザ取り付け具において、接続状態をロックした状態の斜視図である。 図１２および図１３に示すバー型イオナイザ取り付け具において、バー型イオナイザを取り付けた状態を示す全体図である。 この発明の他の実施形態に係るバー型イオナイザ取り付け具の斜視図であり、ロックを解除した状態を示す。 図１７に示すバー型イオナイザ取り付け具において、ロックした場合の斜視図である。 従来におけるバー型イオナイザのＬ字状取り付け具の斜視図である。 従来におけるバー型イオナイザの中間バー型取り付け具の斜視図である。 従来において、Ｌ字状取り付け具１０１および中間取り付け具１０２を用いて天井１０４に取り付けたバー型イオナイザ１０３の状態を示す図である。

以下、この発明の実施の形態を、図面を参照して説明する。まず、この発明の一実施形態に係るバー型イオナイザ取り付け具により取り付けられるバー型イオナイザの全体の構成について説明する。図１は、この発明の一実施形態に係るバー型イオナイザ取り付け具により取り付けられるバー型イオナイザを、長手方向に交わる方向で切断した場合、ここでは、具体的には、長手方向に直交する平面で切断した場合の断面図である。図２は、図１に示すバー型イオナイザに含まれるフレームを示す断面図である。図３は、図１に示すバー型イオナイザの分解斜視図である。図４、図５および図６は、図１に示すバー型イオナイザの側面図である。図４は、図１中の矢印ＩＶで示す方向から見た図である。図５は、図４中の矢印Ｖで示す方向から見た図である。図６は、図１中の矢印ＶＩで示す方向から見た図である。図７は、図５に示すバー型イオナイザを、図５中のＶＩＩ−ＶＩＩ断面で切断した場合の断面図である。図８は、図７中のＶＩＩＩで示す部分の拡大図である。図９は、図７中のＩＸで示す部分の拡大図である。図１０は、図１に示すバー型イオナイザに含まれるエンドキャップを示す斜視図である。図１１は、図１０に示すエンドキャップを長手方向から見た図である。なお、理解の容易の観点等から、図４、図６、図７および図９において、バー型イオナイザの長手方向の一部の図示を省略している。また、理解の容易の観点から、以下に示す図１等の断面図において、一部の部材のハッチングを省略している。

図１〜図１１を参照して、この発明の一実施形態に係るバー型イオナイザ取り付け具により取り付けられるバー型イオナイザ１１は、棒状であって、長手方向に所定の間隔を開けて設けられる複数の放電針を有する。放電針を含む放電ユニットの構成については、後述する。

バー型イオナイザ１１は、放電針によるイオン発生用の高電圧を発生すると共に発生させた高電圧の制御を行なう高電圧制御部２１と、高電圧制御部２１により発生および制御された高電圧を放電針にかけてイオンを発生させるイオン発生部３１と、高電圧制御部２１およびイオン発生部３１を収容するフレーム４１とを含む。

高電圧制御部２１は、高電圧を発生する高電圧モジュール２２と、高電圧モジュール２２により発生させた高電圧を制御する制御モジュール２３と、外部電源との入出力のインターフェースとなる入出力モジュール２４と、長手方向の長さ寸法調整および配線のみを行なうダミーモジュール２５とを含む。高電圧モジュール２２は、発生させた高電圧をイオン発生部３１に出力するための端子２６を含む。高電圧モジュール２２においては、例えば、約±７．５ｋＶ程度の交流電圧を発生させる。制御モジュール２３は、動作状態等を示す複数のＬＥＤ（Ｌｉｇｈｔ Ｅｍｉｔｔｉｎｇ Ｄｉｏｄｅ）からなる表示灯２７と、発生させた交流電圧の周波数を切り替える周波数切り替えスイッチ２８と、高電圧を制御する制御回路を有する基板２９とを含む。高電圧モジュール２２、制御モジュール２３、入出力モジュール２４およびダミーモジュール２５は、それぞれ棒状であって、長手方向に連なるように、後述するフレーム４１内に収容され、配置される。ダミーモジュール２５は、長手方向の長さに応じて複数設けられるが、高電圧モジュール２２、制御モジュール２３、および入出力モジュール２４については、一つのバー型イオナイザ１１について、一つずつ設けられている。

