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JP2010009638A - 磁気ヘッドおよび磁気ディスク装置 - Google Patents

磁気ヘッドおよび磁気ディスク装置 Download PDF

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JP2010009638A JP2008164514A JP2008164514A JP2010009638A JP 2010009638 A JP2010009638 A JP 2010009638A JP 2008164514 A JP2008164514 A JP 2008164514A JP 2008164514 A JP2008164514 A JP 2008164514A JP 2010009638 A JP2010009638 A JP 2010009638A
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Fujitsu Ltd
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Fujitsu Ltd
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Abstract

【課題】記録素子と再生素子とにおける磁気ディスクからの距離が均等化する磁気ヘッドおよび磁気ディスク装置を提供する。
【解決手段】記録媒体の回転により発生する空気流により記録媒体上に浮上するスライダ3Aと、スライダの空気流出側に固着され、記録媒体をアクセスする素子が形成された素子形成部3Bとを備え、素子形成部3Bが、記録媒体にデータを記録する主磁極311を有する記録素子31と、記録素子よりもスライダ3Aの側に形成された、記録媒体に記録されたデータを再生する再生素子32と、主磁極311および再生素子32の間に形成された断熱層35と、断熱層よりもスライダの側に形成されたヒータ33とを備える。
【選択図】 図3

Description

本件は、磁気ヘッドおよび磁気ディスク装置に関する。
従来より磁気ディスク装置がコンピュータに内蔵されあるいは外付けされて多用されている。磁気ディスク装置は、磁気ディスクの回転に伴う空気流により磁気ヘッドが固定された磁気ヘッドスライダが磁気ディスク表面から浮上し、その状態で磁気ヘッドにより磁気ディスクがアクセスされる。
磁気ヘッドの磁気ディスク表面からの浮上量は磁気ディスクの高記録密度化に対応して年々低下しており、現在では10nmのオーダーとなっている。このため、このヘッド浮上量は、温度および気圧といった動作環境や、磁気ヘッドスライダの浮上面(ABS:Air Bearing Surface)の形状のばらつき等に影響を受けて変動しやすい。
そこで、磁気ヘッドにヒータを内蔵し、このヒータに通電して発熱させ、磁気ヘッドを熱変形させて浮上量を調整する方法が提案されている(例えば、特許文献1および2参照。)。この方法では、必要に応じて磁気ヘッドの磁極先端部分を突出させて、磁極先端部分と磁気ディスクとの間隙を小さくする。さらに、ヒータのうち、素子近傍部よりも引き出し部分のシート抵抗を小さく抑えることで、ヒータでの発熱効率を高めることや、ヒータの周囲にアルミナよりも熱伝導率の高い部材を配置する手法が提案されている(例えば、特許文献3および4参照)。また、ヒータを2層に配置する手法や、ヘリカルコイルを採用した磁気ヘッドに配置する手法も知られている(例えば、特許文献5および6参照)。また、ヒータによる加熱効率を高めるため断熱層を配置したり、オーバーコート層の変形を防ぐために断熱層を配置したりすることが提案されている(例えば、特許文献7および8参照)。
特開平5−20635号公報 米国特許第5991113号明細書 特開2004−335069号公報 特開2006−53972号公報 特開2007−287277号公報 特開2006−244692号公報 特開2004−199797号公報 特開2007−280502号公報
