[go: up one dir, main page]

JP2009292699A - Method for cutting glass substrate, method for cutting substrate for display panel and method for manufacturing substrate for display panel - Google Patents

Method for cutting glass substrate, method for cutting substrate for display panel and method for manufacturing substrate for display panel Download PDF

Info

Publication number
JP2009292699A
JP2009292699A JP2008150275A JP2008150275A JP2009292699A JP 2009292699 A JP2009292699 A JP 2009292699A JP 2008150275 A JP2008150275 A JP 2008150275A JP 2008150275 A JP2008150275 A JP 2008150275A JP 2009292699 A JP2009292699 A JP 2009292699A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
substrate
display panel
cutting
thin film
metal thin
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2008150275A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Motohiro Okuyama
元洋 奥山
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sharp Corp
Original Assignee
Sharp Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sharp Corp filed Critical Sharp Corp
Priority to JP2008150275A priority Critical patent/JP2009292699A/en
Publication of JP2009292699A publication Critical patent/JP2009292699A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Liquid Crystal (AREA)
  • Re-Forming, After-Treatment, Cutting And Transporting Of Glass Products (AREA)
  • Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method for cutting a glass substrate by which the life of a cutting wheel can be prolonged. <P>SOLUTION: The method for cutting the glass substrate for a display panel, on the surface of which a wiring pattern is formed, includes: a step of linearly removing the wiring pattern 1031 by irradiating the wiring pattern 1031 (pattern of metal thin film) formed on the surface of the substrate 1 (glass substrate) for a display panel with a laser beam; and a step of forming a scribe line along the position where the wiring pattern 1031 is removed by the irradiation with the laser beam L by a cutting wheel 8 to cut the substrate. <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Description

本発明は、ガラス基板の切断方法、表示パネル用の基板の切断方法および表示パネル用の基板の製造方法に関するものであり、特に好適には、表面に所定のパターンが形成されるガラス基板の切断方法、表面に所定の配線パターンなどが形成される表示パネル用の基板の切断方法および表示パネル用の基板の製造方法に関するものである。   The present invention relates to a method for cutting a glass substrate, a method for cutting a substrate for a display panel, and a method for manufacturing a substrate for a display panel, and particularly preferably, cutting a glass substrate on which a predetermined pattern is formed. The present invention relates to a method for cutting a display panel substrate on which a predetermined wiring pattern or the like is formed on the surface, and a method for manufacturing a display panel substrate.

液晶表示パネル用のガラス基板などといった、ガラス基板を切断する方法としては、たとえば、ガラスカッタなどを用いて、ガラス基板にスクライブラインを形成し、その後にガラス基板に外力を加えて、形成したスクライブラインに沿って、ガラス基板を切断するという方法が広く用いられている。   As a method of cutting a glass substrate such as a glass substrate for a liquid crystal display panel, for example, a scribe line is formed on the glass substrate using a glass cutter and then an external force is applied to the glass substrate. A method of cutting a glass substrate along a line is widely used.

ガラス基板にスクライブラインを形成するためのガラスカッタとしては、略円盤状のカッティングホイールが広く用いられている。カッティングホイールをガラス盤に当接させ、カッティングホイールとガラス基板とを相対移動させることによって、カッティングホイールをガラス盤の表面で転動させる。そしてカッティングホイールが当接して転動した軌跡に、スクライブラインが形成される。   As a glass cutter for forming a scribe line on a glass substrate, a substantially disc-shaped cutting wheel is widely used. The cutting wheel is brought into contact with the glass plate, and the cutting wheel and the glass substrate are moved relative to each other, thereby rolling the cutting wheel on the surface of the glass plate. A scribe line is formed on the trajectory where the cutting wheel comes into contact and rolls.

