JP2010121042A - 感光性樹脂、その製造方法及び感光性樹脂組成物 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】カルボキシル基含有重合体に反応性不飽和基が導入された感光性樹脂であって、該感光性樹脂は、カルボキシル基含有重合体にエポキシ基含有反応性不飽和単量体を反応させて反応性不飽和基を導入した重合体に、多塩基酸無水物とエポキシ基含有反応性不飽和単量体とを反応させて更に反応性不飽和基を導入させて得られる重合体によって構成されるものである感光性樹脂。
【選択図】なし
Description
また、カラーフィルター用の感光性樹脂組成物を基板上に塗布する方法としては、従来はスピンコート法(回転塗布法)が用いられてきたが、近年の基板の大型化に伴い、スリット・アンド・スピン方式やスピンレス方式等のスリットヘッドを用いる方式(以下、スリット塗布法と呼ぶ。)に移行してきている。
以下に本発明を詳述する。
このようにして得られる重合体は、カルボキシル基と反応性不飽和基とを有することとなり、これらの存在により、少ない露光量で硬化し、かつ、アルカリ可溶性に優れるため、シャープなエッジのパターンが得られる、現像残渣が低減される等の優れた製版特性が発揮されることとなる。
なお、上記感光性樹脂は、上記のようにして得られる重合体を含む限り、その他の成分を含んでいてもよいが、上記感光性樹脂固形分100重量%に対して、上記のようにして得られる重合体を20重量%以上含むことが好ましい。より好ましくは、30重量%以上である。
上記カルボキシル基含有重合体にエポキシ基含有反応性不飽和単量体を反応させて反応性不飽和基を導入するとは、カルボキシル基含有重合体のカルボキシル基にエポキシ基含有反応性不飽和単量体のエポキシ基をエステル付加させることにより、重合体に不飽和基を導入することである。この反応によりエポキシ基がカルボキシル基と反応し、開環することによって、重合体は同時に水酸基を有することとなる。なお、この反応工程を付加反応工程(I)と表記し、付加反応工程(I)により生成する重合体を反応性不飽和基含有重合体(a)と表記する。この重合体(a)の一形態として、例えば、カルボキシル基含有重合体にエポキシ基含有反応性不飽和単量体であるメタクリル酸グリシジルを付加させたものを模式的に表すと、下記式のように表される。
そして更に、変性後の反応性不飽和基含有重合体(b)とエポキシ基含有反応性不飽和単量体とを反応させることとなる。この反応では、変性後の反応性不飽和基含有重合体(b)のカルボキシル基とエポキシ基含有反応性不飽和単量体のエポキシ基とがエステル付加反応し、重合体(b)に更に不飽和基が導入されることとなる。この反応工程を付加反応工程(II)と表記し、付加反応工程(II)により生成する重合体を反応性不飽和基含有重合体(c)と表記する。この重合体(c)の一形態として、例えば、カルボキシル基含有重合体、エポキシ基含有反応性不飽和単量体としてメタクリル酸グリシジル、多塩基酸無水物として無水コハク酸を用いて合成されたものを模式的に表すと、下記式のように表される。
以下反応工程を順次説明していくこととなるが、まずは、カルボキシル基含有重合体について説明する。
なお、本明細書中、「(メタ)アクリル酸」とは、メタクリル酸とアクリル酸の両方を表現した表記である。
これらの中では、パターン特性や現像マージン等の各種製版特性のバランスを取り易い点で、(メタ)アクリル酸メチル、(メタ)アクリル酸ベンジル、(メタ)アクリル酸シクロヘキシル、スチレン、及び、ビニルトルエンの1種又は2種以上を用いることが好ましい。
また、耐熱性を向上させるためには、N置換マレイミド類を用いることが好ましい。耐熱性の他、溶媒への溶解性、工業的入手のし易さ等の点から、N−フェニルマレイミド、N−シクロヘキシルマレイミド、N−ベンジルマレイミドがより好ましい。溶媒への溶解性、加熱での着色の少なさの点から、N−ベンジルマレイミドが特に好ましい。
更に、低着色、耐熱性向上、及び、顔料分散性を向上させるためには、α−ヒドロキシメチルアクリレートのエーテルダイマー類を用いることが好ましい。中でも、ジメチル−2,2’−(オキシジメチレン)ジアクリレートが特に好ましい。
溶媒としては、例えば、メタノール、エタノール、イソプロパノール、n−ブタノール、sec−ブタノール等のモノアルコール類;エチレングリコール、プロピレングリコール等のグリコール類;テトラヒドロフラン,ジオキサン等の環状エーテル類;エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノブチルエーテル、3−メトキシブタノール等のグリコールモノエーテル類;エチレングリコールジメチルエーテル、エチレングリコールジエチルエーテル、エチレングリコールエチルメチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールエチルメチルエーテル、プロピレングリコールジメチルエーテル、プロピレングリコールジエチルエーテル等のグリコールエーテル類;エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノブチルエーテルアセテート、ジプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジプロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジプロピレングリコールモノブチルエーテルアセテート、3−メトキシブチルアセテート等のグリコールモノエーテルのエステル類;酢酸メチル、酢酸エチル、酢酸プロピル、酢酸イソプロピル、酢酸ブチル、プロピオン酸メチル、プロピオン酸エチル、プロピオン酸ブチル、乳酸メチル、乳酸エチル、乳酸ブチル、3−メトキシプロピオン酸メチル、3−メトキシプロピオン酸エチル、3−エトキシプロピオン酸メチル、3−エトキシプロピオン酸エチル、アセト酢酸メチル、アセト酢酸エチル等のアルキルエステル類;アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン等のケトン類;ベンゼン、トルエン、キシレン、エチルベンゼン等の芳香族炭化水素類;ヘキサン、シクロヘキサン、オクタン等の脂肪族炭化水素類;ジメチルホルムアミド、ジメチルアセトアミド、N−メチルピロリドン等のアミド類等が挙げられる。これらの中では、モノアルコール類、グリコールモノエーテルのエステル類を用いることが好ましい。これらの中でも、イソプロパノール、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートが特に好ましい。これらは単独で用いても、2種以上を併用してもよい。溶媒の使用量としては、全単量体成分100重量%に対して、40〜1000重量%が好ましい。より好ましくは、100〜400重量%である。
