JP2009121454A - ４バルブダイヤフラムポンプ - Google Patents

Abstract

【課題】ダイヤフラムの上下のポンプ室と単一の吸入ポート間の一対の吸入側流路と、一対のポンプ室と単一の吐出ポートとの間の一対の吐出側流路に、それぞれ逆止弁を設けた４バルブダイヤフラムポンプを、簡易な構造で実現する。
【解決手段】
ダイヤフラムを挟着する一対のハウジングにはそれぞれ、ポンプ室を形成する凹部に連通する吸入側流路と吐出側流路を形成し、吸入ポートと吐出ポートは一対のハウジングの一方に設け、吸入ポートと吐出ポートを有しない無ポートハウジングには、自身の吸入側流路と吐出側流路に斜めに交差する無ポート側吸入接続斜面と吐出接続斜面を形成し、有ポートハウジングには、自身の吸入側流路と吐出側流路と連通する吸入流路突起と吐出流路突起を設け、この吸入流路突起と吐出流路突起の先端に、無ポート側吸入接続斜面と吐出側接続斜面に突き合わされる有ポート側吸入接続斜面と吐出接続斜面を形成した。
【選択図】図２

Description

本発明は、振動するダイヤフラムによってポンプ作用を得るダイヤフラムポンプに関し、特にダイヤフラムの表裏にそれぞれポンプ室を形成し、各ポンプ室に一対の逆止弁を設けた４バルブダイヤフラムポンプに関する。

４バルブダイヤフラムポンプは、ダイヤフラムの表裏（上下）にそれぞれポンプ室を形成する一方、単一の吸入ポートと、単一の吐出ポートを設け、一対のポンプ室と吸入ポートとの間にそれぞれ該吸入ポートから該一対のポンプ室への流体流を許容しその逆方向の流体流を許さない第一、第二の吸入側逆止弁を設け、一対のポンプ室と吐出ポートとの間にそれぞれ該一対のポンプ室から吐出ポートへの流体流を許容しその逆方向の流体流を許さない第一、第二の吐出側逆止弁を設けたものである（特許文献２）。

この４バルブダイヤフラムポンプは、ダイヤフラムを振動させると、一対のポンプ室の一方の容積が拡大して他方の容積が縮小することから、ダイヤフラムが正逆いずれに振動するときでも、一対の逆止弁の一方が閉じて他方が開く動作を繰り返し、ポンプ作用が得られる。ダイヤフラムの表裏の一方のみにポンプ室を設ける２バルブダイヤフラムポンプに比して、脈動の周期を半分にした高効率化（高流量化）が可能である。
特開平1-318772号公報 特開2005-337068号公報 特開2007-071099号公報

このように原理的には優れる４バルブダイヤフラムポンプは、どのようにして簡易な構造で小型化を実現するかが課題であった。

本発明は従って、４バルブダイヤフラムポンプを簡易な構造で小型化を実現することを目的とする。より具体的には、ダイヤフラムを挟着する一対のハウジングを組み立てることで実質的な流路構造を構成できる４バルブダイヤフラムポンプを得ることを目的とする。

本発明は、ダイヤフラムの上下にそれぞれポンプ室を形成し、該一対のポンプ室と単一の吸入ポートとの間にそれぞれ該吸入ポートから該一対のポンプ室への流体流を許容しその逆方向の流体流を許さない第一、第二の吸入側逆止弁を設け、上記一対のポンプ室と単一の吐出ポートとの間にそれぞれ該一対のポンプ室から吐出ポートへの流体流を許容しその逆方向の流体流を許さない第一、第二の吐出側逆止弁を設け、ダイヤフラムを振動させてポンプ作用を得る４バルブダイヤフラムポンプにおいて、ダイヤフラムを挟着する一対のハウジングにはそれぞれ、一対のポンプ室の一方を形成する凹部と、該凹部に連通する吸入側流路と吐出側流路が形成されていること；吸入ポートは一対のハウジングのいずれか一方に備えられていて、自身の吸入側流路に連通していること；吐出ポートは一対のハウジングのいずれか一方に備えられていて、自身の吐出側流路に連通していること；吸入ポートを有しない無ポートハウジングには、自身の吸入側流路と斜めに交差し、該吸入側流路が開口する無ポート側吸入接続斜面が形成されていること；吸入ポートを有する有ポートハウジングには、自身の吸入側流路と連通する吸入接続流路を有する吸入流路突起が備えられていて、この吸入流路突起の先端に、無ポート側吸入接続斜面にシール部材を介して突き合わされて該吸入接続流路を無ポートハウジングの吸入側流路に連通させる有ポート側吸入接続斜面が形成されていること；吐出ポートを有しない無ポートハウジングには、自身の吐出側流路と斜めに交差し、該吐出側流路が開口する無ポート側吐出接続斜面が形成されていること；及び吐出ポートを有する有ポートハウジングには、自身の吐出側流路と連通する吐出接続流路を有する吐出流路突起が備えられていて、この吐出流路突起の先端に、無ポート側吐出接続斜面にシール部材を介して突き合わされて該吐出接続流路を無ポートハウジングの吐出側流路に連通させる有ポート側吐出接続斜面が形成されていること；を特徴としている。

