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JP2010209309A - Photosensitive polyimide, photosensitive polyimide ink composition and insulating film - Google Patents

Photosensitive polyimide, photosensitive polyimide ink composition and insulating film Download PDF

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JP2010209309A
JP2010209309A JP2009149209A JP2009149209A JP2010209309A JP 2010209309 A JP2010209309 A JP 2010209309A JP 2009149209 A JP2009149209 A JP 2009149209A JP 2009149209 A JP2009149209 A JP 2009149209A JP 2010209309 A JP2010209309 A JP 2010209309A
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Abstract

【課題】耐熱性、電気特性、及び柔軟性等に優れたフレキシブル配線板用オーバーコート材、及び層間絶縁材料等として好適に用いることができるとともに、有機溶媒に可溶性である感光性ポリイミド、前記感光性ポリイミドを含有する感光性ポリイミドインク組成物、及び前記感光性ポリイミドインク組成物を硬化させてなる絶縁膜の提供。
【解決手段】 特定の脂環式テトラカルボン酸二無水物を主成分とする酸二無水物成分とカルボキシル基を分子中に2個有する特定の芳香族ジアミンを主成分とするジアミン成分との反応により合成されるポリイミドに、(メタ)アクリロイル基を有する化合物を、前記ポリイミド中に存在するカルボキシル基の一部に付加反応させ、又は、縮合反応させてなる有機溶媒可溶性であることを特徴とする感光性ポリイミド、これを利用する感光性ポリイミドインク及び絶縁膜。
【選択図】なし
A photosensitive polyimide that can be suitably used as an overcoat material for a flexible wiring board and an interlayer insulating material having excellent heat resistance, electrical characteristics, flexibility, and the like, and is soluble in an organic solvent. A photosensitive polyimide ink composition containing a conductive polyimide, and an insulating film obtained by curing the photosensitive polyimide ink composition.
A reaction between an acid dianhydride component mainly composed of a specific alicyclic tetracarboxylic dianhydride and a diamine component mainly composed of a specific aromatic diamine having two carboxyl groups in the molecule. It is soluble in an organic solvent obtained by adding or reacting a compound having a (meth) acryloyl group to a part of a carboxyl group present in the polyimide to a polyimide synthesized by Photosensitive polyimide, photosensitive polyimide ink and insulating film using the same.
[Selection figure] None

Description

この発明は、感光性ポリイミド、感光性ポリイミドインク組成物及び絶縁膜に関し、詳しくは、耐熱性、電気特性、及び柔軟性等に優れたフレキシブル配線板用オーバーコート材、及び層間絶縁材料等として好適に用いることができるとともに、有機溶媒に可溶性である感光性ポリイミド、前記感光性ポリイミドを含有する感光性ポリイミドインク組成物、及び前記感光性ポリイミドインク組成物を硬化させてなる絶縁膜に関する。   The present invention relates to a photosensitive polyimide, a photosensitive polyimide ink composition, and an insulating film, and more specifically, suitable as an overcoat material for a flexible wiring board excellent in heat resistance, electrical characteristics, flexibility, and an interlayer insulating material. The present invention relates to a photosensitive polyimide soluble in an organic solvent, a photosensitive polyimide ink composition containing the photosensitive polyimide, and an insulating film formed by curing the photosensitive polyimide ink composition.

フレキシブル配線板のオーバーコート材、及び多層基板の層間絶縁膜等は、耐熱性及び絶縁性に富むことが要求され、しかも、高密度化、及び高集積化等の要求から感光性のある耐熱材料で形成されることが求められる。   Overcoat materials for flexible wiring boards and interlayer insulation films for multilayer substrates are required to have high heat resistance and insulation properties. In addition, photosensitive heat-resistant materials are required for high density and high integration. It is required to be formed.

半導体工業における電子回路の保護膜、及び半導体素子の保護膜等には、感光性ポリイミドが使用されているという言われ方をするが、正確にはポリイミド先駆体が使用される。このポリイミド先駆体は、前記電子回路及び保護膜等の表面に塗布された後に、露光され、現像されてから高温でポストベークされることによりイミド化されている。フレキシブル配線板等を製造する場合、フレキシブル配線板に使用される基材がフイルムであることと前記ポリイミド先駆体が塗布される基材の塗布面積が広いこととにより、ポリイミドインクの乾燥又はイミド化のための高温熱処理の際に基材であるフイルムが著しくカールしてしまう。故に、前記フレキシブル配線板等の製造に、前記ポリイミド先駆体は使用できない。このような理由から、感光性ドライフイルムが開発されている。しかしながらフレキシブル配線板を連続製造することを想定した場合、感光性ドライフイルムの製造には真空ラミネート工程が含まれているので、そのような工程を有する製造方法により製造される感光性ドライフイルムは、フレキシブル配線板等の連続製造には不向きである。   It is said that photosensitive polyimide is used for a protective film for an electronic circuit and a protective film for a semiconductor element in the semiconductor industry, but a polyimide precursor is used accurately. This polyimide precursor is imidized by being applied to the surface of the electronic circuit, the protective film, and the like, then exposed to light, developed, and post-baked at a high temperature. When manufacturing a flexible wiring board or the like, the polyimide ink is dried or imidized due to the fact that the substrate used for the flexible wiring board is a film and that the coating area of the substrate on which the polyimide precursor is applied is wide. During the high-temperature heat treatment for the film, the film as a base material is curled remarkably. Therefore, the polyimide precursor cannot be used for manufacturing the flexible wiring board or the like. For these reasons, photosensitive dry films have been developed. However, assuming continuous production of flexible wiring boards, since the production of photosensitive dry film includes a vacuum laminating step, the photosensitive dry film produced by the production method having such a process is: It is not suitable for continuous production of flexible wiring boards and the like.

このような理由から、フレキシブル配線板の連続製造には、感光性ポリイミドインクの使用が好ましい。しかし、感光性ドライフイルム又は液状レジストを用いて基板製造を行っている現場において、現像時に超音波を使用すること(特許文献1)は、既存の製造設備を流用することができず、超音波照射設備といった新規設備によるプロセス上の問題があり、また有機溶剤を用いること(特許文献2)は、溶剤回収に関わる環境面の問題、防爆等の設備増設による経済的な問題があることから受け入れ難く好ましくない。特許文献1によると、特許文献1に記載された「有機溶媒可溶性の感光性ポリイミドシロキサン」はインキ化工程に供されて「感光性ポリイミドシロキサン溶液組成物」が製造される。この感光性ポリイミドシロキサン溶液組成物は、例えば銅回路パターン上に塗布され、塗布後に有機溶媒が除去され、露光され、「テトラエチルアンモニウムハイドロキサイドの2%水溶液、又はホウ酸ナトリウムとジエチレングリコールモノブチルエーテルとを含有する水溶液で現像がされている。このように特許文献1に記載の感光性ポリイミドシロキサン溶液組成物は、その現像に、水溶液と称されているが有機化合物を含む現像液が使用されている。したがって、特許文献1に記載された感光性ポリイミドシロキサンは、それを用いてフレキシブル配線板を製造する場合には有機物質含有の廃液の処理が必要になる。   For these reasons, it is preferable to use photosensitive polyimide ink for continuous production of flexible wiring boards. However, in the field where a substrate is manufactured using a photosensitive dry film or a liquid resist, the use of ultrasonic waves at the time of development (Patent Document 1) cannot divert existing manufacturing equipment. There are process problems due to new equipment such as irradiation equipment, and the use of organic solvents (Patent Document 2) is accepted because of environmental problems related to solvent recovery and economic problems due to the expansion of explosion-proof equipment. It is difficult and undesirable. According to Patent Document 1, the “organic solvent-soluble photosensitive polyimide siloxane” described in Patent Document 1 is subjected to an inking process to produce a “photosensitive polyimide siloxane solution composition”. This photosensitive polyimide siloxane solution composition is applied onto, for example, a copper circuit pattern, and after application, the organic solvent is removed and exposed to, "2% aqueous solution of tetraethylammonium hydroxide or sodium borate and diethylene glycol monobutyl ether. As described above, the photosensitive polyimidesiloxane solution composition described in Patent Document 1 is referred to as an aqueous solution, but a developer containing an organic compound is used for the development. Therefore, the photosensitive polyimide siloxane described in Patent Document 1 needs to be treated with a waste liquid containing an organic substance when a flexible wiring board is produced using the photosensitive polyimide siloxane.

一般に芳香族ポリイミドは黄褐色に着色していて400nm以下の波長を有する光の透過率が低い。現在のところ、市販されている紫外線照射装置に装備されている紫外線ランプは364nmの波長を主とする紫外線を発する。そうすると、芳香族ポリイミドを含有する感光性ポリイミドインク組成物で形成した塗膜に紫外線を照射しても、芳香族ポリイミドの低光透過性により感光性ポリイミドインク組成物は十分に光硬化しないという問題がある。芳香族ポリイミドを採用する限り芳香族ポリイミドにおける低光透過性という問題点を解消する必要がある。   In general, aromatic polyimide is colored yellowish brown and has low transmittance for light having a wavelength of 400 nm or less. At present, an ultraviolet lamp equipped in a commercially available ultraviolet irradiation device emits ultraviolet light mainly having a wavelength of 364 nm. Then, even if the coating film formed with the photosensitive polyimide ink composition containing the aromatic polyimide is irradiated with ultraviolet rays, the photosensitive polyimide ink composition is not sufficiently photocured due to the low light transmittance of the aromatic polyimide. There is. As long as the aromatic polyimide is used, it is necessary to solve the problem of low light transmittance in the aromatic polyimide.

特開平10−265571号公報JP-A-10-265571 特開平9−100350号公報Japanese Patent Laid-Open No. 9-100350

この発明の課題は、有機溶媒に対して溶解性が優れるとともに、スクリーン印刷ができ、光硬化に際し高感度で、有機物質無含有の弱アルカリ水溶液、特に炭酸ソーダ水溶液を用いてパターン現像が可能な感光性ポリイミドインク組成物の原料になる感光性ポリイミドを提供することである。   The problem of the present invention is that it has excellent solubility in an organic solvent, can be screen-printed, has high sensitivity during photocuring, and can be developed with a weak alkaline aqueous solution containing no organic substance, particularly a sodium carbonate aqueous solution. It is providing the photosensitive polyimide used as the raw material of the photosensitive polyimide ink composition.

この発明の他の課題は、折り曲げ性、反り性、はんだ耐熱性、密着性、光沢性、金めっき耐性に優れて実用性のある硬化膜を形成することができ、しかも有機物質無含有の弱アルカリ水溶液、特に炭酸ソーダ水溶液で現像することのできる感光性ポリイミドインク組成物を提供することである。   Another object of the present invention is to form a cured film that is excellent in bendability, warpage, solder heat resistance, adhesion, glossiness, and gold plating resistance, and is free from organic substances. It is an object of the present invention to provide a photosensitive polyimide ink composition that can be developed with an aqueous alkali solution, particularly an aqueous sodium carbonate solution.

さらに、この発明の他の課題は、現像後にイミド化するための高温処理(200〜400℃)を不要とし、低温でイミド化が達成することができる故にカールすることのない絶縁膜を提供することである。   Furthermore, another object of the present invention is to provide an insulating film that does not curl because high temperature processing (200 to 400 ° C.) for imidization after development is unnecessary and imidization can be achieved at a low temperature. That is.

前記課題を解決するための手段は、
(1) (a) 下記一般式(1)で示される脂環式テトラカルボン酸二無水物を主成分とする酸二無水物成分と
Means for solving the problems are as follows:
(1) (a) an acid dianhydride component mainly composed of an alicyclic tetracarboxylic dianhydride represented by the following general formula (1)

Figure 2010209309
(一般式(1)中、Rは脂環式テトラカルボン酸二無水物のカルボン酸二無水物残基(但し、シクロヘキサンテトラカルボン酸二無水物のカルボン酸二無水物残基を除く。)である。)
下記一般式(2)で示されるカルボキシル基を分子中に2個有する芳香族ジアミンを全ジアミン成分に対して70モル%以上の割合で主成分とするジアミン成分、若しくは下記一般式(2)で示される芳香族ジアミンとの反応により合成されるポリイミドに、
(b) 酸二無水物成分が前記一般式(1)で示される脂環式テトラカルボン酸二無水物であるときにはその脂環式テトラカルボン酸二無水物と下記一般式(2)で示されるカルボキシル基を分子中に2個有する芳香族ジアミンを主成分とするジアミン成分との反応により合成されるポリイミドに、
(c) シクロヘキサンテトラカルボン酸二無水物を主成分とする酸二無水物成分と、ジアミン成分が下記一般式(2)で示されるカルボキシル基を分子中に2個有する芳香族ジアミンであるときにはそのジアミン成分との反応により合成されるポリイミドに、又は、
(d) シクロヘキサンテトラカルボン酸二無水物を主成分とする酸二無水物成分と、前記一般式(2)で示されるカルボキシル基を分子中に2個有する芳香族ジアミン、並びに、ジアミノポリシロキサン(DAPS)、ビス4−アミノフェノキシフェニルプロパン(BAPP)、及び3,5−ジアミノ安息香酸(DABA)のうち少なくとも一つの芳香族ジアミンを含有するジアミン成分との反応により合成されるポリイミドに、
(メタ)アクリロイル基を有する化合物を、前記ポリイミド中に存在するカルボキシル基の一部に付加反応させ、又は、縮合反応させてなる有機溶媒可溶性であることを特徴とする感光性ポリイミドであり、
Figure 2010209309
(In general formula (1), R is a carboxylic dianhydride residue of alicyclic tetracarboxylic dianhydride (excluding a carboxylic dianhydride residue of cyclohexane tetracarboxylic dianhydride). is there.)
A diamine component having as a main component an aromatic diamine having two carboxyl groups represented by the following general formula (2) in the molecule at a ratio of 70 mol% or more with respect to the total diamine component, or the following general formula (2) To the polyimide synthesized by reaction with the aromatic diamine shown,
(b) When the acid dianhydride component is the alicyclic tetracarboxylic dianhydride represented by the general formula (1), the alicyclic tetracarboxylic dianhydride and the following general formula (2) To the polyimide synthesized by the reaction with a diamine component mainly composed of an aromatic diamine having two carboxyl groups in the molecule,
(c) When the acid dianhydride component mainly composed of cyclohexanetetracarboxylic dianhydride and the diamine component are aromatic diamines having two carboxyl groups in the molecule represented by the following general formula (2) To polyimide synthesized by reaction with diamine component, or
(d) an acid dianhydride component composed mainly of cyclohexanetetracarboxylic dianhydride, an aromatic diamine having two carboxyl groups in the molecule represented by the general formula (2), and diaminopolysiloxane ( A polyimide synthesized by a reaction with a diamine component containing at least one aromatic diamine among DAPS), bis-4-aminophenoxyphenylpropane (BAPP), and 3,5-diaminobenzoic acid (DABA);
A compound having a (meth) acryloyl group is an organic solvent-soluble polyimide obtained by addition reaction or condensation reaction with a part of the carboxyl group present in the polyimide,

