JP2009242531A - Composite resin molded product, laminate, and multilayer circuit board - Google Patents
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Abstract
【課題】 高密度の配線パターンの形成が可能でレーザ加工形状が良好な多層配線板を得るのに好適で、低線膨張、難燃性及び絶縁層の平坦性に優れ、かつ、焼却時に有害物質をほとんど発生しない電気絶縁層用の複合樹脂成形体を提供する。
【解決手段】 重量平均分子量が10,000〜250,000で、カルボキシル基又は酸無水物基を有し、酸価が5〜200mgKOH/gである重合体(A)、および硬化剤(B)を含有する硬化性樹脂組成物を、繊維径が0.05〜2μmである繊維状基材に含浸してなる複合樹脂成形体。
前記重合体(A)が脂環式オレフィン重合体であるのが好ましい。
【選択図】 なしPROBLEM TO BE SOLVED: To obtain a multilayer wiring board capable of forming a high-density wiring pattern and having a good laser processed shape, excellent in low linear expansion, flame retardancy and flatness of an insulating layer, and harmful when incinerated. Provided is a composite resin molded body for an electrical insulating layer that hardly generates substances.
A polymer (A) having a weight average molecular weight of 10,000 to 250,000, having a carboxyl group or an acid anhydride group, and having an acid value of 5 to 200 mgKOH / g, and a curing agent (B). A composite resin molded article obtained by impregnating a fibrous base material having a fiber diameter of 0.05 to 2 μm with a curable resin composition comprising
The polymer (A) is preferably an alicyclic olefin polymer.
[Selection figure] None
Description
本発明は、複合樹脂成形体、並びにこれを用いて得られる硬化物、積層体及び多層回路基板に関する。更に詳しくは、高密度の配線パターンの形成が可能でレーザ加工形状が良好な多層配線板を得るのに好適で、低線膨張、難燃性及び絶縁層の平坦性に優れ、かつ、焼却時に有害物質をほとんど発生しない電気絶縁層用の複合樹脂成形体に関する。 The present invention relates to a composite resin molded article, and a cured product, a laminate and a multilayer circuit board obtained using the same. More specifically, it is suitable for obtaining a multilayer wiring board capable of forming a high-density wiring pattern and having a good laser processing shape, excellent in low linear expansion, flame retardancy and flatness of the insulating layer, and at the time of incineration. The present invention relates to a composite resin molded body for an electrical insulating layer that hardly generates harmful substances.
電子機器の小型化、多機能化、高速通信化等に伴い、電子機器に用いられる回路基板には、より高密度化が要求され、そのため回路基板の多層化が図られている。多層回路基板は、通常、電気絶縁層と、その表面に形成された導体層とからなる内層基板の上に、電気絶縁層を積層・形成し、この電気絶縁層にレーザ加工により層間接続用のビアホールを形成し、次いでこの上に導体層を形成することによって得られる。電気絶縁層と導体層とは、必要に応じて、数段積層することもできる。このような多層回路基板の導体層が高密度のパターンである場合、往々にして導体層や基板が発熱することにより、電子機器に火災が発生したり、導体層と電気絶縁層との線膨張差による回路の断線が発生するという問題が起きる。そのため電気絶縁層の難燃性向上や低線膨張化、及び層間の接続信頼性が求められている。 With downsizing, multi-functionalization, high-speed communication, and the like of electronic devices, circuit boards used in electronic devices are required to have higher density, and therefore circuit boards are being made multilayer. A multilayer circuit board is usually formed by laminating and forming an electrical insulating layer on an inner layer substrate composed of an electrical insulating layer and a conductor layer formed on the surface, and laser processing is applied to the electrical insulating layer for interlayer connection. It is obtained by forming a via hole and then forming a conductor layer thereon. The electrical insulating layer and the conductor layer can be laminated in several stages as required. When the conductor layer of such a multilayer circuit board has a high-density pattern, the conductor layer or the board often generates heat, causing a fire in the electronic device or a linear expansion between the conductor layer and the electrical insulating layer. There arises a problem that the circuit breaks due to the difference. Therefore, improvement in flame retardancy and low linear expansion of the electrical insulating layer and connection reliability between the layers are required.
また、使用済みの多層回路基板は焼却されることが多いが、従来、電気絶縁層にはハロゲン系難燃剤が配合されているため(特許文献1)、焼却時にハロゲン系有害物質が発生するという問題があった。 In addition, used multilayer circuit boards are often incinerated. Conventionally, since halogen-based flame retardants are blended in the electrical insulation layer (Patent Document 1), it is said that halogen-based harmful substances are generated during incineration. There was a problem.
さらに、難燃剤を配合した電気絶縁層は、強度が不十分で衝撃や熱履歴を受けることにより、クラックの発生、線膨張の増加、電気特性の低下が発生する場合があった。電気絶縁層の高強度化、及び低線膨張化とするためにガラスクロスで補強することが行われているが、この方法では電気特性がさらに低下し、また、難燃剤が電気絶縁層全体に均一に行き渡らずに難燃性が不十分となる場合があった。 Furthermore, an electrical insulating layer containing a flame retardant has insufficient strength and may experience impact and thermal history, resulting in occurrence of cracks, increased linear expansion, and decreased electrical characteristics. In order to increase the strength of the electrical insulating layer and to reduce the linear expansion, it is reinforced with glass cloth, but this method further reduces the electrical characteristics, and the flame retardant is applied to the entire electrical insulating layer. In some cases, the flame retardancy may be insufficient without uniform distribution.
一方、電気絶縁層に用いられる多層配線板用接着シートとして、ガラスクロスによる補強の代わりに、ポリエステルからなる不織布に熱硬化型樹脂組成物を含浸、乾燥させ半硬化状態の複合樹脂成形体が提案されている(特許文献2)。 On the other hand, as an adhesive sheet for multilayer wiring boards used in electrical insulation layers, instead of reinforcing with glass cloth, a semi-cured composite resin molding is proposed by impregnating a thermosetting resin composition into a nonwoven fabric made of polyester and drying it. (Patent Document 2).
近年、多層回路基板を構成する層の厚みを抑え、高密度化を測ることが検討されている。
特許文献2において具体的に用いられた不織布と同じ繊維径で、特許文献2において具体的に用いられたものより薄い不織布を用いた場合に、層間接続用のビアホールが均一な大きさで加工されないことが分かった。
本発明の目的は、微細な配線パターンを形成することが可能でレーザ加工形状が良好な多層回路基板、およびこれを得るのに好適で、低線膨張、難燃性及び絶縁層の平坦性に優れ、かつ、焼却時に有害物質が発生しにくい複合樹脂成形体を提供することにある。
In recent years, it has been studied to suppress the thickness of the layers constituting the multilayer circuit board and measure the density.
When a non-woven fabric having the same fiber diameter as that specifically used in Patent Document 2 and thinner than that specifically used in Patent Document 2 is used, the via hole for interlayer connection is not processed with a uniform size. I understood that.
An object of the present invention is to provide a multilayer circuit board that can form a fine wiring pattern and has a good laser processing shape, and is suitable for obtaining this, and has low linear expansion, flame retardancy, and flatness of an insulating layer. An object of the present invention is to provide a composite resin molded article that is excellent and hardly generates harmful substances during incineration.
本発明者は上記問題を解決するべく鋭意検討した結果、繊維径が所定範囲の繊維からなる不織布を用いるとレーザ加工形状が安定することを見いだし見出し、この知見に基づき本発明を完成するに到った。 As a result of intensive studies to solve the above problems, the present inventor has found that the use of a non-woven fabric made of fibers having a fiber diameter within a predetermined range finds that the laser processing shape is stable, and based on this finding, the present invention has been completed. It was.
かくして本発明によれば、以下の(1)〜(7)が提供される。
(1)重量平均分子量が10,000〜250,000で、カルボキシル基又は酸無水物基を有し、酸価が5〜200mgKOH/gである重合体(A)、および硬化剤(B)を含有する硬化性樹脂組成物を、繊維径が0.05〜2μmである繊維状基材に含浸してなる複合樹脂成形体。
(2)重合体(A)が脂環式オレフィン重合体である前記(1)記載の複合樹脂成形体。
(3)重量平均分子量が10,000〜250,000で、カルボキシル基又は酸無水物基を有し、酸価が5〜200mgKOH/gである重合体(A)、硬化剤(B)、および有機溶剤を含有する硬化性樹脂組成物を、繊維径が0.05〜2μmである繊維状基材に含浸し、乾燥することを特徴とする複合樹脂成形体の製造方法。
(4)前記(1)又は(2)記載の複合樹脂成形体を硬化してなる硬化物。
(5)表面に導体層を有する基板と前記(4)記載の硬化物からなる電気絶縁層とを積層してなる積層体。
(6)表面に導体層を有する基板上に、前記(1)又は(2)記載の複合樹脂成形体を加熱圧着し、硬化して電気絶縁層を形成することを特徴とする前記(4)記載の積層体の製造方法。
(7)前記(4)記載の積層体の、電気絶縁層上にさらに導体層を形成してなる多層回路基板。
Thus, according to the present invention, the following (1) to (7) are provided.
(1) A polymer (A) having a weight average molecular weight of 10,000 to 250,000, a carboxyl group or an acid anhydride group, and an acid value of 5 to 200 mgKOH / g, and a curing agent (B). A composite resin molded article obtained by impregnating a fibrous base material having a fiber diameter of 0.05 to 2 μm with a curable resin composition contained therein.
(2) The composite resin molded article according to (1), wherein the polymer (A) is an alicyclic olefin polymer.
(3) a polymer (A) having a weight average molecular weight of 10,000 to 250,000, having a carboxyl group or an acid anhydride group, and having an acid value of 5 to 200 mgKOH / g, a curing agent (B), and A method for producing a composite resin molded article, comprising impregnating a fibrous base material having a fiber diameter of 0.05 to 2 μm with a curable resin composition containing an organic solvent and drying.
(4) Hardened | cured material formed by hardening | curing the composite resin molding as described in said (1) or (2).
(5) A laminate formed by laminating a substrate having a conductor layer on the surface and an electrical insulating layer made of the cured product described in (4) above.
(6) The above-mentioned (4), wherein the composite resin molded body according to (1) or (2) is thermocompression-bonded on a substrate having a conductor layer on the surface and cured to form an electrical insulating layer. The manufacturing method of the laminated body of description.
(7) A multilayer circuit board obtained by further forming a conductor layer on the electrically insulating layer of the laminate according to (4).
1)複合樹脂成形体
本発明の複合樹脂成形体は、重量平均分子量が10,000〜250,000で、カルボキシル基又は酸無水物基(以下、この両者をまとめて「カルボキシル基等」と記すことがある。)を有し、酸価が5〜200mgKOH/gである重合体(A)、および硬化剤(B)を含有する硬化性樹脂組成物を、繊維径が0.05〜2μmである繊維状基材に含浸してなる。
1) Composite resin molded body The composite resin molded body of the present invention has a weight average molecular weight of 10,000 to 250,000, and is referred to as a carboxyl group or an acid anhydride group (hereinafter, both are collectively referred to as “carboxyl group etc.”). A curable resin composition containing a polymer (A) having an acid value of 5 to 200 mg KOH / g, and a curing agent (B), having a fiber diameter of 0.05 to 2 μm. A certain fibrous base material is impregnated.
本発明で用いる重合体(A)の重量平均分子量(Mw)は、通常10,000〜250,000、好ましくは15,000〜150,000であり、より好ましくは20,000〜100,000である。重合体(A)のMwが小さすぎると、得られる電気絶縁層の強度が不十分になり、また、電気絶縁性が低下するおそれがある。一方、Mwが大きすぎると、重合体(A)と硬化剤(B)との相溶性が低下して電気絶縁層の表面粗度が大きくなり、配線パターンの精度が低下する可能性がある。 The weight average molecular weight (Mw) of the polymer (A) used in the present invention is usually 10,000 to 250,000, preferably 15,000 to 150,000, more preferably 20,000 to 100,000. is there. If the Mw of the polymer (A) is too small, the strength of the obtained electrical insulation layer becomes insufficient, and the electrical insulation properties may be lowered. On the other hand, if Mw is too large, the compatibility between the polymer (A) and the curing agent (B) decreases, the surface roughness of the electrical insulating layer increases, and the accuracy of the wiring pattern may decrease.
重合体(A)のカルボキシル基等の含有量は、酸価が30〜100mgKOH/gとなる範囲が好ましく、40〜80mgKOH/gとなる範囲がより好ましい。酸価が小さすぎる(即ち、カルボキシル基等が少なすぎる)とめっき密着性や耐熱性が低下するおそれがあり、酸価が大きすぎると電気絶縁性が低下する可能性がある。 The content of the carboxyl group and the like of the polymer (A) is preferably in a range where the acid value is 30 to 100 mgKOH / g, and more preferably in a range where it is 40 to 80 mgKOH / g. If the acid value is too small (that is, there are too few carboxyl groups, etc.), the plating adhesion and heat resistance may be lowered, and if the acid value is too large, the electrical insulation property may be lowered.
重合体(A)は上記のMw及びカルボキシル基等を有し、電気絶縁性のものであれば制限されない。重合体(A)の電気絶縁性は、そのASTM D257による体積固有抵抗が、1×1012Ω・cm以上であることが好ましく、1×1013Ω・cm以上であることがより好ましく、1×1014Ω・cm以上であることが特に好ましい。 A polymer (A) will not be restrict | limited if it has said Mw, a carboxyl group, etc., and is an electrical insulation thing. Regarding the electrical insulation of the polymer (A), the volume resistivity according to ASTM D257 is preferably 1 × 10 12 Ω · cm or more, more preferably 1 × 10 13 Ω · cm or more. It is particularly preferable that it is × 10 14 Ω · cm or more.
重合体(A)の骨格をなす重合体(即ち、カルボキシル基等を水素で置換した構造の重合体、ないし、カルボキシル基等を除去した構造の重合体)は、特に限定されないが、その具体例としては、エポキシ樹脂、マレイミド樹脂、(メタ)アクリル樹脂、ジアリルフタレート樹脂、トリアジン樹脂、脂環式オレフィン重合体、芳香族ポリエーテル重合体、ベンゾシクロブテン重合体、シアネートエステル重合体、およびポリイミド樹脂などが挙げられ、これらは1種単独で又は2種以上併せて使用できる。これらの中でも、誘電率や誘電正接などの電気特性が優れているので脂環式オレフィン重合体、芳香族ポリエーテル
重合体、ベンゾシクロブテン重合体、シアネートエステル重合体及びポリイミド樹脂が好ましく、脂環式オレフィン重合体及び芳香族ポリエーテル重合体がより好ましく、脂環式オレフィン重合体が特に好ましい。
The polymer constituting the skeleton of the polymer (A) (that is, a polymer having a structure in which a carboxyl group or the like is substituted with hydrogen, or a polymer having a structure in which a carboxyl group or the like is removed) is not particularly limited, but specific examples thereof As epoxy resin, maleimide resin, (meth) acrylic resin, diallyl phthalate resin, triazine resin, alicyclic olefin polymer, aromatic polyether polymer, benzocyclobutene polymer, cyanate ester polymer, and polyimide resin These may be used alone or in combination of two or more. Among these, alicyclic olefin polymer, aromatic polyether polymer, benzocyclobutene polymer, cyanate ester polymer and polyimide resin are preferable because of excellent electrical properties such as dielectric constant and dielectric loss tangent. An olefin polymer and an aromatic polyether polymer are more preferable, and an alicyclic olefin polymer is particularly preferable.
本発明において、脂環式オレフィン重合体は、脂環式オレフィンの単独重合体及び共重合体並びにこれらの誘導体(水素添加物等)のほか、これらと同等の構造を有する重合体の総称である。また、重合の様式は、付加重合であっても開環重合であってもよい。
脂環式オレフィン重合体の具体例としては、ノルボルネン系単量体の開環重合体及びその水素添加物、ノルボルネン系単量体の付加重合体、ノルボルネン系単量体とビニル化合物との付加重合体、単環シクロアルケン付加重合体、脂環式共役ジエン重合体、ビニル系脂環式炭化水素重合体及びその水素添加物を挙げることができる。更に、芳香族オレフィン重合体の芳香環水素添加物等の、重合後の水素化によって脂環構造が形成されて、脂環式オレフィン重合体と同等の構造を有するに至った重合体もその一例である。これらの中でも、ノルボルネン系単量体の開環重合体及びその水素添加物、ノルボルネン系単量体の付加重合体、ノルボルネン系単量体とビニル化合物との付加重合体、芳香族オレフィン重合体の芳香環水素添加物が好ましく、特にノルボルネン系単量体の開環重合体の水素添加物が好ましい。
In the present invention, the alicyclic olefin polymer is a general term for alicyclic olefin homopolymers and copolymers, and derivatives thereof (hydrogenated products, etc.), as well as polymers having structures equivalent to these. . The polymerization mode may be addition polymerization or ring-opening polymerization.
