JP2008216260A

JP2008216260A - 蛍光体検査装置

Info

Publication number: JP2008216260A
Application number: JP2008070307A
Authority: JP
Inventors: Shinsuke Saito; 伸介斉藤
Original assignee: Hitachi Kokusai Electric Inc
Current assignee: Kokusai Denki Electric Inc
Priority date: 2008-03-18
Filing date: 2008-03-18
Publication date: 2008-09-18

Abstract

【課題】作業効率を向上し、検査の高速化を図ることができる蛍光体検査装置を提供する。
【解決手段】従来の蛍光体検査装置と蛍光体印刷ずれ検査装置を一体化し、前段の蛍光体検査の検出結果を後段の蛍光体印刷ずれ検査において共有する。そして、検出された欠陥位置にカラーカメラを移動させ、自動的に欠陥位置の画像を撮像しモニタに表示する。このようにすることで、従来人手でガラス基板をラインから取り出し、欠陥を目視確認して最終判断を行っていた工程を省き、インラインでの最終判定を可能とする。
【選択図】図１

Description

この発明は、プラズマディスプレイ等に用いられる蛍光体が塗布されたガラス基板における蛍光体の塗布ムラや傷等を検査する蛍光体検査装置に関するものである。

大型のプラズマディスプレイの需要が高まり、量産化に向けて生産効率の向上が求められている。その中でも、プラズマディスプレイの蛍光体塗布工程における塗布状態の検査は、従来の目視による確認からインラインでの高信頼性、高速検査の実現が望まれている。

なお、紫外線照明の照明むらを軽減し、ストライプ状に塗布された蛍光体の塗布ムラの検出をインラインで高精度に行う蛍光体検査装置が提供されている（例えば、特許文献１を参照。）。
特開２００３−２８８８４３公報

しかしながら、上記従来のようなインラインの蛍光体検査装置であっても、一部の欠陥によっては、人手でガラス基板をラインから取り出して、目視による最終判断を行っていた。この作業効率の改善が必要とされている。

この発明は上記事情に着目してなされたもので、その目的とするところは、作業効率を向上し、検査の高速化を図ることができる蛍光体検査装置を提供することにある。

上記目的を達成するためにこの発明に係わる基板上に形成された蛍光体に光を照射する照明手段と、前記照明手段による前記蛍光体の発光状態を撮像する第１の撮像手段と、前記第１の撮像手段により得られる第１の画像データから前記蛍光体の欠陥の位置を検出する第１の検出手段と、前記第１の検出手段により検出された前記蛍光体の欠陥の位置を任意の倍率で撮像する第２の撮像手段と、前記第２の撮像手段により得られる第２の画像データをもとに前記欠陥の画像を表示する表示手段とを具備することを特徴とする。

上記構成では、蛍光体の欠陥が検出されると、検出された欠陥の位置の画像が撮像され、任意の倍率でモニタ等に表示される。これにより、従来人手でガラス基板をラインから取り出し、欠陥を目視確認して最終判断を行っていた工程を、本発明によりインラインで行うことができるようになるため、蛍光体の製作工程における作業を容易にすることが可能となる。

さらに、前記第２の画像データをもとに前記蛍光体の印刷ずれを検出する第２の検出手段を具備することを特徴とする。これにより、従来、蛍光体検査と蛍光体印刷ずれ検査とを個別に行っていた場合と比べ、前段の蛍光体検査の検出結果を後段の蛍光体印刷ずれ検査において共有することにより検査の高速化を図ることが可能となる。

したがってこの発明によれば、作業効率を向上し、検査の高速化を図ることができる蛍光体検査装置を提供することができる。

以下、図面を参照してこの発明の実施形態について詳細に説明する。
図１は、この発明に係わる蛍光体検査装置の一実施形態を示すブロック図である。
蛍光体検査装置１００は、ガラス基板２０を搬送する搬送機構２１、照明２２、干渉フィルタ２３、ラインセンサカメラ２４、搬送の駆動系を制御するインタフェース部２５、ラインセンサカメラ２４からデータを入力する画像処理部２６、倍率可変の顕微鏡を通して撮影するカラーカメラ２７、カラーカメラ２７をガラス基板の全面を移動させるステージ２８、カラーカメラ２７からデータを入力する画像処理部２９、画像処理部２６からの欠陥データを画像処理部２９に転送するインタフェースを有するハブ３０、及びモニタ３１を備える。また、画像処理部２９は、蛍光体印刷ずれ検査機能を有する。