ところで、液晶表示パネルの製造工程において、大型のマザーガラスに複数の液晶パネルの配線パターンが形成されるなど、所定の工程までは、マザーガラスの状態で所定の処理が施される。そして、所定の工程を経た後、個々の液晶表示パネルに切断される。また、液晶表示パネルの所定の検査の終了後、不要な部分(たとえば検査用の端子が形成される部分など)が、液晶表示パネルの本体から切断される。このような、液晶表示パネル(液晶表示パネル用のガラス基板)の切断には、前記カッティングホイールが使用されることがある。   By the way, in the manufacturing process of the liquid crystal display panel, a predetermined process is performed in the state of the mother glass until a predetermined process, for example, a wiring pattern of a plurality of liquid crystal panels is formed on a large mother glass. Then, after passing through a predetermined process, it is cut into individual liquid crystal display panels. In addition, after a predetermined inspection of the liquid crystal display panel, unnecessary portions (for example, a portion where inspection terminals are formed) are cut from the main body of the liquid crystal display panel. The cutting wheel may be used for cutting such a liquid crystal display panel (glass substrate for a liquid crystal display panel).

表示パネル用のガラス基板を切断する工程、特に検査用の端子が形成される部分を切断する工程においては、カッティングホイールの切断線上に金属薄膜などからなる所定の配線パターンなどが形成されていることがある。このような場合には、金属薄膜などからなる配線パターンなどの上からカッティングホイールをガラス基板に当接させ、配線パターンの上からガラス基板にスクライブラインを形成する必要がある。   In the process of cutting the glass substrate for the display panel, particularly in the process of cutting the portion where the inspection terminal is formed, a predetermined wiring pattern made of a metal thin film or the like is formed on the cutting line of the cutting wheel. There is. In such a case, it is necessary to bring a cutting wheel into contact with the glass substrate from above the wiring pattern made of a metal thin film or the like and form a scribe line on the glass substrate from above the wiring pattern.

しかしながら、配線パターンの上からガラス基板にスクライブラインを形成する構成では、次のような問題が生じることがあった。すなわち、配線パターンの上からガラス基板にスクライブラインを形成する構成では、配線パターンによりカッティングホイールが受けるダメージが大きく、単なるガラス基板(表面に金属薄膜などが形成されていないガラス基板)にスクライブラインを形成する場合に比較して、カッティングホイールの寿命が短くなることがある。このため、カッティングホイールを頻繁に交換する必要があり、液晶表示パネルの製造コストの上昇を招いていた。また、カッティングホイールが受けるダメージが大きいため、使用できるカッティングホイールの種類が限定されることがあった。特に高価なカッティングホイールしか使用できなかったため、液晶表示パネルの製造コストの上昇を招いていた。   However, in the configuration in which the scribe line is formed on the glass substrate from above the wiring pattern, the following problem may occur. That is, in the configuration in which the scribe line is formed on the glass substrate from above the wiring pattern, the cutting wheel is greatly damaged by the wiring pattern, and the scribe line is formed on a simple glass substrate (a glass substrate on which a metal thin film or the like is not formed). The life of the cutting wheel may be shortened compared to the case of forming. For this reason, it is necessary to frequently replace the cutting wheel, leading to an increase in manufacturing cost of the liquid crystal display panel. Moreover, since the damage which a cutting wheel receives is large, the kind of cutting wheel which can be used may be limited. In particular, since only an expensive cutting wheel could be used, the manufacturing cost of the liquid crystal display panel was increased.

特開昭63−155125号公報JP 63-155125 A

上記実情に鑑み、本発明が解決しようとする課題は、カッティングホイールの長寿命化を図ることができるガラス基板の切断方法、表示パネル用の基板の切断方法および表示パネル用の基板の製造方法を提供すること、または、使用できるカッティングホイールの種類を増やすことができるガラス基板の切断方法、表示パネル用の基板の切断方法および表示パネル用の基板の製造方法を提供することである。   In view of the above circumstances, the problem to be solved by the present invention is a glass substrate cutting method, a display panel substrate cutting method, and a display panel substrate manufacturing method capable of extending the life of a cutting wheel. It is to provide a method for cutting a glass substrate, a method for cutting a substrate for a display panel, and a method for manufacturing a substrate for a display panel that can provide or increase the types of cutting wheels that can be used.

