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JP2010054399A - Noncontact measuring device and on-machine measuring system - Google Patents

Noncontact measuring device and on-machine measuring system Download PDF

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JP2010054399A
JP2010054399A JP2008220859A JP2008220859A JP2010054399A JP 2010054399 A JP2010054399 A JP 2010054399A JP 2008220859 A JP2008220859 A JP 2008220859A JP 2008220859 A JP2008220859 A JP 2008220859A JP 2010054399 A JP2010054399 A JP 2010054399A
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JP
Japan
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spindle
distance
data
tool
measuring head
Prior art date
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Pending
Application number
JP2008220859A
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Japanese (ja)
Inventor
Shizuo Nishikawa
静雄 西川
Keizo Kashihara
圭蔵 樫原
Hisayoshi Morita
尚義 森田
Makoto Fujishima
誠 藤嶋
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
DMG Mori Co Ltd
Original Assignee
Mori Seiki Co Ltd
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Publication date
Application filed by Mori Seiki Co Ltd filed Critical Mori Seiki Co Ltd
Priority to JP2008220859A priority Critical patent/JP2010054399A/en
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Abstract

【課題】測定ヘッド側から送信されるデータ量を小さくすることができる非接触測定装置などを提供する。
【解決手段】非接触測定装置は、ワーク表面にレーザ光を照射するレーザ発振器11と、レーザ発振器11から照射されワーク表面で反射したレーザ光を受光して2次元画像データを生成するCCDカメラ12と、生成された2次元画像データを基にワーク表面とCCDカメラ12との間の距離を算出する距離算出部23と、算出された距離に係る数値データを無線通信により送信する送受信制御部24及び無線機18とを有する測定ヘッド10であって、工作機械の主軸に対して着脱自在に構成された測定ヘッド10と、測定ヘッド10から送信された距離データを無線通信により受信する受信装置、受信された距離データと工作機械の数値制御装置から得られる位置情報とを基にワークの表面形状を算出するデータ処理部を有する処理装置とを備える。
【選択図】図4
A non-contact measuring apparatus capable of reducing the amount of data transmitted from a measuring head is provided.
A non-contact measuring apparatus includes a laser oscillator 11 that irradiates a work surface with laser light, and a CCD camera 12 that receives the laser light irradiated from the laser oscillator 11 and reflected by the work surface to generate two-dimensional image data. A distance calculation unit 23 that calculates the distance between the workpiece surface and the CCD camera 12 based on the generated two-dimensional image data, and a transmission / reception control unit 24 that transmits numerical data related to the calculated distance by wireless communication. A measuring head 10 having a radio 18 and a measuring head 10 configured to be detachable with respect to a spindle of a machine tool, and a receiving device for receiving distance data transmitted from the measuring head 10 by wireless communication, A processing device having a data processing unit for calculating the surface shape of the workpiece based on the received distance data and the position information obtained from the numerical control device of the machine tool Provided with a door.
[Selection] Figure 4

Description

本発明は、工作機械の主軸に装着された測定ヘッドからレーザ光を被測定対象物の表面に照射して被測定対象物表面の形状測定を行う非接触測定装置、及びこの非接触測定装置を備えた機上計測システムに関する。   The present invention relates to a non-contact measuring apparatus that measures the shape of the surface of the object to be measured by irradiating the surface of the object to be measured from the measuring head mounted on the spindle of the machine tool, and the non-contact measuring apparatus. The present invention relates to an on-board measurement system.

機械加工の分野では、加工後のワークを工作機械から取り外すことなくワーク表面の形状を測定するといったことが従来から行われている。そして、このような測定に用いられる測定装置として、例えば、特許第3515023号公報に開示されたような非接触測定装置がある。   In the field of machining, it has been conventionally performed to measure the shape of the workpiece surface without removing the machined workpiece from the machine tool. And as a measuring apparatus used for such a measurement, there exists a non-contact measuring apparatus as disclosed by patent 3515023, for example.

この非接触測定装置は、工具が装着される主軸と、ワークが載置されるテーブルと、前記主軸とテーブルとを直交3軸方向に相対移動させる送り機構部と、前記送り機構部を制御する数値制御装置とを備えた工作機械に設けられるようになっており、前記主軸に装着可能な撮像装置と、前記撮像装置と一体的に設けられる送信機及びモニタに接続される受信機から構成される無線通信装置と、モニタの表示画面に貼り付けられ、十字状の定点表示マークが印字された透明なシート体とを備える。   The non-contact measuring apparatus controls a spindle on which a tool is mounted, a table on which a workpiece is placed, a feed mechanism that relatively moves the spindle and the table in three orthogonal directions, and the feed mechanism. An imaging device that can be mounted on the spindle, a transmitter that is provided integrally with the imaging device, and a receiver that is connected to a monitor. A wireless communication device and a transparent sheet pasted on a display screen of a monitor and printed with a cross-shaped fixed point display mark.

前記撮像装置は、テーブル上のワーク(被測定対象物)を撮像して2次元画像データを生成し、前記送信機は、撮像装置によって生成された2次元画像データを送信し、前記受信機は、送信機から送信された2次元画像データを受信して、受信した2次元画像データを前記モニタの表示画面に拡大表示する。   The imaging device captures a workpiece (object to be measured) on a table to generate two-dimensional image data, the transmitter transmits the two-dimensional image data generated by the imaging device, and the receiver The two-dimensional image data transmitted from the transmitter is received, and the received two-dimensional image data is enlarged and displayed on the display screen of the monitor.

この非接触測定装置では、撮像装置により撮像,生成された2次元画像データをモニタの表示画面に表示しつつ、送り機構部により主軸及びテーブル(撮像装置及びワーク)を相対移動させて、ワークの測定点と定点表示マークの中心点とを一致させ、このときの主軸及びテーブルの直交3軸方向における移動位置を求める。そして、以下同様にして、複数の測定点について、主軸及びテーブルの直交3軸方向における移動位置を求め、このようにして求めた各移動位置を基に、例えば、ワークの面粗度などを算出する。   In this non-contact measuring apparatus, while the two-dimensional image data imaged and generated by the imaging device is displayed on the display screen of the monitor, the spindle and the table (imaging device and workpiece) are relatively moved by the feed mechanism unit, and the workpiece The measurement point and the center point of the fixed point display mark are made to coincide with each other, and the movement positions of the spindle and the table in the three orthogonal directions are obtained. In the same manner, the movement positions in the three orthogonal axes of the spindle and the table are obtained for a plurality of measurement points, and for example, the surface roughness of the workpiece is calculated based on the movement positions thus obtained. To do.

