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JP2009222852A - Antireflection film - Google Patents

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JP2009222852A
JP2009222852A JP2008065502A JP2008065502A JP2009222852A JP 2009222852 A JP2009222852 A JP 2009222852A JP 2008065502 A JP2008065502 A JP 2008065502A JP 2008065502 A JP2008065502 A JP 2008065502A JP 2009222852 A JP2009222852 A JP 2009222852A
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JP
Japan
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refractive index
film
antireflection
thin film
index thin
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Application number
JP2008065502A
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Japanese (ja)
Inventor
Kazutoshi Kiyokawa
和利 清川
Yuki Watanabe
祐樹 渡邉
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Toppan Inc
Original Assignee
Toppan Printing Co Ltd
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Publication date
Application filed by Toppan Printing Co Ltd filed Critical Toppan Printing Co Ltd
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Abstract

【課題】LCD等の光学表示装置に使用する、反射防止効果と耐薬品性の両立するドライコーティング法による反射防止フィルムを提供すること。
【解決手段】透明基材フィルムの少なくとも一方の面に反射防止積層体が形成されており、前記反射防止積層体が、透明基材フィルムの側から、高屈折率薄膜と低屈折率薄膜をこの順に交互に積層した5層以上の奇数層数の積層体からなり、最外層の高屈折率層が酸化ジルコニウムであることを特徴とする反射防止フィルム。
【選択図】図1
To provide an antireflection film for use in an optical display device such as an LCD and the like by a dry coating method having both an antireflection effect and chemical resistance.
An antireflection laminate is formed on at least one surface of a transparent substrate film, and the antireflection laminate comprises a high refractive index thin film and a low refractive index thin film from the transparent substrate film side. An antireflection film comprising a laminate having an odd number of layers of 5 or more alternately laminated in order, wherein the outermost high refractive index layer is zirconium oxide.
[Selection] Figure 1

Description

本発明は、ドライコーティング法による反射防止フィルムに関するものである。 The present invention relates to an antireflection film by a dry coating method.

LCD等の光学表示装置等においては、デジタルカメラや携帯電話、デジタルビデオカメラ等のモバイル機器やカーナビゲーションの普及等により、視認性向上目的から、反射防止積層体が使用されている。
こうした反射防止積層体は、低屈折率薄膜と高屈折率薄膜を積層させたものが広く利用されている。また、光学設計上最外層は低屈折率薄膜である場合がほとんどであり、特にその材料として酸化シリコンが広く利用されている。しかし、近年反射防止積層体の耐薬品性も重要となってきており、高い耐アルカリ性を有する反射防止積層体が望まれている。しかしながら、反射防止効果と耐薬品性の両立は必ずしも充分ではなく、さらなる向上が求められている。
特開平5−34505号公報 特開2005−70616号公報
In an optical display device such as an LCD, an antireflection laminate is used for the purpose of improving visibility due to the spread of mobile devices such as digital cameras, mobile phones, and digital video cameras, and car navigation.
As such an antireflection laminate, a laminate in which a low refractive index thin film and a high refractive index thin film are laminated is widely used. Moreover, the outermost layer is almost always a low refractive index thin film in optical design, and silicon oxide is widely used as the material. However, in recent years, the chemical resistance of the antireflection laminate has also become important, and an antireflection laminate having high alkali resistance is desired. However, the compatibility between the antireflection effect and the chemical resistance is not always sufficient, and further improvement is required.
Japanese Patent Laid-Open No. 5-34505 JP-A-2005-70616

本発明は、具体的には、反射防止効果と耐薬品性の両立する反射防止フィルムを提供するためになされたものである。 Specifically, the present invention has been made to provide an antireflection film having both an antireflection effect and chemical resistance.

請求項1に記載の本発明は、透明基材フィルムの少なくとも一方の面に反射防止積層体が形成されており、前記反射防止積層体が、透明基材フィルムの側から、高屈折率薄膜と低屈折率薄膜をこの順に交互に積層した5層以上の奇数層数の積層体からなり、最外層の高屈折率層が酸化ジルコニウムであることを特徴とする反射防止フィルムである。   In the first aspect of the present invention, an antireflection laminate is formed on at least one surface of the transparent substrate film, and the antireflection laminate is formed of a high refractive index thin film from the transparent substrate film side. An antireflection film comprising a laminate having an odd number of layers of five or more layers in which low refractive index thin films are alternately laminated in this order, wherein the outermost high refractive index layer is zirconium oxide.

