JP2009261122A - モータ駆動装置、およびサーボモータ - Google Patents

Abstract

【課題】小型、軽量化を図ることができるモータ駆動装置、およびサーボモータを提供する。
【解決手段】各相のコイルへの通電の切換えを行うブリッジ回路を有するモータ駆動部４４と、外部電源が接続されモータ駆動部４４に電流を供給する電源回路部４５とを備え、電源回路部４５は、外部制御装置の制御信号に基づいてモータ駆動部４４に所定の電流を所定の通電切換えタイミングで供給するように構成されている駆動装置７であって、モータ駆動部４４を回転軸を挿通可能な環状の第一リジット基板４１に実装すると共に、電源回路部４５を回転軸を挿通可能な環状の第二リジット基板４２に実装し、これら第一リジット基板４１と第二リジット基板４２とをフレキシブル基板を介して連結した。
【選択図】図３

Description

この発明は、モータ駆動装置、およびこれを用いたサーボモータに関するものである。

一般に、サーボモータを駆動させるモータ駆動装置は、サーボモータに通電するモータ駆動部と、外部電源をモータ駆動部に供給するための電源回路部と、サーボモータの回転軸の回転角度に応じて通電の切換えタイミングを制御する制御部とを有している。
ここで、サーボモータのモータケースの一端に回転軸の回転角度を検出するための回転角度検出装置を設け、さらに、この回転角度検出装置のサーボモータとは反対側の端面にモータ駆動装置を配置したものがある。このように構成することで、サーボモータ、回転角度検出装置、およびモータ駆動装置を一体化し、サーボモータのシステム全体の小型、軽量化を図ろうとしている（例えば、特許文献１、特許文献２参照）。
特開２００４−２０１４１５号公報 特開２００４−２０８４１５号公報

しかしながら、上述の従来技術にあっては、回転角度検出装置やモータ駆動装置をただ単にモータケースの一端に配置しただけであるので、サーボモータ全体としては、モータ軸長が増大したり、モータ外径が大型化したりする。このため、サーボモータのレイアウト性が悪化するという課題がある。

そこで、この発明は、上述した事情に鑑みてなされたものであって、さらに小型、軽量化を図ることができるモータ駆動装置、およびサーボモータを提供するものである。

上記の課題を解決するために、請求項１に記載した発明は、各相のコイルへの通電の切換えを行うブリッジ回路を有するモータ駆動部と、外部電源が接続され前記モータ駆動部に電流を供給する電源回路部とを備え、前記電源回路部は、外部制御装置の制御信号に基づいて前記モータ駆動部に所定の電流を所定の通電切換えタイミングで供給するように構成されているモータ駆動装置であって、前記モータ駆動部をモータ軸を挿通可能な環状の第一リジット基板に実装すると共に、前記電源回路部を前記モータ軸を挿通可能な環状の第二リジット基板に実装し、これら第一リジット基板と第二リジット基板とをフレキシブル基板を介して連結したことを特徴とする。
このように構成することで、モータ駆動部が実装されている第一リジット基板と、電源回路部が実装されている第二リジット基板とをモータ軸の各軸端内にモータ軸を取り囲むように配置することが可能になる。

請求項２に記載した発明は、前記電源回路部に前記モータ軸の回転角度を検出するための回転角度検出装置を設け、前記回転角度検出装置の検出結果に基づいて、前記外部制御装置が通電切換えタイミングを決定することを特徴とする。
このように構成することで、モータ軸の回転角度を検出するための回転角度検出装置を別途設ける必要がなく、回転角度検出装置とモータ駆動装置とを一体化することができる。このため、回転角度検出装置の占有スペースを小さくすることができる。

請求項３に記載した発明は、請求項１または請求項２に記載のモータ駆動装置をモータハウジングの一端側に設け、前記フレキシブル基板を湾曲形成して前記第一リジット基板と前記第二リジット基板とを対向配置したことを特徴とするサーボモータとした。
このように構成することで、小型で軽量なサーボモータを提供することが可能になる。

請求項１に記載した発明によれば、モータ駆動部が実装されている第一リジット基板と、電源回路部が実装されている第二リジット基板とをモータ軸の各軸端内にモータ軸を取り囲むように配置することが可能になる。このため、モータ駆動装置をサーボモータの一端側に配置した場合であっても、従来よりもモータ軸長を短くすることができる。