特許第3515023号公報Japanese Patent No. 3515023

しかしながら、上記従来の非接触測定装置では、撮像装置により撮像,生成された2次元画像データを送信しているので、送信するデータ量が非常に大きいという問題があった。また、送信されるデータ量が大きくなると、データの送受信に時間がかかって面粗度の測定に長時間かかるという問題も生じる。   However, the conventional non-contact measurement apparatus has a problem that the amount of data to be transmitted is very large because the two-dimensional image data captured and generated by the imaging apparatus is transmitted. In addition, when the amount of data to be transmitted increases, there is a problem that it takes time to transmit and receive data and it takes a long time to measure surface roughness.

また、このような問題は、例えば、測定ヘッドからレーザ光を被測定対象物表面に向けて照射して、反射したレーザ光を光検出器により受光し、反射レーザ光の受光位置に係るデータを無線通信でデータ処理装置側に送信して、このデータ処理装置側で被測定対象物の表面形状を算出する場合にも同様に発生する。   In addition, such a problem is caused by, for example, irradiating laser light from the measuring head toward the surface of the object to be measured, receiving the reflected laser light by the photodetector, and obtaining data relating to the light receiving position of the reflected laser light. The same occurs when transmitting to the data processing device side by wireless communication and calculating the surface shape of the object to be measured on the data processing device side.

本発明は、以上の実情に鑑みなされたものであって、測定ヘッド側から送信されるデータ量を小さくすることができる非接触測定装置、及びこれを備えた機上計測システムの提供をその目的とする。   The present invention has been made in view of the above circumstances, and it is an object of the present invention to provide a non-contact measurement apparatus capable of reducing the amount of data transmitted from the measurement head side, and an on-machine measurement system including the same. And

上記目的を達成するための本発明は、
先端に工具が装着される主軸と、ワークが載置されるテーブルと、前記主軸とテーブルとを前記主軸の軸線方向を含む直交3軸方向に沿って相対移動させる送り機構部と、前記送り機構部を制御する数値制御手段とを備えた工作機械に設けられ、前記ワーク表面の形状測定を行う非接触測定装置において、
前記主軸に対して着脱自在に構成された測定ヘッドであって、前記ワーク表面にレーザ光を照射する投光手段と、前記ワーク表面で反射したレーザ光を受光する受光手段と、前記受光手段の受光データを基に前記ワーク表面と測定ヘッドとの間の距離を算出する距離算出手段と、前記距離算出手段によって算出された距離に係る数値データを無線通信により送信する送信手段とを有する測定ヘッドと、
前記測定ヘッドから送信された距離データを無線通信により受信する受信手段と、前記受信手段により受信された距離データと前記数値制御手段から得られる前記主軸及びテーブルの位置情報とを基に、前記ワークの表面形状を算出するデータ処理手段とを有する処理装置とを備えてなることを特徴とする非接触測定装置に係る。
To achieve the above object, the present invention provides:
A spindle on which a tool is mounted at the tip, a table on which a workpiece is placed, a feed mechanism section that relatively moves the spindle and the table along three orthogonal directions including the axial direction of the spindle, and the feed mechanism In a non-contact measuring device that is provided in a machine tool provided with a numerical control means for controlling a part, and that measures the shape of the workpiece surface,
A measuring head configured to be detachable with respect to the spindle; a light projecting means for irradiating the work surface with laser light; a light receiving means for receiving the laser light reflected by the work surface; and A measuring head having distance calculating means for calculating a distance between the workpiece surface and the measuring head based on received light data, and transmitting means for transmitting numerical data related to the distance calculated by the distance calculating means by wireless communication When,
Based on the receiving means for receiving the distance data transmitted from the measuring head by wireless communication, the distance data received by the receiving means, and the position information of the spindle and the table obtained from the numerical control means. A non-contact measuring apparatus, comprising: a processing apparatus including a data processing unit that calculates a surface shape of the non-contact measuring apparatus.

この非接触測定装置によれば、工具が装着された主軸と、ワークが載置されたテーブルとが、数値制御手段による制御の下、送り機構部により直交3軸方向に相対移動せしめられてワークが加工されると、前記主軸に工具に代えて測定ヘッドが装着され、加工後におけるワーク(被測定対象物)表面の形状測定が行われる。   According to this non-contact measuring apparatus, the spindle on which the tool is mounted and the table on which the workpiece is placed are moved relative to each other in the three orthogonal directions by the feed mechanism under the control of the numerical control means. Is processed, a measuring head is mounted on the spindle instead of a tool, and the shape of the workpiece (object to be measured) surface after processing is measured.

具体的には、投光手段からワーク表面に向けてレーザ光が照射され、照射されたレーザ光は、ワーク表面で反射して受光手段により受光され、この後、距離算出手段により、受光手段の受光データを基にワーク表面と測定ヘッドとの間の距離が算出され、算出された距離に係る数値データが送信手段によって処理装置側に無線通信により送信される。測定ヘッド側から処理装置側に送信された距離データは、受信手段によって無線通信により受信され、受信された距離データと数値制御手段から得られる主軸及びテーブルの位置情報とを基に、データ処理手段によりワークの表面形状が算出される。   Specifically, laser light is emitted from the light projecting means toward the work surface, and the irradiated laser light is reflected by the work surface and received by the light receiving means. A distance between the workpiece surface and the measurement head is calculated based on the received light data, and numerical data relating to the calculated distance is transmitted to the processing apparatus side by wireless communication by the transmitting means. The distance data transmitted from the measuring head side to the processing device side is received by wireless communication by the receiving means, and based on the received distance data and the spindle and table position information obtained from the numerical control means, the data processing means Thus, the surface shape of the workpiece is calculated.

