JP2010197144A - エアフローメータ - Google Patents

Abstract

【課題】エアフローメータのセンサ基板５に関して、流路形成部材との線膨張率の差に起因する歪みを抑制する。
【解決手段】支持部材７と流路形成部材との間の接着領域αと、センサ基板５の対向面１７への投影領域βとは、軸ａに関して重複する範囲を有さない（つまり、範囲Ｌａと範囲Ｍａとは重複しない）。これにより、センサ基板５は、流路形成部材からの応力伝達の内、軸ａの方向における線膨張収縮に起因する部分の影響（つまり、支持部材７の第１円筒変形の影響）を受けなくなる。このため、センサ基板５には、第１円筒変形が発生しなくなるので、センサ基板５の歪みを抑制することができる。
【選択図】図３

Description

本発明は、所定の空気流路を通過する空気流の流量を検出するエアフローメータに関する。

従来から、例えば、車両の内燃機関に吸入される空気流の流量（以下、吸気量と呼ぶ）の検出には、空気流との伝熱を利用する熱線式のエアフローメータが用いられている。すなわち、このエアフローメータは、空気流路を通過する空気流に熱を与えて空気流の流れ方向に温度分布を形成し、この温度分布に基づき吸気量を検出する。そして、エアフローメータから出力される吸気量に関する信号は、エンジンを制御するための電子制御装置（ＥＣＵ）に入力され、ＥＣＵは、この信号に基づいて吸気量を把握するとともに、吸気量に基づく燃料噴射制御等の各種の制御処理を実行する。

従来のエアフローメータ１００は、図８に示すように、温度分布に基づく信号を出力するセンサ基板１０１と、センサ基板１０１から出力される信号を処理して吸気量を示す信号を出力する回路基板１０２と、センサ基板１０１および回路基板１０２を支持するとともに、空気流路１０３を形成する流路形成部材１０４に接着される支持部材１０５とを備える。

センサ基板１０１は、自身の一部が薄膜化されてメンブレン１０７を形成しており、センサ基板１０１の一端面１０８の一部であるメンブレン１０７の表面に、温度分布に基づく信号を出力するための電気素子を有する。また、センサ基板１０１は、一端面１０８が空気流に露出するように、支持部材１０５の凹所１０９に嵌まった状態で、接着剤１１０により支持部材１０５に接着されて支持される。また、センサ基板１０１上の電気素子と回路基板１０２上の回路要素とは、ボンディングワイヤ１１１により電気的に接続され、ボンディングワイヤ１１１および回路要素は、樹脂素材１１２により封止されている。

そして、支持部材１０５は、自身の一端側にセンサ基板１０１および回路基板１０２を支持するとともに、他端面１１４の内、流路形成部材１０４側の接着面１１５に対向する領域に接着剤１１６が塗布されて接着領域χが形成され、流路形成部材１０４に接着される。

ところで、流路形成部材１０４は、成形性や耐久性の観点からポリエステル等の熱可塑性樹脂を素材として設けられるため、シリコンを素材とするセンサ基板１０１との線膨張率の差が大きい。

このため、センサ基板１０１と流路形成部材１０４との線膨張率の差に起因する応力が生じ、この応力により、センサ基板１０１が歪んでメンブレン１０７上の電気素子の特性が変動する虞がある。そして、このような特性変動は、エアフローメータ１００の検出精度に大きな影響を与えるため、センサ基板１０１の歪みを抑制する検討が行われている。

例えば、特許文献１によれば、センサ基板において、流路形成部材からの応力伝達部位（つまり、支持部材との接着部位）とメンブレンとの間に応力緩和溝を設けて、応力がメンブレンの方に伝わるのを緩和する技術が開示されている。しかし、応力緩和溝をセンサ基板に設けることは、製造工程が複雑になるとともに残留応力が発生する問題がある。
このため、センサ基板に関して、流路形成部材との線膨張率の差に起因する歪みを抑制する、別途の手段が要請されている。

特開２００７−２４５８９号公報

本発明は、上記の問題点を解決するためになされたものであり、その目的は、エアフローメータのセンサ基板に関して、流路形成部材との線膨張率の差に起因する歪みを抑制することにある。

〔請求項１の手段〕
請求項１に記載のエアフローメータは、所定の空気流路を通過する空気流に熱を与えて空気流の流れ方向に温度分布を形成し、温度分布に基づき空気流の流量を検出するものである。また、エアフローメータは、温度分布に基づく信号を出力するセンサ基板と、センサ基板から出力される信号を処理して空気流の流量を示す信号を出力する回路基板と、センサ基板を支持するとともに、空気流路を形成する流路形成部材に接着剤により接着される支持部材とを備える。

