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JP2008171490A - Perpendicular recording discrete track medium and servo pattern magnetization method thereof - Google Patents

Perpendicular recording discrete track medium and servo pattern magnetization method thereof Download PDF

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JP2008171490A
JP2008171490A JP2007002452A JP2007002452A JP2008171490A JP 2008171490 A JP2008171490 A JP 2008171490A JP 2007002452 A JP2007002452 A JP 2007002452A JP 2007002452 A JP2007002452 A JP 2007002452A JP 2008171490 A JP2008171490 A JP 2008171490A
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JP
Japan
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servo
recording
area
layer
soft magnetic
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Application number
JP2007002452A
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Japanese (ja)
Inventor
Kiminori Sato
公紀 佐藤
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Fuji Electric Co Ltd
Original Assignee
Fuji Electric Device Technology Co Ltd
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Publication date
Application filed by Fuji Electric Device Technology Co Ltd filed Critical Fuji Electric Device Technology Co Ltd
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Abstract

【課題】サーボ信号再生時の強度変更および波形整形の必要性の排除、ヘッド位置決めの精度の向上、ならびにトラック記録密度の向上を達成するための、両振幅のサーボ信号を有するサーボパターン磁化方法の提供。
【解決手段】マスターディスクを用いる垂直記録ディスクリートトラックメディアのサーボパターン磁化方法であって、マスターディスクにサーボパターンに対応する位置に設けられた軟磁性層からの漏れ磁界によって、サーボ領域に、基板に垂直で、かつ反対向きの2種の磁化の組からなるサーボ信号を転写する工程を含むことを特徴とするサーボパターン磁化方法。
【選択図】図4
A servo pattern magnetizing method having servo signals of both amplitudes for eliminating the need for intensity change and waveform shaping during servo signal reproduction, improving head positioning accuracy, and improving track recording density. Provided.
A servo pattern magnetization method for a perpendicular recording discrete track medium using a master disk, wherein a magnetic field leaks from a soft magnetic layer provided on the master disk at a position corresponding to the servo pattern, and is applied to a servo area. A servo pattern magnetization method comprising a step of transferring a servo signal composed of a pair of two types of magnetizations which are perpendicular and opposite to each other.
[Selection] Figure 4

Description

本発明は、垂直記録ディスクリートトラックメディアおよびそのサーボパターン磁化方法に関する。   The present invention relates to a perpendicular recording discrete track medium and a servo pattern magnetization method thereof.

1997年以降、HDDの記録密度は年率60〜100%の割合で急速に増加してきた。このような著しい成長の結果、これまで用いられてきた面内記録方式が高密度化の限界に近づこうとしている。このような状況から、近年、高密度化が可能な垂直記録方式が注目を浴び、盛んにその研究開発がなされてきた。そしていよいよ2005年より、一部の機種で垂直記録方式を採用したHDDの製品化が始まっている。   Since 1997, the recording density of HDDs has increased rapidly at an annual rate of 60-100%. As a result of such remarkable growth, the in-plane recording method used so far is approaching the limit of higher density. Under such circumstances, in recent years, a perpendicular recording method capable of increasing the density has attracted attention, and research and development has been actively conducted. Finally, in 2005, the commercialization of HDDs that adopted the perpendicular recording method for some models began.

垂直磁気記録媒体は、主に、硬質磁性材料の磁気記録層と、磁気記録層を目的の方向に配向させるための下地層、磁気記録層の表面を保護する保護膜、および磁気記録層への記録に用いられる磁気ヘッドが発生する磁束を集中させる役割を担う軟磁性層から構成される。   A perpendicular magnetic recording medium mainly includes a magnetic recording layer of a hard magnetic material, an underlayer for orienting the magnetic recording layer in a desired direction, a protective film for protecting the surface of the magnetic recording layer, and a magnetic recording layer. It is composed of a soft magnetic layer that plays a role of concentrating a magnetic flux generated by a magnetic head used for recording.

