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JP2010217861A - Light scattering type liquid crystal display device and method of manufacturing the same - Google Patents

Light scattering type liquid crystal display device and method of manufacturing the same Download PDF

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JP2010217861A
JP2010217861A JP2009222029A JP2009222029A JP2010217861A JP 2010217861 A JP2010217861 A JP 2010217861A JP 2009222029 A JP2009222029 A JP 2009222029A JP 2009222029 A JP2009222029 A JP 2009222029A JP 2010217861 A JP2010217861 A JP 2010217861A
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JP
Japan
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electrode
dummy
display
liquid crystal
transparent substrate
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Application number
JP2009222029A
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Japanese (ja)
Inventor
Tadahiro Kaneko
直裕 金子
Takakazu Fukuchi
高和 福地
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Seiko Instruments Inc
Original Assignee
Seiko Instruments Inc
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Publication date
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a light scattering type liquid crystal display device which does not cause exposure of a wiring electrode or poorly lighting up of part of the wiring electrode and can be manufactured with a simple manufacturing method. <P>SOLUTION: A first dummy electrode 7 having a gap is formed adjoining a display electrode 5 and the wiring electrode 6, an insulating film 8 is formed thereon, and a second dummy electrode 9 is formed thereon. The second dummy electrode 9 is formed so that the outer periphery of the display electrode 5 overlaps via the insulating film 8 and it further overlaps with the wiring electrode 6 and the first dummy electrode 7 via the insulating film 8. <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Description

本発明は、光散乱型の液晶表示装置、詳しくはポリマーネットワーク液晶を用いた液晶表示装置に関する。   The present invention relates to a light scattering liquid crystal display device, and more particularly to a liquid crystal display device using a polymer network liquid crystal.

近年、明るい表示を実現させたいとの要求から、偏光板を使用しない表示方式として光散乱型の液晶表示装置が検討されている。光散乱型液晶表示装置の代表例としてポリマーネットワーク液晶(以降、PN−LCと称す)を用いたポリマーネットワーク型液晶表示装置(以降、PN−LCDと称す)が挙げられる。PN−LCは、紫外線(UV)によって架橋反応を起こし重合する高分子樹脂と、通常用いられているTN液晶とを混合分散させた複合型の液晶材料である。UV重合性高分子樹脂とTN液晶を適度の配合で混合させて、UV照射すると高分子がネットワークを形成すると同時に、配合されているTN液晶がポリマーネットワーク中に均一に分散される。その結果、ポリマーとTN液晶のそれぞれの機能を併せ持った性質を有するようになる。   In recent years, a light scattering type liquid crystal display device has been studied as a display method that does not use a polarizing plate because of a demand for realizing a bright display. A typical example of the light scattering type liquid crystal display device is a polymer network type liquid crystal display device (hereinafter referred to as PN-LCD) using a polymer network liquid crystal (hereinafter referred to as PN-LC). PN-LC is a composite liquid crystal material in which a polymer resin that undergoes a cross-linking reaction by ultraviolet rays (UV) and is polymerized and a commonly used TN liquid crystal are mixed and dispersed. When UV-polymerizable polymer resin and TN liquid crystal are mixed in an appropriate composition and UV irradiation is performed, the polymer forms a network, and at the same time, the compounded TN liquid crystal is uniformly dispersed in the polymer network. As a result, the polymer and the TN liquid crystal have both properties.

PN−LCDは、ポリマーネットワークとTN液晶の屈折率の差を利用して入射光を散乱させる、光散乱型の液晶表示素子である。そのため、従来のTN液晶表示装置で使用された偏光板が不要である。更に、液晶分子を配向させるための配向膜を形成する必要がない。そのため、光の損失が極めて少なく、明るい表示が可能となる。PN−LCDは、高分子分散型液晶を硬化させる紫外線照射装置が必要になるだけで、高温処理を伴う配向膜や、高価な偏光板を不要とすることから、低価格で提供することができる。   The PN-LCD is a light scattering type liquid crystal display element that scatters incident light by utilizing a difference in refractive index between a polymer network and a TN liquid crystal. Therefore, the polarizing plate used in the conventional TN liquid crystal display device is unnecessary. Furthermore, it is not necessary to form an alignment film for aligning liquid crystal molecules. Therefore, light loss is extremely small and bright display is possible. The PN-LCD can be provided at a low price because it only requires an ultraviolet irradiation device for curing the polymer dispersed liquid crystal, and does not require an alignment film accompanied by a high temperature treatment or an expensive polarizing plate. .

図7は、二枚の透明基板間にPN−LCを封入したPN−LCDの断面図である。下側の第1の基板51の液晶層側の表面には、第1の透明電極53が形成され、その上に絶縁膜層56が形成され、その上に第2の透明電極58と周囲の周囲電極60が分離して形成されている。第1の透明電極53と第2の透明電極58とは、絶縁膜層56に開口したコンタクトホール57を介して接続されている。対向する第2の基板52の液晶層側の表面には第3の透明電極59が全面に形成されている。第1の基板51と第2の基板52とはシール材55を介して間隙を設けて貼り合わされ、この間隙にPN−LC54が封入されている(例えば、特許文献1を参照)。   FIG. 7 is a cross-sectional view of a PN-LCD in which PN-LC is sealed between two transparent substrates. A first transparent electrode 53 is formed on the surface of the lower first substrate 51 on the liquid crystal layer side, an insulating film layer 56 is formed thereon, a second transparent electrode 58 and a surrounding area are formed thereon. A peripheral electrode 60 is formed separately. The first transparent electrode 53 and the second transparent electrode 58 are connected through a contact hole 57 opened in the insulating film layer 56. A third transparent electrode 59 is formed on the entire surface of the opposing second substrate 52 on the liquid crystal layer side. The first substrate 51 and the second substrate 52 are bonded together with a gap provided through a sealing material 55, and PN-LC 54 is sealed in the gap (see, for example, Patent Document 1).

PN−LCは、電界を印加しないときに光散乱状態であり、電界を印加することにより透過状態へ変化する。第1の透明電極53と第3の透明電極59との間に電圧を印加することにより、第2の透明電極58と第3の透明電極59の間のPN−LC54に電界が印加され、PN−LC54は入射した光を透過する。第2の透明電極58の周囲に形成した周囲電極60は、例えば、第3の透明電極59と同電位にする。これにより、周囲電極60と第3の透明電極59の間のPN−LC54は光散乱状態を維持する。第1の透明電極53と第3の透明電極59との間の電位を同電位にすれば、PN−LC54は光透過状態から光散乱状態に戻る。また、周囲電極60を第2の透明電極58と同電位にする。これにより、周囲電極60と第3の透明電極59の間のPN−LC54は光透過状態を維持する。第1の透明電極53は絶縁膜層56の下部に形成されている。従って、第1の透明電極53により配線電極を構成すれば、他の領域に形成された画像形成用の第2の透明電極と交差することができる。つまり、より複雑な画像形成用のパターンを構成することができる。   PN-LC is in a light scattering state when no electric field is applied, and changes to a transmissive state when an electric field is applied. By applying a voltage between the first transparent electrode 53 and the third transparent electrode 59, an electric field is applied to the PN-LC 54 between the second transparent electrode 58 and the third transparent electrode 59. -LC 54 transmits incident light. The surrounding electrode 60 formed around the second transparent electrode 58 is set to the same potential as the third transparent electrode 59, for example. Thereby, the PN-LC 54 between the surrounding electrode 60 and the third transparent electrode 59 maintains a light scattering state. If the potential between the first transparent electrode 53 and the third transparent electrode 59 is set to the same potential, the PN-LC 54 returns from the light transmission state to the light scattering state. The peripheral electrode 60 is set to the same potential as the second transparent electrode 58. As a result, the PN-LC 54 between the surrounding electrode 60 and the third transparent electrode 59 maintains a light transmission state. The first transparent electrode 53 is formed below the insulating film layer 56. Therefore, if the wiring electrode is constituted by the first transparent electrode 53, it can intersect with the second transparent electrode for image formation formed in another region. That is, a more complicated pattern for image formation can be configured.

しかし、PN−LC54と接する第2の透明電極58と周囲電極60の間には隙間が形成されている。この隙間の領域に入射した光は散乱されるため、周囲電極60と第2の透明電極58が光透過状態のときに、この隙間が視認できるようになる。   However, a gap is formed between the second transparent electrode 58 in contact with the PN-LC 54 and the surrounding electrode 60. Since the light incident on the gap region is scattered, the gap can be visually recognized when the surrounding electrode 60 and the second transparent electrode 58 are in a light transmitting state.

