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JP2009177106A - 半導体発光装置用セラミックス部材、半導体発光装置用セラミックス部材の製造方法、半導体発光装置および表示装置 - Google Patents

半導体発光装置用セラミックス部材、半導体発光装置用セラミックス部材の製造方法、半導体発光装置および表示装置 Download PDF

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JP2009177106A JP2008065821A JP2008065821A JP2009177106A JP 2009177106 A JP2009177106 A JP 2009177106A JP 2008065821 A JP2008065821 A JP 2008065821A JP 2008065821 A JP2008065821 A JP 2008065821A JP 2009177106 A JP2009177106 A JP 2009177106A
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Noriyasu Tanimoto
憲保 谷本
Kazuyuki Okano
和之 岡野
Hideo Nagai
秀男 永井
Kenji Sugiura
健二 杉浦
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Panasonic Corp
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Abstract

【課題】従来技術よりも設計の自由度をもたせることができるプレート状のセラミックス部材を提供する。
【解決手段】半導体発光素子から発された光の波長を変換するプレート状のセラミックス部材15であって、二種類以上のセラミックス素材から構成され、複数のブロック15a、15bに区画されているとともに、それぞれのブロックは二種類以上のセラミックス素材の中からそれぞれ選択された一種類のセラミックス素材からなり、二種類以上のセラミックス素材のうちの少なくとも一種類のセラミックス素材は、光の波長を変換する波長変換材料を含有している。
【選択図】図2

Description

本発明は、半導体発光素子から発された光の波長を変換する部材の構造に関する。
近年、半導体発光素子である青色発光ダイオードと、青色光を黄色光に変換する黄色蛍光体粒子を内部に含むシリコーン樹脂成型体とを備える白色光源が普及してきている。青色発光ダイオードから発された青色光は、シリコーン樹脂成型体を透過する際に一部黄色光に変換され、その結果青色光と黄色光とが混色された白色光が出力される。シリコーン樹脂成型体は、シリコーン樹脂中に黄色蛍光体粒子を分散させて蛍光体ペーストを作製し、この蛍光体ペーストを所定形状に成形し、熱硬化させることにより形成される。
現在のところ青色光を黄色光に変換する部材としては、上記のような樹脂成型体が広く普及しているものの、樹脂成型体には次のような欠点があることが指摘されている。
蛍光体粒子は広い粒度分布をもつので樹脂中で均一に分散させることが困難である。また均一に分散させたとしても蛍光体粒子は樹脂よりも比重が重いので、蛍光体ペーストを作製してから長時間放置しておくと蛍光体粒子が沈降していき、均一な分散状態を維持することができない。したがって製品間で樹脂成型体中の蛍光体粒子の密度がばらつき、結果として製品間で色合いのばらつきが生じてしまう。
またシリコーンやエポキシなどの樹脂は経年劣化により透光性が低下するため、長期間にわたり高い光出力を得ることが困難である(例えば、特許文献1参照)。
このような欠点に対して、特許文献1は、セラミック素材である黄色蛍光体をプレート状に成形して焼成し、その結果得られたプレート状のセラミックス部材を光の波長を変換する部材として採用することを提案している。特許文献1には、そうすることで長期間にわたり高い光出力を得ることができると記載されている。また特許文献1に明示はされていないが、プレート状のセラミックス部材を採用すれば、そもそも蛍光体粒子を樹脂中に分散させる工程を要しないので、製品間での色合いのばらつきの問題も解消されると推察される。
特開2004−146835号公報 特開2007−150331号公報
しかしながら特許文献1に開示された技術では、セラミックス素材として一種類の蛍光体材料からプレート状のセラミックス部材を形成しているため、現実に利用可能な蛍光体材料の種類に制限があることを考慮すると、プレート状のセラミックス部材の設計に自由度をもたせることが困難であるという問題がある。
例えば、プレート状のセラミックス部材の放熱特性を高めるために熱伝導率の高いセラミックス素材を採用しようとしても、現実に利用可能な蛍光体材料の種類に制限があることから、所望の放熱特性を実現することができない場合があると考えられる。また光の色合いを調整するためにプレート状のセラミックス部材の厚みを薄くしようとしても、機械的強度を確保する観点から、所望の色合いを実現することができない場合があると考えられる。
そこで本発明は、従来技術よりも設計に自由度をもたせることができる半導体発光装置用セラミックス部材、半導体発光装置用セラミックス部材の製造方法、半導体発光装置および表示装置を提供することを目的とする。
本発明に係る半導体発光装置用セラミックス部材は、半導体発光素子から発された光の波長を変換する半導体発光装置用セラミックス部材であって、二種類以上のセラミックス素材から構成され、複数のブロックに区画されているとともに、それぞれのブロックは前記二種類以上のセラミックス素材の中からそれぞれ選択された一種類のセラミックス素材からなり、前記二種類以上のセラミックス素材のうちの少なくとも一種類のセラミックス素材は、光の波長を変換する波長変換材料を含有する。
また本発明に係る半導体発光装置用セラミックス部材の製造方法は、光の波長を変換する波長変換材料を含有するセラミックス素材を少なくとも一種類含む二種類以上のセラミックス素材から構成された半導体発光装置用セラミックス部材の製造方法であって、前記二種類以上のセラミックス素材の種類毎に、セラミックス素材の未焼成シートを用意する第1工程と、前記第1工程において用意された二種類以上のセラミックス素材の未焼成シートを積層してシート積層体を形成する第2工程と、前記第2工程において得られたシート積層体を、前記シート積層体上面に垂直または斜め方向に薄切りして、各種類のセラミックス素材からなるブロックが前記第2工程において積層された順番に配列されてなる未焼成シートを形成する第3工程と、前記第3工程において得られた未焼成シートを用いて、目的とするセラミックス部材の構造に対応する未焼成セラミックス構造体を形成する第4工程と、前記第4工程において得られた未焼成セラミックス構造体を焼成する第5工程とを含む。
また本発明に係る半導体発光装置は、基台に実装された半導体発光素子と、前記半導体発光素子の光の照射方向に配設された、上記構成のセラミックス部材とを備える。
また本発明に係る表示装置は、上記構成の半導体発光装置を用いる。
上記構成によれば、半導体発光装置用セラミックス部材は、二種類以上のセラミックス素材から構成され、少なくとも一種類のセラミックス素材は波長変換材料を含有している。このように二種類以上のセラミックス素材を用いることにより、一種類のみのセラミックス素材を用いた従来技術に比べてセラミックス部材の設計に自由度をもたせることができる。
本発明を実施するための最良の形態を、図面を参照して詳細に説明する。
(実施の形態1)
<構成>
図1は、本発明の実施の形態1に係る半導体発光装置の構成を模式的に示す断面図である。
半導体発光装置であるLED光源10は、主要な構成要素としてパッケージ基台11、LED素子13およびプレート状のセラミックス部材15を備えている。パッケージ基台11は、有底筒状の形状を有し、筒内の底部にLED素子13を実装するとともにプレート状のセラミックス部材15を筒の開口部を塞ぐように配設するものである。またパッケージ基台11は、熱伝導率が高い材料として、例えば、銅、アルミニウム、鉄、金、銀、ステンレスやこれらを含む合金、金属酸化物(酸化アルミニウム、酸化珪素など)、金属窒化物(窒化アルミニウム、窒化珪素など)、炭化珪素、金属シリコン、炭素などの無機物を材質とする材料から構成されている。パッケージ基台に熱伝導率が高い材料を用いることで、後述する波長変換部材の発熱抑制効果が更に高まる。ここでLED素子とは、第一の導電型層と第二導電型層との間に発光層を含む半導体多層膜構造から成る半導体発光素子である。LED素子13は、パッケージ基台11の表面に形成された配線パターン12上に実装されており、配線パターン12を介して電力が供給されると青色光を発光するものである。LED素子13の周囲は、例えばシリコーン、エポキシやフッ素などの樹脂材やガラスなどの無機材の透光性材料14が充填されている。なおLED素子13の周囲に透光性材料14を充填せずに中空としてもよい。プレート状のセラミックス部材15は、LED素子13の前面に配設されおり、青色光を黄色光に変換する部材として機能する。LED素子13から発された青色光は、プレート状のセラミックス部材15を透過する際に一部黄色光に変換され、その結果、青色光と黄色光とが混色された白色光が出力される。
図2は、本発明の実施の形態1に係るプレート状のセラミックス部材の構成を模式的に示す斜視図である。
図2に示すプレート状のセラミックス部材15は、セラミックス素材Aからなる15個のブロック15aとセラミックス素材Bからなる15個のブロック15bとの合計30個のブロックに区画されている。これらのブロックはいずれも同一寸法の直方体形状をしており、幅方向および厚み方向のいずれの方向においても隣接するブロック同士が異なるセラミックス素材からなる。なおセラミックス素材A、Bのうち少なくとも一種類は青色光を黄色光に変換する蛍光体材料を含有している。セラミックス素材A、Bの具体的な組み合わせを以下に例示する。