垂直磁気記録媒体のさらなる記録密度向上を目的として、複数の記録トラックを磁気的に分離したディスクリートトラックメディアの研究開発がなされてきている。図6(a)に、従来技術のディスクリートトラックメディアの模式的上面図を示す。ディスクリートトラックメディア500は、データを記録するための複数の記録トラックを有する記録領域510と、該各トラックの幅方向位置を検出するためのサーボパターンを有するサーボ領域520とからなるセクタ530が、ディスク状の基板上にその円周方向を分割して複数形成されてなる。図6(b)は、ディスクリートトラックメディアのセクタ530の一部の領域540を拡大および直線状に伸ばし、記録領域510およびサーボ領域520の構造を例示する図である。記録領域510内の複数の記録トラック512、ならびにサーボ領域520において各トラックの位置情報を担持する複数のサーボブロック522のそれぞれは、物理的凹凸として形成されている。ここで、複数のトラック512および複数のサーボブロック522は、リソグラフィ技術を用いて磁気記録層をエッチングすることによって形成されている。複数のトラック512のそれぞれは、メディア中心から等距離に位置するトラック512が一緒になって、同心円状のトラック514を形成している。複数のトラック512のそれぞれは、隣接するトラック512との間に存在する物理的凹凸によって、隣接するトラック512と磁気的に分離されており、それらの間の磁気的干渉が緩和されている。   For the purpose of further improving the recording density of the perpendicular magnetic recording medium, research and development of discrete track media in which a plurality of recording tracks are magnetically separated have been performed. FIG. 6A shows a schematic top view of a conventional discrete track medium. The discrete track medium 500 includes a sector 530 having a recording area 510 having a plurality of recording tracks for recording data and a servo area 520 having a servo pattern for detecting the position in the width direction of each track. A plurality of substrates are formed by dividing the circumferential direction on a substrate. FIG. 6B is a diagram illustrating the structure of the recording area 510 and the servo area 520 by enlarging and linearly extending a partial area 540 of the sector 530 of the discrete track medium. Each of the plurality of recording tracks 512 in the recording area 510 and the plurality of servo blocks 522 carrying the position information of each track in the servo area 520 are formed as physical irregularities. Here, the plurality of tracks 512 and the plurality of servo blocks 522 are formed by etching the magnetic recording layer using a lithography technique. Each of the plurality of tracks 512 forms a concentric track 514 by combining the tracks 512 located at an equal distance from the media center. Each of the plurality of tracks 512 is magnetically separated from the adjacent tracks 512 by physical unevenness existing between the adjacent tracks 512, and the magnetic interference between them is reduced.

従来技術のディスクリートトラックメディアに対するサーボパターン磁化方法の例を図7に示す。ディスクリートトラックメディアは、一般に、非磁性基板610、軟磁性層620および複数の部分に分割された磁気記録層630を少なくとも含む構造を有する。サーボパターンの磁化は、図7(a)に示すように、基板垂直方向の磁界を付与する単磁極ヘッド550(ここで、S極がディスクリートトラックメディアに対向する例を示した)を、ディスクリートトラックメディアの磁気記録層630の近傍に配置し、周方向(トラック方向)に移動させる。この工程によって得られる磁化を図7(b)に示す。磁気記録層630s(サーボブロック522)および630r(トラック512)の両方に、基板垂直方向の一方(ここでは上向き)の磁化が付与される。   An example of a servo pattern magnetization method for a discrete track medium of the prior art is shown in FIG. A discrete track medium generally has a structure including at least a nonmagnetic substrate 610, a soft magnetic layer 620, and a magnetic recording layer 630 divided into a plurality of portions. As shown in FIG. 7A, the servo pattern is magnetized by applying a single pole head 550 that applies a magnetic field in the direction perpendicular to the substrate (here, an example in which the S pole faces the discrete track medium) to the discrete track medium. It is arranged near the magnetic recording layer 630 of the medium and moved in the circumferential direction (track direction). The magnetization obtained by this process is shown in FIG. Magnetization in one direction (here, upward) in the direction perpendicular to the substrate is imparted to both the magnetic recording layers 630s (servo block 522) and 630r (track 512).

