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JP2009259879A - Wiring board, and multilayer wiring board - Google Patents

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JP2009259879A
JP2009259879A JP2008104231A JP2008104231A JP2009259879A JP 2009259879 A JP2009259879 A JP 2009259879A JP 2008104231 A JP2008104231 A JP 2008104231A JP 2008104231 A JP2008104231 A JP 2008104231A JP 2009259879 A JP2009259879 A JP 2009259879A
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Japan
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wiring board
region
wiring
filler
glass
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Application number
JP2008104231A
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Japanese (ja)
Inventor
Takashi Iida
敬 飯田
Tokuo Nakajo
徳男 中條
芳文 ▲高▼田
Yoshifumi Takada
Akio Iketani
昭雄 池谷
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Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Abstract

【課題】
差動配線を用いた高速信号伝送における配線間のスキュー低減のために、配線パターンを傾斜させ、配線とガラスクロスとの角度をつけることで比誘電率の変化を短周期化させる方法があるが、この手法では配線パターンの配置の自由度が低下するという課題がある。
【解決手段】
ガラス製の複数の縦糸およびガラス製の複数の横糸で編まれたガラスクロスを有する絶縁基材と、差動配線とを含んで構成されるコア層を有する配線基板であって、
前記差動配線の第一の配線の伝送特性に影響のある領域と前記差動配線の第二の配線の伝送特性に影響のある領域の比誘電率の差を低減する位置にフィラーを有することを特徴とする配線基板。
【選択図】図6
【Task】
In order to reduce skew between wirings in high-speed signal transmission using differential wiring, there is a method of shortening the change in relative permittivity by inclining the wiring pattern and setting the angle between the wiring and the glass cloth. In this method, there is a problem that the degree of freedom of arrangement of the wiring pattern is lowered.
[Solution]
An insulating substrate having a glass cloth knitted with a plurality of warp yarns made of glass and a plurality of weft yarns made of glass, and a wiring board having a core layer comprising a differential wiring,
A filler is provided at a position to reduce a difference in relative permittivity between a region affecting the transmission characteristics of the first wiring of the differential wiring and a region affecting the transmission characteristics of the second wiring of the differential wiring. A wiring board characterized by.
[Selection] Figure 6

Description

本発明は、高速信号伝送向けのガラスクロスを用いた配線基板に関する。   The present invention relates to a wiring board using a glass cloth for high-speed signal transmission.

サーバ・ルータのバックプレーン基板では高速・長距離(100cm程度)の信号伝送を行うため、伝送路の損失により信号波形の品質が劣化し、電源・グランドのノイズ(コモンノイズ)の影響が大きくなる。このコモンノイズを低減するために、バックプレーン基板では差動伝送を用いることが一般的である。差動伝送では1対の信号線を使って信号を伝送し、対をなす2本の信号線(P配線・N配線)にはそれぞれ逆位相の信号を伝送する。信号伝送の結果、受信側ではこの2本の信号線にはほぼ同じ同位相のコモンノイズが乗るため、信号の差を取ることでコモンノイズを除去することができる。   The server / router backplane board performs high-speed, long-distance (about 100 cm) signal transmission, so the quality of the signal waveform deteriorates due to the loss of the transmission line, and the influence of power supply / ground noise (common noise) increases. . In order to reduce the common noise, differential transmission is generally used in the backplane substrate. In differential transmission, signals are transmitted using a pair of signal lines, and signals in opposite phases are transmitted to the two signal lines (P wiring and N wiring). As a result of signal transmission, common noise having the same phase is placed on the two signal lines on the receiving side. Therefore, the common noise can be removed by taking the difference between the signals.

図1はバックプレーン基板等の高速伝送用途に用いられていた従来の多層配線基板の断面斜視図である。また、図2は多層配線基板を構成する配線基板に用いられるガラスクロスの構成を表す概念図であり、図3は従来の配線基板の断面図である。
図1に示す従来の多層配線基板52は、配線基板51a、51b、51cの複数枚の配線基板を積層して構成される。各配線基板51a、51b、51cは、導体層7と絶縁層8とを有しており、導体層7はP配線6p、N配線6nとにより構成される差動配線6と電源・グランドプレーン11とを有して構成される。
FIG. 1 is a sectional perspective view of a conventional multilayer wiring board used for high-speed transmission such as a backplane board. FIG. 2 is a conceptual diagram showing the configuration of a glass cloth used for the wiring board constituting the multilayer wiring board, and FIG. 3 is a cross-sectional view of the conventional wiring board.
A conventional multilayer wiring board 52 shown in FIG. 1 is formed by laminating a plurality of wiring boards 51a, 51b, 51c. Each wiring board 51a, 51b, 51c has a conductor layer 7 and an insulating layer 8. The conductor layer 7 includes a differential wiring 6 constituted by a P wiring 6p and an N wiring 6n, and a power / ground plane 11. And is configured.

図2には、従来の配線基板に用いられる第一のガラスクロス2aの構成を表す概念図を示す。第一のガラスクロス2aはガラス製の複数の縦糸4aとガラス製の複数の横糸5aとが編まれた構造となっており、縦糸4aおよび横糸5aの両方が存在する交差領域300と、縦糸4aおよび横糸5aのいずれも存在しない領域(バスケットホール)200と、縦糸4aのみが存在する領域100と、横糸5aのみが存在する領域101とに分けられる。   In FIG. 2, the conceptual diagram showing the structure of the 1st glass cloth 2a used for the conventional wiring board is shown. The first glass cloth 2a has a structure in which a plurality of glass warp yarns 4a and a plurality of glass weft yarns 5a are knitted, an intersection region 300 where both the warp yarns 4a and the weft yarns 5a exist, and the warp yarns 4a. And the weft yarn 5a are divided into a region (basket hole) 200, a region 100 where only the warp yarn 4a exists, and a region 101 where only the weft yarn 5a exists.

