JP2010164714A - 表示体、検査装置、および検査方法 - Google Patents

Abstract

【課題】製造効率性が良好で、かつ簡単構成で精度よくリーク電流を検出可能な表示体、検査装置、および検査方法を提供する。
【解決手段】液晶パネル１は、互いに対向する駆動基板および対向基板と、これらの駆動基板および対向基板の間に封入される電気光学材料と、駆動基板に設けられて、互いに直交する複数のソース線Ｓおよび複数のゲート線Ｇと、ソース線Ｓおよびゲート線Ｇとの交差部に設けられ、ソース線からの入力される電荷を電気光学材料に印加する画素電極ＰＥと、ゲート線Ｇから入力される駆動信号に応じて、ソース線Ｓから画素電極ＰＥへの電荷の印加状態を切り替えるＴＦＴ１２と、対向基板に設けられるとともに、画素電極ＰＥに接続される複数の共通電極線と、複数の共通電極線を２相以上に分割し、これら各相の前記共通電極線をそれぞれ結線する複数の共通電極検査線と、を具備した。
【選択図】図１

Description

本発明は、画像を表示する表示体、この表示体における線間リーク欠陥を検査する検査装置、およびその検査方法に関する。

従来、液晶パネルなどの表示体において、表示体の表示異常を検査する検査装置や検査方法が知られている。（例えば、特許文献１〜特許文献３参照）。

特許文献１では、液晶パネルは、複数の信号電極および複数の走査電極を備えている。そして、液晶パネルの検査時において、信号電極を信号電極用導電性部材に、また走査電極を走査電極用導電性部材に接触させて、各信号電極、各走査電極をそれぞれ短絡させる。この状態で、全信号線に所定の駆動電圧を印加し、例えば白一色または黒一色の画像を表示させ、その画像を目視または、カメラでの撮像により観測することで表示領域内の欠陥を検出する。

特許文献２では、液晶パネルは、複数のゲートバスライン、複数のソースバスラインを備え、検査装置により検査を実施する際には、各ゲートバスラインおよび各ソースバスラインを、それぞれ検査装置に設けられる検査用の端子に接触させて接続する。この検査装置では、ゲートバスラインを接続する端子は、奇数番目と偶数番目とに分離され、共通配線により結線され、それぞれ対応した検査端子に接続され、ソースバスラインに接続される端子は、共通配線により結線され、所定の検査端子に接続される。そして、これら共通配線に接続される検査端子に順次所定の電圧の印加し、リーク欠陥を検出する。

特許文献３では、液晶表示パネル上に、複数の映像信号配線（ソース線）を、それぞれの色（ＲＧＢ）に応じた共通バス配線により結線する構成が採られており、検査装置により検査する際に検査装置の端子と、この共通バス配線の端部とを接触させることでリーク欠陥検出を実施する。また、この液晶表示パネルでは、欠陥検出の終了後に、レーザーカットにより表示領域のみをカットして製品化する。

特開平９−３２９７９９号公報 特開平７−２９４３７４号公報 特開平９−１８５０７２号公報

ところで、上記特許文献１に記載のような検査装置および検査方法では、全信号電極、および２相以上に分割された走査電極を、導電性部材により一括短絡させることで、欠陥検査を実施している。このような検査方法では、隣接画素間や、配線間にリークがあった場合、検出が困難となる問題がある。
一方、特許文献２に記載の検査装置および検査方法では、画素間や配線間のリークを検出できるが、ゲートバスラインやソースバスラインの各端子に対して、それぞれ検査用の端子を接触させて接続する必要があり、検査装置の構成が複雑化し、高価な装置が必要となり、正確に端子同士を接触させるための要求アライメント精度も高くなる。
また、特許文献３に記載の方法では、検査後にレーザーカットによる切断工程が必要となるため、製造工程が増えるという問題がある。

本発明は、上述のような問題に鑑みて、製造効率性が良好で、かつ簡単構成で精度よくリーク電流を検出可能な表示体、検査装置、および検査方法を提供することを目的とする。

本発明の表示体は、互いに対向する駆動基板および対向基板と、これらの駆動基板および対向基板の間に封入される電気光学材料と、前記駆動基板に設けられるとともに、互いに直交する複数のソース線および複数のゲート線と、前記複数のソース線および前記複数のゲート線との交差部近傍に設けられ、前記ソース線に出力された電荷を前記電気光学材料に印加する複数の画素電極と、前記ゲート線、前記ソース線、および前記画素電極に接続されるとともに、前記ゲート線から入力されるゲート信号に応じて、前記ソース線から前記画素電極への電荷の印加状態を切り替えるスイッチング素子と、前記対向基板に設けられるとともに、前記画素電極に接続される複数の共通電極線と、複数の前記共通電極線を２相以上に分割し、これら各相の前記共通電極線をそれぞれ結線する複数の共通電極検査線と、を具備したことを特徴とする。

この発明によれば、表示体は、共通電極線がそれぞれ複数相に分割されている。このような表示体では、リーク電流の検査時において、各ソース線、各ゲート線をそれぞれ一括短絡させるプローブバンプを用い、これらのプローブバンプに所定のテスト電圧を印加させてテスト画像を表示させることで、容易に表示領域中の画素欠陥を検査することができる。また、各ゲート線のみをプローブバンプで一括短絡させ、ソース線をオープン状態にし、検査対象となるソース線に、画素電極を介して接続された共通電極線に対応した共通電極検査線に例えば電流計などリーク電流を検出する検出手段を接続する。そして、他の共通電極検査線に交流電圧を印加し、検出手段に流れる電流を検査する。このような検査方法を実施することで、ソース線間に発生するリーク電流をも容易に検査することができる。この場合でも、各ゲート線は、プローブバンプなどにより一括短絡させるだけの簡単な配線でよいため、検査装置において、各ゲート線を接続する接続端子が不要となり、検査装置の構成を簡単にでき、容易な検査方法によりリーク電流の検査を実施できる。
また、各ソース線やゲート線が複数相に分割されて結線されるなどの構成ではなく、それぞれ単独で駆動基板上に設けられているため、欠陥検査終了後にレーザーカットなどによる切断工程が不要となり、製造工程も簡単にできる。

本発明の表示体では、前記ソース線は、赤色用ソース信号が入力されるＲソース線、緑色用ソース信号が入力されるＧソース線、および青色用ソース信号が入力されるＢソース線を備え、前記共通電極線は、各色ソース線に対応してそれぞれ設けられる、Ｒ共通電極線、Ｇ共通電極線、およびＢ共通電極線を備え、前記共通電極検査線は、Ｒ共通電極線同士、Ｇ共通電極線同士、およびＢ共通電極線同士をそれぞれ結線することが好ましい。

