JP2008176091A - カラーフィルタの製造方法、及び電気光学装置の製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】製造工程数を削減し、その生産性を向上したカラーフィルタの製造方法、及び電
気光学装置の製造方法を提供する。
【解決手段】カラーフィルタ基板１５の吐出面１５ａに遮光層２３を形成して遮光層２３
に区画された複数の画素領域Ｓ２を形成し、緑色用画素領域ＳＧの各々に撥液層用液滴Ｄ
１を吐出して乾燥し、無色透明の撥液層２５を形成した。そして、撥液層２５を有した緑
色用画素領域ＳＧにフィルタ用液滴Ｄ２を吐出して緑色用フィルタ層ＣＦＧを形成した。
【選択図】図４

Description

本発明は、カラーフィルタの製造方法、及び電気光学装置の製造方法に関する。

液晶表示装置は、複数の画素領域の各々にカラーフィルタを設け、特定波長の光を透過
させることによりフルカラーの画像を表示させる。液晶表示装置は、入射光の一部をカラ
ーフィルタに吸収させるため、出射する着色光の強度が入射光の強度に対して弱くなり、
明るい画面を得難い傾向にあった。特に、反射透過型の液晶表示装置は、反射型の表示を
行うとき、表示面から入射した光を一度カラーフィルタに透過させ、背面の反射部材で反
射させた後、再びカラーフィルタに透過させて出射させる。この結果、表示面から入射し
た光は、カラーフィルタを２回も透過するため、表示画像の輝度を、さらに低下させてし
まう。

そこで、液晶表示装置においては、従来から、表示画像の輝度を向上させる提案がなさ
れている。特許文献１は、カラーフィルタの一部に開口を設け、１つの画素領域から、カ
ラーフィルタを介した着色光と、開口を介した非着色光とを出射させる。これによれば、
開口を介した非着色光が可視領域の強度を増大させるため、画素領域の各々に対して輝度
を向上させることができる。さらに、特許文献２〜５は、それぞれ上記開口の位置、サイ
ズ、数量を各色の画素領域ごとに最適化し、入射光の方向に関わらす輝度の向上を可能に
させ、コントラストや色再現性を向上させている。
特開平１１−１８３８９２号公報 特開平１１−７２７７９号公報 特開平１１−７２７８０号公報 特開平１１−１０９３３１号公報 特開平１１−１８３８９１号公報

カラーフィルタに対して上記の開口を形成する場合、一般的に、フォトリソグラフィ技
術やエッチング技術を用いたパターニングを必要とする。こうしたパターニングは、開口
に応じたマスクを形成する工程や開口を形成した後にマスクを除去する工程などを要し、
カラーフィルタの生産性、ひいては液晶表示装置の生産性を著しく損なう問題を招いてい
た。

本発明は、上記問題を解決するためになされたものであり、その目的は、パターンを形
成するための工程数を削減し、その生産性を向上したカラーフィルタの製造方法、及び電
気光学装置の製造方法を提供することである。

本発明のカラーフィルタの製造方法は、基板の１つの面に隔壁を形成し前記隔壁に区画
された複数の画素領域を形成する工程と、複数の前記画素領域の少なくとも１つに撥液材
料を含む第一の液滴を吐出し、着弾した前記第一の液滴を乾燥して光透過性を有した撥液
層を形成する工程と、複数の前記画素領域にカラーフィルタ材料を含む第二の液滴を吐出
し、着弾した前記第二の液滴を乾燥してカラーフィルタ層を形成する工程と、を備え、複
数の前記画素領域の内、前記撥液層を有した前記画素領域は、前記撥液層の位置に応じた
前記画素領域の一部にカラーフィルタ層を形成することを特徴とする。

本発明のカラーフィルタの製造方法によれば、第一の液滴の吐出位置に応じた画素領域
内の位置にカラーフィルタ層を形成させることができる。したがって、フォトリソグラフ
ィ技術やエッチング技術を用いることなく、画素領域の中の所望する領域にのみカラーフ
ィルタ層を形成させることができる。すなわち、画素領域の中の所望する領域に、入射光
を非着色光として出射する領域（以下単に、非着色領域という。）を形成させることがで
きる。よって、カラーフィルタの製造工程数を削減させることができ、ひいてはカラーフ
ィルタの生産性を向上させることができる。