次いで、ディスクリートトラックメディアに対する情報記録の工程は、図7(c)に示すように、単磁極ヘッド560を用いて情報に応じた垂直方向磁化(上向きおよび下向きの両方向)を磁気記録層630r(トラック512)に付与することによって実施される。次いで、再生用ヘッドを用いて、磁気記録層630の磁化を読み出した際の信号を図7(d)に示す。図7(d)に明確に示されるように、記録領域510のデータ信号が両振幅であるのに対して、サーボ領域520のサーボ信号は片振幅となる。   Next, in the information recording process for the discrete track medium, as shown in FIG. 7C, the single-pole head 560 is used to change the perpendicular magnetization (both upward and downward) according to the information to the magnetic recording layer 630r (track). 512). Next, FIG. 7D shows a signal when the magnetization of the magnetic recording layer 630 is read using the reproducing head. As clearly shown in FIG. 7D, the data signal in the recording area 510 has both amplitudes, whereas the servo signal in the servo area 520 has one amplitude.

サーボ信号が片振幅である場合、信号強度が半分以下となる。その結果として、ヘッド位置決めの精度が劣化し、トラック記録密度を高めることが困難となる。また、データ信号が両振幅であるため、サーボ信号を読み出す場合およびデータ信号を読み出す場合に応じて信号強度の変更および/または波形整形を行う必要がある。   When the servo signal has a single amplitude, the signal intensity is less than half. As a result, the head positioning accuracy deteriorates and it becomes difficult to increase the track recording density. Further, since the data signal has both amplitudes, it is necessary to change the signal intensity and / or shape the waveform in accordance with the servo signal reading and the data signal reading.

この問題に対して、サーボゾーン内に配置するサーボパターン(位置検出マーク)を、複数ビット分を記録することができる磁気記録ブロック領域から構成し、該磁気記録ブロック領域に両振幅のサーボ信号(磁化反転信号)を記録する方法が提案されている(特許文献1参照)。また、サーボ信号領域に、保磁力の異なる2種の領域を有する垂直磁気記録層を用いる方法が提案されている(特許文献2参照)。この方法では、最初に充分な強度の垂直磁界を印加して垂直磁気記録層内の2種の領域を一方向に磁化する。次いで、2種の領域の一方の磁化のみを反転させる程度の強度の反対方向の垂直磁界を印加して、2種の領域の一方の磁化のみを反転させ、両振幅のサーボ信号を記録したサーボ信号領域を形成している。   To solve this problem, a servo pattern (position detection mark) arranged in the servo zone is composed of a magnetic recording block area capable of recording a plurality of bits, and servo signals (both amplitudes) (in the magnetic recording block area) A method of recording a magnetization reversal signal has been proposed (see Patent Document 1). In addition, a method using a perpendicular magnetic recording layer having two types of regions having different coercive forces in the servo signal region has been proposed (see Patent Document 2). In this method, a perpendicular magnetic field having a sufficient strength is first applied to magnetize two regions in the perpendicular magnetic recording layer in one direction. Next, by applying a perpendicular magnetic field in the opposite direction of the strength to reverse only one magnetization of the two types of regions, only one magnetization of the two types of regions is inverted, and a servo that records servo signals of both amplitudes. A signal area is formed.

