JP2008175558A - Device and method for visual inspection - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、外観検査装置および外観検査方法に関し、特に表示デバイスの画面(外観)を検査し、むらを検出する外観検査装置および外観検査方法に関する。 The present invention relates to an appearance inspection apparatus and an appearance inspection method, and more particularly to an appearance inspection apparatus and an appearance inspection method for inspecting a screen (appearance) of a display device and detecting unevenness.
表示デバイス、特に大画面、高画素数のディスプレイを製造するにあたり、表示画面における画素の欠陥やむらを検出して検査する技術は重要であり、この検査をコンピュータを用いて自動的に行うことはその生産上必須となっている。この検査においては、これらの表示デバイスで表示された画面を撮像した検査画像を得て、検査画像中の各画素における輝度(濃淡値)を解析することにより、その中の欠陥やむらをコンピュータがパターン認識して検出する。しかしながら、特にむらに関しては、その形状や強度(濃淡)は様々であるため、これを自動的に識別することは困難である。このため、このパターン認識を適正にしないと、検出されるべきむらが検出されなかったり、本来のむらではない領域がむらとして認識されるという状況が発生し、適正な検査結果が得られない。 In manufacturing display devices, especially large-screen displays with a large number of pixels, technology for detecting and inspecting pixels for defects and irregularities on the display screen is important, and this inspection is automatically performed using a computer. It is essential for its production. In this inspection, an inspection image obtained by imaging the screen displayed on these display devices is obtained, and the computer analyzes defects and unevenness in the inspection image by analyzing the luminance (shading value) of each pixel in the inspection image. Recognize and detect patterns. However, regarding unevenness in particular, since the shape and strength (shading) vary, it is difficult to automatically identify this. For this reason, unless this pattern recognition is made appropriate, the situation where the nonuniformity to be detected is not detected or the region that is not the original nonuniformity is recognized as nonuniformity occurs, and an appropriate inspection result cannot be obtained.
また、例えば、検査画像における撮像時の照明が一様でなかったり、電気的雑音が存在した場合には、検査画像はこれらの影響も受ける。前者の場合には検査画像には低周波のノイズが重畳し、後者の場合には高周波のノイズが重畳する。低周波のノイズがこれに重畳されている場合には、これにより各画素の濃淡値は画像の一端から他端にわたって緩やかに変動する。高周波のノイズが重畳されている場合には、この影響を受けて、隣接する画素間でその濃淡値が大きく変動することがある。従って、単に各画素の濃淡値を調べるだけではむらの検出を行うことは困難である。 Further, for example, when the illumination at the time of imaging in the inspection image is not uniform or electrical noise exists, the inspection image is also affected by these. In the former case, low-frequency noise is superimposed on the inspection image, and in the latter case, high-frequency noise is superimposed. When low-frequency noise is superposed on the low-frequency noise, the gray value of each pixel changes gradually from one end of the image to the other. When high-frequency noise is superimposed, the gray value may fluctuate greatly between adjacent pixels due to this influence. Therefore, it is difficult to detect unevenness simply by examining the gray value of each pixel.
こうした状況を改善した外観検査方法が特許文献1に記載されている。ここでは、得られた検査画像において、図15に示すように、ある一つの画素(対象画素)を含む第1領域パターンとその周囲に第2領域パターンを設定し、それぞれの領域における平均の濃淡値を算出し、その差分を算出する。この作業を表示デバイスの全ての画素を対象画素として行い、この差分をマッピングした強調画像データを作成する。この対象画素がむら領域に含まれれば、この差分は大きくなり、含まれなければこの差分は小さくなる。このため、この強調画像データにおいては、この差分の大きな領域がむらとなって認識される。すなわち、対象画素がむら領域に含まれるか否かを、この差分によって判定する。ここで、第1領域パターンと第2領域パターンは任意に設定できるが、この形状をむらの形状、大きさに応じて最適化することにより、この強調画像データにおいて、むらが強調されるため、その認識が容易となる。また、単なる各画素の濃淡値を用いるのではなく、第1領域パターンと第2領域パターン内での平均の濃淡値を用い、更にこれらの差分を用いることにより、低周波のノイズ及び高周波のノイズの影響は除去される。従って、これにより、各種の形状、大きさのむらに対応したむら検出を自動的、効率的に行うことができた。 Patent Document 1 describes an appearance inspection method that improves such a situation. Here, in the obtained inspection image, as shown in FIG. 15, a first area pattern including a certain pixel (target pixel) and a second area pattern around it are set, and the average density in each area is set. The value is calculated and the difference is calculated. This operation is performed with all pixels of the display device as target pixels, and emphasized image data in which this difference is mapped is created. If the target pixel is included in the uneven region, the difference becomes large, and if not included, the difference becomes small. For this reason, in this emphasized image data, a region having a large difference is recognized as uneven. That is, it is determined by this difference whether or not the target pixel is included in the uneven region. Here, the first region pattern and the second region pattern can be arbitrarily set, but by optimizing this shape according to the shape and size of the unevenness, unevenness is emphasized in this enhanced image data. The recognition becomes easy. Also, instead of simply using the gray value of each pixel, the average gray value in the first area pattern and the second area pattern is used, and further, by using these differences, low frequency noise and high frequency noise are obtained. The effect of is removed. Therefore, it was possible to automatically and efficiently perform unevenness detection corresponding to unevenness of various shapes and sizes.
しかしながら、同一の表示デバイスの同一画面において発生するむらは、全て同様の大きさ、形状であるとは限らず、異なる大きさ、形状のむらが混在して発生する場合も多い。こうした場合に、上記の従来の画像検査方法を用いる場合には、むらの各種類ごとに処理を行う必要があった。すなわち、むらを大きさ及び形状ごとに複数種類に分類し、この各種類ごとに第1領域パターンと第2領域パターンを設定して強調画像データを作成する必要があった。このため、異なる大きさ、形状のむらが混在する場合には、作業者にとって第1領域パターンと第2領域パターンの設定が煩雑であり、かつその処理時間はむらの種類の数に比例して長くなるという問題があった。 However, unevenness that occurs on the same screen of the same display device is not always the same size and shape, and unevenness of different sizes and shapes often occur in a mixed manner. In such a case, when the above-described conventional image inspection method is used, it is necessary to perform processing for each type of unevenness. That is, it is necessary to classify the unevenness into a plurality of types for each size and shape, and to set the first region pattern and the second region pattern for each type to create emphasized image data. For this reason, when unevenness of different sizes and shapes coexists, the setting of the first region pattern and the second region pattern is complicated for the operator, and the processing time becomes longer in proportion to the number of types of unevenness. There was a problem of becoming.
本発明は上記問題を鑑みてなされたものであり、その目的は、上記課題を解決する外観検査装置及びおよび外観検査方法を提供することにある。 The present invention has been made in view of the above problems, and an object thereof is to provide an appearance inspection apparatus and an appearance inspection method that solve the above-described problems.
