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JP2008264998A - Gas barrier laminated film, its manufacturing method, packaging laminated material using gas barrier laminated film and packaging bag - Google Patents

Gas barrier laminated film, its manufacturing method, packaging laminated material using gas barrier laminated film and packaging bag Download PDF

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JP2008264998A
JP2008264998A JP2007106711A JP2007106711A JP2008264998A JP 2008264998 A JP2008264998 A JP 2008264998A JP 2007106711 A JP2007106711 A JP 2007106711A JP 2007106711 A JP2007106711 A JP 2007106711A JP 2008264998 A JP2008264998 A JP 2008264998A
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JP
Japan
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film
gas barrier
alkoxide
barrier coating
coating film
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Pending
Application number
JP2007106711A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Ayumi Shibata
あゆみ 柴田
Norio Akita
紀雄 秋田
Kazuyuki Takazawa
和幸 高澤
Tsukasa Matsumoto
司 松本
Shunsuke Shinozaki
俊介 篠崎
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Dai Nippon Printing Co Ltd
Inctec Inc
Original Assignee
Dai Nippon Printing Co Ltd
Inctec Inc
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Publication date
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a gas barrier laminated film having high gas barrier properties and excellent in the storage properties of contents, and to provide its manufacturing method. <P>SOLUTION: The gas barrier laminated film is constituted by providing a vapor deposition film 2 of an inorganic oxide on a base material 1 and providing a gas barrier coating film 3 on the vapor deposition film. The gas barrier coating film comprises an alkoxide hydrolysate or alkoxide hydrolyzed condensate obtained by the polycondensation of a composition containing at least a kind of an alkoxide represented by the general formula. R<SP>1</SP><SB>n</SB>M(OR<SP>2</SP>)<SB>m</SB>(wherein M is a metal element, R<SP>1</SP>and R<SP>2</SP>are each a 1-8C organic group, n is an integer of 0 or above, m is an integer of 1 or above and n+m is a valence of M), polyvinyl alcohol and/or ethylene/vinyl alcohol by a sol-gel method. <P>COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Description

本発明は、ガスバリア性を有する積層フィルム、その製造方法、それを使用した包装用積層材、および包装袋に関する。より詳細には、特に水蒸気等の透過を高度に阻止するより優れたガスバリア性を有し、各種の包装容器を製造するのに有用なガスバリア性積層フィルム、その製造法、それを使用した包装用積層材、および包装袋に関するものである。   The present invention relates to a laminated film having gas barrier properties, a production method thereof, a laminated material for packaging using the same, and a packaging bag. More specifically, a gas barrier laminate film that has a superior gas barrier property that highly inhibits permeation of water vapor and the like, and is useful for manufacturing various packaging containers, its manufacturing method, and packaging using the same The present invention relates to a laminated material and a packaging bag.

飲食品、化成品、雑貨品等を充填包装する包装材料には、充填包装する内容物の変質、変色を防止するため、酸素ガスや水蒸気等の透過を遮断、阻止するガスバリア性を備えることが要求される。   Packaging materials for filling and packaging foods, beverages, chemicals, miscellaneous goods, etc. must have a gas barrier property that blocks and prevents the permeation of oxygen gas, water vapor, etc., in order to prevent alteration and discoloration of the contents to be filled and packaged. Required.

従来、ガスバリア性を備えた包装材料として、基材にアルミニウム箔層を設けた包装材料が使用されている。しかし、このような包装材料は、安定したガスバリア性が得られるものの、バリア層としてのアルミニウム箔層を備えているため焼却適性が劣り、使用後の廃棄処分が容易ではないという問題があった。また、アルミニウム箔層を備えているため、透明性を有する包装材料は得られないという問題もあった。
このような問題を解決するため、ポリ塩化ビニリデン(PVDC)やエチレン−ビニルアルコール共重合体(EVOH)からなるバリア層を備えた包装材料が開発されている。
Conventionally, as a packaging material having gas barrier properties, a packaging material in which an aluminum foil layer is provided on a base material has been used. However, although such a packaging material has a stable gas barrier property, since it has an aluminum foil layer as a barrier layer, incineration suitability is inferior and disposal after use is not easy. Moreover, since the aluminum foil layer is provided, there is a problem that a packaging material having transparency cannot be obtained.
In order to solve such problems, packaging materials having a barrier layer made of polyvinylidene chloride (PVDC) or ethylene-vinyl alcohol copolymer (EVOH) have been developed.

しかしながら、PVDCは塩素を含有するため、使用後に焼却することにより塩素ガスが発生し、環境衛生上好ましくないという問題がある。一方、EVOHは、酸素ガスバリア性が高く、かつ、香味成分の吸着性が低いという長所があるものの、高湿度雰囲気下では酸素ガスバリア性が低下してしまうという問題がある。また、EVOHは、水蒸気バリア性を有していないという問題がある。このため、バリア層であるEVOHを水蒸気から遮断するために包装材料を複雑な積層構造とする必要があり、製造コストが増大するといった問題も生じ得る。   However, since PVDC contains chlorine, incineration after use generates chlorine gas, which is not preferable for environmental hygiene. On the other hand, EVOH has the advantage of high oxygen gas barrier properties and low flavor component adsorptivity, but has a problem that the oxygen gas barrier properties are reduced in a high humidity atmosphere. In addition, EVOH has a problem that it does not have a water vapor barrier property. For this reason, in order to shield EVOH which is a barrier layer from water vapor | steam, it is necessary to make a packaging material into a complicated laminated structure, and the problem that manufacturing cost increases may also arise.

近年、高いガスバリア性と保香性を安定して発揮し、かつ、透明性を有する包装材料として、珪素酸化物や酸化アルミニウム等の無機酸化薄膜からなるバリア層を備えたフィルムが開発されている。この無機酸化物の薄膜は、無機物を真空蒸着により基材上に付着させることにより形成され、廃棄時における環境上の問題もないものである。   In recent years, a film having a barrier layer made of an inorganic oxide thin film such as silicon oxide or aluminum oxide has been developed as a packaging material that stably exhibits high gas barrier properties and fragrance retention properties and has transparency. . This inorganic oxide thin film is formed by depositing an inorganic substance on a substrate by vacuum vapor deposition, and has no environmental problems at the time of disposal.

しかしながら、このようにして形成された珪素酸化物や酸化アルミニウム等の薄膜からなるバリア層は、無機酸化物粒子が基材上に蒸着したものであるため、無機酸化物粒子間に結晶粒界という隙間が存在し、薄膜のガスバリア性が十分ではない。そのため、膜厚を厚く(500〜1000Å)する必要がある。しかしながら、膜厚を厚くすると、延展性に劣りクラックが生じやすいという問題があった。   However, since the barrier layer made of a thin film such as silicon oxide or aluminum oxide formed in this way is formed by depositing inorganic oxide particles on a substrate, a crystal grain boundary is formed between the inorganic oxide particles. There are gaps, and the gas barrier properties of the thin film are not sufficient. Therefore, it is necessary to increase the film thickness (500 to 1000 mm). However, when the film thickness is increased, there is a problem that the spreadability is poor and cracks are likely to occur.

また、無機酸化物の酸素原子割合が小さいほどガスバリア性は向上するが、反面、透明性が低下するといった問題や、基材と無機酸化物粒子との密着性が弱いこと等の種々の問題があった。   In addition, the smaller the oxygen atom ratio of the inorganic oxide, the better the gas barrier properties. However, on the other hand, there are various problems such as a problem that the transparency is lowered and the adhesion between the substrate and the inorganic oxide particles is weak. there were.

このようなガスバリア性に関する問題点を解決するために、今までに様々な手段が提案されている。例えば特許文献1には、「高分子樹脂組成物からなる基材上に、無機化合物からなる蒸着層を第1層とし、水溶性高分子と、(a)1種以上のアルコキシドまたは/およびその加水分解物または(b)塩化錫の少なくともいずれか1つを含む水溶液、或いは水/アルコール混合溶液を主剤とするコーティング剤を塗布し、加熱乾燥してなるガスバリア性被膜を第2層として積層してなることを特徴とするガスバリア性積層フィルム。」が記載されている。   In order to solve such problems related to gas barrier properties, various means have been proposed so far. For example, Patent Document 1 discloses that “a vapor deposition layer made of an inorganic compound is used as a first layer on a base material made of a polymer resin composition, and a water-soluble polymer and (a) one or more alkoxides and / or the same. A gas barrier film formed by applying an aqueous solution containing at least one of hydrolyzate or (b) tin chloride, or a water / alcohol mixed solution as a main ingredient and heating and drying is laminated as a second layer. A gas barrier laminate film characterized by comprising:

特許文献1は、蒸着層の上にガスバリア性被膜を積層することを開示しているものの、水溶性高分子に対するアルコキシド量については、何ら規定されていない。その結果、特許文献1記載のガスバリア性積層フィルムは、水蒸気等のガスバリア性に劣るという問題点がある。
特許第2790054号公報
Patent Document 1 discloses laminating a gas barrier coating on the vapor deposition layer, but does not define any alkoxide amount with respect to the water-soluble polymer. As a result, the gas barrier laminate film described in Patent Document 1 has a problem that it is poor in gas barrier properties such as water vapor.
Japanese Patent No. 2790054

以上のとおり、ガスバリア性積層フィルムには、高いガスバリア性を有することが求められるが、このような特性を有するガスバリア性積層フィルムは得られていない。   As described above, the gas barrier laminate film is required to have high gas barrier properties, but a gas barrier laminate film having such properties has not been obtained.

これに対し本発明は、従来のものと比較して、特に水蒸気等の透過を阻止するより高いガスバリア性を有し、内容物の保存適性に優れたガスバリア性積層フィルム、その製造方法、それを使用した包装用積層材、および包装袋を提供するものである。   On the other hand, the present invention has a gas barrier laminate film having a higher gas barrier property that prevents permeation of water vapor and the like, and excellent storage stability of contents, a method for producing the same, as compared with conventional ones, The laminated material used for packaging and the packaging bag are provided.

本発明者らは、上記課題を解決するため鋭意研究した結果、基材に無機酸化物を蒸着し、その上にガスバリア性塗布膜を形成したガスバリア性積層フィルムにおいて、前記ガスバリア性塗布膜に含有されるアルコキシドと、水溶性高分子との含有比に依存して、ガスバリア性塗布膜表面の中心線表面粗さ(以下、「表面粗さ(Ra)」という)が変化すること、さらに表面粗さ(Ra)が増大すると特に水蒸気等のガスバリア性が低下し、表面粗さ(Ra)が減少するとガスバリア性が向上することを見出した。そして、さらなる研究の結果、表面粗さ(Ra)の変化は、ガスバリア性塗布膜中に含有されるアルコキシド由来の金属元素(M)と、水溶性高分子由来の炭素元素(C)との元素割合に依存するものであり、これらの元素割合を所定のものとすることにより、従来のものと比較して、表面粗さ(Ra)を小さくすることができ、その結果、非常に高いガスバリア性を有するガスバリア性積層フィルムが得られることを見出し、本発明を完成させた。   As a result of diligent research to solve the above-mentioned problems, the present inventors have found that a gas barrier laminated film in which an inorganic oxide is vapor-deposited on a substrate and a gas barrier coating film is formed thereon, is contained in the gas barrier coating film. Depending on the content ratio of the alkoxide to be formed and the water-soluble polymer, the center line surface roughness (hereinafter referred to as “surface roughness (Ra)”) of the gas barrier coating film surface changes, and the surface roughness It has been found that gas barrier properties such as water vapor are particularly lowered when the thickness (Ra) is increased, and gas barrier properties are improved when the surface roughness (Ra) is reduced. As a result of further research, the change in the surface roughness (Ra) is caused by an element between an alkoxide-derived metal element (M) and a carbon element (C) derived from a water-soluble polymer contained in the gas barrier coating film. It depends on the ratio, and by making these element ratios predetermined, the surface roughness (Ra) can be reduced compared to the conventional one, and as a result, the gas barrier property is extremely high. The present inventors have found that a gas barrier laminate film having the above can be obtained and completed the present invention.

すなわち本発明は、以下の(a)〜(c)に示す発明を包含する。
(a)基材上に無機酸化物の蒸着膜を設け、その蒸着膜上にガスバリア性塗布膜を設けてなるガスバリア性積層フィルムであって、
前記ガスバリア性塗布膜が、一般式R1 nM(OR2m(式中、Mは金属元素を表し、R1、R2は炭素数1〜8の有機基を表し、nは0以上の整数であり、mは1以上の整数であり、n+mはMの原子価を表す)で表される少なくとも1種以上のアルコキシド、ポリビニルアルコールおよび/またはエチレン・ビニルアルコールを含んでなる組成物を、ゾルゲル法によって重縮合して得るアルコキシドの加水分解物またはアルコキシドの加水分解縮合物によるガスバリア性塗布膜であり、
ここで、前記ガスバリア性塗布膜中におけるアルコキシド由来の金属元素(M)と、ポリビニルアルコールおよび/またはエチレン・ビニルアルコール由来の炭素元素(C)との元素割合(Atomic%)が、
2.8<M/C<4.12
であることを特徴とする前記ガスバリア性積層フィルム。
That is, this invention includes the invention shown to the following (a)-(c).
(A) a gas barrier laminate film in which a vapor-deposited film of an inorganic oxide is provided on a substrate, and a gas-barrier coating film is provided on the vapor-deposited film,
The gas barrier coating film has a general formula R 1 n M (OR 2 ) m (wherein M represents a metal element, R 1 and R 2 represent an organic group having 1 to 8 carbon atoms, and n is 0 or more) A composition comprising at least one alkoxide, polyvinyl alcohol and / or ethylene / vinyl alcohol represented by: m is an integer of 1 or more, and n + m represents a valence of M). , An alkoxide hydrolyzate obtained by polycondensation by a sol-gel method, or a gas barrier coating film by an alkoxide hydrolysis condensate,
Here, the element ratio (Atomic%) of the metal element (M) derived from the alkoxide and the carbon element (C) derived from polyvinyl alcohol and / or ethylene / vinyl alcohol in the gas barrier coating film,
2.8 <M / C <4.12
The gas barrier laminate film as described above.

(b)前記ガスバリア性塗布膜の表面粗さ(Ra)が、
0.15(nm)<Ra<0.275(nm)
であることを特徴とする(a)に記載のガスバリア性積層フィルム。
(B) The surface roughness (Ra) of the gas barrier coating film is
0.15 (nm) <Ra <0.275 (nm)
The gas barrier laminate film according to (a), wherein

(c)(a)または(b)のガスバリア性積層フィルムの製造方法であって、
基材上に無機酸化物の蒸着膜を形成し、
前記蒸着膜上に、一般式R1 nM(OR2m(式中、Mは金属元素を表し、R1、R2は炭素数1〜8の有機基を表し、nは0以上の整数であり、mは1以上の整数であり、n+mはMの原子価を表す)で表される少なくとも1種以上のアルコキシド、ポリビニルアルコール、および/またはエチレン・ビニルアルコールを含んでなる組成物を、ゾルゲル法によって重縮合して得るアルコキシドの加水分解物またはアルコキシドの加水分解縮合物によるガスバリア性塗布膜であり、前記ガスバリア性塗布膜中における金属元素(M)と炭素元素(C)との元素割合(Atomic%)が、
2.8<M/C<4.12
であるガスバリア性塗布膜を形成することからなる前記ガスバリア性積層フィルムの製造方法。
(C) A method for producing a gas barrier laminate film of (a) or (b),
Form a vapor-deposited film of inorganic oxide on the substrate,
On the vapor-deposited film, a general formula R 1 n M (OR 2 ) m (wherein M represents a metal element, R 1 and R 2 represent an organic group having 1 to 8 carbon atoms, and n is 0 or more. A composition comprising at least one alkoxide, polyvinyl alcohol, and / or ethylene / vinyl alcohol represented by: an integer, m is an integer of 1 or more, and n + m represents a valence of M). , An alkoxide hydrolyzate obtained by polycondensation by a sol-gel method, or a gas barrier coating film by an alkoxide hydrolysis condensate, and an element of a metal element (M) and a carbon element (C) in the gas barrier coating film Percentage (Atomic%)
2.8 <M / C <4.12
A method for producing a gas barrier laminate film comprising: forming a gas barrier coating film.

本発明のガスバリア性積層フィルムにおけるガスバリア性塗布膜は、アルコキシド同士、またはアルコキシドと、ポリビニルアルコール等の水溶性高分子との重縮合反応により形成される三次元網状複合ポリマー層からなるものであるが、前記ガスバリア性塗布膜中に含有されるアルコキシド由来の金属元素と、水溶性高分子由来の炭素元素との元素割合を特定のものとすることにより、より緻密で、かつ強固な三次元網状複合ポリマー層が形成され、ガスバリア性塗布膜表面の表面粗さ(Ra)が低下する。そしてその結果、従来のものと比較して、特に水蒸気等に対し、極めて高いガスバリア性を安定して維持するとともに、良好な透明性、および、耐衝撃性、耐熱水性等を備えたガスバリア性積層フィルムを得ることができる。   The gas barrier coating film in the gas barrier laminate film of the present invention comprises a three-dimensional network composite polymer layer formed by a polycondensation reaction between alkoxides or alkoxide and a water-soluble polymer such as polyvinyl alcohol. By making the element ratio of the metal element derived from the alkoxide and the carbon element derived from the water-soluble polymer contained in the gas barrier coating film specific, a denser and stronger three-dimensional network composite A polymer layer is formed, and the surface roughness (Ra) of the gas barrier coating film surface decreases. As a result, the gas barrier laminate has excellent transparency, impact resistance, hot water resistance, etc., while stably maintaining extremely high gas barrier properties, particularly with respect to water vapor, etc. A film can be obtained.

さらに上記のとおり、本発明のガスバリア性積層フィルムは、小さい表面粗さ(Ra)を有することから、他の中間層やヒートシール性樹脂層と貼り合わせた場合に、ガスバリア性塗布膜と他の中間層との間の密着性が高い包装材料を得ることができる。すなわち本発明のガスバリア性フィルムを使用した場合、従来のものと比較して、物理的強度の高い包装用積層材や包装袋を製造することができる。   Further, as described above, since the gas barrier laminate film of the present invention has a small surface roughness (Ra), when bonded to another intermediate layer or a heat-sealable resin layer, the gas barrier coating film and the other A packaging material having high adhesion with the intermediate layer can be obtained. That is, when the gas barrier film of the present invention is used, it is possible to produce a packaging laminate and a packaging bag having higher physical strength than the conventional one.

また本発明においては、化学気相成長法により基材上に無機酸化物の蒸着膜を形成した場合には、無機酸化物は、基材上に、プラズマ化した原料ガスを酸素ガスで酸化しながら酸化物の形で薄膜状に形成されるので、形成される無機酸化物の蒸着膜は、緻密で、隙間の少ない、可撓性に富む連続層となる。したがって、酸化珪素等の無機酸化物の蒸着膜のガスバリア性は、従来の真空蒸着法等によって形成される酸化珪素等の無機酸化物の蒸着膜と比較してはるかに高いものとなり、薄い膜厚で十分なガスバリア性を得ることができる。   In the present invention, when an inorganic oxide vapor-deposited film is formed on the substrate by chemical vapor deposition, the inorganic oxide oxidizes the plasma source gas with oxygen gas on the substrate. However, since it is formed in the form of a thin film in the form of an oxide, the formed vapor-deposited film of the inorganic oxide is a dense, flexible continuous layer with few gaps. Accordingly, the gas barrier property of the vapor-deposited film of inorganic oxide such as silicon oxide is much higher than that of the vapor-deposited film of inorganic oxide such as silicon oxide formed by a conventional vacuum vapor deposition method or the like. Can provide sufficient gas barrier properties.

さらに本発明において、化学気相成長法により基材上に無機酸化物の蒸着膜を形成した場合には、無機酸化物の含有量を、蒸着膜の表面から深さ方向に向かって減少させることが可能であり、これにより、耐衝撃性等を高められ、他方、基材との界面では無機酸化物の含有量が少ないため、基材と無機酸化物の蒸着膜との密接着性が強固なものとなり、より一層高いガスバリア性を有するガスバリア性積層フィルムを得ることができる。   Furthermore, in the present invention, when an inorganic oxide vapor deposition film is formed on a substrate by chemical vapor deposition, the content of the inorganic oxide is decreased from the surface of the vapor deposition film in the depth direction. This makes it possible to improve impact resistance and the like. On the other hand, since the content of the inorganic oxide is small at the interface with the base material, the tight adhesion between the base material and the deposited film of the inorganic oxide is strong. Therefore, a gas barrier laminate film having a higher gas barrier property can be obtained.

本発明のガスバリア性積層フィルムについて、図面を参照しながら詳細に説明する。
図1は、本発明のガスバリア性積層フィルムの層構成の一例を示す概略的断面図である。
図1に示すように本発明のガスバリア性積層フィルムは、基材フィルム1の一方の面に、無機酸化物の蒸着膜2を設け、さらに、その無機酸化物の蒸着膜2の上に、ガスバリア性塗布膜3を設けた構成を基本構造とするものである。
The gas barrier laminate film of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
FIG. 1 is a schematic cross-sectional view showing an example of the layer structure of the gas barrier laminate film of the present invention.
As shown in FIG. 1, the gas barrier laminate film of the present invention is provided with an inorganic oxide vapor deposition film 2 on one surface of a base film 1, and further, on the inorganic oxide vapor deposition film 2, a gas barrier is provided. The structure provided with the conductive coating film 3 is a basic structure.

本発明のガスバリア性積層フィルムの他の態様としては、図2に示すように、基材フィルム1の一方の面に、プライマーコート層1aを設け、プライマーコート層上に無機酸化物の蒸着膜2を設け、さらに、該無機酸化物の蒸着膜2上にガスバリア性塗布膜3を設けた構成としてもよい。   As another embodiment of the gas barrier laminate film of the present invention, as shown in FIG. 2, a primer coat layer 1a is provided on one surface of a substrate film 1, and an inorganic oxide vapor deposition film 2 is provided on the primer coat layer. Further, a gas barrier coating film 3 may be provided on the inorganic oxide vapor deposition film 2.