(例1)
セラミックス素材A:黄色蛍光体YAl12:Ce3+(YAG:Ce)
セラミックス素材B:透光性材料Al
(例2)
セラミックス素材A:黄色蛍光体YAl12:Ce3+(YAG:Ce)
セラミックス素材B:透光性材料YAG
(例3)
セラミックス素材A:黄緑色蛍光体Y(Al,Ga)12:Ce3+(YAG:Ce一部Ga置換)
セラミックス素材B:黄橙色蛍光体(Y,Gd)Al12:Ce3+(YAG:Ce一部Gd置換)
(例4)
セラミックス素材A:緑色蛍光体(Ba,Sr)SiO:Eu2+
セラミックス素材B:赤色蛍光体(Ca,Sr)AlSiN:Eu2+
上記の例1は、黄色蛍光体であるYAG:Ceと透光性材料であるアルミナAl
との組み合わせである。また例2は、黄色蛍光体であるYAG:Ceと透光性材料であるYAGとの組み合わせである。このように黄色蛍光体と透光性材料とを組み合わせることで、例えば、機械的強度を確保しつつ所望の色合いを実現することができる。また例1に関しては、YAG:Ceの熱伝導率が11W/m・Kであるのに対し、アルミナAl
の熱伝導率は30W/m・Kである。このように黄色蛍光体と当該黄色蛍光体よりも高い熱伝導率をもつ透光性材料との組み合わせを採用することにより、プレート状のセラミックス部材15の放熱特性を高めることができる。近年、蛍光体は発光したときにストークスロスによる発熱が生じる一方、蛍光体の温度が高くなるほど発光効率が低下することが判明してきている(図38に、蛍光体温度と発光ピーク高さの関係を示す)。そのためプレート状のセラミックス部材15の放熱特性を高めるために熱伝導率が高いセラミックス素材を採用することが望まれている。上記の組み合わせを採用することにより、プレート状のセラミックス部材15の放熱特性を高めることができ、取り付けたパッケージ基台11を通じて蛍光体の発熱を外部に放熱することが可能となり、その結果、発光効率の低下を抑制することができる。
また上記の例3は、黄色蛍光体であるYAG:Ce中のアルミニウムAlの一部をガリウムGaで置換した黄緑色蛍光体と黄色蛍光体であるYAG:Ce中のイットリウムYの一部をガドリウムGdで置換した黄橙色蛍光体との組み合わせである。アルミニウムAlの一部をガリウムGaで置換することで、発光ピーク波長を短波長側にシフトさせることができる。また、イットリウムYの一部をガドリウムGdで置換することにより、発光ピーク波長を長波長側にシフトさせることができる。このように発光ピーク波長が異なる蛍光体同士の組み合わせを採用することにより、所望の色合いを実現することができるとともに、照明として必要な演色性の向上も実現することができる。
また上記の例4は、緑色蛍光体である(Ba,Sr)SiO:Eu2+と赤色蛍光体である(Ca,Sr)AlSiN:Eu2+との組み合わせである。すなわち発光ピーク波長が異なる蛍光体同士の組み合わせの一例である。珪酸ストロンチウム・バリウム(Ba,Sr)SiOにユーロピウムEuを導入した蛍光体は、ストロンチウムSrとバリウムBaとの組成比を変えることにより緑色から橙色まで発光色を調整することができる。このように発光ピーク波長が異なる蛍光体同士の組み合わせを採用することにより、所望の色合いを実現することができるとともに、照明として必要な演色性の向上も実現することができる。
蛍光体材料としては、上記以外に、YAGにテルビウムTbを付活したものYAl12:Tb3+、YAGにセリウムCeおよびプラセオジウムPrを付活したものYAl12:Ce3+,Pr3+、チオガレート蛍光体CaGa:Eu2+ あるいはα−サイアロン蛍光体Ca-α-SiAlON:Eu2+、(0.75(Ca0.9Eu0.1)O・2.25AlN・3.25Si:Eu2+、Ca1.5AlSi16:Eu2+など)なども利用可能である。緑色蛍光体としては、上記以外に、アルミン酸塩蛍光体BaMgAl1017:Eu2+,Mn2+、(Ba,Sr,Ca)Al:Eu2+、α−サイアロン蛍光体Sr1.5AlSi16:Eu2+、Ca-α-SiAlON:Yb2+、β−サイアロン蛍光体β-Si:Eu2+、酸窒化物蛍光体であるオクソニトリドシリケート(Ba,Sr,Ca)Si:Eu2+やオクソニトリドアルミノシリケート(Ba,Sr,Ca)SiAlON:Ce3+ (Ba,Sr,Ca)Al2−xSi4−x:Eu2+(0<x<2)、窒化物蛍光体であるニトリドシリケート蛍光体(Ba,Sr,Ca)Si:Ce3+、チオガレート蛍光体SrGa:Eu2+、ガーネット蛍光体CaScSi12:Ce3+,BaYSiAl12:Ce3+なども利用可能である。橙色蛍光体としては、上記以外にα−サイアロン蛍光体Ca-α-SiAlON:Eu2+などが利用可能である。赤色蛍光体としては、硫化物蛍光体(Sr,Ca)S:Eu2+,LaS:Eu3+,Sm3+、珪酸塩(シリケート)蛍光体BaMgSi:Eu2+,Mn2+や窒化物または酸窒化物蛍光体である(Ca,Sr)SiN:Eu2+,(Ca,Sr)AlSiN:Eu2+やSrSi5−xAl8−x:Eu2+(0≦x≦1)なども利用可能である。透光性材料としては、上記以外に、MgO(熱伝導率54W/m・K)、Y(熱伝導率14.5W/m・K)、ZnO(熱伝導率20W/m・K)、AlN(熱伝導率150W/m・K)などの酸化物や窒化物のほか、SiC(熱伝導率400W/m・K)などの炭素系材料も利用可能である。
半導体発光素子からの発光ピーク波長が、波長200nm以上380nm以下の紫外光、波長380nm以上510nm以下の可視光を発するものと、上述の蛍光体材料も含めて以下に示す発光ピーク波長の蛍光体材料を組み合わせると白色光を合成することが可能である。以下、その例を示す。
(1)発光ピーク波長が200nm以上420nm未満、好ましくは360nm以上410nm以下の半導体発光素子と、発光ピーク波長が420nm以上510nm未満、好ましくは440nm以上510nm未満の青色蛍光体と、発光ピーク波長が560nm以上600nm未満、好ましくは565nm以上580nm以下の黄色から橙色蛍光体の組合せ。
(2)発光ピーク波長が200nm以上420nm未満、好ましくは360nm以上410nm以下の半導体発光素子と、発光ピーク波長が420nm以上510nm未満、好ましくは440nm以上510nm未満の青色蛍光体と発光ピーク波長が510nm以上560nm未満、好ましくは510nm以上550nm以下の青緑〜緑色蛍光体と、発光ピーク波長が600nm以上660nm未満、好ましくは620nm以上,640nm以下の赤色蛍光体の組合せ。
(3)発光ピーク波長が200nm以上420nm未満、好ましくは360nm以上410nm以下の半導体発光素子と、発光ピーク波長が420nm以上510nm未満、好ましくは440nm以上510nm未満の青色蛍光体と、発光ピーク波長が510nm以上560nm未満、好ましくは510nm以上550nm以下の青緑〜緑色蛍光体と、発光ピーク波長が560nm以上600nm未満、好ましくは565nm以上580nm以下の黄〜橙色蛍光体と、発光ピーク波長が600nm以上660nm未満、好ましくは620nm以上,640nm以下の赤色蛍光体の組合せ。
(4)発光ピーク波長が420nm以上510nm未満、好ましくは440nm以上510nm未満の半導体発光素子と、発光ピーク波長が560nm以上600nm未満、好ましくは565nm以上580nm以下の黄〜橙色蛍光体の組合せ。
(5)発光ピーク波長が420nm以上510nm未満、好ましくは440nm以上510nm未満の半導体発光素子と、発光ピーク波長が510nm以上560nm未満、好ましくは510nm以上550nm以下の青緑〜緑色蛍光体と、発光ピーク波長が600nm以上660nm未満、好ましくは620nm以上640nm以下の赤色蛍光体の組合せ。
(6)発光ピーク波長が420nm以上510nm未満、好ましくは440nm以上510nm未満の半導体発光素子と、発光ピーク波長が510nm以上560nm未満、好ましくは510nm以上550nm以下の青緑〜緑色蛍光体と、発光ピーク波長が560nm以上600nm未満、好ましくは565nm以上580nm以下の黄〜橙色蛍光体と、発光ピーク波長が600nm以上660nm未満、好ましくは620nm以上,640nm以下の赤色蛍光体の組合せ。
(7)発光ピーク波長が420nm以上510nm未満、好ましくは440nm以上510nm未満の半導体発光素子と、発光ピーク波長が510nm以上560nm未満、好ましくは510nm以上550nm以下の青緑〜緑色蛍光体との組合せ。
(8)発光ピーク波長が420nm以上510nm未満、好ましくは440nm以上510nm未満の半導体発光素子と、発光ピーク波長が560nm以上600nm未満、好ましくは565nm以上580nm以下の黄〜橙色蛍光体の組合せ。
(9)発光ピーク波長が490nm以上510nm未満、好ましくは490nm以上500nm未満の半導体発光素子と、発光ピーク波長が590nm以上660nm未満、好ましくは600nm以上630nm以下の橙〜赤色蛍光体の組合せ。
半導体発光素子の半導体多層膜は一般的に知られるGaN等の窒化物半導体材料、ZnO等の酸化物半導体材料、ZnS等の硫化物半導体材料からなる。
図2に示すプレート状のセラミックス部材15は、厚み方向に3層、幅方向に10列に区画されているが、本発明はこれに限られるものではない。現実的なプレート状のセラミックス部材15の寸法の一例は、幅約3mm、奥行き約3mm、厚み約100μmであり、ひとつのブロックの寸法の一例は、幅約20μm、奥行き約3mm、厚み約20μmである。この寸法例の場合、プレート状のセラミックス部材15は、厚み方向に5層、幅方向に15列に区画されることになる。なお現在のところブロックの一辺の長さは、後述する製造方法によれば約5μmまでは容易に実現可能であることが確認されている。
