JP2008232291A - 自然発火性物質の取り扱い方法 - Google Patents
自然発火性物質の取り扱い方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008232291A JP2008232291A JP2007073434A JP2007073434A JP2008232291A JP 2008232291 A JP2008232291 A JP 2008232291A JP 2007073434 A JP2007073434 A JP 2007073434A JP 2007073434 A JP2007073434 A JP 2007073434A JP 2008232291 A JP2008232291 A JP 2008232291A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- valve
- inert gas
- pipe
- seal box
- valve device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000126 substance Substances 0.000 title claims abstract description 20
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 13
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 claims description 34
- 210000004907 gland Anatomy 0.000 claims description 15
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims description 2
- 238000011109 contamination Methods 0.000 claims 1
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 23
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 abstract description 23
- 238000012856 packing Methods 0.000 description 15
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 8
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 7
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 6
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 3
- 239000003566 sealing material Substances 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 150000002902 organometallic compounds Chemical class 0.000 description 2
- 229920000049 Carbon (fiber) Polymers 0.000 description 1
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000009954 braiding Methods 0.000 description 1
- 239000006229 carbon black Substances 0.000 description 1
- 239000004917 carbon fiber Substances 0.000 description 1
- 238000012790 confirmation Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000004880 explosion Methods 0.000 description 1
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 1
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N methane Chemical compound C VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 239000000376 reactant Substances 0.000 description 1
- 230000009257 reactivity Effects 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Details Of Valves (AREA)
Abstract
【課題】バルブから配管内への空気の漏れ込みを防止して自然発火性物質を安全に取り扱うことができる自然発火性物質の取り扱い方法、およびこれに用いるバルブ装置を提供する。
【解決手段】自然発火性物質が収容された容器への配管44に設けられたバルブ装置10を減圧状態で作動させるにあたり、当該バルブ装置10の少なくともグランド部27の周囲をシールボックス12で気密に囲み、このシールボックス内に窒素ガスを導入して、シールボックス12内の空気を窒素ガスで置換して、バルブ装置10から配管44内への空気の混入を防止する。
【選択図】図1