上記の例は、本発明のガスバリア性積層フィルムの一例であり、本発明はこれに限定されるものではない。例えば、図示しないが、基材フィルムと無機酸化物の蒸着膜との密着性を向上させるために、無機酸化物の蒸着前に基材表面にコロナ放電処理、オゾン処理、低温プラズマ処理、またはグロー放電処理等の処理を施してもよいし、基材表面にプライマー、すなわちポリエステル、アクリル、ウレタン樹脂、およびイソシアネート硬化剤からなる塗工液を塗布してもよい。さらに上記の本発明の積層フィルムにおいて、無機酸化物の蒸着膜としては、同種ないし異種からなる2層以上の無機酸化物の蒸着膜を重層して構成してもよい。   Said example is an example of the gas barrier laminated film of this invention, and this invention is not limited to this. For example, although not shown, in order to improve the adhesion between the base material film and the inorganic oxide deposition film, the surface of the base material is subjected to corona discharge treatment, ozone treatment, low temperature plasma treatment, or glow treatment before the inorganic oxide deposition. A treatment such as an electric discharge treatment may be applied, or a primer, that is, a coating liquid composed of polyester, acrylic, urethane resin, and isocyanate curing agent may be applied to the surface of the substrate. Furthermore, in the above laminated film of the present invention, the inorganic oxide vapor deposition film may be formed by stacking two or more inorganic oxide vapor deposition films of the same or different types.

本発明のガスバリア性積層フィルムにおいて、上記ガスバリア性塗布膜は、アルコキシド、および水溶性高分子を含有する。そして前記アルコキシド由来の金属元素(M)と、前記水溶性高分子由来の炭素元素(C)との元素割合(M/C)は、2.8<M/C<4.12でなければならず、好ましくは2.8<M/C<3.4であることが望ましい。前記水溶性高分子由来の炭素元素量が多すぎると、水溶性高分子の膨潤を抑制できず、表面粗さ(Ra)が大きくなり、ガスバリア性が低下する。また前記アルコキシド由来の金属元素量が多すぎると、アルコキシド同士、またはアルコキシドと水溶性高分子との架橋反応が過度に進行し、大きな凝集体が形成され、緻密な膜を形成することができず、その結果、表面粗さ(Ra)が大きくなり、ガスバリア性が低下する。   In the gas barrier laminate film of the present invention, the gas barrier coating film contains an alkoxide and a water-soluble polymer. The element ratio (M / C) of the metal element (M) derived from the alkoxide and the carbon element (C) derived from the water-soluble polymer must be 2.8 <M / C <4.12. Preferably, it is desirable that 2.8 <M / C <3.4. If the amount of carbon element derived from the water-soluble polymer is too large, the swelling of the water-soluble polymer cannot be suppressed, the surface roughness (Ra) increases, and the gas barrier property decreases. If the amount of the metal element derived from the alkoxide is too large, the crosslinking reaction between the alkoxides or between the alkoxide and the water-soluble polymer proceeds excessively, a large aggregate is formed, and a dense film cannot be formed. As a result, the surface roughness (Ra) increases, and the gas barrier property decreases.

すなわち本発明においては、上記ガスバリア性塗布膜中のアルコキシド由来の金属元素(M)と、水溶性高分子由来の炭素元素(C)との元素割合(M/C)を特定のものとすることにより、表面粗さ(Ra)が、0.15(nm)<Ra<0.275(nm)、好ましくは0.175(nm)<Ra<0.25(nm)という、従来のものと比較して小さい表面粗さ(Ra)を有するガスバリア性積層フィルムを得ることができる。そしてその結果、非常に高いガスバリア性を有するガスバリア性積層フィルムを得ることができると共に、これを包装材料を構成する材料として使用した場合に、ガスバリア性塗布膜と他の中間層との間の密着性が高い包装材料を得ることができる。   That is, in the present invention, the element ratio (M / C) between the metal element (M) derived from the alkoxide and the carbon element (C) derived from the water-soluble polymer in the gas barrier coating film is specified. By comparison, the surface roughness (Ra) is 0.15 (nm) <Ra <0.275 (nm), preferably 0.175 (nm) <Ra <0.25 (nm) compared with the conventional one. Thus, a gas barrier laminate film having a small surface roughness (Ra) can be obtained. As a result, a gas barrier laminate film having a very high gas barrier property can be obtained, and when this is used as a material constituting a packaging material, adhesion between the gas barrier coating film and another intermediate layer is achieved. A highly packaging material can be obtained.

なお、本発明にいうアルコキシド由来の金属元素(M)と、水溶性高分子由来の炭素元素(C)との元素割合とは、英国、VGサイエンティフィック社製のX線光電子分光分析測定機(機種名、XPS)を使用し、イオンスパッタエッチング後のガスバリア性塗布膜表面を、以下の条件で測定したときのアルコキシド由来の金属元素を表わすピークの面積(例えば金属元素がSiの場合は、96〜104eV)を、水溶性高分子由来の炭素原子を表わすピークの面積(例えば水溶性高分子がポリビニルアルコールの場合は278〜288eV)で除した場合に得られる値をいう。
(測定条件)
X線源:Monochromated Al Kα
X線出力:10kV・18mA
レンズ:Small Area XL 150
アパーチャ開度:F.O.V=3.25,A.A=4.25
測定領域:150μmΦ
帯電中和:電子中和銃 +4(V)・0.05(mA)、中和補助マスク使用
光電子脱出角度:90度
In addition, the element ratio of the metal element (M) derived from the alkoxide and the carbon element (C) derived from the water-soluble polymer referred to in the present invention is an X-ray photoelectron spectroscopic measuring instrument manufactured by VG Scientific, UK. (Model name, XPS), the area of the peak representing the metal element derived from the alkoxide when the gas barrier coating film surface after ion sputter etching is measured under the following conditions (for example, when the metal element is Si, 96-104 eV) is a value obtained by dividing the peak area representing the carbon atom derived from the water-soluble polymer (for example, 278-288 eV when the water-soluble polymer is polyvinyl alcohol).
(Measurement condition)
X-ray source: Monochromated Al Kα
X-ray output: 10 kV, 18 mA
Lens: Small Area XL 150
Aperture opening: F.O.V = 3.25, A.A = 4.25
Measurement area: 150μmΦ
Charge neutralization: Electron neutralization gun +4 (V), 0.05 (mA), neutralization assist mask used Photoemission angle: 90 degrees

また本発明にいう表面粗さ(Ra)とは、JIS規格B0601に従って測定されたものをいう。このような表面粗さ(Ra)は、例えば島津製作所製走査型プローブ顕微鏡(SPM)「SPM−9500J3」を用い、バリア膜の表面を走査面積500nm×500nm、室温下にて測定することにより、得ることができる。   Moreover, the surface roughness (Ra) as used in the field of this invention means what was measured according to JIS standard B0601. Such surface roughness (Ra) is measured, for example, by using a scanning probe microscope (SPM) “SPM-9500J3” manufactured by Shimadzu Corporation and measuring the surface of the barrier film at a scanning area of 500 nm × 500 nm at room temperature. Obtainable.

次に、本発明のガスバリア性積層フィルムを構成する材料、その製造法等について説明する。   Next, the material which comprises the gas barrier laminated film of this invention, its manufacturing method, etc. are demonstrated.

基材
本発明のガスバリア性積層フィルムを構成する基材としては、化学的ないし物理的強度に優れ、無機酸化物の蒸着膜を形成する条件等に耐え、それら無機酸化物の蒸着膜等の特性を損なうことなく良好に保持し得ることができる樹脂のフィルムないしシートを使用することができる。
Substrate As the substrate constituting the gas barrier laminate film of the present invention, it has excellent chemical or physical strength, withstands the conditions for forming an inorganic oxide vapor deposition film, etc., and the properties of the inorganic oxide vapor deposition film, etc. It is possible to use a resin film or sheet that can be satisfactorily held without impairing the resistance.

このような樹脂のフィルムないしシートとしては、具体的には、例えば、ポリエチレン系樹脂あるいはポリプロピレン系樹脂等のポリオレフイン系樹脂、環状ポリオレフイン系樹脂、ポリスチレン系樹脂、アクリロニトリル−スチレン共重合体(AS樹脂)、アクリロニトリル−ブタジエン−スチレン共重合体(ABS樹脂)、ポリ(メタ)アクリル系樹脂、ポリカーボネート系樹脂、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート等のポリエステル系樹脂、各種のナイロン等のポリアミド系樹脂、ポリウレタン系樹脂、アセタール系樹脂、セルロース系樹脂等の各種の樹脂のフィルムないしシートを使用することができる。   Specific examples of such a resin film or sheet include polyolefin resins such as polyethylene resins and polypropylene resins, cyclic polyolefin resins, polystyrene resins, and acrylonitrile-styrene copolymers (AS resins). , Acrylonitrile-butadiene-styrene copolymer (ABS resin), poly (meth) acrylic resin, polycarbonate resin, polyester resin such as polyethylene terephthalate and polyethylene naphthalate, polyamide resin such as various nylons, polyurethane resin Further, films or sheets of various resins such as acetal resin and cellulose resin can be used.

本発明においては、上記の樹脂のフィルムないしシートの中でも、特に、ポリエステル系樹脂、ポリオレフイン系樹脂、または、ポリアミド系樹脂のフィルムないしシートを使用することが好ましい。   In the present invention, among the above-described resin films or sheets, it is particularly preferable to use a polyester resin, a polyolefin resin, or a polyamide resin film or sheet.

本発明において、上記の各種の樹脂フィルムないしシートとしては、例えば、上記の各種の樹脂1種ないしそれ以上を使用し、押し出し法、キャスト成形法、Tダイ法、切削法、インフレーション法等の製膜化法を用いて、上記の各種の樹脂を単独で製膜化する方法、あるいは、2種以上の各種の樹脂を使用して多層共押し出し製膜化する方法、さらには、2種以上の樹脂を使用し、製膜化する前に混合して製膜化する方法等により、各種の樹脂のフィルムないしシートを製造し、さらに、所望により、例えば、テンター方式、あるいは、チューブラマ方式等を利用して1軸ないし2軸方向に延伸した各種の樹脂のフィルムないしシートを使用することができる。   In the present invention, as the above-mentioned various resin films or sheets, for example, one or more of the above-mentioned various resins are used, and an extrusion method, a cast molding method, a T-die method, a cutting method, an inflation method, etc. are manufactured. Using the film forming method, the above-mentioned various resins are formed into a single film, or two or more types of various resins are used to form a multi-layer coextrusion film, and further, two or more types of resin are formed. Resin is used, and various resin films or sheets are manufactured by a method of forming a film by mixing before forming a film, and further, for example, a tenter method or a tube llama method can be used. Various resin films or sheets stretched uniaxially or biaxially by use can be used.

本発明において、各種の樹脂フィルムないしシートの膜厚としては、6〜200μm、より好ましくは9〜100μmが好ましい。   In the present invention, the thickness of various resin films or sheets is preferably 6 to 200 μm, more preferably 9 to 100 μm.

なお、上記の各種の樹脂1種ないしそれ以上を使用し、その製膜化に際して、例えば、フィルムの加工性、耐熱性、耐候性、機械的性質、寸法安定性、抗酸化性、滑り性、離形性、難燃性、抗カビ性、電気的特性、強度等を改良、改質する目的で、種々のプラスチック配合剤や添加剤等を添加することができ、その添加量としては、極く微量から数十%まで、その目的に応じて、任意に添加することができる。   In addition, when using one or more of the above-described various resins and forming the film, for example, film processability, heat resistance, weather resistance, mechanical properties, dimensional stability, antioxidant properties, slipperiness, Various plastic compounding agents and additives can be added for the purpose of improving and modifying mold release properties, flame retardancy, antifungal properties, electrical properties, strength, etc. From a very small amount to several tens of percent, it can be arbitrarily added depending on the purpose.

上記において、一般的な添加剤としては、例えば、滑剤、架橋剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、光安定剤、充填剤、補強剤、帯電防止剤、顔料等を使用することができ、さらには、改質用樹脂等も使用することができる。   In the above, as a general additive, for example, a lubricant, a crosslinking agent, an antioxidant, an ultraviolet absorber, a light stabilizer, a filler, a reinforcing agent, an antistatic agent, a pigment, and the like can be used. In this case, a modifying resin or the like can also be used.

また、本発明において、各種の樹脂フィルムないしシートの表面は、無機酸化物の蒸着膜との密接着性等を向上させるために、必要に応じて、予め、所望の表面処理層を設けることができるものである。   In addition, in the present invention, the surface of various resin films or sheets may be provided with a desired surface treatment layer in advance, if necessary, in order to improve close adhesion with an inorganic oxide vapor deposition film. It can be done.

本発明において、上記の表面処理層としては、例えば、コロナ放電処理、オゾン処理、酸素ガス若しくは窒素ガス等を用いた低温プラズマ処理、グロー放電処理、化学薬品等を用いて処理する酸化処理等の前処理を任意に施し、例えば、コロナ放電処理層、オゾン処理層、プラズマ処理層、酸化処理層等を形成して設けることができる。   In the present invention, examples of the surface treatment layer include corona discharge treatment, ozone treatment, low temperature plasma treatment using oxygen gas or nitrogen gas, glow discharge treatment, oxidation treatment using chemicals, and the like. For example, a corona discharge treatment layer, an ozone treatment layer, a plasma treatment layer, an oxidation treatment layer, or the like can be formed by performing pretreatment arbitrarily.

上記の表面前処理は、各種の樹脂のフィルムないしシートと無機酸化物の蒸着膜との密接着性等を改善するための方法として実施するものであるが、上記の密接着性を改善する方法として、例えば、各種の樹脂のフィルムないしシートの表面に、予め、プライマーコート剤層、アンダーコート剤層、アンカーコート剤層、接着剤層、あるいは、蒸着アンカーコート剤層等を任意に形成して、表面処理層とすることもできる。   The surface pretreatment is carried out as a method for improving the close adhesion between various resin films or sheets and the inorganic oxide vapor-deposited film. For example, a primer coat agent layer, an undercoat agent layer, an anchor coat agent layer, an adhesive layer, or a deposition anchor coat agent layer is arbitrarily formed in advance on the surface of various resin films or sheets. The surface treatment layer can also be used.

上記の前処理のコート剤層としては、例えば、ポリエステル系樹脂、ポリアミド系樹脂、ポリウレタン系樹脂、エポキシ系樹脂、フェノール系樹脂、(メタ)アクリル系樹脂、ポリ酢酸ビニル系樹脂、ポリエチレンあるいはポリプロピレン等のポリオレフイン系樹脂あるいはその共重合体ないし変性樹脂、セルロース系樹脂等をビヒクルの主成分とする樹脂組成物を使用することができる。特に上記プライマーコート剤として、ポリエステル、アクリル、ウレタン樹脂、およびイソシアネート硬化剤からなる塗工剤を使用することが好ましい。   Examples of the pretreatment coating agent layer include polyester resins, polyamide resins, polyurethane resins, epoxy resins, phenol resins, (meth) acrylic resins, polyvinyl acetate resins, polyethylene, and polypropylene. A resin composition containing a polyolefin resin or a copolymer or modified resin thereof, a cellulose resin, or the like as a main component of the vehicle can be used. In particular, it is preferable to use a coating agent comprising polyester, acrylic, urethane resin, and isocyanate curing agent as the primer coating agent.

蒸着膜
次に、本発明のガスバリア性積層フィルムを構成する蒸着膜について説明する。本発明においては、蒸着膜は、化学気相成長法または物理気相成長法により形成することができる。
Next, the vapor deposition film which comprises the gas barrier laminated film of this invention is demonstrated. In the present invention, the deposited film can be formed by chemical vapor deposition or physical vapor deposition.

化学気相成長法による蒸着膜の形成
化学気相成長法として、具体的には、例えば、プラズマ化学気相成長法、熱化学気相成長法、光化学気相成長法等の化学気相成長法(Chemical Vapor Deposition法、CVD法)を用いて無機酸化物の蒸着膜を形成することができる。
Formation of vapor-deposited film by chemical vapor deposition As chemical vapor deposition, specifically, chemical vapor deposition such as plasma chemical vapor deposition, thermal chemical vapor deposition, and photochemical vapor deposition A vapor deposition film of an inorganic oxide can be formed by using (Chemical Vapor Deposition method, CVD method).

さらに具体的には上記の樹脂のフィルムないしシートの一方の面に、有機珪素化合物等の蒸着用モノマーガスを原料とし、キヤリヤーガスとして、アルゴンガス、ヘリウムガス等の不活性ガスを使用し、さらに酸素を供給ガスとして使用し、かつ低温プラズマ発生装置等を利用する低温プラズマ化学気相成長法を用いて酸化珪素等の無機酸化物の蒸着膜を形成することができる。   More specifically, on one surface of the resin film or sheet, an evaporation monomer gas such as an organosilicon compound is used as a raw material, an inert gas such as argon gas or helium gas is used as a carrier gas, and oxygen Can be used as a supply gas, and a vapor deposition film of an inorganic oxide such as silicon oxide can be formed by a low temperature plasma chemical vapor deposition method using a low temperature plasma generator or the like.

上記において、低温プラズマ発生装置としては、例えば、高周波プラズマ、パルス波プラズマ、マイクロ波プラズマ等の発生装置を使用することができるが、本発明においては、高活性の安定したプラズマを得るために、高周波プラズマ方式による発生装置を使用することが望ましい。   In the above, as the low-temperature plasma generator, for example, generators such as high-frequency plasma, pulse wave plasma, microwave plasma can be used, but in the present invention, in order to obtain a highly active stable plasma, It is desirable to use a high frequency plasma generator.

具体的に、上記のプラズマ化学気相成長法による無機酸化物の蒸着膜の形成法についてその一例を例示して説明する。図3は、上記のプラズマ化学気相成長法による無機酸化物の蒸着膜の形成法についてその槻要を示す低温プラズマ化学気相成長装置の概略的構成図である。   Specifically, an example of the method for forming a vapor-deposited film of an inorganic oxide by the plasma chemical vapor deposition method will be described. FIG. 3 is a schematic configuration diagram of a low-temperature plasma chemical vapor deposition apparatus showing the outline of the method for forming a deposited film of an inorganic oxide by the plasma chemical vapor deposition method.

図3に示すように、本発明においては、プラズマ化学気相成長装置21の真空チヤンバー22内に配置された巻き出しロール23から樹脂のフィルムないしシートを繰り出し、さらに、その樹脂フィルムないしシートを、補助ロール24を介して所定の速度で冷却・電極ドラム25周面上に搬送する。   As shown in FIG. 3, in the present invention, a resin film or sheet is fed out from an unwinding roll 23 disposed in the vacuum chamber 22 of the plasma chemical vapor deposition apparatus 21, and further, the resin film or sheet is It is conveyed on the circumferential surface of the cooling / electrode drum 25 through the auxiliary roll 24 at a predetermined speed.

本発明においては、ガス供給装置26、27および原料揮発供給装置28から酸素ガス、不活性ガス、有機珪素化合物等の蒸着用モノマーガス等を供給し、それらからなる蒸着用混合ガス組成物を調整しなから原料供給ノズル29を通して真空チヤンバー22内に該蒸着用混合ガス組成物を導入し、そして、上記の冷却・電極ドラム25周面上に搬送された樹脂のフィルムないしシートの上に、グロー放電プラズマによってプラズマを発生させ、これを照射して、酸化珪素等の無機酸化物の蒸着膜を形成し、製膜化する。   In the present invention, a vapor deposition monomer gas such as oxygen gas, inert gas, or organosilicon compound is supplied from the gas supply devices 26 and 27 and the raw material volatilization supply device 28, and a mixed gas composition for vapor deposition composed thereof is prepared. Then, the gas mixture composition for vapor deposition is introduced into the vacuum chamber 22 through the raw material supply nozzle 29, and the glowing film is formed on the resin film or sheet conveyed on the cooling / electrode drum 25 peripheral surface. Plasma is generated by discharge plasma and irradiated to form a vapor-deposited film of an inorganic oxide such as silicon oxide to form a film.

本発明においては、その際に、冷却・電極ドラム25は、チヤンバー外に配置されている電源31から所定の電力が印加されており、また、冷却・電極ドラム25の近傍には、マグネット32を配置してプラズマの発生が促進されており、次いで、上記で酸化珪素等の無機酸化物の蒸着膜を形成した樹脂のフィルムないしシートをガイドロール33を介して巻き取りロール34に巻き取って、無機酸化物の蒸着膜を有する樹脂フィルムないしシートを製造することができる。
上記の例示は、その一例を例示するものであり、これによって本発明は限定されるものではない。
In the present invention, a predetermined power is applied to the cooling / electrode drum 25 from the power supply 31 arranged outside the chamber at that time, and a magnet 32 is provided in the vicinity of the cooling / electrode drum 25. And the generation of plasma is promoted, and then the resin film or sheet on which the deposited film of inorganic oxide such as silicon oxide is formed is wound around the winding roll 34 via the guide roll 33, A resin film or sheet having an inorganic oxide vapor deposition film can be produced.
The above exemplification is an example, and the present invention is not limited thereby.

本発明においては、無機酸化物の蒸着膜としては、無機酸化物の蒸着膜の1層だけではなく、2層あるいはそれ以上を積層した多層膜の状態でもよく、また、使用する材料も1種または2種以上の混合物で使用し、また、異種の材質で混合した無機酸化物の蒸着膜を構成することもできる。   In the present invention, the inorganic oxide vapor-deposited film may be not only one layer of the inorganic oxide vapor-deposited film but also a multilayer film in which two or more layers are laminated, and one kind of material is used. Alternatively, it is also possible to form a vapor-deposited film of an inorganic oxide that is used in a mixture of two or more kinds and mixed with different materials.