尚、算出されるワークの表面形状としては、特に限定されるものではないが、例えば、ワーク表面のある点における主軸軸線方向の位置、ワークの表面粗さ、ワーク表面の輪郭形状、ワーク表面の傾きや平面度などを挙げることができる。また、測定に当たっては、例えば、ワーク表面のある点に向けてレーザ光が照射されるように測定ヘッド及びワークを所定位置に位置決めしてレーザ光を照射したり、レーザ光を連続的に照射しながら、測定ヘッド及びワークを主軸軸線と直交する平面内で相対移動させるようにしても良い。   The surface shape of the workpiece to be calculated is not particularly limited. For example, the position in the principal axis direction at a certain point on the workpiece surface, the surface roughness of the workpiece, the contour shape of the workpiece surface, Tilt and flatness can be mentioned. In measurement, for example, the measurement head and the workpiece are positioned at predetermined positions so that the laser beam is irradiated toward a certain point on the workpiece surface, and the laser beam is irradiated, or the laser beam is continuously irradiated. However, the measuring head and the workpiece may be relatively moved in a plane orthogonal to the main axis.

このように、本発明に係る非接触測定装置によれば、距離算出手段で算出された距離に係る数値データを測定ヘッド側から処理装置側に無線通信で送信しているので、即ち、算出結果に係る数値データを送信しているので、ワーク表面と測定ヘッドとの間の距離を算出するのに必要なデータを測定ヘッド側から処理装置側に送信する場合に比べ、測定ヘッド側から送信するデータ量を小さくすることができる。また、データとして最も軽い数値データを送信しているので、送信データを軽くする上で最適である。また、データの送受信に時間がかからなくなるので、ワーク表面の形状測定を短時間で効率的に実施することができる。   As described above, according to the non-contact measuring apparatus according to the present invention, numerical data related to the distance calculated by the distance calculating means is transmitted from the measuring head side to the processing apparatus side by wireless communication, that is, the calculation result. Since the numerical data related to is transmitted, the data necessary for calculating the distance between the workpiece surface and the measurement head is transmitted from the measurement head side compared to the case where data is transmitted from the measurement head side to the processing device side. The amount of data can be reduced. In addition, since the lightest numerical data is transmitted as data, it is optimal for reducing transmission data. In addition, since it takes less time to send and receive data, the shape of the workpiece surface can be measured efficiently in a short time.

また、本発明は、
前記非接触測定装置と、
先端に工具が装着される主軸と、ワークが載置されるテーブルと、前記主軸とテーブルとを前記主軸の軸線方向を含む直交3軸方向に沿って相対移動させる送り機構部と、前記送り機構部を制御する数値制御手段とを備えた工作機械とから構成される機上計測システムであって、
前記工作機械の主軸先端部の近傍位置に設けられる1次側の給電コイルと、前記給電コイルに電圧を印加する電圧印加手段と、前記測定ヘッドに設けられ、前記投光手段,受光手段,距離算出手段及び送信手段に電力をそれぞれ供給する2次側の受電コイルとから構成される非接触給電手段を備え、
前記給電コイル及び受電コイルは、前記測定ヘッドが前記主軸に装着されたときに両者が近接して前記給電コイル側から前記受電コイル側に電力が供給されるように構成されてなることを特徴とする機上計測システムに係る。
The present invention also provides:
The non-contact measuring device;
A spindle on which a tool is mounted at the tip, a table on which a workpiece is placed, a feed mechanism section that relatively moves the spindle and the table along three orthogonal directions including the axial direction of the spindle, and the feed mechanism An on-machine measurement system comprising a machine tool provided with a numerical control means for controlling a part,
A primary side feeding coil provided at a position near the spindle tip of the machine tool; a voltage applying means for applying a voltage to the feeding coil; and a light projecting means, a light receiving means, a distance provided in the measuring head. A non-contact power feeding means comprising a secondary receiving coil for supplying power to the calculating means and the transmitting means,
The power feeding coil and the power receiving coil are configured such that when the measuring head is mounted on the main shaft, both are close to each other and power is supplied from the power feeding coil side to the power receiving coil side. Related to on-board measurement system.

この機上計測システムによれば、測定ヘッドが主軸に装着されると、給電コイル及び受電コイルが近接して、電圧印加手段により電圧が印加された給電コイル側から受電コイル側に電力が供給され、これにより、測定ヘッドに設けられた投光手段,受光手段,距離算出手段及び送信手段に電力がそれぞれ供給される。このように、測定ヘッドへの電力供給を非接触給電にすることで、電力供給のための電力ケーブルを不要にして作業者の作業性を向上させることができる。また、測定ヘッドに電力供給のためのバッテリを設けているような場合には、バッテリの充電作業や残量管理といった煩わしい作業を行わなければならないが、これらの作業を省くことができる。   According to this on-machine measurement system, when the measuring head is mounted on the main shaft, the power feeding coil and the power receiving coil come close to each other, and power is supplied from the power feeding coil side to which the voltage is applied by the voltage applying means to the power receiving coil side. As a result, power is supplied to the light projecting means, the light receiving means, the distance calculating means, and the transmitting means provided in the measuring head. In this way, by using non-contact power supply to supply power to the measurement head, it is possible to eliminate the need for a power cable for supplying power and improve the workability of the operator. Further, when a battery for power supply is provided in the measuring head, troublesome work such as battery charging work and remaining capacity management must be performed, but these work can be omitted.

尚、前記工作機械は、複数の工具が格納される工具マガジンと、前記工具マガジンに格納された工具と前記主軸に装着された工具とを交換する交換機構とからなる工具交換装置を更に備え、前記測定ヘッドは、前記工具マガジンに格納され、前記交換機構により前記主軸に対して着脱されるように構成されていても良い。   The machine tool further includes a tool changer comprising a tool magazine storing a plurality of tools, and an exchange mechanism for exchanging the tool stored in the tool magazine and the tool mounted on the spindle, The measurement head may be stored in the tool magazine and configured to be attached to and detached from the main shaft by the exchange mechanism.

このようにすれば、工具交換装置により測定ヘッドを主軸に対して自動で着脱することができるので、便利である。また、ワークの加工及び加工後のワーク測定を自動且つ連続的に行うことができ、効率的である。   This is convenient because the measuring head can be automatically attached to and detached from the spindle by the tool changer. In addition, workpiece processing and workpiece measurement after processing can be performed automatically and continuously, which is efficient.

以上のように、本発明に係る非接触測定装置及び機上計測システムによれば、測定ヘッド側から処理装置側に無線通信で送信されるデータ量を小さくすることができ、効率的且つ確実にデータの送受信を行うことができる。   As described above, according to the non-contact measurement device and the on-machine measurement system according to the present invention, the amount of data transmitted from the measurement head side to the processing device side by wireless communication can be reduced, and the method is efficient and reliable. Data can be sent and received.