磁気ヘッドは、スライダの先に記録素子と再生素子とが並んで配置された構成を有ており、双方の素子のそれぞれが磁気ディスクに対し適切な距離を保つことが望ましい。このため、熱変形による突き出しにおいては突き出し形状(プロファイル)が重要である。さらに、スライダは磁気ディスク上では空気の流れなどの関係で傾いた姿勢で浮上している。このため、例えば、記録素子と再生素子のうち、磁気ディスクに近い位置に配置された素子の部分が相対的に大きく突き出されると、記録素子と再生素子とにおける磁気ディスクからの距離に大きな偏りが生じる。
本件開示の磁気ヘッドおよび磁気ディスク装置の課題は、上記事情に鑑み、ヒータを利用した熱変形によって磁気ディスクとの距離が調整される磁気ヘッド、およびこの磁気ヘッドを備えた磁気ディスク装置において、記録素子と再生素子とにおける磁気ディスクからの距離を均等化することを目的とする。
本件開示の磁気ヘッドの基本形態は、
記録媒体の回転により発生する空気流によりこの記録媒体上に浮上するスライダと、
上記スライダの空気流出側に固着され、記録媒体をアクセスする素子が形成された素子形成部とを備え、
上記素子形成部が、
上記記録媒体にデータを記録する主磁極を有する記録素子と、
上記記録素子よりも上記スライダの側に形成された、上記記録媒体に記録されたデータを再生する再生素子と、
上記主磁極および上記再生素子の間に形成された断熱層と、
上記断熱層よりも上記スライダの側に形成されたヒータとを備えている。
また、本件開示の磁気ディスク装置の基本形態は、
情報が磁気的に記録される記録媒体と、
相対的に移動する記録媒体に浮上面を向けて浮上しこの記録媒体に情報を記録する磁気ヘッドと、
磁気ヘッドに電気信号を供給する電子回路とを備え、
上記磁気ヘッドが、
記録媒体の回転により発生する空気流によりこの記録媒体上に浮上するスライダと、
上記スライダの空気流出側に固着され、記録媒体をアクセスする素子が形成された素子形成部とを備え、
上記素子形成部が、
上記記録媒体にデータを記録する主磁極を有する記録素子と、
上記記録素子よりもスライダの側に形成された、上記記録媒体に記録されたデータを再生する再生素子と、
上記主磁極および上記再生素子の間に形成された断熱層と、
上記断熱層よりも上記スライダの側に形成されたヒータとを備えたことを特徴とする磁気ディスク装置。
これら磁気ヘッドおよび磁気ディスク装置の基本形態によれば、再生素子は、記録素子よりもスライダの側に形成されており、スライダが浮上した状態で記録媒体に対する距離が記録素子よりも大きい。記録素子のコイルと再生素子との間に形成された断熱層よりもスライダの側に形成されたヒータが発熱すると、スライダの側に形成された再生素子が記録素子よりも大きく突き出して記録媒体に近づく。しかも、ヒータからの熱は断熱層によって遮られるため記録素子の変形が抑えられる。したがって、記録媒体に対する距離が大きい再生素子が、記録素子よりも大きく突き出るので、記録素子と再生素子とにおける磁気ディスクからの距離が均等化する。
以上の本件開示の磁気ヘッドおよび磁気ディスク装置の上記基本形態によれば記録素子と再生素子とにおける磁気ディスクからの距離が均等化する。
以下、本件開示の磁気ヘッドおよび磁気ディスク装置の発明の具体的な実施形態について説明する。
図1は、磁気ディスク装置の具体的な実施形態を表した図である。
図1に示す磁気ディスク装置1には、図に垂直な方向を回転軸とする回転駆動力を発生するロータリアクチュエータ6が設けられている。このロータリアクチュエータ6は、サスペンションアーム5を支持しており、ロータリアクチュエータ6の回転駆動力を受けて、サスペンションアーム5は、ロータリアクチュエータ6の周りを図の面内で回動する。サスペンションアーム5の先端には、支持具としてのジンバル4を介して磁気ヘッド3が取り付けられている。磁気ヘッド3は、記録媒体としての磁気ディスク2からの情報の読み取りや磁気ディスク2への情報の書き込みを行う。
情報の読み取りや書き込みの際には、ロータリアクチュエータ6によりサスペンションアーム5が回転駆動されることで、磁気ヘッド3が磁気ディスク2上の目標位置に移動し、磁気ディスク2からの情報の読み取りや磁気ディスク2への情報の書き込みを行う。円盤状の磁気ディスク2の表面には、同心円状に多数のトラック7が設けられており、各トラック7には、トラック7に沿って、1ビット領域と呼ばれる1ビット分の情報を記憶する単位記憶領域が並んでいる。これらの1ビット領域には、磁気ディスク2の面とは垂直方向を向いた磁化が設けられており、磁化の向きにより1ビット分の情報が表される。この磁気ディスク2は、円盤の中心を回転中心として図の面内を回転し、磁気ディスク2表面近くに配置された磁気ヘッド3は、回転する磁気ディスク2の各1ビット領域に順次近接する。