Figure 2010209309
(但し、一般式(2)中、XはO、CH、C(CF、O−C−C(CH−C−O、又は直接結合を示す)。
(2) 前記酸二無水物成分が前記一般式(1)で示される脂環式テトラカルボン酸二無水物を前記主成分として含有する場合に、前記酸二無水物成分が芳香族テトラカルボン酸二無水物を含むことを特徴とする前記(1)に記載の感光性ポリイミドであり、
(3) 前記芳香族テトラカルボン酸二無水物は、その含有量が前記酸二無水物成分に対して35モル%未満である前記(2)に記載の感光性ポリイミドであり、
(4) 前記ジアミン成分が、前記一般式(2)で示される芳香族ジアミン以外の芳香族ジアミンを含むことを特徴とする前記(1)〜(3)のいずれか一つに記載の感光性ポリイミドであり、
(5) 前記ジアミン成分が、ジアミノポリシロキサンを含むことを特徴とする前記(1)〜(4)のいずれか一つに記載の感光性ポリイミドであり、
(6) 前記ジアミノポリシロキサンは、その含有量が前記ジアミン成分に対して40モル%以下であることを特徴とする前記(5)に記載の感光性ポリイミドであり、
また、前記課題を解決するための他の手段は、
(7) 前記(1)〜(6)のいずれか一つに記載の感光性ポリイミドとこの感光性ポリイミドを溶解することのできる有機溶媒とを含有することを特徴とする感光性ポリイミドインク組成物であり、
(8) 光重合開始剤、増感剤、耐熱性エポキシ樹脂及び無機充填剤を含有することを特徴とする前記(7)に記載の感光性ポリイミドインク組成物であり、
(9) 感光性ポリイミド100重量部に対して前記(メタ)アクリレート化合物5〜70重量部、光重合開始剤及び増感剤1〜50重量部、耐熱性エポキシ樹脂10〜70重量部、並びに無機充填剤10〜80重量部を含有することを特徴とする前記(8)に記載の感光性ポリイミドインク組成物であり、
また、前記課題を解決するためのその他の手段は、
(10) 前記(7)〜(9)のいずれか一つに記載の感光性ポリイミドインク組成物を基材に塗布し、プリベークし、露光し、かつ現像した後、ポストベークして成ることを特徴とする絶縁膜である。
Figure 2010209309
(In the general formula (2), X represents O, CH 2 , C (CF 3 ) 2 , O—C 6 H 4 —C (CH 3 ) 2 —C 6 H 4 —O, or a direct bond. ).
(2) When the acid dianhydride component contains the alicyclic tetracarboxylic dianhydride represented by the general formula (1) as the main component, the acid dianhydride component is an aromatic tetracarboxylic acid. The photosensitive polyimide according to (1) above, comprising dianhydride,
(3) The aromatic tetracarboxylic dianhydride is the photosensitive polyimide according to (2), the content of which is less than 35 mol% with respect to the acid dianhydride component,
(4) The photosensitivity as described in any one of (1) to (3) above, wherein the diamine component contains an aromatic diamine other than the aromatic diamine represented by the general formula (2). Polyimide,
(5) The photosensitive diamine according to any one of (1) to (4), wherein the diamine component includes diaminopolysiloxane,
(6) The diaminopolysiloxane is a photosensitive polyimide according to (5), characterized in that the content thereof is 40 mol% or less with respect to the diamine component,
In addition, other means for solving the above-described problems are:
(7) A photosensitive polyimide ink composition comprising the photosensitive polyimide according to any one of (1) to (6) and an organic solvent capable of dissolving the photosensitive polyimide. And
(8) The photosensitive polyimide ink composition according to (7) above, which contains a photopolymerization initiator, a sensitizer, a heat-resistant epoxy resin, and an inorganic filler,
(9) 5 to 70 parts by weight of the (meth) acrylate compound, 1 to 50 parts by weight of a photopolymerization initiator and sensitizer, 10 to 70 parts by weight of a heat-resistant epoxy resin, and inorganic with respect to 100 parts by weight of the photosensitive polyimide. The photosensitive polyimide ink composition as described in (8) above, containing 10 to 80 parts by weight of a filler,
In addition, other means for solving the above problems are as follows:
(10) The photosensitive polyimide ink composition according to any one of (7) to (9) is applied to a substrate, pre-baked, exposed and developed, and then post-baked. The insulating film is characterized.

この発明の感光性ポリイミドは有機溶媒に対する優れた溶解性を有している。したがって、この感光性ポリイミドは有機溶媒に溶解することにより、容易に感光性ポリイミドインク組成物を調製することができる。   The photosensitive polyimide of this invention has excellent solubility in organic solvents. Therefore, the photosensitive polyimide ink composition can be easily prepared by dissolving the photosensitive polyimide in an organic solvent.

この発明の感光性ポリイミドインク組成物は、この感光性ポリイミドインク組成物で形成した塗膜に400nm未満の波長を有する紫外線を照射することにより紫外線露光部が容易に硬化するとともに、紫外線未露光部は有機化合物無含有の弱アルカリ水溶液で容易に除去することができる。したがって、この発明の感光性ポリイミドインク組成物は紫外線照射後に有機化合物無含有の弱アルカリ水溶液で容易に現像することができる。よって、この感光性ポリイミドインク組成物を用いて表面に所定のパターンが形成される絶縁膜を製造する場合に、有機化合物含有の水溶液で洗浄除去することにより生じる有機化合物含有廃液を処理する特別な廃液処理装置を特に設置することなく、既存の排水処理装置をそのまま使用するとともに既存のレジスト現像機を使用することにより容易に製造可能な絶縁膜を提供することができる。   In the photosensitive polyimide ink composition of the present invention, an ultraviolet-exposed portion is easily cured by irradiating a coating film formed from this photosensitive polyimide ink composition with ultraviolet rays having a wavelength of less than 400 nm, and an ultraviolet-unexposed portion. Can be easily removed with a weak alkaline aqueous solution containing no organic compound. Therefore, the photosensitive polyimide ink composition of the present invention can be easily developed with a weak alkaline aqueous solution containing no organic compound after ultraviolet irradiation. Therefore, when producing an insulating film having a predetermined pattern formed on the surface using this photosensitive polyimide ink composition, a special treatment for treating an organic compound-containing waste liquid generated by washing and removing with an organic compound-containing aqueous solution. An insulating film that can be easily manufactured can be provided by using an existing wastewater treatment apparatus as it is and using an existing resist developing machine without particularly installing a waste liquid treatment apparatus.

また、この発明の絶縁膜は、はんだ耐熱性が実用上充分に満足でき、基材に対する密着性があり、また、絶縁膜それ自体を折り曲げてもクラックが発生せず、可撓性に優れている。   In addition, the insulating film of the present invention is sufficiently satisfactory in solder heat resistance in practical use, has adhesiveness to the base material, and does not generate cracks even when the insulating film itself is bent, and has excellent flexibility. Yes.

特に、脂環式テトラカルボン酸二無水物を含有し、又はこれを主成分として含有する酸二無水物成分を用いて製造された感光性ポリイミドを含有する感光性ポリイミドインク組成物を用いて形成された絶縁膜は、未露光部分を有機化合物無含有の弱アルカリ性水溶液で除去することにより露出させた基板には残渣がなく、しかも露光により硬化した硬化部分の表面はその光沢性が優れている。   In particular, it is formed using a photosensitive polyimide ink composition containing a photosensitive polyimide containing an alicyclic tetracarboxylic dianhydride or manufactured using an acid dianhydride component containing this as a main component. The exposed insulating film has no residue on the substrate exposed by removing the unexposed portion with a weak alkaline aqueous solution containing no organic compound, and the surface of the cured portion cured by exposure has excellent gloss. .

さらに、シクロヘキサンテトラカルボン酸二無水物を用いて形成された感光性ポリイミドを含有するところの、この発明の感光性ポリイミドインク組成物は、光透過性がよく、従来の露光システムで容易に感光させることができる。   Furthermore, the photosensitive polyimide ink composition of the present invention, which contains a photosensitive polyimide formed using cyclohexanetetracarboxylic dianhydride, has good light transmission and can be easily exposed by a conventional exposure system. be able to.

脂環式テトラカルボン酸二無水物を用いて形成された感光性ポリイミドを含有するところの、この発明の感光性ポリイミドインク組成物は、従来の感光性ポリアミック酸のように画像形成後のイミド化のための高温処理(200〜400℃)を必要とせず、150〜180℃程度の加熱処理で充分なことから高信頼性、低コストをもたらすのみならず基板に熱的ダメージを与えることがない等多くの優れた効果を奏するので、ネガパターン及びポジパターンを有する絶縁膜の製造に好適に使用することができる。   The photosensitive polyimide ink composition of the present invention containing a photosensitive polyimide formed using an alicyclic tetracarboxylic dianhydride is imidized after image formation like a conventional photosensitive polyamic acid. High temperature processing (200 to 400 ° C.) is not required, and heat treatment at about 150 to 180 ° C. is sufficient, so that not only high reliability and low cost but also thermal damage to the substrate is not caused. Therefore, it can be suitably used for manufacturing an insulating film having a negative pattern and a positive pattern.

さらに、この発明の感光性ポリイミドインク組成物を用いて形成されたところの、硬化膜からなるパターンを有する絶縁膜は、はんだ耐熱性、金めっき耐性、柔軟性に優れている。また、この発明の感光性ポリイミドインク組成物はその厚さが10〜30μmである塗膜にしていても光照射により20〜50μm程度の線幅の硬化部分を形成することができるので、この発明の感光性ポリイミドインク組成物は高い解像力を有すると評価することができる。故に、この発明の感光性ポリイミドインク組成物は、高密度フレキシブル基板、BGA、CSP等における絶縁膜として好適である。   Furthermore, the insulating film having a pattern made of a cured film, formed using the photosensitive polyimide ink composition of the present invention, is excellent in solder heat resistance, gold plating resistance, and flexibility. In addition, even if the photosensitive polyimide ink composition of the present invention is a coating film having a thickness of 10 to 30 μm, a cured portion having a line width of about 20 to 50 μm can be formed by light irradiation. It can be evaluated that the photosensitive polyimide ink composition has a high resolving power. Therefore, the photosensitive polyimide ink composition of the present invention is suitable as an insulating film in a high density flexible substrate, BGA, CSP or the like.

この発明の感光性ポリイミドは、
(a) 下記一般式(1)で示される脂環式テトラカルボン酸二無水物を主成分とする酸二無水物成分と
The photosensitive polyimide of this invention is
(a) an acid dianhydride component mainly composed of an alicyclic tetracarboxylic dianhydride represented by the following general formula (1):

Figure 2010209309
(一般式(1)中、Rは脂環式テトラカルボン酸二無水物のカルボン酸二無水物残基(但し、シクロヘキサンテトラカルボン酸二無水物のカルボン酸二無水物残基を除く。)である。)
下記一般式(2)で示されるカルボキシル基を分子中に2個有する芳香族ジアミンを全ジアミン成分に対して70モル%以上の割合で主成分とするジアミン成分、若しくは下記一般式(2)で示される芳香族ジアミンとの反応により合成されるポリイミドに、
(b) 酸二無水物成分が前記一般式(1)で示される脂環式テトラカルボン酸二無水物であるときにはその脂環式テトラカルボン酸二無水物と下記一般式(2)で示されるカルボキシル基を分子中に2個有する芳香族ジアミンを主成分とするジアミン成分との反応により合成されるポリイミドに、
(c) シクロヘキサンテトラカルボン酸二無水物を主成分とする酸二無水物成分と、ジアミン成分が下記一般式(2)で示されるカルボキシル基を分子中に2個有する芳香族ジアミンであるときにはそのジアミン成分との反応により合成されるポリイミドに、又は、
(d) シクロヘキサンテトラカルボン酸二無水物を主成分とする酸二無水物成分と、前記一般式(2)で示されるカルボキシル基を分子中に2個有する芳香族ジアミン、並びに、ジアミノポリシロキサン(DAPS)、ビス4−アミノフェノキシフェニルプロパン(BAPP)、及び3,5−ジアミノ安息香酸(DABA)のうち少なくとも一つの芳香族ジアミンを含有するジアミン成分との反応により合成されるポリイミドに、
(メタ)アクリロイル基を有する化合物を、前記ポリイミド中に存在するカルボキシル基の一部に付加反応させ、又は、縮合反応させることにより得ることができる。
Figure 2010209309
(In general formula (1), R is a carboxylic dianhydride residue of alicyclic tetracarboxylic dianhydride (excluding a carboxylic dianhydride residue of cyclohexane tetracarboxylic dianhydride). is there.)
A diamine component having as a main component an aromatic diamine having two carboxyl groups represented by the following general formula (2) in the molecule at a ratio of 70 mol% or more with respect to the total diamine component, or the following general formula (2) To the polyimide synthesized by reaction with the aromatic diamine shown,
(b) When the acid dianhydride component is the alicyclic tetracarboxylic dianhydride represented by the general formula (1), the alicyclic tetracarboxylic dianhydride and the following general formula (2) To the polyimide synthesized by the reaction with a diamine component mainly composed of an aromatic diamine having two carboxyl groups in the molecule,
(c) When the acid dianhydride component mainly composed of cyclohexanetetracarboxylic dianhydride and the diamine component are aromatic diamines having two carboxyl groups in the molecule represented by the following general formula (2) To polyimide synthesized by reaction with diamine component, or
(d) an acid dianhydride component composed mainly of cyclohexanetetracarboxylic dianhydride, an aromatic diamine having two carboxyl groups in the molecule represented by the general formula (2), and diaminopolysiloxane ( A polyimide synthesized by a reaction with a diamine component containing at least one aromatic diamine among DAPS), bis-4-aminophenoxyphenylpropane (BAPP), and 3,5-diaminobenzoic acid (DABA);
A compound having a (meth) acryloyl group can be obtained by addition reaction or condensation reaction with a part of the carboxyl groups present in the polyimide.

