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JP2009083465A - Gas barrier film and display element using the same - Google Patents

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JP2009083465A
JP2009083465A JP2008140980A JP2008140980A JP2009083465A JP 2009083465 A JP2009083465 A JP 2009083465A JP 2008140980 A JP2008140980 A JP 2008140980A JP 2008140980 A JP2008140980 A JP 2008140980A JP 2009083465 A JP2009083465 A JP 2009083465A
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JP
Japan
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layer
gas barrier
film
organic
barrier film
Prior art date
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Application number
JP2008140980A
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Japanese (ja)
Inventor
Satoshi Aeba
聡 饗場
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Fujifilm Corp
Original Assignee
Fujifilm Corp
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Publication date
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Abstract

【課題】片面にのみ有機無機積層型ガスバリア層を設けたガスバリアフィルムであっても、ガスバリア層が設けられていない側からの水分の浸入を効果的に防ぐことが可能なガスバリアフィルムを提供する。
【解決手段】基材フィルム1の一方の面に、少なくとも1つの有機領域と、少なくとも1つの無機領域を有するガスバリア層2を有し、前記基材フィルムの他方の面には、バリア性能を有する層として、バリア性能を有する樹脂3を主成分とする層のみを有するガスバリアフィルム。
【選択図】図1
Provided is a gas barrier film that can effectively prevent moisture from entering from a side where no gas barrier layer is provided, even if it is a gas barrier film provided with an organic-inorganic laminated gas barrier layer only on one side.
A base film 1 has a gas barrier layer 2 having at least one organic region and at least one inorganic region on one surface, and the other surface of the base film has barrier performance. The gas barrier film which has only the layer which has resin 3 which has barrier performance as a main component as a layer.
[Selection] Figure 1

Description

本発明は、ガスバリアフィルムおよびその製造方法、並びに、ガスバリアフィルムを用いた表示素子に関する。   The present invention relates to a gas barrier film, a method for producing the same, and a display element using the gas barrier film.

従来から、有機EL素子等の表示素子に用いられるガスバリアフィルムが検討されている。特許文献1には、基材フィルムの一方の面にガスバリア層が設けられ、他方の面にガラス転移温度60℃以上の樹脂層が設けられたガスバリアフィルムが開示されている。また、特許文献2には、基材フィルムの一方の面にガスバリア層が設けられ、他方の面に耐溶剤層が設けられたガスバリアフィルムが開示されている。しかしながら、このようなガスバリアフィルムでは、ガスバリア層の設けられていない面における水分の遮蔽性に乏しい。そのため、有機EL素子等の製造過程で、フィルムへの水分などの取り込みや、取り込んだ成分の放出などによる影響を受けてしまう。
一方、特許文献3には、基材フィルムの両面に有機無機積層型ガスバリア層を有するガスバリアフィルムが開示されている。しかしながら、特許文献3では、両面に有機無機積層型ガスバリア層をするためその製造が難しい。
Conventionally, gas barrier films used for display elements such as organic EL elements have been studied. Patent Document 1 discloses a gas barrier film in which a gas barrier layer is provided on one surface of a base film and a resin layer having a glass transition temperature of 60 ° C. or higher is provided on the other surface. Patent Document 2 discloses a gas barrier film in which a gas barrier layer is provided on one surface of a base film and a solvent-resistant layer is provided on the other surface. However, such a gas barrier film has poor moisture shielding properties on the surface where no gas barrier layer is provided. Therefore, in the process of manufacturing an organic EL element or the like, it is affected by the intake of moisture and the like into the film and the release of the incorporated components.
On the other hand, Patent Document 3 discloses a gas barrier film having organic-inorganic laminated gas barrier layers on both surfaces of a base film. However, in patent document 3, since the organic-inorganic laminated type gas barrier layer is formed on both sides, its manufacture is difficult.

特開2007−30451号公報JP 2007-30451 A 特開平9−254303号公報JP 9-254303 A 特開2006−35737号公報JP 2006-35737 A

本発明は上記課題を解決することを目的としたものであって、片面にのみ有機無機積層型ガスバリア層を設けたガスバリアフィルムであっても、ガスバリア層が設けられていない側からの水分の浸入を効果的に防ぐことが可能なガスバリアフィルムを提供することを目的とする。   The present invention aims to solve the above-mentioned problems, and even if it is a gas barrier film provided with an organic-inorganic laminated gas barrier layer only on one side, the intrusion of moisture from the side where the gas barrier layer is not provided. It aims at providing the gas barrier film which can prevent effectively.

上記課題のもと発明者が鋭意検討した結果、基材フィルムの片面に有機無機積層型ガスバリア層を設け、他方の面には、バリア性能を有する層として、バリア性能を有する樹脂を主成分とする層(以下、「バリア性樹脂層」ということがある)のみを設けることにより、上記課題を解決しうることを見出した。具体的には、以下の手段により、達成された。
(1)基材フィルムの一方の面に、少なくとも1つの有機領域と、少なくとも1つの無機領域を有するガスバリア層を有し、前記基材フィルムの他方の面には、バリア性能を有する層として、バリア性能を有する樹脂を主成分とする層のみを有するガスバリアフィルム。
(2)ガスバリア層が、少なくとも1層の有機層と、少なくとも1層の無機層とを有する、(1)に記載のガスバリアフィルム。
(3)バリア性能を有する樹脂を主成分とする層の樹脂が、ポリビニルアルコールである、(1)または(2)に記載のガスバリアフィルム。
(4)バリア性能を有する樹脂を主成分とする層の樹脂が、多官能アクリレートである、(1)または(2)に記載のガスバリアフィルム。
(5)有機層が、ビスフェノール骨格を有する(メタ)アクリレートの少なくとも1種を含む組成物を硬化してなる、(2)〜(4)のいずれか1項に記載のガスバリアフィルム。
(6)バリア性能を有する樹脂を主成分とする層と有機層の主成分が同一である、(1)〜(5)のいずれか1項に記載のガスバリアフィルム。
(7)バリア性能を有する樹脂を主成分とする層の厚さが、0.5〜30μmである、(1)〜(6)のいずれか1項に記載のガスバリアフィルム。
(8)ガスバリアフィルムの厚さが、10〜300μmである、(1)〜(7)のいずれか1項に記載のガスバリアフィルム。
(9)表示素子用である、(1)〜(8)のいずれか1項に記載のガスバリアフィルム。
(10)(1)〜(9)のいずれか1項に記載のガスバリアフィルムの製造方法であって、基材フィルム上に、ガスバリア層を設けた後、バリア性能を有する樹脂を主成分とする層を設けることを特徴とする、ガスバリアフィルムの製造方法。
(11)(1)〜(9)のいずれか1項に記載のガスバリアフィルムを用いた表示素子。
(12)ガスバリアフィルムは、表示素子の基板として用いられていることを特徴とする、(11)に記載の表示素子。
(13)ガスバリアフィルムは、表示素子の封止フィルムとして用いられていることを特徴とする、(11)に記載の表示素子。
(14)ガスバリアフィルムのバリア性能を有する樹脂を主成分とする層が、外側となるように、表示素子に設けられている、(11)〜(13)のいずれか1項に記載の表示素子。
As a result of intensive studies by the inventors under the above-mentioned problems, an organic-inorganic laminated gas barrier layer is provided on one side of the base film, and the other side has a resin having a barrier performance as a main component as a layer having a barrier performance. It has been found that the above-described problem can be solved by providing only a layer (hereinafter sometimes referred to as “barrier resin layer”). Specifically, it was achieved by the following means.
(1) It has a gas barrier layer having at least one organic region and at least one inorganic region on one surface of the substrate film, and the other surface of the substrate film has a barrier performance as a layer, A gas barrier film having only a layer mainly composed of a resin having barrier performance.
(2) The gas barrier film according to (1), wherein the gas barrier layer has at least one organic layer and at least one inorganic layer.
(3) The gas barrier film according to (1) or (2), wherein the resin of the layer mainly composed of a resin having barrier performance is polyvinyl alcohol.
(4) The gas barrier film according to (1) or (2), wherein the resin of the layer mainly composed of a resin having barrier performance is a polyfunctional acrylate.
(5) The gas barrier film according to any one of (2) to (4), wherein the organic layer is obtained by curing a composition containing at least one (meth) acrylate having a bisphenol skeleton.
(6) The gas barrier film according to any one of (1) to (5), wherein the main component of the organic layer and the layer mainly composed of a resin having barrier performance are the same.
(7) The gas barrier film according to any one of (1) to (6), wherein the layer mainly composed of a resin having barrier performance has a thickness of 0.5 to 30 μm.
(8) The gas barrier film according to any one of (1) to (7), wherein the thickness of the gas barrier film is 10 to 300 μm.
(9) The gas barrier film according to any one of (1) to (8), which is for a display element.
(10) The method for producing a gas barrier film according to any one of (1) to (9), wherein a gas barrier layer is provided on a base film, and then a resin having a barrier performance is a main component. A method for producing a gas barrier film, comprising providing a layer.
(11) A display device using the gas barrier film according to any one of (1) to (9).
(12) The display device according to (11), wherein the gas barrier film is used as a substrate of the display device.
(13) The display element according to (11), wherein the gas barrier film is used as a sealing film for the display element.
(14) The display element according to any one of (11) to (13), wherein the display element is provided such that a layer mainly composed of a resin having a barrier performance of a gas barrier film is on an outer side. .

本発明により、ガスバリアフィルムの片面にのみ有機無機積層型ガスバリア層を設けた態様でも、基材フィルムへの水分やガスの取り込みや放出を抑制することが可能になった。この結果、有機EL素子等の表示素子を作製する際に、該表示素子の劣化を低減することが可能になり、安定に表示素子を製造することが可能になる。  According to the present invention, even in an aspect in which an organic / inorganic laminated gas barrier layer is provided only on one side of a gas barrier film, it is possible to suppress the intake and release of moisture and gas into the base film. As a result, when manufacturing a display element such as an organic EL element, it is possible to reduce the deterioration of the display element, and to stably manufacture the display element.

以下において、本発明の内容について詳細に説明する。尚、本願明細書において「〜」とはその前後に記載される数値を下限値及び上限値として含む意味で使用される。また、本発明における有機EL素子とは、有機エレクトロルミネッセンス素子のことをいう。   Hereinafter, the contents of the present invention will be described in detail. In the present specification, “to” is used to mean that the numerical values described before and after it are included as a lower limit value and an upper limit value. The organic EL element in the present invention refers to an organic electroluminescence element.

本発明のガスバリアフィルムは、基材フィルムの一方の面に、少なくとも1つの有機領域と、少なくとも1つの無機領域を有するガスバリア層(本明細書において「有機無機積層型ガスバリア層」ということがある)を有し、他方の面には、バリア性能を有する層として、バリア性能を有する樹脂を主成分とする層(バリア性樹脂層)のみを有することを特徴とする。
ここで、バリア性樹脂層は、該層を構成する第一の成分が、バリア性能を有する樹脂であることをいい、通常は、バリア性能を有する樹脂を80重量%以上含んでいることをいう。従って、本発明の趣旨を逸脱しない範囲内で他の成分を含んでいることを排除するものではない。また、「バリア性能を有する層として」とは、バリア性能を有する層としては該バリア性樹脂層のみが設けられていることをいい、これ以外の機能を有する層は設けられていても良いことを意味する。すなわち、他のガスバリア層が設けられている態様は本発明の範囲には含まれないが、バリア性樹脂層と基材フィルムを貼り合わせるための接着層や、他の機能層が設けられている態様は本発明の範囲に含まれる。
The gas barrier film of the present invention has a gas barrier layer having at least one organic region and at least one inorganic region on one surface of the base film (sometimes referred to as “organic-inorganic laminated gas barrier layer” in this specification). And the other surface has only a layer having a barrier performance as a main component (barrier resin layer) as a layer having a barrier performance.
Here, the barrier resin layer means that the first component constituting the layer is a resin having a barrier performance, and usually means that 80% by weight or more of a resin having a barrier performance is included. . Accordingly, it is not excluded that other components are included within the scope of the present invention. In addition, “as a layer having barrier performance” means that only the barrier resin layer is provided as a layer having barrier performance, and a layer having other functions may be provided. Means. That is, an aspect in which another gas barrier layer is provided is not included in the scope of the present invention, but an adhesive layer for bonding the barrier resin layer and the base film and other functional layers are provided. Embodiments are within the scope of the present invention.

