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JP2009250739A - 画像処理方法およびプログラム - Google Patents

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Abstract

【課題】画像内の回転したマークの位置を迅速かつ正確に検出する。
【解決手段】ステップS1において、投影パターンを用いたマッチングにより、テンプレートと類似度の高い入力画像の領域を検出し、検出した領域の中心を候補点として抽出する。ステップS2において、各候補点について、候補点を中心とする所定の形状の領域であって回転角の異なる複数の領域の画像をマッチング対象画像として抽出する。ステップS3において、抽出されたマッチング対象画像とテンプレートのマッチングを行い、類似度を表すマッチングスコアを求める。ステップS4において、マッチングの結果に基づいて、入力画像のマークの位置および回転角を検出する。本発明は、例えば、画像の位置検出装置に適用できる。
【選択図】図2

Description

本発明は、画像処理方法およびプログラムに関し、特に、画像内の所定のマークの位置を検出する画像処理方法およびプログラムに関する。
従来、基板上に回路パターンをプリントする工程などにおいて、予め基板にプリントされているアライメントマークを用いて基板の位置決めが行われている。その基板上のアライメントマークの位置を検出する手段の一つとして、テンプレートマッチングがよく用いられている(例えば、特許文献1参照)。
特開2005−300322号公報
しかしながら、従来のテンプレートマッチングにおいて、基板の回転などによりアライメントマークが回転していても正確にアライメントマークの位置を検出できるようにするためには、例えば、正常な方向を向いているアライメントマークの他に、回転したアライメントマークを示すテンプレートを複数準備しておき、テンプレートの数だけ、基板を撮影した画像全体に対するマッチングを行うため、処理に時間がかかっていた。
本発明は、このような状況を鑑みてなされたものであり、画像内の回転したマークの位置を迅速かつ正確に検出できるようにするものである。
本発明の一側面の画像処理方法は、入力画像の所定エリア内の画素の信号パターンとテンプレートの信号パターンとのマッチングによりテンプレートと類似度の高い入力画像の領域を検出し、検出した領域の中心を候補点として抽出する候補点抽出ステップと、候補点のそれぞれについて、候補点を中心とする所定の形状の領域であって、候補点を中心として回転させた回転角の異なる複数の領域の画像をマッチング対象画像として抽出するマッチング対象画像抽出ステップと、抽出されたマッチング対象画像とテンプレートのマッチングを行い、マッチング対象画像とテンプレートの類似度を表すマッチングスコアを求めるマッチングステップと、マッチングスコアが最大となるマッチング対象画像の位置を入力画像におけるマークの位置として検出するマーク検出ステップとを含む。
本発明の一側面のプログラムは、入力画像の所定エリア内の画素の信号パターンとテンプレートの信号パターンとのマッチングによりテンプレートと類似度の高い入力画像の領域を検出し、検出した領域の中心を候補点として抽出する候補点抽出ステップと、候補点のそれぞれについて、候補点を中心とする所定の形状の領域であって、候補点を中心として回転させた回転角の異なる複数の領域の画像をマッチング対象画像として抽出するマッチング対象画像抽出ステップと、抽出されたマッチング対象画像とテンプレートのマッチングを行い、マッチング対象画像とテンプレートの類似度を表すマッチングスコアを求めるマッチングステップと、マッチングスコアが最大となるマッチング対象画像の位置を入力画像におけるマークの位置として検出するマーク検出ステップとを含む処理をコンピュータに実行させる。
本発明の一側面においては、入力画像の所定エリア内の画素の信号パターンとテンプレートの信号パターンとのマッチングによりテンプレートと類似度の高い入力画像の領域が検出され、検出された領域の中心が候補点として抽出され、候補点のそれぞれについて、候補点を中心とする所定の形状の領域であって、候補点を中心として回転させた回転角の異なる複数の領域の画像がマッチング対象画像として抽出され、抽出されたマッチング対象画像とテンプレートのマッチングを行い、マッチング対象画像とテンプレートの類似度を表すマッチングスコアが求められ、マッチングスコアが最大となるマッチング対象画像の位置が入力画像におけるマークの位置として検出される。
本発明の一側面によれば、画像内の回転したマークの位置を迅速かつ正確に検出することができる。