前記課題を解決するため、本発明は、表面に金属薄膜が形成されるガラス基板の切断方法であって、前記ガラス基板の表面に形成される前記金属薄膜にレーザを照射して前記金属薄膜を除去する段階と、レーザを照射して前記金属薄膜を除去した位置に沿ってカッティングホイールによりスクライブラインを形成して切断する段階とを備えることを要旨とするものである。   In order to solve the above problems, the present invention provides a method for cutting a glass substrate having a metal thin film formed on a surface thereof, wherein the metal thin film is formed by irradiating a laser on the metal thin film formed on the surface of the glass substrate. The gist of the present invention includes a step of removing, and a step of forming a scribe line with a cutting wheel along a position where the metal thin film is removed by laser irradiation and cutting.

ここで、前記金属薄膜は配線パターンであることが好ましい。また、前記金属薄膜は少なくともアルミニウムからなる層を含むものであることが好ましい。   Here, the metal thin film is preferably a wiring pattern. The metal thin film preferably includes at least a layer made of aluminum.

本発明は、表面に薄膜状の配線が形成される表示パネル用の基板の切断方法であって、前記表示パネル用の基板の表面に形成される薄膜状の配線をレーザを照射することにより除去する段階と、前記レーザを照射して薄膜状の配線が除去された位置に沿ってカッティングホイールによりスクライブラインを形成して切断する段階とを備えることを要旨とするものである。   The present invention relates to a method for cutting a substrate for a display panel in which a thin film-like wiring is formed on the surface, and the thin film-like wiring formed on the surface of the display panel substrate is removed by irradiating a laser. And a step of forming and cutting a scribe line with a cutting wheel along the position where the thin film-like wiring is removed by irradiating the laser.

本発明は、表示パネル用の基板の製造方法であって、前記表示パネル用の基板の表面に形成される配線パターンにレーザを照射することにより該配線パターンを除去する段階と、該配線パターンを除去した位置に沿ってカッティングホイールによりスクライブラインを形成して前記表示パネル用の基板を切断する段階とを含むことを要旨とするものである。   The present invention is a method for manufacturing a substrate for a display panel, the step of removing the wiring pattern by irradiating the wiring pattern formed on the surface of the substrate for the display panel with a laser, and the wiring pattern And a step of cutting a substrate for the display panel by forming a scribe line with a cutting wheel along the removed position.

本発明は、表示パネル用の基板の製造方法であって、表示パネル用の基板に形成される表示領域が形成される部位と点灯検査用の端子が形成される部位との境界にレーザを照射して該境界に形成される金属薄膜を除去する段階と、前記金属薄膜が除去された境界にカッティングホイールによりスクライブラインを形成して前記点灯検査用の端子が形成される部位を表示領域が形成される部位から切り離す段階と、を含むことを特徴とする表示パネル用の基板の製造方法   The present invention is a method for manufacturing a substrate for a display panel, and irradiates a laser at a boundary between a portion where a display area formed on the substrate for a display panel is formed and a portion where a terminal for lighting inspection is formed And removing the metal thin film formed on the boundary, and forming a scribe line with a cutting wheel at the boundary where the metal thin film is removed to form a portion where the terminal for lighting inspection is formed A method for manufacturing a substrate for a display panel, comprising:

ここで、前記金属薄膜は配線パターンであることが好ましい。   Here, the metal thin film is preferably a wiring pattern.

本発明によれば、切断線(カッティングホイールを当接させる予定線)上の金属薄膜などをあらかじめレーザで除去してから、当該金属薄膜などを除去した位置にカッティングホイールを当接させ、スクライブラインを形成する。このため、金属薄膜などの上からカッティングホイールを当接させてスクライブラインを形成する構成に比較して、カッティングホイールが受けるダメージを少なくすることができる。したがって、カッティングホイールの寿命を延ばすことができる。   According to the present invention, a metal thin film or the like on a cutting line (a line on which the cutting wheel is to come into contact) is previously removed with a laser, and then the cutting wheel is brought into contact with the position where the metal thin film or the like has been removed, thereby providing a scribe line. Form. For this reason, the damage which a cutting wheel receives can be reduced compared with the structure which abuts a cutting wheel on metal thin films etc. and forms a scribe line. Therefore, the life of the cutting wheel can be extended.