以下、本発明のガスバリアフィルムを有機EL素子の封止フィルムに用いた場合を例にとって説明する。本発明はこれらの態様に限定されるものではないことは言うまでも無い。
図1は、従来のガスバリアフィルムおよび本発明のガスバリアフィルムを有機EL素子の封止フィルムに用いた場合の概略図を示したものであって、(a)は従来のガスバリアフィルムを、(b)は本発明のガスバリアフィルムを示している。ここで、1は基材フィルムを、2は有機無機積層型ガスバリア層を、3はバリア性樹脂層を、それぞれ示している。また、(c)は有機EL素子であって、基板4上に、一対の電極と該電極と、該電極間に設けられた有機化合物層等の積層体5が設けられている。
従来のガスバリアフィルム(a)では、水分が、基材フィルム1側から侵入してしまい、該水分が、浸入した状態のガスバリアフィルムが有機EL素子に貼り合わされるため、水分による素子の劣化という問題があった。一方、本発明のガスバリアフィルム(b)では、有機無機積層型ガスバリア層2およびバリア性樹脂層3によって、水分の浸入が封止される。
Hereinafter, the case where the gas barrier film of this invention is used for the sealing film of an organic EL element is demonstrated as an example. It goes without saying that the present invention is not limited to these embodiments.
FIG. 1 shows a schematic view when a conventional gas barrier film and the gas barrier film of the present invention are used as a sealing film for an organic EL device, wherein (a) shows a conventional gas barrier film and (b) shows a conventional gas barrier film. Shows the gas barrier film of the present invention. Here, 1 is a base film, 2 is an organic / inorganic laminated gas barrier layer, and 3 is a barrier resin layer. Further, (c) is an organic EL element, and a laminate 5 such as a pair of electrodes, the electrodes, and an organic compound layer provided between the electrodes is provided on a substrate 4.
In the conventional gas barrier film (a), moisture enters from the base film 1 side, and the gas barrier film in a state where the moisture has entered enters the organic EL element, so that the element deteriorates due to moisture. was there. On the other hand, in the gas barrier film (b) of the present invention, moisture intrusion is sealed by the organic / inorganic laminated gas barrier layer 2 and the barrier resin layer 3.

尚、図1では、有機EL素子の封止フィルムとして用いられているが、本発明のガスバリアフィルムは、有機EL素子の基板として用いてもよく、両方に用いてもよい。また、他の表示素子に用いられていてもよい。これらの場合にも、表示素子に対して、バリア性樹脂層が、外側となるように設けることが好ましい。   In addition, in FIG. 1, although used as a sealing film of an organic EL element, the gas barrier film of this invention may be used as a board | substrate of an organic EL element, and may be used for both. Moreover, you may be used for the other display element. Also in these cases, it is preferable to provide the barrier resin layer on the outside of the display element.

本発明のガスバリアフィルムの厚さは、10〜300μmであることが好ましく、25〜250μmであることがより好ましい。   The thickness of the gas barrier film of the present invention is preferably 10 to 300 μm, and more preferably 25 to 250 μm.

(バリア性能を有する樹脂を主成分とする層)
本発明のバリア性能を有する樹脂を主成分とする層(バリア性樹脂層)におけるバリア性能を有する樹脂とは、例えば有機EL素子を構成する材料に影響を与える酸素や水分などのガス成分の拡散を抑制する材料を意味する。具体的には、ポリビニルアルコールや、ポリ塩化ビニリデン系共重合体、エチレン−ビニルアルコール共重合体、合成マイカ含有樹脂層、有機無機積層型ガスバリア層の有機層に用いる多官能アクリレートが挙げられ、ポリビニルアルコールおよび多官能アクリレートが好ましい。
バリア性樹脂層は、ガスバリア層を構成する有機層と主成分が同一であることが好ましい。このような構成とすることにより、製膜が容易であるという利点がある。
また、バリア性樹脂層は、そのガスバリア性が、25℃相対湿度50%の条件で測定したときに、水蒸気透過度が0.001〜10g/m2dayであることが好ましい。
バリア性樹脂層の厚さは、0.5〜30μmであることが好ましく、1〜20μmであることがより好ましい。
バリア性樹脂層は、基材フィルム上に、樹脂組成物を塗布して設けることが好ましいが、樹脂フィルムを接着剤等で貼り付ける等の手段を採用してもよい。
(Layer mainly composed of resin with barrier performance)
The resin having the barrier performance in the layer mainly composed of the resin having the barrier performance of the present invention (barrier resin layer) is, for example, diffusion of gas components such as oxygen and moisture that affect the material constituting the organic EL element. It means the material which suppresses. Specific examples include polyvinyl alcohol, polyvinylidene chloride copolymers, ethylene-vinyl alcohol copolymers, synthetic mica-containing resin layers, and polyfunctional acrylates used in organic layers of organic-inorganic laminated gas barrier layers. Alcohols and polyfunctional acrylates are preferred.
The barrier resin layer preferably has the same main component as the organic layer constituting the gas barrier layer. With such a configuration, there is an advantage that film formation is easy.
The barrier resin layer preferably has a water vapor permeability of 0.001 to 10 g / m 2 day when the gas barrier property is measured under conditions of 25 ° C. and 50% relative humidity.
The thickness of the barrier resin layer is preferably 0.5 to 30 μm, and more preferably 1 to 20 μm.
The barrier resin layer is preferably provided by applying a resin composition on a substrate film, but means such as attaching the resin film with an adhesive or the like may be employed.

(ガスバリア層)
本発明におけるガスバリア層は、大気中の酸素、水分を遮断する機能を有する層であって、有機領域と無機領域もしくは有機層と無機層を積層した有機無機積層型である。
有機領域と無機領域もしくは有機層と無機層は、通常、交互に積層している。有機領域と無機領域より構成される場合、各領域が膜厚方向に連続的に変化するいわゆる傾斜材料層であってもよい。前記傾斜材料の例としては、キムらによる論文「Journal of Vacuum Science and Technology A Vol. 23 p971−977(2005 American Vacuum Society) ジャーナル オブ バキューム サイエンス アンド テクノロジー A 第23巻 971頁〜977ページ(20005年刊、アメリカ真空学会)」に記載の材料や、米国公開特許2004−46497号明細書に開示してあるように有機層と無機層が界面を持たない連続的な層等が挙げられる。以降、簡略化のため、有機層と有機領域は「有機層」として、無機層と無機領域は「無機層」として記述する。
カスバリア層を構成する層数に関しては特に制限はないが、典型的には2層〜30層が好ましく、3層〜20層がさらに好ましい。
ガスバリア層の厚さは特に定めるものは無いが、例えば、0.2〜30μmであり、0.5〜15μmであることが好ましい。
(Gas barrier layer)
The gas barrier layer in the present invention is a layer having a function of blocking oxygen and moisture in the atmosphere, and is an organic-inorganic laminated type in which an organic region and an inorganic region or an organic layer and an inorganic layer are laminated.
Organic regions and inorganic regions or organic layers and inorganic layers are usually laminated alternately. In the case of an organic region and an inorganic region, a so-called gradient material layer in which each region continuously changes in the film thickness direction may be used. Examples of the gradient materials include a paper by Kim et al. “Journal of Vacuum Science and Technology A Vol. 23 p971-977 (2005 American Vacuum Society) Journal of Vacuum Science and Technology A Vol. , American Vacuum Society) ”, or a continuous layer in which the organic layer and the inorganic layer do not have an interface as disclosed in US Published Patent Application No. 2004-46497. Hereinafter, for simplification, the organic layer and the organic region are described as “organic layer”, and the inorganic layer and the inorganic region are described as “inorganic layer”.
Although there is no restriction | limiting in particular regarding the number of layers which comprises a cas barrier layer, Typically 2-30 layers are preferable, and 3-20 layers are more preferable.
The thickness of the gas barrier layer is not particularly defined, but is, for example, 0.2 to 30 μm, and preferably 0.5 to 15 μm.

(無機層)
無機層は、通常、金属化合物からなる薄膜の層である。無機層の形成方法は、目的の薄膜を形成できる方法であればいかなる方法でも用いることができる。例えば、塗布法、スパッタリング法、真空蒸着法、イオンプレーティング法、プラズマCVD法などが適しており、具体的には特許第3400324号、特開2002−322561号、特開2002−361774号各公報記載の形成方法を採用することができる。
前記無機層に含まれる成分は、上記性能を満たすものであれば特に限定されないが、例えば、Si、Al、In、Sn、Zn、Ti、Cu、Ce、またはTa等から選ばれる1種以上の金属を含む酸化物、窒化物、炭化物、酸化窒化物、酸化炭化物、窒化炭化物、酸化窒化炭化物などを用いることができる。これらの中でも、Si、Al、In、Sn、Zn、Tiから選ばれる金属の酸化物、窒化物または酸化窒化物が好ましく、特に、SiまたはAlの金属酸化物、窒化物または酸化窒化物が好ましい。これらは、副次的な成分として他の元素を含有してもよい。
前記無機層の厚みに関しては特に限定されないが、5nm〜500nmの範囲内であることが好ましく、さらに好ましくは、10nm〜200nmである。また、2層以上の無機層を積層してもよい。この場合、各層が同じ組成であっても異なる組成であっても良い。また、米国公開特許2004−46497号明細書に開示してあるように有機層との界面が明確で無く、組成が膜厚方向で連続的に変化する層であっても良い。
(Inorganic layer)
The inorganic layer is usually a thin film layer made of a metal compound. As a method for forming the inorganic layer, any method can be used as long as it can form a target thin film. For example, a coating method, a sputtering method, a vacuum deposition method, an ion plating method, a plasma CVD method, and the like are suitable, and specifically, Japanese Patent No. 3400324, Japanese Patent Application Laid-Open No. 2002-322561, and Japanese Patent Application Laid-Open No. 2002-361774. The described forming method can be employed.
The component contained in the inorganic layer is not particularly limited as long as it satisfies the above performance, but for example, one or more selected from Si, Al, In, Sn, Zn, Ti, Cu, Ce, Ta, or the like An oxide containing metal, nitride, carbide, oxynitride, oxycarbide, nitride carbide, oxynitride carbide, or the like can be used. Among these, a metal oxide, nitride, or oxynitride selected from Si, Al, In, Sn, Zn, and Ti is preferable, and a metal oxide, nitride, or oxynitride of Si or Al is particularly preferable. . These may contain other elements as secondary components.
Although it does not specifically limit regarding the thickness of the said inorganic layer, It is preferable to exist in the range of 5 nm-500 nm, More preferably, it is 10 nm-200 nm. Two or more inorganic layers may be laminated. In this case, each layer may have the same composition or a different composition. Further, as disclosed in US Patent Publication No. 2004-46497, a layer whose interface with the organic layer is not clear and whose composition continuously changes in the film thickness direction may be used.

(有機層)
本発明においては、ポリマーとして好ましくはラジカル重合性化合物および/またはエーテル基を官能基に有するカチオン重合性化合物の重合物から構成された有機層である。
(重合性化合物)
本発明で用いる重合性化合物は、エチレン性不飽和結合を末端または側鎖に有する化合物、および/または、エポキシまたはオキセタンを末端または側鎖に有する化合物である。これらのうち、エチレン性不飽和結合を末端または側鎖に有する化合物が好ましい。エチレン性不飽和結合を末端または側鎖に有する化合物の例としては、(メタ)アクリレート系化合物(アクリレートとメタクリレートをあわせて(メタ)アクリレートと表記する)、アクリルアミド系化合物、スチレン系化合物、無水マレイン酸等が挙げられる。
(Organic layer)
In the present invention, the organic layer is preferably composed of a polymer of a radically polymerizable compound and / or a cationically polymerizable compound having an ether group as a functional group as a polymer.
(Polymerizable compound)
The polymerizable compound used in the present invention is a compound having an ethylenically unsaturated bond at the terminal or side chain and / or a compound having epoxy or oxetane at the terminal or side chain. Of these, compounds having an ethylenically unsaturated bond at the terminal or side chain are preferred. Examples of compounds having an ethylenically unsaturated bond at the terminal or side chain include (meth) acrylate compounds (acrylates and methacrylates are collectively referred to as (meth) acrylates), acrylamide compounds, styrene compounds, and anhydrous maleic compounds. An acid etc. are mentioned.

(メタ)アクリレート系化合物としては、(メタ)アクリレート、ウレタン(メタ)アクリレートやポリエステル(メタ)アクリレート、エポキシ(メタ)アクリレート等が好ましい。
スチレン系化合物としては、スチレン、α−メチルスチレン、4−メチルスチレン、ジビニルベンゼン、4−ヒドロキシスチレン、4−カルボキシスチレン等が好ましい。
As the (meth) acrylate compound, (meth) acrylate, urethane (meth) acrylate, polyester (meth) acrylate, epoxy (meth) acrylate and the like are preferable.
As the styrene compound, styrene, α-methylstyrene, 4-methylstyrene, divinylbenzene, 4-hydroxystyrene, 4-carboxystyrene and the like are preferable.