このカラーフィルタの製造方法は、前記画素領域内の一部に前記第一の液滴を吐出して
前記一部に前記撥液層を形成し、前記撥液層を有した前記画素領域に前記第二の液滴を吐
出して前記一部を除く前記画素領域に前記カラーフィルタ層を形成してもよい。

このカラーフィルタの製造方法によれば、撥液層の領域を非着色領域にすることができ
る。したがって、より高い精度の下で非着色領域を形成させることができる。
このカラーフィルタの製造方法は、前記画素領域の全体に前記第一の液滴を吐出して前
記画素領域の全体に前記撥液層を形成し、前記撥液層を有した前記画素領域に前記第二の
液滴を吐出して前記画素領域の隅部を除く領域に前記カラーフィルタ層を形成してもよい
。

このカラーフィルタの製造方法によれば、画素領域の全体に撥液層を形成させるため、
画素領域の全体に第一の液滴を吐出させることができ、第一の液滴の吐出精度に関し、そ
の許容範囲を拡大させることができる。

このカラーフィルタの製造方法は、前記画素領域に前記第一の液滴を吐出する前に前記
隔壁の表面に第二の液滴を撥液する撥液性を与える工程を備える構成であってもよい。
このカラーフィルタの製造方法によれば、第二の液滴の漏れを防止させることができ、
画素領域の所望する領域に、より確実にカラーフィルタ層を形成させることができる。

このカラーフィルタの製造方法は、前記基板が、ガラス基板であって、前記撥液材料が
、シランカップリング剤であってもよい。
このカラーフィルタの製造方法によれば、シランカップリング剤によって撥液層を形成
させることができ、撥液層と基板との間に十分な密着性を確保することができる。したが
って、より高い位置精度の下で非着色領域を形成させることができる。

本発明の電気光学装置の製造方法は、基板の１つの面にカラーフィルタを有した電気光
学装置の製造方法であって、前記カラーフィルタを上記のカラーフィルタの製造方法によ
って製造する。

本発明の電気光学装置の製造方法によれば、電気光学装置の製造工程数を削減させるこ
とができ、ひいては電気光学装置の生産性を向上させることができる。

（第一実施形態）
以下、本発明を具体化した第一実施形態を図１〜図４に従って説明する。まず、電気光
学装置としての液晶表示装置について説明する。図１は液晶表示装置の全体を示す斜視図
、図２は液晶表示装置に備えられたカラーフィルタ基板を示す斜視図、図３（ａ）、（ｂ
）は、それぞれ画素領域を示す平面図、及び断面図である。

図１において、液晶表示装置１０は、バックライト１１と液晶パネル１２とを有する。
バックライト１１は、光源１３から出射された光を液晶パネル１２の全面に照射させる。
液晶パネル１２は、素子基板１４とカラーフィルタ基板１５とを有し、これら素子基板１
４とカラーフィルタ基板１５とが、四角枠状のシール材１６によって貼り合わされて、そ
の間隙に液晶ＬＣを封入する。液晶ＬＣは、バックライト１１からの光を変調して所望の
画像をカラーフィルタ基板１５の上面に表示させる。

素子基板１４は、四角板状の無アルカリガラス基板であって、図１における上面（以下
単に、素子形成面１４ａという。）には、一方向に延びる複数の走査線Ｌｘが所定の間隔
をおいて形成されている。各走査線Ｌｘは、それぞれ素子基板１４の一側端に配設される
走査線駆動回路１７に電気的に接続されている。走査線駆動回路１７は、複数の走査線Ｌ
ｘの中から所定の走査線Ｌｘを所定のタイミングで選択駆動し、その走査線Ｌｘに走査信
号を出力する。