Figure 2010209309
(但し、一般式(2)中、XはO、CH2、C(CF3)2、O−C6H4−C(CH3)2−C6H4−O、又は直接結合を示す。)
Figure 2010209309
(In the general formula (2), X represents O, CH 2 , C (CF 3 ) 2 , O—C 6 H 4 —C (CH 3 ) 2 —C 6 H 4 —O, or a direct bond. .)

この発明における前記一般式(1)で示される脂環式テトラカルボン酸二無水物としては、ビシクロ[2.2.2]オクト−7−エン−2,3,5,6−テトラカルボン酸二無水物(BTA)、2,3,5−トリカルボキシシクロペンチル酢酸二無水物(2,3,5−Tricarboxycyclopentylacetic Dianhydride、TCDA)、2,2−ビス[4−(3,4−ジカルボキシクロヘキシルオキシ)フェニルプロパン酸二無水物、3,3’,4,4’−ビシクロヘキシルテトラカルボン酸二無水物(HBPDA)、及びシクロヘキサンテトラカルボン酸二無水物(ヘキサヒドロ無水ピロメリット酸、HPMDA)等よりなる群から選択される少なくとも一種又は二種を好適に使用することができる。これらの中でも、酸二無水物成分として、例えば3,3’,4,4’−ビシクロヘキシルテトラカルボン酸二無水物(HPMDA)を使用して得られる感光性ポリイミドは、感光性ポリイミドインク組成物とした場合に、現像後における基材表面に付着する未露光残渣の残量が極めて少なくなり、しかも光沢性に優れた硬化膜が形成される。   Examples of the alicyclic tetracarboxylic dianhydride represented by the general formula (1) in the present invention include bicyclo [2.2.2] oct-7-ene-2,3,5,6-tetracarboxylic acid dihydrate. Anhydride (BTA), 2,3,5-tricarboxycyclopentyl acetic dianhydride (2,3,5-Tricarboxycyclopentylacetic Dianhydride, TCDA), 2,2-bis [4- (3,4-dicarboxycyclohexyloxy) Group consisting of phenylpropanoic dianhydride, 3,3 ′, 4,4′-bicyclohexyltetracarboxylic dianhydride (HBPDA), cyclohexanetetracarboxylic dianhydride (hexahydropyromellitic anhydride, HPMDA), etc. At least one or two selected from can be preferably used. Among these, as the acid dianhydride component, for example, a photosensitive polyimide obtained by using 3,3 ′, 4,4′-bicyclohexyltetracarboxylic dianhydride (HPMDA) is a photosensitive polyimide ink composition. In this case, the remaining amount of unexposed residue adhering to the substrate surface after development is extremely reduced, and a cured film having excellent gloss is formed.

この発明における酸二無水物成分は、脂環式テトラカルボン酸二無水物そのものであってもよく、また、脂環式テトラカルボン酸二無水物を主成分として含む。脂環式テトラカルボン酸二無水物を主成分とする酸二無水物成分における残余の成分としては、感光性ポリイミドの有機溶媒に対する溶解性を損なわない限りにおいて、芳香族テトラカルボン酸二無水物を含むことができる。併用可能な芳香族テトラカルボン酸二無水物としては、4,4’−オキシジフタル酸二無水物(ODPA)、2,2−ビス[4−(3,4−ジカルボキシフェノキシ)フェニル]プロパン酸二無水物、及び3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物等を挙げることができる。併用する芳香族テトラカルボン酸二無水物の使用量は、酸無水物成分に対して35モル%未満であり、特に25モル%未満であることが、好ましい。芳香族テトラカルボン酸二無水物の使用量が上記値以上であると、得られる感光性ポリイミドの有機溶媒に対する溶解性が低下し、及び/又は感光性ポリイミドインク組成物を露光して得られる絶縁膜の透明性が阻害される等の不都合を生じることがある。   The acid dianhydride component in this invention may be an alicyclic tetracarboxylic dianhydride itself, and contains an alicyclic tetracarboxylic dianhydride as a main component. As the remaining component in the acid dianhydride component mainly composed of alicyclic tetracarboxylic dianhydride, aromatic tetracarboxylic dianhydride is used as long as the solubility of the photosensitive polyimide in an organic solvent is not impaired. Can be included. Examples of aromatic tetracarboxylic dianhydrides that can be used in combination include 4,4′-oxydiphthalic dianhydride (ODPA) and 2,2-bis [4- (3,4-dicarboxyphenoxy) phenyl] propanoic acid. An anhydride, and 3,3 ', 4,4'-biphenyl tetracarboxylic dianhydride etc. can be mentioned. The amount of the aromatic tetracarboxylic dianhydride used in combination is preferably less than 35 mol%, particularly preferably less than 25 mol%, relative to the acid anhydride component. If the amount of aromatic tetracarboxylic dianhydride used is greater than or equal to the above value, the solubility of the resulting photosensitive polyimide in an organic solvent is reduced, and / or insulation obtained by exposing the photosensitive polyimide ink composition. Inconveniences such as hindering the transparency of the film may occur.

また、この発明における前記一般式(2)で示される芳香族ジアミンとしては、5,5’−メチレンビス[2−アミノ安息香酸](MBA)、5,5’−オキシビス[2−アミノ安息香酸]、2,2−ビス[4−(2−アミノヒドロフェニルカルボン酸)フェニル]プロパン、及び1、3−トリフロロ−2,2−ビス[4−(2−アミノヒドロフェニルカルボン酸)フェニル]プロパン等を使用することが好ましい。   The aromatic diamine represented by the general formula (2) in the present invention includes 5,5′-methylenebis [2-aminobenzoic acid] (MBA) and 5,5′-oxybis [2-aminobenzoic acid]. 2,2-bis [4- (2-aminohydrophenylcarboxylic acid) phenyl] propane, 1,3-trifluoro-2,2-bis [4- (2-aminohydrophenylcarboxylic acid) phenyl] propane, and the like Is preferably used.

この発明におけるジアミン成分は前記一般式(2)で示される芳香族ジアミンそのものであってもよく、また、分子内にアミノ基を有する二つのベンゼン環にCOOH基が1個ずつ結合した前記芳香族ジアミンとともに、分子内にアミノ基を有する二つのベンゼン環にCOOH基を結合していない芳香族ジアミンを併用することもできる。ベンゼン環にCOOH基を結合していない芳香族ジアミンとしては、4,4’−ジアミノジフェニル(HAB)、3,3’−ジヒドロキシ4,4’−ジアミノビフェニル、4,4’−ジヒドロキシ−3,3’−ジアミノビフェニル、4,4’−ジヒドロキシ−3,3’−ジアミノジフェニルエーテル、3,3’−ジヒドロキシ−4,4’−ジアミノジフェニルスルホキシド、3,3’−ジヒドロキシ−4,4’−ジアミノジフェニルスルホン、1,1’−ビス[4−(3−ヒドロキシ−4−アミノフェノキシ)フェニル]メタン、1,3’−ビス(3−ヒドロキシ−4−アミノフェノキシ)ベンゼン、ビス[4−(3−ヒドロキシ−4−アミノフェノキシ)フェニル]スルホン、及び2,2’−ビス(3−アミノ−4−ヒドロキシフェニル)ヘキサフルオロプロパン(BAFA)、4,4’−ジアミノジフェニルエーテル、4,4’−ジアミノジフェニルメタン、4,4’−ジアミノジフェニルスルホン、及びo−トリジン等のベンゼン環を2個有する芳香族ジアミン、1,4−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン、及び1,3−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン等のベンゼン環を3個有する芳香族ジアミン、並びに、ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]スルホン、及び2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]プロパン等のベンゼン環を4個有する芳香族ジアミン等を挙げることができる。これらの、ベンゼン環にCOOH基を結合していない芳香族ジアミンのジアミン成分に対する使用割合は、ジアミン成分に対して20モル%未満、特に10モル%未満が好ましい。ベンゼン環にCOOH基を結合していない芳香族ジアミンの使用量が20モル%以上であると、有機化合物無含有の弱アルカリ性水溶液による現像を行うことができなくなることがある。   The diamine component in the present invention may be the aromatic diamine itself represented by the general formula (2), or the aromatic having one COOH group bonded to two benzene rings each having an amino group in the molecule. Along with the diamine, an aromatic diamine having no COOH group bonded to two benzene rings having an amino group in the molecule can be used in combination. Examples of aromatic diamines having no COOH group bonded to the benzene ring include 4,4′-diaminodiphenyl (HAB), 3,3′-dihydroxy 4,4′-diaminobiphenyl, and 4,4′-dihydroxy-3, 3'-diaminobiphenyl, 4,4'-dihydroxy-3,3'-diaminodiphenyl ether, 3,3'-dihydroxy-4,4'-diaminodiphenyl sulfoxide, 3,3'-dihydroxy-4,4'-diamino Diphenylsulfone, 1,1′-bis [4- (3-hydroxy-4-aminophenoxy) phenyl] methane, 1,3′-bis (3-hydroxy-4-aminophenoxy) benzene, bis [4- (3 -Hydroxy-4-aminophenoxy) phenyl] sulfone, and 2,2′-bis (3-amino-4-hydroxyphenyl) hexafluoropro Aromatic diamines having two benzene rings such as benzene (BAFA), 4,4′-diaminodiphenyl ether, 4,4′-diaminodiphenylmethane, 4,4′-diaminodiphenylsulfone, and o-tolidine, Aromatic diamines having three benzene rings such as bis (4-aminophenoxy) benzene and 1,3-bis (4-aminophenoxy) benzene, and bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] sulfone, And aromatic diamines having four benzene rings such as 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] propane. The ratio of the aromatic diamine having no COOH group bonded to the benzene ring to the diamine component is preferably less than 20 mol%, particularly preferably less than 10 mol%, based on the diamine component. When the amount of the aromatic diamine having no COOH group bonded to the benzene ring is 20 mol% or more, development with a weak alkaline aqueous solution containing no organic compound may not be performed.

ジアミン成分は一種単独で使用することもできるし、また二種以上を併用することもできる。   A diamine component can also be used individually by 1 type, and can also use 2 or more types together.

この発明の感光性ポリイミドは、前記脂環式テトラカルボン酸二無水物と、この酸二無水物成分に対して等モル量の1〜数種の前記ジアミン成分とを、例えば80℃以下の温度、好ましくは10〜70℃で例えば1〜24時間程度の時間をかけたランダム重合反応又はブロック重合反応によってポリアミック酸溶液を生成し、さらに引き続いて昇温して従来よりも低温例えば140〜200℃で1〜3時間程度の時間をかけたイミド化反応を行ってポリイミドを含有する溶液を生成した後に、前記ポリイミド中に結合するカルボン酸に、(メタ)アクリロイル基を有する化合物を、付加反応させることによって好適に得ることができる。   The photosensitive polyimide of this invention comprises the alicyclic tetracarboxylic dianhydride and an equimolar amount of 1 to several diamine components with respect to the acid dianhydride component, for example, at a temperature of 80 ° C. or less. Preferably, a polyamic acid solution is produced by a random polymerization reaction or a block polymerization reaction taking about 1 to 24 hours, for example, at 10 to 70 ° C., followed by further raising the temperature to a lower temperature than conventional, for example, 140 to 200 ° C. After performing an imidization reaction taking about 1 to 3 hours to produce a solution containing polyimide, a compound having a (meth) acryloyl group is added to the carboxylic acid bonded in the polyimide. It can obtain suitably.

前記(メタ)アクリロイル基を有する化合物としては、COOH基に対して付加反応性又は縮合反応性を有するグリシジル基と(メタ)アクリロイル基とを有する有機化合物、例えばグリシジルメタアクリレート、グリシジルアクリレート、グリシジルポリシロキシメタアクリレート、及びエポキシ基を1個有する(メタ)アクリロイル化合物(例えば、商品名:昭和高分子製ビニルエステル樹脂リポキシ630X−501)等を挙げることができる。   Examples of the compound having a (meth) acryloyl group include organic compounds having a glycidyl group and a (meth) acryloyl group having addition reactivity or condensation reactivity with respect to a COOH group, such as glycidyl methacrylate, glycidyl acrylate, and glycidyl poly. Examples thereof include siloxymethacrylate and a (meth) acryloyl compound having one epoxy group (for example, trade name: vinyl ester resin Lipoxy 630X-501 manufactured by Showa Polymer Co., Ltd.).

前記の重合反応、イミド化反応、及び(メタ)アクリロイル基を有する化合物の付加反応における有機溶媒としては、例えばN,N−ジメチルスルホキシド、N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジメチルアセトアミド、N,N−ジエチルアセトアミド、N−メチル−2−ピロリドン、ヘキサメチルリン酸トリアミド等が用いられる。   Examples of the organic solvent in the above polymerization reaction, imidation reaction, and addition reaction of a compound having a (meth) acryloyl group include N, N-dimethylsulfoxide, N, N-dimethylformamide, N, N-dimethylacetamide, N , N-diethylacetamide, N-methyl-2-pyrrolidone, hexamethylphosphoric triamide and the like are used.