以下、本発明の具体的な実施形態について、添付図面に基づき説明する。尚、図1は、本発明の一実施形態に係る機上計測システムの概略構成を示した斜視図であり、図2は、本実施形態に係る測定ヘッドの工作機械取付状態を一部断面で示した断面図である。また、図3は、本実施形態に係る測定ヘッドの概略構成を一部断面で示した断面図であり、図4は、本実施形態に係る測定ヘッドの概略構成を示したブロック図であり、図5は、本実施形態に係るデータ処理装置の概略構成を示したブロック図である。   Hereinafter, specific embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. FIG. 1 is a perspective view showing a schematic configuration of an on-machine measuring system according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a partial cross-sectional view of a state in which the measuring head according to the present embodiment is attached to a machine tool. It is sectional drawing shown. FIG. 3 is a sectional view showing a schematic configuration of the measuring head according to the present embodiment in a partial cross section, and FIG. 4 is a block diagram showing a schematic configuration of the measuring head according to the present embodiment. FIG. 5 is a block diagram showing a schematic configuration of the data processing apparatus according to the present embodiment.

図1乃至図5に示すように、本例の機上計測システム1は、工作機械60と、レーザ光をワークWの表面に向けて照射し、ワークWの表面により反射されたレーザ光を受光してワークWの表面との間の距離を算出し、算出した距離に係るデータを無線通信で送信する測定ヘッド10、及び測定ヘッド10から送信された距離データを無線通信により受信して、受信した距離データなどを基にワークWの表面形状を算出するデータ処理装置40を有する非接触測定装置5と、測定ヘッド10に電力を非接触で供給する非接触給電装置30とを備え、被測定対象物たるワークWの表面の形状測定を行うように構成される。   As shown in FIGS. 1 to 5, the on-machine measuring system 1 of this example irradiates a machine tool 60 and a laser beam toward the surface of the workpiece W, and receives the laser beam reflected by the surface of the workpiece W. Then, the distance between the surface of the workpiece W is calculated, the measurement head 10 that transmits data related to the calculated distance by wireless communication, and the distance data transmitted from the measurement head 10 is received by wireless communication and received. A non-contact measuring device 5 having a data processing device 40 for calculating the surface shape of the workpiece W based on the measured distance data and the like, and a non-contact power feeding device 30 for supplying power to the measuring head 10 in a non-contact manner. It is comprised so that the shape measurement of the surface of the workpiece | work W which is a target object may be performed.

前記工作機械60は、ベッド61と、ベッド61上に配設されたコラム62と、コラム62に支持され、上下方向(Z軸方向)に移動自在となった主軸頭63と、軸線がZ軸と平行且つ軸線中心に回転自在に主軸頭63によって支持され、工具が装着される主軸64と、ベッド61上に水平方向(Y軸方向)に移動自在に配設されたサドル65と、サドル65上にZ軸及びY軸の双方と直交するX軸方向に移動自在に配設され、上面にワークWが載置されるテーブル66と、主軸頭63,サドル65及びテーブル66をZ軸方向,Y軸方向及びX軸方向にそれぞれ移動させるZ軸送り機構部(図示せず),Y軸送り機構部(図示せず)及びX軸送り機構部(図示せず)と、主軸64に装着された工具を新たな工具と交換する工具交換装置67と、各送り機構部及び工具交換装置67の作動を制御する数値制御装置68などから構成される。   The machine tool 60 includes a bed 61, a column 62 disposed on the bed 61, a spindle head 63 supported by the column 62 and freely movable in the vertical direction (Z-axis direction), and an axis line of the Z-axis. And a spindle 64 that is supported by the spindle head 63 so as to be rotatable about the axis and mounted with a tool, a saddle 65 that is disposed on the bed 61 so as to be movable in the horizontal direction (Y-axis direction), and a saddle 65 A table 66, which is movably disposed in the X-axis direction orthogonal to both the Z-axis and the Y-axis and on which the workpiece W is placed, and the spindle head 63, saddle 65 and table 66 are arranged in the Z-axis direction, A Z-axis feed mechanism (not shown), a Y-axis feed mechanism (not shown), and an X-axis feed mechanism (not shown) that are moved in the Y-axis direction and the X-axis direction, respectively, are attached to the main shaft 64. Tool changer 67 for exchanging a new tool with a new tool , And the like numerical controller 68 for controlling the operation of the feed mechanism and the tool changer 67.

また、前記主軸64は、先端面に開口したテーパ穴64aを備えており、このテーパ穴64a内には、工具を保持,固定するためのコレット70及びドローバ71などが配設される。コレット70は、その先端部により工具のプルスタッドを把持可能に構成され、ドローバ71は、コレット70に係合して設けられており、これらコレット70及びドローバ71のZ軸方向への移動によって工具の着脱が可能になる。   Further, the main shaft 64 is provided with a tapered hole 64a opened in the tip surface, and a collet 70 and a draw bar 71 for holding and fixing the tool are disposed in the tapered hole 64a. The collet 70 is configured so that a pull stud of the tool can be gripped by a tip portion thereof, and the draw bar 71 is provided to be engaged with the collet 70, and the tool is moved by moving the collet 70 and the draw bar 71 in the Z-axis direction. Can be attached and detached.

また、前記工具交換装置67は、特に図示はしないが、複数の工具が格納される工具マガジンと、工具マガジンに格納された工具と主軸64に装着された工具とを交換する交換機構とを備えており、この交換機構は、まず、主軸64に装着されている工具を引き抜いた後、新たな工具を主軸64に装着する。   The tool changer 67 includes a tool magazine in which a plurality of tools are stored, and an exchange mechanism for exchanging the tool stored in the tool magazine and the tool mounted on the spindle 64, although not particularly shown. In this replacement mechanism, first, a tool mounted on the main shaft 64 is pulled out, and then a new tool is mounted on the main shaft 64.