以下に、(メタ)アクリレート系化合物の具体例を示すが、本発明はこれらに限定されるものではない。

Figure 2009083465
Although the specific example of a (meth) acrylate type compound is shown below, this invention is not limited to these.
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(重合開始剤)
本発明における有機層は、通常、重合性組成物を塗布硬化させて得られるが、該重合性組成物は、重合開始剤を含んでいてもよい。光重合開始剤を用いる場合、その含量は、重合性化合物の合計量の0.1モル%以上であることが好ましく、0.5〜2モル%であることがより好ましい。このような組成とすることにより、活性成分生成反応を経由する重合反応を適切に制御することができる。光重合開始剤の例としてはチバ・スペシャルティー・ケミカルズ社から市販されているイルガキュア(Irgacure)シリーズ(例えば、イルガキュア651、イルガキュア754、イルガキュア184、イルガキュア2959、イルガキュア907、イルガキュア369、イルガキュア379、イルガキュア819など)、ダロキュア(Darocure)シリーズ(例えば、ダロキュアTPO、ダロキュア1173など)、クオンタキュア(Quantacure)PDO、サートマー(Sartomer)社から市販されているエザキュア(Ezacure)シリーズ(例えば、エザキュアTZM、エザキュアTZTなど)等が挙げられる。
(Polymerization initiator)
The organic layer in the present invention is usually obtained by coating and curing a polymerizable composition, but the polymerizable composition may contain a polymerization initiator. When using a photoinitiator, it is preferable that the content is 0.1 mol% or more of the total amount of the polymerizable compounds, and more preferably 0.5 to 2 mol%. By setting it as such a composition, the polymerization reaction via an active component production | generation reaction can be controlled appropriately. Examples of the photopolymerization initiator include Irgacure series (for example, Irgacure 651, Irgacure 754, Irgacure 184, Irgacure 2959, Irgacure 907, Irgacure 369, Irgacure 379, Irgacure, commercially available from Ciba Specialty Chemicals. 819), Darocure series (eg, Darocur TPO, Darocur 1173, etc.), Quantacure PDO, Ezacure series (eg, Ezacure TZM, Ezacure TZT, commercially available from Sartomer). Etc.).

(有機層の形成方法)
有機層の形成方法としては、特に定めるものではないが、例えば、溶液塗布法や真空成膜法により形成することができる。溶液塗布法としては、例えば、ディップコート法、エアーナイフコート法、カーテンコート法、ローラーコート法、ワイヤーバーコート法、グラビアコート法、スライドコート法、或いは、米国特許第2681294号明細書に記載のホッパ−を使用するエクストル−ジョンコート法により塗布することができる。真空成膜法としては、特に制限はないが、蒸着、プラズマCVD等の成膜方法が好ましい。本発明においてはポリマーを溶液塗布しても良いし、特開2000−323273号公報、特開2004−25732号公報に開示されているような無機物を含有するハイブリッドコーティング法を用いてもよい。
(Formation method of organic layer)
A method for forming the organic layer is not particularly defined, but for example, it can be formed by a solution coating method or a vacuum film forming method. Examples of the solution coating method include a dip coating method, an air knife coating method, a curtain coating method, a roller coating method, a wire bar coating method, a gravure coating method, a slide coating method, or a method described in US Pat. No. 2,681,294. It can apply | coat by the extrusion coat method which uses a hopper. Although there is no restriction | limiting in particular as a vacuum film-forming method, Film-forming methods, such as vapor deposition and plasma CVD, are preferable. In the present invention, a polymer may be applied by solution, or a hybrid coating method containing an inorganic substance as disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open Nos. 2000-323273 and 2004-25732 may be used.

(重合性化合物の架橋方法)
本発明では、前記重合性化合物に熱または各種のエネルギー線を照射して重合、架橋させることにより高分子を主成分とする有機層を形成する。エネルギー線の例としては紫外線、可視光線、赤外線、電子線、エックス線、ガンマ線等が挙げられる。このとき、熱で重合させる場合は熱重合開始剤を、紫外線で重合させる場合は光重合開始剤を、可視光線で重合させる場合は光重合開始剤と増感剤を用いる。以上の中では、光重合開始剤を含有する重合性化合物を紫外線で重合、架橋することが好ましい。
(Crosslinking method of polymerizable compound)
In the present invention, the polymerizable compound is irradiated with heat or various energy rays to polymerize and crosslink, thereby forming an organic layer mainly composed of a polymer. Examples of energy rays include ultraviolet rays, visible rays, infrared rays, electron beams, X-rays, and gamma rays. At this time, a thermal polymerization initiator is used for polymerization with heat, a photopolymerization initiator is used for polymerization with ultraviolet light, and a photopolymerization initiator and a sensitizer are used for polymerization with visible light. In the above, it is preferable to superpose | polymerize and bridge | crosslink the polymeric compound containing a photoinitiator with an ultraviolet-ray.

本発明では、通常、重合性化合物を含む組成物を、光照射して硬化させるが、照射する光は、通常、高圧水銀灯もしくは低圧水銀灯による紫外線である。照射エネルギーは0.5J/cm2以上が好ましく、2J/cm2以上がより好ましい。(メタ)アクリレート系化合物の場合、空気中の酸素によって重合阻害を受けるため、重合時の酸素濃度もしくは酸素分圧を低くすることが好ましい。窒素置換法によって重合時の酸素濃度を低下させる場合、酸素濃度は2%以下が好ましく、0.5%以下がより好ましい。減圧法により重合時の酸素分圧を低下させる場合、全圧が1000Pa以下であることが好ましく、100Pa以下であることがより好ましい。また、100Pa以下の減圧条件下で2J/cm2以上のエネルギーを照射して紫外線重合を行うのが特に好ましい。 In the present invention, a composition containing a polymerizable compound is usually cured by irradiation with light, but the irradiation light is usually ultraviolet light from a high-pressure mercury lamp or a low-pressure mercury lamp. The irradiation energy is preferably 0.5 J / cm 2 or more, and more preferably 2 J / cm 2 or more. In the case of a (meth) acrylate-based compound, since polymerization is inhibited by oxygen in the air, it is preferable to reduce the oxygen concentration or oxygen partial pressure during polymerization. When the oxygen concentration during polymerization is lowered by the nitrogen substitution method, the oxygen concentration is preferably 2% or less, and more preferably 0.5% or less. When the oxygen partial pressure during polymerization is reduced by the decompression method, the total pressure is preferably 1000 Pa or less, and more preferably 100 Pa or less. Further, it is particularly preferable to perform ultraviolet polymerization by irradiating energy of 2 J / cm 2 or more under a reduced pressure condition of 100 Pa or less.

本発明における有機層は、平滑で、膜硬度が高いことが好ましい。有機層の平滑性は1μm角の平均粗さ(Ra値)として1nm未満であることが好ましく、0.5nm未満であることがより好ましい。モノマーの重合率は85%以上であることが好ましく、88%以上であることがより好ましく、90%以上であることがさらに好ましく、92%以上であることが特に好ましい。ここでいう重合率とはモノマー混合物中の全ての重合性基(アクリロイル基およびメタクリロイル基)のうち、反応した重合性基の比率を意味する。重合率は赤外線吸収法によって定量することができる。  The organic layer in the present invention is preferably smooth and has high film hardness. The smoothness of the organic layer is preferably less than 1 nm as average roughness (Ra value) of 1 μm square, and more preferably less than 0.5 nm. The polymerization rate of the monomer is preferably 85% or more, more preferably 88% or more, further preferably 90% or more, and particularly preferably 92% or more. The polymerization rate here means the ratio of the reacted polymerizable groups among all the polymerizable groups (acryloyl group and methacryloyl group) in the monomer mixture. The polymerization rate can be quantified by an infrared absorption method.

有機層の膜厚については特に限定はないが、薄すぎると膜厚の均一性を得ることが困難になるし、厚すぎると外力によりクラックを発生してバリア性が低下する。かかる観点から、有機層の厚みは50nm〜2000nmが好ましく、200nm〜1500nmがより好ましい。
また、有機層は先に記載したとおり平滑であることが好ましい。有機層の平滑性は1μm角の平均粗さ(Ra値)として1nm未満が好ましく、0.5nm未満であることがより好ましい。有機層の表面にはパーティクル等の異物、突起が無いことが要求される。このため、有機層の成膜はクリーンルーム内で行われることが好ましい。クリーン度はクラス10000以下が好ましく、クラス1000以下がより好ましい。
有機層の硬度は高いほうが好ましい。有機層の硬度が高いと、無機層が平滑に成膜されその結果としてバリア能が向上することがわかっている。有機層の硬度はナノインデンテーション法に基づく微小硬度として表すことができる。有機層の微小硬度は150N/mm以上であることが好ましく、180N/mm以上であることがより好ましく、200N/mm以上であることが特に好ましい。
有機層は2層以上積層することが好ましい。この場合、少なくとも1層が、上記の有機層であればよく、他の有機層は、上記の有機層であっても、他の組成由来の有機層であってもよい。また、有機層の1層として、米国公開特許2004−46497号明細書に開示してあるように無機層との界面が明確で無く、組成が膜厚方向で連続的に変化する層であってもよい。
The film thickness of the organic layer is not particularly limited, but if it is too thin, it is difficult to obtain film thickness uniformity, and if it is too thick, cracks are generated due to external force and the barrier property is lowered. From this viewpoint, the thickness of the organic layer is preferably 50 nm to 2000 nm, and more preferably 200 nm to 1500 nm.
The organic layer is preferably smooth as described above. The smoothness of the organic layer is preferably less than 1 nm and more preferably less than 0.5 nm as an average roughness (Ra value) of 1 μm square. The surface of the organic layer is required to be free of foreign matters such as particles and protrusions. For this reason, it is preferable that the organic layer is formed in a clean room. The degree of cleanness is preferably class 10000 or less, more preferably class 1000 or less.
It is preferable that the organic layer has a high hardness. It has been found that when the hardness of the organic layer is high, the inorganic layer is formed smoothly and as a result, the barrier ability is improved. The hardness of the organic layer can be expressed as a microhardness based on the nanoindentation method. The microhardness of the organic layer is preferably 150 N / mm or more, more preferably 180 N / mm or more, and particularly preferably 200 N / mm or more.
It is preferable to laminate two or more organic layers. In this case, at least one layer may be the above organic layer, and the other organic layer may be the above organic layer or an organic layer derived from another composition. In addition, as one layer of the organic layer, as disclosed in US 2004-46497, the interface with the inorganic layer is not clear and the composition changes continuously in the film thickness direction. Also good.

(基材フィルム)
本発明におけるガスバリアフィルムは、通常、基材フィルムとして、プラスチックフィルムを用いる。用いられるプラスチックフィルムは、有機層、無機層等の積層体を保持できるフィルムであれば材質、厚み等に特に制限はなく、使用目的等に応じて適宜選択することができる。前記プラスチックフィルムとしては、具体的には、金属支持体(アルミニウム、銅、ステンレス等)、ポリエステル樹脂、メタクリル樹脂、メタクリル酸−マレイン酸共重合体、ポリスチレン樹脂、透明フッ素樹脂、ポリイミド、フッ素化ポリイミド樹脂、ポリアミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ポリエーテルイミド樹脂、セルロースアシレート樹脂、ポリウレタン樹脂、ポリエーテルエーテルケトン樹脂、ポリカーボネート樹脂、脂環式ポリオレフィン樹脂、ポリアリレート樹脂、ポリエーテルスルホン樹脂、ポリスルホン樹脂、シクロオレフィルンコポリマー、フルオレン環変性ポリカーボネート樹脂、脂環変性ポリカーボネート樹脂、フルオレン環変性ポリエステル樹脂、アクリロイル化合物などの熱可塑性樹脂が挙げられる。これらのうち、ポリエステル樹脂(例えば、ポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリエチレンナフタレート(PEN))が好ましい。
(Base film)
The gas barrier film in the present invention usually uses a plastic film as the base film. The plastic film to be used is not particularly limited in material, thickness and the like as long as it can hold a laminate such as an organic layer and an inorganic layer, and can be appropriately selected according to the purpose of use. Specific examples of the plastic film include a metal support (aluminum, copper, stainless steel, etc.), polyester resin, methacrylic resin, methacrylic acid-maleic acid copolymer, polystyrene resin, transparent fluororesin, polyimide, and fluorinated polyimide. Resin, polyamide resin, polyamideimide resin, polyetherimide resin, cellulose acylate resin, polyurethane resin, polyether ether ketone resin, polycarbonate resin, alicyclic polyolefin resin, polyarylate resin, polyethersulfone resin, polysulfone resin, cyclohexane Examples thereof include thermoplastic resins such as olefin filler copolymer, fluorene ring-modified polycarbonate resin, alicyclic ring-modified polycarbonate resin, fluorene ring-modified polyester resin, and acryloyl compound. Of these, polyester resins (for example, polyethylene terephthalate (PET) and polyethylene naphthalate (PEN)) are preferable.