また、カッティングホイールが受けるダメージを少なくすることができるため、使用できるカッティングホイールの種類の制限が少なくなる。したがって、種々のカッティングホイールを適用できるようになるから、安価なカッティングホイールを適用することにより、製造コストの上昇を抑制することができる。   Moreover, since the damage which a cutting wheel receives can be reduced, the restriction | limiting of the kind of cutting wheel which can be used decreases. Therefore, since various cutting wheels can be applied, an increase in manufacturing cost can be suppressed by applying an inexpensive cutting wheel.

以下に、本発明の実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。   Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings.

図1は、点灯検査用端子等が設けられる部分を切断する前の液晶表示パネル3の構成を、模式的に示した外観斜視図である。図1に示すように、液晶表示パネル3は、一対の基板1,51を備え、これら一対の基板1,51が所定の微小な間隔をおいて対向して配設される構成を有する。そして一対の基板1,51の間に液晶が充填される構成を有する。一対の基板の一方1には、点灯検査用端子等が設けられる部分103を有する。点灯検査とは、実際に液晶表示パネル3に所定の画像などを表示させることにより、表示欠陥等がないかどうかを検査するものである。   FIG. 1 is an external perspective view schematically showing the configuration of the liquid crystal display panel 3 before cutting a portion where a lighting inspection terminal or the like is provided. As shown in FIG. 1, the liquid crystal display panel 3 includes a pair of substrates 1 and 51, and the pair of substrates 1 and 51 are arranged to face each other at a predetermined minute interval. The liquid crystal is filled between the pair of substrates 1 and 51. One of the pair of substrates has a portion 103 where a lighting inspection terminal or the like is provided. The lighting inspection is to inspect whether there is a display defect or the like by actually displaying a predetermined image or the like on the liquid crystal display panel 3.

この部分103の表面には、この液晶表示パネル3の点灯検査を行うために信号を入力する端子や、入力された点灯検査用の信号を液晶表示パネル3の本体部に伝送するための所定の配線が形成される。この所定の配線は金属薄膜からなる薄膜パターンであり、たとえばアルミニウムなどから形成される。   On the surface of the portion 103, a terminal for inputting a signal for performing a lighting test of the liquid crystal display panel 3 and a predetermined signal for transmitting the input signal for the lighting test to the main body of the liquid crystal display panel 3 are provided. A wiring is formed. The predetermined wiring is a thin film pattern made of a metal thin film, and is made of, for example, aluminum.

この点灯検査用端子等が設けられる部分103は、液晶表示パネル3の所定の点灯検査の終了後、本体部から切断され分離される。したがって、液晶表示パネル3の製造工程には、表面に所定の配線パターン1031(すなわち金属薄膜のパターン)が形成される部分を切断する工程が含まれる。   The portion 103 where the lighting inspection terminal and the like are provided is cut and separated from the main body after the predetermined lighting inspection of the liquid crystal display panel 3 is completed. Therefore, the manufacturing process of the liquid crystal display panel 3 includes a step of cutting a portion where a predetermined wiring pattern 1031 (that is, a metal thin film pattern) is formed on the surface.

図2は、点灯検査用端子等が設けられる部分103の切断工程を、模式的に示した断面図である。   FIG. 2 is a cross-sectional view schematically showing a cutting process of the portion 103 where the lighting inspection terminals and the like are provided.

図2(a)に示すように、表示パネル用の基板1の表面には、点灯検査用端子等が設けられる部分103を含めて、金属薄膜からなる所定の配線パターン1031(金属薄膜のパターン。たとえばアルミニウムなどからなる)が形成される。したがって配線パターン1031(金属薄膜のパターン)の上からカッティングホイールを押し当ててスクライブラインを形成するためには、カッティングホイールによりこの金属薄膜をも切断しなければならない。このため、カッティングホイールが受けるダメージが大きく、カッティングホイールの寿命が短くなっていた。また、カッティングホイールが受けるダメージが大きいため、使用できるカッティングホイールの種類が限定されていた。   As shown in FIG. 2A, the surface of the display panel substrate 1 includes a predetermined wiring pattern 1031 (metal thin film pattern) including a portion 103 provided with lighting inspection terminals and the like. For example, aluminum). Therefore, in order to form a scribe line by pressing the cutting wheel on the wiring pattern 1031 (metal thin film pattern), the metal thin film must also be cut by the cutting wheel. For this reason, the damage which a cutting wheel receives is large, and the lifetime of the cutting wheel was shortened. Moreover, since the damage which a cutting wheel receives is large, the kind of cutting wheel which can be used was limited.