図8は、上記の隙間が見える不具合を改善したPN−LCDの断面図である。二枚のガラス基板61、62の間隙にPN−LCが封入されている。ガラス基板61の液晶層側には、標識表示用電極パターン63aと、これに接続する配線用電極パターン63bが形成されている。標識表示用電極パターン63aの端部には、絶縁層64と周辺電極パターン65が積層して形成されている。配線用電極パターン63bの上にも、絶縁層64と周辺電極パターン65が積層して形成されている。ガラス基板62の液晶層側の表面にも、同様の電極パターンが形成され、ガラス基板61に対向して設置されている。標識用パターン63aと66aの間に電圧を印加して標識表示を行う(例えば、特許文献2を参照)。配線用電極パターン63b、66bは、それぞれ周辺電極パターン65、68により電気的に遮蔽されるので、配線用電極パターン63b、66bの領域は表示されない。即ち、領域70Bにおいて標識表示が行われ、領域70Aは非表示領域として構成されている。また、周辺電極パターン65(68)と標識表示用電極パターン63a(66a)との間に隙間が形成されていないので、その境界が観察されることもない。   FIG. 8 is a cross-sectional view of a PN-LCD in which the above-described defect in which the gap can be seen is improved. PN-LC is sealed in the gap between the two glass substrates 61 and 62. On the liquid crystal layer side of the glass substrate 61, a marker display electrode pattern 63a and a wiring electrode pattern 63b connected thereto are formed. An insulating layer 64 and a peripheral electrode pattern 65 are laminated on the end portion of the sign display electrode pattern 63a. An insulating layer 64 and a peripheral electrode pattern 65 are also laminated on the wiring electrode pattern 63b. A similar electrode pattern is also formed on the surface of the glass substrate 62 on the liquid crystal layer side, and is placed facing the glass substrate 61. A sign is displayed by applying a voltage between the sign patterns 63a and 66a (see, for example, Patent Document 2). Since the wiring electrode patterns 63b and 66b are electrically shielded by the peripheral electrode patterns 65 and 68, respectively, the regions of the wiring electrode patterns 63b and 66b are not displayed. That is, the sign display is performed in the area 70B, and the area 70A is configured as a non-display area. In addition, since no gap is formed between the peripheral electrode pattern 65 (68) and the marker display electrode pattern 63a (66a), the boundary is not observed.

特開2001−125086号公報Japanese Patent Laid-Open No. 2001-125086 特開2007−133088号広報JP 2007-133088 PR

図7に示したPN−LCDでは、PN−LC54と接する第2の透明電極58と周囲電極60と間には隙間が形成されているため、光透過状態において、この隙間の領域に入射した光が散乱され、隙間が見えるようになる。更に、配線電極である第1の透明電極53は、第2の透明電極58と周囲電極60との間の隙間の領域と、絶縁膜層56を介して交差する。従って、第2の透明電極58の上のPN−LC54を点灯させるために、第1の透明電極53に電圧を印加すれば、この交差部の隙間の上のPN−LC54にも、絶縁膜層56により電圧が降下した電界が印加され、半点灯することになる。その結果、不均一な表示、或いは表示すべきでない領域の隙間が半点灯する不具合が発生する。これを防止するためには、絶縁膜層56を厚くすればよいが、そうすると、絶縁膜層56を堆積するのに長時間かかること、厚い絶縁膜層56を貼り付けるための工程を必要とすることや、コンタクトホール57を形成するための時間が長くなる等により、製造コスト高となる。   In the PN-LCD shown in FIG. 7, since a gap is formed between the second transparent electrode 58 in contact with the PN-LC 54 and the peripheral electrode 60, the light incident on the gap area in the light transmission state. Will be scattered and gaps will be visible. Further, the first transparent electrode 53 that is a wiring electrode intersects with the gap region between the second transparent electrode 58 and the surrounding electrode 60 via the insulating film layer 56. Therefore, if a voltage is applied to the first transparent electrode 53 in order to light the PN-LC 54 on the second transparent electrode 58, the insulating film layer is also applied to the PN-LC 54 above the gap at the intersection. An electric field whose voltage has dropped by 56 is applied, and the light is half lit. As a result, there arises a problem that a non-uniform display or a gap between areas that should not be displayed is lit half. In order to prevent this, the insulating film layer 56 may be thickened. However, in that case, it takes a long time to deposit the insulating film layer 56, and a process for attaching the thick insulating film layer 56 is required. In addition, the manufacturing cost is increased due to, for example, a longer time for forming the contact hole 57.

図8のPN−LCDにおいては、周辺電極パターン65、68と標識表示用電極パターン63a、66aとは、基板表面の法線方向において隙間無く形成されている。しかしながら、現実に電極間の隙間を無くすように形成することは極めて難しい。標識表示用電極パターン63a、66aの先端部と、周辺電極パターン65、68の端部とを一致させるためには、高精度のマスクアライメント工程と、高精度のエッチング技術を必要とする。そのため、製造装置が高価となり、コスト高となることが避けられない。   In the PN-LCD of FIG. 8, the peripheral electrode patterns 65 and 68 and the indicator display electrode patterns 63a and 66a are formed without a gap in the normal direction of the substrate surface. However, it is extremely difficult to form so as to eliminate the gap between the electrodes. A highly accurate mask alignment process and a highly accurate etching technique are required to make the tip portions of the sign display electrode patterns 63a and 66a coincide with the ends of the peripheral electrode patterns 65 and 68. Therefore, it is inevitable that the manufacturing apparatus is expensive and expensive.

そこで、本発明は、比較的簡単な電極構成で、電極間の隙間が見えることによる表示品質の低下を防止した光散乱型液晶表示装置を提供することを目的とする。   SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a light scattering type liquid crystal display device with a relatively simple electrode configuration, which prevents display quality from being deteriorated due to visible gaps between the electrodes.

本発明による液晶表示装置は、一対の透明基板の間隙に光散乱型液晶を挟持した光散乱型液晶表示装置において、一方の透明基板の内表面であって外部から視認可能な表示領域には、表示電極と、表示電極に接続する配線電極と、表示電極及び配線電極に対して隙間を設けて近接し、電気的に分離する第1ダミー電極が形成され、表示電極の外周部、配線電極、及び、第1ダミー電極の上には絶縁膜が形成され、絶縁膜の上には、表示電極の外周部、配線電極、及び、第1ダミー電極に重なるように第2ダミー電極が形成され、他方の透明基板の内表面であって表示領域には、対向電極が形成されていることとした。   The liquid crystal display device according to the present invention is a light scattering type liquid crystal display device in which a light scattering type liquid crystal is sandwiched between a pair of transparent substrates. A display electrode, a wiring electrode connected to the display electrode, and a first dummy electrode that is adjacent to and electrically separates the display electrode and the wiring electrode from each other and is electrically separated, and the outer periphery of the display electrode, the wiring electrode, An insulating film is formed on the first dummy electrode, and a second dummy electrode is formed on the insulating film so as to overlap the outer periphery of the display electrode, the wiring electrode, and the first dummy electrode, The counter electrode is formed on the display area on the inner surface of the other transparent substrate.

また、絶縁膜を表示電極の上面の全面に渡って形成し、第2ダミー電極を絶縁膜の上であって表示電極の外周部に重なるように形成することとした。   In addition, the insulating film is formed over the entire upper surface of the display electrode, and the second dummy electrode is formed on the insulating film so as to overlap the outer periphery of the display electrode.

また、一方の透明基板の外周端部の内表面に、配線電極と電気的に接続する表示用電極端子と、第1ダミー電極及び第2ダミー電極と電気的に接続するダミー端子を形成した。ここで、表示用電極端子は、配線電極の延設部と、その上に第2ダミー電極と同時に形成した導電性膜との積層構造を有し、ダミー端子は、第1ダミー電極の延設部の上に第2ダミー電極の延設部が積層された構造とした。   In addition, a display electrode terminal electrically connected to the wiring electrode and a dummy terminal electrically connected to the first dummy electrode and the second dummy electrode were formed on the inner surface of the outer peripheral end of one transparent substrate. Here, the display electrode terminal has a laminated structure of an extended portion of the wiring electrode and a conductive film formed simultaneously with the second dummy electrode on the wiring electrode, and the dummy terminal extends from the first dummy electrode. The extending portion of the second dummy electrode is laminated on the portion.

本発明による液晶表示装置の製造方法は、一対の透明基板の間隙に光散乱型液晶を挟持する光散乱型液晶表示装置の製造方法において、一方の透明基板の表面に第1透明導電膜を堆積し、第1透明電極を、表示電極及び表示電極に接続する配線電極と、表示電極及び配線電極に隙間を介して近接する第1ダミー電極とに分離する第1の電極パターン形成工程と、一方の透明基板の表面にレジスト膜を形成し、端面が逆テーパーとなるようにレジスト膜をパターニングして、配線電極の延設部により構成される表示端子の領域と、第1ダミー電極の延設部により構成されるダミー端子の領域にレジスト膜を残すレジスト膜形成工程と、レジスト膜が残された透明基板の表面に絶縁膜を堆積する絶縁膜堆積工程と、レジスト膜を除去するレジスト膜除去工程と、絶縁膜が形成された透明基板の表面に第2透明導電膜を堆積し、第2透明導電膜を、表示電極の外周部の上、配線電極の上及び第1ダミー電極の上に残し、外周部を除いて表示電極の上から除去する第2の電極パターン形成工程と、他方の透明基板の表面に第3透明導電膜を堆積する工程と、一方の透明基板の電極が形成された表面と、他方の透明基板の電極が形成された表面と対向して間隙を設けて貼り合わせ、間隙に光散乱型液晶を封入する液晶セル組立工程と、を含むこととした。   A liquid crystal display device manufacturing method according to the present invention is a light scattering liquid crystal display device manufacturing method in which a light scattering liquid crystal is sandwiched between a pair of transparent substrates, and a first transparent conductive film is deposited on the surface of one transparent substrate. And a first electrode pattern forming step for separating the first transparent electrode into a display electrode and a wiring electrode connected to the display electrode and a first dummy electrode adjacent to the display electrode and the wiring electrode through a gap, A resist film is formed on the surface of the transparent substrate, and the resist film is patterned so that the end surface has a reverse taper. The display terminal region constituted by the extended portion of the wiring electrode and the extended first dummy electrode A resist film forming step for leaving a resist film in a dummy terminal region constituted by a portion, an insulating film deposition step for depositing an insulating film on the surface of the transparent substrate on which the resist film is left, and a resist for removing the resist film A second transparent conductive film is deposited on the surface of the transparent substrate on which the insulating film is formed, and the second transparent conductive film is placed on the outer periphery of the display electrode, on the wiring electrode, and on the first dummy electrode. The second electrode pattern forming step for removing the outer peripheral portion from the display electrode except for the outer periphery, the step of depositing the third transparent conductive film on the surface of the other transparent substrate, and the electrode for one transparent substrate are formed. And a liquid crystal cell assembling step in which a gap is provided so as to be opposed to the surface on which the electrode of the other transparent substrate is formed and the light scattering type liquid crystal is sealed in the gap.