以下、図面を参照して本発明を適用した実施の形態について説明する。
図1は、本発明を適用した画像処理装置の一実施の形態を示すブロック図である。図1の画像処理装置1は、例えば、外部から入力された画像(以下、入力画像と称する)において、与えられたテンプレートに示される画像(以下、マークと称する)と一致するマークが存在する位置、および、マークが回転している角度(以下、回転角とも称する)を検出する処理を行う。例えば、画像処理装置1は、基板を撮影した画像において、基板の位置決めに用いるアライメントマークの位置および回転角の検出を行う。
画像処理装置1の候補点抽出部11は、図4および図5などを参照して後述するように、入力画像において、テンプレートに示されるマークが存在する可能性がありマークの探索対象とする領域の位置を示す候補点を抽出し、抽出した候補点の座標を示す情報をマッチング対象画像抽出部12に供給する。
マッチング対象画像抽出部12は、図6などを参照して後述するように、抽出された各候補点について、候補点を中心とする所定の形状の領域であって、候補点を中心とする回転角が異なる複数の領域内の画像(以下、マッチング対象画像と称する)を入力画像から抽出する。マッチング対象画像抽出部12は、抽出したマッチング対象画像、および、各マッチング対象画像の回転角と対応する候補点の座標を示す情報をマッチング部13に供給する。
マッチング部13は、図7および図8などを参照して後述するように、抽出されたマッチング対象画像とテンプレートの画素単位のマッチングを行い、各マッチング対象画像に対するマッチング結果、および、各マッチング対象画像の回転角と対応する候補点の座標を示す情報をマーク検出部14に供給する。
マーク検出部14は、図2などを参照して後述するように、各マッチング対象画像とテンプレートの画素単位のマッチングの結果に基づいて、入力画像におけるマークの位置および回転角を検出する。マーク検出部14は、検出したマークの位置および回転角を示す情報を座標変換部15に供給する。
座標変換部15は、図9などを参照して後述するように、マッチング対象画像の座標系で表されているマークの位置の座標を入力画像の座標系における座標に変換する。座標変換部15は、入力画像の座標系に変換したマークの位置の座標、および、マークの回転角を示す情報を外部に出力する。
なお、以下、マッチング対象画像以外の画像(例えば、入力画像、テンプレートなど)の座標系を、画像の左上隅を原点、画像の水平方向をx軸方向、垂直方向をy軸方向とするとともに、右方向をx軸の正の方向、下方向をy軸の正の方向とする座標系とする。また、マッチング対象画像の座標系を、マッチング対象画像の中心を原点、マッチング対象画像の水平方向をx'軸方向、垂直方向をy'軸方向とするとともに、右方向をx'軸の正の方向、上方向をy'軸の正の方向とする座標系とする。
次に、図2のフローチャートを参照して、画像処理装置1により実行される画像処理について説明する。なお、この処理は、例えば、処理対象となる入力画像が候補点抽出部11に入力されたとき開始される。また、以下、探索対象となるマークを示すテンプレートは予め画像処理装置1に与えられており、テンプレートの形状は矩形であるものとする。
ステップS1において、候補点抽出部11は、投影パターンを用いたマッチングにより候補点を抽出する。なお、投影パターンとは、2次元の画像において、x軸方向(水平方向)のライン毎に画素値の合計値を求め、求めた合計値のy軸方向(垂直方向)の分布を示す1次元の画素の信号パターン(以下、y軸方向の投影パターンと称する)、または、y軸方向(垂直方向)のライン毎に画素値の合計値を求め、求めた合計値のx軸方向(水平方向)の分布を示す1次元の画素の信号パターン(以下、x軸方向の投影パターンと称する)である。すなわち、投影パターンは、水平または垂直方向のライン単位の画素値の分布を示しており、画像をx軸またはy軸方向に投影したパターンであると言える。
ここで、図3を参照して、投影パターンの具体例について説明する。図3のテンプレートT1には、同じ大きさの正方形のマークM1t乃至M4tが示されている。また、マークM1tとマークM3t、および、マークM2tとマークM4tは、x軸方向において同じ位置に配置され、マークM1tとマークM2t、および、マークM3tとマークM4tは、y軸方向において同じ位置に配置されている。そして、テンプレートT1の画素値を256階調とし、マークM1t乃至M4tの画素値を0(すなわち、黒色)、その他の領域の画素値を255(すなわち、白色)とした場合、テンプレートT1のx軸方向の投影パターンは、パターン51により表される。すなわち、投影パターン51は、マークM1tとマークM3t、および、マークM2tとマークM4tが存在する列のx座標において値が最小となり、それ以外の列のx座標において値が最大となる2値のパルス上の波形となる。