ラジカル重合開始剤としては、例えば、クメンハイドロパーオキサイド、ジイソプロピルベンゼンハイドロパーオキサイド、ジ−t−ブチルパーオキサイド、ラウロイルパーオキサイド、ベンゾイルパーオキサイド、t−ブチルパーオキシイソプロピルカーボネート、t−ブチルパーオキシー2−エチルヘキサノエート、アゾビスイソブチロニトリル、1,1’−アゾビス(シクロヘキサンカルボニトリル)、2,2’−アゾビス(2,4−ジメチルバレロニトリル)、ジメチル2,2’−アゾビス(2−メチルプロピオネート)等、公知の過酸化物やアゾ化合物等が挙げられる。これらの中では、t−ブチルパーオキシー2−エチルヘキサノエート、ジメチル2,2’−アゾビス(2−メチルプロピオネート)を用いることが好ましく、t−ブチルパーオキシー2−エチルヘキサノエートがより好ましい。これらは単独で用いても、2種以上を併用してもよい。
ラジカル重合開始剤の使用量としては、例えば、重量平均分子量が数千〜数万の重合体を得るには、全単量体成分100重量%に対して、0.1〜20重量%が好ましい。より好ましくは、0.5〜15重量%である。なお、ラジカル重合開始剤の使用量は、使用する単量体の種類や量、重合温度、重合濃度等の重合条件、目標とする重合体の分子量等に応じて適宜設定することが好適である。
連鎖移動剤の使用量としては、例えば、重量平均分子量が数千〜数万の重合体を得るには、全単量体成分100重量%に対して、0.1〜20重量%が好ましい。より好ましくは、0.5〜15重量%である。なお、連鎖移動剤の使用量は、使用する単量体の種類や量、重合温度、重合濃度等の重合条件、目標とする重合体の分子量等に応じて適宜設定することが好適である。
上記カルボキシル基含有重合体の溶液中の水分量は、カルボキシル基含有重合体溶液の全質量を100重量%としたとき、1.0重量%以下であることが好ましい。より好ましくは、水分量が0.5重量%以下であり、更に好ましくは、水分量が0.1重量%以下である。水分を低減する方法としては、溶液中に含まれる溶媒とともに留去する方法、乾燥した不活性ガスを吹き込む方法、モレキュラーシーブ等の脱水吸着剤を用いる方法等、公知の方法が挙げられる。
続いて、上記付加反応工程(I)について説明する。
このような化合物としては、(メタ)アクリル酸グリシジル、(メタ)アクリル酸β−メチルグリシジル、(メタ)アクリル酸β−エチルグリシジル、(メタ)アクリル酸アリル、ビニルベンジルグリシジルエーテル、アリルグリシジルエーテル等の脂肪族1,2−エポキシド基を有する単量体、3−(メタ)アクリロキシメチルオキセタン、3−メチル−3−(メタ)アクリロキシメチルオキセタン、3−エチル−3−(メタ)アクリロキシメチルオキセタン等の脂肪族1,3−エポキシド基を有する単量体、(メタ)アクリル酸(3,4−エポキシシクロヘキシル)メチル、ビニルシクロヘキセンオキサイド等の脂環式1,2−エポキシド基を有する単量体が挙げられる。これらの中でも、カルボキシル基への反応性及び塗布液としたときの流動特性や塗布特性の点で、脂肪族1,2−エポキシド基を有する単量体が好ましい。特に好ましくは、(メタ)アクリル酸グリシジルである。最も好ましくは、メタクリル酸グリシジルである。
装置:GC−17A(商品名、(株)島津製作所製)
キャリアガス:ヘリウム
内部標準物質:炭酸ジフェニル
カラム:ULBON HR−1(商品名、信和化工株式会社製)
塩基性触媒としては、例えば、ジメチルベンジルアミン、トリエチルアミン、トリ−n−オクチルアミン、テトラメチルエチレンジアミン等の3級アミン、テトラメチルアンモニウムクロライド、テトラメチルアンモニウムブロマイド、テトラブチルアンモニウムブロマイド、n−ドデシルトリメチルアンモニウムクロライド等の4級アンモニウム塩、テトラメチル尿素等の尿素化合物、テトラメチルグアニジン等のアルキルグアニジン、ジメチルホルムアミド、ジメチルアセトアミド等のアミド化合物、トリフェニルホスフィン、トリブチルホスフィン等の3級ホスフィン、テトラフェニルホスホニウムブロマイド、ベンジルトリフェニルホスホニウムブロマイド等の4級ホスホニウム塩等を挙げることができる。これらの中では、反応性、取扱い性やハロゲンフリーの点で、ジメチルベンジルアミン、トリエチルアミン、テトラメチル尿素、トリフェニルホスフィンが好ましく、トリエチルアミンが特に好ましい。これらの触媒は、単独で使用しても、2種以上混合して使用してもよい。
上記付加反応工程(I)における触媒の使用量は、カルボキシル基含有重合体とエポキシ基含有反応性不飽和単量体との合計重量を100重量%としたとき、0.01〜5.0重量%であることが好ましい。より好ましくは0.1〜3.0重量%である。上記範囲で行うことにより、反応時間が短縮でき経済的であり、また、本発明の感光性樹脂を構成する重合体の保存安定性を確保できる。
なお、酸価は、0.1規定のKOH水溶液を滴定液として用いて、自動滴定装置(平沼産業株式会社製、商品名:COM−555)により、重合体溶液の酸価を測定し、溶液の酸価と溶液の固形分から固形分酸価を計算することで求めることが可能である。ここで、重合体溶液の固形分は、次のようにして求めることができる。重合体溶液をアルミカップに約1gはかり取り、アセトン約3gを加えて溶解させた後、常温で自然乾燥させる。そして、熱風乾燥機(エスペック株式会社製、商品名:PHH−101)を用い、120℃で3時間乾燥した後、デシケータ内で放冷し、重量を測定する。その重量減少量から、重合体溶液の固形分を算出する。
なお、重量平均分子量は、下記ゲルパーミエーションクロマトグラフィ(GPC)装置及び条件で測定することが好適である。
装置:HLC−8220GPC(商品名、東ソー株式会社製)
溶出溶媒:テトラヒドロフラン
標準物質:東ソー株式会社製標準ポリスチレン
分離カラム:TSKgel SuperHZM−M
続いて、上記変性工程について説明する。