素子形成面１４ａには、走査線Ｌｘと直交する他方向に延びる複数のデータ線Ｌｙが所
定の間隔をおいて形成されている。各データ線Ｌｙは、それぞれ素子基板１４の一側端に
配設されるデータ線駆動回路１８に電気的に接続されている。データ線駆動回路１８は、
表示データに基づくデータ信号を生成し、そのデータ信号を対応するデータ線Ｌｙに所定
のタイミングで出力する。

ここで、走査線Ｌｘに沿う方向をＸ方向とし、データ線Ｌｙに沿う方向をＹ方向という
。
素子形成面１４ａには、走査線Ｌｘとデータ線Ｌｙによってマトリックス状に区画され
る複数の素子領域Ｓ１が形成されている。各素子領域Ｓ１には、それぞれＴＦＴ等からな
る図示しない制御素子や、ＩＴＯ等の透明導電材料からなる画素電極Ｐ１などが形成され
ている。素子領域Ｓ１の制御素子は、走査線駆動回路１７が走査線Ｌｘを線順次走査に基
づき１本ずつ順次選択するとき、選択期間中だけオン状態になる。素子領域Ｓ１の制御素
子がオン状態となるとき、データ線駆動回路１８から出力されるデータ信号は、データ線
Ｌｙ及び制御素子を介して画素電極Ｐ１に出力される。

各走査線Ｌｘ、各データ線Ｌｙ、各素子領域Ｓ１の上側には、素子形成面１４ａの全体
にわたって共通する配向膜１９が積層されている。配向膜１９は、ラビング処理などの配
向処理を施されたポリイミドなどからなる薄膜であって、近傍の液晶分子の配向方向を所
定の方向に規定する。

素子基板１４の下面には、偏光板や位相差板などからなる光学基板２１が貼り合わされ
ている。光学基板２１は、所定の方向に透過軸を有し、バックライト１１からの光を液晶
ＬＣに向けて透過可能にする。

カラーフィルタ基板１５は、四角板状の無アルカリガラス基板であって、図１における
上面には、偏光板２２が貼り合わされている。偏光板２２は、所定の方向に透過軸を有し
、液晶ＬＣからの光を液晶パネル１２の上方に向けて透過可能にする。

図２において、カラーフィルタ基板１５の上面（図１における下面：以下単に、吐出面
１５ａという。）には、隔壁としての遮光層２３が形成されている。遮光層２３は、クロ
ムやカーボンブラックなどの遮光材料を含むアクリル系感光樹脂によって形成され、液晶
ＬＣからの透過光を遮光する。遮光層２３の表面は、フッ素系の官能基（例えば、パーフ
ルオロ基など）を有し、液滴を撥液するための撥液性を与えられている。遮光層２３は、
走査線Ｌｘ及びデータ線Ｌｙと対向する格子状に形成されて、遮光層２３によって囲まれ
る複数の画素領域Ｓ２を吐出面１５ａの全体にわたり区画形成する。すなわち、遮光層２
３は、素子基板１４に形成された複数の素子領域Ｓ１の各々と対向する複数の画素領域Ｓ
２を吐出面１５ａの全体にわたり形成する。

複数の画素領域Ｓ２は、Ｙ方向に沿って配列された複数の赤色用画素領域ＳＲと、Ｙ方
向に沿って配列された複数の緑色用画素領域ＳＧと、Ｙ方向に沿って配列された複数の青
色用画素領域ＳＢとによって構成されている。

図３において、赤色用画素領域ＳＲ、緑色用画素領域ＳＧ、青色用画素領域ＳＢには、
それぞれ対応する色の光を透過させるカラーフィルタ層、すなわち赤色の光を透過させる
赤色用フィルタ層ＣＦＲ、緑色の光を透過させる緑色用フィルタ層ＣＦＧ、青色の光を透
過させる青色用フィルタ層ＣＦＢが形成されている。

各色用フィルタ層ＣＦＲ，ＣＦＧ，ＣＦＢは、それぞれインクジェット法を用いて形成
されている。すなわち、各色用フィルタ層ＣＦＲ，ＣＦＧ，ＣＦＢは、それぞれ対応する
画素領域Ｓ２の中に、各色用の無機顔料や有機顔料などのカラーフィルタ材料を分散させ
たインク（以下単に、フィルタ用インクという。）を液滴として吐出し、着弾した液滴を
乾燥させることによって形成されている。

