JP2010078004A - 送液方法、及び塗布方法 - Google Patents

Abstract

【課題】 微小な圧力変動による脈動を吸収又は低減できる送液方法、及び塗布ムラのない塗布方法を提供する。
【解決手段】
液体を一方側から他方側に送液する送液配管の一部に、液体が流出入される液室１０３と、気体が導入されたエア室１０４と、液室１０３とエア室１０４を隔離する、２５℃・大気圧・湿度５０％ＲＨ下において、ＪＩＳ硬さ６０以上、かつ伸び１７５％以下の素材で構成される弾性膜１１５を備える第１の脈動吸収装置５６を設けて、微小な脈動を吸収又は低減する。
【選択図】 図２

Description

本発明は送液方法、及び塗布方法に関し、特に、送液過程で発生する脈動を防止又は低減できる送液方法、及び塗布方法に関する。

従来、送液工程で脈動が生じた場合、例えば、塗布ムラが生じたり、振動音が生じたりする問題があった。

この問題を解決するため、特許文献１には、送液途中に薄い膜で隔離された気体圧力調整により、脈動を吸収する機構を用いた方法が記載されている。また、特許文献２には、弁ボディと摺動部とのクリアランスを小さくして摺動抵抗を大きくすることで圧力変動を抑える方法が記載されている。
特開２００６−１５６６５５号公報 特開平１１−２７０４２９号公報

しかしながら、特許文献１の方法では、脈動を精密に制御できるが、変動に応じた吸収容量を準備する必要があり、流量が大きくなると装置が大きくなり装置内の滞留により二次故障が生じることがあり、途中で洗浄をする必要があった。

また、特許文献２の方法では、数μｍという非常に狭いクリアランスを維持する必要があり、詰まり防止の為、送液工程に圧力損失が大きい専用フィルタを設置する必要があった。

また、送液工程での脈動伝播(圧力変動)を抑制するためにオリフィスの様な絞り機構を送液経路中に設けると効果があることも知られている。

しかしながら、絞り機構で減衰しきれない場合や、絞り機構通過時に新たに脈動を発生する場合があり、微小圧力変動を抑制し、均一な送液を行うことや、均一な送液をすることにより、膜厚を均一にできる塗布方法が求められていた。

本発明はこのような課題を考慮してなされたものであり、微小な圧力変動による脈動を吸収できる送液方法、及び塗布ムラのない塗布方法を提供することを目的とする。

前記目的を達成するために、本発明の送液方法は、液体を送液配管の一方側から供給する工程と、前記送液配管の一部に設けられた第１の脈動吸収装置によって、前記液体の脈動を吸収し、前記送液配管の他方側に送り出す工程と、を含む送液方法であって、該第１の脈動吸収装置が、液体が流出入される液室と、気体が導入された気体室と、前記液室と前記気体室を隔離する、２５℃・大気圧・湿度５０％ＲＨ下において、ＪＩＳ硬さ６０以上、かつ伸び１７５％以下の素材で構成される弾性膜を備えることを特徴とする。

送液配管の一部に、２５℃・大気圧・湿度５０％ＲＨ下において、ＪＩＳ硬さ６０以上、かつ伸び１７５％以下の素材で構成される弾性膜を備える第１の脈動吸収装置が設けられているので、微小な脈動（圧力変動）を吸収又は低減することができる。

例えば、送液配管の途中に設置された、大きな脈動（圧力変動）を吸収できる脈動吸収装置で吸収できなかった微小な脈動、または脈動吸収装置に起因する微小な脈動が発生した場合であっても、第１の脈動吸収装置で吸収又は低減することができる。

本発明の送液方法は、前記発明において、前記第１の脈動吸収装置の上流側のみで、かつ前記送液配管の一部に、前記送液配管内の圧力を上昇することで脈動を吸収する第２の脈動吸収装置を備えることが好ましい。

送液過程で発生する大きな脈動を、送液配管内の圧力を上昇することで脈動を吸収する第２の脈動吸収装置で吸収又は低減し、第２の脈動吸収装置で吸収できなかった微小な脈動、または第２の脈動吸収装置に起因する微小な脈動を第１の脈動吸収装置で吸収又は低減することができる。