そこで、図2(b)に示すように、表示パネル用の基板1の切断予定線上にある配線パターン1031(金属薄膜のパターン)にレーザLを照射する。ここで、切断予定線は、点灯検査用の端子等が形成される部分103と本体部(表示領域が形成される領域101)との境界である。このレーザLは、切断予定線上にある配線パターン1031を除去することができる程度の強さであり、かつ、表示パネル用の基板1(ガラス基板)には影響を与えない(たとえば熱により亀裂が生じない)程度の強さに設定される。たとえば、2〜16W程度のYAGレーザが適用できる。   Therefore, as shown in FIG. 2B, the laser pattern L is irradiated onto the wiring pattern 1031 (metal thin film pattern) on the planned cutting line of the display panel substrate 1. Here, the planned cutting line is a boundary between the portion 103 where the terminal for lighting inspection and the like are formed and the main body (region 101 where the display region is formed). The laser L is strong enough to remove the wiring pattern 1031 on the planned cutting line, and does not affect the display panel substrate 1 (glass substrate) (for example, cracks due to heat). It does not occur). For example, a YAG laser of about 2 to 16 W can be applied.

なお、レーザLのスポット径は特に限定されるものではない。要は、後の工程において、表示パネル用の基板1にカッティングホイールを当接させてスクライブラインを形成する際に、カッティングホイールが表示パネル用の基板1の表面に残る配線パターン1031(金属薄膜のパターン)に接触しない程度の径であればよい。   The spot diameter of the laser L is not particularly limited. In short, when the scribe line is formed by bringing the cutting wheel into contact with the display panel substrate 1 in a later step, the wiring pattern 1031 (the metal thin film of the metal thin film) remains on the surface of the display panel substrate 1. The diameter should not be in contact with the (pattern).

切断予定線上にある配線パターン1031(金属薄膜のパターン)にレーザLを照射すると、図2(c)に示すように、切断予定線上にある配線パターン1031(金属薄膜のパターン)が除去される。この結果、切断予定線上に、表示パネル用の基板1(すなわちガラス基板)が露出する。   When the wiring pattern 1031 (metal thin film pattern) on the planned cutting line is irradiated with the laser L, the wiring pattern 1031 (metal thin film pattern) on the planned cutting line is removed as shown in FIG. As a result, the display panel substrate 1 (ie, the glass substrate) is exposed on the planned cutting line.

そして図2(d)に示すように、切断予定線にカッティングホイール8を当接させ、その状態で表示パネル用の基板1とカッティングホイール8とを相対的に移動させる。図3は、表示パネル用の基板1にカッティングホイール8を当接させて、表示パネル用の基板1とカッティングホイール8とを相対的に移動させている工程を、模式的に示した外観斜視図である。図2(d)および図3に示すように、表示パネル用の基板1にカッティングホイール8を当接させて、表示パネル用の基板1とカッティングホイール8とを相対的に移動させると、カッティングホイール8が回転しつつ接触した軌跡に、スクライブライン(亀裂)Sが形成される。   Then, as shown in FIG. 2D, the cutting wheel 8 is brought into contact with the planned cutting line, and the display panel substrate 1 and the cutting wheel 8 are relatively moved in this state. FIG. 3 is an external perspective view schematically showing a process of moving the display panel substrate 1 and the cutting wheel 8 relative to each other by bringing the cutting wheel 8 into contact with the display panel substrate 1. It is. When the cutting wheel 8 is brought into contact with the display panel substrate 1 and the display panel substrate 1 and the cutting wheel 8 are moved relative to each other as shown in FIGS. A scribe line (crack) S is formed on the locus of contact while rotating 8.

