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JP2009229720A - Photosensitive resin composition, photo spacer and its forming method, protective film, coloring pattern, substrate for display, and display - Google Patents

Photosensitive resin composition, photo spacer and its forming method, protective film, coloring pattern, substrate for display, and display Download PDF

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JP2009229720A
JP2009229720A JP2008073976A JP2008073976A JP2009229720A JP 2009229720 A JP2009229720 A JP 2009229720A JP 2008073976 A JP2008073976 A JP 2008073976A JP 2008073976 A JP2008073976 A JP 2008073976A JP 2009229720 A JP2009229720 A JP 2009229720A
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JP
Japan
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group
photosensitive resin
resin composition
general formula
substrate
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Application number
JP2008073976A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Kenta Yamazaki
健太 山▲崎▼
Yuichi Fukushige
裕一 福重
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Fujifilm Corp
Original Assignee
Fujifilm Corp
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Publication date
Application filed by Fujifilm Corp filed Critical Fujifilm Corp
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Abstract

【課題】強靱性及び柔軟性に優れる硬化物を形成可能な感光性樹脂組成物の提供。
【解決手段】樹脂と、下記一般式(1)に示す構造を含む重合性化合物と、光重合開始剤と、を含む感光性樹脂組成物。

一般式(1)に示す構造は、*の位置で他の構造と結合して重合性化合物をなす。また、一般式(1)において、Rは水素原子又はメチル基を表し、Rは水素原子、一価の有機基又は前記他の構造と結合して−RCHX−を含む環構造を形成する二価の有機基を表す。Xは−O−、−NR−又は−S−を表す。Rは水素原子、一価の有機基又は前記他の構造と結合して−RN−を含む環構造を形成する二価の有機基を表す。
【選択図】なし
Provided is a photosensitive resin composition capable of forming a cured product having excellent toughness and flexibility.
A photosensitive resin composition comprising a resin, a polymerizable compound having a structure represented by the following general formula (1), and a photopolymerization initiator.

The structure represented by the general formula (1) is combined with another structure at the position of * to form a polymerizable compound. In the general formula (1), R 0 represents a hydrogen atom or a methyl group, and R 1 represents a ring structure containing —R 1 CHX— bonded to a hydrogen atom, a monovalent organic group or the other structure. Represents a divalent organic group to be formed. X represents —O—, —NR 2 — or —S—. R 2 represents a hydrogen atom, a monovalent organic group, or a divalent organic group that forms a ring structure containing —R 2 N— by combining with the other structure.
[Selection figure] None

Description

本発明は、感光性樹脂組成物、フォトスペーサー及びその形成方法、保護膜、着色パターン、表示装置用基板、並びに表示装置に関する。   The present invention relates to a photosensitive resin composition, a photospacer and a method for forming the same, a protective film, a coloring pattern, a display device substrate, and a display device.

液晶表示装置は、高画質画像を表示する表示装置に広く利用されている。
液晶表示装置は一般に、一対の基板(以下、「表示装置用基板」ともいう)間に所定の配向により画像表示を可能とする液晶層が配置されており、この基板間隔、すなわち液晶層の厚みを均一に維持することが画質を決定する要素の一つであり、そのために液晶層の厚みを一定に保持するためのスペーサーが配設されている。この基板の間の厚みは一般に「セル厚」と称され、セル厚は通常、前記液晶層の厚み、換言すれば、表示領域の液晶に電界をかけている2枚の電極間の距離を示すものである。
Liquid crystal display devices are widely used in display devices that display high-quality images.
In a liquid crystal display device, a liquid crystal layer capable of displaying an image with a predetermined orientation is generally disposed between a pair of substrates (hereinafter also referred to as a “display device substrate”). Maintaining uniformity is one of the factors that determine image quality, and for this purpose, a spacer is provided to keep the thickness of the liquid crystal layer constant. The thickness between the substrates is generally referred to as “cell thickness”, and the cell thickness usually indicates the thickness of the liquid crystal layer, in other words, the distance between two electrodes applying an electric field to the liquid crystal in the display region. Is.

表示装置用基板(例えば、カラーフィルタ基板、アクティブマトリクス基板、等)は、基板上に着色パターンや保護膜等の構造物が形成された構成となっている。これらの構造物のうち、着色パターンや保護膜の形成方法としては、感光性樹脂組成物を用いてフォトリソグラフィーにより形成する方法が主流となっている。   A display device substrate (for example, a color filter substrate, an active matrix substrate, or the like) has a structure in which structures such as a colored pattern and a protective film are formed on the substrate. Among these structures, a method of forming a colored pattern or a protective film by photolithography using a photosensitive resin composition has become the mainstream.

また、スペーサーについても、従来はビーズ散布により形成されていたが、近年では、感光性樹脂組成物を用いてフォトリソグラフィーにより位置精度の高いスペーサーが形成されるようになってきている。このような感光性樹脂組成物を用いて形成されたスペーサーは、フォトスペーサーと呼ばれている。   In addition, spacers have conventionally been formed by bead dispersion, but in recent years, spacers with high positional accuracy have been formed by photolithography using a photosensitive resin composition. A spacer formed using such a photosensitive resin composition is called a photospacer.

感光性樹脂組成物に関しては、従来より種々の検討がなされており、例えば、エチレン性不飽和カルボン酸等とエチレン性不飽和化合物との共重合体及び特定の光重合開始剤を用いた感光性樹脂組成物が開示されている(例えば、特許文献1参照)。また、特定構造の脂肪族環状炭化水素基を有する構成単位と酸性官能基を有する構成単位とラジカル重合性基を有する構成単位とが連結した分子構造の脂肪族環状炭化水素基含有共重合体からなる硬化性樹脂が開示されている(例えば、特許文献2参照)。
特開2007−86565号公報 特開2002−293837号公報
Regarding the photosensitive resin composition, various studies have been made conventionally. For example, a photosensitive resin using a copolymer of an ethylenically unsaturated carboxylic acid or the like and an ethylenically unsaturated compound and a specific photopolymerization initiator. A resin composition is disclosed (for example, see Patent Document 1). Further, from an aliphatic cyclic hydrocarbon group-containing copolymer having a molecular structure in which a structural unit having an aliphatic cyclic hydrocarbon group having a specific structure, a structural unit having an acidic functional group, and a structural unit having a radical polymerizable group are linked. A curable resin is disclosed (for example, see Patent Document 2).
JP 2007-86565 A Japanese Patent Laid-Open No. 2002-293737

前記従来の感光性樹脂組成物においては、一般的に光重合性モノマーとして、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレートやジペンタエリスリトールペンタアクリレート等のエチレン性不飽和結合を有するモノマーが用いられている。   In the conventional photosensitive resin composition, a monomer having an ethylenically unsaturated bond such as dipentaerythritol hexaacrylate or dipentaerythritol pentaacrylate is generally used as a photopolymerizable monomer.

しかしながら、従来の感光性樹脂組成物を用いて基板上にパターン構造物(例えば、フォトスペーサー、着色パターン、等。以下同じ)や保護膜を形成する場合、露光のみでは重合硬化が不十分な場合があり、硬化物の強靱性に劣る場合がある。そのため、硬化物の強靱性を得ることを目的として露光・現像後に高温の加熱処理を施す必要を生ずる場合がある。また、従来の感光性樹脂組成物を用いて得られた硬化物は柔軟性に劣る場合があり、その結果として液晶の低温発泡の問題を生ずることがあった。   However, when a pattern structure (for example, photo spacer, colored pattern, etc.) and a protective film are formed on a substrate using a conventional photosensitive resin composition, polymerization and curing are insufficient only by exposure. And the toughness of the cured product may be inferior. Therefore, it may be necessary to perform high-temperature heat treatment after exposure / development for the purpose of obtaining the toughness of the cured product. Moreover, the hardened | cured material obtained using the conventional photosensitive resin composition may be inferior to a softness | flexibility, As a result, the problem of the low-temperature foaming of a liquid crystal may be produced.

本発明は上記従来の問題点に鑑みてなされたものであり、強靱性及び柔軟性に優れる硬化物を形成可能な感光性樹脂組成物、強靱性及び柔軟性に優れるフォトスペーサー、保護膜及び着色パターン、強靱性及び柔軟性に優れるフォトスペーサーの製造方法、並びに、表示ムラを抑制できる表示装置用基板及び表示ムラが抑制された表示装置を提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of the above-described conventional problems, and is a photosensitive resin composition capable of forming a cured product having excellent toughness and flexibility, a photospacer, a protective film and a coloring material having excellent toughness and flexibility. It is an object of the present invention to provide a manufacturing method of a photo spacer excellent in pattern, toughness and flexibility, a display device substrate capable of suppressing display unevenness, and a display device in which display unevenness is suppressed.

本発明者は鋭意検討した結果、特定の重合性化合物を用いることで前記課題を解決できるとの知見を得、該知見に基づき本発明を完成した。
即ち、本発明は、
<1> 樹脂と、下記一般式(1)に示す構造を含む重合性化合物と、光重合開始剤と、を含む感光性樹脂組成物。
As a result of intensive studies, the present inventor obtained knowledge that the above-mentioned problems can be solved by using a specific polymerizable compound, and completed the present invention based on the knowledge.
That is, the present invention
<1> A photosensitive resin composition comprising a resin, a polymerizable compound having a structure represented by the following general formula (1), and a photopolymerization initiator.

一般式(1)に示す構造は、*の位置で他の構造と結合して重合性化合物をなす。また、一般式(1)において、Rは水素原子又はメチル基を表し、Rは水素原子、一価の有機基又は前記他の構造と結合して−RCHX−を含む環構造を形成する二価の有機基を表す。Xは−O−、−NR−又は−S−を表す。Rは水素原子、一価の有機基又は前記他の構造と結合して−RN−を含む環構造を形成する二価の有機基を表す。 The structure represented by the general formula (1) is combined with another structure at the position of * to form a polymerizable compound. In the general formula (1), R 0 represents a hydrogen atom or a methyl group, and R 1 represents a ring structure containing —R 1 CHX— bonded to a hydrogen atom, a monovalent organic group or the other structure. Represents a divalent organic group to be formed. X represents —O—, —NR 2 — or —S—. R 2 represents a hydrogen atom, a monovalent organic group, or a divalent organic group that forms a ring structure containing —R 2 N— by combining with the other structure.

<2> 前記一般式(1)に示す構造を含む重合性化合物が、下記一般式(2)に示す構造を含む重合性化合物である<1>に記載の感光性樹脂組成物。   <2> The photosensitive resin composition according to <1>, wherein the polymerizable compound including the structure represented by the general formula (1) is a polymerizable compound including a structure represented by the following general formula (2).

一般式(2)に示す構造は、*の位置で他の構造と結合して重合性化合物をなす。また、一般式(2)において、Rは水素原子又はメチル基を表し、Rは水素原子、一価の有機基又は前記他の構造と結合して−RCHX−CO−を含む環構造を形成する二価の有機基を表す。Xは−O−、−NR−又は−S−を表す。Rは水素原子、一価の有機基又は前記他の構造と結合して−RN−CO−を含む環構造を形成する二価の有機基を表す。 The structure represented by the general formula (2) is combined with another structure at the position of * to form a polymerizable compound. In the general formula (2), R 0 represents a hydrogen atom or a methyl group, and R 1 is a ring containing —R 1 CHX—CO— bonded to a hydrogen atom, a monovalent organic group, or the other structure. Represents a divalent organic group that forms the structure. X represents —O—, —NR 2 — or —S—. R 2 represents a hydrogen atom, a monovalent organic group, or a divalent organic group that forms a ring structure containing —R 2 N—CO— by combining with another structure.

<3> 前記一般式(1)に示す構造を含む重合性化合物以外の重合性化合物をさらに含む<1>又は<2>に記載の感光性樹脂組成物。   <3> The photosensitive resin composition according to <1> or <2>, further including a polymerizable compound other than the polymerizable compound including the structure represented by the general formula (1).

<4> 前記樹脂が、側鎖に、分岐及び/又は脂環構造、酸性基、並びにエチレン性不飽和結合を有する<1>〜<3>のいずれか1つに記載の感光性樹脂組成物。   <4> The photosensitive resin composition according to any one of <1> to <3>, wherein the resin has a branched and / or alicyclic structure, an acidic group, and an ethylenically unsaturated bond in a side chain. .

<5> <1>〜<4>のいずれか1つに記載の感光性樹脂組成物を用いて形成されたフォトスペーサー。   <5> A photospacer formed using the photosensitive resin composition according to any one of <1> to <4>.

<6> 少なくとも下記工程(イ)〜(ハ)を含むフォトスペーサーの形成方法。
(イ)請求項1〜請求項4のいずれか1項に記載の感光性樹脂組成物の被膜を基板上に形成する工程
(ロ)前記被膜の少なくとも一部を露光する工程
(ハ)露光後の前記被膜を現像する工程
<6> A method for forming a photospacer comprising at least the following steps (a) to (c)
(B) A step of forming a film of the photosensitive resin composition according to any one of claims 1 to 4 on a substrate (b) A step of exposing at least a part of the film (c) After exposure Developing the film

<7> <1>〜<4>のいずれか1つに記載の感光性樹脂組成物を用いて形成された保護膜。   <7> A protective film formed using the photosensitive resin composition according to any one of <1> to <4>.

<8> <1>〜<4>のいずれか1つに記載の感光性樹脂組成物を用いて形成された着色パターン。   <8> A colored pattern formed using the photosensitive resin composition according to any one of <1> to <4>.

<9> <5>に記載のフォトスペーサー、<7>に記載の保護膜、及び<8>に記載の着色パターンの少なくとも1つを備えた表示装置用基板。   <9> A substrate for a display device comprising at least one of the photospacer according to <5>, the protective film according to <7>, and the coloring pattern according to <8>.

<10> <9>に記載の表示装置用基板を備えた表示装置。   <10> A display device comprising the display device substrate according to <9>.

本発明によれば、強靱性及び柔軟性に優れる硬化物を形成可能な感光性樹脂組成物、強靱性及び柔軟性に優れるフォトスペーサー、保護膜及び着色パターン、強靱性及び柔軟性に優れるフォトスペーサーの製造方法、並びに、表示ムラを抑制できる表示装置用基板及び表示ムラが抑制された表示装置が提供される。   According to the present invention, a photosensitive resin composition capable of forming a cured product excellent in toughness and flexibility, a photospacer excellent in toughness and flexibility, a protective film and a colored pattern, a photospacer excellent in toughness and flexibility Manufacturing method, a display device substrate capable of suppressing display unevenness, and a display device in which display unevenness is suppressed are provided.

以下、本発明の感光性樹脂組成物について詳細に説明し、さらに該感光性樹脂組成物を用いたフォトスペーサー及びその形成方法、保護膜、着色パターン、表示装置用基板、並びに表示装置についても説明する。   Hereinafter, the photosensitive resin composition of the present invention will be described in detail, and a photo spacer using the photosensitive resin composition and a method for forming the same, a protective film, a coloring pattern, a display device substrate, and a display device will also be described. To do.

[感光性樹脂組成物]
本発明の感光性樹脂組成物は、樹脂と、下記一般式(1)に示す構造を含む重合性化合物(以下、「特定の重合性化合物」と称することがある。)と、光重合開始剤と、を含み、必要に応じてその他の添加剤を添加して構成される。
[Photosensitive resin composition]
The photosensitive resin composition of the present invention includes a resin, a polymerizable compound having a structure represented by the following general formula (1) (hereinafter sometimes referred to as “specific polymerizable compound”), and a photopolymerization initiator. And other additives are added as necessary.

一般式(1)に示す構造は、*の位置で他の構造と結合して重合性化合物をなす。また、一般式(1)において、Rは水素原子又はメチル基を表し、Rは水素原子、一価の有機基又は前記他の構造と結合して−RCHX−を含む環構造を形成する二価の有機基を表す。Xは−O−、−NR−又は−S−を表す。Rは水素原子、一価の有機基又は前記他の構造と結合して−RN−を含む環構造を形成する二価の有機基を表す。 The structure represented by the general formula (1) is combined with another structure at the position of * to form a polymerizable compound. In the general formula (1), R 0 represents a hydrogen atom or a methyl group, and R 1 represents a ring structure containing —R 1 CHX— bonded to a hydrogen atom, a monovalent organic group or the other structure. Represents a divalent organic group to be formed. X represents —O—, —NR 2 — or —S—. R 2 represents a hydrogen atom, a monovalent organic group, or a divalent organic group that forms a ring structure containing —R 2 N— by combining with the other structure.

本発明の感光性樹脂組成物から形成された硬化物は強靱性及び柔軟性に優れる。その理由は明確ではないが、以下のように推察される。
感光性樹脂組成物に一般に用いられるDPHA等の重合性化合物の露光による反応率は高くとも50%程度である。それに対し、上記特定の重合性化合物では連鎖移動反応が起こり反応率が高まるため、よりネットワーク構造が発達した硬化物を形成可能となる。その結果として強靱性及び柔軟性に優れる硬化物を形成することができるものと推察される。
The cured product formed from the photosensitive resin composition of the present invention is excellent in toughness and flexibility. The reason is not clear, but is presumed as follows.
The reaction rate by exposure of a polymerizable compound such as DPHA generally used in the photosensitive resin composition is at most about 50%. On the other hand, since the chain transfer reaction occurs in the specific polymerizable compound and the reaction rate is increased, a cured product having a more developed network structure can be formed. As a result, it is assumed that a cured product having excellent toughness and flexibility can be formed.

以下、本発明の感光性樹脂組成物を構成する各成分について説明する。
<特定の重合性化合物>
特定の重合性化合物は、一般式(1)に示す構造を含む重合性化合物であれば特に限定されるものではない。特定の重合性化合物は、一般式(1)に示す構造をその分子中に一つ含むものであってもよいし、二つ以上含むものであってもよい。
Hereinafter, each component which comprises the photosensitive resin composition of this invention is demonstrated.
<Specific polymerizable compound>
The specific polymerizable compound is not particularly limited as long as it is a polymerizable compound having a structure represented by the general formula (1). The specific polymerizable compound may include one structure represented by the general formula (1) in the molecule, or may include two or more.

一般式(1)において、Rで表される一価の有機基の具体例としては、例えば、水素原子、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基などが挙げられ、これらは分岐構造を有していてもよい。Rとしては、水素原子、メチル基、エチル基、前記他の構造と結合して−RCHX−を含む環構造を形成する二価の有機基が好ましく、水素原子又は前記他の構造と結合して−RCHX−を含む環構造を形成する二価の有機基がさらに好ましい。 In the general formula (1), specific examples of the monovalent organic group represented by R 1 include, for example, a hydrogen atom, a methyl group, an ethyl group, a propyl group, a butyl group, a pentyl group, a hexyl group, a heptyl group, An octyl group etc. are mentioned, These may have a branched structure. R 1 is preferably a hydrogen atom, a methyl group, an ethyl group, or a divalent organic group that forms a ring structure containing —R 1 CHX— by combining with the other structure. A divalent organic group which is bonded to form a ring structure containing —R 1 CHX— is more preferable.

一般式(1)において、Xとしては、−O−又は−NR−が好ましい。Rで表される一価の有機基の具体例としては、例えば、水素原子、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基などが挙げられ、これらは分岐構造を有していてもよい。Rとしては、水素原子、メチル基、エチル基、前記他の構造と結合して−RN−を含む環構造を形成する二価の有機基が好ましく、水素原子又は前記他の構造と結合して−RN−を含む環構造を形成する二価の有機基がさらに好ましい。 In the general formula (1), X is preferably —O— or —NR 2 —. Specific examples of the monovalent organic group represented by R 2 include a hydrogen atom, a methyl group, an ethyl group, a propyl group, a butyl group, a pentyl group, a hexyl group, a heptyl group, and an octyl group. These may have a branched structure. R 2 is preferably a hydrogen atom, a methyl group, an ethyl group, or a divalent organic group that forms a ring structure containing —R 2 N— by combining with the other structure, and a hydrogen atom or the other structure A divalent organic group which is bonded to form a ring structure containing —R 2 N— is more preferable.

一般式(1)に示す構造が*の位置で結合して重合性化合物をなすための「他の構造」に特に限定はなく、例えば、アルキル基、有機連結基、芳香環基などでもよい。アルキル基としては、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基などが挙げられ、これらは分岐構造を有していてもよい。有機連結基としては、例えば、エチレン鎖やプロピレン鎖のようなアルキレン基、エチレンオキサイド、プロピレンオキサイドのようなエーテル基、エステル基、アミド基、アミン、ビスフェノール骨格、トリメチロールプロパン骨格、イソシアヌレート骨格、ペンタエリスリトール骨格、ジペンタエリスリトール骨格などが挙げられる。   There is no particular limitation on the “other structure” for bonding the structure represented by the general formula (1) at the position of * to form a polymerizable compound. For example, an alkyl group, an organic linking group, an aromatic ring group, and the like may be used. Examples of the alkyl group include a methyl group, an ethyl group, a propyl group, a butyl group, a pentyl group, a hexyl group, a heptyl group, an octyl group, and the like, and these may have a branched structure. Examples of the organic linking group include an alkylene group such as an ethylene chain and a propylene chain, an ether group such as ethylene oxide and propylene oxide, an ester group, an amide group, an amine, a bisphenol skeleton, a trimethylolpropane skeleton, an isocyanurate skeleton, Examples include a pentaerythritol skeleton and a dipentaerythritol skeleton.

本発明において、特定の重合性化合物は、一般式(2)に示す構造を含む重合性化合物であってもよい。この場合においても、特定の重合性化合物は、一般式(2)に示す構造をその分子中に一つ含むものであってもよいし、二つ以上含むものであってもよい。   In the present invention, the specific polymerizable compound may be a polymerizable compound having a structure represented by the general formula (2). Also in this case, the specific polymerizable compound may include one structure represented by the general formula (2) in the molecule, or may include two or more.

一般式(2)に示す構造は、*の位置で他の構造と結合して重合性化合物をなす。また、一般式(2)において、Rは水素原子又はメチル基を表し、Rは水素原子、一価の有機基又は前記他の構造と結合して−RCHX−CO−を含む環構造を形成する二価の有機基を表す。Xは−O−、−NR−又は−S−を表す。Rは水素原子、一価の有機基又は前記他の構造と結合して−RN−CO−を含む環構造を形成する二価の有機基を表す。 The structure represented by the general formula (2) is combined with another structure at the position of * to form a polymerizable compound. In the general formula (2), R 0 represents a hydrogen atom or a methyl group, and R 1 is a ring containing —R 1 CHX—CO— bonded to a hydrogen atom, a monovalent organic group, or the other structure. Represents a divalent organic group that forms the structure. X represents —O—, —NR 2 — or —S—. R 2 represents a hydrogen atom, a monovalent organic group, or a divalent organic group that forms a ring structure containing —R 2 N—CO— by combining with another structure.

一般式(2)に示す構造において、R又はRで表される一価の有機基及び「他の構造」の具体例は、一般式(1)に示す構造の場合と同様である。 In the structure represented by the general formula (2), specific examples of the monovalent organic group represented by R 1 or R 2 and “other structure” are the same as those in the structure represented by the general formula (1).

一般式(2)において、Rとしては、水素原子、メチル基、エチル基、前記他の構造と結合して−RCHX−CO−を含む環構造を形成する二価の有機基が好ましく、水素原子又は前記他の構造と結合して−RCHX−CO−を含む環構造を形成する二価の有機基がさらに好ましい。 In General Formula (2), R 1 is preferably a hydrogen atom, a methyl group, an ethyl group, or a divalent organic group that forms a ring structure containing —R 1 CHX—CO— by combining with the other structure. Further, a divalent organic group that forms a ring structure containing —R 1 CHX—CO— by combining with a hydrogen atom or the other structure is more preferable.

一般式(2)において、Xとしては、−O−又は−NR−が好ましい。Rとしては、水素原子、メチル基、エチル基、前記他の構造と結合して−RN−CO−を含む環構造を形成する二価の有機基が好ましく、水素原子又は前記他の構造と結合して−RN−CO−を含む環構造を形成する二価の有機基がさらに好ましい。 In the general formula (2), X is preferably —O— or —NR 2 —. R 2 is preferably a hydrogen atom, a methyl group, an ethyl group, or a divalent organic group that forms a ring structure containing —R 2 N—CO— by combining with the other structure. More preferred are divalent organic groups that combine with the structure to form a ring structure containing —R 2 N—CO—.

以下に、特定の重合性化合物の具体例を示すが、特定の重合性化合物は下記具体例に限定されるものではない。   Specific examples of the specific polymerizable compound are shown below, but the specific polymerizable compound is not limited to the following specific examples.

本発明の感光性樹脂組成物は、上記特定の重合性化合物以外の重合性化合物を含有してもよい。
前記特定の重合性化合物以外の重合性化合物としては、公知の組成物を構成する重合性の化合物から選択して用いることができ、例えば、特開2006−23696号公報の段落番号[0010]〜[0020]に記載の成分や、特開2006−64921号公報の段落番号[0027]〜[0053]に記載の成分を挙げることができる。
The photosensitive resin composition of the present invention may contain a polymerizable compound other than the specific polymerizable compound.
As the polymerizable compound other than the specific polymerizable compound, it can be selected from polymerizable compounds constituting a known composition and used, for example, paragraph number [0010] to JP-A-2006-23696. The components described in [0020] and the components described in paragraph numbers [0027] to [0053] of JP-A-2006-64921 can be exemplified.