以下、図3から図11を用いてプレート状のセラミックス部材の構成に関する変形例を説明する。これらの変形例においても、区画の数自体は製品仕様等により適宜変更されるものである。
図3に示すプレート状のセラミックス部材15は、セラミックス素材Aからなる15個のブロック15aとセラミックス素材Bからなる15個のブロックとの合計30個のブロックに区画されている。図3に示すプレート状のセラミックス部材15では、厚み方向に3層に区画され、1層目と3層目は幅方向に10列に区画されるとともに2層目は奥行き方向に10列に区画されている。ブロックはいずれも同一寸法の直方体形状をしており、層内において隣接するブロック同士は異なるセラミックス素材からなる。
図4に示すプレート状のセラミックス部材15は、セラミックス素材Aからなる150個のブロック15aとセラミックス素材Bからなる150個のブロック15bとの合計300個のブロックに区画されている。図4に示すプレート状のセラミックス部材15では、厚み方向に3層、幅方向に10列、奥行き方向に10列に区画されている。これらのブロックはいずれも同一寸法の直方体形状をしており、幅方向、奥行きおよび厚み方向のいずれの方向においても隣接するブロック同士が異なるセラミックス素材からなる。
図5に示すプレート状のセラミックス部材15は、セラミックス素材Aからなる5個のブロック15aとセラミックス素材Bからなる5個のブロック15bとの合計10個のブロックに区画されている。図5に示すプレート状のセラミックス部材15では、幅方向に10列に区画されている。これらのブロックはいずれも同一寸法の直方体形状をしており、幅方向において隣接するブロック同士が異なるセラミックス素材からなる。
図6に示すプレート状のセラミックス部材15は、セラミックス素材Aからなる50個のブロック15aとセラミックス素材Bからなる50個のブロック15bとの合計100個のブロックに区画されている。図6に示すプレート状のセラミックス部材15では、幅方向に10列、奥行き方向に10列に区画されている。これらのブロックはいずれも同一寸法の直方体形状をしており、幅方向および奥行き方向のいずれの方向においても隣接するブロック同士が異なるセラミックス素材からなる。
図7に示すプレート状のセラミックス部材15は、セラミックス素材Aからなる2個のブロック15aとセラミックス素材Bからなる3個のブロック15bとの合計5個のブロックに区画されている。図7に示すプレート状のセラミックス部材15では、厚み方向に5層に区画されている。これらのブロックはいずれも同一寸法の直方体形状をしており、厚み方向において隣接するブロック同士が異なるセラミックス素材からなる。
図8に示すプレート状のセラミックス部材15は、セラミックス素材Cからなる1個のブロック15cとセラミックス素材Dからなる1個のブロック15dとセラミックス素材Eからなる1個のブロック15eとの合計3個のブロックに区画されている。セラミックス素材C、D、Eのうち少なくとも一種類は青色光を黄色光に変換する蛍光体材料を含有している。図8に示すプレート状のセラミックス部材15では、ブロック15eがブロック15c、15dを内包するように区画されている。このような内包構造は、特に、湿度に弱い硫化物系蛍光体CaS:Euやチオガレート系蛍光体などを採用する場合に有効である。
図9に示すプレート状のセラミックス部材15は、セラミックス素材Cからなる5個のブロック15cとセラミックス素材Dからなる5個のブロック15dとセラミックス素材Eからなる1個のブロック15eとの合計11個のブロックに区画されている。
図10に示すプレート状のセラミックス部材15は、セラミックス素材Fからなる10個のブロック15fとセラミックス素材Gからなる10個のブロック15gとセラミックス素材Hからなる10個のブロック15hとの合計30個のブロックに区画されている。これらのブロックはいずれも同一寸法の直方体形状をしており、幅方向および厚み方向のいずれの方向においても隣接するブロック同士が異なるセラミックス素材からなる。なおセラミックス素材F、G、Hのうち少なくとも一種類は青色光を黄色光に変換する蛍光体材料を含有している。セラミックス素材F、G、Hの具体的な組み合わせを以下に例示する。
(例5)
セラミックス素材F:黄緑色蛍光体Y(Al,Ga)12:Ce3+(YAG:Ce一部Ga置換)
セラミックス素材G:黄橙色蛍光体(Y,Gd)Al12:Ce3+(YAG:Ce一部Gd置換)
セラミックス素材H:透光性材料Al
上記の例5は、黄色蛍光体であるYAG:Ce中のアルミニウムAlの一部をガリウムGaで置換した黄緑色蛍光体と黄色蛍光体であるYAG:Ce中のイットリウムYの一部をガドリウムGdで置換した黄橙色蛍光体と透光性材料であるアルミナAlとの組み合わせである。このように二種類の黄色蛍光体とこれらよりも高い熱伝導率をもつ透光性材料とを組み合わせることで、所望の色合いを実現するとともに照明として必要な演色性の向上を実現しつつプレート状のセラミックス部材15の放熱特性を高めることができる。
図11に示すプレート状のセラミックス部材15は、セラミックス素材Fからなる2個のブロック15fとセラミックス素材Gからなる1個のブロック15gとセラミックス素材Hからなる2個のブロック15hとの合計5個のブロックに区画されている。図11に示すプレート状のセラミックス部材15では、厚み方向に5層に区画されている。これらのブロックはいずれも同一寸法の直方体形状をしており、厚み方向において隣接するブロック同士が異なるセラミックス素材からなる。
<製造方法>
次に、上記構成のプレート状のセラミックス部材の製造方法について説明する。
図12は、本発明の実施の形態1に係るプレート状のセラミックス部材の製造方法のフローを示す図である。
このフローでは、セラミックス素材A、Bから構成されたプレート状のセラミックス部材を形成する例が示されている。まずセラミックス素材Aを含む未焼成シート(「グリーンシート」とも称される)を作製するため、分散用撹拌装置を用いてセラミックス素材Aの原料、バインダ、可塑剤および溶剤を含むスラリーを調製し(ステップS11)、ベースフィルム上にシート成形する(ステップS12)。例えば、セラミックス素材Aを黄色蛍光体YAG:Ceとすると、セラミックス素材Aの原料としてイットリウム酸化物Y、アルミニウム酸化物Al、セリウム酸化物CeOが選択される。また、バインダとしてブチラール樹脂、可塑剤としてブチルベンジルフタレート、溶剤として酢酸ブチル(90%)とブチルカルビトール(10%)との混合剤をそれぞれ採用することができる。
また上記工程と並行してセラミックス素材Bを含む未焼成シートを作製する(ステップS13、14)。例えば、セラミックス素材Bを透光性材料Alとすると、セラミックス素材Bの原料としてアルミニウム酸化物Alが選択される。
次にセラミックス素材Aを含む未焼成シートとセラミックス素材Bを含む未焼成シートとを積層してシート積層体を形成する(ステップS15)。
次に精密切断機を用いて、シート積層体を、シート積層体上面に対して垂直方向に切断し、セラミックス素材A、Bを縞状に含む未焼成シートを形成する(ステップS16)。そして得られた未焼成シートを組み合わせて、目的とするプレート状のセラミックス部材の構造に対応する未焼成セラミックス構造体を形成する。
次に未焼成セラミックス構造体を脱脂炉で脱バインダし(ステップS17)、焼成炉で焼成する(ステップS18)。脱バインダ工程では、例えば、室温から400℃まで1時間当たり50℃のペースで温度上昇させ、400℃を2時間〜4時間程度維持させ、その後自然に冷却させる。また焼成工程では、例えば、真空またはN−H雰囲気下で約1700℃〜1800℃まで加熱する。これにより目的とするプレート状のセラミックス部材の構造に対応するセラミックス構造体を得ることができる。
次に得られたセラミックス構造体を表面研磨し(ステップS19)、目的とするプレート状のセラミックス部材のサイズに寸断し(ステップS20)、検査工程を経て(ステップS21)、プレート状のセラミックス部材の製品を得る。
図13は、シート成形工程(ステップS12、S14)の様子を模式的に示す図である。
シート成形工程では、水平方向に搬送されるベースフィルム32上にダイコーター21を用いてスラリーの薄膜31を形成し、乾燥設備22内部を通過させて乾燥させることにより、セラミックス素材Aを含有する未焼成シートを成形する。未焼成シートの厚みは、約5μm程度から1mm程度まで適宜調整可能であり、焼成時の収縮および表面研磨の研磨量を考慮して最終製品の厚みよりも若干厚めに調整される。ベースフィルム32は、例えばポリエチレンテレフタレートからなり、約50μmの厚みをもつ。乾燥設備22の温度条件は、例えば90℃〜110℃程度であり、スラリーの膜厚や搬送速度に応じて適宜調整される。
図14は、積層工程(ステップS15)の様子を模式的に示す図である。
積層工程では、発泡シート24が形成されたステンレス製の支持板23を用意し(図14(a))、ベースフィルム34が貼りついた状態のセラミックス素材Aを含む未焼成シート33を発泡シート24上に載置して加熱および加圧を行う(図14(b))。発泡シート24の厚みは約150μm〜200μm程度であり、加熱は80℃〜100℃程度、加圧は10kg/cm〜30kg/cm程度である。その後、ベースフィルム34を剥離し(図14(c))、未焼成シート33を残す(図14(d))。次にベースフィルム36が貼りついた状態のセラミックス素材Bを含む未焼成シート35を未焼成シート33上に載置して加熱および加圧を行い(図14(e))、ベースフィルム36を剥離し(図14(f))、未焼成シート35を残す(図14(g))。このような作業を、セラミックス素材Aを含む未焼成シートとセラミックス素材Bを含む未焼成シートとで交互に繰り返す。
