JP2009186209A - 圧力センサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】筒内圧センサはハウジング、金属ステム13、およびダイアフラム14を有す。ハウジング、金属ステム、およびダイアフラムを溶接して一体化する。ダイアフラム14は内層14iと外層14oとを有す。内層14iと外層14oとを析出硬化系ステンレスによって形成する。異なる析出硬化熱処理を施すことにより、内層14iの線膨張率を外層14oの線膨張率より大きくする。内層14iと外層14oとを冷間圧延圧接法または電子ビーム溶接により接合させる。
【選択図】図2
Description
図1は、本発明の一実施形態を適用した筒内圧センサ(圧力センサ)をエンジン本体のエンジンヘッドに取付けた状態で示す縦断面図である。
10 筒内圧センサ
14、140 ダイアフラム
14i、14o 内層、外層
16 圧力伝達ロッド
17 検出素子
Claims (7)
- 検出対象と接する外面側と前記外面側の反対側である内面側とで熱膨張率が異なり、前記検出対象から前記外面側にかかる圧力に応じて変形するダイアフラムと、
前記ダイアフラムの変形に応じた電気信号を発生する圧力検出部とを備える
ことを特徴とする圧力センサ。 - 前記ダイアフラムにおいて、前記外面側の熱膨張率より前記内面側の熱膨張率が大きいことを特徴とする請求項1に記載の圧力センサ。
- 前記圧力センサは、前記外面側が内燃機関の燃焼室内に臨むように配置され、前記燃焼室の圧力を検出するための燃焼圧センサであることを特徴とする請求項2に記載の圧力センサ。
- 前記ダイアフラムは、熱膨張率が互いに異なる第1、第2の層をそれぞれ前記外面側と前記内面側とに配置させた複層構造を有することを特徴とする請求項1〜請求項3のいずれか1項に記載の圧力センサ。
- 前記複層構造は、熱膨張率が互いに異なる金属を溶接することにより形成されることを特徴とする請求項4に記載の圧力センサ。
- 前記金属の溶接は、冷間圧延圧接または電子ビーム溶接であることを特徴とする請求項5に記載の圧力センサ。
- 前記複層構造は、金属部材を前記金属部材と熱膨張率の異なるセラミック部材を用いてコーティングすることにより形成されることを特徴とする請求項4に記載の圧力センサ。
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