JP2009099927A - Semiconductor device - Google Patents
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Abstract
【課題】平面積を小さくできる半導体装置(IPM)を提供する。
【解決手段】IPM1は、U相出力部2と、V相出力部3と、W相出力部4と、制御部5と、昇圧部6とを備えている。異なる位相を出力する出力部2〜4及び昇圧部6は、積層されている。また、出力部2〜4及び昇圧部6は、制御部5に垂直に立設された状態でネジ(図示略)により一定の間隔を開けて固定されている。
【選択図】図1A semiconductor device (IPM) capable of reducing a plane area is provided.
An IPM includes a U-phase output unit, a V-phase output unit, a W-phase output unit, a control unit, and a boosting unit. The output units 2 to 4 and the boosting unit 6 that output different phases are stacked. Further, the output units 2 to 4 and the booster unit 6 are fixed at a predetermined interval with screws (not shown) in a state of being erected vertically to the control unit 5.
[Selection] Figure 1
Description
本発明は、パワーデバイスと制御回路とを備えたインテリジェントパワーモジュールである半導体装置に関する。 The present invention relates to a semiconductor device that is an intelligent power module including a power device and a control circuit.
従来、IGBT等を含み複数の異なる位相を出力可能な出力部とIGBTのゲート等を制御するための制御回路とが一体的に設けられたパワーモジュールであるIPMが知られている。 2. Description of the Related Art Conventionally, there is known an IPM that is a power module in which an output unit including an IGBT or the like and capable of outputting a plurality of different phases and a control circuit for controlling an IGBT gate or the like are integrally provided.
特許文献1には、一枚の平面状の板部材にU相、V相、W相を出力するためのパワーデバイス(出力部)が配置されたIPMが開示されている。
しかしながら、特許文献1のIPMでは、パワーデバイスが一枚の平面状の板部材に設置されているため、平面積が大きくなるといった課題がある。
However, in the IPM of
本発明は、上述した課題を解決するために創案されたものであり、平面積を小さくできる半導体装置を提供することを目的としている。 The present invention has been made in order to solve the above-described problems, and an object of the present invention is to provide a semiconductor device capable of reducing the plane area.
上記目的を達成するために、請求項1に記載の発明は、第1相を出力する第1出力部と、前記第1出力部に積層されるように配置され、第1相と異なる位相の第2相を出力する第2出力部と、前記出力部を制御する制御部とを備えたことを特徴とする半導体装置である。尚、ここでいう「積層」とは、第1出力部と第2出力部との間の間隔の有無に関係なく、積まれている状態をいう。
In order to achieve the above object, the invention according to
また、請求項2に記載の発明は、前記出力部は、高圧部と、前記高圧部よりも低い電圧を有する電力が供給される低圧部とを備え、前記高圧部と前記低圧部は、積層されていることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置である。
In the invention according to
また、請求項3に記載の発明は、前記高圧部と前記低圧部は、半導体素子を含み、前記高圧部と前記低圧部は、互いの半導体素子が対向するように積層されていることを特徴とする請求項2に記載の半導体装置である。
The invention according to claim 3 is characterized in that the high-voltage part and the low-voltage part include semiconductor elements, and the high-voltage part and the low-pressure part are stacked so that the semiconductor elements face each other. The semiconductor device according to
また、請求項4に記載の発明は、前記高圧部と前記低圧部は、電流が流れる配線及びバスバーを備え、前記高圧部の配線及びバスバーと、前記高圧部の配線及びバスバーとは電流が逆方向に流れる前記低圧部の配線及びバスバーの何れかが並行に配置されていることを特徴とする請求項2または請求項3のいずれか1項に記載の半導体装置である。
According to a fourth aspect of the present invention, the high-voltage unit and the low-voltage unit include a wiring and a bus bar through which a current flows, and the current and the wiring and the bus bar of the high-voltage unit are opposite to the wiring and the bus bar of the high-voltage unit. 4. The semiconductor device according to
また、請求項5に記載の発明は、前記第1出力部と前記第2出力部は、前記制御部に立設されていることを特徴とする請求項1〜請求項4のいずれか1項に記載の半導体装置である。
The invention according to
また、請求項6に記載の発明は、前記第1出力部及び前記第2出力部は、前記制御部と接続するための制御用のバスバーを備え、前記制御用のバスバーは、前記制御部に形成された穴に挿通されていることを特徴とする請求項5に記載の半導体装置である。
According to a sixth aspect of the present invention, the first output unit and the second output unit include a control bus bar for connecting to the control unit, and the control bus bar is connected to the control unit. The semiconductor device according to
また、請求項7に記載の発明は、前記第1出力部及び前記第2出力部は、前記制御部が配置された方向とは異なる方向に熱を伝導させる放熱板を備えていることを特徴とする請求項1〜請求項6のいずれか1項に記載の半導体装置である。
The invention according to claim 7 is characterized in that the first output unit and the second output unit include a heat radiating plate that conducts heat in a direction different from a direction in which the control unit is arranged. A semiconductor device according to any one of
また、請求項8に記載の発明は、前記出力部は、複数の半導体素子と、半導体素子が設けられる配線基板とを備え、前記複数の半導体素子は、基板の両面に配置されていることを特徴とする請求項1〜請求項6のいずれか1項に記載の半導体装置である。
According to an eighth aspect of the present invention, the output unit includes a plurality of semiconductor elements and a wiring board on which the semiconductor elements are provided, and the plurality of semiconductor elements are disposed on both sides of the substrate. The semiconductor device according to
また、請求項9に記載の発明は、外部から供給される電圧を調節する電圧調節部を、更に備え、前記各出力部及び前記電圧調節部は、オン・オフ切り換え可能なスイッチングデバイスを有し、前記各出力部及び前記電圧調節部のうち、前記スイッチングデバイスのオン・オフ切り換えの周波数の最も大きいものが積層方向の外側に配置されていることを特徴とする請求項1〜請求項8のいずれか1項に記載の半導体装置である。 The invention according to claim 9 further includes a voltage adjusting unit that adjusts a voltage supplied from the outside, and each of the output units and the voltage adjusting unit has a switching device that can be switched on and off. Of the output units and the voltage adjusting unit, the one having the highest switching frequency of the switching device is disposed outside the stacking direction. It is a semiconductor device given in any 1 paragraph.
