JP2009081920A - 振動型リニアアクチュエータ - Google Patents

Abstract

【課題】振動を抑制することのできる振動型リニアアクチュエータを得る。
【解決手段】往復駆動する磁性ブロック６を可動子とし、第１磁性ブロック６ａと第２磁性ブロック６ｂとに第１および第２駆動子１３ａ、１３ｂを設けて、磁性ブロック６ａ、６ｂを相互に逆位相で往復駆動させる振動型リニアアクチュエータ１において、第１駆動子１３ａに第１および第２出力部１５ａ、１５ｂを設け、第２駆動子１３ｂに第３および第４出力部１５ｃ、１５ｄを設け、出力部１５ａと１５ｂおよび出力部１５ｃと１５ｄを、重心通過線Ｌを挟んで配置した。
【選択図】図４

Description

本発明は、例えば往復式電気カミソリ等の機器の駆動源として用いる振動型リニアアクチュエータに関する。

従来、振動型リニアアクチュエータとして、電磁石を有する電磁コアブロック（固定子ブロック）と、永久磁石とバックヨークを有する磁性ブロック（可動子）と、を備えており、これら電磁コアブロックと磁性ブロックとを、前記電磁石と前記永久磁石とが所定隙間を設けて対向するように配置し、電磁石に電流を供給することにより、電磁コアブロックに対して磁性ブロックを相対的に往復駆動させるようにしたものが知られている（例えば、特許文献１参照）。

さらに、この特許文献１では、磁性ブロックを２つ並設して、それぞれの磁性ブロックを相互に逆位相で往復駆動させるようにしている。

そして、並設した磁性ブロックにそれぞれ駆動子が設けられ、それら駆動子に出力部が設けられている。
特開２００５−３５４８７９号公報

しかしながら、従来の振動型リニアアクチュエータでは、並設した２つの磁性ブロックには、それぞれに設けた駆動子に１つの出力部が設けられているため、各磁性ブロックに設けた２つの出力部は、振動型リニアアクチュエータや該振動型リニアアクチュエータを組み込んだ機器の重心を通り前記電磁コアブロックと前記磁性ブロックとの配置方向に延びる重心通過線を挟んで対向配置されることになる。

このため、２つの磁性ブロックが逆位相で往復駆動する際に、一方の出力部に作用する力により発生する前記重心通過線周りのモーメントと、他方の出力部に作用する力により発生する重心通過線周りのモーメントと、が同一回転方向となる。したがって、振動型リニアアクチュエータは駆動時に前記２つのモーメントによって重心周りに回転しようとする力が働くため、大きな振動が発生してしまう。

そこで、本発明は、振動を抑制することのできる振動型リニアアクチュエータを得ることを目的とする。

請求項１の発明にあっては、電磁石を有する電磁コアブロックと、永久磁石およびバックヨークを有し、前記永久磁石が前記電磁石と所定隙間を設けて対向するように配置した磁性ブロックと、を備え、前記電磁石への電流供給によって、電磁コアブロックおよび磁性ブロックのいずれか一方、若しくは、両方を往復駆動させる振動型リニアアクチュエータにおいて、前記電磁コアブロックおよび前記磁性ブロックのうち往復駆動する側を可動子とし、当該可動子を複数並設してそれぞれを相互に逆位相で往復駆動させるとともに、複数の可動子にそれぞれ設けた駆動子のうち少なくとも１つの駆動子に出力部を複数設け、それら複数の出力部を、前記振動型リニアアクチュエータまたは該振動型リニアアクチュエータを組み込んだ機器の重心を通り前記電磁コアブロックと前記磁性ブロックとの配置方向に延びる重心通過線を挟んで配置したことを特徴とする。

請求項２の発明にあっては、請求項１に記載の振動型リニアアクチュエータにおいて、前記電磁コアブロックと前記磁性ブロックとの間に、前記電磁石と前記永久磁石との間の隙間を略一定に保持する連結部を設けたことを特徴とする。

請求項３の発明にあっては、請求項１または請求項２に記載の振動型リニアアクチュエータにおいて、前記複数の可動子にそれぞれ設けた駆動子の残りのうち少なくとも１つの駆動子に単一の出力部を設け、当該単一の出力部を前記重心通過線上に配置したことを特徴とする。