Specific examples of alicyclic olefin polymers include ring-opening polymers of norbornene monomers and hydrogenated products thereof, addition polymers of norbornene monomers, addition weights of norbornene monomers and vinyl compounds. Examples thereof include a polymer, a monocyclic cycloalkene addition polymer, an alicyclic conjugated diene polymer, a vinyl alicyclic hydrocarbon polymer, and a hydrogenated product thereof. An example is a polymer in which an alicyclic structure is formed by hydrogenation after polymerization, such as an aromatic olefin hydrogenated product of an aromatic olefin polymer, and has a structure equivalent to an alicyclic olefin polymer. It is. Among these, ring-opening polymers of norbornene monomers and hydrogenated products thereof, addition polymers of norbornene monomers, addition polymers of norbornene monomers and vinyl compounds, aromatic olefin polymers An aromatic ring hydrogenated product is preferable, and a hydrogenated product of a ring-opening polymer of a norbornene monomer is particularly preferable.
重合体(A)が脂環式オレフィン重合体の場合、カルボキシル基等は、脂環構造を形成する炭素原子に直接結合していても、メチレン基、オキシ基、オキシカルボニルオキシアルキレン基、フェニレン基など他の二価の基を介して結合していてもよい。 When the polymer (A) is an alicyclic olefin polymer, a carboxyl group or the like may be directly bonded to a carbon atom forming an alicyclic structure, but a methylene group, an oxy group, an oxycarbonyloxyalkylene group, a phenylene group And may be bonded through other divalent groups.
本発明で使用する重合体(A)の酸価を上記範囲とする方法は、制限されない。例えば
、(i)カルボキシル基等を含有する脂環式オレフィン単量体を、単独重合し、又は、これと共重合可能な単量体(エチレン、1−ヘキセン、1,4−ヘキサジエン等)と共重合する方法;(ii)カルボキシル基等を含有しない脂環式オレフィン重合体に、カルボキシル基等を有する炭素−炭素不飽和結合含有化合物を、例えばラジカル開始剤存在下で、グラフト結合させることにより、カルボキシル基等を導入する方法;(iii)カルボン酸エステル基等の、カルボキシル基の前駆体となる基を有するノルボルネン系単量体を重合した後、加水分解等によって前駆体基をカルボキシル基へ変換させる方法;等がある。
The method which makes the acid value of the polymer (A) used by this invention the said range is not restrict | limited. For example, (i) a monomer (ethylene, 1-hexene, 1,4-hexadiene, etc.) that is homopolymerized or copolymerizable with an alicyclic olefin monomer containing a carboxyl group or the like A method of copolymerizing; (ii) by graft-bonding a carbon-carbon unsaturated bond-containing compound having a carboxyl group or the like to an alicyclic olefin polymer not containing a carboxyl group or the like, for example, in the presence of a radical initiator. A method of introducing a carboxyl group, etc .; (iii) after polymerizing a norbornene-based monomer having a carboxyl group precursor, such as a carboxylic acid ester group, the precursor group is converted into a carboxyl group by hydrolysis or the like. There is a method of conversion;
(i)の方法に用いられるカルボキシル基含有脂環式オレフィン単量体としては、8−ヒドロキシカルボニルテトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]ドデカ−3−エン、5−ヒドロキシカルボニルビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5−メチル−5−ヒドロキシカルボニルビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5−カルボキシメチル−5−ヒドロキシカルボニルビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、8−メチル−8−ヒドロキシカルボニルテトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]ドデカ−3−エン、8−カルボキシメチル−8−ヒドロキシカルボニルテトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]ドデカ−3−エン、5−エキソ−6−エンド−ジヒドロキシカルボニルビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、8−エキソ−9−エンド−ジヒドロキシカルボニルテトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]ドデカ−3−エンなどが挙げられる。 As the carboxyl group-containing alicyclic olefin monomer used in the method (i), 8-hydroxycarbonyltetracyclo [4.4.0.1 2,5 . 17, 10 ] dodec-3-ene, 5-hydroxycarbonylbicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5-methyl-5-hydroxycarbonylbicyclo [2.2.1] hept-2-ene , 5-carboxymethyl-5-hydroxycarbonylbicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 8-methyl-8-hydroxycarbonyltetracyclo [4.4.0.1 2,5 . 1 7,10 ] dodec-3-ene, 8-carboxymethyl-8-hydroxycarbonyltetracyclo [4.4.0.1 2,5 . 1 7,10 ] dodec-3-ene, 5-exo-6-endo-dihydroxycarbonylbicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 8-exo-9-endo-dihydroxycarbonyltetracyclo [4. 4.0.1 2,5 . 1 7,10 ] dodec-3-ene and the like.
また、(i)の方法に用いられる酸無水物基含有脂環式オレフィン単量体としては、ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン−5,6−ジカルボン酸無水物、テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]ドデカ−3−エン−8,9−ジカルボン酸無水物、ヘキサシクロ[6.6.1.13,6.110,13.02,7.09,14]ヘプタデカ−4−エン−11,12−ジカルボン酸無水物などが挙げられる。 Examples of the acid anhydride group-containing alicyclic olefin monomer used in the method (i) include bicyclo [2.2.1] hept-2-ene-5,6-dicarboxylic acid anhydride, tetracyclo [ 4.4.0.1 2,5 . 1 7,10 ] dodec- 3 -ene-8,9-dicarboxylic anhydride, hexacyclo [6.6.1.1 3,6 . 1 10,13 . 0 2,7 . 0 9,14] etc. heptadec-4-ene-11,12-dicarboxylic acid anhydride.
(ii)の方法に用いられる、カルボキシル基等を有さない脂環式オレフィン重合体を得るための単量体の具体例としては、ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン(慣用名:ノルボルネン)、5−エチル−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5−ブチル−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5−エチリデン−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5−メチリデン−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5−ビニル−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、トリシクロ[4.3.0.12,5]デカ−3,7−ジエン(慣用名:ジシクロペンタジエン)、テトラシクロ[8.4.0.111,14.02,8]テトラデカ−3,5,7,12,11−テトラエン、テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]デカ−3−エン(慣用名:テトラシクロドデセン)、8−メチル−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]ドデカ−3−エン、8−エチル−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]ドデカ−3−エン、8−メチリデン−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]ドデカ−3−エン、8−エチリデン−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]ドデカ−3−エン、8−ビニル−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]ドデカ−3−エン、8−プロペニル−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]ドデカ−3−エン、ペンタシクロ[6.5.1.13,6.02,7.09,13]ペンタデカ−3,10−ジエン、ペンタシクロ[7.4.0.13,6.110,13.02,7]ペンタデカ−4,11−ジエン、シクロペンテン、シクロペンタジエン、1,4−メタノ−1,4,4a,5,10,10a−ヘキサヒドロアントラセン、8−フェニル−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]ドデカ−3−エンなどが挙げられる。 Specific examples of the monomer for obtaining an alicyclic olefin polymer having no carboxyl group and the like used in the method (ii) include bicyclo [2.2.1] hept-2-ene (conventional Name: norbornene), 5-ethyl-bicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5-butyl-bicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5-ethylidene-bicyclo [2.2 .1] Hept-2-ene, 5-methylidene-bicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5-vinyl-bicyclo [2.2.1] hept-2-ene, tricyclo [4.3 .0.1 2,5] deca-3,7-diene (common name: dicyclopentadiene), tetracyclo [8.4.0.1 11,14. 0 2,8 ] tetradeca-3,5,7,12,11-tetraene, tetracyclo [4.4.0.1 2,5 . 1 7,10 ] dec-3-ene (common name: tetracyclododecene), 8-methyl-tetracyclo [4.4.0.1 2,5 . 1 7,10 ] dodec-3-ene, 8-ethyl-tetracyclo [4.4.0.1 2,5 . 1 7,10 ] dodec-3-ene, 8-methylidene-tetracyclo [4.4.0.1 2,5 . 1 7,10 ] dodec-3-ene, 8-ethylidene-tetracyclo [4.4.0.1 2,5 . 1 7,10 ] dodec-3-ene, 8-vinyl-tetracyclo [4.4.0.1 2,5 . 1 7,10 ] dodec-3-ene, 8-propenyl-tetracyclo [4.4.0.1 2,5 . 1 7,10 ] dodec-3-ene, pentacyclo [6.5.1.1 3,6 . 0 2,7 . 0 9,13] pentadeca-3,10-diene, pentacyclo [7.4.0.1 3,6. 1 10,13 . 0 2,7 ] pentadeca-4,11-diene, cyclopentene, cyclopentadiene, 1,4-methano-1,4,4a, 5,10,10a-hexahydroanthracene, 8-phenyl-tetracyclo [4.4. 0.1 2,5 . 1 7,10 ] dodec-3-ene and the like.
また、(ii)の方法に用いられる、カルボキシル基等を有する炭素−炭素不飽和結合含有化合物としては、アクリル酸、メタクリル酸、α−エチルアクリル酸、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリル酸、マレイン酸、フマール酸、イタコン酸、エンドシス−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−5−エン−2,3−ジカルボン酸、メチル−エンドシス−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−5−エン−2,3−ジカルボン酸などの不飽和カルボン酸化合物;無水マレイン酸、クロロ無水マレイン酸、ブテニル無水コハク酸、テトラヒドロ無水フタル酸、無水シトラコン酸などの不飽和カルボン酸無水物;などが挙げられる。 Examples of the carbon-carbon unsaturated bond-containing compound having a carboxyl group or the like used in the method (ii) include acrylic acid, methacrylic acid, α-ethylacrylic acid, 2-hydroxyethyl (meth) acrylic acid, maleic acid. Acid, fumaric acid, itaconic acid, endocis-bicyclo [2.2.1] hept-5-ene-2,3-dicarboxylic acid, methyl-endocis-bicyclo [2.2.1] hept-5-ene-2 Unsaturated carboxylic acid compounds such as 1,3-dicarboxylic acid; unsaturated carboxylic acid anhydrides such as maleic anhydride, chloromaleic anhydride, butenyl succinic anhydride, tetrahydrophthalic anhydride, citraconic anhydride; and the like.
(iii)の方法に用いられる、カルボキシル基の前駆体となる基を含有するノルボルネン系単量体としては、8−メチル−8−メトキシカルボニルテトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]ドデカ−3−エン、5−メトキシカルボニル−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5−メチル−5−メトキシカルボニル−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エンなどが挙げられる。 As a norbornene-type monomer containing the group used as the precursor of a carboxyl group used for the method of (iii), 8-methyl-8-methoxycarbonyl tetracyclo [4.4.0.1 2,5 . 17, 10 ] dodec-3-ene, 5-methoxycarbonyl-bicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5-methyl-5-methoxycarbonyl-bicyclo [2.2.1] hept-2 -Ene and the like.
重合体(A)は、カルボキシル基等以外の官能基(以下、「他の官能基」ということがある。)を有していてもよい。他の官能基としては、アルコキシカルボニル基、シアノ基、水酸基、エポキシ基、アルコキシル基、アミノ基、アミド基、イミド基等が挙げられる。これら他の官能基の量は、カルボキシル基等に対して30モル%以下であることが好ましく、10モル%以下であることがより好ましく、1モル%以下であることが特に好ましい。 The polymer (A) may have a functional group other than a carboxyl group or the like (hereinafter also referred to as “other functional group”). Examples of other functional groups include an alkoxycarbonyl group, a cyano group, a hydroxyl group, an epoxy group, an alkoxyl group, an amino group, an amide group, and an imide group. The amount of these other functional groups is preferably 30 mol% or less, more preferably 10 mol% or less, and particularly preferably 1 mol% or less with respect to the carboxyl group or the like.
重合体(A)のMwを上記範囲に調整する方法は常法に従えばよく、例えば、チタン系又はタングステン系触媒を用いて脂環式オレフィンの開環重合を行うに際して、ビニル化合物、ジエン化合物等の分子量調整剤を、単量体全量に対して0.1〜10モル%程度添加する方法が挙げられる。かかる分子量調整剤の具体例は、ビニル化合物としては、1−ブテン、1−ペンテン、1−ヘキセン、1−オクテンなどのα−オレフィン化合物;スチレン、ビニルトルエンなどのスチレン化合物;エチルビニルエーテル、イソブチルビニルエーテル、アリルグリシジルエーテルなどのエーテル化合物;アリルクロライドなどのハロゲン含有ビニル化合物;酢酸アリル、アリルアルコール、グリシジルメタクリレート、アクリルアミドなどのその他のビニル化合物;などが挙げられる。また、ジエン化合物としては、1,4−ペンタジエン、1,5−ヘキサジエン、1,6−ヘプタジエン、2−メチル−1,4−ペンタジエン、2,5−ジメチル−1,5−ヘキサジエンなどの非共役ジエン化合物;1,3−ブタジエン、2−メチル−1,3−ブタジエン、2,3−ジメチル−1,3−ブタジエン、1,3−ペンタジエン、1,3−ヘキサジエンなどの共役ジエン化合物;などが挙げられる。 The method for adjusting the Mw of the polymer (A) to the above range may be in accordance with a conventional method. For example, when ring-opening polymerization of an alicyclic olefin using a titanium-based or tungsten-based catalyst, a vinyl compound or a diene compound. The method of adding about 0.1-10 mol% of molecular weight modifiers, such as such with respect to the monomer whole quantity, is mentioned. Specific examples of such molecular weight regulators include, as vinyl compounds, α-olefin compounds such as 1-butene, 1-pentene, 1-hexene and 1-octene; styrene compounds such as styrene and vinyltoluene; ethyl vinyl ether and isobutyl vinyl ether. And ether compounds such as allyl glycidyl ether; halogen-containing vinyl compounds such as allyl chloride; and other vinyl compounds such as allyl acetate, allyl alcohol, glycidyl methacrylate, and acrylamide. Examples of the diene compound include non-conjugated compounds such as 1,4-pentadiene, 1,5-hexadiene, 1,6-heptadiene, 2-methyl-1,4-pentadiene, and 2,5-dimethyl-1,5-hexadiene. Diene compounds; conjugated diene compounds such as 1,3-butadiene, 2-methyl-1,3-butadiene, 2,3-dimethyl-1,3-butadiene, 1,3-pentadiene, 1,3-hexadiene; Can be mentioned.
重合体(A)のガラス転移温度(Tg)は、120〜300℃であることが好ましい。Tgが低すぎると、得られる電気絶縁層が高温下において充分な電気絶縁性を維持できず、Tgが高すぎると多層配線板が強い衝撃を受けた際にクラックを生じて導体層が破損する可能性がある。 It is preferable that the glass transition temperature (Tg) of a polymer (A) is 120-300 degreeC. If the Tg is too low, the resulting electrical insulation layer cannot maintain sufficient electrical insulation at high temperatures, and if the Tg is too high, the multilayer wiring board is cracked and the conductor layer is damaged when subjected to a strong impact. there is a possibility.
本発明で用いる硬化剤(B)は、加熱により重合体(A)を架橋し得るものであれば限定されない。なかでも、重合体(A)のカルボキシル基等と反応して架橋構造を形成し得る化合物が好ましい。かかる架橋剤としては、多価エポキシ化合物、多価イソシアナート化合物、多価アミン化合物、多価ヒドラジド化合物、アジリジン化合物、塩基性金属酸化物、および有機金属ハロゲン化物などが挙げられる。また、過酸化物を用いてもよい。 The curing agent (B) used in the present invention is not limited as long as it can crosslink the polymer (A) by heating. Especially, the compound which can react with the carboxyl group etc. of a polymer (A) and can form a crosslinked structure is preferable. Examples of such crosslinking agents include polyvalent epoxy compounds, polyvalent isocyanate compounds, polyvalent amine compounds, polyvalent hydrazide compounds, aziridine compounds, basic metal oxides, and organometallic halides. Further, a peroxide may be used.
多価エポキシ化合物としては、例えば、フェノールノボラック型エポキシ化合物、クレゾールノボラック型エポキシ化合物、クレゾール型エポキシ化合物、ビスフェノールA型エポキシ化合物、ビスフェノールF型エポキシ化合物、臭素化ビスフェノールA型エポキシ化合物、臭素化ビスフェノールF型エポキシ化合物、水素添加ビスフェノールA型エポキシ化合物、含リンビスフェノールF型エポキシ化合物などのグリシジルエーテル型エポキシ化合物;脂環式エポキシ化合物、グリシジルエステル型エポキシ化合物、グリシジルアミン型エポキシ化合物、イソシアヌレート型エポキシ化合物などの多価エポキシ化合物;などの分子内に2以上のエポキシ基を有する化合物が挙げられ、これらを1種単独で、又は2種以上併せて使用することができる。 Examples of the polyvalent epoxy compound include a phenol novolak type epoxy compound, a cresol novolak type epoxy compound, a cresol type epoxy compound, a bisphenol A type epoxy compound, a bisphenol F type epoxy compound, a brominated bisphenol A type epoxy compound, and a brominated bisphenol F. Type epoxy compounds, hydrogenated bisphenol A type epoxy compounds, phosphorus-containing bisphenol F type epoxy compounds and other glycidyl ether type epoxy compounds; alicyclic epoxy compounds, glycidyl ester type epoxy compounds, glycidyl amine type epoxy compounds, isocyanurate type epoxy compounds Compounds having two or more epoxy groups in the molecule, such as polyvalent epoxy compounds such as, and the like, and these may be used alone or in combination of two or more. Can.