請求項2に記載の本発明は、低屈折率薄膜が酸化シリコンであり、最外層以外の高屈折率薄膜が酸化ニオブであることを特徴とする請求項1に記載の反射防止フィルムである。   The present invention described in claim 2 is the antireflection film according to claim 1, wherein the low refractive index thin film is silicon oxide, and the high refractive index thin film other than the outermost layer is niobium oxide.

請求項3に記載の本発明は、最外層の高屈折率層の厚さが10nm以上30nm以下であることを特徴とする請求項1または2に記載の反射防止フィルムである。   The present invention according to claim 3 is the antireflection film according to claim 1 or 2, wherein the thickness of the outermost high refractive index layer is 10 nm or more and 30 nm or less.

本発明によれば、反射防止効果を損なうことなく、耐薬品性も備わった反射防止フィルムを提供することが可能となる。   According to the present invention, it is possible to provide an antireflection film having chemical resistance without impairing the antireflection effect.

図1に、本発明の本発明の導電性反射防止フィルムの一例の構成を示す断面模式図を示した。図1に示した本発明の反射防止フィルム8は、透明基材フィルム1上にハードコート層1−bを備え、ハードコート層1−b上に反射防止積層体7を積層してなる。反射防止積層体7にあっては、透明基材フィルム1側から順に第1の高屈折率薄膜2、第1の低屈折率薄膜3、第2の高屈折率薄膜4、第2の低屈折率薄膜5、第3の高屈折率薄膜6を備えている。本発明にあっては、この場合最外層となる第3の高屈折率薄膜6が酸化ジルコニウムであることを特徴としている。   In FIG. 1, the cross-sectional schematic diagram which shows a structure of an example of the electroconductive antireflection film of this invention of this invention was shown. The antireflection film 8 of the present invention shown in FIG. 1 is provided with a hard coat layer 1-b on a transparent substrate film 1, and an antireflection laminate 7 is laminated on the hard coat layer 1-b. In the antireflection laminate 7, the first high refractive index thin film 2, the first low refractive index thin film 3, the second high refractive index thin film 4, and the second low refractive index are sequentially formed from the transparent base film 1 side. An index thin film 5 and a third high refractive index thin film 6 are provided. The present invention is characterized in that the third high-refractive-index thin film 6 which is the outermost layer in this case is zirconium oxide.

本発明の反射防止フィルムにあっては、第1の高屈折率薄膜2、第1の低屈折率薄膜3
、第2の高屈折率薄膜4、第2の低屈折率薄膜5、第3の高屈折率薄膜6を順に備える5層以上の構成の反射防止積層体とすることにより、高い反射防止性能を有する反射防止フィルムとすることができる。
In the antireflection film of the present invention, the first high refractive index thin film 2 and the first low refractive index thin film 3 are used.
High antireflection performance can be obtained by forming an antireflection laminate having a structure of five or more layers, comprising the second high refractive index thin film 4, the second low refractive index thin film 5, and the third high refractive index thin film 6 in this order. It can be set as the antireflection film which has.

本発明の反射防止フィルムにあっては、反射防止積層体の最外層(第3の高屈折率薄膜)を酸化ジルコニウムからなる高屈折率層とすることにより、高いアルカリ耐性を有する反射防止フィルムとすることができた。   In the antireflection film of the present invention, the outermost layer (third high refractive index thin film) of the antireflection laminate is a high refractive index layer made of zirconium oxide, whereby an antireflection film having high alkali resistance, We were able to.

通常、反射防止フィルムにあって、高屈折率薄膜と低屈折率薄膜の積層構造により反射防止性能を発現させる場合には、最外層としては、酸化シリコンからなる低屈折率薄膜が設けられる場合が多い。しかしながら、酸化シリコン薄膜はアルカリ耐性が十分ではなく、得られる反射防止積層体はアルカリ耐性の低いものであった。そこで、本発明者らは、反射防止積層体の最外層として酸化ジルコニウムからなる高屈折率薄膜を形成することにより、高い反射防止性能を有するだけでなく、高いアルカリ耐性を有する反射防止フィルムとすることができた。   Usually, in an antireflection film, when antireflection performance is exhibited by a laminated structure of a high refractive index thin film and a low refractive index thin film, a low refractive index thin film made of silicon oxide may be provided as the outermost layer. Many. However, the silicon oxide thin film has insufficient alkali resistance, and the resulting antireflection laminate has low alkali resistance. Therefore, the present inventors have formed an antireflection film having not only high antireflection performance but also high alkali resistance by forming a high refractive index thin film made of zirconium oxide as the outermost layer of the antireflection laminate. I was able to.