請求項４の発明にあっては、請求項１〜３のうちいずれか１項に記載の振動型リニアアクチュエータにおいて、前記複数の出力部を、前記重心通過線に対して略対称に配置したことを特徴とする。

請求項１の発明によれば、相互に逆位相で往復駆動する複数の可動子を備え、それら可動子にそれぞれ設けた駆動子のうち少なくとも１つの駆動子に出力部を複数設けてあり、これら複数の出力部は、振動型リニアアクチュエータまたは該振動型リニアアクチュエータを組み込んだ機器の重心の重心通過線を挟んで配置されているので、それら複数の出力部が同方向に移動する際に、それら出力部に発生する回転モーメントは相互に逆方向となる。したがって、複数の出力部にそれぞれ発生する回転モーメントは相手側の回転モーメントを打ち消すように働くため、振動型リニアアクチュエータが重心周りに回転しようとする動きを小さくでき、これにより振動を抑制することができる。

請求項２の発明によれば、電磁コアブロックと磁性ブロックとの間に連結部を設けて、それら電磁石と永久磁石との間の隙間を略一定に保持するようにしたので、振動型リニアアクチュエータの駆動を安定化させて振動の抑制効果を高めることができる。

請求項３の発明によれば、複数の可動子にそれぞれ設けた駆動子の残りのうち少なくとも１つの駆動子に単一の出力部を設け、該単一の出力部を重心通過線上に配置したので、その出力部に回転モーメントが発生しないため、振動の抑制効果を更に高めることができる。

請求項４の発明によれば、複数の出力部を、重心通過線に対して略対称に配置したので、それぞれの出力部に発生する回転モーメントと、対称に配置して逆向きとなる相手側の出力部の回転モーメントと、の大きさを等しくすることができるため、それぞれの回転モーメントが相互に打ち消し合って振動の抑制効果を更に高めることができる。

以下、本発明の実施形態について図面を参照しつつ詳細に説明する。

（第１実施形態）
図１〜図４は本発明にかかる振動型リニアアクチュエータの第１実施形態を示し、図１は、振動型リニアアクチュエータの全体斜視図、図２は、振動型リニアアクチュエータの平面図、図３は、振動型リニアアクチュエータの正面図、図４は、振動型リニアアクチュエータの側面図である。

図１〜図４に示すように、本実施形態の振動型リニアアクチュエータ１は、電磁石２を有する電磁コアブロック３と、永久磁石４とバックヨーク５を有する磁性ブロック６と、を備え、電磁石２への電流供給によって、磁性ブロック６を電磁コアブロック３に対して相対的に往復駆動させるようにしている。

そして、本実施形態では、往復駆動する磁性ブロック６を可動子としてあり、その可動子としての磁性ブロック６を、それぞれ独立した第１磁性ブロック６ａと第２磁性ブロック６ｂとで構成している。それら第１および第２磁性ブロック６ａ、６ｂは、磁性ブロック６の振動方向（Ａ方向）に対して直角方向（Ｃ方向）に並設してある。

これら電磁コアブロック３と磁性ブロック６との間には、所定の隙間を設けて連結する連結部７と、磁性ブロック６の固有振動数を設定する連結ばね部８と、が設けられている。

電磁コアブロック３は、図２に示すように、磁性材料の焼結材や鉄板を積層したコア９にボビン１０を介して電線の巻線１１を施して電磁石２を形成し、この電磁石２の磁石面とは反対側にねじ止めや圧入により基台１２を固定している。

また、磁性ブロック６は、電磁石２の磁石面と対向する側の面（図２中下面）に永久磁石４を設けてあり、その永久磁石４の背面（図２中上面）にバックヨーク５を埋設してある。磁性ブロック６の永久磁石４を設けた側とは反対側の面（図２中上面）に駆動子１３がねじ１４によって後付けされている。なお、駆動子１３には出力部１５が設けられている。

そして、この振動型リニアアクチュエータ１を、例えば、電気カミソリの駆動用として用いる場合には、駆動子１３の出力部１５に図示省略した内刃を取り付け、この内刃を電気カミソリのボディ頭部に設けた多孔質の外刃と摺接させることにより、外刃から取り込んだ毛を切断できるようにしている。