また、支持部材および流路形成部材は、部分的に接着剤を塗布されて接着剤を介して互いに対向し合う対向面を有する。そして、支持部材の対向面上で接着剤が付着する接着領域を座標範囲として示すため、互いに垂直な２つの座標軸を定義する場合に、接着領域の一方の座標軸に関する座標範囲が、他方の座標軸に関する座標範囲よりも大きくなるように、２つの座標軸を定義できる。

センサ基板と流路形成部材との線膨張率の差に起因する各部材の変形は、平面が球面状に変形する球面変形として生じる。このような球面変形は、流路形成部材とセンサ基板との間の応力伝達部位（つまり、流路形成部材と支持部材との間の接着剤層、および、支持部材とセンサ基板との間の接着剤層）が２次元的な平面状の接着領域であることに起因するものである。

すなわち、２次元的な平面に生じる線膨張収縮は、この平面に平行な１軸方向にのみ生じるのではなく、例えば、平面に平行、かつ互いに垂直な２軸方向に生じる。ここで、２軸の内、一方の軸の方向における線膨張収縮による変形は、他方の軸に平行な軸を中心軸とする円筒状の変形であり（以下、平面が円筒状に変形することを円筒変形と呼ぶ）、他方の軸の方向における線膨張収縮による変形は、一方の軸に平行な軸を中心軸とする円筒変形である。そして、これら２つの円筒変形が重なることで、球面変形となるのである。

このため、線膨張率が異なる２部材が平面状の接着領域により接着されている場合、線膨張収縮によって一方の部材から他方の部材に応力が伝わると、応力の伝達を受けた部材は球面変形するのである。

そこで、支持部材と流路形成部材との間の接着領域に関し、次のような限定を加える。
すなわち、接着領域を平面的な座標範囲として示すため、互いに垂直な２つの座標軸を定義する場合に、接着領域の一方の座標軸に関する座標範囲が、他方の座標軸に関する座標範囲よりも大きくなるような、２つの座標軸が存在することである。

これにより、支持部材と流路形成部材との間の接着領域について、他方の座標軸に関する座標範囲を、一方の座標軸に関する座標範囲よりも小さくすることができる。そして、接着領域について、他方の座標軸に関する座標範囲が一方の座標軸に関する座標範囲よりも相対的に小さいほど、応力伝達において他方の軸方向における線膨張収縮の影響が相対的に小さくなる。この結果、センサ基板に関して、球面変形を構成する２つの円筒変形の内、一方の座標軸に平行な軸を中心軸とする円筒変形を抑制できるので、センサ基板の歪みを抑制することができる。

また、請求項１の手段によれば、センサ基板と支持部材との間の接着領域ではなく、支持部材と流路形成部材との間の接着領域に関して限定を加えている。
ここで、センサ基板は、支持部材に直接的に接着されるため、センサ基板の歪みを直接的に抑制する観点から、支持部材は、センサ基板の素材（シリコン）と線膨張率が近い素材（例えば、エポキシ樹脂）により成形されることが多い。

よって、センサ基板や支持部材と線膨張率の差が大きい流路形成部材に対する接着領域に、上記のような限定を加えることは、流路形成部材との線膨張率の差に起因するセンサ基板の歪みを抑制する点で極めて効果的なものである。
なお、以下の説明では、「支持部材と流路形成部材との間の接着領域」を、「接着領域」と略して呼ぶ。

〔請求項２の手段〕
請求項２に記載のエアフローメータによれば、接着領域と、支持部材の対向面におけるセンサ基板の投影領域とは、一方の座標軸に関して重複する座標範囲を有さない。
これにより、センサ基板は、流路形成部材からの応力伝達の内、相対的に大きい部分（一方の軸方向における線膨張収縮に起因する部分）の影響を受けなくなる。このため、センサ基板には、他方の座標軸に平行な軸を中心軸とする円筒変形が発生しなくなるので、センサ基板の歪みをさらに抑制することができる。

〔請求項３の手段〕
請求項３に記載のエアフローメータによれば、接着領域とセンサ基板の投影領域とは、一方の座標軸に関して、１つの座標を介して座標範囲が連続している。
ここで、センサ基板には、支持部材の円筒変形により位置ズレが生じる。そして、この位置ズレ量は、円筒変形の程度が同じであれば円筒変形の中心軸から遠いほど大きくなる。