【解決手段】自然発火性物質が収容された容器への配管44に設けられたバルブ装置10を減圧状態で作動させるにあたり、当該バルブ装置10の少なくともグランド部27の周囲をシールボックス12で気密に囲み、このシールボックス内に窒素ガスを導入して、シールボックス12内の空気を窒素ガスで置換して、バルブ装置10から配管44内への空気の混入を防止する。
【選択図】図1
Description
本発明は、有機金属化合物などの自然発火性物質の安全な取り扱い方法、およびこれに使用するバルブ装置に関する。
一般に、自然発火性物質は、空気と触れると発火し爆発の危険性があるため、わずかな空気の混入も許されない。従って、自然発火性物質の製造ラインでは、運転前に系内の真空度を確認し、空気の漏れ込み、とくに配管系に介在させるボール弁などのバルブのグランド部からの空気の漏れ込みがないことを確認している。このような確認は、通常はバルブを開状態か閉状態にホールドして行う。
特許文献1には、バルブ構造体の運動部分をシールするパッキンあるいは固定連結部をシールするガスケットなどのシールの材料に、フッ素系樹脂、カーボン繊維、カーボンブラックの混合を用いた成形品を採用し、バルブ、とくにボールバルブの耐クリープ性およびシール性能を向上させることが開示されている。
特開2006−258222号公報
前記した自然発火性物質の製造ラインでは、気密状態に保持された反応容器で反応物を加熱し、ついで温度を下げる場合に、容器内が減圧状態になる。それを防ぐために、反応容器内にアルゴンガスなどの不活性ガスを導入している。アルゴンガスなどの不活性ガス導入のための配管には、当然のことながら開閉バルブが設けられている。このバルブは減圧状態で操作されるため、バルブのグランド部からの空気の漏れ込みが問題となる。
すなわち、配管内が減圧状態で操作するバルブについては、真空度の高さによっても異なるが、数秒間の開閉動作中にグランド部から微量の空気が漏れ込むことがある。たとえば、配管内を−760mmHgにしたとき、閉状態から2秒間で開にし、直ちに2秒間で閉にしたときでも最大で17.2ccの漏れ込みがあった。また、実際の操業に近い−294mmHgのときでは、同一の操作条件で最大8.4ccの漏れ込みがあった。この程度の微量の空気の漏れ込みは、全閉時または全開時に行う従来の漏れチェック方法では発見することが難しい。
すなわち、配管内が減圧状態で操作するバルブについては、真空度の高さによっても異なるが、数秒間の開閉動作中にグランド部から微量の空気が漏れ込むことがある。たとえば、配管内を−760mmHgにしたとき、閉状態から2秒間で開にし、直ちに2秒間で閉にしたときでも最大で17.2ccの漏れ込みがあった。また、実際の操業に近い−294mmHgのときでは、同一の操作条件で最大8.4ccの漏れ込みがあった。この程度の微量の空気の漏れ込みは、全閉時または全開時に行う従来の漏れチェック方法では発見することが難しい。
また、特許文献1のバルブでは、ボールとハウジングの間のシール性が向上するだけである。そのため、遮断操作したときの管路内の漏れを防止することができるとしても、ボールを外部から回動操作する弁棒とハウジングの間をシールするグランド部のシール性は不充分であり、減圧下で操作する環境での空気の漏れ込みを充分に防止できない。
本発明は、バルブから配管内への空気の漏れ込みを防止して自然発火性物質を安全に取り扱うことができる自然発火性物質の取り扱い方法、およびこれに用いるバルブ装置を提供することを技術課題としている
本発明に係る自然発火性物質の取り扱い方法は、自然発火性物質が収容された容器への配管に設けられたバルブを減圧状態で作動させるにあたり、当該バルブの少なくともグランド部の周囲を不活性ガスで置換して、バルブから配管内への空気の混入を防止することを特徴とする。
前記配管は、減圧状態になった前記自然発火性物質の収容容器へ圧力調整用の不活性ガスを送るための配管である。ただし、配管はこれに限定されるものではない。
本発明において、前記バルブの少なくともグランド部はシールボックスで気密に囲まれており、このシールボックス内に不活性ガスを導入して、グランド部の周囲を不活性ガスで置換するのがよい。
前記不活性ガスは、不活性ガス供給管からシールボックス内に導入され排出管から排出されるのがよく、好ましくは、少なくともバルブを減圧状態で作動させるときに前記不活性ガスがシールボックス内に導入される。
前記配管は、減圧状態になった前記自然発火性物質の収容容器へ圧力調整用の不活性ガスを送るための配管である。ただし、配管はこれに限定されるものではない。
本発明において、前記バルブの少なくともグランド部はシールボックスで気密に囲まれており、このシールボックス内に不活性ガスを導入して、グランド部の周囲を不活性ガスで置換するのがよい。
前記不活性ガスは、不活性ガス供給管からシールボックス内に導入され排出管から排出されるのがよく、好ましくは、少なくともバルブを減圧状態で作動させるときに前記不活性ガスがシールボックス内に導入される。
本発明のバルブ装置は、配管内が減圧状態で作動するものであって、ハウジングと、このハウジング内に収容される弁体と、この弁体を外部から操作するための弁棒と、前記ハウジングと弁棒との間に介在されるグランド部と、少なくともこのグランド部を気密に囲むように前記ハウジングの外側に配置されるシールボックスと、このシールボックス内に不活性ガスを供給してシールボックス内を不活性ガスで置換するための不活性ガス供給手段とを備える。
このようなバルブ装置では、シールボックス内を不活性ガスが流れるように、前記不活性ガス供給手段と共に、内部の不活性ガスを排出する排出手段が設けられているのが好ましい。
なお、不活性ガスとしては、窒素ガス、アルゴンガスなどが使用可能である。その他、有機金属化合物との反応性が無い水素ガス等が使用可能である。
このようなバルブ装置では、シールボックス内を不活性ガスが流れるように、前記不活性ガス供給手段と共に、内部の不活性ガスを排出する排出手段が設けられているのが好ましい。