本発明の反射防止フィルムにあっては、最外層である酸化ジルコニウムからなる高屈折率薄膜の厚みは10nm以上30nm以下の範囲内とすることが好ましい。最外層の酸化ジルコニウムからなる高屈折率薄膜の厚みが10nmに満たない場合、十分なアルカリ耐性を有する反射防止フィルムとすることができなくなることがある。一方、最外層の酸化ジルコニウムからなる高屈折率薄膜の厚みが30nmを超える場合、十分な反射防止性能を有する反射防止フィルムとすることができなくなることがある。   In the antireflection film of the present invention, the thickness of the high refractive index thin film made of zirconium oxide as the outermost layer is preferably in the range of 10 nm to 30 nm. When the thickness of the high refractive index thin film made of zirconium oxide as the outermost layer is less than 10 nm, an antireflection film having sufficient alkali resistance may not be obtained. On the other hand, when the thickness of the high refractive index thin film made of zirconium oxide as the outermost layer exceeds 30 nm, an antireflection film having sufficient antireflection performance may not be obtained.

また、本発明の反射防止フィルムにあっては、低屈折率薄膜(第1の低屈折率薄膜、第2の低屈折率薄膜)は、光学特性、機械強度、成膜適性、コストなどの面から酸化シリコンが好適に用いることができる。また、最外層以外の高屈折率薄膜(第1の高屈折率薄膜、第2の高屈折率薄膜)は、膜中の欠点の少なさから、酸化ニオブが好適に用いることができる。   In the antireflection film of the present invention, the low refractive index thin film (first low refractive index thin film, second low refractive index thin film) has aspects such as optical characteristics, mechanical strength, film forming suitability, and cost. Therefore, silicon oxide can be preferably used. Further, niobium oxide can be suitably used for the high refractive index thin films (the first high refractive index thin film and the second high refractive index thin film) other than the outermost layer because there are few defects in the film.

なお、本発明の反射防止フィルムにあっては、透明基材フィルム側から順に、高屈折率薄膜と低屈折率薄膜が交互に5層以上設けられていれば良く、例えば、透明基材フィルム側から順に、高屈折率薄膜、低屈折率薄膜、高屈折率薄膜、低屈折率薄膜、高屈折率薄膜、低屈折率薄膜、高屈折率薄膜の7層構造であってもよい。ただし、製造コスト面を考慮すると、本発明の反射防止フィルムは、図1に示したような5層構造からなる反射防止積層体を有する反射防止フィルムとすることが好ましい。   In addition, in the antireflection film of the present invention, it is sufficient that five or more high refractive index thin films and low refractive index thin films are alternately provided in order from the transparent base film side. In this order, a seven-layer structure of a high refractive index thin film, a low refractive index thin film, a high refractive index thin film, a low refractive index thin film, a high refractive index thin film, a low refractive index thin film, and a high refractive index thin film may be used. However, considering the manufacturing cost, the antireflection film of the present invention is preferably an antireflection film having an antireflection laminate having a five-layer structure as shown in FIG.

また、本発明の反射防止フィルムにあっては、ハードコートが必要に応じて設けられる。   Moreover, in the antireflection film of the present invention, a hard coat is provided as necessary.