本発明のガスバリアフィルムを後述する有機EL素子等のデバイスの基板として使用する場合は、プラスチックフィルムは耐熱性を有する素材からなることが好ましい。具体的には、ガラス転移温度(Tg)が100℃以上および/または線熱膨張係数が40ppm/℃以下で耐熱性の高い透明な素材からなることが好ましい。Tgや線膨張係数は、添加剤などによって調整することができる。このような熱可塑性樹脂として、例えば、ポリエチレンナフタレート(PEN:120℃)、ポリカーボネート(PC:140℃)、脂環式ポリオレフィン(例えば日本ゼオン(株)製 ゼオノア1600:160℃)、ポリアリレート(PAr:210℃)、ポリエーテルスルホン(PES:220℃)、ポリスルホン(PSF:190℃)、シクロオレフィンコポリマー(COC:特開2001−150584号公報の化合物:162℃)、ポリイミド(例えば三菱ガス化学(株)ネオプリム:260℃)、フルオレン環変性ポリカーボネート(BCF−PC:特開2000−227603号公報の化合物:225℃)、脂環変性ポリカーボネート(IP−PC:特開2000−227603号公報の化合物:205℃)、アクリロイル化合物(特開2002−80616号公報の化合物:300℃以上)が挙げられる(括弧内はTgを示す)。特に、透明性を求める場合には脂環式ポレオレフィン等を使用するのが好ましい。   When the gas barrier film of the present invention is used as a substrate for a device such as an organic EL element described later, the plastic film is preferably made of a material having heat resistance. Specifically, it is preferable that the glass transition temperature (Tg) is 100 ° C. or higher and / or the linear thermal expansion coefficient is 40 ppm / ° C. or lower and is made of a transparent material having high heat resistance. Tg and a linear expansion coefficient can be adjusted with an additive. As such a thermoplastic resin, for example, polyethylene naphthalate (PEN: 120 ° C.), polycarbonate (PC: 140 ° C.), alicyclic polyolefin (for example, ZEONOR 1600: 160 ° C. manufactured by Nippon Zeon Co., Ltd.), polyarylate ( PAr: 210 ° C., polyethersulfone (PES: 220 ° C.), polysulfone (PSF: 190 ° C.), cycloolefin copolymer (COC: Japanese Patent Application Laid-Open No. 2001-150584 compound: 162 ° C.), polyimide (for example, Mitsubishi Gas Chemical) Neoprim: 260 ° C.), fluorene ring-modified polycarbonate (BCF-PC: compound of JP 2000-227603 A: 225 ° C.), alicyclic modified polycarbonate (IP-PC: compound of JP 2000-227603 A) : 205 ° C), acryloyl compound (Compound described in JP-A 2002-80616: 300 ° C. or more) (the parenthesized data are Tg). In particular, when transparency is required, it is preferable to use an alicyclic polyolefin or the like.

本発明のガスバリアフィルムを偏光板と組み合わせて使用する場合、ガスバリアフィルムのバリア性積層体がセルの内側に向くようにし、最も内側に(素子に隣接して)配置することが好ましい。このとき偏光板よりセルの内側にガスバリアフィルムが配置されることになるため、ガスバリアフィルムのレターデーション値が重要になる。このような態様でのガスバリアフィルムの使用形態は、レターデーション値が10nm以下の基材フィルムを用いたガスバリアフィルムと円偏光板(1/4波長板+(1/2波長板)+直線偏光板)を積層して使用するか、あるいは1/4波長板として使用可能な、レターデーション値が100nm〜180nmの基材フィルムを用いたガスバリアフィルムに直線偏光板を組み合わせて用いるのが好ましい。   When the gas barrier film of the present invention is used in combination with a polarizing plate, it is preferable that the barrier laminate of the gas barrier film faces the inside of the cell and is arranged on the innermost side (adjacent to the element). At this time, since the gas barrier film is disposed inside the cell from the polarizing plate, the retardation value of the gas barrier film is important. The usage form of the gas barrier film in such an embodiment includes a gas barrier film using a base film having a retardation value of 10 nm or less and a circularly polarizing plate (1/4 wavelength plate + (1/2 wavelength plate) + linearly polarizing plate. ) Or a linear barrier plate combined with a gas barrier film using a base film having a retardation value of 100 nm to 180 nm, which can be used as a quarter wavelength plate.

レターデーションが10nm以下の基材フィルムとしてはセルローストリアセテート(富士フイルム(株):富士タック)、ポリカーボネート(帝人化成(株):ピュアエース、(株)カネカ:エルメック)、シクロオレフィンポリマー(JSR(株):アートン、日本ゼオン(株):ゼオノア)、シクロオレフィンコポリマー(三井化学(株):アペル(ペレット)、ポリプラスチック(株):トパス(ペレット))ポリアリレート(ユニチカ(株):U100(ペレット))、透明ポリイミド(三菱ガス化学(株):ネオプリム)等を挙げることができる。
また1/4波長板としては、上記のフィルムを適宜延伸することで所望のレターデーション値に調整したフィルムを用いることができる。
As a base film having a retardation of 10 nm or less, cellulose triacetate (Fuji Film Co., Ltd .: Fuji Tac), polycarbonate (Teijin Chemicals Co., Ltd .: Pure Ace, Kaneka: Elmec Co., Ltd.), cycloolefin polymer (JSR Co., Ltd.) ): Arton, Nippon Zeon Co., Ltd .: Zeonoa), cycloolefin copolymer (Mitsui Chemicals Co., Ltd .: Appel (pellet), Polyplastic Co., Ltd .: Topas (pellet)) Polyarylate (Unitika Co., Ltd.): U100 (pellet) )), Transparent polyimide (Mitsubishi Gas Chemical Co., Ltd .: Neoprim) and the like.
Moreover, as a quarter wavelength plate, the film adjusted to the desired retardation value by extending | stretching said film suitably can be used.

本発明のガスバリアフィルムは有機EL素子等のデバイスとして利用されることから、プラスチックフィルムは透明であること、すなわち、光線透過率が通常80%以上、好ましくは85%以上、さらに好ましくは90%以上である。光線透過率は、JIS−K7105に記載された方法、すなわち積分球式光線透過率測定装置を用いて全光線透過率および散乱光量を測定し、全光線透過率から拡散透過率を引いて算出することができる。
本発明のガスバリアフィルムをディスプレイ用途に用いる場合であっても、観察側に設置しない場合などは必ずしも透明性が要求されない。したがって、このような場合は、プラスチックフィルムとして不透明な材料を用いることもできる。不透明な材料としては、例えば、ポリイミド、ポリアクリロニトリル、公知の液晶ポリマーなどが挙げられる。
本発明のガスバリアフィルムに用いられるプラスチックフィルムの厚みは、用途によって適宜選択されるので特に制限がないが、典型的には1〜800μmであり、好ましくは10〜200μmである。これらのプラスチックフィルムは、透明導電層、プライマー層等の機能層を有していても良い。機能層については、特開2006−289627号公報の段落番号0036〜0038に詳しく記載されている。これら以外の機能層の例としてはマット剤層、保護層、帯電防止層、平滑化層、密着改良層、遮光層、反射防止層、ハードコート層、応力緩和層、防曇層、防汚層、被印刷層、易接着層等が挙げられる。
Since the gas barrier film of the present invention is used as a device such as an organic EL element, the plastic film is transparent, that is, the light transmittance is usually 80% or more, preferably 85% or more, more preferably 90% or more. It is. The light transmittance is calculated by measuring the total light transmittance and the amount of scattered light using the method described in JIS-K7105, that is, an integrating sphere light transmittance measuring device, and subtracting the diffuse transmittance from the total light transmittance. be able to.
Even when the gas barrier film of the present invention is used for display, transparency is not necessarily required when it is not installed on the observation side. Therefore, in such a case, an opaque material can be used as the plastic film. Examples of the opaque material include polyimide, polyacrylonitrile, and known liquid crystal polymers.
The thickness of the plastic film used for the gas barrier film of the present invention is appropriately selected depending on the application and is not particularly limited, but is typically 1 to 800 μm, preferably 10 to 200 μm. These plastic films may have functional layers such as a transparent conductive layer and a primer layer. The functional layer is described in detail in paragraph numbers 0036 to 0038 of JP-A-2006-289627. Examples of functional layers other than these include matting agent layers, protective layers, antistatic layers, smoothing layers, adhesion improving layers, light shielding layers, antireflection layers, hard coat layers, stress relaxation layers, antifogging layers, and antifouling layers. , Printing layer, easy adhesion layer and the like.

(表示素子)
本発明における表示素子としては液晶表示素子、タッチパネル、有機EL素子、薄膜トランジスタ(TFT)画像表示素子、電子ペーパー等が挙げられる。
(Display element)
Examples of the display element in the present invention include a liquid crystal display element, a touch panel, an organic EL element, a thin film transistor (TFT) image display element, and electronic paper.

液晶表示素子
反射型液晶表示装置は、下から順に、下基板、反射電極、下配向膜、液晶層、上配向膜、透明電極、上基板、λ/4板、そして偏光膜からなる構成を有する。カラー表示の場合には、さらにカラーフィルター層を反射電極と下配向膜との間、または上配向膜と透明電極との間に設けることが好ましい。
透過型液晶表示装置は、下から順に、バックライト、偏光板、λ/4板、下透明電極、下配向膜、液晶層、上配向膜、上透明電極、上基板、λ/4板および偏光膜からなる構成を有する。カラー表示の場合には、さらにカラーフィルター層を下透明電極と下配向膜との間、または上配向膜と透明電極との間に設けることが好ましい。
液晶セルの種類は特に限定されないが、より好ましくはTN(Twisted Nematic)型、STN(Super Twisted Nematic)型またはHAN(Hybrid Aligned Nematic)型、VA(Vertically Alignment)型、ECB型(Electrically Controlled Birefringence)、OCB型(Optically Compensated Bend)、IPS型(In-Plane Switching)、CPA型(Continuous Pinwheel Alignment)であることが好ましい。
Liquid crystal display element A reflective liquid crystal display device has a configuration comprising, in order from the bottom, a lower substrate, a reflective electrode, a lower alignment film, a liquid crystal layer, an upper alignment film, a transparent electrode, an upper substrate, a λ / 4 plate, and a polarizing film. . In the case of color display, it is preferable to further provide a color filter layer between the reflective electrode and the lower alignment film, or between the upper alignment film and the transparent electrode.
The transmissive liquid crystal display device includes, in order from the bottom, a backlight, a polarizing plate, a λ / 4 plate, a lower transparent electrode, a lower alignment film, a liquid crystal layer, an upper alignment film, an upper transparent electrode, an upper substrate, a λ / 4 plate, and a polarization It has the structure which consists of a film | membrane. In the case of color display, it is preferable to further provide a color filter layer between the lower transparent electrode and the lower alignment film, or between the upper alignment film and the transparent electrode.
The type of the liquid crystal cell is not particularly limited, but more preferably TN (Twisted Nematic) type, STN (Super Twisted Nematic) type, HAN (Hybrid Aligned Nematic) type, VA (Vertically Alignment) type, ECB type (Electrically Controlled Birefringence) OCB type (Optically Compensated Bend), IPS type (In-Plane Switching), and CPA type (Continuous Pinwheel Alignment) are preferable.

タッチパネル
タッチパネルは、特開平5-127822号公報、特開2002-48913号公報等に記載されたものに応用することができる。
Touch Panel The touch panel can be applied to those described in JP-A-5-127822, JP-A-2002-48913, and the like.

有機EL素子
有機EL素子とは、有機エレクトロルミネッセンス素子のことをいう。有機EL素子は、基板上に陰極と陽極を有し、両電極の間に発光層を含む有機化合物層を有する。発光素子の性質上、陽極および陰極のうち少なくとも一方の電極は、透明である。
Organic EL element An organic EL element means an organic electroluminescence element. The organic EL element has a cathode and an anode on a substrate, and an organic compound layer including a light emitting layer between both electrodes. Due to the nature of the light emitting element, at least one of the anode and the cathode is transparent.

本発明における有機化合物層の積層の態様としては、陽極側から、正孔輸送層、発光層、電子輸送層の順に積層されている態様が好ましい。さらに、正孔輸送層と発光層との間、または、発光層と電子輸送層との間には、電荷ブロック層等を有していてもよい。陽極と正孔輸送層との間に、正孔注入層を有してもよく、陰極と電子輸送層との間には、電子注入層を有してもよい。また、発光層としては一層だけでもよく、また、第一発光層、第二発光層、第三発光層等に発光層を分割してもよい。さらに、各層は複数の二次層に分かれていてもよい。  As an aspect of lamination of the organic compound layer in the present invention, an aspect in which a hole transport layer, a light emitting layer, and an electron transport layer are laminated in this order from the anode side is preferable. Furthermore, a charge blocking layer or the like may be provided between the hole transport layer and the light-emitting layer, or between the light-emitting layer and the electron transport layer. A hole injection layer may be provided between the anode and the hole transport layer, and an electron injection layer may be provided between the cathode and the electron transport layer. Further, the light emitting layer may be a single layer, or the light emitting layer may be divided into a first light emitting layer, a second light emitting layer, a third light emitting layer, and the like. Furthermore, each layer may be divided into a plurality of secondary layers.