本発明の送液方法は、前記発明において、前記第１の脈動吸収装置の気体室に大気圧±０．０３ＭＰａの気体が導入されることが好ましい。

気体室に大気圧±０．０３ＭＰａの気体を導入することで、弾性膜の変位量を確保でき、
微小振動を効果的に吸収又は低減することができる。

本発明の送液方法は、前記発明において、前記弾性膜がフッ素系素材で構成されることが好ましい。フッ素系素材が耐溶剤性に優れた素材であるので、弾性膜の素材に適しているからである。

前記目的を達成するために、本発明の塗布方法は、塗布液を、前記送液方法で塗布装置に送液する工程と、前記塗布装置から前記塗布液を基材に供給する工程と、を含むことを特徴とする。

本発明によれば、塗布液の送液脈動を有効に吸収又は低減することができる。これにより、基材上に薄層で均一な塗布膜を形成することができる。

本発明によれば、微小な圧力変動による脈動を吸収できる送液方法、及び塗布ムラのない塗布方法を提供することができる。

以下添付図面に従って本発明の好ましい実施の形態について説明する。本発明は以下の好ましい実施の形態により説明されるが、本発明の範囲を逸脱すること無く、多くの手法により変更を行うことができ、本実施の形態以外の他の実施の形態を利用することができる。従って、本発明の範囲内における全ての変更が特許請求の範囲に含まれる。

また、本明細書において「〜」を用いて表される数値範囲は、「〜」の前後に記載される数値を含む範囲を意味する
図１は、発明に係る送液方法が適用された光学フィルムの製造ラインの塗布工程１０を示す構成図である。この光学フィルムの製造ラインは、ロール状の支持体フィルム（以下、「ウェブ」と称する）Ｗを連続的に送り出す工程と、ウェブＷを巻き取る工程との間に、塗布工程と乾燥工程（他に、塗布膜を硬化する工程）等を適宜必要な数だけ設置したものである。

図１に示される塗布工程１０は、塗布位置においてウェブＷを巻き掛けるコーティングローラ１１に相対するように、スロットダイ１２が設けられている。スロットダイ１２は塗布液１４を貯留する塗布液タンク４０と送液配管４２で連結されている。塗布液１４がスロットダイ１２に供給される。

送液配管４２には、上流側より順に、送液ポンプ４６、圧力計４８、濾過フィルタ付減圧脱気装置５０、流量計５２、第２の脈動吸収装置５４、第１の脈動吸収装置５６が接続されている。

送液配管４２としては、内径を１５ｍｍ以下とし、ストレート形状のフッ素樹脂又は内周部が研磨された金属部材とすることが好ましい。このように、小径の送液配管４２にストレート形状のフッ素樹脂（たとえば、「テフロン（登録商標）」）又は内周部が研磨された金属部材を使用すれば、配管内の塗布液１４の流れが良好となり、気泡の排除に有効である。

また、送液ラインより送液脈動を排除するために、第２の脈動吸収装置５４の手前の送液配管４２は振動の伝播を少なくすることが望ましいので、１）配管自身を剛性の低いフッ素樹脂（たとえば、商標名：「テフロン（登録商標）」）のものにする、２）肉厚の小さいベローズ状の配管にする、３）防振材を配する、等の構成が好ましい。

送液ポンプ４６としては、公知の各種タイプのポンプ（ギアポンプ等）が使用できるが、ダイアフラムポンプが好ましく使用できる。すなわち、本発明のように、スロットダイ１２内部、及び送液配管４２内に加圧状態を発生させる場合、塗布液１４を送る送液ポンプ４６はダイアフラムポンプであることが好ましい。

ギアポンプでは、種類によっては「すり抜け」と称される現象により、塗布液１４を良好に送れなくなる場合もある。また、塗布液１４中の分子が大きい場合（たとえば、１μｍ以上）、ギアのかみ合わせによって分子のせん断、又はギアの破損を引き起こす可能性がある。