また、請求項10に記載の発明は、前記電圧調節部は、前記各出力部よりも前記周波数が大きいことを特徴とする請求項9に記載の半導体装置である。 The invention according to claim 10 is the semiconductor device according to claim 9, wherein the frequency of the voltage adjusting unit is larger than that of each of the output units.
また、請求項11に記載の発明は、前記電圧調節部は、前記各出力部よりも空気の上流側に配置されていることを特徴とする請求項10に記載の半導体装置である。
The invention according to
また、請求項12に記載の発明は、前記電圧調節部は、スイッチングデバイスを有する高圧部と、スイッチングデバイスを有し、前記高圧部に印加される電圧よりも低い電圧が印加される低圧部とを備え、前記電圧調節部の低圧部のスイッチングデバイスのオン・オフ切り換えの周波数は、前記電圧調節部の高圧部のスイッチングデバイスのオン・オフ切り換えの周波数よりも大きく、前記電圧調節部の低圧部は、積層方向の外側に配置されていることを特徴とする請求項9〜請求項11のいずれか1項に記載の半導体装置である。 The voltage regulator may include a high voltage unit having a switching device, a low voltage unit having a switching device, to which a voltage lower than a voltage applied to the high voltage unit is applied. The switching frequency of the switching device of the low voltage part of the voltage regulator is higher than the switching frequency of the switching device of the high voltage part of the voltage regulator, and the low voltage part of the voltage regulator The semiconductor device according to claim 9, wherein the semiconductor device is disposed outside the stacking direction.
また、請求項13に記載の発明は、前記電圧調節部の低圧部は、前記電圧調節部の高圧部よりも空気の流れの上流側に配置されていることを特徴とする請求項12に記載の半導体装置である。
The invention according to
本発明の半導体装置によれば、異なる位相を出力する出力部を積層することにより、平面積を小さくすることができる。 According to the semiconductor device of the present invention, the plane area can be reduced by stacking output units that output different phases.
(第1実施形態)
以下、図面を参照して、本発明を三相式のインテリジェントパワーモジュール(以下、IPM)に適用した第1実施形態について説明する。図1は、第1実施形態によるIPMの全体斜視図である。図2は、図1におけるII−II線に沿った断面図である。図3は、U相出力部の平面図である。図4は、図3におけるIV−IV線に沿った断面図である。図5は、スイッチングデバイスを説明するための斜視図である。図6は、ダイオードを説明するための斜視図である。図7は、IPMの概略回路図である。尚、以下の説明において、図2に示す上下を上下方向とする。
(First embodiment)
A first embodiment in which the present invention is applied to a three-phase intelligent power module (hereinafter, IPM) will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is an overall perspective view of an IPM according to the first embodiment. FIG. 2 is a cross-sectional view taken along the line II-II in FIG. FIG. 3 is a plan view of the U-phase output unit. 4 is a cross-sectional view taken along line IV-IV in FIG. FIG. 5 is a perspective view for explaining the switching device. FIG. 6 is a perspective view for explaining the diode. FIG. 7 is a schematic circuit diagram of the IPM. In the following description, the vertical direction shown in FIG.