請求項２に記載した発明によれば、モータ軸の回転角度を検出するための回転角度検出装置を別途設ける必要がなく、回転角度検出装置とモータ駆動装置とを一体化することができる。このため、回転角度検出装置の占有スペースを小さくすることができる。よって、モータ全体の小型化を図ることが可能になる。

請求項３に記載した発明によれば、小型で軽量なサーボモータを提供することが可能になる。

次に、この発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
図１、図２に示すように、サーボモータ１は、筒状のハウジング２と、このハウジング２に内嵌固定された固定子３と、固定子３に対して回転自在に設けられた回転子４とを有し、ハウジング２の前端面（図１、図２における左側端）をフロントブラケット５で閉塞すると共に、ハウジング２の後端面（図１、図２における右側端）をエンドブラケット６で閉塞している。また、回転子４のエンドブラケット６側にサーボモータ１を駆動させるための駆動装置７が設けられている。

ハウジング２の外周面には、フロントブラケット５側の周縁に段差によって縮径された縮径部１５が形成されている一方、エンドブラケット６側の周縁に段差によって拡径された拡径部１７が形成されている。

固定子３は、磁性材料の板材を軸線方向に積層したり、磁性金属粉体を加圧したり（圧粉磁心）することで形成されたものであって、略円筒状の固定子鉄心８を有している。固定子鉄心８は、周壁を形成するコア本体９と、コア本体９から径方向内側に向かって突設された複数のティース部１０とが一体成形されたものである。

コア本体９は、固定子鉄心８の環状の磁路を形成する部分であり、かつハウジング２の内周面に内嵌固定される部分である。
一方、各ティース部１０は、巻線１１を巻装する部分であって、周方向に等間隔で設けられている。ティース部１０は、軸線方向平面視略Ｔ字状に形成されている。各ティース部１０には、それぞれインシュレータ１２が装着され、このインシュレータ１２を介して各ティース部１０に巻線１１が巻装されている。

回転子４は、回転軸１３と、この回転軸１３に外嵌固定されている略円筒状のリングマグネット１４とを備えている。回転軸１３の一端には、センサマグネット２８が取付け部材２６を介して設けられている。センサマグネット２８は、回転軸１３の回転角度を検出するためのエンコーダ３０の一方を構成するものであって、２極に着磁されている。取付け部材２６は、回転軸１３の外嵌固定されている筒部２６ａと、筒部２６ａの外側端に設けられた外フランジ部２６ｂとが一体成形されたものである。外フランジ部２６ｂは、センサマグネット２８の軸線方向の位置決めを行うためのものである。センサマグネット２８は、この一端面が外フランジ部２６ｂに当接するようにして固定されている。

リングマグネット１４は、周方向に磁極が順番に変わるように着磁されている。このような構成のもと、固定子３のティース部１０に巻装されている巻線１１に電流が流れると磁界が形成され、この磁界とリングマグネット１４との間に生じる磁気的な吸引力や反発力によって回転軸１３が回転する。

フロントブラケット５は略円盤状に形成されたものであって、外周縁にハウジング２の縮径部１５に勘合する嵌合部２０が設けられている。
また、フロントブラケット５には、雌ネジ部２１が３箇所周方向に等間隔で刻設されている（図１参照）。フロントブラケット５の径方向中央には、軸受けハウジング２３が形成されており、ここに回転軸１３の他端を回転自在に支持するための軸受け２２が設けられている。

エンドブラケット６は略円盤状に形成されたものであって、外周部に内側に向かって立ち上がるように形成された筒部２７が設けられている。筒部２７の先端には、ハウジング２の拡径部１７に対応するようにインロー部３１が形成されている。このインロー部３１がハウジング２に内嵌されることにより、エンドブラケット６の位置決めが行われる。

エンドブラケット６の筒部２７よりも内側には、フロントブラケット５の雌ネジ部２１に対応する部位にボルト孔（不図示）が形成されている。そして、エンドブラケット６、およびフロントブラケット５は、ボルト１８をボルト孔側から挿入し、雌ネジ部２１に螺入することによって、ハウジング２を挟持した形で締結固定されるようになっている。

エンドブラケット６の径方向中央には軸受けハウジング３３が形成されており、ここに回転軸１３の一端側を回転自在に支持するための軸受け３４が設けられている。
また、エンドブラケット６の外周寄りには、後述する駆動装置７のフレキシブル基板４３を配索するための開口部３５が形成されている。