また、2層の磁気記録層を有する長手方向磁気記録媒体において、サーボパターン(位置検出マーク)に相当する部分に軟磁性層を有するマスターディスクを用い、軟磁性層への磁束集中による長手方向の磁界強度の変化により、2層の磁気記録層のそれぞれに対する転写によるサーボパターンの形成が提案されている(特許文献3参照)。   Further, in a longitudinal magnetic recording medium having two magnetic recording layers, a master disk having a soft magnetic layer in a portion corresponding to a servo pattern (position detection mark) is used, and the longitudinal magnetic recording medium has a longitudinal direction due to magnetic flux concentration on the soft magnetic layer. There has been proposed formation of a servo pattern by transfer to each of two magnetic recording layers due to a change in magnetic field strength (see Patent Document 3).

特開2004−110896号公報JP 2004-110896 A 特開2003−016623号公報JP 2003-016623 A 特開2003−162815号公報JP 2003-162815 A

本発明の課題は、より簡便な工程を用いて、両振幅のサーボ信号を含むサーボパターンの磁化方法を提供することである。   An object of the present invention is to provide a method for magnetizing a servo pattern including servo signals of both amplitudes using a simpler process.

本発明の垂直記録ディスクリートトラックメディアは、
複数の記録トラックを有する記録領域と、該各トラックの幅方向位置を検出するためのサーボ信号を記録する複数のサーボ領域とを備え、
該複数のトラックのそれぞれは、基板上に他のトラックから分離して形成された軟磁性層と、軟磁性層上に他のトラックから分離して形成され、基板表面と垂直方向の磁化容易軸を有する磁気記録層とを含み、
該サーボ領域は、基板上に一体の連続層として形成されている軟磁性層と、軟磁性層上に一体の連続層として形成され、基板表面と垂直方向の磁化容易軸を有する磁気記録層とを含み、
該サーボ領域に、基板に垂直で、かつ反対向きの2種の磁化を有する複数の組からなるサーボ信号が記録されることを特徴とする。
The perpendicular recording discrete track medium of the present invention is
A recording area having a plurality of recording tracks, and a plurality of servo areas for recording servo signals for detecting the position in the width direction of each track;
Each of the plurality of tracks is a soft magnetic layer formed on the substrate separately from other tracks, and formed on the soft magnetic layer separately from other tracks, and has an easy axis of magnetization perpendicular to the substrate surface. A magnetic recording layer having
The servo area includes a soft magnetic layer formed as an integral continuous layer on the substrate, and a magnetic recording layer formed as an integral continuous layer on the soft magnetic layer and having an easy axis of magnetization perpendicular to the substrate surface; Including
Servo signals composed of a plurality of sets having two kinds of magnetizations perpendicular to the substrate and opposite to each other are recorded in the servo area.