本発明は、上記課題を解決すべく、以下に掲げる構成とした。
請求項1記載の発明の要旨は、画像データ中のむら領域を検出する外観検査装置であって、中心領域と、該中心領域の周囲の複数の周辺領域とを設定する領域設定手段と、前記画像データにおける画素を特定し、前記画像データにおいて該画素に対応する中心領域における各画素の濃淡値の平均値である中心領域平均輝度を算出する中心領域平均輝度算出手段と、前記画素に対応する中心領域に対応した前記周辺領域における各画素の濃淡値の平均値である周辺領域平均輝度を前記複数の周辺領域毎に算出する周辺領域平均輝度算出手段と、前記中心領域平均輝度と前記各周辺領域平均輝度との差分値を前記各周辺領域毎に算出し、前記各差分値の中から代表差分値を抽出する平均差分算出手段と、を具備することを特徴とする外観検査装置に存する。
請求項2記載の発明の要旨は、前記画像データ中の各画素における前記代表差分値に基づいて前記画素がむら領域に含まれるか否かを判定することを特徴とする請求項1に記載の外観検査装置に存する。
請求項3記載の発明の要旨は、前記平均差分算出手段は、前記複数の周辺領域に対応した複数の差分値のうちの最大値を代表差分値として抽出することを特徴とする請求項1または2に記載の外観検査装置に存する。
請求項4記載の発明の要旨は、前記複数の周辺領域において優先順位が設定され、該優先順位に従って前記周辺領域平均輝度が算出されることを特徴とする請求項1または2に記載の外観検査装置に存する。
請求項5記載の発明の要旨は、前記差分値における差分閾値が設定され、前記特定された画素において前記優先順位に従って前記複数の周辺領域に対応する前記差分値が順次算出され、前記差分値が前記差分閾値を超えた場合には、当該差分値を前記代表差分値として抽出し、当該差分値に対応する周辺領域の優先順位よりも後の優先順位をもつ周辺領域に対応する差分値の算出を行わないことを特徴とする請求項4に記載の外観検査装置に存する。
請求項6記載の発明の要旨は、前記優先順位は、前記各周辺領域の占める画素数の少ない順番に設定されることを特徴とする請求項4または5に記載の外観検査装置に存する。
請求項7記載の発明の要旨は、前記代表差分値における代表差分閾値が設定され、該代表差分閾値と前記代表差分値との比較によって、前記各画素がむら領域に含まれるか否かを判定するむら領域抽出手段をさらに具備することを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の外観検査装置に存する。
請求項8記載の発明の要旨は、前記むら領域に含まれると判定された画素の集合体をむらと判定することを特徴とする請求項7に記載の外観検査装置に存する。
請求項9記載の発明の要旨は、前記むらの大きさを計測するむら計測手段をさらに具備することを特徴とする請求項8に記載の外観検査装置に存する。
請求項10記載の発明の要旨は、前記むら計測手段は前記むらを構成する画素数を計測することを特徴とする請求項9に記載の外観検査装置に存する。
請求項11記載の発明の要旨は、前記複数の周辺領域は環状であり、かつ互いに重複しないことを特徴とする請求項1乃至10のいずれか1項に記載の外観検査装置に存する。
請求項12記載の発明の要旨は、画像データ中のむらを検出することができる外観検査方法であって、中心領域と、該中心領域の周囲に複数の周辺領域とを設定し、前記画像データにおける画素を特定し、該画素に対応する中心領域における各画素の濃淡値の平均である中心領域平均輝度を算出し、前記画素に対応する中心領域に対応した前記周辺領域における各画素の濃淡値の平均である周辺領域平均輝度を前記複数の周辺領域毎に算出し、前記中心領域平均輝度と前記各周辺領域平均輝度との差分値を前記各周辺領域毎に算出し、前記各差分値の中から代表差分値を抽出することを特徴とする外観検査方法に存する。
請求項13記載の発明の要旨は、前記画像データ中における各画素について算出された前記代表差分値に基づいてむらを検出することを特徴とする請求項12に記載の外観検査方法に存する。
請求項14記載の発明の要旨は、前記複数の周辺領域に対応した複数の差分値のうちの最大値を代表差分値として抽出することを特徴とする請求項12または13に記載の外観検査方法に存する。
請求項15記載の発明の要旨は、前記複数の周辺領域において優先順位が設定され、該優先順位に従って前記周辺領域平均輝度を算出することを特徴とする請求項12または13に記載の外観検査方法に存する。
請求項16記載の発明の要旨は、前記差分値における差分閾値が設定され、前記優先順位に従って前記複数の周辺領域に対応する前記差分値を算出し、前記差分値が前記差分閾値を超えた場合には、当該差分値を前記代表差分値として抽出し、当該差分値に対応する周辺領域の優先順位よりも後の優先順位をもつ周辺領域に対応する差分値の算出を行わないことを特徴とする請求項15に記載の外観検査方法に存する。
請求項17記載の発明の要旨は、前記優先順位は、前記各周辺領域の占める画素数の少ない順番に設定されることを特徴とする請求項15または16に記載の外観検査方法に存する。
請求項18記載の発明の要旨は、前記代表差分値における代表差分閾値が設定され、該代表差分閾値と前記代表差分値との比較によって、前記各画素がむら領域に含まれるか否かを判定することを特徴とする請求項12乃至17のいずれか1項に記載の外観検査方法に存する。
請求項19記載の発明の要旨は、前記むら領域に含まれると判定された画素の集合体をむらと判定することを特徴とする請求項18に記載の外観検査方法に存する。
請求項20記載の発明の要旨は、前記むらの大きさを計測することを特徴とする請求項19に記載の外観検査方法に存する。
請求項21記載の発明の要旨は、前記むらを構成する画素数を計測することを特徴とする請求項19または20に記載の外観検査方法に存する。
請求項22記載の発明の要旨は、前記複数の周辺領域は環状であり、かつ互いに重複しないことを特徴とする請求項12乃至21のいずれか1項に記載の外観検査方法に存する。
In order to solve the above problems, the present invention has the following configurations.
The gist of the invention described in claim 1 is an appearance inspection apparatus for detecting a nonuniform region in image data, a region setting means for setting a central region and a plurality of peripheral regions around the central region, and the image Center area average luminance calculating means for identifying a pixel in the data and calculating a center area average luminance that is an average value of gray values of each pixel in the center area corresponding to the pixel in the image data; and a center corresponding to the pixel A peripheral area average luminance calculating means for calculating a peripheral area average luminance that is an average value of gray values of each pixel in the peripheral area corresponding to the area for each of the plurality of peripheral areas, the central area average luminance, and the peripheral areas An appearance inspection apparatus comprising: an average difference calculating unit that calculates a difference value with respect to an average luminance for each of the peripheral regions and extracts a representative difference value from each of the difference values. Exist for.
The gist of the invention described in claim 2 is to determine whether or not the pixel is included in the uneven region based on the representative difference value in each pixel in the image data. It exists in the appearance inspection device.
The gist of the invention described in claim 3 is characterized in that the average difference calculating means extracts a maximum value among a plurality of difference values corresponding to the plurality of peripheral regions as a representative difference value. 2. It exists in the external appearance inspection apparatus of 2.
The gist of the invention described in claim 4 is that the priorities are set in the plurality of peripheral areas, and the average luminance in the peripheral areas is calculated according to the priorities. Exists in the device.
The gist of the invention described in claim 5 is that a difference threshold value in the difference value is set, the difference values corresponding to the plurality of peripheral regions are sequentially calculated in the specified pixel according to the priority order, and the difference value is When the difference threshold is exceeded, the difference value is extracted as the representative difference value, and the difference value corresponding to the peripheral region having a priority order later than the priority order of the peripheral region corresponding to the difference value is calculated. 5. The appearance inspection apparatus according to claim 4, wherein the inspection is not performed.
The gist of the invention described in claim 6 resides in the appearance inspection apparatus according to claim 4 or 5, wherein the priorities are set in the order of decreasing number of pixels occupied by the respective peripheral regions.
The gist of the invention described in claim 7 is that a representative difference threshold value in the representative difference value is set, and it is determined whether or not each pixel is included in the uneven region by comparing the representative difference threshold value with the representative difference value. 7. The appearance inspection apparatus according to claim 1, further comprising an uneven area extraction unit.
The gist of the invention described in claim 8 resides in the appearance inspection apparatus according to claim 7, wherein an assembly of pixels determined to be included in the uneven region is determined to be uneven.
The gist of the invention described in claim 9 is the appearance inspection apparatus according to claim 8, further comprising unevenness measuring means for measuring the size of the unevenness.
The gist of the invention described in claim 10 resides in the appearance inspection apparatus according to claim 9, wherein the unevenness measuring means measures the number of pixels constituting the unevenness.
The gist of the invention described in claim 11 resides in the appearance inspection apparatus according to any one of claims 1 to 10, wherein the plurality of peripheral regions are annular and do not overlap each other.
The gist of the invention described in claim 12 is an appearance inspection method capable of detecting unevenness in image data, wherein a central region and a plurality of peripheral regions around the central region are set, and the image data A pixel is specified, a central area average luminance that is an average of the gray values of each pixel in the central area corresponding to the pixel is calculated, and the gray value of each pixel in the peripheral area corresponding to the central area corresponding to the pixel is calculated. An average peripheral area average luminance is calculated for each of the plurality of peripheral areas, a difference value between the central area average luminance and each of the peripheral area average luminances is calculated for each of the peripheral areas. The visual inspection method is characterized in that representative difference values are extracted from.
The gist of the invention described in claim 13 resides in the appearance inspection method according to claim 12, wherein unevenness is detected based on the representative difference value calculated for each pixel in the image data.
The gist of the invention described in claim 14 is that the maximum value among a plurality of difference values corresponding to the plurality of peripheral regions is extracted as a representative difference value. Exist.
The gist of the invention described in claim 15 is that the priority order is set in the plurality of peripheral areas, and the peripheral area average luminance is calculated according to the priority order. Exist.
The gist of the invention of claim 16 is a case where a difference threshold value in the difference value is set, the difference value corresponding to the plurality of peripheral regions is calculated according to the priority, and the difference value exceeds the difference threshold value. Is characterized in that the difference value is extracted as the representative difference value, and the difference value corresponding to a peripheral region having a priority after the priority of the peripheral region corresponding to the difference value is not calculated. The present invention resides in an appearance inspection method according to claim 15.
The gist of the invention described in claim 17 resides in the appearance inspection method according to claim 15 or 16, characterized in that the priority is set in the order of decreasing number of pixels occupied by the respective peripheral regions.