図15は、積層体切断工程(ステップS16)の様子を模式的に示す図である。
積層体切断工程では、まず発泡シート24を約150℃まで加熱して発泡させ(図15(a))、シート積層体36を支持板23から剥離させ(図15(b))、精密切断機25を用いてシート積層体36をシート積層体上面に垂直方向に切断し、セラミックス素材A、Bを縞状に含む未焼成シート37を形成する(図15(d))。得られた未焼成シート37を組み合わせて、目的とするプレート状のセラミックス部材の構造に対応する未焼成セラミックス構造体38を形成する(図15(e))。未焼成セラミックス構造体38は、図2に示すプレート状のセラミックス部材の構造に対応している。なお未焼成シート37は単体でも未焼成セラミックス構造体として利用可能である。その場合には図5に示すプレート状のセラミックス部材の構造に対応することになる。
またセラミックス素材A、Bを縞状に含む未焼成シート37を順次90°ずつ回転させながら積層すれば、図3に示すプレート状のセラミックス部材の構造に対応する未焼成セラミックス構造体を形成することができる。
また図16に示すように、未焼成シート37をさらに組み合わせて切断して(図16(a))、セラミックス素材A、Bを市松状に含む未焼成シート40を形成し(図16(b))、これを組み合わせて未焼成セラミックス構造体41を形成することができる(図16(c))。未焼成セラミックス構造体41は、図4に示すプレート状のセラミックス部材の構造に対応している。未焼成シート40は単体でも未焼成セラミックス構造体として利用可能である。その場合には図6に示すプレート状のセラミックス部材の構造に対応することになる。
以上、二種類のセラミックス素材A、Bから構成されたプレート状のセラミックス部材を形成する方法を例示したが、図17、18に示すように三種類以上のセラミックス素材から構成されたプレート状のセラミックス部材を形成する場合も同様である。したがって図10および図11に示すプレート状のセラミックス部材の構造に対応する未焼成セラミックス構造体も容易に形成することができる。
また図7に示すプレート状のセラミックス部材の構造に対応する未焼成セラミックス構造体は、積層体切断工程を経ずに得ることができる。また図8および図9に示すプレート状のセラミックス部材の構造に対応する未焼成セラミックス構造体は、まず未焼成シートを用いて内包される構造体を形成した後に、この構造体の側面を別の未焼成シートで覆うことにより形成することができる。
<検証>
発明者らは本発明の実施の形態1に係るプレート状のセラミックス部材の性能を検証するため、プレート状のセラミックス部材のサンプルを作製し、(1)プレートの放熱特性、(2)プレート表面の発光色むら、(3)サンプル間の色合いのばらつきについて評価を実施した。
図19は、検証システムの構成を模式的に示す断面図である。
LED光源の構成は、LED素子13の周囲が中空51になっていること以外は、図1に示した構成と同様である。LED光源は、基板52の表面に形成された基板電極53上に実装されており、基板電極53を介して電力供給を受ける。基板52の裏面にはヒートシンク54が設けられている。LED素子13としては、1mm角サイズでIf=1000mA(光出力900mW相当)のものを用いた。(1)のプレートの放熱特性および(3)のサンプル間の色合いのばらつきについては、図19に示す検証システムを用いて評価した。
図20は、検証システムの構成を模式的に示す断面図である。
LED光源の構成は、パッケージ基台11の形状およびLED素子13の周囲に透光性材料14であるシリコーンが充填されていること以外は図19の構成と同様である。(2)のプレート表面の発光色むらについては、図20に示す検証システムを用いて評価した。
以下に検証結果をそれぞれ説明する。
図21はプレートの放熱特性の検証結果およびサンプルの構成を説明するための図である。
今回、プレートの放熱特性の検証をするにあたり、蛍光粒子シリコーンプレート(図21(b))、セラミックス単体プレート(図21(c))、セラミックス複合プレート(図21(d))の三種類の波長変換部材を用意した。プレートのサイズとしては、幅2.5mm、奥行き2.5mm、厚み0.3mmのものを用いた。蛍光粒子シリコーンプレートは、黄色蛍光体粒子YAG:Ceを内部に含むシリコーン樹脂成型体である。セラミックス単体プレートは、黄色蛍光体YAG:Ceのみから構成されている。セラミックス複合プレートは、図2と同様の構造を有し、黄色蛍光体YAG:Ceと透光性材料Alから構成されている。蛍光粒子シリコーンプレートおよびセラミックス単体プレートはいずれも従来技術に該当し、セラミックス複合プレートは本発明の実施の形態1に該当する。
図21(a)のプレートの放熱特性の検証結果によれば、LED素子13が発光しているとき、LED素子13のチップ温度は蛍光粒子シリコーンプレートでは45℃、セラミックス単体プレートでは46℃、セラミックス複合プレートでは47℃である。一方、プレートの表面温度は、蛍光粒子シリコーンプレートでは150℃、セラミックス単体プレートでは85℃、セラミックス複合プレートでは65℃である。これにより本発明の実施の形態1は従来技術よりも優れた放熱特性を提供することができることがわかる。
図22はプレート表面の発光色むらの検証結果およびサンプルの構成を説明するための図である。
今回、プレート表面の発光色むらの検証をするにあたり、蛍光粒子シリコーンプレート(図22(b))、セラミックス単体プレート(図22(c))、セラミックス単層複合プレート(図22(d))、セラミックス多層複合プレート(図22(e))の四種類の波長変換部材を用意した。プレートのサイズとしては、幅2mm、奥行き2mm、厚み0.3mmのものを用いた。蛍光粒子シリコーンプレートは、黄色蛍光体粒子YAG:Ceを内部に含むシリコーン樹脂成型体である。セラミックス単体プレートは、黄色蛍光体YAG:Ceのみから構成されている。セラミックス単層複合プレートは、図5と同様の構造を有し、黄色蛍光体YAG:Ceと透光性材料YAGから構成されている。セラミックス多層複合プレートは、図2と同様の構造を有し、黄色蛍光体YAG:Ceと透光性材料YAGから構成されている。蛍光粒子シリコーンプレートおよびセラミックス単体プレートはいずれも従来技術に該当し、セラミックス単層複合プレートおよびセラミックス多層複合プレートは本発明の実施の形態1に該当する。プレート表面の発光色むらは、顕微鏡と分光測定装置とを組み合わせた顕微分光システムを用いて測定した。プレート表面の任意の25点の直径200μmの定点の色度を測定し、その色の差の大小を色むらとして各種プレート間の特性を比較した。
図22(a)のプレート表面の発光色むらの検証結果によれば、LED素子13が発光しているとき、蛍光粒子シリコーンプレートでは発光色むらが無く、セラミックス単体プレートではCe濃度、プレートの厚み、直線透過率の調整により発光色むらを無くすことができる。一方、セラミックス単層複合プレートでは発光色むらが生じるが、直線透過率の調整により発光色むらを軽減することができる。またセラミックス多層複合プレートでは黄色蛍光体からなるブロックに関してはCe濃度、プレートの厚み、直線透過率を調整するとともに透光性材料からなるブロックに関しては直線透過率を調整することにより発光色むらを無くすことができる。
図23はサンプル間の色合いのばらつきの検証結果を説明するための図である。
今回、サンプル間の色合いのばらつきを検証するにあたり、蛍光粒子シリコーンプレート、セラミックス複合プレート、セラミックス複合プレート(厚み制御)の三種類の波長変換部材を用意した。プレートのサイズとしては、幅2.5mm、奥行き2.5mm、厚み0.3mmのものを用いた。蛍光粒子シリコーンプレートは、黄色蛍光体粒子YAG:Ceを内部に含むシリコーン樹脂成型体である。セラミックス複合プレートは、図2と同様の構造を有し、黄色蛍光体YAG:Ceと透光性材料YAGから構成されている。セラミックス複合プレート(厚み制御)はさらにプレートの厚みを調整したものである。蛍光粒子シリコーンプレートは従来技術に該当し、セラミックス複合プレートおよびセラミックス複合プレート(厚み制御)は本発明の実施の形態1に該当する。サンプル間の色合いのばらつきを評価するにあたって、発光色の測定は積分球を用いた。
各プレート構成について100個ずつサンプルを作製し、色合いの測定結果を色度座標系にプロットした。色度座標におけるプロットの分布がサンプル間の色合いのばらつきに相当する。これによれば、セラミックス複合プレート(図23(b))では蛍光粒子シリコーンプレート(図23(a))よりもサンプル間の色合いのばらつきを2/5倍に抑制することができ、さらに、セラミックス複合プレートの厚み制御をすれば(図23(c))、セラミックス複合プレート(図23(b))よりもサンプル間の色合いのばらつきを2/3倍に抑制することができることが判明した。
(実施の形態2)
<構成>
図24は、本発明の実施の形態2に係る半導体発光装置の構成を模式的に示す断面図である。また図25は、本発明の実施の形態2に係るプレート状のセラミックス部材の構成を模式的に示す斜視図である。
実施の形態2では、セラミックス部材15の構成が実施の形態1と異なる。これ以外の構成については実施の形態1と共通するので説明を省略する。