多価イソシアナート化合物としては、炭素数6〜24の、ジイソシアナート類及びトリイソシアナート類が好ましい。ジイソシアナート類の例としては、2,4−トリレンジイソシアナート、2,6−トリレンジイソシアナート、4,4’−ジフェニルメタンジイソシアナート、ヘキサメチレンジイソシアナート、p−フェニレンジイソシアナートなどが挙げられる。トリイソシアナート類の例としては、1,3,6−ヘキサメチレントリイソシアナート、1,6,11−ウンデカントリイソシアナート、ビシクロヘプタントリイソシアナートなどが挙げられ、これらを1種単独で、又は2種以上併せて使用することができる。 As the polyvalent isocyanate compound, diisocyanates and triisocyanates having 6 to 24 carbon atoms are preferable. Examples of diisocyanates include 2,4-tolylene diisocyanate, 2,6-tolylene diisocyanate, 4,4′-diphenylmethane diisocyanate, hexamethylene diisocyanate, p-phenylene diisocyanate, etc. Is mentioned. Examples of triisocyanates include 1,3,6-hexamethylene triisocyanate, 1,6,11-undecane triisocyanate, bicycloheptane triisocyanate, and the like. Two or more types can be used in combination.
多価アミン化合物としては、2個以上のアミノ基を有する炭素数4〜30の脂肪族多価アミン化合物、芳香族多価アミン化合物などが挙げられ、グアニジン化合物のように非共役の窒素−炭素二重結合を有するものは含まれない。脂肪族多価アミン化合物としては、ヘキサメチレンジアミン、N,N’−ジシンナミリデン−1,6−ヘキサンジアミンなどが挙げられる。芳香族多価アミン化合物としては、4,4’−メチレンジアニリン、m−フェニレンジアミン、4,4’−ジアミノジフェニルエーテル、4’−(m−フェニレンジイソプロピリデン)ジアニリン、4,4’−(p−フェニレンジイソプロピリデン)ジアニリン、2,2’−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]プロパン、1,3,5−ベンゼントリアミンなどが挙げられ、これらを1種単独で又は2種以上併せて使用することができる。 Examples of the polyvalent amine compound include aliphatic polyamine compounds having 4 to 30 carbon atoms having two or more amino groups, aromatic polyamine compounds, and the like, and non-conjugated nitrogen-carbon such as guanidine compounds. Those having a double bond are not included. Examples of the aliphatic polyvalent amine compound include hexamethylene diamine, N, N′-dicinnamylidene-1,6-hexane diamine, and the like. Examples of aromatic polyvalent amine compounds include 4,4′-methylenedianiline, m-phenylenediamine, 4,4′-diaminodiphenyl ether, 4 ′-(m-phenylenediisopropylidene) dianiline, 4,4 ′-( p-phenylenediisopropylidene) dianiline, 2,2′-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] propane, 1,3,5-benzenetriamine, and the like. These can be used together.
多価ヒドラジド化合物の例としては、イソフタル酸ジヒドラジド、テレフタル酸ジヒドラジド、2,6−ナフタレンジカルボン酸ジヒドラジド、マレイン酸ジヒドラジド、イタコン酸ジヒドラジド、トリメリット酸ジヒドラジド、1,3,5−ベンゼントリカルボン酸ジヒドラジド、ピロメリット酸ジヒドラジドなどが挙げられ、これらを1種単独で、又は2種以上併せて使用することができる。 Examples of polyhydric hydrazide compounds include isophthalic acid dihydrazide, terephthalic acid dihydrazide, 2,6-naphthalenedicarboxylic acid dihydrazide, maleic acid dihydrazide, itaconic acid dihydrazide, trimellitic acid dihydrazide, 1,3,5-benzenetricarboxylic acid dihydrazide, Examples include pyromellitic acid dihydrazide and the like. These may be used alone or in combination of two or more.
アジリジン化合物としては、トリス−2,4,6−(1−アジリジニル)−1,3,5−トリアジン、トリス[1−(2−メチル)アジリジニル]ホスフィノキシド、ヘキサ[1−(2−メチル)アジリジニル]トリホスファトリアジンなどが挙げられ、これらを1種、又は2種以上併せて使用することができる。 Examples of the aziridine compounds include tris-2,4,6- (1-aziridinyl) -1,3,5-triazine, tris [1- (2-methyl) aziridinyl] phosphinoxide, hexa [1- (2-methyl) aziridinyl. ] Triphosphatriazine etc. are mentioned, These can be used 1 type or in combination of 2 or more types.
これらの硬化剤の中でも、重合体(A)との反応性が緩やかであり、得られる複合樹脂成形体の溶融、加工、積層が容易なので、多価エポキシ化合物が好ましく、ビスフェノールAビス(プロピレングリコールグリシジルエーテル)エーテルなどのビスフェノールA型エポキシ化合物が好ましい。硬化剤(B)の使用量は、重合体(A)100重量部に対して、通常1〜100重量部、好ましくは5〜80重量部、より好ましくは10〜50重量部の範囲である。 Among these curing agents, the reactivity with the polymer (A) is moderate, and the resulting composite resin molded body is easy to melt, process and laminate, so a polyvalent epoxy compound is preferred, and bisphenol A bis (propylene glycol) Bisphenol A type epoxy compounds such as glycidyl ether) ether are preferred. The usage-amount of a hardening | curing agent (B) is 1-100 weight part normally with respect to 100 weight part of polymers (A), Preferably it is 5-80 weight part, More preferably, it is the range of 10-50 weight part.
本発明に用いられる硬化性樹脂組成物は、さらに硬化促進剤を含有することが好ましい。硬化性樹脂組成物が硬化促進剤を含有すると、耐熱性の高い硬化物を容易に得ることができる。例えば、硬化剤(B)として多価エポキシ化合物を用いる場合には、第3級アミン化合物や三弗化ホウ素錯化合物などの硬化促進剤が好適に用いられる。中でも、第3級アミン化合物を使用すると、微細配線に対する積層性、絶縁抵抗性、耐熱性、耐薬品性等が向上するので好ましい。 The curable resin composition used in the present invention preferably further contains a curing accelerator. When the curable resin composition contains a curing accelerator, a cured product having high heat resistance can be easily obtained. For example, when a polyvalent epoxy compound is used as the curing agent (B), a curing accelerator such as a tertiary amine compound or a boron trifluoride complex compound is preferably used. Among these, the use of a tertiary amine compound is preferable because the lamination property to fine wiring, insulation resistance, heat resistance, chemical resistance, and the like are improved.
第3級アミン化合物の具体例としては、ベンジルメチルアミン、トリエタノールアミン、トリエチルアミン、トリブチルアミン、トリベンジルアミン、ジメチルホルムアミド等の鎖状3級アミン化合物;ピラゾール類、ピリジン類、ピラジン類、ピリミジン類、インダゾール類、キノリン類、イソキノリン類、イミダゾール類、トリアゾール類等の含窒素ヘテロ環化合物;等が挙げられる。これらの中で、イミダゾール類、特に置換基を有する置換イミダゾール化合物が好ましい。 Specific examples of tertiary amine compounds include chain tertiary amine compounds such as benzylmethylamine, triethanolamine, triethylamine, tributylamine, tribenzylamine, dimethylformamide; pyrazoles, pyridines, pyrazines, pyrimidines And nitrogen-containing heterocyclic compounds such as indazoles, quinolines, isoquinolines, imidazoles, and triazoles. Among these, imidazoles, particularly substituted imidazole compounds having a substituent are preferable.
置換イミダゾール化合物の具体例としては、2−エチルイミダゾール、2−エチル−4−メチルイミダゾール、ビス−2−エチル−4−メチルイミダゾール、1−メチル−2−エチルイミダゾール、2−イソプロピルイミダゾール、2,4−ジメチルイミダゾール、2−ヘプタデシルイミダゾール等のアルキル置換イミダゾール化合物;2−フェニルイミダゾール、1−ベンジル−2−メチルイミダゾール、1−ベンジル−2−エチルイミダゾール、ベンズイミダゾール、2−エチル−4−メチル−1−(2’−シアノエチル)イミダゾール、2−エチル−4−メチル−1−[2’−(3”,5”−ジアミノトリアジニル)エチル]イミダゾール、1−ベンジル−2−フェニルイミダゾール等のアリール基やアラルキル基等の環構造を有する炭化水素基で置換されたイミダゾール化合物;等が挙げられる。これらの中でも、環構造を有する炭化水素基で置換されたイミダゾール化合物が好ましく、特に1−ベンジル−2−フェニルイミダゾールが好ましい。 Specific examples of the substituted imidazole compound include 2-ethylimidazole, 2-ethyl-4-methylimidazole, bis-2-ethyl-4-methylimidazole, 1-methyl-2-ethylimidazole, 2-isopropylimidazole, 2, Alkyl-substituted imidazole compounds such as 4-dimethylimidazole and 2-heptadecylimidazole; 2-phenylimidazole, 1-benzyl-2-methylimidazole, 1-benzyl-2-ethylimidazole, benzimidazole, 2-ethyl-4-methyl -1- (2′-cyanoethyl) imidazole, 2-ethyl-4-methyl-1- [2 ′-(3 ″, 5 ″ -diaminotriazinyl) ethyl] imidazole, 1-benzyl-2-phenylimidazole, and the like Having a ring structure such as an aryl group or an aralkyl group Imidazole compounds substituted with a hydrocarbon group; and the like. Among these, an imidazole compound substituted with a hydrocarbon group having a ring structure is preferable, and 1-benzyl-2-phenylimidazole is particularly preferable.
これらの硬化促進剤は、それぞれ単独で又は二種以上を組み合わせて用いられる。硬化促進剤の配合量は使用目的に応じて適宜設定されるが、重合体(A)100重量部に対して、通常0.001〜30重量部、好ましくは0.01〜10重量部、より好ましくは0.03〜5重量部である。 These curing accelerators are used alone or in combination of two or more. Although the compounding quantity of a hardening accelerator is suitably set according to a use purpose, 0.001-30 weight part normally with respect to 100 weight part of polymers (A), Preferably it is 0.01-10 weight part, or more. Preferably it is 0.03-5 weight part.
繊維状基材は、繊維を成形したものであり、織布や不織布が挙げられ、特に不織布が好ましい。
繊維状基材を構成する繊維は、熱可塑性樹脂であり、融点が160℃以上のものが好ましい。好適な熱可塑性樹脂としては、ポリエステル、ポリエステルアミド、ポリイミド、ポリアラミド、ポリフェニレンスルフィドなどが挙げられ、特に、ポリエステル、ポリイミド、及びポリアラミドが好ましい。
繊維を構成する熱可塑性樹脂の重量平均分子量は、通常1,000〜1,000,000、好ましくは5,000〜500,000である。
The fibrous base material is obtained by molding fibers, and examples thereof include woven fabrics and nonwoven fabrics, and nonwoven fabrics are particularly preferable.
The fiber constituting the fibrous base material is a thermoplastic resin and preferably has a melting point of 160 ° C. or higher. Suitable thermoplastic resins include polyesters, polyester amides, polyimides, polyaramids, polyphenylene sulfides, and the like, and polyesters, polyimides, and polyaramids are particularly preferable.
The weight average molecular weight of the thermoplastic resin constituting the fiber is usually 1,000 to 1,000,000, preferably 5,000 to 500,000.
ポリエステルの中では、液晶性ポリエステル、や液晶性ポリエステルアミドのような液晶性のものが好ましい。
液晶性のポリエステルとは、エステル結合を有し液晶状態を示すポリマーである。このような液晶ポリマーとしては、以下に例示する(1)〜(4)の化合物およびそれらの誘導体を適宜組み合わせて共重合させることより得られる公知の液晶ポリエステルおよび液晶ポリエステルアミドを挙げることができる。
(1)芳香族または脂肪族のジヒドロキシ化合物
(2)芳香族または脂肪族のジカルボン酸
(3)芳香族ヒドロキシカルボン酸
(4)芳香族ジアミン、芳香族ヒドロキシルアミンまたは芳香族アミノカルボン酸
なかでも、主鎖中に脂肪族炭化水素を実質的に有しない全芳香族ポリエステルが好ましい。全芳香族ポリエステルの具体例としては、p−ヒドロキシ安息香酸と6−ヒドロキシ−2−ナフトエ酸との共重合体、およびp−ヒドロキシ安息香酸とテレフタル酸と4,4’−ジヒドロキシビフェニルとの共重合体などの、芳香族ジオールと芳香族ジカルボン酸及び/又は芳香族ヒドロキシカルボン酸とを組み合わせて反応させた共重合体が挙げられる。
Among polyesters, liquid crystalline ones such as liquid crystalline polyester and liquid crystalline polyester amide are preferable.
The liquid crystalline polyester is a polymer having an ester bond and showing a liquid crystal state. Examples of such a liquid crystal polymer include known liquid crystal polyesters and liquid crystal polyester amides obtained by appropriately combining the following compounds (1) to (4) and their derivatives.
(1) Aromatic or aliphatic dihydroxy compounds (2) Aromatic or aliphatic dicarboxylic acids (3) Aromatic hydroxycarboxylic acids (4) Aromatic diamines, aromatic hydroxylamines or aromatic aminocarboxylic acids A wholly aromatic polyester having substantially no aliphatic hydrocarbon in the main chain is preferred. Specific examples of the wholly aromatic polyester include a copolymer of p-hydroxybenzoic acid and 6-hydroxy-2-naphthoic acid, and a copolymer of p-hydroxybenzoic acid, terephthalic acid, and 4,4′-dihydroxybiphenyl. Examples of the polymer include a copolymer obtained by reacting an aromatic diol with an aromatic dicarboxylic acid and / or an aromatic hydroxycarboxylic acid.
ポリイミドは、カルボン酸二無水物及びジアミンがともに芳香環を有するものから合成されるものであり、この場合は機械強度や耐熱性に優れている。
具体的なポリイミド樹脂をカルボン酸二無水物とジアミンの組み合わせで例示すると、例えばピロメリット酸二無水物(PMDA)とオキシジアニリン(ODA)との重縮合体;ビフェニルテトラカルボン酸二無水物(BTDA)とパラフェニレンジアミン(PPD)との重縮合体;ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物(BTDA)とベンゾフェノンジアミン(BDA)との重縮合体などが挙げられるが耐熱性、機械強度などの点からBTDAとPPDとの重縮合体が好ましい。
Polyimide is synthesized from both carboxylic dianhydride and diamine having an aromatic ring, and in this case, it is excellent in mechanical strength and heat resistance.
Specific polyimide resin is exemplified by a combination of carboxylic dianhydride and diamine. For example, a polycondensate of pyromellitic dianhydride (PMDA) and oxydianiline (ODA); biphenyltetracarboxylic dianhydride ( Polycondensates of BTDA) and paraphenylenediamine (PPD); polycondensates of benzophenonetetracarboxylic dianhydride (BTDA) and benzophenonediamine (BDA), etc., from the viewpoint of heat resistance, mechanical strength, etc. A polycondensate of BTDA and PPD is preferred.
ポリアラミドは、全芳香族ポリアミド樹脂であり、特に限定されないが、具体的な全芳香族ポリアミド樹脂を例示すると、例えばパラフェニレンジアミドとテレフタル酸クロリドを共縮重合したパラ系アラミド樹脂、メタフェニレンジアミドとイソフタル酸クロリドを共縮重合したメタ系アラミド樹脂が挙げられる。耐熱性、機械強度などの点からパラ系アラミド樹脂が好ましい。 Polyaramid is a wholly aromatic polyamide resin, and is not particularly limited, but specific examples of wholly aromatic polyamide resin include, for example, para-aramid resin co-polymerized paraphenylene diamide and terephthalic acid chloride, metaphenylene diamide and Examples thereof include meta-aramid resins obtained by co-condensation polymerization of isophthalic acid chloride. Para-aramid resins are preferred from the viewpoint of heat resistance and mechanical strength.