図1及び図2に示すように、第1実施形態によるIPM1は、U相出力部2と、V相出力部3と、W相出力部4と、制御部5と、昇圧部6とを備えている。異なる位相を出力する出力部2〜4及び昇圧部6は、積層されている。また、出力部2〜4及び昇圧部6は、制御部5に垂直に立設された状態でネジ(図示略)により一定の間隔を開けて固定されている。
As shown in FIGS. 1 and 2, the
図3及び図4に示すように、U相出力部2は、高圧部11と、低圧部12と、配線基板13と、放熱板14と、7つのバスバー15〜21と、複数のAlワイヤ22と、ケース23とを備えている。
As shown in FIGS. 3 and 4, the
高圧部11には、P側電力供給部から高電圧(正の電圧)を有する直流の電力が供給される。高圧部11は、npn型のIGBT(Insulated Gate Bipolar Transistor)またはMOS(Metal Oxide Semiconductor)トランジスタ等からなるスイッチングデバイス32と、逆流防止用の転流ダイオード(以下、ダイオード)33と、配線基板13上に形成されたAl配線34とを備えている。
The
図5に示すように、スイッチングデバイス32の上面には、ゲート32gと、ソース32sが形成されている。スイッチングデバイス32の下面には、半田を介してAl配線34に接続されるドレイン32dが形成されている。尚、以下の説明において、他のスイッチングデバイスのドレイン、ゲート、ソースを説明する際にも、当該スイッチングデバイスの番号に符号d、g、sを付与して説明する。図3及び図7に示すように、スイッチングデバイス32のドレイン32dは、Al配線34とAlワイヤ22を介してP側電力供給用のバスバー16に接続されている。スイッチングデバイス32のソース32sは、Alワイヤ22を介してU相出力用のバスバー15に接続されている。また、スイッチングデバイス32のソース32sは、昇圧部6へ接続するためのバスバー19にもAlワイヤ22を介して接続されている。スイッチングデバイス32のゲート32gは、Alワイヤ22を介してゲートドライバ接続用のバスバー18に接続されている。
As shown in FIG. 5, a gate 32 g and a
また、スイッチングデバイス32を構成する材料は、特に限定されるものではなく、Si、SiC、GaN、AlN、ダイヤモンド等を用途や目的に応じて適宜変更可能である。例えば、スイッチング損失や電力損失を抑制したい場合には、SiCやGaNが好ましい。尚、SiCは高温(約300℃)で動作させる場合にも有効である。また、高周波で駆動させたい場合には、GaNが好ましい。尚、GaNを採用した場合には、更に、インダクタンス成分(L成分)及び容量成分(C成分)を抑制でき、小型化も可能となる。また、絶縁破壊係数を上げて耐圧を向上させたい場合には、AlNが好ましい。尚、AlNを採用し、配線基板13を同じAlNにより構成した場合には、熱膨張係数の違いに起因する熱応力の発生を抑制できる。また、ダイヤモンドを採用する場合には、上述した材料の物性値を全て越えており、IPM1の小型化を実現し、電力損失やスイッチング損失を大幅に低減することができる。
Moreover, the material which comprises the
ダイオード33は、スイッチングデバイス32に電流が逆流することを防ぐためのものである。図6に示すように、ダイオード33の上面には、アノード33aが形成されている。ダイオード33の下面には、半田を介してAl配線34と接続されるカソード33kが形成されている。尚、以下の説明において、他のダイオードのアノード、カソードを説明する際にも、当該ダイオードの番号に符号a、kを付与して説明する。図3及び図7に示すように、ダイオード33のアノード33aは、Alワイヤ22を介してU相出力用のバスバー15に接続されている。ダイオード33のカソード33kは、Al配線34とAlワイヤ22とを介してP側電力供給用のバスバー16に接続されている。即ち、ダイオード33は、スイッチングデバイス32のソース32sからドレイン32d方向が順方向となるように接続されている。また、ダイオード33を構成する材料は、特に限定されるものではなく、スイッチングデバイス32と同様に、Si、SiC、GaN、AlN、ダイヤモンド等を用途や目的に応じて適宜変更可能である。
The
低圧部12には、P側電力供給部から供給される電力よりも低い電圧(負の電圧)を有する直流の電力がN側電力供給部から供給される。低圧部12は、npn型のIGBTまたはMOS(Metal Oxide Semiconductor)トランジスタ等からなるスイッチングデバイス36と逆流防止用の転流ダイオード(以下、ダイオード)37と、配線基板13上に形成されたAl配線38とを備えている。
The low-
スイッチングデバイス36のドレイン36dは、Al配線38及びAlワイヤ22を介してU相出力用のバスバー15に接続されている。スイッチングデバイス36のソース36sは、Alワイヤ22を介してN側電力供給用のバスバー17に接続されている。また、スイッチングデバイス36のソース36sは、Alワイヤ22を介して昇圧部6に接続するためのバスバー20にも接続されている。スイッチングデバイス36のゲート36gは、ゲートドライバ接続用のバスバー21に接続されている。
The drain 36 d of the
ダイオード37のアノード37aは、Alワイヤ22を介してN側電力供給用のバスバー17に接続されている。ダイオード37のカソード37kは、Al配線38及びAlワイヤ22を介してU相出力用のバスバー15に接続されている。
The anode 37 a of the
配線基板13は、絶縁性のAl2O3、AlN、Si3N4またはSiO2からなる。配線基板13の上面には、Al配線34、38が形成される(DBA(Direct Brazed Aluminum))。Al配線34、38の代わりに、Cu配線を形成してもよい(DBC(Direct Bonding Copper))。一方、配線基板13の下面には、熱伝導性の良い金属(例えば、AlまたはCu等)からなる接合剤(図示略)により放熱板14が接合されている。
The
放熱板14は、配線基板13を介して伝導する高圧部11及び低圧部12から発生した熱を外部へ放熱するためのものである。放熱板14は、絶縁性の配線基板13により高圧部11及び低圧部12と絶縁されている。図2に示すように、放熱板14は、面に垂直な方向S1、即ち、制御部5が配置された方向とは異なる方向S1への熱伝導率が高い熱伝導異方性材料により構成されている。熱伝導異方性材料とは、例えば、方向が揃えられた炭素繊維をアルミニウムに埋設させたもの等を適用することができる。放熱板14の外周部は、接着剤によりケース23の下面に接着される。
The