上記において、真空チヤンバー内を真空ポンプにより減圧し、真空度1.33×10-1〜1.33×10-8mbar、好ましくは真空度1.33×10-3〜1.33×10-7mbarに調整することが好ましい。 In the above, the inside of the vacuum chamber is depressurized by a vacuum pump, and the degree of vacuum is 1.33 × 10 −1 to 1.33 × 10 −8 mbar, preferably the degree of vacuum is 1.33 × 10 −3 to 1.33 × 10 −. It is preferable to adjust to 7 mbar.

また、原料揮発供給装置においては、原料である有機珪素化合物を揮発させ、ガス供給装置から供給される酸素ガス、不活性ガス等と混合させ、この混合ガスを原料供給ノズルを介して真空チヤンバー内に導入する。   Further, in the raw material volatilization supply device, the organic silicon compound as the raw material is volatilized and mixed with oxygen gas, inert gas, etc. supplied from the gas supply device, and this mixed gas is passed through the raw material supply nozzle in the vacuum chamber. To introduce.

この場合、混合ガス中の有機珪素化合物の含有量は1〜40%、酸素ガスの含有量は10〜70%、不活性ガスの含有量は10〜60%の範囲とすることができ、例えば、有機珪素化合物と酸素ガスと不活性ガスとの混合比を1:6:5〜1:17:14とすることができる。   In this case, the content of the organosilicon compound in the mixed gas can be 1 to 40%, the content of oxygen gas can be 10 to 70%, and the content of inert gas can be 10 to 60%. The mixing ratio of the organosilicon compound, oxygen gas, and inert gas can be 1: 6: 5 to 1:17:14.

一方、冷却・電極ドラムには、電極から所定の電圧が印加されているため、真空チヤンバー内の原料供給ノズルの開口部と冷却・電極ドラムとの近傍でグロー放電プラズマが生成され、このグロー放電プラズマは、混合ガス中の1つ以上のガス成分から導出されるものであり、この状態において、樹脂のフィルムないしシートを一定速度で搬送させ、グロー放電プラズマによって、冷却・電極ドラム周面上の樹脂のフィルムないしシートの上に、酸化珪素等の無機酸化物の蒸着膜を形成することができる。   On the other hand, since a predetermined voltage is applied to the cooling / electrode drum from the electrode, glow discharge plasma is generated in the vicinity of the opening of the raw material supply nozzle in the vacuum chamber and the cooling / electrode drum. The plasma is derived from one or more gas components in the mixed gas. In this state, the resin film or sheet is conveyed at a constant speed, and glow discharge plasma causes the cooling / electrode drum surface to be conveyed. A vapor-deposited film of an inorganic oxide such as silicon oxide can be formed on a resin film or sheet.

なお、このときの真空チヤンバー内の真空度は、1.33×10-1〜1.33×10-4mbar、好ましくは、真空度1.33×10-1〜1.33×10-2mbarに調整することが好ましく、また、樹脂フィルムの搬送速度は、10〜300m/分、好ましくは50〜150m/分に調整することが好ましい。 The degree of vacuum in the vacuum chamber at this time is 1.33 × 10 −1 to 1.33 × 10 −4 mbar, preferably 1.33 × 10 −1 to 1.33 × 10 −2. It is preferable to adjust to mbar, and it is preferable to adjust the conveyance speed of the resin film to 10 to 300 m / min, preferably 50 to 150 m / min.

また、上記のプラズマ化学気相成長装置において、酸化珪素等の無機酸化物の蒸着膜の形成は、樹脂のフィルムないしシートの上に、プラズマ化した原料ガスを酸素ガスで酸化しながらSiOxの形で薄膜状に形成されるので、形成される酸化珪素等の無機酸化物の蒸着膜は、緻密で、隙間の少ない、可撓性に富む連続層となる。従って、酸化珪素等の無機酸化物の蒸着膜のガスバリア性は、従来の真空蒸着法等によって形成される酸化珪素等の無機酸化物の蒸着膜と比較してはるかに高いものとなり、薄い膜厚で十分なガスバリア性を得ることができる。   In the plasma chemical vapor deposition apparatus described above, the formation of a vapor-deposited film of an inorganic oxide such as silicon oxide is performed in the form of SiOx while oxidizing a plasma source gas with oxygen gas on a resin film or sheet. Therefore, the formed vapor-deposited film of inorganic oxide such as silicon oxide is a dense continuous layer having a small gap and rich in flexibility. Therefore, the gas barrier property of the vapor-deposited film of inorganic oxide such as silicon oxide is much higher than that of the vapor-deposited film of inorganic oxide such as silicon oxide formed by the conventional vacuum vapor deposition method or the like. Can provide sufficient gas barrier properties.

また、本発明においては、SiOxプラズマにより樹脂のフィルムないしシートの表面が、清浄化され、樹脂のフィルムないしシートの表面に、極性基やフリーラジカル等が発生するので、形成される酸化珪素等の無機酸化物の蒸着膜と樹脂のフィルムないしシートとの密接着性が高いものとなるという利点を有するものである。   In the present invention, the surface of the resin film or sheet is cleaned by SiOx plasma, and polar groups, free radicals, etc. are generated on the surface of the resin film or sheet. It has the advantage that the tight adhesion between the inorganic oxide vapor-deposited film and the resin film or sheet is high.

さらに、上記のように酸化珪素等の無機酸化物の連続膜の形成時の真空度は、1.33×10-1〜1.33×10-4mbar、好ましくは1.33×10-1〜1.33×10-2mbarに調整することから、従来の真空蒸着による蒸着膜形成時の真空度(1.33×10-4〜1.33×10-5mbar)に比べて低真空度であることから、樹脂のフィルムないしシートを原反交換時の真空状態設定時間を短くすることができ、真空度が安定し、製膜プロセスが安定するものである。 Further, the vacuum degree during formation of a continuous film of an inorganic oxide such as silicon oxide as described above, 1.33 × 10 -1 ~1.33 × 10 -4 mbar, preferably 1.33 × 10 -1 Since it is adjusted to ˜1.33 × 10 −2 mbar, the vacuum is lower than the degree of vacuum (1.33 × 10 −4 to 1.33 × 10 −5 mbar) when forming a deposited film by conventional vacuum deposition. Therefore, it is possible to shorten the vacuum state setting time at the time of exchanging the original film or sheet of the resin, the degree of vacuum is stabilized, and the film forming process is stabilized.

本発明において、有機珪素化合物等の蒸着モノマーガスを使用して形成される酸化珪素の蒸着膜は、有機珪素化合物等の蒸着モノマーガスと酸素ガス等とが化学反応し、その反応生成物が、樹脂のフィルムないしシートの一方の面に密接着し、緻密な、柔軟性等に富む薄膜を形成するものであり、通常、一般式:SiOx(式中、xは0〜2の数を表す)で表される酸化珪素を主体とする連続状の薄膜である。   In the present invention, a vapor deposition film of silicon oxide formed using a vapor deposition monomer gas such as an organosilicon compound chemically reacts with a vapor deposition monomer gas such as an organosilicon compound and oxygen gas, and the reaction product is It is closely bonded to one surface of a resin film or sheet to form a dense, flexible thin film, and is generally represented by the general formula: SiOx (wherein x represents a number from 0 to 2) Is a continuous thin film mainly composed of silicon oxide.

上記の酸化珪素の蒸着膜としては、透明性、バリア性等の点から、一般式:SiOx(式中、xは1.3〜1.9の数を表す)で表される酸化珪素の蒸着膜を主体とする薄膜であることが好ましい。   As the above-described silicon oxide vapor deposition film, silicon oxide vapor deposition represented by the general formula: SiOx (wherein x represents the number of 1.3 to 1.9) is required from the viewpoint of transparency and barrier properties. A thin film mainly composed of a film is preferable.

上記において、xの値は、蒸着モノマーガスと酸素ガスのモル比、プラズマのエネルギー等により変化するが、一般的に、xの値が小さくなればガス透過度は小さくなるが、膜自身が黄色性を帯び、透明性が悪くなる。   In the above, the value of x varies depending on the molar ratio of vapor deposition monomer gas to oxygen gas, plasma energy, etc. Generally, the gas permeability decreases as the value of x decreases, but the film itself is yellow. It becomes sexual and becomes less transparent.

また、上記の酸化珪素の蒸着膜は、酸化珪素を主体とし、これにさらに、炭素、水素、珪素または酸素の1種類、または、その2種類以上の元素からなる化合物を少なくとも1種類を化学結合等により含有することが好ましい。例えば、C−H結合を有する化合物、Si−H結合を有する化合物、または、炭素単位がグラファイト状、ダイヤモンド状、フラーレン状等になっている場合、さらに、原料の有機珪素化合物やそれらの誘導体を化学結合等によって含有する場合があるものである。   The silicon oxide vapor-deposited film is mainly composed of silicon oxide, and in addition to this, at least one compound of carbon, hydrogen, silicon or oxygen, or a compound composed of two or more elements thereof is chemically bonded. Etc. are preferably contained. For example, when a compound having a C—H bond, a compound having a Si—H bond, or a carbon unit is in the form of graphite, diamond, fullerene, or the like, an organic silicon compound as a raw material or a derivative thereof is further added. It may be contained by a chemical bond or the like.

具体例を挙げると、CH3部位を持つハイドロカーボン、SiH3シリル、SiH2シリレン等のハイドロシリカ、SiH2OHシラノール等の水酸基誘導体等を挙げることができる。 Specific examples include hydrocarbons having a CH 3 site, hydrosilica such as SiH 3 silyl and SiH 2 silylene, and hydroxyl derivatives such as SiH 2 OH silanol.

上記以外でも、蒸着過程の条件等を変化させることにより、酸化珪素の蒸着膜中に含有される化合物の種類、量等を変化させることができる。   In addition to the above, the type, amount, etc., of the compound contained in the deposited film of silicon oxide can be changed by changing the conditions of the vapor deposition process.

上記の化合物が、酸化珪素の蒸着膜中に含有する含有量としては、0.1〜50%位、好ましくは5〜20%位が好ましい。   As content which said compound contains in the vapor deposition film | membrane of a silicon oxide, about 0.1 to 50%, Preferably about 5 to 20% is preferable.

上記において、含有率が0.1%未満であると、酸化珪素の蒸着膜の耐衝撃性、延展性、柔軟性等が不十分となり、曲げ等により、擦り傷、クラック等が発生し易く、高いバリア性を安定して維持することが困難になり、また、50%を越えると、ガスバリア性が低下して好ましくないものである。   In the above, if the content is less than 0.1%, the impact resistance, spreadability, flexibility, etc. of the deposited silicon oxide film become insufficient, and scratches, cracks, etc. are likely to occur due to bending, etc. It becomes difficult to stably maintain the barrier property, and if it exceeds 50%, the gas barrier property is lowered, which is not preferable.

さらに、本発明においては、酸化珪素の蒸着膜において、上記の化合物の含有量が、酸化珪素の蒸着膜の表面から深さ方向に向かって減少させることが好ましく、これにより、酸化珪素の蒸着膜の表面においては、上記の化合物等により耐衝撃性等を高められ、他方、基材との界面では上記化合物の含有量が少ないため、基材と酸化珪素の蒸着膜との密接着性が強固なものとなる。   Further, in the present invention, in the silicon oxide vapor-deposited film, the content of the above compound is preferably decreased from the surface of the silicon oxide vapor-deposited film in the depth direction, whereby the silicon oxide vapor-deposited film is formed. On the other hand, the impact resistance and the like can be enhanced by the above compound and the like, and on the other hand, since the content of the above compound is small at the interface with the base material, the tight adhesion between the base material and the deposited silicon oxide film is strong. It will be something.

本発明において、上記の酸化珪素の蒸着膜について、例えば、X線光電子分光装置(Xray Photoelectron Spectroscopy、XPS)、二次イオン質量分析装置(Secondary Ion Mass Spectroscopy、SIMS)等の表面分析装置を用い、深さ方向にイオンエッチングする等して分析する方法を利用して、酸化珪素の蒸着膜の元素分析を行うことより、上記のような物性を確認することができる。   In the present invention, for the above-described deposited film of silicon oxide, for example, a surface analyzer such as an X-ray photoelectron spectrometer (Xray Photoelectron Spectroscopy, XPS) or a secondary ion mass spectrometer (Secondary Ion Mass Spectroscopy, SIMS) is used. The physical properties as described above can be confirmed by performing elemental analysis of the deposited film of silicon oxide using a method of analysis by ion etching in the depth direction.

また、本発明において、上記の酸化珪素の蒸着膜の膜厚としては、膜厚50〜4000Åであることが望ましく、具体的には、その膜厚としては、100〜1000Åが望ましい。1000Å、さらには、4000Åより厚くなると、その膜にクラック等が発生し易くなるので好ましくなく、また、100Å、さらには、50Å未満であると、ガスバリア性の効果を期待できない。   Further, in the present invention, the film thickness of the silicon oxide vapor deposition film is preferably 50 to 4000 mm, and specifically, the film thickness is preferably 100 to 1000 mm. If the thickness is more than 1000 mm, and more than 4000 mm, cracks and the like are likely to occur in the film, which is not preferable. If the thickness is less than 100 mm, and less than 50 mm, the gas barrier effect cannot be expected.

蒸着膜の膜厚は、例えば、株式会社理学製の蛍光X線分析装置(機種名、RIX2000型)を用いて、ファンダメンタルパラメーター法で測定することができる。   The film thickness of the deposited film can be measured by a fundamental parameter method using, for example, a fluorescent X-ray analyzer (model name, RIX2000 type) manufactured by Rigaku Corporation.

また、上記の酸化珪素の蒸着膜の膜厚を変更する手段としては、蒸着膜の体積速度を大きくすること、すなわち、モノマーガスと酸素ガス量を多くする方法や蒸著する速度を遅くする方法等によって行うことができる。   In addition, as means for changing the film thickness of the silicon oxide vapor deposition film, the volume velocity of the vapor deposition film is increased, that is, the method of increasing the amount of monomer gas and oxygen gas or the method of slowing the vaporization rate. Etc.

次に、本発明において、酸化珪素等の無機酸化物の蒸着膜を形成する有機珪素化合物等の蒸着用モノマーガスとしては、例えば、1,1,3,3−テトラメチルジシロキサン、ヘキサメチルジシロキサン、ビニルトリメチルシラン、メチルトリメチルシラン、ヘキサメチルジシラン、メチルシラン、ジメチルシラン、トリメチルシラン、ジエチルシラン、プロピルシラン、フェニルシラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリメトキシシラン、テトラメトキシシラン、テトラエトキシシラン、フェニルトリメトキシシラン、メチルトリエトキシシラン、オクタメチルシクロテトラシロキサン等を使用することができる。   Next, in the present invention, as a monomer gas for vapor deposition of an organic silicon compound or the like that forms a vapor deposition film of an inorganic oxide such as silicon oxide, for example, 1,1,3,3-tetramethyldisiloxane, hexamethyldisiloxane Siloxane, vinyltrimethylsilane, methyltrimethylsilane, hexamethyldisilane, methylsilane, dimethylsilane, trimethylsilane, diethylsilane, propylsilane, phenylsilane, vinyltriethoxysilane, vinyltrimethoxysilane, tetramethoxysilane, tetraethoxysilane, phenyl Trimethoxysilane, methyltriethoxysilane, octamethylcyclotetrasiloxane and the like can be used.

本発明において、上記のような有機珪素化合物の中でも、1,1,3,3−テトラメチルジシロキサン、または、ヘキサメチルジシロキサンを原料として使用することが、その取り扱い性、形成された連続膜の特性等から、特に、好ましい原料である。   In the present invention, among the above organosilicon compounds, the use of 1,1,3,3-tetramethyldisiloxane or hexamethyldisiloxane as a raw material is easy to handle, and a continuous film formed. In view of the above characteristics and the like, it is a particularly preferable raw material.

また、上記において、不活性ガスとしては、例えば、アルゴンガス、ヘリウムガス等を使用することができる。   Moreover, in the above, as an inert gas, argon gas, helium gas, etc. can be used, for example.

本発明においては、化学気相成長法により蒸着膜を形成する場合において、2層以上の珪素酸化物層を形成することが好ましい。このように、2層以上の蒸着層を設けることにより、より一層ガスバリア性を向上させることができる。   In the present invention, when forming a vapor deposition film by chemical vapor deposition, it is preferable to form two or more silicon oxide layers. Thus, gas barrier properties can be further improved by providing two or more deposited layers.

次に、2層以上の蒸着膜を、プラズマ化学気相成長法により製造する方法について説明する。図4に示すように、プラズマ化学気相成長装置40は、基本的に、基材フィルム供給室41、第1の製膜室42、第2の製膜室43、第3の製膜室44、および、基材フィルムの上に珪素酸化物層を製膜化し重層したフィルムを巻き取る巻き取り室45から構成される。   Next, a method for producing two or more deposited films by plasma chemical vapor deposition will be described. As shown in FIG. 4, the plasma chemical vapor deposition apparatus 40 basically includes a base film supply chamber 41, a first film forming chamber 42, a second film forming chamber 43, and a third film forming chamber 44. And a winding chamber 45 for winding a film in which a silicon oxide layer is formed on a base film and stacked.

まず、巻き出しロール46に巻き取られている基材フィルム1を、第1の製膜室42に繰り出し、さらにこの基材フィルム1を、補助ロール47を介して所定の速度で冷却・電極ドラム48周面上に搬送する。   First, the base film 1 wound around the unwinding roll 46 is fed out to the first film forming chamber 42, and this base film 1 is further cooled at a predetermined speed via the auxiliary roll 47 and the electrode drum. Conveyed on 48 circumferential surfaces.

次に、原料揮発供給装置49およびガス供給装置50から有機珪素化合物の1種以上からなる製膜用モノマーガス、酸素ガス、不活性ガス等を供給し、それらからなる製膜用混合ガス組成物を調整しながら、原料供給ノズル51を通して第1の製膜室42内に製膜用混合ガス組成物を導入し、そして、冷却・電極ドラム48周面上に搬送された基材フィルム1の上に、グロー放電プラズマ52によってプラズマを発生させ、これを照射して、珪素酸化物等からなる第1層の珪素酸化物層を製膜化する。   Next, a film-forming monomer gas, oxygen gas, inert gas, or the like comprising at least one organic silicon compound is supplied from the raw material volatilization supply device 49 and the gas supply device 50, and a film-forming mixed gas composition comprising them. The mixed gas composition for film formation is introduced into the first film formation chamber 42 through the raw material supply nozzle 51, and the top of the substrate film 1 conveyed on the circumferential surface of the cooling / electrode drum 48 is adjusted. In addition, plasma is generated by the glow discharge plasma 52 and irradiated to form a first silicon oxide layer made of silicon oxide or the like.

次に、上記の第1の製膜室42で第1層の珪素酸化物層を製膜化した基材フィルムを、補助ロール53、54を介して第2の製膜室43に繰り出し、次いで、上記と同様に、第1層の珪素酸化物層を製膜化した基材フィルムを所定の速度で冷却・電極ドラム55周面上に搬送する。   Next, the base film obtained by forming the first silicon oxide layer in the first film forming chamber 42 is fed out to the second film forming chamber 43 through the auxiliary rolls 53 and 54, and then In the same manner as described above, the base film on which the first silicon oxide layer is formed is transported onto the peripheral surface of the cooling / electrode drum 55 at a predetermined speed.

その後、上記と同様に、原料揮発供給装置56およびガス供給装置57から有機珪素化合物の1種以上からなる製膜用モノマーガス、酸素ガス、不活性ガス等を供給し、それらからなる製膜用混合ガス組成物を調整しながら、原料供給ノズル58を通して第2の製膜室43内に上記の製膜用混合ガス組成物を導入し、そして、上記の冷却・電極ドラム55周面上に搬送された第1層の珪素酸化物層を製膜化した基材フィルムの第1層の珪素酸化物層の上に、グロー放電プラズマ59によってプラズマを発生させ、これを照射して、珪素酸化物等からなる第2層の珪素酸化物層を製膜化する。   Thereafter, in the same manner as described above, a film-forming monomer gas, oxygen gas, inert gas, or the like made of one or more organic silicon compounds is supplied from the raw material volatilization supply device 56 and the gas supply device 57, and the film-forming film made of them. While adjusting the mixed gas composition, the film-forming mixed gas composition is introduced into the second film-forming chamber 43 through the raw material supply nozzle 58, and is conveyed onto the cooling / electrode drum 55 peripheral surface. A plasma is generated by glow discharge plasma 59 on the first silicon oxide layer of the base film obtained by forming the first silicon oxide layer, and is irradiated with the silicon oxide. A second silicon oxide layer made of, for example, is formed.

さらに、上記と同様にして、第2の製膜室で第1層と第2層の珪素酸化物層を製膜化した基材フィルムを、補助ロール60、61を介して第3の製膜室44に繰り出し、次いで、上記と同様に、第1層と第2層の珪素酸化物層を製膜化した基材フィルムを所定の速度で冷却・電極ドラム62周面上に搬送する。   Further, in the same manner as described above, a base film obtained by forming the first layer and the second silicon oxide layer in the second film forming chamber is formed into a third film through the auxiliary rolls 60 and 61. Then, the substrate film is fed into the chamber 44, and then the base film formed by forming the first layer and the second layer of silicon oxide is transported onto the peripheral surface of the cooling / electrode drum 62 at a predetermined speed in the same manner as described above.