図3に従来の配線基板51の断面図を示す。従来の配線基板51は、ガラス製の複数の縦糸4a、4b、とガラス製の複数の横糸5a、5bによりそれぞれ編まれた第一のガラスクロス2aおよび第二のガラスクロス2bとこれらのガラスクロス2a、2bを硬化させる樹脂3により構成される絶縁層8と、電源・グランドプレーン11および差動配線6により構成される導体層7とを含んで構成される。また、図3に示す従来の配線基板51は、電源・グランドプレーン11と第一のガラスクロス2aと樹脂3と差動配線6とを有するコア層112と、第二のガラスクロス2bと樹脂3とを有する接続層(プリプレグ層)113とに区分することもできる。
図3に示す従来の配線基板51の断面図は、交差領域300と、横糸のみが存在する領域101とに分けられるが、一般に高速伝送向けの基板では、ガラスクロスの誘電率は樹脂の誘電率よりも高いため、配線基板内部は比較的誘電率の高いガラスクロス2a、2bの密度が高い交差領域300と、誘電率の低い樹脂3の密度が高い領域(横糸のみが存在する領域)101とが混在する比誘電率が不均質な構造となる。図3に示すように、ほとんどの場合は差動配線6の中心線に対してガラスクロス2a、2bは線対称的な配置とはならない。このため、差動配線6から見た配線基板51内部の比誘電率にばらつきが生じる。差動配線の各配線の配線幅W120に対して、差動配線のP配線6pの伝送特性に影響を与える周囲3Wの領域とN配線6nの伝送特性に影響を与える周囲3Wの領域の比誘電率に差異があると、両配線の比誘電率の差異によるスキュー(伝送波形の遅延)が発生する。また、P配線6pとN配線6nの比誘電率の差に起因するスキューはガラスクロスの糸と配線の角度に応じて蓄積される。このため、差動配線6と縦糸または横糸がほぼ平行に配置されると、角度が小さいほどスキューは大きくなり、信号波形劣化の原因となる。
FIG. 3 shows a cross-sectional view of a conventional wiring board 51. The conventional wiring board 51 includes a first glass cloth 2a and a second glass cloth 2b knitted by a plurality of glass warps 4a and 4b and a plurality of glass wefts 5a and 5b, respectively, and these glass cloths. The insulating layer 8 is composed of a resin 3 that cures 2a and 2b, and the conductor layer 7 is composed of a power / ground plane 11 and a differential wiring 6. 3 includes a core layer 112 having a power / ground plane 11, a first glass cloth 2a, a resin 3, and a differential wiring 6, a second glass cloth 2b, and a resin 3. And a connection layer (prepreg layer) 113 having
The cross-sectional view of the conventional wiring substrate 51 shown in FIG. 3 is divided into a crossing region 300 and a region 101 where only weft yarns exist. Generally, in a substrate for high-speed transmission, the dielectric constant of glass cloth is the dielectric constant of the resin. Therefore, the inside of the wiring board has a relatively high density of glass cloths 2a and 2b having a relatively high dielectric constant, and a high density density of resin 3 having a low dielectric constant (area where only weft yarns exist) 101. It becomes a structure with a heterogeneous relative dielectric constant. As shown in FIG. 3, in most cases, the glass cloths 2a and 2b are not line-symmetrically arranged with respect to the center line of the differential wiring 6. For this reason, variation occurs in the relative dielectric constant inside the wiring board 51 as viewed from the differential wiring 6. The relative dielectric of the surrounding 3W region affecting the transmission characteristics of the P wiring 6p of the differential wiring and the surrounding 3W region affecting the transmission characteristics of the N wiring 6n with respect to the wiring width W120 of each wiring of the differential wiring. If there is a difference in rate, a skew (transmission waveform delay) occurs due to a difference in relative permittivity between both wirings. Further, the skew caused by the difference in relative permittivity between the P wiring 6p and the N wiring 6n is accumulated according to the angle between the glass cloth thread and the wiring. For this reason, when the differential wiring 6 and the warp or weft are arranged substantially in parallel, the smaller the angle, the greater the skew, which causes signal waveform deterioration.

図4に、配線基板の比誘電率の差による差動伝送波形の違いを示した図を示す。図4(a)は、配線基板の比誘電率に差がなくスキューが無い場合の各配線の伝送波形であり、図4(b)は、配線基板の比誘電率に差がありスキューが有る場合の各配線の伝送波形である。配線基板の比誘電率に差がある場合は、図4(b)に示すように比誘電率の差によるスキューの発生に起因した伝送波形の歪みが起き、伝送波形の品質劣化を招くこととなる。   FIG. 4 is a diagram showing the difference in the differential transmission waveform due to the difference in the relative permittivity of the wiring board. FIG. 4A shows a transmission waveform of each wiring when there is no difference in relative permittivity of the wiring board and no skew, and FIG. 4B shows a difference in relative permittivity of the wiring board and there is a skew. It is a transmission waveform of each wiring in the case. If there is a difference in the relative permittivity of the wiring board, as shown in FIG. 4 (b), the transmission waveform is distorted due to the occurrence of skew due to the difference in the relative permittivity, leading to deterioration of the quality of the transmission waveform. Become.

従来の信号伝送でも上述の差動伝送を用いていおり、コモンノイズを除去するのに重要な役割を果たしていたが、近年の高速・大容量化するサーバ・ルータ機器に対応した伝送系の信号伝送の高速化に伴い、差動配線の配線間でのスキューの発生によるコモンノイズ除去率の低下が顕著になった。更なる信号伝送の高速化のためには、配線間のスキューを低減し、コモンノイズを十分低減する必要がある。この要求に対して各種の提案がなされている。   Conventional signal transmission also uses the above-mentioned differential transmission, which played an important role in removing common noise, but transmission system signal transmission compatible with recent high-speed and large-capacity server and router equipment As the speed increases, the reduction of the common noise removal rate due to the occurrence of skew between the differential wirings becomes remarkable. In order to further increase the speed of signal transmission, it is necessary to reduce the skew between wirings and sufficiently reduce common noise. Various proposals have been made for this requirement.

非特許文献1においては、配線パターンを傾斜させてガラスクロスと配線に一定の角度をつけることで比誘電率の変化を短周期化し、スキューの蓄積を抑制している。   In Non-Patent Document 1, the wiring pattern is inclined to form a certain angle between the glass cloth and the wiring, thereby shortening the change in relative permittivity and suppressing the accumulation of skew.