バスバー15〜21は、ケース23に中央部が埋設されて固定されている。これにより、バスバー15〜21の一端部はケース23の凹部23d側に、他端部がケース23の外側に配置される。バスバー15〜21は、導電性のCuまたはAlにより板状に形成されている。バスバー15は、U相を出力するためのものである。バスバー16は、P側電力を供給するためのものである。バスバー17は、N側電力を供給するためのものである。即ち、バスバー16には、バスバー17とは逆方向の電流が流れる。バスバー18、21は、後述する制御部5のゲートドライブ43、44に接続されている。また、バスバー19、20は、ゲートドライブ43、44を介して昇圧部6に接続されている。
The bus bars 15 to 21 are fixed to the
ケース23は、合成樹脂からなり、長方形の板状に形成されている。ケース23の中央部には、窓23aが形成されている。窓23aには、配線基板13が嵌め込まれる。ケース23には、窓23aよりも一回り大きい凹部23dが形成されている。凹部23dには、高圧部11及び低圧部12等を保護及び絶縁するための保護ゲル24が充填されている。保護ゲル24は、約180℃程度の熱に耐えることができる軟性のシリコン樹脂またはエポキシ樹脂からなる。また、保護ゲル24の上面には、保護ゲル24の漏れを防止するとともに、高圧部11及び低圧部12への熱の伝導を抑制する蓋25が被せられている。
The
V相出力部3及びW相出力部4は、U相出力部2と略同じ構成を有するので異なる点のみ説明する。V相出力部3は、出力用のバスバー15からU相と位相が異なるV相を出力する。W相出力部4は、出力用のバスバー15からU相及びV相と位相が異なるV相を出力する。V相出力部3のバスバー18、21は、制御部5のゲートドライブ45、46に接続されている。また、V相出力部3のバスバー19、20は、ゲートドライブ45、46を介して昇圧部6に接続されている。W相出力部4のバスバー18、21は、制御部5のゲートドライブ47、48に接続されている。また、W相出力部4のバスバー19、20は、ゲートドライブ47、48を介して昇圧部6に接続されている。
Since the V-phase output unit 3 and the W-phase output unit 4 have substantially the same configuration as the
制御部5は、断熱材41と、配線基板42と、6個のゲートドライブ43〜48と、Al配線50とを備えている。尚、Al配線50は、一部のみ図示している。断熱材41は、熱に弱いゲートドライブ43〜48に各相出力部2〜4からの熱が伝導されることを抑制するためのものである。断熱材41は、約350℃の熱に耐えることが可能な絶縁性のポリイミド系樹脂からなり、配線基板42と各相出力部2〜4との間に配置されている。断熱材41及び配線基板42の外周部には、制御用のバスバー15〜21及びバスバー55〜60を挿通させるための穴49(図10参照)が形成されている。各穴49からは、バスバー18〜21、各ゲートドライブ43〜48及びバスバー55〜60を接続するためのAl配線50が延びている。バスバー18〜21及びバスバー55〜60と、Al配線50は、半田により接続されている。
The
各ゲートドライブ43〜48は、配線基板42上に設けられている。ゲートドライブ43(44)は、U相出力部2に設けられたスイッチングデバイス32(36)のゲート32g(36g)を制御するためのものである。ゲートドライブ45(46)は、V相出力部3に設けられたスイッチングデバイス32(36)のゲート32g(36g)を制御するためのものである。ゲートドライブ47(48)は、W相出力部4に設けられたスイッチングデバイス32(36)のゲート32g(36g)を制御するためのものである。
Each of the gate drives 43 to 48 is provided on the
図2に示すように、昇圧部6は、昇圧回路部51と、Al配線52と、配線基板53と、放熱板54と、ゲートドライブ43〜48に接続される6つのバスバー55〜60と、ケース23とを備えている。昇圧部6は、ゲートドライブ43〜48、バスバー19、20及びバスバー55〜60を介して接続されている各出力部2〜4のスイッチングデバイス32、36のソース32s、36sの電圧を制御する。これにより、スイッチングデバイス32、36のゲート32g、36gの電圧を安定させて、ゲート32g、36gに高い電圧が印加されることを抑制する。
As shown in FIG. 2, the boosting unit 6 includes a boosting
次に、上述したIPM1の動作説明を行う。
Next, the operation of the
ゲートドライブ43〜48により各スイッチングデバイス32、36のゲート32g、36gが制御されつつ、P側電力供給用のバスバー16及びN側電力供給用のバスバー17から電力が供給されると、各相の出力部2〜4により異なる位相を有する三相の交流電力が出力される。また、動作中には、各出力部2〜4の放熱板14から方向S1に熱が放熱される。そして、各出力部2〜4の間を通る空気により、熱が外部へと放出される。
When power is supplied from the
次に、上述したIPM1の組立工程について説明する。図8〜図10は、IPMの組立工程を説明するための斜視図である。
Next, the assembly process of the
まず、図8に示すように、バスバー15〜21を金型に入れた状態で、ケース23を射出成型により作製する。次に、図9に示すように、高圧部11、低圧部12及び配線基板13が接合された放熱板14をケース23に接着する。その後、図3に示すように、Alワイヤ22を配線する。次に、図10に示すように、バスバー15〜21及びバスバー55〜60が、制御部5の穴49と一致するように位置決めを行う。その後、制御部5に出力部2〜4及び昇圧部6を挿入して、ネジ(図示略)により固定する。この後、バスバー15〜21及びバスバー55〜60とAl配線50とを半田により電気的に接続する。これにより、IPM1が完成する。
First, as shown in FIG. 8, the
上述したように、第1実施形態によるIPM1では、出力部2〜4及び昇圧部6を積層している。これにより、全てを同一平面状に配置した場合に比べて、平面視における平面積を小さくすることができる。出力部2〜4及び昇圧部6を積層することにより、整流回路等を新たに設ける場合でも、平面積の増加を抑制することができる。
As described above, in the
また、一般には、出力部上にゲートドライブを構成する場合が多く、ゲートドライブに出力部からの熱が伝達され易いが、IPM1では、制御部5に対して出力部2〜4を垂直に立設させることにより、出力部2〜4からの熱の伝達を抑制できる。更に、ゲートドライブ43〜48と出力部2〜4との間に断熱材41を設けることにより、熱の伝達をより抑制できる。これらにより、各出力部2〜4を高温(例えば、約200℃)で動作させても、熱に弱いゲートドライブ43〜48の破損を抑制することができる。この結果、IPM1の寿命を延ばすことができる。
In general, a gate drive is often formed on the output unit, and heat from the output unit is easily transferred to the gate drive. However, in the