この発明の感光性ポリイミドは、反応終了後に得られるところの、感光性ポリイミドを含有する感光性ポリイミド溶液をそのまま使用してもよいが、用途によっては、前記感光性ポリイミド溶液から単離した感光性ポリイミドを有機溶媒に溶解した感光性ポリイミド含有溶液を使用してもよい。   The photosensitive polyimide of the present invention is obtained after completion of the reaction, and a photosensitive polyimide solution containing a photosensitive polyimide may be used as it is. However, depending on the application, the photosensitive polyimide isolated from the photosensitive polyimide solution may be used. You may use the photosensitive polyimide containing solution which melt | dissolved the polyimide in the organic solvent.

この発明の感光性ポリイミドインク組成物は、感光性ポリイミドをその固形分濃度が20〜50重量%に調製されてなる組成物であることが好ましい。好適な感光性ポリイミドインク組成物は、前記感光性ポリイミドの外に、光重合開始剤、増感剤、チキソトロピー付与剤、消泡剤、硬化剤、及び耐熱補助剤等を含有することができる。また、この感光性ポリイミドインク組成物は、光硬化後の絶縁膜の特性を損なわない範囲で、(メタ)アクリロイル基含有の光架橋剤を含有していても良い。   The photosensitive polyimide ink composition of the present invention is preferably a composition obtained by preparing a photosensitive polyimide to a solid content concentration of 20 to 50% by weight. A suitable photosensitive polyimide ink composition may contain, in addition to the photosensitive polyimide, a photopolymerization initiator, a sensitizer, a thixotropy imparting agent, an antifoaming agent, a curing agent, and a heat-resistant auxiliary agent. The photosensitive polyimide ink composition may contain a (meth) acryloyl group-containing photocrosslinking agent as long as the properties of the insulating film after photocuring are not impaired.

前記光重合開始剤及び増感剤としては、ミヒラーケトン、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインプロピルエーテル、2−t−ブチルアントラキノン、1,2−ベンゾ−9,10−アントラキノン、4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、アセトフェノン、チオキサントン、2,4−ジエチルチオキサントン、2−クロロチオキサントン、[4−(メチルフェニルチオ)フェニル]フェニルメタン、p−ジメチルアミノ安息香酸イソアミルエステル、p−ジメチルアミノ安息香酸エチルエステル、1,5−アセナフテン、1−ヒドロキシ−シクロヘキシルフェニルケトン、2−ベンジル−1,2−ジメチルアミノ−1−(4−モルホリノフェニル)ブタン−1,1−ヒドロキシ−シクロヘキシルフェニルケトン等を挙げることができる。感光性ポリイミドインク組成物における前記光重合開始剤及び増感剤の含有量は、前記光重合開始剤及び増感剤の合計で、感光性ポリイミド100重量部に対して1〜30重量部、特に2〜15重量部が好ましい。   Examples of the photopolymerization initiator and sensitizer include Michler's ketone, benzoin, benzoin methyl ether, benzoin ethyl ether, benzoin propyl ether, 2-t-butylanthraquinone, 1,2-benzo-9,10-anthraquinone, 4,4 '-Bis (diethylamino) benzophenone, acetophenone, thioxanthone, 2,4-diethylthioxanthone, 2-chlorothioxanthone, [4- (methylphenylthio) phenyl] phenylmethane, p-dimethylaminobenzoic acid isoamyl ester, p-dimethylamino Benzoic acid ethyl ester, 1,5-acenaphthene, 1-hydroxy-cyclohexyl phenyl ketone, 2-benzyl-1,2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) butane-1,1-hydroxy-cyclo It may be mentioned cyclohexyl phenyl ketone. The content of the photopolymerization initiator and the sensitizer in the photosensitive polyimide ink composition is a total of the photopolymerization initiator and the sensitizer, and is 1 to 30 parts by weight, particularly 100 parts by weight of the photosensitive polyimide. 2 to 15 parts by weight is preferred.

前記架橋剤としては、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、テトラメチロールメタンテトラ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、リン酸(メタ)アクリレート等を挙げることができる。その添加量は感光性ポリイミド100重量部に対して、30重量部以下、特に15重量部以下添加することが好ましい。   Examples of the crosslinking agent include trimethylolpropane tri (meth) acrylate, tetramethylolmethane tetra (meth) acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, and phosphoric acid (meth) acrylate. The addition amount is preferably 30 parts by weight or less, particularly preferably 15 parts by weight or less with respect to 100 parts by weight of the photosensitive polyimide.

前記硬化剤として、耐熱性エポキシ樹脂等を好適例として挙げることができる。耐熱性エポキシ樹脂としては、O−クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、ビフェノール型エポキシ樹脂が好適である。感光性ポリイミドインク組成物における耐熱性エポキシ樹脂の含有量は、感光性ポリイミドの酸価、有機溶媒に対する相溶性を考慮して感光性ポリイミド100重量部に対して3〜20重量部、特に5〜10重量部が好ましい。   A heat-resistant epoxy resin etc. can be mentioned as a suitable example as said hardening | curing agent. As the heat resistant epoxy resin, O-cresol novolac type epoxy resin and biphenol type epoxy resin are suitable. The content of the heat-resistant epoxy resin in the photosensitive polyimide ink composition is 3 to 20 parts by weight, particularly 5 to 5 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the photosensitive polyimide in consideration of the acid value of the photosensitive polyimide and the compatibility with the organic solvent. 10 parts by weight is preferred.

また、この発明の感光性ポリイミドインク組成物には、アエロジル、マイカ、タルク、硫酸バリウム、及びワラストナイト等の微細なチキソトロピー付与剤及び耐熱補助剤を感光性ポリイミド100重量部に対し1〜10重量部の割合で含有することが好ましい。この感光性ポリイミドインク組成物は、その他に染料及び/又は顔料を含有させてもよい。これらの染料及び/又は顔料を含有することにより、感光性ポリイミドインク組成物は無色、黄色、青色及び緑色に着色させることができる。   Further, in the photosensitive polyimide ink composition of the present invention, a fine thixotropy imparting agent such as aerosil, mica, talc, barium sulfate, and wollastonite and a heat-resistant auxiliary agent are added in an amount of 1 to 10 with respect to 100 parts by weight of the photosensitive polyimide. It is preferable to contain in the ratio of a weight part. This photosensitive polyimide ink composition may further contain a dye and / or a pigment. By containing these dyes and / or pigments, the photosensitive polyimide ink composition can be colored colorless, yellow, blue and green.

この発明の感光性ポリイミド溶液に前記架橋剤、硬化補助剤、光開始剤等の種々の化合物を添加してなるスラリー混合物を例えば3本ロール等の混練装置で混練してインク化すると、感光性ポリイミドインク組成物が調製される。この感光性ポリイミドインク組成物は、必要に応じて粘度の調整をしてスクリーン印刷により、又はロールコータにより基板に塗工し、次いでプリベークしてタックフリーの状態にする。前記塗工により形成される塗膜の厚みは、通常5〜50μm、好ましくは10〜30μmである。タックフリー状態にされた塗膜をプリベークする際の加熱温度は90℃以下、好ましくは40〜80℃である。プリベークされて乾燥状態になっている塗膜の表面にネガ型のフォトマスクを密着させ、フォトマスク側から塗膜に向けて紫外線を照射する。次いで未露光部をシャワーを用いて現像液で洗い流すことにより、好適には更にポストベークすることにより、感光性ポリイミドインク組成物の硬化体で形成されたパターンを得ることができる。現像液は、有機化合物無含有の弱アルカリ性水溶液である。この有機化合物無含有の弱アルカリ性水溶液としては、苛性ソーダ、苛性カリ、及び炭酸ソーダ等を溶解して成る水溶液を挙げることができる。   When a slurry mixture obtained by adding various compounds such as the crosslinking agent, curing auxiliary agent, and photoinitiator to the photosensitive polyimide solution of the present invention is kneaded with a kneading apparatus such as a three-roller to form an ink, A polyimide ink composition is prepared. This photosensitive polyimide ink composition is adjusted to viscosity as necessary, applied to a substrate by screen printing or a roll coater, and then pre-baked to make it tack-free. The thickness of the coating film formed by the coating is usually 5 to 50 μm, preferably 10 to 30 μm. The heating temperature when pre-baking the coating film in a tack-free state is 90 ° C. or lower, preferably 40 to 80 ° C. A negative photomask is brought into close contact with the surface of the pre-baked and dried coating film, and ultraviolet rays are irradiated from the photomask side toward the coating film. Subsequently, the pattern formed with the hardening body of the photosensitive polyimide ink composition can be obtained by washing away an unexposed part with a developing solution using a shower, and preferably further post-baking. The developer is a weak alkaline aqueous solution containing no organic compound. Examples of the weak alkaline aqueous solution containing no organic compound include an aqueous solution obtained by dissolving caustic soda, caustic potash, sodium carbonate, and the like.

(実施例1)
(感光性ポリイミドの合成)
ビシクロ[2.2.2]オクト−7−エン−2,3,5,6−テトラカルボン酸二無水物(BTA)14.89gとオキシジフタル酸二無水物(ODPA)9.31gとをN−メチル−2−ピロリドン(NMP)50.0gに溶解し、室温で5,5’−メチレンビス[2−アミノ安息香酸](MBA)25.77gを添加し、次いで180℃で2時間反応させた。その2時間が経過した後に、温度100℃にてグリシジルメタクリレート11.37gを加え、0.5時間反応させて感光性ポリイミド溶液を得た。
Example 1
(Synthesis of photosensitive polyimide)
Bicyclo [2.2.2] oct-7-ene-2,3,5,6-tetracarboxylic dianhydride (BTA) 14.89 g and oxydiphthalic dianhydride (ODPA) 9.31 g are mixed with N- After dissolving in 50.0 g of methyl-2-pyrrolidone (NMP), 25.77 g of 5,5′-methylenebis [2-aminobenzoic acid] (MBA) was added at room temperature, and then reacted at 180 ° C. for 2 hours. After 2 hours, 11.37 g of glycidyl methacrylate was added at a temperature of 100 ° C. and reacted for 0.5 hour to obtain a photosensitive polyimide solution.

(感光性ポリイミドインク組成物の調製)
前記感光性ポリイミド溶液55gに、光重合開始剤としての2,4−ジエチルチオキサントン0.6g、ジメチルアミノ安息香酸エチル1.1g、トリメチロールプロパントリアクリレート4.5g、アエロジル1.0g、硫酸バリウム1.5g、及びビフェノール型エポキシ樹脂1.7gを、添加し、得られる混合物を3本ロールにて混練して感光性ポリイミドインク組成物を得た。この感光性ポリイミド中のモノマー組成とそのモル比を表1に、その感光性ポリイミドインク組成物を用いて形成された塗膜の特性評価を以下のようにして行い、その評価結果を表2に示す。
(Preparation of photosensitive polyimide ink composition)
To 55 g of the photosensitive polyimide solution, 0.6 g of 2,4-diethylthioxanthone as a photopolymerization initiator, 1.1 g of ethyl dimethylaminobenzoate, 4.5 g of trimethylolpropane triacrylate, 1.0 g of aerosil, barium sulfate 1 0.5 g and 1.7 g of a biphenol type epoxy resin were added, and the resulting mixture was kneaded with three rolls to obtain a photosensitive polyimide ink composition. The monomer composition and its molar ratio in this photosensitive polyimide are shown in Table 1, and the characteristics of the coating film formed using the photosensitive polyimide ink composition are evaluated as follows. The evaluation results are shown in Table 2. Show.

(塗膜の特性評価)
1.塗膜の溶解性
感光性ポリイミドインク組成物を銅張積層板に200メッシュのスクリーン版で印刷し、80℃に加熱しつつ30分間のプリベークをした後にネガ型パターンを真空密着させ、ORC HMW 680C メタルハライドランプ内蔵の露光機で波長365nmの紫外線を400mJ/cmの強度で照射した。次いで30℃に加温された1%炭酸ソーダ水溶液で15cmの距離から1kgf/cmのスプレーを1分間行い、その結果として未露光部にポリイミド塗膜が全く残らず、しかも露光部における硬化パターンの縦断面における角部分が丸みを帯びることなく切れが良いものを◎、硬化パターンの角部分が丸みを帯びていて切れが劣るものを○、未硬化の感光性ポリイミドが一部残っているものを△、未硬化のポリイミド塗膜の全部が残っているものを×として評価した。
(Characteristic evaluation of coating film)
1. Solubility of coating film A photosensitive polyimide ink composition was printed on a copper-clad laminate with a 200-mesh screen plate, pre-baked for 30 minutes while heating to 80 ° C., and then a negative pattern was vacuum-adhered to obtain ORC HMW 680C. An ultraviolet ray having a wavelength of 365 nm was irradiated at an intensity of 400 mJ / cm 2 with an exposure machine incorporating a metal halide lamp. Next, spraying 1 kgf / cm 2 from a distance of 15 cm with a 1% aqueous solution of sodium carbonate heated to 30 ° C. for 1 minute results in no polyimide coating remaining on the unexposed area and a cured pattern in the exposed area. ◎ that the corners in the vertical cross section are good without being rounded, ◎, the corner of the cured pattern is round and poorly cut ○, some uncured photosensitive polyimide remains △, and the case where all of the uncured polyimide coating film remained was evaluated as x.