前記測定ヘッド10は、ワークWの表面にレーザ光を照射するレーザ発振器11と、レーザ発振器11から照射されワークWの表面で反射したレーザ光を受光して2次元画像データを生成するCCDカメラ12と、レーザ発振器11とワークWとの間に配置され、レーザ発振器11からのレーザ光をワークWの表面に導くプリズム13及び反射鏡14と、CCDカメラ12とワークWとの間に配置され、ワークWの表面で反射したレーザ光をCCDカメラ12の撮像面12a上に結像させる(具体的には、環状像として収束させる)2つの凸レンズ15,16と、CCDカメラ12と凸レンズ16との間に配置された絞り17と、アンテナ18aを有し、データ処理装置40との間でデータの送受信を行うための無線機18と、制御装置19と、レーザ発振器11、CCDカメラ12、プリズム13、反射鏡14、凸レンズ15,16、絞り17、無線機18及び制御装置19などが収容される円筒状の筐体20と、筐体20の上端に固設され、工具の主軸装着部と同形状をした装着部材21とを備え、工作機械60の主軸64に対して着脱自在に構成される。   The measuring head 10 receives a laser oscillator 11 that irradiates the surface of the work W with laser light, and a CCD camera 12 that receives the laser light irradiated from the laser oscillator 11 and reflected by the surface of the work W to generate two-dimensional image data. And between the laser oscillator 11 and the workpiece W, between the CCD 13 and the workpiece W, the prism 13 and the reflecting mirror 14 for guiding the laser light from the laser oscillator 11 to the surface of the workpiece W, The laser light reflected by the surface of the workpiece W is imaged on the imaging surface 12a of the CCD camera 12 (specifically, converged as an annular image), and the CCD camera 12 and the convex lens 16 A wireless device 18 having a diaphragm 17 disposed between them, an antenna 18a, and transmitting / receiving data to / from the data processing device 40, and a control device 19 , A laser housing 11, a CCD camera 12, a prism 13, a reflecting mirror 14, convex lenses 15 and 16, a diaphragm 17, a wireless device 18, a control device 19, and the like, and a cylindrical housing 20 at the upper end of the housing 20. A mounting member 21 that is fixed and has the same shape as the spindle mounting portion of the tool is provided, and is configured to be detachable from the spindle 64 of the machine tool 60.

また、測定ヘッド10は、CCDカメラ12によって生成された2次元画像データを基にワークWの表面と測定ヘッド10との間のZ軸方向における距離(ワークWの表面におけるレーザ光の照射点PとCCDカメラ12の撮像面12aとの間の距離)を算出する距離算出部23と、距離算出部23によって算出された距離に係る数値データ(距離データ)をデータ処理装置40に無線機18を介して送信する処理などを行う送受信制御部24とを更に備える。尚、前記制御装置19は、前記距離算出部23及び送受信制御部24などから構成される。   Further, the measurement head 10 is configured such that the distance in the Z-axis direction between the surface of the workpiece W and the measurement head 10 based on the two-dimensional image data generated by the CCD camera 12 (the laser beam irradiation point P on the surface of the workpiece W). Distance calculation unit 23 for calculating the distance between the image pickup surface 12a of the CCD camera 12 and the distance calculation unit 23 and the numerical value data (distance data) calculated by the distance calculation unit 23 to the data processor 40. And a transmission / reception control unit 24 that performs a process of transmitting via the transmission. The control device 19 includes the distance calculation unit 23 and the transmission / reception control unit 24.

前記装着部材21には、プルスタッド21aが形成されており、装着部材21が主軸64のテーパ穴64a内に挿入された際に、このプルスタッド21aがコレット70によって把持されるようになっている。   A pull stud 21 a is formed on the mounting member 21, and the pull stud 21 a is gripped by the collet 70 when the mounting member 21 is inserted into the tapered hole 64 a of the main shaft 64. .

前記CCDカメラ12は、多行多列の2次元に配置された複数の光電変換素子を備え、受光強度に応じて各光電変換素子から出力される電圧信号をデジタル化した後、これを濃淡レベル値に変換して2次元濃淡画像データとして出力する。   The CCD camera 12 includes a plurality of photoelectric conversion elements arranged in a two-dimensional array of multiple rows and columns, digitizes a voltage signal output from each photoelectric conversion element in accordance with the received light intensity, and then converts the digitized signal to a gray level. It is converted into a value and output as two-dimensional grayscale image data.

前記距離算出部23は、CCDカメラ12から出力された2次元濃淡画像データを所定のしきい値で2値化し、この2値化画像を基に反射レーザ光の環状像を抽出して、前記環状像の直径を認識し、この認識した直径から照射点Pと撮像面12aとの間の距離を算出する。   The distance calculation unit 23 binarizes the two-dimensional grayscale image data output from the CCD camera 12 with a predetermined threshold, extracts an annular image of reflected laser light based on the binarized image, and The diameter of the annular image is recognized, and the distance between the irradiation point P and the imaging surface 12a is calculated from the recognized diameter.

尚、この測定ヘッド10は、通常、工具交換装置67の工具マガジン内に格納されており、ワークWの測定を行う際にのみ、交換機構により主軸64に装着されるようになっている。   The measuring head 10 is normally stored in the tool magazine of the tool changer 67, and is attached to the spindle 64 by the changing mechanism only when the workpiece W is measured.

前記非接触給電装置30は、工作機械60側に設けられる1次側の給電コイル31と、給電コイル31に交流電圧を印加する交流電源32と、測定ヘッド10側に設けられ、レーザ発振器11,CCDカメラ12,無線機18,距離算出部23及び送受信制御部24がそれぞれ接続された2次側の受電コイル33とから構成される。   The non-contact power feeding device 30 is provided on a primary side feeding coil 31 provided on the machine tool 60 side, an AC power source 32 that applies an AC voltage to the feeding coil 31, and a measurement head 10 side. The CCD camera 12, the wireless device 18, the distance calculation unit 23, and the transmission / reception control unit 24 are each configured with a secondary power receiving coil 33 connected thereto.