透明基材フィルム1としては、透明性を有するフィルムであれば良いが、光学表示装置用の反射防止フィルムにおいては、トリアセチルセルロース(TAC)、ポリエチレンテテフタレート(PET)、ポリエチレンナフタレート(PEN)、アクリルなどのフィルムがその光学特性や機械的特性などから利用されている。とりわけ、急速に普及してきたLCD用途にはTACフィルムが使用されている。また、その他の用途ではPETフィルムが広く利用されている。透明基材フィルム1の厚さは、目的の用途に応じて、適宜選択すればよいが、通常、機械的強度やハンドリング性、また光学装置設計上の観点から、25〜300μm程度のものを使用する。さらに、この透明基材フィルム1には、必要に応じて、可塑剤や紫外線吸収剤、劣化防止剤等の添加物が含まれても良い。   The transparent substrate film 1 may be a film having transparency, but in an antireflection film for an optical display device, triacetyl cellulose (TAC), polyethylene tetephthalate (PET), polyethylene naphthalate (PEN) Films such as acrylic are used because of their optical properties and mechanical properties. In particular, TAC films are used for LCD applications that have rapidly spread. In other applications, PET films are widely used. The thickness of the transparent substrate film 1 may be appropriately selected according to the intended use, but usually a film having a thickness of about 25 to 300 μm is used from the viewpoint of mechanical strength and handling properties and optical device design. To do. Furthermore, the transparent substrate film 1 may contain additives such as a plasticizer, an ultraviolet absorber, and a deterioration inhibitor, if necessary.

透明基材フィルム1上には、少なくとも一方の面にハードコート層を形成しても良い。
このハードコート層は、透明基材フィルム1と反射防止積層体との間に形成される場合には密着性向上等の目的で、また反対の面に形成される場合には機械強度向上による保護機能付与の目的がある。ハードコートには、電離線や紫外線硬化型の樹脂あるいは、熱硬化性樹脂が使用され、紫外線硬化型のアクリル酸エステル類、アクリルアミド類、メタクリル酸エステル類、メタクリルアミド等のアクリル系樹脂や有機珪素系樹脂やポリシロキサン樹脂が最適である。これらの材料の中には、硬化性を向上させるために、重合開始剤を添加してもよい。ハードコート層の厚みとしては、0.5μm以上、好ましくは、3〜20μmである。また、ハードコート層1−bには、平均粒子0.01〜3μmの透明微粒子を分散させて、防眩処理(散乱により反射光を擬似的に低減させる処理)を施しても良い。
A hard coat layer may be formed on at least one surface on the transparent substrate film 1.
When this hard coat layer is formed between the transparent substrate film 1 and the antireflection laminate, it is for the purpose of improving adhesion and when it is formed on the opposite surface, it is protected by improving mechanical strength. There is a purpose of adding functions. The hard coat is made of ionizing radiation, UV curable resin or thermosetting resin, and UV curable acrylic esters, acrylamides, methacrylic esters, methacrylamide, etc. Resin and polysiloxane resin are most suitable. A polymerization initiator may be added to these materials in order to improve curability. The thickness of the hard coat layer is 0.5 μm or more, preferably 3 to 20 μm. Further, the hard coat layer 1-b may be subjected to an antiglare treatment (a treatment for artificially reducing reflected light by scattering) by dispersing transparent fine particles having an average particle size of 0.01 to 3 μm.

反射防止積層体を形成する前に、密着強度を向上させる目的で表面処理を施しても良い。このとき、表面処理方法としては、コロナ放電処理、グロー放電処理、イオンビーム処理、大気圧プラズマ処理、ケン化処理等の処理が挙げられる。   Before forming the antireflection laminate, surface treatment may be performed for the purpose of improving the adhesion strength. At this time, examples of the surface treatment method include corona discharge treatment, glow discharge treatment, ion beam treatment, atmospheric pressure plasma treatment, and saponification treatment.