また、IPM1では、出力部2〜4及び昇圧部6の間に一定の間隔ができるように積層しているので、通気性が高い。これにより、冷却機能を向上させることができるので、熱に弱いゲートドライブ43〜48の破損を抑制できる。更に、一定の間隔を開けることにより、出力部2〜4間の熱の伝達を抑制できるので、出力部2〜4のスイッチングデバイス32、36及びダイオード33、37の破損を抑制できる。この結果、IPM1の寿命を延ばすことができる。更に、IPM1では、出力部2〜4及び昇圧部6を積層しているので、スイッチングデバイス32、36及びダイオード33、37のそれぞれが隣接することを低減できるので、熱の集中を抑制できる。
Moreover, in IPM1, since it laminate | stacks so that a fixed space | interval may be made between the output parts 2-4 and the pressure | voltage rise part 6, air permeability is high. Thereby, since a cooling function can be improved, damage to the gate drives 43-48 which are weak to heat can be suppressed. Furthermore, since the heat transfer between the
また、制御用のバスバー15〜21及びバスバー55〜60を制御部5の穴49に挿通させた状態で、Al配線50と接続しているので、位置決めと接続とを容易に行うことができる。
In addition, since the control bus bars 15 to 21 and the bus bars 55 to 60 are inserted into the
(第2実施形態)
次に、上述した第1実施形態を部分的に変更した第2実施形態について説明する。尚、第1実施形態と同様の構成には、同じ符号を付けて説明を省略する。図11は、第2実施形態によるIPMの図2相当図である。図12は、高圧部側の出力部の平面図である。図13は、低圧部側の出力部の平面図である。
(Second Embodiment)
Next, a second embodiment in which the first embodiment described above is partially changed will be described. In addition, the same code | symbol is attached | subjected to the structure similar to 1st Embodiment, and description is abbreviate | omitted. FIG. 11 is an equivalent view of the IPM according to the second embodiment shown in FIG. FIG. 12 is a plan view of the output section on the high voltage section side. FIG. 13 is a plan view of the output section on the low-pressure section side.
図11に示すように、第2実施形態によるIPM1Aでは、高圧部11を有する出力部2A〜4A及び低圧部12を有する出力部2B〜4Bが、別々の部品により構成されている。そして、高圧部11側の出力部2A〜4Aと低圧部12側の出力部2B〜4Bとが積層されるように、制御部5Aに固定される。
As shown in FIG. 11, in IPM1A by 2nd Embodiment, the
図12に示すように、出力部2Aは、第1実施形態による出力部2を半分に分割した部分のうち、高圧部11側と略同じ構成を有する。また、図13に示すように、出力部2Bは、第1実施形態による出力部2を半分に分割した部分のうち、低圧部12側と略同じ構成を有する。図12及び図13に示すように、出力部2A及び出力部2Bは、それぞれ、出力用のバスバー15A及びバスバー15Bを備えている。また、電流の流れる方向が反対側のバスバー16及びバスバー17が並行になるように積層される。尚、出力部3A、4Aは、出力部2Aと同じ構成を有し、出力部3B、4Bは、出力部2Bと同じ構成を有する。
As shown in FIG. 12, the
第2実施形態によるIPM1Aでは、高圧部11側の出力部2A〜4Aと低圧部12側の出力部2B〜2Bとを別々に構成して、積層することにより、より平面積を小さくすることができる。また、バスバー16及びバスバー17が並行になるように配置することにより、バスバー16及びバスバー17に生じる寄生インダクタンスを相殺できる。尚、他のバスバーやAl配線のうち、逆方向に電流が流れるバスバーやAl配線を並行に構成することがより好ましい。
In the
(第3実施形態)
次に、上述した第2実施形態を部分的に変更した第3実施形態について説明する。尚、第1及び第2実施形態と同様の構成には、同じ符号を付けて説明を省略する。図14は、第3実施形態によるIPMの図2相当図である。
(Third embodiment)
Next, a third embodiment in which the second embodiment described above is partially changed will be described. In addition, the same code | symbol is attached | subjected to the structure similar to 1st and 2nd embodiment, and description is abbreviate | omitted. FIG. 14 is a diagram corresponding to FIG. 2 of the IPM according to the third embodiment.
図14に示すように、第3実施形態によるIPM1Bでは、第2実施形態のIPM1Aにおける高圧部11側の各出力部2A〜4Aを上下逆にして、制御部5Aに設置している即ち、高圧部11のスイッチングデバイス32及びダイオード33と、低圧部12のスイッチングデバイス36及びダイオード37とが互いに対向するように配置されている。
As shown in FIG. 14, in the IPM 1B according to the third embodiment, the
このように構成することにより、相殺される寄生インダクタンスを増加させることができる。 With this configuration, the parasitic inductance that is canceled can be increased.