イオン発生部３１は棒状の複数の放電モジュール３２と、放電モジュール３２に取り付けられる複数の針モジュール３３とを含む。放電モジュール３２内には、高電圧用の導線３４が長手方向に延在するように配置されている。また、放電モジュール３２内には、長手方向に貫通するように、エアーの通路となるエアー流路３５が設けられている。複数の放電モジュール３２は、長手方向に連結して連なるように配置される。連結された際に、隣接する放電モジュール３２間において、上記した導線３４およびエアー流路３５が連結されるよう構成されている。また、放電モジュール３２内には、エアー流路３５の連結に際し、エアーの漏れを防止するようＯリング３６が設けられている。

針モジュール３３は、その先端が鋭利に尖っており、導電性を有する金属製の放電針３７と、放電針３７を支持すると共に、放電針３７を保護する放電針ホルダ３８とを含む。放電針３７は、鉛直方向に延びるように配置される。針モジュール３３には、放電針３７の周囲において、鉛直方向に延びるように貫通するエアー流路３９も設けられている。放電針ホルダ３８は、放電針３７の先端が針モジュール３３から露出しないよう構成されている。針モジュール３３は、放電モジュール３２に取り付けた際に、放電針３７と放電モジュール３２に設けられた導線３４とが接触し、エアー流路３９と放電モジュール３２に設けられたエアー流路３５とが連なるよう構成されている。

針モジュール３３は、放電モジュール３２の下部側、具体的には、放電モジュール３２の下面から突出するように設けられる。１つの放電モジュール３２には、合計３つの針モジュール３３が所定の間隔を開けて設けられる。この場合、長手方向に左右非対称となるように、具体的には、両端部に配置される針モジュール３３において、一方端部側が一方端部に近い位置に、他方端部側が他方端部から遠い位置に設けられる。こうすることにより、１つの針モジュール３３により構成される放電モジュール１７を用いて、放電モジュール３２を連結した際に、バー型イオナイザ１１の両端部に近い位置に針モジュール３３を位置させることができ、長手方向の効率的な除電を行うことができる。具体的には、バー型イオナイザ１１の長手方向の両端部側にまで、イオンを含んだ空気を吹き付けることができる。

また、針モジュール３３は、放電モジュールに着脱自在に設けられている。具体的には、針モジュール３３を所定の角度回転させて、放電モジュール３２への取り付けおよび放電モジュール３２からの離脱を行なう。こうすることにより、消耗品である針モジュール３３の交換や放電針３７部分の清掃、洗浄等が容易となり、バー型イオナイザ１１のメンテナンス性が向上する。

なお、この実施形態においては、１つの放電モジュール３２には、３つの針モジュール３３が設けられることとしたが、これに限らず、１つの放電モジュール３２に対し、１つや２つの針モジュール３３を設けてもよいし、４つ以上の針モジュール３３を設けることとしてもよい。さらに、複数の針モジュール３３が設けられる位置についても、長手方向に左右非対称とならなくてもよく、例えば、長手方向に左右対称に設けることとしてもよい。すなわち、針モジュール３３を設ける数や位置、複数の針モジュール３３間の間隔等については、例えば、要求されるバー型イオナイザ１１の特性や、エアーの圧力等によって、任意に選択される。

ここで、バー型イオナイザ１１におけるイオン発生のメカニズムについて、簡単に説明する。高電圧モジュール２２により発生させた交流の高電圧は、制御モジュール２３によって所定の周波数とされる。そして、導線３４を通じて放電針３７に電圧がかけられる。そうすると、放電針３７の先端部の周辺の空気が電気分解され、プラスイオンおよびマイナスイオンが発生する。そして、エアー流路３５、３９により送られてきたエアーにより、放電針３７の先端部周辺において発生させたイオンを含む空気を、鉛直方向下方側に吹き付けるようにして送風する。ここで、電圧は交流であるため、放電針３７からは、プラスイオンおよびマイナスイオンが、時間的に交互に発生する。交互に発生されたプラスイオンおよびマイナスイオンは、長手方向に層となって除電対象物に吹き付けられる。