上記式(1)で表される化合物としては、例えば、無水コハク酸、ドデセニルコハク酸、ペンタデセニルコハク酸、オクタデセニルコハク酸、テトラヒドロ無水フタル酸、メチルテトラヒドロ無水フタル酸、ヘキサヒドロ無水フタル酸、メチルヘキサヒドロ無水フタル酸、エンドメチレンテトラヒドロ無水フタル酸、メチルエンドメチレンテトラヒドロ無水フタル酸、無水ジフェン酸、無水マレイン酸、無水イタコン酸、無水フタル酸、無水グルタル酸、無水フタル酸、無水トリメリット酸、無水ピロメリット酸が挙げられる。これらの1種又は2種以上を用いることができる。
多塩基酸無水物としてこれらのものを用いて形成されるエステル結合は、安定で保存安定性により優れたものとなる。
上記変性後の反応性不飽和基含有重合体(b)の溶液中の水分量は、変性後の反応性不飽和基含有重合体(b)溶液の全質量を100重量%としたとき、1.0重量%以下であることが好ましい。より好ましくは、水分量が0.5重量%以下であり、更に好ましくは、水分量が0.1重量%以下である。水分を低減する方法としては、溶液中に含まれる溶媒とともに留去する方法、乾燥した不活性ガスを吹き込む方法、モレキュラーシーブ等の脱水吸着剤を用いる方法等、公知の方法が挙げられる。
続いて、上記付加反応工程(II)について説明する。
なお、ここでいう連結基は、上記変性工程において用いられる多塩基酸無水物を示した一般式(1)中のYに対応するものを表している。
感光性樹脂の固形分酸価が20〜150mgKOH/gの範囲であった場合には、シャープなエッジパターンが得られる、現像残渣が低減される、等の優れた製版特性が発揮されることとなる。より好ましくは、25〜150mgKOH/gであり、更に好ましくは、30〜150mgKOH/gである。
また、上記感光性樹脂の重量平均分子量が5000〜100000の範囲であった場合には、感光性樹脂の充分な保存安定性と、感度やパターン形状等の良好な製版特性とを更に高いレベルで両立することが期待できる。より好ましくは、5000〜70000であり、更に好ましくは、5000〜50000である。
感光性樹脂の二重結合当量が上記範囲であった場合には、上記感光性樹脂を含む感光性樹脂組成物を硬化させた時に架橋密度の高い塗膜が形成され、これにより基板に対する密着性を向上させることが可能となる。したがって、上記感光性樹脂の充分な保存安定性と感度やパターン形状等の良好な製版特性、及び、該感光性樹脂を含む感光性樹脂組成物塗膜の基板密着性を更に高いレベルで両立することが期待できる。より好ましくは、265〜420であり、更に好ましくは、280〜420である。
より好ましくは、0.15<B/A<0.9であり、更に好ましくは、0.2<B/A<0.9である。
なお、上記反応性不飽和基のモル数(A)及び水酸基のモル数(B)は、投入するエポキシ基含有反応性不飽和単量体の合計量から、及び、投入するエポキシ基含有反応性不飽和単量体の合計量と投入する多塩基酸無水物の量との差から、それぞれ算出することができる。
カラーフィルター用感光性樹脂組成物は、通常、アルカリ可溶性樹脂、光重合性単量体、光重合開始剤及び溶媒を含有して成るが、本発明の感光性樹脂組成物は、アルカリ可溶性樹脂として上記感光性樹脂を含む。
いわゆるレジストとしては、通常では、アルカリ可溶性樹脂、光重合性単量体、光重合開始剤及び溶媒を含んで構成されることになり、カラーレジストはこれに色材を含むことになる。すなわち、上記感光性樹脂組成物が、更に色材を含むこともまた、本発明の好適な実施形態の1つである。
以下の説明は、感光性樹脂組成物に含有し得る成分について行うが、本発明は、これに限定されるものではない。
本発明の感光性樹脂組成物におけるアルカリ可溶性樹脂は、塗膜形成及びアルカリ現像液による現像を可能とする働きを有するもの、すなわち、塗布特性や製版特性を制御するバインダー樹脂としての機能を有するものであり、アルカリ可溶性基を必須とする。更に、感度やパターン特性の向上のために、反応性不飽和基も有することが好ましい。また、アルカリ可溶性樹脂は、塗布特性や製版特性だけでなく、硬化塗膜の機械的特性や耐熱性にも寄与する。感光性樹脂組成物が、更に色材成分(顔料、分散剤、分散助剤)を含む場合には、色材成分を分散安定化させる分散樹脂としての機能も要求される。
本発明の感光性樹脂は、色材成分の分散安定化機能にも優れているため、着色組成物用のアルカリ可溶性樹脂として好適である。また、硬化塗膜の機械的特性や耐熱性にも優れており、保護膜用やフォトスペーサー用のアルカリ可溶性樹脂としても有用である。
上記感光性樹脂の使用量としては、アルカリ可溶性樹脂の全固形分を100重量%としたとき、20〜100重量%であることが好ましい。より好ましくは30〜100重量%である。なお、「全固形分」とは、溶媒以外の全ての成分を意味する。
本発明の感光性樹脂組成物における光重合性単量体は、2個以上の反応性不飽和結合を有する単量体であり、光重合開始剤から発生したラジカルにより重合・硬化し、感光性を発現するための成分である。
光重合性単量体としては、例えば、エチレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、トリメチロールエタントリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールジ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート等の多価ヒドロキシ化合物と不飽和カルボン酸とのエステル;多価ヒドロキシ化合物と不飽和カルボン酸とのエステルの未反応水酸基に多塩基酸無水物を反応させて得られる酸基含有多官能性単量体、ポリイソシアネート化合物と水酸基含有(メタ)アクリル酸エステルを反応させて得られるようなウレタン(メタ)アクリレート類;多官能エポキシ化合物と(メタ)アクリル酸との付加反応物のようなエポキシ(メタ)アクリレート類;フタル酸ジアリル、トリアリルイソシアヌレート等のアリル化合物等が挙げられる。これら光重合性単量体は、単独で用いてもよく、2種以上を混合して用いてもよい。これらの中では、多価ヒドロキシ化合物と不飽和カルボン酸とのエステルを用いることが好ましい。より好ましくは、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレートである。