図24および図25に示すセラミックス部材15は、セラミックス素材Aからなるブロック15aとセラミックス素材Bからなるブロック15bとの合計2個のブロックに区画されている。また波長変換材料である蛍光体材料の含有率の観点からみると、セラミックス部材15は、蛍光体材料を含有している第一領域、および第一領域を囲繞し蛍光体材料を含有しない(あるいは第一領域よりも低い含有率で蛍光体材料を含有している)第二領域を有している。この例では、第一領域はブロック15aから構成され、第二領域はブロック15bから構成されている。セラミックス部材15の第一領域は、円板形状をしており、そのサイズに関しては第一領域の直径をLa、パッケージ基台11の開口部の内径をLb、セラミックス部材15の厚みをTとしたとき、Lb≦La≦(Lb+T)の条件を満たすことが好ましい。またセラミックス部材15の第二領域は、ハンダ、ろう材、接着剤あるいは留め具などによりパッケージ基台11に接合されている。セラミックス素材A、Bの具体的な組み合わせを以下に例示する。
(例6)
セラミックス素材A:黄色蛍光体YAl12:Ce3+(YAG:Ce)
セラミックス素材B:透光性材料Al
(例7)
セラミックス素材A:黄色蛍光体YAl12:Ce3+(YAG:Ce)
セラミックス素材B:透光性材料YAG
(例8)
セラミックス素材A:黄色蛍光体YAl12:Ce3+(YAG:Ce)、セリウム高濃度
セラミックス素材B:黄色蛍光体YAl12:Ce3+(YAG:Ce)、セリウム低濃度
上記の例6、例7の蛍光体材料の組み合わせは、実施の形態1の例1、例2の蛍光体材料の組み合わせと同様である。黄色蛍光体としてはYAG:Ce以外に実施の形態1に例示したものを利用することができる。また第二領域を構成するセラミックス素材Bについては、透光性材料のみに限らず、不透明な材料を採用することとしても構わない。
上記の例8は、セラミックス素材A、Bのいずれも黄色蛍光体YAG:Ceを含む。ただし第一領域を構成するセラミックス素材Aと第二領域を構成するセラミックス素材Bとを比較したとき、付活剤であるセリウムのドープ量が異なる。第二領域では第一領域に比べてセリウムのドープ量を少なくすることで、第二領域における発熱を低減することができ、その結果セラミックス部材15の放熱特性を高めることができる。
以下、図26から図29を用いてプレート状のセラミックス部材の構成に関する変形例を説明する。
図26および図27に示すプレート状のセラミックス部材15では、いずれも第一領域を構成するブロック15aの厚みおよび位置が図24および図25に示すプレート状のセラミックス部材15と異なる。図26に示すプレート状のセラミックス部材15では、第一領域の側面および下面が第二領域により囲繞されている。図27に示すプレート状のセラミックス部材15では、第一領域の側面および上下面が第二領域により囲繞されている。
図28に示すプレート状のセラミックス部材15は、セラミックス素材Iからなるブロック15iとセラミックス素材Jからなるブロック15jとセラミックス素材Kからなるブロック15kの合計3個のブロックに区画されている。この例では、第一領域はブロック15iおよびブロック15jから構成され、第二領域はブロック15kから構成されている。セラミックス素材I、J、Kの具体的な組み合わせを以下に例示する。
(例9)
セラミックス素材I:黄緑色蛍光体Y(Al,Ga)12:Ce3+(YAG:Ce一部Ga置換)
セラミックス素材J:黄橙色蛍光体(Y,Gd)Al12:Ce3+(YAG:Ce一部Gd置換)
セラミックス素材K:透光性材料YAG
(例10)
セラミックス素材I:緑色蛍光体(Ba,Sr)SiO:Eu2+
セラミックス素材J:赤色蛍光体(Ca,Sr)AlSiN:Eu2+
セラミックス素材K:透光性材料YAG
上記の例9、10の蛍光体材料の組み合わせは、実施の形態1の例3、4の蛍光体材料の組み合わせと同様である。黄緑色蛍光体、黄橙色蛍光体、緑色蛍光体、赤色蛍光体としては上記以外に実施の形態1に例示したものを利用することができる。また第二領域を構成するセラミックス素材Kについては、透光性材料のみに限らず、不透明な材料を採用することとしても構わない。
図29に示すプレート状のセラミックス部材15は、セラミックス素材Aからなるブロック15aとセラミックス素材Bからなるブロック15bとセラミックス素材Lからなるブロック15lの合計3個のブロックに区画されている。この例では、第一領域はブロック15aから構成され、第二領域はブロック15bおよびブロック15lから構成されている。セラミックス素材A、B、Lの具体的な組み合わせを以下に例示する。
(例11)
セラミックス素材A:黄色蛍光体YAl12:Ce3+(YAG:Ce)
セラミックス素材B:透光性材料YAG
セラミックス素材L:透光性材料Al
上記の例11では、ブロック15lの構成材料としてYAGよりも熱伝導率が高いアルミナ(Al)を採用しているので、セラミックス部材15の放熱特性を高めることができる。
<製造方法>
次に、上記構成のプレート状のセラミックス部材の製造方法に関して2つの代表例を説明する。
図30は、本発明の実施の形態2に係るプレート状のセラミックス部材の製造方法のフローを示す図である。
このフローでは、セラミックス素材A、Bから構成されたプレート状のセラミックス部材を形成する例が示されている。まず分散用攪拌装置を用いてセラミックス素材Aの原料、バインダ、可塑剤および溶剤を含むビレットを調製する(ステップS31)。例えば、セラミックス素材Aを黄色蛍光体YAG:Ceとすると、セラミックス素材Aの原料としてイットリウム酸化物Y、アルミニウム酸化物Al、セリウム酸化物CeOが選択される。バインダとしてメチルセルロース、可塑剤としてポリアクリル酸、溶剤として水をそれぞれ採用することができる。
また上記工程と並行して分散用攪拌装置を用いてセラミックス素材Bの原料、バインダ、可塑剤および溶剤を含むビレットを調製する(ステップS32)。例えば、セラミックス素材Bを透光性材料YAGとすると、セラミックス素材Bの原料としてイットリウム酸化物Y、アルミニウム酸化物Alが選択される。
次に押し出し成型機を用いて、セラミックス素材Aを含むビレットを芯材としセラミックス素材Bを含むビレットを被覆材とする、二つのビレットから構成された棒状(スティック状)の未焼成成形体を形成する(ステップS33)。
次に精密裁断機を用いて、棒状の未焼成成形体を、長手方向に対して垂直に切断し、セラミックス素材Aを中央に含みセラミックス素材Bを周囲に含むプレート状の未焼成成形体を形成する(ステップS34)。
次にプレート状の未焼成成形体を脱バインダし(ステップS35)、焼成し(ステップS36)、表面研磨し(ステップS37)、検査工程を経て(ステップS38)、プレート状のセラミックス部材の製品を得る。脱バインダ、焼成、表面研磨、検査の各工程については、実施の形態1と同様である。
図31は、スティック成形工程(ステップS33)の様子を模式的に示す図である。
スティック成形工程では、まず、セラミックス素材Aを含むビレット71が押し出し成型機26の内側のシリンダに投入され、セラミックス素材Bを含むビレット72が外側のシリンダに投入される。その後、押し出し成型機26のシリンダヘッドの押圧に伴い、ビレット71、72が押し出され、乾燥設備22を通過して乾燥され、棒状の未焼成成形体となる。なお図31に示す例では、両方のビレット71、72がいずれも流動性をもつ状態で押し出し成型されているが、図32に示すように一方のビレット71をあらかじめ固形化しておくこととしてもよい。このようにすればビレット71、72の境界面の形状の製造誤差を抑制することができる。
図33は、スティック切断工程(ステップS34)の様子を模式的に示す図である。
スティック切断工程では、スティック成形工程において得られた棒状の未焼成成形体73を用意し(図33(a))、精密切断機25を用いて棒状の未焼成成形体73を長手方向に対して垂直に切断し(図33(b))、セラミックス素材Aを中央に含みセラミックス素材Bを周囲に含むプレート状の未焼成成形体74を得る(図33(c))。未焼成成形体74の構造は、図24および図25に示すプレート状のセラミックス部材15の構造に対応している。したがって未焼成成形体74をそのまま焼成することにより図24および図25に示すプレート状のセラミックス部材15を得ることができる。またセラミックス素材Bを含むビレット72のみからなるプレート状の未焼成成形体を作製しておき、これを未焼成成形体74の一面または両面に張り合わせて焼成することにより、図26、図27、図29に示すプレート状のセラミックス部材15を得ることができる。またセラミックス素材Aが異なる二種類のプレート状の未焼成成形体74を作製しておき、これらを張り合わせて焼成することにより、図28に示すプレート状のセラミックス部材15を得ることができる。
図34は、本発明の実施の形態2に係るプレート状のセラミックス部材の製造方法のフローを示す図である。
このフローでは、セラミックス素材A、Bから構成されたプレート状のセラミックス部材を形成する例が示されている。まず分散用攪拌装置を用いてセラミックス素材Aの原料、バインダ、可塑剤および溶剤を含むスラリーを調製する(ステップS51)。例えば、セラミックス素材Aを黄色蛍光体YAG:Ceとすると、セラミックス素材Aの原料としてイットリウム酸化物Y、アルミニウム酸化物Al、セリウム酸化物CeOが選択される。これと並行して、散用攪拌装置を用いてセラミックス素材Bの原料、バインダ、可塑剤および溶剤を含むスラリーを調製する(ステップS52)。セラミックス素材Bを透光性材料YAGとすると、セラミックス素材Bの原料としてイットリウム酸化物Y、アルミニウム酸化物Alが選択される。バインダ、可塑剤および溶剤については実施の形態1と同様とする。
次にセラミックス素材Bを含むスラリーから未焼成シートを成形し(ステップS53)、スクリーン印刷機を用いてセラミックス素材Bを含む未焼成シートの主面にセラミックス素材Aを含むスラリーを印刷する(ステップS54)。
次に未焼成シートを脱バインダし(ステップS55)、焼成し(ステップS56)、表面研磨し(ステップS57)、寸断し(ステップS58)、検査工程を経て(ステップS59)、プレート状のセラミックス部材の製品を得る。脱バインダ、焼成、表面研磨、寸断、検査の各工程については、実施の形態1と同様である。