The gist of the invention described in claim 18 is that a representative difference threshold value in the representative difference value is set, and it is determined whether or not each pixel is included in the uneven region by comparing the representative difference threshold value with the representative difference value. It exists in the external appearance inspection method of any one of Claim 12 thru | or 17 characterized by the above-mentioned.
The gist of the invention described in claim 19 resides in the appearance inspection method according to claim 18, characterized in that an assembly of pixels determined to be included in the uneven region is determined to be uneven.
The gist of the invention described in claim 20 resides in the appearance inspection method according to claim 19, characterized in that the size of the unevenness is measured.
The gist of the invention described in claim 21 resides in the appearance inspection method according to claim 19 or 20, wherein the number of pixels constituting the unevenness is measured.
The gist of the invention described in claim 22 resides in the appearance inspection method according to any one of claims 12 to 21, wherein the plurality of peripheral regions are annular and do not overlap each other.
本発明によれば、大きさや形状が異なるむらが混在する場合においても、むらの検出を安定して自動的かつ効率的に行うことができる外観検査装置及び外観検査方法を提供することができる。 ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, even when the nonuniformity from which a magnitude | size and a shape coexist, the external appearance inspection apparatus and external appearance inspection method which can detect an unevenness stably and automatically can be provided.
(第1の実施の形態)
以下、本発明の第1の実施の形態に係る外観検査装置および検査方法について、図面を参照して説明する。 図1は、本実施の形態に係る外観検査装置の構成図である。この外観検査装置1には、検査対象となる2次元の画像データ、すなわち、2次元の画像における各画素の輝度(濃淡値)を示すデータが入力される。この画像データは、プラズマディスプレイ、液晶ディスプレイ等の被検査対象となる表示デバイス(図示せず)の表示画面の画像を撮像して得られたものであり、むらを検出すべき検査画像のデータである。この撮像の方式は、検出すべきむらにおける画素間の輝度の変化が検知できるものであれば、特に限定されないが、例えば固体撮像素子を用いたカメラを用いれば、高解像度かつ高感度の画像が得られるため、特に好ましい。また、むらの種類に応じて、この画像には白黒画像を用いてもよいし、カラー画像を用いてもよい。後者の場合には、例えばRGB毎に3種類の画像データとして、各種類毎に以降の処理を行ってもよいし、RGB毎の信号を変換した量を用いて以降の処理を行ってもよい。
(First embodiment)
Hereinafter, an appearance inspection apparatus and an inspection method according to a first embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a configuration diagram of an appearance inspection apparatus according to the present embodiment. The appearance inspection apparatus 1 is input with two-dimensional image data to be inspected, that is, data indicating the luminance (shading value) of each pixel in the two-dimensional image. This image data is obtained by taking an image of a display screen of a display device (not shown) to be inspected, such as a plasma display or a liquid crystal display, and is data of an inspection image in which unevenness is to be detected. is there. This imaging method is not particularly limited as long as it can detect a change in luminance between pixels in the unevenness to be detected. For example, if a camera using a solid-state imaging device is used, a high-resolution and high-sensitivity image can be obtained. Therefore, it is particularly preferable. Depending on the type of unevenness, this image may be a monochrome image or a color image. In the latter case, for example, the following processing may be performed for each type as three types of image data for each RGB, or the subsequent processing may be performed using the converted amount of the signal for each RGB. .
この外観検査装置1は、むらの検出を行う。検査画像におけるこのむら領域の内部は、その外部よりも輝度が高くなっている。このため、ここで検出するむら領域とは、画像データにおいて、その周辺部分よりも輝度の高くなっていると認識される領域である。 This appearance inspection apparatus 1 detects unevenness. The brightness of the inside of this uneven area in the inspection image is higher than that of the outside. For this reason, the nonuniformity area detected here is an area in the image data that is recognized as having a higher luminance than the surrounding area.
また、図2は、この外観検査方法を示すフロー図である。以下に、図1及び図2に基づいてこの外観検査方法について説明する。 FIG. 2 is a flowchart showing this appearance inspection method. Hereinafter, the appearance inspection method will be described with reference to FIGS. 1 and 2.
まず、図1に示す外観検査装置1においては、前記の画像データは画像入力部11に入力する(S1)。 First, in the appearance inspection apparatus 1 shown in FIG. 1, the image data is input to the image input unit 11 (S1).
一方、領域設定部12は入力部13に接続されている。入力部13はキーボードやディスプレイ等を具備し、利用者(検査者)はこれらを用いて、画像データにおけるむら検出に用いる中心領域の形状及び大きさを任意に設定することができ、これを入力する(S2)。この設定は画像データにおける画素単位でなされる。 On the other hand, the region setting unit 12 is connected to the input unit 13. The input unit 13 includes a keyboard, a display, and the like, and a user (inspector) can arbitrarily set the shape and size of the central region used for unevenness detection in the image data using these. (S2). This setting is made in units of pixels in the image data.
同様に、利用者はN種類の周辺領域(周辺領域1〜周辺領域N)について、その形状及び大きさを任意に設定することができ、これを入力する(S3)。この設定も画素単位でなされる。この数Nは任意とすることができる。 Similarly, the user can arbitrarily set the shape and size of N types of peripheral regions (peripheral region 1 to peripheral region N), and inputs them (S3). This setting is also made in units of pixels. This number N can be arbitrary.
中心領域と周辺領域との関係の例を示したのが図3である。この例においては、一つの升目が画像データにおける画素に対応し、周辺領域は3種類(N=3)としてある。ここで、Aの灰色領域が中心領域、Bの灰色領域が周辺領域1、Cの灰色領域が周辺領域2、Dの灰色領域が周辺領域3となっている。また、後述する対象画素は中心領域の中央の画素(黒色)となる。この例のように、各周辺領域は中心領域(3×3画素)を囲む環状であるが、各周辺領域は互いに重複しない構成とすることが好ましい。なお、中心領域の形状、対象画素と中心領域との位置関係、及び中心領域と各周辺領域との位置関係は任意に設定することができる。例えば、この例では中心領域は対象画素を含む3×3画素の構成をとっているが、これに限られるものではなく、例えば中心領域も環状とし、対象画素をその中心と設定することもできる。この場合は、対象画素は中心領域には含まれないことになる。 FIG. 3 shows an example of the relationship between the central region and the peripheral region. In this example, one cell corresponds to a pixel in the image data, and there are three types of peripheral regions (N = 3). Here, the gray area of A is the central area, the gray area of B is the peripheral area 1, the gray area of C is the peripheral area 2, and the gray area of D is the peripheral area 3. In addition, a target pixel described later is a central pixel (black) in the central region. As in this example, each peripheral region has an annular shape surrounding a central region (3 × 3 pixels), but it is preferable that the peripheral regions do not overlap each other. Note that the shape of the central region, the positional relationship between the target pixel and the central region, and the positional relationship between the central region and each peripheral region can be arbitrarily set. For example, in this example, the central region has a 3 × 3 pixel configuration including the target pixel. However, the present invention is not limited to this. For example, the central region may be annular and the target pixel may be set as the center. . In this case, the target pixel is not included in the central region.
なお、中心領域の設定(S2)と周辺領域の設定(S3)は前記の画像データの入力(S1)前に行ってもよい。 The central area setting (S2) and the peripheral area setting (S3) may be performed before the image data input (S1).
次に、中心領域平均算出部14は、画像データの中のある一つの画素(対象画素)を設定し(S4)、以下の計算を行う。すなわち、以下の計算は、画像データの中の各画素につき個別に算出され、全ての画素について処理が行われる。 Next, the center area average calculation unit 14 sets one pixel (target pixel) in the image data (S4), and performs the following calculation. That is, the following calculation is calculated individually for each pixel in the image data, and processing is performed for all the pixels.
中心領域平均算出部14は、対象画素に対応する中心領域における輝度(画像データにおける各画素の濃淡値)の平均値(中心領域平均輝度)を算出する(S5)。例えば、図3に示した中心領域が設定された場合には、対象画素を中心とした3×3画素における画素の濃淡値の平均値が算出される。 The center area average calculation unit 14 calculates the average value (center area average brightness) of the brightness (the gray value of each pixel in the image data) in the center area corresponding to the target pixel (S5). For example, when the center region shown in FIG. 3 is set, the average value of the gray values of the pixels in 3 × 3 pixels centering on the target pixel is calculated.
周辺領域1平均算出部151〜周辺領域N平均算出部15Nは、同様に、この中心領域に対応する周辺領域1〜周辺領域Nにおける各画素の濃淡値の平均値(周辺領域N平均輝度)を算出する(S6)。 Similarly, the peripheral region 1 average calculation unit 151 to the peripheral region N average calculation unit 15N similarly calculates the average value (peripheral region N average luminance) of the gray values of the pixels in the peripheral region 1 to the peripheral region N corresponding to the central region. Calculate (S6).