繊維状基材の繊維径は、繊維状基材の繊維の太さであり、通常0.05〜2μm、好ましくは0.1〜1.5μm、より好ましくは0.2〜1μmである。繊維径がこの範囲にあると薄く且つ平坦性度の高い繊維状基材を形成することができる。繊維径が0.05μm未満であると繊維基材自体の強度が損なわれ、2μmを超えると繊維基材自体の平坦性が悪化してしまう。
本発明における繊維径は、電子顕微鏡やμスコープで観察される繊維断面の50点平均値で求めた値である。
The fiber diameter of a fibrous base material is the thickness of the fiber of a fibrous base material, and is 0.05-2 micrometers normally, Preferably it is 0.1-1.5 micrometers, More preferably, it is 0.2-1 micrometer. When the fiber diameter is within this range, a fibrous base material having a thin and high flatness can be formed. If the fiber diameter is less than 0.05 μm, the strength of the fiber base material itself is impaired, and if it exceeds 2 μm, the flatness of the fiber base material itself is deteriorated.
The fiber diameter in this invention is the value calculated | required by 50 point average value of the fiber cross section observed with an electron microscope or microscope.
本発明に好適に用いられる繊維状基材である不織布の中でも、上述した高分子をエレクトロスピニング法により作製した不織布が好ましい。
エレクトロスピニング法とは、曳糸性のある紡糸溶液を電極間で形成された正電場中に供給し、溶液を電極に向けて繊維化させ、形成させる繊維状物質を捕集基板(コレクター)上に積層させることによって繊維を得る方法であり、通常の紡糸条件としては紡糸溶液を正電場中に置き、各々の紡糸溶液に関して適正な電圧、紡糸距離などを選択することができるが、特に限定するものではないが、電圧は5.0〜50kV、紡糸距離は5.0〜50cm、単位距離あたりの電圧に換算すると、0.5〜5.0kv/cmであるのが好ましい。
Among the non-woven fabrics that are fibrous base materials suitably used in the present invention, non-woven fabrics prepared by electrospinning the above-described polymers are preferable.
In the electrospinning method, a spinning solution having a spinnability is supplied into a positive electric field formed between electrodes, the solution is made to fiber toward the electrodes, and the fibrous material to be formed is collected on a collection substrate (collector). It is a method of obtaining fibers by laminating to each other, and as usual spinning conditions, the spinning solution can be placed in a positive electric field, and an appropriate voltage, spinning distance, etc. can be selected for each spinning solution, but it is particularly limited Although not intended, the voltage is preferably 5.0 to 50 kV, the spinning distance is 5.0 to 50 cm, and the voltage per unit distance is preferably 0.5 to 5.0 kv / cm.
紡糸溶液供給部はノズルや口金から押し出す方法や、紡糸溶液中に浸した円盤やドラムに、必要量となるように紡糸溶液を付着させ、連続回転させることによる供給方法が挙げられる。ノズルや口金から供給する場合、吐出部の内径は不織布の繊維径と相関がないため、限定はない。 Examples of the spinning solution supply unit include a method of extruding from a nozzle or a base, and a method of supplying by spinning a spinning solution so that it becomes a required amount on a disk or drum immersed in the spinning solution and continuously rotating. When supplying from a nozzle or a nozzle | cap | die, since the internal diameter of a discharge part has no correlation with the fiber diameter of a nonwoven fabric, there is no limitation.
紡糸溶液に用いる溶液は、ポリエステル、ポリエステルアミド、ポリイミド、ポリアラミドからなる樹脂をそれぞれ溶解することができる溶液であれば特に限定されない。紡糸溶液におけるポリエステル、ポリエステルアミド、ポリイミド、ポリアラミドからなる樹脂の濃度は、通常0.5〜50重量%、好ましくは1.0〜40重量%、より好ましくは5.0〜30重量%である。0.5重量%未満の場合、繊維化が困難となり、また、50重量%を超える場合、繊維径が大きくなりすぎてしまい、不織布の粗密が大きくなる。 The solution used for the spinning solution is not particularly limited as long as it can dissolve resins made of polyester, polyesteramide, polyimide, and polyaramid. The density | concentration of resin which consists of polyester, polyesteramide, a polyimide, and polyaramid in a spinning solution is 0.5 to 50 weight% normally, Preferably it is 1.0 to 40 weight%, More preferably, it is 5.0 to 30 weight%. When the amount is less than 0.5% by weight, fiberization becomes difficult. When the amount exceeds 50% by weight, the fiber diameter becomes too large, and the density of the nonwoven fabric increases.
本発明に用いられる繊維状基材の厚みとしては、通常0.5〜50μm、好ましくは2〜35μm、より好ましくは5〜20μmである。また、目付け量としては、通常0.1〜50g/m2、好ましくは0.5〜35g/m2、より好ましくは1〜25g/m2である。目付け量とは、繊維状基材の単位面積当たりの重量である。 The thickness of the fibrous base material used in the present invention is usually 0.5 to 50 μm, preferably 2 to 35 μm, more preferably 5 to 20 μm. Moreover, as a fabric weight, it is 0.1-50 g / m < 2 > normally, Preferably it is 0.5-35 g / m < 2 >, More preferably, it is 1-25 g / m < 2 >. The basis weight is the weight per unit area of the fibrous base material.
本発明の複合樹脂成形体は、上記の硬化性樹脂組成物を繊維状基材に含浸してなるが、該複合樹脂成形体は、未硬化であっても半硬化であってもよい。ここで未硬化とは、重合体(A)を溶解可能な溶剤に、実質的に重合体(A)全部が溶解する状態である。半硬化とは、加熱すれば更に硬化しうる程度に途中まで硬化された状態であり、好ましくは、重合体(A)を溶解可能な溶剤に重合体(A)の一部(具体的には7重量%以上)が溶解する状態であるか、溶剤中に複合樹脂成形体を24時間浸漬した時の膨潤率が、浸漬前の体積の200%以上である状態をいう。 The composite resin molded body of the present invention is formed by impregnating a fibrous base material with the above curable resin composition, but the composite resin molded body may be uncured or semi-cured. Here, “uncured” refers to a state in which substantially all of the polymer (A) is dissolved in a solvent capable of dissolving the polymer (A). Semi-cured is a state in which the polymer (A) is partially cured to a degree that can be further cured by heating, and preferably a part of the polymer (A) (specifically, in a solvent capable of dissolving the polymer (A)) 7% by weight or more) is dissolved, or the swelling rate when the composite resin molded body is immersed in a solvent for 24 hours is 200% or more of the volume before immersion.
本発明の複合樹脂成形体中の、繊維状基材の量は、通常10〜95重量%、好ましくは20〜85重量%である。繊維状基材の量は、例えば重合体(A)が未硬化の場合には、重合体(A)を溶解可能で繊維状基材を溶解しない溶剤に複合樹脂成形体を溶解させて得られる不溶分から測定できる。繊維状基材の量が小さすぎると難燃性が低下する場合があり、また大きすぎると積層時の厚みの制御が困難になる場合がある。 The amount of the fibrous base material in the composite resin molded body of the present invention is usually 10 to 95% by weight, preferably 20 to 85% by weight. For example, when the polymer (A) is uncured, the amount of the fibrous base material is obtained by dissolving the composite resin molded body in a solvent that can dissolve the polymer (A) but not the fibrous base material. It can be measured from the insoluble matter. If the amount of the fibrous base material is too small, the flame retardancy may decrease, and if it is too large, it may be difficult to control the thickness at the time of lamination.
硬化性樹脂組成物を繊維状基材に含浸させる方法は特に限定されないが、硬化性樹脂組成物を有機溶剤に溶解又は分散させたワニスとし、これを繊維状基材に含浸させ、乾燥することが好ましい。硬化性樹脂組成物をワニスとして用いる場合は、上記重合体(A)は、該有機溶剤に常温で可溶であることが好ましい。 The method for impregnating the fibrous base material with the curable resin composition is not particularly limited, but a varnish obtained by dissolving or dispersing the curable resin composition in an organic solvent is impregnated into the fibrous base material and dried. Is preferred. When the curable resin composition is used as a varnish, the polymer (A) is preferably soluble in the organic solvent at room temperature.
用いられる有機溶剤は、沸点が好ましくは30〜250℃、より好ましくは50〜200℃のものである。沸点がこの範囲であると、後に加熱して揮散させ、乾燥するのに好適である。かかる有機溶剤の例としては、トルエン、キシレン、エチルベンゼン、トリメチルベンゼンなどの芳香族炭化水素;n−ペンタン、n−ヘキサン、n−ヘプタンなどの脂肪族炭化水素;シクロペンタン、シクロヘキサンなどの脂環式炭化水素;クロロベンゼン、ジクロロベンゼン、トリクロロベンゼンなどのハロゲン化炭化水素;メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロペンタノン、シクロヘキサノンなどを挙げることができる。 The organic solvent to be used has a boiling point of preferably 30 to 250 ° C, more preferably 50 to 200 ° C. When the boiling point is within this range, it is suitable for heating and volatilizing and drying later. Examples of such organic solvents include aromatic hydrocarbons such as toluene, xylene, ethylbenzene and trimethylbenzene; aliphatic hydrocarbons such as n-pentane, n-hexane and n-heptane; alicyclics such as cyclopentane and cyclohexane Hydrocarbons; halogenated hydrocarbons such as chlorobenzene, dichlorobenzene, trichlorobenzene; methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, cyclopentanone, cyclohexanone, and the like.
ワニスの調製法に格別な制限はなく、例えば、重合体(A)、硬化剤(B)、有機溶剤および必要に応じ配合される任意成分を常法に従って混合すればよい。混合に用いられる混合機としては、マグネチックスターラー、高速ホモジナイザー、ディスパー、遊星攪拌機、二軸攪拌機、ボールミル、三本ロールなどを挙げることができる。混合温度は、硬化剤(B)による硬化反応を起こさない範囲で、かつ有機溶剤の沸点以下が好ましい。有機溶剤の使用量は、所望の複合樹脂成形体の厚みや表面平坦度に応じて適宜選択されるが、ワニスの固形分濃度が、通常5〜70重量%、好ましくは10〜65重量%、より好ましくは20〜60重量%になる範囲である。 There is no special restriction | limiting in the preparation method of a varnish, For example, what is necessary is just to mix a polymer (A), a hardening | curing agent (B), an organic solvent, and the arbitrary component mix | blended as needed according to a conventional method. Examples of the mixer used for mixing include a magnetic stirrer, a high-speed homogenizer, a disper, a planetary stirrer, a twin-screw stirrer, a ball mill, and a three roll. The mixing temperature is preferably within the range where no curing reaction is caused by the curing agent (B) and not more than the boiling point of the organic solvent. The amount of the organic solvent used is appropriately selected according to the desired thickness and surface flatness of the composite resin molded article, but the solid content concentration of the varnish is usually 5 to 70% by weight, preferably 10 to 65% by weight, More preferably, it is the range which becomes 20 to 60 weight%.
ワニスを繊維状基材に含浸させる方法としては、特に限定されないが、その例としては、デイップコート、ロールコート、カーテンコート、ダイコート、スリットコート等により塗布する方法を挙げることができる。 The method of impregnating the varnish into the fibrous base material is not particularly limited, and examples thereof include a method of applying by dip coating, roll coating, curtain coating, die coating, slit coating and the like.
塗布の際には、予め繊維状基材を支持体上に設置しておき、ここに上記ワニスを塗布してもよい。支持体としては、樹脂フィルムや金属箔等が挙げられる。樹脂フィルムとしては、ポリエチレンテレフタレートフィルム、ポリプロピレンフィルム、ポリエチレンフィルム、ポリカーボネートフィルム、ポリエチレンナフタレートフィルム、ポリアリレートフィルム、ナイロンフィルム等が挙げられる。これらのフィルムのうち、耐熱性、耐薬品性、剥離性等の観点からポリエチレンテレフタレートフィルム及びポリエチレンナフタレートフィルムが好ましい。
金属箔としては、銅箔、アルミ箔、ニッケル箔、クロム箔、金箔、銀箔等が挙げられる。中でも、導電性が良好である点から、銅箔、特に電解銅箔や圧延銅箔が好適である。
At the time of application, a fibrous base material may be previously set on a support and the varnish may be applied thereto. Examples of the support include a resin film and a metal foil. Examples of the resin film include polyethylene terephthalate film, polypropylene film, polyethylene film, polycarbonate film, polyethylene naphthalate film, polyarylate film, and nylon film. Among these films, a polyethylene terephthalate film and a polyethylene naphthalate film are preferable from the viewpoints of heat resistance, chemical resistance, peelability, and the like.
Examples of the metal foil include copper foil, aluminum foil, nickel foil, chrome foil, gold foil, and silver foil. Among these, a copper foil, particularly an electrolytic copper foil or a rolled copper foil is preferable from the viewpoint of good conductivity.
支持体の厚みに制限はないが、作業性等の観点から、通常1〜150μm、好ましくは2〜100μm、より好ましくは5〜80μmである。支持体の表面平均粗さRaは、通常300nm以下で、好ましくは150nm以下、より好ましくは100nm以下である。支持体の表面平均粗さRaが大きすぎると、得られる複合成形体を硬化して形成される電気絶縁層の表面平均粗さRaが大きくなり、導体層として微細な配線パターンの形成が困難になる。 Although there is no restriction | limiting in the thickness of a support body, from viewpoints of workability | operativity etc., it is 1-150 micrometers normally, Preferably it is 2-100 micrometers, More preferably, it is 5-80 micrometers. The surface average roughness Ra of the support is usually 300 nm or less, preferably 150 nm or less, more preferably 100 nm or less. If the surface average roughness Ra of the support is too large, the surface average roughness Ra of the electrically insulating layer formed by curing the resulting composite molded body increases, making it difficult to form a fine wiring pattern as a conductor layer. Become.
前記ワニスを塗布した繊維状基材を乾燥して本発明の複合樹脂成形体を得るための乾燥条件は、有機溶剤の種類により適宜選択される。具体的には、乾燥温度は通常20〜300℃、好ましくは30〜200℃である。乾燥温度が高すぎると、硬化反応が進行して、得られる複合樹脂成形体が未硬化または半硬化の状態とならなくなるおそれがある。また、乾燥時間は、通常30秒〜1時間、好ましくは1分〜30分である。 Drying conditions for drying the fibrous base material coated with the varnish to obtain the composite resin molded body of the present invention are appropriately selected depending on the type of the organic solvent. Specifically, the drying temperature is usually 20 to 300 ° C, preferably 30 to 200 ° C. If the drying temperature is too high, the curing reaction proceeds and the resulting composite resin molded article may not be in an uncured or semi-cured state. The drying time is usually 30 seconds to 1 hour, preferably 1 minute to 30 minutes.
本発明の複合樹脂成形体は高い難燃性を有しているが、難燃性を向上させる目的でさらに難燃剤を含有していてもよい。難燃剤としては、焼却時に有害物質の発生の少ないハロゲン不含難燃剤が好ましい。ハロゲン不含難燃剤の具体例としては、三酸化アンチモン、五酸化アンチモン、アンチモン酸ソーダなどのアンチモン化合物;水酸化アルミニウム、水酸化マグネシウム、硼酸亜鉛、スルファミン酸グアニジン、ジルコニウム化合物、モリブデン化合物、硼酸アルミニウム、すず化合物などの無機難燃剤;フェロセンなどの有機金属化合物;リン酸エステル、芳香族縮合りん酸エステル、フォスファゼン化合物、りん含有エポキシ化合物、反応型りん化合物、ポリりん酸アンモニウム、メラミンりん酸塩、ポリりん酸メラミン塩、ポリりん酸メラム塩、ポリりん酸メレム塩、ポリりん酸メラミン・メラム・メレム複塩、赤燐、有機金属りん化合物などのりん系難燃剤;などが挙げられる。これらのうち、水酸化マグネシウム、水酸化アルミニウム、フォスファゼン化合物、メラミンりん酸塩、ポリりん酸メラミン塩、ポリりん酸メラム塩、ポリりん酸メレム塩が好ましく、特に耐熱性、耐湿性および難燃性の向上に優れる点から水酸化マグネシウム、ポリりん酸メラミン・メラム・メレム複塩、フォスファゼン化合物が好ましい。 Although the composite resin molding of the present invention has high flame retardancy, it may further contain a flame retardant for the purpose of improving flame retardancy. As the flame retardant, a halogen-free flame retardant that generates little harmful substances during incineration is preferable. Specific examples of the halogen-free flame retardant include antimony compounds such as antimony trioxide, antimony pentoxide, and sodium antimonate; aluminum hydroxide, magnesium hydroxide, zinc borate, guanidine sulfamate, zirconium compound, molybdenum compound, aluminum borate Inorganic flame retardants such as tin compounds; organometallic compounds such as ferrocene; phosphate esters, aromatic condensed phosphate esters, phosphazene compounds, phosphorus-containing epoxy compounds, reactive phosphorus compounds, ammonium polyphosphate, melamine phosphate, Examples thereof include melamine polyphosphate, melam salt polyphosphate, melem salt polyphosphate, melamine polymelamine / melam / melem double salt, red flame retardants such as red phosphorus and organometallic phosphorus compounds. Of these, preferred are magnesium hydroxide, aluminum hydroxide, phosphazene compounds, melamine phosphate, melamine polyphosphate, melam salt polyphosphate, and melem salt polyphosphate, particularly heat resistance, moisture resistance and flame retardancy. From the viewpoint of excellent improvement of magnesium, magnesium hydroxide, polyphosphate melamine / melam / melem double salt, and phosphazene compound are preferable.