圧力計４８としては、公知の各種タイプの圧力計及び流量計を使用することができる。

濾過フィルタ付減圧脱気装置５０は、塗布液の組成等に応じて適宜の仕様のものが採用できる。

流量計５２としては、公知の各種タイプの流量計が使用できるが、コリオリ式流量計が好ましく使用できる。

図２は、第１の脈動吸収装置の概略を示す構成図である。図２（Ａ）は側面断面図であり、図２（Ｂ）は正面断面図である。

第１の脈動吸収装置５６は、本体Ａ１０１と、本体Ｂ１０２と、本体Ａ１０１と本体Ｂ１０２の間に配置された弾性膜１１５により構成される。

本体Ａ１０１に凹部が形成され、凹部と弾性膜１１５とにより液室１０３が構成される。流入路１０８が、液室１０３に液体を供給するため、流入口１０６を介して液室１０３に接続される。また、流入路１０９が、液体を排出するため、液室１０３に流出口１０７を介して液室１０３に接続される。送液対象となる液体が液室１０３、流入路１０８、及び流入路１０９を満たす。

本体Ｂ１０２に凹部が形成され、凹部と弾性膜１１５とによりエア室１０４が構成される。圧力調整バッファ１２０が、本体Ｂ１０２に形成された通気孔１１０を介して接続される。

本体Ａ１０１と本体Ｂ１０２の間に配置された弾性膜１１５によって、液室１０３とエア室１０４が分離される。

本発明において、弾性膜１１５は、２５℃・大気圧・湿度５０％ＲＨ下において、ＪＩＳ硬さ６０以上、かつ伸び１７５％以下の特性を有する素材で構成される。弾性膜１１５として上述の特性の素材を選択したので、送液過程で発生する微小な脈動、例えば
２０Ｐａ程度の脈動を効果的に吸収することができる。

上述の範囲の素材によれば、ある程度の硬さと伸びの制約があるので、送液圧力により容易に伸びきって、膜の弾性余力がなくなってしまうことはない。また、使用方法として膜の接液と反対側がほぼ大気圧であるため、極微小な脈動による膜の変動でも膜の微小変動により脈動が吸収できる。

また、弾性膜１１５は、耐溶剤性に優れた素材、例えば、フッ素系素材であることが好ましい。

上述の特性を有する弾性膜１１５の素材の具体例として、フッ素ゴム（バイトン）、フッ素ゴム（アフラス）、フッ素ゴム（ダイニオン）、等を使用することができる。特に、耐溶剤性の観点から、フッ素ゴム（ダイエルパーフロ）を使用することが好ましい。

弾性膜１１５は、その周囲を本体Ａ１０１と本体Ｂ１０２に挟み込むことで固定されている。弾性膜１１５は、上述したようにその特性から可撓性を有している。したがって、液室１０３に脈動を伴う液体が流入したとき、弾性膜１１５は脈動を受けて変位する。

一方、エア室１０４は、その内圧が略大気圧となる状態となるよう設定されている。本実施の形態では、例えば大気圧±０．０３ＭＰａとなるよう調整される。弾性膜１１５が脈動を受けて変位した場合、エア室１０４はその容積が変化する。しかし、容積変化分は、通気孔１１０を介して接続された圧力調整バッファ１２０で吸収される。

エア室１０４の内圧の調整は、圧力調整バッファ１２０の一部を開放すること、圧力調整バッファ１２０にレギュレータを接続すること、圧力調整バッファ１２０を閉じた系とし比較的大きな容積とすること等で行われる。いずれにしても、圧力調整バッファ１２０によって、脈動による弾性膜１１５の変位を吸収できれば良い。

脈動により弾性膜１１５が変位する限り、弾性膜１１５は本体Ａ１０１と本体Ｂ１０２の中央に位置しなくて良い。つまり、弾性膜１１５は、液室１０３側、又はエア室１０４側に変位している場合でも良い。

また、弾性膜１１５の代わりに、弾性膜と同じ素材を利用して一定容積の気体を密閉する弾性袋方式にしてもよい。弾性袋と液体を接するよう第１の脈動吸収装置を構成しても良い。この場合、使用する液に密閉系内の気体が溶けるときには、気体補充のシステムを付加していると長時間効果を維持することができるので好ましい。