また、一対の透明基板の間隙に光散乱型液晶を挟持する光散乱型液晶表示装置の製造方法において、一方の透明基板の表面に第1透明導電膜を堆積し、第1透明電極を、表示電極及び表示電極に接続する配線電極と、表示電極及び配線電極に隙間を介して近接する第1ダミー電極とに分離する第1の電極パターン形成工程と、一方の透明基板の表面にレジスト膜を形成し、端面が逆テーパーとなるようにレジスト膜をパターニングして、レジスト膜を、配線電極の延設部により構成される表示端子の領域と、第1ダミー電極の延設部により構成されるダミー端子の領域に残すレジスト膜形成工程と、レジスト膜が残された透明基板の表面に、絶縁膜と、第2透明導電膜を連続的に堆積する膜堆積工程と、第2透明導電膜を、表示電極の外周部の上、配線電極の上及び第1ダミー電極の上に残し、外周部を除いて表示電極の上から除去する第2の電極パターン形成工程と、レジスト膜を除去するレジスト膜除去工程と、他方の透明基板の表面に第3透明導電膜を堆積する工程と、一方の透明基板の電極が形成された表面と、他方の透明基板の電極が形成された表面と対向して間隙を設けて貼り合わせ、間隙に光散乱型液晶を封入する液晶セル組立工程と、を含むこととした。   Further, in a method of manufacturing a light scattering liquid crystal display device in which a light scattering liquid crystal is sandwiched between a pair of transparent substrates, a first transparent conductive film is deposited on the surface of one transparent substrate, and a first transparent electrode is displayed. A first electrode pattern forming step for separating the wiring electrode connected to the electrode and the display electrode and the first dummy electrode adjacent to the display electrode and the wiring electrode through a gap; and a resist film on the surface of one transparent substrate The resist film is formed and patterned so that the end face is reversely tapered, and the resist film is constituted by the display terminal region constituted by the extended portion of the wiring electrode and the extended portion of the first dummy electrode. A resist film forming step for leaving the dummy terminal region, a film deposition step for continuously depositing an insulating film and a second transparent conductive film on the surface of the transparent substrate on which the resist film is left, and a second transparent conductive film , The outer periphery of the display electrode A second electrode pattern forming step for removing the resist film from the top of the display electrode except for the outer peripheral portion, a resist film removing step for removing the resist film, The step of depositing the third transparent conductive film on the surface of the transparent substrate, the surface on which the electrode of one transparent substrate is formed, and the surface on which the electrode of the other transparent substrate is formed are provided with a gap and bonded together And a liquid crystal cell assembling step for enclosing the light scattering type liquid crystal in the gap.

本発明による液晶表示装置は、表示電極と配線電極に近接し、隙間を設けた第1ダミー電極を形成し、その上に絶縁膜を形成し、その上に第2ダミー電極を形成している。第2ダミー電極は、絶縁膜を介して表示電極の外周部を重なるように、更に、配線電極や第1ダミー電極にも絶縁膜を介して重なるように形成した。これにより、表示電極と第1ダミー電極の間に隙間が生じない。また、配線電極はすべて第1ダミー電極により覆われるので、配線電極が形成された領域の光散乱型液晶に、配線電極からの電界が印加されず、光散乱濃度が異なる領域も生じない。更に、表示電極の端部に第1ダミー電極の端部と一致させる必要がないので、高度なマスク合わせや、高度なエッチング処理を必要としない。そのために、製造方法が簡素になり、製造コストを低下させることができる。   In the liquid crystal display device according to the present invention, a first dummy electrode is formed in the vicinity of the display electrode and the wiring electrode with a gap, an insulating film is formed thereon, and a second dummy electrode is formed thereon. . The second dummy electrode was formed so as to overlap the outer peripheral portion of the display electrode via the insulating film, and further overlapped with the wiring electrode and the first dummy electrode via the insulating film. Thus, no gap is generated between the display electrode and the first dummy electrode. Further, since all the wiring electrodes are covered with the first dummy electrode, an electric field from the wiring electrode is not applied to the light scattering type liquid crystal in the region where the wiring electrode is formed, and there is no region where the light scattering concentration is different. Furthermore, since it is not necessary to match the end portion of the display electrode with the end portion of the first dummy electrode, high-level mask alignment and high-level etching processing are not required. Therefore, the manufacturing method is simplified and the manufacturing cost can be reduced.

本発明の実施例に係るPN−LCDの模式的な縦断面図である。It is a typical longitudinal section of PN-LCD concerning the example of the present invention. 本発明の実施例に係るPN−LCDを表す模式図である。It is a schematic diagram showing PN-LCD which concerns on the Example of this invention. 本発明の実施例に係るPN−LCDを表す模式図である。It is a schematic diagram showing PN-LCD which concerns on the Example of this invention. 本発明の実施例に係るPN−LCDの製造方法を表す模式図である。It is a schematic diagram showing the manufacturing method of PN-LCD which concerns on the Example of this invention. 本発明の実施例に係るPN−LCDの製造方法を表す模式図である。It is a schematic diagram showing the manufacturing method of PN-LCD which concerns on the Example of this invention. 本発明の実施例に係るPN−LCDのダミー端子部を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the dummy terminal part of PN-LCD which concerns on the Example of this invention. 従来公知のPN−LCDの断面模式図である。It is a cross-sectional schematic diagram of conventionally well-known PN-LCD. 従来公知のPN−LCDの断面模式図である。It is a cross-sectional schematic diagram of conventionally well-known PN-LCD.

以下に、本発明による光散乱型液晶表示装置を図面に基づいて説明する。なお、ここでは光散乱型の液晶としてポリマーネットワーク液晶を用いたPN−LCDについて説明する。図1は、PN−LCD1の表示領域DAの一部を模式的に示す縦断面図である。上透明基板2と下透明基板3の間にPN−LC4が挟持されている。下透明基板3の液晶層側の表面には、表示電極5と、この表示電極5に接続する配線電極6と、表示電極5に対して間隔を設けて近接し、電気的に分離する第1ダミー電極7が形成されている。表示電極5、配線電極6及び第1ダミー電極7の上には絶縁膜8が形成されている。この絶縁膜8の上であって、表示電極5の外周部、配線電極6及び第1ダミー電極7と重なるように第2ダミー電極9が形成されている。上透明基板2の液晶層側の表面には、透光性の対向電極10が形成されている。絶縁膜8を介して、表示電極5と第2ダミー電極9とは重なり幅δで重なっている。   Hereinafter, a light scattering type liquid crystal display device according to the present invention will be described with reference to the drawings. Here, a PN-LCD using a polymer network liquid crystal as a light scattering type liquid crystal will be described. FIG. 1 is a longitudinal sectional view schematically showing a part of the display area DA of the PN-LCD 1. A PN-LC 4 is sandwiched between the upper transparent substrate 2 and the lower transparent substrate 3. On the surface of the lower transparent substrate 3 on the liquid crystal layer side, a display electrode 5, a wiring electrode 6 connected to the display electrode 5, and a first electrode that is electrically separated from the display electrode 5 with a space therebetween. A dummy electrode 7 is formed. An insulating film 8 is formed on the display electrode 5, the wiring electrode 6 and the first dummy electrode 7. A second dummy electrode 9 is formed on the insulating film 8 so as to overlap the outer peripheral portion of the display electrode 5, the wiring electrode 6, and the first dummy electrode 7. A translucent counter electrode 10 is formed on the surface of the upper transparent substrate 2 on the liquid crystal layer side. The display electrode 5 and the second dummy electrode 9 are overlapped with each other with an overlap width δ through the insulating film 8.

このPN−LCD1は次のように動作する。配線電極6を介して表示電極5と対向電極10の間に電圧を印加し、第2ダミー電極9は対向電極10と同電位にする。すると、表示電極5上の第2ダミー電極9の端部により仕切られるPN−LC4に電界が印加され、光散乱状態から光透過状態へ変化する。第2ダミー電極9の上部のPN−LC4には電界が印加されないので、光散乱状態を維持する。表示電極5を対向電極10と同電位にすることにより、PN−LC4を光透過状態から光散乱状態に戻すことができる。   The PN-LCD 1 operates as follows. A voltage is applied between the display electrode 5 and the counter electrode 10 via the wiring electrode 6 so that the second dummy electrode 9 has the same potential as the counter electrode 10. Then, an electric field is applied to the PN-LC 4 partitioned by the end of the second dummy electrode 9 on the display electrode 5, and the light scattering state is changed to the light transmitting state. Since no electric field is applied to the PN-LC 4 above the second dummy electrode 9, the light scattering state is maintained. By setting the display electrode 5 to the same potential as the counter electrode 10, the PN-LC 4 can be returned from the light transmitting state to the light scattering state.