特に、請求項３の前提である請求項１の手段により、他方の座標軸に平行な軸を中心軸とする円筒変形は、一方の座標軸に平行な軸を中心軸とする円筒変形ほど抑制されていないので、支持部材には、他方の座標軸に平行な軸を中心軸とする円筒変形が生じやすい。そして、このような支持部材の円筒変形により、センサ基板の位置ズレ量が大きくなる虞がある。

そこで、接着領域とセンサ基板の投影領域とを、一方の座標軸に関して、１つの座標を介して座標範囲を連続させる。これにより、センサ基板の投影領域は、一方の座標軸に関して重複する座標範囲を有さない限度で、上記の支持部材の円筒変形の中心軸に最も近づく。このため、支持部材の円筒変形に伴うセンサ基板の位置ズレ量を少なくすることができる。

〔請求項４の手段〕
請求項４に記載のエアフローメータによれば、接着領域は、矩形状であり、一方の座標軸が接着領域の長辺と平行であり、他方の座標軸が接着領域の短辺と平行である。
接着領域を矩形状とすることにより、接着剤の塗布が容易になる。

〔請求項５の手段〕
請求項５に記載のエアフローメータによれば、一方の座標軸は、空気流の流れ方向に垂直であり、他方の座標軸は、空気流の流れ方向に平行である。
この手段は、接着領域の一形態を示すものである。

（ａ）はエアフローメータを示す構成図であり、（ｂ）は支持部材と流路形成部材との接着領域を示す説明図である（実施例）。 エアフローメータ内の吸気流の流れを示す説明図である（実施例）。 （ａ）は支持部材と流路形成部材との接着領域を座標範囲として示すための説明図であり、（ｂ）は第１円筒変形および第１位置ズレ量の概念を示す説明図であり、（ｃ）は第２円筒変形の概念を示す説明図である（実施例）。 支持部材と流路形成部材との接着領域を座標範囲として示すための説明図である（変形例）。 （ａ）は支持部材と流路形成部材との接着領域を座標範囲として示すための説明図であり、（ｂ）は第２位置ズレ量の概念を示す説明図である（変形例）。 支持部材と流路形成部材との接着領域を座標範囲として示すための説明図である（変形例）。 支持部材と流路形成部材との接着領域を座標範囲として示すための説明図である（変形例）。 （ａ）はエアフローメータを示す構成図であり、（ｂ）は支持部材と流路形成部材との接着領域を示す説明図である（従来例）。

実施形態のエアフローメータは、所定の空気流路を通過する空気流に熱を与えて空気流の流れ方向に温度分布を形成し、温度分布に基づき空気流の流量を検出するものである。また、エアフローメータは、温度分布に基づく信号を出力するセンサ基板と、センサ基板から出力される信号を処理して空気流の流量を示す信号を出力する回路基板と、センサ基板を支持するとともに、空気流路を形成する流路形成部材に接着剤により接着される支持部材とを備える。

また、支持部材および流路形成部材は、部分的に接着剤を塗布されて接着剤を介して互いに対向し合う対向面を有する。そして、支持部材の対向面上で接着剤が付着する接着領域を座標範囲として示すため、互いに垂直な２つの座標軸を定義する場合に、接着領域の一方の座標軸に関する座標範囲が、他方の座標軸に関する座標範囲よりも大きくなるように、２つの座標軸を定義できる。

また、接着領域と、支持部材の対向面におけるセンサ基板の投影領域とは、一方の座標軸に関して重複する座標範囲を有さず、１つの座標を介して連続している。
さらに、接着領域は、矩形状であり、一方の座標軸が接着領域の長辺と平行であり、他方の座標軸が接着領域の短辺と平行である。
また、一方の座標軸は、空気流の流れ方向に垂直であり、他方の座標軸は、空気流の流れ方向に平行である。

〔実施例の構成〕
実施例のエアフローメータ１の構成を、図１および図２を用いて説明する。
エアフローメータ１は、空気流との伝熱を利用して、空気流の流量を検出するものであり、例えば、車両の内燃機関（図示せず）に吸入される空気流（以下、吸気流と呼ぶ）の流量（以下、吸気量と呼ぶ）を検出するために吸気管２内に突出するように配される。