前記給電コイル31は、主軸頭63を構成するハウジング63aの先端面であり且つ主軸64の先端の近傍位置に取付部材31aを介して設けられ、前記受電コイル33は、測定ヘッド10の筐体20の上端に取付部材33aを介して設けられており、この取付部材33aは、筐体20の径方向に突出するように形成されてその突出端に受電コイル33が設けられている。そして、これら給電コイル31及び受電コイル33は、測定ヘッド10が主軸64に装着されたときに近接して、一定間隔を隔てて対向するようになっている。また、交流電圧の印加された給電コイル31と受電コイル33とが一定間隔を隔てて対向すると、給電コイル31側に発生した磁束より受電コイル33側に誘導起電力が生じ、これによって、給電コイル31側から受電コイル33側に電力が供給される、即ち、レーザ発振器11,CCDカメラ12,無線機18,距離算出部23及び送受信制御部24に電力が供給される。   The power supply coil 31 is provided on the front end surface of the housing 63a constituting the main shaft head 63 and in the vicinity of the front end of the main shaft 64 via an attachment member 31a, and the power reception coil 33 is provided on the casing 20 of the measurement head 10. The mounting member 33a is formed so as to project in the radial direction of the housing 20, and the power receiving coil 33 is provided at the projecting end thereof. The power feeding coil 31 and the power receiving coil 33 are close to each other when the measuring head 10 is attached to the main shaft 64 and face each other with a predetermined interval. In addition, when the power supply coil 31 to which the AC voltage is applied and the power reception coil 33 face each other with a predetermined interval, an induced electromotive force is generated on the power reception coil 33 side from the magnetic flux generated on the power supply coil 31 side. Power is supplied from the 31 side to the power receiving coil 33 side, that is, power is supplied to the laser oscillator 11, the CCD camera 12, the wireless device 18, the distance calculation unit 23, and the transmission / reception control unit 24.

前記データ処理装置40は、データの画面表示や印字のための出力装置41と、アンテナ42aを有し、測定ヘッド10との間でデータの送受信を行うための無線機42と、測定ヘッド10から送信された距離データ(距離に係る数値データ)を無線機42を介して受信する処理などを行う送受信制御部43と、数値制御装置68から、主軸64及びテーブル66のX軸,Y軸及びZ軸方向における相対移動位置データを取得する位置データ取得部44と、測定ヘッド10から受信された距離データと位置データ取得部44により取得された相対移動位置データとを記憶する距離データ記憶部45と、距離データ記憶部45に格納されたデータを基にワークWの表面形状を算出するデータ処理部46とを備える。   The data processing device 40 includes an output device 41 for displaying and printing data, an antenna 42 a, a radio 42 for transmitting and receiving data to and from the measuring head 10, and the measuring head 10. A transmission / reception control unit 43 that performs processing for receiving the transmitted distance data (numerical data related to the distance) via the wireless device 42, and the X-axis, Y-axis, and Z-axis of the spindle 64 and the table 66 from the numerical controller 68. A position data acquisition unit 44 for acquiring relative movement position data in the axial direction; a distance data storage unit 45 for storing the distance data received from the measurement head 10 and the relative movement position data acquired by the position data acquisition unit 44; And a data processing unit 46 for calculating the surface shape of the workpiece W based on the data stored in the distance data storage unit 45.

前記位置データ取得部44は、ワークWの表面とCCDカメラ12との間の距離が計測されたとき(例えば、レーザ発振器11からレーザ光が照射されたときや、CCDカメラ12のシャッタが切られたときなど)の主軸64及びテーブル66の相対移動位置データを取得し、前記距離データ記憶部45には、図6に示すように、測定ヘッド10から得られた距離データと数値制御部68から得られた相対移動位置データとが関連付けられて格納される。   The position data acquisition unit 44 measures the distance between the surface of the workpiece W and the CCD camera 12 (for example, when laser light is emitted from the laser oscillator 11 or when the shutter of the CCD camera 12 is released). The relative movement position data of the main shaft 64 and the table 66 is acquired, and the distance data storage unit 45 stores the distance data obtained from the measurement head 10 and the numerical control unit 68 as shown in FIG. The obtained relative movement position data is stored in association with each other.

前記データ処理部46は、ワークWの表面形状として、例えば、ワークWの表面のある点におけるZ軸方向の位置、ワークWの表面粗さ、ワークWの表面の輪郭形状、ワークWの表面の傾きや平面度などを算出するように構成されるが、これらに何ら限定されるものではない。   The data processing unit 46, for example, as the surface shape of the work W, for example, the position in the Z-axis direction at a certain point on the surface of the work W, the surface roughness of the work W, the contour shape of the surface of the work W, the surface shape of the work W Although it is configured to calculate inclination, flatness, etc., it is not limited to these.

以上のように構成された本例の機上計測システム1によれば、工作機械60において、数値制御装置68による制御の下、各送り機構部により、工具が装着された主軸64と、ワークWが載置されたテーブル66とがX軸方向,Y軸方向及びZ軸方向に相対移動せしめられてワークWが加工されると、以下のようにして、加工後におけるワークWの表面の形状測定が行われる。   According to the on-machine measuring system 1 of the present example configured as described above, in the machine tool 60, under the control of the numerical control device 68, the spindle 64 on which the tool is mounted and the workpiece W by each feed mechanism unit. When the workpiece W is machined by being relatively moved in the X axis direction, the Y axis direction, and the Z axis direction with the table 66 on which is placed, the shape measurement of the surface of the workpiece W after machining is performed as follows. Is done.

即ち、まず、数値制御装置68による制御の下、工具交換装置67により、工具マガジン内の測定ヘッド10と主軸64の工具とが交換され、これにより、主軸64に測定ヘッド10が装着される。この後、非接触給電装置30の交流電源32により給電コイル31に交流電圧が印加されて受電コイル33側(レーザ発振器11,CCDカメラ12,無線機18,距離算出部23及び送受信制御部24)に電力が供給される。   That is, first, under the control of the numerical controller 68, the tool changer 67 exchanges the measuring head 10 in the tool magazine and the tool of the spindle 64, whereby the measuring head 10 is mounted on the spindle 64. Thereafter, an AC voltage is applied to the power supply coil 31 by the AC power supply 32 of the non-contact power supply device 30, and the power reception coil 33 side (laser oscillator 11, CCD camera 12, wireless device 18, distance calculation unit 23, and transmission / reception control unit 24). Is supplied with power.

この後、例えば、ワークWの表面のある点に向けてレーザ光が照射されるように測定ヘッド10及びワークWが送り機構部により所定位置に位置決めされてレーザ光が照射されたり、レーザ光が連続的に照射されながら測定ヘッド10及びワークWが送り機構部により相対移動せしめられる。   Thereafter, for example, the measuring head 10 and the workpiece W are positioned at predetermined positions by the feed mechanism so that the laser beam is irradiated toward a certain point on the surface of the workpiece W, and the laser beam is irradiated. The measurement head 10 and the workpiece W are relatively moved by the feeding mechanism while being continuously irradiated.