本実施形態では、駆動子１３は、第１磁性ブロック６ａと第２磁性ブロック６ｂにそれぞれ設けられる第１駆動子１３ａと第２駆動子１３ｂとを備えている。

第１駆動子１３ａは、図４中幅方向（Ｃ方向）に長辺となる矩形状板をしており、第２駆動子３ｂは、第１駆動子１３ａの上面に僅かの隙間を設けて配置され、矩形状の第１駆動子１３ａの一端部を囲う矩形状の枠板で形成されている。

また、第１駆動子１３ａおよび第２駆動子１３ｂには、出力部１５がそれぞれ２個づつ設けられている。すなわち、第１駆動子１３ａに矩形状板の長辺方向の両端部に第１および第２出力部１５ａ、１５ｂを設けるとともに、第２駆動子１３ｂに図４中幅方向（Ｃ方向）の両側縁に第３および第４出力部１５ｃ、１５ｄを設けている。

第１および第２磁性ブロック６ａ、６ｂの振動方向（Ａ方向）の両側には、それぞれ振動方向（Ａ方向）と同方向となる外方に向けて上方連設部１６を一体に形成しており、それら上方連設部１６に連結部７の一端部（上端部）を一体に形成している。また、連結部７の他端部（下端部）にそれぞれ下方連設部１７を一体に形成している。

連結部７は、板状に形成されており、磁性ブロック６を保持するに十分な剛性を備えつつ、振動方向（Ａ方向）の撓み変形を許容できるようにしている。

第１および第２磁性ブロック６ａ、６ｂは、振動方向（Ａ方向）と直交する方向で、かつ、永久磁石４の磁極面と電磁石２の磁極面とが対向する方向と直交する方向に並設されており、この並設した第１および第２磁性ブロック６ａ、６ｂを連結ばね部８により連結している。

連結ばね部８は、環状に形成され、第１および第２磁性ブロック６ａ、６ｂの振動方向（Ａ方向）にばね性を有するもので、一端部を第１磁性ブロック６ａの上方連設部１６に一体に結合するとともに、他端部を第２磁性ブロック６ｂの上方連設部１６に一体に結合している。そして、可動子とした第１および第２磁性ブロック６ａ、６ｂを対称に往復駆動させるために、連結ばね部８によって第１および第２磁性ブロック６ａ、６ｂを共振させている。

第１および第２磁性ブロック６ａ、６ｂの並設方向（Ｃ方向）に隣接する下方連設部１７同士は、一端結合部１８により一体に固定されている。したがって、並設した第１および第２磁性ブロック６ａ、６ｂは、振動方向（Ａ方向）の両側においてそれぞれ連結ばね部８により一体に形成されるとともに、下方連設部１７同士を一体に結合する一端結合部１８によっても一体に形成されている。また、一端結合部１８を電磁コアブロック３の基台１２に取り付けている。

以上の構成による振動型リニアアクチュエータ１は、電磁石２に電流の流れを反転させつつ供給することにより、当該電磁石２と永久磁石４とが吸引および反発を繰り返し、磁性ブロック６ａ、６ｂが電磁コアブロック３に対して相対的に往復駆動されることとなる。このとき、第１および第２磁性ブロック６ａ、６ｂの永久磁石４の磁極を互いに逆にしておくことにより、隣接した磁性ブロック６ａ、６ｂが相互に逆位相で往復駆動されることとなる。

ここで、本実施形態では、第１磁性ブロック６ａの出力部１５ａ、１５ｂおよび第２磁性ブロック６ｂの出力部１５ｃ、１５ｄを、図４に示すように、振動型リニアアクチュエータ１（または該振動型リニアアクチュエータ１を組み込んだ機器としての電気カミソリ）の重心Ｇを通って、電磁コアブロック３と磁性ブロック６との配置方向（図中上下方向）に延びる重心通過線Ｌを挟んで配置している。

つまり、図４に示すように、第１駆動子１３ａの一方の出力部１５ａは重心通過線Ｌに対して幅Ｃ方向の片側（図中左側）に距離Ｄ１をもって配置するとともに、他方の出力部１５ｂは重心通過線Ｌに対して幅Ｃ方向の他側（図中右側）に距離Ｄ２（Ｄ１≠Ｄ２）をもって配置している。また、第２駆動子１３ｂの一方の出力部１５ｃは重心通過線Ｌに対して幅Ｃ方向の片側（図中左側）に距離Ｄ３をもって配置するとともに、他方の出力部１５ｄは重心通過線Ｌに対して幅Ｃ方向の他側（図中右側）に距離Ｄ４（Ｄ３≠Ｄ４）をもって配置している。