Design con 2007 6-TA2 : Fiber Weave Effect : Practical Impact Analysis and Mitigation StrategiesDesign con 2007 6-TA2: Fiber Weave Effect: Practical Impact Analysis and Mitigation Strategies

上記非特許文献1記載の発明では、配線パターンを傾斜させ、配線とガラスクロスとの角度をつけることで比誘電率の変化を短周期化させているが、この手法では配線パターンの配置の自由度が低下するという課題がある。   In the invention described in Non-Patent Document 1, the change in relative permittivity is shortened by inclining the wiring pattern and setting the angle between the wiring and the glass cloth. There is a problem that the degree decreases.

本発明の目的は、配線パターンの配置の自由度を低下させることなくスキューの発生を抑制し、高速信号伝送においても利用可能な配線基板および多層配線基板の提供をすることである。   An object of the present invention is to provide a wiring board and a multilayer wiring board that can suppress the occurrence of skew without lowering the degree of freedom of arrangement of wiring patterns and can be used even in high-speed signal transmission.

本願において開示される発明のうち代表的なものの概要を簡単に説明すれば次のとおりである。
(1)ガラス製の複数の縦糸およびガラス製の複数の横糸で編まれたガラスクロスを有する絶縁基材と、差動配線とを含んで構成されるコア層を有する配線基板であって、
前記差動配線の第一の配線の伝送特性に影響のある領域と前記差動配線の第二の配線の伝送特性に影響のある領域の比誘電率の差を低減する位置にフィラーを有することを特徴とする配線基板である。
(2)ガラス製の複数の縦糸およびガラス製の複数の横糸で編まれたガラスクロスを有する絶縁基材と、差動配線とを含んで構成されるコア層を有する配線基板であって、
前記差動配線の伝送特性に影響のある周辺領域のうち隣り合う縦糸の間に設けられた第一の領域、または、前記周辺領域のうち隣り合う横糸の間に設けられた第二の領域の少なくとも一方の領域にフィラーを有することを特徴とする配線基板である。
The following is a brief description of an outline of typical inventions disclosed in the present application.
(1) A wiring board having a core layer comprising a glass cloth knitted with a plurality of glass warps and a plurality of glass wefts, and a differential wiring,
A filler is provided at a position to reduce a difference in relative permittivity between a region affecting the transmission characteristics of the first wiring of the differential wiring and a region affecting the transmission characteristics of the second wiring of the differential wiring. A wiring board characterized by the above.
(2) A wiring board having a core layer comprising a glass cloth knitted with a plurality of warp yarns made of glass and a plurality of weft yarns made of glass, and a differential wiring,
Of the first region provided between adjacent warps among the peripheral regions that affect the transmission characteristics of the differential wiring, or the second region provided between adjacent wefts of the peripheral region A wiring board having a filler in at least one region.

本発明によれば、配線パターンの配置の自由度を低下させることなくスキューの発生を抑制し、高速信号伝送においても利用可能な配線基板および多層配線基板の提供をすることができる。   ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, generation | occurrence | production of a skew can be suppressed without reducing the freedom degree of arrangement | positioning of a wiring pattern, and the wiring board and multilayer wiring board which can be utilized also in high-speed signal transmission can be provided.

本発明に関わる実施の形態に関し、図を用いて以下に説明する。   Embodiments relating to the present invention will be described below with reference to the drawings.

<実施例1>
本発明に係る配線基板の第一の実施例について図5乃至7を用いて説明する。
図5は本発明に係る配線基板の断面斜視図である。図6は図5の配線基板をX1-X2で切断したときの断面図である。図7は図5の配線基板をY1-Y2で切断したときの断面図である。
<Example 1>
A first embodiment of the wiring board according to the present invention will be described with reference to FIGS.
FIG. 5 is a cross-sectional perspective view of a wiring board according to the present invention. FIG. 6 is a cross-sectional view of the wiring board of FIG. 5 taken along X1-X2. FIG. 7 is a cross-sectional view of the wiring board of FIG. 5 taken along Y1-Y2.

図6に示す配線基板の断面は、電源・グランドプレーン11とガラス製の縦糸4aおよびガラス製の横糸5aで編まれた第一のガラスクロス2aと第一のガラスクロス2aを硬化させる樹脂3と信号層である差動配線6と第一のガラスクロス2aおよび第二のガラスクロス2bと同程度の比誘電率を有するフィラー30とを含むコア層112と、第二のガラスクロス2bと第二のガラスクロス2bを硬化させる樹脂3とを含む接着層(プリプレグ層)113とを有して構成される。
図6に示す配線基板の断面は、縦糸4a、4bおよび横糸5a、5bがそれぞれ交差する交差領域300と、横糸5a、5bのみが存在する領域(樹脂の密度が高い領域)101とに分けられ、領域101にはガラスクロス2a、2bと同程度の比誘電率を有するフィラー30が設けられている。差動配線6の伝送特性に影響を与える周辺領域116は配線周囲の配線幅3倍程度の領域とされており、横糸5a、5bのみが存在する領域(樹脂の密度が高い領域)101のうち、少なくとも周辺領域116に含まれる領域である第一の領域117にガラスクロス2a、2bと同程度の比誘電率を有するフィラー30が設けられている場合には、周辺領域116における比誘電率の差が低減され、差動配線6の配線間のスキューに影響を与える比誘電率のばらつきが押さえられるため、差動配線の配線間のスキューを低減することができ、伝送波形の品質劣化を抑制できる。
The cross-section of the wiring board shown in FIG. 6 includes a first glass cloth 2a knitted with a power / ground plane 11, a glass warp 4a and a glass weft 5a, and a resin 3 for curing the first glass cloth 2a. A core layer 112 including a differential wiring 6 as a signal layer and a filler 30 having a relative dielectric constant comparable to that of the first glass cloth 2a and the second glass cloth 2b, the second glass cloth 2b and the second glass cloth 2b And an adhesive layer (prepreg layer) 113 including a resin 3 for curing the glass cloth 2b.
The cross section of the wiring board shown in FIG. 6 is divided into an intersecting region 300 where the warp yarns 4a, 4b and the weft yarns 5a, 5b intersect, and a region 101 (region where the resin density is high) where only the weft yarns 5a, 5b exist. The region 101 is provided with a filler 30 having a relative dielectric constant comparable to that of the glass cloths 2a and 2b. The peripheral area 116 that affects the transmission characteristics of the differential wiring 6 is an area that is about three times as wide as the wiring width around the wiring. Of the areas 101 where only the weft threads 5a and 5b are present (area where the resin density is high) 101 When the filler 30 having a relative dielectric constant comparable to that of the glass cloths 2a and 2b is provided at least in the first region 117 which is a region included in the peripheral region 116, the relative dielectric constant of the peripheral region 116 is reduced. Since the difference is reduced and the variation in relative permittivity that affects the skew between the wirings of the differential wiring 6 is suppressed, the skew between the wirings of the differential wiring can be reduced, and the deterioration of the quality of the transmission waveform is suppressed. it can.