そして、照射されたレーザ光は、ワークWの表面で反射してCCDカメラ12により受光され、これによって、2次元画像データが生成され、生成された2次元画像データを基に、距離算出部23によりワークWの表面とCCDカメラ12との間の距離が算出される。算出された距離データは、送受信制御部24により、無線機18を介してデータ処理装置40に送信される。   The irradiated laser light is reflected by the surface of the workpiece W and received by the CCD camera 12, thereby generating two-dimensional image data. Based on the generated two-dimensional image data, the distance calculating unit 23 Thus, the distance between the surface of the workpiece W and the CCD camera 12 is calculated. The calculated distance data is transmitted to the data processing device 40 via the wireless device 18 by the transmission / reception control unit 24.

送信された距離データは、無線機42を介して送受信制御部43により受信され、また、距離計測時における主軸64及びテーブル66の相対移動位置データが位置データ取得部44により数値制御装置68から取得され、この距離データと相対移動位置データとが距離データ記憶部45に関連付けられて格納される。そして、距離データ記憶部45に格納されたデータを基に、データ処理部46によりワークWの表面形状が算出される。   The transmitted distance data is received by the transmission / reception control unit 43 via the wireless device 42, and the relative movement position data of the spindle 64 and the table 66 at the time of distance measurement is acquired from the numerical controller 68 by the position data acquisition unit 44. The distance data and the relative movement position data are stored in association with the distance data storage unit 45. Then, based on the data stored in the distance data storage unit 45, the surface shape of the workpiece W is calculated by the data processing unit 46.

このようにして、ワークWの表面の形状測定が行われ、測定されたデータは、出力装置41から出力される。   In this way, the shape of the surface of the workpiece W is measured, and the measured data is output from the output device 41.

斯くして、本例の機上計測システム1によれば、CCDカメラ12により生成された2次元画像データを基にワークWの表面とCCDカメラ12との間の距離を算出して、算出した距離に係る数値データを測定ヘッド10側からデータ処理装置40側に無線通信で送信しているので、2次元画像データをそのままデータ処理装置40側に送信する場合に比べ、測定ヘッド10側から送信されるデータ量を小さくすることができる。また、データとして最も軽い数値データを送信しているので、送信データを軽くする上で最適である。また、データの送受信に時間がかからなくなるので、ワークWの表面の形状測定を短時間で効率的に実施することができる。   Thus, according to the on-machine measurement system 1 of the present example, the distance between the surface of the workpiece W and the CCD camera 12 is calculated based on the two-dimensional image data generated by the CCD camera 12 and is calculated. Since the numerical data relating to the distance is transmitted from the measurement head 10 side to the data processing device 40 side by wireless communication, the two-dimensional image data is transmitted from the measurement head 10 side as compared with the case of transmitting the two-dimensional image data as it is to the data processing device 40 side. The amount of data to be processed can be reduced. In addition, since the lightest numerical data is transmitted as data, it is optimal for reducing transmission data. In addition, since it takes less time to transmit and receive data, the shape of the surface of the workpiece W can be measured efficiently in a short time.

また、測定ヘッド10への電力供給を非接触給電装置30により行っているので、電力供給のための電力ケーブルを不要にして作業者の作業性を向上させることができる。また、測定ヘッド10に電力供給のためのバッテリを設けているような場合には、バッテリの充電作業や残量管理といった煩わしい作業を行わなければならないが、これらの作業を省くことができる。   In addition, since power is supplied to the measuring head 10 by the non-contact power feeding device 30, it is possible to improve the workability of the operator by eliminating the need for a power cable for power supply. Further, when the measuring head 10 is provided with a battery for supplying power, troublesome work such as battery charging work and remaining amount management must be performed, but these work can be omitted.

また、工具交換装置67により主軸64に対して測定ヘッド10を着脱するようにしているので、測定ヘッド10の着脱を自動で行うことができ、便利である。また、ワークWの加工及び加工後のワークWの測定を自動且つ連続的に行うことができ、効率的である。   Further, since the measuring head 10 is attached to and detached from the spindle 64 by the tool changer 67, the measuring head 10 can be automatically attached and detached, which is convenient. In addition, the processing of the workpiece W and the measurement of the workpiece W after the processing can be performed automatically and continuously, which is efficient.

以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明の採り得る具体的な態様は、何らこれに限定されるものではない。   As mentioned above, although one Embodiment of this invention was described, the specific aspect which this invention can take is not limited to this at all.

上例では、測定ヘッド10にレーザ発振器11及びCCDカメラ12などから構成される光学系を採用したが、これに限られるものではなく、測定ヘッド10とワークWの表面との間の距離を算出可能な光学系であれば、どのようなものであっても良い。例えば、レーザ干渉の原理を用いて測定ヘッド10とワークWの表面との間の距離を算出するようにすることもできる。   In the above example, the optical system including the laser oscillator 11 and the CCD camera 12 is used for the measurement head 10. However, the present invention is not limited to this, and the distance between the measurement head 10 and the surface of the workpiece W is calculated. Any optical system can be used. For example, the distance between the measuring head 10 and the surface of the workpiece W can be calculated using the principle of laser interference.

また、3軸制御の工作機械60でワークWを測定したが、ワークWの測定を行う工作機械は、何ら限定されるものではなく、どのような工作機械であっても良い。また、データ処理装置40の機能を、数値制御装置68を含む工作機械の制御装置に設けて、当該工作機械の制御装置とデータ処理装置40とを一体的に構成するようにしても良い。   Moreover, although the workpiece | work W was measured with the machine tool 60 of 3-axis control, the machine tool which measures the workpiece | work W is not limited at all, What kind of machine tool may be sufficient. Further, the function of the data processing device 40 may be provided in a control device of a machine tool including the numerical control device 68, and the control device of the machine tool and the data processing device 40 may be configured integrally.