次に、有機EL素子を構成する各要素について、詳細に説明する。
基板
本発明における有機EL素子に用いられる基板は、本発明のガスバリアフィルムであってもよいし、公知の有機EL素子に用いられる基板であってもよい。公知の基板を採用する場合、樹脂フィルムであってもよいし、ガスバリアフィルムであってもよい。ガスバリアフィルムの場合、特開2004−136466号公報、特開2004−148566号公報、特開2005−246716号公報、特開2005−262529号公報等に記載のガスバリアフィルムも好ましく用いることができる。
Next, each element which comprises an organic EL element is demonstrated in detail.
Substrate The substrate used for the organic EL device in the present invention may be the gas barrier film of the present invention or a substrate used for a known organic EL device. When employing a known substrate, it may be a resin film or a gas barrier film. In the case of a gas barrier film, the gas barrier films described in JP-A No. 2004-136466, JP-A No. 2004-148766, JP-A No. 2005-246716, JP-A No. 2005-262529, and the like can also be preferably used.

公知の基板を採用する場合、その厚みは、特に規定されないが30μm〜700μmが好ましく、より好ましくは40μm〜200μm、さらに好ましくは50μm〜150μmである。さらにいずれの場合もヘイズは3%以下が好ましく、より好ましくは2%以下、さらに好ましくは1%以下、全光透過率は70%以上が好ましく、より好ましくは80%以上、さらに好ましくは90%以上である。   When a known substrate is employed, the thickness is not particularly limited, but is preferably 30 μm to 700 μm, more preferably 40 μm to 200 μm, and still more preferably 50 μm to 150 μm. Further, in any case, the haze is preferably 3% or less, more preferably 2% or less, further preferably 1% or less, and the total light transmittance is preferably 70% or more, more preferably 80% or more, and further preferably 90%. That's it.

陽極
陽極は、通常、有機化合物層に正孔を供給する電極としての機能を有していればよく、その形状、構造、大きさ等については特に制限はなく、発光素子の用途、目的に応じて、公知の電極材料の中から適宜選択することができる。上述のごとく、陽極は、通常透明陽極として設けられる。透明陽極については、沢田豊監修「透明電極膜の新展開」シーエムシー刊(1999)に詳述がある。基板として耐熱性の低いプラスチック基材を用いる場合は、ITOまたはIZOを使用し、150℃以下の低温で成膜した透明陽極が好ましい。
Anode The anode usually has a function as an electrode for supplying holes to the organic compound layer, and there is no particular limitation on the shape, structure, size, etc., depending on the use and purpose of the light-emitting element. Thus, it can be appropriately selected from known electrode materials. As described above, the anode is usually provided as a transparent anode. The transparent anode is described in detail in Yutaka Sawada's “New Development of Transparent Electrode Film” published by CMC (1999). When using a plastic substrate with low heat resistance as the substrate, ITO or IZO is used, and a transparent anode formed at a low temperature of 150 ° C. or lower is preferable.

陰極
陰極は、通常、有機化合物層に電子を注入する電極としての機能を有していればよく、その形状、構造、大きさ等については特に制限はなく、発光素子の用途、目的に応じて、公知の電極材料の中から適宜選択することができる。
Cathode The cathode usually has a function as an electrode for injecting electrons into the organic compound layer, and there is no particular limitation on the shape, structure, size, etc., depending on the use and purpose of the light-emitting element. , Can be appropriately selected from known electrode materials.

陰極を構成する材料としては、例えば、金属、合金、金属酸化物、電気伝導性化合物、これらの混合物などが挙げられる。具体例としては2属金属(たとえばMg、Ca等)、金、銀、鉛、アルミニウム、リチウム−アルミニウム合金、マグネシウム−銀合金、インジウム、イッテルビウム等の希土類金属などが挙げられる。これらは、1種単独で使用してもよいが、安定性と電子注入性とを両立させる観点からは、2種以上を好適に併用することができる。  Examples of the material constituting the cathode include metals, alloys, metal oxides, electrically conductive compounds, and mixtures thereof. Specific examples include Group 2 metals (eg, Mg, Ca, etc.), gold, silver, lead, aluminum, lithium-aluminum alloys, magnesium-silver alloys, rare earth metals such as indium, ytterbium, and the like. These may be used alone, but two or more can be suitably used in combination from the viewpoint of achieving both stability and electron injection.

これらの中でも、陰極を構成する材料としては、アルミニウムを主体とする材料が好ましい。
アルミニウムを主体とする材料とは、アルミニウム単独、アルミニウムと0.01〜10質量%のアルカリ金属または2属金属との合金(例えば、リチウム−アルミニウム合金、マグネシウム−アルミニウム合金など)をいう。なお、陰極の材料については、特開平2−15595号公報、特開平5−121172号公報に詳述されている。また、陰極と前記有機化合物層との間に、アルカリ金属または2属金属のフッ化物、酸化物等による誘電体層を0.1〜5nmの厚みで挿入してもよい。この誘電体層は、一種の電子注入層と見ることもできる。
Among these, as a material constituting the cathode, a material mainly composed of aluminum is preferable.
The material mainly composed of aluminum refers to aluminum alone or an alloy of aluminum and 0.01 to 10% by mass of an alkali metal or a Group 2 metal (for example, lithium-aluminum alloy, magnesium-aluminum alloy, etc.). The cathode material is described in detail in JP-A-2-15595 and JP-A-5-121172. Further, a dielectric layer made of a fluoride or oxide of an alkali metal or a Group 2 metal may be inserted between the cathode and the organic compound layer with a thickness of 0.1 to 5 nm. This dielectric layer can also be regarded as a kind of electron injection layer.

陰極の厚みは、陰極を構成する材料により適宜選択することができ、一概に規定することはできないが、通常10nm〜5μm程度であり、50nm〜1μmが好ましい。
また、陰極は、透明であってもよいし、不透明であってもよい。なお、透明な陰極は、陰極の材料を1〜10nmの厚さに薄く成膜し、さらにITOやIZO等の透明な導電性材料を積層することにより形成することができる。
The thickness of the cathode can be appropriately selected depending on the material constituting the cathode and cannot be generally defined, but is usually about 10 nm to 5 μm, and preferably 50 nm to 1 μm.
Further, the cathode may be transparent or opaque. The transparent cathode can be formed by depositing a thin cathode material to a thickness of 1 to 10 nm and further laminating a transparent conductive material such as ITO or IZO.

発光層
有機EL素子は、発光層を含む少なくとも一層の有機化合物層を有しており、有機発光層以外の他の有機化合物層としては、前述したごとく、正孔輸送層、電子輸送層、電荷ブロック層、正孔注入層、電子注入層等の各層が挙げられる。
Light-Emitting Layer The organic EL element has at least one organic compound layer including a light-emitting layer, and as the organic compound layer other than the organic light-emitting layer, as described above, a hole transport layer, an electron transport layer, a charge Examples of the layer include a block layer, a hole injection layer, and an electron injection layer.

−有機発光層−
有機発光層は、電界印加時に、陽極、正孔注入層、または正孔輸送層から正孔を受け取り、陰極、電子注入層、または電子輸送層から電子を受け取り、正孔と電子との再結合の場を提供して発光させる機能を有する層である。発光層は、発光材料のみで構成されていてもよく、ホスト材料と発光材料の混合層とした構成でもよい。発光材料は蛍光発光材料でも燐光発光材料であってもよく、ドーパントは1種であっても2種以上であってもよい。ホスト材料は電荷輸送材料であることが好ましい。ホスト材料は1種であっても2種以上であってもよく、例えば、電子輸送性のホスト材料とホール輸送性のホスト材料とを混合した構成が挙げられる。さらに、発光層中に電荷輸送性を有さず、発光しない材料を含んでいてもよい。また、発光層は1層であっても2層以上であってもよく、それぞれの層が異なる発光色で発光してもよい。
-Organic light emitting layer-
The organic light-emitting layer receives holes from the anode, the hole injection layer, or the hole transport layer when an electric field is applied, and receives electrons from the cathode, the electron injection layer, or the electron transport layer, and recombines the holes and electrons. It is a layer having a function of providing light and emitting light. The light emitting layer may be composed of only the light emitting material, or may be a mixed layer of the host material and the light emitting material. The light emitting material may be a fluorescent light emitting material or a phosphorescent light emitting material, and the dopant may be one type or two or more types. The host material is preferably a charge transport material. The host material may be one kind or two or more kinds, and examples thereof include a configuration in which an electron transporting host material and a hole transporting host material are mixed. Furthermore, the light emitting layer may include a material that does not have charge transporting properties and does not emit light. Further, the light emitting layer may be a single layer or two or more layers, and each layer may emit light in different emission colors.

前記蛍光発光材料の例としては、例えば、ベンゾオキサゾール誘導体、ベンゾイミダゾール誘導体、ベンゾチアゾール誘導体、スチリルベンゼン誘導体、ポリフェニル誘導体、ジフェニルブタジエン誘導体、テトラフェニルブタジエン誘導体、ナフタルイミド誘導体、クマリン誘導体、縮合芳香族化合物、ペリノン誘導体、オキサジアゾール誘導体、オキサジン誘導体、アルダジン誘導体、ピラリジン誘導体、シクロペンタジエン誘導体、ビススチリルアントラセン誘導体、キナクリドン誘導体、ピロロピリジン誘導体、チアジアゾロピリジン誘導体、シクロペンタジエン誘導体、スチリルアミン誘導体、ジケトピロロピロール誘導体、芳香族ジメチリディン化合物、8−キノリノール誘導体の金属錯体やピロメテン誘導体の金属錯体に代表される各種金属錯体等、ポリチオフェン、ポリフェニレン、ポリフェニレンビニレン等のポリマー化合物、有機シラン誘導体などの化合物等が挙げられる。   Examples of the fluorescent light-emitting material include, for example, benzoxazole derivatives, benzimidazole derivatives, benzothiazole derivatives, styrylbenzene derivatives, polyphenyl derivatives, diphenylbutadiene derivatives, tetraphenylbutadiene derivatives, naphthalimide derivatives, coumarin derivatives, condensed aromatics. Compound, perinone derivative, oxadiazole derivative, oxazine derivative, aldazine derivative, pyralidine derivative, cyclopentadiene derivative, bisstyrylanthracene derivative, quinacridone derivative, pyrrolopyridine derivative, thiadiazolopyridine derivative, cyclopentadiene derivative, styrylamine derivative, di Typical examples include ketopyrrolopyrrole derivatives, aromatic dimethylidin compounds, metal complexes of 8-quinolinol derivatives and metal complexes of pyromethene derivatives. Various metal complexes are, polythiophene, polyphenylene, polyphenylene vinylene polymer compounds include compounds such as organic silane derivatives.

前記燐光発光材料は、例えば、遷移金属原子またはランタノイド原子を含む錯体が挙げられる。
前記遷移金属原子としては、特に限定されないが、好ましくは、ルテニウム、ロジウム、パラジウム、タングステン、レニウム、オスミウム、イリジウム、および白金が挙げられ、より好ましくは、レニウム、イリジウム、および白金である。
前記ランタノイド原子としては、ランタン、セリウム、プラセオジム、ネオジム、サマリウム、ユーロピウム、ガドリニウム、テルビウム、ジスプロシウム、ホルミウム、エルビウム、ツリウム、イッテルビウム、ルテシウムが挙げられる。これらのランタノイド原子の中でも、ネオジム、ユーロピウム、およびガドリニウムが好ましい。
Examples of the phosphorescent material include a complex containing a transition metal atom or a lanthanoid atom.
Although it does not specifically limit as said transition metal atom, Preferably, ruthenium, rhodium, palladium, tungsten, rhenium, osmium, iridium, and platinum are mentioned, More preferably, they are rhenium, iridium, and platinum.
Examples of the lanthanoid atom include lanthanum, cerium, praseodymium, neodymium, samarium, europium, gadolinium, terbium, dysprosium, holmium, erbium, thulium, ytterbium, and lutetium. Among these lanthanoid atoms, neodymium, europium, and gadolinium are preferable.

錯体の配位子としては、例えば、G.Wilkinson等著,Comprehensive Coordination Chemistry, Pergamon Press社1987年発行、H.Yersin著,「Photochemistry and Photophysics of Coordination Compounds」 Springer−Verlag社1987年発行、山本明夫著「有機金属化学−基礎と応用−」裳華房社1982年発行等に記載の配位子などが挙げられる。   Examples of the ligand of the complex include G. Wilkinson et al., Comprehensive Coordination Chemistry, Pergamon Press, 1987, H. Yersin, “Photochemistry and Photophysics of Coordination Compounds,” Springer-Verlag, 1987, Akio Yamamoto. Examples of the ligands described in the book “Organic Metal Chemistry-Fundamentals and Applications-” published in 1982 by Hankabosha.

また、発光層に含有されるホスト材料としては、例えば、カルバゾール骨格を有するもの、ジアリールアミン骨格を有するもの、ピリジン骨格を有するもの、ピラジン骨格を有するもの、トリアジン骨格を有するものおよびアリールシラン骨格を有するものや、後述の正孔注入層、正孔輸送層、電子注入層、電子輸送層の項で例示されている材料が挙げられる。   Examples of the host material contained in the light emitting layer include those having a carbazole skeleton, those having a diarylamine skeleton, those having a pyridine skeleton, those having a pyrazine skeleton, those having a triazine skeleton, and those having an arylsilane skeleton. And materials exemplified in the sections of a hole injection layer, a hole transport layer, an electron injection layer, and an electron transport layer described later.