また、バー型イオナイザ１１は、長手方向の両端部に、一対のエンドキャップ１２、１３を備える。また、バー型イオナイザ１１は、エンドキャップ１２、１３にそれぞれ取り付けられ、バー型イオナイザ１１の内部へ空気を供給する一対のエアー供給口１５、１６を備える。第一のエンドキャップ１２は、一方端部側に配置された高電圧モジュール２２と、放電モジュール３２とを一方端部側から押さえるようにしてバー型イオナイザ１１に取り付けられる。第二のエンドキャップ１３についても同様に、他方端部側に配置された入出力モジュール２４と放電モジュール３２とを他方端部側から押さえるようにしてバー型イオナイザ１１に取り付けられる。第一のエンドキャップ１２は、上下方向に延びるように設けられる金属製のプレート１４を含む。このプレート１４により、高電圧モジュール２２に含まれる端子２６と、放電モジュール３２に設けられる導線３４とを連結する。すなわち、第一のエンドキャップ１２を取り付けた際に、端子２６とプレート１４の一方端部とが電気的に接続され、導線３４とプレート１４の他方端部とが電気的に接続される。そして、高電圧制御部２１とイオン発生部３１とが導通されることになる。第二のエンドキャップ１３については、プレート１４が設けられておらず、単に入出力モジュール２４と放電モジュール３２とを上下方向に連結するのみである。

バー型イオナイザ１１は、上記した放電モジュール３２を長手方向に複数連ねて構成されており、バー型イオナイザ１１の組み立てに際しては、要求されるバー型イオナイザ１１の長手方向の長さに対して、長手方向に連結する放電モジュール３２の個数を調整する。すなわち、要求されるバー型イオナイザ１１の長手方向の長さに応じて、フレーム４１および要求される長さに相当する個数の放電モジュール３２を準備し、これらを長手方向に連結して対応することが可能である。なお、高電圧モジュール２２、制御モジュール２３、および入出力モジュール２４については、一つのバー型イオナイザ１１について、それぞれ一つずつでよいため、放電モジュール３２の個数に応じた長さ方向の寸法の調整については、上記したダミーモジュール２５が用いられる。すなわち、ダミーモジュール２５を放電モジュール３２の個数に応じて準備し、長手方向に連ねて配置して、高電圧制御部２１における長さ調整を行なう。

次に、高電圧制御部２１およびイオン発生部３１を収容するフレーム４１の構成について説明する。フレーム４１は、一対の側壁部４２、４３を備える。一対の側壁部４２、４３は、それぞれ長手方向に長い平板状である。一対の側壁部４２、４３は、それぞれ長手方向に略平行になるように設けられている。また、一対の側壁部４２、４３は、それぞれ上方端部および下方端部が鉛直方向に揃うように設けられている。具体的には、側壁部４２の上方端部５１の鉛直方向の位置は、側壁部４３の上方端部５２の鉛直方向の位置と同じであり、側壁部４２の下方端部５３の鉛直方向の位置は、側壁部４３の下方端部５４の鉛直方向の位置と同じである。

また、フレーム４１は、第一の開口部４５を有する第一の収容部４７を形成し、第二の開口部４６を有する第二の収容部４８を形成するように、一対の側壁部４２、４３を連結する仕切り部４４を備える。すなわち、フレーム４１は、それぞれ第一および第二の開口部４５、４６を有する第一および第二の収容部４７、４８を形成するように一対の側壁部４２、４３を連結する仕切り部４４を備える。仕切り部４４についても、長手方向に長い平板状である。仕切り部４４は、一対の側壁部４２、４３とそれぞれ直交するように設けられている。仕切り部４４は、側壁部４２、４３の鉛直方向中央部から延びるように設けられている。側壁部４２、４３、および仕切り部４４のいわゆる板厚については、ほぼ等しく構成されている。一対の側壁部４２、４３および仕切り部４４によって構成されるフレーム４１の断面形状、具体的には、フレーム４１を長手方向に直交する平面で切断した場合の断面形状は、略Ｈ形状である。また、図２に示す断面において、フレーム４１の上下左右方向の形状が、対称となるよう構成されている。

ここで、第一の収容部４７を、鉛直方向上方側とし、第二の収容部４８を鉛直方向下方側とすると、第一の収容部４７には、上記した高電圧制御部２１、具体的には、高電圧モジュール２２、制御モジュール２３、入出力モジュール２４および複数のダミーモジュール２５が収容される。この場合、第一の開口部４５を用いて、それぞれの部材が鉛直方向上方側に収容される。一方、第二の収容部４８には、上記したイオン発生部３１、具体的には、複数の放電モジュール３２が収容される。この場合、第二の開口部４６を用いて、鉛直方向下方側に収容される。