なお、不活性ガスとしては、窒素ガス、アルゴンガスなどが使用可能である。その他、有機金属化合物との反応性が無い水素ガス等が使用可能である。
本発明の取り扱い方法およびバルブ装置によれば、バルブの少なくともグランド部の周囲を不活性ガスで置換して、バルブから配管内への空気の混入を防止するので、減圧状態の配管内に外部の空気が漏れ込むおそれがなく、従って自然発火性物質を安全に取り扱うことができるという効果がある。
以下、図面を参照しながら本発明の一実施形態を説明する。図1は本発明の一実施形態に係る自然発火性物質の取り扱い方法を示す説明図、図2および図3はそれぞれバルブ装置の一実施形態を示す断面図および組立前の一部断面正面図である。
図1に示す配管44は、自然発火性物質を製造する反応容器(図示せず)にアルゴンガスを供給するためのものである。アルゴンガスは反応容器内の圧力調整のために使用され、反応容器内が減圧状態になったときに反応容器内に導入される。
配管44には、アルゴンガスの供給を制御するための開閉弁としてバルブ装置10が取り付けられている。このバルブ装置10は、少なくともグランド部27がシールボックス12で気密に囲まれている。シールボックス12には、窒素ガス供給管36および排出管37が接続されている。供給管36は一端が窒素ガスボンベ45に接続されている。窒素ガス供給管36には電磁弁などの開閉弁46を設け、この開閉弁46を操作することにより、窒素ガスをシールボックス12内に供給し、排出管37から排出して、シールボックス12内を窒素ガスが流れるようにしている。
従って、シールボックス12内のグランド部27の周囲は、空気が窒素ガスで置換されている。そのため、グランド部27から減圧状態の配管44内に窒素ガスが混入しても、自然発火性物質の安全性に影響はない。また、シールボックス12内は窒素ガスが流れ、陽圧状態にあるので、バルブ装置10の駆動軸38とシールボックス12との間(矢印Aで示す)から空気がシールボックス12内に混入するのを防止することができる。
窒素ガスは、常時、窒素ガス供給管36からシールボックス12内に導入し排出管37から排出するようにしてもよいが、好ましくは配管44内が減圧状態のときに導入するのがよく、特にバルブ装置10を減圧状態で作動させるときに窒素ガスをシールボックス12内に導入するのがよい。
バルブ装置10は、図2に示すように、ボールバルブ11と、このボールバルブに気密状態で取り付けたシールボックス12と、ボールバルブの開閉操作をするアクチュエータ13とを備えている。この実施形態では、ボールバルブ11は、左右に貫通する円筒状の中空部14を有するボディ(センターボディ)15と、このボディ15の両側に気密に取り付けられるフランジ16と、ボディ15の中空部14内に回動自在に収容されるボール17(弁体)と、このボール17を回動操作するためのステム18(弁棒)とを備えたものである。ボール17には、ステム18の下端と係合する係合溝17aが形成され、さらにステム18と直角方向に貫通孔17bが形成されている。
ボディ15と左右のフランジ16とは、ボルト19とナット20によって一体に締結され(図3参照)、全体としてハウジングを構成している。フランジ16の内面には配管44と連結するための配管用雌ネジ21が形成されている。符号22はボディ15とフランジ16の間をシールするOリングなどのフランジシールである。ボディ15の中空部14の開口近辺には、ボール17の表面と摺接する環状のシート23(弁座)が設けられている。
図3に示すように、ボディ15の上部には、ステムパッキン24およびグランド(グランドパッキン)25を収容するパッキンボア26が形成され、グランド部27となっている。パッキンボアと中空部14とは、ステム18の大径部18aと嵌合して回動自在に支持するベアリング孔28によって連通している。ステムパッキン24は、それぞれ断面三角形のリングからなる上部パッキン24aと下部パッキン24bの2個のパッキンから構成されている。グランド25は繊維を編み上げて構成される断面矩形状のリングあるいは紐である。図3において、符号29はグランド25を押さえるステムスプリングであり、29aはパッキンサポートであり、符号30はステム18に形成された雄ネジと螺合するステムナットである。
前記シールボックス12は、一方の面(図3の下面)が開口した箱状の形態を有し、ボルト19とナット20によってフランジ16に固定される左右の支持壁31、32と、それらの支持壁の自由端同士を連結する天板33と、前後を塞ぐ前後壁34とからなる。ただしシールボックス12は、円筒状など、他の形態であってもよい。前後壁34は支持壁31、32より下方に突出している。支持壁31、32および前後壁34の下部はそれぞれフランジ16およびボディ15の外表面に対してシート状のシール材を介して密接している。
図2に示すように、一方の支持壁31には窒素ガス供給管36が連結され、他方の支持壁32には排出管37が設けられている。天板33には、ステム18あるいはステムに連結される駆動軸38を貫通させる貫通孔39が形成されている。貫通孔39と駆動軸38との間には、Oリングなどのシール材が介在されている。天板33から突出している駆動軸38の端部は、前述のアクチュエータ13に連結されている。アクチュエータ13としては、例えば、空気シリンダ40などで駆動されるラック41と、駆動軸38に取り付けたピニオン42とからなるラック・ピニオンタイプのロータリアクチュエータが挙げられる。空気シリンダ40は電磁弁43を介して電気的に遠隔操作される。なお、駆動軸38とステム18とを着脱自在とし、点検のためにシールボックス12の天板33を開閉自在に構成するのが好ましい。
グランド25やステムパッキン24のシール圧は、ステムナット30の締め込みの程度によって調整できる。しかしシール圧を高くするために強く締め込むと、ステム18を回動させることができなくなるので、ある程度の緩みが必要である。したがって図2のバルブ装置10では、グランド部27に、内外の差圧で矢印P方向にシールボックス12から微量の窒素ガスが流れ込むおそれがある。しかし不活性ガスであるので、配管44に流れても安全である。