具体的な第一の態様では、一対のハウジングに形成された吸入側流路と吐出側流路は、該ハウジングの外面に開口する吸入側外部開口穴と吐出側外部開口穴から構成し、有ポートハウジングの吸入流路突起と吐出流路突起は筒状に形成し、無ポートハウジングには、この吸入流路突起と吐出流路突起を嵌合させ、吸入側外部開口穴と吐出側外部開口穴にそれぞれ連通する吸入接続穴と吐出接続穴を形成し、記吸入流路突起と吸入接続穴に有ポート側吸入接続斜面と無ポート側吸入接続斜面を形成し、吐出流路突起と吐出接続穴に有ポート側吐出接続斜面と無ポート側吐出接続斜面を形成する。

さらに具体的には、吸入側と吐出側の筒状流路突起には、太径部と、この太径部の上部に位置する細径部とを設けて、この太径部と細径部を分ける部分に、軸線に対して直交しない上記有ポート側の吸入接続斜面と吐出接続斜面を形成し、吸入側と吐出側の外部開口穴には、大径穴と、この大径穴より内側に位置する小径穴とを設けて、この大径穴と小径穴の境界部分に、吸入側と吐出側の接続穴が連通する、有ポート側の吸入接続斜面と吐出接続斜面に対応する軸線に対して直交しない無ポート側の吸入側接続斜面と吐出側接続斜面を形成する。

具体的な別の態様では、無ポートハウジングには、吸入側流路と吐出側流路の端部が開口する無ポート側の吸入接続斜面と吐出接続斜面を形成し、有ポートハウジングに形成された吸入流路突起と吐出流路突起の先端部に、無ポートハウジングの無ポート側吸入接続斜面と無ポート側吐出接続斜面に対向する、有ポート側吸入接続斜面と有ポート側吸入接続斜面を形成する。

吸入ポートと吐出ポートは、一対のハウジングのいずれか一方に双方を設けることができる。あるいは、同吸入ポートと吐出ポートを一対のハウジングの一方と他方に設ける態様も可能である。

量産品では、一対のハウジングは、ともに合成樹脂材料の成形品から形成するのがよい。

ダイヤフラムは、具体的には、導電性金属薄板からなる少なくとも一枚のシムと少なくとも一層の圧電体層との交互積層構造を有する圧電振動子から構成すると、薄型の４バルブダイヤフラムポンプを得ることができる。

本発明によれば、ダイヤフラムを挟着する一対のハウジングを重ね合わせ、吸入ポート（吐出ポート）を有しない無ポートハウジングの無ポート側吸入接続斜面（無ポート側吐出接続斜面）と、吸入ポート（吐出ポート）を有する有ポートハウジングの有ポート側吸入接続斜面（有ポート側吐出接続斜面）とを対向させて両斜面の間に、シール部材を介して突き合わせるという簡単な構成で、４バルブダイヤフラムポンプを得ることができる。

最初に、図８について、４バルブダイヤフラムポンプの動作原理を説明する。このダイヤフラムポンプは、アッパハウジング１０、ロアハウジング２０、圧電振動子（ダイヤフラム）３０、及び４つのアンブレラ（逆止弁）１１、１２、２１、２２を基本的な構成要素としている。アッパハウジング１０と圧電振動子３０の間、及びロアハウジング２０と圧電振動子３０の間にはそれぞれ、アッパポンプ室（可変容積室）１３とロアポンプ室（可変容積室）２３が形成されている。単一の吸入ポート３１は、吸入側流路１４Ｈと２４Ｈに連通しており、吸入側流路１４Ｈは吸入側逆止弁１１を介してアッパポンプ室１３に連通し、吸入側流路２４Ｈは吸入側逆止弁２１を介してロアポンプ室２３に連通している。また、単一の吐出ポート３２は、吐出側流路１５Ｄと２５Ｄに連通しており、吐出側流路１５Ｄは吐出側逆止弁１２を介してアッパポンプ室１３に連通し、吐出側流路２５Ｄは吐出側逆止弁２２を介してロアポンプ室２３に連通している。