緑色用画素領域ＳＧには、緑色用フィルタ層ＣＦＧを除く領域に、上方から見て略円形
状の一対の撥液層２５が形成されている。撥液層２５は、光透過性を有した薄膜であって
、緑色用画素領域ＳＧの内部に、入射光を非着色光として出射させる非着色領域を形成す
る。撥液層２５は、撥液材料からなる薄膜であって、フィルタ用インクに対する撥液性を
有する。ここで、撥液性とは、例えば表面自由エネルギーを２０ｍＪ／ｍ²程度に低くし
て、極性を有した材料との間の親和性を小さくさせる性質、あるいはフィルタ用インクの
接触角を５０°以上にする性質をいう。

撥液材料としては、フルオロカーボン系シランカップリング剤（有機ケイ素化合物）や
撥液性の高分子化合物などを用いることができる。フルオロカーボン基としては、パーフ
ルオロアルキル基、アルキル基の水素の一部がフッ素置換されたフルオロアルキル基、パ
ーフルオロポリエーテルからなる基を用いることができる。撥液性高分子化合物としては
、分子内にフッ素原子を含むオリゴマー又はポリマー（例えば、ポリ四フッ化エチレン、
エチレン−四フッ化エチレン共重合体、ポリフッ化ビニリデンなど）を用いることができ
る。シランカップリング剤は、分子の末端官能基が吐出面１５ａの構成原子に選択的に化
学的吸着するものが好ましい。例えば、シランカップリング剤は、分子の末端官能基にシ
ラノール基を有し、吐出面１５ａの水酸基に対して化学的に吸着するものが好ましい。こ
れによれば、撥液層２５と緑色用画素領域ＳＧとの間の密着性を向上させることができる
。

各撥液層２５は、それぞれインクジェット法を用いて形成されている。すなわち、各撥
液層２５は、それぞれ上記の撥液材料を含むインク（以下単に、撥液層用インクという。
）を液滴として緑色用画素領域ＳＧの内部に吐出し、着弾した液滴を乾燥または乾燥焼成
させることによって形成されている。

各色用フィルタ層ＣＦＲ，ＣＦＧ，ＣＦＢの上側には、共通するオーバーコート層２６
と、共通する対向電極Ｐ２と、共通する配向膜２７とが積層されている。オーバーコート
層２６は、無色透明のアクリル樹脂やエポキシ樹脂からなる薄膜であって、各画素領域Ｓ
２を保護してその上側を平坦にする。対向電極Ｐ２は、ＩＴＯ等の透明導電材料からなる
薄膜であって、所定の共通電位を受けて対向電極Ｐ２と画素電極Ｐ１との間にデータ信号
に対応した電位を供給する。配向膜２７は、ラビング処理などの配向処理を施されたポリ
イミドなどからなる薄膜であって、近傍の液晶分子の配向方向を所定の方向に規定する。

画素電極Ｐ１にデータ信号が入力されるとき、液晶分子は、画素電極Ｐ１と対向電極Ｐ
２との間の電位差に応じてその配向状態を変更し、バックライト１１から入射する入射光
を通過あるいは遮光する。各画素領域Ｓ２は、それぞれ液晶ＬＣを透過した光から対応す
る特定波長の光を透過させ、カラーフィルタ基板１５にフルカラーの画像を表示させる。

この際、緑色用画素領域ＳＧは、緑色用フィルタ層ＣＦＧを介した緑色の光と、撥液層
２５を介した非着色光とを出射させる。撥液層２５を介した非着色光は、可視領域の全体
にわたり出射光の強度を増大させる。緑色の光は、可視領域の略全体にわたってブロード
な発光を示す、すなわち赤色の光の領域及び青色の光の領域にも発光を示す。そのため、
緑色用画素領域ＳＧを利用した非着色光の透過・遮光は、液晶パネル１２の全体から見て
、カラーバランスの大きな変動を招くことなく輝度を増大させる。