この発明によれば、各色ソース線に対応する各共通電極線をそれぞれ共通電極検査線にて結線している。このため、表示体の検査時において、各色毎に線間リーク電流の検査を実施することができ、検査効率を向上させることができる。

本発明の検査装置は、互いに対向する駆動基板および対向基板と、これらの駆動基板および対向基板の間に封入される電気光学材料と、前記駆動基板に設けられるとともに、互いに直交する複数のソース線および複数のゲート線と、前記複数のソース線および前記複数のゲート線との交差部近傍に設けられ、前記ソース線に出力された電荷を前記電気光学材料に印加する複数の画素電極と、前記ゲート線、前記ソース線、および前記画素電極に接続されるとともに、前記ゲート線から入力されるゲート信号に応じて、前記ソース線から前記画素電極への電荷の印加状態を切り替えるスイッチング素子と、前記対向基板に設けられるとともに、前記画素電極に接続される複数の共通電極線と、複数の前記共通電極線を２相以上に分割し、これら各相の前記共通電極線をそれぞれ結線する複数の共通電極検査線と、を具備した表示体におけるリーク欠陥を検査する検査装置であって、複数の前記ゲート線に接触して、これらの接触した複数のゲート線を一括短絡させるとともに、ゲート検査端子に接続されるゲートプローブと、複数の前記ソース線に接触して、これらの接触した複数のソース線を一括短絡させるとともに、ソース検査端子に接続されるソースプローブと、各共通電極検査線に接続されるとともに、共通電極検査端子に接続される複数の共通電極プローブと、前記ソースプローブと前記ソース線との接続状態を、切断および接続のうち少なくともいずれか一方に切り替えるソース接続切替手段と、前記共通電極検査端子のうち、検査対象以外の共通電極検査端子に交流電圧を印加する交流電圧印加手段と、検査対象となる前記共通電極検査端子に流れるリーク電流を検出する電流検出手段と、を備えたことを特徴とする。

また、本発明の検査方法は、互いに対向する駆動基板および対向基板と、これらの駆動基板および対向基板の間に封入される電気光学材料と、前記駆動基板に設けられるとともに、互いに直交する複数のソース線および複数のゲート線と、前記複数のソース線および前記複数のゲート線との交差部近傍に設けられ、前記ソース線に出力された電荷を前記電気光学材料に印加する複数の画素電極と、前記ゲート線、前記ソース線、および前記画素電極に接続されるとともに、前記ゲート線から入力されるゲート信号に応じて、前記ソース線から前記画素電極への電荷の印加状態を切り替えるスイッチング素子と、前記対向基板に設けられるとともに、前記画素電極に接続される複数の共通電極線と、複数の前記共通電極線を２相以上に分割し、これら各相の前記共通電極線をそれぞれ結線する複数の共通電極検査線と、を具備した表示体におけるリーク欠陥を検査する検査方法であって、ゲート検査端子に接続されるゲートプローブを複数の前記ゲート線に接触させて、これらの接触した複数のゲート線を一括短絡させ、ソース検査端子に接続されるソースプローブを、複数の前記ソース線から離隔させて各ソース線をオープン状態とし、共通電極検査端子に接続される共通電極プローブを各共通電極検査線に接続し、前記共通電極検査端子のうち、検査対象以外の共通電極検査端子に交流電圧を印加し、検査対象となる前記共通電極検査端子に流れるリーク電流を検出することを特徴とする。

これらの発明によれば、上記発明と同様に、表示体の検査時において、ソース検査端子とソース線との接続が切断された状態で、複数の共通電極検査線のうちの検査対象以外の共通電極検査端子に交流電圧を印加し、検査対象となる共通電極検査端子に流れるリーク電流を電流検出手段で検査することで、検査装置に複雑な接続端子を設ける必要がなく、簡単な構成で容易に精度よくリーク電流欠陥の有無を検査することができる。

以下、本発明の一実施の形態に係る表示体である液晶パネル、およびこの液晶パネルのリーク欠陥を検査する検査装置について、図面に基づいて説明する。

〔液晶パネルの構成〕
図１は、本発明の一実施の形態に係る液晶パネルの概略構成を示す図である。
図１において、１は、本発明の表示体を構成する液晶ＴＦＴ（Thin Film Transistor）パネル１（以降、液晶パネル１と称す）であり、この液晶パネル１は、入力される信号に基づいて、基本色として例えば赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、青色（Ｂ）を混色してカラー画像を表示させる装置である。なお、本実施の形態では、電気光学材料である液晶としてアモルファスシリコンが用いられるアモルファスＴＦＴパネルを例示するが、例えば、ＬＴＰＳ-ＴＦＴパネル（Low-Temperature Poly-Silicon TFT：低温ポリシリコンＴＦＴ液晶パネル)、ＨＴＰＳ-ＴＦＴパネル（High Temperature Poly-Sillicon TFT：高温ポリシリコンＴＦＴ液晶パネル）など、液晶としてポリシリコンが用いられるＴＦＴであってもよい。また、表示体として液晶パネル１を例示したが、これに限定されず、例えば電気光学材料としてジアミンやアントラセンなどの有機物が採用されたＯＬＥＤパネル（Organic Light Emitting Diode：有機ＥＬ）などの表示パネルにも利用できる。

この液晶パネル１は、詳細な図面は省略するが、筐体内に対向配置された一対の透明基板（駆動基板および対向基板）と、これらの透明基板間を複数の領域に分割するスペーサと、を備え、これらの一対の透明基板およびスペーサにて囲われる領域に画素１１が形成されている。ここで、液晶パネル１では、列方向に沿って単一の基本色（Ｒ、Ｇ、Ｂ）を発色する画素１１が配列され、行方向に沿ってこれらの画素１１がＲ，Ｇ，Ｂの配列順で繰り返し配列されている。具体的には、液晶パネル１に対向して、各画素１１の基本色に対応した波長の光束のみを透過させる図示しない偏向フィルタが設けられている。これにより、各画素１１では、偏向フィルタを透過した基本色の光束のみが透過されることとなる。