図２〜図６に示すように、駆動装置７は、略円環状に形成されガラスエポキシなどの硬い材質から成る第一リジット基板４１と、円環部４２ａと矩形部４２ｂとが一体成形されガラスエポキシなどの硬い材質から成る第二リジット基板４２と、これらリジット基板４１，４２を連結する可撓可能なフレキシブル基板４３とを有している。
なお、図３、図４は駆動装置７の平面図であって、図３は表面の構成を示し、図４は裏面の構成を示している。

第一リジット基板４１は、回転軸１３の各軸端内であって、かつエンドブラケット６よりも軸線方向内側に配置されており、固定子３のティース部１０に巻装されている各巻線１１の端末部（巻き始め端、および巻き終わり端）１１ａが接続されている。すなわち、第一リジット基板４１の径方向中央に形成されている孔３７の直径は、回転軸１３を挿通可能な大きさに設定されていると共に、第一リジット基板４１の外径は、エンドブラケット６の筒部２７の内径よりも小さく設定されている。
また、第一リジット基板４１には、周方向に等間隔で切り欠き部３８が形成されており、これによって第一リジット基板４１と各ブラケット５，６を固定するためのボルト１８との干渉を回避できるようになっている。

一方、第二リジット基板４２は、回転軸１３の各軸端内であって、かつエンドブラケット６の軸線方向外側にあると共に、回転軸１３の一端に設けられたセンサマグネット２８よりも軸線方向内側に配置されている。第二リジット基板４２は、スタッドボルト３９を介してエンドブラケット６に固定されている。第二リジット基板４２の円環部４２ａに形成されている孔４０の直径も回転軸１３を挿通可能な大きさに設定されている。

フレキシブル基板４３は、第一リジット基板４１と第二リジット基板４２の円環部４２ａとの間に配索されている。すなわち、第一リジット基板４１と第二リジット基板４２は、フレキシブル基板４３を湾曲させることでエンドブラケット６を挟んで対向配置された状態になっている。

ここで、図３、図４、図７、図８に示すように、第一リジット基板４１には、固定子３のティース部１０に巻装された各巻線１１へ電流を供給するモータ駆動部４４が実装されている。
モータ駆動部４４は、第一リジット基板４１の表面に実装されている複数のプリドライブ回路４６、および電流センサ４７や、第一リジット基板４１の裏面に実装されている複数のスイッチング素子４８などを有している。

スイッチング素子４８は、ＦＥＴ（Ｆｉｅｌｄ Ｅｆｆｅｃｔ Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ；電界効果型トランジスタ）等のトランジスタとＦＥＴ（トランジスタ）のドレイン−ソース間の逆流を防止するダーオードとをモータ駆動電源Ｅ１に対して並列に接続した構成を有している（図７、図８参照）。ＦＥＴとしてはベアチップが用いられ、このベアチップを樹脂モールドすることによって、ＦＥＴの占有スペースの縮小化を図っている（図４参照）。

スイッチング素子４８は、隣接する４つのスイッチング素子４８を用いて相毎のＨブリッジ回路を形成している。すなわち、図７に示すように、この実施形態のサーボモータ１は、Ｕ，Ｖ，Ｗ相の３相モータの駆動を想定しているので、Ｕ相の巻線１１に電流を供給する第一ブリッジ回路５１と、Ｖ相の巻線１１に電流を供給する第二ブリッジ回路５２と、Ｗ相の巻線１１に電流を供給する第三ブリッジ回路５３をそれぞれスイッチング素子４８を４つずつ用いて形成している。

より具体的には、図８に示すように、第一ブリッジ回路５１は、２つのスイッチング素子４８をモータ駆動電源Ｅ１に対して直列に接続して１つのアーム５４を形成し、このアーム５４をモータ駆動電源Ｅ１に対して２つ並列に接続して構成されている。各アーム５４，５４のスイッチング素子４８，４８の間の中点には、Ｕ相の巻線１１の端末部がそれぞれ接続されている。

各アーム５４のスイッチング素子４８は、それぞれプリドライブ回路４６に接続されている。プリドライブ回路４６は、各スイッチング素子４８のＯＮ／ＯＦＦを制御するものである。Ｕ相の巻線１１には、プリドライブ回路４６によって各スイッチング素子４８のＯＮとＯＦＦとを切換えることで所望の向きの電流が流れる。