一方、領域R1には、テンプレートT1のマークM1t乃至M4tと同様のマークM1r乃至M4rが示されている。ただし、領域R1のマークM1r乃至M4rは、テンプレートT1のマークM1t乃至M4tと比較して反時計回りに回転している。その結果、領域R1のx軸方向の投影パターンは、パターン51とは異なるパターン52により表される。すなわち、投影パターン52は、各列のマークM1r乃至M4rに含まれる画素の数に応じて変化し、マークM1r乃至M4rに含まれる画素が最も多く存在する列のx座標において値が最小となり、マークM1r乃至M4rに含まれる画素が存在しない列のx座標において値が最大となる。
候補点抽出部11は、入力画像の投影パターンとテンプレートの投影パターンのマッチングにより、テンプレートと類似度の高い入力画像の領域を検出し、検出した領域の中心を候補点として抽出する。ここで、図4および図5を参照して、候補点の抽出処理の具体例について説明する。なお、以下、図4に示される入力画像Giの大きさを幅wg×高さhgとし、図示せぬテンプレートの大きさを幅wt×高さhtとする。
まず、候補点抽出部11は、図4に示されるように、幅wg×高さhtの窓W1を入力画像Giの上端にセットし、窓W1内の画像のx軸方向の投影パターンを生成する。次に、候補点抽出部11は、図5に示されるように、テンプレートと同じ大きさの幅wt×高さhtの窓W2を窓W1の左端にセットし、窓W2内の画像のx軸方向の投影パターンとテンプレートのx軸方向の投影パターンのマッチングを行い、窓W2内の画像とテンプレートの類似度を表すマッチングスコアを求める。候補点抽出部11は、窓W2を1画素ずつ右にずらしていきながら窓W2が窓W1の右端に来るまで同様の処理を繰り返し行い、窓W1内の各領域の画像とテンプレートとの間のマッチングスコアを求める。候補点抽出部11は、窓W1内においてマッチングスコアが極大となり、かつ、所定の閾値以上となる領域(すなわち、テンプレートとの類似度が所定の閾値以上となる領域)の中点を候補点として抽出する。従って、窓W1内において、複数の候補点が抽出される場合もあるし、1つも候補点が抽出されない場合もある。
候補点抽出部11は、窓W1を1画素ずつ下にずらしていきながら窓W1が入力画像Giの下端に来るまで、上述した処理を繰り返し、入力画像全体から候補点を抽出する。候補点抽出部11は、y軸方向についても、y軸方向の投影パターンを用いて同様の処理を行い、候補点を抽出する。そして、候補点抽出部11は、抽出した候補点の座標を示す情報をマッチング対象画像抽出部12に供給する。なお、抽出された候補点の座標は、入力画像の座標系により表される。
なお、投影パターンは画像の回転による値の変動が小さいため、投影パターンを用いたマッチングを行うことにより、画素単位でマッチングを行う場合と比較して、入力画像においてマークが回転していても、マークが存在する領域とテンプレートとの間のマッチングスコアの低下が抑制される。また、投影パターンを用いてマッチングを行う場合、画素単位でマッチングを行う場合と比較して演算量は少なくなる。従って、適切な候補点を迅速に抽出することが可能となる。
なお、投影パターンの値として、ライン毎の画素値の合計値の他に、例えば、ライン毎の画素値の平均値を用いることも可能である。
図2に戻り、ステップS2において、マッチング対象画像抽出部12は、各候補点を中心とする回転角の異なる複数のマッチング対象画像を抽出する。具体的には、マッチング対象画像抽出部12は、まず、候補点の1つを注目候補点して選択する。そして、マッチング対象画像抽出部12は、注目候補点を中心とするテンプレートより少し大きい(例えば、数ピクセル大きい)矩形の領域であって、各辺が入力画像の各辺と平行な領域(以下、基本抽出領域と称する)内の画像をマッチング対象画像として入力画像から抽出する。
さらに、マッチング対象画像抽出部12は、アフィン変換を用いて、注目候補点を中心に基本抽出領域を所定の角度だけ回転させた領域内の画像をマッチング対象画像として抽出する処理を、所定の複数の回転角について実行する。例えば、マッチング対象画像抽出部12は、注目候補点を中心とし、注目候補点を通る垂直線に対する角度が±θの範囲内において、Δθの間隔で基本抽出領域を回転させた領域内の画像をマッチング対象画像として抽出する。この場合、1つの候補点につき、2θ÷Δθ+1個のマッチング対象画像が抽出される。