次に、平均差分算出部16は、中心領域平均輝度と周辺領域1平均輝度〜周辺領域N平均輝度との差分値(差分値1〜差分値N)を算出する。すなわち、(差分値1=中心領域平均輝度−周辺領域1平均輝度)〜(差分値N=中心領域平均輝度−周辺領域N平均輝度)を算出する(S7)。 Next, the average difference calculation unit 16 calculates a difference value (difference value 1 to difference value N) between the central region average luminance and the peripheral region 1 average luminance to the peripheral region N average luminance. That is, (difference value 1 = central region average luminance−peripheral region 1 average luminance) to (difference value N = central region average luminance−peripheral region N average luminance) is calculated (S7).
さらに、平均差分算出部16は、差分値1〜差分値Nの中から代表値(代表差分値)を抽出する。ここでは、代表差分値を(差分値1、差分値2、・・、差分値N)の最大値とする。この代表差分値をメモリに記憶する(S8)。この外観検査装置1においては、この代表差分値を用いてむらの検出を行う。 Furthermore, the average difference calculation unit 16 extracts a representative value (representative difference value) from the difference values 1 to N. Here, the representative difference value is the maximum value of (difference value 1, difference value 2,..., Difference value N). This representative difference value is stored in the memory (S8). In this appearance inspection apparatus 1, unevenness is detected using this representative difference value.
むら領域抽出部17には、予め前記の代表差分値に対する閾値(代表差分閾値)が設定されている。むら領域抽出部17は、前記の代表差分値がこの代表差分閾値よりも大きいか否かを判定する。大きいと判定された画素はむら領域に含まれると判定され、その判定結果をメモリに記憶する(S9)。ここで、記憶するデータとしては、画像データにおける対象画素の座標(位置)と前記の判定結果である。 A threshold value (representative difference threshold value) for the representative difference value is set in advance in the unevenness region extraction unit 17. The unevenness area extraction unit 17 determines whether or not the representative difference value is larger than the representative difference threshold value. The pixel determined to be large is determined to be included in the uneven region, and the determination result is stored in the memory (S9). Here, the data to be stored are the coordinates (position) of the target pixel in the image data and the determination result.
次に、画像データにおける全ての画素につきS5〜S9の処理を行ったか否かを判定する(S10)。全ての画素につき処理が行われていない場合には、次の画素が設定され(S4)、再びS5以降の処理が行われる。 Next, it is determined whether or not the processing of S5 to S9 has been performed for all the pixels in the image data (S10). If the process has not been performed for all the pixels, the next pixel is set (S4), and the processes after S5 are performed again.
本実施の形態においては、各画素における代表差分値をマッピングした画像においては、むらが容易に検出される。以下に、この原理につき説明する。 In the present embodiment, unevenness is easily detected in an image in which representative difference values in each pixel are mapped. This principle will be described below.
むら領域の内部における輝度はその外部における輝度と比べて高い。すなわち、対象画素がむら領域に含まれている場合には、対象画素近辺の画素の輝度は、その周辺の画素の輝度と比べて高くなっている。従って、対象画素近辺の画素の輝度とその周辺の画素の輝度との差分を調べることにより、この対象画素がむら領域に含まれるか否かを判定することが可能である。しかしながら、どの範囲を対象画素の近辺と定義し、どの範囲をその周辺と定義するかは一義的に決定できず、この検出に最適な範囲はむらの形状や大きさにより異なる。 The brightness inside the uneven area is higher than the brightness outside. That is, when the target pixel is included in the uneven region, the brightness of the pixels near the target pixel is higher than the brightness of the surrounding pixels. Therefore, it is possible to determine whether or not the target pixel is included in the uneven region by examining the difference between the brightness of the pixels near the target pixel and the brightness of the surrounding pixels. However, which range is defined as the vicinity of the target pixel and which range is defined as the periphery thereof cannot be uniquely determined, and the optimum range for this detection varies depending on the shape and size of the unevenness.
本実施の形態においては、対象画素近傍である範囲として中心領域が定義されている。ここで、図3に示すように、対象画素は中心領域の中心であるとする。一方、周辺領域1〜周辺領域NのN種類の領域をその周辺と定義している。このため、これらの領域内の平均輝度を算出し、中心領域と周辺領域1〜周辺領域Nとの平均輝度の差分を算出する。 In the present embodiment, a central region is defined as a range in the vicinity of the target pixel. Here, as shown in FIG. 3, it is assumed that the target pixel is the center of the central region. On the other hand, N types of regions of the peripheral region 1 to the peripheral region N are defined as the periphery thereof. For this reason, the average brightness in these areas is calculated, and the difference in average brightness between the central area and the peripheral areas 1 to N is calculated.
この検査方法を実際のむらに対して適用した例が図4〜6である。ここで、各領域の設定は図3のとおり(N=3)であるとし、検出すべきむら領域は各図において破線で示した矩形形状で示されるものとする。図4〜6においては、むらの大きさは異なっており、小(図4)、中(図5)、大(図6)となっている。また、むら領域の内部では各画素の濃淡値は1であり、外部では0であると単純化する。図4〜6のいずれにおいても、対象画素(黒色)の位置はX(むらの内部)、Y(むらの境界付近)、Z(むらの外部)の3種類について例示している。この場合、ある量において(Xにおける値)>(Yにおける値)>(Zにおける値)となっていれば、この量を用いて、対象画素がむら領域に含まれるか否かを識別することが可能となる。 An example in which this inspection method is applied to actual unevenness is shown in FIGS. Here, it is assumed that the setting of each area is as shown in FIG. 3 (N = 3), and the uneven area to be detected is indicated by a rectangular shape indicated by a broken line in each figure. 4 to 6, the size of the unevenness is different, and is small (FIG. 4), medium (FIG. 5), and large (FIG. 6). In addition, the shading value of each pixel is 1 inside the uneven region, and is simplified to 0 outside. In any of FIGS. 4 to 6, the position of the target pixel (black) is illustrated with respect to three types of X (inside the unevenness), Y (near the uneven boundary), and Z (outside the unevenness). In this case, if (value at X)> (value at Y)> (value at Z) in a certain amount, this amount is used to identify whether the target pixel is included in the uneven region. Is possible.
まず、むらが小さな場合(図4)において、図中の表に、中心領域平均輝度(IA)、周辺領域1平均輝度(IB)、周辺領域2平均輝度(IC)、周辺領域3平均輝度(ID)が各位置(X、Y、Z)について示してある。表の下部にはこれにより算出された差分値1(IA−IB)、差分値2(IA−IC)、差分値3(IA−ID)が示されている。差分値1〜差分値3のいずれにおいても、(Xにおける値)>(Yにおける値)>(Zにおける値)となっている。従って、差分値1〜差分値3のいずれを用いても、むら領域の識別が可能である。 First, when the unevenness is small (FIG. 4), the table in the figure shows the central area average luminance (I A ), the peripheral area 1 average luminance (I B ), the peripheral area 2 average luminance (I C ), and the peripheral area 3. Average brightness (I D ) is shown for each position (X, Y, Z). The bottom of the table were calculated by this difference value 1 (I A -I B), the difference value 2 (I A -I C), the difference value 3 (I A -I D) are shown. In any of the difference values 1 to 3, (value in X)> (value in Y)> (value in Z). Therefore, the uneven region can be identified using any one of the difference values 1 to 3.
次に、むらの大きさが中の場合(図5)において同様の計算を行った結果が同図中の表に示してある。差分値2、差分値3の場合には、むら領域を識別できる条件を満たした値が出力されているが、差分値1は位置Xで小さな値(0)を示すため、この条件を満たしていない。すなわち、差分値1はこの大きさのむらを識別する値としては使用できない。これは、周辺領域1(B)の大きさがこの大きさのむらを検出するために用いる周辺領域としては小さすぎるために不適であることを示している。 Next, the results of the same calculation when the unevenness is medium (FIG. 5) are shown in the table of FIG. In the case of the difference value 2 and the difference value 3, a value that satisfies the condition for identifying the uneven region is output, but since the difference value 1 indicates a small value (0) at the position X, this condition is satisfied. Absent. That is, the difference value 1 cannot be used as a value for identifying the unevenness of this size. This indicates that the size of the peripheral region 1 (B) is inappropriate because it is too small as a peripheral region used for detecting the unevenness of this size.