他の駆動方法として、第2ダミー電極9と対向電極10との間に電圧を印加し、配線電極6を介して表示電極5は対向電極10と同電位にする。これにより、第2ダミー電極9の上のPN−LC4は光透過状態に変化し、表示電極5の上のPN−LC4には電界が印加されず、光散乱状態を維持する。従って、光透過状態の背景に、光散乱状態の表示を行うことができる。なお、表示電極5の上に絶縁膜8が形成されているが、絶縁膜8を比較的薄く形成することにより、絶縁膜8による電圧降下を低減することができる。また、第2ダミー電極9と同様に、表示電極5の上の絶縁膜8を除去してもよい。   As another driving method, a voltage is applied between the second dummy electrode 9 and the counter electrode 10, and the display electrode 5 is set to the same potential as the counter electrode 10 through the wiring electrode 6. As a result, the PN-LC 4 on the second dummy electrode 9 changes to a light transmission state, and no electric field is applied to the PN-LC 4 on the display electrode 5, and the light scattering state is maintained. Therefore, the light scattering state can be displayed on the background of the light transmitting state. Although the insulating film 8 is formed on the display electrode 5, the voltage drop due to the insulating film 8 can be reduced by forming the insulating film 8 relatively thin. Further, as with the second dummy electrode 9, the insulating film 8 on the display electrode 5 may be removed.

このようなPN−LCD1の構成によれば、上部からPN−LCD1を見たときに、表示電極5と第2ダミー電極9の間に隙間が無く、表示領域DA内において配線電極6は第2ダミー電極9により覆われる。従って、配線電極6の上部のPN−LC4が半点灯することもない。また、第1ダミー電極7と表示電極5とを透明導電膜により同時に形成し、第2ダミー電極9を同じ材料からなる透明導電膜とすれば、表示電極5と下透明基板3との境界の光反射率と、第1ダミー電極7と下透明基板3との境界の光反射率とは同じとなる。また、表示電極5と第1ダミー電極7の隙間は、表示電極5や第1ダミー電極7と同じ材質の第2ダミー電極9により覆われるので、点灯又は非点灯のときに表示電極5が見えたり、表示電極5と第1ダミー電極7との間の隙間が見えたりすることがない。   According to such a configuration of the PN-LCD 1, when the PN-LCD 1 is viewed from above, there is no gap between the display electrode 5 and the second dummy electrode 9, and the wiring electrode 6 is second in the display area DA. Covered by the dummy electrode 9. Accordingly, the PN-LC 4 above the wiring electrode 6 is not half-lit. If the first dummy electrode 7 and the display electrode 5 are simultaneously formed of a transparent conductive film and the second dummy electrode 9 is a transparent conductive film made of the same material, the boundary between the display electrode 5 and the lower transparent substrate 3 The light reflectance and the light reflectance at the boundary between the first dummy electrode 7 and the lower transparent substrate 3 are the same. Further, since the gap between the display electrode 5 and the first dummy electrode 7 is covered with the second dummy electrode 9 made of the same material as the display electrode 5 and the first dummy electrode 7, the display electrode 5 can be seen when it is lit or not lit. Or a gap between the display electrode 5 and the first dummy electrode 7 is not seen.

ここで、PN−LC4では、UV重合性高分子樹脂とTN液晶とを混合し、UV光を照射することでポリマーネットワークが形成される。ポリマーネットワークの粒径は可視光波長よりも大きく、概ね1μmとした。また、PN−LC4による液晶層厚は、数μmから数十μmとした。液晶層の厚さは、好ましくは概ね10μmとする。また、第1ダミー電極7、表示電極5、配線電極6、第2ダミー電極9、対向電極10として、ITO(インジウムスズ酸化物)、酸化スズ、酸化亜鉛等の透明電極を使用することができる。絶縁膜8として、二酸化シリコン膜、酸化シリコン膜、窒化シリコン膜、その他の金属酸化物を使用することができる。また、表示電極5と第2ダミー電極9の端部との重なり幅δは、表示電極5のパターンに対する第2ダミー電極9の位置合わせ精度より大きく設定すればよい。また、上透明基板2の液晶層側に表示電極5、第1ダミー電極7、絶縁膜8、第2ダミー電極9を形成し、下透明基板3の液晶層側に対向電極10を形成してもよい。   Here, in PN-LC4, a polymer network is formed by mixing UV polymerizable polymer resin and TN liquid crystal and irradiating with UV light. The particle size of the polymer network was larger than the visible light wavelength and was approximately 1 μm. The liquid crystal layer thickness by PN-LC4 was set to several μm to several tens of μm. The thickness of the liquid crystal layer is preferably about 10 μm. Further, as the first dummy electrode 7, the display electrode 5, the wiring electrode 6, the second dummy electrode 9, and the counter electrode 10, transparent electrodes such as ITO (indium tin oxide), tin oxide, and zinc oxide can be used. . As the insulating film 8, a silicon dioxide film, a silicon oxide film, a silicon nitride film, or other metal oxide can be used. The overlap width δ between the display electrode 5 and the end of the second dummy electrode 9 may be set larger than the alignment accuracy of the second dummy electrode 9 with respect to the pattern of the display electrode 5. Further, the display electrode 5, the first dummy electrode 7, the insulating film 8, and the second dummy electrode 9 are formed on the liquid crystal layer side of the upper transparent substrate 2, and the counter electrode 10 is formed on the liquid crystal layer side of the lower transparent substrate 3. Also good.

図2は、本実施例に係るPN−LCD1を説明するための図であり、図3は、電極構成を説明するための図である。図2(a)は、下透明基板3の模式的な上面図であり、図2(b)は、下透明基板3のXX’部分の縦断面図であり、図2(c)は、PN−LCD1の模式的な縦断面である。図3(a)は、第1ダミー電極7、表示電極5及び配線電極6の模式的な平面図であり、図3(b)は、第2ダミー電極9の模式的な平面図である。   FIG. 2 is a diagram for explaining the PN-LCD 1 according to the present embodiment, and FIG. 3 is a diagram for explaining an electrode configuration. 2A is a schematic top view of the lower transparent substrate 3, FIG. 2B is a longitudinal sectional view of the XX ′ portion of the lower transparent substrate 3, and FIG. -It is a typical longitudinal section of LCD1. FIG. 3A is a schematic plan view of the first dummy electrode 7, the display electrode 5 and the wiring electrode 6, and FIG. 3B is a schematic plan view of the second dummy electrode 9.

図2(a)及び(b)と、図3(a)及び(b)を参照して下透明基板3の上の電極構成を説明する。図2(a)及び(b)に示すように、下透明基板3の表面の表示領域DAには、表示電極5、配線電極6及び第1ダミー電極7が形成され、その上に絶縁膜8が形成され、その上に第2ダミー電極9が形成されている。また、下透明基板3の電極端子形成領域には、表示端子11とダミー端子12が形成されている。   The electrode configuration on the lower transparent substrate 3 will be described with reference to FIGS. 2 (a) and 2 (b) and FIGS. 3 (a) and 3 (b). As shown in FIGS. 2A and 2B, the display electrode 5, the wiring electrode 6, and the first dummy electrode 7 are formed in the display area DA on the surface of the lower transparent substrate 3, and the insulating film 8 is formed thereon. And a second dummy electrode 9 is formed thereon. In addition, display terminals 11 and dummy terminals 12 are formed in the electrode terminal formation region of the lower transparent substrate 3.

図2(a)及び図3(a)に示すように、下透明基板3の表面には、四角形の表示電極5a、5b、5c、5dと、円形の表示電極5eと、2つの円弧状の表示電極5f、5gが形成されている。配線電極6aは表示電極5aに接続し、下透明基板3の右辺端部まで延設されて、その端部において表示端子11aを構成する。配線電極6bは表示電極5bに接続し、下透明基板3の右辺端部まで延設されて、その端部において表示端子11aを構成している。その他の配線電極6c〜6gも同様に夫々表示電極5c〜5gに接続し、右辺端部まで延設されて表示端子11aを構成している。   As shown in FIGS. 2A and 3A, the surface of the lower transparent substrate 3 has rectangular display electrodes 5a, 5b, 5c, and 5d, a circular display electrode 5e, and two arcuate shapes. Display electrodes 5f and 5g are formed. The wiring electrode 6a is connected to the display electrode 5a, is extended to the right side end portion of the lower transparent substrate 3, and constitutes the display terminal 11a at the end portion. The wiring electrode 6b is connected to the display electrode 5b, extends to the right side end of the lower transparent substrate 3, and constitutes the display terminal 11a at the end. Similarly, the other wiring electrodes 6c to 6g are connected to the display electrodes 5c to 5g, respectively, and are extended to the end of the right side to constitute the display terminal 11a.

下透明基板3の表面には第1ダミー電極7が形成されている。第1ダミー電極7は、各表示電極5a〜5g及び各配線電極6a〜6gに対して隙間を設けて近接し、表示電極5が形成されていない表示領域DAの全面に形成されている。第1ダミー電極7は、下透明基板3の右辺端部まで延設されて、その端部においてダミー端子12aを構成している。   A first dummy electrode 7 is formed on the surface of the lower transparent substrate 3. The first dummy electrode 7 is adjacent to the display electrodes 5a to 5g and the wiring electrodes 6a to 6g with a gap therebetween, and is formed on the entire surface of the display area DA where the display electrode 5 is not formed. The first dummy electrode 7 extends to the right side end portion of the lower transparent substrate 3, and constitutes a dummy terminal 12a at the end portion.