さらに密着強度を向上させる必要がある場合には、表面処理後かつ反射防止積層体の形成前に、プライマー層を設けてもよい。プライマー層の材料としては、例えば、シリコン、ニッケル、クロム、錫、金、銀、白金、亜鉛、チタン、タングステン、ジルコニウム、パラジウム等の金属、あるいは、これら金属の2種類以上からなる合金、または、これらの酸化物、弗化物、硫化物、窒化物などが挙げられる。特に、たとえば、シリコンを用いたSi、SiOxなどのプライマー層は、酸化物薄膜を用いた反射防止積層体のプライマー層として優れている。これらのプライマー層は、スパッタリング法、反応性スパッタリング法、蒸着法、イオンプレーティング法、化学蒸着(CVD)法などのドライコーティング方法を用いることが好ましい。また、プライマー層の厚さは目的に応じて決定すればよいが、1〜20nm程度の範囲が好ましく、プライマー層は形成される反射防止積層体の光学特性に影響を与えない範囲の膜厚で設けられることが好ましい。   When it is necessary to further improve the adhesion strength, a primer layer may be provided after the surface treatment and before the formation of the antireflection laminate. As a material of the primer layer, for example, a metal such as silicon, nickel, chromium, tin, gold, silver, platinum, zinc, titanium, tungsten, zirconium, palladium, or an alloy composed of two or more of these metals, or These oxides, fluorides, sulfides, nitrides and the like can be mentioned. In particular, for example, a primer layer such as Si or SiOx using silicon is excellent as a primer layer of an antireflection laminate using an oxide thin film. These primer layers are preferably formed by a dry coating method such as a sputtering method, a reactive sputtering method, a vapor deposition method, an ion plating method, or a chemical vapor deposition (CVD) method. Further, the thickness of the primer layer may be determined according to the purpose, but the range of about 1 to 20 nm is preferable, and the primer layer has a thickness that does not affect the optical properties of the antireflection laminate to be formed. It is preferable to be provided.

本発明の反射防止フィルムにあっては、透明基材フィルム上に設けられる反射防止積層体がスパッタリング法で形成されることが好ましい。本発明の反射防止積層体は、スパッタリング法、反応性スパッタリング法、蒸着法、イオンプレーティング法、化学蒸着(CVD)法などのドライコーティング方法(真空成膜法)により形成される。このとき、形成される薄膜の膜厚均一性が高く、ピンホール等の欠陥が少ないため視認性に優れた薄膜とすることができ、且つ、形成される薄膜が緻密であり、耐擦傷性などの機械特性に優れた薄膜とすることができるスパッタリング法を用いることが好ましい。中でも、より高い成膜速度と高い放電安定性により高い生産性を得ることができることから、中周波領域の電圧印加により成膜をおこなうデュアル・マグネトロン・スパッタリング(DMS)法が最適である。   In the antireflection film of the present invention, the antireflection laminate provided on the transparent substrate film is preferably formed by a sputtering method. The antireflection laminate of the present invention is formed by a dry coating method (vacuum film forming method) such as a sputtering method, a reactive sputtering method, a vapor deposition method, an ion plating method, or a chemical vapor deposition (CVD) method. At this time, the formed thin film has high film thickness uniformity and has few defects such as pinholes, so that it can be made a thin film with excellent visibility, and the formed thin film is dense and has scratch resistance, etc. It is preferable to use a sputtering method capable of forming a thin film having excellent mechanical properties. Among them, the dual magnetron sputtering (DMS) method, in which film formation is performed by applying a voltage in the middle frequency region, is optimal because higher productivity can be obtained by higher film formation speed and higher discharge stability.

高屈折率薄膜の材料としては、酸化ニオブ、酸化チタン、酸化インジウム、酸化錫、酸化亜鉛、酸化ジルコニウム、酸化タンタル、酸化ハフニウム等、あるいは、それらの混合物、または、酸化シリコンなどの低屈折率材料との混合物などが挙げられる。特に、反射防止フィルム用途としては、通常、屈折率の高い酸化ニオブや酸化チタンが広く用いられている。中でも、スパッタリング用としては、その薄膜中の欠点の少なさから、酸化ニオブが適している。   As a material for the high refractive index thin film, niobium oxide, titanium oxide, indium oxide, tin oxide, zinc oxide, zirconium oxide, tantalum oxide, hafnium oxide, or a mixture thereof, or a low refractive index material such as silicon oxide. And a mixture thereof. In particular, niobium oxide and titanium oxide having a high refractive index are widely used for antireflection film applications. Among these, niobium oxide is suitable for sputtering because of its small number of defects in the thin film.