その後、上記と同様にして、原料揮発供給装置63およびガス供給装置64から有機珪素化合物の1種以上からなる製膜用モノマーガス、酸素ガス、不活性ガス等を供給し、それらからなる製膜用混合ガス組成物を調整しながら、原料供給ノズル65を通して、第3の製膜室44内に上記の製膜用混合ガス組成物を導入し、そして、冷却・電極ドラム周面上に搬送された第1層と第2層の珪素酸化物層を製膜化した基材フィルムの第2層の珪素酸化物層の上に、グロー放電プラズマ66によってプラズマを発生させ、これを照射して、珪素酸化物等からなる第3層の珪素酸化物層を製膜化する。   Thereafter, in the same manner as above, a film-forming monomer gas, oxygen gas, inert gas, or the like composed of one or more organic silicon compounds is supplied from the raw material volatilization supply device 63 and the gas supply device 64, and a film is formed of these. The above mixed gas composition for film formation is introduced into the third film forming chamber 44 through the raw material supply nozzle 65 while adjusting the mixed gas composition for cooling, and is conveyed onto the cooling / electrode drum circumferential surface. Plasma is generated by glow discharge plasma 66 on the second silicon oxide layer of the base film obtained by forming the first and second silicon oxide layers, and this is irradiated. A third silicon oxide layer made of silicon oxide or the like is formed.

次いで、上記で第1層、第2層、および第3層の珪素酸化物層を製膜化し、それらを重層した基材フィルムを、補助ロール67を介して、巻き取り室45に繰り出し、次いで、巻き取りロール68に巻き取って、第1層、第2層、および第3層の珪素酸化物層が重層した蒸着層を有するガスバリア性積層フィルムを製造することができる。   Next, the silicon oxide layers of the first layer, the second layer, and the third layer are formed as described above, and the base film on which these layers are stacked is fed to the winding chamber 45 through the auxiliary roll 67, and then The gas barrier laminate film having a vapor deposition layer in which the first layer, the second layer, and the third silicon oxide layer are overlaid can be manufactured by being wound on a winding roll 68.

なお、本発明においては、各第1、第2、および第3の製膜室(42、43、44)に配設されている各冷却・電極ドラム(48、55、62)は、第1、第2、および第3の各製膜室の外に配置されている電源69から所定の電力が印加されており、また、各冷却・電極ドラム(48、55、62)の近傍には、マグネット(70、71、72)を配置してプラズマの発生が促進されるものである。   In the present invention, each cooling / electrode drum (48, 55, 62) disposed in each of the first, second, and third film forming chambers (42, 43, 44) A predetermined power is applied from a power source 69 arranged outside the second and third film forming chambers, and in the vicinity of each cooling / electrode drum (48, 55, 62), Magnets (70, 71, 72) are arranged to promote the generation of plasma.

なお、図示しないが、上記のプラズマ化学気相成長装置には、真空ポンプ等が設けられ、各製膜室等は真空に保持されるように調整されている。   Although not shown, the plasma chemical vapor deposition apparatus is provided with a vacuum pump and the like, and each film forming chamber is adjusted to be kept in vacuum.

上記の例示は、本発明の一例であり、これによって本発明が限定されるものではない。上記の例においては、第1層、第2層、および、第3層の珪素酸化物層を重層したガスバリア性積層フィルムが製造されるが、珪素酸化物層は、製膜室を任意に調整して、例えば2層または4層以上のように珪素酸化物層の層を任意に製膜化し、それらを重層した構造に製膜化することもできる。本発明は、上記の第1層、第2層、および、第3層の珪素酸化物層が重層したガスバリア性積層フィルムを製造する例だけに限定されるものではない。   The above illustration is an example of the present invention, and the present invention is not limited thereby. In the above example, a gas barrier laminated film in which the first layer, the second layer, and the third layer silicon oxide layer are overlaid is manufactured. Then, for example, a silicon oxide layer such as two layers or four or more layers can be arbitrarily formed and formed into a layered structure. The present invention is not limited only to the example of manufacturing a gas barrier laminate film in which the first, second, and third silicon oxide layers are overlaid.

上記において、各製膜室は、真空ポンプ等により減圧し、真空度1.33×10-1〜1.33×10-8mbar、好ましくは真空度1.33×10-3〜1.33×10-7mbarに調整することが好ましい。 In the above, each film forming chamber is depressurized by a vacuum pump or the like, and the degree of vacuum is 1.33 × 10 −1 to 1.33 × 10 −8 mbar, preferably the degree of vacuum is 1.33 × 10 −3 to 1.33. It is preferable to adjust to × 10 -7 mbar.

一方、各冷却・電極ドラムには、電源から所定の電圧が印加されているため、各製膜室内の原料供給ノズルの開口部と冷却・電極ドラムとの近傍でグロー放電プラズマが生成され、このグロー放電プラズマは、製膜用混合ガス組成物中の1つ以上のガス成分から導出されるものであり、この状態において、基材フィルムを一定速度で搬送させ、グロー放電プラズマによって、冷却・電極ドラム周面上の基材フィルムの上に、珪素酸化物等からなる珪素酸化物層を製膜化することができる。   On the other hand, since a predetermined voltage is applied to each cooling / electrode drum from the power source, glow discharge plasma is generated in the vicinity of the opening of the raw material supply nozzle in each film forming chamber and the cooling / electrode drum. The glow discharge plasma is derived from one or more gas components in the mixed gas composition for film formation. In this state, the base film is transported at a constant speed, and the glow discharge plasma is used for cooling and electrodes. A silicon oxide layer made of silicon oxide or the like can be formed on the substrate film on the drum peripheral surface.

なお、このときの各製膜室内の真空度は、1.33×10-1〜1.33×10-4mbar、好ましくは、真空度1.33×10-1〜1.33×10-2mbarに調整する。また、基材フィルムの搬送速度は、10〜300m/分、好ましくは50〜150m/分に調整する。 At this time, the degree of vacuum in each film forming chamber is 1.33 × 10 −1 to 1.33 × 10 −4 mbar, preferably 1.33 × 10 −1 to 1.33 × 10 Adjust to 2 mbar. Moreover, the conveyance speed of a base film is adjusted to 10-300 m / min, Preferably it is 50-150 m / min.

なお、本発明において、各製膜室内の真空度は、各室において同じであっても異なっていてもよい。   In the present invention, the degree of vacuum in each film forming chamber may be the same or different in each chamber.

また、原料揮発供給装置においては、原料である有機珪素化合物の1種以上からなる製膜用モノマーガスを揮発させ、ガス供給装置から供給される酸素ガス、不活性ガス等と混合させ、それらからなる製膜用混合ガス組成物を調整しながら、その製膜用混合ガス組成物を、原料供給ノズルを介して各製膜室内に導入されることが好ましい。   In the raw material volatilization supply device, the monomer gas for film formation composed of one or more organic silicon compounds as raw materials is volatilized and mixed with oxygen gas, inert gas, etc. supplied from the gas supply device, and from these It is preferable that the film-forming mixed gas composition is introduced into each film-forming chamber via the raw material supply nozzle while adjusting the film-forming mixed gas composition.

この場合、製膜用混合ガス組成物の各ガス成分のガス混合比としては、有機珪素化合物の1種からなる製膜用モノマーガスの含有量は1〜40%、酸素ガスの含有量は0〜70%、不活性ガスの含有量は1〜60%の範囲として調整することが好ましい。   In this case, as the gas mixing ratio of each gas component of the film-forming mixed gas composition, the content of the monomer gas for film-forming consisting of one kind of organosilicon compound is 1 to 40%, and the content of oxygen gas is 0. It is preferable to adjust the content of ˜70% and inert gas in the range of 1 to 60%.

本発明においては、各製膜室毎に、各製膜室に導入される製膜用混合ガス組成物の各ガス成分のガス混合比を変えて調製した製膜用混合ガス組成物を使用し、各製膜室毎に製膜化して、珪素酸化物等からなる珪素酸化物層を重層することが好ましい。   In the present invention, a film-forming mixed gas composition prepared by changing the gas mixing ratio of each gas component of the film-forming mixed gas composition introduced into each film-forming chamber is used for each film-forming chamber. It is preferable to form a film for each film forming chamber and to stack a silicon oxide layer made of silicon oxide or the like.

すなわち、本発明においては、少なくとも、有機珪素化合物の1種以上からなる製膜用モノマーガス、酸素ガス、および、不活性ガスを含有する製膜用混合ガス組成物の各ガスを含有する製膜用混合ガス組成物を調製し、その製膜用混合ガス組成物を各製膜室毎に変えて使用し、それらの各製膜用混合ガス組成物を使用した2層以上のプラズマ化学気相成長法による珪素酸化物層を製膜化することができるものである。   That is, in the present invention, at least one film forming monomer gas, oxygen gas, and film forming gas containing mixed gas composition containing an inert gas is used. Two or more plasma chemical vapor phases using the mixed gas composition for film formation are prepared by using the mixed gas composition for film formation for each film forming chamber. A silicon oxide layer can be formed by a growth method.

本発明においては、製膜用混合ガス組成物の各ガス成分の混合比としては、例えば、第1の製膜用混合ガス組成物として、製膜用モノマーガス:酸素ガス:不活性ガス=1:0〜5:1(単位:Slm、スタンダードリッターミニットの略である)のガス組成比からなる製膜用混合ガス組成物、また、別の第2の製膜用混合ガス組成物としては、製膜用モノマーガス:酸素ガス:不活性ガス=1:6〜15:1(単位:Slm)のガス組成比からなる製膜用混合ガス組成物等を使用することができる。   In the present invention, as the mixing ratio of each gas component of the film forming mixed gas composition, for example, as the first film forming mixed gas composition, the film forming monomer gas: oxygen gas: inert gas = 1. : A film-forming mixed gas composition having a gas composition ratio of 0 to 5: 1 (unit: Slm, an abbreviation for standard liter minute), and another second film-forming mixed gas composition include: Film-forming monomer gas: oxygen gas: inert gas = 1: 6 to 15: 1 (unit: Slm) A film-forming mixed gas composition having a gas composition ratio can be used.

本発明においては、上記のような製膜用混合ガス組成物を任意に組み合わせて、第1、第2、あるいは、第3の製膜室に、製膜用混合ガス組成物の各ガス成分の混合比を変えた製膜用混合ガス組成物を使用して製膜化することができる。   In the present invention, the mixed gas composition for film formation as described above is arbitrarily combined, and each gas component of the mixed gas composition for film formation is placed in the first, second, or third film forming chamber. It can be formed into a film by using a mixed gas composition for film formation with different mixing ratios.

物理気相成長法による蒸着膜の形成
本発明において、無機酸化物の蒸着膜としては、例えば、真空蒸着法、スバッタリング法、イオンプレーティング法、イオンクラスタービーム法等の物理気相成長法(Physical Vapor Deposition法、PVD法)を用いて形成することができる。
Formation of Vapor Deposition Film by Physical Vapor Deposition Method In the present invention, the inorganic oxide vapor deposition film may be, for example, a physical vapor deposition method such as a vacuum vapor deposition method, a sputtering method, an ion plating method, or an ion cluster beam method. (Physical Vapor Deposition method, PVD method) can be used.

具体的には、金属の酸化物を原料とし、これを加熱して樹脂のフィルムないしシートの上に蒸着する真空蒸着法、または、原料として金属または金属の酸化物を使用し、酸素を導入して酸化させて樹脂のフィルムないしシートの上に蒸着する酸化反応蒸着法、さらに、酸化反応をプラズマで助成するプラズマ助成式の酸化反応蒸着法等を用いて無機酸化物の非結晶の薄膜を形成することができる。   Specifically, a metal oxide is used as a raw material, and this is heated to deposit on a resin film or sheet, or a metal or metal oxide is used as a raw material and oxygen is introduced. An amorphous thin film of inorganic oxide is formed using an oxidation reaction deposition method that oxidizes and deposits on a resin film or sheet, and a plasma-assisted oxidation reaction deposition method in which the oxidation reaction is supported by plasma. can do.

上記において、蒸着材料の加熱方式としては、例えば、抵抗加熱方式、高周波誘導加熱方式、エレクトロンビーム加熱方式(EB)等にて行うことができる。   In the above, the heating method of the vapor deposition material can be performed by, for example, a resistance heating method, a high frequency induction heating method, an electron beam heating method (EB), or the like.

上記の無機酸化物の蒸着膜としては、金属の酸化物の蒸着膜が挙げられ、具体的には、ケイ素(Si)、アルミニウム(Al)、マグネシウム(Mg)、カルシウム(Ca)、カリウム(K)、スズ(sn)、ナトリウム(Na)、ホウ素(B)、チタン(Ti)、鉛(Pb)、ジルコニウム(Zr)、イットリウム(Y)等の金属の酸化物の蒸着膜を使用することができる。好ましいものとしては、ケイ素(Si)、アルミニウム(Al)等の金属が挙げられる。   Examples of the deposited film of the inorganic oxide include a deposited film of a metal oxide. Specifically, silicon (Si), aluminum (Al), magnesium (Mg), calcium (Ca), potassium (K ), Tin (sn), sodium (Na), boron (B), titanium (Ti), lead (Pb), zirconium (Zr), yttrium (Y), etc. it can. Preferable examples include metals such as silicon (Si) and aluminum (Al).

上記の金属の酸化物の蒸着膜は、ケイ素酸化物、アルミニウム酸化物、マグネシウム酸化物等のように金属酸化物ということができ、その表記は、例えば、SiOx、AlOx、MgOx等のようにMOx(式中、Mは、金属元素を表し、xの値は、金属元素によってそれぞれ範囲が異なる)で表される。   The deposited metal oxide film can be referred to as a metal oxide such as silicon oxide, aluminum oxide, and magnesium oxide. The notation can be expressed by, for example, MOx such as SiOx, AlOx, and MgOx. (In the formula, M represents a metal element, and the value of x varies depending on the metal element).

また、上記のxの値の範囲としては、ケイ素(Si)は0〜2、アルミニウム(Al)は0〜1.5、マグネシウム(Mg)は0〜1、カルシウム(Ca)は0〜1、カリウム(K)は0〜0.5、スズ(Sn)は0〜2、ナトリウム(Na)は0〜0.5、ホウ素(B)は0〜1、5、チタン(Ti)は0〜2、鉛(Pb)は0〜1、ジルコニウム(Zr)は0〜2、イットリウム(Y)は0〜1.5の範囲の値をとることができる。   Moreover, as a range of said value of x, silicon (Si) is 0-2, aluminum (Al) is 0-1.5, magnesium (Mg) is 0-1, calcium (Ca) is 0-1, 0 to 0.5 for potassium (K), 0 to 2 for tin (Sn), 0 to 0.5 for sodium (Na), 0 to 1 for boron (B), 0 to 2 for titanium (Ti). Lead (Pb) can take values in the range of 0 to 1, zirconium (Zr) in the range of 0 to 2, and yttrium (Y) in the range of 0 to 1.5.

上記において、x=0の場合、完全な金属であり、透明でないので使用することができない。また、xの範囲の上限は、完全に酸化した値である。   In the above, when x = 0, it is a perfect metal and cannot be used because it is not transparent. In addition, the upper limit of the range of x is a completely oxidized value.

本発明において、望ましくは、ケイ素(Si)、アルミニウム(Al)が使用され、ケイ素(Si)は1.0〜2.0、アルミニウム(Al)は0.5〜1.5の範囲の値のものを使用することができる。   In the present invention, silicon (Si) and aluminum (Al) are preferably used, and silicon (Si) has a value in the range of 1.0 to 2.0, and aluminum (Al) has a value in the range of 0.5 to 1.5. Things can be used.

本発明において、上記のような無機酸化物の蒸着膜の膜厚としては、使用する金属、または、金属の酸化物の種類等によって異なるが、例えば、50〜4000Å位、好ましくは100〜1000Å位の絶囲内で任意に選択して形成することが望ましい。   In the present invention, the film thickness of the inorganic oxide vapor-deposited film as described above varies depending on the type of metal or metal oxide used, but is, for example, about 50 to 4000 mm, preferably about 100 to 1000 mm. It is desirable to select and form arbitrarily within the surroundings.

また、本発明においては、無機酸化物の蒸着膜としては、使用する金属、または、金属の酸化物としては、1種または2種以上の混合物で使用し、異種の材質で混合した無機酸化物の蒸着膜を梼成することもできる。   In the present invention, the inorganic oxide vapor-deposited film is a metal to be used, or the metal oxide is one or a mixture of two or more, and mixed with different materials. It is also possible to form a deposited film.

次に、本発明において、上記の無機酸化物の蒸着膜を形成する方法について説明する。図5は、巻き取り式真空蒸着装置の一例を示す概略構成図である。   Next, in the present invention, a method for forming a vapor-deposited film of the above inorganic oxide will be described. FIG. 5 is a schematic configuration diagram illustrating an example of a take-up vacuum deposition apparatus.

図5に示すように、巻き取り式真空蒸着装置80の巻き取りチヤンバー81の中で、巻き出しロール82から繰り出す樹脂のフィルムないしシート(基材フィルム)1は、ガイドロール83、84を介して、冷却したコーティングドラム85に案内される。   As shown in FIG. 5, in the take-up chamber 81 of the take-up vacuum deposition apparatus 80, the resin film or sheet (base film) 1 fed out from the take-out roll 82 is passed through the guide rolls 83 and 84. To the cooled coating drum 85.

上記の冷却したコーティングドラム上に案内された樹脂のフィルムないしシートの上に、るつぼ92で熱せられた蒸着源86、例えば、金属アルミニウム、あるいは酸化アルミニウム等を蒸発させ、さらに、必要ならば、酸素ガス吹出口87より酸素ガス等を噴出し、これを供給しながら、マスク88を介して、例えば、酸化アルミニウム等の無機酸化物の蒸着膜を樹脂のフィルムないしシート上に形成する。   The evaporation source 86 heated by the crucible 92, for example, metal aluminum or aluminum oxide is evaporated on the resin film or sheet guided on the cooled coating drum, and oxygen, if necessary. For example, an inorganic oxide vapor deposition film such as aluminum oxide is formed on a resin film or sheet through a mask 88 while oxygen gas or the like is jetted from the gas outlet 87 and supplied.

次いで、例えば、酸化アルミニウム等の無機酸化物の蒸着膜を形成した樹脂のフィルムないしシートを、ガイドロール89、90を介して巻き取りロール91に巻き取って、無機酸化物の蒸着膜を有する樹脂のフィルムないしシートを製造することができる。   Next, for example, a resin film or sheet on which an inorganic oxide vapor deposition film such as aluminum oxide is formed is wound around a take-up roll 91 via guide rolls 89 and 90, and a resin having an inorganic oxide vapor deposition film is obtained. The film or sheet can be produced.

また、巻き取りチヤンバーの真空度としては、100 〜10-5mbar、好ましくは10-1〜10-4mbarが望ましい。また、蒸着チヤンバーの真空度としては、酸素ガスの導入前においては、10-2〜10-8mbar、好ましくは10-3〜10-7mbarが望ましく、酸素ガスの導入後においては、10-1〜10-6mbar、好ましくは10-2〜10-5mbarが望ましい。また、可撓性プラスチック基材の搬送速度としては、10〜800m/分、好ましくは50〜600m/分が望ましい。 The degree of vacuum of the take-up chamber is 10 0 to 10 −5 mbar, preferably 10 −1 to 10 −4 mbar. Further, the degree of vacuum of the vapor deposition chamber is preferably 10 −2 to 10 −8 mbar, preferably 10 −3 to 10 −7 mbar before the introduction of oxygen gas, and 10 after the introduction of oxygen gas. 1 to 10 −6 mbar, preferably 10 −2 to 10 −5 mbar is desirable. Moreover, as a conveyance speed of a flexible plastic base material, 10-800 m / min, Preferably 50-600 m / min is desirable.

上記の例示は、その一例を例示するものであり、これによって本発明は限定されるものではない。   The above exemplification is an example, and the present invention is not limited thereby.

なお、本発明においては、上記のような巻き取り式真空蒸着装置を用いて、まず、第1層の無機酸化物の蒸着膜を形成し、次いで、同様にして、該無機酸化物の蒸着膜の上に、さらに、無機酸化物の蒸着膜を形成するか、あるいは、上記のような巻き取り式真空蒸着装置を用いて、これを2連に連接し、連続的に、無機酸化物の蒸着膜を形成することにより、2層以上の多層膜からなる無機酸化物の蒸着膜を形成することができる。   In the present invention, the first-layer inorganic oxide vapor deposition film is first formed using the above-described take-up vacuum vapor deposition apparatus, and then the inorganic oxide vapor deposition film is formed in the same manner. Further, an inorganic oxide vapor deposition film is formed on the substrate, or the above-described winding type vacuum vapor deposition apparatus is used to connect the two in series, and the inorganic oxide vapor deposition is continuously performed. By forming the film, it is possible to form an inorganic oxide vapor-deposited film composed of two or more multilayer films.

上記のように化学気相成長法、または物理気相成長法により基材に無機酸化物の蒸着膜を形成した後、さらに前記蒸着膜をグロー放電処理、プラズマ処理、またはマイクロウェーブ処理してもよい。これにより蒸着膜と以下のガスバリア性塗布膜との密着性がさらに向上する。   After forming a vapor-deposited film of an inorganic oxide on a substrate by chemical vapor deposition or physical vapor deposition as described above, the vapor-deposited film may be further subjected to glow discharge treatment, plasma treatment, or microwave treatment. Good. This further improves the adhesion between the deposited film and the following gas barrier coating film.

ガスバリア性塗布膜
次に、本発明のガスバリア性積層フィルムを構成するガスバリア性塗布膜について説明する。
本発明のガスバリア性塗布膜は、アルコキシドと水溶性高分子を含有するものであり、具体的には、ガスバリア性塗布膜として、一般式:R1 nM(OR2mで表される少なくとも1種以上のアルコキシド、ポリビニルアルコールおよび/またはエチレン・ビニルアルコールを含有する組成物をゾルゲル法によって重縮合して得られるガスバリア性組成物によるガスバリア性塗布膜を使用する。
Next, the gas barrier coating film constituting the gas barrier laminated film of the present invention will be described.
The gas barrier coating film of the present invention contains an alkoxide and a water-soluble polymer. Specifically, as the gas barrier coating film, at least represented by the general formula: R 1 n M (OR 2 ) m A gas barrier coating film using a gas barrier composition obtained by polycondensation of a composition containing one or more alkoxides, polyvinyl alcohol and / or ethylene / vinyl alcohol by a sol-gel method is used.