以上の本実施形態によれば、相互に逆位相で往復駆動する第１および第２磁性ブロック６ａ、６ｂに設けた駆動子１３ａ、１３ｂに２個づつ出力部１５ａ、１５ｂおよび１５ｃ、１５ｄを設けている。そして、対となる出力部１５ａと１５ｂおよび１５ｃと１５ｄを重心通過線Ｌを挟んで配置したので、それら出力部１５ａ、１５ｂおよび１５ｃ、１５ｄが同方向に移動する際に、図２に示すように、一方の出力部１５ａおよび１５ｃに作用する力Ｆ１、Ｆ３により発生する重心通過線Ｌ周りのモーメントＭ１、Ｍ３と、他方の出力部１５ｂおよび１５ｄに作用する力Ｆ２、Ｆ４により発生する重心通過線Ｌ周りのモーメントＭ２、Ｍ４と、が相互に逆方向となる。

したがって、一方の出力部１５ａおよび１５ｃに発生する回転モーメントＭ１、Ｍ３と、他方の出力部１５ｂおよび１５ｄに発生する回転モーメントＭ２、Ｍ４と、が互いに打ち消し合うように働く。このため、振動型リニアアクチュエータ１が重心Ｇ周りに回転しようとする動きを小さくでき、これにより振動を抑制することができる。

なお、本実施形態では重心通過線Ｌに対する第１駆動子１３ａの出力部１５ａ、１５ｂの距離Ｄ１、Ｄ２と、重心通過線Ｌに対する第２駆動子１３ｂの出力部１５ｃ、１５ｄの距離Ｄ３、Ｄ４がそれぞれ異なっているため、回転モーメントＭ１、Ｍ３と回転モーメントＭ２、Ｍ４とを完全に相殺することはできないが、全体の振動を低減する効果がある。

（第１実施形態の変形例）
図５は、第１実施形態の第１変形例を示す振動型リニアアクチュエータの正面図、図６は、第１実施形態の第２変形例を示す振動型リニアアクチュエータの正面図で、それぞれの変形例を第１実施形態と同一構成部分に同一符号を付して重複する説明を省略して述べるものとする。

図５に示す第１変形例は、電磁コアブロック３と磁性ブロック６とを、電磁石２と永久磁石４との対向方向（図５中上下方向）に入れ替えて、電磁コアブロック３を可動子として用いている。したがって、可動子とした電磁コアブロック３に駆動子１３を設け、その駆動子１３に出力部１５を設けることになる。

そして、電磁コアブロック３を往復駆動方向に対して直角方向（図５中、紙面直角方向）に複数並設するとともに、それぞれの電磁コアブロック３に設けた駆動子１３のうち少なくとも１つの駆動子１３に複数の出力部１５が設けられている。

したがって、本変形例では複数の出力部１５を重心通過線Ｌを挟んで配置することになり、第１実施形態と同様の作用効果を奏することができる。

図６に示す第２変形例は、第１実施形態と同様に構成した振動型リニアアクチュエータ１の電磁コアブロック３を、磁性ブロック６の往復駆動方向のみに変位可能な連結部材２０によって機器の固定部（例えば、ハウジング）２１に連結している。このとき、磁性ブロック６が可動子となる。

したがって、本変形例では連結部材２０の変形によって、固定部２１に対して振動型リニアアクチュエータ１、つまり、電磁コアブロック３および磁性ブロック６が往復移動することになるが、第１磁性ブロック６ａの出力部１５ａ、１５ｂと第２磁性ブロック６ｂの出力部１５ｃ、１５ｄを、重心通過線Ｌを挟んで配置することにより、第１実施形態と同様の作用効果を奏することができる。

（第２実施形態）
図７、図８は、本発明の第２実施形態を示し、第１実施形態と同一構成部分に同一符号を付して重複する説明を省略して述べるものとする。

図７は、振動型リニアアクチュエータの平面図、図８は、振動型リニアアクチュエータの側面図である。

本実施形態の振動型リニアアクチュエータ１Ａは、基本的に上記第１実施形態の振動型リニアアクチュエータ１と略同様の構成をしており、電磁石２を有する電磁コアブロック３と、永久磁石４とバックヨーク５を有する磁性ブロック６と、を備え、磁性ブロック６を可動子としてある。