本発明において、特定の重合性化合物を含む重合性化合物の合計量と後述する樹脂の合計量との質量比率〔樹脂の合計量/重合性化合物の合計量〕は、0.5〜2.0であることが好ましく、0.6〜1.8であることはより好ましく、0.7〜1.5であることが特に好ましい。質量比率が前記範囲内であると、良好な現像性、力学強度を有するフォトスペーサーが得られる。   In the present invention, the mass ratio [total amount of resin / total amount of polymerizable compound] of the total amount of the polymerizable compound including the specific polymerizable compound and the total amount of the resin described later is 0.5 to 2.0. It is preferable that it is 0.6-1.8, and it is more preferable that it is 0.7-1.5. When the mass ratio is within the above range, a photospacer having good developability and mechanical strength can be obtained.

<樹脂>
本発明の感光性樹脂組成物は、樹脂を少なくとも1種含有する。
前記樹脂としては、特に限定はないが、アルカリ性水溶液に対して膨潤性を示す化合物が好ましく、アルカリ性水溶液に対して溶解性を示す化合物がより好ましい。
アルカリ性水溶液に対して膨潤性又は溶解性を示す樹脂としては、例えば、酸性基を有するものが好適に挙げられ、具体的には、エポキシ化合物にエチレン性不飽和二重結合と酸性基とを導入した化合物(エポキシアクリレート化合物)、側鎖に(メタ)アクリロイル基、及び酸性基を有するビニル共重合体、エポキシアクリレート化合物と、側鎖に(メタ)アクリロイル基、及び酸性基を有するビニル共重合体との混合物、マレアミド酸系共重合体、などが好ましい。
前記酸性基としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、カルボキシル基、スルホン酸基、リン酸基、などが挙げられ、これらの中でも、原料の入手性などの観点から、カルボキシル基が好ましく挙げられる。
<Resin>
The photosensitive resin composition of the present invention contains at least one resin.
Although there is no limitation in particular as said resin, The compound which shows swelling property with respect to alkaline aqueous solution is preferable, and the compound which shows solubility with respect to alkaline aqueous solution is more preferable.
As the resin exhibiting swellability or solubility with respect to an alkaline aqueous solution, for example, those having an acidic group are preferably mentioned. Specifically, an ethylenically unsaturated double bond and an acidic group are introduced into an epoxy compound. Compound (epoxy acrylate compound), vinyl copolymer having (meth) acryloyl group and acidic group in side chain, epoxy acrylate compound and vinyl copolymer having (meth) acryloyl group and acidic group in side chain And the like, and a maleamic acid copolymer are preferable.
The acidic group is not particularly limited and may be appropriately selected depending on the intended purpose. Examples thereof include a carboxyl group, a sulfonic acid group, and a phosphoric acid group. Among these, the availability of raw materials, etc. From the viewpoint, a carboxyl group is preferable.

本発明の感光性樹脂組成物中における樹脂の含有量としては、感光性樹脂組成物の全固形分に対して、5〜70質量%が好ましく、10〜50質量%がより好ましい。この含有量が、5質量%以上であると感光樹脂層の膜強度を維持でき、該感光樹脂層の表面のタック性を良好に保つことができ、70質量%以下であると露光感度が良好になる。   As content of resin in the photosensitive resin composition of this invention, 5-70 mass% is preferable with respect to the total solid of the photosensitive resin composition, and 10-50 mass% is more preferable. When the content is 5% by mass or more, the film strength of the photosensitive resin layer can be maintained, and the tackiness of the surface of the photosensitive resin layer can be maintained well. When the content is 70% by mass or less, the exposure sensitivity is good. become.

<樹脂A>
本発明における樹脂は、側鎖に、分岐及び/又は脂環構造、酸性基、並びにエチレン性不飽和結合を有する樹脂A(以下、単に「樹脂A」ともいう)の少なくとも1種を含むことが好ましい。
<Resin A>
The resin in the present invention may contain at least one resin A (hereinafter also simply referred to as “resin A”) having a branched and / or alicyclic structure, an acidic group, and an ethylenically unsaturated bond in the side chain. preferable.

前記樹脂Aは、酸性基を有して現像性を具えると共に、エチレン性不飽和結合を有することで、高い重合反応性を具えつつ、優れた液保存性及び乾膜での経時保存性有しているので、パターン構造物を所望の形状及び膜厚(高さなど)に制御可能な制御性を付与することができる。また、分岐及び/又は脂環構造を有し、形成されたパターン構造物の外力を受けた際の圧縮弾性率、圧縮変形からの変形回復性を高めることができる。これより、例えば表示装置用のフォトスペーサーなどのパターン構造物を構成するのに有用である。   The resin A has an acidic group and developability, and has an ethylenically unsaturated bond, so that it has high polymerization reactivity and has excellent liquid storage stability and storage stability with time in a dry film. Therefore, it is possible to impart controllability that allows the pattern structure to be controlled to have a desired shape and film thickness (such as height). Moreover, it has a branched and / or alicyclic structure, and it is possible to enhance the compression elastic modulus and deformation recovery from compression deformation when an external force of the formed pattern structure is received. Thus, for example, it is useful for constructing a pattern structure such as a photo spacer for a display device.

ここで、分岐及び/又は脂環構造、酸性基、並びにエチレン性不飽和結合は、それぞれが異なる側鎖中に含まれていてもよいし、一部が組み合わされて同じ側鎖中に含まれていてもよいし、全てが同じ側鎖中に含まれていてもよい。   Here, the branched and / or alicyclic structure, the acidic group, and the ethylenically unsaturated bond may be contained in different side chains, or a part thereof may be combined and contained in the same side chain. Or all of them may be contained in the same side chain.

(分岐及び/又は脂環構造)
樹脂Aは、樹脂の主鎖に結合する側鎖に、分岐及び/又は脂環構造の少なくとも1種を含む。分岐及び/又は脂環構造は、樹脂Aの側鎖中に複数含まれていてもよい。また、分岐及び/又は脂環構造は、樹脂Aの側鎖中に、酸性基、及び/又は、エチレン性不飽和結合とともに含まれていてもよい。
また、分岐及び/又は脂環構造は、樹脂Aの主鎖に直接結合して分岐及び/又は脂環構造のみで樹脂Aの側鎖を構成していてもよいし、樹脂Aの主鎖に2価の有機連結基を介して結合し、分岐及び/又は脂環構造を有する基として樹脂Aの側鎖を構成していてもよい。
(Branched and / or alicyclic structure)
Resin A contains at least one of a branched and / or alicyclic structure in a side chain bonded to the main chain of the resin. A plurality of branched and / or alicyclic structures may be included in the side chain of the resin A. Further, the branched and / or alicyclic structure may be contained in the side chain of the resin A together with an acidic group and / or an ethylenically unsaturated bond.
Further, the branched and / or alicyclic structure may be directly bonded to the main chain of the resin A to constitute the side chain of the resin A only by the branched and / or alicyclic structure, The side chain of the resin A may be constituted as a group having a branched and / or alicyclic structure by bonding via a divalent organic linking group.

前記2価の有機連結基としては、アルキレン基、アリーレン基、エステル基、アミド基、及びエーテル基から選ばれる一つ又は組み合わせが好ましい。前記アルキレン基としては、総炭素数1〜20のアルキレン基が好ましく、さらに好ましくは1〜10が好ましい。具体的には、メチレン、エチレン、プロピレン、ブチレン、ペンチレン、ヘキシレン、オクチレン、ドデシレン、オクタデシレンなどが挙げられ、これらは分岐/環状構造、官能基を有していてもよく、さらに好ましくは、メチレン基、エチレン基、オクチレン基が好ましい。前記アリーレン基としては、総炭総数6〜20のアリーレン基が好ましく、さらに好ましくは6〜12が好ましい。具体的には、フェニレン基、ビフェニレン基、ナフタレン基、アントラセン基などが挙げられ、これらは分岐、官能基を有していてもよく、さらに好ましくは、フェニレン基、ビフェニレン基が好ましい。   The divalent organic linking group is preferably one or a combination selected from an alkylene group, an arylene group, an ester group, an amide group, and an ether group. As said alkylene group, a C1-C20 alkylene group is preferable, More preferably, 1-10 are preferable. Specific examples include methylene, ethylene, propylene, butylene, pentylene, hexylene, octylene, dodecylene, octadecylene, and the like, which may have a branched / cyclic structure or a functional group, and more preferably a methylene group. , Ethylene group and octylene group are preferable. As the arylene group, an arylene group having a total carbon number of 6 to 20 is preferable, and 6 to 12 is more preferable. Specific examples include a phenylene group, a biphenylene group, a naphthalene group, and an anthracene group, which may have a branched or functional group, and more preferably a phenylene group or a biphenylene group.

分岐及び/又は脂環構造は、現像性、変形回復率などの観点から、少なくともエステル基(−COO−)を介して樹脂Aの主鎖に結合されている形態が好ましい。この形態は、分岐及び/又は脂環構造がエステル基(−COO−)のみを介して樹脂Aの主鎖に結合されている形態に限られず、分岐及び/又は脂環構造がエステル基(−COO−)を含む2価の連結基を介して樹脂Aの主鎖に結合されている形態であってもよい。すなわち、分岐及び/又は脂環構造とエステル鎖との間、及び/又は、エステル鎖と樹脂Aの主鎖との間に、他の原子や他の連結基が含まれていてもよい。   The form in which the branched and / or alicyclic structure is bonded to the main chain of the resin A through at least an ester group (—COO—) is preferable from the viewpoints of developability and deformation recovery rate. This form is not limited to the form in which the branched and / or alicyclic structure is bonded to the main chain of the resin A only through the ester group (—COO—), and the branched and / or alicyclic structure is an ester group (— The form couple | bonded with the principal chain of resin A through the bivalent coupling group containing COO-) may be sufficient. That is, other atoms and other linking groups may be included between the branched and / or alicyclic structure and the ester chain, and / or between the ester chain and the main chain of the resin A.

前記分岐構造としては、炭素原子数3〜12個の分岐状のアルキル基が挙げられ、例えば、i−プロピル基、i−ブチル基、s−ブチル基、t−ブチル基、イソペンチル基、ネオペンチル基、2−メチルブチル基、イソヘキシル基、2−エチルヘキシル基、2−メチルヘキシル基、i−アミル基、t−アミル基、3−オクチル、t−オクチル等が好ましい。これらの中でも、i−プロピル基、s−ブチル基、t−ブチル基、イソペンチル基等がより好ましく、i−プロピル基、s−ブチル基、t−ブチル基等が特に好ましい。   Examples of the branched structure include branched alkyl groups having 3 to 12 carbon atoms, such as i-propyl group, i-butyl group, s-butyl group, t-butyl group, isopentyl group, and neopentyl group. 2-methylbutyl group, isohexyl group, 2-ethylhexyl group, 2-methylhexyl group, i-amyl group, t-amyl group, 3-octyl, t-octyl and the like are preferable. Among these, i-propyl group, s-butyl group, t-butyl group, isopentyl group and the like are more preferable, and i-propyl group, s-butyl group, t-butyl group and the like are particularly preferable.

前記脂環構造としては、炭素原子数5〜20個の脂環式炭化水素基が挙げられ、例えば、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、シクロヘプチル基、シクロオクチル基、ノルボルニル基、イソボルニル基、アダマンチル基、トリシクロデシル基、ジシクロペンテニル基、ジシクロペンタニル基、トリシクロペンテニル基、及びトリシクロペンタニル基等並びにこれらを有する基が好ましい。これらの中でも、ジシクロペンテニル基、シクロヘキシル基、ノルボルニル基、イソボルニル基、アダマンチル基、トリシクロデシル基、トリシクロペンテニル基、トリシクロペンタニル基等がより好ましく、ジシクロペンテニル基、シクロヘキシル基、ノルボルニル基、イソボルニル基、トリシクロペンテニル基等が更に好ましく、ジシクロペンテニル基、トリシクロペンテニル基が特に好ましい。   Examples of the alicyclic structure include alicyclic hydrocarbon groups having 5 to 20 carbon atoms, such as cyclopentyl group, cyclohexyl group, cycloheptyl group, cyclooctyl group, norbornyl group, isobornyl group, adamantyl group, A tricyclodecyl group, a dicyclopentenyl group, a dicyclopentanyl group, a tricyclopentenyl group, a tricyclopentanyl group, and the like, and groups having these are preferable. Among these, dicyclopentenyl group, cyclohexyl group, norbornyl group, isobornyl group, adamantyl group, tricyclodecyl group, tricyclopentenyl group, tricyclopentanyl group and the like are more preferable, dicyclopentenyl group, cyclohexyl group, norbornyl Group, isobornyl group, tricyclopentenyl group and the like are more preferable, and dicyclopentenyl group and tricyclopentenyl group are particularly preferable.

更には、分岐及び/又は脂環構造を有する基として、下記一般式(3)で表される基を有して構成された形態が好ましい。   Furthermore, the form comprised by having group represented by following General formula (3) as group which has a branched and / or alicyclic structure is preferable.

一般式(3)において、Xは、2価の有機連結基を表し、無置換でも置換基を有していてもよい。yは、1又は2を表し、nは0〜15の整数を表す。   In the general formula (3), X represents a divalent organic linking group, which may be unsubstituted or may have a substituent. y represents 1 or 2, and n represents an integer of 0 to 15.

前記2価の有機連結基としては、アルキレン基、アリーレン基、エステル基、アミド基、及びエーテル基から選ばれる1つ又は組み合わせが好ましく、これらは置換基を有していてもよい。
前記アルキレン基としては、総炭素数1〜20のアルキレン基が好ましく、さらに好ましくは1〜10のアルキレン基である。具体的には、メチレン、エチレン、プロピレン、ブチレン、ペンチレン、ヘキシレン、オクチレン、ドデシレン、オクタデシレンなどの基が挙げられ、これらは分岐/環状構造、官能基を有していてもよく、さらに好ましくは、メチレン基、エチレン基、オクチレン基である。
前記アリーレン基としては、総炭総数6〜20のアリーレン基が好ましく、さらに好ましくは6〜12のアリーレン基である。具体的には、フェニレン基、ビフェニレン基、ナフタレン基、アントラセン基などが挙げられ、これらは分岐、官能基を有していてもよく、さらに好ましくは、フェニレン基、ビフェニレン基である。
置換されている場合の置換基としては、アルキル基、ヒドロキシ基、アミノ基、ハロゲン基、芳香環基、脂環構造を有する基などが挙げられる。
The divalent organic linking group is preferably one or a combination selected from an alkylene group, an arylene group, an ester group, an amide group, and an ether group, and these may have a substituent.
As said alkylene group, a C1-C20 alkylene group is preferable, More preferably, it is a 1-10 alkylene group. Specific examples include groups such as methylene, ethylene, propylene, butylene, pentylene, hexylene, octylene, dodecylene, and octadecylene, which may have a branched / cyclic structure or a functional group, and more preferably, A methylene group, an ethylene group and an octylene group;
The arylene group is preferably an arylene group having a total carbon number of 6 to 20, more preferably 6 to 12. Specific examples include a phenylene group, a biphenylene group, a naphthalene group, and an anthracene group, which may have a branched or functional group, and more preferably a phenylene group or a biphenylene group.
Examples of the substituent when substituted include an alkyl group, a hydroxy group, an amino group, a halogen group, an aromatic ring group, and a group having an alicyclic structure.

樹脂Aの側鎖に分岐及び/又は脂環構造を導入するための単量体としては、スチレン類、(メタ)アクリレート類、ビニルエーテル類、ビニルエステル類、(メタ)アクリルアミド類などが挙げられ、(メタ)アクリレート類、ビニルエステル類、(メタ)アクリルアミド類が好ましく、(メタ)アクリレート類がより好ましい。   Examples of the monomer for introducing a branched and / or alicyclic structure into the side chain of the resin A include styrenes, (meth) acrylates, vinyl ethers, vinyl esters, (meth) acrylamides, and the like. (Meth) acrylates, vinyl esters and (meth) acrylamides are preferred, and (meth) acrylates are more preferred.

樹脂Aの側鎖に分岐構造を導入するための具体的な単量体としては、(メタ)アクリル酸i−プロピル、(メタ)アクリル酸i−ブチル、(メタ)アクリル酸s−ブチル、(メタ)アクリル酸t−ブチル、(メタ)アクリル酸i−アミル、(メタ)アクリル酸t−アミル、(メタ)アクリル酸sec−iso−アミル、(メタ)アクリル酸2−オクチル、(メタ)アクリル酸3−オクチル、(メタ)アクリル酸t−オクチル等が挙げられ、中でも、(メタ)アクリル酸i−プロピル、(メタ)アクリル酸i−ブチル、メタクリル酸t−ブチル等が好ましく、メタクリル酸i−プロピル、メタクリル酸t−ブチル等がより好ましい。   Specific monomers for introducing a branched structure into the side chain of the resin A include i-propyl (meth) acrylate, i-butyl (meth) acrylate, s-butyl (meth) acrylate, ( T-butyl (meth) acrylate, i-amyl (meth) acrylate, t-amyl (meth) acrylate, sec-iso-amyl (meth) acrylate, 2-octyl (meth) acrylate, (meth) acryl Examples include 3-octyl acid, t-octyl (meth) acrylate, and the like. Among them, i-propyl (meth) acrylate, i-butyl (meth) acrylate, t-butyl methacrylate, and the like are preferable. -Propyl, t-butyl methacrylate and the like are more preferable.

樹脂Aの側鎖に脂環構造を導入するための単量体としては、炭素原子数5〜20個の脂環式炭化水素基を有する(メタ)アクリレートが挙げられる。具体的な例としては、(メタ)アクリル酸(ビシクロ〔2.2.1]ヘプチル−2)、(メタ)アクリル酸1−アダマンチル、(メタ)アクリル酸2−アダマンチル、(メタ)アクリル酸3−メチル−1−アダマンチル、(メタ)アクリル酸3,5−ジメチル−1−アダマンチル、(メタ)アクリル酸3−エチルアダマンチル、(メタ)アクリル酸3−メチル−5−エチル−1−アダマンチル、(メタ)アクリル酸3,5,8−トリエチル−1−アダマンチル、(メタ)アクリル酸3,5−ジメチル−8−エチル−1−アダマンチル、(メタ)アクリル酸2−メチル−2−アダマンチル、(メタ)アクリル酸2−エチル−2−アダマンチル、(メタ)アクリル酸3−ヒドロキシ−1−アダマンチル、(メタ)アクリル酸オクタヒドロ−4,7−メンタノインデン−5−イル、(メタ)アクリル酸オクタヒドロ−4,7−メンタノインデン−1−イルメチル、(メタ)アクリル酸1−メンチル、(メタ)アクリル酸トリシクロデシル、(メタ)アクリル酸3−ヒドロキシ−2,6,6−トリメチル−ビシクロ〔3.1.1〕ヘプチル、(メタ)アクリル酸3,7,7−トリメチル−4−ヒドロキシ−ビシクロ〔4.1.0〕ヘプチル、(メタ)アクリル酸(ノル)ボルニル、(メタ)アクリル酸イソボルニル、(メタ)アクリル酸フエンチル、(メタ)アクリル酸2,2,5−トリメチルシクロヘキシル、(メタ)アクリル酸シクロヘキシル、(メタ)アクリル酸ジシクロペンテニル、(メタ)アクリル酸トリシクロペンテニル等が挙げられる。
これら(メタ)アクリル酸エステルの中でも、嵩高い官能基ほど圧縮弾性率、弾性回復性が良好になる点で、(メタ)アクリル酸シクロヘキシル、(メタ)アクリル酸(ノル)ボルニル、(メタ)アクリル酸イソボルニル、(メタ)アクリル酸1−アダマンチル、(メタ)アクリル酸2−アダマンチル、(メタ)アクリル酸フエンチル、(メタ)アクリル酸1−メンチル、(メタ)アクリル酸トリシクロデシル、(メタ)アクリル酸ジシクロペンテニル、(メタ)アクリル酸トリシクロペンテニルなどが好ましく、(メタ)アクリル酸シクロヘキシル、(メタ)アクリル酸(ノル)ボルニル、(メタ)アクリル酸イソボルニル、(メタ)アクリル酸2−アダマンチル、(メタ)アクリル酸ジシクロペンテニル、(メタ)アクリル酸トリシクロペンテニルが特に好ましい。
Examples of the monomer for introducing the alicyclic structure into the side chain of the resin A include (meth) acrylates having an alicyclic hydrocarbon group having 5 to 20 carbon atoms. Specific examples include (meth) acrylic acid (bicyclo [2.2.1] heptyl-2), (meth) acrylic acid 1-adamantyl, (meth) acrylic acid 2-adamantyl, (meth) acrylic acid 3 -Methyl-1-adamantyl, 3,5-dimethyl-1-adamantyl (meth) acrylate, 3-ethyladamantyl (meth) acrylate, 3-methyl-5-ethyl-1-adamantyl (meth) acrylate, ( 3,5,8-triethyl-1-adamantyl (meth) acrylate, 3,5-dimethyl-8-ethyl-1-adamantyl (meth) acrylate, 2-methyl-2-adamantyl (meth) acrylate, (meth ) 2-ethyl-2-adamantyl acrylate, 3-hydroxy-1-adamantyl (meth) acrylate, octahydro-4,7 (meth) acrylate Mentanoinden-5-yl, octahydro-4,7-mentanoinden-1-ylmethyl (meth) acrylate, 1-menthyl (meth) acrylate, tricyclodecyl (meth) acrylate, (meth) acrylic acid 3-hydroxy-2,6,6-trimethyl-bicyclo [3.1.1] heptyl, 3,7,7-trimethyl-4-hydroxy-bicyclo [4.1.0] heptyl (meth) acrylate, ( (Meth) acrylic acid (nor) bornyl, (meth) acrylic acid isobornyl, (meth) acrylic acid fuentyl, (meth) acrylic acid 2,2,5-trimethylcyclohexyl, (meth) acrylic acid cyclohexyl, (meth) acrylic acid di Examples include cyclopentenyl and tricyclopentenyl (meth) acrylate.
Among these (meth) acrylic acid esters, bulky functional groups have better compressive modulus and elastic recoverability, and (meth) acrylic acid cyclohexyl, (meth) acrylic acid (nor) bornyl, and (meth) acrylic. Isobornyl acid, 1-adamantyl (meth) acrylate, 2-adamantyl (meth) acrylate, fuentyl (meth) acrylate, 1-menthyl (meth) acrylate, tricyclodecyl (meth) acrylate, (meth) acrylic Dicyclopentenyl acid, tricyclopentenyl (meth) acrylate and the like are preferable, cyclohexyl (meth) acrylate, (nor) bornyl (meth) acrylate, isobornyl (meth) acrylate, 2-adamantyl (meth) acrylate, (Meth) acrylic acid dicyclopentenyl, (meth) acrylic acid tricyclo Nteniru is particularly preferred.

また、樹脂Aの側鎖に脂環構造を導入するための単量体としては、下記一般式(4)又は(5)で表される化合物が挙げられる。ここで、一般式(4)、(5)において、Xは2価の有機連結基を表し、Rは、水素原子又はメチル基を表す。yは1又は2を表し、nは0〜15を表す。一般式(4)、(5)の中でも、y=1又は2、n=0〜8が好ましく、更に好ましくは、y=1又は2、n=0〜4(より好ましくはn=0〜2)である。一般式(4)又は(5)で表される化合物の好ましい具体例として、下記化合物D−1〜D−11、T−1〜T−12が挙げられる。
中でも、変形回復率の点で、下記一般式(4)で表される化合物が好ましい。
Moreover, as a monomer for introduce | transducing an alicyclic structure into the side chain of resin A, the compound represented by following General formula (4) or (5) is mentioned. Here, in the general formulas (4) and (5), X represents a divalent organic linking group, and R represents a hydrogen atom or a methyl group. y represents 1 or 2, and n represents 0-15. Among general formulas (4) and (5), y = 1 or 2, n = 0 to 8 is preferable, and y = 1 or 2, n = 0 to 4 (more preferably n = 0 to 2). ). Preferred specific examples of the compound represented by the general formula (4) or (5) include the following compounds D-1 to D-11 and T-1 to T-12.
Especially, the compound represented by following General formula (4) is preferable at the point of a deformation | transformation recovery rate.

一般式(4)〜(5)において、Xで表される2価の有機連結基は、無置換であっても、置換基を有していてもよく、前記一般式(3)のXで表される2価の有機連結基と同義であり、好ましい態様も同様である。   In the general formulas (4) to (5), the divalent organic linking group represented by X may be unsubstituted or may have a substituent, and X in the general formula (3) It is synonymous with the bivalent organic coupling group represented, and its preferable aspect is also the same.