次に、カラーフィルタ基板１５の製造方法について説明する。図４（ａ）、（ｂ）、（
ｃ）、（ｄ）は、それぞれカラーフィルタ基板１５の製造工程を示す工程図である。
まず、図４（ａ）において、カラーフィルタ基板１５の吐出面１５ａに遮光層２３を形
成する。遮光層２３の形成方法としては、例えばフォトリソグラフィ技術を用いることが
できる。すなわち、遮光材料を含むアクリル系感光性樹脂を吐出面１５ａの略全面に塗布
して厚みが２〜３（μｍ）の塗布膜を形成し、塗布膜に対し露光・現像を施して各画素領
域Ｓ２を有した遮光層２３を形成させる。あるいは、カラーフィルタ基板１５の吐出面１
５ａにクロム、酸化クロムなどの遮光材料からなる遮光膜を形成し、遮光膜に対しエッチ
ングを施して各画素領域Ｓ２に対応する開口を形成させる。そして、遮光膜の上側に感光
性樹脂の塗布膜を積層した後、塗布膜に対して露光・現像を施し、遮光膜と塗布膜とから
なる２層構造の遮光層２３を形成させる。

次いで、遮光層２３の表面に撥液性を与えるための撥液処理を行う。撥液処理としては
、例えばフッ素系のプラズマによる表面処理を用いることができる。すなわち、フルオロ
カーボンガス（例えば、ＣＦ_４、Ｃ_２Ｆ_６、Ｃ_４Ｆ_８など）を用いたプラズマＰＳの雰囲
気の中に吐出面１５ａの全面を晒し、遮光層２３の表面にフルオロカーボン基を置換させ
て撥液性を与える。

図４（ｂ）において、遮光層２３の表面に撥液性を与えると、インクジェット法を用い
て緑色用画素領域ＳＧに撥液層２５を形成する。すなわち、撥液層用インクを公知のイン
クジェット装置に供給し、粒径が数十（μｍ）の複数の液滴（以下単に、第一の液滴とし
ての撥液層用液滴Ｄ１という。）を形成させる。そして、各撥液層用液滴Ｄ１をそれぞれ
インクジェット装置から対応する緑色用画素領域ＳＧの内部に吐出させ、カラーフィルタ
基板１５の全体をオーブンなどにより加熱し、緑色用画素領域ＳＧに着弾した撥液層用液
滴Ｄ１を乾燥させる。これによって、緑色用画素領域ＳＧの各々に、撥液層２５を形成さ
せる。

撥液層用インクとしては、例えばフルオロカーボン系シランカップリング剤をキシレン
やトルエンなどの溶媒に溶解させた液状体を用いることができ、乾燥した後に撥液性を発
現する液状体であればよい。なお、撥液層用インクは、撥液層用液滴Ｄ１の吐出安定性を
得るため、その粘度が１〜５０（ｍＰａｓ）であることが好ましく、１〜２０（ｍＰａ）
に調整されたものがより好ましい。

図４（ｃ）において、各緑色用画素領域ＳＧにそれぞれ撥液層２５を形成させると、イ
ンクジェット法を用いて、画素領域Ｓ２の各々に対応する各色用フィルタ層ＣＦＲ，ＣＦ
Ｇ，ＣＦＢを形成する。すなわち、フィルタ用インクを公知のインクジェット装置に供給
し、粒径が数十（μｍ）の複数の液滴（以下単に、第二の液滴としてのフィルタ用液滴Ｄ
２という。）を形成させる。そして、各フィルタ用液滴Ｄ２をそれぞれインクジェット装
置から対応する画素領域Ｓ２の内部に吐出させる。

各画素領域Ｓ２の内部に着弾したフィルタ用液滴Ｄ２は、それぞれ対応する画素領域Ｓ
２の内部で合一する。この際、遮光層２３の表面及び撥液層２５の表面がそれぞれ撥液性
を有しているため、フィルタ用インクは、その表面張力により、遮光層２３の表面及び撥
液層２５の表面より盛り上がった状態で安定する。