次に、むらが大きい場合(図6)において同様の計算を行った結果が同図中の表に示してある。差分値3の場合には、むら領域を識別できる条件を満たした値が出力されているが、差分値1、差分値2の場合にはこの条件を満たしていない。すなわち、差分値1、差分値2はこの大きさのむらを識別する値としては使用できない。これは、周辺領域1、周辺領域2がこの大きさのむらを検出するために用いる周辺領域としては適さないことを示している。 Next, the results of similar calculations when the unevenness is large (FIG. 6) are shown in the table of FIG. In the case of the difference value 3, a value that satisfies the condition for identifying the uneven area is output, but in the case of the difference value 1 and the difference value 2, this condition is not satisfied. That is, the difference value 1 and the difference value 2 cannot be used as values for identifying the unevenness in size. This indicates that the peripheral region 1 and the peripheral region 2 are not suitable as the peripheral region used for detecting the unevenness of this size.
一方、図4〜6において、表の最下段には代表差分値(すなわち、差分値1〜差分値3の最大値)が示してある。特に図5、図6の場合には差分値1〜差分値3の中でむら識別には適さないものがあったにもかかわらず、代表差分値を用いた場合にはいずれもむら領域の識別が可能となっている。代表差分値が得られた周辺領域は、各大きさのむらの検出に適したものとなっている、すなわち、差分値1〜差分値Nの中から最大値を選択することは、周辺領域1〜周辺領域Nの中からむら検出に適したものを選択したことに対応する。従って、本実施の形態においては、むらの大きさを予め想定せずに、初めに中心領域と周辺領域1〜周辺領域Nを設定すれば(S2、S3)、各種の大きさのむらが混在した場合でも、それぞれの大きさに応じて自動的に周辺領域1〜周辺領域Nの中から最適なものが選択されていることと等しい結果が得られる。 On the other hand, in FIGS. 4 to 6, representative difference values (that is, the maximum value of the difference values 1 to 3) are shown at the bottom of the table. In particular, in the case of FIG. 5 and FIG. 6, even if there is a difference value 1 to difference value 3 that is not suitable for unevenness identification, in the case where the representative difference value is used, both of these are identified. Is possible. The peripheral area from which the representative difference value is obtained is suitable for detection of unevenness of each size, that is, selecting the maximum value from the difference value 1 to the difference value N This corresponds to the selection of the one suitable for unevenness detection from the peripheral area N. Therefore, in this embodiment, if the center region and the peripheral region 1 to the peripheral region N are set first without assuming the size of the unevenness in advance (S2, S3), unevenness of various sizes is mixed. Even in this case, a result equal to that the optimum one is automatically selected from the peripheral regions 1 to N according to the respective sizes can be obtained.
また、この例のように、各周辺領域は中心領域を囲んだ環状であり、その大きさを異なるものとすることが好ましい。ただし、その形状は任意であり、図3では矩形の環状としているが、例えば円形の環状としてもよい。また、各周辺領域を構成する画素数は少ない方が計算時間の短縮化が図れるために好ましい。このため、図3の例では、各周辺領域は最小線幅(単位画素)で構成されている。 Further, as in this example, it is preferable that each peripheral region has an annular shape surrounding the central region, and the sizes thereof are different. However, the shape is arbitrary, and although it is a rectangular ring in FIG. 3, it may be, for example, a circular ring. Further, it is preferable that the number of pixels constituting each peripheral region is small because the calculation time can be shortened. For this reason, in the example of FIG. 3, each peripheral region is configured with a minimum line width (unit pixel).
なお、上記の例では、むらがいずれも矩形であり、その大きさが異なる場合につき説明したが、形状の異なるむらが混在する場合にあっても同様の効果が得られることは明らかである。従って、以上の計算によって得られた代表差分値をマッピングした場合には、その形状や大きさに関わらず、むらが容易に識別されることになる。 In the above example, the case where the unevenness is all rectangular and the sizes thereof are different has been described. However, it is obvious that the same effect can be obtained even when unevenness having different shapes are mixed. Therefore, when the representative difference value obtained by the above calculation is mapped, unevenness can be easily identified regardless of its shape and size.
全ての画素につきS5〜S9の処理が行われた場合には、代表差分値をマッピングしたむら画像を表示する(S11)。むら画像としては、例えば、代表差分値が代表差分閾値よりも大きな画素を黒色、代表差分閾値以下である画素を白色として2次元表示したものをディスプレイに表示させることができる。この代表差分閾値は、図4〜6の例においては、例えば 0.3程度の値に設定すれば、どの大きさのむらも検出できる。画像データにおいて、形状や大きさが異なるむらが多数混在している場合でも、このむら画像においては、各々が強調されて表示される。 When the processing of S5 to S9 is performed for all the pixels, a nonuniform image in which the representative difference values are mapped is displayed (S11). As a nonuniformity image, for example, a pixel whose representative difference value is larger than the representative difference threshold value is black, and a pixel whose representative difference threshold value is less than or equal to the representative difference threshold value is two-dimensionally displayed on the display. In the examples of FIGS. 4 to 6, for example, if the representative difference threshold is set to a value of about 0.3, unevenness of any size can be detected. Even when there are many unevennesses having different shapes and sizes in the image data, each of these unevenness images is displayed with being emphasized.
むら計測部18は、前記のむら画像において、むら領域に含まれると判定された画素が複数個隣接していた場合に、この集合体をむらと判定し、各むらの特徴量を計測する(S12)。むらの特徴量としては、むらの大きさ、むらの濃淡値を示す量が計測される。むらの大きさとしては、例えば、その長径、短径、周囲長、むらを構成する画素数等が計測される。むらの濃淡値としては、むらを構成する画素における代表差分値の最大値を用いることもでき、むらを構成する画素における代表差分値の平均値を用いることもできる。むら計測部18は、これらの特徴量をむら判定部19に出力する。 The unevenness measurement unit 18 determines that the aggregate is uneven when a plurality of pixels determined to be included in the unevenness region are adjacent to each other in the unevenness image, and measures the feature amount of each unevenness (S12). ). As the unevenness feature amount, an amount indicating the unevenness size and the uneven shade value is measured. As the size of the unevenness, for example, the major axis, the minor axis, the peripheral length, the number of pixels constituting the unevenness, and the like are measured. As the uneven density value, the maximum value of the representative difference values in the pixels constituting the unevenness can be used, and the average value of the representative difference values in the pixels constituting the unevenness can also be used. The unevenness measurement unit 18 outputs these feature amounts to the unevenness determination unit 19.
むら判定部19は、計測されたむら特徴量と、予め設定されたむら特徴量の判定基準とを比較して(S13)、その判定結果を出力する(S14)。例えば、評価対象となる画像データに対して、むらの周囲長が設定値以上であったり、むらの濃淡値が設定値以上であった場合には、この画像データの元となった画像を表示したディスプレイは不良であると判定する。 The non-uniformity determination unit 19 compares the measured non-uniformity feature amount with a predetermined criterion for determining the non-uniformity feature amount (S13), and outputs the determination result (S14). For example, if the uneven perimeter of the image data to be evaluated is greater than or equal to the set value, or if the uneven gray value is greater than or equal to the set value, the image that is the source of this image data is displayed. The displayed display is determined to be defective.
以上により、この外観検査装置あるいは外観検査方法によって、むらを自動的かつ効率的に検出することができ、検査対象となる表示デバイスが不良品であるか否かを識別することが容易にできる。 As described above, this visual inspection apparatus or visual inspection method can automatically and efficiently detect unevenness, and can easily identify whether or not the display device to be inspected is a defective product.
この外観検査装置あるいは外観検査方法を、低周波のノイズが重畳された検査画像に適用した例につき説明する。ここで、検査画像は図7左に示すように、左側で暗く、右側で明るい傾向を有しており、この中に検出すべきむらが含まれている。ここで、むら領域を含んだ縦方向座標値Lにおける水平方向の輝度(濃淡値)のプロファイルが図7(1)である。ここで、輝度は、ライン全体にわたり左から右に暗から明へ緩やかに変化しており、その中に幅wd画素のむら部分が存在する。 An example in which this appearance inspection apparatus or appearance inspection method is applied to an inspection image on which low-frequency noise is superimposed will be described. Here, as shown in the left of FIG. 7, the inspection image has a tendency to be dark on the left side and bright on the right side, and includes unevenness to be detected. Here, the profile of the luminance in the horizontal direction (shading value) in the vertical coordinate value L including the uneven region is shown in FIG. Here, the luminance gradually changes from dark to bright from left to right over the entire line, and there is an uneven portion with a width wd pixel in the line.
単に各画素の輝度によりむら部分を抽出する場合には、例えば閾値をdとしてこれを識別する。この場合、図7(2)に示すように、むら部分に加えて、輝度がしきい値dよりも大きいラインの右側部分もむらとして認識されることになり、適切でない。 In the case where an uneven portion is simply extracted based on the luminance of each pixel, the threshold value is identified as d, for example. In this case, as shown in FIG. 7 (2), in addition to the uneven portion, the right portion of the line whose luminance is larger than the threshold value d is also recognized as uneven, which is not appropriate.