ここで、エアフローメータ１は、吸気量検出のために吸気流の一部を取り込んで通過させるための検出流路３を自身の内部に形成する。そして、エアフローメータ１は、取り込んだ吸気流に熱を与え、検出流路３における吸気流の流れ方向に、吸気量に応じた温度分布を形成し、この温度分布に基づき吸気量を検出する。また、エアフローメータ１から出力される吸気量を示す信号は、内燃機関を制御するための電子制御装置（ＥＣＵ：図示せず）に出力され、ＥＣＵは、この信号に基づいて吸気量を把握するとともに、吸気量に基づく燃料噴射制御等の各種の制御処理を実行する。

エアフローメータ１は、温度分布に基づく信号を出力するセンサ基板５と、センサ基板５から出力される信号を処理して吸気量を示す信号を出力する回路基板６と、センサ基板５および回路基板６を支持する支持部材７と、検出流路３を形成するとともに、支持部材７を接着剤８により保持する流路形成部材９とを備える。

センサ基板５は、自身の一部が薄膜化されてメンブレン１２を形成しており、センサ基板５の一端面１３の一部であるメンブレン１２の表面に、温度分布に基づく信号を出力するための各種の電気素子を有する。また、センサ基板５は、一端面１３が空気流に露出するように、支持部材７の凹所１４に嵌まった状態で支持部材７に接着される。

回路基板６は、センサ基板５から出力される信号を処理して吸気量を示す信号を出力するための各種の回路要素を有する。また、回路基板６上の回路要素とセンサ基板５上の電気素子とは、ボンディングワイヤ１５により電気的に接続され、ボンディングワイヤ１５等は、樹脂素材１６により封止されている。

支持部材７は、凹所１４が開口する一端面とは反対側の他端面（後記する対向面１７）に接着剤８が塗布され、接着剤８により、流路形成部材９に接着される。
また、流路形成部材９により形成される検出流路３によれば、吸気管２内の本流から取り込まれた吸気流は、直進した後に直角に方向転換し、さらにＵ字状に反転してから吸気管２内の本流に戻る。そして、センサ基板５は、取り込まれた吸気流がＵ字状に反転する位置に配されている。

なお、流路形成部材９は、成形性や耐久性の観点からポリエステル等の熱可塑性樹脂を素材として設けられるため、シリコンを素材とするセンサ基板５との線膨張率の差が大きい。このため、センサ基板５と流路形成部材９との線膨張率の差に起因する応力が生じ、この応力により、センサ基板５が歪んでメンブレン１２上の電気素子の特性が変動する虞がある。

また、センサ基板５は、支持部材７に直接的に接着されるため、センサ基板５の歪みを直接的に抑制する観点から、支持部材７は、センサ基板５の素材（シリコン）と線膨張率が近い素材（例えば、エポキシ樹脂）により成形されている。

〔実施例の特徴〕
実施例のエアフローメータ１の特徴を、図１および図３を用いて説明する。
実施例のエアフローメータ１によれば、支持部材７および流路形成部材９は、各々、部分的に接着剤８を塗布されて接着剤８を介して互いに対向し合う対向面１７、１８を有する。そして、対向面１７上で接着剤８が存在する接着領域αは、矩形状であって接着領域αの長辺ｈａが吸気流の流れ方向と垂直であり、接着領域αの短辺ｈｂが吸気流の流れ方向に平行である。

よって、対向面１７上で接着領域αを座標範囲として示すため、互いに垂直な２つの座標軸を定義する場合に、長辺ｈａに平行な軸ａ、短辺ｈｂに平行な軸ｂを選択すれば、接着領域αの軸ａに関する範囲Ｌａが、軸ｂに関する範囲Ｌｂよりも大きくなる。

すなわち、接着領域αを平面的な座標範囲として示すため、垂直な２つの座標軸を定義する場合に、接着領域αの一方の座標軸に関する座標範囲が、他方の座標軸に関する座標範囲よりも大きくなるように、例えば、接着領域αの長、短辺ｈａ、ｈｂにそれぞれ平行な軸ａ、ｂを２つの座標軸として定義できる。

また、対向面１７におけるセンサ基板５の投影領域βを考えた場合、投影領域βの軸ａに関する範囲Ｍａと範囲Ｌａとは重複しておらず、１つの点Ｐａを介して連続している。また、投影領域βの軸ｂに関する範囲Ｍｂは範囲Ｌｂを含むように形成され、範囲Ｍｂと範囲Ｌｂとは重複している。