第１の脈動吸収装置５６において、流入口１０６が液室１０３の底側に、流出口１０７が液室１０３の上側に設けられている。流入口１０６を底側にすることで、液体の流入時に発生した気泡等が液室１０３の底部に留まらずに上部側に移動する。上部側に移動した気泡等は液体に同伴して流出口１０７から排出される。これにより、気泡等が液室１０３に留まって、塗布中に泡が押し出され、塗布液に混入して泡故障になることを防止することができる。

次に、送液配管の内圧上昇させることで脈動吸収する第２の脈動吸収装置について説明する。第２の脈動吸収装置として、オリフィスが使用され、オリフィスが送液配管の一部に設置される。

図３は、オリフィスを説明するための説明図である。図３（Ａ）はオリフィス７０の斜視図であり、図３（Ｂ）はオリフィス７０の断面図である。このオリフィス７０は、厚さＬのスリット板Ｆに１の孔が設けられたタイプのものである。

図３（Ｂ）において、Ｓは送液配管４２の断面積であり、Ｓｄはスリット板Ｆの孔断面積であり、Ａはオリフィス７０（スリット板Ｆ）への進入波の振幅であり、Ｂは進入後の波の振幅である。このオリフィス７０による透過損失ＴＬは、以下の式１で表される。

ここで、ｍは送液配管４２の断面積Ｓとスリット板Ｆの孔断面積Ｓｄとの比であり、ｋは送液配管４２の内部の物質に依存する項であり、ｆは音波の周波数であり、ｃは媒質中の音速であり、媒質の粘度や密度に依存する値である。

また、このオリフィス７０による透過損失ＴＬは、図３（Ｂ）の値Ａ及びＢにより、以下の式２でも表される。

上記の式１及び式２からも解るように、オリフィス７０を通過後の波の伝播は、周波数ｆやスリット板Ｆの孔断面積Ｓｄを小さくすることに伴って減衰することが解る。したがって、オリフィス７０を導入することにより、塗布液の送液脈動を有効に抑制できる。

また、上記の式１において、オリフィス７０の孔断面積Ｓｄと、オリフィス７０の上流側の送液配管４２の断面積Ｓとの面積比（１／ｍ）を０．１以下とすることが好ましい。

既述したように、「オリフィス」（orifice）とは、一般的には、管路の途中に挿入して流路を絞り、変化した圧力を検出して流量を測定するための孔のあいた円板を指すが、本明細書においては、流量の測定ではなく、流量の制御に適用するものである。

たとえば、本実施形態において、オリフィス７０としてスリット板Ｆに１の孔が設けられたタイプのものが採用されているが、これ以外の各種の態様が採り得る。この例を図４に示す。図４（Ａ）は、オリフィス７０に複数の孔が設けられているタイプのものである。図４（Ｂ）は、オリフィス７０に１のテーパ孔が設けられているタイプのものである。このように、オリフィス７０が多孔状のものであっても、テーパ形状のものであっても、本実施形態と同様の効果を得ることができる。

この第２の脈動吸収装置として、配管径を絞ったオリフィス７０を使用した場合、この絞り部を液が通過する時に液流れが乱流になるとう場合がある。他の手段としては、装置が大きくなる欠点があるが、大容量バッファ等を用いても良い。

この第２の脈動吸収装置により、ポンプや脱気ファン振動等の比較的大きな脈動を効率良く排除することができる。

第２の脈動吸収装置としてオリフィスを第１の脈動吸収装置の上流側にのみ設置することが好ましい。第２の脈動吸収装置は比較的大きな脈動を吸収するのに適している。したがって、送液過程で発生する大きな脈動を第２の脈動吸収装置で吸収する。第２の脈動吸収装置で吸収できなかった微小な脈動、または第２の脈動吸収装置に起因する微小な脈動を第１の脈動吸収装置で吸収するのが好ましい。