上記光重合性単量体の使用量は、感光性樹脂組成物の全固形分を100重量%としたとき、5〜80重量%であることが好ましい。より好ましくは10〜70重量%である。なお、本発明の感光性樹脂組成物の性能を損なわない範囲で、(メタ)アクリル酸メチルなど単官能性単量体を、光重合開始剤から発生したラジカルにより重合・硬化する成分として上記光重合性単量体と併用してもよい。
本発明の感光性樹脂組成物における光重合開始剤は、活性光線により励起されてラジカルを発生し、反応性不飽和結合を重合させる化合物である。
光重合開始剤としては、例えば、2,2−ジエトキシアセトフェノン、2,2−ジメトキシー2−フェニルアセトフェノン、1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニルプロパン−1−オン、1−〔4−(2−ヒドロキシエトキシ)フェニル〕−2−ヒドロキシー2−メチル−1−プロパン−1−オン、2−ヒドロキシ−1−{4−〔4−(2−ヒドロキシ−2−メチルプロピオニル)ベンジル〕フェニル}−2−メチルプロパン−1−オン、2−メチル−1−(4−メチルチオフェニル)−2−モルフォリノプロパン1−オン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタノン−1、2−(ジメチルアミノ)−2−〔(4−メチルフェニル)メチル〕−1−〔4−(4−モルホリニル)フェニル〕−1−ブタノン等のアルキルフェノン系化合物;
ベンゾフェノン、4,4’−ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン、2−カルボキシベンゾフェノン等のベンゾフェノン系化合物;
ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテ等のベンゾイン系化合物;
チオキサントン、2−エチルチオキサントン、2−イソプロピルチオキサントン、2−クロロチオキサントン、2,4−ジメチルチオキサントン、2,4−ジエチルチオキサントン等のチオキサントン系化合物;
2−トリクロロメチル−5−(2’−ベンゾフリル)−1,3,4−オキサジアゾール、2−トリクロロメチル−5−〔β−(2’−ベンゾフリル)ビニル〕−1,3,4−オキサジアゾール、4−オキサジアゾール、2−トリクロロメチル−5−フリル−1,3,4−オキサジアゾール等のハロメチル化オキサジアゾール系化合物;
2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール、2,2’−ビス(2,4−ジクロロフェニル)−4,4’,5,5’ −テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール、2,2’−ビス(2,4,6−トリクロロフェニル)−4,4’,5,5’ −テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール等のビイミダゾール系化合物;
1,2−オクタンジオン,1−〔4−(フェニルチオ)−,2−(O−ベンゾイルオキシム)〕、エタノン,1−〔9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル〕−,1−(O−アセチルオキシム)等のオキシムエステル系化合物;
ビス(η5−2,4−シクロペンタジエン−1−イル)−ビス(2,6−ジフルオロ−3−(1H−ピロール−1−イル)−フェニル)チタニウム等のチタノセン系化合物;
p−ジメチルアミノ安息香酸、p−ジエチルアミノ安息香酸等の安息香酸エステル系化合物;
9−フェニルアクリジン等のアクリジン系化合物;
等を挙げることができ、これらは単独で用いても、2種以上を併用してもよい。光重合開始剤の使用量は、感光性樹脂組成物の全固形分を100重量%としたとき、0.1〜30.0重量%であることが好ましい。更に好ましくは0.5〜20.0重量%である。
水素供与体としては、例えば、4−ジメチルアミノ安息香酸エチル、4−ジメチルアミノ安息香酸2−エチルヘキシル等のアミン系水素供与体、2−メルカプトベンゾチアゾール、2−メルカプトベンゾオキサゾール、2−メルカプトベンゾイミダゾール等のメルカプタン系水素供与体等が挙げられる。これら水素供与体は、単独で用いても2種以上を併用してもよい。
上記水素供与体の使用量は、感光性樹脂組成物の全固形分を100重量%としたとき、通常、0〜20重量%であることが好ましい。より好ましくは0.1〜10重量%である。
増感色素としては、キサンテン色素、クマリン色素、3−ケトクマリン系化合物、ピロメテン色素、ジアルキルアミノベンゼン系化合物等が挙げられる。これらの増感色素は、単独で用いても2種以上を併用してもよい。
上記増感色素の使用量は、感光性樹脂組成物の全固形分を100重量%としたとき、通常、0〜20重量%であることが好ましい。より好ましくは0.1〜10重量%である。
本発明の感光性樹脂組成物における溶媒としては、アルカリ可溶性樹脂、光重合性単量体、光重合開始剤、必要に応じて色材、分散剤、その他添加剤を溶解又は分散させ、粘度や乾燥特性等を調整する機能を有するものであればよい。
このような溶媒としては、例えば、メタノール、エタノール、イソプロパノール、n−ブタノール、sec−ブタノール等のモノアルコール類;エチレングリコール、プロピレングリコール等のグリコール類;テトラヒドロフラン,ジオキサン等の環状エーテル類;エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノブチルエーテル、3−メトキシブタノール等のグリコールモノエーテル類;エチレングリコールジメチルエーテル、エチレングリコールジエチルエーテル、エチレングリコールエチルメチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールエチルメチルエーテル、プロピレングリコールジメチルエーテル、プロピレングリコールジエチルエーテル等のグリコールエーテル類;エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノブチルエーテルアセテート、ジプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジプロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジプロピレングリコールモノブチルエーテルアセテート、3−メトキシブチルアセテート等のグリコールモノエーテルのエステル類;酢酸メチル、酢酸エチル、酢酸プロピル、酢酸イソプロピル、酢酸ブチル、プロピオン酸メチル、プロピオン酸エチル、プロピオン酸ブチル、乳酸メチル、乳酸エチル、乳酸ブチル、3−メトキシプロピオン酸メチル、3−メトキシプロピオン酸エチル、3−エトキシプロピオン酸メチル、3−エトキシプロピオン酸エチル、アセト酢酸メチル、アセト酢酸エチル等のアルキルエステル類;アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン等のケトン類;ベンゼン、トルエン、キシレン、エチルベンゼン等の芳香族炭化水素類;ヘキサン、シクロヘキサン、オクタン等の脂肪族炭化水素類;ジメチルホルムアミド、ジメチルアセトアミド、N−メチルピロリドン等のアミド類等が挙げられる。これらは、単独で用いても2種以上併用してもよい。