情報の記録時には、磁気ディスク2に近接した磁気ヘッド3に電気的な記録信号が入力され、磁気ヘッド3は、入力された記録信号に応じて各1ビット領域に磁界を印加して、その記録信号に担持された情報をそれらの各1ビット領域の磁化方向の形式で記録する。また、情報の再生時には、磁気ヘッド3は、各1ビット領域において磁化方向の形式で記録された情報を、磁化それぞれから発生する磁界に応じて電気的な再生信号を生成することにより取り出す。ここで、磁気ヘッド3が1つのトラック7で情報の読み取りを行った後、別のトラック7で情報の読み取りや書き込みを行う際には、ロータリアクチュエータ6の回転駆動力を受けたサスペンションアーム5が回動して磁気ヘッド3がその別のトラック7に近接した位置に移動し、その別のトラック7の各1ビット領域において、上述した方式で情報の読み取りや書き込みを行う。
上述した、ロータリアクチュエータ6、サスペンションアーム5、ジンバル4、磁気ヘッド3など、情報の記憶再生に直接的に携わる各部は、磁気ディスク2とともに、ベース8に収容されている。図1にはベース8の内側の様子が表されている。ベース8の裏側には、上記の各部を制御する電子回路が形成された制御基板9が設けられている。上記の各部は、不図示の機構でこの制御基板9と電気的に導通しており、磁気ヘッド3に入力される記録信号や、磁気ヘッド3で生成された再生信号は、この制御基板9において処理される。また、制御基板9は、磁気ヘッド3に内蔵された後述するヒータに電流を供給して、磁気ヘッド3と磁気ディスク2の距離を制御する。
図2は、図1に示す磁気ヘッドを示す図である。図2には、磁気ヘッド3が磁気ディスク2とともに示されている。
磁気ヘッド3は、磁気ディスク2の回転で生じる空気流により磁気ディスク2上に浮上するスライダ3Aと、スライダ3Aの空気流出側に固着され、磁気ディスク2をアクセスする素子が形成された素子形成部3Bとを備えている。磁気ヘッド3は、矢印Rの向きに回転する磁気ディスク2に対し、矢印R’の向きに相対移動することとなる。磁気ヘッド3は、ジンバル4(図1参照)によって磁気ディスク2に接する向き(図2における上向き)に力が付与されている。これに対し、磁気ヘッド3は、磁気ディスク2の回転に伴い空気流入側から空気流出側に流れる空気流によって、浮上面Sを磁気ディスク2に向けた姿勢で磁気ディスク2上(図2における下向き)に浮上する。磁気ヘッド3は、浮上面Sと磁気ディスク2が角度αを有するように、磁気ディスク2に対し傾斜した状態で浮上している。
図3は、図2に示す磁気ヘッドの素子形成部の構造を示す拡大断面図である。図3では、磁気ディスク2の一部および磁気ヘッド3が、磁気ヘッド3の浮上面Sが水平となるように回転した状態で示されている。
素子形成部3Bは、情報の記録時に記録信号に応じて各1ビット領域に磁界を印加して磁化方向の形式で情報を記録する記録素子31と、情報の再生時に各1ビット領域の磁化それぞれから発生する磁界に応じて、情報を表す電気的な再生信号を生成する再生素子32と、ヒータ33と、断熱層35とを備えている。素子形成部3Bは、支持基板となるスライダ3Aに、記録素子31、再生素子32、ヒータ33、および断熱層35が、アルミナ製の絶縁層34を介して順次積層された構造を有している。以降、スライダ3Aを支持基板3Aとも称する。
記録素子31は、磁気ディスク2にデータを記録する主磁極311、主磁極311を挟む位置に配置された補助磁極312,313、補助磁極312と主磁極311とを接続する接続部314、および記録用の磁界を発生する薄膜コイル316A,316Bを備えている。主磁極311、補助磁極312,313、および接続部314は、ニッケル(Ni)と鉄(Fe)の合金(Ni−Fe)で形成されている。また、薄膜コイル316A,316Bの周囲には絶縁性の樹脂317が充填されている。本実施形態の記録素子31ではダブルコイル方式が採用されている。主磁極311と、2つの補助磁極312,313のうち空気流出側の第1補助磁極312と、接続部314とは、磁気記録時に発生する磁束の第1の磁路の一部を構成する。薄膜コイル316A,316Bのうち空気流出側に配置された薄膜コイル316Aが、この第1の磁路と鎖交するように配置されている。一方、主磁極311と、空気流入側の第2補助磁極313とは第2の磁路の一部を構成する。空気流入側に配置された薄膜コイル316Bが、この第2の磁路と鎖交するように配置されている。主磁極311は、接続部314から磁気ディスク2に対向する先端にかけて先細りの形状となっている(図4参照)。