(第4実施形態)
次に、上述した第1実施形態を部分的に変更した第4実施形態について説明する。尚、上述した実施形態と同様の構成には同じ符号を付けて説明を省略する。図15は、第4実施形態によるIPMの全体斜視図である。図16は、第4実施形態によるIPMの昇圧部の平面図である。図17は、第4実施形態によるIPMの概略回路図である。尚、図15に示す上下を上下方向とする。また、上述した実施形態と同じ構成には、同じ符号を付けて説明を省略する。
(Fourth embodiment)
Next, a description will be given of a fourth embodiment in which the first embodiment is partially changed. In addition, the same code | symbol is attached to the structure similar to embodiment mentioned above, and description is abbreviate | omitted. FIG. 15 is an overall perspective view of the IPM according to the fourth embodiment. FIG. 16 is a plan view of a boosting unit of an IPM according to the fourth embodiment. FIG. 17 is a schematic circuit diagram of an IPM according to the fourth embodiment. In addition, let the up-and-down direction shown in FIG. 15 be an up-down direction. Further, the same components as those in the above-described embodiment are denoted by the same reference numerals and description thereof is omitted.
図15に示すように、第4実施形態によるIPM1Cは、U相出力部2と、V相出力部3と、W相出力部4と、制御部5Cと、昇圧部(請求項9の電圧調節部に相当)6Cとを備えている。異なる位相を出力する出力部2〜4及び昇圧部6Cは、積層されている。また、出力部2〜4及び昇圧部6Cは、制御部5に垂直に立設された状態でネジ(図示略)により一定の間隔を開けて固定されている。
As shown in FIG. 15, the IPM 1C according to the fourth embodiment includes a
昇圧部6Cは、外部の電源200から200Vの供給された電圧を600Vに昇圧する。そして、昇圧部6Cは、昇圧した電力をバスバー16、17を介して各出力部2〜4に電力を供給するためのものである。昇圧部6Cは、積層方向において、最下層(即ち、積層方向の外側)に配置されている。尚、上述した電圧値は、適宜変更可能である。
The
図16に示すように、昇圧部6Cは、高圧部71と、低圧部72と、コイル73と、コンデンサ74と、基板75と、放熱板76と、4つのバスバー77〜81と、複数のAlワイヤ82と、ケース83と、Al配線84、85とを備えている。
As shown in FIG. 16, the
図16及び図17に示すように、高圧部71は、オン・オフ切り換え可能なトランジスタからなるスイッチングデバイス92と、逆流防止用のダイオード93と、Al配線94とを備えている。スイッチングデバイス92のソース92sは、Al配線84を介してコイル73に接続されている。スイッチングデバイス92のドレイン92dは、Al配線94を介してコンデンサ74の一端が接続されるP側電力供給用のバスバー78に接続されている。スイッチングデバイス92のゲート92gは、バスバー80を介して制御部5Cのゲートドライバ56に接続されている。ダイオード93のアノード93aは、Al配線84を介してコイル73の一端及びスイッチングデバイス92のソース92sに接続されている。ダイオード93のカソード93kは、Al配線94を介してコンデンサ74の一端が接続されるバスバー78に接続されている。
As shown in FIGS. 16 and 17, the high voltage unit 71 includes a switching device 92 formed of a transistor that can be switched on and off, a
低圧部72は、オン・オフ切り換え可能なトランジスタからなるスイッチングデバイス96と、逆流防止用のダイオード97と、Al配線98とを備えている。尚、低圧部72には、高圧部71に印加される電圧よりも低い電圧が外部の電源200により印加される。スイッチングデバイス96のソース96sは、電源200の負極及びコンデンサ74の一端に接続されているN側電力供給用のバスバー79に接続されている。スイッチングデバイス96のドレイン96dは、Al配線98を介してコイル73の一端に接続されている。スイッチングデバイス96のゲート96gは、バスバー81を介して制御部5Cのゲートドライバ57に接続されている。ダイオード97のアノード97aは、N側電力供給用のバスバー79に接続されている。ダイオード97のカソード97kは、Al配線98を介してコイル73の一端に接続されている。
The low-
コイル73の一端は、Al配線84を介して、スイッチングデバイス92のソース92s、ダイオード93のアノード93a、スイッチングデバイス96のドレイン96d、及び、ダイオード97のカソード97kに接続されている。コイル73の他端は、バスバー77を介して電源200の正極に接続されている。
One end of the
コンデンサ74の一端は、各出力部2〜4にP側電力を供給するためのバスバー78に接続されている。コンデンサ74の他端は、Al配線85を介して各出力部2〜4にN側電力を供給するためのバスバー79に接続されている。
One end of the
次に、昇圧部6Cの動作説明を行う。
Next, the operation of the
低圧部72のスイッチングデバイス96がオンのときは、コイル73及びスイッチングデバイス96に電流が流れる。この状態から、低圧部72のスイッチングデバイス96がオフに切り換わると、コイル73では流れる電流が遮断されて起電力が生じる。このコイル73に起電力が生じている状態で、高圧部71のスイッチングデバイス92がオフになると、コイル73から高圧部71を介してコンデンサ74に電荷が供給される。これにより、コンデンサ74には、電源200の電圧とコイル73の起電力による電荷が蓄えられる。この結果、電源200の電圧がコンデンサ74により昇圧されて、各出力部2〜4に印加される。
When the
ここで、昇圧部6Cの各スイッチングデバイス92、96のオン・オフ切り換えの周波数は、各出力部2〜4のスイッチングデバイス32、36のオン・オフ切り換えの周波数に比べて大きい。更に、昇圧部6Cの低圧部72のスイッチングデバイス96のオン・オフ切り換えの周波数は、昇圧部6Cの高圧部71のスイッチングデバイス92のオン・オフ切り換えの周波数よりも大きい。
Here, the on / off switching frequency of the
即ち、各出力部2〜4よりも昇圧部6Cの方が高温になる。更に、昇圧部6Cでも、高圧部71よりも低圧部72の方が高温になる。
In other words, the
上述したように、第4実施形態によるIPM1Cでは、出力部2〜4よりも高温になる昇圧部6Cを積層方向において外側の層になるように配置している。これにより、昇圧部6Cの放熱性を向上させることができる。更に、昇圧部6Cを最下層にすることにより、空気の流れの最上流側に昇圧部6Cが位置することになる。これにより、各出力部2〜4からの熱が昇圧部6Cに作用することがないので、昇圧部6Cの高温化をより抑制できる。
As described above, in the IPM 1C according to the fourth embodiment, the
また、従来、昇圧部の高温化を抑制するために、出力部ごとに昇圧部を設けていたが、IPM1Cでは、昇圧部6Cの高温化を抑制することができるので、昇圧部6Cを出力部2〜4で兼用することができる。これにより、IPM1Cの小型化をより促進できる。
Conventionally, in order to suppress the increase in the temperature of the booster, a booster is provided for each output unit. However, in IPM1C, the increase in the temperature of the
(第5実施形態)
次に、上述した第3実施形態を部分的に変更した第5実施形態について説明する。尚、上述した実施形態と同様の構成には同じ符号を付けて説明を省略する。図18は、第5実施形態によるIPMの断面図である。
(Fifth embodiment)
Next, a fifth embodiment in which the third embodiment described above is partially changed will be described. In addition, the same code | symbol is attached | subjected to the structure similar to embodiment mentioned above, and description is abbreviate | omitted. FIG. 18 is a cross-sectional view of an IPM according to the fifth embodiment.