樹脂Aの側鎖に脂環構造を導入するための単量体としては、適宜製造したものを使用してもよいし、市販品を使用してもよい。
前記市販品としては、日立化成工業(株)製:FA−511A、FA−512A(S)、FA−512M、FA−513A、FA−513M、TCPD−A、TCPD−M、
H−TCPD−A、H−TCPD−M、TOE−A、TOE−M、H−TOE−A、H−TOE−M等が挙げられる。これらの中でも現像性に優れ、変形回復率に優れる点で、FA−512A(S),512Mが好ましい。
As a monomer for introducing the alicyclic structure into the side chain of the resin A, an appropriately produced monomer may be used, or a commercially available product may be used.
As said commercial item, Hitachi Chemical Co., Ltd. product: FA-511A, FA-512A (S), FA-512M, FA-513A, FA-513M, TCPD-A, TCPD-M,
H-TCPD-A, H-TCPD-M, TOE-A, TOE-M, H-TOE-A, H-TOE-M and the like can be mentioned. Among these, FA-512A (S) and 512M are preferable because they are excellent in developability and excellent in the deformation recovery rate.

(酸性基)
樹脂Aは、主鎖に連結する側鎖に、酸性基の少なくとも1種を含む。酸性基は、側鎖中に複数含まれていてもよい。また、酸性基は、樹脂Aの側鎖中に、前記分岐及び/又は脂環構造、並びにエチレン性不飽和結合とともに含まれていてもよい。
また、前記酸性基は、樹脂Aの主鎖に直接結合し酸性基のみで樹脂Aの側鎖を構成してもよいし、樹脂Aの主鎖に2価の有機連結基を介して結合し、酸性基を有する基として樹脂Aの側鎖を構成してもよい。ここで、2価の有機連結基については前記分岐及び/又は脂環構造における説明で例示した2価の有機連結基が挙げられ、好ましい範囲も同様である。
(Acidic group)
Resin A contains at least one acid group in the side chain connected to the main chain. A plurality of acidic groups may be contained in the side chain. Moreover, the acidic group may be contained in the side chain of the resin A together with the branched and / or alicyclic structure and the ethylenically unsaturated bond.
The acidic group may be directly bonded to the main chain of the resin A to form a side chain of the resin A with only the acidic group, or may be bonded to the main chain of the resin A via a divalent organic linking group. The side chain of the resin A may be constituted as a group having an acidic group. Here, examples of the divalent organic linking group include the divalent organic linking groups exemplified in the description of the branched and / or alicyclic structure, and preferred ranges thereof are also the same.

前記酸性基としては、特に制限はなく、公知のものの中から適宜選択することができ、例えば、カルボキシル基、スルホン酸基、スルホンアミド基、リン酸基、フェノール性水酸基等が挙げられる。これらの中でも、現像性、及び硬化膜の耐水性が優れる点から、カルボキシ基、フェノール性水酸基であることが好ましい。   There is no restriction | limiting in particular as said acidic group, It can select suitably from well-known things, For example, a carboxyl group, a sulfonic acid group, a sulfonamide group, a phosphoric acid group, a phenolic hydroxyl group etc. are mentioned. Among these, a carboxy group and a phenolic hydroxyl group are preferable from the viewpoint of excellent developability and water resistance of the cured film.

前記酸性基を樹脂Aに導入するための単量体の具体例としては、公知のものの中から適宜選択することができ、例えば、(メタ)アクリル酸、ビニル安息香酸、マレイン酸、マレイン酸モノアルキルエステル、フマル酸、イタコン酸、クロトン酸、桂皮酸、ソルビン酸、α−シアノ桂皮酸、アクリル酸ダイマー、水酸基を有する単量体と環状酸無水物との付加反応物、ω−カルボキシ−ポリカプロラクトンモノ(メタ)アクリレート等が挙げられる。これらは、適宜製造したものを使用してもよいし、市販品を使用してもよい。   Specific examples of the monomer for introducing the acidic group into the resin A can be appropriately selected from known ones such as (meth) acrylic acid, vinyl benzoic acid, maleic acid, and maleic acid monoester. Alkyl ester, fumaric acid, itaconic acid, crotonic acid, cinnamic acid, sorbic acid, α-cyanocinnamic acid, acrylic acid dimer, addition reaction product of monomer having hydroxyl group and cyclic acid anhydride, ω-carboxy-poly Examples include caprolactone mono (meth) acrylate. As these, those produced as appropriate may be used, or commercially available products may be used.

前記水酸基を有する単量体と環状酸無水物との付加反応物に用いられる水酸基を有する単量体としては、例えば、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート等が挙げられる。前記環状酸無水物としては、例えば、無水マレイン酸、無水フタル酸、シクロヘキサンジカルボン酸無水物等が挙げられる。   Examples of the monomer having a hydroxyl group used in the addition reaction product of the monomer having a hydroxyl group and a cyclic acid anhydride include 2-hydroxyethyl (meth) acrylate. Examples of the cyclic acid anhydride include maleic anhydride, phthalic anhydride, and cyclohexanedicarboxylic anhydride.

単量体の市販品としては、東亜合成化学工業(株)製:アロニックスM−5300、アロニックスM−5400、アロニックスM−5500、アロニックスM−5600、新中村化学工業(株)製:NKエステルCB−1、NKエステルCBX−1、共栄社油脂化学工業(株)製:HOA−MP、HOA−MS、大阪有機化学工業(株)製:ビスコート#2100等が挙げられる。これらの中でも現像性に優れ、低コストである点で(メタ)アクリル酸等が好ましい。   Commercially available monomers include Toa Gosei Chemical Industry Co., Ltd .: Aronix M-5300, Aronix M-5400, Aronix M-5500, Aronix M-5600, Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd .: NK Ester CB -1, NK ester CBX-1, manufactured by Kyoeisha Oil and Chemical Co., Ltd .: HOA-MP, HOA-MS, manufactured by Osaka Organic Chemical Industry Co., Ltd .: Biscote # 2100, and the like. Among these, (meth) acrylic acid and the like are preferable in terms of excellent developability and low cost.

(エチレン性不飽和結合)
樹脂Aは、側鎖に、エチレン性不飽和結合の少なくとも1種を含む。
樹脂A中において、エチレン性不飽和結合は、主鎖との間にエステル基を介して配されることが好ましい。
このエチレン性不飽和結合は、側鎖中に複数含まれていてもよい。また、エチレン性不飽和結合は、樹脂Aの側鎖中に、前記分岐及び/又は脂環構造、並びに/又は前記酸性基とともに含まれていてもよい。
(Ethylenically unsaturated bond)
Resin A contains at least one ethylenically unsaturated bond in the side chain.
In the resin A, the ethylenically unsaturated bond is preferably arranged between the main chain via an ester group.
A plurality of ethylenically unsaturated bonds may be contained in the side chain. Moreover, the ethylenically unsaturated bond may be contained in the side chain of the resin A together with the branched and / or alicyclic structure and / or the acidic group.

また、エチレン性不飽和結合は、樹脂Aの主鎖との間に少なくとも1つのエステル基(−COO−)を介して結合し、エチレン性不飽和結合とエステル基のみで樹脂Aの側鎖を構成していてもよい。また、樹脂Aの主鎖とエステル基との間、及び/又は、エステル基とエチレン性不飽和結合との間に、さらに2価の有機連結基を有してもよく、エチレン性不飽和結合は「主鎖との間にエステル基を介して配されたエチレン性不飽和結合を有する基」として樹脂Aの側鎖を構成していてもよい。ここで、2価の有機連結基については、分岐及び/又は脂環構造における説明で例示した2価の有機連結基が挙げられ、好ましい範囲も同様である。   The ethylenically unsaturated bond is bonded to the main chain of the resin A via at least one ester group (—COO—), and the side chain of the resin A is bonded only by the ethylenically unsaturated bond and the ester group. You may comprise. In addition, the resin A may have a divalent organic linking group between the main chain of the resin A and the ester group and / or between the ester group and the ethylenically unsaturated bond. May constitute the side chain of the resin A as a “group having an ethylenically unsaturated bond arranged via an ester group between the main chain” and the resin A. Here, the divalent organic linking group includes the divalent organic linking groups exemplified in the description of the branched and / or alicyclic structure, and the preferred range is also the same.

また、エチレン性不飽和結合は、(メタ)アクリロイル基を導入して配されることが好ましい。
樹脂Aの側鎖に(メタ)アクリロイル基を導入する方法は、公知の方法の中から適宜選択することができ、例えば、酸性基を持つ繰り返し単位にエポキシ基を持つ(メタ)アクリレートを付加する方法、ヒドロキシル基を持つ繰り返し単位にイソシアネート基を持つ(メタ)アクリレートを付加する方法、イソシアネート基を持つ繰り返し単位にヒドロキシ基を持つ(メタ)アクリレートを付加する方法などが挙げられる。
その中でも、酸性基を持つ繰り返し単位にエポキシ基を持つ(メタ)アクリレートを付加する方法が最も製造が容易であり、低コストである点で好ましい。
The ethylenically unsaturated bond is preferably arranged by introducing a (meth) acryloyl group.
The method for introducing the (meth) acryloyl group into the side chain of the resin A can be appropriately selected from known methods. For example, a (meth) acrylate having an epoxy group is added to a repeating unit having an acidic group. Examples thereof include a method, a method of adding (meth) acrylate having an isocyanate group to a repeating unit having a hydroxyl group, and a method of adding (meth) acrylate having a hydroxy group to a repeating unit having an isocyanate group.
Among these, the method of adding (meth) acrylate having an epoxy group to a repeating unit having an acidic group is most preferable because it is the easiest to produce and is low in cost.

前記エポキシ基を有する(メタ)アクリレートとしては、特に制限はないが、例えば、下記構造式(1)で表される化合物及び下記構造式(2)で表される化合物が好ましい。   Although there is no restriction | limiting in particular as (meth) acrylate which has the said epoxy group, For example, the compound represented by following Structural formula (1) and the compound represented by following Structural formula (2) are preferable.

但し、前記構造式(1)中、Rは水素原子又はメチル基を表す。Lは有機基を表す。 However, in the structural formula (1), R 1 represents a hydrogen atom or a methyl group. L 1 represents an organic group.

但し、前記構造式(2)中、Rは水素原子又はメチル基を表す。Lは有機基を表す。Wは4〜7員環の脂肪族炭化水素基を表す。 However, in said structural formula (2), R 2 represents a hydrogen atom or a methyl group. L 2 represents an organic group. W represents a 4- to 7-membered aliphatic hydrocarbon group.

前記構造式(1)で表される化合物及び構造式(2)で表される化合物の中でも、構造式(1)で表される化合物が構造式(2)よりも好ましい。前記構造式(1)及び(2)においては、L及びLがそれぞれ独立に炭素数1〜4のアルキレン基のものがより好ましい。 Of the compound represented by the structural formula (1) and the compound represented by the structural formula (2), the compound represented by the structural formula (1) is more preferable than the structural formula (2). In the structural formulas (1) and (2), it is more preferable that L 1 and L 2 are each independently an alkylene group having 1 to 4 carbon atoms.

前記構造式(1)で表される化合物又は構造式(2)で表される化合物としては、特に制限はないが、例えば、以下の例示化合物(1)〜(10)が挙げられる。   Although there is no restriction | limiting in particular as a compound represented by the said Structural formula (1) or a structural formula (2), For example, the following exemplary compounds (1)-(10) are mentioned.


〜〜その他の単量体〜〜
本発明における樹脂Aには、その他の単量体を用いて、その他の基が導入されていてもよい。
前記その他の単量体としては、特に制限はなく、例えば、(メタ)アクリル酸エステル、スチレン、ビニルエーテル、二塩基酸無水物基、ビニルエステル基、炭化水素アルケニル基等を有する単量体などが挙げられる。
~~ other monomers ~~
In the resin A in the present invention, other groups may be introduced using other monomers.
The other monomer is not particularly limited, and examples thereof include (meth) acrylic acid ester, styrene, vinyl ether, dibasic acid anhydride group, vinyl ester group, hydrocarbon alkenyl group and the like. Can be mentioned.

前記ビニルエーテル基としては、特に制限はなく、例えば、ブチルビニルエーテル基などが挙げられる。
前記二塩基酸無水物基としては、特に制限はなく、例えば、無水マレイン酸基、無水イタコン酸基などが挙げられる。
前記ビニルエステル基としては、特に制限はなく、例えば、酢酸ビニル基などが挙げられる。
前記炭化水素アルケニル基としては、特に制限はなく、例えば、ブタジエン基、イソプレン基などが挙げられる。
There is no restriction | limiting in particular as said vinyl ether group, For example, a butyl vinyl ether group etc. are mentioned.
The dibasic acid anhydride group is not particularly limited, and examples thereof include a maleic anhydride group and an itaconic anhydride group.
There is no restriction | limiting in particular as said vinyl ester group, For example, a vinyl acetate group etc. are mentioned.
There is no restriction | limiting in particular as said hydrocarbon alkenyl group, For example, a butadiene group, an isoprene group, etc. are mentioned.

前記樹脂Aにおけるその他の単量体の含有率としては、組成比が、1〜40質量%であることが好ましく、2〜30質量%であることがより好ましい。   As content rate of the other monomer in the said resin A, it is preferable that a composition ratio is 1-40 mass%, and it is more preferable that it is 2-30 mass%.

樹脂Aの具体例としては、例えば、下記構造で表される化合物(例示化合物P−1〜P−56)が挙げられる。
また、例示化合物中のx、y、z、l及びStは、各繰り返し単位の組成比(モル比)を表し、後述の好ましい範囲で構成する形態が好適である。また、各例示化合物の重量平均分子量も、後述の好ましい範囲で構成する形態が好適である。
Specific examples of the resin A include compounds represented by the following structures (Exemplary Compounds P-1 to P-56).
In addition, x, y, z, l and St in the exemplified compound represent the composition ratio (molar ratio) of each repeating unit, and a form configured in a preferable range described later is preferable. Moreover, the form comprised also in the preferable range mentioned later of the weight average molecular weight of each exemplary compound is suitable.





〜合成法〜
樹脂Aは、モノマーの(共)重合反応の工程とエチレン性不飽和基を導入する工程の二段階の工程から合成することができる。
まず、(共)重合反応は種々のモノマーの(共)重合反応によって作られ、特に制限はなく公知のものの中から適宜選択することができる。例えば、重合の活性種については、ラジカル重合、カチオン重合、アニオン重合、配位重合などを適宜選択することができる。これらの中でも合成が容易であり、低コストである点からラジカル重合であることが好ましい。また、重合方法についても特に制限はなく公知のものの中から適宜選択することができる。例えば、バルク重合法、懸濁重合法、乳化重合法、溶液重合法などを適宜選択することができる。これらの中でも、溶液重合法であることがより望ましい。
~ Synthetic method ~
Resin A can be synthesized from a two-stage process including a monomer (co) polymerization reaction process and an ethylenically unsaturated group introduction process.
First, the (co) polymerization reaction is made by a (co) polymerization reaction of various monomers, and is not particularly limited and can be appropriately selected from known ones. For example, radical polymerization, cationic polymerization, anionic polymerization, coordination polymerization and the like can be appropriately selected for the active species of polymerization. Among these, radical polymerization is preferable from the viewpoint of easy synthesis and low cost. Moreover, there is no restriction | limiting in particular also about the polymerization method, It can select suitably from well-known things. For example, a bulk polymerization method, a suspension polymerization method, an emulsion polymerization method, a solution polymerization method and the like can be appropriately selected. Among these, the solution polymerization method is more desirable.

〜炭素数〜
樹脂Aの分岐及び/又は脂環構造の総炭素数としては、弾性係数(硬さ)の点で、10以上が好ましい。中でも、総炭素数は、10〜30がより好ましく、特に好ましくは10〜15である。
~ Carbon number ~
The total number of carbon atoms in the branched and / or alicyclic structure of the resin A is preferably 10 or more in terms of elastic modulus (hardness). Especially, as for total carbon number, 10-30 are more preferable, Most preferably, it is 10-15.

〜分子量〜
樹脂Aの分子量としては、重量平均分子量で10,000〜10万が好ましく、12,000〜60,000が更に好ましく、15,000〜45,000が特に好ましい。重量平均分子量が前記範囲内であると、樹脂(好ましくは共重合体)の製造適性、現像性の点で望ましい。また、溶融粘度の低下により形成された形状が潰れ難い点で、また、架橋不良となり難い点、現像でのスペーサ形状の残渣がない点で好ましい。
重量平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィ(GPC)で測定される。GPCについては、後記する実施例の項で詳細に示す。
~ Molecular weight ~
The molecular weight of the resin A is preferably 10,000 to 100,000 in terms of weight average molecular weight, more preferably 12,000 to 60,000, and particularly preferably 15,000 to 45,000. When the weight average molecular weight is within the above range, it is desirable from the viewpoint of production suitability and developability of a resin (preferably a copolymer). Further, it is preferable in that the shape formed by the decrease in melt viscosity is difficult to be crushed, in that it is difficult to cause crosslinking failure, and there is no residue in the spacer shape during development.
The weight average molecular weight is measured by gel permeation chromatography (GPC). GPC will be described in detail in the section of the examples described later.

〜ガラス転移温度〜
樹脂Aのガラス転移温度(Tg)は、40〜180℃であることが好ましく、45〜140℃であることはより好ましく、50〜130℃であることが特に好ましい。ガラス転移温度(Tg)が前記好ましい範囲内であると、良好な現像性、力学強度を有するスペーサが得られる。
~Glass-transition temperature~
The glass transition temperature (Tg) of the resin A is preferably 40 to 180 ° C, more preferably 45 to 140 ° C, and particularly preferably 50 to 130 ° C. When the glass transition temperature (Tg) is within the preferred range, a spacer having good developability and mechanical strength can be obtained.

〜酸価〜
樹脂Aの酸価は、とりうる分子構造により好ましい範囲が変動するが、一般には20mgKOH/g以上であることが好ましく、40mgKOH/g以上であることはより好ましく、50〜130mgKOH/gであることが特に好ましい。酸価が前記好ましい範囲内であると、良好な現像性、力学強度を有するスペーサーが得られる。
~ Acid value ~
The preferred range of the acid value of the resin A varies depending on the molecular structure that can be taken, but generally it is preferably 20 mgKOH / g or more, more preferably 40 mgKOH / g or more, and 50 to 130 mgKOH / g. Is particularly preferred. When the acid value is within the preferred range, a spacer having good developability and mechanical strength can be obtained.

〜Tg〜
前記樹脂Aは、良好な現像性、力学強度を有するスペーサが得られる点で、ガラス転移温度(Tg)が40〜180℃であり、かつ重量平均分子量が10,000〜100,000であることが好ましく、Tgが45〜140℃(更には50〜130℃)であり、かつ重量平均分子量が12,000〜60,000(更には15,000〜45,000)であることが好ましい。
更に、前記樹脂Aの好ましい例は、好ましい前記分子量、ガラス転移温度(Tg)、及び酸価のそれぞれの組合せがより好ましい。
~ Tg ~
The resin A has a glass transition temperature (Tg) of 40 to 180 ° C. and a weight average molecular weight of 10,000 to 100,000 in that a spacer having good developability and mechanical strength can be obtained. It is preferable that Tg is 45 to 140 ° C. (more preferably 50 to 130 ° C.) and the weight average molecular weight is 12,000 to 60,000 (more preferably 15,000 to 45,000).
Furthermore, a preferable example of the resin A is more preferably a combination of the preferable molecular weight, glass transition temperature (Tg), and acid value.

本発明における樹脂Aは、分岐及び/又は脂環構造と、酸性基と、主鎖との間にエステル基を介して配されたエチレン性不飽和結合と、をそれぞれ別の繰り返し単位(共重合単位)に有する3元共重合以上の共重合体であることが、パターン構造物(例えばカラーフィルタ用のスペーサ)を形成したときの変形回復率、現像残渣、レチキュレーションの観点から好ましい。
具体的には、前記樹脂Aは、分岐及び/又は脂環構造を有する繰り返し単位:X(xモル%)と、酸性基を有する繰り返し単位:Y(yモル%)と、主鎖との間にエステル基を介して配されたエチレン性不飽和結合を有する繰り返し単位:Z(zモル%)と、を少なくとも有する3元共重合以上の共重合体であることが好ましい。さらに、必要に応じてその他の繰り返し単位:L(lモル%)を有していてもよい。
このような共重合体は、例えば、分岐及び/又は脂環構造を有する単量体と、酸性基を有する単量体と、主鎖との間にエステル基を介して配されたエチレン性不飽和結合を有する単量体と、必要に応じて他の単量体と、を共重合させて得ることができる。このうち、嵩高い官能基で圧縮弾性率、弾性回復性が良好になる点で、少なくとも前記分岐及び/又は脂環構造を有する単量体として、前記一般式(4)で表される単量体を共重合させて、分岐及び/又は脂環構造を有する基が導入された共重合体である場合が好ましい。この場合、樹脂Aは、前記一般式(4)で表される単量体に由来の構成単位を主鎖に有する。
In the present invention, the resin A comprises a branched and / or alicyclic structure, an acidic group, and an ethylenically unsaturated bond arranged via an ester group between the main chain and different repeating units (copolymerization). From the viewpoint of deformation recovery rate, development residue, and reticulation when a pattern structure (for example, a color filter spacer) is formed, it is preferably a terpolymer or higher copolymer in the unit.
Specifically, the resin A includes a repeating unit having a branched and / or alicyclic structure: X (x mol%), a repeating unit having an acidic group: Y (y mol%), and a main chain. It is preferable that the copolymer is a terpolymer or more copolymer having at least a repeating unit having an ethylenically unsaturated bond arranged through an ester group: Z (z mol%). Furthermore, you may have other repeating units: L (1 mol%) as needed.
Such a copolymer is, for example, an ethylenic polymer arranged via an ester group between a monomer having a branched and / or alicyclic structure, a monomer having an acidic group, and a main chain. It can be obtained by copolymerizing a monomer having a saturated bond and, if necessary, another monomer. Among these, a monomer represented by the general formula (4) is used as a monomer having at least the branched and / or alicyclic structure in that the compressive elastic modulus and elastic recoverability are improved with a bulky functional group. It is preferable that the copolymer is a copolymer into which a group having a branched and / or alicyclic structure is introduced. In this case, the resin A has a structural unit derived from the monomer represented by the general formula (4) in the main chain.

前記樹脂Aが共重合体である場合の共重合組成比については、ガラス転移温度と酸価を勘案して決定される。一概に言えないが、下記の範囲とすることができる。
樹脂Aにおける、分岐及び/又は脂環構造を有する繰り返し単位の組成比(x)は、10〜70モル%が好ましく、15〜65モル%が更に好ましく、20〜60モル%が特に好ましい。組成比(x)が前記範囲内であると、良好な現像性が得られると共に、画像部の現像液耐性も良好である。
樹脂Aにおける、酸性基を有する繰り返し単位の組成比(y)は、5〜70モル%が好ましく、10〜60モル%が更に好ましく、20〜50モル%が特に好ましい。組成比(y)が前記範囲内であると、良好な硬化性、現像性が得られる。
樹脂Aにおける「主鎖との間にエステル基を介して配されたエチレン性不飽和結合」を有する繰り返し単位の組成比(z)は、10〜70モル%が好ましく、20〜70モル%が更に好ましく、30〜70モル%が特に好ましい。組成比(z)が前記範囲内であると、顔料分散性に優れると共に、感度及び重合硬化性が良好であり、調液後の液保存性、及び塗布後の乾膜状態で長期保持された際の経時安定性が良好になる。
更には、樹脂Aとしては、組成比(x)が10〜70モル%(更には15〜65モル%、特には20〜50モル%)であって、組成比(y)が5〜70モル%(更には10〜60モル%、特には30〜70モル%)であって、組成比(z)が10〜70モル%(更には20〜70モル%、特には30〜70モル%)である場合が好ましい。
The copolymer composition ratio when the resin A is a copolymer is determined in consideration of the glass transition temperature and the acid value. Although it cannot be generally stated, the following ranges can be adopted.
The composition ratio (x) of the repeating unit having a branched and / or alicyclic structure in the resin A is preferably 10 to 70 mol%, more preferably 15 to 65 mol%, and particularly preferably 20 to 60 mol%. When the composition ratio (x) is within the above range, good developability is obtained and the developer resistance of the image area is also good.
The composition ratio (y) of the repeating unit having an acidic group in the resin A is preferably 5 to 70 mol%, more preferably 10 to 60 mol%, and particularly preferably 20 to 50 mol%. When the composition ratio (y) is within the above range, good curability and developability can be obtained.
The composition ratio (z) of the repeating unit having an “ethylenically unsaturated bond arranged through an ester group with the main chain” in the resin A is preferably 10 to 70 mol%, and preferably 20 to 70 mol%. More preferably, 30 to 70 mol% is particularly preferable. When the composition ratio (z) is within the above range, the pigment dispersibility is excellent, the sensitivity and the polymerization curability are good, the liquid storage stability after preparation, and the dry film state after application are maintained for a long time. The stability over time is improved.
Further, as the resin A, the composition ratio (x) is 10 to 70 mol% (more preferably 15 to 65 mol%, particularly 20 to 50 mol%), and the composition ratio (y) is 5 to 70 mol%. % (Further 10 to 60 mol%, especially 30 to 70 mol%) and the composition ratio (z) is 10 to 70 mol% (further 20 to 70 mol%, especially 30 to 70 mol%). Is preferred.