表示電極5及び配線電極6と、第1ダミー電極7との間の隙間は、数μmから数十μmとするのが好ましい。本実施例のPN−LCD1では、表示電極5及び配線電極6と、第1ダミー電極7との隙間の領域はもともとも目立たない構造を有しているが、その隙間を狭くすることにより、より視認し難くなる。表示電極5、配線電極6及び第1ダミー電極7は、透明導電膜とし、同時に形成することができる。   The gap between the display electrode 5 and the wiring electrode 6 and the first dummy electrode 7 is preferably several μm to several tens μm. In the PN-LCD 1 of the present embodiment, the area of the gap between the display electrode 5 and the wiring electrode 6 and the first dummy electrode 7 has an inconspicuous structure, but by narrowing the gap, It becomes difficult to see. The display electrode 5, the wiring electrode 6, and the first dummy electrode 7 can be formed simultaneously as transparent conductive films.

絶縁膜8は、表示電極5、配線電極6及び第1ダミー電極7の表示領域DAの全面に形成されている。表示端子11a及びダミー端子12aが形成される領域は、絶縁膜8が除去されている。下透明基板3の端部には、対向電極10と接続するための対向電極端子23a、23bが形成されている。   The insulating film 8 is formed on the entire display area DA of the display electrode 5, the wiring electrode 6, and the first dummy electrode 7. The insulating film 8 is removed from the region where the display terminal 11a and the dummy terminal 12a are formed. At the end of the lower transparent substrate 3, counter electrode terminals 23a and 23b for connecting to the counter electrode 10 are formed.

図2(b)と図3(b)を用いて第2ダミー電極9の構成を説明する。第2ダミー電極9の表示領域DAには、各表示電極5a〜5gに対応して開口部18a〜18gが形成されている。第2ダミー電極9の各開口部18a〜18gの端部は、各表示電極5a〜5gの外周部と、重なり幅δを持って重なるように形成されている。この構成により、表示部と非表示部の間に隙間が生じない。この重なり幅δは、表示電極5に対する第2ダミー電極9の位置合わせ精度よりも大きく設定すればよい。第2ダミー電極9は、下透明基板3の右端部に形成したダミー端子12aの上部に延設されてダミー端子12bを構成する。ダミー端子12bはダミー端子12aの上に直接積層するので、互いに電気的に接続される。下透明基板3の右辺端部には、複数の表示端子11bが互いに分離して形成されている。表示端子11bは、ダミー端子12bや第2ダミー電極9とは電気的に分離して形成されている。第2ダミー電極9と表示端子11bを同時に形成することができる。   The configuration of the second dummy electrode 9 will be described with reference to FIGS. 2B and 3B. In the display area DA of the second dummy electrode 9, openings 18a to 18g are formed corresponding to the display electrodes 5a to 5g. The ends of the openings 18a to 18g of the second dummy electrode 9 are formed so as to overlap with the outer peripheral portions of the display electrodes 5a to 5g with an overlap width δ. With this configuration, there is no gap between the display unit and the non-display unit. The overlap width δ may be set larger than the alignment accuracy of the second dummy electrode 9 with respect to the display electrode 5. The second dummy electrode 9 extends above the dummy terminal 12a formed at the right end of the lower transparent substrate 3 and constitutes a dummy terminal 12b. Since the dummy terminals 12b are directly stacked on the dummy terminals 12a, they are electrically connected to each other. A plurality of display terminals 11 b are formed separately from each other at the right side end of the lower transparent substrate 3. The display terminal 11b is formed to be electrically separated from the dummy terminal 12b and the second dummy electrode 9. The second dummy electrode 9 and the display terminal 11b can be formed simultaneously.

図2(c)に示すように、PN−LCD1は、上述した構成の下透明基板3と、液晶側表面に透明導電膜からなる対向電極10が形成された上透明基板2が、シール部14を介して貼り合わされている。その間隙にPN−LC4が充填されている。表示電極5f、5e及び5gと対向電極10の間に電圧を印加することにより、その間のPN−LC4に電界が印加され、光散乱状態から光透過状態に変わることとなる。このように、PN−LCD1は、光の散乱状態と透過状態を切り替えて表示動作を行うので、偏光板を使用する必要がない。   As shown in FIG. 2C, the PN-LCD 1 includes a lower transparent substrate 3 having the above-described configuration, and an upper transparent substrate 2 having a counter electrode 10 made of a transparent conductive film on the liquid crystal side surface. It is pasted through. The gap is filled with PN-LC4. By applying a voltage between the display electrodes 5f, 5e, and 5g and the counter electrode 10, an electric field is applied to the PN-LC 4 therebetween, and the light scattering state is changed to the light transmission state. As described above, the PN-LCD 1 performs the display operation by switching between the light scattering state and the light transmission state, so that it is not necessary to use a polarizing plate.

なお、絶縁膜8として二酸化シリコン膜を使用し、図2(b)に示すように表示電極5の上面の全面に渡って形成する場合、絶縁膜8の膜厚を、好ましくは30nm〜160nmとし、より好ましくは略40〜80nmとする。二酸化シリコン膜を30nm以下にすると、表示電極5や配線電極6と第2ダミー電極9との間で絶縁破壊やショートが発生しやすくなり、160nm以上にすると、表示電極5上の絶縁膜8による電圧降下が大きくなるためである。また、二酸化シリコン膜を40nm以下にすると、光の干渉により着色されやすくなる。   When a silicon dioxide film is used as the insulating film 8 and is formed over the entire upper surface of the display electrode 5 as shown in FIG. 2B, the thickness of the insulating film 8 is preferably 30 nm to 160 nm. More preferably, it is about 40 to 80 nm. If the silicon dioxide film is 30 nm or less, dielectric breakdown or short circuit is likely to occur between the display electrode 5 or the wiring electrode 6 and the second dummy electrode 9. If the silicon dioxide film is 160 nm or more, the insulation film 8 on the display electrode 5 This is because the voltage drop becomes large. Further, when the silicon dioxide film is 40 nm or less, it is likely to be colored due to light interference.

また、表示電極5のパターンは必要に応じて文字や記号、シンボルマーク等、自由な形状とすることができる。また、下透明基板3の電極端子形成領域には、表示端子11やダミー端子12の他に、上透明基板2の対向電極10と電気的に接続した対向端子を形成し、端子部の電極を集約的に構成することができる。   Moreover, the pattern of the display electrode 5 can be made into a free shape such as a character, a symbol, or a symbol mark as necessary. In addition to the display terminals 11 and the dummy terminals 12, in the electrode terminal formation region of the lower transparent substrate 3, a counter terminal electrically connected to the counter electrode 10 of the upper transparent substrate 2 is formed, and the electrode of the terminal portion is formed. It can be configured intensively.

次に、図3及び図4を用いてPN−LCD1の製造方法の基本的な構成について説明する。まず、一方の透明基板の表面に第1透明導電膜15を堆積する。次に、パターニング工程を通して、この第1透明導電膜15を、表示電極5、この表示電極5に接続する配線電極6、及び、表示電極5及び配線電極6に対して隙間を介して隣接する第1ダミー電極7に分離する。配線電極6の端部には表示端子11を構成し、第1ダミー電極7の端部にはダミー端子12を構成する。   Next, a basic configuration of the manufacturing method of the PN-LCD 1 will be described with reference to FIGS. First, the first transparent conductive film 15 is deposited on the surface of one transparent substrate. Next, through the patterning process, the first transparent conductive film 15 is connected to the display electrode 5, the wiring electrode 6 connected to the display electrode 5, and the display electrode 5 and the wiring electrode 6 adjacent to each other with a gap. Separated into one dummy electrode 7. A display terminal 11 is formed at the end of the wiring electrode 6, and a dummy terminal 12 is formed at the end of the first dummy electrode 7.

次に、上記基板の表面にレジスト膜16を塗布する。そして、表示端子11とダミー端子12の領域に、断面が逆テーパーとなるようにレジスト膜16を残す。次に、そのレジスト膜16が残された表面に絶縁膜8を堆積する。次に、当該絶縁膜8が堆積された表面に第2透明導電膜17を堆積する。次に、レジスト膜を除去して、リフトオフ法により絶縁膜8をパターニングする。レジスト膜は端部断面が逆テーパーとなっているので、除去されやすい。次に、第2透明導電膜17を堆積し、この第2透明導電膜17を、表示電極の外周部の上、配線電極の上及び第1ダミー電極の上に残し、その外周部を除いて、表示電極の上から除去する。このパターニングされた第2透明導電膜17を第2ダミー電極9とする。   Next, a resist film 16 is applied to the surface of the substrate. Then, the resist film 16 is left in the region of the display terminal 11 and the dummy terminal 12 so that the cross section has an inverse taper. Next, the insulating film 8 is deposited on the surface where the resist film 16 is left. Next, a second transparent conductive film 17 is deposited on the surface on which the insulating film 8 is deposited. Next, the resist film is removed, and the insulating film 8 is patterned by a lift-off method. The resist film is easy to be removed because the end section has an inverse taper. Next, a second transparent conductive film 17 is deposited, and the second transparent conductive film 17 is left on the outer peripheral portion of the display electrode, on the wiring electrode, and on the first dummy electrode, except for the outer peripheral portion. , Removed from above the display electrode. The patterned second transparent conductive film 17 is used as the second dummy electrode 9.