第二ブリッジ回路５２、および第三ブリッジ回路５３も第一ブリッジ回路５１と同様の構成を有している。第二ブリッジ回路５２の各アーム５４，５４には、スイッチング素子４８，４８の間の中点にＶ相の巻線１１の端末部がそれぞれ接続されている。第三ブリッジ回路５３の各アーム５４，５４には、スイッチング素子４８，４８の間の中点にＷ相の巻線１１の端末部がそれぞれ接続されている。

図７に示すように、巻線１１の端末部と各ブリッジ回路５１，５２，５３との間に電流センサ４７が設けられている。この電流センサ４７は、各相電流（巻線電流）を検出するためのものである。電流センサ４７は、各相電流（巻線電流）の検出信号を第二リジット基板４２に出力している。
この他に、モータ駆動部４４には、温度センサ６５が設けられている。温度センサ６５は、第一リジット基板４１の温度を検出するためのものである。
このように構成された第一リジット基板４１は、スイッチング素子４８を固定子３側に向けた状態で配設されている（図２参照）。

第二リジット基板４２には、モータ駆動部４４に所望の電流を供給する電源回路部４５が実装されている。このため、第一リジット基板４１と第二リジット基板４２は、互いがフレキシブル基板４３で接続されている他に、モータ駆動電源Ｅ１の電力を電源回路部４５からモータ駆動部４４へと供給するためのリード線７１が接続されている（図１、図２参照）。なお、リード線７１に代わってピンヘッダを設けてもよい。
電源回路部４５は、第二リジット基板４２の表面に実装されているモータ駆動電源コネクタ５６、制御回路電源コネクタ５７、電源平滑用のアルミ電解コンデンサ５８、絶縁インターフェイス回路５９、および内部電源回路６０や、第二リジット基板４２の裏面に実装されている通信回路６１、ホール素子２９、回転角度検出回路６３、過電流検出回路６４などを有している。

また、電源回路部４５には、モータ駆動電源コネクタ５６を介してモータ駆動電源Ｅ１が接続され、制御回路電源コネクタ５７を介して各回路を駆動させるための制御回路電源Ｅ２が接続されている。さらに、電源Ｅ１，Ｅ２の他にサーボモータ１の駆動を制御するＥＣＵ回路基板５５が接続されている。

アルミ電解コンデンサ５８は、整流された電流の中に含まれている脈流をより直流に近い状態に平滑化するための回路である。アルミ電解コンデンサ５８は、モータ駆動電源コネクタ５６と接続されている。すなわち、モータ駆動電源Ｅ１は、モータ駆動電源コネクタ５６、およびアルミ電解コンデンサ５８を介してモータ駆動部４４の各ブリッジ回路５１，５２，５３に平滑化された電流を供給するようになっている。

内部電源回路６０は、駆動装置７を構成している各回路を駆動させるための回路であって、制御回路電源コネクタ５７に接続されている。すなわち、制御回路電源Ｅ２は、制御回路電源コネクタ５７、および内部電源回路６０を介して各回路に電力を供給するようになっている。

ホール素子２９は、回転軸１３の回転角度を検出するためのエンコーダ３０の他方を構成するものである。ホール素子２９は、センサマグネット２８に対応する部位であって、かつ回転軸１３を中心に周方向に９０°間隔をあけて第二リジット基板４２の円環部４２ａに設けられている（図４参照）。すなわち、この実施形態のサーボモータ１は、回転軸１３の回転角度を検出するためのエンコーダを別途設ける必要がなく、駆動装置７にエンコーダ３０を組み込んだ状態になっている。

ホール素子２９は、センサマグネット２８から発生する磁界の変化を示す情報として検出し、それぞれ９０°位相のずれた正弦波アナログ信号を回転角度検出回路６３に出力する。回転角度検出回路６３は、ホール素子２９からの出力信号に基づいて回転軸１３の回転角度を検出し、通信回路６１に出力する。
また、電源回路部４５は、Ａ／Ｄコンバータ回路６６を備えており、モータ駆動部４４に設けられた電流センサ４７から出力される各相電流（巻線電流）の検出信号がＡ／Ｄコンバータ回路６６を介して通信回路６１に出力される。