以上、樹脂Aの好ましい形態について説明したが、本発明の感光性樹脂組成物の好ましい形態としては、樹脂として上記樹脂Aの好ましい形態を用い、特定の重合性化合物として前記化合物1〜6、11〜16、19、21を用いる形態が好ましい。本発明の感光性樹脂組成物をこのように構成すると、本発明による効果がより効果的に奏される。   As mentioned above, although the preferable form of resin A was demonstrated, as a preferable form of the photosensitive resin composition of this invention, the said preferable form of the said resin A is used as resin, and said compound 1-6, 11 as a specific polymeric compound The form using -16, 19, 21 is preferable. When the photosensitive resin composition of this invention is comprised in this way, the effect by this invention will be show | played more effectively.

本発明の感光性樹脂組成物が前記樹脂Aを含む場合、感光性樹脂組成物中における含有量としては、組成物の全固形分に対して、5〜70質量%が好ましく、10〜50質量%がより好ましい。   When the photosensitive resin composition of this invention contains the said resin A, as content in the photosensitive resin composition, 5-70 mass% is preferable with respect to the total solid of a composition, 10-50 mass % Is more preferable.

<光重合開始剤>
本発明の感光性樹脂組成物は、光重合開始剤を少なくとも1種含有する。
本発明における光重合開始剤としては特に限定はなく、公知の光重合開始剤を用いることができる。公知の光重合開始剤としては、例えば、特開2006−23696号公報の段落番号[0010]〜[0020]や特開2006−64921号公報の段落番号[0027]〜[0053]に記載の開始剤を挙げることができる。公知の光重合開始剤の例としては、感度の点で、上記以外のアミノアセトフェノン系化合物、アシルフォスフィンオキサイド系化合物、オキシムエステル系化合物が好適である。
アミノアセトフェノン系化合物の具体例としては、IRGACURE(Irg)907(チバ・スペシャルティ・ケミカルズ(株)製)等が挙げられる。アシルフォスフィンオキサイド系化合物の具体例としては、DAROCUR TPOや、Irgacure(Irg)819(以上、チバ・スペシャルティ・ケミカルズ(株)製)等が挙げられる。また、オキシムエステル系化合物の具体例としては、IRGACURE(Irg)OXE01やCGI242等(以上、チバ・スペシャルティ・ケミカルズ(株)製)が挙げられる。以下に、これらの開始剤の構造を示す。
<Photopolymerization initiator>
The photosensitive resin composition of the present invention contains at least one photopolymerization initiator.
There is no limitation in particular as a photoinitiator in this invention, A well-known photoinitiator can be used. Known photopolymerization initiators include, for example, the start described in paragraphs [0010] to [0020] of JP-A-2006-23696 and paragraphs [0027] to [0053] of JP-A-2006-64921. An agent can be mentioned. As examples of known photopolymerization initiators, aminoacetophenone compounds, acylphosphine oxide compounds, and oxime ester compounds other than those described above are preferable in terms of sensitivity.
Specific examples of the aminoacetophenone compound include IRGACURE (Irg) 907 (manufactured by Ciba Specialty Chemicals Co., Ltd.). Specific examples of the acylphosphine oxide compound include DAROCUR TPO, Irgacure (Irg) 819 (manufactured by Ciba Specialty Chemicals Co., Ltd.), and the like. Specific examples of the oxime ester compound include IRGACURE (Irg) OXE01, CGI242 and the like (manufactured by Ciba Specialty Chemicals Co., Ltd.). The structures of these initiators are shown below.

光重合開始剤の感光性樹脂組成物中における総量は、感光性樹脂組成物の全固形分に対して、0.5〜25質量%が好ましく、1〜20質量%がより好ましい。   0.5-25 mass% is preferable with respect to the total solid of the photosensitive resin composition, and, as for the total amount in the photosensitive resin composition of a photoinitiator, 1-20 mass% is more preferable.

<微粒子>
本発明における感光性樹脂組成物は、樹脂、重合性化合物、光重合開始剤と共に、力学強度の点で、微粒子を少なくとも1種含有することが好ましい。
微粒子としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、例えば、特開2003−302639号公報[0035]〜[0041]に記載の体質顔料が好ましく、中でも、良好な現像性、力学強度を有するフォトスペーサーが得られる点から、コロイダルシリカが好ましい。
<Fine particles>
The photosensitive resin composition in the present invention preferably contains at least one fine particle in terms of mechanical strength together with the resin, the polymerizable compound, and the photopolymerization initiator.
The fine particles are not particularly limited and may be appropriately selected according to the purpose. For example, extender pigments described in JP-A-2003-302039 [0035] to [0041] are preferable, and among them, good development is preferable. Colloidal silica is preferable from the viewpoint of obtaining a photospacer having good properties and mechanical strength.

前記微粒子の平均粒子径は、フォトスペーサー等の外力を受けやすい構造を形成する場合には高い力学強度が得られる点で、5〜50nmであることが好ましく、10〜40nmであることがより好ましく、15〜30nmであることが特に好ましい。   The average particle diameter of the fine particles is preferably 5 to 50 nm, and more preferably 10 to 40 nm in that a high mechanical strength can be obtained when forming a structure that is susceptible to external force such as a photospacer. It is particularly preferably 15 to 30 nm.

前記微粒子の感光性樹脂組成物(フォトスペーサーを形成するときにはフォトスペーサー(又はこれを構成する感光性樹脂層)中における含有量としては、高い力学強度を有するフォトスペーサーを得る観点から、感光性樹脂組成物中の全固形分(質量)に対して、5〜50質量%であることが好ましく、10〜40質量%であることがより好ましく、15〜30質量%であることが特に好ましい。   The content of the fine particle photosensitive resin composition (when forming the photospacer, the photospacer (or the photosensitive resin layer constituting the photospacer) is a photosensitive resin from the viewpoint of obtaining a photospacer having high mechanical strength. The total solid content (mass) in the composition is preferably 5 to 50 mass%, more preferably 10 to 40 mass%, and particularly preferably 15 to 30 mass%.

<その他>
本発明における感光性樹脂組成物は、樹脂、特定の重合性化合物、光重合開始剤、及び必要に応じて含まれる微粒子以外に、さらに必要に応じて、光重合開始助剤などの他の成分を含んでいてもよい。
<Others>
In addition to the resin, the specific polymerizable compound, the photopolymerization initiator, and the fine particles contained as necessary, the photosensitive resin composition in the present invention further includes other components such as a photopolymerization initiation aid as necessary. May be included.

感光性樹脂組成物は、他の添加成分として光重合開始助剤を併用してもよい。光重合開始助剤は、光重合開始剤によって重合が開始された重合性化合物の重合を促進するために、光重合開始剤と組み合わせて用いることができる。光重合開始助剤としては、アミン系化合物の少なくとも1種を用いることが好ましい。   The photosensitive resin composition may use a photopolymerization initiation assistant in combination as another additive component. The photopolymerization initiation assistant can be used in combination with a photopolymerization initiator in order to promote polymerization of a polymerizable compound that has been polymerized by the photopolymerization initiator. As the photopolymerization initiation assistant, it is preferable to use at least one amine compound.

前記アミン系化合物としては、例えば、トリエタノールアミン、メチルジエタノールアミン、トリイソプロパノールアミン、4−ジメチルアミノ安息香酸メチル、4−ジメチルアミノ安息香酸エチル、4−ジメチルアミノ安息香酸イソアミル、安息香酸2−ジメチルアミノエチル、4−ジメチルアミノ安息香酸2−エチルヘキシル、N,N−ジメチルパラトルイジン、4,4’−ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン(通称ミヒラーズケトン)、4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、4,4’−ビス(エチルメチルアミノ)ベンゾフェノンなどが挙げられ、中でも4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノンが好ましい。また、アミン系やその他の光重合開始助剤を複数組み合わせて使用してもよい。
上記以外の他の光重合開始助剤として、例えば、アルコキシアントラセン系化合物、チオキサントン系化合物、クマリン系化合物などが挙げられる。前記アルコキシアントラセン系化合物としては、例えば、9,10−ジメトキシアントラセン、2−エチル−9,10−ジメトキシアントラセン、9,10−ジエトキシアントラセン、2−エチル−9,10−ジエトキシアントラセンなどが挙げられる。前記チオキサントン系化合物としては、例えば、2−イソプロピルチオキサントン、4−イソプロピルチオキサントン、2,4−ジエチルチオキサントン、2,4−ジクロロチオキサントン、1−クロロ−4−プロポキシチオキサントンなどが挙げられる。
また、光重合開始助剤として市販のものを用いることもできる。市販の光重合開始助剤としては、例えば、商品名「EAB−F」(保土谷化学工業(株)製)などが挙げられる。
Examples of the amine compound include triethanolamine, methyldiethanolamine, triisopropanolamine, methyl 4-dimethylaminobenzoate, ethyl 4-dimethylaminobenzoate, isoamyl 4-dimethylaminobenzoate, 2-dimethylaminobenzoate. Ethyl, 2-ethylhexyl 4-dimethylaminobenzoate, N, N-dimethylparatoluidine, 4,4′-bis (dimethylamino) benzophenone (commonly known as Michler's ketone), 4,4′-bis (diethylamino) benzophenone, 4,4 Examples include '-bis (ethylmethylamino) benzophenone, and 4,4'-bis (diethylamino) benzophenone is particularly preferable. Further, a plurality of amine-based and other photopolymerization initiation assistants may be used in combination.
Examples of other photopolymerization initiation assistants other than the above include alkoxyanthracene compounds, thioxanthone compounds, and coumarin compounds. Examples of the alkoxyanthracene compound include 9,10-dimethoxyanthracene, 2-ethyl-9,10-dimethoxyanthracene, 9,10-diethoxyanthracene, 2-ethyl-9,10-diethoxyanthracene, and the like. It is done. Examples of the thioxanthone compound include 2-isopropylthioxanthone, 4-isopropylthioxanthone, 2,4-diethylthioxanthone, 2,4-dichlorothioxanthone, 1-chloro-4-propoxythioxanthone, and the like.
Moreover, a commercially available thing can also be used as a photoinitiation adjuvant. Examples of commercially available photopolymerization initiation assistants include trade name “EAB-F” (manufactured by Hodogaya Chemical Co., Ltd.).

光重合開始助剤の感光性樹脂組成物中における含有量としては、上記の光重合開始剤1質量部に対して、0.6質量部以上20質量部以下が好ましく、1質量部以上15質量部以下がより好ましく、とりわけ1.5質量部以上15質量部以下が好ましい。   As content in the photosensitive resin composition of a photoinitiator adjuvant, 0.6 mass part or more and 20 mass parts or less are preferable with respect to 1 mass part of said photoinitiator, 1 mass part or more and 15 mass parts. Part or less is more preferable, and 1.5 parts by weight or more and 15 parts by weight or less is particularly preferable.

また、その他の成分としては、公知の組成物を構成する成分から選択して用いることができ、例えば、特開2006−23696号公報の段落番号[0010]〜[0020]や特開2006−64921号公報の段落番号[0027]〜[0053]に記載の成分を挙げることができる。   Further, as other components, they can be selected from components constituting a known composition and used, for example, paragraph numbers [0010] to [0020] of JP-A-2006-23696 and JP-A-2006-64921. Ingredients listed in paragraphs [0027] to [0053] of the gazette.

本発明の感光性樹脂組成物は、後述する、フォトスペーサー、着色パターン、保護膜の形成に好適に用いることができる他、離画壁(例えば、ブラックマトリクス等)、配向制御用突起など、その他のパターン構造物や被膜の形成にも好適に用いることができる。   The photosensitive resin composition of the present invention can be suitably used for forming a photo spacer, a colored pattern, a protective film, which will be described later, a separation wall (for example, a black matrix), an alignment control protrusion, and the like. It can be suitably used for the formation of pattern structures and coatings.

[フォトスペーサー及びその形成方法]
本発明のフォトスペーサーは、既述の本発明の感光性樹脂組成物を用いて形成されたものである。感光性樹脂組成物の詳細及び好ましい態様については、既述した通りである。
本発明のフォトスペーサーは、本発明の感光性樹脂組成物を用いて構成されるので、強靱性及び柔軟性に優れる。
[Photospacer and formation method thereof]
The photospacer of the present invention is formed using the above-described photosensitive resin composition of the present invention. Details and preferred embodiments of the photosensitive resin composition are as described above.
Since the photospacer of the present invention is constituted using the photosensitive resin composition of the present invention, it is excellent in toughness and flexibility.

本発明のフォトスペーサーは、本発明の感光性樹脂組成物を用いた方法であれば、いずれの方法で形成されてもよいが、以下に示す工程(イ)〜(ハ)を含む方法(本発明のフォトスペーサーの形成方法)を用いることによって最も好適に形成することができる。
本発明のフォトスペーサーの形成方法は、(イ)既述の本発明の感光性樹脂組成物の被膜を基板上に形成する工程(以下、「被膜形成工程」ともいう。)と、(ロ)前記被膜の少なくとも一部を露光する工程(以下、「露光工程」ともいう。)と、(ハ)露光後の前記被膜を現像する工程(以下、「現像工程」ともいう。)と、を設けて構成されており、必要に応じて、(ニ)現像後の前記被膜を加熱する工程(以下、「被膜加熱工程」ともいう。)や、更に他の工程を設けて構成されてもよい。
The photospacer of the present invention may be formed by any method as long as it is a method using the photosensitive resin composition of the present invention, but it is a method comprising the following steps (i) to (c) (this It can be most suitably formed by using the photospacer forming method of the invention.
The method for forming a photospacer of the present invention comprises (a) a step of forming a film of the above-described photosensitive resin composition of the present invention on a substrate (hereinafter also referred to as “film formation step”), and (b). A step of exposing at least a part of the coating (hereinafter also referred to as “exposure step”) and (c) a step of developing the coating after exposure (hereinafter also referred to as “development step”) are provided. If necessary, (d) a step of heating the coating after development (hereinafter also referred to as “coating heating step”) and other steps may be provided.

(イ)被膜形成工程
被膜形成工程は、既述の本発明の感光性樹脂組成物の被膜を基板上に形成する。被膜として感光性樹脂層を形成することができ、この感光性樹脂層は、後述の露光工程や現像工程等の他工程を経ることにより、セル厚を均一に保持し得るフォトスペーサーを構成する。本発明のフォトスペーサーを用いることにより、特にセル厚の変動で表示ムラが生じやすい表示装置(特に液晶表示装置)における画像中の表示ムラが効果的に解消される。
(A) Film formation process A film formation process forms the film of the photosensitive resin composition of this invention as stated above on a board | substrate. A photosensitive resin layer can be formed as a film, and this photosensitive resin layer constitutes a photospacer that can maintain a uniform cell thickness by passing through other steps such as an exposure step and a development step described later. By using the photospacer of the present invention, display unevenness in an image in a display device (particularly a liquid crystal display device) that tends to cause display unevenness due to a change in cell thickness is effectively eliminated.

基板上に感光性樹脂層を形成する方法としては、(a)既述の樹脂、重合性化合物、及び光重合開始剤を少なくとも含む感光性樹脂組成物を塗布する塗布法、及び(b)前記感光性樹脂層を有する感光性転写材料を用い、加熱及び/又は加圧により感光性樹脂層をラミネート、転写する転写法が好適に挙げられる。   As a method for forming a photosensitive resin layer on a substrate, (a) a coating method in which a photosensitive resin composition containing at least the above-described resin, polymerizable compound, and photopolymerization initiator is applied, and (b) the above-mentioned A transfer method in which a photosensitive transfer material having a photosensitive resin layer is used, and the photosensitive resin layer is laminated and transferred by heating and / or pressurization is preferable.

(a)塗布法
感光性樹脂組成物の塗布は、公知の塗布法、例えば、スピンコート法、カーテンコート法、スリットコート法、ディップコート法、エアーナイフコート法、ローラーコート法、ワイヤーバーコート法、グラビアコート法、あるいは米国特許第2681294号明細書に記載のポッパーを使用するエクストルージョンコート法等により行なうことができる。中でも、特開2004−89851号公報、特開2004−17043号公報、特開2003−170098号公報、特開2003−164787号公報、特開2003−10767号公報、特開2002−79163号公報、特開2001−310147号公報等に記載のスリットノズルあるいはスリットコーターによる方法が好適である。
(A) Application method The photosensitive resin composition is applied by a known application method such as spin coating, curtain coating, slit coating, dip coating, air knife coating, roller coating, or wire bar coating. , Gravure coating, or extrusion coating using a popper described in US Pat. No. 2,681,294. Among them, JP 2004-89851 A, JP 2004-17043 A, JP 2003-170098 A, JP 2003-164787 A, JP 2003-10767 A, JP 2002-79163 A, A method using a slit nozzle or a slit coater described in JP 2001-310147 A is suitable.

(b)転写法
転写は、感光性転写材料を用いて、仮支持体上に膜状に形成された感光性樹脂層を所望の基板面に例えば加熱及び/又は加圧したローラー又は平板を用いて圧着又は加熱圧着することによって貼り合せた後、仮支持体の剥離により感光性樹脂層を基板上に転写する。具体的には、特開平7−110575号公報、特開平11−77942号公報、特開2000−334836号公報、特開2002−148794号公報に記載のラミネーター及びラミネート方法が挙げられ、低異物の観点で、特開平7−110575号公報に記載の方法を用いるのが好ましい。
(B) Transfer method Transfer is performed using a photosensitive transfer material, for example, a roller or flat plate in which a photosensitive resin layer formed in a film shape on a temporary support is heated and / or pressed on a desired substrate surface. Then, the photosensitive resin layer is transferred onto the substrate by peeling off the temporary support. Specific examples include laminators and laminating methods described in JP-A-7-110575, JP-A-11-77942, JP-A-2000-334836, and JP-A-2002-148794. From the viewpoint, it is preferable to use the method described in JP-A-7-110575.

感光性樹脂層を形成する場合、感光性樹脂層と仮支持体との間には更に酸素遮断層(以下、「酸素遮断膜」又は「中間層」ともいう。)を設けることができる。これにより、露光感度をアップすることができる。また、転写性を向上させるために、クッション性を有する熱可塑性樹脂層を設けてもよい。
感光性転写材料を構成する仮支持体、酸素遮断層、熱可塑性樹脂層、その他の層や該感光性転写材料の作製方法については、特開2006−23696号公報の段落番号[0024]〜[0030]に記載の構成、作製方法を適用することができる。
In the case of forming the photosensitive resin layer, an oxygen blocking layer (hereinafter also referred to as “oxygen blocking film” or “intermediate layer”) can be further provided between the photosensitive resin layer and the temporary support. Thereby, exposure sensitivity can be improved. In order to improve transferability, a thermoplastic resin layer having cushioning properties may be provided.
Paragraph numbers [0024] to [0024] of Japanese Patent Application Laid-Open No. 2006-23696 describe the temporary support, the oxygen-blocking layer, the thermoplastic resin layer, and other layers constituting the photosensitive transfer material and the method for producing the photosensitive transfer material. The structure and manufacturing method described in [0030] can be applied.

(a)塗布法、(b)転写法ともに感光性樹脂層を形成する場合、その層厚は0.5〜10.0μmが好ましく、1〜6μmがより好ましい。層厚が前記範囲であると、製造時における塗布形成の際のピンホールの発生が防止され、未露光部の現像除去を長時間を要することなく行なうことができる。   When the photosensitive resin layer is formed by both the coating method (a) and the transfer method (b), the layer thickness is preferably 0.5 to 10.0 μm, and more preferably 1 to 6 μm. When the layer thickness is in the above range, the generation of pinholes during the formation of coating during production is prevented, and development and removal of unexposed portions can be performed without requiring a long time.

感光性樹脂層を形成する基板としては、例えば、透明基板(例えばガラス基板やプラスチックス基板)、透明導電膜(例えばITO膜)付基板、カラーフィルタ付きの基板(カラーフィルタ基板ともいう。)、駆動素子(例えば、薄膜トランジスタ[TFT])付駆動基板、などが挙げられる。基板の厚みとしては、700〜1200μmが一般に好ましい。   Examples of the substrate on which the photosensitive resin layer is formed include a transparent substrate (for example, a glass substrate or a plastics substrate), a substrate with a transparent conductive film (for example, an ITO film), a substrate with a color filter (also referred to as a color filter substrate), and the like. Examples thereof include a drive substrate with a drive element (for example, a thin film transistor [TFT]). The thickness of the substrate is generally preferably 700 to 1200 μm.

(ロ)露光工程・(ハ)現像工程
露光工程では、前記被膜形成工程で形成された被膜の少なくとも一部を露光し、潜像を形成する。その後の現像工程では、前記露光工程で露光された被膜を現像し、所望の形状のスペーサーパターンを形成することができる。
(B) Exposure step / (c) Development step In the exposure step, at least a part of the coating formed in the coating formation step is exposed to form a latent image. In the subsequent development step, the coating film exposed in the exposure step can be developed to form a spacer pattern having a desired shape.

これらの工程の具体例としては、特開2006−64921号公報の段落番号[0071]〜[0077]に記載の形成例や、特開2006−23696号公報の段落番号[0040]〜[0051]に記載の工程などが、本発明において好適な例として挙げることができる。   Specific examples of these processes include the formation examples described in paragraphs [0071] to [0077] of JP-A-2006-64921, and paragraph numbers [0040] to [0051] of JP-A-2006-23696. The process described in 1 can be given as a suitable example in the present invention.

本発明のフォトスペーサーの形成方法は、後述の(ニ)被膜加熱工程を設けてもよいが、前記露光における露光量を増加させることなどにより、被膜加熱工程を設けることなく(以下、「加熱工程無し」ともいう)フォトスペーサーを形成することもできる。
「加熱工程無し」とすることで、形成しようとするフォトスペーサーの劣化や、既に形成されているパターン構造物(着色パターン等)や保護膜の劣化を、より効果的に抑制できる。
「加熱工程無し」とする場合の露光量としては、1〜500mJ/cmが好ましく、10〜300mJ/cmが好ましい。
The method for forming a photospacer of the present invention may be provided with a film heating step described below (d), but without providing a film heating step by increasing the exposure amount in the exposure (hereinafter referred to as “heating step”). Photo spacers can also be formed.
By setting “no heating process”, it is possible to more effectively suppress the deterioration of the photo spacer to be formed and the deterioration of the already formed pattern structure (colored pattern, etc.) and protective film.
The exposure amount at which a "no heating step" is preferably 1 to 500 mJ / cm 2, preferably 10 to 300 mJ / cm 2.

(ニ)被膜加熱工程
本発明のフォトスペーサーの形成方法は、前記現像工程における現像後の被膜を加熱する被膜加熱工程を設けることもできる。加熱により、被膜の硬化がより促進され、高強度を有するフォトスペーサーが得られる。また、感光性樹脂組成物が前記樹脂Aを含む場合には、圧縮弾性率、弾性回復性の良好なフォトスペーサーが得られる。
(D) Film heating step The photospacer forming method of the present invention may include a film heating step of heating the film after development in the development step. By heating, curing of the film is further promoted, and a photospacer having high strength is obtained. Moreover, when the photosensitive resin composition contains the resin A, a photospacer having a good compressive modulus and elastic recoverability can be obtained.

ここで、加熱における最高温度は、加熱時間によっても異なるが、40℃〜145℃であることが好ましく、40℃〜140℃であることがより好ましく、80℃〜140℃であることが特に好ましい。最高温度が40℃〜145℃の範囲内であると、形成しようとするフォトスペーサーの劣化や、既に形成されているパターン構造物(着色パターン等)や保護膜の劣化を、より効果的に抑制できる。
中でも、加熱における最高温度が80℃〜140℃であって、加熱時間は、0.1時間〜3.0時間(さらに好ましくは0.2時間〜1時間)であることがより好ましい。
Here, the maximum temperature in heating varies depending on the heating time, but is preferably 40 ° C to 145 ° C, more preferably 40 ° C to 140 ° C, and particularly preferably 80 ° C to 140 ° C. . When the maximum temperature is within a range of 40 ° C. to 145 ° C., the deterioration of the photo spacer to be formed, and the deterioration of the already formed pattern structure (colored pattern, etc.) and protective film are more effectively suppressed. it can.
Especially, it is more preferable that the maximum temperature in heating is 80 ° C. to 140 ° C., and the heating time is 0.1 hour to 3.0 hours (more preferably 0.2 hour to 1 hour).

上記のようにして、基板上にフォトスペーサーを備えた表示装置用基板を作製することができる。フォトスペーサーは、基板上に形成されたブラックマトリクス等の黒色遮光部の上やTFT等の駆動素子上に形成されることが好ましい。また、ブラックマトリクス等の黒色遮光部やTFT等の駆動素子とフォトスペーサーとの間にITO等の透明導電層(透明電極)やポリイミド等の配向膜が存在していてもよい。   As described above, a display device substrate including a photospacer on a substrate can be manufactured. The photo spacer is preferably formed on a black light shielding portion such as a black matrix formed on the substrate or on a driving element such as a TFT. Further, a transparent conductive layer (transparent electrode) such as ITO or an alignment film such as polyimide may be present between a black light shielding portion such as a black matrix, a driving element such as a TFT, and a photo spacer.