つまり、図6における配線基板の断面図において、配線基板の高さ122のうちガラスクロスおよびフィラーの部分の厚さをガラスクロスおよびフィラーの厚さ123としたとき、周辺領域116内のガラスクロスおよびフィラーの厚さ123のばらつきが少ないときには、差動配線6の配線間のスキューに影響を与える比誘電率のばらつきが押さえられるため、差動配線の配線間のスキューを低減することができ、伝送波形の品質劣化を抑制できる。
このとき、横糸のみが存在する領域101のうち、第一の領域117に含まれない領域にフィラー30が設けられていてもよい。
That is, in the cross-sectional view of the wiring board in FIG. 6, when the thickness of the glass cloth and filler in the height 122 of the wiring board is the glass cloth and filler thickness 123, the glass cloth in the peripheral region 116 and When the variation in the filler thickness 123 is small, the variation in the relative permittivity that affects the skew between the wirings of the differential wiring 6 can be suppressed, so that the skew between the wirings of the differential wiring can be reduced, and transmission Waveform quality degradation can be suppressed.
At this time, the filler 30 may be provided in the area | region which is not contained in the 1st area | region 117 among the area | regions 101 where only a weft exists.

また、図7は図5の配線基板をY1-Y2で切断したときの断面図である。図7に示す配線基板は、電源・グランドプレーン11とガラス製の縦糸4aおよびガラス製の横糸5aで編まれた第一のガラスクロス2aと第一のガラスクロス2aを硬化させる樹脂3、信号層である差動配線のうちP配線6pと第一のガラスクロス2aおよび第二のガラスクロス2bと同程度の比誘電率を有するフィラー30とを含むコア層112と、第二のガラスクロス2bと第二のガラスクロス2bを硬化させる樹脂3とを含む接続層(プリプレグ層)113とを有して構成される。
図7に示す配線基板の断面は、縦糸4a、4bおよび横糸5a、5bが交差する交差領域300と、縦糸5a、5bのみが存在する領域(樹脂の密度が高い領域)100とに分けられ、領域100にガラスクロス2a、2bと同程度の比誘電率を有するフィラー30が設けられている。例えば図7に示す断面領域は全て差動配線の伝送特性に影響を与える周辺領域116に含まれる領域であるとすると、隣り合う横糸5a、5bの間に設けられた第二の領域118にガラスクロス2a、2bと同程度の比誘電率を有するフィラー30を設けることで、比誘電率の差が低減され、差動配線のスキューに影響を与える比誘電率のばらつきが押さえられるため、差動配線の配線間のスキューを低減することができ、伝送波形の品質劣化を抑制できる。
FIG. 7 is a cross-sectional view of the wiring board of FIG. 5 taken along Y1-Y2. The wiring board shown in FIG. 7 includes a first glass cloth 2a knitted with a power / ground plane 11, a glass warp 4a and a glass weft 5a, a resin 3 for curing the first glass cloth 2a, and a signal layer. A core layer 112 including a P wiring 6p, a filler 30 having a dielectric constant comparable to that of the first glass cloth 2a and the second glass cloth 2b, and the second glass cloth 2b. It has a connection layer (prepreg layer) 113 including a resin 3 for curing the second glass cloth 2b.
The cross section of the wiring board shown in FIG. 7 is divided into an intersecting region 300 where the warps 4a, 4b and wefts 5a, 5b intersect, and a region (region where the resin density is high) 100 where only the warps 5a, 5b exist. In the region 100, a filler 30 having a relative dielectric constant comparable to that of the glass cloths 2a and 2b is provided. For example, assuming that the cross-sectional area shown in FIG. 7 is an area included in the peripheral area 116 that affects the transmission characteristics of the differential wiring, the glass is formed in the second area 118 provided between the adjacent wefts 5a and 5b. By providing the filler 30 having a relative dielectric constant comparable to that of the cloths 2a and 2b, the difference in relative dielectric constant is reduced, and variation in relative dielectric constant that affects the skew of the differential wiring is suppressed. The skew between the wirings can be reduced, and the quality deterioration of the transmission waveform can be suppressed.

ここで、図6のコア層112の両面に設けられている電源・グランドプレーン11と差動配線6とは、銅箔で形成した基材であってもよい。
また、コア層112に設けられているガラスクロス2aの縦糸4aおよび横糸5aは、直径10μm程度のガラス繊維を100本程度束ねた径330μm程度の糸であることが望ましい。
また、フィラー30は粒状でガラスクロス2aと同程度の比誘電率を持ち、ガラスクロス2aの径よりも小さいことが望ましく、また、特に望ましくは直径10μm程度の粒状のものであるとよい。ただし、フィラーの比誘電率が、ガラスクロスの比誘電率と樹脂の比誘電率との間の値である場合は、配線基板51内部の比誘電率の差を低減することができる。
また、フィラー30の材料は問わず、エポキシに限らずガラス樹脂であってもよい。
また、フィラー30の比誘電率はガラスクロスと近い値を持つものがよく、特に4〜5の比誘電率を有するものが望ましい。
Here, the power / ground plane 11 and the differential wiring 6 provided on both surfaces of the core layer 112 of FIG. 6 may be a base material formed of copper foil.
The warp yarn 4a and the weft yarn 5a of the glass cloth 2a provided in the core layer 112 are preferably yarns having a diameter of about 330 μm, in which about 100 glass fibers having a diameter of about 10 μm are bundled.
Further, the filler 30 is granular and has a dielectric constant comparable to that of the glass cloth 2a, and is preferably smaller than the diameter of the glass cloth 2a, and particularly preferably has a diameter of about 10 μm. However, when the relative permittivity of the filler is a value between the relative permittivity of the glass cloth and the relative permittivity of the resin, the difference in relative permittivity inside the wiring board 51 can be reduced.
In addition, the material of the filler 30 is not limited to epoxy and may be glass resin.
Further, the relative dielectric constant of the filler 30 is preferably a value close to that of glass cloth, and in particular, one having a relative dielectric constant of 4 to 5 is desirable.