再生素子32は、巨大磁気抵抗効果(GMR効果)を利用して情報の再生を行う素子であり、磁気抵抗効果膜321および磁気シールド層322,323を備えている。2つの磁気シールド層322,323は、磁気抵抗効果膜321を挟む位置に配置されている。磁気抵抗効果膜321としては、GMRの他にトンネル磁気抵抗効果(TMR効果)を利用したものも採用可能である。磁気シールド層322,323は、ニッケル(Ni)と鉄(Fe)の合金(Ni−Fe)で構成されており、高い透磁率を有する。
ヒータ33は、磁気ヘッド3の浮上面Sを熱で変形させることによってこの磁気ヘッド3の磁気ディスク2からの浮上量を調整する。また、断熱層35は、絶縁層34よりも熱伝導率が小さい材料で形成されており、ヒータ33で発生する熱の伝導を妨げる。断熱層35の材料としては、熱伝導率が1.5/mK以下の材料が採用され、より具体的には熱伝導率0.1W/mKのアモルファス樹脂が採用される。ただし、断熱層35の材料としては、アモルファス樹脂の他に、薄膜コイル316A,316Bの周囲に充填された材料と同じレジスト樹脂(熱伝導率0.3W/mK)や、酸化シリコン(SiO:熱伝導率1.0W/mK)も採用可能である。
本実施形態の磁気ヘッド3における断熱層35は、記録素子31の主磁極311と再生素子32との間に形成されている。より詳細には、断熱層35は、記録素子31の内部に形成されており、スライダ3A側すなわち再生素子32側の薄膜コイル316Bおよび補助磁極313間に配置されている。断熱層35の厚さは約0.2μmである。
ヒータ33は、断熱層35よりもスライダ3A側すなわち再生素子32側に配置されている。より詳細には、ヒータ33は、記録素子31と再生素子32の間に配置されており、より詳細には、記録素子31の再生素子32側にある薄膜コイル316Bと、再生素子32の記録素子31の側にある磁気シールド層323との間に配置されている。
図4は、図3の磁気ヘッドにおけるヒータの形状を示す図である。図4には、磁気ヘッドを移動方向R’に見たヒータ33の形状が示されている。
図4に示すように、ヒータ33は、接続端子としての2つのヒータジョイント331,332のそれぞれから浮上面Sに向かって延び、そこから浮上面Sと略平行に延在した形状を有している。ヒータ33の材料はニッケルカッパーであるが、ニッケルカッパーの他に、タングステンまたはチタンタングステンも採用可能である。またヒータの形状としては、図4に示す形状の他に、例えば蛇行した形状も採用可能である。
支持基板3Aは、酸化アルミニウム(Al)と炭化チタン(TiC)とを有する非磁性の材料の表面に酸化アルミニウム膜が形成された基板(AlTiC基板)である。
図3および図4に示す磁気ヘッド3において、ヒータ33に制御基板9(図1参照)から電流が供給されると、磁気ヘッド3がヒータ33近傍を中心として加熱され、浮上面Sが磁気ディスク2に向かって突出するように変形する。浮上面Sの突き出し量はヒータ33に近いほど大きい。しかし、断熱層35よりも空気流出側に配置された、薄膜コイル316A,316Bや主磁極311が配置された部分は、ヒータ33からの熱伝導が妨げられるため、突き出し量が再生素子32の部分よりも小さくなる。
図3および図4に示す磁気ヘッド3において、再生素子32は、記録素子31よりもスライダ3Aの側すなわち空気流入側に形成されており、スライダ3Aが浮上した状態で磁気ディスク2からの距離が記録素子よりも大きい。ここで、ヒータ33の発熱時、ヒータ33からの熱は断熱層35によって遮られるため、浮上面Sのうち、スライダ3A側の再生素子32の部分は記録素子31の主磁極311部分よりも大きく突き出して磁気ディスク2に近づく。したがって、記録素子31と再生素子32とにおける磁気ディスク2からの距離が均等化する。