これに対して、この検査装置及び検査方法を用いた場合には、図8に示すように、D(むら外部)、E(むらを含む領域)、F(むら外部)のいずれの箇所においても、中心領域平均輝度と各周辺領域平均輝度との差のうちの一つである代表差分値が用いられ、低周波ノイズの影響はキャンセルされる。従って、この代表差分値を同様に表示すると、図9に示すように、むらのみが強調され、低周波のノイズの影響は除去されている。 On the other hand, when this inspection apparatus and inspection method are used, as shown in FIG. 8, in any part of D (outside unevenness), E (region including unevenness), and F (outside unevenness). The representative difference value, which is one of the differences between the central area average luminance and each peripheral area average luminance, is used, and the influence of the low frequency noise is cancelled. Accordingly, when this representative difference value is displayed in the same manner, as shown in FIG. 9, only the unevenness is emphasized, and the influence of low-frequency noise is removed.
次に、この外観検査装置あるいは外観検査方法を、高周波のノイズが重畳された検査画像に適用した例につき説明する。ここで、検査画像は図10左に示すように、ノイズによって個々の画素においてその輝度(濃淡値)は大きく変動しており、この中に検出すべきむらが含まれている。ここで、むら領域を含んだ縦方向座標値Lにおける水平方向の輝度のプロファイルが図10(1)である。ここで、輝度は、ライン全体にわたり細かく変動しており、その中に幅wd画素のむら部分が存在する。 Next, an example in which this appearance inspection apparatus or appearance inspection method is applied to an inspection image on which high-frequency noise is superimposed will be described. Here, as shown in the left side of FIG. 10, the inspection image has its luminance (shading value) greatly fluctuated in each pixel due to noise, and this includes unevenness to be detected. Here, the luminance profile in the horizontal direction in the vertical coordinate value L including the uneven region is shown in FIG. Here, the luminance varies finely over the entire line, and an uneven portion with a width wd pixel exists therein.
この場合も、各画素の輝度における閾値を用いてむらを識別する場合には、図10(2)に示すように、前記の低周波ノイズの場合と同様に、本来のむらでない領域がむらとして認識されることがあることは明らかである。 Also in this case, when the unevenness is identified using the threshold value in the luminance of each pixel, as shown in FIG. 10 (2), the original nonuniformity region is recognized as unevenness as in the case of the low-frequency noise. It is clear that there are things that are sometimes done.
これに対して、この検査装置及び検査方法を用いた場合には、図11に示すように、G(むら外部)、H(むらを含む領域)のいずれの箇所においても、中心領域平均輝度と各周辺領域平均輝度との差のうちの一つである代表差分値が用いられる。ここでは各領域における平均輝度が用いられるため、この高周波ノイズの影響は平均化されることにより除去される。このため、この代表差分値を同様に表示すると、図12に示すように、むらのみが強調され、高周波のノイズの影響は除去されている。 On the other hand, when this inspection apparatus and inspection method are used, as shown in FIG. 11, the central region average luminance is obtained at any point of G (outside of unevenness) and H (region including unevenness). A representative difference value that is one of the differences from the average luminance of each peripheral area is used. Here, since the average luminance in each region is used, the influence of the high frequency noise is removed by averaging. For this reason, when this representative difference value is displayed in the same manner, as shown in FIG. 12, only the unevenness is emphasized, and the influence of high-frequency noise is removed.
従って、上記の外観検査装置および外観検査方法によれば、形状や大きさが異なる複数種類のむらが混在する場合であっても、それぞれの種類のむらを検出することが容易である。 Therefore, according to the above-described appearance inspection apparatus and appearance inspection method, even when a plurality of types of unevenness having different shapes and sizes are mixed, it is easy to detect each type of unevenness.
なお、図4〜6の例ではN=3としたが、その数は任意とすることができ、Nを大きくした方が各種のむらに対して広く最適化が図れ、むらの検出能力が高くなる。一方、Nが小さい方が計算時間の短縮化や使用する計算機のメモリの節約が図れる。従って、予め検出されるむらの形状や大きさの範囲がわかっている場合には、これに応じた適切な周辺領域1〜周辺領域Nを設定すれば、その数を最小限とすることもでき、好ましい。 In the examples of FIGS. 4 to 6, N = 3, but the number can be arbitrary. Increasing N can be widely optimized for various types of unevenness, and the unevenness detection capability becomes higher. . On the other hand, when N is smaller, the calculation time can be shortened and the memory of the computer to be used can be saved. Therefore, if the range of the shape and size of the unevenness detected in advance is known, the number can be minimized by setting appropriate peripheral regions 1 to N corresponding to this. ,preferable.
(第2の実施の形態)
次に、本発明の第2の実施形態に係る外観検査装置および検査方法について、図面を参照して説明する。 図13は、本実施形態に係る外観検査装置30の構成図である。また、図14は、この検査方法を示すフロー図である。以下、これらに基づいてこの外観検査装置及び外観検査方法について説明する。
(Second Embodiment)
Next, an appearance inspection apparatus and inspection method according to a second embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 13 is a configuration diagram of an appearance inspection apparatus 30 according to the present embodiment. FIG. 14 is a flowchart showing this inspection method. Hereinafter, the appearance inspection apparatus and the appearance inspection method will be described based on these.
まず、この外観検査装置30においては、画像データは画像入力部31に入力する(S21)。 First, in the appearance inspection apparatus 30, the image data is input to the image input unit 31 (S21).
一方、領域設定部32は入力部33に接続されており、利用者(検査者)はこれらを用いて、画像データにおけるむら検出に用いる中心領域を設定する(S22)。 On the other hand, the region setting unit 32 is connected to the input unit 33, and the user (inspector) uses these to set a central region used for unevenness detection in the image data (S22).
同様に、利用者はN種類の周辺領域(周辺領域1〜周辺領域N)について、その形状及び大きさを任意に設定することができ、これを入力する(S23)。 Similarly, the user can arbitrarily set the shape and size of N types of peripheral areas (peripheral areas 1 to N), and inputs them (S23).
以上の工程及び各構成要素については前記の第1の実施の形態と異なる点はないため、その詳細な説明は省略する。第2の実施の形態に係る外観検査装置及び外観検査方法においては、特に以下に説明する工程及び構成要素の機能が異なる。 The above process and each component are not different from those of the first embodiment, and detailed description thereof is omitted. In the appearance inspection apparatus and the appearance inspection method according to the second embodiment, the processes and functions of constituent elements described below are particularly different.
周辺領域選択部36は、設定された周辺領域1〜周辺領域Nを以降の計算において適用する順番、すなわち、優先順位を決定する(S24)。ここで、優先順位を決定する基準とするのは、これらを構成する画素数とする。すなわち、画素数の少ない順に高い優先順位を設定する。例えば、図3の例においては、画素数が24である周辺領域1(B)が1位、画素数が40である周辺領域2(C)が2位、画素数が56である周辺領域3(D)が3位となる。 The peripheral area selection unit 36 determines the order in which the set peripheral areas 1 to N are applied in the subsequent calculations, that is, the priority order (S24). Here, the reference for determining the priority order is the number of pixels constituting these. That is, a higher priority is set in order from the smallest number of pixels. For example, in the example of FIG. 3, the peripheral region 1 (B) having 24 pixels is ranked first, the peripheral region 2 (C) having 40 pixels is ranked second, and the peripheral region 3 having 56 pixels (D) is third.
次に、中心領域平均算出部34は、画像データの中のある一つの画素(対象画素)を設定し(S25)、以下の計算を行う。すなわち、以下の計算は、画像データの中の各画素につき個別に算出され、全ての画素について算出される。 Next, the center area average calculation unit 34 sets one pixel (target pixel) in the image data (S25), and performs the following calculation. That is, the following calculation is calculated individually for each pixel in the image data, and is calculated for all pixels.
中心領域平均算出部34は、対象画素に対応する中心領域における輝度(画像データにおける画素の濃淡値)の平均値(中心領域平均輝度値)を算出する(S26)。工程S25、S26については前記の第1の実施の形態における図2のS4、S5と同様である。 The center area average calculation unit 34 calculates the average value (center area average brightness value) of the brightness (pixel gray value of the image data) in the center area corresponding to the target pixel (S26). Steps S25 and S26 are the same as S4 and S5 in FIG. 2 in the first embodiment.
次に、周辺領域選択部36は以降の計算で用いる周辺領域(適用周辺領域)を周辺領域1〜周辺領域Nの中から選択して設定する(S27)。この設定は前記の優先順位で行う。すなわち、最初は優先順位が1位となった周辺領域が適用周辺領域となる。 Next, the peripheral region selection unit 36 selects and sets the peripheral region (applied peripheral region) used in the subsequent calculations from the peripheral region 1 to the peripheral region N (S27). This setting is performed according to the above-mentioned priority order. In other words, the peripheral area having the first priority is the application peripheral area.