この４バルブダイヤフラムポンプは、圧電振動子３０が正逆に弾性変形（振動）すると、アッパポンプ室１３とロアポンプ室２３のいずれか一方の容積が増大し他方の容積が減少する。アッパポンプ室１３の容積が増大する行程はロアポンプ室２３の容積が減少する行程であり、アッパポンプ室１３の容積が増大するから吸入側逆止弁１１が開いて吸入ポート３１からアッパポンプ室１３内に流体が流入し、ロアポンプ室２３の容積が減少するからロアポンプ室２３内の流体が吐出側逆止弁２２を開いて吐出ポート３２に流出する（図８（Ｂ））。逆にアッパポンプ室１３の容積が減少する行程はロアポンプ室２３の容積が増大する行程であり、ロアポンプ室２３の容積が増大するから吸入側逆止弁２１が開いて吸入ポート３１からロアポンプ室２３内に流体が流入し、アッパポンプ室１３の容積が減少するからアッパポンプ室１３内の流体が吐出側逆止弁１２を開いて吐出ポート３２に流出する（図８（Ａ））。従って、吐出ポート３２における脈動の周期を短くする（圧電振動子３０の上下の一方のみにポンプ室が形成される場合に比して半分にする）ことができる。

本実施形態は、以上の動作原理の４バルブダイヤフラムポンプを簡易な構造で実現するものであり、図１ないし図４は、その第一の実施形態を示している。図１ないし図４では、図８と共通の構成要素には同一の符号を付している。

図１、図２は、本４バルブダイヤフラムポンプの第一の実施形態の全体構造を示している。合成樹脂材料の成形品からハウジングは、吸入ポート３１と吐出ポート３２を有する有ポートハウジング１０と、これらのポートを有しない無ポートハウジング２０からなっている。有ポートハウジング１０には、ポンプ室１３を形成する凹部１３ａと、この凹部１３ａに連通する吸入側外部開口穴１６と吐出側外部開口穴１７が形成されている。この吸入側外部開口穴１６と吐出側外部開口穴１７は、図８の吸入側流路１４Ｈと吐出側流路１５Ｄを構成するもので、有ポートハウジング１０の外面に開口し、かつその開口端が吸入ポート３１と吐出ポート３２を構成している。

無ポートハウジング２０には、ポンプ室２３を形成する凹部２３ａと、この凹部２３ａに連通する吸入側外部開口穴２６と吐出側外部開口穴２７が形成されている。この吸入側外部開口穴２６と吐出側外部開口穴２７は、図８の吸入側流路２４Ｈと吐出側流路２５Ｄを構成するもので、無ポートハウジング２０の外面に開口している。

逆止弁１１と１２は、吸入側外部開口穴１６と吐出側外部開口穴１７の凹部１３ａ側の端部に設けられ、逆止弁２１と２２は、吸入側外部開口穴２６と吐出側外部開口穴２７の凹部２３ａ側の端部に設けられている。図示実施形態の逆止弁１１、１２、２１、２２は、同一の形態のアンブレラバルブであり、流路に接着もしくは溶着固定される穴あき基板１１ａ、１２ａ、２１ａ、２２ａに、弾性材料からなるアンブレラ１１ｂ、１２ｂ、２２ｂ、２３ｂを装着してなっている。穴あき基板１１ａ、１２ａ及び穴あき基板２１ａ、２２ａはそれぞれ一体化されて形成されていても良い。

圧電振動子３０は、有ポートハウジング１０と無ポートハウジング２０の間に、Ｏリング３３、３４を介して液密に挟着保持され、凹部１３ａとの間にポンプ室１３を構成し、凹部２３ａとの間にポンプ室２３を構成する。圧電振動子３０は、交番電界を与えることにより正逆（上下）に振動する周知のものであり、本実施形態は、圧電振動子３０の構成の如何は問わない。例えばユニモルフ、バイモルフのいずれのタイプでもよい。