また、可動子としての磁性ブロック６を、それぞれ独立した第１磁性ブロック６ａと第２磁性ブロック６ｂとで構成して、第１および第２磁性ブロック６ａ、６ｂにそれぞれ第１駆動子１３ａと第２駆動子１３ｂとを設けている。

第１駆動子１３ａは、矩形状板に形成されており、その一端部に単一の出力部１５ａが設けられている。

第２駆動子１３ｂは、第１駆動子１３ａの上面に僅かの隙間を設けて配置されており、第１駆動子１３ａの出力部１５ａを囲う矩形枠状板に形成されている。そして、第２駆動子１３ｂの幅方向（Ｃ方向）の両側縁に第３および第４出力部１５ｃ、１５ｄが設けられている。

ここで、本実施形態では、第１駆動子１３ａに設けた単一の出力部１５ａを重心通過線Ｌ上に配置してある。

また、第２駆動子１３ｂに設けた第３および第４出力部１５ｃ、１５ｄは、重心通過線Ｌを中心として対称（Ｄ３＝Ｄ４）に配置してある。

以上の構成による本実施形態の振動型リニアアクチュエータ１Ａによれば、第１駆動子１３ａの単一の出力部１５ａを重心通過線Ｌ上に配置したので、その出力部１５ａに作用する力Ｆ１は重心通過線Ｌ上となる。このため、出力部１５ａには重心Ｇ周りの回転モーメントが発生しないため、振動の抑制効果をより高めることができる。

また、本実施形態では、第３および第４出力部１５ｃ、１５ｄを、重心通過線Ｌを中心として対称に配置したことにより、それら第３および第４出力部１５ｃ、１５ｄに作用する力Ｆ３、Ｆ４による重心Ｇ周りの回転モーメントＭ３、Ｍ４が略等しく、かつ、相互に逆方向となる。このため、それぞれの回転モーメントＭ３、Ｍ４を略完全に相殺できるようになり、振動の抑制効果を更に高めることができる。

なお、本実施形態の振動型リニアアクチュエータ１Ａにあっても、図５に示した第１変形例および図６に示した第２変形例を適用させることができる。

（第３実施形態）
図９、図１０は、本発明の第３実施形態を示し、第１実施形態と同一構成部分に同一符号を付して重複する説明を省略して述べるものとする。

図９は、振動型リニアアクチュエータの平面図、図１０は、振動型リニアアクチュエータの側面図である。

本実施形態の振動型リニアアクチュエータ１Ｂは、基本的に上記第１実施形態の振動型リニアアクチュエータ１と略同様の構成をしており、電磁石２を有する電磁コアブロック３と、永久磁石４とバックヨーク５を有する磁性ブロック６と、を備え、磁性ブロック６を可動子としてある。

また、可動子としての磁性ブロック６を、それぞれ独立した第１磁性ブロック６ａと第２磁性ブロック６ｂとで構成し、第１および第２磁性ブロック６ａ、６ｂにそれぞれ第１駆動子１３ａと第２駆動子１３ｂとを設けている。

第１駆動子１３ａは、矩形状板に形成されており、その幅方向（Ｃ方向）の両端部に第１および第２出力部１５ａ、１５ｂが設けられている。

第２駆動子１３ｂは、第１駆動子１３ａの上面に僅かの隙間を設けて配置されており、第１駆動子１３ａを全体的に囲う矩形枠状板に形成されている。そして、第２駆動子１３ｂの幅方向（Ｃ方向）の両側縁に第３および第４出力部１５ｃ、１５ｄが設けられている。

ここで、本実施形態では、複数の第１および第２出力部１５ａ、１５ｂおよび第３および第４出力部１５ｃ、１５ｄを、それぞれ重心通過線Ｌを中心として略対称に配置してある。つまり、第１および第２出力部１５ａ、１５ｂではＤ１＝Ｄ２とし、第３および第４出力部１５ｃ、１５ｄではＤ３＝Ｄ４となっている。