−正孔注入層、正孔輸送層−
正孔注入層、正孔輸送層は、陽極または陽極側から正孔を受け取り陰極側に輸送する機能を有する層である。正孔注入層、正孔輸送層は、具体的には、カルバゾール誘導体、トリアゾール誘導体、オキサゾール誘導体、オキサジアゾール誘導体、イミダゾール誘導体、ポリアリールアルカン誘導体、ピラゾリン誘導体、ピラゾロン誘導体、フェニレンジアミン誘導体、アリールアミン誘導体、アミノ置換カルコン誘導体、スチリルアントラセン誘導体、フルオレノン誘導体、ヒドラゾン誘導体、スチルベン誘導体、シラザン誘導体、芳香族第三級アミン化合物、スチリルアミン化合物、芳香族ジメチリディン系化合物、ポルフィリン系化合物、有機シラン誘導体、カーボン、等を含有する層であることが好ましい。
-Hole injection layer, hole transport layer-
The hole injection layer and the hole transport layer are layers having a function of receiving holes from the anode or the anode side and transporting them to the cathode side. Specifically, the hole injection layer and the hole transport layer are carbazole derivatives, triazole derivatives, oxazole derivatives, oxadiazole derivatives, imidazole derivatives, polyarylalkane derivatives, pyrazoline derivatives, pyrazolone derivatives, phenylenediamine derivatives, arylamines. Derivatives, amino-substituted chalcone derivatives, styrylanthracene derivatives, fluorenone derivatives, hydrazone derivatives, stilbene derivatives, silazane derivatives, aromatic tertiary amine compounds, styrylamine compounds, aromatic dimethylidin compounds, porphyrin compounds, organosilane derivatives, carbon , Etc. are preferable.

−電子注入層、電子輸送層−
電子注入層、電子輸送層は、陰極または陰極側から電子を受け取り陽極側に輸送する機能を有する層である。電子注入層、電子輸送層は、具体的には、トリアゾール誘導体、オキサゾール誘導体、オキサジアゾール誘導体、イミダゾール誘導体、フルオレノン誘導体、アントラキノジメタン誘導体、アントロン誘導体、ジフェニルキノン誘導体、チオピランジオキシド誘導体、カルボジイミド誘導体、フルオレニリデンメタン誘導体、ジスチリルピラジン誘導体、ナフタレン、ペリレン等の芳香環テトラカルボン酸無水物、フタロシアニン誘導体、8−キノリノール誘導体の金属錯体やメタルフタロシアニン、ベンゾオキサゾールやベンゾチアゾールを配位子とする金属錯体に代表される各種金属錯体、有機シラン誘導体、等を含有する層であることが好ましい。
-Electron injection layer, electron transport layer-
The electron injection layer and the electron transport layer are layers having a function of receiving electrons from the cathode or the cathode side and transporting them to the anode side. Specifically, the electron injection layer and the electron transport layer are triazole derivatives, oxazole derivatives, oxadiazole derivatives, imidazole derivatives, fluorenone derivatives, anthraquinodimethane derivatives, anthrone derivatives, diphenylquinone derivatives, thiopyran dioxide derivatives, Carbodiimide derivatives, fluorenylidenemethane derivatives, distyrylpyrazine derivatives, aromatic tetracarboxylic anhydrides such as naphthalene and perylene, phthalocyanine derivatives, metal complexes of 8-quinolinol derivatives, metal phthalocyanines, benzoxazoles and benzothiazoles as ligands It is preferably a layer containing various metal complexes typified by metal complexes, organosilane derivatives, and the like.

−正孔ブロック層−
正孔ブロック層は、陽極側から発光層に輸送された正孔が、陰極側に通りぬけることを防止する機能を有する層である。本発明において、発光層と陰極側で隣接する有機化合物層として、正孔ブロック層を設けることができる。また、電子輸送層・電子注入層が正孔ブロック層の機能を兼ねていてもよい。
正孔ブロック層を構成する有機化合物の例としては、BAlq等のアルミニウム錯体、トリアゾール誘導体、BCP等のフェナントロリン誘導体、等が挙げられる。
また、陰極側から発光層に輸送された電子が陽極側に通りぬけることを防止する機能を有する層を、発光層と陽極側で隣接する位置に設けることもできる。正孔輸送層・正孔注入層がこの機能を兼ねていてもよい。
-Hole blocking layer-
The hole blocking layer is a layer having a function of preventing holes transported from the anode side to the light emitting layer from passing through to the cathode side. In the present invention, a hole blocking layer can be provided as an organic compound layer adjacent to the light emitting layer on the cathode side. In addition, the electron transport layer / electron injection layer may also function as a hole blocking layer.
Examples of the organic compound constituting the hole blocking layer include aluminum complexes such as BAlq, triazole derivatives, phenanthroline derivatives such as BCP, and the like.
In addition, a layer having a function of preventing electrons transported from the cathode side to the light emitting layer from passing through to the anode side can be provided at a position adjacent to the light emitting layer on the anode side. The hole transport layer / hole injection layer may also serve this function.

以下に実施例を挙げて本発明をさらに具体的に説明する。以下の実施例に示す材料、使用量、割合、処理内容、処理手順等は、本発明の趣旨を逸脱しない限り、適宜、変更することができる。従って、本発明の範囲は以下に示す具体例に限定されるものではない。   The present invention will be described more specifically with reference to the following examples. The materials, amounts used, ratios, processing details, processing procedures, and the like shown in the following examples can be changed as appropriate without departing from the spirit of the present invention. Therefore, the scope of the present invention is not limited to the specific examples shown below.

[実施例1] ガスバリアフィルムの作製と評価(1)
基材フィルム上に無機層と有機層を設けたガスバリアフィルム(試料No.101〜115)を下記の手順にしたがって作製した。各ガスバリアフィルムの構造の詳細は表1に記載されるとおりである。基材フィルムには、ポリエチレンナフタレート(PEN、厚み100μm、帝人デュポン(株)製、Q65A)フィルムを用いた。
[Example 1] Production and evaluation of gas barrier film (1)
A gas barrier film (sample Nos. 101 to 115) in which an inorganic layer and an organic layer were provided on a base film was produced according to the following procedure. Details of the structure of each gas barrier film are as shown in Table 1. Polyethylene naphthalate (PEN, thickness 100 μm, manufactured by Teijin DuPont Co., Ltd., Q65A) film was used as the base film.

[1]無機層(X)の形成
リアクティブスパッタリング装置を用いて、酸化アルミニウムの無機層を形成した。以下に具体的な成膜条件を示す。
リアクティブスパッタリング装置の真空チャンバーを、油回転ポンプとターボ分子ポンプとで到達圧力5×10-4Paまで減圧した。次にプラズマガスとしてアルゴンを導入し、プラズマ電源から電力2000Wを印加した。チャンバー内に高純度の酸素ガスを導入し、成膜圧力を0.3Paになるように調整して一定時間成膜し、酸化アルミニウムの無機層を形成した。得られた酸化アルミニウム膜は、膜厚が40nmで、膜密度が3.01g/cm3であった。
[1] Formation of inorganic layer (X) An inorganic layer of aluminum oxide was formed using a reactive sputtering apparatus. Specific film forming conditions are shown below.
The vacuum chamber of the reactive sputtering apparatus was evacuated to an ultimate pressure 5 × 10 -4 Pa by an oil rotary pump and a turbo molecular pump. Next, argon was introduced as a plasma gas, and power of 2000 W was applied from a plasma power source. A high-purity oxygen gas was introduced into the chamber, the film formation pressure was adjusted to 0.3 Pa, and the film was formed for a certain period of time to form an aluminum oxide inorganic layer. The obtained aluminum oxide film had a thickness of 40 nm and a film density of 3.01 g / cm 3 .

[2]有機層(Y、W、Z、V、U)の形成
有機層は、常圧下での溶剤塗布による成膜方法(有機層Y、W、V、U)と、減圧下でフラッシュ蒸着法による成膜方法(有機層Z)の4通りを用いて行った。以下に具体的な成膜内容を示す。
[2−1]常圧下での溶剤塗布による有機層(Y)の成膜
光重合性アクリレートとしてトリプロピレングリコールジアクリレート(TPGDA、ダイセル・サイテック製)9g、および光重合開始剤(チバ・スペシャリティ・ケミカルズ製、イルガキュア907)0.1gを、メチルエチルケトン190gに溶解させて塗布液とした。この塗布液を、ワイヤーバーを用いて基材フィルムに塗布し、酸素濃度0.1%以下の窒素パージ下で160W/cmの空冷メタルハライドランプ(アイグラフィックス(株)製)を用いて、照度350mW/cm2、照射量500mJ/cm2の紫外線を照射して有機層(Y)を形成した。膜厚は、約500nmであった。
[2−2]常圧下での溶剤塗布による有機層(W)の成膜
光重合性アクリレートとしてトリプロピレングリコールジアクリレート(TPGDA)に代えて、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート(DPHA:新中村化学工業製)を用いた以外は、有機層Yの成膜条件に従った。膜厚は、約500nmであった。
[2] Formation of organic layer (Y, W, Z, V, U) The organic layer is formed by a film formation method (organic layer Y, W, V, U) by solvent coating under normal pressure and flash deposition under reduced pressure. The four film forming methods (organic layer Z) were used. Specific film formation contents are shown below.
[2-1] Formation of Organic Layer (Y) by Solvent Application at Normal Pressure 9 g of tripropylene glycol diacrylate (TPGDA, manufactured by Daicel Cytec) as a photopolymerizable acrylate, and a photopolymerization initiator (Ciba Specialty) 0.1 g of Irgacure 907 manufactured by Chemicals was dissolved in 190 g of methyl ethyl ketone to prepare a coating solution. This coating solution is applied to a base film using a wire bar, and an irradiance is applied using an air-cooled metal halide lamp (manufactured by Eye Graphics Co., Ltd.) of 160 W / cm under a nitrogen purge with an oxygen concentration of 0.1% or less. An organic layer (Y) was formed by irradiating ultraviolet rays at 350 mW / cm 2 and an irradiation amount of 500 mJ / cm 2 . The film thickness was about 500 nm.
[2-2] Formation of Organic Layer (W) by Solvent Application under Normal Pressure Instead of tripropylene glycol diacrylate (TPGDA) as a photopolymerizable acrylate, dipentaerythritol hexaacrylate (DPHA: manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd.) ) Was followed except that the organic layer Y was formed. The film thickness was about 500 nm.

[2−3]減圧下でフラッシュ蒸着法による有機層(Z)の成膜
光重合性アクリレートとしてブチルエチルプロパンジオールジアクリレート(BEPGA、共栄社化学製)9.7g、および光重合開始剤(Lamberti spa製、EZACURE−TZT)0.3gを混合し蒸着液とした。この蒸着液を、真空チャンバーの内圧が3Paの条件でフラッシュ蒸着法により基板に蒸着した。続いて同じ真空度の条件で、照射量2J/cm2の紫外線を照射して有機層Zを形成した。膜厚は、約1200nmであった。有機層Zの形成には、有機無機積層成膜装置Guardian200(ヴァイテックス・システムズ社製)を用いて実施した。
[2-3] Deposition of organic layer (Z) by flash vapor deposition under reduced pressure 9.7 g of butylethylpropanediol diacrylate (BEPGA, manufactured by Kyoeisha Chemical Co., Ltd.) as a photopolymerizable acrylate, and a photopolymerization initiator (Lamberti spa) Manufactured by EZACURE-TZT) was mixed to obtain a vapor deposition solution. This vapor deposition solution was vapor-deposited on the substrate by a flash vapor deposition method under the condition that the internal pressure of the vacuum chamber was 3 Pa. Then the conditions of the same degree of vacuum, thereby forming an organic layer Z and an irradiation dose of 2J / cm 2. The film thickness was about 1200 nm. The organic layer Z was formed using an organic / inorganic laminated film forming apparatus Guardian 200 (manufactured by Vytex Systems).