次に、周辺領域平均算出部35は、前記の中心領域に対応する適用周辺領域における各画素の濃淡値の平均値(適用周辺領域平均輝度)を算出する(S28)。 Next, the peripheral area average calculating unit 35 calculates the average value (applied peripheral area average luminance) of each pixel in the applied peripheral area corresponding to the central area (S28).
次に、平均差分判定部37は、中心領域平均輝度値と適用周辺領域平均輝度値との差分値を算出する(S29)。ここでは、この差分値に対応した差分閾値が予め設定されており、この差分値がこの差分閾値以上であるか否かを判定する(S30)。差分閾値以上であった場合には、その判定結果をメモリに記憶し、この対象画素についての処理はこれで終了する。このため、画像データにおける全ての画素につきS26〜S29の処理を行ったか否かを判定する(S32)。全ての画素につき処理が行われていない場合には、次の画素が設定され(S25)、再びS26以降の処理が行われる。 Next, the average difference determination unit 37 calculates a difference value between the central region average luminance value and the applied peripheral region average luminance value (S29). Here, a difference threshold value corresponding to this difference value is set in advance, and it is determined whether or not this difference value is equal to or greater than this difference threshold value (S30). If the difference is equal to or greater than the difference threshold, the determination result is stored in the memory, and the process for the target pixel is completed. Therefore, it is determined whether or not the processing of S26 to S29 has been performed for all the pixels in the image data (S32). If the process has not been performed for all the pixels, the next pixel is set (S25), and the processes after S26 are performed again.
ここで、差分閾値は、予め入力部33等から設定されて記憶されており、平均差分判定部37はこれを読み出し、上記の処理を行う。差分値が差分閾値以上であるということは、この対象画素がむら領域に含まれると判定されることに対応する。このため、この判定がされた時点で、他の周辺領域を用いた計算は不要となるため、この対象画素における処理は終了となる。 Here, the difference threshold value is set and stored in advance from the input unit 33 or the like, and the average difference determination unit 37 reads this and performs the above-described processing. That the difference value is greater than or equal to the difference threshold corresponds to the determination that the target pixel is included in the uneven region. For this reason, when this determination is made, calculation using another peripheral region is not necessary, and the processing for this target pixel is completed.
この差分値が差分閾値よりも小さかった場合(S30)には、全ての周辺領域(周辺領域1〜周辺領域N)につきS27〜S30の処理を行ったか否かを判定する(S31)。全ての周辺領域につき処理が行われていない場合には、次の適用周辺領域が設定され(S27)、以降の処理が行われる。すなわち、この対象画素について、新たな適用周辺領域が設定され、新たに計算が行われる。ここで、次の適用周辺領域とは、次の優先順位をもつ周辺領域である。 If this difference value is smaller than the difference threshold value (S30), it is determined whether or not the processing of S27 to S30 has been performed for all the peripheral regions (peripheral region 1 to peripheral region N) (S31). If the processing has not been performed for all the peripheral regions, the next applicable peripheral region is set (S27), and the subsequent processing is performed. That is, a new application peripheral area is set for this target pixel, and a new calculation is performed. Here, the next applicable peripheral area is a peripheral area having the next priority.
従って、本実施の形態においては、設定された周辺領域1〜周辺領域Nの全てについて計算が行う必要がなく、順次周辺領域が選択され、対象画素がむらに含まれると判定された時点で、その対象画素における処理は終了する。また、周辺領域1〜周辺領域Nの全てが適用されても差分値が差分閾値を超えた場合が無かった場合には、この対象画素はむらには含まれていないと判定され、その判定結果をメモリに記憶する。 Therefore, in this embodiment, it is not necessary to perform calculation for all of the set peripheral areas 1 to N, and when it is determined that the peripheral areas are sequentially selected and the target pixel is included unevenly, The process for the target pixel ends. If the difference value does not exceed the difference threshold even when all of the peripheral regions 1 to N are applied, it is determined that the target pixel is not included unevenly, and the determination result Is stored in the memory.
従って、全ての画素についての処理が終了した(S32)後には、全ての画素について、その画素がむらに含まれるか否かについての判定結果がメモリに記憶されている。このため、その判定結果を例えば白黒表示した2次元画像(むら画像)を作成することができる(S33)。 Therefore, after the processing for all the pixels is completed (S32), the determination result as to whether or not the pixels are included unevenly is stored in the memory for all the pixels. Therefore, it is possible to create a two-dimensional image (uneven image) in which the determination result is displayed in black and white, for example (S33).
なお、第1の実施の形態と同様に、このむら画像に基づいてむら特徴量の計測、良否判定等を行うことができるが、これらについては第1の実施の形態と同様であるため、ここでは省略した。 Note that, as in the first embodiment, it is possible to perform measurement of uneven feature values, pass / fail determination, and the like based on this uneven image. However, since these are the same as those in the first embodiment, here I omitted it.
第2の実施の形態に係る外観検査装置及び外観検査方法を図4〜6の場合に適用した場合につき説明する。この場合、各周辺領域における優先順位は、周辺領域1(B)が1位、周辺領域2(C)が2位、周辺領域3(D)が3位となる。差分閾値は、前記の代表差分閾値と同様に例えば0.3とすることができる。 The case where the appearance inspection apparatus and the appearance inspection method according to the second embodiment are applied to the cases of FIGS. In this case, the priority order in each peripheral region is the first in the peripheral region 1 (B), the second in the peripheral region 2 (C), and the third in the peripheral region 3 (D). The difference threshold value can be set to 0.3, for example, similarly to the representative difference threshold value.
むらが小さい場合(図4)には、位置Xにおいては、1回目に計算した差分値1において、既にこの差分閾値を超えているため、周辺領域2(C)、周辺領域3(D)についての計算は行わない。位置Yにおいては、2回目でこの差分閾値を超えるため、周辺領域(D)についての計算は行わない。位置Zについては、いずれの差分値も差分閾値を超えないため、すべての周辺領域についての計算が行われる。従って、図4の表における3箇所の位置における3種類の差分値(計9個)のうち、3個は計算を行わない。 When the unevenness is small (FIG. 4), since the difference value 1 calculated at the first time already exceeds the difference threshold at the position X, the peripheral region 2 (C) and the peripheral region 3 (D) Is not calculated. At the position Y, since this difference threshold is exceeded at the second time, the calculation for the peripheral region (D) is not performed. For the position Z, since no difference value exceeds the difference threshold value, calculation is performed for all the surrounding areas. Therefore, three of the three types of difference values (total of nine) at the three positions in the table of FIG. 4 are not calculated.
同様に、むらの大きさが中の場合(図5)には、位置X、Yにおける周辺領域3(D)についての計算は行わない。従って、図5の表における3箇所の位置における3種類の差分値(計9個)のうち、2個は計算を行わない。 Similarly, when the size of the unevenness is medium (FIG. 5), the calculation for the peripheral region 3 (D) at the positions X and Y is not performed. Accordingly, two of the three types of difference values (total of nine) at the three positions in the table of FIG. 5 are not calculated.
むらが大きい場合(図6)には、差分閾値を超えるのは位置Xにおける周辺領域3(D)及び位置Yにおける周辺領域3であるため、結局、図6の表における3箇所の位置における3種類の差分値(計9個)は全て計算される。 When the unevenness is large (FIG. 6), it is the peripheral region 3 (D) at the position X and the peripheral region 3 at the position Y that exceed the difference threshold value, so that 3 at three positions in the table of FIG. All kinds of difference values (total of 9) are calculated.
従って、図4〜6の例において差分値1〜差分値3を計算する27通りの場合のうち、5種類は計算を行うことがない。このため、第1の実施の形態の場合と比べて処理時間が短縮するという効果を奏する。この場合には周辺領域の数N=3であるが、Nが大きな場合には更にこの効果が大きくなることは明らかである。 Therefore, in 27 examples of calculating the difference value 1 to the difference value 3 in the examples of FIGS. For this reason, there is an effect that the processing time is shortened as compared with the case of the first embodiment. In this case, the number N of peripheral regions is 3, but it is obvious that this effect is further increased when N is large.