上記溶媒の使用量としては、感光性樹脂組成物の全質量を100重量%としたとき、全固形分が5〜50重量%であることが好ましい。より好ましくは10〜40重量%である。なお、溶媒の使用量は、溶媒以外の成分の種類や量に応じて適宜設定することが好適である。
本発明の感光性樹脂組成物を着色組成物とする場合には、色材として染顔料を、単独でまたは2種類以上混合して用いることができる。耐熱性、耐光性の観点から、有機又は無機の顔料が好ましい。
有機顔料としては、アゾ系、アントラキノン系、キノフタロン系、フタロシアニン系、キナクリドン系、ベンズイミダゾロン系、イソインドリン系、ジオキサジン系、インダンスレン系、ペリレン系、ジケトピロロピロール系等が挙げられ、例えば、
C.I.ピグメントレッド81、105、122、149、150、177、202、206、207、208、209、215、216、220、224、226、242、243、245、254、255、264、265、272;
C.I.ピグメントオレンジ36、38、43、71;
C.I.ピグメントイエロー11、24、31、53、83、128、138、139、150、151、152、153、154、155、156、166、168、175、185、199;
C.I.ピグメントグリーン1、2、4、7、8、10、13、14、15、17、18、19、26、36、45、48、50、51、54、55;
C.I.ピグメントブルー15、15:3、15:4、15:6、16、22、60、64;
C.I.ピグメントバイオレット1、19、23、27、29、30、32、37、40、42、50;
C.I.ピグメントブラウン1、6、11、25、28、30、43;
C.I.ピグメントブラック1、6、7、12、20、31、32;
カーボンブラック、黒鉛、アニリンブラック;
等が挙げられる。なお、「C.I.」は、カラーインデックスを意味する。
無機顔料としては、酸化チタン、チタンブラック、硫酸バリウム、亜鉛華、硫酸鉛、黄色鉛、亜鉛黄、べんがら、カドミニウム赤、群青、紺青、酸化クロム緑、コバルト緑、アンバー、合成鉄黒等、金属酸化物や錯塩が挙げられる。
また、染料としては、アゾ系、アントラキノン系、フタロシアニン系、キノンイミン系、キノリン系、ニトロ系、カルボニル系、メチン系等が挙げられる。
上記色材の使用量は、着色組成物の全固形分を100重量%としたとき、通常、10〜60重量%であることが好ましい。より好ましくは20〜50重量%である。
本発明の感光性樹脂組成物を顔料により着色組成物とする場合には、分散剤及び分散助剤を用いることができる。これによって、顔料の分散性を向上させることができる。
分散剤としては、公知のものを使用することができ、通常、親水部分と親油部分とを併せ持つ化合物が用いられるが、特に、溶媒やアルカリ可溶性樹脂と親和性を有する高分子鎖と、アミノ基、カルボキシル基、リン酸基等の顔料吸着基とを併せ持つ高分子分散剤が好ましく用いられる。例えば、ウレタン系分散剤、ポリエチレンイミン系分散剤、ポリオキシエチレンアルキルエーテル系分散剤、ポリオキシエチレングリコールジエステル系分散剤、ソルビタン脂肪族エステル系分散剤、脂肪族変性ポリエステル系分散剤等を挙げることができ、具体的には、Disperbikシリーズ(ビックケミー・ジャパン株式会社製)、SOLSPERSEシリーズ(日本ルーブリゾール株式会社製)、EFKAシリーズ(EFKA ADDITIVES社製)、アジスパーシリーズ(味の素ファインテクノ社製)、ディスパロンシリーズ(楠本化成株式会社製)、KPシリーズ(信越化学工業株式会社製)、ポリフロー(共栄社化学株式会社製)等が市販されている。これらの分散剤は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができ、その使用量は、全固形分に対して0〜50重量%、好ましくは0〜30重量%である。
分散助剤としては、例えば、官能基を導入した色素誘導体が挙げられる。母体となる色素の構造としては、アゾ系、アントラキノン系、キノフタロン系、フタロシアニン系、キナクリドン系、ベンズイミダゾロン系、イソインドリン系、ジオキサジン系、インダンスレン系、ペリレン系、ジケトピロロピロール系が挙げられ、誘導体の官能基としては、スルホン酸基、スルホンアミド基及びその4級塩、ジアルキルアミノ基、水酸基、カルボキシル基、アミド基等が挙げられる。これらの分散助剤は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。
上記分散助剤の使用量は、着色組成物の全固形分を100重量%としたとき、0〜20重量%であることが好ましい。より好ましくは0〜10重量%である。
本発明の感光性樹脂組成物は、必要に応じて、界面活性剤を添加することができる。これによって、レベリング性を向上させることができる。界面活性剤の種類としては、ノニオン系、フッ素系、シリコーン系が挙げられる。これらの中でも、フッ素系、シリコーン系界面活性剤が特に好ましい。
本発明の感光性樹脂組成物は、必要に応じて、シランカップリング剤を添加することができる。これによって、更に密着性を向上させることができる。
シランカップリング剤の種類としては、エポキシ系、メタクリル系、アミノ系等が挙げられる。これらの中でも、エポキシ系のシランカプリング剤が特に好ましい。
本発明の感光性樹脂組成物は、必要に応じて、N−(アルコキシメチル)メラミン化合物、2個以上のエポキシ基を有する化合物を添加することができる。これによって、耐熱性や強度を向上することができる。