[2−4]常圧下での溶剤塗布による有機層(V)の成膜
光重合性アクリレートとしてビスフェノールA型エポキシアクリレート(新中村化学製、NKオリゴEA−1020)9g、および光重合開始剤(チバ・スペシャリティ・ケミカルズ製、イルガキュア907)0.1gを、メチルエチルケトン190gに溶解させて塗布液とした。この塗布液を、ワイヤーバーを用いて基材フィルムに塗布し、酸素濃度0.1%以下の窒素パージ下で160W/cmの空冷メタルハライドランプ(アイグラフィックス(株)製)を用いて、照度350mW/cm2、照射量500mJ/cm2の紫外線を照射して有機層(Y)を形成した。膜厚は、約500nmであった。
[2-4] Film Formation of Organic Layer (V) by Solvent Application under Normal Pressure 9 g of bisphenol A type epoxy acrylate (manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd., NK Oligo EA-1020) and photopolymerization initiator ( 0.1 g of Irgacure 907, manufactured by Ciba Specialty Chemicals, was dissolved in 190 g of methyl ethyl ketone to obtain a coating solution. This coating solution is applied to a base film using a wire bar, and an irradiance is applied using an air-cooled metal halide lamp (manufactured by Eye Graphics Co., Ltd.) of 160 W / cm under a nitrogen purge with an oxygen concentration of 0.1% or less. An organic layer (Y) was formed by irradiating ultraviolet rays at 350 mW / cm 2 and an irradiation amount of 500 mJ / cm 2 . The film thickness was about 500 nm.

[2−5]常圧下での溶剤塗布による有機層(U)の成膜
光重合性アクリレートとしてビスフェノールA型エポキシアクリレート(新中村化学製、NKオリゴEA−1020)に代えて、エポキシアクリレート(ダイセル・サイテック製、EB3702)を用いた以外は、有機層Vの成膜条件に従った。膜厚は、約500nmであった。
[2-5] Formation of Organic Layer (U) by Solvent Application under Normal Pressure Instead of bisphenol A type epoxy acrylate (manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd., NK Oligo EA-1020) as photopolymerizable acrylate, epoxy acrylate (Daicel) -The film-forming conditions of the organic layer V were followed except having used CY3702 by Cytec. The film thickness was about 500 nm.

[3]バリア性樹脂層(P)の形成
バリア性樹脂層は、次の6通りを用いて行った。以下に具体的な成膜内容を示す。
[3−1]バリア性樹脂層(P−1)の成膜
ポリビニルアルコール(PVA117H、クラレ製)を純水に2重量%で溶解させ塗布液とした。この塗布液を、ワイヤーバーを用いて基材フィルムに塗布し、80℃で乾燥させバリア性樹脂層(P−1)を形成した。膜厚は、約700nmであった。
[3−2]バリア性樹脂層(P−2)の成膜
塩化ビニリデン系共重合体(サランレジンF216、旭化成工業製)をトルエン/テトラヒドロフラン=1/2(重量比)の混合溶媒に15重量%になるように溶解し塗布液とした。この塗布液を、ワイヤーバーを用いて基材フィルムに塗布し、105℃で乾燥させバリア性樹脂層(P−2)を形成した。膜厚は、約2.5μmであった。
[3−3]バリア性樹脂層(P−3)の成膜
エチレン−ビニルアルコール共重合体(ソアノール30L、日本合成化学工業製)を、純水/イソプロパノール=1/1(重量比)の混合溶媒に12重量%になるように溶解し塗布液とした。を調製した。この塗布液を、ワイヤーバーを用いて基材フィルムに塗布し、110℃で乾燥させバリア性樹脂層(P−3)を形成した。膜厚は、約2μmであった。
[3−4]バリア性樹脂層(P−4)の成膜
合成マイカ(テトラシリリックマイカ(Na−Ts)、トピー工業製)を純水に0.65重量%となるように分散させた分散液(1)と、ポリビニルアルコール(PVA210、クラレ製)を純水に0.325重量%となるように溶解させた溶液(2)を、分散液(1)と溶液(2)が固形成分比(体積比)で(1)/(2)=3/7となるように混合し塗布液とした。この塗布液を、ワイヤーバーを用いて基材フィルムに塗布し、バリア性樹脂層(P−4)を形成した。膜厚は、約1μmであった。
[3−5]バリア性樹脂層(P−5)の成膜
上記溶液(2)のポリビニルアルコールに代えて、ヒドロキシエチルセルロース(和光純薬製)を用いた以外は、バリア性樹脂層(P−4)の成膜条件に従った。膜厚は、約1μmであった。
[3−6]バリア性樹脂層(P−6)の成膜
光重合性アクリレートとしてジペンタエリスリトールヘキサアクリレート(DPHA、新中村化学工業製)9g、および光重合開始剤(チバ・スペシャリティ・ケミカルズ製、イルガキュア907)0.1gを、メチルエチルケトン190gに溶解させて塗布液とした。この塗布液を、ワイヤーバーを用いて基材フィルムに塗布し、酸素濃度0.1%以下の窒素パージ下で160W/cmの空冷メタルハライドランプ(アイグラフィックス(株)製)を用いて、照度350mW/cm2、照射量1J/cm2の紫外線を照射してバリア性樹脂層(P−6)を形成した。膜厚は、約1μmであった。
[3] Formation of Barrier Resin Layer (P) The barrier resin layer was formed using the following 6 types. Specific film formation contents are shown below.
[3-1] Formation of Barrier Resin Layer (P-1) Polyvinyl alcohol (PVA117H, manufactured by Kuraray Co., Ltd.) was dissolved in pure water at 2% by weight to obtain a coating solution. This coating solution was applied to a base film using a wire bar and dried at 80 ° C. to form a barrier resin layer (P-1). The film thickness was about 700 nm.
[3-2] Film Formation of Barrier Resin Layer (P-2) 15% by weight of vinylidene chloride copolymer (Saran Resin F216, manufactured by Asahi Kasei Kogyo) in a mixed solvent of toluene / tetrahydrofuran = 1/2 (weight ratio) It dissolved so that it might become, and it was set as the coating liquid. This coating solution was applied to a base film using a wire bar and dried at 105 ° C. to form a barrier resin layer (P-2). The film thickness was about 2.5 μm.
[3-3] Film Formation of Barrier Resin Layer (P-3) Ethylene-vinyl alcohol copolymer (Soarnol 30L, manufactured by Nippon Synthetic Chemical Industry) was mixed in pure water / isopropanol = 1/1 (weight ratio). It was dissolved in a solvent so as to be 12% by weight to obtain a coating solution. Was prepared. This coating solution was applied to a base film using a wire bar and dried at 110 ° C. to form a barrier resin layer (P-3). The film thickness was about 2 μm.
[3-4] Film Formation of Barrier Resin Layer (P-4) Synthetic mica (tetrasilica mica (Na-Ts), manufactured by Topy Industries) was dispersed in pure water so as to be 0.65% by weight. A dispersion (1) and a solution (2) obtained by dissolving polyvinyl alcohol (PVA210, manufactured by Kuraray Co., Ltd.) in pure water so as to be 0.325% by weight, a dispersion (1) and a solution (2) are solid components. The coating solution was mixed so that the ratio (volume ratio) was (1) / (2) = 3/7. This coating liquid was apply | coated to the base film using the wire bar, and the barrier resin layer (P-4) was formed. The film thickness was about 1 μm.
[3-5] Film Formation of Barrier Resin Layer (P-5) Barrier resin layer (P-) except that hydroxyethyl cellulose (manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd.) was used instead of polyvinyl alcohol in the solution (2). The film-forming conditions of 4) were followed. The film thickness was about 1 μm.
[3-6] Film Formation of Barrier Resin Layer (P-6) 9 g of dipentaerythritol hexaacrylate (DPHA, manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd.) as a photopolymerizable acrylate, and a photopolymerization initiator (manufactured by Ciba Specialty Chemicals) , Irgacure 907) 0.1 g was dissolved in 190 g of methyl ethyl ketone to prepare a coating solution. This coating solution is applied to a base film using a wire bar, and an irradiance is applied using an air-cooled metal halide lamp (manufactured by Eye Graphics Co., Ltd.) of 160 W / cm under a nitrogen purge with an oxygen concentration of 0.1% or less. A barrier resin layer (P-6) was formed by irradiating with ultraviolet rays of 350 mW / cm 2 and an irradiation amount of 1 J / cm 2 . The film thickness was about 1 μm.

[4]ガスバリアフィルムの作製
ガスバリアフィルムは、基材フィルムに上記の無機層と有機層を表1に記載された各試料の構成に従って順次形成することで作製した。また作製の方法は、次の3通りで行った。
[4−1]溶剤塗布による有機層形成と減圧下での無機層形成を繰り返す方法(積層A)
基板上に有機層と無機層を交互に積層した。有機層の上に無機層を積層する時は、溶剤塗布で有機層を成膜した後に真空チャンバーに入れて減圧し、真空度が10-3Pa以下の状態で一定時間保持してから無機層を成膜した。また無機層の上に有機層を積層する時は、無機層を成膜後直ちに、溶剤塗布で有機層を成膜した。
[4−2]減圧下で有機層と無機層を一貫成膜する方法(積層B)
上述の有機無機積層成膜装置Guardian200を用い、有機層と無機層を積層した。この装置は、有機層および無機層とも減圧環境下で成膜を行い、且つ有機層と無機層の成膜チャンバーが連結しているので、減圧環境下で連続成膜することが可能である。そのため、バリア層が完成するまで大気に開放されることがない。
[4−3]第一層のみ溶剤塗布で有機層を、残る層を減圧下で一貫成膜する方法(積層C)
基板上に溶剤塗布法で第1の有機層を形成した。続いて第1の有機層を有する基板を真空チャンバーに入れて減圧し、真空度が10-3Pa以下の状態で一定時間保持した後に、無機層と有機層を交互に成膜した。
[4] Production of Gas Barrier Film A gas barrier film was produced by sequentially forming the inorganic layer and the organic layer on the base film according to the configuration of each sample described in Table 1. The production method was performed in the following three ways.
[4-1] Method of repeating organic layer formation by solvent coating and inorganic layer formation under reduced pressure (Lamination A)
Organic layers and inorganic layers were alternately laminated on the substrate. When stacking the inorganic layer on the organic layer is placed in a vacuum chamber after forming the organic layer by solution coating under reduced pressure, the inorganic layer was held constant time following the state vacuum of 10 -3 Pa Was deposited. When the organic layer was laminated on the inorganic layer, the organic layer was formed by solvent coating immediately after the inorganic layer was formed.
[4-2] Method for consistently forming an organic layer and an inorganic layer under reduced pressure (Lamination B)
The organic layer and the inorganic layer were laminated | stacked using the above-mentioned organic-inorganic laminated film-forming apparatus Guardian200. In this apparatus, both the organic layer and the inorganic layer are formed in a reduced pressure environment, and the organic and inorganic layer forming chambers are connected. Therefore, it is possible to continuously form the film in a reduced pressure environment. Therefore, it is not released to the atmosphere until the barrier layer is completed.
[4-3] Method of depositing an organic layer by solvent coating only on the first layer, and forming a remaining layer under reduced pressure (laminate C)
A first organic layer was formed on the substrate by a solvent coating method. Subsequently, the substrate having the first organic layer was placed in a vacuum chamber and depressurized, and after maintaining for a certain period of time in a state where the degree of vacuum was 10 −3 Pa or less, inorganic layers and organic layers were alternately formed.

[5]ガスバリアフィルムの物性評価
下記装置を用いてガスバリアフィルムの諸物性を評価した。
[層構成(膜厚)]
日立(株)製、走査型電子顕微鏡「S−900型」でフィルムサンプルの超薄切片を観察して測定した。
[5] Physical property evaluation of gas barrier film Various physical properties of the gas barrier film were evaluated using the following apparatus.
[Layer structure (film thickness)]
The ultra-thin section of the film sample was observed and measured with a scanning electron microscope “S-900 type” manufactured by Hitachi, Ltd.

[水蒸気透過率(g/m2/day)]
MOCON社製、「PERMATRAN−W3/31」(条件:40℃・相対湿度90%)を用いて測定した。また、前記MOCON装置の測定限界である0.01g/m2/day以下の値は、次の方法を用いて補完した。まず、ガスバリアフィルム上に直に金属Caを蒸着し、蒸着Caが内側になるよう該フィルムとガラス基板を市販の有機EL用封止材で封止して測定試料を作製した。次に該測定試料を前記の温湿度条件に保持し、ガスバリアフィルム上の金属Caの光学濃度変化(水酸化あるいは酸化により金属光沢が減少)から水蒸気透過率を求めた。詳細は、下記の参考文献に記載の方法を参照して測定した。
<参考文献>
G.NISATO、P.C.P.BOUTEN、P.J.SLIKKERVEERらSID Conference Record of the International Display Research Conference 1435-1438頁
[Water vapor transmission rate (g / m 2 / day)]
It was measured using “PERMATRAN-W3 / 31” (condition: 40 ° C., relative humidity 90%) manufactured by MOCON. Moreover, the value below 0.01 g / m < 2 > / day which is the measurement limit of the said MOCON apparatus was supplemented using the following method. First, metal Ca was vapor-deposited directly on the gas barrier film, and the measurement sample was produced by sealing the film and the glass substrate with a commercially available organic EL encapsulant so that the vapor-deposited Ca was inside. Next, the measurement sample was kept under the above temperature and humidity conditions, and the water vapor transmission rate was determined from the change in optical density of the metal Ca on the gas barrier film (the metal gloss decreased due to hydroxylation or oxidation). Details were measured with reference to the methods described in the following references.
<References>
G.NISATO, PCPBOUTEN, PJSLIKKERVEER et al. SID Conference Record of the International Display Research Conference 1435-1438

[X線反射率測定(無機層の膜密度)]
Siウエハーに無機層を成膜した評価用サンプルを用い、理学電気製ATX−Gを用いて測定した。測定結果から無機層薄膜の膜密度を算出した。
[Measurement of X-ray reflectivity (film density of inorganic layer)]
Measurement was performed using an ATX-G manufactured by Rigaku Corporation using an evaluation sample in which an inorganic layer was formed on a Si wafer. The film density of the inorganic layer thin film was calculated from the measurement results.