通信回路６１は、ＬＶＤＳ（Ｌｏｗ Ｖｏｌｔａｇｅ Ｄｉｆｆｅｒｅｎｔｉａｌ Ｓｉｇｎａｌｉｎｇ）方式に則った差動信号に変換して信号通信を行うものであって、回転角度検出回路６３からの出力信号、温度センサ６５からの出力信号、および電流センサ４７からＡ／Ｄコンバータ回路６６を介して出力される各相電流（巻線電流）の検出信号をＥＣＵ回路基板５５に出力すると共に、ＥＣＵ回路基板５５から出力される制御信号に基づいて絶縁インターフェイス回路５９を介してＰＷＭ（パルス幅変調）信号をプリドライブ回路４６に出力する。

ＥＣＵ回路基板５５は、駆動装置７とは別に外部に設けられた制御装置であって、ＬＶＤＳ方式に則った差動信号に変換して信号通信を行う通信回路６７と、通信回路６７に接続されたサーボ制御回路６８とを有している。さらに、サーボ制御回路６８は、通信回路６９を介して上位制御装置に接続されている。
サーボ制御回路６８は、回転角度検出回路６３からの出力信号、温度センサ６５からの出力信号、および電流センサ４７からＡ／Ｄコンバータ回路６６を介して出力される各相電流（巻線電流）の検出信号に基づいて適正なＰＷＭ（パルス幅変調）信号を通信回路６７，６１、絶縁インターフェイス回路５９を介してプリドライブ回路４６に出力している。

絶縁インターフェイス回路５９は、インターフェイス間（通信回路６１−絶縁インターフェイス回路５９間）の信号電圧系の縁を切るものである。
絶縁インターフェイス回路５９には、通信回路６１からの信号が入力される他に、過電流検出回路６４からの出力信号が入力される。過電流検出回路６４は、モータ駆動電源ラインに設けられた抵抗Ｒを有しており、ここで検出される電流値を絶縁インターフェイス回路５９に出力している。絶縁インターフェイス回路５９は、この過電流検出回路６４により検出された電流値が予め設定されている閾値を超えた場合にプリドライブ回路４６へのＰＷＭ信号の出力を停止するフェールセーフ回路の役割も有している。

プリドライブ回路４６は、絶縁インターフェイス回路５９からの出力信号に基づいて各スイッチング素子４８のＯＮ／ＯＦＦを制御している。
このように構成された第二リジット基板４２は、表面が第一リジット基板４１側に向くように配設されている（図１、図３、図６参照）。

ここで、エンドブラケット６には、第二リジット基板４２に実装されているアルミ電解コンデンサ５８に対応する部位に開口部７０が形成されている。この開口部７０を形成することによって、アルミ電解コンデンサ５８とエンドブラケット６との干渉を回避することができると共に、第二リジット基板４２をよりエンドブラケット６側に配設できるようになっている。

次に、この実施形態の作用について説明する。
駆動装置７には、モータ駆動電源Ｅ１、および制御回路電源Ｅ２から電源回路部４５に電力が供給される。電源回路部４５では、内部電源回路６０を通して各回路に制御回路電源Ｅ２の電力が供給される。一方、モータ駆動電源Ｅ１はアルミ電解コンデンサ５８を介してモータ駆動部４４に供給される。

モータ駆動部４４の各ブリッジ回路５１，５２，５３に電流を供給し、サーボモータ１の回転軸１３を回転させると、Ｕ相、Ｖ相、Ｗ相の各巻線１１に流れる電流がモータ駆動部４４の電流センサ４７で検出される。各相Ｕ，Ｖ，Ｗの電流値は、アナログ信号となってＡ／Ｄコンバータ回路６６に入力される。Ａ／Ｄコンバータ回路６６は、アナログ信号をパルス状のデジタル信号に変換して通信回路６１にシリアル出力する。
また、電流センサ４７の電流検出と同時に電源回路部４５のホール素子２９から回転角度検出回路６３を介して回転角度検出信号が通信回路６１に出力される。さらに、温度センサ６５による第一リジット基板４１の温度検出信号も通信回路に出力される。