本発明の感光性樹脂組成物は、必要に応じて各種添加物、例えば、低分子カルボン酸や低分子カルボン酸無水物等の現像改良剤、p−メトキシフェノール等の熱重合防止剤、ガラス、アルミナ等の充填剤;ポリビニルアルコール、ポリビニルピロリドン等の高分子化合物、2−(3−t−ブチル−5−メチル−2−ヒドロキシフェニル)−5−クロロベンゾトリアゾール等の紫外線吸収剤、ポリアクリル酸ナトリウム等の凝集防止剤、熱重合開始剤、可塑剤等を配合することができる。
本発明の感光性樹脂組成物が色材として顔料を含む場合には、顔料の分散処理工程を経て製造される。例えば、まず、顔料、溶媒、分散剤とを各所定量秤量し、ペイントコンディショナー、ビーズミル、ロールミル、ボールミル、ジェットミル、ホモジナイザー、ニーダー、ブレンダー等の分散機を用い、顔料を微粒子分散させて液状の顔料分散液とする。好ましくは、ロールミル、ニーダー、ブレンダー等で混練分散処理をしてから、0.01〜1mmのジルコニアビーズを充填したビーズミル等のメディアミルで微分散処理をする。また、顔料、溶媒、分散剤に加えて、分散樹脂としてのアルカリ可溶性樹脂を併用したり、分散助剤を併用したりするのが好ましい。得られた顔料分散液に、溶媒、バインダー樹脂としてのアルカリ可溶性樹脂、光重合性単量体、光重合開始剤、その他界面活性剤等の添加剤を加えて混合、均一な分散溶液とし、感光性樹脂組成物を得る。得られた感光性樹脂組成物は、フィルター等によって、濾過処理をして微細なゴミを除去するのが望ましい。
すなわち、上記感光性樹脂組成物を硬化してなる硬化物、及び、透明基板上に該硬化物が形成されているカラーフィルターもまた、本発明の1つである。
基板に塗布した後の塗膜の乾燥は、ホットプレート、IRオーブン、コンベクションオーブン等を用いて行う。乾燥条件は、含まれる溶媒成分の沸点、硬化成分の種類、膜厚、乾燥機の性能等に応じて適宜選択されるが、通常、50〜160℃の温度で、10秒から300秒間行う。
露光を行った後、現像液により現像処理し、未露光部分を除去しパターンを形成する。現像液としては、本発明の感光性樹脂組成物を溶解するものであればいかなるものも用いることができるが、通常、有機溶媒やアルカリ性の水溶液が用いられる。現像液としてアルカリ性の水溶液を用いる場合には、現像後、さらに水で洗浄することが好ましい。アルカリ性の水溶液には、アルカリ剤の他、必要に応じ界面活性剤、有機溶媒、緩衝剤、染料、顔料等を含有させることができる。アルカリ剤としては、珪酸ナトリウム、珪酸カリウム、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、水酸化リチウム、第三リン酸ナトリウム、第二リン酸ナトリウム、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、炭酸水素ナトリウム等の無機のアルカリ剤;トリメチルアミン、ジエチルアミン、イソプロピルアミン、n−ブチルアミン、モノエタノールアミン、ジエタノールアミン、トリエタノールアミン、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラエチルアンモニウムヒドロキシド等のアミン類が挙げられ、これらは単独でも2種以上を組み合わせてもよい。
有機溶媒としては、例えば、イソプロパノール、ベンジルアルコール、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル、プロピレングリコール等のアルコール類が挙げられ、これらは単独でも2種以上を組み合わせてもよい。現像処理は、通常10〜50℃の現像温度で、浸漬現像、スプレー現像、ブラシ現像、超音波現像等の方法で行われる。
現像後、通常、150〜250℃の温度で5〜60分間、ホットプレート、コンベクションオーブン、高周波加熱機等の加熱機器を用いて加熱し、熱硬化処理を施す。
<感光性樹脂の分析>
[重量平均分子量]
下記ゲルパーミエーションクロマトグラフィ(GPC)装置及び条件で測定した。
装置:HLC−8220GPC(商品名、東ソー株式会社製)
溶出溶媒:テトラヒドロフラン
標準物質:東ソー株式会社製標準ポリスチレン
分離カラム:TSKgel SuperHZM−M
[固形分]
重合体溶液をアルミカップに約1gはかり取り、アセトン約3gを加えて溶解させた後、常温で自然乾燥させた。熱風乾燥機(エスペック株式会社製、商品名:PHH−101)を用い、120℃で3時間乾燥した後、デシケータ内で放冷し、重量を測定した。重量減少量から、重合体溶液の固形分を計算した。
[酸価]
0.1規定のKOH水溶液を滴定液として用い、自動滴定装置(平沼産業株式会社製、商品名:COM−555)により、重合体溶液の酸価を測定した。溶液の酸価と固形分から固形分酸価を計算した。
[二重結合当量]
重合体の二重結合1molあたりの樹脂固形分重量を二重結合当量として、計算により求めた。樹脂固形分重量は、重合体の構成成分の重量と添加した重合禁止剤の重量とを合計したものである。
攪拌機付きセパラブルフラスコに、溶媒としてプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(PGMEA)468部、イソプロパノール(IPA)52部を仕込み、窒素気流下に90℃に昇温した。
他方、滴下系1として、N−ベンジルマレイミド45部、アクリル酸108.6部、PGMEA162部、IPA18部、滴下系2として、ビニルトルエン146.4部、滴下系3として、重合開始剤t−ブチルパーオキシー2−エチルヘキサノエート(PBO、日油(株)製)6部、滴下系4として、3−メルカプトプロピオン酸5.4部を用意し、4時間連続で滴下を行った。滴下終了後、30分間90℃に保持した後、開始剤として、PBO1.5部を投入して、更に30分間90℃に保持した後、115℃に昇温して更に90分間熟成を行った。
反応系を一旦室温まで冷却した後、メタクリル酸グリシジル(GMA)147.96部、重合禁止剤としてアンテージW400(川口化学製)0.67部、付加触媒としてトリエチルアミン1.34部を加え、7%酸素濃度の酸素・窒素混合ガスをバブリングしながら、110℃に昇温し、12時間GMA付加反応を行った。
GMA付加反応終了後、7%酸素濃度の酸素・窒素混合ガスをバブリングしながら、反応系内を30.7kPaまで減圧し、内温が110℃に到達するまで減圧留去を行った。110℃到達後、反応系内を常圧(101.3kPa)まで7%酸素濃度の酸素・窒素混合ガスで解圧した。減圧留去におけるIPAの留出量は312部であった。固形分を調整するため、PGMEA312部を反応系内に投入した。