本発明に好適に使用できるアルコキシドは、一般式:R1 nM(OR2m(式中、Mは金属元素、R1、R2が炭素数1〜8の有機基、nは0以上、mは1以上の整数、n+mはMの原子価を表す)で表されるものであり、このアルコキシドの部分加水分解物またはアルコキシドの加水分解縮合物の少なくとも1種以上を使用することができる。なお上記のアルコキシドの部分加水分解物としては、アルコキシ基のすべてが加水分解されている必要はなく、1個以上が加水分解されているもの、およびその混合物であってもよい。また、加水分解の縮合物は、部分加水分解アルコキシドの2量体以上のものを表しており、2〜6量体が通常使用される。 The alkoxide that can be suitably used in the present invention has a general formula: R 1 n M (OR 2 ) m (wherein M is a metal element, R 1 and R 2 are organic groups having 1 to 8 carbon atoms, and n is 0 or more) , M represents an integer of 1 or more, and n + m represents a valence of M), and at least one kind of a partial hydrolyzate of alkoxide or a hydrolyzed condensate of alkoxide can be used. . In addition, as a partial hydrolyzate of said alkoxide, all the alkoxy groups do not need to be hydrolyzed, The thing by which one or more was hydrolyzed, and its mixture may be sufficient. Further, the hydrolysis condensate represents a dimer or more of a partially hydrolyzed alkoxide, and a 2-6 mer is usually used.

上記一般式:R1 nM(OR2mにおける、Mで表される金属元素としては、ケイ素、ジルコニウム、チタン、アルミニウム等が使用でき、好ましくはケイ素である。これらのアルコキシドの用い方としては、単独または2種以上の異なる金属元素のアルコキシドを同一溶液中に混合して使うこともできる。 As the metal element represented by M in the above general formula: R 1 n M (OR 2 ) m , silicon, zirconium, titanium, aluminum and the like can be used, and preferably silicon. These alkoxides can be used alone or in combination of two or more different metal element alkoxides in the same solution.

有機基R1の具体例としては、例えば、メチル基、エチル基、n−プロピル基、i−プロピル基、n−ブチル基、i−ブチル基、sec−ブチル基、t−ブチル基、n−ヘキシル基、n−オクチル基等のアルキル基等が挙げられる。また、有機基R2の具体例としては、例えば、メチル基、エチル基、n−プロピル基、i−プロピル基、n−ブチル基、sec−ブチル基等が挙げられる。同一分子中にこれらアルキル基は同一であっても、異なってもよい。 Specific examples of the organic group R 1 include, for example, methyl group, ethyl group, n-propyl group, i-propyl group, n-butyl group, i-butyl group, sec-butyl group, t-butyl group, n- Examples thereof include alkyl groups such as hexyl group and n-octyl group. Specific examples of the organic group R 2 include a methyl group, an ethyl group, an n-propyl group, an i-propyl group, an n-butyl group, and a sec-butyl group. These alkyl groups in the same molecule may be the same or different.

アルコキシドの中でも、MがSiであるアルコキシシランが好ましく、アルコキシシランとしてはSi(ORa4で表され、Rは低級アルキル基である。Raとしてはメチル基、エチル基、N−プロピル基、N・ブチル基等が用いられ、アルコキシシランの具体例としては、テトラメトキシシランSi(OCH34、テトラエトキシシランSi(OC254、テトラプロポキシシランSi(OC374、テトラブトキシシランSi(OC494等が挙げられる。 Among the alkoxides, an alkoxysilane in which M is Si is preferable, and the alkoxysilane is represented by Si (OR a ) 4 , and R is a lower alkyl group. As R a , a methyl group, an ethyl group, an N-propyl group, an N · butyl group, or the like is used. Specific examples of alkoxysilane include tetramethoxysilane Si (OCH 3 ) 4 , tetraethoxysilane Si (OC 2 H 5 ) 4 , tetrapropoxysilane Si (OC 3 H 7 ) 4 , tetrabutoxysilane Si (OC 4 H 9 ) 4 and the like.

また、アルキルアルコキシシランRb mSi(ORc4-mを用いることができる(mは1、2、3の整数)。Rb、Rcとしては、メチル基、エチル基等が用いられ、アルキルアルコキシシランの具体例としては、メチルトリメトキシシランCH3Si(OCH33、メチルトリエトキシシランCH3Si(OC253、ジメチルジメトキシシラン(CH32Si(OCH32ジメチルジエトキシシラン(CH32Si(OC252等があげられる。これらのアルコキシシラン、アルキルアルコキシシランは、単独または2種以上を混合しても用いることができる。 Further, alkylalkoxysilane R b m Si (OR c ) 4-m can be used (m is an integer of 1, 2, 3). As R b and R c , a methyl group, an ethyl group or the like is used. Specific examples of the alkylalkoxysilane include methyltrimethoxysilane CH 3 Si (OCH 3 ) 3 , methyltriethoxysilane CH 3 Si (OC 2 H 5) 3, dimethyldimethoxysilane (CH 3) 2 Si (OCH 3) 2 dimethyldiethoxysilane (CH 3) 2 Si (OC 2 H 5) 2 and the like. These alkoxysilanes and alkylalkoxysilanes can be used alone or in combination of two or more.

さらに、アルコキシシランの縮重合物も使用することができ、具体的にはポリテトラメトキシシラン、ポリテトラエメトキシシラン等が挙げられる。   Furthermore, polycondensation products of alkoxysilanes can be used, and specific examples include polytetramethoxysilane and polytetraemethoxysilane.

上記アルコキシドの中で、MがZrであるジルコニウムアルコキシドの具体例としては、テトラメトキシジルコニウムZr(O−CH34、テトラエトキシジルコニウムZr(O−C254、テトラiプロポキシジルコニウムZr(O−Iso−C374、テトラnブトキシジルコニウムZr(O−C494等を好適に使用できる。 Among the alkoxides, specific examples of zirconium alkoxides in which M is Zr include tetramethoxyzirconium Zr (O—CH 3 ) 4 , tetraethoxyzirconium Zr (O—C 2 H 5 ) 4 , tetraipropoxyzirconium Zr. (O-Iso-C 3 H 7) 4, tetra-n-butoxy zirconium Zr (O-C 4 H 9 ) 4 and the like can be preferably used.

上記アルコキシドの中で、MがTiであるチタニウムアルコキシドの具体例としては、テトラメトキシチタニウムTi(O−CH34、テトラエトキシチタニウムTi(O−C254、テトライソプロポキシチタニウムTi(O−Iso−C374、テトラnブトキシチタニウムTi(O−C494等を好適に使用できる。 Among the above alkoxides, specific examples of titanium alkoxides in which M is Ti include tetramethoxytitanium Ti (O—CH 3 ) 4 , tetraethoxytitanium Ti (O—C 2 H 5 ) 4 , and tetraisopropoxytitanium Ti. (O-Iso-C 3 H 7) 4, tetra-n-butoxy titanium Ti (O-C 4 H 9 ) 4 and the like can be preferably used.

上記アルコキシドの中で、MがAlであるアルミニウムアルコキシドの具体例としては、テトラメトキシアルミニウムAl(O−CH34、テトラエトキシアルミニウムAl(O−C254テトライソプロポキシアルミニウムAl(O−Iso−C374、テトラnブトキシアルミニウムAl(O−C494等を好適に使用できる。 Among the alkoxides, specific examples of aluminum alkoxides in which M is Al include tetramethoxyaluminum Al (O—CH 3 ) 4 , tetraethoxyaluminum Al (O—C 2 H 5 ) 4 tetraisopropoxyaluminum Al ( O-Iso-C 3 H 7 ) 4, tetra-n-butoxy aluminum Al (O-C 4 H 9 ) 4 and the like can be preferably used.

2種以上のこれらのアルコキシドを混合して用いてもよい。特にアルキキシシランとジルコニウムアルコキシドを混合して用いることによって、得られる積層フィルムの靭性、耐熱性等が向上し、廷伸時のフィルムの耐レトルト性等の低下が回避できる。ジルコニウムアルコキシドの使用量は、アルコキシシラン100重量部に対して10重量部以下の範囲であり、好ましくは約5重量部である。10重量部を上回ると、形成される複合ポリマーがゲル化しやすくなり、複合ポリマーの脆性が大きくなり、基材フィルムを被覆した際に複合ポリマー層が剥離しやすくなる。   Two or more kinds of these alkoxides may be mixed and used. In particular, by using a mixture of alkoxysilane and zirconium alkoxide, the toughness, heat resistance and the like of the resulting laminated film are improved, and a decrease in the retort resistance of the film during stretching can be avoided. The amount of zirconium alkoxide used is in the range of 10 parts by weight or less, preferably about 5 parts by weight, based on 100 parts by weight of alkoxysilane. When the amount exceeds 10 parts by weight, the formed composite polymer is easily gelled, the brittleness of the composite polymer is increased, and the composite polymer layer is easily peeled off when the base film is coated.

また特にアルコキシシランとチタニウムアルコキシドを混合して用いることによって、得られる皮膜の熱伝導率が低くなり、基材の耐熱性が著しく向上する。チタニウムアルコキシドの使用量は、アルコキシシラン100重量部に対して5重量部以下の範囲であり、好ましくは約3重量部である。5重量部を超えると形成される複合ポリマーの脆性が大きくなり、基材フィルムを被覆した際に複合ポリマーが剥離しやすくなる。   In particular, by using a mixture of alkoxysilane and titanium alkoxide, the thermal conductivity of the resulting film is lowered, and the heat resistance of the substrate is remarkably improved. The amount of titanium alkoxide used is in the range of 5 parts by weight or less, preferably about 3 parts by weight, based on 100 parts by weight of alkoxysilane. If the amount exceeds 5 parts by weight, the brittleness of the composite polymer formed becomes large, and the composite polymer is easily peeled off when the base film is coated.

本発明においては、上記アルコキシドと共にシランカップリング剤が併用されることが好ましい。シランカップリング剤としては、既知の有機反応性基含有オルガノアルコキシシランが用いられ得る。特に、エポキシ基を有するオルガノアルコキシシランが好適である。それには、例えばγ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルメチルジエトキシシラン、およびβ−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチ
ルトリメトキシシランがある。このようなシランカップリング剤は2種以上を混合して用いてもよい。このようなシランカップリング剤の使用量は、上記アルコキシシラン100重量部に対して0.1〜20重量部の範囲内である。20重量部以上を使用すると形成される複合ポリマーの剛性と脆性とが大きくなり、複合ポリマー層の絶縁性および加工性が低下する。
In the present invention, a silane coupling agent is preferably used in combination with the alkoxide. As the silane coupling agent, a known organic reactive group-containing organoalkoxysilane can be used. In particular, an organoalkoxysilane having an epoxy group is suitable. Examples include γ-glycidoxypropyltrimethoxysilane, γ-glycidoxypropylmethyldiethoxysilane, and β- (3,4-epoxycyclohexyl) ethyltrimethoxysilane. Two or more kinds of such silane coupling agents may be mixed and used. The amount of the silane coupling agent used is in the range of 0.1 to 20 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the alkoxysilane. When 20 parts by weight or more is used, the composite polymer formed is increased in rigidity and brittleness, and the insulation and workability of the composite polymer layer are lowered.

本発明では、ガスバリア性塗布膜形成用の組成物(塗工液)に、水溶性高分子として、ポリビニルアルコールおよび/またはエチレン・ビニルアルコールコポリマーが含まれる。ポリビニルアルコールおよびエチレン・ビニルアルコールコポリマーを組み合わせることによって、得られる塗布膜のガスバリア性、耐水性、耐候性等が著しく向上する。さらに、ポリビニルアルコールとエチレン・ビニルアルコールコポリマーとを組み合わせた積層フィルムは、ガスバリア性、耐水性、および耐候性に加えて耐熱水性および熱水処理後のガスバリア性に優れる。   In the present invention, the composition (coating liquid) for forming a gas barrier coating film contains polyvinyl alcohol and / or ethylene / vinyl alcohol copolymer as a water-soluble polymer. By combining polyvinyl alcohol and ethylene / vinyl alcohol copolymer, gas barrier properties, water resistance, weather resistance, and the like of the obtained coating film are remarkably improved. Furthermore, a laminated film in which polyvinyl alcohol and ethylene / vinyl alcohol copolymer are combined is excellent in hot water resistance and gas barrier property after hot water treatment in addition to gas barrier properties, water resistance, and weather resistance.

ポリビニルアルコールおよびエチレン・ビニルアルコールコポリマーの組み合わせを採用する場合のそれぞれの含有重量比は、10:0.05〜10:6であることが好ましく、約10:1がさらに好ましい。   When the combination of polyvinyl alcohol and ethylene / vinyl alcohol copolymer is employed, the weight ratio of each is preferably 10: 0.05 to 10: 6, more preferably about 10: 1.

上記水溶性高分子の含有量は、ガスバリア性塗布膜中におけるアルコキシド由来の金属元素(M)と、水溶性高分子由来の炭素元素(C)との元素割合(M/C)が、2.8<M/C<4.12、好ましくは2.8<M/C<3.4となるような量でなければならない。上記水溶性高分子の含有量は、使用するアルコキシド中に含まれるR1、R2、金属元素の種類、上記水溶性高分子の種類によって変化するものであるが、例えばアルコキシドとして正珪酸エチルを使用し、水溶性高分子としてポリビニルアルコールを使用した場合には、ポリビニルアルコールの含有量は、正珪酸エチルの固形分(SiO2分)100重量部に対して約45〜57重量部の範囲であり、好ましくは約47〜57重量部である。 The content of the water-soluble polymer is such that the element ratio (M / C) of the metal element (M) derived from the alkoxide and the carbon element (C) derived from the water-soluble polymer in the gas barrier coating film is 2. The amount should be such that 8 <M / C <4.12, preferably 2.8 <M / C <3.4. The content of the water-soluble polymer varies depending on R 1 , R 2 , the type of metal element contained in the alkoxide used, and the type of the water-soluble polymer. For example, normal ethyl silicate is used as the alkoxide. When polyvinyl alcohol is used as the water-soluble polymer, the content of polyvinyl alcohol is in the range of about 45 to 57 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the solid content of normal ethyl silicate (SiO 2 part). Yes, preferably about 47-57 parts by weight.

上記水溶性高分子に対するアルコキシド量が過剰である、すなわちアルコキシド由来の金属元素(M)と、水溶性高分子由来の炭素元素(C)との元素割合(M/C)が、4.12、好ましくは3.4を超えると、アルコキシドの架橋反応が過剰に進行し、緻密な膜を形成することができない。その結果、ガスバリア性塗布膜の表面粗さ(Ra)が過度に上昇し、ガスバリア性が低下する。   The amount of the alkoxide with respect to the water-soluble polymer is excessive, that is, the element ratio (M / C) of the metal element (M) derived from the alkoxide and the carbon element (C) derived from the water-soluble polymer is 4.12. Preferably, when it exceeds 3.4, the crosslinking reaction of alkoxide proceeds excessively and a dense film cannot be formed. As a result, the surface roughness (Ra) of the gas barrier coating film is excessively increased, and the gas barrier property is decreased.

また上記水溶性高分子に対するアルコキシド量が過少である、すなわちアルコキシド由来の金属元素(M)と、水溶性高分子由来の炭素元素(C)との元素割合(M/C)が、2.8未満であると、水溶性高分子の膨潤を抑制できず、ガスバリア性塗布膜の表面粗さ(Ra)が過度に上昇し、その結果、ガスバリア性が低下する。   The amount of alkoxide with respect to the water-soluble polymer is too small, that is, the element ratio (M / C) of the metal element (M) derived from the alkoxide and the carbon element (C) derived from the water-soluble polymer is 2.8. If it is less than 1, the swelling of the water-soluble polymer cannot be suppressed, the surface roughness (Ra) of the gas barrier coating film is excessively increased, and as a result, the gas barrier property is decreased.

本発明においては、上記の組成物(塗工液)を蒸着膜上に塗布し、その組成物をゾル−ゲル法により重縮合して塗布膜を得る。ゾル−ゲル法触媒、主として重縮合触媒としては、水に実質的に不溶であり、かつ有機溶媒に可溶な第三級アミンが用いられる。例えば、N,N−ジメチルベンジルアミン、トリプロピルアミン、トリブチルアミン、トリペンチルアミン等があり、特にN−N−ジメチルベンジルアミンが好適である。その使用量は、アルコキシド、およびシランカップリング剤の合計量100重量部当り、0.01〜1重量部、好ましくは約0.03重量部である。   In this invention, said composition (coating liquid) is apply | coated on a vapor deposition film | membrane, The composition is polycondensed by the sol-gel method, and a coating film is obtained. As the sol-gel catalyst, mainly a polycondensation catalyst, a tertiary amine that is substantially insoluble in water and soluble in an organic solvent is used. For example, there are N, N-dimethylbenzylamine, tripropylamine, tributylamine, tripentylamine and the like, and NN-dimethylbenzylamine is particularly preferable. The amount used is 0.01 to 1 part by weight, preferably about 0.03 part by weight, per 100 parts by weight of the total amount of alkoxide and silane coupling agent.

本発明においては、上記の組成物は第三級アミンに代えて、またはさらに酸を含んでいてもよい。酸は、ゾル−ゲル法の触媒、主としてアルコキシドやシランカップリング剤等の加水分解のための触媒として用いられる。酸としては、硫酸、塩酸、硝酸等の鉱酸、ならびに酢酸、酒石酸等の有機酸が用いられる。酸の使用量は、アルコキシドおよびシランカップリング剤のアルコキシド分(例えばシリケート部分)の総モル量に対して、0.001〜0.05モルであり、好ましくは約0.01モルである。   In the present invention, the above composition may contain an acid instead of the tertiary amine or further. The acid is used as a catalyst for a sol-gel method, mainly as a catalyst for hydrolysis of an alkoxide, a silane coupling agent or the like. As the acid, mineral acids such as sulfuric acid, hydrochloric acid and nitric acid, and organic acids such as acetic acid and tartaric acid are used. The amount of the acid used is 0.001 to 0.05 mol, preferably about 0.01 mol, based on the total molar amount of the alkoxide and the alkoxide content (for example, silicate moiety) of the silane coupling agent.

本発明においては、上記ガスバリア性塗布膜形成用組成物中に、アルコキシドの合計モル量1モルに対して0.1〜100モル、好ましくは0.8〜2モルの割合の水を含んでなることが好ましい。水の量が2モルを上回ると、上記アルコキシシランと金属アルコキシドとから得られるポリマーが球状粒子となり、さらに、この球状粒子同士が3次元的に架橋し、密度の低い、多孔性のポリマーとなる。多孔性のポリマーは、基材フィルムのガスバリア性を改善することができない。水の量が0.8モルを下回ると、加水分解反応が進行しにくくなる。   In the present invention, the composition for forming a gas barrier coating film contains water in a proportion of 0.1 to 100 mol, preferably 0.8 to 2 mol, relative to 1 mol of the total molar amount of alkoxide. It is preferable. When the amount of water exceeds 2 mol, the polymer obtained from the alkoxysilane and the metal alkoxide becomes spherical particles, and the spherical particles are three-dimensionally cross-linked to form a porous polymer having a low density. . The porous polymer cannot improve the gas barrier property of the base film. When the amount of water is less than 0.8 mol, the hydrolysis reaction hardly proceeds.

また、ガスバリア性塗布膜形成用組成物は、有機溶剤を含有することが好ましい。有機溶媒としては、メチルアルコール、エチルアルコール、n−プロピルアルコール、イソプロピルアルコール、n−ブタノール等が用いられる。   Moreover, it is preferable that the composition for gas-barrier coating film formation contains an organic solvent. As the organic solvent, methyl alcohol, ethyl alcohol, n-propyl alcohol, isopropyl alcohol, n-butanol and the like are used.

ポリビニルアルコールおよび/またはエチレン・ビニルアルコールコポリマーは、上記のアルコキシドやシランカップリング剤等を含む組成物(塗工液)中で溶解した状態であることが好ましく、そのため上記有機溶媒の種類が適宜選択される。ポリビニルアルコールおよびエチレン・ビニルアルコールコポリマーの組み合わせを採用する場合には、n−ブタノールを使用することが好ましい。溶媒中に可溶化されたエチレン・ビニルアルコールコポリマーは、例えば、ソアノール(商品名)として市販されている。上記有機溶媒の使用量は、通常上記アルコキシド、シランカップリング剤、ポリビニルアルコールおよび/またはエチレン・ビニルアルコールコポリマー、酸、およびゾル−ゲル法触媒の合計量100重量部当り30〜500重量部である。   The polyvinyl alcohol and / or ethylene / vinyl alcohol copolymer is preferably in a state of being dissolved in a composition (coating liquid) containing the alkoxide, silane coupling agent, or the like. Therefore, the type of the organic solvent is appropriately selected. Is done. When employing a combination of polyvinyl alcohol and ethylene-vinyl alcohol copolymer, it is preferable to use n-butanol. An ethylene-vinyl alcohol copolymer solubilized in a solvent is commercially available, for example, as Soarnol (trade name). The amount of the organic solvent used is usually 30 to 500 parts by weight per 100 parts by weight of the total amount of the alkoxide, silane coupling agent, polyvinyl alcohol and / or ethylene / vinyl alcohol copolymer, acid, and sol-gel method catalyst. .