このような構成のバー型イオナイザ１１によると、高電圧制御部２１およびイオン発生部３１を収容するフレーム４１は、一対の側壁部４２、４３および仕切り部４４を含むため、断面係数を高くして、剛性を高くすることができる。また、フレーム４１の内部に高電圧制御部２１およびイオン発生部３１を第一および第二の収容部４７、４８にそれぞれ収容する際に、第一および第二の開口部４５、４６を利用して、容易に収容することができる。したがって、このようなバー型イオナイザ１１は、組み立てが容易であって、かつ、剛性を高くすることができる。この場合、剛性が高いため、バー型イオナイザ１１の天井への取り付け作業時等において、複数人の作業者を要せずとも、バー型イオナイザ１１の取り付け時における撓みを抑制することができる。また、バー型イオナイザ１１の輸送時においても、梱包を簡素化することができる。

ここで、フレーム４１は、金属製、すなわち、導体であって、放電針３７に対する放電の基準となる基準電位を有する基準電極である。ここでは、交流電圧において、イオンを発生させるため、フレーム４１は、対向電極となる。具体的には、フレーム４１の側壁部４２、４３における下方端部５３、５４が放電針３７の所定の距離内となるように設けられており、フレーム４１が接地されている。このような構成のバー型イオナイザ１１によると、フレーム４１を対向電極としているため、新たな部材として対向電極としての金属板を準備し、これをバー型イオナイザ１１の下方側、具体的には、放電モジュール３２側にビス止め等して設ける必要がない。したがって、安価な構成とすることができる。さらに、ビスの落下等の問題も解消することができる。なお、上記構成のフレーム４１については、直流電圧をかける場合においても、発生させるイオンのイオンバランスを制御するイオンバランス電極となる。

また、鉛直方向においては、鉛直方向上方側から、高電圧モジュール２２、フレーム４１、エアー流路３５、導線３４、放電針３７の順序で配置されている。すなわち、長手方向に延在し、イオン発生部３１により発生させたイオンを吹き付けるための空気を挿通させるエアー流路３５の鉛直方向上方側にはフレーム４１が設けられており、エアー流路３９の鉛直方向下方側には、長手方向に延在し、高電圧制御部２１により発生させた高電圧を放電針３７にかけるための導線３４が設けられている。放電針３７および導線３４と基準電極となるフレーム４１、具体的にはフレーム４１に含まれる仕切り部４４との間に比誘電率が小さなエアー流路３５を設けることにより、この間に形成される寄生容量を小さくすることができ、効率的に電圧を供給することができる。

次に、上記した構成のバー型イオナイザを天井等に取り付ける際に用いられるバー型イオナイザ取り付け具の構成について説明する。図１２および図１３は、この発明の一実施形態に係るバー型イオナイザ取り付け具６１の斜視図である。図１２は、後述する接続状態を維持するロック機構が解除された状態を示し、図１３は、ロック機構によりロックされた状態を示す。また、図１４および図１５は、それぞれバー型イオナイザ１１を取り付けたバー型イオナイザ取り付け具６１を示す斜視図であり、それぞれ図１２および図１３に相当する。また、図１６は、図１２および図１３に示すバー型イオナイザ取り付け具６１において、バー型イオナイザ１１を取り付けた状態を示す全体図である。

図１２〜図１６を参照して、この発明の一実施形態に係るバー型イオナイザ取り付け具６１は、樹脂製であって、所定の箇所に固定される固定部６２と、後述する一対の接続部６４、６５を介して固定部６２に接続されており、バー型イオナイザ１１の長手方向に交わる方向に延在して、バー型イオナイザ１１を介して固定部６２と対向する位置においてバー型イオナイザ１１を支持する支持部６３とを備える。

固定部６２は、平板状の平板部６６と、鉛直方向下方側に突出する突出部６７とを含む。平板部６６は、略矩形の平板状である。平板部６６には、板厚方向に貫通する４つの貫通孔６８が設けられている。４つの貫通孔６８は、矩形状の平板部６６の４つの角の近傍にそれぞれ設けられている。４つの貫通孔６８を利用してビス止め等を行って、固定部６２をクリーンルームや製造装置等の天井（図示せず）に固定することができる。

支持部６３は、棒状であり、バー型イオナイザ１１の長手方向から見た場合に、鉛直方向下方側にその中央部が若干突出する形状を有している。こうすることにより、上方に配置されるバー型イオナイザ１１の保持を容易にすることができる。