駆動基板には、互いに直交する複数のゲート線Ｇおよびソース線Ｓ（Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３，…Ｓｎ）が配設されている。ゲート線Ｇは、液晶パネル１の例えば水平方向の左右（図１における左右）に分割される。具体的には、ゲート線Ｇは、信号入力端が左側に設けられるＬゲート線Ｇｌ（Ｇｌ１、Ｇｌ２，Ｇｌ３…）と、信号入力端が右側に設けられるＲゲート線Ｇｒ（Ｇｒ１，Ｇｒ２，Ｇｒ３…）と、を備えている。これらＬゲート線ＧｌおよびＲゲート線Ｇｒは、図１に示すように水平方向に沿って配線され、かつ水平方向に直交する垂直方向に沿って、Ｌゲート線Ｇ１１，Ｒゲート線Ｇｒ１，Ｌゲート線Ｇｌ２…といった状態に、交互に配列されている。ソース線Ｓは、垂直方向に沿って配線されている。また、ここでソース線Ｓは、ＲＧＢの各色画素に対応して、赤色画像信号が入力されるＲソース線（Ｓ１，Ｓ４，Ｓ７…Ｓｎ）、緑色画像信号が入力されるＧソース線（Ｓ２，Ｓ５，Ｓ８…Ｓｎ＋１）、および青色画像信号が入力されるＢソース線（Ｓ３，Ｓ６，Ｓ９…Ｓｎ＋２）を備え、Ｒソース線、Ｇソース線、Ｂソース線の順に交互に配設されている。なお、以降の説明において、Ｒソース線をＲソース線Ｓｒ，Ｇソース線をＧソース線Ｓｇ、Ｂソース線をＢソース線Ｓｂと称す。
また、各ソース線Ｓおよび各ゲート線Ｇの終端部には、それぞれリングトランジスタ（ＲｉｎｇＴｒ）が接続され、このリングトランジスタを介して例えばＲ共通電極検査線１４ｒ（Ｇ共通電極検査線１４ｇやＢ共通電極検査線１４ｂであってもよい）に接続される。ここで、このリングトランジスタは、回路に発生する静電気を除去して静電保護処理をするとともに、ゲート線Ｇやソース線Ｓを流れる電流量を一定に維持する。これにより、ゲート線Ｇやソース線Ｓへの過度の電流通過が抑えられ、消費電力の低減が可能となる。また、リングトランジスタは、このリングトランジスタを挟む接続部の電位差が大きいほど電流を通過させ、電位差が小さい場合には、電流をほぼ通過させない特性があり、電流の逆流などの不都合をも防止する。

そして、ゲート線Ｇおよびソース線Ｓの各交差部近傍には、画素を構成する液晶セルＬＶに電圧を印加する画素電極ＰＥが形成されている。これらの画素電極ＰＥは、例えばＩＴＯ（Idium Tin Oxide）膜などにより形成されている。
また、駆動基板には、それぞれのソース線Ｓと、それぞれの画素電極ＰＥとを接続し、ゲート線に出力された電圧に応じて画素電極ＰＥへの電圧の印加状態を切り替えるスイッチング素子としてのＴＦＴ（Thin Film Transistor）１２が設けられている。これらＴＦＴ１２は、ゲート線Ｇに接続されるゲートと、ソース線Ｓに接続されるソースと、画素電極ＰＥに接続されるドレインとを備えている。

そして、ＴＦＴ１２は、ゲートにゲート線Ｇを介して、液晶パネル１を駆動する図示しないドライバや、後述する検査装置からオン電圧（例えば＋１５Ｖ）が印加されると、オン状態（ソース−ドレイン間がローインピーダンスの状態）となり、ソース−ドレイン間の電流の導通が許容される。この状態で、ソース線Ｓを介して、ドライバや検査装置２から映像信号がソースに印加されると、この映像信号に係る電荷がソース−ドレイン間を導通し、ドレインに接続される画素電極ＰＥに印加される。
一方、ゲートにゲート線Ｇを介してドライバや検査装置２からオフ電圧（例えば−１０Ｖ）が印加されると、ＴＦＴ１２はオフ状態（ソース−ドレイン間がハイインピーダンスの状態）となり、ソース−ドレイン間の電流の導通が規制される。したがって、ソースに接続されたソース線Ｓに映像信号に係る電荷が印加されたとしても、電流がソース−ドレイン間を導通せず、画素電極ＰＥへの電荷の印加が規制される。

画素電極ＰＥは、液晶セルＬＶに接続されるとともに、保持キャパシタＣＶに接続されている。この保持キャパシタＣＶは、液晶パネル１の駆動に必要な電圧の振幅を低く抑え、液晶パネル１の省電力化およびフリッカ防止を図るためのものである。これら液晶セルＬＶおよび保持キャパシタＣＶは、画素電極ＰＥだけでなく、対向基板の対向電極に接続されている。そして、これらの液晶セルＬＶおよび保持キャパシタＣＶには、ソース線ＳからＴＦＴ１２を介して画素電極ＰＥに印加された電圧と、対向電極に印加された電圧との電位差に相当する電荷が書き込まれ、保持される。

そして、前記した各画素１１は、ＴＦＴ１２、画素電極ＰＥ、液晶セルＬＶおよび保持キャパシタＣＶにより構成され、これら全ての画素１１により液晶パネル１の表示領域が構成されている。

また、画素電極ＰＥに接続される液晶セルＬＶおよび保持キャパシタＣＶは、対向電極に形成される共通電極線に接続される。この共通電極線は、各ソース線Ｓに対応して、すなわち、１本のソース線に１本の共通電極線が設けられている。ここで、Ｒソース線Ｓｒに対してＲ共通電極線（Ｒ共通電極線１３ｒ）、Ｇソース線Ｓｇに対してＧ色共通電極線（Ｇ共通電極線１３ｇ）、Ｂソース線Ｓｂに対してＢ共通電極線（Ｂ共通電極線１３ｂ）がそれぞれ設けられている。また、各Ｒ共通電極線１３ｒは、例えばパネル終端縁において、Ｒ共通電極検査線１４ｒに接続され、このＲ共通電極検査線１４ｒは、Ｒ共通電極端子ＶｃｏｍＲに接続される。同様に、各Ｇ共通電極線１３ｇは、例えばパネル終端縁において、Ｇ共通電極検査線１４ｇに接続され、このＧ共通電極検査線１４ｇは、Ｇ共通電極端子ＶｃｏｍＧに接続される。また、各Ｂ共通電極線１３ｂは、例えばパネル終端縁において、Ｂ共通電極検査線１４ｂに接続され、このＢ共通電極検査線１４ｂは、Ｂ共通電極端子ＶｃｏｍＢに接続される。