このとき、図6における第一の領域117または図7における第二の領域118に設けられたフィラーの量が周辺領域116のうち交差領域300に含まれる領域に設けられたフィラーの量よりも多いときは、周辺領域116における比誘電率の差を低減することができるため、スキュー低減が可能となり、伝送波形の品質劣化を抑制できるので、この場合には交差領域300にフィラー30が設けられていてもよい。   At this time, the amount of filler provided in the first region 117 in FIG. 6 or the second region 118 in FIG. 7 is larger than the amount of filler provided in the region included in the intersection region 300 in the peripheral region 116. In some cases, since the difference in relative permittivity in the peripheral region 116 can be reduced, the skew can be reduced and the quality deterioration of the transmission waveform can be suppressed. In this case, the filler 30 is provided in the intersection region 300. May be.

また、差動配線6と縦糸4a、4bまたは横糸5a、5bのいずれか一方の糸とが略平行に配置されている必要はなく、配線パターンが傾斜を持って配置されている場合にもフィラー30により同様の効果を得ることができる。つまり、本実施例では、配線パターンの配線の自由度を低下させることなく配線間のスキューを低減した配線基板を実現することができる。
また、図6に示す接続層113は、縦糸4bおよび横糸5bで編まれた第二のガラスクロス2bと樹脂3とにより構成されているが、第一のガラスクロス2aと同様に、第二のガラスクロス2bにおける横糸5bのみが存在する領域(樹脂の密度が高い領域)101または縦糸5bのみが存在する領域(樹脂の密度が高い領域)100にガラスクロス2a、2bと同程度のフィラー30が設けられていてもよい。接着層113に樹脂3だけでなくガラスクロス2bを有する構成とすることにより、配線基板の強度を強化することができる。
また、図8は図5に示す配線基板のX1-X2における断面図であるが、この図のように接着層113が樹脂3により構成されており、第二のガラスクロスが設けられていなくてもよい。接着層113が樹脂3により構成されることで、接着層113における比誘電率の分布はより均一になり、接着層113部分によるスキューの発生を大幅に低減することができる。
また、図6および図7に示される第一の領域117または第二の領域118の比誘電率と周辺領域116のうち第一の領域および第二の領域のいずれにも含まれない第三の領域の比誘電率との差を低減する位置にフィラーが設けられている場合は、周辺領域116における比誘電率のばらつきが低減される。
また、複数の縦糸および複数の横糸のうち、差動配線と略平行に設けられている複数の糸について、周辺領域116のうち隣り合う糸の間に設けられた領域にフィラーを有することにより、比誘電率の差を低減できる。このとき、周辺領域166のうちこの隣り合う糸の間に設けられた領域におけるガラスクロスおよびフィラーの厚さ123の総和と、周辺領域のうちこの隣り合う糸の間に設けられた領域に含まれない領域におけるガラスクロスおよびフィラーの厚さ123の総和との差が、フィラーが設けられていない場合と比較して低減する位置にフィラーが設けられている場合には、配線基板51内部の比誘電率にばらつきが低減される。
Further, the differential wiring 6 and the warp threads 4a, 4b or the weft threads 5a, 5b need not be arranged substantially in parallel, and the filler can be used even when the wiring pattern is arranged with an inclination. 30 can provide the same effect. That is, in this embodiment, it is possible to realize a wiring board in which the skew between wirings is reduced without reducing the wiring flexibility of the wiring pattern.
Moreover, although the connection layer 113 shown in FIG. 6 is comprised by the 2nd glass cloth 2b knitted with the warp 4b and the weft 5b, and the resin 3, similarly to the 1st glass cloth 2a, it is 2nd. In the glass cloth 2b, a filler 30 similar to the glass cloth 2a, 2b is formed in a region 101 where only the weft yarn 5b exists (region where the resin density is high) 101 or a region where only the warp yarn 5b exists (region where the resin density is high) 100. It may be provided. By making the adhesive layer 113 have not only the resin 3 but also the glass cloth 2b, the strength of the wiring board can be enhanced.
FIG. 8 is a cross-sectional view taken along line X1-X2 of the wiring board shown in FIG. 5. As shown in FIG. Also good. By forming the adhesive layer 113 from the resin 3, the distribution of the relative dielectric constant in the adhesive layer 113 becomes more uniform, and the occurrence of skew due to the adhesive layer 113 can be greatly reduced.
Further, the relative permittivity of the first region 117 or the second region 118 shown in FIG. 6 and FIG. 7 and the third region not included in any of the first region and the second region among the peripheral regions 116. When the filler is provided at a position where the difference from the relative dielectric constant of the region is reduced, variation in the relative dielectric constant in the peripheral region 116 is reduced.
Further, among the plurality of warp yarns and the plurality of weft yarns, the plurality of yarns provided substantially in parallel with the differential wiring, by having a filler in a region provided between adjacent yarns in the peripheral region 116, The difference in relative permittivity can be reduced. At this time, the total thickness of the glass cloth and the filler 123 in the region provided between the adjacent yarns in the peripheral region 166 and the region provided between the adjacent yarns in the peripheral region are included. When the filler is provided at a position where the difference between the glass cloth and the total thickness 123 of the filler in the non-existing region is reduced as compared with the case where the filler is not provided, the relative dielectric constant inside the wiring substrate 51 Variation in rate is reduced.

