JP2009113942A

JP2009113942A - 垂直搬送機

Info

Publication number: JP2009113942A
Application number: JP2007289829A
Authority: JP
Inventors: Tetsuya Hashimoto; 徹哉橋本
Original assignee: Hokusho Co Ltd
Current assignee: Hokusho Co Ltd
Priority date: 2007-11-07
Filing date: 2007-11-07
Publication date: 2009-05-28

Abstract

【課題】クリーンルームからクリーンルームへ、個々の物品を汚すことなく、連続的に搬送する垂直搬送機を提供する。
【解決手段】垂直搬送機１は、４個の輪体からなる輪体群に張架される無端条体２０、３０、４０を備え、外装１０内に内装７０を設けることにより、搬送台６０が位置する第１のエリアと、輪体群及び無端条体２０、３０、４０が位置する第２のエリアとに区画される。第１のエリアに清浄な空気を導入すると共に、この空気を第２のエリアを経由して外装１０の周囲に排出させる。
【選択図】図１

Description

本発明は、物品を連続して垂直方向に搬送する垂直搬送機に関し、特に、クリーンルームからクリーンルームへ搬送する垂直搬送機に関する。

半導体の生産設備等のように、生産ラインがクリーンルーム内に設置されることが多くなると共に、これが上下の階に亘ることも多くなっている。このような場合に、上下のクリーンルーム間で物品を搬送する垂直搬送機は、当然クリーンルームと同じ程度に、清浄な状態に保持されなければならない。

このような目的の垂直搬送機として、例えば特許文献１には、上下のクリーンルーム間に防火壁で仕切られた垂直シャフトの中を、クリーンキャレッジが昇降するリフター式の垂直搬送装置が紹介されている。また、特許文献２には、上下のクリーンルーム間に同様の昇降路が設けられ、クリーンルームと同等の清浄度とした籠が昇降するエレベータが紹介されている。

これらの垂直搬送機は、何れも内部をクリーンな状態に保持されたキャレッジ又は籠が、往復して上昇と下降を繰り返すものである。そして、各クリーンルームでは、物品の搬入又は搬出に際してのみ開口部の扉を開いて、停止したキャレッジ又は籠と連通するようになっている。このため、物品の搬送速度を速くすることができないという問題がある。特に、半導体等の生産設備においては、小さな物品を、個々に、高速で搬送することが望まれているのであるが、このような要求に充分な対応ができていない。

これに対して、連続式の垂直搬送機は、例えば、物品を載せる複数の搬送台が連続的に循環して上昇及び下降するものであり、停止させることなく走行させることができる。しかしながら、往復式の場合と比較してクリーンな状態とすべき範囲が広くなり、搬送台の搬送路全体を全てクリーンな状態に保持する必要がある。そして、搬送路には、搬送台を走行させるための輪体や、条体及び駆動源等が含まれるために、汚れやすく、クリーンな状態に保持することが困難であるという問題がある。

特開平０７−１７６５８７号公報特開昭６３−８１８４号公報

したがって、本発明の目的は、クリーンルームからクリーンルームへ物品を垂直方向へ搬送する垂直搬送機であって、個々の物品を、連続的に高速で搬送することが可能な垂直搬送機を提供することである。

上記の課題を解決するために、本発明の請求項１に係る垂直搬送機は、箱型をなす外装の中に、上部２個の輪体及び下部２個の輪体からなる輪体群に張架される無端条体を複数備え、前記無端条体に保持される複数の搬送台が前記外装内を循環して上昇及び下降する垂直搬送機であって、前記外装内に内装を設けることにより、前記搬送台が位置する第１のエリアと前記輪体群及び前記無端条体が位置する第２のエリアとに区画し、前記第１のエリアに清浄な空気を導入すると共に、該空気が前記第２のエリアを経由して前記外装の周囲に排出される手段を採用している。