〔検査装置の構成〕
次に、図２および図３に基づいて、上記液晶パネル１を検査する検査装置２の構成を説明する。
図２は、本発明に係る一実施の形態の検査装置の概略構成を示すブロック図である。
図３は、検査装置の接続部の概略構成を示す図である。
検査装置２は、液晶パネル１のソース線Ｓ、ゲート線Ｇ、および共通電極線に所定の電圧を印加して液晶パネル１を駆動させ、液晶パネル１の一部に発生する例えば線間リーク欠陥などの欠陥を検出する装置である。
この検査装置２は、図２に示すように、接続部２１と、駆動部２２と、測定部２３と、制御部２４と、を備えている。

接続部２１は、図３に示すように、接続基板２１１を備え、この接続基板２１１上には、Ｌゲート接続部２１２Ａ、Ｒゲート接続部２１２Ｂ、ソース接続部２１２Ｃ、Ｒ共通電極接続部２１２Ｄ、Ｇ共通電極接続部２１２Ｅ、およびＢ共通電極接続部２１２Ｆが設けられている。
Ｌゲート接続部２１２Ａには、Ｌゲート線Ｇｌの先端に形成されるゲート端子が、例えば図３の示すように、千鳥状に交互に配置される。そして、Ｌゲート接続部２１２Ａは、配置されたＬゲート線Ｇｌの各ゲート端子に接触し、一括短絡させるＬゲートプローブ２１３Ａを備えている。このＬゲートプローブ２１３Ａは、Ｌゲート検査端子ＧＬｃに接続される。
Ｒゲート接続部２１２Ｂも、Ｌゲート接続部２１２Ａと同様であり、図３に示すように、Ｒゲート線Ｇｒのゲート端子が千鳥状に配置される。そして、Ｒゲート接続部２１２Ｂは、Ｒゲート検査端子ＧＲｃに接続されるＲゲートプローブ２１３Ｂを備え、このＲゲートプローブ２１３Ｂにより、Ｒゲート線Ｇｒのゲート端子が一括短絡される。

また、ソース接続部２１２Ｃも、Ｌゲート接続部２１２ＡおよびＲゲート接続部２１２Ｂと略同様に構成されている。すなわち、ソース接続部２１２Ｃには、ソース線Ｓが千鳥状に交互に配置され、これらソース線Ｓに接触して、一括短絡可能で、ソース検査端子Ｓｃに接続されるソースプローブ２１３Ｃが設けられている。このソースプローブ２１３Ｃは、ソース接続部２１２Ｃに配置されるソース線Ｓの各ソース端子に対して接離移動可能に設けられている。このソースプローブ２１３Ｃの移動機構としては、特に限定されず、例えば、モータなどの駆動発生手段により発生した駆動力により、ソースプローブ２１３Ｃを接続基板２１１から離れる方向、近接する方向に駆動させる構成などが例示できる。
そして、ソース接続部２１２Ｃは、ソースプローブ２１３Ｃを制御するプローブ制御手段２１４を備えている。このプローブ制御手段２１４は、制御部２４から出力される制御信号に基づいて、駆動発生手段を制御し、ソースプローブ２１３Ｃを駆動させる。これにより、プローブ制御手段２１４は、ソースプローブ２１３Ｃとソース端子とが接触する接続状態、およびソースプローブ２１３Ｃとソース端子とが離れる切断状態を切り替える。

Ｒ共通電極接続部２１２Ｄには、Ｒ共通電極検査線１４ｒの先端に形成されるＲ共通電極端子ＶｃｏｍＲが配置される。また、Ｒ共通電極接続部２１２Ｄは、Ｒ共通電極端子ＶｃｏｍＲに接触するとともに、Ｒ共通電極検査端子ＶｃｏｍＲｃに接続されるＲ共通電極プローブ２１３Ｄを備えている。
Ｇ共通電極接続部２１２Ｅ、およびＢ共通電極接続部２１２Ｆについても同様であり、Ｇ共通電極接続部２１２ＥおよびＢ共通電極接続部２１２Ｆには、それぞれＧ共通電極端子ＶｃｏｍＧ，Ｂ共通電極端子ＶｃｏｍＢが配置される。そして、Ｇ共通電極接続部２１２Ｅには、Ｇ共通電極端子ＶｃｏｍＧに接触し、Ｇ共通電極検査端子ＶｃｏｍＧｃに接続されるＧ共通電極プローブ２１３Ｅを備えている。また、Ｂ共通電極接続部２１２Ｆには、Ｂ共通電極端子ＶｃｏｍＢに接触し、Ｂ共通電極検査端子ＶｃｏｍＢｃに接続されるＢ共通電極プローブ２１３Ｆを備えている。

また、上述したＬゲート検査端子ＧＬｃ、Ｒゲート検査端子ＧＲｃ、ソース検査端子Ｓｃ、Ｒ共通電極検査端子ＶｃｏｍＲｃ、Ｇ共通電極検査端子ＶｃｏｍＧｃ、およびＢ共通電極検査端子ＶｃｏｍＢｃは、図２に示すように、それぞれスイッチを介して駆動部２２および測定部２３に接続されている。

駆動部２２は、接続部２１の各検査端子に対して所定の電圧を印加し、液晶パネル１を駆動させる。また、駆動部２２は、制御部２４の駆動電圧制御手段２４２とともに本発明の交流電圧印加手段を構成し、交流電圧を所定の共通電極検査端子に印加する。
測定部２３は、例えば各検査端子に接続される複数の電流計を備え、接続部２１の各検査端子から入力される電流を検出する。この測定部２３は、本発明の電流測定手段を構成する。

制御部２４は、駆動切替手段２４１と、駆動電圧制御手段２４２と、欠陥検出手段２４３と、結果出力手段２４４とを備えている。
駆動切替手段２４１は、液晶パネル１の検査モードを切り替える。具体的には、駆動切替手段２４１は、例えば操作者の設定入力により、検査モードを、パターン表示モードおよび線間リーク検査モードのいずれかに切り替える。ここで、パターン表示モードは、ソース線Ｓおよびゲート線Ｇに所定の駆動電圧を印加して、液晶パネル１に所定のパターン画像を表示させるモードである。また、線間リーク検査モードは、例えば隣接するソース線Ｓ同士において発生する線間リーク欠陥を、測定部２３により測定される電流に基づいて検出するモードである。また、駆動切替手段２４１は、線間リーク検査モードにおいて、プローブ制御手段２１４に制御信号を出力して、ソース検査端子Ｓｃからソースプローブ２１３Ｃを離隔させ、切断状態にする。