例えば、フォトスペーサーが黒色遮光部や駆動素子の上に設けられる場合、該基板に予め配設された黒色遮光部(ブラックマトリクスなど)や駆動素子を覆うようにして、例えば、感光性転写材料の感光性樹脂層を支持体面にラミネートし、剥離転写して感光性樹脂層を形成した後、これに露光、現像、加熱処理等を施してフォトスペーサーを形成することによって、表示装置用基板を作製することができる。
前記表示装置用基板には更に、必要に応じて赤色(R)、青色(B)、緑色(G)3色等の着色画素が設けられてもよい。
For example, when the photo spacer is provided on the black light shielding portion or the driving element, the black light shielding portion (black matrix or the like) or the driving element previously disposed on the substrate is covered with, for example, a photosensitive transfer material. A photosensitive resin layer is laminated on the support surface, peeled and transferred to form a photosensitive resin layer, which is then subjected to exposure, development, heat treatment, etc. to form a photo spacer, thereby producing a display device substrate. can do.
The display device substrate may further be provided with colored pixels of three colors such as red (R), blue (B), and green (G) as necessary.

本発明のフォトスペーサーは、ブラックマトリクス等の黒色遮蔽部及び着色画素等の着色部を含むカラーフィルタを形成した後に形成することができる。
前記黒色遮蔽部及び着色部とフォトスペーサーとは、感光性樹脂組成物を塗布する塗布法と感光性樹脂組成物からなる感光性樹脂層を有する転写材料を用いる転写法と、を任意に組合せて形成することが可能である。
前記黒色遮蔽部及び着色部並びに前記フォトスペーサーはそれぞれ感光性樹脂組成物から形成でき、具体的には、例えば、基板に液体の前記感光性樹脂組成物を直接塗布することにより感光性樹脂層を形成した後に、露光・現像を行ない、前記黒色遮蔽部及び着色部をパターン状に形成し、その後、別の液体の前記感光性樹脂組成物を前記基板とは異なる別の基板(仮支持体)上に設置して感光性樹脂層を形成することにより作製された転写材料を用い、この転写材料を前記黒色遮蔽部及び着色部が形成された前記基板に密着させて感光性樹脂層を転写した後に、露光・現像を行うことによりフォトスペーサーをパターン状に形成することができる。
このようにして、フォトスペーサーが設けられたカラーフィルタを作製することができる。
The photospacer of the present invention can be formed after forming a color filter including a black shielding portion such as a black matrix and a colored portion such as a colored pixel.
The black shielding part and the colored part and the photo spacer are a combination of an application method for applying a photosensitive resin composition and a transfer method using a transfer material having a photosensitive resin layer made of a photosensitive resin composition. It is possible to form.
The black shielding part, the colored part, and the photospacer can each be formed from a photosensitive resin composition. Specifically, for example, the photosensitive resin layer is formed by directly applying the liquid photosensitive resin composition to a substrate. After the formation, exposure / development is performed to form the black shielding part and the colored part in a pattern, and then the photosensitive resin composition of another liquid is different from the substrate (temporary support). Using a transfer material prepared by forming a photosensitive resin layer on the surface, this transfer material was brought into close contact with the substrate on which the black shielding portion and the colored portion were formed to transfer the photosensitive resin layer. Later, by performing exposure and development, the photospacer can be formed in a pattern.
In this manner, a color filter provided with a photospacer can be manufactured.

[保護膜]
本発明の保護膜は、既述の本発明の感光性樹脂組成物を用いて形成されたものである。
本発明の保護膜は、本発明の感光性樹脂組成物を用いて構成されるので、強靱性及び柔軟性に優れる。
[Protective film]
The protective film of the present invention is formed using the above-described photosensitive resin composition of the present invention.
Since the protective film of this invention is comprised using the photosensitive resin composition of this invention, it is excellent in toughness and a softness | flexibility.

本発明の保護膜は、本発明の感光性樹脂組成物を用いた方法であれば、いずれの方法で形成されてもよいが、前述の本発明のフォトスペーサーの形成方法と同様の方法により形成できる。ここで、保護膜にパターニングを施さない場合、即ち、保護膜をいわゆるベタ膜として形成する場合には、前記(ロ)露光工程において、被膜を全面露光する方法が好適である。   The protective film of the present invention may be formed by any method as long as it is a method using the photosensitive resin composition of the present invention, but is formed by a method similar to the method for forming the photospacer of the present invention described above. it can. Here, when the protective film is not patterned, that is, when the protective film is formed as a so-called solid film, a method of exposing the entire surface of the film in the (b) exposure step is preferable.

[着色パターン]
本発明の着色パターンは、既述の本発明の感光性樹脂組成物を用いて形成されたものである。ここで、感光性樹脂組成物は、既述の各成分に加え、更に、着色剤の少なくとも1種を含有する形態が好適である。
前記着色剤としては、特に制限はなく、公知の着色剤の中から適宜選択して用いることができる。公知の着色剤としては、具体的には、特開2005−17716号公報[0038]〜[0054]に記載の顔料及び染料や、特開2004−361447号公報[0068]〜[0072]に記載の顔料、特開2005−17521号公報[0080]〜[0088]に記載の着色剤などを挙げることができる。
[Coloring pattern]
The colored pattern of the present invention is formed using the above-described photosensitive resin composition of the present invention. Here, it is preferable that the photosensitive resin composition further contains at least one colorant in addition to the components described above.
The colorant is not particularly limited and can be appropriately selected from known colorants. Specific examples of the known colorant include pigments and dyes described in JP-A-2005-17716 [0038] to [0054] and JP-A-2004-361447 [0068] to [0072]. And pigments described in JP-A-2005-17521 [0080] to [0088].

本発明の着色パターンは、本発明の感光性樹脂組成物を用いて構成されるので、強靱性及び柔軟性に優れる。
なお、本発明の着色パターンが、複数色の着色パターンを有するカラーフィルタの一要素として用いられる場合は、少なくとも一色の着色パターンが本発明の感光性樹脂組成物を用いて形成されていればよい。
Since the coloring pattern of this invention is comprised using the photosensitive resin composition of this invention, it is excellent in toughness and a softness | flexibility.
In addition, when the coloring pattern of the present invention is used as one element of a color filter having a plurality of colored patterns, it is sufficient that at least one colored pattern is formed using the photosensitive resin composition of the present invention. .

本発明の着色パターンは、本発明の感光性樹脂組成物を用いた方法であれば、いずれの方法で形成されてもよいが、例えば、前述の本発明のフォトスペーサーの形成方法と同様の方法により形成できる。   The colored pattern of the present invention may be formed by any method as long as it is a method using the photosensitive resin composition of the present invention. For example, the same method as the method for forming a photospacer of the present invention described above is used. Can be formed.

[表示装置用基板]
本発明の表示装置用基板は、本発明のフォトスペーサー、本発明の保護膜、及び本発明の着色パターンの少なくとも1つを備えて構成される。
本発明の表示装置用基板は、本発明の感光性樹脂組成物を用いて形成された強靱性及び柔軟性に優れる構造物(本発明のフォトスペーサー、本発明の保護膜、及び本発明の着色パターンの少なくとも1つ。以下同じ)を備えるため、表示装置に用いた際に表示ムラを抑制できる。
[Display substrate]
The display device substrate of the present invention includes at least one of the photospacer of the present invention, the protective film of the present invention, and the colored pattern of the present invention.
The display device substrate of the present invention is a structure excellent in toughness and flexibility formed by using the photosensitive resin composition of the present invention (the photo spacer of the present invention, the protective film of the present invention, and the coloring of the present invention. Since at least one pattern (the same applies hereinafter) is provided, display unevenness can be suppressed when used in a display device.

ここで表示装置用基板とは、表示装置を構成するための一対の支持体のうち少なくとも一方を指す。
表示装置用基板の具体例としては、表示素子や表示装置の構成によっても異なるが、例えば、着色パターン(以下、「着色画素」ともいう)を備えたカラーフィルタ基板、駆動手段を備えた駆動手段付き基板(例えば、単純マトリクス基板、アクティブマトリクス基板、等)、離隔壁を備えた離隔壁付き基板(例えば、ブラックマトリクスを備えたブラックマトリクス付き基板、等)、着色パターンと駆動手段との双方を備えたカラーフィルタオンアレイ基板、パターン構造物や被膜が設けられていないガラス基板等が挙げられる。
Here, the display device substrate refers to at least one of a pair of supports for constituting the display device.
Specific examples of the display device substrate vary depending on the configuration of the display element and the display device. For example, a color filter substrate having a colored pattern (hereinafter, also referred to as “colored pixel”), and a driving unit having a driving unit. Substrates (for example, simple matrix substrates, active matrix substrates, etc.), substrates with separation walls (for example, substrates with black matrix having a black matrix, etc.), both coloring patterns and driving means Examples thereof include a color filter-on-array substrate, a glass substrate on which a pattern structure or a film is not provided.

前記カラーフィルタ基板の前記着色パターン群(着色画素群)は、互いに異なる色を呈する2色の画素からなるものでも、3色の画素、4色以上の画素からなるものであってもよい。例えば3色の場合、赤(R)、緑(G)及び青(B)の3つの色相で構成される。RGB3色の画素群を配置する場合には、モザイク型、トライアングル型等の配置が好ましく、4色以上の画素群を配置する場合にはどのような配置であってもよい。カラーフィルタ基板の作製は、例えば2色以上の画素群を形成した後既述のようにブラックマトリックスを形成してもよいし、逆にブラックマトリックスを形成した後に画素群を形成するようにしてもよい。RGB画素の形成については、特開2004−347831号公報等を参考にすることができる。   The colored pattern group (colored pixel group) of the color filter substrate may be composed of two-color pixels exhibiting different colors, or may be composed of three-color pixels, four-color pixels or more. For example, in the case of three colors, it is composed of three hues of red (R), green (G), and blue (B). When arranging pixel groups of three colors of RGB, arrangement of mosaic type, triangle type, etc. is preferable, and when arranging pixel groups of four colors or more, any arrangement may be used. For producing the color filter substrate, for example, a black matrix may be formed as described above after forming a pixel group of two or more colors, or conversely, a pixel group may be formed after forming a black matrix. Good. Regarding the formation of RGB pixels, JP 2004-347831 A can be referred to.

[表示素子]
本発明の表示装置用基板を用い、表示素子を形成することができる。
表示素子の1つとして、少なくとも一方が光透過性の一対の支持体(表示装置用基板を含む。)間に液晶層と液晶駆動手段(単純マトリックス駆動方式及びアクティブマトリックス駆動方式を含む。)を少なくとも備えた液晶表示素子が挙げられる。
[Display element]
A display element can be formed using the substrate for a display device of the present invention.
As one of the display elements, a liquid crystal layer and a liquid crystal driving means (including a simple matrix driving method and an active matrix driving method) are provided between a pair of supports (including a display device substrate) at least one of which is transparent. The liquid crystal display element provided at least is mentioned.

この液晶表示素子の場合、表示装置用基板は、複数のRGB画素群を有し、該画素群を構成する各画素が互いにブラックマトリックスで離画されているカラーフィルタ基板として用いることができる。このカラーフィルタ基板には、強靱性及び柔軟性に優れる構造物が設けられているため、該カラーフィルタ基板を備えた液晶表示素子は、カラーフィルタ基板と対向基板との間のセルギャップ(セル厚)の変動に起因して液晶材料が偏在する等による色ムラ等の表示ムラの発生を効果的に防止することができる。これにより、作製された液晶表示素子は鮮やかな画像を表示できる。   In the case of this liquid crystal display element, the substrate for a display device can be used as a color filter substrate having a plurality of RGB pixel groups and each pixel constituting the pixel group being separated from each other by a black matrix. Since the color filter substrate is provided with a structure having excellent toughness and flexibility, a liquid crystal display device including the color filter substrate has a cell gap (cell thickness) between the color filter substrate and the counter substrate. It is possible to effectively prevent display unevenness such as color unevenness due to uneven distribution of the liquid crystal material due to fluctuations in (). Thereby, the produced liquid crystal display element can display a vivid image.

また、液晶表示素子のより詳細な態様として、少なくとも一方が光透過性の一対の支持体(液晶表示装置用基板を含む。)間に液晶層と液晶駆動手段とを少なくとも備え、前記液晶駆動手段がアクティブ素子(例えばTFT)を有し、かつ一対の基板間がフォトスペーサーにより所定幅に規制して構成されたものが挙げられる。   Further, as a more detailed mode of the liquid crystal display element, at least one liquid crystal layer and a liquid crystal driving means are provided between a pair of transparent substrates (including a substrate for a liquid crystal display device), the liquid crystal driving means. Include an active element (for example, TFT), and a pair of substrates is regulated to a predetermined width by a photo spacer.

[表示装置]
本発明の表示装置は、上記の表示装置用基板を備えたものである。
本発明の表示装置は、強靱性及び柔軟性に優れる構造物が設けられた本発明の表示装置用基板を備えるため、表示ムラが抑制される。
[Display device]
The display device of the present invention includes the display device substrate described above.
Since the display device of the present invention includes the display device substrate of the present invention provided with a structure having excellent toughness and flexibility, display unevenness is suppressed.

表示装置としては、液晶表示装置、プラズマディスプレイ表示装置、EL表示装置、CRT表示装置などの表示装置などが挙げられる。表示装置の定義や各表示装置の説明については、例えば「電子ディスプレイデバイス(佐々木 昭夫著、(株)工業調査会 1990年発行)」、「ディスプレイデバイス(伊吹 順章著、産業図書(株)平成元年発行)」などに記載されている。   Examples of the display device include display devices such as a liquid crystal display device, a plasma display display device, an EL display device, and a CRT display device. For the definition of display devices and explanation of each display device, refer to, for example, “Electronic Display Device (Akio Sasaki, published by Kogyo Kenkyukai 1990)”, “Display Device (written by Junaki Ibuki, Industrial Books Co., Ltd.) Issued in the first year).

表示装置の中でも液晶表示装置が好ましい。
液晶表示装置は、例えば、互いに向き合うように対向配置された一対の基板間をフォトスペーサーで所定幅に規制し、規制された間隙に液晶材料を封入(封入部位を液晶層と称する。)して構成されており、液晶層の厚さ(セル厚)が所望の均一厚に保持されるようになっている。
Among the display devices, a liquid crystal display device is preferable.
In a liquid crystal display device, for example, a pair of substrates arranged to face each other is regulated to a predetermined width by a photo spacer, and a liquid crystal material is enclosed in the regulated gap (an enclosed portion is referred to as a liquid crystal layer). Thus, the thickness of the liquid crystal layer (cell thickness) is maintained at a desired uniform thickness.

液晶表示装置における液晶表示モードとしては、STN型、TN型、GH型、ECB型、強誘電性液晶、反強誘電性液晶、VA型、IPS型、OCB型、ASM型、その他種々のものが好適に挙げられる。中でも、本発明の液晶表示装置においては、最も効果的に本発明の効果を奏する観点から、液晶セルのセル厚の変動により表示ムラを起こし易い表示モードが望ましく、セル厚が2〜4μmであるVA型表示モード、IPS型表示モード、OCB型表示モードに構成されるのが好ましい。   The liquid crystal display mode in the liquid crystal display device includes STN type, TN type, GH type, ECB type, ferroelectric liquid crystal, antiferroelectric liquid crystal, VA type, IPS type, OCB type, ASM type, and various other types. Preferably mentioned. Among them, in the liquid crystal display device of the present invention, from the viewpoint of exhibiting the effect of the present invention most effectively, a display mode that easily causes display unevenness due to fluctuations in the cell thickness of the liquid crystal cell is desirable, and the cell thickness is 2 to 4 μm. The VA display mode, the IPS display mode, and the OCB display mode are preferably configured.

また、本発明において使用可能な液晶としては、ネマチック液晶、コレステリック液晶、スメクチック液晶、強誘電液晶が挙げられる。   Examples of the liquid crystal that can be used in the present invention include nematic liquid crystal, cholesteric liquid crystal, smectic liquid crystal, and ferroelectric liquid crystal.

液晶表示装置の基本的な構成態様としては、(a)薄膜トランジスタ(TFT)等の駆動素子と画素電極(導電層)とが配列形成された駆動側基板と、対向電極(導電層)を備えた対向基板とをフォトスペーサーを介在させて対向配置し、その間隙部に液晶材料を封入して構成したもの、(b)駆動基板と、対向電極(導電層)を備えた対向基板とをフォトスペーサーを介在させて対向配置し、その間隙部に液晶材料を封入して構成したもの、等が挙げられ、本発明の液晶表示装置は、各種液晶表示機器に好適に適用することができる。   The basic configuration of the liquid crystal display device includes: (a) a driving side substrate in which driving elements such as thin film transistors (TFTs) and pixel electrodes (conductive layers) are arranged; and a counter electrode (conductive layer). The counter substrate is arranged to be opposed to each other with a photo spacer interposed therebetween, and a liquid crystal material is sealed in the gap, and (b) the driving substrate and the counter substrate having the counter electrode (conductive layer) are arranged as a photo spacer. The liquid crystal display device of the present invention can be suitably applied to various types of liquid crystal display devices.

液晶表示装置については、例えば「次世代液晶ディスプレイ技術(内田龍男編集、側工業調査会、1994年発行)」に記載がある。本発明の液晶表示装置には、本発明の液晶表示素子を備える以外に特に制限はなく、例えば前記「次世代液晶ディスプレイ技術」に記載された種々の方式の液晶表示装置に構成することができる。中でも特に、カラーTFT方式の液晶表示装置を構成するのに有効である。カラーTFT方式の液晶表示装置については、例えば「カラーTFT液晶ディスプレイ(共立出版(株)、1996年発行)」に記載がある。   The liquid crystal display device is described in, for example, “Next-generation liquid crystal display technology (edited by Tatsuo Uchida, side industry research committee, published in 1994)”. The liquid crystal display device of the present invention is not particularly limited except that it includes the liquid crystal display element of the present invention. For example, the liquid crystal display device can be configured as various types of liquid crystal display devices described in the “next-generation liquid crystal display technology”. . In particular, it is effective in constructing a color TFT liquid crystal display device. The color TFT liquid crystal display device is described in, for example, “Color TFT liquid crystal display (Kyoritsu Publishing Co., Ltd., issued in 1996)”.

液晶表示装置は、既述のフォトスペーサー、着色パターン、保護膜、液晶表示装置用基板、液晶表示素子を備える以外は、電極基板、偏光フィルム、位相差フィルム、バックライト、フォトスペーサー.視野角補償フィルム、反射防止フィルム、光拡散フィルム、防眩フィルムなどの様々な部材を用いて一般的に構成できる。これら部材については、例えば「’94液晶ディスプレイ周辺材料・ケミカルズの市場(島健太郎、(株)シーエムシー、1994年発行)」、「2003液晶関連市場の現状と将来展望(下巻)(表良吉、(株)富士キメラ総研、2003等発行)」に記載されている。   The liquid crystal display device includes an electrode substrate, a polarizing film, a retardation film, a backlight, a photo spacer, and the like except that it includes the photo spacer, the coloring pattern, the protective film, the substrate for the liquid crystal display device, and the liquid crystal display element. It can generally be configured using various members such as a viewing angle compensation film, an antireflection film, a light diffusion film, and an antiglare film. Regarding these members, for example, “'94 Liquid Crystal Display Peripheral Materials / Chemicals Market (Kentaro Shima, CMC Co., Ltd., published in 1994)”, “Current Status and Future Prospects of the 2003 Liquid Crystal Related Market (Part 2)” (Fuji Chimera Research Institute, Inc., 2003, etc.) ”.

以下、本発明を実施例により更に具体的に説明するが、本発明はその主旨を越えない限り、以下の実施例に限定されるものではない。なお、特に断りのない限り、「部」は質量基準である。   EXAMPLES Hereinafter, the present invention will be described more specifically with reference to examples. However, the present invention is not limited to the following examples unless it exceeds the gist thereof. Unless otherwise specified, “part” is based on mass.

なお、重量平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィ(GPC)で測定した。GPCは、HLC−8020GPC(東ソー(株)製)を用い、カラムとして、TSKgel、Super Multipore HZ−H(東ソー(株)製、4.6mmID×15cm)を3本用い、溶離液としてTHF(テトラヒドロフラン)を用いた。また、条件としては、試料濃度を0.35/min、流速を0.35ml/min、サンプル注入量を10μl、測定温度を40℃とし、IR検出器を用いて行なった。また、検量線は、東ソー(株)製「標準試料TSK standard,polystyrene」:「F−40」、「F−20」、「F−4」、「F−1」、「A−5000」、「A−2500」、「A−1000」、「n−プロピルベンゼン」の8サンプルから作製した。   The weight average molecular weight was measured by gel permeation chromatography (GPC). For GPC, HLC-8020GPC (manufactured by Tosoh Corporation) is used, TSKgel, Super Multipore HZ-H (manufactured by Tosoh Corporation, 4.6 mm ID × 15 cm) are used as columns, and THF (tetrahydrofuran) is used as an eluent. ) Was used. The conditions were as follows: the sample concentration was 0.35 / min, the flow rate was 0.35 ml / min, the sample injection amount was 10 μl, the measurement temperature was 40 ° C., and an IR detector was used. In addition, the calibration curve is “standard sample TSK standard, polystyrene” manufactured by Tosoh Corporation: “F-40”, “F-20”, “F-4”, “F-1”, “A-5000”, It produced from eight samples of "A-2500", "A-1000", and "n-propylbenzene".

<樹脂Aの合成>
まず、感光性樹脂組成物中の樹脂として、樹脂A(例示化合物P−52、P−53、P−54、P−46、P−48、P−3)の合成を行った。
<Synthesis of Resin A>
First, resin A (Exemplary compounds P-52, P-53, P-54, P-46, P-48, P-3) was synthesized as a resin in the photosensitive resin composition.

(例示化合物P−52の合成)
反応容器中に、1−メトキシ−2−プロパノール(MFG、日本乳化剤(株)製)7.48部をあらかじめ加え、90℃に昇温し、スチレン(St)3.1部、トリシクロペンテニルメタアクリレート(日立化成工業(株)製のTCPD−M;x)4.28部、メタクリル酸(MAA;y)11.7部、アゾ系重合開始剤(和光純薬(株)製、V−601)2.08部、及び1−メトキシ−2−プロパノール55.2部からなる混合溶液を窒素ガス雰囲気下、90℃の反応容器中に2時間かけて滴下した。滴下後、4時間反応させて、アクリル樹脂溶液を得た。
次いで、前記アクリル樹脂溶液に、ハイドロキノンモノメチルエーテル0.15部、及びテトラエチルアンモニウムブロマイド0.34部を加えた後、メタクリル酸グリシジル(GLM,東京化成工業(株)製)26.4部を2時間かけて滴下した(GLM−MAA;z)。滴下後、空気を吹き込みながら90℃で4時間反応させた後、固形分濃度が45%になるように溶媒1−メトキシ−2−プロピルアセテート(MMPGAc、ダイセル化学工業(株)製)を添加することにより調製し、不飽和基を持つ後述の例示化合物P−51にスチレン由来の構造単位を加えた例示化合物P−52(樹脂A)の樹脂溶液(固形分酸価;76.0mgKOH/g、Mw;25,000、1−メトキシ−2−プロパノール/1−メトキシ−2−プロピルアセテート45%溶液)を得た(x:y:z:St=30mol%:27mol%:37mol%:6mol%)。
ここで、GLM−MAAは、メタクリル酸にグリシジルメタクリレートが結合したものを示す(以下、同様である)。
なお、例示化合物P−52の分子量Mwは、重量平均分子量を示し、重量平均分子量の測定は、ゲル浸透クロマトグラフ法(GPC法)を用いて行なった(以下、同様である)。
(Synthesis of Exemplified Compound P-52)
In the reaction vessel, 7.48 parts of 1-methoxy-2-propanol (MFG, manufactured by Nippon Emulsifier Co., Ltd.) was added in advance, the temperature was raised to 90 ° C., 3.1 parts of styrene (St), tricyclopentenyl meta Acrylate (TCPD-M; manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.) 4.28 parts, methacrylic acid (MAA; y) 11.7 parts, azo polymerization initiator (Wako Pure Chemical Industries, Ltd., V-601) ) A mixed solution consisting of 2.08 parts and 55.2 parts of 1-methoxy-2-propanol was dropped into a 90 ° C. reaction vessel over 2 hours under a nitrogen gas atmosphere. After dripping, it was made to react for 4 hours and the acrylic resin solution was obtained.
Next, 0.15 part of hydroquinone monomethyl ether and 0.34 part of tetraethylammonium bromide were added to the acrylic resin solution, and then 26.4 parts of glycidyl methacrylate (GLM, manufactured by Tokyo Chemical Industry Co., Ltd.) was added for 2 hours. (GLM-MAA; z). After dripping, after reacting at 90 ° C. for 4 hours while blowing air, a solvent 1-methoxy-2-propyl acetate (MMPGAc, manufactured by Daicel Chemical Industries, Ltd.) is added so that the solid concentration is 45%. A resin solution of an exemplary compound P-52 (resin A) obtained by adding a structural unit derived from styrene to an exemplary compound P-51 described later having an unsaturated group (solid content acid value; 76.0 mgKOH / g, Mw; 25,000, 1-methoxy-2-propanol / 1-methoxy-2-propyl acetate 45% solution) (x: y: z: St = 30 mol%: 27 mol%: 37 mol%: 6 mol%) .
Here, GLM-MAA indicates a compound in which glycidyl methacrylate is bonded to methacrylic acid (the same applies hereinafter).
In addition, molecular weight Mw of exemplary compound P-52 showed the weight average molecular weight, and the measurement of the weight average molecular weight was performed using the gel permeation chromatograph method (GPC method) (hereinafter the same).