図35は、印刷工程(ステップS53)以後の工程の様子を模式的に示す図である。
印刷工程では、印刷板27およびスキージ28を用いて、セラミックス素材Bを含む未焼成シート75の主面にセラミックス素材Aを含むスラリー76を塗布し(図35(a))、塗布されたスラリー76を乾燥設備22にて乾燥させる(図35(b))。その後、発泡シート24を発泡させて、ステンレス製の支持板23から未焼成シート75を剥離させる(図35(c))。焼成工程では、スラリー76に含有されていたセリウムイオンが未焼成シート75に拡散されていき、結果的にセリウムがドープされた領域75aとドープされていない領域75bとが形成される(図35(d))。その後、シート75は表面がグラインダ29で研磨され(図35(e))、ダイシングソー30を用いて個片化される(図35(f))。
<検証>
発明者らは本発明の実施の形態2に係るプレート状のセラミックス部材の性能を検証するため、プレート状のセラミックス部材のサンプルを作製し、プレートの放熱特性について評価を実施した。
図36は、検証システムの構成を模式的に示す断面図である。
パッケージ基台11は、アルミナ(Al)製であり、開口部のサイズはφ1.8mmである。セラミックス部材15のサイズは4mm×4mm×0.3mmであり、第一領域のサイズはφ1.9mm×0.3mmである。LED素子13としては、1mm角サイズでIf=1000mA(光出力900mW相当)のものを用いた。
図37はプレートの放熱特性の検証結果およびサンプルの構成を説明するための図である。
今回、プレートの放熱特性を検証するにあたり、蛍光粒子シリコーンプレート(図37(b))、セラミックス単体プレート(図37(c))、セラミックス複合1プレート(図37(d))、セラミックス複合2プレート(図37(e))の四種類の波長変換部材を用意した。蛍光粒子シリコーンプレートは、黄色蛍光体粒子YAG:Ceを内部に含むシリコーン樹脂成形体である。セラミックス単体プレートは、黄色蛍光体YAG:Ceのみから構成されている。セラミックス複合1プレートは、第一領域を黄色蛍光体YAG:Ceで構成し第二領域を透光性材料YAGで構成されている。またセラミックス複合2プレートは第一領域を黄色蛍光体YAG:Ceで構成し第二領域を透光性材料アルミナ(Al)で構成されている。蛍光粒子シリコーンプレートおよびセラミックス単体プレートが従来技術に該当し、セラミックス複合1プレートおよびセラミックス複合2プレートが本発明の実施の形態2に該当する。
図37(a)のプレートの放熱特性の検証結果によれば、LED素子13が発光しているとき、LED素子13のチップ温度は蛍光粒子シリコーンプレートでは105℃、セラミックス単体プレートでは106℃、セラミックス複合1プレートでは106℃、セラミックス複合2プレートでは107℃である。一方、プレートの表面温度は、蛍光粒子シリコーンプレートでは210℃、セラミックス単体プレートでは144℃、セラミックス複合1プレートでは136℃、セラミックス複合2プレートでは121℃である。
すなわち本発明の実施の形態2に係るプレートの表面温度は、従来技術に係るプレートの表面温度に比べて低くなる。これは、セラミックス部材の第二領域には波長変換材料としての蛍光体材料が含有されていないため第二領域におけるストークスロスによる発熱がなく、プレート全体としての発熱量を削減でき、さらに第一領域において発生した熱が第二領域ひいてはパッケージ基台に伝導しやすくなるからであると推察される。
またセラミックス部材の第二領域にはLED素子からの光が直接入射されることはなく、第一領域を介して迷光として入射される。そのため第二領域に第一領域と同様の濃度で蛍光体材料を含有させることとすれば(従来技術に相当する)、第二領域から出射された迷光は第一領域から出射された光よりも蛍光体材料を含有する領域を長く通過することとなり、蛍光色が相対的に強くなって色むらを生じさせてしまう。本発明の実施の形態2では、第二領域には蛍光体材料が含有されていない、あるいは第二領域には第一領域よりも低濃度で蛍光体材料が含有されているため、第二領域における色むらを抑制することができる。
<変形例および応用例>
図39は、本発明の実施の形態1に係るLED光源の変形例を模式的に示す断面図である。
図39(a)に示すようにLED光源60は、基台61に形成された配線パターン62上にLED素子63が実装され、LED素子63の発光面に直接接触するようにプレート状のセラミックス部材65を配設し、LED素子63およびプレート状のセラミックス部材65の周囲を樹脂64で覆うようにした構成でもよい。また図39(b)に示すようにLED素子63を、ワイヤ66を用いたワイヤボンディングにより実装してもよい。また図39(c)に示すように光学部材67を配設することとしてもよい。光学部材67は透光性材料であるYAG、Al、AlN、MgOなどにより構成することができる。
図40は、光学部材67の構造を例示する図である。
光学部材67の構造は、ドーム形状(図40(a))、ドーム形状の複合体(図40(b))、粗化面形状(図40(c))、逆メサ形状(図40(d))、ラウンド形状(図40(e))、プレート状のセラミックス部材を埋め込んだドーム形状(図40(f))などが考えられる。またプレート状のセラミックス部材の表面形状自体を光学部材として利用することも考えられる(図40(g))。例えば、透光性材料にエッチングされやすい材料を使用すれば、エッチングによりプレート状のセラミックス部材の表面に凹凸形状を形成することができる。なお光学部材67は、例えばドーム形状にくりぬいた金型でドーム形状のセラミックス部材を形成し、これをプレート状のセラミックス部材に熱圧着することにより取り付けることができる。
図41は、本発明の実施の形態2に係るプレート状のセラミックス部材の変形例を示す図である。
セラミックス部材15の第一領域を構成するブロック15aは、パッケージ基台11の開口部形状に応じて正方形の板状としてもよく(図41(a))、多角形の板状としてもよい(図41(b))。またセラミックス部材15の外形は円板形状でもよく(図41(c))、長方形の板状でもよい(図41(d))。また第一領域は第二領域上に突設されていてもよいし(図41(e))、多チップ用途として複数設けられていてもよい(図41(f))。また第二領域の内周にパッケージ基台との接合用の金属層15mを設けることとしてもよい。
図42および図43は、本発明の実施の形態2に係るLED光源の変形例を模式的に示す断面図である。
図42(a)に示すようにLED光源80は、LED素子83の周囲を中空88とした構造としてもよい。また図42(b)に示すようにLED光源80は、LED素子83の上面とセラミックス部材85の下面とを密着させた構造としてもよい。また図42(c)に示すようにLED光源80は、基台81の上面に形成された金属層81mとセラミックス部材85の第二領域の下面に形成された金属層85mとを金属接合した構造としてもよい。また図42(d)に示すようにLED光源80は、基台81の筒内に反射板81rを設け、LED素子83をレンズ状の透光性材料84で覆うこととしてもよい。また図42(e)に示すようにLED素子83に直接セラミックス部材85を配設した構造としてもよい。ここでLED素子83はLED基板83a、発光層83b、金属層83mを有しており、LED素子83の金属層83mがセラミックス部材85の第二領域に形成された金属層85mに金属接合される構造となっている。また図43(a)に示すように基台81に複数のLED素子83を実装し、セラミックス部材85の第一領域の範囲を基台81の開口部と同じ程度にすることとしてもよいし、図43(b)および図43(c)に示すようにセラミックス部材85の第一領域の範囲をLED素子83に対応する部分のみにしてもよい。ここでLED素子83に対応する部分とは、光の照射方向から見たときにLED素子83の発光面に相当する領域を下限とし、セラミックス部材の厚みに相当する長さだけセラミックス部材の光の照射領域を外縁方向に拡張した領域を上限とする範囲内をいうものとする。光の照射領域とは、セラミックス部材85のLED素子83に対向する面においてLED素子83からの光が入射される領域である。また図43(b)に示すように基台81を平板状とし基台81上に配設された金属部材90によりセラミックス部材85を支持することとしてもよいし、図43(c)に示すように基台81を有底筒状とし基台81によりセラミックス部材85を支持することとしてもよい。また図43(d)に示すように光学部材87を設けることとしてもよい。光学部材87の例としては、図40に示すもののほか、図44に示すようにセラミックス部材85の表面および裏面に形成することとしてもよい。また図45(a)に示すようにセラミックス部材の両面を平坦面としてもよいし、図45(b)に示すようにセラミックス部材の一方の面のみを粗面としてもよく、あるいは図45(c)に示すようにセラミックス部材の両面を粗面としてもよい。また図45(d)および図45(e)に示すようにセラミックス部材の第一領域がセラミックス部材の厚み方向に拡径したり縮径したりしてもよい。
なお本発明の実施の形態に係るLED光源の応用例としては、図46の分解斜視図に示すような電光掲示板等の表示装置を挙げることができる。表示装置91は、複数のLED光源10が二次元的に配設された基板92、基板92上に配設されLED光源10対応位置に開口93aをもつ反射板93、反射板93上に配設され開口93a対応位置に光を所望方向に集光させるレンズ94aをもつレンズ板94、ならびに基板の前面に配された前面パネル、基板および前面パネルを支持する筐体などから構成される。
以上、本発明に係るプレート状のセラミックス部材およびLED光源について、実施の形態に基づいて説明したが、本発明はこれらの実施の形態に限られない。例えば、以下のような変形例が考えられる。