次いで、図2(e)に示すように、点灯検査用端子等が形成される部分103に外力を加え、先の工程で形成したスクライブを成長させる。これにより、スクライブは表示パネル用の基板1の反対側表面(カッティングホイール8を当接させた側とは反対側の表面)に達し、点灯検査用端子等が形成される部分103は、本体部分から切断され分離する。   Next, as shown in FIG. 2E, an external force is applied to the portion 103 where the lighting inspection terminal and the like are formed, and the scribe formed in the previous step is grown. As a result, the scribe reaches the surface on the opposite side of the display panel substrate 1 (the surface opposite to the side on which the cutting wheel 8 is in contact), and the portion 103 where the lighting inspection terminals and the like are formed is a main body portion. Disconnect from and separate.

本発明の実施形態においては、切断予定線上の配線パターン1031は除去されているから、カッティングホイール8は、表示パネル用の基板1(ガラス基板)に直接接触する。すなわち、カッティングホイール8が配線パターン1031(金属薄膜のパターン)を切断する必要がなくなる。このため、カッティングホイール8が受けるダメージを小さくすることができ、カッティングホイール8の寿命を延ばすことができる。また、カッティングホイール8が受けるダメージが小さいから、適用できるカッティングホイール8の種類も増える。したがって、安価なカッティングホイール8を適用することによって、製造コストの削減または上昇の抑制を図ることができる。   In the embodiment of the present invention, since the wiring pattern 1031 on the planned cutting line is removed, the cutting wheel 8 is in direct contact with the display panel substrate 1 (glass substrate). That is, it is not necessary for the cutting wheel 8 to cut the wiring pattern 1031 (metal thin film pattern). For this reason, the damage which the cutting wheel 8 receives can be made small, and the lifetime of the cutting wheel 8 can be extended. Moreover, since the damage which the cutting wheel 8 receives is small, the kind of applicable cutting wheel 8 also increases. Therefore, by applying an inexpensive cutting wheel 8, the manufacturing cost can be reduced or the rise can be suppressed.

以上、本発明の実施形態について詳細に説明したが、本発明は前記実施形態に何ら限定されるものではない。すなわち、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において、種々の改変が可能である。   As mentioned above, although embodiment of this invention was described in detail, this invention is not limited to the said embodiment at all. That is, various modifications can be made without departing from the spirit of the present invention.

点灯検査用端子等が形成される領域が切断分離される前の表示パネル用の基板を備える表示パネルの概略構成を、模式的に示した外観斜視図である。It is the external appearance perspective view which showed typically schematic structure of the display panel provided with the board | substrate for display panels before the area | region where the terminal for lighting inspection etc. is formed is cut and separated. 本発明の実施形態にかかる表示パネル用の基板(ガラス基板)の切断方法を模式的に示した断面図であり、(a)は点灯検査用端子等が形成される領域が切断分離される前の状態を示し、(b)は切断予定線上にある配線パターン(金属薄膜のパターン)にレーザを照射した状態を示し、(c)は切断予定線上にある配線パターン(金属薄膜のパターン)が除去された状態を示し、(d)はカッティングホイールによってスクライブを形成している工程を示し、(e)は点灯検査用端子等が形成される部分が切断分離された状態を示す。It is sectional drawing which showed typically the cutting method of the board | substrate (glass substrate) for display panels concerning embodiment of this invention, (a) is before the area | region in which the terminal for lighting inspection etc. is formed is cut and separated. (B) shows the state of irradiating the wiring pattern (metal thin film pattern) on the planned cutting line with laser, and (c) shows that the wiring pattern (metal thin film pattern) on the planned cutting line is removed. (D) shows a process of forming a scribe by a cutting wheel, and (e) shows a state where a portion where a lighting inspection terminal or the like is formed is cut and separated. 表示パネル用の基板にカッティングホイールを当接させて、表示パネル用の基板とカッティングホイールとを相対的に移動させている工程を模式的に示した外観斜視図である。It is the external appearance perspective view which showed typically the process of making the cutting wheel contact | abut to the board | substrate for display panels, and moving the board | substrate for display panels, and a cutting wheel relatively.