〔実施例の効果〕
実施例のエアフローメータ１は、センサ基板５および回路基板６を支持する支持部材７を備え、支持部材７は、検出流路３を形成する流路形成部材９に接着剤８により接着される。また、支持部材７および流路形成部材９は、各々、部分的に接着剤８を塗布されて接着剤８を介して互いに対向し合う対向面１７、１８を有する。また、対向面１７上で接着剤８が存在する接着領域αは、矩形状であって接着領域αの長辺ｈａが吸気流の流れ方向と垂直であり、接着領域αの短辺ｈｂが吸気流の流れ方向に平行である。

よって、接着領域αを平面的な座標範囲として示すため、互いに垂直な２つの座標軸を定義する場合に、長辺ｈａに平行な軸ａ、短辺ｈｂに平行な軸ｂを選択すれば、接着領域αの軸ａに関する範囲Ｌａが、軸ｂに関する範囲Ｌｂよりも大きくなる。

これにより、接着領域αを介する応力伝達において、軸ｂの方向における線膨張収縮の影響が、軸ａの方向における線膨張収縮の影響よりも小さくなる。
ここで、軸ａの方向における線膨張収縮による変形は、軸ｂに平行な軸を中心軸とする円筒状の変形である（図３（ｂ）参照：以下、平面が円筒状に変形することを円筒変形と呼ぶ）。また、軸ｂの方向における線膨張収縮による変形は、軸ａに平行な軸を中心軸とする円筒変形である（図３（ｃ）参照）。そして、これら２つの円筒変形が重なることで球面変形となる。

なお、以下の説明では、図３（ｂ）に示す「軸ｂに平行な軸を中心軸とする円筒変形」を第１円筒変形と呼び、図３（ｃ）に示す「軸ａに平行な軸を中心軸とする円筒変形」を第２円筒変形と呼ぶ。

そして、接着領域αを介する応力伝達において、軸ｂの方向における線膨張収縮の影響が、軸ａの方向における線膨張収縮の影響よりも小さくなることから、支持部材７では、球面変形を構成する第１、第２円筒変形の内、第２円筒変形が抑制される。

また、接着領域αと投影領域βとは、軸ａに関して重複する範囲を有さない（つまり、範囲Ｌａと範囲Ｍａとは重複しない）。
これにより、センサ基板５は、流路形成部材９からの応力伝達の内、軸ａの方向における線膨張収縮に起因する部分の影響（つまり、支持部材７の第１円筒変形の影響）を受けなくなる。このため、センサ基板５には、第１円筒変形が発生しなくなるので、センサ基板５の歪みを抑制することができる。

また、範囲Ｌａと範囲Ｍａとは、１つの点Ｐａを介して連続している。
これにより、投影領域βは、軸ａに関して接着領域αと重複しない限度で、第１円筒変形の中心軸に最も近づく。このため、第１円筒変形に伴うセンサ基板５の位置ズレ量（以下、第１位置ズレ量と呼ぶ）を少なくすることができる（図３（ｂ）参照）。

なお、軸ｂに関して接着領域αが投影領域βに含まれているため（範囲Ｌｂが範囲Ｍｂに含まれているため）、第２円筒変形に伴うセンサ基板５の位置ズレ量（図５（ｂ）参照：以下、第２位置ズレ量と呼ぶ）は発生しない。

また、センサ基板５と支持部材７との間の接着領域ではなく、支持部材７と流路形成部材９との間の接着領域αに関して形状を限定することで、センサ基板５の歪みを抑制している。
ここで、センサ基板５は、支持部材７に直接的に接着されるため、センサ基板５の歪みを直接的に抑制する観点から、支持部材７は、センサ基板５の素材（シリコン）と線膨張率が近い素材により成形されている。

よって、センサ基板５や支持部材７と線膨張率の差が大きい流路形成部材９に対する接着領域αの形状に限定を加えることは、流路形成部材９との線膨張率の差に起因するセンサ基板５の歪みを抑制する点で極めて効果的なものである。
さらに、接着領域αを矩形状とすることにより、接着剤８の塗布が容易になる。

〔変形例〕
実施例の接着領域αに関しては、様々な変形例を挙げることができる。
例えば、実施例の接着領域αの軸ａに関する範囲Ｌａは、センサ基板５の投影領域βの軸ａに関する範囲Ｍａと点Ｐａを介して連続していたが、図４に示すように、軸ａの方向に、範囲Ｌａと範囲Ｍａとを引き離してもよい。この場合、第１位置ズレ量が拡大するものの、センサ基板５に第１円筒変形が発生することを確実に防止できる。