さらにシールボックス12内は大気圧より圧力が高いため、外部に不活性ガスが漏れるとしても、シールボックス12内に空気が漏れ込むことはない。そのため、シールボックス12内の不活性ガスに空気が混入するおそれがなく、安全である。
バルブ装置10による配管44の遮断/連通の切り換え操作は、従来のボールバルブと同様である。すなわち、図2のように、ボール17の貫通孔17bの軸心が左右のフランジ16を結ぶ軸心と一致している状態では、配管44が連通している。この状態からアクチュエータ13を作動させてステム18を軸心回りに90°回動させると、図2に二点鎖線で示すように、貫通孔17bの開口部がボディ15の内面と対向し、開口部がない球面がシート23と対向するので、配管44の連通が遮断される。また、アクチュエータ13によりステム18を逆向きに回動させることにより、配管44を連通させることができる。
このバルブ装置10では、シールボックス12内にあらかじめ窒素ガスを充填しておくが、ボールバルブ11の開閉操作に伴い、微量の窒素ガスが配管44内に洩れ込む。そのため、たとえばアクチュエータ13を駆動する電磁弁43を操作開始直前から少なくとも操作終了まで、窒素ガス供給管36と不活性ガスのガスボンベ45との途中に介在させた電磁弁46を操作するなどにより、ボールバルブ11の開閉操作のたびに供給管36から窒素ガスを供給するのが好ましい。
前記実施形態では、遮断/連通を切り換えるオン/オフ・タイプのボールバルブ11を採用しているが、流量調節用のボールバルブや、1本の配管と、他の2本の配管の接続を切り換える3方弁など、他のタイプのボールバルブに使用することもできる。また、左右にフランジを有する3ピースタイプのボールバルブを採用しているが、一方あるいは両方のフランジがボディと一体になった2ピースタイプあるいは1ピースタイプのボールバルブも使用しうる。さらにボールバルブのほか、スルースバルブ、バタフライバルブ、玉型弁など、開閉形式が異なるバルブも使用することができる。
また、前記実施形態では、アクチュエータ13をシールボックス12の外部に配置しており、駆動軸38がシールボックス12を貫通しているが、アクチュエータ13をシールボックス12内に収容することもできる。さらに電磁弁43も一緒に収容することができる。その場合はシールボックス12を貫通するのは電磁弁43に電力を供給する電線および空気シリンダ40に空気を供給する空気配管だけであるので、シールが容易である。アクチュエータ13としては、空気駆動のもののほか、モータ駆動、ソレノイドアクチュエータなどの電気駆動のものなど、種々のアクチュエータを利用することができる。
10:バルブ装置、11:ボールバルブ、12:シールボックス、13:アクチュエータ、14:中空部、15:ボディ、16:フランジ、17:ボール、17a:係合溝、17b:貫通孔、18:ステム、18a:大径部、19:ボルト、20:ナット、21:配管用雌ネジ、22:フランジシール、23:シート、24:ステムパッキン、24a:上部パッキン、24b:下部パッキン、25:グランド、26:パッキンボア、27:グランド部、28:ベアリング孔、29:ステムスプリング、29a:パッキンサポート、30:ステムナット、31、32:支持壁、33:天板、34:前後壁、36:窒素ガス供給管(不活性ガス供給管)、37:窒素ガス排出管(不活性ガス排出管)、38:駆動軸、39:貫通孔、40:空気シリンダ、41:ラック、42:ピニオン、43:電磁弁、44:配管
Claims (7)
- 自然発火性物質が収容された容器への配管に設けられたバルブを減圧状態で作動させるにあたり、当該バルブの少なくともグランド部の周囲を不活性ガスで置換して、バルブから配管内への空気の混入を防止することを特徴とする、自然発火性物質の取り扱い方法。
- 前記配管が、減圧状態になった前記自然発火性物質の収容容器へ圧力調整用不活性ガスを送るための配管である請求項1に記載の取り扱い方法。
- 前記バルブの少なくともグランド部がシールボックスで気密に囲まれており、このシールボックス内に不活性ガスを導入して、グランド部の周囲を不活性ガスで置換する請求項1または2に記載の取り扱い方法。
- 前記不活性ガスは、不活性ガス供給管からシールボックス内に導入され排出管から排出される請求項1〜3のいずれかに記載の取り扱い方法。
- 前記不活性ガスは、少なくともバルブを減圧状態で作動させるときに前記シールボックス内に導入される請求項1〜4のいずれかに記載の取り扱い方法。
- 配管内が減圧状態で作動するバルブ装置であって、
ハウジングと、このハウジング内に収容される弁体と、この弁体を外部から操作するための弁棒と、前記ハウジングと弁棒との間に介在されるグランド部と、少なくともこのグランド部を気密に囲むように前記ハウジングの外側に配置されるシールボックスと、このシールボックス内に不活性ガスを供給してシールボックス内を不活性ガスで置換するための不活性ガス供給手段とを備えたことを特徴とするバルブ装置。 - シールボックスには、不活性ガスを排出する排出手段が設けられている請求項6記載のバルブ装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007073434A JP2008232291A (ja) | 2007-03-20 | 2007-03-20 | 自然発火性物質の取り扱い方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007073434A JP2008232291A (ja) | 2007-03-20 | 2007-03-20 | 自然発火性物質の取り扱い方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008232291A true JP2008232291A (ja) | 2008-10-02 |