マッチング対象画像抽出部12は、全ての候補点について同様の処理を行い、各候補点について、同じ数および回転角のマッチング対象画像を抽出する。マッチング対象画像抽出部12は、抽出したマッチング対象画像、および、各マッチング対象画像の回転角と対応する候補点の座標を示す情報をマッチング部13に供給する。
ここで、図6を参照して、マッチング対象画像の抽出処理の具体例について説明する。例えば、正方形のテンプレートT11に示される十字型のマークM11tと同じ入力画像上のマークM11rの中心Ps1が注目候補点として選択されている場合について考える。なお、図6の左側に示されるように、マークM11rは、マークM11tと比較して、反時計回りに回転しているものとする。
マッチング対象画像抽出部12は、最初に、候補点Ps1を中心とする正方形の領域であって、テンプレートT11より少し大きい基本抽出領域R13内の画像をマッチング対象画像として抽出する。そして、マッチング対象画像抽出部12は、基本抽出領域R13を反時計回りにθ1だけ回転させた領域R11、反時計回りにθ2(ただし、θ2<θ1)だけ回転させた領域R12、時計回りにθ2だけ回転させた領域R14、および、時計回りにθ1だけ回転させた領域R15内の画像をマッチング対象画像として抽出する。これにより、候補点Ps1について、図6の右側に示される5つのマッチング対象画像Gm11乃至Gm5が抽出される。
なお、テンプレートより大きい領域内の画像をマッチング対象画像として抽出するのは、抽出された候補点の位置が、回転の影響で必ずしもマークの中心と一致するとは限らないためである。
図2に戻り、ステップS3において、マッチング部13は、各マッチング対象画像とテンプレートの画素単位のマッチングを実行する。具体的には、マッチング部13は、マッチング対象画像の1つを注目マッチング対象画像として選択する。マッチング部13は、注目マッチング対象画像内において、テンプレートとのマッチングを行う領域を上下または左右に1画素ずつずらしながら、テンプレートとの画素単位のマッチングを行う。
ここで、図7を参照して、マッチング対象画像とテンプレートの画素単位のマッチングの処理の具体例について説明する。マッチング部13は、図7に示されるように、テンプレートと同じ大きさの幅wt×高さhtの窓W21をマッチング対象画像Gm21の左上隅に配置し、窓W21内の画像とテンプレートの画素単位のマッチングを行い、窓W21内の画像とテンプレートの類似度を表すマッチングスコアを求める。マッチング部13は、窓W21を1画素ずつ右にずらしていきながら窓W21がマッチング対象画像Gm21の右端に来るまで同様の処理を繰り返し行う。また、マッチング部13は、窓W21がマッチング対象画像Gm21の右端に来たら、窓W21を1画素下にずらすとともに、マッチング対象画像Gm21の左端に戻し、以下、同様の処理を、窓W21がマッチング対象画像Gm21の右下隅に来るまで繰り返し実行する。これにより、マッチング対象画像Gm21の各領域内の画像とテンプレートとの間のマッチングスコアが求められる。
マッチング部13は、上述した処理を全てのマッチング対象画像について実行する。マッチング部13は、各マッチング対象画像に対するマッチング結果、および、各マッチング対象画像の回転角と対応する候補点の座標を示す情報をマーク検出部14に供給する。
なお、各マッチング対象画像に対するマッチング結果は、マッチング対象画像の各領域におけるマッチングスコアと各領域の中心の座標の組み合わせを含む。例えば、図7のマッチング対象画像Gm21の窓W21内の領域について考えた場合、窓W21内の領域の内の画像とテンプレートとの間のマッチングスコア、および、窓W21内の領域の中心Rm(図8)の座標の組み合わせが、マッチング結果に含まれる。
なお、マッチング対象画像の各領域の中心の座標は、マッチング対象画像の座標系により表される。例えば、図8に示されるように、窓W21内の領域の中心Rmの座標(Xr,Yr)は、候補点Ps21を原点とし、マッチング対象画像Gm21の水平方向をx'軸とし、垂直方向をy'軸とする座標系により表される。
図2に戻り、ステップS4において、マーク検出部14は、画素単位のマッチングの結果に基づいて、入力画像のマークの位置および回転角を検出する。具体的には、マーク検出部14は、候補点の1つを注目候補点に選択し、注目候補点について、マッチングスコアが最大となる領域を含むマッチング対象画像、および、マッチングスコアの最大値を求める。マーク検出部14は、全ての候補点について同様の処理を行い、マッチングスコアが最大となる領域を含むマッチング対象画像、および、マッチングスコアの最大値の組み合わせを、各候補点につき1つずつ求める。