低屈折薄膜に用いる材料としては、酸化シリコン、窒化チタン、弗化マグネシウム、弗化バリウム、弗化カルシウム、弗化ハフニウム、弗化ランタン等の材料が、挙げられ、目的にあわせて、適宜選択されている。これらの中で特に、その光学特性、機械強度、成膜適性、コストなどの観点から、酸化シリコンがもっとも適している。
最も外側の高屈折率薄膜層に用いる酸化ジルコニウムは、その耐薬品性、特に酸化シリコ
ンと比較した場合、たとえばアルカリ耐性などに優れている。屈折率は、製法にもよるが2程度である。厚さは目的により特に限定はされない。しかし、反射防止効果を充分得るためには30nm以下が望ましい。一方、耐薬品性の効果を充分得るには10nm以上が望ましい。
Examples of the material used for the low refractive thin film include silicon oxide, titanium nitride, magnesium fluoride, barium fluoride, calcium fluoride, hafnium fluoride, lanthanum fluoride, and the like, which are appropriately selected according to the purpose. ing. Among these, silicon oxide is most suitable from the viewpoint of its optical characteristics, mechanical strength, suitability for film formation, cost, and the like.
Zirconium oxide used for the outermost high-refractive-index thin film layer has excellent chemical resistance, particularly alkali resistance, for example, when compared with silicon oxide. The refractive index is about 2, although it depends on the manufacturing method. The thickness is not particularly limited depending on the purpose. However, 30 nm or less is desirable in order to obtain a sufficient antireflection effect. On the other hand, 10 nm or more is desirable to obtain a sufficient chemical resistance effect.

以下、本発明の反射防止フィルムの実施形態の一例について実施例を用いて説明する。
[実施例と比較例の共通条件]
透明基材フィルム1には厚さ80μmのTACフィルムを用い、反射防止積層体7を形成する面に、あらかじめ紫外線硬化型アクリル系樹脂を塗布し、乾燥・紫外線硬化させて約5μmのハードコート層1−bを設け、ハードコート付透明基材フィルムとした。その後、ハードコート層の表面にグロー放電による処理を行った。その後、プライマー層として、スパッタリング法により5nm程度以下のシリコン層を設けた。その後、デュアル・マグネトロン・スパッタリング法により、反射防止積層体7を形成した。低屈折率薄膜には酸化シリコンを用いた。最外層以外の高屈折率薄膜には酸化ニオブを用いた。
Hereinafter, an example of an embodiment of the antireflection film of the present invention will be described using examples.
[Common conditions for Examples and Comparative Examples]
A TAC film having a thickness of 80 μm is used as the transparent base film 1, and an ultraviolet curable acrylic resin is applied in advance to the surface on which the antireflection laminate 7 is formed, followed by drying and UV curing, and a hard coat layer having a thickness of about 5 μm. 1-b was provided as a transparent base film with a hard coat. Thereafter, the surface of the hard coat layer was treated by glow discharge. Thereafter, a silicon layer of about 5 nm or less was provided as a primer layer by a sputtering method. Thereafter, the antireflection laminate 7 was formed by a dual magnetron sputtering method. Silicon oxide was used for the low refractive index thin film. Niobium oxide was used for the high refractive index thin film other than the outermost layer.

[実施例1]
反射防止積層体の構成を、5層構成とし、透明基材フィルム側から、酸化ニオブ(15nm)/酸化シリコン(33nm)/酸化ニオブ(65nm)/酸化シリコン(49nm)/酸化ジルコニウム(20nm)とした。
[Example 1]
The structure of the antireflection laminate is a five-layer structure, and from the transparent base film side, niobium oxide (15 nm) / silicon oxide (33 nm) / niobium oxide (65 nm) / silicon oxide (49 nm) / zirconium oxide (20 nm) did.

[実施例2]
反射防止積層体の構成を、5層構成とし、透明基材フィルム側から、酸化ニオブ(18nm)/酸化シリコン(39nm)/酸化ニオブ(47nm)/酸化シリコン(78nm)/酸化ジルコニウム(10nm)とした。
[Example 2]
The structure of the antireflection laminate is a five-layer structure, and from the transparent substrate film side, niobium oxide (18 nm) / silicon oxide (39 nm) / niobium oxide (47 nm) / silicon oxide (78 nm) / zirconium oxide (10 nm) did.

[実施例3]
反射防止積層体の構成を、5層構成とし、透明基材フィルム側から、酸化ニオブ(12nm)/酸化シリコン(39nm)/酸化ニオブ(65nm)/酸化シリコン(43nm)/酸化ジルコニウム(25nm)とした。
[Example 3]
The structure of the antireflection laminate is a five-layer structure, and from the transparent base film side, niobium oxide (12 nm) / silicon oxide (39 nm) / niobium oxide (65 nm) / silicon oxide (43 nm) / zirconium oxide (25 nm) did.