各画素領域Ｓ２にフィルタ用液滴Ｄ２を吐出させると、カラーフィルタ基板１５の全体
をオーブンなどにより加熱し、フィルタ用インクを乾燥させる。この際、フィルタ用イン
クは、遮光層２３の表面と撥液層２５の表面がそれぞれ撥液性を有しているため、画素領
域Ｓ２の内部であって、かつ、撥液層２５を除いた領域に行きわたるように乾燥する。こ
れによって、画素領域Ｓ２の各々に、対応する各色用フィルタ層ＣＦＲ，ＣＦＧ，ＣＦＢ
を形成する。

フィルタ用インクとしては、例えばポリウレタンオリゴマーに無機顔料を分散させた樹
脂に、シクロヘキサノン、酢酸ブチルなどの低沸点溶媒、ブチルカルビトールなどのグリ
コールアルキルエーテル類、またはブチルカルビトールアセテートなどのグリコールアル
キルエーテルアセテート類、またはコハク酸ジメチルなどの二塩基酸エステル類といった
高沸点溶媒、非イオン系界面活性剤などの分散媒を加えた液状体を用いることができる。
なお、フィルタ用インクは、フィルタ用液滴Ｄ２の吐出安定性を得るため、その粘度が１
〜５０（ｍＰａ）であることが好ましく、１〜２０（ｍＰａｓ）に調整されたものがより
好ましい。

図４（ｄ）において、各色用フィルタ層ＣＦＲ，ＣＦＧ，ＣＦＢを形成すると、オーバ
ーコート層２６を形成する。オーバーコート層の形成は、撥液層により各色用フィルタ層
が形成されなかった部分と周囲の凹凸を緩和させる役割がある。オーバーコート層の形成
前に酸素プラズマ処理などを行うことで、遮光層および撥液層の表面を親液性に変えるこ
とができ、オーバーコート層被覆ムラを無く均等に形成することができる。オーバーコー
ト層２６の形成方法としては、例えばスピンコート法、ロールコート法、リッピング法、
インクジェット法などの塗布法を用いることができる。すなわち、無色透明の樹脂材料を
各色用フィルタ層ＣＦＲ，ＣＦＧ，ＣＦＢ、遮光層２３及び撥液層２５の略全面に塗布し
て塗布膜を形成し、塗布膜を乾燥することによってオーバーコート層２６を形成する。

そして、このオーバーコート層２６の上側に対向電極Ｐ２と配向膜２７とを積層するこ
とによって、撥液層２５を有したカラーフィルタ基板１５を形成する。
次に、上記のように構成した本実施形態の効果を以下に記載する。

（１）上記実施形態は、カラーフィルタ基板１５の吐出面１５ａに遮光層２３を形成し
て遮光層２３に区画された複数の画素領域Ｓ２を形成し、緑色用画素領域ＳＧの各々に撥
液層用液滴Ｄ１を吐出して無色透明の撥液層２５を形成した。そして、撥液層２５を有し
た緑色用画素領域ＳＧにフィルタ用液滴Ｄ２を吐出して緑色用フィルタ層ＣＦＧを形成し
た。

したがって、撥液層２５を除いた緑色用画素領域ＳＧの内部に緑色用フィルタ層ＣＦＧ
を形成させることができ、緑色用画素領域ＳＧの中の所望する領域にのみ緑色用フィルタ
層ＣＦＧを形成させることができる。すなわち、フォトリソグラフィ技術やエッチング技
術を用いることなく、緑色用画素領域ＳＧの中の所望する領域にのみ非着色領域を形成さ
せることができる。この結果、カラーフィルタ基板１５の製造工程数を削減させることが
でき、ひいてはカラーフィルタ基板１５の生産性、液晶表示装置１０の生産性を向上させ
ることができる。

（２）上記実施形態によれば、撥液層用液滴Ｄ１を緑色用画素領域ＳＧへ吐出する前に
撥液処理を行い、遮光層２３の表面に撥液性を与えた。したがって、フィルタ用液滴Ｄ２
の漏れを防止させることができ、撥液層２５を除いた画素領域Ｓ２に、より確実に緑色用
フィルタ層ＣＦＧを形成させることができる。