以上の有ポートハウジング１０の外部開口穴１６（吸入側流路１４Ｈ）と無ポートハウジング２０の外部開口穴２６（吸入側流路２４Ｈ）は、図２に示すように、有ポートハウジング１０に一体に形成した吸入側筒状流路突起４３Ｈと、無ポートハウジング２０に形成した吸入側接続穴４２Ｈとによって連通し、有ポートハウジング１０の外部開口穴１７（吐出側流路１５Ｄ）と無ポートハウジング２０の外部開口穴２７（吐出側流路２５Ｄ）は、有ポートハウジング１０に一体に形成した吐出側筒状流路突起４３Ｄと、無ポートハウジング２０に形成した吐出側接続穴４２Ｄとによって連通している。すなわち、吸入側筒状流路突起４３Ｈと吸入側接続穴４２Ｈは相互に嵌合関係となって外部開口穴１６と２６（吸入側流路１４Ｈと２４Ｈ）を連通させ、吐出側筒状流路突起４３Ｄと吐出側接続穴４２Ｄは相互に嵌合関係となって外部開口穴１７と２７（吐出側流路１５Ｄと２５Ｄ）を連通させる。この筒状流路突起４３Ｈ（４３Ｄ）と接続穴４２Ｈ（４２Ｄ）は、左右対称構造であり、その詳細を図３、図４で説明する。図２と図３では、上下を逆にして示している。

無ポートハウジング２０に形成した外部開口穴２６（２７）は、図３に詳細に示すように、該無ポートハウジング２０の外面に開口する大径穴２６ａ（２７ａ）と、この大径穴２６ａ（２７ａ）より内側に位置する小径穴２６ｂ（２７ｂ）と、この大径穴２６ａ（２７ａ）と小径穴２６ｂ（２７ｂ）の境界に位置する軸線に対して直交しない環状の接続斜面２６ｃ（２７ｃ）とを有している。また、無ポートハウジング２０に形成した接続穴４２Ｈ（４２Ｄ）は、この外部開口穴２６（２７）の接続斜面２６ｃ（２７ｃ）部分に位置させて、該外部開口穴２６（２７）と直交して連通するように形成されている。これらの外部開口穴２６（２７）及び接続穴４２Ｈ（４２Ｄ）は、成形型（抜き型）により無ポートハウジング２０と一体に成形できる。

一方、有ポートハウジング１０に一体に形成した筒状流路突起４３Ｈ（４３Ｄ）は、図３、図４に詳細に示すように、太径部４３ａと、この太径部４３ａの上部に位置する細径部４３ｂと、この太径部４３ａと細径部４３ｂを分ける（の境界を定める）軸線に対して直交しない接続斜面４３ｃとを有し、その軸部に、外部開口穴１６（１７）と連通する吸入接続流路４４Ｈ（吐出接続流路４４Ｄ）が形成されている。この筒状流路突起４３Ｈ（４３Ｄ）も、成形型（抜き型）により有ポートハウジング１０と一体に成形できる。

吸入側筒状流路突起４３Ｈの接続斜面４３ｃと吐出側筒状流路突起４３Ｄの接続斜面４３ｃはそれぞれ、有ポート側の吸入接続斜面と吐出接続斜面である。また、外部開口穴２６の接続斜面２６ｃと、外部開口穴２７の接続斜面２７ｃはそれぞれ、無ポート側の吸入接続斜面と吐出接続斜面である。

外部開口穴２６（２７）の接続斜面２６ｃ（２７ｃ）と筒状流路突起４３Ｈ（４３Ｄ）の接続斜面４３ｃとは対応関係にあり、図示例では、接続斜面２６ｃ（２７ｃ）（接続斜面４３ｃ）は、外部開口穴２６（２７）（筒状流路突起４３Ｈ（４３Ｄ））の軸線に対して４５゜をなしている。この角度は、３０゜〜６０゜程度の範囲で変えることができる。筒状流路突起４３Ｈ（４３Ｄ）の細径部４３ｂの周囲（接続斜面４３ｃの上）には、Ｏリング（シール部材）４６が嵌められており、筒状流路突起４３Ｈ（４３Ｄ）を接続穴４２Ｈ（４２Ｄ）に嵌めると、外部開口穴２６（２７）の接続斜面２６ｃ（２７ｃ）と筒状流路突起４３Ｈ（４３Ｄ）の接続斜面４３ｃとの間に、Ｏリング４６が挟着されて圧縮され、接続流路４４Ｈ（４４Ｄ）によって、外部開口穴１６と２６（外部開口穴１７と２７）が連通する。