駆動電圧制御手段２４２は、駆動部２２から各検査端子に印加する電圧を制御し、液晶パネル１を駆動させる。
具体的には、駆動電圧制御手段２４２は、駆動切替手段２４１により、パターン表示モードに切り替えられた場合、図４に示すようなパターンの電圧を印加する。図４は、パターン表示モードにおける電圧の印加パターンおよびタイミングを示す図である。なお、本実施の形態における液晶パネル１は、ノーマリーホワイトであり、駆動電圧が印加されず、液晶セルＬＶに電荷が蓄積されていない状態では、例えばバックライトなどの光源からの光をそのまま透過させて白色光を発色させるものとする。

すなわち、駆動電圧制御手段２４２は、液晶パネル１において、グレイ画像を表示させる場合、ソース検査端子Ｓｃに、所定周期で０Ｖおよび５Ｖの電圧が交互に入れ替わる交流電圧（パターンＣ）を印加し、各共通電極検査端子ＶｃｏｍＲｃ，ＶｃｏｍＧｃ，ＶｃｏｍＢｃには、パターンＡと逆位相となる交流電圧（パターンＤ）を印加する。
また、駆動電圧制御手段２４２は、Ｌゲート検査端子ＧＬｃに、ソース検査端子Ｓｃに５Ｖの信号電圧が印加されるタイミング（図２におけるタイミングＴ１）で、オン電圧である１５Ｖを印加する。この時、Ｒゲート検査端子ＧＲｃには、オフ電圧である−１０Ｖが印加される。なお、オン電圧が印加される期間は図４に示すように、交流電圧の周期に対して十分小さい僅かな期間であり、オン電圧を印加した後、ソース検査端子Ｓｃへの電圧が０Ｖに切り替わる前に、オフ電圧に切り替える。また、駆動電圧制御手段２４２は、ソース検査端子Ｓｃの信号電圧が０Ｖに切り替わった後、タイミングＴ２で、Ｒゲート検査端子ＧＲｃにオン電圧を印加する。このとき、Ｌゲート検査端子ＧＬｃは、オフ信号である−１０Ｖの電圧が保持される。なお、このＲゲート検査端子ＧＲｃに印加するオン電圧の入力期間も、交流電圧の周期に対して十分小さい僅かな期間に設定される。すなわち、駆動電圧制御手段２４２は、タイミングＴ１において、Ｌゲート線Ｇｌにより制御される画素１１の液晶セルＬＶに駆動信号（５Ｖ）に基づいた電荷を保持させ、タイミングＴ２において、Ｒゲート線Ｇｒにより制御される画素１１の液晶セルＬＶに蓄電されている電荷を放電させる。これにより、液晶パネル１のＬゲート線に対応する画素１１のみでグレイ画像が表示される。

そして、駆動電圧制御手段２４２は、Ｌゲート線Ｇｌに対応する画素１１のみでのグレイ画像表示の後、所定期間Ｔｍを開けて、Ｒゲート線Ｇｒに対応する画素１１のみでグレイ画像を表示させる制御をする。これには、上記タイミングＴ１，Ｔ２と逆の操作をタイミングＴ３，Ｔ４において実施する。
すなわち、駆動電圧制御手段２４２は、ソース検査端子Ｓｃに０Ｖが印加され、各共通電極検査端子ＶｃｏｍＲｃ，ＶｃｏｍＧｃ，ＶｃｏｍＢｃに任意電圧（０〜５ｖ）が印加されるタイミングＴ３で、Ｌゲート検査端子ＧＬｃにオン電圧を印加する。この間、Ｒゲート検査端子ＧＲｃはオフ電圧に保持される。また、駆動電圧制御手段２４２は、ソース検査端子Ｓｃへの印加電圧が５Ｖに切り替わった後、Ｒゲート検査端子ＧＲｃにオン電圧を印加させる。この間、Ｌゲート検査端子ＧＬｃは、オフ電圧に保持される。
以上により、液晶パネル１において、Ｌゲート線Ｇｌに接続される画素１１と、Ｒゲート線Ｇｒに接続される画素１１とで交互にグレイ画像を表示させることが可能となる。

また、液晶パネル１に基本色画像を表示させる場合では、駆動電圧制御手段２４２は、表示させる基本色に対応する共通電極検査端子に、ソース検査端子Ｓｃと同一のパターンＣの交流電圧を印加し、その他の共通電極検査端子にパターンＣの交流電圧と逆位相となるパターンＤの交流電圧を印加する。例えば、液晶パネル１により赤色画像を表示させる場合、上記グレイ画像の表示時と同様に、駆動電圧制御手段２４２は、ソース検査端子ＳｃにパターンＣの交流電圧、Ｇ共通電極検査端子ＶｃｏｍＧｃおよびＢ共通電極検査端子ＶｃｏｍＢｃにパターンＤの交流電圧、Ｌゲート検査端子ＧＬｃにパターンＡの駆動電圧、Ｒゲート検査端子ＧＲｃにパターンＢの駆動電圧を印加する。一方、駆動電圧制御手段２４２は、Ｒ共通電極検査端子ＶｃｏｍＲｃには、ソース検査端子Ｓｃと同様のパターンＣの交流電圧を印加する。以上により、液晶パネル１において、Ｌゲート線Ｇｌに接続される画素１１と、Ｒゲート線Ｇｒに接続される画素１１とで交互に赤色画像を表示させることが可能となる。