本発明の複合樹脂成形体は、さらにその用途に応じて所望の性能を付与する目的で本来の性質を損なわない範囲の量の充填剤や添加剤を含有していてもよい。充填剤としてはカーボンブラック、フラーレン、カーボンナノチューブ、多孔質シリカ、中空シリカ、シリカ、アルミナ、チタン酸バリウム、タルク、雲母、有機化ベントナイト、ガラスビーズ、ガラス中空球等をあげることができる。添加剤としては、軟質重合体、耐熱安定剤、耐候安定剤、老化防止剤、レベリング剤、帯電防止剤、スリップ剤、アンチブロッキング剤、防曇剤、滑剤、染料、顔料、天然油、合成油、ワックス、乳剤、磁性体、誘電特性調整剤、靭性剤などが挙げられる。 The composite resin molded article of the present invention may further contain an amount of fillers and additives in a range that does not impair the original properties for the purpose of imparting desired performance depending on the application. Examples of the filler include carbon black, fullerene, carbon nanotube, porous silica, hollow silica, silica, alumina, barium titanate, talc, mica, organic bentonite, glass beads, and glass hollow spheres. Additives include soft polymer, heat stabilizer, weather stabilizer, anti-aging agent, leveling agent, antistatic agent, slip agent, anti-blocking agent, anti-fogging agent, lubricant, dye, pigment, natural oil, synthetic oil , Wax, emulsion, magnetic material, dielectric property adjusting agent, toughening agent, and the like.
上記の難燃剤、充填剤および添加剤などの任意成分を配合する方法は特に限定されないが、通常は前記硬化性樹脂組成物に含有させて用いられ、好ましくは前記ワニスの調製において重合体(A)、硬化剤(B)および有機溶剤と共に混合して用いられる。 The method of blending optional components such as the above-mentioned flame retardant, filler and additive is not particularly limited, but is usually used by being contained in the curable resin composition, and preferably in the preparation of the varnish, the polymer (A ), A curing agent (B) and an organic solvent.
本発明の複合樹脂成形体の形状は、特に限定されないが、フィルム又はシートであることが好ましい。フィルム又はシートの厚みは、通常1〜100μm、好ましくは3〜80μm、より好ましくは5〜50μmである。 Although the shape of the composite resin molding of this invention is not specifically limited, It is preferable that it is a film or a sheet | seat. The thickness of the film or sheet is usually 1 to 100 μm, preferably 3 to 80 μm, more preferably 5 to 50 μm.
2)硬化物
本発明の硬化物は、前記本発明の複合樹脂成形体を硬化してなる。複合樹脂成形体の硬化は、通常、複合樹脂成形体を加熱することにより行う。硬化条件は硬化剤の種類に応じて適宜選択される。硬化温度は、通常30〜400℃、好ましくは70〜300℃、より好ましくは100〜200℃である。硬化時間は、0.1〜5時間、好ましくは0.5〜3時間である。加熱の方法は特に制限されず、例えば電気オーブンを用いて行えばよい。
2) Cured product The cured product of the present invention is obtained by curing the composite resin molded body of the present invention. The composite resin molded body is usually cured by heating the composite resin molded body. Curing conditions are appropriately selected according to the type of curing agent. The curing temperature is usually 30 to 400 ° C, preferably 70 to 300 ° C, more preferably 100 to 200 ° C. The curing time is 0.1 to 5 hours, preferably 0.5 to 3 hours. The heating method is not particularly limited, and may be performed using, for example, an electric oven.
なお、硬化に先立って、複合樹脂成形体に金属配位能を有する化合物を接触させ、次いで、水等の、これらの化合物の良溶剤で洗浄する工程を有することが好ましい。かかる金属配位能を有する化合物としては、1−(2−アミノエチル)−2−メチルイミダゾール等のイミダゾール類;ピラゾール類;トリアゾール類;トリアジン類;等が挙げられる。この工程により、複合樹脂成形体の表面の平滑化を図り、この上に後工程で被覆される金属薄膜との密着性を向上させることができる。 In addition, it is preferable to have the process of making the compound which has metal coordination ability contact a composite resin molding before hardening, and then wash | cleaning with good solvents of these compounds, such as water. Examples of such compounds having metal coordination ability include imidazoles such as 1- (2-aminoethyl) -2-methylimidazole; pyrazoles; triazoles; triazines; By this step, the surface of the composite resin molded body can be smoothed, and the adhesiveness with the metal thin film coated thereon in the subsequent step can be improved.
3)積層体
本発明の積層体は、表面に導体層を有する基板と前記本発明の硬化物からなる電気絶縁層とを積層してなる。表面に導体層を有する基板は、電気絶縁性基板の表面に導体層を有するものである。電気絶縁性基板は、公知の電気絶縁材料(例えば、脂環式オレフィン重合体、エポキシ樹脂、マレイミド樹脂、(メタ)アクリル樹脂、ジアリルフタレート樹脂、トリアジン樹脂、ポリフェニルエーテル、ガラス等)を含有する硬化性樹脂組成物を硬化して形成されたものである。導体層は、特に限定されないが、通常、導電性金属等の導電体により形成された配線を含む層であって、更に各種の回路を含んでいてもよい。配線や回路の構成、厚み等は、特に限定されない。表面に導体層を有する基板の具体例としては、プリント配線基板、シリコンウェーハ基板等を挙げることができる。表面に導体層を有する基板の厚みは、通常10μm〜10mm、好ましくは20μm〜5mm、より好ましくは30μm〜2mmである。
3) Laminate The laminate of the present invention is formed by laminating a substrate having a conductor layer on the surface and an electrical insulating layer made of the cured product of the present invention. A substrate having a conductor layer on the surface has a conductor layer on the surface of the electrically insulating substrate. The electrically insulating substrate contains a known electrically insulating material (for example, alicyclic olefin polymer, epoxy resin, maleimide resin, (meth) acrylic resin, diallyl phthalate resin, triazine resin, polyphenyl ether, glass, etc.). It is formed by curing a curable resin composition. Although a conductor layer is not specifically limited, Usually, it is a layer containing the wiring formed with conductors, such as an electroconductive metal, Comprising: Various circuits may be included further. The configuration and thickness of the wiring and circuit are not particularly limited. Specific examples of the substrate having a conductor layer on the surface include a printed wiring board and a silicon wafer substrate. The thickness of the substrate having a conductor layer on the surface is usually 10 μm to 10 mm, preferably 20 μm to 5 mm, more preferably 30 μm to 2 mm.
本発明に用いる表面に導体層を有する基板は、電気絶縁層との密着性を向上させるために、導体層表面に前処理が施されていることが好ましい。前処理の方法としては、公知の技術が特に限定されず使用できる。例えば、導体層が銅からなるものであれば、強アルカリ酸化性溶液を導体層表面に接触させて、導体表面に酸化銅の層を形成して粗化する酸化処理方法、導体層表面を先の方法で酸化した後に水素化ホウ素ナトリウム、ホルマリンなどで還元する方法、導体層にめっきを析出させて粗化する方法、導体層に有機酸を接触させて銅の粒界を溶出して粗化する方法、および導体層にチオール化合物やシラン化合物などによりプライマー層を形成する方法等が挙げられる。これらの内、微細な配線パターンの形状維持の容易性の観点から、導体層に有機酸を接触させて銅の粒界を溶出して粗化する方法、及び、チオール化合物やシラン化合物などによりプライマー層を形成する方法が好ましい。 The substrate having a conductor layer on the surface used in the present invention is preferably pretreated on the surface of the conductor layer in order to improve adhesion to the electrical insulating layer. As a pretreatment method, a known technique is not particularly limited and can be used. For example, if the conductor layer is made of copper, an oxidation treatment method in which a strong alkali oxidizing solution is brought into contact with the surface of the conductor layer to form a copper oxide layer on the conductor surface and roughened, After oxidation with this method, reduce with sodium borohydride, formalin, etc., deposit and roughen the plating on the conductor layer, contact the organic acid with the conductor layer to elute the copper grain boundaries and roughen And a method of forming a primer layer with a thiol compound or a silane compound on the conductor layer. Among these, from the viewpoint of easy maintenance of the shape of a fine wiring pattern, a method in which an organic acid is brought into contact with a conductor layer to elute and roughen the grain boundaries of copper, and a primer using a thiol compound or a silane compound A method of forming a layer is preferred.
本発明の積層体は、表面に導体層を有する基板上に、前記本発明の複合樹脂成形体を加熱圧着し、硬化して電気絶縁層を形成して製造できる。加熱圧着の方法の具体例としては、支持体付きの複合樹脂成形体を、前記基板の導体層に接するように重ね合わせ、加圧ラミネータ、プレス、真空ラミネータ、真空プレス、ロールラミネータなどの加圧機を使用して加熱圧着(ラミネーション)して、導体層上に複合樹脂成形体層を形成する方法が挙げられる。加熱加圧することにより、前記基板表面の導体層と複合樹脂成形体層との界面に空隙が実質的に存在しないように結合させることができる。また、前記支持体として金属箔を用いた場合は、複合樹脂成形体層と金属箔との密着性も向上するので、該金属箔をそのまま後述の多層回路基板の導体層として用いることができる。 The laminate of the present invention can be produced by forming the electrical insulating layer by heat-pressing and curing the composite resin molded body of the present invention on a substrate having a conductor layer on the surface. As a specific example of the thermocompression bonding method, a composite resin molded body with a support is superposed so as to be in contact with the conductor layer of the substrate, and a pressure laminator, a press, a vacuum laminator, a vacuum press, a roll laminator or the like is used. And a method of forming a composite resin molded body layer on the conductor layer by thermocompression bonding (lamination). By heating and pressurizing, bonding can be performed so that there is substantially no void at the interface between the conductor layer on the substrate surface and the composite resin molded body layer. Further, when a metal foil is used as the support, the adhesion between the composite resin molded body layer and the metal foil is also improved, so that the metal foil can be used as it is as a conductor layer of a multilayer circuit board described later.
加熱圧着操作の温度は、通常30〜250℃、好ましくは70〜200℃であり、加える圧力は、通常10kPa〜20MPa、好ましくは100kPa〜10MPaであり、時間は、通常30秒〜5時間、好ましくは1分〜3時間である。また、加熱圧着は、配線パターンの埋め込み性を向上させ、気泡の発生を抑えるために減圧下で行うのが好ましい。加熱圧着を行う雰囲気の圧力は、通常100kPa〜1Pa、好ましくは40kPa〜10Paである。 The temperature of the thermocompression bonding operation is usually 30 to 250 ° C., preferably 70 to 200 ° C., the applied pressure is usually 10 kPa to 20 MPa, preferably 100 kPa to 10 MPa, and the time is usually 30 seconds to 5 hours, preferably Is 1 minute to 3 hours. The thermocompression bonding is preferably performed under reduced pressure in order to improve the embedding property of the wiring pattern and suppress the generation of bubbles. The pressure of the atmosphere in which thermocompression bonding is performed is usually 100 kPa to 1 Pa, preferably 40 kPa to 10 Pa.
加熱圧着される複合樹脂成形体の硬化を行い、電気絶縁層を形成して本発明の積層体が製造される。硬化は、通常、導体層上に複合樹脂成形体が形成された基板全体を加熱することにより行う。硬化は、前記加熱圧着操作と同時に行うことができる。また、先ず加熱圧着操作を硬化の起こらない条件、すなわち比較的低温、短時間で行った後、硬化を行ってもよい。 The composite resin molded body to be heat-pressed is cured to form an electrical insulating layer, whereby the laminate of the present invention is manufactured. Curing is usually performed by heating the entire substrate on which the composite resin molded body is formed on the conductor layer. Curing can be performed simultaneously with the thermocompression bonding operation. Alternatively, the thermocompression may be performed after the thermocompression operation is performed under conditions that do not cause curing, that is, at a relatively low temperature for a short time.
また、電気絶縁層の平坦性を向上させる目的や、電気絶縁層の厚みを増す目的で、前記基板の導体層上に複合樹脂成形体を2以上接して貼り合わせて積層してもよい。 Further, for the purpose of improving the flatness of the electrical insulating layer and increasing the thickness of the electrical insulating layer, two or more composite resin molded bodies may be bonded and laminated on the conductor layer of the substrate.
4)多層回路基板
本発明の多層回路基板は、前記本発明の積層体の、電気絶縁層上に導体層を形成してなる。前記積層体の製造において、複合樹脂成形体の支持体として樹脂フィルムを用いた場合は、これを剥離した後に、電気絶縁層上にめっき等により導体層を形成して本発明の多層回路基板を製造できる。また、複合樹脂成形体の支持体として金属箔を用いた場合は、公知のエッチング法により該金属箔をパターン状にエッチングして導体層を形成することができる。
4) Multilayer circuit board The multilayer circuit board of the present invention is formed by forming a conductor layer on the electrical insulating layer of the laminate of the present invention. In the production of the laminate, when a resin film is used as a support for the composite resin molded body, after peeling it off, a conductor layer is formed on the electrical insulating layer by plating or the like to form the multilayer circuit board of the present invention. Can be manufactured. When a metal foil is used as the support for the composite resin molded body, the conductor layer can be formed by etching the metal foil into a pattern by a known etching method.
以下に、電気絶縁層上にめっき等により導体層を形成して本発明の多層回路基板を製造する方法について具体的に説明する。多層回路基板の製造に際し、通常、導体層を形成する前に、多層回路基板中の各導体層を連結するために、積層体を貫通するビアホールを設ける。このビアホールは、フォトリソグラフィ法のような化学的処理により、又は、ドリル、レーザ、プラズマエッチング等の物理的処理等により形成することができる。これらの方法の中でもレーザによる方法(炭酸ガスレーザ、エキシマレーザ、UV−YAGレーザ等)によれば、より微細なビアホールを電気絶縁層の特性を低下させずに形成できる。レーザによる方法において、炭酸ガスレーザ、UV−YAGレーザが好ましい。 Hereinafter, a method for producing a multilayer circuit board of the present invention by forming a conductor layer on the electrical insulating layer by plating or the like will be specifically described. In manufacturing a multilayer circuit board, a via hole penetrating the multilayer body is usually provided to connect the conductor layers in the multilayer circuit board before forming the conductor layers. The via hole can be formed by a chemical process such as a photolithography method, or a physical process such as a drill, laser, or plasma etching. Among these methods, a method using a laser (a carbon dioxide laser, an excimer laser, a UV-YAG laser, or the like) can form a finer via hole without deteriorating the characteristics of the electrical insulating layer. In the laser method, a carbon dioxide laser or a UV-YAG laser is preferable.
次に、電気絶縁層を、導体層との接着性を高めるために表面を酸化して粗化し、所望の表面平均粗さに調整する。本発明において電気絶縁層の表面平均粗さRaは通常0.05μm以上0.3μm未満、好ましくは0.06μm以上0.2μm以下であり、かつ表面十点平均粗さRzjisは通常0.3μm以上4μm未満、好ましくは0.5μm以上2μm以下である。ここで、RaはJIS B 0601−2001に示される中心線平均粗さであり、表面十点平均粗さRzjisは、JIS B 0601−2001付属書1に示される十点平均粗さである。 Next, the surface of the electric insulating layer is roughened by oxidizing the surface in order to enhance the adhesion to the conductor layer, and adjusted to a desired surface average roughness. In the present invention, the surface average roughness Ra of the electrical insulating layer is usually 0.05 μm or more and less than 0.3 μm, preferably 0.06 μm or more and 0.2 μm or less, and the surface 10-point average roughness Rzjis is usually 0.3 μm or more. It is less than 4 μm, preferably 0.5 μm or more and 2 μm or less. Here, Ra is the center line average roughness shown in JIS B 0601-2001, and the surface 10-point average roughness Rzjis is the 10-point average roughness shown in JIS B 0601-2001 Annex 1.