各出力信号は、通信回路１１からＥＣＵ回路基板５５に出力される。ＥＣＵ回路基板５５では、通信回路６７に入力された信号をサーボ制御回路６８に出力する。サーボ制御回路６８では、各出力信号に基づいて巻線１１への通電切り替えのタイミングと通電相の決定とを行う。これによって、各相Ｕ，Ｖ，Ｗに対応したＰＷＭ信号が出力される。これらＰＷＭ信号は、通信回路６７，６１、および絶縁インターフェイス回路５９を介してモータ駆動部４４に出力される。

モータ駆動部４４では、絶縁インターフェイス回路５９からプリドライブ回路４６に各ＰＷＭ信号が入力され、各ブリッジ回路５１，５２，５３のスイッチング素子４８のＯＮ、ＯＦＦ制御が行われる。スイッチング素子４８がＯＮされた経路に接続されたサーボモータ１の巻線１１には、モータ駆動電源Ｅ１からの電流が流れる。これによって、対応するサーボモータ１の所定の相Ｕ，Ｖ，Ｗに電流が流れて回転軸１３が回転させられる。

したがって、上述の実施形態によれば、モータ駆動部４４が実装されている第一リジット基板４１と、電源回路部４５が実装されている第二リジット基板４２とを回転軸１３の各軸端内であって、回転軸１３を取り囲むように配置することが可能になる。このため、駆動装置７を従来のようにサーボモータ１のハウジング２一端側に配置した場合であっても、モータ軸長を短くすることができる。

また、回転軸１３の回転角度を検出するためのホール素子６２、および回転角度検出回路６３を第二リジット基板４２に実装しているので、従来のように別体の回転角度検出装置（エンコーダ）を設ける必要がなく、エンコーダ３０と駆動装置７とを一体化することができる（図２参照）。このため、エンコーダ３０の占有スペースを小さくすることができる。よって、サーボモータ１全体の小型、軽量化を図ることが可能になる。

本発明の実施形態におけるサーボモータの分解斜視図である。 本発明の実施形態におけるサーボモータの縦断面図である。 本発明の実施形態における駆動装置の表面を示す平面図である。 本発明の実施形態における駆動装置の裏面を示す平面図である。 本発明の実施形態におけるサーボモータの斜視図である。 本発明の実施形態におけるサーボモータの斜視図である。 本発明の実施形態における駆動装置のブロック図である。 本発明の実施形態におけるＨブリッジ回路の回路図である。

符号の説明

１ サーボモータ
２ ハウジング
３ 固定子
４ 回転子
５ フロントブラケット
６ エンドブラケット
７ 駆動装置（モータ駆動装置）
１３ 回転軸（モータ軸）
２８ センサマグネット
２９ ホール素子
３０ エンコーダ（回転角度検出装置）
４１ 第一リジット基板
４２ 第二リジット基板
４２ａ 円環部
４２ｂ 矩形部
４３ フレキシブル基板
４４ モータ駆動部
４５ 電源回路部
４８ スイッチング素子
５１ 第一ブリッジ回路（ブリッジ回路）
５２ 第二ブリッジ回路（ブリッジ回路）
５３ 第三ブリッジ回路（ブリッジ回路）
５４ アーム
５５ ＥＣＵ回路基板（外部制御装置）
Ｅ１ モータ駆動電源
Ｅ２ 制御回路電源

Claims (3)

1. 各相のコイルへの通電の切換えを行うブリッジ回路を有するモータ駆動部と、
   外部電源が接続され前記モータ駆動部に電流を供給する電源回路部とを備え、
   前記電源回路部は、外部制御装置の制御信号に基づいて前記モータ駆動部に所定の電流を所定の通電切換えタイミングで供給するように構成されているモータ駆動装置であって、
   前記モータ駆動部をモータ軸を挿通可能な環状の第一リジット基板に実装すると共に、前記電源回路部を前記モータ軸を挿通可能な環状の第二リジット基板に実装し、
   これら第一リジット基板と第二リジット基板とをフレキシブル基板を介して連結したことを特徴とするモータ駆動装置。
2. 前記電源回路部に前記モータ軸の回転角度を検出するための回転角度検出装置を設け、
   前記回転角度検出装置の検出結果に基づいて、前記外部制御装置が通電切換えタイミングを決定することを特徴とする請求項１に記載のモータ駆動装置。
3. 請求項１または請求項２に記載のモータ駆動装置をモータハウジングの一端側に設け、
   前記フレキシブル基板を湾曲形成して前記第一リジット基板と前記第二リジット基板とを対向配置したことを特徴とするサーボモータ。
   
   

Images