この外観検査装置30および検査方法によっても、第1の実施の形態と同様に、形状や大きさが異なる複数種類のむらが混在する場合であっても、それぞれの種類のむらを検出することが容易である。更に、設定された周辺領域1〜周辺領域Nの全てについて平均輝度値を算出する必要がないために、合計の処理時間が短くなるという効果を奏する。画素数の少ない周辺領域ほど平均輝度値の算出に要する時間は短くなり、画素数の少ない周辺領域が優先的に選択されるため、第2の実施の形態においては特にこの処理時間を短くすることができる。この効果は、特に周辺領域の数Nが大きな場合に有効である。 Even with the appearance inspection apparatus 30 and the inspection method, as in the first embodiment, even when a plurality of types of unevenness having different shapes and sizes are mixed, it is easy to detect each type of unevenness. is there. Furthermore, since it is not necessary to calculate the average luminance value for all of the set peripheral areas 1 to N, there is an effect that the total processing time is shortened. The peripheral area with a smaller number of pixels requires a shorter time for calculating the average luminance value, and the peripheral area with a smaller number of pixels is preferentially selected. Therefore, in the second embodiment, this processing time is particularly shortened. Can do. This effect is particularly effective when the number N of peripheral regions is large.
なお、上記の例においては、周辺領域を選択する優先順位を画素数の少ない順としたが、状況に応じ、この優先順位を適宜設定することができる。例えば、最も多く検出されるタイプのむらが予め予想できる場合は、このむらを検出するのに最も適した周辺領域の優先順位を高くすることにより、同様の効果が得られる。 In the above example, the priority order for selecting the peripheral region is set in the order of decreasing the number of pixels. However, this priority order can be appropriately set according to the situation. For example, when the most frequently detected type of unevenness can be predicted in advance, the same effect can be obtained by increasing the priority of the peripheral region most suitable for detecting this unevenness.
また、第1、第2の実施の形態においては画像データにおける全ての画素につき上記の処理を行ったが、予めむらが発生していると想定される領域がわかっている場合には、この領域についてのみ上記の処理を行うことにより、より効率的にむらを検出することができる。 In the first and second embodiments, the above-described processing is performed for all the pixels in the image data. If an area in which unevenness is assumed to be known is known in advance, this area is used. Unevenness can be detected more efficiently by performing the above-described processing only for.
なお、上記の例においては、中心領域を1種類とし、N種類の周辺領域を用いていたが、更に中心領域を大きさ及び/または形状の異なる複数種類として同様の計算を行うことも可能である。中心領域を複数種類とし、周辺領域を1種類とすることもできる。 In the above example, one type of central region is used and N types of peripheral regions are used. However, it is also possible to perform the same calculation by setting the central region to a plurality of types having different sizes and / or shapes. is there. There can be a plurality of types of central regions and a single type of peripheral region.
なお、上記の例においては検出するむらは、検査画像において、その周辺部分よりも輝度の高くなっている領域であるとしたが、逆に周辺領域よりも輝度の小さな領域をむらと設定することもできる。この場合においても、上記の例における差分値等の大小関係を逆にすれば同様にむらが検出できることは明らかである。 In the above example, the non-uniformity to be detected is an area whose brightness is higher than that of the peripheral part in the inspection image, but conversely, an area whose brightness is smaller than that of the peripheral area should be set to be non-uniform. You can also. Even in this case, it is obvious that the unevenness can be similarly detected by reversing the magnitude relationship of the difference value or the like in the above example.
1、30 外観検査装置
11、31 画像入力部
12、32 領域設定部
13、33 入力部
14、34 中心領域平均算出部
151〜15N 周辺領域1平均算出部〜周辺領域N平均算出部
16 平均差分算出部
17、38 むら領域抽出部
18、39 むら計測部
19、40 むら判定部
35 周辺領域平均算出部
36 周辺領域選択部
37 平均差分判定部
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1, 30 Appearance inspection apparatus 11, 31 Image input part 12, 32 Area setting part 13, 33 Input part 14, 34 Central area average calculation part 151-15N Peripheral area 1 average calculation part-Peripheral area N average calculation part 16 Average difference Calculation unit 17, 38 Uneven region extraction unit 18, 39 Uneven measurement unit 19, 40 Unevenness determination unit 35 Peripheral region average calculation unit 36 Peripheral region selection unit 37 Average difference determination unit
Claims (22)
中心領域と、該中心領域の周囲の複数の周辺領域とを設定する領域設定手段と、
前記画像データにおける画素を特定し、前記画像データにおいて該画素に対応する中心領域における各画素の濃淡値の平均値である中心領域平均輝度を算出する中心領域平均輝度算出手段と、
前記画素に対応する中心領域に対応した前記周辺領域における各画素の濃淡値の平均値である周辺領域平均輝度を前記複数の周辺領域毎に算出する周辺領域平均輝度算出手段と、
前記中心領域平均輝度と前記各周辺領域平均輝度との差分値を前記各周辺領域毎に算出し、前記各差分値の中から代表差分値を抽出する平均差分算出手段と、
を具備することを特徴とする外観検査装置。 An appearance inspection apparatus for detecting uneven areas in image data,
A region setting means for setting a central region and a plurality of peripheral regions around the central region;
A central area average luminance calculating unit that identifies a pixel in the image data and calculates a central area average luminance that is an average value of gray values of pixels in the central area corresponding to the pixel in the image data;
A peripheral area average luminance calculating means for calculating a peripheral area average luminance that is an average value of gray values of each pixel in the peripheral area corresponding to the central area corresponding to the pixel for each of the plurality of peripheral areas;
Calculating a difference value between the central region average luminance and each peripheral region average luminance for each peripheral region, and extracting a representative difference value from the difference values;
A visual inspection apparatus comprising:
前記特定された画素において前記優先順位に従って前記複数の周辺領域に対応する前記差分値が順次算出され、前記差分値が前記差分閾値を超えた場合には、当該差分値を前記代表差分値として抽出し、当該差分値に対応する周辺領域の優先順位よりも後の優先順位をもつ周辺領域に対応する差分値の算出を行わないことを特徴とする請求項4に記載の外観検査装置。 A difference threshold in the difference value is set,
In the specified pixel, the difference values corresponding to the plurality of peripheral regions are sequentially calculated according to the priority order, and when the difference value exceeds the difference threshold, the difference value is extracted as the representative difference value. 5. The appearance inspection apparatus according to claim 4, wherein a difference value corresponding to a peripheral area having a priority after the priority of the peripheral area corresponding to the difference value is not calculated.
該代表差分閾値と前記代表差分値との比較によって、前記各画素がむら領域に含まれるか否かを判定するむら領域抽出手段をさらに具備することを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の外観検査装置。 A representative difference threshold in the representative difference value is set,
7. The uneven region extracting means for determining whether or not each pixel is included in the uneven region by comparing the representative difference threshold value with the representative difference value. Item 1. An appearance inspection apparatus according to item 1.
中心領域と、該中心領域の周囲に複数の周辺領域とを設定し、
前記画像データにおける画素を特定し、該画素に対応する中心領域における各画素の濃淡値の平均である中心領域平均輝度を算出し、
前記画素に対応する中心領域に対応した前記周辺領域における各画素の濃淡値の平均である周辺領域平均輝度を前記複数の周辺領域毎に算出し、
前記中心領域平均輝度と前記各周辺領域平均輝度との差分値を前記各周辺領域毎に算出し、
前記各差分値の中から代表差分値を抽出することを特徴とする外観検査方法。 An appearance inspection method capable of detecting unevenness in image data,
Set a central area and a plurality of peripheral areas around the central area,
Identify a pixel in the image data, and calculate a central area average luminance that is an average of the gray value of each pixel in the central area corresponding to the pixel;
Calculating a peripheral area average luminance that is an average of the gray values of each pixel in the peripheral area corresponding to the central area corresponding to the pixel for each of the plurality of peripheral areas;
A difference value between the central area average luminance and each peripheral area average luminance is calculated for each peripheral area,
A visual inspection method, wherein a representative difference value is extracted from each of the difference values.
前記優先順位に従って前記複数の周辺領域に対応する前記差分値を算出し、前記差分値が前記差分閾値を超えた場合には、当該差分値を前記代表差分値として抽出し、当該差分値に対応する周辺領域の優先順位よりも後の優先順位をもつ周辺領域に対応する差分値の算出を行わないことを特徴とする請求項15に記載の外観検査方法。 A difference threshold in the difference value is set,
The difference values corresponding to the plurality of surrounding areas are calculated according to the priority order, and when the difference value exceeds the difference threshold, the difference value is extracted as the representative difference value and corresponds to the difference value The visual inspection method according to claim 15, wherein a difference value corresponding to a peripheral area having a priority after the priority of the peripheral area to be calculated is not calculated.
該代表差分閾値と前記代表差分値との比較によって、前記各画素がむら領域に含まれるか否かを判定することを特徴とする請求項12乃至17のいずれか1項に記載の外観検査方法。 A representative difference threshold in the representative difference value is set,
18. The appearance inspection method according to claim 12, wherein it is determined whether or not each pixel is included in a nonuniform region by comparing the representative difference threshold value with the representative difference value. .
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