減圧留去終了後、無水コハク酸93.74部、PGMEA200部を加え、7%酸素濃度の酸素・窒素混合ガスをバブリングしながら、110℃に昇温し、4時間無水コハク酸付加反応を行った。
無水コハク酸付加反応終了後、反応系を一旦室温まで冷却した後、GMA119.85部を加え、7%酸素濃度の酸素・窒素混合ガスをバブリングしながら、110℃に昇温し、12時間GMA付加反応を行い、樹脂溶液1を得た。
ガスクロマトグラフ法にて測定した反応終了後のGMA濃度は、0.05重量%であった。
得られた樹脂溶液1は、固形分濃度(重合体濃度)41.1%、GPC法による重量平均分子量は14800、酸価は64mgKOH/g(固形分)、二重結合当量は358(計算値)であった。
表1のように変更した以外は、合成例1と同様の操作により、樹脂溶液2を得た。
ガスクロマトグラフ法にて測定した反応終了後のGMA濃度は、0.04重量%であった。
得られた樹脂溶液2は、固形分濃度(重合体濃度)41.0%、GPC法による重量平均分子量は15000、酸価は100mgKOH/g(固形分)、二重結合当量は358(計算値)であった。
表1のように変更した以外は、合成例1と同様の操作により、樹脂溶液3を得た。
ガスクロマトグラフ法にて測定した反応終了後のGMA濃度は、0.06重量%であった。
得られた樹脂溶液3は、固形分濃度(重合体濃度)41.3%、GPC法による重量平均分子量は8100、酸価は62mgKOH/g(固形分)、二重結合当量は361(計算値)であった。
表1のように変更した以外は、合成例1と同様の操作により、樹脂溶液4を得た。
ガスクロマトグラフ法にて測定した反応終了後のGMA濃度は、0.05重量%であった。
得られた樹脂溶液4は、固形分濃度(重合体濃度)40.8%、GPC法による重量平均分子量は29800、酸価は65mgKOH/g(固形分)、二重結合当量は356(計算値)であった。
表1のように変更した以外は、合成例1と同様の操作により、樹脂溶液5を得た。
ガスクロマトグラフ法にて測定した反応終了後のGMA濃度は、0.06重量%であった。
得られた樹脂溶液5は、固形分濃度(重合体濃度)42.3%、GPC法による重量平均分子量は14100、酸価は66mgKOH/g(固形分)、二重結合当量は380(計算値)であった。
表1のように変更した以外は、合成例1と同様の操作により、樹脂溶液6を得た。
ガスクロマトグラフ法にて測定した反応終了後のGMA濃度は、0.04重量%であった。
得られた樹脂溶液6は、固形分濃度(重合体濃度)39.2%、GPC法による重量平均分子量は13300、酸価は63mgKOH/g(固形分)、二重結合当量は413(計算値)であった。
攪拌機付きセパラブルフラスコに、溶媒としてプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(PGMEA)522部、イソプロパノール(IPA)58部を仕込み、窒素気流下に90℃に昇温した。
他方、滴下系1として、N−ベンジルマレイミド30部、メタクリル酸120部、メタクリル酸ベンジル90部、メタクリル酸メチル60部、PGMEA108部、IPA12部、滴下系2として、重合開始剤t−ブチルパーオキシー2−エチルヘキサノエート(PBO、日油(株)製)6部、滴下系3として、n−ドデシルメルカプタン18部を用意し、4時間連続で滴下を行った。滴下終了後、30分間90℃に保持した後、115℃に昇温して更に120分間熟成を行った。
反応系を一旦室温まで冷却した後、メタクリル酸グリシジル(GMA)133.75部、重合禁止剤としてアンテージW400(川口化学製)0.65部、付加触媒としてトリエチルアミン1.3部を加え、7%酸素濃度の酸素・窒素混合ガスをバブリングしながら、110℃に昇温し、12時間GMA付加反応を行った。
GMA付加反応終了後、7%酸素濃度の酸素・窒素混合ガスをバブリングしながら、反応系内を30.7kPaまで減圧し、内温が110℃に到達するまで減圧留去を行った。110℃到達後、反応系内を常圧(101.3kPa)まで7%酸素濃度の酸素・窒素混合ガスで解圧した。減圧留去における留出量は309部であった。固形分を調整するため、PGMEA309部を反応系内に投入した。
減圧留去終了後、無水コハク酸84.74部、PGMEA200部を加え、7%酸素濃度の酸素・窒素混合ガスをバブリングしながら、110℃に昇温し、4時間無水コハク酸付加反応を行った。
無水コハク酸付加反応終了後、反応系を一旦室温まで冷却した後、GMA108.34部を加え、7%酸素濃度の酸素・窒素混合ガスをバブリングしながら、110℃に昇温し、12時間GMA付加反応を行い、樹脂溶液7を得た。
ガスクロマトグラフ法にて測定した反応終了後のGMA濃度は、0.05重量%であった。
得られた樹脂溶液7は、固形分濃度(重合体濃度)39.9%、GPC法による重量平均分子量は15300、酸価は67mgKOH/g(固形分)、二重結合当量は383(計算値)であった。
表1のように変更した以外は、合成例7と同様の操作により、樹脂溶液8を得た。
ガスクロマトグラフ法にて測定した反応終了後のGMA濃度は、0.06重量%であった。
得られた樹脂溶液8は、固形分濃度(重合体濃度)40.7%、GPC法による重量平均分子量は15600、酸価は66mgKOH/g(固形分)、二重結合当量は383(計算値)であった。
表1のように変更した以外は、合成例7と同様の操作により、樹脂溶液9を得た。
ガスクロマトグラフ法にて測定した反応終了後のGMA濃度は、0.04重量%であった。
得られた樹脂溶液9は、固形分濃度(重合体濃度)40.5%、GPC法による重量平均分子量は15400、酸価は67mgKOH/g(固形分)、二重結合当量は383(計算値)であった。
GMA付加反応終了後、無水コハク酸付加反応及びGMA付加反応を行わないこと以外は、合成例1と同様の操作により、樹脂溶液10を得た。
ガスクロマトグラフ法にて測定した反応終了後のGMA濃度は、0.04重量%であった。
得られた樹脂溶液10は、固形分濃度(重合体濃度)36.9%、GPC法による重量平均分子量は12500、酸価は75mgKOH/g(固形分)、二重結合当量は443(計算値)であった。