さらに、マーク検出部14は、候補点ごとに求めたマッチングスコアの最大値を比較し、マッチングスコアの最大値が最大となる領域を含むマッチング対象画像(以下、マーク検出画像と称する)を求める。マーク検出部14は、マーク検出画像の回転角を入力画像におけるマークの回転角とし、マーク検出画像においてマッチングスコアが最大となる領域の中心を入力画像におけるマークの位置として検出する。マーク検出部14は、マーク検出画像の中心(すなわち、候補点)の座標、並びに、入力画像におけるマークの回転角およびマークの位置の座標を示す情報を座標変換部15に供給する。なお、マーク検出画像の中心の座標は入力画像の座標系により表され、マークの位置の座標はマーク検出画像の座標系により表される。
ステップS5において、座標変換部15は、マークの位置の座標を入力画像の座標系に変換する。ここで、図9を参照して、この座標変換の処理の詳細について説明する。なお、図9において、点Pmは、検出された入力画像のマークの位置を表し、候補点Ps31は、マークの位置Pmが検出されたマーク検出画像の中心を表している。また、マーク検出画像の回転角を−θm(反時計回りの方向にθm)とする。さらに、候補点Ps31を中心とするx'軸およびy'軸により表される座標系を、マーク検出画像の座標系とする。また、マーク検出画像の座標系におけるマークの位置Pmの座標を(Xm',Ym')とする。
マーク検出画像の座標系を、候補点Ps31を中心に時計回りにθmだけ回転させたx''軸およびy''軸により表される座標系(以下、回転座標系と称する)におけるマークの位置Pmの座標(Xm'',Ym'')は、以下の式(1)および式(2)により求められる。なお、x''軸は入力画像の座標系のx軸と平行になり、y''軸は入力画像のy軸と平行になる。
Xm''=Xm'×cosθm−Ym'×sinθm ・・・(1)
Ym''=Xm'×sinθm+Ym'×sinθm ・・・(2)
入力画像の座標系における候補点Ps31の座標を(Xs,Ys)とすると、入力画像の座標系におけるマークの位置Pmの座標(Xm,Ym)は、以下の式(3)および式(4)により求められる。
Xm=Xs+Xm'' ・・・(3)
Ym=Ys−Ym'' ・・・(4)
座標変換部15は、以上のようにして求めた入力画像の座標系におけるマークの位置の座標、および、入力画像におけるマークの回転角を示す情報を後段の装置に出力する。その後、画像処理は終了する。
このようにして、画素単位のマッチングを行う領域を削減できるとともに、各候補点ごとに、回転角が異なるマッチング対象画像を抽出し、テンプレートとのマッチングを行うので、入力画像におけるマークの位置および回転角を迅速かつ正確に検出することができる。また、複数のテンプレートを準備する必要がないため、テンプレートに必要なメモリの容量を削減することができる。
上述した一連の処理は、ハードウエアにより実行することもできるし、ソフトウエアにより実行することもできる。一連の処理をソフトウエアにより実行する場合には、そのソフトウエアを構成するプログラムが、専用のハードウエアに組み込まれているコンピュータ、または、各種のプログラムをインストールすることで、各種の機能を実行することが可能な、例えば汎用のコンピュータなどに、プログラム記録媒体からインストールされる。
図10は、上述した一連の処理をプログラムにより実行するコンピュータのハードウエアの構成例を示すブロック図である。
コンピュータにおいて、CPU(Central Processing Unit)201,ROM(Read Only Memory)202,RAM(Random Access Memory)203は、バス204により相互に接続されている。
バス204には、さらに、入出力インタフェース205が接続されている。入出力インタフェース205には、キーボード、マウス、マイクロホンなどよりなる入力部206、ディスプレイ、スピーカなどよりなる出力部207、ハードディスクや不揮発性のメモリなどよりなる記憶部208、ネットワークインタフェースなどよりなる通信部209、磁気ディスク、光ディスク、光磁気ディスク、或いは半導体メモリなどのリムーバブルメディア211を駆動するドライブ210が接続されている。
以上のように構成されるコンピュータでは、CPU201が、例えば、記憶部208に記憶されているプログラムを、入出力インタフェース205及びバス204を介して、RAM203にロードして実行することにより、上述した一連の処理が行われる。
コンピュータ(CPU201)が実行するプログラムは、例えば、磁気ディスク(フレキシブルディスクを含む)、光ディスク(CD-ROM(Compact Disc-Read Only Memory),DVD(DiGital Versatile Disc)等)、光磁気ディスク、もしくは半導体メモリなどよりなるパッケージメディアであるリムーバブルメディア211に記録して、あるいは、ローカルエリアネットワーク、インターネット、デジタル衛星放送といった、有線または無線の伝送媒体を介して提供される。