(例示化合物P−53の合成)
前記例示化合物P−52の合成において、スチレンを用いず、トリシクロペンテニルメタアクリレートをジシクロペンテニルオキシエチルアクリレート(日立化成工業(株)製のファンクリルFA−512A)に代え、例示化合物P−53中のx:y:zが46.2mol%:24.3mol%:29.5mol%になるように、FA−512A(x)、メタクリル酸(y)、GLM−MAA(z)、の添加量を変更した以外は、前記例示化合物P−52の合成と同様の方法により合成し、不飽和基を持つ例示化合物P−53(樹脂A)の樹脂溶液(固形分酸価;71.2mgKOH/g、Mw;25,500、1−メトキシ−2−プロパノール/1−メトキシ−2−プロピルアセテート45%溶液)を得た。
(Synthesis of Exemplified Compound P-53)
In the synthesis of Exemplified Compound P-52, without using styrene, tricyclopentenyl methacrylate was replaced with dicyclopentenyloxyethyl acrylate (Fanacryl FA-512A manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.), and Exemplified Compound P-53 The amount of FA-512A (x), methacrylic acid (y), GLM-MAA (z) added so that x: y: z is 46.2 mol%: 24.3 mol%: 29.5 mol% The compound solution was synthesized by the same method as the synthesis of Exemplified Compound P-52, and the resin solution of Exemplified Compound P-53 (Resin A) having an unsaturated group (solid content acid value: 71.2 mgKOH / g) Mw; 25,500, 1-methoxy-2-propanol / 1-methoxy-2-propyl acetate 45% solution).

(例示化合物P−54の合成)
例示化合物P−52の合成において、トリシクロペンテニルメタアクリレートをジシクロペンテニルアクリレート(日立化成工業(株)製のファンクリルFA−511A)に代え、例示化合物P−54中のx:y:z:Stが25mol%:25mol%:40mol%:10mol%になるように、FA−511A(x)、メタクリル酸(y)、GLM−MAA(z)、スチレン(St)の添加量を変更した以外は、前記例示化合物P−52の合成と同様の方法により合成し、不飽和基を持つ例示化合物P−54(樹脂A)の樹脂溶液(固形分酸価;78.7mgKOH/g、Mw;28,000、1−メトキシ−2−プロパノール/1−メトキシ−2−プロピルアセテート45%溶液)を得た。
(Synthesis of Exemplified Compound P-54)
In the synthesis of Exemplified Compound P-52, tricyclopentenyl methacrylate was replaced with dicyclopentenyl acrylate (Fanacryl FA-511A manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.), and x: y: z in Exemplified Compound P-54: Except for changing the addition amount of FA-511A (x), methacrylic acid (y), GLM-MAA (z), and styrene (St) so that St becomes 25 mol%: 25 mol%: 40 mol%: 10 mol%. The resin solution of the exemplified compound P-54 (resin A) having an unsaturated group (solid content acid value: 78.7 mgKOH / g, Mw; 28, 000, 1-methoxy-2-propanol / 1-methoxy-2-propyl acetate 45% solution).

(例示化合物P−46の合成)
前記例示化合物P−52の合成において、トリシクロペンテニルメタアクリレートをADMA(出光興産(株)製)に代え、化合物P−1にスチレン由来の構造単位を加えた組成x:y:z:Stが30mol%:24mol%:38mol%:8mol%になるように、ADMA(x)、メタクリル酸(y)、GLM−MAA(z)、及びスチレンの添加量を変更した以外は、前記例示化合物P−52の合成と同様の方法により合成し、不飽和基を持つ例示化合物P−1にスチレン由来の構造単位を加えた例示化合物P−46(樹脂A)の樹脂溶液(固形分酸価;74.1mgKOH/g、Mw;29,000、1−メトキシ−2−プロパノール/1−メトキシ−2−プロピルアセテート45%溶液)を得た。
(Synthesis of Exemplified Compound P-46)
In the synthesis of the exemplified compound P-52, the composition x: y: z: St is obtained by replacing tricyclopentenyl methacrylate with ADMA (manufactured by Idemitsu Kosan Co., Ltd.) and adding a structural unit derived from styrene to the compound P-1. Exemplified Compound P-, except that the addition amounts of ADMA (x), methacrylic acid (y), GLM-MAA (z), and styrene were changed so as to be 30 mol%: 24 mol%: 38 mol%: 8 mol%. 52. Resin solution (solid content acid value; 74.S) of Exemplified Compound P-46 (Resin A) synthesized by the same method as that of No. 52 and added with Structural Unit derived from styrene to Exemplified Compound P-1 having an unsaturated group. 1 mg KOH / g, Mw; 29,000, 1-methoxy-2-propanol / 1-methoxy-2-propyl acetate 45% solution).

(例示化合物P−48の合成)
前記例示化合物P−52の合成において、トリシクロペンテニルメタアクリレートをメタクリル酸ノルボルニルに代え、化合物P−2にスチレン由来の構造単位を加えた組成x:y:z:Stが40mol%:23mol%:35mol%:2mol%になるように、メタクリル酸ノルボルニル(x)、メタクリル酸(y)、GLM−MAA(z)、及びスチレンの添加量を変更した以外は、例示化合物P−52の合成と同様の方法により合成し、不飽和基を持つ化合物P−2にスチレン由来の構造単位を加えた例示化合物P−48(樹脂A)の樹脂溶液(固形分酸価;67.7mgKOH/g、Mw;12,000、1−メトキシ−2−プロパノール/1−メトキシ−2−プロピルアセテート45%溶液)を得た。
(Synthesis of Exemplified Compound P-48)
In the synthesis of the exemplified compound P-52, the composition x: y: z: St is 40 mol%: 23 mol% in which tricyclopentenyl methacrylate is replaced with norbornyl methacrylate and a structural unit derived from styrene is added to the compound P-2: 35 mol%: Same as the synthesis of Exemplified Compound P-52, except that the addition amounts of norbornyl methacrylate (x), methacrylic acid (y), GLM-MAA (z), and styrene were changed so as to be 2 mol%. A resin solution of the exemplified compound P-48 (resin A) obtained by adding a structural unit derived from styrene to the compound P-2 having an unsaturated group (solid content acid value; 67.7 mgKOH / g, Mw; 12,000, 1-methoxy-2-propanol / 1-methoxy-2-propyl acetate 45% solution).

(例示化合物P−3の合成)
前記例示化合物P−52の合成において、スチレンを用いず、トリシクロペンテニルメタアクリレートをシクロヘキシルメタクリレートに代え、例示化合物P−3中のx:y:zが45mol%:20mol%:35mol%になるように、シクロヘキシルメタクリレート(x)、メタクリル酸(y)、GLM−MAA(z)、の添加量を変更した以外は、前記例示化合物P−52の合成と同様の方法により合成し、不飽和基を持つ例示化合物P−3(樹脂A)の樹脂溶液(固形分酸価;74.0mgKOH/g、Mw;30,700、1−メトキシ−2−プロパノール/1−メトキシ−2−プロピルアセテート45%溶液)を得た。
(Synthesis of Exemplified Compound P-3)
In the synthesis of the exemplary compound P-52, styrene is not used and tricyclopentenyl methacrylate is replaced with cyclohexyl methacrylate so that x: y: z in the exemplary compound P-3 is 45 mol%: 20 mol%: 35 mol%. In addition, except that the addition amount of cyclohexyl methacrylate (x), methacrylic acid (y), and GLM-MAA (z) was changed, the unsaturated group was synthesized by the same method as the synthesis of Exemplified Compound P-52. Resin solution of the exemplified compound P-3 (resin A) having a solid content acid value: 74.0 mg KOH / g, Mw; 30,700, 45% 1-methoxy-2-propanol / 1-methoxy-2-propyl acetate solution )

<1.感光性濃色組成物の調製>
−カーボンブラック分散液(K−1)の調製−
下記処方でカーボンブラック分散液(K−1)を調製した。
・カーボンブラック(デグッサ社製 カラーブラックFW2) ・・26.7部
・分散剤(楠本化成製ディスパロンDA7500 酸価26 アミン価40)
・・・3.3部
・ベンジルメタクリレート/メタクリル酸(=72/28[モル比])共重合体
(分子量30,000、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートの50質量%溶液) ・・・10部
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート ・・・60部
<1. Preparation of photosensitive dark color composition>
-Preparation of carbon black dispersion (K-1)-
A carbon black dispersion (K-1) was prepared according to the following formulation.
・ Carbon black (Color Black FW2 manufactured by Degussa) ・ ・ 26.7 parts ・ Dispersant (Dispalon DA7500 manufactured by Enomoto Kasei Co., Ltd., acid value 26, amine value 40)
... 3.3 parts benzyl methacrylate / methacrylic acid (= 72/28 [molar ratio]) copolymer (molecular weight 30,000, 50 mass% solution of propylene glycol monomethyl ether acetate) ... 10 parts propylene Glycol monomethyl ether acetate 60 parts

上記各成分を3000rpmの条件でホモジナイザーを用いて1時間撹拌した。得られた混合溶液を、0.3mmジルコニアビーズを用いたビーズ分散機(商品名:ディスパーマット、GETZMANN社製)にて8時間微分散処理を施し、カーボンブラック分散液(K−1)を得た。   The above components were stirred for 1 hour using a homogenizer under the condition of 3000 rpm. The obtained mixed solution was finely dispersed for 8 hours with a bead disperser (trade name: Dispermat, manufactured by GETZMANN) using 0.3 mm zirconia beads to obtain a carbon black dispersion (K-1). It was.

得られたカーボンブラック分散液(K−1)を用いて、下記処方の感光性濃色組成物塗布液CK−1を調製した。   Using the obtained carbon black dispersion liquid (K-1), a photosensitive dark color composition coating liquid CK-1 having the following formulation was prepared.

カーボンブラック分散液(K−1) 31.0部
樹脂溶液C−2 3.0部
UV硬化性樹脂C−3 2.0部
重合性化合物C−5 2.2部
開始剤C−7 0.8部
重合禁止剤(メトキシフェノール) 0.0002部
界面活性剤C−8 0.001部
PGMEA 46.0部
EEP 15.0部
Carbon black dispersion (K-1) 31.0 parts Resin solution C-2 3.0 parts UV curable resin C-3 2.0 parts Polymerizable compound C-5 2.2 parts Initiator C-7 0. 8 parts Polymerization inhibitor (methoxyphenol) 0.0002 parts Surfactant C-8 0.001 part PGMEA 46.0 parts EEP 15.0 parts

なお、各成分の詳細は下記のとおりである。
・樹脂溶液C−2:ベンジルメタクリレート/メタクリル酸(=85/15モル比)共重合体、(Mw10000、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートの50%溶液)
・UV硬化性樹脂C−3:商品名サイクロマーP ACA−250 ダイセル化学工業(株)製〔側鎖に脂環、COOH基、及びアクリロイル基のあるアクリル系共重合体、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート溶液(固形分:50質量%)〕
・重合性化合物C−5:商品名 TO−1382 東亞合成(株)製
(ジペンタエリスリトールペンタアクリレートの末端OH基の一部をCOOH基に置換した5官能のアクリロイル基を有するモノマーが主成分。)
・開始剤C−7:商品名「OXE−02」 チバ・スペシャルテイ・ケミカルズ社製
・界面活性剤C−8:商品名「メガファックR30」 大日本インキ化学工業(株)製
・溶剤:PGMEA=プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート
EEP=3−エトキシエチルプロピオネート
The details of each component are as follows.
Resin solution C-2: benzyl methacrylate / methacrylic acid (= 85/15 molar ratio) copolymer, (Mw 10,000, 50% solution of propylene glycol monomethyl ether acetate)
UV curable resin C-3: trade name Cyclomer P ACA-250 manufactured by Daicel Chemical Industries, Ltd. [Acrylic copolymer having alicyclic, COOH, and acryloyl groups in the side chain, propylene glycol monomethyl ether acetate Solution (solid content: 50% by mass)]
Polymerizable compound C-5: trade name TO-1382 manufactured by Toagosei Co., Ltd. (The main component is a monomer having a pentafunctional acryloyl group in which part of the terminal OH group of dipentaerythritol pentaacrylate is substituted with a COOH group. )
・ Initiator C-7: Trade name “OXE-02” Ciba Specialty Chemicals Co., Ltd. ・ Surfactant C-8: Trade name “Megafac R30” Dainippon Ink & Chemicals, Inc. ・ Solvent: PGMEA = Propylene glycol monomethyl ether acetate EEP = 3-Ethoxyethyl propionate

<2.塗布によるブラックマトリクスの形成>
−感光性濃色組成物層形成工程−
得られた感光性濃色組成物CK−1を、ガラス基板(コーニング社製ミレニアム 0.7mm厚)にスリットコーター(型番HC6000、平田機工株式会社製)を用いて、ポストベーク後の膜厚が1.2μmとなるようにスリットとガラス基板間の間隔、吐出量を調節して、塗布速度120mm/秒で塗布した。
<2. Formation of black matrix by coating>
-Photosensitive dark color composition layer forming step-
Using the obtained photosensitive dark color composition CK-1 on a glass substrate (Corning Millennium 0.7 mm thickness) using a slit coater (model number HC6000, manufactured by Hirata Kiko Co., Ltd.), the film thickness after post-baking is Coating was performed at a coating speed of 120 mm / second by adjusting the interval between the slit and the glass substrate and the discharge amount so as to be 1.2 μm.

−プリベーク工程、露光工程−
次いで、ホットプレートを用いて、90℃で120秒間加熱(プリベーク処理)を行なった後、ミラープロジェクション方式露光機(型番MPA−8000、キヤノン株式会社社製)を用いて、100mJ/cmで露光した。
-Pre-bake process, exposure process-
Next, after heating (prebaking treatment) at 90 ° C. for 120 seconds using a hot plate, exposure is performed at 100 mJ / cm 2 using a mirror projection type exposure machine (model number MPA-8000, manufactured by Canon Inc.). did.

−現像工程−
その後、水酸化カリウム系現像液CDK−1(富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ(株)製)の1.0%現像液(CDK−1を1質量部、純水を99質量部の希釈した液、25℃)でシャワー圧を0.20MPaに設定して、60秒現像し、純水で洗浄して、現像後のブラックマトリクスを得た。
-Development process-
Thereafter, a 1.0% developer (1 part by mass of CDK-1 and 99 parts by mass of pure water) of a potassium hydroxide developer CDK-1 (manufactured by FUJIFILM Electronics Materials), 25 ), The shower pressure was set to 0.20 MPa, development was performed for 60 seconds, and washed with pure water to obtain a developed black matrix.

−ベーク工程−
次いで220℃のクリーンオーブンで40分間ポストベーク処理し、着色画素形成領域の開口が90μm×200μmで、ブラックマトリックスの厚みが1.2μmで、ブラックマトリックスの線幅が約25μmの格子状ブラックマトリクス基板を形成した。
X-Rite 361T(V)(サカタインクスエンジニアリング(株)製)を用いて、出来上がったブラックマトリックスの光学濃度(OD)を測定したところ、4.2であった。
-Bake process-
Next, a post-baking process is performed for 40 minutes in a 220 ° C. clean oven, and a black pixel substrate having a colored pixel formation area of 90 μm × 200 μm, a black matrix thickness of 1.2 μm, and a black matrix line width of about 25 μm. Formed.
When the optical density (OD) of the completed black matrix was measured using X-Rite 361T (V) (manufactured by Sakata Inx Engineering Co., Ltd.), it was 4.2.

<3.感光性着色組成物の調製>
− 3−1.赤色(R)用感光性着色組成物塗布液CR−1の調製−
下記処方で赤色(R)用分散液(R−1)を調製した。
・Pigment Red 254(SEM観察での平均粒子径43nm) ・・・11部
・Pigment Red 177(SEM観察での平均粒子径58nm) ・・・4部
・下記分散樹脂A−3 ・・・5部
・分散剤(商品名:Disperbyk−161、ビックケミー社製)
(プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートの30%溶液)・・・3部
・アルカリ可溶性樹脂:ベンジルメタクリレート/メタクリル酸共重合体
(=75/25[モル比]共重合体、分子量30,000、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート溶液(固形分:50質量%)) ・・・9部
・溶剤B:プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート ・・・68部
<3. Preparation of photosensitive coloring composition>
-3-1. Preparation of photosensitive coloring composition coating liquid CR-1 for red (R)-
A red (R) dispersion (R-1) was prepared according to the following formulation.
Pigment Red 254 (average particle diameter 43 nm in SEM observation) 11 parts Pigment Red 177 (average particle diameter 58 nm in SEM observation) 4 parts Dispersion resin A-3 shown below 5 parts・ Dispersant (trade name: Disperbyk-161, manufactured by Big Chemie)
(30% solution of propylene glycol monomethyl ether acetate) 3 parts alkali-soluble resin: benzyl methacrylate / methacrylic acid copolymer (= 75/25 [molar ratio] copolymer, molecular weight 30,000, propylene glycol monomethyl Ether acetate solution (solid content: 50% by mass) ... 9 parts ・ Solvent B: Propylene glycol monomethyl ether acetate ... 68 parts

上記各成分を、3000rpmの条件でホモジナイザーを用いて1時間撹拌した。得られた混合溶液を、0.3mmジルコニアビーズを用いてビーズ分散機(商品名:ディスパーマット、GETZMANN社製)にて4時間微分散処理を施し赤色(R)用分散液(R−1)を得た。   The above components were stirred for 1 hour using a homogenizer at 3000 rpm. The obtained mixed solution was subjected to fine dispersion treatment for 4 hours with a bead disperser (trade name: Dispermat, manufactured by GETZMANN) using 0.3 mm zirconia beads, and a red (R) dispersion (R-1). Got.

得られた赤色(R)用分散液(R−1)を用いて、下記処方で赤色(R)用感光性着色組成物塗布液CR−1を調製した。
・赤色(R)用分散液(R−1) ・・・100部
・エポキシ樹脂:(商品名EHPE3150 ダイセル化学工業社製 ・・・2部
・重合性化合物:ジペンタエリスリトールペンタ・ヘキサアクリレート・・・8部
・重合開始剤:4−(o−ブロモ−p−N,N−ジ(エトキシカルボニルメチル)アミノ−フェニル)−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン ・・・1部
・重合開始剤:2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタノン−1 ・・・1部
・重合開始剤:ジエチルチオキサントン ・・・0.5部
・重合禁止剤:p−メトキシフェノール ・・・0.001部
・フッ素系界面活性剤(商品名:Megafac R30 大日本インキ化学工業社製)
・・・0.01部
・ノニオン系界面活性剤(商品名:テトロニックR150 ADEKA社製)
・・・0.2部
・溶剤:プロピレングリコールn−ブチルエーテルアセテート ・・・30部
・溶剤:プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート ・・・100部
上記成分を混合撹拌し、赤色(R)用感光性着色組成物塗布液CR−1を得た。
Using the obtained red (R) dispersion liquid (R-1), a photosensitive coloring composition coating liquid CR-1 for red (R) was prepared according to the following formulation.
-Red (R) dispersion (R-1)-100 parts-Epoxy resin: (trade name EHPE3150, manufactured by Daicel Chemical Industries, Ltd.-2 parts-Polymerizable compound: Dipentaerythritol penta-hexaacrylate- 8 parts Polymerization initiator: 4- (o-bromo-pN, N-di (ethoxycarbonylmethyl) amino-phenyl) -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine ... 1 part -Polymerization initiator: 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone-1 ... 1 part-Polymerization initiator: Diethylthioxanthone-0.5 part-Polymerization inhibitor : P-methoxyphenol ・ ・ ・ 0.001 part ・ Fluorosurfactant (trade name: Megafac R30, manufactured by Dainippon Ink & Chemicals, Inc.)
・ ・ ・ 0.01 part ・ Nonionic surfactant (trade name: Tetronic R150, manufactured by ADEKA)
・ ・ ・ 0.2 parts ・ Solvent: Propylene glycol n-butyl ether acetate ・ ・ ・ 30 parts ・ Solvent: Propylene glycol monomethyl ether acetate ・ ・ ・ 100 parts A product coating solution CR-1 was obtained.

− 3−2.緑色(G)用感光性着色組成物塗布液CG−1の調製−
下記処方で緑色(G)用分散液(G−1)を調製した。
・Pigment Green 36(SEM観察での平均粒子径47nm) ・・・11部
・Pigment Yellow150(SEM観察での平均粒子径39nm) ・・・7部
・下記分散樹脂A−3 ・・・5部
・分散剤(商品名:Disperbyk−161、ビックケミー社製 30%溶液)
・・・3部
・アルカリ可溶性樹脂:ベンジルメタクリレート/メタクリル酸共重合体
(=85/15[モル比]共重合体、分子量30,000、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート溶液(固形分:50質量%)) ・・・11部
・溶剤:プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート ・・・70部
-3-2. Preparation of photosensitive coloring composition coating liquid CG-1 for green (G)
A green (G) dispersion (G-1) was prepared according to the following formulation.
Pigment Green 36 (average particle diameter 47 nm in SEM observation) 11 parts Pigment Yellow 150 (average particle diameter 39 nm in SEM observation) 7 parts Dispersion resin A-3 shown below 5 parts Dispersant (trade name: Disperbyk-161, 30% solution manufactured by Big Chemie)
... 3 parts ・ Alkali-soluble resin: benzyl methacrylate / methacrylic acid copolymer (= 85/15 [molar ratio] copolymer, molecular weight 30,000, propylene glycol monomethyl ether acetate solution (solid content: 50 mass%) ) 11 parts ・ Solvent: Propylene glycol monomethyl ether acetate 70 parts

上記各成分を3000rpmの条件でホモジナイザーを用いて1時間撹拌した。得られた混合溶液を、0.3mmジルコニアビーズを用いたビーズ分散機(商品名:ディスパーマット、GETZMANN社製)にて8時間微分散処理を施し、緑色(G)用分散液(G−1)を得た。   The above components were stirred for 1 hour using a homogenizer under the condition of 3000 rpm. The obtained mixed solution was finely dispersed for 8 hours with a bead disperser (trade name: Dispermat, manufactured by GETZMANN) using 0.3 mm zirconia beads, and a green (G) dispersion (G-1 )

得られた緑色(G)用分散液(G−1)を用いて、下記処方で緑色(G)用感光性着色組成物塗布液CG−1を調製した。
・緑色(G)用分散液(G−1) ・・・100部
・エポキシ樹脂:(商品名EHPE3150 ダイセル化学工業社製) ・・・2部
・重合性化合物:ジペンタエリスリトールペンタ・ヘキサアクリレート ・・・8部
・重合性化合物:ペンタエリスリトールのテトラ(エトキシアクリレート)・・・2部
・重合開始剤:1,3−ビストリハロメチル−5−ベンゾオキソラントリアジン
・・・2部
・重合開始剤:2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタノン−1 ・・・1部
・重合開始剤:ジエチルチオキサントン ・・・0.5部
・重合禁止剤:p−メトキシフェノール ・・・0.001部
・フッ素系界面活性剤(商品名:Megafac R08 大日本インキ化学工業社製)
・・・0.02部
・ノニオン系界面活性剤(商品名:エマルゲンA−60 花王社製) ・・・0.5部
・溶剤:プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート ・・・120部
・溶剤:プロピレングリコールn−プロピルエーテルアセテート ・・・30部
上記組成を混合撹拌し、緑色(G)用感光性着色組成物塗布液CG−1を得た。
Using the obtained green (G) dispersion liquid (G-1), a photosensitive coloring composition coating liquid CG-1 for green (G) was prepared according to the following formulation.
-Green (G) dispersion (G-1) ... 100 parts-Epoxy resin: (trade name EHPE3150, manufactured by Daicel Chemical Industries) ... 2 parts-Polymerizable compound: Dipentaerythritol penta-hexaacrylate .. 8 parts Polymerizable compound: Tetra (ethoxy acrylate) of pentaerythritol 2 parts Polymerization initiator: 1,3-bistrihalomethyl-5-benzooxolantolyazine
... 2 parts-Polymerization initiator: 2-Benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone-1 ... 1 part-Polymerization initiator: Diethylthioxanthone ... 0.5 Part / polymerization inhibitor: p-methoxyphenol 0.001 part / fluorine-based surfactant (trade name: Megafac R08, manufactured by Dainippon Ink & Chemicals, Inc.)
・ ・ ・ 0.02 parts ・ Nonionic surfactant (trade name: Emulgen A-60, manufactured by Kao Corporation) ・ ・ ・ ・ 0.5 parts ・ Solvent: Propylene glycol monomethyl ether acetate 120 parts ・ Solvent: Propylene glycol n-Propyl ether acetate ... 30 parts The above composition was mixed and stirred to obtain a photosensitive coloring composition coating solution CG-1 for green (G).