上記実施形態では、断熱層と再生素子との間にヒータが形成されているが、ヒータの位置は断熱層35よりもスライダ3A側に形成されていればよく、再生素子よりもスライダ側であってもよい。次に、ヒータが再生素子よりもスライダ側に形成された、再生素子磁気ヘッドの具体的な第2実施形態について説明する。以下の第2実施形態の説明にあたっては、これまで説明してきた実施形態における各要素と同一の要素には同一の符号を付けて示すかまたは符号を省略し、前述の実施形態との相違点について説明する。
図5は、第2実施形態に係る磁気ヘッドの素子形成部の構造を示す拡大断面図である。
図5に示す磁気ヘッド203は、ヒータ233が再生素子32よりも空気流入側すなわちスライダ3Aに配置されている点、および、断熱層235の厚さが0.3μmである点が、図3に示す第1実施形態の磁気ヘッド3と異なる。
図5に示す磁気ヘッド203でも、ヒータ233が発熱すると、浮上面Sにおけるスライダ3Aの側に形成された再生素子32の部分は記録素子31の主磁極311よりも大きく変形して磁気ディスク2に近づく。しかも、ヒータ233からの熱は断熱層235によって遮られるため記録素子31の突出が抑えられる。したがって、記録素子31と再生素子32とにおける磁気ディスク2からの距離が均等化する。
次に、ヒータの位置が異なる複数の磁気ヘッドについて、浮上面Sにおける突き出し量を測定した。
まず、参考例として、断熱層を備えておらず、ヒータの位置が互いに異なる複数の磁気ヘッドについて、ヒータに通電したときの浮上面Sにおける突き出し量を測定した。
図6は、参考例1の磁気ヘッドの構造を示す拡大断面図である。
図6に示す磁気ヘッド603は、断熱層を有しておらず、ヒータ633の位置が、主磁極311と薄膜コイル316Bの間に配置されている。このヒータ633の配置位置を位置Aとする。
図7は、参考例2の磁気ヘッドの構造を示す拡大断面図である。
図7に示す磁気ヘッド703は、断熱層を有しておらず、ヒータ733の位置が、薄膜コイル316Bと補助磁極313との間に配置されている。このヒータ733の配置位置を位置Bとする。
図8は、参考例3の磁気ヘッドの構造を示す拡大断面図である。
図8に示す磁気ヘッド803は、断熱層を有しておらず、ヒータ833の位置が、補助磁極313と磁気シールド層323の間に配置されている。このヒータ833の配置位置を位置Cとする。
図9は、参考例4の磁気ヘッドの構造を示す拡大断面図である。
図9に示す磁気ヘッド903は、断熱層を有しておらず、ヒータ933の位置が、再生素子32と支持基板3Aの間に配置されている。このヒータ933の配置位置を位置Dとする。
図10は、図6〜図9に示す4つの参考例の磁気ヘッドについて、ヒータ通電時における浮上面の突き出し量を示すグラフである。
図10のグラフには、図6〜図9に示す参考例の磁気ヘッド603〜903におけるヒータ633〜933に通電した場合の浮上面Sの突き出し量(H−PTP)が、空気流入側から空気流出側に向かう方向に沿った分布として示されている。つまり、図10のグラフはヒータに通電時の、移動方向Rにおける浮上面Sの形状(プロファイル)を示している。ここで、図10のグラフにおけるR−posは浮上面Sにおける再生素子の磁気抵抗効果膜の位置を表し、W−posは記録素子の主磁極の位置を表している。また、それぞれのヒータの発熱量はいずれも20mWである。
主磁極311と薄膜コイル316Bの間の位置Aにヒータ633が配置された参考例1では、ヒータに通電すると記録素子付近で突き出し量が最大となる。
また、参考例2,3,4の順に、ヒータの位置が、支持基板3A側すなわち空気流入側に設けられるほど、ヒータ通電時の最大突き出し部分が支持基板3A側になる。具体的には、ヒータが薄膜コイル316Bと補助磁極313との間の位置Bに配置された参考例2は、最大突き出し量となる部分が上記参考例1よりも支持基板3Aの側にある。また、ヒータが補助磁極313と磁気シールド層323の間の位置Cに配置された参考例3は、最大突き出し量となる部分がさらに支持基板3A側にある。また、再生素子32と支持基板3Aの間の位置Dにヒータが配置された参考例4は、最大突き出し量となる部分がさらに支持基板3A側にある。
ヒータに通電していない場合、浮上面はH−PTP=0の直線で表される。例えば図10の直線lで表されるように磁気ヘッドの浮上面Sが磁気ディスクに対して120μradの傾斜を有している場合、記録素子の部分(W−pos)および記録素子の部分(R−pos)のそれぞれの磁気ディスクからの距離には差がある。記録素子の部分は記録素子の部分よりも磁気ディスクの近くに位置する。