本発明の垂直記録ディスクリートトラックメディアのサーボパターン磁化方法は、
複数の記録トラックを有する記録領域と、各トラックの幅方向位置を検出するためのサーボ信号を記録するサーボ領域とを備える垂直記録ディスクリートトラックメディアであって、該複数のトラックのそれぞれは、基板上に他のトラックから分離して形成された軟磁性層と、軟磁性層上に他のトラックから分離して形成され、基板表面と垂直方向の磁化容易軸を有する磁気記録層とを含み、該サーボ領域は、基板上に一体の連続層として形成されている軟磁性層と、軟磁性層上に一体の連続層として形成され、基板表面と垂直方向の磁化容易軸を有する磁気記録層とを含む垂直記録ディスクリートトラックメディアを準備する工程と、
支持体と、支持体に軟磁性層からなるサーボパターンが埋め込まれたサーボパターン埋め込み領域を有するマスターディスクであって、該サーボパターン埋め込み領域は、垂直記録ディスクリートトラックメディアのサーボ領域に対応する位置に形成され、かつサーボ信号を記録すべき位置において支持体にサーボパターンに形成されて埋め込まれた軟磁性層を含むマスターディスクを準備する工程と、
マスターディスクの上から磁界を印加して、軟磁性層からの漏れ磁界によって垂直記録ディスクリートトラックメディアのサーボ領域にサーボパターンを転写することによりサーボ信号を記録する工程と
を含み、サーボ信号は、基板に垂直で、かつ反対向きの2種の磁化を有する複数の組からなることを特徴とする。ここで、印加する磁界は、トラックの延びる方向への一様磁界であることが望ましい。また、サーボパターン埋め込み領域は、対応する位置のサーボ領域の幅の80%以上の幅を有することが望ましい。
Servo pattern magnetization method of perpendicular recording discrete track media of the present invention,
A perpendicular recording discrete track medium comprising a recording area having a plurality of recording tracks, and a servo area for recording a servo signal for detecting the position in the width direction of each track, each of the plurality of tracks on a substrate A soft magnetic layer formed separately from other tracks, and a magnetic recording layer formed on the soft magnetic layer separately from other tracks and having an easy axis of magnetization perpendicular to the substrate surface, The servo area includes a soft magnetic layer formed as an integral continuous layer on the substrate, and a magnetic recording layer formed as an integral continuous layer on the soft magnetic layer and having an axis of easy magnetization perpendicular to the substrate surface. Preparing a perpendicular recording discrete track media including:
A master disk having a support and a servo pattern embedding area in which a servo pattern made of a soft magnetic layer is embedded in the support, the servo pattern embedding area at a position corresponding to a servo area of a perpendicular recording discrete track medium Preparing a master disk including a soft magnetic layer formed and embedded in a servo pattern on a support at a position where a servo signal is to be recorded;
Recording a servo signal by applying a magnetic field from above the master disk and transferring a servo pattern to a servo area of a perpendicular recording discrete track medium by a leakage magnetic field from the soft magnetic layer. It consists of a plurality of sets having two kinds of magnetizations perpendicular to and opposite to each other. Here, the applied magnetic field is desirably a uniform magnetic field in the track extending direction. The servo pattern embedding area desirably has a width of 80% or more of the width of the servo area at the corresponding position.

以上のような構成において、マスターディスクのサーボパターン埋め込み領域の軟磁性層のパターンを、垂直記録ディスクリートトラックメディアのサーボ領域に転写することによって、サーボ領域に両振幅のサーボ信号を記録することが可能となる。これによって、サーボ信号を再生する際の強度変更および波形整形の必要を排除することが可能となる。また、本発明の垂直記録ディスクリートトラックメディアは、ヘッド位置決めの精度の向上、ならびにトラック記録密度の向上というさらなる効果を奏するものである。さらに、サーボパターンの転写、すなわち両振幅のサーボ信号の記録を、円周方向の一様磁界を印加する単一の工程で効率的に行うことが可能である。   With the above configuration, it is possible to record servo signals of both amplitudes in the servo area by transferring the soft magnetic layer pattern in the servo pattern embedding area of the master disk to the servo area of the perpendicular recording discrete track media. It becomes. As a result, it is possible to eliminate the necessity of intensity change and waveform shaping when the servo signal is reproduced. Further, the perpendicular recording discrete track medium of the present invention has further effects of improving the head positioning accuracy and improving the track recording density. Furthermore, servo pattern transfer, that is, servo signal recording of both amplitudes can be efficiently performed in a single step of applying a uniform magnetic field in the circumferential direction.