2.折り曲げ性
15μmの銅箔に感光性ポリイミドインク組成物を塗布し、80℃に加熱しつつ30分間のプリベークをした後に、メタルハライドランプ内蔵の露光機で波長365nmの紫外線を400mJ/cmの強度で照射した。次いで150℃に加熱しつつ60分間のポストベークをして塗膜を外側にして内側に180度折り曲げた。折り曲げた線上の塗膜に変化がないものを○、一部に僅かに細かい傷を生じたけれど実用上問題なしと判定されたものを○、全体的に亀裂を生じたものを×と評価した。
2. Bending property A photosensitive polyimide ink composition is applied to a 15 μm copper foil, pre-baked for 30 minutes while being heated to 80 ° C., and then an ultraviolet ray having a wavelength of 365 nm is applied at an intensity of 400 mJ / cm 2 with an exposure machine with a built-in metal halide lamp. Irradiated. Subsequently, the film was post-baked for 60 minutes while being heated to 150 ° C., and the coating film was turned outward and folded inward by 180 degrees. No change in the coating film on the bent line is evaluated as ◯, some fine scratches are judged as having no problem in practical use, ○ , and cracks as a whole are evaluated as ×. did.

3.反り性
膜厚12.5μmの50mm平方のポリイミドフィルムの表面に感光性ポリイミドインク組成物を塗布し、80℃に加熱しつつ30分間のプリベークをした後に、メタルハライドランプ内蔵の露光機で波長365nmの紫外線を400mJ/cmの紫外線を照射し、その後にさらに150℃に加熱しつつ60分間のポストベークをした結果としてフィルム全体の反りが5mm以下のものを○、反りが6〜10mmのものを○、反りが10mmを越えるものを×と評価した。
3. Warpability A photosensitive polyimide ink composition was applied on the surface of a 50 mm square polyimide film having a thickness of 12.5 μm, prebaked for 30 minutes while being heated to 80 ° C., and then exposed to a wavelength of 365 nm with an exposure machine with a built-in metal halide lamp. As a result of irradiating ultraviolet rays of 400 mJ / cm 2 and then post-baking for 60 minutes while further heating to 150 ° C., a film having a warp of 5 mm or less and a warp of 6 to 10 mm ○ - , and a warp exceeding 10 mm was evaluated as x.

4.はんだ耐熱性
感光性ポリイミドインク組成物を銅張積層板にスクリーン印刷し、プリベークした後に、紫外線を400mJ/cm照射し、150℃に加熱しつつ60分間のポストベークをした後、フラックスを表面に塗り、その面を260℃のはんだ溶融面に10秒間浮かせて接触させた。その結果として、塗膜の膨れ、剥離、変色等が認められないものを○、多少認められるものを△、塗膜が流れたり、ふくれたり、変色したりしたものを×として評価した。
4). Solder heat resistance A photosensitive polyimide ink composition is screen-printed on a copper clad laminate, pre-baked, irradiated with ultraviolet light at 400 mJ / cm 2 , heated at 150 ° C. for 60 minutes, and then flux is applied to the surface. The surface was floated and brought into contact with the solder melting surface at 260 ° C. for 10 seconds. As a result, it was evaluated as “◯” when no swelling, peeling or discoloration of the coating film was observed, “Δ” when the coating film was somewhat recognized, and “X” when the coating film flowed, swollen or discolored.

5.密着性
ポストベークした後の塗膜と、前記「はんだ耐熱性」を評価したときの、はんだ溶融面に接触させた後の塗膜とのそれぞれについてクロスカットし、クロスカット面に接着したセロテープ(登録商標)を剥離することにより評価した。クロスカットにより形成された碁盤目の一つも剥離しなかったものを○、碁盤目の一つでも剥離したものを×と評価した。
5). Adhesiveness A tape that is cross-cut for each of the coating film after post-baking and the coating film after contacting the solder melt surface when evaluating the “solder heat resistance” and adhered to the cross-cut surface ( (Registered trademark) was evaluated by peeling. The case where none of the grids formed by cross-cutting was peeled was evaluated as ◯, and the case where even one of the grids was peeled off was evaluated as x.

(実施例2)
(感光性ポリイミドの合成)
オキシジフタル酸二無水物(ODPA)6.2gとジアミノポリシロキサン(信越化学工業株式会社製 KF-8010)(アミノ当量410)(DAPS)8.2gをN−メチル−2−ピロリドン(NMP)36.4gに溶解し、180℃に加熱して2時間反応させた。引き続き、室温で5,5’−メチレンビス[2−アミノ安息香酸](MBA)14.31gとビシクロ[2.2.2]オクト−7−エン−2,3,5,6−テトラカルボン酸二無水物(BTA)9.93gとを順次に添加し、次いで180℃で2時間反応させた。その2時間が経過した後に、温度100℃にてグリシジルメタクリレート1.6gを加え、0.5時間反応させて感光性ポリイミド溶液を得た。
(Example 2)
(Synthesis of photosensitive polyimide)
6.2 g of oxydiphthalic dianhydride (ODPA) and diaminopolysiloxane (KF-8010 manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) (amino equivalent 410) (DAPS) 8.2 g of N-methyl-2-pyrrolidone (NMP) 36. Dissolved in 4 g, heated to 180 ° C. and reacted for 2 hours. Subsequently, at room temperature, 14.31 g of 5,5′-methylenebis [2-aminobenzoic acid] (MBA) and bicyclo [2.2.2] oct-7-ene-2,3,5,6-tetracarboxylic acid Anhydrous (BTA) 9.93 g was sequentially added and then reacted at 180 ° C. for 2 hours. After 2 hours, 1.6 g of glycidyl methacrylate was added at a temperature of 100 ° C. and reacted for 0.5 hour to obtain a photosensitive polyimide solution.

(感光性ポリイミドインク組成物の調製)
前記感光性ポリイミド溶液から実施例1と同様にして感光性ポリイミドインク組成物を調製し、評価を行った。この感光性ポリイミド中のモノマー組成を表1に、また感光性ポリイミドインク組成物を用いて形成された塗膜に関する評価を、前記実施例と同様にして行い、その評価結果を表2に示す。
(Preparation of photosensitive polyimide ink composition)
A photosensitive polyimide ink composition was prepared from the photosensitive polyimide solution in the same manner as in Example 1, and evaluated. The monomer composition in the photosensitive polyimide is shown in Table 1, and the evaluation of the coating film formed using the photosensitive polyimide ink composition is performed in the same manner as in the above Examples. The evaluation results are shown in Table 2.

(実施例3)
(感光性ポリイミドの合成)
ビシクロ[2.2.2]オクト−7−エン−2,3,5,6−テトラカルボン酸二無水物(BTA)12.41gにN−メチル7−2−ピロリドン(NMP)35.3gを加えてこれに溶解し、5,5'−メチレンビス[2−アミノ安息香酸](MBA)8.59gと3,3‘−ジヒドロキシ4,4’−ジアミノジフェニル(HAB)4.32gとを添加して180℃に加熱しつつ2時間反応させた。次いでグリシジルメタクリレート8.20gを加えて100℃に加熱しつつ0.5時間反応させることにより感光性ポリイミド溶液を得た。
Example 3
(Synthesis of photosensitive polyimide)
Bicyclo [2.2.2] octo-7-ene-2,3,5,6-tetracarboxylic dianhydride (BTA) 12.41 g N-methyl 7-2-pyrrolidone (NMP) 35.3 g In addition, dissolved in this, 8.59 g of 5,5′-methylenebis [2-aminobenzoic acid] (MBA) and 4.32 g of 3,3′-dihydroxy 4,4′-diaminodiphenyl (HAB) were added. And reacted for 2 hours while heating to 180 ° C. Next, 8.20 g of glycidyl methacrylate was added and reacted for 0.5 hour while heating to 100 ° C. to obtain a photosensitive polyimide solution.

(感光性ポリイミドインク組成物の調製)
前記感光性ポリイミド溶液から実施例1と同様にして感光性ポリイミドインク組成物を調製し、評価を行った。この感光性ポリイミド中のモノマー組成を表1に、また感光性ポリイミドインク組成物を用いて形成された塗膜に関する評価を、前記実施例と同様にして行い、その評価結果を表2に示す。
(Preparation of photosensitive polyimide ink composition)
A photosensitive polyimide ink composition was prepared from the photosensitive polyimide solution in the same manner as in Example 1, and evaluated. The monomer composition in the photosensitive polyimide is shown in Table 1, and the evaluation of the coating film formed using the photosensitive polyimide ink composition is performed in the same manner as in the above Examples. The evaluation results are shown in Table 2.

(実施例4)
(感光性ポリイミドの合成)
2,3,5−トリカルボキシシクロペンチルアセチル二無水物(TCDA)11.21gにN−メチル7−2−ピロリドン(NMP)34.5gを加えて溶解し、5,5’−メチレンビス[2−アミノ安息香酸](MBA)8.59gと3,3’−ヒドロキシ4,4’−ジアミノジフェニル(HAB)4.32gを添加し180℃で2時間反応した。次いで温度100℃にてグリシジルメタクリレート8.5gを加え0.5時間反応させて感光性ポリイミド溶液を得た。
Example 4
(Synthesis of photosensitive polyimide)
To 11.21 g of 2,3,5-tricarboxycyclopentylacetyl dianhydride (TCDA), 34.5 g of N-methyl 7-2-pyrrolidone (NMP) was added and dissolved, and 5,5′-methylenebis [2-amino Benzoic acid] (MBA) 8.59 g and 3,3′-hydroxy 4,4′-diaminodiphenyl (HAB) 4.32 g were added and reacted at 180 ° C. for 2 hours. Next, 8.5 g of glycidyl methacrylate was added at a temperature of 100 ° C. and reacted for 0.5 hours to obtain a photosensitive polyimide solution.

(感光性ポリイミドインク組成物の調製)
前記感光性ポリイミド溶液から実施例1と同様にして感光性ポリイミドインク組成物を調製し、実施例1におけるのと同様の評価を行った。この感光性ポリイミド中のモノマー組成を表1に、また感光性ポリイミドインク組成物に関する評価結果を表2に示す。
(Preparation of photosensitive polyimide ink composition)
A photosensitive polyimide ink composition was prepared from the photosensitive polyimide solution in the same manner as in Example 1, and the same evaluation as in Example 1 was performed. The monomer composition in the photosensitive polyimide is shown in Table 1, and the evaluation results regarding the photosensitive polyimide ink composition are shown in Table 2.

(比較例1)
オキシジフタル酸二無水物(ODPA)を使用しなかった以外は実施例1と同様にして感光性ポリイミドインク組成物を調製した。しかしながら、紫外線照射部分も炭酸ソーダ水溶液に溶解してしまい、光硬化特性を見出すことができなかった。したがって、表2には評価の記号を記載することができなかった。
(Comparative Example 1)
A photosensitive polyimide ink composition was prepared in the same manner as in Example 1 except that oxydiphthalic dianhydride (ODPA) was not used. However, the ultraviolet irradiation part was also dissolved in the aqueous sodium carbonate solution, and no photocuring characteristics could be found. Therefore, the symbol of evaluation could not be described in Table 2.

(比較例2)
5,5'−メチレンビス[2−アミノ安息香酸](MBA)の代わりに2,2’−ビス(3−アミノ−4−ヒドロキシフェニル)ヘキサフルオロプロパン(BAFA)を使用し、オキシジフタル酸二無水物(ODPA)を使用しなかった以外は、前記実施例1と同様にして感光性ポリイミドインク組成物を調製した。しかしながら、未露光部分は炭酸ソーダ水溶液に不溶であり、光硬化特性は測定できなかった。したがって、表2には評価の記号を記載することができなかった。
(Comparative Example 2)
Oxydiphthalic dianhydride using 2,2′-bis (3-amino-4-hydroxyphenyl) hexafluoropropane (BAFA) instead of 5,5′-methylenebis [2-aminobenzoic acid] (MBA) A photosensitive polyimide ink composition was prepared in the same manner as in Example 1 except that (ODPA) was not used. However, the unexposed portion was insoluble in the sodium carbonate aqueous solution, and the photocuring characteristics could not be measured. Therefore, the symbol of evaluation could not be described in Table 2.

(比較例3)
実施例1において5,5'−メチレンビス[2−アミノ安息香酸](MBA)に代えて3,5−ジアミノ安息香酸(DABA)を使用した以外は実施例1と同様に行って、感光性ポリイミドインク組成物を調製した。しかしながら、未露光部分は炭酸ソーダ水溶液に不溶であり、光硬化特性は測定できなかった。したがって、表2には評価の記号を記載することができなかった。
(Comparative Example 3)
A photosensitive polyimide was prepared in the same manner as in Example 1 except that 3,5-diaminobenzoic acid (DABA) was used instead of 5,5′-methylenebis [2-aminobenzoic acid] (MBA) in Example 1. An ink composition was prepared. However, the unexposed portion was insoluble in the sodium carbonate aqueous solution, and the photocuring characteristics could not be measured. Therefore, the symbol of evaluation could not be described in Table 2.

(比較例4)
実施例1において5,5'−メチレンビス[2−アミノ安息香酸](MBA)の3分の1をジアミノジフェニルエーテル(DADE)に置き換えた以外は同様にして、感光性ポリイミドインク組成物を調製した。しかしながら、未露光部分は炭酸ソーダ水溶液に不溶であり、光硬化特性は測定できなかった。したがって、表2には評価の記号を記載することができなかった。
(Comparative Example 4)
A photosensitive polyimide ink composition was prepared in the same manner as in Example 1, except that one third of 5,5′-methylenebis [2-aminobenzoic acid] (MBA) was replaced with diaminodiphenyl ether (DADE). However, the unexposed portion was insoluble in the sodium carbonate aqueous solution, and the photocuring characteristics could not be measured. Therefore, the symbol of evaluation could not be described in Table 2.