例えば、参考例1では、ヒータ通電したとき、記録素子の部分の突き出し量が再生素子の部分の突き出し量よりも大きくなる。このため、記録素子の部分と再生素子の部分の磁気ディスクからの距離の差がヒータ通電による変形によってさらに増大する。参考例2から参考例4にかけて、ヒータの位置が支持基板3A側になるほど、ヒータ通電時の最大突き出し量となる部分が再生素子の側に遷移するので、ヒータ通電による記録素子と再生素子の磁気ディスクからの距離の不均等が抑えられる。ただし、参考例1から参考例4までを比べると、ヒータの位置が、支持基板3Aの側になるほど、突き出し量(H−PTP)の最大値は減少する。
図11は、図3に示す第1実施形態の磁気ヘッドにおいて、ヒータ通電による突き出し量を示すグラフである。図11には、図3に示す磁気ヘッド3の突き出し量が、上述した参考例3における突き出し量とともに示されている。
図3に示す磁気ヘッド3は、参考例3のヒータの位置と同じく位置Cにヒータが配置されているが、断熱層35を有している点が参考例3(図8)と異なる。なお、ヒータの発熱量は20mWである。
薄膜コイル316Bおよび補助磁極313間に断熱層35が配置された磁気ヘッド3は、図11のグラフに示すように、突き出し量の最大値が参考例3と同程度であるが、記録素子の部分(W−pos)における突き出し量が参考例3より小さく抑えられる。
図12は、図5に示す第2実施形態の磁気ヘッドにおいて、ヒータ通電による突き出し量を示すグラフである。図12には、図5に示す磁気ヘッド203のヒータ通電時における突き出し量が、上述した参考例4における突き出し量とともに示されている。
図5に示す磁気ヘッド203は、参考例4のヒータの位置と同じく位置Dにヒータが配置されているが、断熱層35を有している点が参考例(図9)と異なる。なお、ヒータの発熱量は20mWである。
断熱層35が配置された磁気ヘッド203は、図12のグラフに示すように、突き出し量の最大値が参考例4と同程度であるが、記録素子の部分(W−pos)における突き出し量が参考例4より小さく抑えられる。
図13は、第1実施形態、第2実施形態、および4つの参考例のヒータ通電時における、記録素子部分および再生素子部分での磁気ディスク面からの距離の差を示す表である。また、図14は、ヒータ通電時における最大突き出し量を示す表である。
例えば、図10のグラフ中の参考例1(実線)に注目すると、浮上面の各点における磁気ディスク面を想定した直線lからの距離についての極小点を最下点pとする。次に、この最下点pを通り、直線lと平行な直線mから、浮上面の記録素子部分(W−pos)までの距離と再生素子部分(R−pos)までの距離のそれぞれを、図13における最下点からの浮上スペーシングとして示す。また、図13には、R−pos −W−posとして、直線mから記録素子部分までの距離と再生素子部分までの距離の差を示している。残りの参考例および実施形態についても値が同様に求められている。
図10のグラフに示すように、位置Aにヒータが配置された参考例1では、記録素子の付近が最下点p(図10参照)となるため、記録素子の部分での浮上スペーシングは1.92nmである一方、再生素子部分での浮上スペーシングは0.20nmと小さい。この結果、スペーシングの差(R−pos − W−pos)が1.7nmと大きい。参考例1の磁気ヘッド603では、ヒータ通電によって再生素子を磁気ディスクに近づけることが容易でなく、再生条件の制御が困難である。参考例1から参考例4にかけて、ヒータの位置を、位置Aから位置B、位置C、そして位置Dへと支持基板3Aに近づけて配置するとスペーシングの差は小さくなる。しかし、図14の表に示すように、ヒータの位置を、位置Aから位置B、位置C、そして位置Dへと支持基板3Aに近づけて配置するほど、最大突き出し量は低下し、ヒータの過熱による効率は低下していく傾向がある。
ここで、位置Cにヒータがあり断熱層を備えた第1実施形態の磁気ヘッド3と、位置Cにヒータがあり断熱層の無い参考例3を比べると、図14の表に示すように、最大突き出し量は変わらない。しかも、図13の表に示すようにスペーシングの差が減少する。すなわち記録素子と再生素子とにおける磁気ディスクからの距離が均等化する。第1実施形態の磁気ヘッド3では、スペーシングの差を参考例4の場合よりも小さくすることができる。