また、本発明の請求項２に係る垂直搬送機は、請求項１に記載の垂直搬送機において、前記物品の搬入口及び搬出口において、前記第１のエリアがクリーンルームと直結されている手段を採用している。また、本発明の請求項３に係る垂直搬送機は、請求項１又は２に記載の垂直搬送機において、前記物品の搬入口及び搬出口が、箱型をなす前記外装の同一側に設けられている手段を採用している。また、本発明の請求項４に係る垂直搬送機は、請求項１乃至３の何れかに記載の垂直搬送機において、前記清浄な空気が前記外装の周囲からフィルターを経由して導入される手段を採用している。また、本発明の請求項５に係る垂直搬送機は、請求項１乃至４の何れかに記載の垂直搬送機において、前記無端条体の数が３である手段を採用している。

本発明の垂直搬送機は、上記の手段を採用することにより、クリーンルームからクリーンルームへ物品を垂直方向へ搬送する垂直搬送機であって、個々の物品を、汚すことなく、連続的に高速で搬送することができる。

以下、本発明を図１〜図５に示す実施例により説明するが、これらの図は本願発明を何ら限定するものではない。図１は本発明の垂直搬送機１の概略斜視図を示し、図２はその一横断面を示す概略断面図である。

本発明の垂直搬送機１は、箱型をなす外装１０の中に、上部２個及び下部２個の輪体からなる輪体群に張架される無端条体を複数備えている。すなわち、この垂直搬送機１は、３つの無端条体２０、３０、４０を備え、第１の無端条体２０は、４個の輪体２１、２２、２３、２４からなる輪体群に張架され、第２の無端条体３０は、４個の輪体３１、３２、３３、３４からなる輪体群に張架され、第３の無端条体４０は、４個の輪体４１、４２、４３、４４からなる輪体群に張架されている。

３つの無端条体２０、３０、４０には、複数の搬送台６０が保持されている。そして、駆動装置８０によって一部の輪体（例えば、２２、３２、４１）を回転させることにより、無端条体２０、３０、４０が走行し、搬送台６０が外装１０内を循環するように、連続して上昇及び下降することになる。

各搬送台６０は、取付部品６１によって第１の無端条体２０に取り付けられている。また、各搬送台６０は、取付部品６２によって第２の無端条体３０に取り付けられると共に、取付部品６２と一体に形成された接続部品６３によって第３の無端条体４０に取り付けられている。すなわち、搬送台６０と接続部品６３とは一体化されており、全体を３つの無端条体２０、３０、４０に保持されているので、常に水平な状態が保たれるようになっている。

本発明の垂直搬送機１は、外装１０の内部に内装７０を設けることにより２つのエリアに区画することを特徴としている。第１のエリア９１には搬送台６０が位置するようにし、第２のエリア９２には無端条体２０、３０、４０及びこれを張架する輪体群が位置するようにする。

図３は、図２におけるＡ―Ａ矢視を示し、第２のエリア９２内に、第１の無端条体２０及びこれを張架する輪体２１、２２、２３、２４が位置していることを示している。また、図４は、図２におけるＢ―Ｂ矢視を示し、第１のエリア９１内に、複数の搬送台６０が位置していることを示している。また、図５は、図２におけるＣ―Ｃ矢視を示し、第２のエリア９２内に、第２の無端条体３０及びこれを張架する輪体３１、３２、３３、３４が位置していると共に、第３の無端条体４０及びこれを張架する輪体４１、４２、４３、４４が位置していることを示している。

内装７０には、取付部品６１及び取付部品６２の走行路に一致するスリット状の開口７１及び開口７２が設けられている。すなわち、第１のエリア９１及び第２のエリア９２は、開口７１、７２によって連通している。また、外装１０についても、適宜開口が設けられており、その内外が連通するようになっている。

本発明の垂直搬送機１は、第１のエリア９１をクリーンルームと同等の清浄度とする。このために、第１のエリア９１に清浄な空気を導入し、導入された空気が内装７０の開口７１、７２を通って第２のエリア９２に流入し、その後外装１０の周囲に排出されるようにしている。開口７１、７２が隙間の狭いスリット状であること、及び第２のエリア９２が比較的狭い空間であることから、空気の流れは乱れを生じることなく、第１のエリア９１から第２のエリア９２に向けて、確実に流れるようにすることができる。