本発明の一実施形態に係る機上計測システムの概略構成を示した斜視図である。It is the perspective view which showed schematic structure of the on-machine measuring system which concerns on one Embodiment of this invention. 本実施形態に係る測定ヘッドの工作機械取付状態を一部断面で示した断面図である。It is sectional drawing which showed the machine tool attachment state of the measuring head concerning this embodiment in a partial cross section. 本実施形態に係る測定ヘッドの概略構成を一部断面で示した断面図である。It is sectional drawing which showed the schematic structure of the measuring head which concerns on this embodiment in the partial cross section. 本実施形態に係る測定ヘッドの概略構成を示したブロック図である。It is the block diagram which showed schematic structure of the measuring head which concerns on this embodiment. 本実施形態に係るデータ処理装置の概略構成を示したブロック図である。It is the block diagram which showed schematic structure of the data processor which concerns on this embodiment. 本実施形態に係る距離データ記憶部に格納されたデータのデータ構成を示した説明図である。It is explanatory drawing which showed the data structure of the data stored in the distance data storage part which concerns on this embodiment.

符号の説明Explanation of symbols

1 機上計測システム
5 非接触測定装置
10 測定ヘッド
11 レーザ発振器
12 CCDカメラ
18 無線機
23 距離算出部
24 送受信制御部
30 非接触給電装置
31 給電コイル
32 交流電源
33 受電コイル
40 データ処理装置
42 無線機
43 送受信制御部
44 位置データ取得部
45 距離データ記憶部
46 データ処理部
64 主軸
66 テーブル
67 工具交換装置
68 数値制御部
W ワーク
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 On-machine measuring system 5 Non-contact measuring apparatus 10 Measuring head 11 Laser oscillator 12 CCD camera 18 Radio | wireless machine 23 Distance calculation part 24 Transmission / reception control part 30 Non-contact electric power supply 31 Power supply coil 32 AC power supply 33 Power receiving coil 40 Data processing apparatus 42 Wireless Machine 43 Transmission / reception control unit 44 Position data acquisition unit 45 Distance data storage unit 46 Data processing unit 64 Spindle 66 Table 67 Tool changer 68 Numerical control unit W Workpiece

Claims (3)

先端に工具が装着される主軸と、ワークが載置されるテーブルと、前記主軸とテーブルとを前記主軸の軸線方向を含む直交3軸方向に沿って相対移動させる送り機構部と、前記送り機構部を制御する数値制御手段とを備えた工作機械に設けられ、前記ワーク表面の形状測定を行う非接触測定装置において、
前記主軸に対して着脱自在に構成された測定ヘッドであって、前記ワーク表面にレーザ光を照射する投光手段と、前記ワーク表面で反射したレーザ光を受光する受光手段と、前記受光手段の受光データを基に前記ワーク表面と測定ヘッドとの間の距離を算出する距離算出手段と、前記距離算出手段によって算出された距離に係る数値データを無線通信により送信する送信手段とを有する測定ヘッドと、
前記測定ヘッドから送信された距離データを無線通信により受信する受信手段と、前記受信手段により受信された距離データと前記数値制御手段から得られる前記主軸及びテーブルの位置情報とを基に、前記ワークの表面形状を算出するデータ処理手段とを有する処理装置とを備えてなることを特徴とする非接触測定装置。
A spindle on which a tool is mounted at the tip, a table on which a workpiece is placed, a feed mechanism section that relatively moves the spindle and the table along three orthogonal directions including the axial direction of the spindle, and the feed mechanism In a non-contact measuring device that is provided in a machine tool provided with a numerical control means for controlling a part, and that measures the shape of the workpiece surface,
A measuring head configured to be detachable with respect to the spindle; a light projecting means for irradiating the work surface with laser light; a light receiving means for receiving the laser light reflected by the work surface; and A measuring head having distance calculating means for calculating a distance between the workpiece surface and the measuring head based on received light data, and transmitting means for transmitting numerical data related to the distance calculated by the distance calculating means by wireless communication When,
Based on the receiving means for receiving the distance data transmitted from the measuring head by wireless communication, the distance data received by the receiving means, and the position information of the spindle and the table obtained from the numerical control means. A non-contact measuring device comprising: a processing device having a data processing means for calculating the surface shape of the non-contact measuring device.
前記請求項1記載の非接触測定装置と、
先端に工具が装着される主軸と、ワークが載置されるテーブルと、前記主軸とテーブルとを前記主軸の軸線方向を含む直交3軸方向に沿って相対移動させる送り機構部と、前記送り機構部を制御する数値制御手段とを備えた工作機械とから構成される機上計測システムであって、
前記工作機械の主軸先端部の近傍位置に設けられる1次側の給電コイルと、前記給電コイルに電圧を印加する電圧印加手段と、前記測定ヘッドに設けられ、前記投光手段,受光手段,距離算出手段及び送信手段に電力をそれぞれ供給する2次側の受電コイルとから構成される非接触給電手段を備え、
前記給電コイル及び受電コイルは、前記測定ヘッドが前記主軸に装着されたときに両者が近接して前記給電コイル側から前記受電コイル側に電力が供給されるように構成されてなることを特徴とする機上計測システム。
A non-contact measuring device according to claim 1;
A spindle on which a tool is mounted at the tip, a table on which a workpiece is placed, a feed mechanism section that relatively moves the spindle and the table along three orthogonal directions including the axial direction of the spindle, and the feed mechanism An on-machine measurement system comprising a machine tool provided with a numerical control means for controlling a part,
A primary side feeding coil provided at a position near the spindle tip of the machine tool; a voltage applying means for applying a voltage to the feeding coil; and a light projecting means, a light receiving means, a distance provided in the measuring head. A non-contact power feeding means comprising a secondary receiving coil for supplying power to the calculating means and the transmitting means,
The power feeding coil and the power receiving coil are configured such that when the measuring head is mounted on the main shaft, both are close to each other and power is supplied from the power feeding coil side to the power receiving coil side. On-machine measurement system.
前記工作機械は、複数の工具が格納される工具マガジンと、前記工具マガジンに格納された工具と前記主軸に装着された工具とを交換する交換機構とからなる工具交換装置を更に備え、
前記測定ヘッドは、前記工具マガジンに格納され、前記交換機構により前記主軸に対して着脱されるように構成されてなることを特徴とする請求項2記載の機上計測システム。
The machine tool further comprises a tool changer comprising a tool magazine storing a plurality of tools, and an exchange mechanism for exchanging the tool stored in the tool magazine and the tool mounted on the spindle,
3. The on-machine measuring system according to claim 2, wherein the measuring head is stored in the tool magazine and is configured to be attached to and detached from the main shaft by the exchange mechanism.
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