また、位置Dにヒータがあり断熱層を備えた第2実施形態の磁気ヘッド203と、位置Dにヒータがあり断熱層の無い参考例4を比べた場合にも、図14の表に示すように、最大突き出し量は変わらない。しかも、図13の表に示すようにスペーシングの差が減少する。ヒータの位置が位置Dであり断熱層を備えた第2実施形態の磁気ヘッド203が、スペーシングの差が最も小さい。すなわち記録素子と再生素子とにおける磁気ディスクからの距離が均等化する。ただし、第2実施形態と第1実施形態を比べた場合には、第1実施形態の方が最大突き出し量が大きく、ヒータの熱による変形の効率が高い。
なお、具体的な各実施形態に対する上記説明では、「課題を解決するための手段」で説明した基本形態における磁気ヘッドの一例として垂直記録型の磁気ヘッドの構成が示されているが、この磁気ヘッドは、垂直記録型の磁気ヘッド以外にも面内記録型の磁気ヘッドであってもよい。また、記録素子の配置と再生素子の配置が逆となった場合においても本発明に係る構成を適用することが可能である。
磁気ディスク装置の具体的な実施形態を表した図である。 図1に示す磁気ヘッドを示す図である。 図2に示す磁気ヘッドの素子形成部の構造を示す拡大断面図である。 図3の磁気ヘッドにおけるヒータの形状を示す図である。 第2実施形態に係る磁気ヘッドの素子形成部の構造を示す拡大断面図である。 参考例1の磁気ヘッドの構造を示す拡大断面図である。 参考例2の磁気ヘッドの構造を示す拡大断面図である。 参考例3の磁気ヘッドの構造を示す拡大断面図である。 参考例4の磁気ヘッドの構造を示す拡大断面図である。 4つの参考例の磁気ヘッドについて、ヒータ通電時における浮上面の突き出し量を示すグラフである。 図3に示す磁気ヘッドの突き出し量を示すグラフである。 図5に示す磁気ヘッドの突き出し量を示すグラフである。 ヒータ通電時における、記録素子部分および再生素子部分での磁気ディスク面からの距離の差を示す表である。 ヒータ通電時における最大突き出し量を示す表である。
符号の説明
1 磁気ディスク装置
2 磁気ディスク(記録媒体)
3,203 磁気ヘッド
3A スライダ(支持基板)
3B 素子形成部
31 記録素子
32 再生素子
33,233 ヒータ
34 絶縁層
35,235 断熱層
311 主磁極
312,313 補助磁極
316A,316B 薄膜コイル
322,323 磁気シールド層

Claims (4)

  1. 記録媒体の回転により発生する空気流により該記録媒体上に浮上するスライダと、
    前記スライダの空気流出側に固着され、記録媒体をアクセスする素子が形成された素子形成部とを備え、
    前記素子形成部が、
    前記記録媒体にデータを記録する主磁極を有する記録素子と、
    前記記録素子よりも前記スライダの側に形成された、前記記録媒体に記録されたデータを再生する再生素子と、
    前記主磁極および前記再生素子の間に形成された断熱層と、
    前記断熱層よりも前記スライダの側に形成されたヒータとを備えたものであることを特徴とする磁気ヘッド。
  2. 前記ヒータは、前記断熱層と前記再生素子との間に形成されたものであることを特徴とする請求項1記載の磁気ヘッド。
  3. 前記断熱層は、1.5W/mK以下の熱伝導率を有する材料で形成されたものことを特徴とする請求項1または2記載の磁気ヘッド。
  4. 情報が磁気的に記録される記録媒体と、
    相対的に移動する記録媒体に浮上面を向けて浮上し該記録媒体に情報を記録する磁気ヘッドと、
    磁気ヘッドに電気信号を供給する電子回路とを備え、
    前記磁気ヘッドが、
    記録媒体の回転により発生する空気流により該記録媒体上に浮上するスライダと、
    前記スライダの空気流出側に固着され、記録媒体をアクセスする素子が形成された素子形成部とを備え、
    前記素子形成部が、
    前記記録媒体にデータを記録する主磁極を有する記録素子と、
    前記記録素子よりも前記スライダの側に形成された、前記記録媒体に記録されたデータを再生する再生素子と、
    前記主磁極および前記再生素子の間に形成された断熱層と、
    前記断熱層よりも前記スライダの側に形成されたヒータとを備えたことを特徴とする磁気ディスク装置。
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