従って、本実施形態の４バルブダイヤフラムポンプは、図２のように、有ポートハウジング１０と無ポートハウジング２０を組み合わせ、有ポートハウジング１０の筒状流路突起４３Ｈ（４３Ｄ）を無ポートハウジング２０の接続穴４２Ｈ（４２Ｄ）に嵌めるだけで、外部開口穴２６（２７）の接続斜面２６ｃ（２７ｃ）と筒状流路突起４３Ｈ（４３Ｄ）の接続斜面４３ｃとの間にＯリング４６を圧縮し、接続流路４４Ｈ（４４Ｄ）によって、外部開口穴１６と２６（外部開口穴１７と２７）を連通させ、液密構造を得ることができる。圧電振動子３０を振動させると、図８で説明した動作原理でポンプ作用が得られる。

以上の実施形態では、有ポートハウジング１０の筒状流路突起４３Ｈ（４３Ｄ）を無ポートハウジング２０の接続穴４２Ｈ（４２Ｄ）に嵌めるだけで液密構造を達成できるという利点があるが、例えば外部開口穴２６（２７）の開口端を別の部材によって塞ぐことで液密を保持することも可能であり、この場合には筒状流路突起４３Ｈ（４３Ｄ）と接続穴４２Ｈ（４２Ｄ）の液密を例えばＯリングで確保すればよい。

図５ないし図７は、本発明による４バルブダイヤフラムポンプの第二の実施形態を示している。この実施形態では、ポンプ室２３を形成する凹部２３ａを有する無ポートハウジング２０に、該凹部２３ａに連通する吸入側流路２４Ｈと吐出側流路２５Ｄを形成する一方、この無ポートハウジング２０の端面に、この吸入側流路２４Ｈと吐出側流路２５Ｄの端部が開口する無ポート側の吸入接続斜面１２６ｃと吐出接続斜面１２７ｃを形成している。この吸入接続斜面１２６ｃと吐出接続斜面１２７ｃは、吸入側流路２４Ｈと吐出側流路２５Ｄの軸線に対して傾斜（例えば３０゜程度）している。このような無ポートハウジング２０は、合成樹脂材料により容易に成形することができる。

一方、吸入ポート３１と吐出ポート３２、及びポンプ室１３を形成する凹部１３ａを有する有ポートハウジング１０には、吸入ポート３１に連通する吸入側流路１４Ｈと吐出ポート３２に連通する吐出側流路１５Ｄが形成されている。有ポートハウジング１０にはさらに、この吸入側流路１４Ｈに連通する吸入接続流路１４４Ｈを有する吸入流路突起１４３Ｈと、吐出側流路１５Ｄに連通する吐出接続流路１４４Ｄを有する吐出流路突起１４３Ｄが形成されている。吸入流路突起１４３Ｈと吐出接続流路１４４Ｄは、平面矩形であり、無ポートハウジング２０の吸入接続斜面１２６ｃと吐出接続斜面１２７ｃは、この平面矩形に対応する平面矩形切欠部分に設けられている。また、吸入ポート３１と吐出ポート３２は、第一の実施形態では有ポートハウジング１０の反対側に突出しているのに対し、この第二の実施形態では、同一の側に突出している。

この吸入流路突起１４３Ｈと吐出流路突起１４３Ｄの端面にはそれぞれ、無ポートハウジング２０の吸入接続斜面１２６ｃと吐出接続斜面１２７ｃに対応する吸入側の接続斜面１４３ｃと吐出側の接続斜面１４３ｃが形成されている。この吸入側と吐出側の接続斜面１４３ｃ、１４３ｃにはそれぞれＯリング（シール部材）１４６を挿入する挿入溝１４５が形成されている。このような流路突起１４３Ｈ（１４３Ｄ）を有する有ポートハウジング１０も、成形型（抜き型）によって成形できる。この他の構成は、第一の実施形態と実質的に同一であり、同一の要素には同一の符号を付して説明を省略する。