電気絶縁層表面を酸化するには、電気絶縁層表面と酸化性化合物とを接触させればよい。酸化性化合物としては、無機過酸化物や有機過酸化物;気体;など酸化能を有する公知の化合物が挙げられる。特に電気絶縁層の表面平均粗さの制御の容易さから、無機過酸化物や有機過酸化物を用いるのが好ましい。無機過酸化物としては過マンガン酸塩、無水クロム酸、重クロム酸塩、クロム酸塩、過硫酸塩、活性二酸化マンガン、四酸化オスミウム、過酸化水素、過よう素酸塩、オゾンなどが挙げられ、有機過酸化物としてはジクミルパーオキサイド、オクタノイルパーオキサイド、m−クロロ過安息香酸、過酢酸などが挙げられる。 In order to oxidize the surface of the electrical insulating layer, the surface of the electrical insulating layer and the oxidizing compound may be brought into contact with each other. Examples of the oxidizing compound include known compounds having an oxidizing ability such as inorganic peroxides and organic peroxides; gas. In particular, it is preferable to use an inorganic peroxide or an organic peroxide from the viewpoint of easy control of the surface average roughness of the electrical insulating layer. Inorganic peroxides include permanganate, chromic anhydride, dichromate, chromate, persulfate, activated manganese dioxide, osmium tetroxide, hydrogen peroxide, periodate, ozone, etc. Examples of the organic peroxide include dicumyl peroxide, octanoyl peroxide, m-chloroperbenzoic acid, and peracetic acid.
無機過酸化物や有機過酸化物を用いて電気絶縁層表面を酸化する方法に格別な制限はなく、例えば、上記酸化性化合物を溶解可能な溶媒に溶解して調製した酸化性化合物溶液を電気絶縁層表面に接触させる方法が挙げられる。無機過酸化物や有機過酸化物又はこれらの溶液を電気絶縁層表面に接触させる方法に格別な制限はなく、例えば、電気絶縁層を酸化性化合物の溶液に浸漬するディップ法、酸化性化合物溶液を表面張力の利用で電気絶縁層に載せる液盛り法、酸化性化合物の溶液を基材に噴霧するスプレー法、などいかなる方法であっても良い。 There is no particular limitation on the method for oxidizing the surface of the electrical insulating layer using an inorganic peroxide or an organic peroxide. For example, an oxidizing compound solution prepared by dissolving the above oxidizing compound in a solvent capable of being dissolved can be electrically charged. The method of making it contact with the surface of an insulating layer is mentioned. There is no particular limitation on the method of bringing the inorganic peroxide or organic peroxide or these solutions into contact with the surface of the electrical insulating layer. For example, a dipping method in which the electrical insulating layer is immersed in an oxidizing compound solution, an oxidizing compound solution Any method may be used, such as a liquid filling method in which the surface tension is applied to the electrical insulating layer, or a spraying method in which a solution of an oxidizing compound is sprayed onto the substrate.
これらの無機過酸化物や有機過酸化物を電気絶縁層表面に接触させる温度や時間は、過酸化物の濃度や種類、接触方法などを考慮して、任意に設定すれば良く、温度は通常10〜250℃、好ましくは20〜180℃で、時間は通常0.5〜60分、好ましくは1分〜30分である。 The temperature and time for bringing these inorganic peroxides and organic peroxides into contact with the surface of the electrical insulating layer may be set arbitrarily in consideration of the concentration and type of peroxide, the contact method, etc. It is 10 to 250 ° C, preferably 20 to 180 ° C, and the time is usually 0.5 to 60 minutes, preferably 1 to 30 minutes.
気体を用いて酸化処理する方法として、逆スパッタリングやコロナ放電など気体をラジカルやイオン化させるプラズマ処理が挙げられる。気体としては大気、酸素、窒素、アルゴン、水、二硫化炭素、四塩化炭素などが例示される。酸化処理用の気体が処理温度では液体であるが減圧下で気体になる場合は、減圧で酸化処理をする。酸化処理用の気体が処理温度、圧力において気体の場合は、ラジカル化やイオン化が可能な圧力に加圧した後、酸化処理をする。プラズマを第二の電気絶縁層表面に接触させる温度や時間は、ガスの種類や流量などを考慮して設定すれば良く、温度は通常10〜250℃、好ましくは20〜180℃で、時間は通常0.5〜60分、好ましくは1分〜30分である。 As a method for oxidizing using gas, plasma treatment for radicalizing or ionizing gas such as reverse sputtering or corona discharge can be given. Examples of the gas include air, oxygen, nitrogen, argon, water, carbon disulfide, and carbon tetrachloride. When the gas for oxidation treatment is liquid at the treatment temperature but becomes gas under reduced pressure, the oxidation treatment is performed under reduced pressure. When the gas for oxidation treatment is a gas at the treatment temperature and pressure, the oxidation treatment is performed after pressurizing to a pressure capable of radicalization or ionization. The temperature and time for bringing the plasma into contact with the surface of the second electrical insulating layer may be set in consideration of the type and flow rate of the gas, and the temperature is usually 10 to 250 ° C., preferably 20 to 180 ° C., and the time is Usually 0.5 to 60 minutes, preferably 1 to 30 minutes.
酸化性化合物の溶液で電気絶縁層表面を酸化する場合、第二の電気絶縁層を構成する硬化性樹脂組成物中に、酸化性化合物の溶液に可溶な重合体や無機充填剤を含ませておくと、重合体(A)と微細な海島構造を形成した上で選択的に溶解するので、上述した表面平均粗さの範囲に制御しやすいので好ましい。 When oxidizing the surface of the electrical insulating layer with an oxidizing compound solution, the curable resin composition constituting the second electrical insulating layer should contain a polymer or inorganic filler soluble in the oxidizing compound solution. In this case, the polymer (A) and a fine sea-island structure are formed and then selectively dissolved, so that it is easy to control the above-described surface average roughness range, which is preferable.
酸化性化合物の溶液に可溶な重合体の例としては、液状エポキシ樹脂、ポリエステル樹脂、ビスマレイミド−トリアジン樹脂、シリコーン樹脂、ポリメチルメタクリル樹脂、天然ゴム、スチレン系ゴム、イソプレン系ゴム、ブタジエン系ゴム、ニトリル系ゴム、エチレン系ゴム、プロピレン系ゴム、ウレタンゴム、ブチルゴム、シリコーンゴム、フッ素ゴム、ノルボルネンゴム、エーテル系ゴムなどが挙げられる。酸化性化合物の溶液に可溶な重合体の配合割合に格別の制限はなく、重合体(A)100重量部に対して、通常1〜30重量部、好ましくは3〜25重量部、より好ましくは5〜20重量部である。 Examples of the polymer soluble in the solution of the oxidizing compound include liquid epoxy resin, polyester resin, bismaleimide-triazine resin, silicone resin, polymethylmethacrylate resin, natural rubber, styrene rubber, isoprene rubber, butadiene Examples thereof include rubber, nitrile rubber, ethylene rubber, propylene rubber, urethane rubber, butyl rubber, silicone rubber, fluorine rubber, norbornene rubber, and ether rubber. There is no particular limitation on the blending ratio of the polymer soluble in the solution of the oxidizing compound, and usually 1 to 30 parts by weight, preferably 3 to 25 parts by weight, more preferably 100 parts by weight of the polymer (A). Is 5 to 20 parts by weight.
酸化性化合物の溶液に可溶な無機充填剤の例としては、炭酸カルシウム、炭酸マグネシウム、炭酸バリウム酸化亜鉛、酸化チタン、酸化マグネシウム、ケイ酸マグネシウム、ケイ酸カルシウム、ケイ酸ジルコニウム、水和アルミナ、水酸化マグネシウム、水酸化アルミニウム、硫酸バリウム、シリカ、タルク、クレーなどを挙げることができる。これらの中でも、炭酸カルシウム及びシリカが、微細な粒子が得やすく、かつ、充填剤可溶性水溶液で溶出されやすく、微細な粗面形状を得るのに好適である。また、これらの無機充填剤は、シランカップリング剤処理やステアリン酸などの有機酸処理をしたものであってもよい。 Examples of inorganic fillers that are soluble in a solution of oxidizing compounds include calcium carbonate, magnesium carbonate, barium zinc oxide, titanium oxide, magnesium oxide, magnesium silicate, calcium silicate, zirconium silicate, hydrated alumina, Examples thereof include magnesium hydroxide, aluminum hydroxide, barium sulfate, silica, talc, and clay. Among these, calcium carbonate and silica are easy to obtain fine particles and are easily eluted with a filler-soluble aqueous solution, and are suitable for obtaining a fine rough surface shape. Further, these inorganic fillers may be those subjected to a silane coupling agent treatment or an organic acid treatment such as stearic acid.
また添加される無機充填剤は、電気絶縁層の誘電特性を低下させない非導電性のものであることが好ましい。また、その無機充填剤の形状は、特に限定されず、球状、繊維状、板状などであってもよいが、微細な粗面形状を得るために、微細な粉末状であることが好ましい。無機充填剤の平均粒径としては通常0.008μm以上2μm未満、好ましくは0.01μm以上1.5μm未満、特に好ましくは0.02μm以上1μm未満である。平均粒径が小さすぎると、大型基板で均一な密着性が得られないおそれがあり、逆に、大きすぎると電気絶縁層に大きな粗面が発生し、高密度の配線パターンが得られない可能性がある。酸化性化合物の溶液に可溶な無機充填剤の配合量は、必要とされる密着性の程度に応じて適宜選択されるが、重合体(A)100重量部に対して、通常1〜80重量部、好ましくは3〜60重量部、より好ましくは5〜40重量部である。 Moreover, it is preferable that the inorganic filler added is a non-conductive thing which does not reduce the dielectric property of an electric insulation layer. Moreover, the shape of the inorganic filler is not particularly limited, and may be spherical, fibrous, plate-like, or the like, but in order to obtain a fine rough surface shape, a fine powder is preferable. The average particle size of the inorganic filler is usually 0.008 μm or more and less than 2 μm, preferably 0.01 μm or more and less than 1.5 μm, particularly preferably 0.02 μm or more and less than 1 μm. If the average particle size is too small, uniform adhesion may not be obtained on a large substrate. Conversely, if the average particle size is too large, a large rough surface may be generated on the electrical insulating layer, and a high-density wiring pattern may not be obtained. There is sex. The amount of the inorganic filler soluble in the solution of the oxidizing compound is appropriately selected according to the required degree of adhesion, but is usually 1 to 80 with respect to 100 parts by weight of the polymer (A). Parts by weight, preferably 3 to 60 parts by weight, more preferably 5 to 40 parts by weight.
上記のような酸化性化合物の溶液に可溶な重合体や無機充填剤は、上記本発明に用いられる硬化性樹脂組成物に任意に添加される難燃助剤、耐熱安定剤、誘電特性調整剤、靭性剤の一部などとして用いることができる。 Polymers and inorganic fillers soluble in the oxidizing compound solution as described above are optionally added to the curable resin composition used in the present invention as a flame retardant aid, heat stabilizer, and dielectric property adjustment. It can be used as a part of an agent or toughening agent.
電気絶縁層の酸化処理後は、酸化性化合物を除去するため、通常、電気絶縁層表面を水で洗浄する。水だけでは洗浄しきれない物質が付着している場合、その物質を溶解可能な洗浄液で更に洗浄したり、他の化合物と接触させたりして水に可溶な物質にしてから水で洗浄することもできる。例えば、過マンガン酸カリウム水溶液や過マンガン酸ナトリウム水溶液などのアルカリ性水溶液を電気絶縁層と接触させた場合は、発生した二酸化マンガンの皮膜を除去する目的で、硫酸ヒドロキシアミンと硫酸との混合液などの酸性水溶液により中和還元処理する。 After the oxidation treatment of the electrical insulating layer, the surface of the electrical insulating layer is usually washed with water in order to remove the oxidizing compound. If a substance that cannot be washed with water alone is attached, wash the substance with a soluble cleaning solution or contact with other compounds to make it soluble in water, and then wash with water. You can also. For example, when an alkaline aqueous solution such as an aqueous potassium permanganate solution or an aqueous sodium permanganate solution is brought into contact with the electrical insulating layer, a mixed solution of hydroxyamine sulfate and sulfuric acid is used to remove the generated manganese dioxide film. The solution is neutralized and reduced with an acidic aqueous solution.
電気絶縁層を酸化して表面平均粗さを調整した後、めっき等により積層体の電気絶縁層表面とビアホール内壁面に導体層を形成する。導体層を形成する方法に格別制限はないが、例えば電気絶縁層上にめっき等により金属薄膜を形成し、次いで厚付けめっきにより金属層を成長させる方法が採られる。 After the electrical insulating layer is oxidized to adjust the average surface roughness, a conductor layer is formed on the surface of the electrical insulating layer and the inner wall surface of the via hole by plating or the like. The method for forming the conductor layer is not particularly limited. For example, a method of forming a metal thin film by plating or the like on the electrical insulating layer and then growing the metal layer by thick plating is employed.
金属薄膜の形成を無電解めっきにより行う場合、金属薄膜を電気絶縁層の表面に形成させる前に、電気絶縁層上に、銀、パラジウム、亜鉛、コバルト等の触媒核を付着させるのが一般的である。触媒核を電気絶縁層に付着させる方法は特に制限されず、例えば、銀、パラジウム、亜鉛、コバルト等の金属化合物やこれらの塩や錯体を、水又はアルコール若しくはクロロホルム等の有機溶剤に0.001〜10重量%の濃度で溶解した液(必要に応じて酸、アルカリ、錯化剤、還元剤等を含有していてもよい)に浸漬した後、金属を還元する方法等が挙げられる。 When forming a metal thin film by electroless plating, it is common to deposit catalyst nuclei such as silver, palladium, zinc and cobalt on the electrical insulation layer before forming the metal thin film on the surface of the electrical insulation layer. It is. The method for attaching the catalyst nucleus to the electrical insulating layer is not particularly limited. For example, a metal compound such as silver, palladium, zinc, or cobalt, or a salt or complex thereof is added to water or an organic solvent such as alcohol or chloroform to 0.001. Examples of the method include a method of reducing a metal after being immersed in a solution (which may contain an acid, an alkali, a complexing agent, a reducing agent, etc., if necessary) dissolved at a concentration of 10 to 10% by weight.
無電解めっき法に用いる無電解めっき液としては、公知の自己触媒型の無電解めっき液を用いればよく、めっき液中に含まれる金属種、還元剤種、錯化剤種、水素イオン濃度、溶存酸素濃度等は特に限定されない。例えば、次亜リン酸アンモニウム、次亜リン酸、水素化硼素アンモニウム、ヒドラジン、ホルマリン等を還元剤とする無電解銅めっき液;次亜リン酸ナトリウムを還元剤とする無電解ニッケル−リンめっき液;ジメチルアミンボランを還元剤とする無電解ニッケル−ホウ素めっき液;無電解パラジウムめっき液;次亜リン酸ナトリウムを還元剤とする無電解パラジウム−リンめっき液;無電解金めっき液;無電解銀めっき液;次亜リン酸ナトリウムを還元剤とする無電解ニッケル−コバルト−リンめっき液等の無電解めっき液を用いることができる。金属薄膜を形成した後、基板表面を防錆剤と接触させて防錆処理をすることもできる。 As the electroless plating solution used in the electroless plating method, a known autocatalytic electroless plating solution may be used, and the metal species, reducing agent species, complexing agent species, hydrogen ion concentration, The dissolved oxygen concentration and the like are not particularly limited. For example, electroless copper plating solution using ammonium hypophosphite, hypophosphorous acid, ammonium borohydride, hydrazine, formalin, etc. as a reducing agent; electroless nickel-phosphorous plating solution using sodium hypophosphite as a reducing agent Electroless nickel-boron plating solution using dimethylamine borane as a reducing agent; electroless palladium plating solution; electroless palladium-phosphorous plating solution using sodium hypophosphite as a reducing agent; electroless gold plating solution; electroless silver Plating solution: An electroless plating solution such as an electroless nickel-cobalt-phosphorous plating solution using sodium hypophosphite as a reducing agent can be used. After the metal thin film is formed, the substrate surface can be brought into contact with a rust preventive agent for rust prevention treatment.
また、金属薄膜を形成した後に、密着性向上等のため、金属薄膜を加熱することができる。加熱温度は、通常50〜350℃、好ましくは80〜250℃である。加熱は加圧条件下で実施してもよく、このときの加圧方法としては、例えば、熱プレス機、加圧加熱ロール機等の物理的加圧法が挙げられる。加える圧力は、通常0.1〜20MPa、好ましくは0.5〜10MPaである。この範囲であれば、金属薄膜と電気絶縁層との高い密着性が確保できる。 Moreover, after forming a metal thin film, a metal thin film can be heated for the adhesive improvement etc. The heating temperature is usually 50 to 350 ° C, preferably 80 to 250 ° C. Heating may be carried out under pressurized conditions, and examples of the pressing method at this time include physical pressing methods such as a hot press machine and a pressurized heating roll machine. The applied pressure is usually 0.1 to 20 MPa, preferably 0.5 to 10 MPa. If it is this range, the high adhesiveness of a metal thin film and an electrically insulating layer is securable.