符号の説明Explanation of symbols

1 表示パネル用の基板
101 表示領域
103 検査用端子等が設けられる部分
1031 配線パターン
3 表示パネル
8 カッティングホイール
L レーザ
S スクライブライン
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Substrate for display panel 101 Display area 103 Portion where inspection terminal etc. are provided 1031 Wiring pattern 3 Display panel 8 Cutting wheel L Laser S Scribe line

Claims (7)

表面に金属薄膜が形成されるガラス基板の切断方法であって、前記ガラス基板の表面に形成される前記金属薄膜にレーザを照射して切断予定線上にある前記金属薄膜を除去する段階と、レーザを照射して前記金属薄膜を除去した位置に沿ってカッティングホイールによりスクライブラインを形成して切断する段階と、を備えることを特徴とするガラス基板の切断方法。   A method of cutting a glass substrate having a metal thin film formed on a surface thereof, the step of irradiating the metal thin film formed on the surface of the glass substrate with a laser to remove the metal thin film on a cutting line, and a laser And cutting the glass substrate by forming a scribe line with a cutting wheel along the position where the metal thin film is removed. 前記金属薄膜は配線パターンであることを特徴とする請求項1に記載のガラス基板の切断方法。   The glass substrate cutting method according to claim 1, wherein the metal thin film is a wiring pattern. 前記金属薄膜は少なくともアルミニウムからなる層を含むことを特徴とする請求項1または請求項2に記載のガラス基板の製造方法。   The method for manufacturing a glass substrate according to claim 1, wherein the metal thin film includes a layer made of at least aluminum. 表面に薄膜状の配線が形成される表示パネル用の基板の切断方法であって、前記表示パネル用の基板の表面に形成される薄膜状の配線をレーザを照射することにより除去する段階と、前記レーザを照射して薄膜状の配線が除去された位置に沿ってカッティングホイールによりスクライブラインを形成して切断する段階と、を備えることを特徴とする表示パネル用の基板の切断方法。   A method of cutting a substrate for a display panel in which a thin film-like wiring is formed on the surface, the step of removing the thin film-like wiring formed on the surface of the display panel substrate by irradiating a laser, Forming a scribe line with a cutting wheel along a position where the thin film-like wiring is removed by irradiating the laser, and cutting the substrate for a display panel. 表示パネル用の基板の製造方法であって、前記表示パネル用の基板の表面に形成される配線パターンにレーザを照射することにより該配線パターンを除去する段階と、該配線パターンを除去した位置に沿ってカッティングホイールによりスクライブラインを形成して前記表示パネル用の基板を切断する段階と、を含むことを特徴とする表示パネル用の基板の製造方法。   A method for manufacturing a substrate for a display panel, the step of removing the wiring pattern by irradiating the wiring pattern formed on the surface of the substrate for the display panel with a laser, and the position where the wiring pattern is removed Forming a scribe line with a cutting wheel along the cutting line and cutting the display panel substrate. 表示パネル用の基板の製造方法であって、表示パネル用の基板に形成される表示領域が形成される部位と点灯検査用の端子が形成される部位との境界にレーザを照射して該境界に形成される金属薄膜を除去する段階と、前記金属薄膜が除去された境界にカッティングホイールによりスクライブラインを形成して前記点灯検査用の端子が形成される部位を表示領域が形成される部位から切り離す段階と、を含むことを特徴とする表示パネル用の基板の製造方法   A method for manufacturing a substrate for a display panel, wherein the boundary is formed by irradiating a laser at a boundary between a portion where a display area formed on the substrate for a display panel is formed and a portion where a terminal for lighting inspection is formed. Removing the metal thin film formed on the substrate, and forming a scribe line on the boundary from which the metal thin film has been removed by forming a scribe line from the portion where the display area is formed. A method for producing a substrate for a display panel, comprising: 前記金属薄膜は配線パターンであることを特徴とする請求項6に記載の表示パネル用の基板の製造方法。   The method for manufacturing a substrate for a display panel according to claim 6, wherein the metal thin film is a wiring pattern.
JP2008150275A 2008-06-09 2008-06-09 Method for cutting glass substrate, method for cutting substrate for display panel and method for manufacturing substrate for display panel Pending JP2009292699A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2008150275A JP2009292699A (en) 2008-06-09 2008-06-09 Method for cutting glass substrate, method for cutting substrate for display panel and method for manufacturing substrate for display panel