従って、この実施形態によると、第一の実施形態のような穴軸の嵌め合わせによらず、無ポートハウジング２０の吸入接続斜面１２６ｃと吐出接続斜面１２７ｃに、有ポートハウジング１０の吸入流路突起１４３Ｈと吐出流路突起１４３Ｄのそれぞれの接続斜面１４３ｃを突き合わせ、両接続斜面の間にＯリング１４６を介在させることで、流路構造が完成する。

以上の第一、第二の実施形態では、一対のハウジングの一方（有ポートハウジング１０）に吸入ポート３１と吐出ポート３２の双方を設けたが、他方のハウジング（無ポートハウジング２０）に両ポートを形成してポートを有する有ポートハウジングとしても良く、あるいはハウジング１０とハウジング２０にそれぞれ一つずつのポートを設け、双方のハウジングをポートを有する有ポートハウジングとすることもできる。その際のルールは、吸入側流路突起を有する側の有ポートハウジングに、吸入ポートを設け、吐出側流路突起を有する側の有ポートハウジングに、吐出ポートを設けるというルールである。

以上の実施形態では、ダイヤフラムとして圧電振動子を例示したが、本発明は他の振動するダイヤフラムを用いた液体ポンプに広く適用できるものであり、簡単な構造でかつ、樹脂等の成形により小型の４バルブダイヤフラムポンプを得ることが可能である。

本発明による４バルブダイヤフラムポンプを圧電ポンプに適用した実施形態を示す平面図である。 図１のII-II線に沿う断面図である。 図２のV部拡大断面図である。 （Ａ）、（Ｂ）は、無ポートハウジングから突出させた筒状流路突起の形状例とＯリングの関係を示す、見る方向を変えた斜視図である。 本発明による４バルブダイヤフラムポンプを圧電ポンプに適用した別の実施形態を示す分解斜視図である。 同別の方向から見た分解斜視図である。 図５と図６のVII-VII線に沿う、組立状態の断面図である。 （Ａ）、（Ｂ）は、４バルブダイヤフラムポンプの原理を示すスケルトン図である。

符号の説明

１０ 有ポートハウジング
１１ １２ ２１ ２２ 逆止弁
１３ ポンプ室
１３ａ 凹部
１４Ｈ ２４Ｈ 吸入側流路
１５Ｄ ２５Ｄ 吐出側流路
１６ ２６ 吸入側外部開口穴
１７ ２７ 吐出側外部開口穴
２０ 無ポートハウジング
２３ ポンプ室
２３ａ 凹部
３０ 圧電振動子（ダイヤフラム）
３１ 吸入ポート
３２ 吐出ポート
３３ ３４ Ｏリング
４０ 自由液流路
４０ 外部開口穴
２６ａ ２７ａ 大径穴
２６ｂ ２７ｂ 小径穴
２６ｃ ２７ｃ １２６ｃ １２７ｃ 接続斜面（無ポート側接続斜面）
４２Ｈ ４２Ｄ 接続穴
４３Ｈ ４３Ｄ 筒状流路突起
４３ａ 太径部
４３ｂ 細径部
４３ｃ １４３ｃ 接続斜面（有ポート側接続斜面）
４４Ｈ 吸入接続流路
４４Ｄ 吐出接続流路
１４３Ｈ １４３Ｄ 流路突起
４６ １４６ Ｏリング
１４５ Ｏリング挿入溝

Claims (8)