次に、上記の塗布工程１０による塗布方法について説明する。

反射防止フィルム等の光学フィルムに用いるウェブＷ（基材）としては、透明なプラスチックフィルムを用いることが好ましい。プラスチックフィルムの材料の例には、セルロースエステル（例、トリアセチルセルロース、ジアセチルセルロース、プロピオニルセルロース、ブチリルセルロース、アセチルプロピオニルセルロース、ニトロセルロース）、ポリアミド、ポリカーボネート、ポリエステル（例、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリ−１，４−シクロヘキサンジメチレンテレフタレート、ポリエチレン−１，２−ジフェノキシエタン−４，４' −ジカルボキシレート、ポリブチレンテレフタレート）、ポリスチレン（例、シンジオタクチックポリスチレン）、ポリオレフィン（例、ポリプロピレン、ポリエチレン、ポリメチルペンテン）、ポリスルホン、ポリエーテルスルホン、ポリアリレート、ポリエーテルイミド、ポリメチルメタクリレート及びポリエーテルケトンが含まれる。

特に、トリアセチルセルロースが好ましく用いられる。トリアセチルセルロースフィルムとしては、ＴＡＣ−ＴＤ８０Ｕ（富士フイルム（株）製）等の公知のもの、公開技報番号２００１−１７４５にて公開されたものが好ましく用いられる。

ウェブＷの光透過率は、８０％以上であることが好ましく、８６％以上であることが更に好ましい。ウェブＷのヘイズは、２．０％以下であることが好ましく、１．０％以下であることが更に好ましい。ウェブＷの屈折率は、１．４〜１．７であることが好ましい。

ウェブＷの厚さは特に限定されないが、３０〜１５０μｍが好ましく、４０〜１３０μｍがより好ましく、７０〜１２０μｍが更に好ましい。

塗布液用分散媒としては、特に限定されない。単独でも２種以上を混合して使用してもよい。

好ましい分散媒体は、トルエン、キシレン、スチレン等の芳香族炭化水素類、クロルベンゼン、オルトージクロルベンゼン等の塩化芳香族炭化水素類、モノクロルメタン等のメタン誘導体、モノクロルエタン等のエタン誘導体等を含む塩化脂肪族炭化水素類、メタノール、イソプロピルアルコール、イソブチルアルコール等のアルコール類、酢酸メチル、酢酸エチル等のエステル類、エチルエーテル、1,4 −ジオキサン等のエーテル類、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン等のケトン類、エチレングリコールモノメチルエーテル等のグリコールエーテル類、シクロヘキサン等の脂環式炭化水素類、ノルマルヘキサン等の脂肪族炭化水素類、脂肪族又は芳香族炭化水素の混合物等が該当する。

これら溶媒の中でも、ケトン類の単独又は２種以上の混合により作成される塗布用分散媒が特に好ましい。

本発明の塗布方式は、液物性により塗布可能な上限の速度が大きく影響を受けるため、塗布する瞬間の液物性、特に粘度及び表面張力を制御する必要がある。

粘度については３（ｍＰａ・ｓ）以下であることが好ましく、２．５（ｍＰａ・ｓ）以下がより好ましく、２．０（ｍＰａ・ｓ）以下が更に好ましい。

塗布液によっては、せん断速度により粘度が変化するものもあるため、上記の値は塗布される瞬間のせん断速度における粘度を示している。塗布液にチキソトロピー剤を添加して、高せん断のかかる塗布時は粘度が低く、塗布液にせん断が殆どかからない乾燥時は粘度が高くなると、乾燥時のムラが発生しにくくなり、好ましい。

また、液物性ではないが、ウェブに塗布される塗布液の量も、塗布可能な上限の速度に影響を与える。ウェブに塗布される塗布液の量は２．０〜１０．０ｍｌ／ｍ^２であることが好ましい。ウェブに塗布される塗布液の量を増やすと、塗布可能な上限の速度が上がるため好ましいが、ウェブに塗布される塗布液の量を増やしすぎると、乾燥にかかる負荷が大きくなるため、液処方・工程条件によって最適なウェブに塗布される塗布液の量を決めることが好ましい。

表面張力については、１５〜３６ｍＮ／ｍの範囲にあることが好ましい。レベリング剤を添加するなどして表面張力を低下させることは、乾燥時のムラが抑止されるため好ましい。一方、表面張力が下がりすぎると、塗布可能な上限の速度が低下してしまうため、１７〜３２ｍＮ／ｍの範囲がより好まく、１９〜２６ｍＮ／ｍの範囲が更に好ましい。