GMA付加反応終了後、無水コハク酸付加反応及びGMA付加反応を行わないこと以外は、合成例7と同様の操作により、樹脂溶液11を得た。
ガスクロマトグラフ法にて測定した反応終了後のGMA濃度は、0.04重量%であった。
得られた樹脂溶液11は、固形分濃度(重合体濃度)37.1%、GPC法による重量平均分子量は12800、酸価は69mgKOH/g(固形分)、二重結合当量は487(計算値)であった。
表1のように変更した以外は、比較合成例1と同様の操作により、樹脂溶液12を得た。
ガスクロマトグラフ法にて測定した反応終了後のGMA濃度は、0.05重量%であった。
得られた樹脂溶液12は、固形分濃度(重合体濃度)40.1%、GPC法による重量平均分子量は16000、酸価は68mgKOH/g(固形分)、二重結合当量は357(計算値)であった。
また、上記表1に記載されている略語は、下記のものを表す。
PGMEA:プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート
IPA:イソプロパノール
BzMI:N−ベンジルマレイミド
MD:ジメチル−2,2’−(オキシジメチレン)ジアクリレート
Vt:ビニルトルエン
MMA:メタクリル酸メチル
BzMA:メタクリル酸ベンジル
CHMA:メタクリル酸シクロヘキシル
AA:アクリル酸
MAA:メタクリル酸
(M)AA:(メタ)アクリル酸
PBO:初めに投入するt−ブチルパーオキシ−2−エチルヘキサノエート
B−PBO:2回目に投入するt−ブチルパーオキシ−2−エチルヘキサノエート
n−DM:n−ドデシルメルカプタン
MPA:3−メルカプトプロピオン酸
GMA:メタクリル酸グリシジル
TEA:トリエチルアミン
W400:アンテージW400(川口化学製)
SA:無水コハク酸
残GMA濃度(重量%):反応終了後の樹脂溶液のGMA濃度(重量%)
B/A:反応性不飽和基のモル数(A)と水酸基のモル数(B)との比率
[密着性]
下記表2の配合表で示した組成物をペイントシェーカーで調整し、0.8μmのガラスフィルターでろ過した。次にガラス基板上にスピンコートし(乾燥厚み2μm)、70℃で5分間ホットプレートにて予備乾燥させた後、パターンマスクを介して超高圧水銀灯を用いて露光量150mJ/cm2で露光を行った。次に2.5%炭酸ナトリウム溶液で表3に記した所定の現像時間で現像を行った後、水洗した。次に230℃で1時間ベークしてパターン状に固着させた。
なお、組成物における配合物としては以下のものを用いた。
青色色材:C.I.ピグメントブルー15:6
光重合開始剤:イルガキュア907(チバ・スペシャリティ・ケミカルズ社製)
光重合性単量体:ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート
分散剤:ソルスパーズ24000(アビシア社製)
溶媒:プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(PGMEA)
(総合評価)
ガラスに塗布されたパターンの欠損状態を200倍の顕微鏡を使用して測定する。
○:パターンの欠損が見られない現像時間(現像マージン)が、45秒以上である。
△:パターンの欠損が見られない現像時間(現像マージン)が、15秒以上45秒未満である。
×:パターンの欠損が見られない現像時間(現像マージン)が、15秒未満である。
(現像時間ごとの評価)
1:パターン欠損無し
2:一部(全体の10%以下)のパターン欠損あり
3:パターンの全体的な剥がれが見られる
密着性試験用に調整した実施例1溶液、比較例1溶液、比較例3溶液(ペイントシェーカー調整、ガラスフィルターろ過終了溶液)を、ガラス基板上にスピンコートし(乾燥厚み2μm)、70℃で5分間ホットプレートにて予備乾燥させた。
作製したガラス基板をPGMEA溶液に完全に浸漬させて、完全に溶解するまでの時間を測定した。結果を下記表4に示す。
試験条件:25℃、PGMEA量;1kg
(総合評価)
○:ガラス基板から完全に溶解するまでの時間が15秒以内
×:ガラス基板から完全に溶解するまでの時間が30秒以上
樹脂溶液1、樹脂溶液10、樹脂溶液12について、85℃条件下で保管し、経時での粘度変化を測定した。結果を下記表5に示す。
粘度測定条件:25℃、B型粘度計
(総合評価)
○:2週間後における粘度変化率が10%以内
×:2週間後における粘度変化率が30%以上
Claims (10)
- カルボキシル基含有重合体に反応性不飽和基が導入された感光性樹脂であって、
該感光性樹脂は、カルボキシル基含有重合体にエポキシ基含有反応性不飽和単量体を反応させて反応性不飽和基を導入した重合体に、多塩基酸無水物とエポキシ基含有反応性不飽和単量体とを反応させて更に反応性不飽和基を導入させて得られる重合体によって構成されるものであることを特徴とする感光性樹脂。 - 前記感光性樹脂は、反応性不飽和基を導入した重合体に、多塩基酸無水物を反応させた後、エポキシ基含有反応性不飽和単量体を反応させて更に反応性不飽和基を導入させて得られる重合体によって構成されるものであることを特徴とする請求項1に記載の感光性樹脂。
- 前記感光性樹脂は、固形分酸価が20〜150mgKOH/gであり、重量平均分子量が5000〜100000であることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の感光性樹脂。
- 前記感光性樹脂は、二重結合当量が250〜420であることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の感光性樹脂。
- 前記感光性樹脂は、反応性不飽和基のモル数(A)と水酸基のモル数(B)との比率(B/A)が0.1<B/A<1を満たすことを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載の感光性樹脂。
- 請求項1〜6のいずれかに記載の感光性樹脂、光重合開始剤及び光重合性単量体を含むことを特徴とする感光性樹脂組成物。
- 前記感光性樹脂組成物は、更に色材を含むことを特徴とする請求項7に記載の感光性樹脂組成物。
- 請求項7又は8に記載の感光性樹脂組成物を硬化してなることを特徴とする硬化物。
- 透明基板上に請求項9に記載の硬化物が形成されていることを特徴とするカラーフィルター。
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