− 3−3.青色(B)用感光性着色組成物塗布液CB−1の調製−
下記処方で青色(B)用分散液(B−1)を調製した。
・Pigment Blue 15:6(SEM観察での平均粒子径55nm) ・・・14部
・Pigment Violet 23(SEM観察での平均粒子径61nm) ・・・1部
・下記分散樹脂A−3 ・・・5部
・分散剤(商品名:Disperbyk−161、ビックケミー社製 30%溶液)
・・・3部
・アルカリ可溶性樹脂:ベンジルメタクリレート/メタクリル酸共重合体
(=80/20[モル比]共重合体、分子量30,000、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート溶液(固形分:50質量%)) ・・・4部
・溶剤:プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート ・・・73部
− 3-3. Preparation of photosensitive coloring composition coating solution CB-1 for blue (B)
A blue (B) dispersion (B-1) was prepared according to the following formulation.
Pigment Blue 15: 6 (average particle diameter 55 nm in SEM observation) 14 parts Pigment Violet 23 (average particle diameter 61 nm in SEM observation) 1 part Dispersion resin A-3 below 5 parts, dispersant (trade name: Disperbyk-161, 30% solution manufactured by Big Chemie)
... 3 parts ・ Alkali-soluble resin: benzyl methacrylate / methacrylic acid copolymer (= 80/20 [molar ratio] copolymer, molecular weight 30,000, propylene glycol monomethyl ether acetate solution (solid content: 50 mass%)・ ・ ・ 4 parts ・ Solvent: Propylene glycol monomethyl ether acetate 73 parts

上記各成分を、3000rpmの条件でホモジナイザーを用いて1時間撹拌した。得られた混合溶液を、0.3mmジルコニアビーズを用いてビーズ分散機(商品名:ディスパーマット、GETZMANN社製)にて4時間微分散処理を施し、青色(B)用分散液(B−1)を得た。   The above components were stirred for 1 hour using a homogenizer at 3000 rpm. The obtained mixed solution was finely dispersed for 4 hours with a bead disperser (trade name: Dispermat, manufactured by GETZMANN) using 0.3 mm zirconia beads, and a blue (B) dispersion (B-1 )

得られた青色(B)用分散液(B−1)を用いて、下記処方で青色(B)用感光性着色組成物塗布液CB−1を調製した。
・青色(B)用分散液(B−1) ・・・100部
・アルカリ可溶性樹脂:ベンジルメタクリレート/メタクリル酸共重合体
(=80/20[モル比]共重合体、分子量30,000)、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート溶液(固形分:50質量%)) ・・・7部
・エポキシ樹脂:(商品名セロキサイド2080 ダイセル化学工業社製)・・・2部
・UV硬化性樹脂:(商品名サイクロマーP ACA−250 ダイセル化学工業社製)
(側鎖に脂環、COOH基、及びアクリロイル基のあるアクリル系共重合体、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート溶液(固形分:50質量%) ・・・4部
・重合性化合物:ジペンタエリスリトールペンタ・ヘキサアクリレート ・・・12部
・重合開始剤:1−(9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾル−3−イル)−1−(o−アセチルオキシム)エタノン ・・・3部
・重合禁止剤: p−メトキシフェノール ・・・0.001部
・フッ素系界面活性剤(商品名:Megafac R08 大日本インキ化学工業社製)
・・・0.02部
・ノニオン系界面活性剤(商品名:エマルゲンA−60 花王社製) ・・・1.0部
・溶剤:3−エトキシプロピオン酸エチル ・・・20部
・溶剤:プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート ・・・150部
上記成分を混合撹拌し、青色(B)用感光性着色組成物塗布液CB−1を得た。
Using the obtained blue (B) dispersion liquid (B-1), a blue (B) photosensitive coloring composition coating liquid CB-1 was prepared according to the following formulation.
-Blue (B) dispersion (B-1) ... 100 parts-Alkali-soluble resin: benzyl methacrylate / methacrylic acid copolymer
(= 80/20 [molar ratio] copolymer, molecular weight 30,000), propylene glycol monomethyl ether acetate solution (solid content: 50 mass%)) ... 7 parts Epoxy resin: (trade name Celoxide 2080 Daicel Chemical) (Made by Kogyo Co., Ltd.) ... 2 parts UV curable resin: (trade name Cyclomer P ACA-250 made by Daicel Chemical Industries)
(Acrylic copolymer having alicyclic, COOH and acryloyl groups in the side chain, propylene glycol monomethyl ether acetate solution (solid content: 50% by mass) ... 4 parts Polymerizable compound: Dipentaerythritol penta Hexaacrylate ... 12 parts-Polymerization initiator: 1- (9-ethyl-6- (2-methylbenzoyl) -9H-carbazol-3-yl) -1- (o-acetyloxime) ethanone ... 3 Part / polymerization inhibitor: p-methoxyphenol 0.001 part / fluorine-based surfactant (trade name: Megafac R08, manufactured by Dainippon Ink & Chemicals, Inc.)
... 0.02 part, nonionic surfactant (trade name: Emulgen A-60, manufactured by Kao Corporation) ... 1.0 part, solvent: ethyl 3-ethoxypropionate ... 20 parts, solvent: propylene Glycol monomethyl ether acetate: 150 parts The above components were mixed and stirred to obtain a photosensitive coloring composition coating solution CB-1 for blue (B).

<4.分散樹脂A−3の合成>
(1.連鎖移動剤A3の合成)
ジペンタエリスリトールヘキサキス(3−メルカプトプロピオネート)〔DPMP;堺化学工業(株)製〕(下記化合物(33))7.83部、及び吸着部位を有し、かつ炭素−炭素二重結合を有する下記化合物(m−6)4.55部を、プロピレングリコールモノメチルエーテル28.90部に溶解させ、窒素気流下、70℃に加熱した。これに、2,2’−アゾビス(2,4−ジメチルバレロニトリル)〔V−65、和光純薬工業(株)製〕0.04部を加えて3時間加熱した。更に、V−65を0.04部加え、窒素気流下、70℃で3時間反応させた。室温まで冷却することで、以下に示すメルカプタン化合物(連鎖移動剤A3)の30%溶液を得た。
<4. Synthesis of Dispersing Resin A-3>
(1. Synthesis of chain transfer agent A3)
Dipentaerythritol hexakis (3-mercaptopropionate) [DPMP; manufactured by Sakai Chemical Industry Co., Ltd.] (the following compound (33)) 7.83 parts, and having an adsorption site, and a carbon-carbon double bond The following compound (m-6) (4.55 parts) having an aldehyde was dissolved in 28.90 parts of propylene glycol monomethyl ether and heated to 70 ° C. under a nitrogen stream. To this, 0.04 part of 2,2′-azobis (2,4-dimethylvaleronitrile) [V-65, manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd.] was added and heated for 3 hours. Furthermore, 0.04 part of V-65 was added and reacted at 70 ° C. for 3 hours under a nitrogen stream. By cooling to room temperature, a 30% solution of the mercaptan compound (chain transfer agent A3) shown below was obtained.

(2.分散樹脂A−3の合成)
前記のようにして得られた連鎖移動剤A3の30%溶液4.99部、メタクリル酸メチル19.0部、及びメタクリル酸1.0部、プロピレングリコールモノメチルエーテル4.66部の混合溶液を、窒素気流下、90℃に加熱した。この混合溶液を攪拌しながら、2,2’−アゾビスイソ酪酸ジメチル〔V−601、和光純薬工業(株)製〕0.139部、プロピレングリコールモノメチルエーテル5.36部、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート9.40部の混合溶液を2.5時間かけて滴下した。滴下終了してから、90℃で2.5時間反応させた後、2,2’−アゾビスイソ酪酸ジメチル0.046部、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート4.00部の混合溶液を投入し、更に2時間反応させた。反応液にプロピレングリコールモノメチルエーテル1.52部、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート21.7部を加え、室温まで冷却することで特定分散樹脂A−3(ポリスチレン換算の重量平均分子量24000)の溶液(特定分散樹脂30質量%、プロピレングリコールモノメチルエーテル21質量%、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート49質量%)を得た。
この特定分散樹脂A−3の酸価は48mg/gであった。分散樹脂A−3の構造を以下に示す。
(2. Synthesis of dispersion resin A-3)
A mixed solution of 4.99 parts of a 30% solution of chain transfer agent A3 obtained as described above, 19.0 parts of methyl methacrylate, 1.0 part of methacrylic acid, and 4.66 parts of propylene glycol monomethyl ether, It heated at 90 degreeC under nitrogen stream. While stirring this mixed solution, 0.139 part of dimethyl 2,2′-azobisisobutyrate [V-601, manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd.], 5.36 parts of propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monomethyl ether acetate 9 40 parts of the mixed solution was added dropwise over 2.5 hours. After the completion of the dropwise addition, the mixture was reacted at 90 ° C. for 2.5 hours, and then a mixed solution of 0.046 parts of dimethyl 2,2′-azobisisobutyrate and 4.00 parts of propylene glycol monomethyl ether acetate was added, and further 2 hours. Reacted. To the reaction solution, 1.52 parts of propylene glycol monomethyl ether and 21.7 parts of propylene glycol monomethyl ether acetate are added, and cooled to room temperature, whereby a solution (specific dispersion) of the specific dispersion resin A-3 (polystyrene equivalent weight average molecular weight 24000) is obtained. Resin 30% by mass, propylene glycol monomethyl ether 21% by mass, propylene glycol monomethyl ether acetate 49% by mass).
The acid value of the specific dispersion resin A-3 was 48 mg / g. The structure of dispersion resin A-3 is shown below.

<カラーフィルタ基板の作製>
−感光性着色組成物層形成工程−
得られた赤色(R)用感光性着色組成物塗布液CR−1を、前記ブラックマトリックス基板のブラックマトリックス形成面側に、塗布した。具体的には、感光性濃色組成物層形成の場合と同様に、ポストベーク後の感光性着色組成物層の層厚が約2.1μmとなるようにスリットとブラックマトリックス基板間の間隔、吐出量を調節して、塗布速度120mm/秒で塗布した。
<Preparation of color filter substrate>
-Photosensitive coloring composition layer formation process-
The obtained red (R) photosensitive coloring composition coating liquid CR-1 was applied to the black matrix forming surface side of the black matrix substrate. Specifically, as in the case of forming the photosensitive dark color composition layer, the gap between the slit and the black matrix substrate so that the layer thickness of the photosensitive coloring composition layer after post-baking is about 2.1 μm, Coating was performed at a coating speed of 120 mm / sec by adjusting the discharge amount.

−着色層プリベーク工程、着色層露光工程−
次いで、ホットプレートを用いて、100℃で120秒間加熱(プリベーク処理)を行なった後、ミラープロジェクション方式露光機(型番MPA−8000、キヤノン株式会社製)を用いて、90mJ/cmで露光した。
また、露光パターンと、ブラックマトリックスとの重なり(露光重なり量)が8.0μmとなるようにマスクパターンと露光機を設定した。
-Colored layer pre-baking step, colored layer exposure step-
Next, after heating (prebaking treatment) at 100 ° C. for 120 seconds using a hot plate, exposure was performed at 90 mJ / cm 2 using a mirror projection type exposure machine (model number MPA-8000, manufactured by Canon Inc.). .
Further, the mask pattern and the exposure machine were set so that the overlap (exposure overlap amount) between the exposure pattern and the black matrix was 8.0 μm.

−着色層現像工程、着色層ベーク工程−
その後、水酸化カリウム系現像液CDK−1(富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ(株)製)の1.0%現像液(CDK−1を1質量部、純水を99質量部の希釈した液、25℃)でシャワー圧を0.2MPaに設定して、45秒現像し、純水で洗浄した。
次いで220℃のクリーンオーブンで30分間ポストベーク処理し、熱処理済みの赤色画素を形成した。
-Colored layer development process, colored layer baking process-
Thereafter, a 1.0% developer (1 part by mass of CDK-1 and 99 parts by mass of pure water) of a potassium hydroxide developer CDK-1 (manufactured by FUJIFILM Electronics Materials), 25 )), The shower pressure was set to 0.2 MPa, developed for 45 seconds, and washed with pure water.
Next, post-baking was performed in a 220 ° C. clean oven for 30 minutes to form heat-treated red pixels.

次いで、上記感光性着色組成物層形成工程、着色層プリベーク工程、着色層露光工程、着色層現像工程、及び着色層ベーク工程において、赤色(R)用感光性着色組成物塗布液CR−1を、緑色(G)用感光性着色組成物塗布液CG−1に代えた他は同様にして、緑色画素を形成した。さらにその後、赤色(R)用感光性着色組成物塗布液CR−1を、青色(B)用感光性着色組成物塗布液CB−1に代えた他は同様にして、青色画素を形成してカラーフィルタ基板を得た。   Subsequently, in the said photosensitive coloring composition layer formation process, colored layer prebaking process, colored layer exposure process, colored layer development process, and colored layer baking process, the photosensitive coloring composition coating liquid CR-1 for red (R) is used. A green pixel was formed in the same manner except that the photosensitive coloring composition coating solution CG-1 for green (G) was used. Thereafter, a blue pixel was formed in the same manner except that the photosensitive coloring composition coating liquid CR-1 for red (R) was replaced with the photosensitive coloring composition coating liquid CB-1 for blue (B). A color filter substrate was obtained.

上記より得たカラーフィルタ基板のR画素、G画素、及びB画素並びにブラックマトリックスの上に更に、ITO(Indium Tin Oxide)透明電極を、スパッタリングにより形成した。別途、対向基板としてガラス基板を用意し、同様にITO透明電極をスパッタリングにより形成した。   An ITO (Indium Tin Oxide) transparent electrode was further formed by sputtering on the R pixel, G pixel, B pixel and black matrix of the color filter substrate obtained above. Separately, a glass substrate was prepared as a counter substrate, and an ITO transparent electrode was similarly formed by sputtering.

<フォトスペーサーの形成>
上記で作製したITO透明電極がスパッタ形成されたカラーフィルタ基板のITO透明電極上に、スピンナーにて、下記表1に示す処方(実施例1では処方1)からなる感光性樹脂層用塗布液をスリット塗布した。引き続き、真空乾燥機VCD(東京応化社製)を用いて30秒間溶媒の一部を乾燥させて塗布膜の流動性をなくした後、90℃のホットプレート上で3分間プリベークし、膜厚5.2μmの感光性樹脂層を形成した(被膜形成工程)。
<Formation of photo spacer>
On the ITO transparent electrode of the color filter substrate on which the ITO transparent electrode produced above was formed by sputtering, a photosensitive resin layer coating solution having the formulation shown in Table 1 below (formulation 1 in Example 1) was applied by a spinner. A slit was applied. Subsequently, after part of the solvent was dried for 30 seconds using a vacuum dryer VCD (manufactured by Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd.) to eliminate the fluidity of the coating film, it was pre-baked on a 90 ° C. hot plate for 3 minutes to obtain a film thickness of 5 A photosensitive resin layer having a thickness of 2 μm was formed (film formation step).

続いて、超高圧水銀灯を有するプロキシミティー型露光機(日立ハイテク電子エンジニアリング(株)製)を用いて、マスク(直径15μmの円形パターンを有する石英露光マスク)と、該マスクと感光性樹脂層とが向き合うように配置したカラーフィルタ基板と、を略平行に垂直に立てた状態で、マスク面と感光性樹脂層の表面との間の距離を100μmとし、該マスクを介して、365nmにおける強度250W/mで紫外透過フィルタ(UV−35、東芝ガラス(株)製)を透過させた紫外線を露光した(露光工程、露光量200mJ/cm)。 Subsequently, using a proximity type exposure machine (manufactured by Hitachi High-Tech Electronics Engineering Co., Ltd.) having an ultra-high pressure mercury lamp, a mask (quartz exposure mask having a circular pattern with a diameter of 15 μm), the mask and the photosensitive resin layer In a state where the color filter substrate placed so as to face each other is set up substantially in parallel and vertically, the distance between the mask surface and the surface of the photosensitive resin layer is set to 100 μm, and an intensity of 250 W at 365 nm is passed through the mask. / M 2 was exposed to ultraviolet light transmitted through an ultraviolet transmission filter (UV-35, manufactured by Toshiba Glass Co., Ltd.) (exposure process, exposure amount 200 mJ / cm 2 ).

次に、炭酸Na系現像液(0.38モル/リットルの炭酸水素ナトリウム、0.47モル/リットルの炭酸ナトリウム、5%のジブチルナフタレンスルホン酸ナトリウム、アニオン界面活性剤、消泡剤、及び安定剤含有;商品名:T−CD1(富士フィルム(株)製)を純水で10倍に希釈した液)を用いて29℃で30秒間、コーン型ノズル圧力0.15MPaでシャワー現像し、パターン像を形成した(現像工程)。引き続いて、洗浄剤(燐酸塩・珪酸塩・ノニオン界面活性剤・消泡剤・安定剤含有;商品名:T−SD3(富士フィルム(株)製))を純水で10倍に希釈した液)を用いて33℃で20秒間、コーン型ノズル圧力0.02MPaにてシャワーで吹きかけ、形成されたパターン像の周辺の残渣除去を行ない、円柱状のスペーサーパターンを300μm×300μmに1本のスペーサー間隔となるように形成した。   Next, a sodium carbonate-based developer (0.38 mol / liter sodium bicarbonate, 0.47 mol / liter sodium carbonate, 5% sodium dibutylnaphthalenesulfonate, an anionic surfactant, an antifoaming agent, and a stabilizer Containing agent: Trade name: T-CD1 (manufactured by Fuji Film Co., Ltd.) diluted 10-fold with pure water, and shower-developed at 29 ° C. for 30 seconds at a cone type nozzle pressure of 0.15 MPa. An image was formed (development process). Subsequently, a detergent (containing phosphate, silicate, nonionic surfactant, antifoaming agent, stabilizer; trade name: T-SD3 (Fuji Film Co., Ltd.)) diluted 10 times with pure water ) For 20 seconds at 33 ° C. with a cone-type nozzle pressure of 0.02 MPa, and the residue around the formed pattern image is removed to form a cylindrical spacer pattern with one spacer of 300 μm × 300 μm. It formed so that it might become a space | interval.

次に、スペーサーパターンが設けられたカラーフィルタ基板を130℃下で60分間、加熱処理を行なう(加熱工程)ことにより、カラーフィルタ基板上にフォトスペーサーを作製した。
ここで、得られたフォトスペーサ1000個について、三次元表面構造解析顕微鏡(メーカー:ZYGO Corporation、型式:New View 5022)を用い、ITO透明電極上面(基板に平行な2つの面のうち、基板から遠い側の面)からフォトスペーサーの最も高い位置までの距離(以下、この距離を「フォトスペーサーの高さ」ともいう)を測定し、フォトスペーサ1000個についての平均値をフォトスペーサーの平均高さとした。
また、得られたフォトスペーサーの底面積の計測は、SEM写真を用いて行なった。その結果、直径15.1μm、平均高さ4.7μmの円柱形状であった。
Next, the color filter substrate provided with the spacer pattern was subjected to a heat treatment at 130 ° C. for 60 minutes (heating step) to produce a photo spacer on the color filter substrate.
Here, about 1000 photo spacers obtained, using a three-dimensional surface structure analysis microscope (manufacturer: ZYGO Corporation, model: New View 5022), the top surface of the ITO transparent electrode (of the two surfaces parallel to the substrate, from the substrate) The distance from the far side) to the highest position of the photo spacer (hereinafter, this distance is also referred to as “the height of the photo spacer”) is measured, and the average value of 1000 photo spacers is determined as the average height of the photo spacer. did.
Moreover, the measurement of the bottom area of the obtained photospacer was performed using the SEM photograph. As a result, it was a cylindrical shape having a diameter of 15.1 μm and an average height of 4.7 μm.

<液晶表示装置の作製>
別途、対向基板としてガラス基板を用意し、上記で得られたカラーフィルタ基板の透明電極上及び対向基板上にそれぞれPVAモード用にパターニングを施し、その上に更にポリイミドよりなる配向膜を設けた。
<Production of liquid crystal display device>
Separately, a glass substrate was prepared as a counter substrate, and the PVA mode was patterned on the transparent electrode and the counter substrate of the color filter substrate obtained above, and an alignment film made of polyimide was further provided thereon.

その後、カラーフィルタの画素群を取り囲むように周囲に設けられたブラックマトリックス外枠に相当する位置に紫外線硬化樹脂のシール剤をディスペンサ方式により塗布し、PVAモード用液晶を滴下し、対向基板と貼り合わせた後、貼り合わされた基板をUV照射した後、熱処理してシール剤を硬化させた。このようにして得た液晶セルの両面に、(株)サンリッツ製の偏光板HLC2−2518を貼り付けた。   After that, a UV curable resin sealant is applied by a dispenser method at a position corresponding to the outer periphery of the black matrix provided so as to surround the pixel group of the color filter, and a liquid crystal for PVA mode is dropped and attached to the counter substrate. After bonding, the bonded substrate was irradiated with UV, and then heat-treated to cure the sealant. Polarizing plates HLC2-2518 manufactured by Sanlitz Co., Ltd. were attached to both surfaces of the liquid crystal cell thus obtained.

次いで、赤色(R)LEDとしてFR1112H(スタンレー電気(株)製のチップ型LED)、緑色(G)LEDとしてDG1112H(スタンレー電気(株)製のチップ型LED)、青色(B)LEDとしてDB1112H(スタンレー電気(株)製のチップ型LED)を用いてサイドライト方式のバックライトを構成し、前記偏光板が設けられた液晶セルの背面となる側に配置し、液晶表示装置とした。
<評価>
得られたフォトスペーサー、液晶表示装置について、下記の評価を行なった。測定評価の結果は下記表2に示す。
Next, FR1112H (chip type LED manufactured by Stanley Electric Co., Ltd.) as a red (R) LED, DG1112H (chip type LED manufactured by Stanley Electric Co., Ltd.) as a green (G) LED, and DB1112H (as a blue (B) LED. A side-light type backlight was constructed using a chip-type LED manufactured by Stanley Electric Co., Ltd. and placed on the back side of the liquid crystal cell provided with the polarizing plate to obtain a liquid crystal display device.
<Evaluation>
The following evaluation was performed on the obtained photospacer and liquid crystal display device. The results of measurement evaluation are shown in Table 2 below.

(変形回復率)
得られたフォトスペーサーに対して、微小硬度計(DUH−W201、(株)島津製作所製)により次のようにして測定を行ない、評価した。測定は、50μmφの円錘台圧子を採用し、最大荷重50mN、保持時間5秒として、負荷−除荷試験法により行なった。この測定値から下記式により変形回復率〔%〕を求め、下記評価基準にしたがって評価した。測定は、22±1℃、50%RHの環境下で行なった。
変形回復率(%)
=(荷重開放後の回復量[μm]/荷重時の変形量[μm])×100
(Deformation recovery rate)
The obtained photo spacer was measured and evaluated by a micro hardness tester (DUH-W201, manufactured by Shimadzu Corporation) as follows. The measurement was performed by a load-unloading test method using a frustum-type indenter with a diameter of 50 μm, a maximum load of 50 mN, and a holding time of 5 seconds. From this measured value, the deformation recovery rate [%] was obtained by the following formula and evaluated according to the following evaluation criteria. The measurement was performed in an environment of 22 ± 1 ° C. and 50% RH.
Deformation recovery rate (%)
= (Recovery amount after release of load [μm] / Deformation amount under load [μm]) × 100

〜評価基準〜
A:変形回復率が90%以上であった。
B:変形回復率が87%以上90%未満であった。
C:変形回復率が85%以上87%未満であった。
D:変形回復率が80%以上85%未満であった。
E:変形回復率が75%以上80%未満であった。
F:変形回復率が75%未満であった。
~Evaluation criteria~
A: The deformation recovery rate was 90% or more.
B: The deformation recovery rate was 87% or more and less than 90%.
C: The deformation recovery rate was 85% or more and less than 87%.
D: Deformation recovery rate was 80% or more and less than 85%.
E: Deformation recovery rate was 75% or more and less than 80%.
F: Deformation recovery rate was less than 75%.

(圧縮変形率)
上記評価と同様に、得られたフォトスペーサーに対して、同微小硬度計により次のようにして測定を行ない、評価した。測定は、50μmφの円錘台圧子を採用し、最大荷重80mN、保持時間5秒として、負荷−除荷試験法により行なった。この測定値から下記式により圧縮変形率〔%〕を求め、下記評価基準にしたがって評価した。測定は、22±1℃、50%RHの環境下で行なった。
圧縮変形率(%)
=(荷重時の変形量[μm]/フォトスペーサーの高さ[μm])×100
(Compression deformation rate)
In the same manner as in the above evaluation, the obtained photospacer was measured and evaluated by the same microhardness meter as follows. The measurement was performed by a load-unloading test method using a frustum-type indenter with a diameter of 50 μm, a maximum load of 80 mN, and a holding time of 5 seconds. The compression deformation rate [%] was determined from the measured value by the following formula and evaluated according to the following evaluation criteria. The measurement was performed in an environment of 22 ± 1 ° C. and 50% RH.
Compression deformation rate (%)
= (Deformation amount under load [μm] / Photo spacer height [μm]) × 100

〜評価基準〜
A:圧縮変形率が20%以上25%未満であった。
B:圧縮変形率が15%以上20%未満であった。
C:圧縮変形率が5%以上15%未満であった。
D:圧縮変形率が25%以上40%未満であった。
E:圧縮変形率が40%以上であった。
F:圧縮変形率が5%未満であった。
~Evaluation criteria~
A: The compression deformation rate was 20% or more and less than 25%.
B: The compression deformation rate was 15% or more and less than 20%.
C: The compression deformation rate was 5% or more and less than 15%.
D: The compression deformation rate was 25% or more and less than 40%.
E: The compression deformation rate was 40% or more.
F: The compression deformation rate was less than 5%.