多層配線基板は、上記本発明の実施例に記載の配線基板を複数枚積層して構成する。配線基板を構成する導体層と絶縁層とを交互に複数枚積層して多層配線基板を構成するが、このとき、導体層および絶縁層の枚数は任意に選択することができる。
このとき、配線基板を構成する接着層部分にガラスクロスを含む構成とすると、多層配線基板について高い強度を実現することができる。
また、配線基板を構成する接着層部分にガラスクロスを含まず、樹脂により形成される構成とすると、接着部分の比誘電率のばらつきによるスキューの発生を抑制することができ、伝送波形の品質劣化を抑制できる。
The multilayer wiring board is formed by laminating a plurality of wiring boards described in the embodiments of the present invention. A multilayer wiring board is formed by alternately laminating a plurality of conductor layers and insulating layers constituting the wiring board. At this time, the number of conductor layers and insulating layers can be arbitrarily selected.
At this time, when the glass substrate is included in the adhesive layer portion constituting the wiring board, high strength can be realized for the multilayer wiring board.
Also, if the adhesive layer part that constitutes the wiring board does not contain glass cloth and is made of resin, the occurrence of skew due to variations in the relative permittivity of the adhesive part can be suppressed, and the quality of the transmission waveform deteriorates. Can be suppressed.

次に、フィラーの製造工程を図11を用いて説明する。直径10μm程度のガラス繊維124を収束しガラス繊維糸125を作成する(工程step1)。次に、ガラス繊維糸125を細かく裁断してガラス繊維片126を作成する(工程step2)。その後、ガラス繊維片126を研磨しガラスフィラー30aを作成する(工程step3)。   Next, the manufacturing process of a filler is demonstrated using FIG. Glass fibers 124 having a diameter of about 10 μm are converged to create glass fiber yarns 125 (step step 1). Next, the glass fiber yarn 125 is finely cut to produce a glass fiber piece 126 (step step 2). Then, the glass fiber piece 126 is grind | polished and the glass filler 30a is created (process step3).

次に、図6に示した実施例1記載の配線基板のコア層112の製造工程を図9を用いて説明する。第一のガラスクロス2aは、直径10μm程度のガラス繊維100本程度束ねた糸を編んで作成される(工程step1)。このとき径330μm程度の縦糸4aと横糸5aとはほぼ直交する。次に、フィラー30(比誘電率5程度、直径10μm程度)を樹脂3に混入してペースト状にしたフィラー入り樹脂を作成し、これに第一のガラスクロス2aの全体を浸して(工程step2)、第一のガラスクロス2aの隙間にフィラー入り樹脂を浸透させた後、第一のガラスクロス2aを乾燥させてフィラー入り樹脂を半硬化させる(工程step3)。このとき、樹脂としてFR4樹脂(エポキシ樹脂)を用いてもよい。フィラー入り樹脂を含み半硬化した第一のガラスクロス2aを樹脂3(フィラーを含まないものとする)に浸し(工程step4)、乾燥させて樹脂3を半硬化させた後(工程step5)、第一のガラスクロス2aを60cm(縦糸方向)×120cm(横糸方向)の大きさに裁断し、厚さ150μm程度のコア層112の絶縁層部分を作成する(工程step6)。その後、裁断された第一のガラスクロス2aの両面に銅エッチングで導体層7を形成し、片面にグランドプレーン11、もう片面にストリップライン伝送路の差動配線6を設けたコア層112を作成する(工程step7)。   Next, the manufacturing process of the core layer 112 of the wiring board according to the first embodiment shown in FIG. 6 will be described with reference to FIG. The first glass cloth 2a is formed by knitting yarns of about 100 glass fibers having a diameter of about 10 μm (step step 1). At this time, the warp 4a and the weft 5a having a diameter of about 330 μm are almost orthogonal to each other. Next, the filler 30 (with a relative dielectric constant of about 5 and a diameter of about 10 μm) is mixed with the resin 3 to create a paste-filled resin, and the entire first glass cloth 2a is immersed in the resin (step step 2). ) After the filler-filled resin is infiltrated into the gaps of the first glass cloth 2a, the first glass cloth 2a is dried to semi-harden the filler-filled resin (step step 3). At this time, FR4 resin (epoxy resin) may be used as the resin. The first glass cloth 2a semi-cured including the resin containing filler is dipped in resin 3 (assuming that it does not contain filler) (step step 4) and dried to semi-cur the resin 3 (step step 5). One glass cloth 2a is cut into a size of 60 cm (warp direction) × 120 cm (weft direction) to form an insulating layer portion of the core layer 112 having a thickness of about 150 μm (step step 6). After that, a conductor layer 7 is formed by copper etching on both sides of the cut first glass cloth 2a, and a core layer 112 is prepared in which a ground plane 11 is provided on one side and a differential wiring 6 of a stripline transmission line is provided on the other side. (Step step 7).

次に、図8に示した配線基板の接着層113の作成工程を説明する。接着層113については、樹脂を用いてコア層112同様150μ程度の厚さとしたガラスクロスを含まない絶縁基材を作成する。なお、樹脂の代わりに比誘電率の調整を目的として高比誘電率のフィラーを混合した基材を用いても良いし、接着層113の基材とコア層112の基材を入れ替えて作成しても良い。   Next, a process for forming the adhesive layer 113 of the wiring board shown in FIG. 8 will be described. For the adhesive layer 113, an insulating base material that does not include a glass cloth having a thickness of about 150 μm as in the core layer 112 is formed using a resin. A base material mixed with a filler having a high relative dielectric constant may be used instead of resin for the purpose of adjusting the relative dielectric constant, or the base material of the adhesive layer 113 and the base material of the core layer 112 may be exchanged. May be.