[比較例1]
実施例の効果確認のため、比較例として最外層が低屈折率層の反射防止積層体を作製した。反射防止積層体の構成を、4層構成とし、透明基材フィルム側から、酸化ニオブ(22nm)/酸化シリコン(33nm)/酸化ニオブ(49nm)/酸化シリコン(99nm)とした。
[Comparative Example 1]
In order to confirm the effect of the example, an antireflection laminate having an outermost layer of a low refractive index layer was produced as a comparative example. The structure of the antireflection laminate was a four-layer structure, and from the transparent base film side, niobium oxide (22 nm) / silicon oxide (33 nm) / niobium oxide (49 nm) / silicon oxide (99 nm).

[評価]
得られたサンプルを以下の方法で評価した。
(1)反射率Y
日立製作所製U4000形の分光光度計を用い測定した。正反射5°のユニットを使用した。色彩計算は、2°視野、D65光源で算出した。結果は、表1に示す。
(2)耐薬品性
耐薬品性の評価として、アルカリ耐性を調べた。NaOHの5%水溶液を、反射防止積層体の上に1滴付着させ、30分放置した後、ふき取って、その外観変化を目視観察した。変化が無いものを○、かすかな変化を△、大きな変化を×とした。結果は、表1に示す。
[Evaluation]
The obtained sample was evaluated by the following method.
(1) Reflectance Y
Measurements were made using a Hitachi U4000 spectrophotometer. A regular reflection unit of 5 ° was used. Color calculation was performed with a 2 ° field of view and a D65 light source. The results are shown in Table 1.
(2) Chemical resistance As an evaluation of chemical resistance, alkali resistance was examined. One drop of a 5% aqueous solution of NaOH was deposited on the antireflective laminate, allowed to stand for 30 minutes, wiped off, and the appearance change was visually observed. The case where there was no change was marked with ◯, the slight change was marked with Δ, and the big change was marked with ×. The results are shown in Table 1.

Figure 2009222852
前記実施例および比較例の結果、本発明の実施例の反射防止フィルムは、比較例の反射防止フィルムと比べて、反射防止効果を充分保ち、耐薬品性が向上していることが確認でき
た。
Figure 2009222852
As a result of the examples and comparative examples, it was confirmed that the antireflection film of the examples of the present invention sufficiently maintained the antireflection effect and improved the chemical resistance compared to the antireflection film of the comparative example. .

本発明の反射防止フィルムの構成例を示す断面模式図である。It is a cross-sectional schematic diagram which shows the structural example of the antireflection film of this invention.

符号の説明Explanation of symbols

1…透明基材フィルム
1−b…ハードコート
2…高屈折率薄膜
3…低屈折率薄膜
4…高屈折率薄膜
5…低屈折率薄膜
6…高屈折率薄膜
7…反射防止積層体
8…反射防止フィルム
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Transparent base film 1-b ... Hard coat 2 ... High refractive index thin film 3 ... Low refractive index thin film 4 ... High refractive index thin film 5 ... Low refractive index thin film 6 ... High refractive index thin film 7 ... Antireflection laminated body 8 ... Antireflection film

Claims (3)

透明基材フィルムの少なくとも一方の面に反射防止積層体が形成されており、前記反射防止積層体が、透明基材フィルムの側から、高屈折率薄膜と低屈折率薄膜をこの順に交互に積層した5層以上の奇数層数の積層体からなり、最外層の高屈折率層が酸化ジルコニウムであることを特徴とする反射防止フィルム An antireflective laminate is formed on at least one surface of the transparent substrate film, and the antireflective laminate is alternately laminated with a high refractive index thin film and a low refractive index thin film in this order from the transparent substrate film side. An antireflection film comprising an odd-numbered laminate of five or more layers, wherein the outermost high refractive index layer is zirconium oxide 最外層の高屈折率薄膜の厚さが10nm以上30nm以下であることを特徴とする請求項1に記載の反射防止フィルム 2. The antireflection film according to claim 1, wherein the thickness of the outermost high refractive index thin film is 10 nm or more and 30 nm or less. 低屈折率薄膜が酸化シリコンであり、最外層以外の高屈折率薄膜が酸化ニオブであることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の反射防止フィルム The antireflective film according to claim 1 or 2, wherein the low refractive index thin film is silicon oxide and the high refractive index thin film other than the outermost layer is niobium oxide.
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