本発明のガスバリア性積層フィルムにおいて、ガスバリア性塗布膜の形成方法について以下に説明する。
まず、上記のアルコキシシラン等のアルコキシド、シランカップリング剤、ポリビニルアルコール系樹脂及び/又はエチレン・ビニルアルコール共重合体、ゾル−ゲル法触媒、水、有機溶媒、および、必要に応じて、金属アルコキシド等を混合してガスバリア性塗工液を調製する。ガスバリア性塗工液中では次第に重縮合反応が進行する。
In the gas barrier laminate film of the present invention, a method for forming a gas barrier coating film will be described below.
First, an alkoxide such as alkoxysilane, a silane coupling agent, a polyvinyl alcohol resin and / or an ethylene / vinyl alcohol copolymer, a sol-gel method catalyst, water, an organic solvent, and, if necessary, a metal alkoxide Etc. are mixed to prepare a gas barrier coating solution. In the gas barrier coating liquid, the polycondensation reaction gradually proceeds.

次いで、基材の一方の面に設けた無機酸化物の蒸着膜の上に、常法により、上記のガスバリア性塗工液を通常の方法で塗布し、乾燥する。乾燥により、上記アルコキシド、金属アルコキシド、シランカップリング剤およびビニルアルコールポリマーの重縮合がさらに進行し、複合ポリマーの層が形成される。好ましくは上記の操作を繰り返して、複数の複合ポリマー層を積層する。   Next, the gas barrier coating solution is applied by a conventional method on an inorganic oxide vapor-deposited film provided on one surface of the substrate, and dried. By the drying, the polycondensation of the alkoxide, metal alkoxide, silane coupling agent, and vinyl alcohol polymer further proceeds to form a composite polymer layer. Preferably, the above operation is repeated to laminate a plurality of composite polymer layers.

最後に、上記の塗工液を塗布した基材フィルムを20℃〜250℃で、かつ、基材フィルムの融点以下の温度、好ましくは、50℃〜200℃、特に150℃〜250℃、さらに特定すると180℃〜200℃の範囲の温度で、1秒〜10分間、好ましくは1秒〜2分間、特に30秒〜90秒間加熱処理して、基材フィルムの一方の面に形成した無機酸化物の蒸着膜の上に、上記のガスバリア性組成物(塗工液)によるガスバリア性塗布膜を1層ないし2層以上形成して、ガスバリア性塗布膜を構成する。   Finally, the base film coated with the above coating solution is at a temperature of 20 ° C. to 250 ° C. and below the melting point of the base film, preferably 50 ° C. to 200 ° C., particularly 150 ° C. to 250 ° C. Specifically, inorganic oxidation formed on one side of the base film by heat treatment at a temperature in the range of 180 ° C. to 200 ° C. for 1 second to 10 minutes, preferably 1 second to 2 minutes, particularly 30 seconds to 90 seconds. A gas barrier coating film is formed by forming one or two or more gas barrier coating films of the gas barrier composition (coating liquid) on the vapor deposition film.

特に本発明においては、上記加熱処理を150℃〜250℃、好ましくは180℃〜200℃の範囲の温度で行うことにより、ガスバリア性塗布膜内部において、アルコキシド加水分解物と水溶性高分子とが水素結合や化学結合により結合する架橋反応が起こること、水溶性高分子が結晶化すること、蒸着膜とガスバリア性塗布膜とが水素結合や化学結合により強固に密着すると考えられることから、ガスバリア性が一層向上すると共に、柔軟性が向上し成型処理等においてクラック等の損傷が発生せず、前記処理後も高いガスバリア性を維持するガスバリア性積層フィルムを得ることができる。   In particular, in the present invention, by performing the above heat treatment at a temperature in the range of 150 ° C. to 250 ° C., preferably 180 ° C. to 200 ° C., the alkoxide hydrolyzate and the water-soluble polymer are formed inside the gas barrier coating film. Gas barrier properties due to the occurrence of cross-linking reactions that occur due to hydrogen bonds or chemical bonds, the crystallization of water-soluble polymers, and the adhesion between the deposited film and the gas barrier coating film due to hydrogen bonds or chemical bonds. In addition, the gas barrier laminate film can be obtained in which the flexibility is improved and damage such as cracks does not occur in the molding process and the like and the high gas barrier property is maintained after the process.

本発明においては、ビニルアルコールポリマーの代わりに、エチレン・ビニルアルコールコポリマーまたはエチレン・ビニルアルコールコポリマーとポリビニルアルコールとの両者を用いた組成物を使用してもよい。エチレン・ビニルアルコールコポリマーとポリビニルアルコールとの両者を用いた積層フィルムは、ボイル処理、レトルト処理等の熱水処理後のガスバリア性がさらに向上する。   In the present invention, an ethylene / vinyl alcohol copolymer or a composition using both an ethylene / vinyl alcohol copolymer and polyvinyl alcohol may be used instead of the vinyl alcohol polymer. A laminated film using both an ethylene / vinyl alcohol copolymer and polyvinyl alcohol is further improved in gas barrier properties after hot water treatment such as boil treatment and retort treatment.

ガスバリア性塗布膜を形成する他の態様として、熱水処理後のガスバリア性を向上させるため、以下のような積層フィルムを形成することが好ましい。   As another aspect of forming the gas barrier coating film, the following laminated film is preferably formed in order to improve the gas barrier property after the hot water treatment.

すなわち、予め基材フィルムの少なくとも片面に、ポリビニルアルコールを含有する組成物を塗工して第1の複合ポリマー層を形成し、次いで、その塗工面上に上記エチレン・ビニルアルコールコポリマーを含有する組成物を塗工して第2の複合ポリマー層をさらに形成する。そのことにより、得られる積層フィルムのガスバリア性が向上する。   That is, a composition containing polyvinyl alcohol is previously formed on at least one surface of a base film to form a first composite polymer layer, and then the ethylene / vinyl alcohol copolymer is contained on the coated surface. The object is applied to further form a second composite polymer layer. Thereby, the gas barrier property of the laminated film obtained improves.

さらに、本発明においては、ガスバリア性塗布膜を、基材フィルム上に複数層形成してもよい。ガスバリア性塗布膜を複数層設けることにより、一層ガスバリア性の向上を図ることができる。   Furthermore, in the present invention, a plurality of gas barrier coating films may be formed on the substrate film. By providing a plurality of gas barrier coating films, the gas barrier property can be further improved.

ガスバリア性塗布膜形成用組成物を塗布する方法としては、例えば、グラビアコーター等のロールコート、スプレーコート、スピンコート、デイッピング、刷毛、バーコード、アプリケータ等の塗装手段により、1回あるいは複数回の塗装で、乾焼膜厚が0.01〜30μm、好ましくは0.1〜10μmの本発明のガスバリア性塗布膜を形成することができる。   Examples of the method for applying the gas barrier coating film forming composition include one or more times by a coating means such as a roll coat such as a gravure coater, a spray coat, a spin coat, a dipping, a brush, a barcode, and an applicator. With this coating, the gas barrier coating film of the present invention having a dry-fired film thickness of 0.01 to 30 μm, preferably 0.1 to 10 μm, can be formed.

また、必要ならば、本発明のガスバリア性組成物を塗布する際に、予め、無機酸化物の蒸着膜の上に、プライマー剤等を塗布することもできる。   If necessary, when applying the gas barrier composition of the present invention, a primer agent or the like can be applied on the inorganic oxide vapor-deposited film in advance.

また、本発明の態様においては、基材上に蒸着層とガスバリア性塗布膜を設けた後、さらに蒸着層を設け、その蒸着層上にガスバリア性塗布膜を上記と同様にして形成してもよい。このように積層数を増やすことにより、より一層ガスバリア性に優れる積層フィルムを実現できる。   In the embodiment of the present invention, after the vapor deposition layer and the gas barrier coating film are provided on the base material, a vapor deposition layer is further provided, and the gas barrier coating film is formed on the vapor deposition layer in the same manner as described above. Good. Thus, by increasing the number of laminated layers, it is possible to realize a laminated film having further excellent gas barrier properties.

本発明のガスバリア性積層フィルムは、優れたガスバリア性と柔軟性とを有するので、包装材料として有用であり、特に食品包装用フィルムとして好適に使用される。   Since the gas barrier laminate film of the present invention has excellent gas barrier properties and flexibility, it is useful as a packaging material and is particularly suitably used as a food packaging film.

さらに、本発明のガスバリア性積層フィルムは、熱水処理、特に高圧熱水処理(レトルト処理)後のガスバリア性にも優れている。   Furthermore, the gas barrier laminate film of the present invention is excellent in gas barrier properties after hot water treatment, particularly after high pressure hot water treatment (retort treatment).

包装用積層材
次に、本ガスバリア性積層フィルムを用いた包装袋として、一例としてガスバリア性積層フィルムのガスバリア性塗布膜上に、印刷層、ラミネート用接着剤層、ヒートシール性樹脂層を順次設けた包装材用積層材について説明する。
Next, as a packaging bag using the present gas barrier laminate film, as an example, a printing layer, an adhesive layer for laminating, and a heat sealable resin layer are sequentially provided on the gas barrier coating film of the gas barrier laminate film. The laminated material for packaging materials will be described.

印刷層
印刷層としては、通常のインキビヒクルの1種ないし2種以上を主成分とし、これに、必要ならば、可塑剤、安定剤、酸化防止剤、光安定剤、紫外線吸収剤、硬化剤、架橋剤、滑剤、帯電防止剤、充填剤等の添加剤の1種ないし2種以上を任意に添加し、さらに、染料・顔料等の着色剤を添加し、溶媒、希釈剤等で充分に混練してインキ組成物を調製し、次いで、該インキ組成物を使用し、例えば、グラビア印刷、オフセット印刷、凸版印刷、スクリーン印刷、転写印刷、フレキソ印刷等の印刷方式を使用し、ガスバリア性積層フィルムのガスバリア性塗布膜上に、文字、図形、記号、模様等からなる所望の印刷模様を印刷して、印刷模様層を形成することができる。
Print layer The print layer is composed of one or more ordinary ink vehicles as a main component, and if necessary, a plasticizer, a stabilizer, an antioxidant, a light stabilizer, an ultraviolet absorber, and a curing agent. Add one or more additives such as crosslinking agents, lubricants, antistatic agents, fillers, etc., and add colorants such as dyes and pigments, and use solvents, diluents, etc. Kneading to prepare an ink composition, then using the ink composition, for example, using a printing method such as gravure printing, offset printing, letterpress printing, screen printing, transfer printing, flexographic printing, gas barrier lamination On the gas barrier coating film of the film, a desired printed pattern composed of characters, figures, symbols, patterns and the like can be printed to form a printed pattern layer.

上記において、インキビヒクルとしては、公知のもの、例えば、あまに油、きり油、大豆油、炭化水素油、ロジン、ロジンエステル、ロジン変性樹脂、シエラツク、アルキッド樹脂、フェノール系樹脂、マレイン酸樹脂、天然樹脂、炭化水素樹脂、ポリ塩化ビニル系樹脂、ポリ酢酸ビニル系樹脂、ポリスチレン系樹脂、ポリビニルプチラール樹脂、アクリルまたはメタクリル系樹脂、ポリアミド系樹脂、ポリエステル系樹脂、ポリウレタン系樹脂、エポキシ系樹脂、尿素樹脂、メラミン樹脂、アミノアルキッド系樹脂、ニトロセルロース、エチルセルロース、塩化ゴム、環化ゴム等の1種ないし2種以上を使用することができる。   In the above, as the ink vehicle, known ones such as sesame oil, drill oil, soybean oil, hydrocarbon oil, rosin, rosin ester, rosin modified resin, Sierrac, alkyd resin, phenolic resin, maleic acid resin, Natural resins, hydrocarbon resins, polyvinyl chloride resins, polyvinyl acetate resins, polystyrene resins, polyvinyl propylar resins, acrylic or methacrylic resins, polyamide resins, polyester resins, polyurethane resins, epoxy resins, One or more of urea resin, melamine resin, aminoalkyd resin, nitrocellulose, ethylcellulose, chlorinated rubber, cyclized rubber and the like can be used.

ラミネート用接着剤層
次に、積層材を構成するラミネート用接着剤層について説明する。ラミネート用接着剤層を構成する接着剤としては、例えば、ポリ酢酸ビニル系接着剤、アクリル酸エチル、アクリル酸ブチル、2−エチルヘキシルエステル等のホモポリマー、あるいは、これらとメタクリル酸メチル、アクリロニトリル、スチレン等との共重合体等からなるポリアクリル酸エステル系接着剤、シアノアクリレート系接着剤、エチレンと酢酸ビニル、アクリル酸エチル、アクリル酸、メタクリル酸等のモノマーとの共重合体等からなるエチレン共重合体系接着剤、セルロース系接着剤、ポリエステル系接着剤、ポリアミド系接着剤、ポリイミド系接着剤、尿素樹脂またはメラミン樹脂等からなるアミノ樹脂系接着剤、フェノール樹脂系接着剤、エポキシ系接着剤、ポリウレタン系接着剤、反応型(メタ)アクリル系接着剤、クロロプレンゴム、ニトリルゴム、スチレンーブタジェンゴム等からなるゴム系接着剤、シリコーン系接着剤、アルカリ金属シリケート、低融点ガラス等からなる無機系接着剤等の接着剤を使用することができる。
Next, the laminating adhesive layer constituting the laminated material will be described. Examples of the adhesive constituting the adhesive layer for laminating include, for example, polyvinyl acetate adhesive, homopolymers such as ethyl acrylate, butyl acrylate, and 2-ethylhexyl ester, and these and methyl methacrylate, acrylonitrile, and styrene. Polyacrylic acid ester adhesives, cyanoacrylate adhesives, and copolymers of ethylene and monomers such as vinyl acetate, ethyl acrylate, acrylic acid, and methacrylic acid. Polymer-based adhesives, cellulose-based adhesives, polyester-based adhesives, polyamide-based adhesives, polyimide-based adhesives, amino resin-based adhesives such as urea resins or melamine resins, phenolic resin-based adhesives, epoxy-based adhesives, Polyurethane adhesives, reactive (meth) acrylic adhesives, Ropurengomu, nitrile rubber, rubber-based adhesives consisting of styrene-butadiene rubber, a silicone-based adhesive, an alkali metal silicate, may be used adhesives inorganic adhesive or the like made of a low-melting-point glass or the like.

上記の接着剤は、水性型、溶液型、エマルジョン型、分散型等のいずれの組成物形態でもよく、また、その性状は、フィルム・シート状、粉末状、固形状等のいずれの形態でもよく、さらに接着機構については、化学反応型、溶剤揮発型、熱溶融型、熱圧型等のいずれの形態でもよいものである。   The above-mentioned adhesive may be in any form of composition such as aqueous type, solution type, emulsion type, and dispersion type, and the property may be any form such as film / sheet, powder or solid. Further, the adhesion mechanism may be any form such as a chemical reaction type, a solvent volatilization type, a heat melting type, and a hot pressure type.

本発明においては、印刷層を含む全面に、上記の接着剤を、例えば、ロールコート法、グラビアロールコート法、キスコート法等のコート法、あるいは、印刷法等によって施し、次いで、溶剤等を乾燥させてラミネート用接着剤層を形成すことができ、そのコーティングないし塗工量としては、0.1〜10g/m2(乾燥状態)が好ましい。 In the present invention, the adhesive is applied to the entire surface including the printing layer by, for example, a coating method such as a roll coating method, a gravure roll coating method, a kiss coating method, or a printing method, and then the solvent is dried. Thus, an adhesive layer for laminating can be formed, and the coating or coating amount is preferably 0.1 to 10 g / m 2 (dry state).

ヒートシール性樹脂層
次に、ヒートシール性樹脂層について説明する。ヒートシール性樹脂層を構成するヒートシール性樹脂としては、熱によって溶融し相互に融著し得るものであればよく、例えば、低密度ポリエチレン、中密度ポリエチレン、高密度ポリエチレン、直鎖状(線状)低密度ポリエチレン、ポリプロピレン、エチレン−酢酸ビニル共重合体、アイオノマー樹脂、エチレン−アクリル酸エチル共重合体、エチレン−アクリル酸共重合体、エチレン−メタクリル酸共重合体、エチレン−プロピレン共重合体、メチルペンテンポリマー、ポリエチレン、ポリプロピレン等のポリオレフイン系樹脂、またはこれらの樹脂をアクリル酸、メタクリル酸、無水マレイン酸、フマール酸等の不飽和カルボン酸で変性した酸変性ポリオレフイン系樹脂等の樹脂の一種ないしそれ以上からなる樹脂のフィルムないしシートを使用することができる。
Next, the heat sealable resin layer will be described. The heat-sealable resin constituting the heat-sealable resin layer may be any resin that can be melted by heat and mutually melted. For example, low-density polyethylene, medium-density polyethylene, high-density polyethylene, linear (line ) Low density polyethylene, polypropylene, ethylene-vinyl acetate copolymer, ionomer resin, ethylene-ethyl acrylate copolymer, ethylene-acrylic acid copolymer, ethylene-methacrylic acid copolymer, ethylene-propylene copolymer , Polyolefin resins such as methylpentene polymer, polyethylene, and polypropylene, or a kind of resins such as acid-modified polyolefin resins obtained by modifying these resins with unsaturated carboxylic acids such as acrylic acid, methacrylic acid, maleic anhydride, and fumaric acid Or a resin film or paper made of more than that It is possible to use the door.

本発明においては、ラミネート用接着剤層の面に、上記の樹脂のフィルムないしシートをドライラミネートして、ヒ一トシール性樹脂層を形成することができる。   In the present invention, the heat-sealable resin layer can be formed by dry laminating the above-described resin film or sheet on the surface of the laminating adhesive layer.

上記の樹脂のフィルムないしシートは、単層ないし多層で使用することができ、また、上記の樹脂のフィルムないしシートの厚さとしては、5〜300μm、好ましくは、10〜110μmである。   The resin film or sheet can be used in a single layer or multilayer, and the thickness of the resin film or sheet is 5 to 300 μm, preferably 10 to 110 μm.

上記の樹脂のフィルムないしシートの厚さは、袋状容器本体の製袋時等において、無機酸化物の蒸着膜を有する樹脂のフィルムないしシートを構成する無機酸化物の蒸着膜に、擦り傷やクラック等を発生することを防止するために、比較的その膜厚を厚くすることが好ましく、具体的には70〜110μm、好ましくは、80〜100μmである。   The thickness of the resin film or sheet described above is such that scratches and cracks are formed on the inorganic oxide vapor deposition film constituting the resin film or sheet having the inorganic oxide vapor deposition film when the bag-shaped container body is made. In order to prevent the occurrence of the above, it is preferable to relatively increase the film thickness, specifically 70 to 110 μm, and preferably 80 to 100 μm.

本発明においては、上記のような樹脂のフィルムないしシートの中でも、特に、線状低密度ポリエチレンを使用することが好ましいものである。線状低密度ポリエチレンは、粘着性を有することから破断の伝搬が少なく耐衝撃性を向上させるという利点があるものであり、また、内層は常時内容物に接触していることから、耐環境ストレスクラッキング性の劣化を防止するためにも有効なものである。   In the present invention, it is particularly preferable to use linear low-density polyethylene among the above-described resin films or sheets. Linear low-density polyethylene has the advantage of improving impact resistance with less propagation of breakage due to its stickiness, and because the inner layer is always in contact with the contents, it is resistant to environmental stress. It is also effective to prevent cracking deterioration.

また、本発明においては、線状低密度ポリエチレンに、他の樹脂をブレンドすることもでき、例えば、エチレン−プチン共重合体等をブレンドすることにより、若干、耐熱性に劣り高温環境下ではシール安定性が劣化する傾向があるものの、引き裂き性が向上し、易開封性に寄与するという利点がある。   Further, in the present invention, other resins can be blended with the linear low density polyethylene. For example, by blending an ethylene-ptyne copolymer or the like, it is slightly inferior in heat resistance and sealed in a high temperature environment. Although the stability tends to deteriorate, there is an advantage that the tearability is improved and it contributes to easy opening.

線状低密度ポリエチレンとしては、具体的には、メタロセン触媒を用いて重合したエチレン−α−オレフイン共重合体のフィルムないしシートを同様に使用することができる。上記のメタロセン触媒を用いて重合したエチレン−α−オレフイン共重合体のフィルムないしシートとしては、例えば、二塩化ジルコノセンとメチルアルモキサンの組み合わせによる触媒等のメタロセン錯体とアルモキサンとの組み合わせによる触媒、すなわち、メタロセン触媒を使用して重合してなるエチレン−α−オレフイン共重合体のフィルムないしシートを使用することができる。   As the linear low-density polyethylene, specifically, an ethylene-α-olefin copolymer film or sheet polymerized using a metallocene catalyst can be used in the same manner. Examples of the ethylene-α-olefin copolymer film or sheet polymerized using the above metallocene catalyst include, for example, a catalyst based on a combination of a metallocene complex and an alumoxane, such as a catalyst based on a combination of zirconocene dichloride and methylalumoxane. An ethylene-α-olefin copolymer film or sheet obtained by polymerization using a metallocene catalyst can be used.

メタロセン触媒は、現行の触媒が、活性点が不均一でマルチサイト触媒と呼ばれているのに対し、活性点が均一であることからシングルサイト触媒とも呼ばれているものである。具体的には、三菱化学株式会社製の商品名「カーネル」、三井石油化学工業株式会社製の商品名「エポリユー」、米国、エクソン・ケミカル(EXXON CHEMICAL)社製の商品名「エクザクト(EXACT)」、米国、ダウ・ケミカル(DOW CHEMICAL)社製の商品名「アフイニティー(AFFINITY)、商品名「エンゲージ」等のメタロセン触媒を用いて重合したエチレン−α−オレフィン共重合体のフィルムを使用することができる。   The metallocene catalyst is also called a single site catalyst because the current catalyst is called a multi-site catalyst with heterogeneous active sites, while the active sites are uniform. Specifically, the product name “Kernel” manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, the product name “Epolyu” manufactured by Mitsui Petrochemical Industry Co., Ltd., and the product name “EXACT” manufactured by Exxon Chemical Company, USA ”, A film of an ethylene-α-olefin copolymer polymerized using a metallocene catalyst such as“ AFFINITY ”, a trade name“ engage ”, etc., manufactured by Dow Chemical Co., USA Can do.