次に、この蛍光体検査装置１００の動作を説明する。図２は、この蛍光体検査装置１００の動作手順とその内容を示すフローチャートである。
図２に先立ち、搬送機構２１にガラス基板２０が搬入されると、蛍光体検査装置１００は、照明２２を点灯し、ガラス基板２０に塗布された蛍光体を発光させる。この発光を干渉フィルタ２３に通してラインセンサカメラ２４にて取り込む。この際、搬送機構２１から搬送パルス信号をインタフェース部２５に送り、インタフェース部２５にて、搬送スピードに同期して、ラインセンサカメラ２４の露光時間を制御する。

図２において、ラインセンサカメラ２４により取り込まれたデータは画像処理部２６に送られ、画像処理部２６では、このデータをもとに塗布ムラや傷の検出を行う（ステップＳ２１）。ここで、欠陥が検出されると、欠陥位置を表す座標値が、ハブ３０を介して画像処理部２９に転送される（ステップＳ２２）。なお、欠陥が検出されない場合には、ステップＳ２６に移行し、印刷ずれ検査を行う。

次に、ガラス基板２０が後段の搬送機構２１に搬送されてくると、画像処理部２６から先に転送されてきた欠陥位置を表す座標値をもとに、画像処理部２９はステージ２８を制御して、検出された欠陥位置にカラーカメラ２７を移動させる（ステップＳ２３）。さらに、画像処理部２９は、カラーカメラ２７から得られる欠陥位置が拡大された画像データを取り込みモニタ３１に画像を表示する（ステップＳ２４）。オペレータは、モニタ３１に表示された画像を目視して最終良否判定を行う（ステップＳ２５）。良品の場合は、画像処理部２９にて、引き続き印刷ずれ検査を行う（ステップＳ２６）。

以上述べたように上記実施形態では、従来の蛍光体検査装置と蛍光体印刷ずれ検査装置を一体化し、前段の蛍光体検査の検出結果を後段の蛍光体印刷ずれ検査において共有する。そして、検出された欠陥位置にカラーカメラを移動させ、自動的に欠陥位置の画像を撮像しモニタに表示する。このようにすることで、従来人手でガラス基板をラインから取り出し、欠陥を目視確認して最終判断を行っていた工程を省き、インラインでの最終判定を可能とし、蛍光体の製作工程における作業を容易にすることが可能となる。

なお、この発明は、上記実施形態そのままに限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また、上記実施形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合せにより種々の発明を形成できる。例えば、実施形態に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。さらに、異なる実施形態に亘る構成要素を適宜組み合せてもよい。

この発明に係わる蛍光体検査装置の一実施形態を示すブロック図。図１に示す蛍光体検査装置の動作手順とその内容を示すフローチャート。

符号の説明

１００…蛍光体検査装置、２０…ガラス基板、２１…搬送機構、２２…照明、２３…干渉フィルタ、２４…ラインセンサカメラ、２５…インタフェース部、２６…画像処理部、２７…カラーカメラ、２８…ステージ、２９…画像処理部、３０…ハブ、３１…モニタ。

Claims

基板上に形成された蛍光体に光を照射する照明手段と、
前記照明手段による前記蛍光体の発光状態を撮像する第１の撮像手段と、
前記第１の撮像手段により得られる第１の画像データから前記蛍光体の欠陥の位置を検出する第１の検出手段と、
前記第１の検出手段により検出された前記蛍光体の欠陥の位置を任意の倍率で撮像する第２の撮像手段と、
前記第２の撮像手段により得られる第２の画像データをもとに前記欠陥の画像を表示する表示手段と
を具備することを特徴とする蛍光体検査装置。
前記第２の画像データをもとに前記蛍光体の印刷ずれを検出する第２の検出手段をさらに具備することを特徴とする請求項１記載の蛍光体検査装置。