次に、多層配線基板の製造工程について図10を用いて説明する。ドータボード1aは積層基板1に設置されたコネクタ9a、9bを介して積層基板1内の差動配線6に電気的に接続される。配線基板のコア層に設けられた差動配線6は、特性インピーダンス30Ωにするべく配線幅100μm、配線間隔100μm、導体厚さ20μmとし、基板のコネクタ9a‐9b間の距離100cmを電気的に接続する。コア層112および接着層113を複数枚任意に選択して交互に積層後、高温で加圧し接着することで多層配線基板を作成する。なお、差動配線6はストリップライン伝送路の代わりにマイクロストリップライン伝送路を用いても良いし、差動配線ではなくシングルエンド配線でも良い。仕上げ工程として、積層基板1の外周に流れ出した樹脂を裁断して除去し、仕上げ寸法50cm(縦糸方向)×110cm(横糸方向)の多層配線基板に仕上げる。   Next, the manufacturing process of a multilayer wiring board is demonstrated using FIG. The daughter board 1 a is electrically connected to the differential wiring 6 in the multilayer substrate 1 via connectors 9 a and 9 b installed on the multilayer substrate 1. The differential wiring 6 provided in the core layer of the wiring board has a wiring width of 100 μm, a wiring interval of 100 μm, and a conductor thickness of 20 μm in order to obtain a characteristic impedance of 30Ω, and electrically connects a distance of 100 cm between the connectors 9a-9b on the board. To do. A plurality of core layers 112 and adhesive layers 113 are arbitrarily selected and laminated alternately, and then pressed and bonded at a high temperature to form a multilayer wiring board. The differential wiring 6 may be a microstrip line transmission line instead of the strip line transmission line, or may be a single-end wiring instead of the differential wiring. As a finishing process, the resin that has flowed out to the outer periphery of the multilayer substrate 1 is cut and removed to finish a multilayer wiring board having a finished dimension of 50 cm (warp direction) × 110 cm (weft direction).

以上、本発明者によってなされた発明を実施形態に基づき具体的に説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能であることはいうまでもない。   As mentioned above, the invention made by the present inventor has been specifically described based on the embodiment. However, the present invention is not limited to the above embodiment, and various modifications can be made without departing from the scope of the invention. Not too long.

従来の多層配線基板を示す図である。It is a figure which shows the conventional multilayer wiring board. 従来の配線基板に用いられるガラスクロスの構成図である。It is a block diagram of the glass cloth used for the conventional wiring board. 従来の配線基板の断面図である。It is sectional drawing of the conventional wiring board. 配線基板の比誘電率の差による差動伝送波形の違いを示す図である。It is a figure which shows the difference in the differential transmission waveform by the difference in the dielectric constant of a wiring board. 本発明に係る配線基板の断面斜視図である。It is a section perspective view of the wiring board concerning the present invention. 本発明の第一の実施例に係る配線基板の断面図である。It is sectional drawing of the wiring board which concerns on the 1st Example of this invention. 本発明の第一の実施例に係る配線基板の断面図である。It is sectional drawing of the wiring board which concerns on the 1st Example of this invention. 本発明の第一の実施例に係る変形例の配線基板の断面図である。It is sectional drawing of the wiring board of the modification based on 1st Example of this invention. 本発明の第一の実施例に係る配線基板のコア層の製造工程を示す図である。It is a figure which shows the manufacturing process of the core layer of the wiring board which concerns on the 1st Example of this invention. 本発明の第一の実施例に係る配線基板により構成される多層配線基板の製造工程を示す図である。It is a figure which shows the manufacturing process of the multilayer wiring board comprised by the wiring board which concerns on the 1st Example of this invention. フィラーの製造工程を示す図である。It is a figure which shows the manufacturing process of a filler.

符号の説明Explanation of symbols

2a 第一のガラスクロス、2b 第二のガラスクロス、3 樹脂、4a、4b 縦糸、5a、5b 横糸、6 差動配線、6p P配線、6n N配線、7 導体層、8 絶縁層、9a、9b 基板のコネクタ11 電源・グランドプレーン、30 フィラー、30a ガラスフィラー、51、51a、51b、51c 配線基板、52 多層配線基板、100 縦糸のみが存在する領域(樹脂の密度が高い領域)、101 横糸のみが存在する領域(樹脂の密度が高い領域)、112 コア層、113 接続層(プリプレグ層)、116 周辺領域、117 第一の領域、118 第二の領域、122 配線基板の高さ、123ガラスクロスおよびフィラーの厚さ、124ガラス繊維、125 ガラス繊維糸、126 ガラス繊維糸片、200 バスケットホール、300 交差領域 2a 1st glass cloth, 2b 2nd glass cloth, 3 resin, 4a, 4b warp, 5a, 5b weft, 6 differential wiring, 6p P wiring, 6n N wiring, 7 conductor layer, 8 insulating layer, 9a, 9b Board connector 11 Power / ground plane, 30 filler, 30a glass filler, 51, 51a, 51b, 51c wiring board, 52 multilayer wiring board, 100 area where only warp yarn exists (area with high resin density), 101 weft Region where only resin exists (region where resin density is high), 112 core layer, 113 connection layer (prepreg layer), 116 peripheral region, 117 first region, 118 second region, 122 height of wiring board, 123 Glass cloth and filler thickness, 124 glass fibers, 125 glass fiber yarns, 126 glass fiber yarn pieces, 200 basket holes, 300 crossings region

Claims (15)