こうして形成された金属薄膜上にめっき用レジストパターンを形成し、更にその上に電解めっき等の湿式めっきによりめっきを成長させ(厚付けめっき)、次いで、レジストを除去し、更にエッチングにより金属薄膜をパターン状にエッチングして導体層を形成する。従って、この方法によれば、導体層は、通常、パターン状の金属薄膜と、その上に成長させためっきとからなる。 A resist pattern for plating is formed on the metal thin film thus formed, and further, plating is grown thereon by wet plating such as electrolytic plating (thick plating), then the resist is removed, and the metal thin film is formed by etching. A conductor layer is formed by etching in a pattern. Therefore, according to this method, the conductor layer is usually composed of a patterned metal thin film and plating grown thereon.
このようにして得られた多層回路基板を新たな積層体として用いて、上述の電気絶縁層形成と導体層形成の工程を繰り返すことにより、更なる多層化を行うことができ、これにより所望の多層回路基板を得ることができる。 By using the multilayer circuit board thus obtained as a new laminate, the above-described steps of forming the electrical insulating layer and forming the conductor layer can be repeated to further increase the number of layers. A multilayer circuit board can be obtained.
以下、実施例および比較例により本発明をさらに具体的に説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。なお、実施例および比較例における部および%は、特に断りのない限り重量基準である。 EXAMPLES Hereinafter, although an Example and a comparative example demonstrate this invention further more concretely, this invention is not limited to these Examples. In the examples and comparative examples, “part” and “%” are based on weight unless otherwise specified.
なお、各特性の定義及び評価方法は、以下のとおりである。
(1)繊維状基材の繊維径
走査型電子顕微鏡にて、繊維断面50箇所の直径を測定し、その平均値を求めた。
(2)繊維状基材の厚み
マイクロメーター(ミツトヨ社製「ライトマチック VL−50」、測定荷重0.01N、測定端子3mmφ)を用い、1cm感覚で50箇所を測定し、その平均値を求めた。
In addition, the definition and evaluation method of each characteristic are as follows.
(1) Fiber diameter of fibrous base material The diameter of 50 fiber cross sections was measured with a scanning electron microscope, and the average value was obtained.
(2) Thickness of fibrous base material Using a micrometer ("Lightmatic VL-50" manufactured by Mitutoyo Co., Ltd., measuring load 0.01N, measuring terminal 3mmφ), 50 points were measured with a sense of 1cm, and the average value was obtained. It was.
(3)重合体の数平均分子量(Mn)、重量平均分子量(Mw)
テトラヒドロフランを溶離液とするゲル・パーミエーション・クロマトグラフィー(GPC)による標準ポリスチレン換算値として測定した。
測定装置として、GPC−8220シリーズ(東ソー社製)を用いた。
標準ポリスチレンとしては、標準ポリスチレン(Mwが500、2630、10200、37900、96400、427000、1090000、5480000のものの計8点、東ソー社製)を用いた。
(3) Number average molecular weight (Mn) and weight average molecular weight (Mw) of the polymer
It was measured as a standard polystyrene conversion value by gel permeation chromatography (GPC) using tetrahydrofuran as an eluent.
As a measuring device, GPC-8220 series (manufactured by Tosoh Corporation) was used.
As the standard polystyrene, standard polystyrene (Mw of 500, 2630, 10200, 37900, 96400, 427000, 909000, 5480000, a total of 8 points, manufactured by Tosoh Corporation) was used.
サンプルは、サンプル濃度1mg/mlになるように、測定試料をテトラヒドロフランに溶解後、カートリッジフィルター(ポリテトラフルオロエチレン製、孔径0.5μm)で濾過して調製した。
測定は、カラムに、TSKgel G4000HXL、G2000HXL、G1000HXL(東ソー社製)を3本直列に繋いで用い、流速1.0ml/min、サンプル注入量20μl、カラム温度40℃の条件で行った。
The sample was prepared by dissolving the measurement sample in tetrahydrofuran so that the sample concentration was 1 mg / ml, and then filtering with a cartridge filter (made of polytetrafluoroethylene, pore size 0.5 μm).
The measurement was performed under the conditions of using TSKgel G4000HXL, G2000HXL, and G1000HXL (manufactured by Tosoh Corporation) in series in a column, using a flow rate of 1.0 ml / min, a sample injection amount of 20 μl, and a column temperature of 40 ° C.
(4)重合体の水素化率
水素化率は、水素化前における重合体中の不飽和結合のモル数に対する水素添加された不飽和結合のモル数の比率をいい、1H−NMRスペクトル測定により求めた。
(4) Hydrogenation rate of polymer The hydrogenation rate refers to the ratio of the number of moles of unsaturated bonds hydrogenated to the number of moles of unsaturated bonds in the polymer before hydrogenation. 1 H-NMR spectrum measurement Determined by
(5)重合体の無水マレイン酸基含有率
重合体中の総単量体単位数に対する酸無水物基のモル数の割合をいい、1H−NMRスペクトル測定により求めた。
(6)重合体の酸価
カルボキシル基又は酸無水物残基を有する重合体(A)の酸価は、JIS K 0070に従って測定した。
(7)重合体のガラス移転温度(Tg)
示差走査熱量法(DSC法)により昇温速度10℃/分で測定した。
(8)重合体の体積固有抵抗
ASTM D257に基づき測定した。
(5) Maleic anhydride group content of polymer The ratio of the number of moles of acid anhydride groups to the total number of monomer units in the polymer was determined by 1 H-NMR spectrum measurement.
(6) Acid value of polymer The acid value of the polymer (A) having a carboxyl group or an acid anhydride residue was measured according to JIS K0070.
(7) Glass transition temperature (Tg) of polymer
The temperature was measured at 10 ° C./min by a differential scanning calorimetry (DSC method).
(8) Volume resistivity of polymer Measured based on ASTM D257.
(9)複合樹脂成形体の線膨張係数
複合樹脂成形体の一部を切り取り、厚み75μmの圧延銅箔の片面に積層し、支持体であるポリエチレンテレフタレートフィルムを剥がした後、窒素雰囲気下で、60℃、30分間加熱し、次いで170℃、60分間加熱して複合樹脂成形体を硬化させた。続いて塩化第二銅/塩酸混合溶液により圧延銅箔を全てエッチング除去処理してシート状成形体を得た。得られたシート状成形体から幅5.95mm、長さ15.4mmの試験片を切り出し、支点間距離10mm、昇温速度10℃/分の条件で、熱重量/示差熱同時測定装置(TMA/SDTA840:メトラー・トレド社製)により測定し、下記の基準で判定した。
○:線膨張係数の値が、25ppm/℃未満のもの
△:線膨張係数の値が、25ppm/℃以上40ppm/℃未満のもの
×:線膨張係数の値が、40ppm/℃以上のもの
(9) Linear expansion coefficient of composite resin molded body A part of the composite resin molded body was cut out, laminated on one side of a rolled copper foil having a thickness of 75 μm, and after peeling the polyethylene terephthalate film as a support, under a nitrogen atmosphere, The composite resin molded body was cured by heating at 60 ° C. for 30 minutes and then at 170 ° C. for 60 minutes. Subsequently, all of the rolled copper foil was removed by etching with a cupric chloride / hydrochloric acid mixed solution to obtain a sheet-like molded body. A test piece having a width of 5.95 mm and a length of 15.4 mm was cut out from the obtained sheet-like molded body, and a thermogravimetric / differential thermal simultaneous measurement apparatus (TMA) under the conditions of a distance between supporting points of 10 mm and a heating rate of 10 ° C./min. / SDTA840: manufactured by METTLER TOLEDO) and determined according to the following criteria.
○: The value of the linear expansion coefficient is less than 25 ppm / ° C. Δ: The value of the linear expansion coefficient is 25 ppm / ° C. or more and less than 40 ppm / ° C. ×: The value of the linear expansion coefficient is 40 ppm / ° C. or more.
(10)複合樹脂形成体の平坦性
上記(9)と同様にして得られた成形体から10cm角の試験片を切り出し、接触式膜厚計(ミツトヨ社製「ライトマチック VL−50」、測定荷重0.01N、測定端子3mmφ)用いて100点測定を行い、下記の基準で判定した。
○:最大膜厚−最小膜厚が1.0μm未満のもの
△:最大膜厚−最小膜厚が1.0μm以上、5.0μm未満のもの
×:最大膜厚−最小膜厚が5.0μm以上のもの
(11)パターニング性
配線幅10μm、配線間距離10μm、配線長5cmで200本の配線パターンを有する多層回路基板を形成し、200本いずれも形状に乱れのないものを○、一部分に欠損があり形状に乱れがあるが断線部分がないものを△、断線部分があるものを×として判定した。
(10) Flatness of composite resin-formed body A 10 cm square test piece was cut out from the molded body obtained in the same manner as in (9) above, and a contact-type film thickness meter ("Lightmatic VL-50" manufactured by Mitutoyo Corporation) was measured. 100 points were measured using a load of 0.01 N and a measurement terminal of 3 mmφ, and the determination was made according to the following criteria.
○: Maximum film thickness—minimum film thickness of less than 1.0 μm Δ: Maximum film thickness—minimum film thickness of 1.0 μm or more and less than 5.0 μm ×: Maximum film thickness—minimum film thickness of 5.0 μm (11) Patterning property A multilayer circuit board having 200 wiring patterns with a wiring width of 10 μm, an inter-wiring distance of 10 μm, and a wiring length of 5 cm is formed. The case where there was a defect and the shape was disordered but there was no broken portion was judged as Δ, and the case where there was a broken portion was judged as x.
(12)難燃性
内層基板として、実施例1で用いられるコア材(表面に銅が貼られていないもの)を用い、これと実施例および比較例で得られた支持体付きの複合樹脂成形体を用いて、実施例1と同様にして複合樹脂成形体層を有する内層基板を作成した。この複合樹脂成形体層を有する内層基板を、幅13mm、長さ100mmの短冊状に切断して試験片を作製した。この試験片を用いてUL94V垂直燃焼性試験方法に準じてブンゼンバーナーの炎を接炎させた。試験片に着火後直ちに炎を外し、試験片が燃焼している時間を計測した。試験片が消炎したら直ちに再度試験片に着火するまで接炎した。二度目の着火後も直ちに炎を外し、試験片が燃焼している時間を計測し、その結果に基づいて下記の基準で判定した。
○:一度目の燃焼時間と二度目の燃焼時間の合計が20秒以内であって、かつ燃焼域が試験片上部まで達しない。
△:一度目の燃焼時間と二度目の燃焼時間の合計が20秒を超え30秒以下であって、かつ燃焼域が試験片上部まで達しない。
×:一度目の燃焼時間と二度目の燃焼時間の合計が30秒を超える、又は燃焼域が試験片上部まで達する。
(12) Flame Retardant As the inner layer substrate, the core material used in Example 1 (having no copper attached to the surface) is used, and composite resin molding with a support obtained in this and the Examples and Comparative Examples is used. Using this body, an inner layer substrate having a composite resin molded body layer was prepared in the same manner as in Example 1. The inner layer substrate having this composite resin molded body layer was cut into strips having a width of 13 mm and a length of 100 mm to prepare test pieces. Using this test piece, a Bunsen burner flame was contacted according to the UL94V vertical flammability test method. The flame was removed immediately after ignition of the test piece, and the time during which the test piece was burning was measured. As soon as the test piece was extinguished, the flame was contacted until the test piece ignited again. After the second ignition, the flame was immediately removed, the time during which the test piece was burning was measured, and the determination was made according to the following criteria based on the result.
○: The total of the first burning time and the second burning time is within 20 seconds, and the burning area does not reach the upper part of the test piece.
Δ: The sum of the first burning time and the second burning time is more than 20 seconds and not more than 30 seconds, and the combustion area does not reach the upper part of the test piece.
X: The sum of the first burning time and the second burning time exceeds 30 seconds, or the burning area reaches the upper part of the test piece.
(13)レーザ加工性
内層基板として、実施例1で用いられる両面銅張り基板を用い、これと実施例及び比較例で得られた支持体付きの複合樹脂成形体を用いて、実施例1と同様にして複合樹脂成形体層を有する内層基板を作製した。この複合樹脂成形体層をUV−YAGレーザ第3高調波を用いて直径30μmの層間接続のビアホールを100穴形成した。加工形状を下記の基準で判断した。
○:すべてのビアホールの直径が30±2μmであり、きちんとした円形を保持している。
△:100穴中、20穴未満のビアホール直径が30±5μmであり、きちんとした円形を保持していない。
×:100穴中、20穴以上のビアホール直径が30±5μmであり、きちんとした円形を保持していない。
(13) Laser workability As the inner layer substrate, the double-sided copper-clad substrate used in Example 1 was used, and this and the composite resin molded body with a support obtained in Examples and Comparative Examples were used. Similarly, an inner layer substrate having a composite resin molded body layer was produced. This composite resin molded body layer was formed with 100 via-holes having a diameter of 30 μm using a UV-YAG laser third harmonic. The machining shape was judged according to the following criteria.
○: The diameter of all via holes is 30 ± 2 μm and holds a proper circular shape.
(Triangle | delta): The via hole diameter of less than 20 holes in 100 holes is 30 +/- 5micrometer, and does not hold | maintain the perfect circle.
X: The via hole diameter of 20 holes or more in 30 holes is 30 ± 5 μm, and does not hold a proper circle.
繊維状基材製造例1
液晶性ポリエステル樹脂(製品名「ベクトラ」、ポリプラスチックス社製)10部をテトラフルオロフェノール90部に溶解させた。この溶液をエスプレイヤーES2000(ヒューエンス社製)を用いて、電圧10kV、送液速度10μLにてスプレーするエレクトロスピニング法にて繊維状基材aを得た。この繊維状基材の繊維径は0.2μm、厚みは10μmであった。
Fibrous substrate production example 1
10 parts of a liquid crystalline polyester resin (product name “Vectra”, manufactured by Polyplastics) was dissolved in 90 parts of tetrafluorophenol. A fibrous base material a was obtained by an electrospinning method in which this solution was sprayed at a voltage of 10 kV and a liquid feed speed of 10 μL using Esplayer ES2000 (manufactured by Huence). The fibrous substrate had a fiber diameter of 0.2 μm and a thickness of 10 μm.
繊維状基材製造例2
液晶性ポリエステル樹脂(製品名「ベクトラ」、ポリプラスチックス社製)20部をテトラフルオロフェノール80部に溶解させた。この溶液をエスプレイヤーES2000(ヒューエンス社製)を用いて、電圧10kV、送液速度20μLにてスプレーするエレクトロスピニング法にて繊維状基材bを得た。この繊維状基材の繊維径は1.0μm、厚みは10μmであった。
Fibrous substrate production example 2
20 parts of a liquid crystalline polyester resin (product name “Vectra”, manufactured by Polyplastics) was dissolved in 80 parts of tetrafluorophenol. A fibrous base material b was obtained by an electrospinning method in which this solution was sprayed using Esplayer ES2000 (manufactured by Huence Co., Ltd.) at a voltage of 10 kV and a liquid feeding speed of 20 μL. The fibrous base material had a fiber diameter of 1.0 μm and a thickness of 10 μm.
繊維状基材製造例3
ビフェニルテトラカルボン酸二無水物(BTDA)とパラフェニレンジアミン(PPD)との重縮合体(ポリイミド樹脂)10部をN−メチルピロリドン90部に溶解させた。この溶液をエスプレイヤーES2000(ヒューエンス社製)を用いて、電圧10kV、送液速度10μLにてスプレーするエレクトロスピニング法にて繊維状基材cを得た。この繊維状基材の繊維径は0.2μm、厚みは10μmであった。
Fibrous substrate production example 3
10 parts of a polycondensate (polyimide resin) of biphenyltetracarboxylic dianhydride (BTDA) and paraphenylenediamine (PPD) was dissolved in 90 parts of N-methylpyrrolidone. A fibrous base material c was obtained by an electrospinning method in which this solution was sprayed using Esplayer ES2000 (manufactured by Huence Co., Ltd.) at a voltage of 10 kV and a liquid feeding speed of 10 μL. The fibrous substrate had a fiber diameter of 0.2 μm and a thickness of 10 μm.
繊維状基材製造例4
パラフェニレンジアミドとテレフタル酸クロリドを共縮重合したパラ系アラミド樹脂10部をテトラフルオロフェノール90部に溶解させた。この溶液をエスプレイヤーES2000(ヒューエンス社製)を用いて、電圧10kV、送液速度10μLにてスプレーするエレクトロスピニング法にて繊維状基材dを得た。この繊維状基材の繊維径は0.2μm、厚みは10μmであった。
Fibrous substrate production example 4
10 parts of a para-aramid resin obtained by co-condensation of paraphenylenediamide and terephthalic acid chloride was dissolved in 90 parts of tetrafluorophenol. A fibrous base material d was obtained by an electrospinning method in which this solution was sprayed using Esplayer ES2000 (manufactured by Huence Co., Ltd.) at a voltage of 10 kV and a liquid feeding speed of 10 μL. The fibrous substrate had a fiber diameter of 0.2 μm and a thickness of 10 μm.