また、他方の透明基板の表面に第3透明導電膜を設けて、対向電極10とする。次に、一方の透明基板の電極が形成された表面と、他方の透明基板の電極が形成された表面と対向して間隙をもって貼り合わせ、この間隙にPN−LC4を挟持して完成する。   Also, a third transparent conductive film is provided on the surface of the other transparent substrate to form the counter electrode 10. Next, the surface on which the electrode of one transparent substrate is formed and the surface on which the electrode of the other transparent substrate is formed are bonded with a gap, and the PN-LC 4 is sandwiched in this gap to complete.

このようにすれば、製造プロセスの位置合わせ精度に応じて、表示電極5の外周部と第2ダミー電極9との間の重なり幅を設定することができる。製造プロセスの位置合わせ精度が低い場合は、表示電極5の外周部と第2ダミー電極9の間の重なり幅δを大きく設定すればよいし、位置合わせ精度が高い場合には、その重なり幅δを小さく設定することができる。従って、簡素な製造装置により表示品質の良好なPN−LCDを製造することができる。   In this way, the overlapping width between the outer peripheral portion of the display electrode 5 and the second dummy electrode 9 can be set according to the alignment accuracy of the manufacturing process. If the alignment accuracy of the manufacturing process is low, the overlap width δ between the outer periphery of the display electrode 5 and the second dummy electrode 9 may be set large. If the alignment accuracy is high, the overlap width δ Can be set small. Therefore, a PN-LCD with good display quality can be manufactured with a simple manufacturing apparatus.

次に、図4を用いて、本実施例のPN−LCD1の製造方法を具体的に説明する。図4(a)は、下透明基板3の表面に第1透明導電膜15を形成した状態を表す基板断面の模式図である。第1透明導電膜15はITO、酸化スズ、酸化亜鉛等を使用することができる。第1透明導電膜15は、スパッタリング法や蒸着法により、10nmから400nm堆積する。好ましくは、30nm〜200nmの厚さに堆積する。   Next, the manufacturing method of the PN-LCD 1 of this embodiment will be specifically described with reference to FIG. FIG. 4A is a schematic diagram of a substrate cross section showing a state in which the first transparent conductive film 15 is formed on the surface of the lower transparent substrate 3. For the first transparent conductive film 15, ITO, tin oxide, zinc oxide or the like can be used. The first transparent conductive film 15 is deposited from 10 nm to 400 nm by a sputtering method or a vapor deposition method. Preferably, it is deposited to a thickness of 30 nm to 200 nm.

図4(b)は、第1透明導電膜15をパターニングした状態を表す基板断面の模式図である。第1透明導電膜15の上にレジスト膜を塗布し、フォトリソグラフィー工程及びエッチング工程を通して第1透明導電膜15をパターニングし、表示電極5、第1ダミー電極7、配線電極6及び表示端子11aに分離する。表示端子11aは配線電極6の延設部である。また、図示しないが、第1ダミー電極7の延設部であるダミー端子12が表示端子11aに近接して形成されている。   FIG. 4B is a schematic view of a substrate cross section showing a state in which the first transparent conductive film 15 is patterned. A resist film is applied on the first transparent conductive film 15, and the first transparent conductive film 15 is patterned through a photolithography process and an etching process to form the display electrode 5, the first dummy electrode 7, the wiring electrode 6, and the display terminal 11a. To separate. The display terminal 11 a is an extension part of the wiring electrode 6. Although not shown, a dummy terminal 12 that is an extended portion of the first dummy electrode 7 is formed close to the display terminal 11a.

図4(c)は、レジスト膜16をパターニングした状態を表す基板断面の模式図である。表示電極5等が形成された下透明基板3の上にレジスト膜16をスピンナー等により塗布する。次に、表示端子11aの上に、端部断面が逆テーパーとなるようにレジスト膜16を残す。下透明基板3の他方の端部にもレジスト膜16を残しているが、必ずしも残す必要はない。   FIG. 4C is a schematic view of a substrate cross section showing a state in which the resist film 16 is patterned. A resist film 16 is applied on the lower transparent substrate 3 on which the display electrodes 5 and the like are formed using a spinner or the like. Next, the resist film 16 is left on the display terminal 11a so that the end section has an inverse taper. Although the resist film 16 is left at the other end of the lower transparent substrate 3, it is not always necessary to leave it.

図4(d)は、絶縁膜8を堆積した状態を表す基板断面の模式図である。レジスト膜16が残された下透明基板3に絶縁膜8を堆積する。二酸化シリコンをスパッタリング法により数10nmから数100nm堆積する。二酸化シリコン膜は、レジスト膜16の上面、表示電極5等の電極表面、及び下透明基板3の表面に堆積される。絶縁膜8として二酸化シリコン膜に代えて、酸化シリコン膜、窒化シリコン膜、その他の金属酸化膜を使用することができる。   FIG. 4D is a schematic diagram of a substrate cross section showing a state in which the insulating film 8 is deposited. An insulating film 8 is deposited on the lower transparent substrate 3 where the resist film 16 is left. Silicon dioxide is deposited by several 10 nm to several 100 nm by sputtering. The silicon dioxide film is deposited on the upper surface of the resist film 16, the electrode surface such as the display electrode 5, and the surface of the lower transparent substrate 3. Instead of the silicon dioxide film, a silicon oxide film, a silicon nitride film, or other metal oxide film can be used as the insulating film 8.

図4(e)は、レジスト膜16を除去後に第2透明導電膜17を堆積した状態を表す基板断面の模式図である。レジスト膜16を除去することにより、表示端子11a、及び図示しないダミー端子12aの表面を露出させる。レジスト膜16は端部を逆テーパーの形状としたので、レジスト膜16上に堆積された絶縁膜8と、配線電極6上に堆積された絶縁膜8とが分離する。そのため、レジスト膜16の剥離が容易となる。この表面に、ITOからなる第2透明導電膜17をスパッタリング法や蒸着法により堆積する。第1透明導電膜の膜厚およびシート抵抗は、第1透明導電膜と同様に任意に選択できる。また、ITOに代えて、酸化スズ、酸化インジウム、酸化亜鉛等の透明導電材料を使用することができる。   FIG. 4E is a schematic diagram of a substrate cross section showing a state in which the second transparent conductive film 17 is deposited after the resist film 16 is removed. By removing the resist film 16, the surfaces of the display terminals 11a and the dummy terminals 12a (not shown) are exposed. Since the end portion of the resist film 16 has a reverse taper shape, the insulating film 8 deposited on the resist film 16 and the insulating film 8 deposited on the wiring electrode 6 are separated. Therefore, the resist film 16 can be easily peeled off. A second transparent conductive film 17 made of ITO is deposited on this surface by sputtering or vapor deposition. The film thickness and sheet resistance of the first transparent conductive film can be arbitrarily selected similarly to the first transparent conductive film. Moreover, it can replace with ITO and can use transparent conductive materials, such as a tin oxide, an indium oxide, and a zinc oxide.

図4(f)は、第2透明導電膜17をパターニングした状態を表す基板断面の模式図である。表示電極5の外周部を残し、その内側の第2透明導電膜17を除去して第2ダミー電極9とする。また、第2ダミー電極9と分離するようにして、表示端子11aの上部に残して、導電性膜としての表示端子11bとする。これにより、ダミー端子12aとダミー端子12bとが電気的に接続される。図示しないダミー端子12aの上部には、第2ダミー電極9と電気的に接続するように残している。これにより、ダミー端子12aとダミー端子12bとが電気的に接続される。   FIG. 4F is a schematic diagram of a substrate cross section showing a state in which the second transparent conductive film 17 is patterned. The outer periphery of the display electrode 5 is left, and the second transparent conductive film 17 inside the display electrode 5 is removed to form the second dummy electrode 9. Further, it is separated from the second dummy electrode 9 and left on the display terminal 11a to form a display terminal 11b as a conductive film. Thereby, the dummy terminal 12a and the dummy terminal 12b are electrically connected. The dummy terminal 12a (not shown) is left above the second dummy electrode 9 so as to be electrically connected. Thereby, the dummy terminal 12a and the dummy terminal 12b are electrically connected.

表示電極5の外周部と第2ダミー電極9との間の重なり幅は、製造プロセスの位置合わせ精度に応じて設定することができる。製造プロセスの位置合わせ精度が低い場合は、表示電極5の外周部と第2ダミー電極9の間の重なり幅δを大きく設定すればよいし、位置合わせ精度が高い場合には、その重なり幅δを小さく設定することができる。また、表示電極5と第1ダミー電極7との間には、必ず絶縁膜8を介して第2ダミー電極9が設置される。これにより、表示電極5と第1ダミー電極7との間の隙間を見え難くすることができる。   The overlapping width between the outer periphery of the display electrode 5 and the second dummy electrode 9 can be set according to the alignment accuracy of the manufacturing process. If the alignment accuracy of the manufacturing process is low, the overlap width δ between the outer periphery of the display electrode 5 and the second dummy electrode 9 may be set large. If the alignment accuracy is high, the overlap width δ Can be set small. In addition, a second dummy electrode 9 is always provided between the display electrode 5 and the first dummy electrode 7 with an insulating film 8 interposed therebetween. Thereby, it is possible to make the gap between the display electrode 5 and the first dummy electrode 7 difficult to see.