そして、プログラムは、リムーバブルメディア211をドライブ210に装着することにより、入出力インタフェース205を介して、記憶部208にインストールすることができる。また、プログラムは、有線または無線の伝送媒体を介して、通信部209で受信し、記憶部208にインストールすることができる。その他、プログラムは、ROM202や記憶部208に、あらかじめインストールしておくことができる。
なお、コンピュータが実行するプログラムは、本明細書で説明する順序に沿って時系列に処理が行われるプログラムであっても良いし、並列に、あるいは呼び出しが行われたとき等の必要なタイミングで処理が行われるプログラムであっても良い。
また、本発明の実施の形態は、上述した実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更が可能である。
本発明を適用した画像処理装置の一実施の形態を示すブロック図である。 画像処理装置により実行される画像処理を説明するためのフローチャートである。 投影パターンを説明するための図である。 候補点の抽出処理を説明するための図である。 候補点の抽出処理を説明するための図である。 マッチング対象画像の抽出処理を説明するための図である。 画素単位のマッチング処理を説明するための図である。 マッチング対象画像の座標系を示す図である。 座標変換を説明するための図である。 コンピュータの構成例を示す図である。
符号の説明
1 画像処理装置, 11 候補点抽出部, 12 マッチング対象画像抽出部, 13 マッチング部, 14 マーク検出部, 15 座標変換部

Claims (4)

  1. 入力画像内においてテンプレートに示されるマークと一致するマークの位置を検出する画像処理装置の画像処理方法において、
    前記入力画像の所定エリア内の画素の信号パターンと前記テンプレートの信号パターンとのマッチングにより前記テンプレートと類似度の高い前記入力画像の領域を検出し、検出した領域の中心を候補点として抽出する候補点抽出ステップと、
    前記候補点のそれぞれについて、前記候補点を中心とする所定の形状の領域であって、前記候補点を中心として回転させた回転角の異なる複数の領域の画像をマッチング対象画像として抽出するマッチング対象画像抽出ステップと、
    抽出された前記マッチング対象画像と前記テンプレートのマッチングを行い、前記マッチング対象画像と前記テンプレートの類似度を表すマッチングスコアを求めるマッチングステップと、
    前記マッチングスコアが最大となる前記マッチング対象画像の位置を前記入力画像における前記マークの位置として検出するマーク検出ステップと
    を含む画像処理方法。
  2. 前記候補点抽出ステップにおいて、前記入力画像の所定エリア内の画素の信号パターンとしてライン単位の画素値の分布を示す投影パターンを用い、前記テンプレートの信号パターンとして前記テンプレートのライン単位の画素値の分布を示す投影パターンを用いる
    請求項1に記載の画像処理方法。
  3. 前記マーク検出ステップにおいて、さらに、前記マッチングスコアが最大となる前記マッチング対象画像の回転角を前記入力画像における前記マークの回転角として検出する
    請求項1に記載の画像処理方法。
  4. 入力画像内においてテンプレートに示されるマークと一致するマークの位置を検出する処理をコンピュータに実行させるプログラムにおいて、
    前記入力画像の所定エリア内の画素の信号パターンと前記テンプレートの信号パターンとのマッチングにより前記テンプレートと類似度の高い前記入力画像の領域を検出し、検出した領域の中心を候補点として抽出する候補点抽出ステップと、
    前記候補点のそれぞれについて、前記候補点を中心とする所定の形状の領域であって、前記候補点を中心として回転させた回転角の異なる複数の領域の画像をマッチング対象画像として抽出するマッチング対象画像抽出ステップと、
    抽出された前記マッチング対象画像と前記テンプレートのマッチングを行い、前記マッチング対象画像と前記テンプレートの類似度を表すマッチングスコアを求めるマッチングステップと、
    前記マッチングスコアが最大となる前記マッチング対象画像の位置を前記入力画像における前記マークの位置として検出するマーク検出ステップと
    を含む処理をコンピュータに実行させるプログラム。
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