Figure 2010209309
Figure 2010209309

BTA:ビシクロ[2.2.2]オクト−7−エン−2,3,5,6−テトラカルボン酸二無水物
TCDA:2,3,5−トリカルボキシシクロペンチル酢酸二無水物
ODPA:4,4’−オキシジフタル酸二無水物
MBA:5,5’−メチレンビス[2−アミノ安息香酸]
BAFA:2,2’−ビス(3−アミノ−4−ヒドロキシフェニル)ヘキサフルオロプロパン
DABA:3,5−ジアミノ安息香酸
DAPS:ジアミノポリシロキサン
HAB:3,3’−ヒドロキシ4,4’−ジアミノジフェニル
DADE:ジアミノジフェニルエーテル
BTA: bicyclo [2.2.2] oct-7-ene-2,3,5,6-tetracarboxylic dianhydride TCDA: 2,3,5-tricarboxycyclopentylacetic acid dianhydride ODPA: 4,4 '-Oxydiphthalic dianhydride MBA: 5,5'-methylenebis [2-aminobenzoic acid]
BAFA: 2,2′-bis (3-amino-4-hydroxyphenyl) hexafluoropropane DABA: 3,5-diaminobenzoic acid DAPS: diaminopolysiloxane HAB: 3,3′-hydroxy 4,4′-diaminodiphenyl DADE: Diaminodiphenyl ether

Figure 2010209309
Figure 2010209309

(実施例5)
実施例1において硫酸バリウムに代えてタルクを使用した他は同様に行って、感光性ポリイミドインク組成物を調製した。結果は同じく良好であった。
(Example 5)
A photosensitive polyimide ink composition was prepared in the same manner as in Example 1 except that talc was used instead of barium sulfate. The result was also good.

(実施例6)
(感光性ポリイミドの合成)
ビシクロ[2.2.2]オクト−7−エン−2,3,5,6−テトラカルボン酸二無水物(BTA)24.82gをN−メチル−2−ピロロドン(NMP)105gに溶解させ、得られた溶液にジアミノポリシロキサン(アミノ当量410)(DAPS)31.16gを注入し、注入後に180℃に加熱しながら2時間の反応を行った。次いで室温に戻し、5,5’−メチレンビス[2−アミノ安息香酸](MBA)17.75gを添加し、180℃で2時間反応させた。次いで、温度100℃にてグリシジルメタクリレート7.1gを注入し、0.5時間反応させて感光性ポリイミド溶液を得た。
(Example 6)
(Synthesis of photosensitive polyimide)
24.82 g of bicyclo [2.2.2] oct-7-ene-2,3,5,6-tetracarboxylic dianhydride (BTA) was dissolved in 105 g of N-methyl-2-pyrrolodon (NMP), To the obtained solution, 31.16 g of diaminopolysiloxane (amino equivalent 410) (DAPS) was injected, and the reaction was performed for 2 hours while heating to 180 ° C. after the injection. Next, the temperature was returned to room temperature, 17.75 g of 5,5′-methylenebis [2-aminobenzoic acid] (MBA) was added, and the mixture was reacted at 180 ° C. for 2 hours. Next, 7.1 g of glycidyl methacrylate was injected at a temperature of 100 ° C. and reacted for 0.5 hour to obtain a photosensitive polyimide solution.

(感光性ポリイミドインク組成物の調製)
上記の感光性ポリイミド溶液100質量部に、光重合開始剤2,4−ジエチルチオキサントン2重量部、p−ジメチルアミノ安息香酸イソアミル4重量部、トリメチロールプロパントリアクリレート15重量部、ビフェノール型エポキシ樹脂YX4000HK6重量部、硫酸バリウム5重量部、泡消剤1重量部を添加し、3本ロールにて混練して感光性ポリイミドインク組成物を調製した。
(Preparation of photosensitive polyimide ink composition)
To 100 parts by weight of the above-mentioned photosensitive polyimide solution, 2 parts by weight of photopolymerization initiator 2,4-diethylthioxanthone, 4 parts by weight of isoamyl p-dimethylaminobenzoate, 15 parts by weight of trimethylolpropane triacrylate, biphenol type epoxy resin YX4000HK6 A photosensitive polyimide ink composition was prepared by adding 5 parts by weight, 5 parts by weight of barium sulfate, and 1 part by weight of a defoaming agent, and kneading with three rolls.

上記のようにして得られた感光性ポリイミドインク組成物を用いて以下の評価を行った。   The following evaluation was performed using the photosensitive polyimide ink composition obtained as described above.

(感度と解像性)
感光性ポリイミドインク組成物を銅張積層板に200メッシュのスクリーン版で印刷し、得られた印刷物を80℃に保った熱風循環式定温乾燥器に30分間放置して乾燥した後に、乾燥後の印刷物における膜厚13μmの塗膜に種々のパターン径を持つネガ型テストパターンフイルムを真空密着させ、ネガ型テストパターンフィルム側からORC HMW 680C メタルハライドランプ内蔵の露光機で波長365nmで、且つ400mJ/cm2の紫外線を照射した。紫外線の照射後に、ネガ型テストパターンフィルムを取り除き、露出した塗膜に30℃に保持された1%炭酸ソーダ水溶液を塗膜表面から15cmの距離から1分間1kgf/cm2の噴射圧でスプレーし、さらに30℃の温水を噴霧してリンスを行った。リンス後に、乾燥して観察したところ、紫外線照射部分が硬化しており、紫外線未露光部は洗い流されていて切れの良い150μmの円形開口となっていることが認められた。
(Sensitivity and resolution)
The photosensitive polyimide ink composition was printed on a copper-clad laminate with a 200-mesh screen plate, and the obtained printed matter was left to dry for 30 minutes in a hot air circulation type constant temperature dryer maintained at 80 ° C. Negative type test pattern films with various pattern diameters are vacuum-contacted to the 13 μm thick film on the printed matter, and from the negative type test pattern film side with an exposure machine with ORC HMW 680C metal halide lamp at a wavelength of 365 nm and 400 mJ / cm 2 UV rays were irradiated. After UV irradiation, the negative test pattern film is removed, and the exposed coating film is sprayed with a 1% sodium carbonate aqueous solution kept at 30 ° C. at a spraying pressure of 1 kgf / cm 2 for 1 minute from a distance of 15 cm from the coating surface. Further, rinsing was performed by spraying 30 ° C. hot water. After rinsing, when dried and observed, it was confirmed that the ultraviolet-irradiated portion was cured, and the unexposed portion of the ultraviolet ray was washed away and had a well-cut 150 μm circular opening.

(折り曲げ性)
前記塗膜の特性評価欄に記載された手法と同様にして折り曲げ性を評価した。その評価結果は○であり、折り曲げた線上に塗膜の亀裂や剥離は生じなかった。
(Bendability)
The bendability was evaluated in the same manner as described in the property evaluation column of the coating film. The evaluation result was ◯, and no crack or peeling of the coating film occurred on the bent line.

(反り性)
前記塗膜の特性評価欄に記載された手法と同様にして反り性を評価した。その評価結果は○であり、フィルムの反りは4〜5mmであった。
(Warpage)
The warpage was evaluated in the same manner as described in the property evaluation column of the coating film. The evaluation result was (circle) and the curvature of the film was 4-5 mm.

(はんだ耐熱性)
前記塗膜の特性評価欄に記載された手法と同様にしてはんだ耐熱性を評価した。その評価結果は○であり、塗膜のふくれ、剥離、変色等が認められなかった。
(Solder heat resistance)
The solder heat resistance was evaluated in the same manner as described in the property evaluation column of the coating film. The evaluation result was ○, and no blistering, peeling, or discoloration of the coating film was observed.

(密着性)
前記塗膜の特性評価欄に記載された手法と同様にして密着性を評価した。その評価結果は○であり、塗膜の剥離は認められなかった。
(Adhesion)
Adhesion was evaluated in the same manner as described in the property evaluation column of the coating film. The evaluation result was ○, and peeling of the coating film was not recognized.

(金めっき耐性)
感光性ポリイミドインク組成物を銅張積層板に200メッシュのスクリーン版で印刷し、80℃、30分プリベークした後、膜厚13μmの塗膜にネガ型テストパターンフイルムを真空密着させ、ORC HMW 680C メタルハライドランプ内蔵の露光機で波長365nmの紫外線を400mJ/cm照射後、30℃、1%炭酸ソーダ水溶液でスプレー現像を行い、パターンが得られたものを150℃、60分間ベークしたものを用いて、めっき試験を行った。
(Gold plating resistance)
The photosensitive polyimide ink composition was printed on a copper-clad laminate with a 200-mesh screen plate, pre-baked at 80 ° C. for 30 minutes, and then a negative test pattern film was vacuum-adhered to a 13 μm-thick coating film, and ORC HMW 680C Using an exposure machine with a built-in metal halide lamp irradiated with 400mJ / cm 2 of 365nm UV light, spray developed with 30% 1% sodium carbonate aqueous solution and baked at 150 ° C for 60 minutes. Then, a plating test was conducted.

ICPニコロンGM(奥野製薬株式会社製 無電解ニッケルめっき液)の使用法に従って作業したところ塗膜が侵されることなく切れの良いニッケルめっきがなされていた。   When working according to the usage method of ICP Nicolon GM (Okuno Pharmaceutical Co., Ltd. electroless nickel plating solution), the nickel coating was cut well without the coating film being attacked.

通常の場合、金めっきは、基材又は素材の表面に形成されたNiめっきの表面に、形成される。Niめっきを行うに使用される前処理液及びめっき液は、金メッキを行う際の処理液及びめっき液よりも酸性が強い。したがって、Niめっきを問題なく行うことができるならば金めっきも問題なく行うことができる。上述のように良好なNiめっきを行うことができることにより、感光性ポリイミドインク組成物を用いて形成された塗膜に紫外線を露光することにより形成された硬化物部分の表面にNiめっきを形成することができたことは、金めっきも良好に行うことができると、結論することができる。   Usually, gold plating is formed on the surface of Ni plating formed on the surface of a base material or a raw material. The pretreatment liquid and plating liquid used for performing Ni plating have stronger acidity than the processing liquid and plating liquid used for gold plating. Therefore, if Ni plating can be performed without problems, gold plating can also be performed without problems. By being able to perform good Ni plating as described above, Ni plating is formed on the surface of the cured product formed by exposing the coating film formed using the photosensitive polyimide ink composition to ultraviolet rays. It can be concluded that the gold plating can be performed well.

(実施例7)
(感光性ポリイミドの合成)
シクロヘキサンテトラカルボン酸二無水物(HPMDA)13.45gと4,4'-オキシジフタル酸二無水物(ODPA)4.65gとをN−メチル-2-ピロリドン33gに溶解し、室温で5,5'-メチレンビス[2−アミノ安息香酸](MBA)21.47gを添加し、次いで2時間室温に維持した。その後に、180℃で2時間反応させた。反応終了後に、100℃にてグリシジルメタクリレート10.67gを加え、0.5時間反応させて感光性ポリイミド溶液を得た。
(Example 7)
(Synthesis of photosensitive polyimide)
13.45 g of cyclohexanetetracarboxylic dianhydride (HPMDA) and 4.65 g of 4,4′-oxydiphthalic dianhydride (ODPA) are dissolved in 33 g of N-methyl-2-pyrrolidone, and 5.5 ′ at room temperature. -21.47 g of methylenebis [2-aminobenzoic acid] (MBA) was added and then maintained at room temperature for 2 hours. Then, it was made to react at 180 degreeC for 2 hours. After completion of the reaction, 10.67 g of glycidyl methacrylate was added at 100 ° C. and reacted for 0.5 hour to obtain a photosensitive polyimide solution.

(感光性ポリイミドインク組成物の調製)
実施例1に記載された感光性ポリイミド溶液の代わりに上記感光性ポリイミド溶液を使用したほかは、前記実施例1と同様にして感光性ポリイミドインク組成物を得た。この感光性ポリイミドインク組成物に含まれる感光性ポリイミドのモノマー組成とそのモル比とを表3に、その感光性ポリイミドインク組成物に関する評価結果を表4に示す。
(Preparation of photosensitive polyimide ink composition)
A photosensitive polyimide ink composition was obtained in the same manner as in Example 1 except that the photosensitive polyimide solution was used instead of the photosensitive polyimide solution described in Example 1. Table 3 shows the monomer composition and molar ratio of the photosensitive polyimide contained in this photosensitive polyimide ink composition, and Table 4 shows the evaluation results regarding the photosensitive polyimide ink composition.

なお、この感光性ポリイミドインク組成物に関する評価は、以下のようにして行った。   In addition, evaluation regarding this photosensitive polyimide ink composition was performed as follows.

(塗膜の特性評価)
1.塗膜の溶解性
400mJ/cmの紫外線を照射する代わりに600mJ/cmの紫外線を照射した外は前記実施例1におけるのと同様にして塗膜の溶解性の評価を行った。
(Characteristic evaluation of coating film)
1. Outside was irradiated with ultraviolet rays of 600 mJ / cm 2 instead of irradiation with ultraviolet rays of soluble 400 mJ / cm 2 of the coating film was evaluated for dissolution of the coating in the same manner as in Example 1.

2.折り曲げ性
実施例1におけるのと同様にして折り曲げ性を評価した。
2. Bendability The bendability was evaluated in the same manner as in Example 1.

3.反り性
実施例1におけるのと同様にして反り性を評価した。
3. Warpage property The warpage property was evaluated in the same manner as in Example 1.

4.はんだ耐熱性
紫外線を400mJ/cmの強度で照射する代わりに紫外線を600mJ/cmの紫外線を照射した外は前記実施例1におけるのと同様にして塗膜のはんだ耐熱性の評価を行った。
4). Outside was irradiated with ultraviolet rays of 600 mJ / cm 2 ultraviolet instead of irradiating the solder heat resistance UV at an intensity of 400 mJ / cm 2 was evaluated for solder heat resistance of the coating film in the same manner as in Example 1 .

5.密着性
実施例1におけるのと同様にして密着性を評価した。
5). Adhesiveness The adhesiveness was evaluated in the same manner as in Example 1.

6.光沢性
ポストベーク後の塗膜について、その表面に光沢が有るものを○、光沢が無いものを×と評価した。
6). Glossiness Regarding the coating film after the post-baking, the surface having a gloss was evaluated as “◯”, and the film having no gloss was evaluated as “X”.