以下、塗布液を塗布する工程について説明する。

塗布液タンク４０より送液ポンプ４６により圧送された塗布液１４は、第２の圧力指示計４８、濾過フィルタ付減圧脱気装置５０、流量計５２、第２の脈動吸収装置５４、第１の脈動吸収装置５６を経て送液配管４２を介してスロットダイ１２に供給される。このスロットダイ１２の上流側に、第１の脈動吸収装置５６及び第２の脈動吸収装置５４が設けられているので、塗布液の送液脈動を有効に抑制できる。

そして、コーティングローラ１１に支持されて連続走行するウェブＷに対して、スロットダイ１２から塗布液１４をビードにして塗布することにより、ウェブＷ上に塗膜が形成される。この際、スロットダイ１２において塗布液の送液脈動が抑制されているので、送液脈動による面状欠陥がなく、膜厚均一性が高い塗布が実施できる。

すなわち、図１に示される塗布工程１０により、塗布液１４を塗布したところ、スジ欠陥が少なく、膜厚均一性が向上した。したがって、本実施の形態によれば、送液脈動による面状欠陥がなく、膜厚均一性が高い反射防止フィルム等の光学フィルムを製造することができる。

以下に実施例を挙げて本発明をさらに具体的に説明する。以下の実施例に示す材料、製造条件等は本発明の趣旨から逸脱しない限り適宜変更することができる。従って、本発明の範囲は以下の具体例に制限されるものではない。

＜塗布液＞
下記の組成物を、１０７質量部のメチルエチルケトンに溶解して塗布液を調製した。塗布液の粘度はメチルエチルケトンの添加量を加減して、液粘度を２ｍＰａ・ｓ、表面張力を２３ｍＮ/ｍに調整した。
・ディスコティック液晶性化合物ＴＥ（１）…４１．０１質量部
・エチレンオキサイド変成トリメチロールプロパントリアクリレート（Ｖ＃３６０、大阪有機化学（株）製）…４．０６質量部
・セルロースアセテートブチレート（ＣＡＢ５５１−０．２、イーストマンケミカル社製）…０．９質量部
・セルロースアセテートブチレート（ＣＡＢ５３１−１、イーストマンケミカル社製） …０．２１質量部
・フルオロ脂肪族基含有ポリマー（メガファックＦ７８０ 大日本インキ（株）製）…０．１４質量部
・光重合開始剤（イルガキュアー９０７、チバガイギー社製）…１．３５質量部
・増感剤（カヤキュアーＤＥＴＸ、日本化薬（株）製）…０．４５質量部

＜塗布条件＞
実施例は、図１に示す光学補償フィルムの塗布工程１０により、光学補償フィルム用の塗布液を塗布する例で行った。塗布速度を４０ｍ／分とし、送液流量を３８５ｃｃ／ｍｉｎ或いは２００ｃｃ／ｍｉｎに設定して塗布を行った。

第２の脈動吸収装置５４としてオリフィスを用いた。オリフィスの下流側に、第１の脈動吸収装置５６を配置した。図２に示す第１の脈動吸収装置５６の形成された液室１０３に塗布液を下側から上側に抜けるように流した。弾性膜１１５は液室１０３で接液し、反対面には気体(空気)が接するように設置した。第1の脈動吸収装置５６とスロットダイ１２との間に設置した微差圧計Aで圧力変動を測定した。微差圧計は、ＧＥセンシング社製の高精度圧力トランスミッタ（型番：ＰＴＸ６２０）を使用し、キーエンス社製のデータレコーダー（型番：NR−２０００）に接続して送液脈動を測定した。

脈動は、圧力波の強度ピークを平均圧力で割ったものを脈動率として用い、脈動吸収装置後で測定した。

また、第１の脈動吸収装置５６に用いた弾性膜の物性は、吸収に関係のあるＪＩＳ硬さと伸びを変化させたものを用いた。表１は使用した素材を一覧に纏めたものである。

表２は、実施例１〜７と比較例１〜６につい塗布条件、及び評価結果をまとめて一覧表にしたものである。

評価手段として、脈動は先に記載した様な計算方法で計算しその値を記載し、塗布膜の評価として、脈動起因で起こる段状ムラを見本と照らし合わせ官能評価で評価を行った。また、判定は、脈動レベルと面状評価を総合することで行なった。◎は製品として良好なレベルであり、○は製品として使用可能なレベルであり、×は製品として使用できないレベルを表している。