図18に示すように、第5実施形態によるIPM1Dでは、第3実施形態と同様に、高圧部11を有する出力部2A〜4A及び低圧部12を有する出力部2B〜4Bが、別々の部品により構成されている。そして、高圧部11側の出力部2A〜4Aと低圧部12側の出力部2B〜4Bとが交互に積層されるように、制御部5Aに固定される。
As shown in FIG. 18, in the IPM 1D according to the fifth embodiment, as in the third embodiment, the
更に、第5実施形態によるIPM1Dでは、高圧部71を有する昇圧部6Dと、低圧部72を有する昇圧部6Eとが、別々の部品により構成されている。低圧部72を有する昇圧部6Eが、積層方向の最下層に配置されている。また、高圧部71を有する昇圧部6Dが、積層方向の最上層に配置されている。各出力部2A〜4A、2B〜4Bが、低圧部72を有する昇圧部6Eと高圧部71を有する昇圧部6Dとの間に積層されている。即ち、高温になる昇圧部6Eと昇圧部6Dが、積層方向の一番外側である最下層と最上層に配置されている。更に、高温側から低温側に空気が流れることを考慮すると、空気の流れの最上流側に低圧部72を有する昇圧部6Eが配置されている。
Furthermore, in the IPM 1D according to the fifth embodiment, the
上述したように第5実施形態によるIPM1Dでは、昇圧部6Dの高圧部71及び昇圧部6Eの低圧部72を積層方向の最も外側の層に配置しているので、高温になる昇圧部6Dの高圧部71及び昇圧部6Eの低圧部72の放熱性を向上させることができる。更に、昇圧部6Eの低圧部72を空気の流れの最上流に配置することによって、昇圧部6Eの低圧部72の高温化をより抑制できる。
As described above, in the IPM 1D according to the fifth embodiment, the high voltage unit 71 of the
以上、実施形態を用いて本発明を詳細に説明したが、本発明は本明細書中に説明した実施形態に限定されるものではない。本発明の範囲は、特許請求の範囲の記載及び特許請求の範囲の記載と均等の範囲により決定されるものである。以下、上記実施形態を一部変更した変更形態について説明する。 As mentioned above, although this invention was demonstrated in detail using embodiment, this invention is not limited to embodiment described in this specification. The scope of the present invention is determined by the description of the claims and the scope equivalent to the description of the claims. Hereinafter, modified embodiments in which the above-described embodiment is partially modified will be described.
例えば、上述した実施形態では、三相式のIPMに本発明を適用した例を示したが、二相式、または、四相式以上のIPMに本発明を適用してもよい。 For example, in the above-described embodiment, an example in which the present invention is applied to a three-phase IPM has been described. However, the present invention may be applied to a two-phase or four-phase or higher IPM.
また、上述した実施形態で適用した材料、数値、形状等は一例であり、適宜変更可能である。 In addition, the materials, numerical values, shapes, and the like applied in the above-described embodiments are examples, and can be changed as appropriate.
また、上述した実施形態では、各出力部の半導体素子であるスイッチングデバイス及びダイオードを配線基板の同じ面に配置したが、配線基板の表面及び裏面の両面に配置してもよい。これにより、平面積をより低減することができる。 In the above-described embodiment, the switching device and the diode, which are semiconductor elements of each output unit, are arranged on the same surface of the wiring board, but may be arranged on both the front and back surfaces of the wiring board. Thereby, a plane area can be reduced more.
また、上述した実施形態では、各出力部の間に一定の間隔を開けて積層する例を示したが、各出力部の間隔を省略してもよい。尚、このように構成する場合には、ケースに送風用の穴を開けることが好ましい。 In the above-described embodiment, an example in which the output units are stacked with a certain interval between them is shown, but the interval between the output units may be omitted. In addition, when comprised in this way, it is preferable to make the hole for ventilation in a case.