ヒートシール性樹脂層を構成するフィルムないしシートとしては、単層ないし多層で使用することができ、その厚さとしては、5〜300μm、好ましくは10〜100μmである。   The film or sheet constituting the heat-sealable resin layer can be used as a single layer or a multilayer, and the thickness thereof is 5 to 300 μm, preferably 10 to 100 μm.

本発明において、上記のようなヒートシール性を有する樹脂のフィルムとして、メタロセン触媒を用いて重合したエチレン−α−オレフイン共重合体のフィルムないしシートを使用する場合には、袋体を製造するときに、低温ヒートシール性が可能であるという利点を有する。   In the present invention, when a film or sheet of an ethylene-α-olefin copolymer polymerized using a metallocene catalyst is used as the resin film having heat sealability as described above, when manufacturing a bag body Furthermore, it has the advantage that low temperature heat sealability is possible.

本発明においては、ラミネート用接着剤層とヒートシール性樹脂層との間に、樹脂フィルム(中間基材)を狭持してもよい。このような中間層を設けることにより、強度や耐突き刺し性等が向上する。樹脂のフィルムとしては、機械的、物理的、化学的等において優れた強度を有し、耐突き刺し性等に優れ、その他、耐熱性、防湿性、耐ピンホール性、透明性等に優れた樹脂のフィルムないしシートを使用することができる。   In the present invention, a resin film (intermediate base material) may be sandwiched between the laminating adhesive layer and the heat-sealable resin layer. By providing such an intermediate layer, strength, puncture resistance, and the like are improved. As a resin film, it has excellent strength in mechanical, physical, chemical, etc., excellent in puncture resistance, etc. In addition, it is excellent in heat resistance, moisture resistance, pinhole resistance, transparency, etc. Any film or sheet can be used.

具体的には、例えば、ポリエステル系樹脂、ポリアミド系樹脂、ポリアラミド系樹脂、ポリプロピレン系樹脂、ポリカーボネート系樹脂、ポリアセタール系樹脂、フッ素系樹脂、その他の強靱な樹脂フィルムないしシートを使用することができる。   Specifically, for example, polyester resins, polyamide resins, polyaramid resins, polypropylene resins, polycarbonate resins, polyacetal resins, fluorine resins, and other tough resin films or sheets can be used.

本発明においては、上記の樹脂のフィルムないしシートを使用し、これを、例えば、前述のラミネート用接着剤等を使用してドライラミネート法等を用いて、ラミネート用接着剤層とヒートシール性樹脂層との間に狭持することができる。   In the present invention, the above-described resin film or sheet is used. For example, the above-described laminating adhesive or the like is used for dry lamination or the like, and the laminating adhesive layer and the heat-sealable resin are used. Can be sandwiched between layers.

上記の樹脂のフィルムないしシートとしては、未延伸フィルム、あるいは一軸方向または二軸方向に延伸した延伸フィルム等のいずれのものでも使用することができる。また、本発明において、その樹脂のフィルムないしシートの厚さとしては、強度、耐突き刺し性等について、必要最低限に保持され得る厚さであればよく、厚すぎると、コストを上昇するという欠点もあり、逆に、薄すぎると、強度、耐突き刺し性等が抵下して好ましくないものである。   As the resin film or sheet, any of an unstretched film or a stretched film stretched in a uniaxial direction or a biaxial direction can be used. In the present invention, the thickness of the resin film or sheet may be a thickness that can be kept to the minimum necessary for strength, puncture resistance, and the like, and if it is too thick, the cost increases. On the other hand, if it is too thin, the strength, puncture resistance and the like are reduced, which is not preferable.

本発明においては、上記のような理由から、約10〜100μm、好ましくは12〜50μmが好ましい。   In the present invention, for the reason described above, about 10 to 100 μm, preferably 12 to 50 μm is preferable.

通常、包装用袋は、物理的にも化学的にも過酷な条件におかれることから、包装用袋を構成する積層材には、厳しい包装適性が要求され、変形防止強度、落下衝撃強度、耐ピンホール性、耐熱性、密封性、品質保全性、作業性、衛生性等の種々の条件が要求される。このために、本発明においては、上記のような材料の他に、上記のような諸条件を充足するその他の材料を任意に使用することができ、具体的には、例えば、低密度ポリエチレン、中密度ポリエチレン、高密度ポリエチレン、線状低密度ポリエチレン、ポリプロピレン、エチレン−プロピレン共重合体、エチレン−酢酸ビニル共重合体、アイオノマー樹脂、エチレン−アクリル酸エチル共重合体、エチレン−アクリル酸またはメタクリル酸共重合体、メチルペンテンポリマー、ポリブテン系樹脂、ポリ塩化ビニル系樹脂、ポリ酢酸ビニル系樹脂、ポリ塩化ビニリデン系樹脂、塩化ビニル−塩化ビニリデン共重合体、ポリ(メタ)アクリル系樹脂、ポリアクリルニトリル系樹脂、ポリスチレン系樹脂、アクリロニトリル−スチレン共重合体(AS系樹脂)、アクリロニトリル−ブタジエン−スチレン共重合体(ABS系樹脂)、ポリエステル系樹脂、ポリアミド系樹脂、ポリカーボネート系樹脂、ポリビニルアルコール系樹脂、エチレン−酢酸ビニル共重合体のケン化物、フッ素系樹脂、ジェン系樹脂、ポリアセタール系樹脂、ポリウレタン系樹脂、ニトロセルロース等の公知の樹脂のフィルムないしシートを任意に選択して使用することができる。その他、例えば、合成紙等も使用することができる。   Usually, packaging bags are subjected to severe physical and chemical conditions, so the laminated material constituting the packaging bags is required to have strict packaging suitability, deformation prevention strength, drop impact strength, Various conditions such as pinhole resistance, heat resistance, sealing performance, quality maintenance, workability, and hygiene are required. For this reason, in the present invention, in addition to the above materials, other materials satisfying the above various conditions can be arbitrarily used. Specifically, for example, low density polyethylene, Medium density polyethylene, high density polyethylene, linear low density polyethylene, polypropylene, ethylene-propylene copolymer, ethylene-vinyl acetate copolymer, ionomer resin, ethylene-ethyl acrylate copolymer, ethylene-acrylic acid or methacrylic acid Copolymer, methylpentene polymer, polybutene resin, polyvinyl chloride resin, polyvinyl acetate resin, polyvinylidene chloride resin, vinyl chloride-vinylidene chloride copolymer, poly (meth) acrylic resin, polyacrylonitrile Resin, polystyrene resin, acrylonitrile-styrene copolymer (A Resin), acrylonitrile-butadiene-styrene copolymer (ABS resin), polyester resin, polyamide resin, polycarbonate resin, polyvinyl alcohol resin, saponified ethylene-vinyl acetate copolymer, fluorine resin, A film or sheet of a known resin such as a gen-based resin, a polyacetal-based resin, a polyurethane-based resin, or nitrocellulose can be arbitrarily selected and used. In addition, for example, synthetic paper or the like can also be used.

本発明において、上記のフィルムないしシートは、未延伸、一軸ないし二軸方向に延伸されたもの等のいずれのものでも使用することができる。また、その厚さは、任意であるが、数μmから300μmの範囲から選択して使用することができる。   In the present invention, the film or sheet may be any of unstretched, uniaxially or biaxially stretched. The thickness is arbitrary, but can be selected from a range of several μm to 300 μm.

さらに、本発明においては、フィルムないしシートとしては、押出成膜、インフレーション成膜、コーティング膜等のいずれの形態の膜でもよい。   Furthermore, in the present invention, the film or sheet may be any form of film such as extrusion film formation, inflation film formation, and coating film.

本発明は、以上において説明したように、基材フィルムの一方の面に、無機酸化物の蒸着膜を設け、次いで、該無機酸化物の蒸着膜の上にガスバリア性塗布膜を設けたガスバリア性積層体のガスバリア性塗布膜上に、種々のコーティング法もしくは印刷法、あるいは、ドライラミネート法等の方法を用いて、印刷模様層、および、ラミネート用接着剤層を順次に設け、さらに、該ラミネート用接着剤層の上に、ヒートシール性樹脂層を設け、さらには上記のラミネート用接着剤層とヒートシール性樹脂層との間に、強度を有し、耐突き刺し性に優れた樹脂のフィルム(中間基材)を積層することにより、包装袋用の積層材を製造することができる。   As described above, the present invention provides a gas barrier property in which a vapor deposition film of an inorganic oxide is provided on one surface of a base film, and then a gas barrier coating film is provided on the vapor deposition film of the inorganic oxide. On the gas barrier coating film of the laminate, a printing pattern layer and a laminating adhesive layer are sequentially provided by using various coating methods, printing methods, dry laminating methods, and the like. A heat-sealable resin layer is provided on the adhesive layer, and the resin film has strength and excellent puncture resistance between the adhesive layer for lamination and the heat-sealable resin layer. By laminating (intermediate base material), a laminated material for a packaging bag can be produced.

包装袋
上記の積層材を用いた包装袋について説明する。装用袋からなる袋状容器本体は、上記したガスバリア性積層フィルムからなる積層材を使用して、この積層材を二つ折にし、そのヒートシール性樹脂層の面を対向させて重ね合わせ、その端部をヒートシールして筒状の包装体を形成し、次いで底部をシールして内容物を充填し、さらに天部をシールすることにより、包装体を製造することができる。
Packaging Bag A packaging bag using the above laminated material will be described. The bag-shaped container body made of a wearing bag uses the above-mentioned laminated material made of a gas barrier laminated film, folds the laminated material into two, and overlaps the surfaces of the heat-sealable resin layers facing each other. The package can be manufactured by heat-sealing the part to form a cylindrical package, then sealing the bottom, filling the contents, and sealing the top.

その製袋方法としては、上記のような積層材を、折り曲げるかあるいは重ね合わせて、その内層の面を対向させ、さらにその周辺端部を、例えば、側面シール型、二方シール型、三方シール型、四方シール型、封筒貼りシール型、合掌貼りシール型(ピローシール型)、ひだ付シール型、平底シール型、角底シール型、ガゼット型等のヒートシール形態によりヒートシールして、種々の形態の装用袋を製造することができる。その他、例えば、自立性包装用袋(スタンデイングパウチ)等も可能である。   As the bag making method, the laminated material as described above is folded or overlapped so that the inner layer faces each other, and the peripheral end thereof is, for example, a side seal type, a two-side seal type, a three-side seal. Various types of heat seals such as molds, four-sided seals, envelope stickers, pillow seals, pleated seals, flat bottom seals, square bottom seals, gussets, etc. A form of wearing bag can be produced. In addition, for example, a self-supporting packaging bag (standing pouch) is also possible.

上記において、ヒートシールの方法としては、例えば、バーシール、回転ロールシール、ベルトシール、インパルスシール、高周波シール、超音波シール等の公知の方法で行うことができる。   In the above, the heat sealing method can be performed by a known method such as a bar seal, a rotary roll seal, a belt seal, an impulse seal, a high frequency seal, an ultrasonic seal, and the like.

上記の本発明について実施例を挙げてさらに具体的に説明するが、本発明がこれら実施例によって限定されるものではない。   Although the present invention will be described more specifically with reference to examples, the present invention is not limited to these examples.

[実施例1]
(1)物理気相成長法による蒸着膜の形成
基材フィルムとして、厚さ12μmの2軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルムを使用し、まず、上記の2軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルムを巻き取り式の真空蒸着装置の送り出しロールに装着した。次いでこれを繰り出し、その2軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルムのコロナ処理面に、アルミニウムを蒸着源に用いて、酸素ガスを供給しながら、エレクトロンビーム加熱方式(EB)による真空蒸着法により、以下の蒸着条件により、膜厚約200Åの酸化アルミニウムの蒸着膜を形成した。
(蒸着条件)
酸素ガス導入後の蒸着チヤンバー内の真空度:2×10-4mbar
巻き取りチヤンバー内の真空度:2×10-2mbar
電子ビーム電力:25kW
フィルムの搬送速度:240m/分
蒸着面:コロナ処理面
[Example 1]
(1) Formation of Vapor Deposition Film by Physical Vapor Deposition Method A biaxially stretched polyethylene terephthalate film having a thickness of 12 μm is used as a base film, and first, the above-mentioned biaxially stretched polyethylene terephthalate film is wound up and vacuum-deposited Attached to the feeding roll. Next, this was fed out, and the following vapor deposition conditions were applied by a vacuum vapor deposition method using an electron beam heating method (EB) while supplying oxygen gas to the corona-treated surface of the biaxially stretched polyethylene terephthalate film using aluminum as a vapor deposition source. Thus, a vapor deposition film of aluminum oxide having a thickness of about 200 mm was formed.
(Deposition conditions)
Degree of vacuum in vapor deposition chamber after introduction of oxygen gas: 2 × 10 −4 mbar
Degree of vacuum in the winding chamber: 2 × 10 -2 mbar
Electron beam power: 25kW
Film transport speed: 240 m / min Deposition surface: Corona-treated surface

その後、酸化アルミニウムの蒸着膜面に、グロー放電プラズマ発生装置を使用し、パワー9kW、酸素ガス:アルゴンガス=7.0:2.5(単位:Slm)からなる混合ガスを使用し、混合ガス圧6×10-2mbar、処理速度420m/minで酸素/アルゴン混合ガスプラズマ処理を行って、酸化アルミニウム蒸着膜面の表面張力を54dyne/cm以上向上させたプラズマ処理面を形成した。 After that, a glow discharge plasma generator was used on the vapor deposition film surface of aluminum oxide, a mixed gas consisting of power 9 kW, oxygen gas: argon gas = 7.0: 2.5 (unit: Slm), and mixed gas. Oxygen / argon mixed gas plasma treatment was performed at a pressure of 6 × 10 −2 mbar and a treatment speed of 420 m / min to form a plasma treated surface in which the surface tension of the aluminum oxide deposition film surface was improved by 54 dyne / cm or more.

(2)ガスバリア性塗布膜の形成
他方、表1に示す組成に従って、組成a.正珪酸エチル(多摩科学社製、固形分(SiO2分)28%)、イソプロピルアルコール、0.5規定塩酸水溶液、イオン交換水、シランカップリング剤からなる加水分解液に、予め調製した組成b.ポリビニルアルコール、イソプロピルアルコール、イオン交換水からなるポリビニルアルコール水溶液を加えて攪拌し、無色透明のガスバリア性塗工液を得た。
なお表中においては、各試料の濃度をすべて重量%で表わした。
(2) Formation of gas barrier coating film On the other hand, according to the composition shown in Table 1, composition a. Composition b prepared in advance in a hydrolyzed solution consisting of orthoethyl silicate (manufactured by Tama Kagaku Co., solid content (SiO 2 min 28%), isopropyl alcohol, 0.5 N hydrochloric acid aqueous solution, ion-exchanged water and silane coupling agent) . A polyvinyl alcohol aqueous solution composed of polyvinyl alcohol, isopropyl alcohol and ion-exchanged water was added and stirred to obtain a colorless and transparent gas barrier coating solution.
In the table, the concentration of each sample is expressed in weight%.

Figure 2008264998
Figure 2008264998

次に、上記の(1)で形成したプラズマ処理面に、上記で製造したガスバリア性組成物をグラビアロールコート法によりコーティングして、次いで、200℃で60秒間、加熱処理して、厚さ0.2μm(乾操状態)のガスバリア性塗布膜を形成して、本発明のガスバリア性積層フィルムを製造した。   Next, the plasma-treated surface formed in the above (1) is coated with the gas barrier composition produced above by a gravure roll coating method, and then heat-treated at 200 ° C. for 60 seconds to obtain a thickness of 0 A gas barrier coating film of .2 μm (in the dry operation state) was formed to produce a gas barrier laminated film of the present invention.

[比較例1〜7]
ガスバリア性組成物の組成を以下の表に示すとおりとした以外は、実施例1と同様の方法で比較例1〜7のガスバリア性積層フィルムを製造した。なお表中においては、各試料の濃度をすべて重量%で表わした。
[Comparative Examples 1 to 7]
The gas barrier laminated films of Comparative Examples 1 to 7 were produced in the same manner as in Example 1 except that the composition of the gas barrier composition was as shown in the following table. In the table, the concentration of each sample is expressed in weight%.

Figure 2008264998
Figure 2008264998

[実施例2]
(1)化学気相成長法による蒸着膜の形成
基材フィルムとして、厚さ12μmの二軸延伸ポリエステルフィルムを使用し、これをプラズマ化学気相成長装置の送り出しロールに装着し、以下に示す条件で、上記の二軸延伸ポリエステルフィルムのコロナ処理面に、厚さ約100Åの酸化珪素の蒸着膜を形成した。
(蒸着条件)
反応ガス混合比;へキサメチルジシロキサン:酸素ガス:ヘリウム=1.2:5.0:2.5(単位:Slm)
到達圧力;5.0×10-5mbar
製膜圧力;7.0×10-2mbar
ライン速度;150m/min
パワー;35kW
[Example 2]
(1) Formation of vapor-deposited film by chemical vapor deposition method A biaxially stretched polyester film having a thickness of 12 μm is used as a base film, and this is mounted on a delivery roll of a plasma chemical vapor deposition apparatus, and the conditions shown below Then, a vapor-deposited film of silicon oxide having a thickness of about 100 mm was formed on the corona-treated surface of the above biaxially stretched polyester film.
(Deposition conditions)
Reaction gas mixing ratio: Hexamethyldisiloxane: Oxygen gas: Helium = 1.2: 5.0: 2.5 (Unit: Slm)
Ultimate pressure: 5.0 × 10 -5 mbar
Film - forming pressure: 7.0 × 10 −2 mbar
Line speed: 150 m / min
Power: 35kW

その後、酸化珪素蒸着膜面に、グロー放電プラズマ発生装置を使用し、パワー9kW、酸素ガス(O2):アルゴンガス(Ar)=7.0:2.5(単位:Slm)からなる混合ガスを使用し、混合ガス圧6×10-2mbar、処理速度420m/minで酸素/アルゴン混合ガスプラズマ処理を行って、酸化珪素の蒸着膜面の表面張力を54dyne/cm以上向上させたプラズマ処理面を形成した。 Then, a glow discharge plasma generator is used on the silicon oxide vapor deposition film surface, and a mixed gas consisting of power 9 kW, oxygen gas (O 2 ): argon gas (Ar) = 7.0: 2.5 (unit: Slm). Plasma treatment with oxygen / argon mixed gas plasma treatment at a mixed gas pressure of 6 × 10 −2 mbar and a treatment speed of 420 m / min to improve the surface tension of the deposited film surface of silicon oxide by 54 dyne / cm or more. A surface was formed.

(2)ガスバリア性塗布膜の形成
他方、表3に示す組成に従って、組成a.正珪酸エチル(多摩科学社製、固形分(SiO2分)28%)、イソプロピルアルコール、0.5規定塩酸水溶液、イオン交換水、シランカップリング剤からなる加水分解液に、予め調製した組成b.ポリビニルアルコール、イソプロピルアルコール、イオン交換水からなるポリビニルアルコール水溶液を加えて攪拌し、無色透明のガスバリア性塗工液を得た。
なお表中においては、各試料の濃度をすべて重量%で表わした。
(2) Formation of gas barrier coating film On the other hand, according to the composition shown in Table 3, the composition a. Composition b prepared in advance in a hydrolyzed solution consisting of orthoethyl silicate (manufactured by Tama Kagaku Co., solid content (SiO 2 min 28%), isopropyl alcohol, 0.5 N hydrochloric acid aqueous solution, ion-exchanged water and silane coupling agent) . A polyvinyl alcohol aqueous solution composed of polyvinyl alcohol, isopropyl alcohol and ion-exchanged water was added and stirred to obtain a colorless and transparent gas barrier coating solution.
In the table, the concentration of each sample is expressed in weight%.

Figure 2008264998
Figure 2008264998

次に、上記の(1)で形成したプラズマ処理面に、上記で製造したガスバリア性組成物をグラビアロールコート法によりコーティングして、次いで、200℃で60秒間、加熱処理して、厚さ0.2μm(乾操状態)のガスバリア性塗布膜を形成して、本発明のガスバリア性積層フィルムを製造した。   Next, the plasma-treated surface formed in the above (1) is coated with the gas barrier composition produced above by a gravure roll coating method, and then heat-treated at 200 ° C. for 60 seconds to obtain a thickness of 0 A gas barrier coating film of .2 μm (in the dry operation state) was formed to produce a gas barrier laminated film of the present invention.

[比較例8〜14]
ガスバリア性組成物の組成を以下の表に示すとおりとした以外は、実施例2と同様の方法で比較例8〜14のガスバリア性積層フィルムを製造した。なお表中においては、各試料の濃度をすべて重量%で表わした。
[Comparative Examples 8-14]
The gas barrier laminated films of Comparative Examples 8 to 14 were produced in the same manner as in Example 2 except that the composition of the gas barrier composition was as shown in the following table. In the table, the concentration of each sample is expressed in weight%.