したがって、本実施形態の振動型リニアアクチュエータ１Ｂによれば、第１駆動子１３ａに第１および第２出力部１５ａ、１５ｂを設けるとともに、第２駆動子１３ｂに第３および第４出力部１５ｃ、１５ｄを設けて、それら第１および第２出力部１５ａ、１５ｂおよび第３および第４出力部１５ｃ、１５ｄを、それぞれ重心通過線Ｌを中心として略対称に配置している。

したがって、駆動子１３の片側に配置した第１出力部１５ａおよび第３出力部１５ｃに発生する回転モーメントＭ１、Ｍ３と、それら回転モーメントＭ１、Ｍ３とは逆向きになる相手側の第２出力部１５ｂおよび第４出力部１５ｄの回転モーメントＭ２、Ｍ４と、の大きさを略等しくすることができるため、それぞれの回転モーメントＭ１とＭ２およびＭ３とＭ４が相互に打ち消し合って振動の抑制効果を更に高めることができる。

なお、本実施形態の振動型リニアアクチュエータ１Ｂにあっても、上記第２実施形態と同様に、図５に示した第１変形例および図６に示した第２変形例を適用させることができる。

以上、本発明にかかる振動型リニアアクチュエータの好適な実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限ることなく要旨を逸脱しない範囲で種々の実施形態を採用することができる。

本発明の第１実施形態にかかる振動型リニアアクチュエータの全体斜視図。 本発明の第１実施形態にかかる振動型リニアアクチュエータの平面図。 本発明の第１実施形態にかかる振動型リニアアクチュエータの正面図。 本発明の第１実施形態にかかる振動型リニアアクチュエータの側面図。 第１実施形態の第１変形例を示す振動型リニアアクチュエータの正面図。 第１実施形態の第２変形例を示す振動型リニアアクチュエータの正面図。 本発明の第２実施形態にかかる振動型リニアアクチュエータの平面図。 本発明の第２実施形態にかかる振動型リニアアクチュエータの側面図。 本発明の第３実施形態にかかる振動型リニアアクチュエータの平面図。 本発明の第３実施形態にかかる振動型リニアアクチュエータの側面図。

符号の説明

１、１Ａ、１Ｂ 振動型リニアアクチュエータ
２ 電磁石
３ 電磁コアブロック
４ 永久磁石
５ バックヨーク
６ 磁性ブロック
６ａ 第１磁性ブロック（可動子）
６ｂ 第２磁性ブロック（可動子）
７ 連結部
８ 連結ばね部
１３ 駆動子
１３ａ 第１駆動子
１３ｂ 第２駆動子
１５ 出力部
１５ａ 第１出力部
１５ｂ 第２出力部
１５ｃ 第３出力部
１５ｄ 第４出力部

Claims (4)

1. 電磁石を有する電磁コアブロックと、
   永久磁石およびバックヨークを有し、前記永久磁石が前記電磁石と所定隙間を設けて対向するように配置した磁性ブロックと、を備え、
   前記電磁石への電流供給によって、電磁コアブロックおよび磁性ブロックのいずれか一方、若しくは、両方を往復駆動させる振動型リニアアクチュエータにおいて、
   前記電磁コアブロックおよび前記磁性ブロックのうち往復駆動する側を可動子とし、当該可動子を複数並設してそれぞれを相互に逆位相で往復駆動させるとともに、
   複数の可動子にそれぞれ設けた駆動子のうち少なくとも１つの駆動子に出力部を複数設け、
   それら複数の出力部を、前記振動型リニアアクチュエータまたは該振動型リニアアクチュエータを組み込んだ機器の重心を通り前記電磁コアブロックと前記磁性ブロックとの配置方向に延びる重心通過線を挟んで配置したことを特徴とする振動型リニアアクチュエータ。
2. 前記電磁コアブロックと前記磁性ブロックとの間に、前記電磁石と前記永久磁石との間の隙間を略一定に保持する連結部を設けたことを特徴とする請求項１に記載の振動型リニアアクチュエータ。
3. 前記複数の可動子にそれぞれ設けた駆動子の残りのうち少なくとも１つの駆動子に単一の出力部を設け、
   当該単一の出力部を前記重心通過線上に配置したことを特徴とする請求項１または請求項２に記載の振動型リニアアクチュエータ。
4. 前記複数の出力部を、前記重心通過線に対して略対称に配置したことを特徴とする請求項１〜３のうちいずれか１項に記載の振動型リニアアクチュエータ。

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