図4(g)は、液晶パネルに組み立てた状態を表す模式的な縦断面図である。透明電極からなる対向電極10を形成した上透明基板2と、下透明基板3とをシール部14を介して貼り合わせる。液晶層の厚さは、数μm〜数十μmとする。この基板の間隙に、UV重合性高分子樹脂とTN液晶を混合分散させた液晶を充填する。この液晶パネルにメタルハライドランプや水銀ランプを使用して紫外線を照射する。これにより、概ね1μmのポリマーネットワークを生成し、PN−LC4とする。   FIG. 4G is a schematic longitudinal sectional view showing a state where the liquid crystal panel is assembled. The upper transparent substrate 2 on which the counter electrode 10 made of a transparent electrode is formed and the lower transparent substrate 3 are bonded together via a seal portion 14. The thickness of the liquid crystal layer is several μm to several tens of μm. The gap between the substrates is filled with liquid crystal in which UV polymerizable polymer resin and TN liquid crystal are mixed and dispersed. This liquid crystal panel is irradiated with ultraviolet rays using a metal halide lamp or a mercury lamp. As a result, a polymer network of approximately 1 μm is generated and designated as PN-LC4.

図5を用いて、本実施例のPN−LCD1の製造方法を説明する。本実施例では、表示電極5、配線電極6、第1ダミー電極7のパターニング工程までは、図4(a)、(b)に示した実施例2の製造方法と同様なので、説明を省略する。   A manufacturing method of the PN-LCD 1 of the present embodiment will be described with reference to FIG. In this embodiment, the process up to the patterning process of the display electrode 5, the wiring electrode 6, and the first dummy electrode 7 is the same as the manufacturing method of the embodiment 2 shown in FIGS. .

図5(a)は、レジスト膜16をパターニングした状態を表す基板断面の模式図である。表示電極5等が形成された下透明基板3の上にレジスト膜16をスピンナー等により塗布する。次に、下透明基板3の左端部及びダミー端子12aの上に、端部断面が逆テーパーとなるようにレジスト膜16を残す。なお、ダミー端子12aの上に残すレジスト膜16は、ダミー端子12(図2を参照)が形成される平面形状よりも小面積を占めるように形成する。   FIG. 5A is a schematic diagram of a substrate cross section showing a state in which the resist film 16 is patterned. A resist film 16 is applied on the lower transparent substrate 3 on which the display electrodes 5 and the like are formed using a spinner or the like. Next, the resist film 16 is left on the left end portion of the lower transparent substrate 3 and the dummy terminal 12a so that the end section has an inverse taper. The resist film 16 left on the dummy terminals 12a is formed so as to occupy a smaller area than the planar shape on which the dummy terminals 12 (see FIG. 2) are formed.

図5(b)は、絶縁膜8と第2透明導電膜17を堆積した状態を表す基板断面の模式図である。絶縁膜8と第2透明導電膜17とは連続的に堆積する。絶縁膜8として二酸化シリコン膜や窒化シリコン膜をスパッタリング法により堆積する。第2透明導電膜17としてITO、酸化スズ、酸化亜鉛等をスパッタリング法や蒸着法により堆積する。レジスト膜16の端部断面が逆テーパー状の形状であるために、レジスト膜16上の堆積膜とダミー端子12a上の堆積膜とは分離されている。そのために、次のリフトオフ工程でレジスト膜16の剥離を容易に行うことができる。   FIG. 5B is a schematic view of a substrate cross section showing a state in which the insulating film 8 and the second transparent conductive film 17 are deposited. The insulating film 8 and the second transparent conductive film 17 are continuously deposited. A silicon dioxide film or a silicon nitride film is deposited as the insulating film 8 by sputtering. ITO, tin oxide, zinc oxide or the like is deposited as the second transparent conductive film 17 by sputtering or vapor deposition. Since the end section of the resist film 16 has an inversely tapered shape, the deposited film on the resist film 16 and the deposited film on the dummy terminal 12a are separated. Therefore, the resist film 16 can be easily peeled off in the next lift-off process.

図5(c)は、レジスト膜16を除去した状態を表す基板断面の模式図である。ダミー端子12aの中央部は表面が露出する。同様に、図示しない表示端子11も表面が露出する。図5(d)は、表示電極5の上部の第2透明導電膜17をパターニングして除去した基板断面の模式図である。リソグラフィー工程とエッチング工程を通して第2透明導電膜17をパターニングして、第2ダミー電極9、及び、第2ダミー電極9の延在部からなるダミー端子12bを形成する。第2ダミー電極9は、表示電極5の外周部の上、配線電極6の上及び第1ダミー電極7の上に残し、外周部を除いて表示電極5の上から除去する。   FIG. 5C is a schematic view of a substrate cross section showing a state in which the resist film 16 has been removed. The surface of the central portion of the dummy terminal 12a is exposed. Similarly, the surface of the display terminal 11 (not shown) is exposed. FIG. 5D is a schematic view of a cross section of the substrate obtained by patterning and removing the second transparent conductive film 17 on the display electrode 5. The second transparent conductive film 17 is patterned through a lithography process and an etching process to form a second dummy electrode 9 and a dummy terminal 12b composed of an extended portion of the second dummy electrode 9. The second dummy electrode 9 is left on the outer periphery of the display electrode 5, on the wiring electrode 6 and on the first dummy electrode 7, and is removed from the display electrode 5 except for the outer periphery.

図6は、ダミー端子12の領域を説明するための拡大図である。図6(a)はダミー端子12の上面模式図であり、図6(b)はその縦断面模式図であり、図6(c)は、外部回路と接続するためのフレキシブル基板20を接着した状態を表す断面模式図である。図6(a)に示すように、第2ダミー電極9の延在部からなるダミー端子12bの中央部には、レジスト膜16を除去した開口部が形成され、ダミー端子12aが露出している。図6(b)に示す断面から理解できるように、ダミー端子12aとダミー端子12bとは絶縁膜8を介して電気的に分離している。しかし、図6(b)に示すように、異方性導電フィルム22の導電材料21を介してフレキシブル基板20を圧着することにより、ダミー端子12aとダミー端子12bとを電気的に接続することができる。これにより、第1ダミー電極7と第2ダミー電極9とを電気的に接続している。   FIG. 6 is an enlarged view for explaining the region of the dummy terminal 12. 6 (a) is a schematic top view of the dummy terminal 12, FIG. 6 (b) is a schematic vertical cross-sectional view thereof, and FIG. 6 (c) is a bonded flexible substrate 20 for connection to an external circuit. It is a cross-sectional schematic diagram showing a state. As shown in FIG. 6A, an opening from which the resist film 16 is removed is formed at the center of the dummy terminal 12b, which is an extension of the second dummy electrode 9, and the dummy terminal 12a is exposed. . As can be understood from the cross section shown in FIG. 6B, the dummy terminal 12 a and the dummy terminal 12 b are electrically separated through the insulating film 8. However, as shown in FIG. 6B, the dummy terminal 12a and the dummy terminal 12b can be electrically connected by crimping the flexible substrate 20 via the conductive material 21 of the anisotropic conductive film 22. it can. Thereby, the first dummy electrode 7 and the second dummy electrode 9 are electrically connected.

次に、図5(e)は、液晶パネルに組み立てた状態を表す液晶パネルの模式的な縦断面図である。図4(g)と同様であり、説明を省略する。   Next, FIG. 5E is a schematic longitudinal sectional view of the liquid crystal panel showing a state assembled to the liquid crystal panel. This is the same as FIG. 4G, and the description is omitted.

このように形成することにより、実施例2における製造方法と比較して、パターニング工程が1回少ない。そのために、製造コストを低減することができる。また、上記実施例2と同様に、製造プロセスの位置合わせ精度に応じて、表示電極5の上に形成するレジスト膜16の大きさを設定すればよい。即ち、製造プロセスの位置合わせ精度が低い場合には、表示電極5の外周部よりも内側にレジスト膜16を残すように設定し、位置合わせ精度が高い場合には、表示電極5の外周部に接近させてレジスト膜16を残すようにすればよい。   By forming in this way, the patterning process is less than once compared with the manufacturing method in Example 2. Therefore, the manufacturing cost can be reduced. Similarly to the second embodiment, the size of the resist film 16 formed on the display electrode 5 may be set according to the alignment accuracy of the manufacturing process. That is, when the alignment accuracy of the manufacturing process is low, the resist film 16 is set to remain inside the outer peripheral portion of the display electrode 5, and when the alignment accuracy is high, the resist film 16 is set on the outer peripheral portion of the display electrode 5. The resist film 16 may be left close to each other.

上述した各実施例では、図1に示す第1ダミー電極7を形成しているが、これを無くしても同様の効果がある。また、絶縁膜8として無機絶縁膜を例示しているが、有機絶縁膜を利用することもできる。   In each of the above-described embodiments, the first dummy electrode 7 shown in FIG. 1 is formed. Moreover, although the inorganic insulating film is illustrated as the insulating film 8, an organic insulating film can also be used.