Figure 2008264998
Figure 2008264998

[実験例]
1.ガスバリア性塗布膜中に含まれる正珪酸エチル中の珪素元素と、ポリビニルアルコール中の炭素元素との元素割合の測定
実施例1、2、および比較例1〜14のガスバリア性積層フィルムのガスバリア性塗布膜面をイオンスパッタリングエッチングした。次に、英国、VGサイエンティフィック社製のX線光電子分光分析測定機(機種名、XPS)を使用し、上記各実施例、比較例のガスバリア性塗布膜表面を、以下の条件で測定した。その後、正珪酸エチル中の珪素元素を表わす96〜104eVのピーク面積を、ポリビニルアルコール中の炭素元素を表わす278〜288eVのピーク面積で除し、各実施例、比較例のガスバリア性塗布膜中に含まれる正珪酸エチル中の珪素元素と、ポリビニルアルコール中の炭素元素との元素割合(Si/C比)を算出した。
(測定条件)
X線源:Monochromated Al Kα
X線出力:10kV・18mA
レンズ:Small Area XL 150
アパーチャ開度:F.O.V=3.25,A.A=4.25
測定領域:150μmΦ
帯電中和:電子中和銃 +4(V)・0.05(mA)、中和補助マスク使用
光電子脱出角度:90度
[Experimental example]
1. Measurement of element ratio of silicon element in normal ethyl silicate and carbon element in polyvinyl alcohol contained in gas barrier coating film Gas barrier coating of gas barrier laminated films of Examples 1 and 2 and Comparative Examples 1-14 The film surface was subjected to ion sputtering etching. Next, the surface of the gas barrier coating film of each of the above Examples and Comparative Examples was measured under the following conditions using an X-ray photoelectron spectroscopic analyzer (model name, XPS) manufactured by VG Scientific, UK. . Thereafter, the peak area of 96 to 104 eV representing silicon element in normal ethyl silicate is divided by the peak area of 278 to 288 eV representing carbon element in polyvinyl alcohol, and each of the gas barrier coating films of Examples and Comparative Examples is used. The element ratio (Si / C ratio) of the silicon element in the contained normal ethyl silicate and the carbon element in the polyvinyl alcohol was calculated.
(Measurement condition)
X-ray source: Monochromated Al Kα
X-ray output: 10 kV, 18 mA
Lens: Small Area XL 150
Aperture opening: F.O.V = 3.25, A.A = 4.25
Measurement area: 150μmΦ
Charge neutralization: Electron neutralization gun +4 (V), 0.05 (mA), neutralization assist mask used Photoemission angle: 90 degrees

2.表面粗さ(Ra)の測定
島津製作所製走査型プローブ顕微鏡(SPM)「SPM−9500J3」を用い、JIS規格B0601に従い、実施例1、2、および比較例1〜14のガスバリア性塗布膜表面を走査面積500nm×500nm、室温下にて表面形状観察を行った。次に観察された表面形状を装置内の面粗さ解析ソフトによって表面平均粗さ(Ra)を求めた。
2. Measurement of Surface Roughness (Ra) Using a scanning probe microscope (SPM) “SPM-9500J3” manufactured by Shimadzu Corporation, according to JIS standard B0601, the gas barrier coating film surfaces of Examples 1 and 2 and Comparative Examples 1 to 14 were measured. Surface shape observation was performed at a scanning area of 500 nm × 500 nm at room temperature. Next, the average surface roughness (Ra) of the observed surface shape was determined by surface roughness analysis software in the apparatus.

3.酸素透過度の測定
実施例1、2、および比較例1〜14で製造したガスバリア性積層フィルムを、温度23℃、湿度90%RHの条件で、米国、モコン(MOCON)社製の測定機〔機種名、オクストラン(OXTRAN)〕を用い、JIS規格 K7126に従い、酸素透過度を測定した。
3. Measurement of Oxygen Permeability The gas barrier laminate films produced in Examples 1 and 2 and Comparative Examples 1 to 14 were measured under the conditions of a temperature of 23 ° C. and a humidity of 90% RH. The oxygen permeability was measured according to JIS standard K7126 using a model name “OXTRAN”.

4.水蒸気透過度の測定
実施例1、2、および比較例1〜14で製造したガスバリア性積層フィルムを、温度40℃、湿度90%RHの条件で、米国、モコン(MOCON)社製の測定機〔機種名、パーマトラン(PERMATRAN)〕を用い、JIS規格 K7129に従い、水蒸気透過度を測定した。
4). Measurement of water vapor transmission rate The gas barrier laminate films produced in Examples 1 and 2 and Comparative Examples 1 to 14 were measured under the conditions of a temperature of 40 ° C. and a humidity of 90% RH. Water vapor permeability was measured according to JIS standard K7129 using a model name “PERMATRAN”.

上記実験例1〜4の結果を以下の(表5)に、さらにSi/C比と、表面粗さ(Ra)または水蒸気透過度との関係を図6に示す。   The results of the above experimental examples 1 to 4 are shown in the following (Table 5), and the relationship between the Si / C ratio and the surface roughness (Ra) or water vapor permeability is shown in FIG.

Figure 2008264998
Figure 2008264998

「測定結果」
上記(表5)に示したとおり、実施例1、2のガスバリア性積層フィルムは、比較例1〜14と比較して、優れたガスバリア性を有していた。
"Measurement result"
As shown in the above (Table 5), the gas barrier laminated films of Examples 1 and 2 had excellent gas barrier properties as compared with Comparative Examples 1-14.

例えば、実施例1のガスバリア性積層フィルムは、ガスバリア性塗布膜中に含有されるアルコキシド由来の珪素元素と、高分子由来の炭素元素との比(Si/C値)が3.12であり、ガスバリア性塗布膜表面の表面粗さ(Ra)が0.195(nm)という低いものであるが、その水蒸気透過度は、0.58(g/m2・day)と低く、優れた水蒸気バリア性を有することが確認された。 For example, in the gas barrier laminate film of Example 1, the ratio (Si / C value) of the silicon element derived from the alkoxide and the carbon element derived from the polymer contained in the gas barrier coating film is 3.12. Although the surface roughness (Ra) of the gas barrier coating film surface is as low as 0.195 (nm), its water vapor permeability is as low as 0.58 (g / m 2 · day), and an excellent water vapor barrier. It was confirmed to have sex.

これに対し、比較例1のガスバリア性積層フィルムは、1.29という低いSi/C値を有し、表面粗さ(Ra)が0.365(nm)という高いものであるが、その水蒸気透過度は、1.19(g/m2・day)と高く、実施例のものと比較して水蒸気バリア性に劣ることが確認された。 On the other hand, the gas barrier laminate film of Comparative Example 1 has a low Si / C value of 1.29 and a high surface roughness (Ra) of 0.365 (nm). The degree was as high as 1.19 (g / m 2 · day), and it was confirmed that the water vapor barrier property was inferior to that of the example.

さらに比較例7のガスバリア性積層フィルムは、6.04という高いSi/C値を有し、表面粗さ(Ra)が0.582(nm)という高いものであるが、その水蒸気透過度は、0.64(g/m2・day)と高く、実施例のものと比較して水蒸気バリア性に劣ることが確認された。 Furthermore, the gas barrier laminate film of Comparative Example 7 has a high Si / C value of 6.04 and a surface roughness (Ra) as high as 0.582 (nm). It was as high as 0.64 (g / m 2 · day), and it was confirmed that the water vapor barrier property was inferior to that of the example.

一方、実施例2のガスバリア性積層フィルムは、化学気相成長法により蒸着膜を形成し、また3.12のSi/C値を有するものであるが、その酸素透過度、水蒸気透過度は、それぞれ0.06(cc/m2・day)、0.53(g/m2・day)と低く、優れたガスバリア性を有することが確認された。 On the other hand, the gas barrier laminate film of Example 2 is a film formed by chemical vapor deposition and has a Si / C value of 3.12. The oxygen permeability and water vapor permeability are as follows. It was confirmed to have an excellent gas barrier property with low values of 0.06 (cc / m 2 · day) and 0.53 (g / m 2 · day), respectively.

これに対し、比較例8のガスバリア性積層フィルムは、1.29という低いSi/C値を有するものであるが、その酸素透過度、水蒸気透過度は、それぞれ0.30(cc/m2・day)、1.18(g/m2・day)と高く、実施例のものと比較してガスバリア性に劣ることが確認された。 On the other hand, the gas barrier laminate film of Comparative Example 8 has a low Si / C value of 1.29, and its oxygen permeability and water vapor permeability are each 0.30 (cc / m 2 · (day) and 1.18 (g / m 2 · day), which were high, and it was confirmed that the gas barrier properties were inferior to those of Examples.

さらに比較例14のガスバリア性積層フィルムは、6.04という高いSi/C値を有するものであるが、その酸素透過度、水蒸気透過度は、0.24(cc/m2・day)、0.76(g/m2・day)と高く、実施例のものと比較してガスバリア性に劣ることが確認された。 Furthermore, the gas barrier laminate film of Comparative Example 14 has a high Si / C value of 6.04, but its oxygen permeability and water vapor permeability are 0.24 (cc / m 2 · day), 0 It was as high as .76 (g / m 2 · day), and it was confirmed that the gas barrier properties were inferior to those of Examples.

また図6からも明らかなとおり、Si/C値が3に近づくにつれ、ガスバリア性塗布膜表面の表面粗さ(Ra)は減少し、同時に水蒸気バリア性が向上した。   Further, as is clear from FIG. 6, as the Si / C value approaches 3, the surface roughness (Ra) of the gas barrier coating film surface is reduced, and at the same time, the water vapor barrier property is improved.

すなわちガスバリア性塗布膜中におけるアルコキシド由来の金属元素(M)と、水溶性高分子由来の炭素元素(C)との元素割合(M/C)を一定のものとすることにより、より緻密で、かつ強固な三次元網状複合ポリマー層が形成される結果、従来のものと比較して著しく高いガスバリア性を有するガスバリア性積層フィルムが得られることが確認された。   That is, by making the element ratio (M / C) of the metal element (M) derived from the alkoxide in the gas barrier coating film and the carbon element (C) derived from the water-soluble polymer constant, it becomes denser, In addition, as a result of forming a strong three-dimensional network composite polymer layer, it was confirmed that a gas barrier laminate film having a significantly higher gas barrier property than that of the conventional one can be obtained.

また、化学気相成長法により蒸着膜を形成することにより、一層高いガスバリア性を有するガスバリア性積層フィルムが得られることが確認された。   Moreover, it was confirmed that a gas barrier laminate film having a higher gas barrier property can be obtained by forming a deposited film by chemical vapor deposition.

本発明のガスバリア性積層フィルムの層構成の一例を示した模式断面図である。It is the schematic cross section which showed an example of the layer structure of the gas barrier laminated film of this invention. 本発明のガスバリア性積層フィルムの層構成の他の例を示した模式断面図である。It is the schematic cross section which showed the other example of the layer structure of the gas barrier laminated film of this invention. 本発明の方法に使用する化学気相蒸着装置の概略図である。It is the schematic of the chemical vapor deposition apparatus used for the method of this invention. 本発明の他の態様の方法に使用する化学気相蒸着装置の概略図である。It is the schematic of the chemical vapor deposition apparatus used for the method of the other aspect of this invention. 本発明の方法に使用する物理気相蒸着装置の概略図である。It is the schematic of the physical vapor deposition apparatus used for the method of this invention.

符号の説明Explanation of symbols

1 基材フィルム
1a プライマーコート層
2 蒸着膜
3 ガスバリア性塗布膜
21 プラズマ化学気相成長装置
22 真空チヤンバー
23 巻き出しロール
24 補助ロール
25 冷却・電極ドラム
26、27 ガス供給装置
28 原料揮発供給装置
29 原料供給ノズル
30 グロー放電プラズマ
31 電源
32 マグネット
33 ガイドロール
34 巻き取りロール
35 真空ポンプ
40 プラズマ化学気相成長装置
41 基材フィルム供給室
42 第1の製膜室
43 第2の製膜室
44 第3の製膜室
45 巻き取り室
46 巻き出しロール
47 補助ロール
48 冷却・電極ドラム
49 原料揮発供給装置
50 ガス供給装置
51 原料供給ノズル
52 グロー放電プラズマ
53、54 補助ロール
55 冷却・電極ドラム
56 原料揮発供給装置
57 ガス供給装置
58 原料供給ノズル
59 グロー放電プラズマ
60、61 補助ロール
62 冷却・電極ドラム
63 原料揮発供給装置
64 ガス供給装置
65 原料供給ノズル
66 グロー放電プラズマ
67 補助ロール
68 巻き取りロール
69 電源
70、71、72 マグネット
80 巻き取り式真空蒸着装置
81 巻き取りチヤンバー
82 巻き出しロール
83、84 ガイドロール
85 コーティングドラム
86 蒸着源
87 酸素ガス吹出口
88 マスク
89、90 ガイドロール
91 巻き取りロール
92 るつぼ
93 蒸着チヤンバー
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Base film 1a Primer coat layer 2 Deposition film 3 Gas barrier coating film 21 Plasma chemical vapor deposition apparatus 22 Vacuum chamber 23 Unwinding roll 24 Auxiliary roll 25 Cooling / electrode drum 26, 27 Gas supply apparatus 28 Raw material volatilization supply apparatus 29 Raw material supply nozzle 30 Glow discharge plasma 31 Power source 32 Magnet 33 Guide roll 34 Winding roll 35 Vacuum pump 40 Plasma chemical vapor deposition apparatus 41 Base film supply chamber 42 First film formation chamber 43 Second film formation chamber 44 3 Film forming chamber 45 Winding chamber 46 Unwinding roll 47 Auxiliary roll 48 Cooling / electrode drum 49 Raw material volatilization supply device 50 Gas supply device 51 Raw material supply nozzle 52 Glow discharge plasma 53, 54 Auxiliary roll 55 Cooling / electrode drum 56 Raw material Volatile supply device 57 Supply device 58 Raw material supply nozzle 59 Glow discharge plasma 60, 61 Auxiliary roll 62 Cooling / electrode drum 63 Raw material volatilization supply device 64 Gas supply device 65 Raw material supply nozzle 66 Glow discharge plasma 67 Auxiliary roll 68 Winding roll 69 Power supply 70, 71, 72 Magnet 80 Winding type vacuum deposition apparatus 81 Winding chamber 82 Winding roll 83, 84 Guide roll 85 Coating drum 86 Deposition source 87 Oxygen gas outlet 88 Mask 89, 90 Guide roll 91 Winding roll 92 Crucible 93 Deposition chamber

Claims (11)

基材上に無機酸化物の蒸着膜を設け、その蒸着膜上にガスバリア性塗布膜を設けてなるガスバリア性積層フィルムであって、
前記ガスバリア性塗布膜が、一般式R1 nM(OR2m(式中、Mは金属元素を表し、R1、R2は炭素数1〜8の有機基を表し、nは0以上の整数であり、mは1以上の整数であり、n+mはMの原子価を表す)で表される少なくとも1種以上のアルコキシド、ポリビニルアルコールおよび/またはエチレン・ビニルアルコールを含んでなる組成物を、ゾルゲル法によって重縮合して得るアルコキシドの加水分解物またはアルコキシドの加水分解縮合物によるガスバリア性塗布膜であり、
ここで、前記ガスバリア性塗布膜中におけるアルコキシド由来の金属元素(M)と、ポリビニルアルコールおよび/またはエチレン・ビニルアルコール由来の炭素元素(C)との元素割合(Atomic%)が、
2.8<M/C<4.12
であることを特徴とする前記ガスバリア性積層フィルム。
A gas barrier laminate film in which a vapor deposition film of an inorganic oxide is provided on a substrate, and a gas barrier coating film is provided on the vapor deposition film,
The gas barrier coating film has a general formula R 1 n M (OR 2 ) m (wherein M represents a metal element, R 1 and R 2 represent an organic group having 1 to 8 carbon atoms, and n is 0 or more) A composition comprising at least one alkoxide, polyvinyl alcohol and / or ethylene / vinyl alcohol represented by: m is an integer of 1 or more, and n + m represents a valence of M). , An alkoxide hydrolyzate obtained by polycondensation by a sol-gel method, or a gas barrier coating film by an alkoxide hydrolysis condensate,
Here, the element ratio (Atomic%) of the metal element (M) derived from the alkoxide in the gas barrier coating film and the carbon element (C) derived from polyvinyl alcohol and / or ethylene / vinyl alcohol,
2.8 <M / C <4.12
The gas barrier laminate film as described above.
前記ガスバリア性塗布膜中におけるアルコキシド由来の金属元素(M)と、ポリビニルアルコールおよび/またはエチレン・ビニルアルコール由来の炭素元素(C)との元素割合(Atomic%)が、
2.8<M/C<3.4
であることを特徴とする請求項1に記載のガスバリア性積層フィルム。
The element ratio (Atomic%) of the metal element (M) derived from the alkoxide in the gas barrier coating film and the carbon element (C) derived from polyvinyl alcohol and / or ethylene / vinyl alcohol,
2.8 <M / C <3.4
The gas barrier laminate film according to claim 1, wherein:
前記ガスバリア性塗布膜の表面粗さ(Ra)が、
0.15(nm)<Ra<0.275(nm)
であることを特徴とする請求項1に記載のガスバリア性積層フィルム。
The gas barrier coating film has a surface roughness (Ra) of
0.15 (nm) <Ra <0.275 (nm)
The gas barrier laminate film according to claim 1, wherein:
前記無機酸化物の蒸着膜が、化学気相成長法または物理気相成長法により形成されたものであることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載のガスバリア性積層フィルム。   The gas barrier laminate film according to any one of claims 1 to 3, wherein the vapor-deposited film of the inorganic oxide is formed by a chemical vapor deposition method or a physical vapor deposition method. 前記ガスバリア性中のアルコキシドに含まれる金属元素(M)が、ケイ素、ジルコニウム、チタン、およびアルミニウムからなる群より選択されることを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項に記載のガスバリア性積層フィルム。   The gas barrier according to any one of claims 1 to 4, wherein the metal element (M) contained in the alkoxide in the gas barrier property is selected from the group consisting of silicon, zirconium, titanium, and aluminum. Laminated film. ガスバリア性塗布膜が、シランカップリング剤をさらに含むことを特徴とする請求項1〜5のいずれか一項に記載のガスバリア性積層フィルム。   The gas barrier coating film according to claim 1, wherein the gas barrier coating film further contains a silane coupling agent. 請求項1〜6のいずれか一項に記載のガスバリア性積層フィルムの製造方法であって、
基材上に無機酸化物の蒸着膜を形成し、さらに
前記蒸着膜上に、ガスバリア性塗布膜[ここで、前記ガスバリア性塗布膜は、一般式R1 nM(OR2m(式中、Mは金属元素を表し、R1、R2は炭素数1〜8の有機基を表し、nは0以上の整数であり、mは1以上の整数であり、n+mはMの原子価を表す)で表される少なくとも1種以上のアルコキシド、ポリビニルアルコール、および/またはエチレン・ビニルアルコールを含んでなる組成物を、ゾルゲル法によって重縮合して得るアルコキシドの加水分解物またはアルコキシドの加水分解縮合物によるガスバリア性塗布膜であり、前記ガスバリア性塗布膜中におけるアルコキシド由来の金属元素(M)と、ポリビニルアルコールおよび/またはエチレン・ビニルアルコール由来の炭素元素(C)との元素割合(Atomic%)は、
2.8<M/C<4.12
であるものとする]
を形成することからなる前記ガスバリア性積層フィルムの製造方法。
It is a manufacturing method of the gas barrier lamination film according to any one of claims 1 to 6,
An inorganic oxide vapor-deposited film is formed on the substrate, and a gas barrier coating film [wherein the gas barrier coating film is represented by the general formula R 1 n M (OR 2 ) m (wherein , M represents a metal element, R 1 and R 2 represent an organic group having 1 to 8 carbon atoms, n is an integer of 0 or more, m is an integer of 1 or more, and n + m represents the valence of M. A hydrolyzate of alkoxide or hydrolytic condensation of alkoxide obtained by polycondensation of a composition comprising at least one alkoxide, polyvinyl alcohol, and / or ethylene vinyl alcohol represented by sol-gel method A gas barrier coating film made of a material, and a metal element (M) derived from an alkoxide in the gas barrier coating film and a charcoal derived from polyvinyl alcohol and / or ethylene / vinyl alcohol. Element ratio of the element (C) (Atomic%) is,
2.8 <M / C <4.12
It shall be]
A method for producing the gas barrier laminate film, comprising forming a film.
前記ガスバリア性塗布膜中におけるアルコキシド由来の金属元素(M)と、ポリビニルアルコールおよび/またはエチレン・ビニルアルコール由来の炭素元素(C)との元素割合(Atomic%)が、
2.8<M/C<3.4
であることを特徴とする請求項7に記載のガスバリア性積層フィルムの製造方法。
The element ratio (Atomic%) of the metal element (M) derived from the alkoxide in the gas barrier coating film and the carbon element (C) derived from polyvinyl alcohol and / or ethylene / vinyl alcohol,
2.8 <M / C <3.4
The method for producing a gas barrier laminate film according to claim 7.
請求項1〜6に記載のガスバリア性積層フィルムを用いた包装用積層材であって、前記積層フィルムのガスバリア性塗布膜上にヒートシール性樹脂層を設けることを特徴とする包装用積層材。   A packaging laminate using the gas barrier laminate film according to claim 1, wherein a heat sealable resin layer is provided on the gas barrier coating film of the laminate film. 請求項1〜6に記載のガスバリア性積層フィルムを用いた包装用積層材であって、前記積層フィルムのガスバリア性塗布膜上に、印刷層、ラミネート接着剤層、およびヒートシール性樹脂層を設けることを特徴とする包装用積層材。   A packaging laminate using the gas barrier laminate film according to claim 1, wherein a printing layer, a laminate adhesive layer, and a heat sealable resin layer are provided on the gas barrier coating film of the laminate film. A laminated material for packaging characterized in that. 請求項9または10に記載の包装用積層材を用いた包装袋であって、一方の包装用積層材のヒートシール性樹脂層側と、他方の包装用積層材のヒートシール性樹脂層側とが対抗するように重ね合わせ、その端部をヒートシールしたことを特徴とする包装袋。   A packaging bag using the packaging laminate according to claim 9 or 10, wherein one side of the packaging laminate is a heat-sealable resin layer side, and the other side of the packaging laminate is a heat-sealable resin layer side. The packaging bag is characterized in that it is overlapped so as to face each other and its end is heat sealed.
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