(液晶表示装置の表示ムラ)
上記で作製した液晶表示装置について、グレイのテスト信号を入力させたときのグレイ表示を目視にて観察し、表示ムラの発生の有無を下記評価基準にしたがって評価した。評価結果は下記表2に示す。
(Display unevenness of liquid crystal display device)
About the liquid crystal display device produced above, the gray display when a gray test signal was input was visually observed, and the presence or absence of display unevenness was evaluated according to the following evaluation criteria. The evaluation results are shown in Table 2 below.

〜評価基準〜
A:表示ムラはなく、非常に良好な表示画像が得られた。
B:ガラス基板のふち部分に微かにムラがあったものの、表示部への影響はなく表示画像は良好であった。
C:表示部に微かにムラがみられたが、実用上許容範囲内であった。
D:表示部にムラがみられた。
~Evaluation criteria~
A: There was no display unevenness and a very good display image was obtained.
B: Although the edge portion of the glass substrate was slightly uneven, the display image was good without affecting the display portion.
C: Slight unevenness was observed in the display portion, but it was within a practically acceptable range.
D: Unevenness was observed in the display section.

〔実施例2〜22、29〜31〕:塗布法
重合性化合物の種類を下記表2に示すように変更した以外は実施例1と同様にしてフォトスペーサー及び液晶表示装置を作製した。
なお、感光性樹脂組成物の処方は、実施例2〜22については前記処方1であり、実施例29については前記処方4、実施例30については前記処方5、実施例31については前記処方6である。
得られたフォトスペーサー及び液晶表示装置について、実施例1と同様にして評価を行った。評価結果を表2に示す。
[Examples 2 to 22, 29 to 31]: Coating method Photo spacers and liquid crystal display devices were produced in the same manner as in Example 1 except that the type of the polymerizable compound was changed as shown in Table 2 below.
The formulation of the photosensitive resin composition is Formula 1 for Examples 2 to 22, Formula 4 for Example 29, Formula 5 for Example 30, and Formula 6 for Example 31. It is.
The obtained photospacer and liquid crystal display device were evaluated in the same manner as in Example 1. The evaluation results are shown in Table 2.

〔実施例23〜27〕:塗布法
樹脂の種類を下記表2に示すように変更した以外は実施例1と同様にしてフォトスペーサー及び液晶表示装置を作製した。
なお、感光性樹脂組成物の処方は、実施例23〜26については前記処方1であり、実施例27については前記処方2である。
得られたフォトスペーサー及び液晶表示装置について、実施例1と同様にして評価を行った。評価結果を表2に示す。
[Examples 23 to 27]: Coating method Photo spacers and liquid crystal display devices were produced in the same manner as in Example 1 except that the type of resin was changed as shown in Table 2 below.
In addition, the prescription of the photosensitive resin composition is the said prescription 1 about Examples 23-26, and is the said prescription 2 about Example 27.
The obtained photospacer and liquid crystal display device were evaluated in the same manner as in Example 1. The evaluation results are shown in Table 2.

〔実施例28〕:転写法
以下に示すスペーサー用感光性転写フィルムを用いた転写を行なうことにより、感光性樹脂層を形成したこと以外は、実施例1と同様して、フォトスペーサー及び液晶表示装置を作製した。得られたフォトスペーサーは、円柱形状であった。得られたフォトスペーサー及び液晶表示装置について、実施例1と同様にして評価を行った。評価結果を表2に示す。
[Example 28]: Transfer method Photo spacer and liquid crystal display were the same as in Example 1 except that the photosensitive resin layer was formed by performing transfer using the photosensitive transfer film for spacer shown below. A device was made. The obtained photospacer was cylindrical. The obtained photospacer and liquid crystal display device were evaluated in the same manner as in Example 1. The evaluation results are shown in Table 2.

<スペーサー用感光性転写フィルムの作製>
厚さ75μmのポリエチレンテレフタレートフィルム仮支持体(PET仮支持体)上に、下記処方Aからなる熱可塑性樹脂層用塗布液を塗布、乾燥させ、乾燥層厚15.0μmの熱可塑性樹脂層を形成した。
<Preparation of photosensitive transfer film for spacer>
On a polyethylene terephthalate film temporary support (PET temporary support) having a thickness of 75 μm, a thermoplastic resin layer coating solution having the following formulation A is applied and dried to form a thermoplastic resin layer having a dry layer thickness of 15.0 μm. did.

〜熱可塑性樹脂層用塗布液の処方A〜
・メチルメタクリレート/2−エチルヘキシルアクリレート/ベンジルメタクリレート/メタクリル酸共重合体 … 25.0部
(=55/11.7/4.5/28.8[モル比]、重量平均分子量90,000)
・スチレン/アクリル酸共重合体 … 58.4部
(=63/37[モル比]、重量平均分子量8,000)
・2,2−ビス〔4−(メタクリロキシポリエトキシ)フェニル〕プロパン
… 39.0部
・下記界面活性剤1 … 10.0部
・メタノール … 90.0部
・1−メトキシ−2−プロパノール … 51.0部
・メチルエチルケトン …700部
~ Prescription A of coating solution for thermoplastic resin layer ~
Methyl methacrylate / 2-ethylhexyl acrylate / benzyl methacrylate / methacrylic acid copolymer 25.0 parts (= 55 / 11.7 / 4.5 / 28.8 [molar ratio], weight average molecular weight 90,000)
-Styrene / acrylic acid copolymer: 58.4 parts (= 63/37 [molar ratio], weight average molecular weight 8,000)
2,2-bis [4- (methacryloxypolyethoxy) phenyl] propane
39.0 parts, surfactant 1 below 10.0 parts methanol 90.0 parts 1-methoxy-2-propanol 51.0 parts methyl ethyl ketone 700 parts

*界面活性剤1
・下記構造物1 …30%
・メチルエチルケトン …70%
* Surfactant 1
・ The following structure 1… 30%
・ Methyl ethyl ketone 70%

次に、形成した熱可塑性樹脂層上に、下記処方Bからなる中間層用塗布液を塗布、乾燥させて、乾燥層厚1.5μmの中間層を積層した。   Next, on the formed thermoplastic resin layer, an intermediate layer coating solution having the following formulation B was applied and dried to laminate an intermediate layer having a dry layer thickness of 1.5 μm.

〜中間層用塗布液の処方B〜
・ポリビニルアルコール …3.22部
(PVA−205(鹸化率80%)、(株)クラレ製)
・ポリビニルピロリドン …1.49部
(PVP K−30、アイエスピー・ジャパン株式会社製)
・メタノール …42.3部
・蒸留水 …524部
~ Prescription B of coating solution for intermediate layer ~
Polyvinyl alcohol: 3.22 parts (PVA-205 (saponification rate 80%), manufactured by Kuraray Co., Ltd.)
・ Polyvinylpyrrolidone: 1.49 parts (PVP K-30, manufactured by ISP Japan Co., Ltd.)
・ Methanol: 42.3 parts ・ Distilled water: 524 parts

次に、形成した中間層上に更に、表1の処方3に係る感光性樹脂層用塗布液を塗布、乾燥させて、乾燥層厚5.0μmの感光性樹脂層を積層した。   Next, the photosensitive resin layer coating solution according to the formulation 3 in Table 1 was further applied onto the formed intermediate layer and dried to laminate a photosensitive resin layer having a dry layer thickness of 5.0 μm.

以上のようにして、PET仮支持体/熱可塑性樹脂層/中間層/感光性樹脂層の積層構造(3層の合計層厚:21.5μm)に構成した後、感光性樹脂層の表面に更に、カバーフィルムとして厚み12μmのポリプロピレン製のフィルムを加熱・加圧して貼り付け、スペーサー用感光性転写フィルムを得た。   As described above, after forming a laminated structure of PET temporary support / thermoplastic resin layer / intermediate layer / photosensitive resin layer (total thickness of three layers: 21.5 μm), the surface of the photosensitive resin layer is formed. Further, a polypropylene film having a thickness of 12 μm was applied as a cover film by heating and pressing to obtain a photosensitive transfer film for spacers.

<フォトスペーサーの作製>
得られたスペーサー用感光性転写フィルムのカバーフィルムを剥離し、露出した感光性樹脂層の表面を、実施例1と同様にして作製したITO透明電極がスパッタ形成されたカラーフィルタ基板のITO透明電極上に重ね合わせ、ラミネーターLamicII型〔(株)日立インダストリイズ製〕を用いて、線圧100N/cm、130℃の加圧・加熱条件下で搬送速度2m/分にて貼り合わせた。その後、PET仮支持体を熱可塑性樹脂層との界面で剥離除去し、感光性樹脂層を熱可塑性樹脂層及び中間層と共に転写した(被膜形成工程)。
<Production of photo spacer>
The cover film of the obtained photosensitive transfer film for spacer was peeled off, and the ITO transparent electrode of the color filter substrate on which the ITO transparent electrode produced in the same manner as in Example 1 was formed by sputtering on the exposed surface of the photosensitive resin layer. The laminate was laminated on top of each other and laminated using a laminator Lamic II type (manufactured by Hitachi Industries, Ltd.) under a linear pressure of 100 N / cm and a pressurization and heating condition of 130 ° C. at a conveyance speed of 2 m / min. Thereafter, the PET temporary support was peeled and removed at the interface with the thermoplastic resin layer, and the photosensitive resin layer was transferred together with the thermoplastic resin layer and the intermediate layer (film formation step).

続いて、超高圧水銀灯を有するプロキシミティー型露光機(日立ハイテク電子エンジニアリング(株)製)を用いて、マスク(画像パターンを有する石英露光マスク)と、該マスクと熱可塑性樹脂層とが向き合うように配置したカラーフィルタ基板とを略平行に垂直に立てた状態で、マスク面と感光性樹脂層の中間層に接する側の表面との間の距離を100μmとし、マスクを介して熱可塑性樹脂層側から露光量150mJ/cmにてプロキシミティー露光した(露光工程)。 Subsequently, using a proximity type exposure machine (manufactured by Hitachi High-Tech Electronics Engineering Co., Ltd.) having an ultra-high pressure mercury lamp, the mask (quartz exposure mask having an image pattern) and the mask and the thermoplastic resin layer face each other. The distance between the mask surface and the surface of the photosensitive resin layer on the side in contact with the intermediate layer is set to 100 μm with the color filter substrate placed on the substrate in a state where the color filter substrate stands substantially parallel and vertically, and the thermoplastic resin layer is interposed through the mask. Proximity exposure was performed from the side at an exposure amount of 150 mJ / cm 2 (exposure process).

次に、トリエタノールアミン系現像液(トリエタノールアミン30%含有、商品名:T−PD2(富士フィルム(株)製)を純水で12倍(T−PD2を1部と純水11部の割合で混合)に希釈した液)を30℃で50秒間、フラットノズル圧力0.04MPaでシャワー現像し、熱可塑性樹脂層と中間層とを除去した。引き続き、このガラス基板の上面にエアを吹きかけて液切りした後、純水をシャワーにより10秒間吹き付け、純水シャワー洗浄し、エアを吹きかけて基板上の液だまりを減らした。続いて、炭酸Na系現像液(0.38モル/リットルの炭酸水素ナトリウム、0.47モル/リットルの炭酸ナトリウム、5%のジブチルナフタレンスルホン酸ナトリウム、アニオン界面活性剤、消泡剤、及び安定剤含有;商品名:T−CD1(富士フィルム(株)製)を純水で10倍に希釈した液)を用いて29℃で30秒間、コーン型ノズル圧力0.15MPaでシャワー現像し、パターン像を形成した(現像工程)。
次いで、洗浄剤(燐酸塩・珪酸塩・ノニオン界面活性剤・消泡剤・安定剤含有;商品名:T−SD3(富士フィルム(株)製))を純水で10倍に希釈した液を用いて33℃で20秒間、コーン型ノズル圧力0.02MPaにてシャワーで吹きかけ、形成されたパターン像の周辺の残渣除去を行ない、円柱状のスペーサーパターンを300μm×300μmに1本のスペーサー間隔となるように形成した。
次に、スペーサーパターンが設けられたカラーフィルタ基板を、130℃下で60分間加熱処理を行なう(被膜加熱工程)ことにより、カラーフィルタ基板上にフォトスペーサを作製した。得られたフォトスペーサーは、直径15.1μm、平均高さ4.7μmの円柱形状であった。
そして、フォトスペーサーが作製されたカラーフィルタ基板を用い、実施例1と同様にして、PVAモード液晶表示装置を作製した。
Next, a triethanolamine developer (containing 30% triethanolamine, trade name: T-PD2 (manufactured by Fujifilm Corporation) 12 times with pure water (1 part of T-PD2 and 11 parts of pure water) The mixture was diluted with a ratio at a flat nozzle pressure of 0.04 MPa for 30 seconds at 30 ° C. to remove the thermoplastic resin layer and the intermediate layer. Subsequently, after air was blown off on the upper surface of the glass substrate, pure water was sprayed for 10 seconds by a shower, pure water shower cleaning was performed, and air was blown to reduce a liquid pool on the substrate. Subsequently, a sodium carbonate developer (0.38 mol / liter sodium bicarbonate, 0.47 mol / liter sodium carbonate, 5% sodium dibutylnaphthalenesulfonate, an anionic surfactant, an antifoaming agent, and a stabilizer. Containing agent: Trade name: T-CD1 (manufactured by Fuji Film Co., Ltd.) diluted 10-fold with pure water, and shower-developed at 29 ° C. for 30 seconds at a cone type nozzle pressure of 0.15 MPa. An image was formed (development process).
Next, a solution obtained by diluting a detergent (phosphate, silicate, nonionic surfactant, antifoaming agent, stabilizer; trade name: T-SD3 (manufactured by Fuji Film Co., Ltd.)) 10 times with pure water Used, sprayed with a shower at a cone nozzle pressure of 0.02 MPa for 20 seconds at 33 ° C. to remove residues around the formed pattern image, and to form a cylindrical spacer pattern with a spacer spacing of 300 μm × 300 μm. It formed so that it might become.
Next, the color filter substrate provided with the spacer pattern was subjected to a heat treatment at 130 ° C. for 60 minutes (coating heating step) to produce a photo spacer on the color filter substrate. The obtained photospacer had a cylindrical shape with a diameter of 15.1 μm and an average height of 4.7 μm.
And the PVA mode liquid crystal display device was produced like Example 1 using the color filter substrate with which the photo spacer was produced.

〔比較例1〕
重合性化合物を、DPHAに変更した以外は実施例1と同様にしてフォトスペーサー及び液晶表示装置を作製した。フォトスペーサー及び液晶表示装置について、実施例1と同様にして評価を行った。評価結果を表2に示す。
[Comparative Example 1]
A photospacer and a liquid crystal display device were produced in the same manner as in Example 1 except that the polymerizable compound was changed to DPHA. The photo spacer and the liquid crystal display device were evaluated in the same manner as in Example 1. The evaluation results are shown in Table 2.

〔実施例32〕
<保護膜の形成>
実施例29中、カラーフィルタ基板の作製において、ブラックマトリクス、R画素、G画素、及びB画素形成後、ブラックマトリクス及び各画素上に、更に、実施例29に係る感光性樹脂組成物を塗布し、マスクを介さずに露光し(全面露光)、加熱処理して保護膜を形成した。ここで、塗布、露光、加熱処理の条件は、マスクを介さずに露光する以外は実施例29のフォトスペーサーの形成における塗布、露光、加熱処理の条件と同様である。
次いで、得られた保護層上に更に、ITO(Indium Tin Oxide)の透明電極をスパッタリングにより形成した。
[Example 32]
<Formation of protective film>
In the preparation of the color filter substrate in Example 29, after forming the black matrix, R pixel, G pixel, and B pixel, the photosensitive resin composition according to Example 29 was further applied onto the black matrix and each pixel. Then, exposure was performed without using a mask (entire exposure), and heat treatment was performed to form a protective film. Here, the conditions for coating, exposure, and heat treatment are the same as the conditions for coating, exposure, and heat treatment in the formation of the photospacer in Example 29, except that exposure is performed without using a mask.
Next, a transparent electrode of ITO (Indium Tin Oxide) was further formed on the obtained protective layer by sputtering.

<フォトスペーサーの形成>
上記で形成されたITO透明電極上に、感光性樹脂組成物として実施例29に係る感光性樹脂組成物を用いて実施例29と同様の方法によりフォトスペーサーを形成した。
<Formation of photo spacer>
On the ITO transparent electrode formed as described above, a photospacer was formed in the same manner as in Example 29 using the photosensitive resin composition according to Example 29 as the photosensitive resin composition.

<液晶表示装置の作製及び評価>
次に、前記フォトスペーサーが形成されたカラーフィルタ基板を用い、実施例29と同様の方法により液晶表示装置を作製した。
得られた保護膜及び液晶表示装置について、実施例1と同様の方法により評価を行った。評価結果を表3に示す。
<Production and Evaluation of Liquid Crystal Display Device>
Next, a liquid crystal display device was produced in the same manner as in Example 29 using the color filter substrate on which the photospacer was formed.
The obtained protective film and liquid crystal display device were evaluated by the same method as in Example 1. The evaluation results are shown in Table 3.

〔実施例33〕
<着色パターンの形成>
実施例11中、カラーフィルタ基板の作製において、R画素を下記方法により形成した以外は実施例11と同様にしてカラーフィルタ基板を作製した。
即ち、実施例11に係る感光性樹脂組成物に、さらにピグメントレッド254(19.4部)及びピグメントレッド177(4.83部)を添加して、R画素用感光性樹脂組成物を調製した。
調製されたR画素用感光性樹脂組成物を用いたこと及びフォトマスクとしてR画素用フォトマスクを用いたこと以外は実施例11と同様の方法により、R画素を形成した。
Example 33
<Formation of colored pattern>
In Example 11, a color filter substrate was produced in the same manner as in Example 11 except that the R pixel was formed by the following method in producing the color filter substrate.
Specifically, Pigment Red 254 (19.4 parts) and Pigment Red 177 (4.83 parts) were further added to the photosensitive resin composition according to Example 11 to prepare a photosensitive resin composition for R pixels. .
An R pixel was formed by the same method as in Example 11 except that the prepared photosensitive resin composition for R pixel was used and the photomask for R pixel was used as a photomask.

カラーフィルタ基板のブラックマトリックス、R画素、G画素、及びB画素形成後、ブラックマトリックス及び各画素上に更に、ITO(Indium Tin Oxide)の透明電極をスパッタリングにより形成した。   After the black matrix, R pixel, G pixel, and B pixel of the color filter substrate were formed, ITO (Indium Tin Oxide) transparent electrodes were further formed on the black matrix and each pixel by sputtering.

<フォトスペーサーの形成>
上記で形成されたITO透明電極上に、感光性樹脂組成物として実施例29に係る感光性樹脂組成物を用いて実施例29と同様の方法によりフォトスペーサーを形成した。
<Formation of photo spacer>
On the ITO transparent electrode formed as described above, a photospacer was formed in the same manner as in Example 29 using the photosensitive resin composition according to Example 29 as the photosensitive resin composition.

<液晶表示装置の作製及び評価>
次に、前記フォトスペーサーが形成されたカラーフィルタ基板を用い、実施例29と同様の方法により液晶表示装置を作製した。
得られた保護膜及び液晶表示装置について、実施例1と同様の方法により評価を行った。評価結果を表3に示す。
<Production and Evaluation of Liquid Crystal Display Device>
Next, a liquid crystal display device was produced in the same manner as in Example 29 using the color filter substrate on which the photospacer was formed.
The obtained protective film and liquid crystal display device were evaluated by the same method as in Example 1. The evaluation results are shown in Table 3.

[比較例2、3]
比較例2は実施例29の化合物11/DPHAの代わりに重合性化合物としてDPHAのみを用いた以外は、また、比較例3は実施例11の化合物11の代わりに重合性化合物としてDPHAを用いた以外は、それぞれ実施例32及び33と同様に行ってそれぞれ保護膜、着色材料、液晶表示装置を作製し、同様に評価した。評価結果を表3に示す。
[Comparative Examples 2 and 3]
In Comparative Example 2, except that only DPHA was used as the polymerizable compound instead of Compound 11 / DPHA in Example 29, and Comparative Example 3 used DPHA as the polymerizable compound instead of Compound 11 in Example 11. Except for the above, the same procedure as in Examples 32 and 33 was carried out to produce a protective film, a coloring material, and a liquid crystal display device, respectively. The evaluation results are shown in Table 3.

Claims (10)

樹脂と、下記一般式(1)に示す構造を含む重合性化合物と、光重合開始剤と、を含む感光性樹脂組成物。

一般式(1)に示す構造は、*の位置で他の構造と結合して重合性化合物をなす。また、一般式(1)において、Rは水素原子又はメチル基を表し、Rは水素原子、一価の有機基又は前記他の構造と結合して−RCHX−を含む環構造を形成する二価の有機基を表す。Xは−O−、−NR−又は−S−を表す。Rは水素原子、一価の有機基又は前記他の構造と結合して−RN−を含む環構造を形成する二価の有機基を表す。
The photosensitive resin composition containing resin, the polymeric compound containing the structure shown in following General formula (1), and a photoinitiator.

The structure represented by the general formula (1) is combined with another structure at the position of * to form a polymerizable compound. In the general formula (1), R 0 represents a hydrogen atom or a methyl group, and R 1 represents a ring structure containing —R 1 CHX— bonded to a hydrogen atom, a monovalent organic group or the other structure. Represents a divalent organic group to be formed. X represents —O—, —NR 2 — or —S—. R 2 represents a hydrogen atom, a monovalent organic group, or a divalent organic group that forms a ring structure containing —R 2 N— by combining with the other structure.
前記一般式(1)に示す構造を含む重合性化合物が、下記一般式(2)に示す構造を含む重合性化合物である請求項1に記載の感光性樹脂組成物。

一般式(2)に示す構造は、*の位置で他の構造と結合して重合性化合物をなす。また、一般式(2)において、Rは水素原子又はメチル基を表し、Rは水素原子、一価の有機基又は前記他の構造と結合して−RCHX−CO−を含む環構造を形成する二価の有機基を表す。Xは−O−、−NR−又は−S−を表す。Rは水素原子、一価の有機基又は前記他の構造と結合して−RN−CO−を含む環構造を形成する二価の有機基を表す。
The photosensitive resin composition according to claim 1, wherein the polymerizable compound including the structure represented by the general formula (1) is a polymerizable compound including a structure represented by the following general formula (2).

The structure represented by the general formula (2) is combined with another structure at the position of * to form a polymerizable compound. In the general formula (2), R 0 represents a hydrogen atom or a methyl group, and R 1 is a ring containing —R 1 CHX—CO— bonded to a hydrogen atom, a monovalent organic group, or the other structure. Represents a divalent organic group that forms the structure. X represents —O—, —NR 2 — or —S—. R 2 represents a hydrogen atom, a monovalent organic group, or a divalent organic group that forms a ring structure containing —R 2 N—CO— by combining with another structure.
前記一般式(1)に示す構造を含む重合性化合物以外の重合性化合物をさらに含む請求項1又は請求項2に記載の感光性樹脂組成物。   The photosensitive resin composition of Claim 1 or Claim 2 which further contains polymeric compounds other than the polymeric compound containing the structure shown in the said General formula (1). 前記樹脂が、側鎖に、分岐及び/又は脂環構造、酸性基、並びにエチレン性不飽和結合を有する請求項1〜請求項3のいずれか1項に記載の感光性樹脂組成物。   The photosensitive resin composition of any one of Claims 1-3 in which the said resin has a branched and / or alicyclic structure, an acidic group, and an ethylenically unsaturated bond in a side chain. 請求項1〜請求項4のいずれか1項に記載の感光性樹脂組成物を用いて形成されたフォトスペーサー。   The photospacer formed using the photosensitive resin composition of any one of Claims 1-4. 少なくとも下記工程(イ)〜(ハ)を含むフォトスペーサーの形成方法。
(イ)請求項1〜請求項4のいずれか1項に記載の感光性樹脂組成物の被膜を基板上に形成する工程
(ロ)前記被膜の少なくとも一部を露光する工程
(ハ)露光後の前記被膜を現像する工程
A method for forming a photospacer comprising at least the following steps (A) to (C).
(B) A step of forming a film of the photosensitive resin composition according to any one of claims 1 to 4 on a substrate (b) A step of exposing at least a part of the film (c) After exposure Developing the film
請求項1〜請求項4のいずれか1項に記載の感光性樹脂組成物を用いて形成された保護膜。   The protective film formed using the photosensitive resin composition of any one of Claims 1-4. 請求項1〜請求項4のいずれか1項に記載の感光性樹脂組成物を用いて形成された着色パターン。   The coloring pattern formed using the photosensitive resin composition of any one of Claims 1-4. 請求項5に記載のフォトスペーサー、請求項7に記載の保護膜、及び請求項8に記載の着色パターンの少なくとも1つを備えた表示装置用基板。   A display device substrate comprising at least one of the photospacer according to claim 5, the protective film according to claim 7, and the coloring pattern according to claim 8. 請求項9に記載の表示装置用基板を備えた表示装置。   A display device comprising the display device substrate according to claim 9.
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