繊維状基材製造例5
液晶性ポリエステル樹脂(製品名「ベクトラ」、ポリプラスチックス社製)をメルトブロー法により、紡糸時に高配向させた繊維から構成される繊維状基材eを得た。この繊維状基材の繊維径は5μm、厚みは10μmであった。
Fibrous substrate production example 5
A fibrous base material e composed of fibers obtained by highly orienting a liquid crystalline polyester resin (product name “Vectra”, manufactured by Polyplastics Co., Ltd.) at the time of spinning was obtained. The fibrous substrate had a fiber diameter of 5 μm and a thickness of 10 μm.
繊維状基材製造例6
パラフェニレンジアミドとテレフタル酸クロリドを共縮重合したパラ系アラミド樹脂をメルトブロー法により、紡糸時に高配向させた繊維から構成される繊維状基材fを得た。この繊維状基材の繊維径は5μm、厚みは10μmであった。
Fibrous substrate production example 6
A fibrous base material f composed of highly oriented fibers of a para-aramid resin obtained by co-condensation of paraphenylene diamide and terephthalic acid chloride by spinning was obtained. The fibrous substrate had a fiber diameter of 5 μm and a thickness of 10 μm.
実施例1
8−エチル−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]ドデカ−3−エン(以下、ETDと略記する。)70部とビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン−5,6−ジカルボン酸無水物30部を、1−ブテンを分子量調整剤として添加して開環共重合し、次いで水素添加反応を行って開環共重合体水素添加物を得た。得られた開環共重合体水素添加物のMnは23,000、Mwは50,000、Tgは142℃であった。また、水素化率は99%以上であった。また、酸価は76mgKOH/gであり、体積固有抵抗は1×1014Ω・cm以上であった。
重合体(A)成分として開環共重合体水素添加物100部、硬化剤(B)成分としてビスフェノールAビス(プロピレングリコールグリシジルエーテル)エーテル40部、レーザ加工性向上剤として2−[2−ヒドロキシ−3,5−ビス(α,α−ジメチルベンジル)フェニル]ベンゾトリアゾール5部、硬化促進剤として1−ベンジル−2−フェニルイミダゾール0.1部、および酸化処理液に可溶性の重合体として液状ポリブタジエン(日石ポリブタジエンB−1000:新日本石油化学社製)10部を、キシレン215部及びシクロペンタノン54部からなる混合溶剤に溶解させて、硬化性樹脂組成物のワニスを得た。
Example 1
8-ethyl-tetracyclo [4.4.0.1 2,5 . 1 7, 10 ] dodec-3-ene (hereinafter abbreviated as ETD) 70 parts and bicyclo [2.2.1] hept-2-ene-5,6-dicarboxylic anhydride 30 parts Butene was added as a molecular weight modifier for ring-opening copolymerization, and then hydrogenation reaction was performed to obtain a hydrogenated ring-opening copolymer. Mn of the obtained hydrogenated ring-opening copolymer was 23,000, Mw was 50,000, and Tg was 142 ° C. The hydrogenation rate was 99% or more. The acid value was 76 mgKOH / g, and the volume resistivity was 1 × 10 14 Ω · cm or more.
100 parts of ring-opening copolymer hydrogenated product as polymer (A) component, 40 parts of bisphenol A bis (propylene glycol glycidyl ether) ether as curing agent (B) component, 2- [2-hydroxy as laser processability improver −3,5-bis (α, α-dimethylbenzyl) phenyl] benzotriazole, 0.1 part of 1-benzyl-2-phenylimidazole as a curing accelerator, and liquid polybutadiene as a polymer soluble in the oxidation treatment liquid 10 parts (Nisseki Polybutadiene B-1000: manufactured by Nippon Petrochemical Co., Ltd.) was dissolved in a mixed solvent consisting of 215 parts of xylene and 54 parts of cyclopentanone to obtain a varnish of a curable resin composition.
縦300mm×横300mmの大きさで厚さが40μm、表面平均粗さRaが0.08μmのポリエチレンナフタレートフィルム(支持体)上に、縦250mm×横250mmの大きさで厚みが10μmの、繊維状基材aを設置し、次いで上記で得られたワニスを、ダイコーターを用いて繊維状基材aに塗工し、含浸させた。次いで、窒素雰囲気下、80℃で10分間乾燥し、厚みが30μm、繊維状基材含有量が30%である支持体付きの複合樹脂成形体を得た。 A fiber having a size of 250 mm long × 250 mm wide and 10 μm thick on a polyethylene naphthalate film (support) having a size of 300 mm long × 300 mm wide, a thickness of 40 μm, and an average surface roughness Ra of 0.08 μm. The fibrous base material a was installed, and then the varnish obtained above was applied to the fibrous base material a using a die coater and impregnated. Subsequently, it dried for 10 minutes at 80 degreeC in nitrogen atmosphere, and obtained the composite resin molding with a support whose thickness is 30 micrometers and fibrous base material content is 30%.
ガラスフィラー及びハロゲン不含エポキシ樹脂を含有するワニスをガラス繊維に含浸させて得られたコア材の表面に、厚みが10μmの銅が貼られた、厚み0.8mm、縦150mm×横150mmの両面銅張り基板表面に、配線幅及び配線間距離が15μm、厚みが10μmで、表面が有機酸との接触によってマイクロエッチング処理された導体層を形成して、表面に導体層を有する基板である内層基板を得た。上記で得られた複合樹脂成形体を縦150mm×横150mmの大きさに切断し、複合樹脂成形体面が内側、支持体が外側となるようにして、この内層基板の両面に重ね合わせた。
これを、耐熱ゴム製プレス板を上下に備えた真空ラミネータを用いて、200Paに減圧して、温度110℃、圧力1.0MPaで300秒間加熱圧着した(一次プレス)。さらに、金属製プレス板で覆われた耐熱ゴム製プレス板を上下に備えた真空ラミネータを用いて、200Paに減圧して、温度140℃、1.0MPaで300秒間、加熱圧着した(二次プレス)。次いで支持体を剥がして、複合樹脂成形体層を有する内層基板を得た。
10 μm thick copper is pasted on the surface of the core material obtained by impregnating glass fiber with varnish containing glass filler and halogen-free epoxy resin. An inner layer that is a substrate having a conductor layer formed on the surface by forming a conductor layer having a wiring width and a distance between the wirings of 15 μm and a thickness of 10 μm on the surface of the copper-clad substrate and microetching the surface by contact with an organic acid. A substrate was obtained. The composite resin molded body obtained above was cut into a size of 150 mm in length and 150 mm in width, and superimposed on both surfaces of the inner substrate so that the surface of the composite resin molded body was on the inside and the support was on the outside.
This was depressurized to 200 Pa using a vacuum laminator provided with heat-resistant rubber press plates at the top and bottom, and thermocompression bonded at a temperature of 110 ° C. and a pressure of 1.0 MPa for 300 seconds (primary press). Furthermore, using a vacuum laminator equipped with a heat-resistant rubber press plate covered with a metal press plate, the pressure was reduced to 200 Pa and thermocompression bonded at a temperature of 140 ° C. and 1.0 MPa for 300 seconds (secondary press ). Next, the support was peeled off to obtain an inner layer substrate having a composite resin molded body layer.
この内層基板を、1−(2−アミノエチル)−2−メチルイミダゾールの1.0%水溶液に30℃にて10分間浸漬し、次いで25℃の水に1分間浸漬した後、エアーナイフにて余分な溶液を除去した。これを窒素雰囲気下、170℃で60分間放置し、樹脂層を硬化させて内層基板上に電気絶縁層を形成した。この電気絶縁層に、UV−YAGレーザ第3高調波を用いて直径30μmの層間接続のビアホールを形成しビアホールつき多層回路基板を得た。 This inner layer substrate was immersed in a 1.0% aqueous solution of 1- (2-aminoethyl) -2-methylimidazole at 30 ° C. for 10 minutes, and then immersed in water at 25 ° C. for 1 minute, and then with an air knife. Excess solution was removed. This was left under a nitrogen atmosphere at 170 ° C. for 60 minutes to cure the resin layer and form an electrical insulating layer on the inner layer substrate. An interlayer connection via hole having a diameter of 30 μm was formed in this electrical insulating layer using a third harmonic of a UV-YAG laser, to obtain a multilayer circuit board with a via hole.
得られたビアホールつき多層回路基板を、過マンガン酸濃度60g/リットル、水酸化ナトリウム濃度28g/リットルになるように調整した70℃の水溶液に10分間揺動浸漬した。次いで、この多層回路基板を水槽に1分間揺動浸漬し、更に別の水槽に1分間揺動浸漬することにより水洗した。続いて硫酸ヒドロキシルアミン濃度170g/リットル、硫酸80g/リットルになるように調整した25℃の水溶液に、多層回路基板を5分間浸漬し、中和還元処理をした後、水洗した。 The obtained multilayer circuit board with via holes was rock-immersed in an aqueous solution at 70 ° C. adjusted to have a permanganate concentration of 60 g / liter and a sodium hydroxide concentration of 28 g / liter for 10 minutes. Next, this multilayer circuit board was immersed in a water tank for 1 minute and further washed in water by immersion in another water tank for 1 minute. Subsequently, the multilayer circuit board was immersed for 5 minutes in a 25 ° C. aqueous solution adjusted to a hydroxylamine sulfate concentration of 170 g / liter and sulfuric acid 80 g / liter, neutralized and reduced, and then washed with water.
次いで、めっき前処理として、上記水洗後の多層回路基板をアルカップアクチベータMAT−1−A(上村工業社製)が200ml/リットル、アルカップアクチベータMAT−1−B(上村工業社製)が30ml/リットル、水酸化ナトリウムが0.35g/リットルになるように調整した60℃のPd塩含有めっき触媒水溶液に5分間浸漬した。次いで、この多層回路基板を水槽に1分間揺動浸漬し、更に別の水槽に1分間揺動浸漬することにより水洗した後、アルカップレデユーサーMAB−4−A(上村工業社製)が20ml/リットル、アルカップレデユーサーMAB−4−B(上村工業社製)が200ml/リットルになるように調整した溶液に35℃で、3分間浸漬し、めっき触媒を還元処理した。このようにしてめっき触媒を吸着させ、めっき前処理を施した多層回路基板を得た。 Next, as pre-plating treatment, Alcup activator MAT-1-A (manufactured by Uemura Kogyo Co., Ltd.) is 200 ml / liter, and Alcup activator MAT-1-B (manufactured by Uemura Kogyo Co., Ltd.) is 30 ml. / L, and immersed in a 60 ° C. Pd salt-containing plating catalyst aqueous solution adjusted to 0.35 g / L of sodium hydroxide for 5 minutes. Next, the multilayer circuit board was immersed in a water tank for 1 minute and further washed in a water tank for 1 minute, and then washed with water. After that, Alcapredeuser MAB-4-A (manufactured by Uemura Kogyo Co., Ltd.) was 20 ml. The plating catalyst was reduced by immersion for 3 minutes at 35 ° C. in a solution adjusted to 200 ml / liter of Alcapredeuser MAB-4-B (manufactured by Uemura Kogyo Co., Ltd.). In this way, a plating catalyst was adsorbed to obtain a multilayer circuit board subjected to plating pretreatment.
次いで、めっき前処理後の多層回路基板を、スルカップPSY−1A(上村工業社製)100ml/リットル、スルカップPSY−1B(上村工業社製)40ml/リットル、ホルマリン0.2モル/リットルとなるように調整した水溶液に空気を吹き込みながら、温度36℃、5分間浸漬して無電解銅めっき処理を行った。
無電解めっき処理により金属薄膜層が形成された多層回路基板を、更に水槽に1分間揺動浸漬し、更に別の水槽に1分間揺動浸漬することにより水洗した後、乾燥し、防錆処理を施し、無電解めっき皮膜が形成された多層回路基板を得た。
Subsequently, the multilayer circuit board after the pre-plating treatment is 100 ml / liter of Sulcup PSY-1A (manufactured by Uemura Kogyo Co., Ltd.), 40 ml / liter of Sulcup PSY-1B (manufactured by Uemura Kogyo Co., Ltd.), and 0.2 mol / liter of formalin. Electroless copper plating treatment was performed by dipping for 5 minutes at a temperature of 36 ° C. while blowing air into the aqueous solution prepared.
The multilayer circuit board on which the metal thin film layer is formed by electroless plating is further immersed in a water tank for 1 minute, and further washed in a water tank for 1 minute, and then washed and dried to prevent rust. To obtain a multilayer circuit board on which an electroless plating film was formed.
この防錆処理が施された多層回路基板表面に、市販の感光性レジストのドライフィルムを熱圧着して貼り付け、さらに、このドライフィルム上に密着性評価用パターンに対応するパターンのマスクを密着させ露光した後、現像してレジストパターンを得た。次に硫酸100g/リットルの水溶液に25℃で1分間浸漬させ防錆剤を除去し、レジスト非形成部分に電解銅めっきを施し厚さ10μmの電解銅めっき膜を形成させた。次いで、レジストパターンを剥離液にて剥離除去し、塩化第二銅と塩酸の混合水溶液によりエッチング処理を行うことにより、前記金属薄膜及び電解銅めっき膜からなる配線パターンを形成し両面2層の配線パターン付き多層回路基板aを得た。そして、最後に、170℃で30分間アニール処理をして多層プリント配線板を得た。得られた多層回路基板aについて回路パターニング性を評価した。 A dry film of a commercially available photosensitive resist is attached to the surface of the multilayer circuit board that has been subjected to the antirust treatment by thermocompression bonding, and a mask having a pattern corresponding to the adhesion evaluation pattern is adhered to the dry film. After exposure, development was performed to obtain a resist pattern. Next, it was immersed in an aqueous solution of 100 g / liter sulfuric acid at 25 ° C. for 1 minute to remove the rust preventive, and electrolytic copper plating was applied to the resist non-formed portion to form an electrolytic copper plating film having a thickness of 10 μm. Next, the resist pattern is stripped and removed with a stripping solution, and an etching process is performed with a mixed aqueous solution of cupric chloride and hydrochloric acid to form a wiring pattern composed of the metal thin film and the electrolytic copper plating film. A patterned multilayer circuit board a was obtained. Finally, annealing was performed at 170 ° C. for 30 minutes to obtain a multilayer printed wiring board. Circuit patternability was evaluated for the obtained multilayer circuit board a.
実施例2
実施例1において繊維状基材aに代えて繊維状基材bを用いた以外は実施例1と同様に行って多層回路基板bを得た。実施例1と同様の項目について試験、評価を行った。
実施例3
実施例1において繊維状基材aに代えて繊維状基材cを用いた以外は実施例1と同様に行って多層回路基板cを得た。実施例1と同様の項目について試験、評価を行った。
実施例4
実施例1において繊維状基材aに代えて繊維状基材dを用いた以外は実施例1と同様に行って多層回路基板dを得た。実施例1と同様の項目について試験、評価を行った。
Example 2
A multilayer circuit board b was obtained in the same manner as in Example 1 except that the fibrous base material b was used instead of the fibrous base material a in Example 1. The same items as in Example 1 were tested and evaluated.
Example 3
A multilayer circuit board c was obtained in the same manner as in Example 1 except that the fibrous base material c was used instead of the fibrous base material a in Example 1. The same items as in Example 1 were tested and evaluated.
Example 4
A multilayer circuit board d was obtained in the same manner as in Example 1 except that the fibrous base material d was used instead of the fibrous base material a in Example 1. The same items as in Example 1 were tested and evaluated.
比較例1
実施例1において繊維状基材aに代えて繊維状基材e用いた以外は実施例1と同様に行って多層回路基板eを得た。実施例1と同様の項目について試験、評価を行った。
比較例2
実施例1において繊維状基材aに代えて繊維状基材fを用いた以外は実施例1と同様に行って多層回路基板fを得た。実施例1と同様の項目について試験、評価を行った。
Comparative Example 1
A multilayer circuit board e was obtained in the same manner as in Example 1 except that the fibrous base material e was used instead of the fibrous base material a in Example 1. The same items as in Example 1 were tested and evaluated.
Comparative Example 2
A multilayer circuit board f was obtained in the same manner as in Example 1 except that the fibrous base material f was used instead of the fibrous base material a in Example 1. The same items as in Example 1 were tested and evaluated.
実施例及び比較例の結果を下表に示す。 The results of Examples and Comparative Examples are shown in the table below.
この結果から、繊維径の大きな繊維状基材を用いると平坦性、パターニング性、レーザ加工性が劣ることが分かる。 From this result, it can be seen that when a fibrous base material having a large fiber diameter is used, flatness, patterning property, and laser processability are inferior.
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