1 PN−LCD
2 上透明基板
3 下透明基板
4 PN−LC
5 表示電極
6 配線電極
7 第1ダミー電極
8 絶縁膜
9 第2ダミー電極
10 対向電極
11 表示端子
12 ダミー端子
14 シール部
1 PN-LCD
2 Upper transparent substrate 3 Lower transparent substrate 4 PN-LC
5 Display electrode 6 Wiring electrode 7 First dummy electrode 8 Insulating film 9 Second dummy electrode 10 Counter electrode 11 Display terminal 12 Dummy terminal 14 Seal portion

Claims (6)

一対の透明基板の間隙に光散乱型液晶を挟持した光散乱型液晶表示装置において、
一方の透明基板の内表面であって外部から視認可能な表示領域には、表示電極と、前記表示電極に接続する配線電極と、前記表示電極及び前記配線電極に対して隙間を設けて近接し、電気的に分離する第1ダミー電極が形成され、
前記表示電極の外周部、前記配線電極、及び、前記第1ダミー電極の上には絶縁膜が形成され、
前記絶縁膜の上には、前記表示電極の外周部、前記配線電極、及び、前記第1ダミー電極に重なるように第2ダミー電極が形成され、
他方の透明基板の内表面であって前記表示領域には、対向電極が形成されていることを特徴とする光散乱型液晶表示装置。
In a light scattering type liquid crystal display device in which a light scattering type liquid crystal is sandwiched between a pair of transparent substrates,
The display area on the inner surface of one transparent substrate that is visible from the outside is adjacent to the display electrode, the wiring electrode connected to the display electrode, and the display electrode and the wiring electrode with a gap. A first dummy electrode that is electrically separated is formed;
An insulating film is formed on the outer periphery of the display electrode, the wiring electrode, and the first dummy electrode,
A second dummy electrode is formed on the insulating film so as to overlap the outer peripheral portion of the display electrode, the wiring electrode, and the first dummy electrode,
A light scattering type liquid crystal display device, wherein a counter electrode is formed in the display area on the inner surface of the other transparent substrate.
前記絶縁膜は、表示電極の上面の全面に渡って形成され、前記第2ダミー電極は、前記絶縁膜の上であって表示電極の外周部に重なるように形成されていることを特徴とする請求項1に記載の光散乱型液晶表示装置。   The insulating film is formed over the entire upper surface of the display electrode, and the second dummy electrode is formed on the insulating film so as to overlap an outer periphery of the display electrode. The light scattering type liquid crystal display device according to claim 1. 前記一方の透明基板の外周端部の内表面には、前記配線電極と電気的に接続する表示用電極端子と、前記第1ダミー電極及び前記第2ダミー電極と電気的に接続するダミー端子が形成され、
前記表示用電極端子は、前記配線電極の延設部の上に前記第2ダミー電極と同時に形成した導電性膜の積層構造を有し、
前記ダミー端子は、前記第1ダミー電極の延設部の上に前記第2ダミー電極の延設部が積層された積層構造を有することを特徴とする請求項1または2に記載の光散乱型液晶表示装置。
A display electrode terminal electrically connected to the wiring electrode and a dummy terminal electrically connected to the first dummy electrode and the second dummy electrode are formed on the inner surface of the outer peripheral end of the one transparent substrate. Formed,
The display electrode terminal has a laminated structure of a conductive film formed simultaneously with the second dummy electrode on the extended portion of the wiring electrode,
3. The light scattering type according to claim 1, wherein the dummy terminal has a stacked structure in which the extended portion of the second dummy electrode is stacked on the extended portion of the first dummy electrode. Liquid crystal display device.
前記絶縁膜が無機絶縁膜または有機絶縁膜で形成されたことを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載の光散乱型液晶表示装置。   The light-scattering liquid crystal display device according to claim 1, wherein the insulating film is formed of an inorganic insulating film or an organic insulating film. 一対の透明基板の間隙に光散乱型液晶を挟持する光散乱型液晶表示装置の製造方法において、
一方の透明基板の表面に第1透明導電膜を堆積し、前記第1透明電極を、表示電極及び前記表示電極に接続する配線電極と、前記表示電極及び前記配線電極に隙間を介して近接する第1ダミー電極とに分離する第1の電極パターン形成工程と、
前記一方の透明基板の表面にレジスト膜を形成し、端面が逆テーパーとなるように前記レジスト膜をパターニングして、前記配線電極の延設部により構成される表示端子の領域と、前記第1ダミー電極の延設部により構成されるダミー端子の領域に前記レジスト膜を残すレジスト膜形成工程と、
前記レジスト膜が残された透明基板の表面に絶縁膜を堆積する絶縁膜堆積工程と、
前記レジスト膜を除去するレジスト膜除去工程と、
前記絶縁膜が形成された透明基板の表面に第2透明導電膜を堆積し、前記第2透明導電膜を、前記表示電極の外周部の上、前記配線電極の上及び前記第1ダミー電極の上に残し、前記外周部を除いて前記表示電極の上から除去する第2の電極パターン形成工程と、
他方の透明基板の表面に第3透明導電膜を堆積する工程と、
前記一方の透明基板の電極が形成された表面と、前記他方の透明基板の電極が形成された表面と対向して間隙を設けて貼り合わせ、前記間隙に光散乱型液晶を封入する液晶セル組立工程と、を含むことを特徴とする光散乱型液晶表示装置の製造方法。
In a method for manufacturing a light scattering liquid crystal display device in which a light scattering liquid crystal is sandwiched between a pair of transparent substrates,
A first transparent conductive film is deposited on the surface of one transparent substrate, and the first transparent electrode is brought close to the display electrode and the wiring electrode connected to the display electrode via the gap. A first electrode pattern forming step for separating the first dummy electrode;
A resist film is formed on the surface of the one transparent substrate, the resist film is patterned so that the end surface is reversely tapered, and a display terminal region constituted by an extended portion of the wiring electrode; A resist film forming step of leaving the resist film in a dummy terminal region constituted by the extended portion of the dummy electrode;
An insulating film deposition step of depositing an insulating film on the surface of the transparent substrate where the resist film is left;
A resist film removing step for removing the resist film;
A second transparent conductive film is deposited on the surface of the transparent substrate on which the insulating film is formed, and the second transparent conductive film is deposited on the outer periphery of the display electrode, on the wiring electrode, and on the first dummy electrode. A second electrode pattern forming step that is left on and removed from above the display electrode except for the outer peripheral portion;
Depositing a third transparent conductive film on the surface of the other transparent substrate;
A liquid crystal cell assembly in which a surface on which the electrode of the one transparent substrate is formed and a surface on which the electrode of the other transparent substrate is formed are provided with a gap therebetween and light scattering liquid crystal is sealed in the gap A process for producing a light-scattering liquid crystal display device.
一対の透明基板の間隙にポリマーネットワーク液晶を挟持する光散乱型液晶表示装置の製造方法において、
一方の透明基板の表面に第1透明導電膜を堆積し、前記第1透明電極を、表示電極及び前記表示電極に接続する配線電極と、前記表示電極及び前記配線電極に隙間を介して近接する第1ダミー電極とに分離する第1の電極パターン形成工程と、
前記一方の透明基板の表面にレジスト膜を形成し、端面が逆テーパーとなるように前記レジスト膜をパターニングして、前記レジスト膜を、前記配線電極の延設部により構成される表示端子の領域と、前記第1ダミー電極の延設部により構成されるダミー端子の領域に残すレジスト膜形成工程と、
前記レジスト膜が残された透明基板の表面に、絶縁膜と、第2透明導電膜を連続的に堆積する膜堆積工程と、
前記第2透明導電膜を、前記表示電極の外周部の上、前記配線電極の上及び前記第1ダミー電極の上に残し、前記外周部を除いて前記表示電極の上から除去する第2の電極パターン形成工程と、
前記レジスト膜を除去するレジスト膜除去工程と、
他方の透明基板の表面に第3透明導電膜を堆積する工程と、
前記一方の透明基板の電極が形成された表面と、前記他方の透明基板の電極が形成された表面と対向して間隙を設けて貼り合わせ、前記間隙に光散乱型液晶を封入する液晶セル組立工程と、を含むことを特徴とする光散乱型液晶表示装置の製造方法。
In a method for manufacturing a light scattering liquid crystal display device in which a polymer network liquid crystal is sandwiched between a pair of transparent substrates,
A first transparent conductive film is deposited on the surface of one transparent substrate, and the first transparent electrode is brought close to the display electrode and the wiring electrode connected to the display electrode via the gap. A first electrode pattern forming step for separating the first dummy electrode;
An area of a display terminal configured by forming a resist film on the surface of the one transparent substrate, patterning the resist film so that an end surface thereof is reversely tapered, and forming the resist film by an extended portion of the wiring electrode And a resist film forming step that remains in a dummy terminal region constituted by the extended portion of the first dummy electrode;
A film deposition step of continuously depositing an insulating film and a second transparent conductive film on the surface of the transparent substrate on which the resist film is left;
The second transparent conductive film is left on the outer periphery of the display electrode, on the wiring electrode, and on the first dummy electrode, and removed from the display electrode except for the outer periphery. An electrode pattern forming step;
A resist film removing step for removing the resist film;
Depositing a third transparent conductive film on the surface of the other transparent substrate;
A liquid crystal cell assembly in which a surface on which the electrode of the one transparent substrate is formed and a surface on which the electrode of the other transparent substrate is formed are provided with a gap therebetween and light scattering liquid crystal is sealed in the gap A process for producing a light-scattering liquid crystal display device.
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