Figure 2009083465
Figure 2009083465

[実施例2] ガスバリアフィルムの作製と評価(2)
基材フィルムとして、ポリエチレンテレフタレート(PET、厚み100μm、東レ(株)、ルミラーT60)、を用いる以外は実施例1と同様にして表2に従い、ガスバリアフィルム(試料No.201〜208)を作製した。
[Example 2] Production and evaluation of gas barrier film (2)
A gas barrier film (Sample Nos. 201 to 208) was produced according to Table 2 in the same manner as in Example 1 except that polyethylene terephthalate (PET, thickness 100 μm, Toray Industries, Inc., Lumirror T60) was used as the base film. .

Figure 2009083465
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[実施例3] 有機EL素子の作製と評価(1)
[1]有機EL素子基板の作製
ITO膜を有する導電性のガラス基板(表面抵抗値10Ω/□)を2−プロパノールで洗浄した後、10分間UV−オゾン処理を行った。この基板(陽極)上に真空蒸着法にて以下の有機化合物層を順次蒸着した。
(第1正孔輸送層)
銅フタロシアニン:膜厚10nm
(第2正孔輸送層)
N,N’−ジフェニル−N,N’−ジナフチルベンジジン:膜厚40nm
(発光層兼電子輸送層)
トリス(8−ヒドロキシキノリナト)アルミニウム:膜厚60nm
最後にフッ化リチウムを1nm、金属アルミニウムを100nm順次蒸着して陰極とし、その上に厚さ3μm窒化珪素膜を平行平板CVD法によって付け、有機EL素子を作製した。
[Example 3] Preparation and evaluation of organic EL element (1)
[1] Production of Organic EL Element Substrate A conductive glass substrate having an ITO film (surface resistance value 10Ω / □) was washed with 2-propanol, and then subjected to UV-ozone treatment for 10 minutes. The following organic compound layers were sequentially deposited on this substrate (anode) by vacuum deposition.
(First hole transport layer)
Copper phthalocyanine: film thickness 10nm
(Second hole transport layer)
N, N′-diphenyl-N, N′-dinaphthylbenzidine: film thickness 40 nm
(Light emitting layer and electron transport layer)
Tris (8-hydroxyquinolinato) aluminum: film thickness 60nm
Finally, 1 nm of lithium fluoride and 100 nm of metal aluminum were sequentially deposited to form a cathode, and a 3 μm thick silicon nitride film was formed thereon by a parallel plate CVD method to produce an organic EL device.

[2]有機EL素子上へのガスバリア層の設置
熱硬化型の接着剤(エポテック310、ダイゾーニチモリ(株))を用いて、上記の実施例1で作製したバリアフィルムと有機EL素子基板を、バリア層が有機EL素子の側となるように貼り合せ、65℃で3時間加熱して接着剤を硬化させた。このようにして封止された有機EL素子(試料No.301〜315)を各20素子ずつ作製した。
[2] Installation of gas barrier layer on organic EL element Using a thermosetting adhesive (Epotec 310, Daizonitomoly Co., Ltd.), the barrier film and the organic EL element substrate prepared in Example 1 above Bonding was performed so that the barrier layer was on the organic EL element side, and the adhesive was cured by heating at 65 ° C. for 3 hours. 20 organic EL elements (Sample Nos. 301 to 315) sealed in this way were produced.

[3]有機EL素子発光面状の評価(1)
作製直後の有機EL素子(試料No.301〜315)をソースメジャーユニット(SMU2400型、Keithley社製)を用いて7Vの電圧を印加して発光させた。顕微鏡を用いて発光面状を観察したところ、いずれの素子もダークスポットの無い均一な発光を与えることが確認された。
次に各素子を60℃・相対湿度90%の暗い室内に24時間静置した後、発光面状を観察した。直径300μmよりも大きいダークスポットが観察された素子の比率を故障率と定義し、各素子の故障率を表3に示した。
[3] Evaluation of organic EL element light emitting surface (1)
The organic EL element (sample Nos. 301 to 315) immediately after fabrication was made to emit light by applying a voltage of 7 V using a source measure unit (SMU2400 type, manufactured by Keithley). When the surface of the light emitting surface was observed using a microscope, it was confirmed that all the elements gave uniform light emission without dark spots.
Next, each element was allowed to stand in a dark room at 60 ° C. and 90% relative humidity for 24 hours, and then the light emitting surface state was observed. The ratio of elements in which dark spots larger than 300 μm in diameter were observed was defined as the failure rate. Table 3 shows the failure rate of each element.

[実施例4] 有機EL素子の作製と評価(2)
封止フィルムとして、実施例2で作製したガスバリアフィルムを用い、封止された有機EL素子(試料No.401〜408)を作製した。有機EL素子上へのガスバリア層の設置の際、熱硬化型の接着剤の代わりに紫外線硬化型の接着剤(XNR5516HV、長瀬チバ(株)製)を用いて、アルゴンガスで置換したグローブボックス内で紫外線を照射して硬化させ、接着した。実施例3と同様に各素子を60℃・相対湿度90%・24時間静置した後の故障率を評価した。結果を表4に示した。
[Example 4] Preparation and evaluation of organic EL element (2)
Using the gas barrier film produced in Example 2 as a sealing film, the sealed organic EL element (sample No. 401-408) was produced. When installing a gas barrier layer on an organic EL element, inside a glove box substituted with argon gas using an ultraviolet curable adhesive (XNR5516HV, manufactured by Nagase Ciba) instead of a thermosetting adhesive And cured by irradiating with ultraviolet rays. In the same manner as in Example 3, each element was evaluated for failure rate after standing at 60 ° C., relative humidity 90%, 24 hours. The results are shown in Table 4.

[実施例5]ガスバリアフィルムを基板として用いる有機EL素子の作製(1)
実施例1で作製したガスバリアフィルムを真空チャンバー内に導入し、ITOターゲットを用いて、DCマグネトロンスパッタリングにより、厚み0.2μmのITO薄膜からなる透明電極を形成した。ITO膜を有するガスバリアフィルムを洗浄容器に入れ、2−プロパノール中で超音波洗浄した後、30分間UV−オゾン処理を行った。この基板を用いて、実施例3と同様にして有機EL素子(試料No.501〜508)を作製した。この素子は基板と封止フィルムの双方とも樹脂を主体としているため、フレキシブルであった。実施例3と同様に各素子を60℃・相対湿度90%・24時間静置した後の故障率を評価した。結果を表5に示した。
[Example 5] Production of organic EL device using gas barrier film as substrate (1)
The gas barrier film produced in Example 1 was introduced into a vacuum chamber, and a transparent electrode made of an ITO thin film having a thickness of 0.2 μm was formed by DC magnetron sputtering using an ITO target. A gas barrier film having an ITO film was placed in a cleaning container, subjected to ultrasonic cleaning in 2-propanol, and then subjected to UV-ozone treatment for 30 minutes. Using this substrate, organic EL elements (sample Nos. 501 to 508) were produced in the same manner as in Example 3. This element was flexible because both the substrate and the sealing film were mainly made of resin. In the same manner as in Example 3, each element was evaluated for failure rate after standing at 60 ° C., relative humidity 90%, 24 hours. The results are shown in Table 5.

Figure 2009083465
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Figure 2009083465
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Figure 2009083465
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表3〜5の結果より、本発明のバリア性樹脂層を有するバリアフィルムがバリア性樹脂層を持たないバリアフィルムよりも有機EL素子の故障率が低く、優れていることが判った。また本発明のバリアフィルムは、封止フィルムとして用いても、また有機EL素子の基板として用いても、共に効果的であることが判った。  From the results of Tables 3 to 5, it was found that the barrier film having the barrier resin layer of the present invention has a lower failure rate of the organic EL element and is superior to the barrier film not having the barrier resin layer. Further, it was found that the barrier film of the present invention is effective both as a sealing film and as a substrate for an organic EL device.

従来のガスバリアフィルムおよび本発明のガスバリアフィルムを有機EL素子の封止フィルムに用いた場合の概略図を示す。The schematic at the time of using the conventional gas barrier film and the gas barrier film of this invention for the sealing film of an organic EL element is shown.

符号の説明Explanation of symbols

1 基材フィルム
2 有機無機積層型ガスバリア層
3 バリア性樹脂層
4 基板
5 積層体
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Base film 2 Organic / inorganic laminated gas barrier layer 3 Barrier resin layer 4 Substrate 5 Laminate

Claims (14)

基材フィルムの一方の面に、少なくとも1つの有機領域と、少なくとも1つの無機領域を有するガスバリア層を有し、前記基材フィルムの他方の面には、バリア性能を有する層として、バリア性能を有する樹脂を主成分とする層のみを有するガスバリアフィルム。 One side of the base film has a gas barrier layer having at least one organic region and at least one inorganic region, and the other side of the base film has a barrier performance as a layer having a barrier performance. The gas barrier film which has only the layer which has the resin which has it as a main component. ガスバリア層が、少なくとも1層の有機層と、少なくとも1層の無機層とを有する、請求項1に記載のガスバリアフィルム。 The gas barrier film according to claim 1, wherein the gas barrier layer has at least one organic layer and at least one inorganic layer. バリア性能を有する樹脂を主成分とする層の樹脂が、ポリビニルアルコールである、請求項1または2に記載のガスバリアフィルム。 The gas barrier film according to claim 1 or 2, wherein the resin of the layer mainly composed of a resin having barrier performance is polyvinyl alcohol. バリア性能を有する樹脂を主成分とする層の樹脂が、多官能アクリレートである、請求項1または2に記載のガスバリアフィルム。 The gas barrier film according to claim 1 or 2, wherein the resin of the layer mainly composed of a resin having barrier performance is a polyfunctional acrylate. 有機層が、ビスフェノール骨格を有する(メタ)アクリレートの少なくとも1種を含む組成物を硬化してなる、請求項2〜4のいずれか1項に記載のガスバリアフィルム。 The gas barrier film according to any one of claims 2 to 4, wherein the organic layer is obtained by curing a composition containing at least one (meth) acrylate having a bisphenol skeleton. バリア性能を有する樹脂を主成分とする層と有機層の主成分が同一である、請求項1〜5のいずれか1項に記載のガスバリアフィルム。 The gas barrier film according to any one of claims 1 to 5, wherein the main component of the organic layer and the layer mainly composed of a resin having barrier performance are the same. バリア性能を有する樹脂を主成分とする層の厚さが、0.5〜30μmである、請求項1〜6のいずれか1項に記載のガスバリアフィルム。 The gas barrier film according to any one of claims 1 to 6, wherein the thickness of a layer mainly composed of a resin having barrier performance is 0.5 to 30 µm. ガスバリアフィルムの厚さが、10〜300μmである、請求項1〜7のいずれか1項に記載のガスバリアフィルム。 The gas barrier film according to any one of claims 1 to 7, wherein the gas barrier film has a thickness of 10 to 300 µm. 表示素子用である、請求項1〜8のいずれか1項に記載のガスバリアフィルム。 The gas barrier film according to any one of claims 1 to 8, which is used for a display element. 請求項1〜9のいずれか1項に記載のガスバリアフィルムの製造方法であって、基材フィルム上に、ガスバリア層を設けた後、バリア性能を有する樹脂を主成分とする層を設けることを特徴とする、ガスバリアフィルムの製造方法。 It is a manufacturing method of the gas barrier film of any one of Claims 1-9, Comprising: After providing a gas barrier layer on a base film, providing the layer which has resin which has barrier performance as a main component. A method for producing a gas barrier film. 請求項1〜9のいずれか1項に記載のガスバリアフィルムを用いた表示素子。 The display element using the gas barrier film of any one of Claims 1-9. ガスバリアフィルムは、表示素子の基板として用いられていることを特徴とする、請求項11に記載の表示素子。 The display element according to claim 11, wherein the gas barrier film is used as a substrate of the display element. ガスバリアフィルムは、表示素子の封止フィルムとして用いられていることを特徴とする、請求項11に記載の表示素子。 The display element according to claim 11, wherein the gas barrier film is used as a sealing film of the display element. ガスバリアフィルムのバリア性能を有する樹脂を主成分とする層が、外側となるように、表示素子に設けられている、請求項11〜13のいずれか1項に記載の表示素子。 The display element of any one of Claims 11-13 provided in the display element so that the layer which has resin which has the barrier performance of a gas barrier film as a main component may become an outer side.
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