一対の接続部６４、６５のうち、一方側の接続部６４は、固定部６２および支持部６３に固定されている。具体的には、接続部６４の上方端部６９は、固定部６２に含まれる突出部６７の一部に接続され固定されており、接続部６４の下方端部７０は、支持部６３の一方端部７１に接続され固定されている。他方側の接続部６５の下方端部７２は、支持部６３の他方端部７３と接続され固定されている。一方、他方側の接続部６５の一方端部７４、具体的には、他方側の接続部６５の上方端部７４は、固定部６２と着脱自在に設けられている。固定部６２、支持部６３および一方の接続部６４をバー型イオナイザ１１の長手方向から見た場合には、略コ字形状となる。

ここで、接続部６５は、スナップ嵌合により固定部６２に接続されている。具体的には、接続部６５の上方端部７４と固定部６２に含まれる突出部６７の一部とがスナップ嵌合される。こうすることにより、固定部６２、支持部６３および接続部６４で囲まれる空間に、バー型イオナイザ１１を容易に収容することができる。

また、バー型イオナイザ取り付け具６１は、接続部６４、６５における接続状態を維持するロック機構７５を備える。ロック機構７５は、接続部６５および固定部６２をスナップ嵌合させ、このスナップ嵌合に含まれる爪部をロックすることにより行なう。こうすることにより、接続部６５による接続状態を強固に維持し、不本意なバー型イオナイザ１１の支持部６３からの脱落等を防止することができる。

ここで、バー型イオナイザ取り付け具６１は、バー型イオナイザ１１の所定の箇所に係合する係合部としての凸部８１を備える。凸部８１は、支持部６３に設けられており、内方側、すなわち、対向する固定部６２側に突出するように設けられている。凸部８１は、バー型イオナイザ１１に設けられた凹部８２に係合する形状である。凹部８２は、上記したバー型イオナイザ１１において、放電モジュール３２のうち、放電針３７が設けられた位置を避けた位置、具体的には、針モジュール３３が位置する領域を避けた位置に設けられている。凹部８２は、放電モジュール３２の下方側に位置する面から矩形状に凹んだ形状である。凸部８１は、矩形状に凹んだ凹部８２に対応するように、矩形状に突出した形状である。こうすることにより、バー型イオナイザ取り付け具６１におけるバー型イオナイザ１１の移動を規制することができる。したがって、バー型イオナイザ取り付け具６１におけるバー型イオナイザ１１の保持状態を確実にすることができる。この場合、凸部８１および凹部８２は、矩形状の凹凸であるため、矩形状の凹凸のうちの長手方向に位置する壁面を利用して、バー型イオナイザ１１の長手方向の移動を規制することができる。ここで、バー型イオナイザ１１を縦方向、すなわち、一方端部を鉛直方向下方側とし、他方端部を鉛直方向上方側として取り付ける場合がある。この場合においては、上記した凸部８１が鉛直方向への移動を規制する。なお、図示するように、凸部８１は、接続部６４、６５に設けられていてもよい。

次に、上記した構成のバー型イオナイザ取り付け具６１を用いて、バー型イオナイザを取り付ける方法について説明する。まず、上記した構成のバー型イオナイザ取り付け具６１を複数準備する。そして、複数のバー型イオナイザ取り付け具６１を、所定の間隔を開けて、所定の固定場所に固定する。この場合、上記したように、固定部６２に含まれる貫通孔６８およびビス等を利用して固定する。次に、複数のバー型イオナイザ取り付け具６１において、スナップ嵌合を開放した状態、すなわち、バー型イオナイザ取り付け具６１を図１２に示す状態とした後、バー型イオナイザ１１を支持部６３上に配置させる。その後、接続部６５と固定部６２とをスナップ嵌合させて、支持部６３上に配置されたバー型イオナイザ１１を支持部６３によって支持させる。この場合の支持部６３は、バー型イオナイザ１１を鉛直方向下方側から支持する。

すなわち、この発明の一実施形態に係るバー型イオナイザの取り付け方法は、長手方向に所定の間隔を開けて設けられる複数の放電針を有し、放電針によるイオン発生用の高電圧を発生すると共に発生させた高電圧の制御を行なう高電圧制御部と、高電圧制御部により発生および制御された高電圧を放電針にかけてイオンを発生させるイオン発生部と、高電圧制御部およびイオン発生部を収容するフレームとを含むバー型イオナイザを所定の場所に取り付けるバー型イオナイザ取り付け方法であって、所定の場所に固定するための固定部と、固定部に接続されており、バー型イオナイザの長手方向に交わる方向に延在して、バー型イオナイザを介して固定部と対向する位置においてバー型イオナイザを支持する支持部とを備えるバー型イオナイザ取り付け具を複数準備する工程と、複数のバー型イオナイザ取り付け具に含まれる固定部を所定の場所に所定の間隔を開けて取り付ける工程と、複数のバー型イオナイザ取り付け具に含まれる支持部の上にバー型イオナイザの下方端部を接触させるようにして配置する工程とを含む。