Family
ID=39905344
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007073434A Pending JP2008232291A (ja) | 2007-03-20 | 2007-03-20 | 自然発火性物質の取り扱い方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2008232291A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010261558A (ja) * | 2009-05-11 | 2010-11-18 | Smc Corp | 非晶性樹脂からなるマニホールド |
JP2011106873A (ja) * | 2009-11-13 | 2011-06-02 | Japan Agengy For Marine-Earth Science & Technology | 元素分析用前処理装置及び元素分析装置 |
KR20220080713A (ko) * | 2020-12-07 | 2022-06-14 | 가부시키가이샤 스크린 홀딩스 | 열처리 장치 |
-
2007
- 2007-03-20 JP JP2007073434A patent/JP2008232291A/ja active Pending
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010261558A (ja) * | 2009-05-11 | 2010-11-18 | Smc Corp | 非晶性樹脂からなるマニホールド |
JP2011106873A (ja) * | 2009-11-13 | 2011-06-02 | Japan Agengy For Marine-Earth Science & Technology | 元素分析用前処理装置及び元素分析装置 |
KR20220080713A (ko) * | 2020-12-07 | 2022-06-14 | 가부시키가이샤 스크린 홀딩스 | 열처리 장치 |
KR102774758B1 (ko) * | 2020-12-07 | 2025-03-04 | 가부시키가이샤 스크린 홀딩스 | 열처리 장치 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN101675279B (zh) | 阀和具有该阀的处理装置 | |
EP2157353B1 (en) | Storage container for liquid chlorosilane and closing lid therefor | |
US11398390B2 (en) | Pendulum valve | |
WO2018153203A1 (zh) | 电动衬氟波纹管单座调节阀 | |
JP2008232291A (ja) | 自然発火性物質の取り扱い方法 | |
FR2600744A1 (fr) | Robinet d'arret et de commande d'ecoulement | |
US20080302421A1 (en) | Permeable gas assembly for gas delivery | |
CN111164730B (zh) | 关闭机构真空腔室隔离装置和子系统 | |
US10036385B2 (en) | Sealing arrangement, a conveying device having a sealing arrangement and a method for operating the sealing arrangement | |
US11248711B2 (en) | Shut-off device comprising a sealing device | |
US5170991A (en) | Valve seal apparatus | |
KR101223924B1 (ko) | 가스 전달용 투과성 가스 어셈블리 | |
PL200425B1 (pl) | Zawór do zbiornika z płynem, zbiornik i zastosowanie zbiornika | |
CN108374902A (zh) | 高密封液化气截止阀 | |
JP4659739B2 (ja) | 調整された高圧及び低圧回路コントロール手段を備えた膨張弁ブロック | |
CN201561137U (zh) | 一种双密封闸阀 | |
GB2385322A (en) | A safety container for metallo-organic substances | |
JPH0432541Y2 (ja) | ||
US3501126A (en) | High conductance,high pressure valve | |
JP2573645Y2 (ja) | 弁装置 | |
WO2019220024A1 (fr) | Procede de detection de fuite dans une tete de reservoir de gaz sous pression et tete de reservoir permettant d'utiliser un tel procede | |
KR101559863B1 (ko) | 저장탱크용 비상압력배출장치 | |
WO1993007410A1 (en) | Valve seal apparatus | |
KR100227835B1 (ko) | 반도체 제조장비의 스로틀 밸브 | |
RU2354500C2 (ru) | Газостат |