また、実施例の接着領域αの軸ｂに関する範囲Ｌｂは、投影領域βの軸ｂに関する範囲Ｍｂに含まれていたが、図５に示すように、軸ｂの方向に、範囲Ｌｂと範囲Ｍｂとを引き離してもよい。この場合、センサ基板５の位置ズレに関し、第２位置ズレ量が発生するものの、センサ基板５に第２円筒変形が発生しなくなる。このため、センサ基板５に関して、第１、第２位置ズレ量を合成した全位置ズレ量が実施例に比べて若干大きくなるものの、第１、第２円筒変形を両方とも阻止することができる。

また、実施例の接着領域αは、長辺ｈａが吸気流の流れ方向と垂直であったが、図６に示すように、接着領域αの長辺ｈａを吸気流の流れ方向に平行とし、接着領域αの短辺ｈｂを吸気流の流れ方向と垂直としてもよい。この場合、接着領域αを座標範囲として示すため、長辺ｈａに平行な軸ａを吸気流の流れ方向に平行に設定するとともに、短辺ｈｂに平行な軸ｂを吸気流の流れ方向と垂直に設定することができ、さらに、範囲Ｌｂを範囲Ｌａよりも小さくすることができる。このため、センサ基板５に関して、第２円筒変形の発生を抑制することで歪みを抑制することができる。

また、実施例の接着領域αは矩形状であったが、接着領域αの形状は矩形状に限定されず、例えば、図７に示すように平行４辺形としてもよい。この場合、長辺ｈａと平行に軸ａを設定するとともに、軸ａと垂直になるように軸ｂを設定することができ、さらに、範囲Ｌｂを範囲Ｌａよりも小さくすることができる。このため、センサ基板５に関して、第２円筒変形の発生を抑制することで歪みを抑制することができる。
さらに、実施例のエアフローメータ１は、内燃機関への吸気量を検出するものであったが、エアフローメータ１の用途は、この態様に限定されるものではない。

１ エアフローメータ
３ 検出流路（空気流路）
５ センサ基板
６ 回路基板
７ 支持部材
８ 接着剤
９ 流路形成部材
１７ 対向面
１８ 対向面
α 接着領域
ｈａ 長辺
ｈｂ 短辺
ａ 軸（一方の座標軸）
ｂ 軸（他方の座標軸）
Ｌａ 範囲（座標範囲）
Ｌｂ 範囲（座標範囲）
β 投影領域（センサ基板の投影領域）
Ｐａ 点（１つの座標）

Claims (5)

1. 所定の空気流路を通過する空気流に熱を与えて前記空気流の流れ方向に温度分布を形成し、この温度分布に基づき前記空気流の流量を検出するエアフローメータにおいて、
   前記温度分布に基づく信号を出力するセンサ基板と、
   このセンサ基板から出力される信号を処理して前記空気流の流量を示す信号を出力する回路基板と、
   前記センサ基板を支持するとともに、前記空気流路を形成する流路形成部材に接着剤により接着される支持部材とを備え、
   前記支持部材および前記流路形成部材は、部分的に前記接着剤を塗布されて前記接着剤を介して互いに対向し合う対向面を有し、
   前記支持部材の対向面上で前記接着剤が付着する接着領域を座標範囲として示すため、互いに垂直な２つの座標軸を定義する場合に、前記接着領域の一方の座標軸に関する座標範囲が、他方の座標軸に関する座標範囲よりも大きくなるように、前記２つの座標軸を定義できることを特徴とするエアフローメータ。
2. 請求項１に記載のエアフローメータにおいて、
   前記接着領域と、前記支持部材の対向面における前記センサ基板の投影領域とは、一方の座標軸に関して重複する座標範囲を有さないことを特徴とするエアフローメータ。
3. 請求項２に記載のエアフローメータにおいて、
   前記接着領域と、前記センサ基板の投影領域とは、一方の座標軸に関して、１つの座標を介して座標範囲が連続していることを特徴とするエアフローメータ。
4. 請求項１ないし請求項３の内のいずれか１つに記載のエアフローメータにおいて、
   前記接着領域は、矩形状であり、
   前記一方の座標軸が前記接着領域の長辺と平行であり、前記他方の座標軸が前記接着領域の短辺と平行であることを特徴とするエアフローメータ。
5. 請求項１ないし請求項４の内のいずれか１つに記載のエアフローメータにおいて、
   前記一方の座標軸は、前記空気流の流れ方向に垂直であり、前記他方の座標軸は、空気流の流れ方向に平行であることを特徴とするエアフローメータ。

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