ガラス製の複数の縦糸およびガラス製の複数の横糸で編まれたガラスクロスを有する絶縁基材と、差動配線とを含んで構成されるコア層を有する配線基板であって、
前記差動配線の第一の配線の伝送特性に影響のある領域と前記差動配線の第二の配線の伝送特性に影響のある領域の比誘電率の差を低減する位置にフィラーを有することを特徴とする配線基板。
An insulating substrate having a glass cloth knitted with a plurality of warp yarns made of glass and a plurality of weft yarns made of glass, and a wiring board having a core layer comprising a differential wiring,
A filler is provided at a position to reduce a difference in relative permittivity between a region affecting the transmission characteristics of the first wiring of the differential wiring and a region affecting the transmission characteristics of the second wiring of the differential wiring. A wiring board characterized by.
ガラス製の複数の縦糸およびガラス製の複数の横糸で編まれたガラスクロスを有する絶縁基材と、差動配線とを含んで構成されるコア層を有する配線基板であって、
前記差動配線の伝送特性に影響のある周辺領域のうち隣り合う縦糸の間に設けられた第一の領域、または、前記周辺領域のうち隣り合う横糸の間に設けられた第二の領域の少なくとも一方の領域にフィラーを有することを特徴とする配線基板。
An insulating substrate having a glass cloth knitted with a plurality of warp yarns made of glass and a plurality of weft yarns made of glass, and a wiring board having a core layer comprising a differential wiring,
Of the first region provided between adjacent warps among the peripheral regions that affect the transmission characteristics of the differential wiring, or the second region provided between adjacent wefts of the peripheral region A wiring board comprising a filler in at least one region.
請求項2記載の配線基板であって、
前記フィラーは、前記差動配線の第一の配線の伝送特性に影響のある領域と前記差動配線の第二の配線の伝送特性に影響のある領域との比誘電率の差を低減する位置に設けられていることを特徴とする配線基板。
The wiring board according to claim 2,
The filler is a position that reduces a relative dielectric constant difference between a region that affects the transmission characteristics of the first wiring of the differential wiring and a region that affects the transmission characteristics of the second wiring of the differential wiring. A wiring board, characterized in that it is provided on the wiring board.
請求項2または3記載の配線基板であって、
前記フィラーが、前記周辺領域のうち前記第一の領域または前記第二の領域のいずれにも含まれない第三の領域に設けられたフィラーよりも多いことを特徴とする配線基板。
The wiring board according to claim 2 or 3,
The wiring board, wherein the filler is more than a filler provided in a third region that is not included in either the first region or the second region in the peripheral region.
請求項2または3記載の配線基板であって、
前記第一の領域または前記第二の領域に設けられたフィラーが、前記周辺領域のうち前記複数の縦糸と前記複数の横糸により囲まれ前記複数の縦糸または前記複数の横糸のいずれの糸も存在しない第三の領域に設けられたフィラーよりも多いことを特徴とする配線基板。
The wiring board according to claim 2 or 3,
The filler provided in the first region or the second region is surrounded by the plurality of warp yarns and the plurality of weft yarns in the peripheral region, and any of the plurality of warp yarns or the plurality of weft yarns exists. A wiring board characterized in that there are more fillers provided in the third region.
請求項4または5記載の配線基板であって、
前記フィラーは、前記第一の領域または前記第二の領域の比誘電率と前記第三の領域の比誘電率との差を低減する位置に設けられていることを特徴とする配線基板。
The wiring board according to claim 4 or 5,
The wiring board according to claim 1, wherein the filler is provided at a position that reduces a difference between a relative dielectric constant of the first region or the second region and a relative dielectric constant of the third region.
請求項1乃至6のいずれかに記載の配線基板であって、
前記フィラーは前記ガラスクロスと同程度の比誘電率を有することを特徴とする配線基板。
The wiring board according to any one of claims 1 to 6,
The wiring board according to claim 1, wherein the filler has a relative dielectric constant comparable to that of the glass cloth.
請求項1乃至7のいずれかに記載の配線基板であって、
前記コア層に接着され、樹脂を含んで構成される接着層を有することを特徴とする配線基板。
A wiring board according to any one of claims 1 to 7,
A wiring board having an adhesive layer bonded to the core layer and including a resin.
請求項8記載の配線基板であって、
前記接着層にはガラス製の縦糸およびガラス製の横糸で編まれた第二のガラスクロスを含むことを特徴とする配線基板。
The wiring board according to claim 8, wherein
The wiring board, wherein the adhesive layer includes a second glass cloth knitted with a glass warp and a glass weft.
請求項9記載の配線基板であって、
前記第二のガラスクロスの前記縦糸または前記横糸のいずれか一方の糸が存在している第四の領域と、
前記第二のガラスクロスの前記縦糸と前記横糸により囲まれ前記縦糸または前記横糸のいずれの糸も存在しない第五の領域の少なくとも一方の領域に、第二のフィラーを有することを特徴とする配線基板。
The wiring board according to claim 9, wherein
A fourth region where either the warp or the weft of the second glass cloth is present;
The wiring having the second filler in at least one region of the fifth region surrounded by the warp yarn and the weft yarn of the second glass cloth and in which neither the warp yarn nor the weft yarn exists substrate.
請求項2乃至10のいずれかに記載の配線基板であって、
前記周辺領域は、前記差動配線の各配線の周囲のうち前記各配線の配線幅の3倍の領域であることを特徴とする配線基板。
A wiring board according to any one of claims 2 to 10,
The wiring board according to claim 1, wherein the peripheral region is a region that is three times the wiring width of each of the wirings of the differential wiring.
請求項1乃至11のいずれかに記載の配線基板であって、
前記複数の縦糸または前記複数の横糸のいずれかが、前記差動配線と略平行に設けられている複数の糸であることを特徴とする配線基板。
The wiring board according to any one of claims 1 to 11,
Either of the plurality of warp yarns or the plurality of weft yarns is a plurality of yarns provided substantially parallel to the differential wiring.
請求項12記載の配線基板であって、
前記周辺領域のうち隣り合う前記複数の糸の間に設けられた第六の領域にフィラーを有することを特徴とする配線基板。
The wiring board according to claim 12, wherein
A wiring board comprising a filler in a sixth region provided between the adjacent yarns in the peripheral region.
請求項13記載の配線基板であって、
前記第六の領域に設けられたフィラーおよびガラスクロスの厚さの総和と、前記周辺領域のうち前記第六の領域に含まれない領域に設けられたフィラーおよびガラスクロスの厚さの総和との差を低減する位置にフィラーが設けられていることを特徴とする配線基板。
The wiring board according to claim 13,
The sum of the thickness of the filler and glass cloth provided in the sixth region, and the sum of the thickness of the filler and glass cloth provided in a region not included in the sixth region of the peripheral region A wiring board, wherein a filler is provided at a position to reduce the difference.
請求項1乃至14のいずれかに記載の配線基板を複数枚積層して形成することを特徴とする多層配線基板。 A multilayer wiring board comprising a plurality of the wiring boards according to claim 1, which are stacked.
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