このような構成のバー型イオナイザ取り付け具およびバー型イオナイザの取り付け方法によると、予め固定部を所定の場所に固定した後、固定部および支持部により取り付けることができる。そうすると、バー型イオナイザを所定の場所に取り付ける際に、支持部上にバー型イオナイザを支持させながら取り付けることができる。したがって、バー型イオナイザを水平方向に取り付ける際に、バー型イオナイザが取り付け時において自重により垂れることはなく、また、複数人の作業者による下方向からの支持も必要がない。このようなバー型イオナイザ取り付け具およびバー型イオナイザの取り付け方法によると、取り付け時におけるバー型イオナイザの破損のおそれを低減すると共に、バー型イオナイザの取り付けが容易となる。

また、バー型イオナイザ取り付け具６１に含まれる固定部６２は、バー型イオナイザ１１の取り付け角度を変更できる角度変更手段としての回転部８３を備えるよう構成してもよい。回転部８３としては、平板部６６と突出部６７とが別部材で構成されており、互いの部材が、ピン８４を支持して回転可能となっている。すなわち、平板部６６を基準として、ピン８４を中心に突出部６７、支持部６３、および一対の接続部６４、６５が所定の角度回転可能である。ここでいう回転の回転軸線方向は、バー型イオナイザ１１の長手方向に沿う方向である。こうすることにより、バー型イオナイザ取り付け具６１によりバー型イオナイザ１１を所定の場所に取り付けた後に、角度変更手段を利用して、バー型イオナイザ１１の角度、具体的には、イオンを含んだ空気を吹き付ける角度を容易に変更することができる。

また、フレーム４１の材質は、アルミニウムにすることが好ましい。このような材質とすることにより、例えば、フレーム４１、引いては、バー型イオナイザ１１の高剛性化を図ることができる。

なお、上記の実施の形態においては、フレームについては、平板状の一対の側壁部を含むこととしたが、これに限らず、例えば、側壁部は、曲面を有していたり、湾曲していてもよい。また、上下左右が対称な形状でなくともよい。さらに、仕切り部についても、側壁部の略中央でなくともよく、湾曲形状であってもよい。さらに、側壁部および仕切り部において、必要に応じ、切り欠きや開口穴、凹部や凸部等が設けられていてもよい。

また、上記の実施の形態においては、フレームを金属製とすることとしたが、これに限らず、樹脂製であってもよく、樹脂と金属とを組み合わせた部材であってもよい。また、一体成型されていなくともよく、複数の部材を組み合わせて、上記構成としてもよい。ここで、バー型イオナイザ取り付け具の形状、特に、固定部、支持部、および連結部のうち、バー型イオナイザと当接する部分においては、バー型イオナイザの外形形状に沿う形状とすることが好ましい。こうすることにより、バー型イオナイザ取り付け具により所定の場所に取り付けたバー型イオナイザの確実な保持が可能となる。

なお、上記の実施の形態においては、一つの接続部と固定部とを着脱自在としたが、これに限らず、一つの接続部と支持部とを着脱自在としてもよく、一対の接続部の双方を固定部または支持部と着脱自在な構成としてもよい。

また、上記の実施の形態においては、バー型イオナイザの取り付け角度を変更できる角度変更手段を設けることにしたが、これに限らず、図１７および図１８に示すバー型イオナイザ取り付け具８６のように、角度変更手段を設けない構成としてもよい。図１７は、図１２に対応し、図１８は、図１３に対応する。

なお、上記の実施の形態においては、バー型イオナイザ取り付け具は、樹脂製とすることとしたが、これに限らず、金属製としてもよいし、他の素材で構成することとしてもよい。

また、上記の実施の形態においては、フレームの断面形状は、略Ｈ字形状としたが、これに限らず、例えば、他の形状、例えば、略Ｕ字形状であってもよいし、複数の部材から構成されていてもよい。