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2008150275A JP2009292699A (en) 2008-06-09 2008-06-09 Method for cutting glass substrate, method for cutting substrate for display panel and method for manufacturing substrate for display panel

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2009292699A true JP2009292699A (en) 2009-12-17

Family

ID=41541248

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2008150275A Pending JP2009292699A (en) 2008-06-09 2008-06-09 Method for cutting glass substrate, method for cutting substrate for display panel and method for manufacturing substrate for display panel

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2009292699A (en)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102442767A (en) * 2011-08-19 2012-05-09 深圳市华星光电技术有限公司 Cutting machine and method for aligning by counter plate of cutting machine
TWI408112B (en) * 2010-08-31 2013-09-11 Liefco Optical Inc A Modified Glass Cutting Method for Preset Paths
TWI474981B (en) * 2011-10-06 2015-03-01 Taiwan Mitsuboshi Diamond Ind Co Ltd Method for cutting a strengthened glass substrate accompanying control of compressive stress
CN105278137A (en) * 2014-06-24 2016-01-27 三星钻石工业股份有限公司 Dividing method of brittle substrate and manufacturing method of display panel

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI408112B (en) * 2010-08-31 2013-09-11 Liefco Optical Inc A Modified Glass Cutting Method for Preset Paths
CN102442767A (en) * 2011-08-19 2012-05-09 深圳市华星光电技术有限公司 Cutting machine and method for aligning by counter plate of cutting machine
TWI474981B (en) * 2011-10-06 2015-03-01 Taiwan Mitsuboshi Diamond Ind Co Ltd Method for cutting a strengthened glass substrate accompanying control of compressive stress
CN105278137A (en) * 2014-06-24 2016-01-27 三星钻石工业股份有限公司 Dividing method of brittle substrate and manufacturing method of display panel
CN105278137B (en) * 2014-06-24 2019-08-06 三星钻石工业股份有限公司 The method for dividing of brittle base and the manufacturing method of display panel

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI629249B (en) Method for cutting tempered glass sheets
WO2013151075A1 (en) Glass film fracturing method and glass film laminate body
JP2017179591A5 (en)
EP2724993A3 (en) Methods for laser scribing and separating glass substrates
JP5888158B2 (en) Cleaving method of glass film
JP2005219960A (en) Glass cutting and separation method, glass substrate for flat panel display, flat panel display
CN108067746B (en) Method for processing substrate
TW201412554A (en) Processing of a flexible glass substrate and substrate stacking comprising the flexible glass substrate and the carrier substrate
JP2022529692A (en) Systems and methods for manufacturing flexible electronics
JP2009292699A (en) Method for cutting glass substrate, method for cutting substrate for display panel and method for manufacturing substrate for display panel
JP2010023071A (en) Method for machining terminal of laminated substrate
JP2006199553A (en) Apparatus and method for severing substrate
JP2014069981A (en) Substrate processing device and substrate processing method
JP2019179814A (en) Dividing method and dividing device of inorganic film lamination resin substrate
US9703131B2 (en) Liquid crystal motherboard, manufacturing and cutting methods thereof, and liquid crystal panel obtained thereby
JP2012240881A (en) Method of processing fragile material substrate
JP5316555B2 (en) Manufacturing method of worktable mounting table
JP6536098B2 (en) Cutting method of bonded substrate
JP2008062547A (en) Method and apparatus for cleaving brittle plate by laser irradiation.
TWI696514B (en) Scribing apparatus and scribing method
JP2016074583A (en) Method for cutting joint substrate
JP2010111534A (en) Substrate cutting method and substrate cutting device
WO2020179057A1 (en) Semiconductor chip manufacturing device and method for manufacturing semiconductor chip
JP2016224201A (en) Method for manufacturing liquid crystal panel
KR101398562B1 (en) method of fabricating film having transparent conductive layer