(実施例8)
(感光性ポリイミドの合成)
シクロヘキサンテトラカルボン酸二無水物(HPMDA)17.93gと4,4'-オキシジフタル酸二無水物(ODPA)6.20gとをN−メチル-2-ピロリドン48gに溶解させ、5,5'-メチレンビス[2−アミノ安息香酸](MBA)17.18gとジアミノポリシロキサン(信越化学工業株式会社製 KF−8010)(DAPS)33.20gを添加し、室温で1時間、その後に180℃で2時間反応させた。次いで温度を100℃に下げてグリシジルメタクリレート8.53gを加え、0.5時間反応させて感光性ポリイミド溶液を得た。
(Example 8)
(Synthesis of photosensitive polyimide)
17.93 g of cyclohexanetetracarboxylic dianhydride (HPMDA) and 6.20 g of 4,4′-oxydiphthalic dianhydride (ODPA) were dissolved in 48 g of N-methyl-2-pyrrolidone, and 5,5′-methylenebis [2-aminobenzoic acid] (MBA) (17.18 g) and diaminopolysiloxane (KF-8010, Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) (DAPS) (33.20 g) were added, and the mixture was added at room temperature for 1 hour and then at 180 ° C for 2 hours. Reacted. Next, the temperature was lowered to 100 ° C., 8.53 g of glycidyl methacrylate was added and reacted for 0.5 hour to obtain a photosensitive polyimide solution.

(感光性ポリイミドインク組成物の調製)
上記の感光性ポリイミド溶液から実施例7と同様にして感光性ポリイミドインクを調製し、実施例7におけるのと同様の評価を行った。この感光性ポリイミドインク組成物に含まれる感光性ポリイミドのモノマー組成とそのモル比とを表3に、その感光性ポリイミドインク組成物に関する評価結果を表4に示す。
(Preparation of photosensitive polyimide ink composition)
A photosensitive polyimide ink was prepared from the above photosensitive polyimide solution in the same manner as in Example 7, and the same evaluation as in Example 7 was performed. Table 3 shows the monomer composition and molar ratio of the photosensitive polyimide contained in this photosensitive polyimide ink composition, and Table 4 shows the evaluation results regarding the photosensitive polyimide ink composition.

(実施例9)
(感光性ポリイミドの合成)
シクロヘキサンテトラカルボン酸二無水物(HPMDA)8.96gとビシクロヘキシルテトラカルボン酸二無水物(HBPDA)12.41gとをN−メチル-2-ピロリドン30gに溶解させ、5,5'-メチレンビス[2−アミノ安息香酸](MBA)20.04gとビス4−アミノフェノキシフェニルプロパン(BAPP)4.10gとを添加して室温で1時間、180℃で2時間反応させた。次いで温度を100℃に下げてグリシジルメタクリレート8.53gを加え、30分反応させて感光性ポリイミド溶液を得た。
Example 9
(Synthesis of photosensitive polyimide)
8.96 g of cyclohexanetetracarboxylic dianhydride (HPMDA) and 12.41 g of bicyclohexyltetracarboxylic dianhydride (HBPDA) were dissolved in 30 g of N-methyl-2-pyrrolidone, and 5,5′-methylenebis [2 -Aminobenzoic acid] (MBA) 20.04 g and bis 4-aminophenoxyphenylpropane (BAPP) 4.10 g were added and reacted at room temperature for 1 hour and at 180 ° C. for 2 hours. Next, the temperature was lowered to 100 ° C., 8.53 g of glycidyl methacrylate was added and reacted for 30 minutes to obtain a photosensitive polyimide solution.

(感光性ポリイミドインク組成物の調製)
上記の感光性ポリイミド溶液から実施例7と同様にして感光性ポリイミドインク組成物を調製し、実施例7におけるのと同様の評価を行った。この感光性ポリイミドインク組成物に含まれる感光性ポリイミドのモノマー組成とそのモル比とを表3に、その感光性ポリイミドインク組成物に関する評価結果を表4に示す。
(Preparation of photosensitive polyimide ink composition)
A photosensitive polyimide ink composition was prepared from the above photosensitive polyimide solution in the same manner as in Example 7, and the same evaluation as in Example 7 was performed. Table 3 shows the monomer composition and molar ratio of the photosensitive polyimide contained in this photosensitive polyimide ink composition, and Table 4 shows the evaluation results regarding the photosensitive polyimide ink composition.

(実施例10)
(感光性ポリイミドの合成)
シクロヘキサンテトラカルボン酸二無水物(HPMDA)17.93gとビフェニルテトラカルボン酸二無水物(BPDA)5.88gとをN−メチル-2-ピロリドン48gに溶解させ、5,5'-メチレンビス[2−アミノ安息香酸](MBA)18.60gと3,5−ジアミノ安息香酸(DABA)5.32gとを添加して室温で1時間、180℃で2時間反応させた。次いで温度を100℃に下げてグリシジルメタクリレート8.53gを加え30分反応させて感光性ポリイミド溶液を得た。
(Example 10)
(Synthesis of photosensitive polyimide)
17.93 g of cyclohexanetetracarboxylic dianhydride (HPMDA) and 5.88 g of biphenyltetracarboxylic dianhydride (BPDA) are dissolved in 48 g of N-methyl-2-pyrrolidone, and 5,5′-methylenebis [2- Aminobenzoic acid] (MBA) 18.60 g and 3,5-diaminobenzoic acid (DABA) 5.32 g were added and reacted at room temperature for 1 hour and at 180 ° C. for 2 hours. Next, the temperature was lowered to 100 ° C., 8.53 g of glycidyl methacrylate was added and reacted for 30 minutes to obtain a photosensitive polyimide solution.

(感光性ポリイミドインク組成物の調製)
上記の感光性ポリイミド溶液から実施例7と同様にして感光性ポリイミドインク組成物を調製し、実施例7におけるのと同様の評価を行った。この感光性ポリイミドインク組成物に含まれる感光性ポリイミドのモノマー組成とそのモル比とを表3に、その感光性ポリイミドインク組成物に関する評価結果を表4に示す。
(Preparation of photosensitive polyimide ink composition)
A photosensitive polyimide ink composition was prepared from the above photosensitive polyimide solution in the same manner as in Example 7, and the same evaluation as in Example 7 was performed. Table 3 shows the monomer composition and molar ratio of the photosensitive polyimide contained in this photosensitive polyimide ink composition, and Table 4 shows the evaluation results regarding the photosensitive polyimide ink composition.

(実施例11)
実施例7においてシクロヘキサンテトラカルボン酸二無水物(HPMDA)の代わりにビシクロ[2.2.2]オクト−7−エン−2,3,5,6−テトラカルボン酸二無水物(BTA)を使用した外は前記実施例7におけるのと同様にして得られた感光性ポリイミド溶液を用いて調製された感光性ポリイミドインク組成物を実施例7におけるのと同様にし塗膜を形成してその塗膜の評価を行った。この感光性ポリイミドインク組成物に含まれる感光性ポリイミドのモノマー組成とそのモル比とを表3に、その感光性ポリイミドインク組成物に関する評価結果を表4に示す。特に、現像後におけるパターンの切れが劣り、塗膜の光沢がなかった。
(Example 11)
In Example 7, bicyclo [2.2.2] oct-7-ene-2,3,5,6-tetracarboxylic dianhydride (BTA) was used instead of cyclohexanetetracarboxylic dianhydride (HPMDA). In the same manner as in Example 7, a photosensitive polyimide ink composition prepared using a photosensitive polyimide solution obtained in the same manner as in Example 7 was formed to form a coating film in the same manner as in Example 7. Was evaluated. Table 3 shows the monomer composition and molar ratio of the photosensitive polyimide contained in this photosensitive polyimide ink composition, and Table 4 shows the evaluation results regarding the photosensitive polyimide ink composition. In particular, the pattern cut after development was inferior and the coating film was not glossy.

(実施例12)
実施例8におけるシクロヘキサンテトラカルボン酸二無水物(HPMDA)の代わりにビシクロ[2.2.2]オクト−7−エン−2,3,5,6−テトラカルボン酸二無水物(BTA)を使用し、5,5’−メチレンビス[2−アミノ安息香酸](MBA)の組成比を上げた外は前記実施例8と同様に実施して炭酸ソーダ水に溶解性が向上すると思われる感光性ポリイミドを含有する感光性ポリイミド溶液を調製し、この感光性ポリイミド溶液を用いて前記実施例8と同様にして感光性ポリイミドインク組成物を調製した。この感光性ポリイミドインク組成物に含まれる感光性ポリイミドのモノマー組成とそのモル比とを表3に、その感光性ポリイミドインク組成物に関する評価結果を表4に示す。特に、未露光部分は炭酸ソーダ水溶液による現像の切れはやや悪く、光硬化後の塗膜の光沢も劣っていた。
Example 12
Bicyclo [2.2.2] oct-7-ene-2,3,5,6-tetracarboxylic dianhydride (BTA) was used in place of cyclohexanetetracarboxylic dianhydride (HPMDA) in Example 8. The photosensitive polyimide is considered to be improved in solubility in sodium carbonate water by carrying out in the same manner as in Example 8 except that the composition ratio of 5,5′-methylenebis [2-aminobenzoic acid] (MBA) is increased. A photosensitive polyimide ink composition was prepared in the same manner as in Example 8 using this photosensitive polyimide solution. Table 3 shows the monomer composition and molar ratio of the photosensitive polyimide contained in this photosensitive polyimide ink composition, and Table 4 shows the evaluation results regarding the photosensitive polyimide ink composition. In particular, the unexposed portion was somewhat poorly developed with an aqueous sodium carbonate solution, and the gloss of the coated film after photocuring was inferior.

(比較例5)
実施例7において5,5'−メチレンビス[2−アミノ安息香酸](MBA)に代えて3,5−ジアミノ安息香酸(DABA)を使用した以外は実施例7と同様にして感光性ポリイミドインク組成物を調製した。この感光性ポリイミドインク組成物に含まれる感光性ポリイミドのモノマー組成とそのモル比とを表3に、その感光性ポリイミドインク組成物に関する評価結果を表4に示す。特に、未露光部分は炭酸ソーダ水溶液に不溶であり、光硬化特性は測定できなかった。
(Comparative Example 5)
A photosensitive polyimide ink composition was used in the same manner as in Example 7 except that 3,5-diaminobenzoic acid (DABA) was used instead of 5,5′-methylenebis [2-aminobenzoic acid] (MBA) in Example 7. A product was prepared. Table 3 shows the monomer composition and molar ratio of the photosensitive polyimide contained in this photosensitive polyimide ink composition, and Table 4 shows the evaluation results regarding the photosensitive polyimide ink composition. In particular, the unexposed portion was insoluble in the sodium carbonate aqueous solution, and the photocuring characteristics could not be measured.

(比較例6)
実施例7において5,5'−メチレンビス[2−アミノ安息香酸](MBA)の3分の1をジアミノジフェニルエーテルに置き換えた以外は実施例7と同様にして感光性ポリイミドインク組成物を調製した。この感光性ポリイミドインク組成物に含まれる感光性ポリイミドのモノマー組成とそのモル比とを表3に、その感光性ポリイミドインク組成物に関する評価結果を表4に示す。特に、未露光部分は炭酸ソーダ水溶液に不溶であり、光硬化特性は測定できなかった。
(Comparative Example 6)
A photosensitive polyimide ink composition was prepared in the same manner as in Example 7 except that one third of 5,5′-methylenebis [2-aminobenzoic acid] (MBA) was replaced with diaminodiphenyl ether in Example 7. Table 3 shows the monomer composition and molar ratio of the photosensitive polyimide contained in this photosensitive polyimide ink composition, and Table 4 shows the evaluation results regarding the photosensitive polyimide ink composition. In particular, the unexposed portion was insoluble in the sodium carbonate aqueous solution, and the photocuring characteristics could not be measured.

Figure 2010209309
Figure 2010209309

Figure 2010209309
Figure 2010209309

(実施例13)
実施例7において合成した感光性ポリイミドを用いて感光性ポリイミドインク組成物を調製するにあたり、硫酸バリウムに代えてタルクを使用した以外は実施例7と同様に行って感光性ポリイミドインク組成物を調製した。この硬化性ポリイミドインク組成物を用いて前記実施例7と同様にして塗膜を形成したところ、硬化塗膜の特性結果は実施例7におけるのと同様に良好であった。
(Example 13)
In preparing a photosensitive polyimide ink composition using the photosensitive polyimide synthesized in Example 7, a photosensitive polyimide ink composition was prepared in the same manner as in Example 7 except that talc was used instead of barium sulfate. did. When this curable polyimide ink composition was used to form a coating film in the same manner as in Example 7, the property results of the cured coating film were as good as in Example 7.

(実施例14)
(感光性ポリイミドの合成)
シクロヘキサンテトラカルボン酸二無水物(HPMDA)17.93gとビフェニルテトラカルボン酸二無水物(BPDA)6.20gとをN−メチル−2−ピロリロドン(NMP)45gに溶解させ、ジアミノポリシロキサン(信越化学工業株式会社製 KF−8010)(アミノ当量415)(DAPS)24.90gを滴下し、180℃で2時間反応させた。次いで5,5’−メチレンビス[2−アミノ安息香酸](MBA)20.04gを添加し、180℃で2時間反応した。次いで100℃に下げ、グリシジルメタクリレート8.10gを滴下し、0.5時間反応させて感光性ポリイミド溶液を得た。
(Example 14)
(Synthesis of photosensitive polyimide)
Diaminopolysiloxane (Shin-Etsu Chemical) was dissolved in 17.93 g of cyclohexanetetracarboxylic dianhydride (HPMDA) and 6.20 g of biphenyltetracarboxylic dianhydride (BPDA) in 45 g of N-methyl-2-pyrrolilodon (NMP). 24.90 g of KF-8010) (amino equivalent 415) (DAPS) manufactured by Kogyo Co., Ltd. was added dropwise and reacted at 180 ° C. for 2 hours. Next, 20.04 g of 5,5′-methylenebis [2-aminobenzoic acid] (MBA) was added and reacted at 180 ° C. for 2 hours. Next, the temperature was lowered to 100 ° C., and 8.10 g of glycidyl methacrylate was added dropwise and reacted for 0.5 hour to obtain a photosensitive polyimide solution.