以上、図面を参照してこの発明の実施形態を説明したが、この発明は、図示した実施形態のものに限定されない。図示した実施形態に対して、この発明と同一の範囲内において、あるいは均等の範囲内において、種々の修正や変形を加えることが可能である。

この発明に係るバー型イオナイザ取り付け具およびバー型イオナイザの取り付け方法は、長手方向に長い長尺のバー型イオナイザを天井等に取り付ける際に、有効に利用される。

１１ バー型イオナイザ、１２，１３ エンドキャップ、１４ プレート、１５，１６ エアー供給口、２１ 高電圧制御部、２２ 高電圧モジュール、２３ 制御モジュール、２４ 入出力モジュール、２５ ダミーモジュール、２６ 端子、２７ ＬＥＤ、２８ 周波数切り替えスイッチ、２９ 基板、３１ イオン発生部、１７，３２ 放電モジュール、３３ 針モジュール、３４ 導線、３５，３９ エアー流路、３６ Ｏリング、３７ 放電針、３８ 放電針ホルダ、４１ フレーム、４２，４３ 側壁部、４４ 仕切り部、４５，４６ 開口部、４７，４８ 収容部、５１，５２，５３，５４，６９，７０，７１，７２，７３，７４ 端部、６１，８６ バー型イオナイザ取り付け具、６２ 固定部、６３ 支持部、６４，６５ 接続部、６６ 平板部、６７ 突出部、６８ 貫通孔、７５ ロック機構、８１ 凸部、８２ 凹部、８３ 回転部、８４ ピン。

Claims (8)

1. 長手方向に所定の間隔を開けて設けられる複数の放電針を有し、前記放電針によるイオン発生用の高電圧を発生すると共に発生させた高電圧の制御を行なう高電圧制御部と、前記高電圧制御部により発生および制御された高電圧を前記放電針にかけてイオンを発生させるイオン発生部と、前記高電圧制御部および前記イオン発生部を収容するフレームとを含むバー型イオナイザを所定の場所に取り付けるバー型イオナイザ取り付け具であって、
   前記所定の場所に固定するための固定部と、
   前記固定部に接続されており、前記バー型イオナイザの長手方向に交わる方向に延在して、前記バー型イオナイザを介して前記固定部と対向する位置において前記バー型イオナイザを支持する支持部とを備える、バー型イオナイザ取り付け具。
2. 前記バー型イオナイザの所定の箇所に係合する係合部を備える、請求項１に記載のバー型イオナイザ取り付け具。
3. 前記係合部は、前記バー型イオナイザに設けられた凹部または凸部に係合する凸部または凹部を含む、請求項２に記載のバー型イオナイザ取り付け具。
4. 前記所定の箇所は、前記放電針が設けられた位置を避けた位置である、請求項２または３に記載のバー型イオナイザ取り付け具。
5. 前記固定部および支持部のうちの少なくとも一方と着脱自在であって、前記固定部および前記支持部を接続する接続部を含む、請求項１に記載のバー型イオナイザ取り付け具。
6. 前記接続部には、接続状態を維持するロック機構が設けられている、請求項５に記載のバー型イオナイザ取り付け具。
7. 前記固定部は、前記バー型イオナイザの取り付け角度を変更できる角度変更手段を含む、請求項１〜６のいずれかに記載のバー型イオナイザ取り付け具。
8. 長手方向に所定の間隔を開けて設けられる複数の放電針を有し、前記放電針によるイオン発生用の高電圧を発生すると共に発生させた高電圧の制御を行なう高電圧制御部と、前記高電圧制御部により発生および制御された高電圧を前記放電針にかけてイオンを発生させるイオン発生部と、前記高電圧制御部および前記イオン発生部を収容するフレームとを含むバー型イオナイザを所定の場所に取り付けるバー型イオナイザ取り付け方法であって、
   前記所定の場所に固定するための固定部と、前記固定部に接続されており、前記バー型イオナイザの長手方向に交わる方向に延在して、前記バー型イオナイザを介して前記固定部と対向する位置において前記バー型イオナイザを支持する支持部とを備えるバー型イオナイザ取り付け具を複数準備する工程と、
   複数の前記バー型イオナイザ取り付け具に含まれる固定部を所定の場所に所定の間隔を開けて取り付ける工程と、
   複数の前記バー型イオナイザ取り付け具に含まれる支持部の上に前記バー型イオナイザの下方端部を接触させるようにして配置する工程とを含む、バー型イオナイザの取り付け方法。

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