清浄な空気としては、例えば、ファンフィルターユニット（ＦＦＵ）を通過させた空気である。そして、ファンフィルターユニット９０は、図に示すように、外装１０の一部に取り付けることが好ましい。必要に応じて、複数のファンフィルターユニット９０を設けても良い。その他、清浄な空気が得られれば、どのような装置でも使用することができる。

第１のエリア９１は、開口部７３を介して、各階のクリーンルームと直結されている。開口部７３は、各階において、物品の搬入口及び／又は搬出口を構成することになる。垂直搬送機１への物品の搬入は、通常搬送台６０が上昇する側で行われ、垂直搬送機１からの物品の搬出は、通常搬送台６０が下降する側で行われる。

また、同一階において、搬入口及び搬出口となる二つの開口部７３を備えることもできる。搬入口と搬出口との位置関係は、搬送機の構造によって決まるが、外装１０の同一側に設けることが好ましい。このようにすると、同一階に二つの開口部７３を設けた場合に、二つが同一面に並ぶことになるので、レイアウト上好ましい。この場合、各開口部７３に開閉扉を設けて、使用しない開口部７３を閉鎖するようにしても良い。

通常、外装１０の周囲は大気圧であり、クリーンルーム及び第１のエリア９１は正圧に保持されることになる。そして、第１のエリア９１には、ファンフィルタユニット９０によって清浄な空気が導入され、第２のエリア９２を経由して外装１０の周囲に排出されるので、第１のエリア９１はクリーンルームと同等の清浄度に保たれる。

なお、外装１０が防火壁で仕切られたシャフト内に設置される場合等においては、シャフト内を排気することにより外装１０の周囲を負圧とし、第１のエリア９１に導入された清浄な空気が、第２のエリア９２を経由して外装１０の周囲に排出されるようにすることもできる。

以上の説明では、無端条体の数が３である場合を示したが、３以外の数である場合も全く同様に、搬送台６０が位置する第１のエリア９１と、条体及び輪体が位置する第２のエリア９２とに区画することができる。そして、搬送台６０が位置する第１のエリア９１は、常にクリーンルームと同等の清浄度に保つことが可能である。したがって、本発明の垂直搬送機１は、クリーンルームからクリーンルームへ、個々の物品を汚すことなく、連続的に高速で搬送することができる。

本発明の垂直搬送機の一例を示す概略斜視図である。図１に示す垂直搬送機の概略横断面図である。図２に示すＡ―Ａ矢視における概略縦断面図である。図２に示すＢ―Ｂ矢視における概略縦断面図である。図２に示すＣ―Ｃ矢視における概略縦断面図である。

符号の説明

１垂直搬送機
１０外装
２０、３０、４０無端条体
２１、２２、２３、２４、３１、３２、３３、３４、４１、４２、４３、４４輪体
６０搬送台
６１、６２取付部品
６３接続部品
７０内装
７１、７２開口
７３開口部
８０駆動装置
９０ファンフィルターユニット
９１第１のエリア
９２第２のエリア

Claims

箱型をなす外装の中に、上部２個の輪体及び下部２個の輪体からなる輪体群に張架される無端条体を複数備え、前記無端条体に保持される複数の搬送台が前記外装内を循環して上昇及び下降する垂直搬送機であって、
前記外装内に内装を設けることにより、前記搬送台が位置する第１のエリアと前記輪体群及び前記無端条体が位置する第２のエリアとに区画し、
前記第１のエリアに清浄な空気を導入すると共に、該空気が前記第２のエリアを経由して前記外装の周囲に排出されることを特徴とする垂直搬送機。
前記物品の搬入口及び搬出口において、前記第１のエリアがクリーンルームと直結されていることを特徴とする請求項１に記載の垂直搬送機。
前記物品の搬入口及び搬出口が、箱型をなす前記外装の同一側に設けられていることを特徴とする請求項１又は２に記載の垂直搬送機。
前記清浄な空気が、前記外装の周囲からフィルターを経由して導入されることを特徴とする請求項１乃至３の何れかに記載の垂直搬送機。
前記無端条体の数が３であることを特徴とする請求項１乃至４の何れかに記載の垂直搬送機。