(1)実施の形態1ではプレート状のセラミックス部材は直方体形状のブロックに区画されているが、必ずしも直方体形状に限られるものではない。例えば、断面が平行四辺形となる斜方体形状でもよい。斜方体形状のブロックは、シート積層体を切断する工程において、シート積層体上面に斜め方向に切断することにより実現可能である。
(2)実施の形態では波長変換材料として蛍光体を用いているが一般的な蛍光体の他にも、半導体、金属錯体、有機染料、顔料など、ある波長の光を吸収し吸収した光とは異なる波長の光を発する物質を含んでいる材料であれば特に限定することなく本発明に用いることが可能である。
(3)実施の形態では半導体発光素子としてLED素子を用いているが本発明はこれに限られない。例えば発光トランジスタや半導体レーザなどでも利用可能である。
(4)実施の形態では青色発光ダイオードと黄色蛍光体との組み合わせにより白色光を得ることとしているが、これに限らず、紫外線発光ダイオードと三原色(赤色、緑色、青色)を発光する各蛍光体との組み合わせとしてもよい。
(5)実施の形態1ではプレート状のセラミックス部材は複数の同一寸法のブロックに区画されていることとしているが、本発明はこれに限られない。未焼成シートのシート成形工程においてスラリーの薄膜の膜厚を適宜調整することにより、異なる厚みをもつ未焼成シートを成形することができる。このようにして成形された厚みの異なる未焼成シートを用いることで、異なる寸法のブロックに区画されたプレート状のセラミックス部材を実現することができる。
本発明は、例えば、LEDを用いた白色光源に利用可能である。
本発明の実施の形態1に係るLED光源の構成を模式的に示す断面図 本発明の実施の形態1に係るプレート状のセラミックス部材の構成を模式的に示す斜視図 本発明の実施の形態1に係るプレート状のセラミックス部材の構成を模式的に示す斜視図 本発明の実施の形態1に係るプレート状のセラミックス部材の構成を模式的に示す斜視図 本発明の実施の形態1に係るプレート状のセラミックス部材の構成を模式的に示す斜視図 本発明の実施の形態1に係るプレート状のセラミックス部材の構成を模式的に示す斜視図 本発明の実施の形態1に係るプレート状のセラミックス部材の構成を模式的に示す斜視図 本発明の実施の形態1に係るプレート状のセラミックス部材の構成を模式的に示す斜視図 本発明の実施の形態1に係るプレート状のセラミックス部材の構成を模式的に示す斜視図 本発明の実施の形態1に係るプレート状のセラミックス部材の構成を模式的に示す斜視図 本発明の実施の形態1に係るプレート状のセラミックス部材の構成を模式的に示す斜視図 本発明の実施の形態1に係るプレート状のセラミックス部材の製造方法のフローを示す図 シート成形工程(ステップS12、S14)の様子を模式的に示す図 積層工程(ステップS15)の様子を模式的に示す図 積層体切断工程(ステップS16)の様子を模式的に示す図 積層体切断工程(ステップS16)の様子を模式的に示す図 積層工程(ステップS15)の様子を模式的に示す図 積層体切断工程(ステップS16)の様子を模式的に示す図 検証システムの構成を模式的に示す断面図 検証システムの構成を模式的に示す断面図 プレートの放熱特性の検証結果およびサンプルの構成を説明するための図 プレート表面の発光色むらの検証結果およびサンプルの構成を説明するための図 サンプル間の色合いのばらつきの検証結果を説明するための図 本発明の実施の形態2に係るLED光源の構成を模式的に示す断面図 本発明の実施の形態2に係るプレート状のセラミックス部材の構成を模式的に示す斜視図 本発明の実施の形態2に係るプレート状のセラミックス部材の構成を模式的に示す斜視図 本発明の実施の形態2に係るプレート状のセラミックス部材の構成を模式的に示す斜視図 本発明の実施の形態2に係るプレート状のセラミックス部材の構成を模式的に示す斜視図 本発明の実施の形態2に係るプレート状のセラミックス部材の構成を模式的に示す斜視図 本発明の実施の形態2に係るプレート状のセラミックス部材の製造方法のフローを示す図 スティック成形工程(ステップS33)の様子を模式的に示す図 スティック成形工程(ステップS33)の様子を模式的に示す図 スティック切断工程(ステップS34)の様子を模式的に示す図 本発明の実施の形態2に係るプレート状のセラミックス部材の製造方法のフローを示す図 印刷工程(ステップS54)以降の工程の様子を模式的に示す図 検証システムの構成を模式的に示す断面図 プレートの放熱特性の検証結果およびサンプルの構成を説明するための図 蛍光体温度および発光ピーク高さの関係を示す図 本発明の実施の形態1に係るLED光源の変形例を模式的に示す断面図 光学部材67の構造を例示する図 本発明の実施の形態2に係るプレート状のセラミックス部材の変形例を示す図 本発明の実施の形態2に係るLED光源の変形例を模式的に示す断面図 本発明の実施の形態2に係るLED光源の変形例を模式的に示す断面図 光学部材87の構造を例示する図 本発明の実施の形態2に係るプレート状のセラミックス部材の変形例を示す断面図 本発明の実施の形態に係る表示装置の主要部分の分解斜視図
符号の説明
10、60、80 LED光源
11、61、81 パッケージ基台
12、62、82 配線パターン
13、63、83 LED素子
14、64、84 透光性材料
15、65、85 プレート状のセラミックス部材
15a、15b、15c、15d ブロック
15e、15f、15g、15h ブロック
15i、15j、15k、15l ブロック
15m、81m、83m、85m 金属層
21 ダイコーター
22 乾燥設備
23 支持板
24 発泡シート
25 精密切断機
26 押し出し成型機
27 印刷板
28 スキージ
29 グラインダ
30 ダイシングソー
31 スラリーの薄膜
32、34、36、43、45、47 ベースフィルム
33、35、37、40、42、44、46、49、75 未焼成シート
36、48 シート積層体
38、41 未焼成セラミックス構造体
61 基台
66 ワイヤ
67 光学部材
71、72 ビレット
73 棒状の未焼成成形体
74 プレート状の未焼成成形体
76 スラリー
90 金属部材
91 表示装置
92 基板
93 反射板
94 レンズ板

Claims (31)

  1. 半導体発光素子から発された光の波長を変換する半導体発光装置用セラミックス部材であって、
    二種類以上のセラミックス素材から構成され、複数のブロックに区画されているとともに、それぞれのブロックは前記二種類以上のセラミックス素材の中からそれぞれ選択された一種類のセラミックス素材からなり、
    前記二種類以上のセラミックス素材のうちの少なくとも一種類のセラミックス素材は、光の波長を変換する波長変換材料を含有すること
    を特徴とする半導体発光装置用セラミックス部材。
  2. 前記半導体発光装置用セラミックス部材は、幅、奥行き、厚みの三方向のうち少なくともひとつの方向に二個以上のブロックが配列されるように区画され、
    それぞれのブロックを構成するセラミックス素材は、二個以上のブロックが配列されている方向のうちの少なくともひとつの方向において、隣接するブロック同士が異なるセラミックス素材からなるように選択されていること
    を特徴とする請求項1に記載の半導体発光装置用セラミックス部材。
  3. それぞれのブロックを構成するセラミックス素材は、二個以上のブロックが配列されている方向のうち少なくともひとつの方向において、前記二種類以上のセラミックス素材が順次繰り返して現れるように選択されていること
    を特徴とする請求項2に記載の半導体発光装置用セラミックス部材。
  4. 前記半導体発光装置用セラミックス部材は、幅および奥行き方向に二個以上のブロックが配列された配列層が、厚み方向に二層以上積層されるように区画され、
    それぞれのブロックを構成するセラミックス素材は、いずれの方向においても、隣接するブロック同士が異なるセラミックス素材からなるように選択されていること
    を特徴とする請求項1に記載の半導体発光装置用セラミックス部材。
  5. 前記半導体発光装置用セラミックス部材は、幅および奥行き方向に二個以上厚み方向に一個のブロックが配列されるように区画され、
    それぞれのブロックを構成するセラミックス素材は、いずれの方向においても、隣接するブロック同士が異なるセラミックス素材からなるように選択されていること
    を特徴とする請求項1に記載の半導体発光装置用セラミックス部材。
  6. 前記半導体発光装置用セラミックス部材は、幅方向に二個以上奥行き方向に一個のブロックが配列された配列層が、厚み方向に二層以上積層されるように区画され、
    それぞれのブロックを構成するセラミックス素材は、いずれの方向においても、隣接するブロック同士が異なるセラミックス素材からなるように選択されていること
    を特徴とする請求項1に記載の半導体発光装置用セラミックス部材。
  7. 前記半導体発光装置用セラミックス部材は、幅方向に二個以上奥行きおよび厚み方向に一個のブロックが配列されるように区画され、
    それぞれのブロックを構成するセラミックス素材は、隣接するブロック同士が異なるセラミックス素材からなるように選択されていること
    を特徴とする請求項1に記載の半導体発光装置用セラミックス部材。
  8. 前記半導体発光装置用セラミックス部材は、幅方向に二個以上奥行き方向に一個のブロックが配列された第一配列層と幅方向に一個奥行き方向に二個以上のブロックが配列された第二配列層とが、厚み方向に交互に二層以上積層されるように区画され、
    前記第一配列層におけるそれぞれのブロックを構成するセラミックス素材は、幅方向において、隣接するブロック同士が異なるセラミックス素材からなるように選択され、
    前記第二配列層におけるそれぞれのブロックを構成するセラミックス素材は、奥行き方向において、隣接するブロック同士が異なるセラミックス素材からなるように選択されていること