また、駆動電圧制御手段２４２は、線間リーク検査モードでは、図５に示すようなタイミングにより、液晶パネル１を駆動させる。図５は、線間リーク検査モードにおける電圧印加パターンおよび検出される電流を示す図である。
この線間リーク検査モードでは、駆動切替手段２４１により線間リーク検査モードに設定された場合、ソース検査端子Ｓｃとソースプローブとが切断されるため、ソース検査端子Ｓｃはオープン状態となり、常に０Ｖとなる。そして、線間リーク検査モードでは、図５に示すように、駆動電圧制御手段２４２は、Ｌゲート検査端子ＧＬｃおよびＲゲート検査端子ＧＲｃに対して、１５Ｖのオン電圧を印加し続ける。また、駆動電圧制御手段２４２は、検査対象となるソース線Ｓに接続される共通電極線に対応する共通電極検査端子以外の共通電極検査端子に、交流電圧を印加する。
例えば、Ｇソース線Ｓｇに隣接する他のソース線Ｓから、このＧソース線Ｓｇにリークする線間リークを検査する場合、駆動電圧制御手段２４２は、Ｒ共通電極検査端子ＶｃｏｍＲｃおよびＢ共通電極検査端子ＶｃｏｍＢｃに交流電圧を印加する。この場合、Ｒソース線ＳｒやＢソース線Ｓｂに接続される液晶セルＬｖまたは保持キャパシタＣＶにおいて、電荷の充電および放電が繰り返される。したがって、線間リークが発生している場合では、液晶セルＬｖまたは保持キャパシタＣＶにおける電荷の放電時に、Ｇソース線Ｓｇに電流が流れ込み、Ｇ共通電極検査端子ＶｃｏｍＧｃに、図５の「不良」にて示すような電流が検出される。一方、線間リークがない場合では、Ｇ共通電極検査端子ＶｃｏｍＧｃにおいて、図５の「良品」にて示すように、電流が検出されない。

欠陥検出手段２４３は、駆動切替手段２４１により、線間リーク検査モードが選択されている際に、測定部２３にて測定される電流値を読み込み、検査対象となる共通電極検査線にリークする線間リーク欠陥があるか否かを判断する。
具体的には、欠陥検出手段２４３は、図５の「不良」にて示されるように、周期的な電流値が検出された場合、線間リークがあると判断し、図５の「良品」にて示されるように電流値が検出されなかった場合は、線間リーク欠陥がないと判断する。

結果出力手段２４４は、欠陥検出手段２４３にて判断されたリーク欠陥の有無を出力する。具体的には、結果出力手段２４４は、検査装置２に設けられた図示しない表示手段に、リーク欠陥の有無を表示させる。なお、結果出力手段２４４は、上記リーク欠陥の有無を他の態様で出力してもよく、例えば、記憶媒体にデータなどとして出力したり、印刷により出力したり、音声によりリーク欠陥の有無を報知したりしてもよい。

〔検査装置の動作〕
次に、上述した検査装置２の動作について、図面に基づいて説明する。
検査装置２を用いた検査方法では、検査装置２は、現在の検査モードを認識し、検査モードに応じた駆動信号を液晶パネル１に出力し、欠陥検査処理を実施する。

〔パターン表示モード〕
図６は、検査装置の動作におけるパターン表示モードのフローチャートである。
検査装置２は、例えば操作者の設定入力などにより、検査モードとしてパターン表示モードを設定する旨の要求がなされた場合、駆動切替手段２４１は、検査モードをパターン表示モードに切り替える（ステップＳ１０１）。
このパターン表示モードでは、駆動切替手段２４１は、プローブ制御手段２１４を制御してソースプローブ２１３Ｃをソース線Ｓに接触させ、接続状態とする（ステップＳ１０２）。

この後、駆動電圧制御手段２４２は、駆動部２２を制御して、図４に示すようなパターン電圧を各検査端子に印加する（ステップＳ１０３）。
すなわち、駆動電圧制御手段２４２は、グレイ画像を表示させる場合では、ソース検査端子ＳｃにパターンＣの交流電圧を印加し、各共通電極検査端子ＶｃｏｍＲｃ，ＶｃｏｍＧｃ，ＶｃｏｍＢｃにパターンＣと逆位相となるパターンＤの交流電圧を印加する。そして、Ｌゲート検査端子ＧＬｃにパターンＡの駆動電圧、Ｒゲート検査端子ＧＲｃにパターンＢの駆動電圧を印加する。
また、赤色、緑色、青色画像を表示させる場合では、駆動電圧制御手段２４２は、表示対象基本色に対応する共通電極検査端子にパターンＣの交流電圧を印加させる。例えば、赤色画像を表示させる場合では、駆動電圧制御手段２４２は、ソース検査端子ＳｃにパターンＣの交流電圧を印加し、Ｇ共通電極検査端子ＶｃｏｍＧｃおよびＢ共通電極検査端子ＶｃｏｍＢｃにパターンＣと逆位相となるパターンＤの交流電圧を印加し、Ｒ共通電極検査端子ＶｃｏｍＲｃにパターンＣの交流電圧を印加する。そして、Ｌゲート検査端子ＧＬｃにパターンＡの駆動電圧、Ｒゲート検査端子ＧＲｃにパターンＢの駆動電圧を印加する。
これにより、液晶パネル１のＬゲート線Ｇｌにより制御される画素１１と、Ｒゲート線Ｇｒにより制御される画素１１とが交互に駆動され、液晶パネル１にパターン画像が表示される（ステップＳ１０４）。
このようなパターン表示画像では、例えば垂直方向に隣接する画素１１間でリーク欠陥がある場合、隣接画素も駆動されて例えば輝点などにより表示される。したがって、液晶パネル１を例えば目視による確認や、カメラなどの撮像手段による撮像により、画素間リーク欠陥を容易に判別することが可能となる。

〔線間リーク検査モード〕
次に、検査装置２の動作における線間リーク検査モードについて説明する。図７は、本実施の形態の検査装置の動作における線間リーク検査モードのフローチャートである。

検査装置２は、例えば操作者の設定入力などにより、検査モードとして線間リーク検査モードを設定する旨の要求がなされた場合、駆動切替手段２４１は、検査モードを線間リーク検査モードに切り替える（ステップＳ２０１）。
この線間リーク検査モードでは、駆動切替手段２４１は、プローブ制御手段２１４を制御してソースプローブ２１３Ｃをソース線Ｓから離隔する方向に移動させ、切断状態とする（ステップＳ２０２）。

この後、駆動電圧制御手段２４２は、駆動部２２を制御して、図５に示すようなパターン電圧を各検査端子に印加する（ステップＳ２０３）。この時、検査対象となるソース線Ｓに対応する共通電極検査端子を、スイッチング処理により測定部２３に接続する。
例えば、図５に示すように、Ｇソース線Ｓｇに流れ込むリーク電流を測定する場合、Ｇ共通電極検査端子ＶｃｏｍＧｃを測定部２３に接続する。そして、駆動電圧制御手段２４２は、Ｌゲート検査端子ＧＬｃおよびＲゲート検査端子ＧＲｃに、オン電圧を印加し、Ｒ共通電極検査端子ＶｃｏｍＲｃおよびＢ共通電極検査端子ＶｃｏｍＢｃに、交流電圧を印加する。