（３）上記実施形態によれば、カラーフィルタ基板１５がガラス基板であり、撥液材料
がシランカップリング剤であるため、撥液層２５と吐出面１５ａとの間に十分な密着性を
確保することができる。したがって、より高い位置精度の下で非着色領域を形成させるこ
とができる。

（第二実施形態）
以下、本発明を具体化した第二実施形態を図５に従って説明する。第二実施形態は、第
一実施形態の撥液層２５の形状を変更したものである。そのため、以下では、その変更点
について詳細に説明する。

図５において、緑色用画素領域ＳＧには、緑色用画素領域ＳＧの全体にわたり撥液層２
５が形成され、その撥液層２５の上側に略楕円形状の緑色用フィルタ層ＣＦＧが形成され
ている。

撥液層２５は、第一実施形態と同じく、無色透明の薄膜であって、緑色用画素領域ＳＧ
の四隅（隅部）に非着色領域を形成する。撥液層２５は、撥液材料からなる薄膜であって
、インクジェット法を用いて形成されている。すなわち、各撥液層２５は、それぞれ上記
撥液層用液滴Ｄ１を緑色用画素領域ＳＧの内部全体に吐出し、着弾した撥液層用液滴Ｄ１
を乾燥させることによって形成されている。

緑色用フィルタ層ＣＦＧは、第一実施形態と同じく、インクジェット法を用いて形成さ
れている。すなわち、緑色用フィルタ層ＣＦＧは、緑色用画素領域ＳＧの内部にフィルタ
用液滴Ｄ２を吐出し、撥液層２５の上側に着弾したフィルタ用液滴Ｄ２を乾燥させること
によって形成されている。撥液層２５の上側に着弾したフィルタ用液滴Ｄ２は、撥液層２
５に撥液されて合一するため、その表面張力により略楕円形状を呈して安定する。

この第二実施形態によれば、緑色用画素領域ＳＧの全体に撥液層２５を形成できるため
、緑色用画素領域ＳＧの全体に撥液層用液滴Ｄ１を吐出させることができ、撥液層用液滴
Ｄ１の吐出精度に関し、その許容範囲を拡大させることができる。

尚、上記実施形態は以下のように変更してもよい。
・上記実施形態では、撥液層２５を緑色用画素領域ＳＧにのみ形成した。これに限らず
、例えば赤色用画素領域ＳＲ、緑色用画素領域ＳＧ、青色用画素領域ＳＢの少なくともい
ずれか１つに形成する構成であればよい。

・上記第一実施形態では、撥液層２５を緑色用画素領域ＳＧの内部に２つだけ形成した
。これに限らず、例えば図６に示すように、撥液層２５を、遮光層２３と接触する位置に
４つ形成してもよい。すなわち、本発明は、撥液層２５の形状や数量、さらには撥液層２
５の画素領域Ｓ２内における位置に限定されるものではない。

・上記実施形態では、遮光材料を含むアクリル系感光樹脂によって遮光層２３を構成し
、遮光層２３に撥液処理を施して撥液性を与える構成した。これに限らず、例えばヘキサ
フルオロポリプロピレン樹脂などの黒色感光性樹脂材料によって遮光層２３を構成し、遮
光層２３の構成材料が撥液性を有する構成であってもよい。これによれば、撥液処理工程
を削減させることができ、カラーフィルタ基板１５の製造工程数、ひいては液晶表示装置
１０の製造工程数を削減させることができる。

・上記実施形態において、撥液層用液滴Ｄ１を吐出する前に、吐出面１５ａと撥液層２
５との間の密着性を得るための表面処理を実行する構成にしてもよい。表面処理としては
、例えば酸素プラズマの雰囲気の中に吐出面１５ａの全面を晒すプラズマ処理、吐出面１
５ａの全面に紫外線を照射させる紫外線照射処理など、吐出面１５ａの表面に水酸基など
の極性基を置換させる処理を用いることができる。これによれば、シランカップリング剤
と吐出面１５ａとの間の化学的な吸着力を向上させることができる。