    を特徴とする請求項1に記載の半導体発光装置用セラミックス部材。
  9. 前記ブロックの少なくとも一辺の長さが5μm以上100μm以下であること
    を特徴とする請求項1に記載の半導体発光装置用セラミックス部材。
  10. 前記半導体発光装置用セラミックス部材は、厚み方向に二個以上幅および奥行き方向に一個のブロックが配列されるように区画され、
    それぞれのブロックを構成するセラミックス素材は、隣接するブロック同士が異なるセラミックス素材からなるように選択されていること
    を特徴とする請求項1に記載の半導体発光装置用セラミックス部材。
  11. 前記半導体発光装置用セラミックス部材は、一または二以上のブロックが他の一または二以上のブロックを内包するように区画され、
    それぞれのブロックを構成するセラミックス素材は、隣接するブロック同士が異なるセラミックス素材からなるように選択されていること
    を特徴とする請求項1に記載の半導体発光装置用セラミックス部材。
  12. 前記二種類以上のセラミックス素材には、波長変換材料を含有する第一のセラミックス素材と、波長変換材料を含有しない第二のセラミックス素材とが含まれており、
    前記第二のセラミックス素材の熱伝導率は、前記第一のセラミックス素材の熱伝導率よりも高いこと
    を特徴とする請求項1に記載の半導体発光装置用セラミックス部材。
  13. 前記二種類以上のセラミックス素材には、波長変換材料を含有する第一および第二のセラミックス素材が含まれており、
    前記第一のセラミックス素材に含有されている波長変換材料の発光ピーク波長と前記第二のセラミックス素材に含有されている波長変換材料の発光ピーク波長とが異なること
    を特徴とする請求項1に記載の半導体発光装置用セラミックス部材。
  14. 前記半導体発光装置用セラミックス部材は、一または二以上のブロックを含む第一領域と、一または二以上のブロックを含みかつ前記第一領域を囲繞する第二領域とを有し、
    前記第一領域に含まれるブロックはいずれも波長変換材料を含有し、
    前記第二領域に含まれるブロックはいずれも前記第一領域における波長変換材料の含有率よりも低い含有率で波長変換材料を含有する、もしくは、いずれも波長変換材料を含有しないこと
    を特徴とする請求項1に記載の半導体発光装置用セラミックス部材。
  15. 前記第二領域に含まれるブロックはいずれも透光性材料から構成されていること
    を特徴とする請求項14に記載の半導体発光装置用セラミックス部材。
  16. 前記半導体発光装置用セラミックス部材は、特定の波長の光が入射されたとき、前記第一領域にのみ発熱があること
    を特徴とする請求項14に記載の半導体発光装置用セラミックス部材。
  17. 光の波長を変換する波長変換材料を含有するセラミックス素材を少なくとも一種類含む二種類以上のセラミックス素材から構成された半導体発光装置用セラミックス部材の製造方法であって、
    前記二種類以上のセラミックス素材の種類毎に、セラミックス素材の未焼成シートを用意する第1工程と、
    前記第1工程において用意された二種類以上のセラミックス素材の未焼成シートを積層してシート積層体を形成する第2工程と、
    前記第2工程において得られたシート積層体を、前記シート積層体上面に対して垂直または斜め方向に薄切りして、各種類のセラミックス素材からなるブロックが前記第2工程において積層された順番に配列されてなる未焼成シートを形成する第3工程と、
    前記第3工程において得られた未焼成シートを用いて、目的とするセラミックス部材の構造に対応する未焼成セラミックス構造体を形成する第4工程と、
    前記第4工程において得られた未焼成セラミックス構造体を焼成する第5工程と
    を含むことを特徴とする半導体発光装置用セラミックス部材の製造方法。
  18. 前記第4工程において、前記第3工程において得られた未焼成シートを、隣接するブロック同士が異なるセラミックス素材からなるように積層してシート積層体を形成し、得られたシート積層体を前記未焼成セラミックス構造体とすること
    を特徴とする請求項17に記載の半導体発光装置用セラミックス部材の製造方法。
  19. 前記第4工程は、
    前記第3工程において得られた未焼成シートを、隣接するブロック同士が異なるセラミックス素材からなるように積層してシート積層体を形成する第1サブ工程と、
    前記第1サブ工程において得られたシート積層体を、前記シート積層体上面に垂直または斜め方向に前記シート積層体を薄切りして、各種類のセラミックス素材からなるブロックが第一の方向には前記第2工程において積層された順番に配列され第二の方向には前記第1サブ工程において積層された順番に配列されてなる未焼成シートを形成する第2サブ工程と、
    前記2サブ工程において得られた未焼成シートを、隣接するブロック同士が異なるセラミックス素材からなるように積層してシート積層体を形成し、得られたシート積層体を前記未焼成セラミックス構造体とする第3サブ工程と
    を含むことを特徴とする請求項17に記載の半導体発光装置用セラミックス部材の製造方法。
  20. 前記第1工程において用意される未焼成シートの厚みは、5μm以上1mm以下であること
    を特徴とする請求項17に記載の半導体発光装置用セラミックス部材の製造方法。
  21. 光の波長を変換する波長変換材料を含有するセラミックス素材を少なくとも一種類含む二種類以上のセラミックス素材から構成された半導体発光装置用セラミックス部材の製造方法であって、
    前記二種類以上のセラミックス素材の中から選択された二つのセラミックス素材のそれぞれのビレットを作製する第1工程と、
    前記第1工程において得られた二つのビレットのうちの一方のビレットを芯材とし、他方のビレットを被覆材として、前記二つのビレットから構成された棒状の未焼成成形体を形成する第2工程と、
    前記第2工程において得られた棒状の未焼成成形体を、長手方向に対して垂直に薄切りして、前記二つのビレットから構成されたプレート状の未焼成成形体を形成する第3工程と、
    前記第3工程において得られたプレート状の未焼成成形体を用いて、目的とするセラミックス部材の構造に対応する未焼成セラミックス構造体を形成する第4工程と、
    前記第4工程において得られた未焼成セラミックス構造体を焼成する第5工程と
    を含むことを特徴とする半導体発光装置用セラミックス部材の製造方法。
  22. 前記第2工程では、押し出し成型機を用いて前記二つのビレットを棒状に成形し、その後、乾燥設備を用いて棒状に成形された成形体を乾燥させることにより、前記棒状の未焼成成形体を得ること
    を特徴とする請求項21に記載の半導体発光装置用セラミックス部材の製造方法。
  23. 前記第2工程では、前記二つのビレットのうちの一方のビレットから固形の芯材を形成し、さらに、押し出し成型機を用いて前記固形の芯材に前記二つのビレットのうちの他方のビレットを被覆させて棒状に成形し、その後、乾燥設備を用いて棒状に成形された成形体を乾燥させることにより、前記棒状の未焼成成形体を得ること
    を特徴とする請求項21に記載の半導体発光装置用セラミックス部材の製造方法。
  24. さらに、前記第5工程において得られたセラミックス構造体の片面または両面を、グラインダを用いて研磨する第6工程を含むこと
    を特徴とする請求項21に記載の半導体発光装置用セラミックス部材の製造方法。
  25. 基台に実装された半導体発光素子と、
    前記半導体発光素子の光の照射方向に配設された、請求項1に記載のセラミックス部材と
    を備えることを特徴とする半導体発光装置。
  26. 基台と、基台に実装された半導体発光素子と、請求項14に記載のセラミックス部材とを備え、
    前記セラミックス部材は、前記第一領域が前記半導体発光素子の光の照射方向に配されるとともに前記第二領域が前記基台に接合されるように配設されていること
    を特徴とする半導体発光装置。
  27. 前記セラミックス部材は、プレート状の形状を有し前記半導体発光素子の発光面に対向配置されており、
    前記セラミックス部材を前記半導体発光素子の光の照射方向からみたとき、前記セラミックス部材の第一領域は、前記半導体発光素子の発光面に相当する領域を下限とし、前記セラミックス部材の厚みに相当する長さだけ前記セラミックス部材の光の照射領域を外縁方向に拡張した領域を上限とする範囲内の領域を占めていること
    を特徴とする請求項26に記載の半導体発光装置。
  28. 前記基台は有底筒状の形状を有し、前記半導体発光素子は前記基台の筒内の底部に実装され、前記セラミックス部材はプレート状の形状を有し前記有底筒状の基台の開口部を塞ぐように配設されており、
    前記セラミックス部材を前記半導体発光素子の光の照射方向からみたとき、前記セラミックス部材の第一領域は、前記基台の開口部に相当する領域を下限とし、前記セラミックス部材の厚みに相当する長さだけ前記基台の開口部に相当する領域を外縁方向に拡張した領域を上限とする範囲内の領域を占めていること
    を特徴とする請求項26に記載の半導体発光装置。
  29. 前記セラミックス部材の第二領域は前記基台に金属材料により接合されていること
    を特徴とする請求項26に記載の半導体発光装置。
  30. 前記半導体発光装置は、さらに、前記セラミックス部材の表面に設けられた光学部材を備えること
    を特徴とする請求項25または請求項26に記載の半導体発光装置。
  31. 請求項25または請求項26に記載の半導体発光装置を用いたことを特徴とする表示装置。
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