(感光性ポリイミドインクの調製)
上記の感光性ポリイミド溶液中の固形分100部に対し光重合開始剤2,4−ジエチルチオキサントン2重量部、p−ジメチルアミノ安息香酸イソアミル4重量部、トリメチロールプロパントリアクリレート15重量部、ビフェノール型エポキシ樹脂YX4000HK6重量部、硫酸バリウム5重量部、泡消剤3重量部を添加し、3本ロールで混練して感光性ポリイミドインク組成物を調製した。
(Preparation of photosensitive polyimide ink)
2 parts by weight of photopolymerization initiator 2,4-diethylthioxanthone, 4 parts by weight of isoamyl p-dimethylaminobenzoate, 15 parts by weight of trimethylolpropane triacrylate, biphenol type, based on 100 parts of solid content in the photosensitive polyimide solution 6 parts by weight of epoxy resin YX4000HK, 5 parts by weight of barium sulfate, and 3 parts by weight of an antifoaming agent were added and kneaded with three rolls to prepare a photosensitive polyimide ink composition.

この感光性ポリイミドインク組成物を銅張積層板に200メッシュのスクリーン版で印刷し、80℃に保った熱風循環式定温乾燥器に30分間放置した後、膜厚15μmの塗膜に種々のパターン径を持つネガ型テストパターンフイルムを真空密着させ、ORC HMW 680C メタルハライドランプ内蔵の露光機で波長365nmの紫外線を600mJ/cm2照射した。その後、30℃に加温した1%炭酸ソーダ水溶液で15cmの距離から1分間、1kgf/cm2のスプレーを行い、さらに30℃の温水でスプレーリンスし、その後に乾燥して露光部及び未露光部を観察したところ、切れの良い50μmの円形開口と30μmのライン&スペースのパターンが認められた。この露光により硬化した膜は実施例8と同様の良好な特性を有していた。 This photosensitive polyimide ink composition was printed on a copper-clad laminate with a 200-mesh screen plate, left in a hot air circulation type constant temperature dryer maintained at 80 ° C. for 30 minutes, and then various patterns were formed on the coating film having a thickness of 15 μm. A negative test pattern film having a diameter was brought into close contact with a vacuum, and irradiated with ultraviolet rays having a wavelength of 365 nm at 600 mJ / cm 2 using an exposure machine with a built-in ORC HMW 680C metal halide lamp. After that, spray 1kgf / cm 2 with a 1% sodium carbonate aqueous solution heated to 30 ° C for 1 minute from a distance of 15cm, then spray rinse with warm water at 30 ° C, and then dry to expose the exposed and unexposed areas. When the portion was observed, a well-cut 50 μm circular opening and a 30 μm line & space pattern were observed. The film cured by this exposure had good characteristics similar to Example 8.

この感光性ポリイミドインク組成物を銅張積層板に200メッシュのスクリーン版で印刷し、80℃、30分プリベークした後、さらに150℃、60分間ベークしたものを用いて、めっき試験を行った。   This photosensitive polyimide ink composition was printed on a copper-clad laminate with a 200-mesh screen plate, prebaked at 80 ° C. for 30 minutes, and then further baked at 150 ° C. for 60 minutes to perform a plating test.

ICPニコロン(奥野製薬株式会社製、無電解ニッケルめっきプロセス)の使用法に従って作業したところ塗膜が侵されることなく切れの良いニッケルめっきがなされた。さらにOPCムデンゴールド(奥野製薬株式会社製、無電解金めっきプロセス)による作業でも良好な金めっきがなされた。   When working according to the usage method of ICP Nicolon (Okuno Pharmaceutical Co., Ltd., electroless nickel plating process), the nickel coating was cut without damaging the coating film. Furthermore, favorable gold plating was performed even in the operation using OPC Muden Gold (Okuno Pharmaceutical Co., Ltd., electroless gold plating process).

また、この感光性ポリイミドインクをFPCパターン上に印刷し、80℃、30分プリベークした後、さらに150℃、60分間ベークしたものを用いて、JIS C 5016の8.6項に記載の方法に従って屈曲半径R2.5で180度の折り曲げ試験を行った。屈曲を10回繰り返しても断線は認められなかった。   Moreover, after printing this photosensitive polyimide ink on an FPC pattern, prebaking at 80 ° C. for 30 minutes, and further baking at 150 ° C. for 60 minutes, the method described in 8.6 of JIS C 5016 is used. A bending test of 180 degrees with a bending radius of R2.5 was performed. No disconnection was observed even after repeated bending 10 times.

さらに、この感光性ポリイミドインクを銅張積層板に200メッシュのスクリーン版で印刷し、80℃、30分プリベークした後、さらに150℃、60分間ベークしたものを用いて、めっき密着性試験を行った。塗膜表面に1mm角にカッターナイフで碁盤目の筋を入れ、セロハンテープを密着させ、垂直にすばやく引き剥がし塗膜の剥がれをみたところ、剥がれは全く見られなかった。   Furthermore, this photosensitive polyimide ink was printed on a copper-clad laminate with a 200-mesh screen plate, prebaked at 80 ° C. for 30 minutes, and then further baked at 150 ° C. for 60 minutes to perform a plating adhesion test. It was. A grid of 1 mm square was put on the surface of the coating film with a cutter knife, and the cellophane tape was brought into close contact with each other. When the film was peeled off quickly and peeled off, no peeling was observed.

また、この感光性ポリイミドインクを銅張積層板上に印刷し、80℃、30分プリベークした後、さらに150℃、60分間ベークし、塗膜面を260℃に維持されたはんだ溶融面に接触させて30秒間浮かべることを6回繰り返したが塗膜の外観に変化はなかった。   Also, this photosensitive polyimide ink is printed on a copper clad laminate, pre-baked at 80 ° C. for 30 minutes, and further baked at 150 ° C. for 60 minutes to contact the solder melt surface maintained at 260 ° C. It was allowed to float for 30 seconds and repeated 6 times, but there was no change in the appearance of the coating film.

Claims (10)

(a) 下記一般式(1)で示される脂環式テトラカルボン酸二無水物を主成分とする酸二無水物成分と
Figure 2010209309
(一般式(1)中、Rは脂環式テトラカルボン酸二無水物のカルボン酸二無水物残基(但し、シクロヘキサンテトラカルボン酸二無水物のカルボン酸二無水物残基を除く。)である。)
下記一般式(2)で示されるカルボキシル基を分子中に2個有する芳香族ジアミンを全ジアミン成分に対して70モル%以上の割合で主成分とするジアミン成分、若しくは下記一般式(2)で示される芳香族ジアミンとの反応により合成されるポリイミドに、
(b) 酸二無水物成分が前記一般式(1)で示される脂環式テトラカルボン酸二無水物であるときにはその脂環式テトラカルボン酸二無水物と下記一般式(2)で示されるカルボキシル基を分子中に2個有する芳香族ジアミンを主成分とするジアミン成分との反応により合成されるポリイミドに、
(c) シクロヘキサンテトラカルボン酸二無水物を主成分とする酸二無水物成分と、ジアミン成分が下記一般式(2)で示されるカルボキシル基を分子中に2個有する芳香族ジアミンであるときにはそのジアミン成分との反応により合成されるポリイミドに、又は、
(d) シクロヘキサンテトラカルボン酸二無水物を主成分とする酸二無水物成分と、前記一般式(2)で示されるカルボキシル基を分子中に2個有する芳香族ジアミン、並びに、ジアミノポリシロキサン(DAPS)、ビス4−アミノフェノキシフェニルプロパン(BAPP)、及び3,5−ジアミノ安息香酸(DABA)のうち少なくとも一つの芳香族ジアミンを含有するジアミン成分との反応により合成されるポリイミドに、
(メタ)アクリロイル基を有する化合物を、前記ポリイミド中に存在するカルボキシル基の一部に付加反応させ、又は、縮合反応させてなり、かつ有機溶媒可溶性であることを特徴とする感光性ポリイミド。
Figure 2010209309
(但し、一般式(2)中、XはO、CH2、C(CF3)2、O−C6H4−C(CH3)2−C6H4−O、又は直接結合を示す。)
(a) an acid dianhydride component mainly composed of an alicyclic tetracarboxylic dianhydride represented by the following general formula (1):
Figure 2010209309
(In general formula (1), R is a carboxylic dianhydride residue of alicyclic tetracarboxylic dianhydride (excluding a carboxylic dianhydride residue of cyclohexane tetracarboxylic dianhydride). is there.)
A diamine component having as a main component an aromatic diamine having two carboxyl groups represented by the following general formula (2) in the molecule at a ratio of 70 mol% or more with respect to the total diamine component, or the following general formula (2) To the polyimide synthesized by reaction with the aromatic diamine shown,
(b) When the acid dianhydride component is the alicyclic tetracarboxylic dianhydride represented by the general formula (1), the alicyclic tetracarboxylic dianhydride and the following general formula (2) To the polyimide synthesized by the reaction with a diamine component mainly composed of an aromatic diamine having two carboxyl groups in the molecule,
(c) When the acid dianhydride component mainly composed of cyclohexanetetracarboxylic dianhydride and the diamine component are aromatic diamines having two carboxyl groups in the molecule represented by the following general formula (2) To polyimide synthesized by reaction with diamine component, or
(d) an acid dianhydride component composed mainly of cyclohexanetetracarboxylic dianhydride, an aromatic diamine having two carboxyl groups in the molecule represented by the general formula (2), and diaminopolysiloxane ( A polyimide synthesized by reaction with a diamine component containing at least one aromatic diamine among DAPS), bis-4-aminophenoxyphenylpropane (BAPP), and 3,5-diaminobenzoic acid (DABA);
A photosensitive polyimide obtained by subjecting a compound having a (meth) acryloyl group to an addition reaction or condensation reaction with a part of a carboxyl group present in the polyimide and being soluble in an organic solvent.
Figure 2010209309
(In the general formula (2), X represents O, CH 2 , C (CF 3 ) 2 , O—C 6 H 4 —C (CH 3 ) 2 —C 6 H 4 —O, or a direct bond. .)
前記酸二無水物成分が前記一般式(1)で示される脂環式テトラカルボン酸二無水物を前記主成分として含有する場合に、前記酸二無水物成分が芳香族テトラカルボン酸二無水物を含むことを特徴とする前記請求項1に記載の感光性ポリイミド。   When the acid dianhydride component contains an alicyclic tetracarboxylic dianhydride represented by the general formula (1) as the main component, the acid dianhydride component is an aromatic tetracarboxylic dianhydride. The photosensitive polyimide according to claim 1, comprising: 前記芳香族テトラカルボン酸二無水物は、その含有量が前記酸二無水物成分に対して35モル%未満であることを特徴とする前記請求項2に記載の感光性ポリイミド。   The photosensitive polyimide according to claim 2, wherein the content of the aromatic tetracarboxylic dianhydride is less than 35 mol% with respect to the acid dianhydride component. 前記ジアミン成分が、前記一般式(2)で示される芳香族ジアミン以外の芳香族ジアミンを含むことを特徴とする前記請求項1〜3のいずれか1項に記載の感光性ポリイミド。   The said diamine component contains aromatic diamine other than the aromatic diamine shown by the said General formula (2), The photosensitive polyimide of any one of the said Claims 1-3 characterized by the above-mentioned. 前記ジアミン成分が、ジアミノポリシロキサンを含むことを特徴とする前記請求項1〜4のいずれか1項に記載の感光性ポリイミド。   The photosensitive polyimide according to claim 1, wherein the diamine component contains diaminopolysiloxane. 前記ジアミノポリシロキサンは、その含有量が前記ジアミン成分に対して40モル%以下であることを特徴とする前記請求項5に記載の感光性ポリイミド。   The photosensitive polyimide according to claim 5, wherein the content of the diaminopolysiloxane is 40 mol% or less with respect to the diamine component. 請求項1〜6のいずれか1項に記載の感光性ポリイミドとこの感光性ポリイミドを溶解することのできる有機溶媒とを含有することを特徴とする感光性ポリイミドインク組成物。   A photosensitive polyimide ink composition comprising the photosensitive polyimide according to any one of claims 1 to 6 and an organic solvent capable of dissolving the photosensitive polyimide. 光重合開始剤、増感剤、耐熱性エポキシ樹脂及び無機充填剤を含有することを特徴とする前記請求項7に記載の感光性ポリイミドインク組成物。   The photosensitive polyimide ink composition according to claim 7, comprising a photopolymerization initiator, a sensitizer, a heat-resistant epoxy resin, and an inorganic filler. 感光性ポリイミド100重量部に対して前記(メタ)アクリレート化合物5〜70重量部、光重合開始剤及び増感剤1〜50重量部、耐熱性エポキシ樹脂10〜70重量部、並びに無機充填剤10〜80重量部を含有することを特徴とする前記請求項8に記載の感光性ポリイミドインク組成物。   5 to 70 parts by weight of the (meth) acrylate compound, 1 to 50 parts by weight of a photopolymerization initiator and sensitizer, 10 to 70 parts by weight of a heat-resistant epoxy resin, and 10 inorganic fillers with respect to 100 parts by weight of the photosensitive polyimide. The photosensitive polyimide ink composition according to claim 8, comprising ˜80 parts by weight. 請求項7〜9のいずれか1項に記載の感光性ポリイミドインク組成物を基材に塗布し、プリベークし、露光し、かつ現像した後、ポストベークして成ることを特徴とする絶縁膜。   An insulating film obtained by applying the photosensitive polyimide ink composition according to any one of claims 7 to 9 to a substrate, pre-baking, exposing, developing, and post-baking.
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