また、欠陥検出手段２４３は、ステップＳ２０３の処理により測定部２３に流れるリーク電流が検出されたか否かを判断する（ステップＳ２０４）。このステップＳ２０４において、共通電極検査端子に印加された交流電圧に応じた波形の電流が検出された場合、線間リーク欠陥があると判断する（ステップＳ２０５）。一方、ステップＳ２０４において、電流値が検出されない場合、線間リーク欠陥がないと判断する（ステップＳ２０６）。
そして、結果出力手段２４４は、このステップＳ２０５およびステップＳ２０６の線間リーク欠陥の検査結果を例えば表示手段に表示させる（ステップＳ２０７）。

〔本実施の形態の作用効果〕
上述したように、液晶パネル１は、各ソース線Ｓに対応して設けられる共通電極線を、基本色毎に分割し、共通電極検査線で結線している。
一般に、解像度の大きい液晶パネルでは、ゲート線Ｇやソース線Ｓの数も多く、例えば画像サイズが小さいＱＶＧＡ（Quarter Video Graphics Array）であっても、３２０本のゲート線、７２０本（２４０×３）のソース線が必要となるが、これらのゲート線Ｇやソース線Ｓのそれぞれに対してプローブを接続させる構成では、構成の複雑化やコストの高騰を引き起こす。これに対して、上記液晶パネル１では、検査時に、全ゲート線Ｇを、Ｌゲート線、Ｒゲート線の2種に分割し、Ｌゲート線Ｇｌを一括短絡させるＬゲートプローブ２１３Ａ、Ｒゲート線Ｇｒを一括短絡させるＲゲートプローブ２１３Ｂを用い、全ソース線Ｓを一括短絡させるソースプローブ２１３Ｃを用いるため、プローブ構成を簡単にすることができ、検査装置２にかかるコストも低減させることができる。
また、このように各ゲート線Ｇ、各ソース線Ｓを一括短絡させる構成であっても、複数相に分割された共通電極検査線に接続される共通電極検査端子に印加する電圧を図４や図５に示すように制御することで、画素間リークなどの画素欠陥の検査、および線間リーク欠陥の検査を実施することができる。
また、液晶パネル１内において、各ゲート線Ｇおよび各ソース線Ｓがそれぞれ独立して配線されているため、液晶パネル１の欠陥検査終了後に、液晶パネル１の表示領域部分のみをレーザーカットなどにより切断する必要がなく、そのままモジュールに組み込むことができる。
以上により、液晶パネル１の切断工程などが不要であるため、製造効率が低下することなく、簡単で安価なプローブ構成で精度よく液晶パネル１内に画素間リーク欠陥や線間リーク欠陥を検出することができる。

また、液晶パネル１は、各基本色に対応して、Ｒ共通電極検査線１４ｒ、Ｇ共通電極検査線１４ｇ、およびＢ共通電極検査線１４ｂに分割されている。このため、液晶パネル１の検査モードがパターン表示モードに設定された際に、図４に示すように、各共通電極検査端子のうち、表示させたい基本色に対応した共通電極端子にソース検査端子Ｓｃを同じパターンＣの交流電圧を印加することで、容易に基本色に対応したパターン画像を表示させることができ、各基本色毎に、画素間リーク欠陥を検査することができる。また、線間リーク検査モードにおいても同様であり、各基本色に対応したソース線Ｓ毎に、線間リーク欠陥を検査することができる。したがって、リーク欠陥があった場合に、欠陥がある画素位置や線間を容易に検出することができ、検出精度も向上させることができる。

また、検査装置２は、各ソース線Ｓから接離移動可能に設けられるソースプローブ２１３Ｃを備えている。そして、駆動切替手段２４１により検査モードが切り替えられると、プローブ制御手段２１４を制御して、ソースプローブ２１３Ｃを移動させる。すなわち、駆動切替手段２４１は、パターン表示モードでは、ソースプローブ２１３Ｃと各ソース線Ｓとを接続状態に、線間リーク検査モードでは、ソースプローブ２１３Ｃと各ソース線Ｓとを切断状態に切り替える。
このため、パターン表示モードでは、ソース線Ｓから各画素１１に駆動電圧を印加させることで、液晶パネル１を駆動させて所定のパターン画像を表示させることができる。また、線間リーク検査モードでは、ソースプローブ２１３Ｃと各ソース線とを切断状態にして、共通電極検査端子に交流電圧を印加し、各画素１１の液晶セルＬＶや保持キャパシタＣＶにおいて、電荷の充電および放電を実施することにより、検査対象となるソース線Ｓに流れる線間リークを容易に検査することができる。

また、ゲート線Ｇは、Ｌゲート線ＧｌおよびＲゲート線Ｇｒを備え、Ｌゲート線ＧｌはＬゲートプローブ２１３Ａに接触してＬゲート検査端子ＧＬｃに接続され、Ｒゲート線Ｇｒは、Ｒゲートプローブに接触してＲゲート検査端子ＧＲｃに接続されている。このため、パターン表示モードにおいて、Ｌゲート検査端子ＧＬｃおよびＲゲート検査端子ＧＲｃに印加する駆動電圧を交互に切り替えることで、液晶パネル１のＬゲート線Ｇｌにより制御される画素１１と、Ｒゲート線Ｇｒにより制御される画素１１とを交互に駆動させることができる。したがって、駆動していない画素１１に輝点などの不都合が現れるか否かを観察することにより、容易に画素間リークなどの画素欠陥を検査することができ、検査精度を向上させることができる。

〔他の実施の形態〕
なお、本発明は前述の実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良等は本発明に含まれるものである。

例えば、上記において、ゲート線Ｇは、Ｌゲート線ＧｌおよびＲゲート線Ｇｒを備え、それぞれプローブによりＬゲート検査端子ＧＬｃおよびＲゲート検査端子ＧＲｃに接続する構成としたが、例えばゲート線Ｇに対して、３つ以上のプローブでそれぞれ異なるゲート検査端子ＧＬに接続される構成としてもよい。また、ソース線Ｓに対しても同様であり、全ソース線Ｓに対して一括短絡させるソースプローブ２１３Ｃを例示したが、ソース線Ｓを２つ以上のグループに分割し、一方のグループには第一のソースプローブ、他方のグループには第二のソースプローブが接触可能な構成としてもよい。