また、上述した実施形態では、各出力部の高圧部及び低圧部にスイッチングデバイスを1つずつ設けたが、各出力部の高圧部及び低圧部に複数のスイッチングデバイスを並列に接続してもよい。 In the above-described embodiment, one switching device is provided in each of the high-voltage part and the low-voltage part of each output unit. However, a plurality of switching devices may be connected in parallel to the high-voltage part and the low-voltage part of each output unit. .
また、上述した実施形態では、電圧調節部の一例として昇圧部を例に挙げたが、外部から供給された電圧を下げるための降圧部等の電圧を調節可能なものに適用してもよい。 In the above-described embodiment, the boosting unit is exemplified as an example of the voltage adjusting unit. However, the voltage adjusting unit may be applied to a unit capable of adjusting a voltage such as a step-down unit for reducing a voltage supplied from the outside.
1、1A、1B IPM
2、2A、2B U相出力部
3、3A、3B V相出力部
4、4A、4B W相出力部
5、5A 制御部
6、6C、6E 昇圧部
11 高圧部
12 低圧部
13 配線基板
14 放熱板
15〜21、15A、15B バスバー
22 Alワイヤ
23 ケース
23a 窓
23d 凹部
24 保護ゲル
25 蓋
32、36 スイッチングデバイス
32g、36g ゲート
32s、36s ソース
32d、36d ドレイン
33、37 ダイオード
33a、37a アノード
33k、37k カソード
34、38 Al配線
41 断熱材
42 配線基板
43〜48 ゲートドライブ
49 穴
50 配線
51 昇圧回路部
52 配線
53 配線基板
54 放熱板
71 高圧部
72 低圧部
73 コイル
74 コンデンサ
75 配線基板
76 放熱板
77〜81 バスバー
82 Alワイヤ
83 ケース
84、85 Al配線
92、96 スイッチングデバイス
93、97 ダイオード
1, 1A, 1B IPM
2, 2A, 2B U
Claims (13)
前記第1出力部に積層されるように配置され、第1相と異なる位相の第2相を出力する第2出力部と、
前記出力部を制御する制御部とを備えたことを特徴とする半導体装置。 A first output unit for outputting the first phase;
A second output unit arranged to be stacked on the first output unit and outputting a second phase having a phase different from the first phase;
A semiconductor device comprising: a control unit that controls the output unit.
前記高圧部と前記低圧部は、積層されていることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。 The output unit includes a high voltage unit and a low voltage unit to which power having a lower voltage than the high voltage unit is supplied,
The semiconductor device according to claim 1, wherein the high-voltage unit and the low-voltage unit are stacked.
前記高圧部と前記低圧部は、互いの半導体素子が対向するように積層されていることを特徴とする請求項2に記載の半導体装置。 The high pressure part and the low pressure part include a semiconductor element,
3. The semiconductor device according to claim 2, wherein the high-voltage part and the low-pressure part are stacked so that the semiconductor elements face each other.
前記高圧部の配線及びバスバーと、前記高圧部の配線及びバスバーとは電流が逆方向に流れる前記低圧部の配線及びバスバーの何れかが並行に配置されていることを特徴とする請求項2または請求項3のいずれか1項に記載の半導体装置。 The high-voltage part and the low-voltage part are provided with wiring and bus bars through which current flows,
The wiring and bus bar of the high-voltage part and the wiring and bus bar of the low-voltage part in which current flows in the reverse direction of the wiring and bus bar of the high-voltage part are arranged in parallel. The semiconductor device according to claim 3.
前記制御用のバスバーは、前記制御部に形成された穴に挿通されていることを特徴とする請求項5に記載の半導体装置。 The first output unit and the second output unit include a control bus bar for connecting to the control unit,
The semiconductor device according to claim 5, wherein the control bus bar is inserted through a hole formed in the control unit.
前記複数の半導体素子は、基板の両面に配置されていることを特徴とする請求項1〜請求項6のいずれか1項に記載の半導体装置。 The output unit includes a plurality of semiconductor elements and a wiring board on which the semiconductor elements are provided,
The semiconductor device according to claim 1, wherein the plurality of semiconductor elements are arranged on both surfaces of the substrate.
前記各出力部及び前記電圧調節部は、オン・オフ切り換え可能なスイッチングデバイスを有し、
前記各出力部及び前記電圧調節部のうち、前記スイッチングデバイスのオン・オフ切り換えの周波数の最も大きいものが積層方向の外側に配置されていることを特徴とする請求項1〜請求項8のいずれか1項に記載の半導体装置。 A voltage adjusting unit for adjusting a voltage supplied from the outside;
Each of the output units and the voltage adjusting unit has a switching device that can be switched on and off,
9. The device according to claim 1, wherein, among each of the output units and the voltage adjusting unit, one having the largest switching frequency of the switching device is disposed outside in the stacking direction. 2. The semiconductor device according to claim 1.
前記電圧調節部の低圧部のスイッチングデバイスのオン・オフ切り換えの周波数は、前記電圧調節部の高圧部のスイッチングデバイスのオン・オフ切り換えの周波数よりも大きく、
前記電圧調節部の低圧部は、積層方向の外側に配置されていることを特徴とする請求項9〜請求項11のいずれか1項に記載の半導体装置。 The voltage adjusting unit includes a high voltage unit having a switching device, and a low voltage unit having a switching device, to which a voltage lower than a voltage applied to the high voltage unit is applied,
The switching frequency of the switching device of the low voltage part of the voltage regulator is larger than the switching frequency of the switching device of the high voltage part of the voltage regulator,
12. The semiconductor device according to claim 9, wherein the low voltage portion of the voltage adjusting unit is arranged outside in the stacking direction.
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