弾性膜の素材として、２５℃・大気圧・湿度５０％ＲＨ下において、ＪＩＳ硬さ６０以上、かつ伸び１７５％以下の特性を満たす素材を利用した実施例１〜４について、脈動が低く値を示し、段ムラ及び判定に関して○以上の結果が得られた。

一方、比較例１は、第１の脈動吸収装置を備えていない。したがって、脈動も大きく段ムラ及び判定に関して、×の評価であった。比較例２〜４は、本発明の特性の範囲外となる弾性膜を用いた場合である。エア室の圧力を大気圧にしても、段ムラ及び判定に関して×の評価であった。つまり、脈動が十分に吸収されないことを示している。

実施例５〜７は、弾性膜の素材としてＡを利用した場合である。エア室の圧力を略大気圧となるように、（大気圧−０．０３ＭＰａ）、（大気圧＋０．００３ＭＰａ）、（大気圧＋０．０３ＭＰａ）と変化させて評価を行なった。表２からも明らかなように、実施例５〜７は段ムラ及び判定に関して○以上の結果が得られた。

比較例５は、弾性膜の素材としてＡを用いて、第１の脈動吸収装置を第２の脈動吸収装置の上流側に設置した場合である。比較例６は、弾性膜の素材としてＡを用いて、エア室内の圧力を大気圧より大きくした場合である。

比較例５では、第１の脈動吸収装置が第２の脈動吸収装置の上流側に設置されているので、第２の脈動吸収装置により微小な脈動が発生するため、段ムラ及び判定に関して×の評価であった。

比較例６では、エア室の圧力が大きいので弾性膜の変位量が小さい。したがって、微小な脈動を十分に吸収できないことを示している。

比較例７では、流量が少ない時には微小脈動が発生しないため、判定は○の評価であった。

本発明に係る塗布方法の塗布工程を示す構成図 第1の脈動吸収装置を示す概略構成図 第2の脈動吸収装置を示す概略構成図 第２の脈動吸収装置の別の例を示す概略構成図

符号の説明

１０…塗布工程、１１…コーティングローラ、１２…スロットダイ、４２…送液配管、４６…送液ポンプ、４８…圧力計、５０…濾過フィルタ付減圧脱気装置、５２…流量計、５４…第2の脈動吸収装置、５６…第1の脈動吸収装置、１０１…本体Ａ、１０２…本体Ｂ、１０３…液室、１０４…エア室、１０６…流入口、１０７…流出口、１０８…流入路、１０９…流出路、１１０…通気孔、１１５…弾性膜、１２０…圧力調整バッファ

Claims (5)

1. 液体を送液配管の一方側から供給する工程と、
   前記送液配管の一部に設けられた第１の脈動吸収装置によって、前記液体の脈動を吸収し、前記送液配管の他方側に送り出す工程と、を含む送液方法であって、
   該第１の脈動吸収装置が、液体が流出入される液室と、気体が導入された気体室と、前記液室と前記気体室を隔離する、２５℃・大気圧・湿度５０％ＲＨ下において、ＪＩＳ硬さ６０以上、かつ伸び１７５％以下の素材で構成される弾性膜を備える、ことを特徴とする送液方法。
2. 前記第１の脈動吸収装置の上流側のみで、かつ前記送液配管の一部に、前記送液配管内の圧力を上昇することで脈動を吸収する第２の脈動吸収装置を備える請求項１記載の送液方法。
3. 前記第１の脈動吸収装置の気体室に大気圧±０．０３ＭＰａの気体が導入される請求項１又は２記載の送液方法。
4. 前記弾性膜がフッ素系素材で構成される請求項１〜３いずれか１に記載の送液方法。
5. 塗布液を、請求項１〜４記載のいずれか１に記載の送液方法で塗布装置に送液する工程と、
   前記塗布装置から前記塗布液を基材に供給する工程と、
   を含むことを特徴とする塗布方法。

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