また、上記実施の形態において、各基本色に対応して、共通電極線を３相に分割する構成としたが、２相に分割する構成や、４層以上に分割する構成などとしてもよい。

その他、本発明の実施の際の具体的な構造および手順は、本発明の目的を達成できる範囲で他の構造などに適宜変更できる。

本発明の一実施の形態に係る液晶パネルの概略構成を示す図である。 本発明に係る一実施の形態の検査装置の概略構成を示すブロック図である。 検査装置の接続部の概略構成を示す図である。 パターン表示モードにおける電圧の印加パターンおよびタイミングを示す図である。 線間リーク検査モードにおける電圧印加パターンおよび検出される電流を示す図である。 本実施の形態の検査装置の動作におけるパターン表示モードのフローチャートである。 本実施の形態の検査装置の動作における線間リーク検査モードのフローチャートである。

１…表示体としての液晶パネル、２…検査装置、１２…スイッチング素子としてのＴＦＴ、１３ｒ…Ｒ共通電極線、１３ｇ…Ｇ共通電極線、１３ｂ…Ｂ共通電極線、１４ｒ…Ｒ共通電極検査線、１４ｇ…Ｇ共通電極検査線、１４ｂ…Ｂ共通電極検査線、２２…交流電圧印加手段を構成する駆動部、２３…電流検出手段としての測定部、２１３Ａ…Ｌゲートプローブ、２１３Ｂ…Ｒゲートプローブ、２１３Ｃ…ソースプローブ、２１３Ｄ…Ｒ共通電極プローブ、２１３Ｅ…Ｇ共通電極プローブ、２１３Ｆ…Ｂ共通電極プローブ、２１４…ソース接続切替手段としてのプローブ制御手段、２４２…交流電圧印加手段を構成する駆動電圧制御手段、Ｓ…ソース線、Ｓｒ…Ｒソース線、Ｓｇ…Ｇソース線、Ｓｂ…Ｂソース線、Ｇ…ゲート線、ＰＥ…画素電極。

Claims (4)

1. 互いに対向する駆動基板および対向基板と、
   これらの駆動基板および対向基板の間に封入される電気光学材料と、
   前記駆動基板に設けられるとともに、互いに直交する複数のソース線および複数のゲート線と、
   前記複数のソース線および前記複数のゲート線との交差部近傍に設けられ、前記ソース線に出力された電荷を前記電気光学材料に印加する複数の画素電極と、
   前記ゲート線、前記ソース線、および前記画素電極に接続されるとともに、前記ゲート線から入力されるゲート信号に応じて、前記ソース線から前記画素電極への電荷の印加状態を切り替えるスイッチング素子と、
   前記対向基板に設けられるとともに、前記画素電極に接続される複数の共通電極線と、
   複数の前記共通電極線を２相以上に分割し、これら各相の前記共通電極線をそれぞれ結線する複数の共通電極検査線と、
   を具備したことを特徴とする表示体。
2. 請求項１に記載の表示体において、
   前記ソース線は、赤色用ソース信号が入力されるＲソース線、緑色用ソース信号が入力されるＧソース線、および青色用ソース信号が入力されるＢソース線を備え、
   前記共通電極線は、各色ソース線に対応してそれぞれ設けられる、Ｒ共通電極線、Ｇ共通電極線、およびＢ共通電極線を備え、
   前記共通電極検査線は、Ｒ共通電極線同士、Ｇ共通電極線同士、およびＢ共通電極線同士をそれぞれ結線する
   ことを特徴とする表示体。
3. 互いに対向する駆動基板および対向基板と、これらの駆動基板および対向基板の間に封入される電気光学材料と、前記駆動基板に設けられるとともに、互いに直交する複数のソース線および複数のゲート線と、前記複数のソース線および前記複数のゲート線との交差部近傍に設けられ、前記ソース線に出力された電荷を前記電気光学材料に印加する複数の画素電極と、前記ゲート線、前記ソース線、および前記画素電極に接続されるとともに、前記ゲート線から入力されるゲート信号に応じて、前記ソース線から前記画素電極への電荷の印加状態を切り替えるスイッチング素子と、前記対向基板に設けられるとともに、前記画素電極に接続される複数の共通電極線と、複数の前記共通電極線を２相以上に分割し、これら各相の前記共通電極線をそれぞれ結線する複数の共通電極検査線と、を具備した表示体におけるリーク欠陥を検査する検査装置であって、
   複数の前記ゲート線に接触して、これらの接触した複数のゲート線を一括短絡させるとともに、ゲート検査端子に接続されるゲートプローブと、
   複数の前記ソース線に接触して、これらの接触した複数のソース線を一括短絡させるとともに、ソース検査端子に接続されるソースプローブと、
   各共通電極検査線に接続されるとともに、共通電極検査端子に接続される複数の共通電極プローブと、
   前記ソースプローブと前記ソース線との接続状態を、切断および接続のうち少なくともいずれか一方に切り替えるソース接続切替手段と、
   前記共通電極検査端子のうち、検査対象以外の共通電極検査端子に交流電圧を印加する交流電圧印加手段と、
   検査対象となる前記共通電極検査端子に流れるリーク電流を検出する電流検出手段と、
   を備えたことを特徴とする検査装置。
4. 互いに対向する駆動基板および対向基板と、これらの駆動基板および対向基板の間に封入される電気光学材料と、前記駆動基板に設けられるとともに、互いに直交する複数のソース線および複数のゲート線と、前記複数のソース線および前記複数のゲート線との交差部近傍に設けられ、前記ソース線に出力された電荷を前記電気光学材料に印加する複数の画素電極と、前記ゲート線、前記ソース線、および前記画素電極に接続されるとともに、前記ゲート線から入力されるゲート信号に応じて、前記ソース線から前記画素電極への電荷の印加状態を切り替えるスイッチング素子と、前記対向基板に設けられるとともに、前記画素電極に接続される複数の共通電極線と、複数の前記共通電極線を２相以上に分割し、これら各相の前記共通電極線をそれぞれ結線する複数の共通電極検査線と、を具備した表示体におけるリーク欠陥を検査する検査方法であって、
   ゲート検査端子に接続されるゲートプローブを複数の前記ゲート線に接触させて、これらの接触した複数のゲート線を一括短絡させ、
   ソース検査端子に接続されるソースプローブを、複数の前記ソース線から離隔させて各ソース線をオープン状態とし、
   共通電極検査端子に接続される共通電極プローブを各共通電極検査線に接続し、
   前記共通電極検査端子のうち、検査対象以外の共通電極検査端子に交流電圧を印加し、
   検査対象となる前記共通電極検査端子に流れるリーク電流を検出する
   ことを特徴とする検査方法。

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