1. ダイヤフラムの上下にそれぞれポンプ室を形成し、該一対のポンプ室と単一の吸入ポートとの間にそれぞれ該吸入ポートから該一対のポンプ室への流体流を許容しその逆方向の流体流を許さない第一、第二の吸入側逆止弁を設け、上記一対のポンプ室と単一の吐出ポートとの間にそれぞれ該一対のポンプ室から吐出ポートへの流体流を許容しその逆方向の流体流を許さない第一、第二の吐出側逆止弁を設け、ダイヤフラムを振動させてポンプ作用を得る４バルブダイヤフラムポンプにおいて、
   上記ダイヤフラムを挟着する一対のハウジングにはそれぞれ、上記一対のポンプ室の一方を形成する凹部と、該凹部に連通する吸入側流路と吐出側流路が形成されていること；
   上記吸入ポートは一対のハウジングのいずれか一方に備えられていて、自身の吸入側流路に連通していること；
   上記吐出ポートは一対のハウジングのいずれか一方に備えられていて、自身の吐出側流路に連通していること；
   上記吸入ポートを有しない無ポートハウジングには、自身の吸入側流路と斜めに交差し、該吸入側流路が開口する無ポート側吸入接続斜面が形成されていること；
   上記吸入ポートを有する有ポートハウジングには、自身の吸入側流路と連通する吸入接続流路を有する吸入流路突起が備えられていて、この吸入流路突起の先端に、上記無ポート側吸入接続斜面にシール部材を介して突き合わされて該吸入接続流路を上記無ポートハウジングの吸入側流路に連通させる有ポート側吸入接続斜面が形成されていること；
   上記吐出ポートを有しない無ポートハウジングには、自身の吐出側流路と斜めに交差し、該吐出側流路が開口する無ポート側吐出接続斜面が形成されていること；及び
   上記吐出ポートを有する有ポートハウジングには、自身の吐出側流路と連通する吐出接続流路を有する吐出流路突起が備えられていて、この吐出流路突起の先端に、上記無ポート側吐出接続斜面にシール部材を介して突き合わされて該吐出接続流路を上記無ポートハウジングの吐出側流路に連通させる有ポート側吐出接続斜面が形成されていること；
   を特徴とする４バルブダイヤフラムポンプ。
2. 請求項１記載の４バルブダイヤフラムポンプにおいて、一対のハウジングに形成された上記吸入側流路と吐出側流路は、該ハウジングの外面に開口する吸入側外部開口穴と吐出側外部開口穴からなっており、
   上記有ポートハウジングの吸入流路突起と吐出流路突起は筒状をなしており、
   無ポートハウジングには、この吸入流路突起と吐出流路突起を嵌合させ、上記吸入側外部開口穴と吐出側外部開口穴にそれぞれ連通する吸入接続穴と吐出接続穴が形成されており、
   上記吸入流路突起と吸入接続穴に上記有ポート側吸入接続斜面と無ポート側吸入接続斜面が形成されており、
   上記吐出流路突起と吐出接続穴に上記有ポート側吐出接続斜面と無ポート側吐出接続斜面が形成されている４バルブダイヤフラムポンプ。
3. 請求項２記載の４バルブダイヤフラムポンプにおいて、上記吸入側と吐出側の筒状流路突起は、太径部と、この太径部の上部に位置する細径部とを備えていて、この太径部と細径部を分ける部分に、軸線に対して直交しない上記有ポート側の吸入接続斜面と吐出接続斜面が形成されており、
   上記吸入側と吐出側の外部開口穴は、大径穴と、この大径穴より内側に位置する小径穴とを備えていて、この大径穴と小径穴の境界部分に、上記吸入側と吐出側の接続穴が連通する、上記有ポート側の吸入接続斜面と吐出接続斜面に対応する軸線に対して直交しない無ポート側の吸入接続斜面と吐出接続斜面が形成されている４バルブダイヤフラムポンプ。
4. 請求項１記載の４バルブダイヤフラムポンプにおいて、上記無ポートハウジングには、上記吸入側流路と吐出側流路の端部が開口する上記無ポート側の吸入接続斜面と吐出接続斜面が形成されており、
   上記有ポートハウジングに形成された上記吸入流路突起と吐出流路突起の先端部に、無ポートハウジングの上記無ポート側吸入接続斜面と無ポート側吐出接続斜面に対向する、上記有ポート側吸入接続斜面と有ポート側吸入接続斜面が形成されている４バルブダイヤフラムポンプ。
5. 請求項１ないし４のいずれか１項記載の４バルブダイヤフラムポンプにおいて、上記吸入ポートと吐出ポートは、一対のハウジングのいずれか一方に双方が設けられている４バルブダイヤフラムポンプ。
6. 請求項１ないし４のいずれか１項記載の４バルブダイヤフラムポンプにおいて、上記吸入ポートと吐出ポートは、一対のハウジングの一方と他方に設けられている４バルブダイヤフラムポンプ。
7. 請求項１ないし６のいずれか１項記載の４バルブダイヤフラムポンプにおいて、上記一対のハウジングはともに合成樹脂材料の成形品からなっている４バルブダイヤフラムポンプ。
8. 請求項１ないし７のいずれか１項記載の４バルブダイヤフラムポンプにおいて、ダイヤフラムは、導電性金属薄板からなる少なくとも一枚のシムと少なくとも一層の圧電体層との交互積層構造を有する圧電振動子からなる４バルブダイヤフラムポンプ。

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