・上記実施形態では、電気光学装置を、透過型の液晶表示装置１０に具体化した。これ
に限らず、例えば、電気光学装置を反射透過型の液晶表示装置として具体化してもよい。
・上記実施形態では、電気光学装置を、液晶表示装置１０に具体化した。これに限らず
、例えば、電気光学装置をエレクトロルミネッセンス表示装置として具体化してもよい。
この構成においても、エレクトロルミネッセンス表示装置の生産性を向上することができ
る。

・上記実施形態では、電気光学装置を、液晶表示装置１０に具体化した。これに限らず
、電気光学装置を、電子放出素子から放出させる電子によって蛍光物質を発光させる電界
効果型装置（ＦＥＤやＳＥＤ等）に具体化してもよい。この構成においても、電界効果型
装置の生産性を向上することができる。

液晶表示装置を示す斜視図。 カラーフィルタ基板を示す斜視図。 （ａ）、（ｂ）は、それぞれ画素領域を示す平面図及び側断面図。 （ａ）、（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）は、それぞれ液晶表示装置の製造工程を示す工程図。 第二実施形態の画素領域を示す平面図。 変更例の画素領域を示す平面図。

符号の説明

Ｄ１…第一の液滴としての撥液層用液滴、Ｄ２…第二の液滴としてのフィルタ用液滴、
Ｓ２…画素領域、ＣＦＲ…カラーフィルタを構成する赤色用フィルタ、ＣＦＧ…カラーフ
ィルタを構成する緑色用フィルタ、ＣＦＢ…カラーフィルタを構成する青色用フィルタ、
１０…電気光学装置としての液晶表示装置、１５…カラーフィルタ基板、２３…隔壁とし
ての遮光層、２５…撥液層。

Claims (6)

1. 基板の１つの面に隔壁を形成し前記隔壁に区画された複数の画素領域を形成する工程と
   、
   複数の前記画素領域の少なくとも１つに撥液材料を含む第一の液滴を吐出し、着弾した
   前記第一の液滴を乾燥して光透過性を有した撥液層を形成する工程と、
   複数の前記画素領域にカラーフィルタ材料を含む第二の液滴を吐出し、着弾した前記第
   二の液滴を乾燥してカラーフィルタ層を形成する工程と、
   を備え、
   複数の前記画素領域の内、前記撥液層を有した前記画素領域は、前記撥液層の位置に応
   じた前記画素領域の一部にカラーフィルタ層を形成することを特徴とするカラーフィルタ
   の製造方法。
2. 請求項１に記載のカラーフィルタの製造方法であって、
   前記画素領域内の一部に前記第一の液滴を吐出し、着弾した前記第一の液滴を乾燥して
   前記一部に前記撥液層を形成し、
   前記撥液層を有した前記画素領域に前記第二の液滴を吐出し、着弾した前記第二の液滴
   を乾燥して前記一部を除く前記画素領域に前記カラーフィルタ層を形成すること、
   を特徴とするカラーフィルタの製造方法。
3. 請求項１に記載のカラーフィルタの製造方法であって、
   前記画素領域の全体に前記第一の液滴を吐出し、着弾した前記第一の液滴を乾燥して前
   記画素領域の全体に前記撥液層を形成し、
   前記撥液層を有した前記画素領域に前記第二の液滴を吐出して前記画素領域の隅部を除
   く領域に前記カラーフィルタ層を形成すること、
   を特徴とするカラーフィルタの製造方法。
4. 請求項１〜３のいずれか１つに記載のカラーフィルタの製造方法であって、
   前記画素領域に前記第一の液滴を吐出する前に前記隔壁の表面に第二の液滴を撥液する
   撥液性を与える工程を備えたこと、
   を特徴とするカラーフィルタの製造方法。
5. 請求項１〜４のいずれか１つに記載のカラーフィルタの製造方法であって、
   前記基板は、ガラス基板であって、
   前記撥液材料は、シランカップリング剤であること、
   を特徴とするカラーフィルタの製造方法。
6. 基板の１つの面にカラーフィルタを有した電気光学装置の製造方法であって、
   前記カラーフィルタを請求項１〜５のいずれか１つに記載のカラーフィルタの製造方法
   によって製造すること、
   を特徴とする電気光学装置の製造方法。

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