図1(a)に、本発明の垂直記録ディスクリートトラックメディアの模式的上面図を示す。本発明の実施形態の垂直記録ディスクリートトラックメディア100は、複数の記録トラックを有する記録領域120と、該各トラックの幅方向位置を検出するためのサーボ信号を記録するサーボ領域110とからなるセクタ130が、ディスク状の基板上にその円周方向を分割して複数形成されてなる。図1(b)は、セクタ130の一部の領域140を拡大し、かつ直線状に伸ばして、記録領域120およびサーボ領域110の構造を例示する図である。本発明の垂直記録ディスクリートトラックメディアの断面構造を、図2に示す。図2(a)は1つのトラックに相当する位置の円周に沿った断面図であり、図2(b)は切断線2b−2bにおける断面図であり、および図2(c)は切断線2c−2cにおける断面図である。   FIG. 1A shows a schematic top view of a perpendicular recording discrete track medium of the present invention. A perpendicular recording discrete track medium 100 according to an embodiment of the present invention includes a sector 130 including a recording area 120 having a plurality of recording tracks and a servo area 110 for recording a servo signal for detecting the position in the width direction of each track. However, it is formed by dividing the circumferential direction on a disk-shaped substrate. FIG. 1B is a diagram illustrating the structure of the recording area 120 and the servo area 110 by enlarging and linearly extending a partial area 140 of the sector 130. FIG. 2 shows a cross-sectional structure of the perpendicular recording discrete track medium of the present invention. 2A is a cross-sectional view along the circumference of a position corresponding to one track, FIG. 2B is a cross-sectional view taken along a cutting line 2b-2b, and FIG. 2C is a cutting line. It is sectional drawing in 2c-2c.

本発明の垂直記録ディスクリートトラックメディアの複数の記録領域120のそれぞれは、複数のトラック122を含む。メディア中心から等距離に位置する複数のトラック122が一緒になって、同心円状のトラック114を形成している。複数のトラック122のそれぞれは、基板10上に他のトラックから独立して形成される軟磁性層20rおよび他のトラックから独立して形成される磁気記録層30rから構成される。すなわち、1つのトラック122を構成する軟磁性層20rおよび磁気記録層30rは、同一記録領域内の隣接するセクタ122の磁気記録層とは分離して形成され、かつ隣接する記録領域内の同一トラックを形成するトラック122とはサーボ領域110によって離間されている。   Each of the plurality of recording areas 120 of the perpendicular recording discrete track medium of the present invention includes a plurality of tracks 122. A plurality of tracks 122 located equidistant from the center of the media are combined to form a concentric track 114. Each of the plurality of tracks 122 includes a soft magnetic layer 20r formed on the substrate 10 independently of other tracks and a magnetic recording layer 30r formed independently of other tracks. That is, the soft magnetic layer 20r and the magnetic recording layer 30r constituting one track 122 are formed separately from the magnetic recording layer of the adjacent sector 122 in the same recording area, and the same track in the adjacent recording area. Are separated from each other by a servo area 110.

本発明の垂直記録ディスクリートトラックメディアの複数のサーボ領域110のそれぞれは、基板10上に一体の連続層として形成される軟磁性層20s、および一体の連続層として形成される磁気記録層30sから構成される。すなわち、複数のサーボ領域110のそれぞれは、基板に垂直で、かつ反対向きの2種の方向の磁化の組から構成される複数のサーボ信号を記録する。   Each of the plurality of servo areas 110 of the perpendicular recording discrete track medium of the present invention includes a soft magnetic layer 20s formed as an integral continuous layer on the substrate 10 and a magnetic recording layer 30s formed as an integral continuous layer. Is done. That is, each of the plurality of servo areas 110 records a plurality of servo signals composed of a pair of magnetizations in two kinds of directions perpendicular to the substrate and opposite to each other.

基板10は、非磁性であり、かつ平坦な表面を有する。基板10は、当該技術において知られている任意の材料を用いて形成することができる。たとえば、磁気記録媒体用に用いられる、NiPメッキを施したAl合金または強化ガラス、結晶化ガラスを用いて、基板10を形成することができる。   The substrate 10 is nonmagnetic and has a flat surface. The substrate 10 can be formed using any material known in the art. For example, the substrate 10 can be formed using an Al alloy plated with NiP, tempered glass, or crystallized glass used for a magnetic recording medium.

軟磁性層20(r,s)は、FeTaC、センダスト(FeSiAl)合金などの結晶性材料;FeTaC、CoFeNi、CoNiPなどの微結晶性材料;またはCoZrNb、CoTaZrなどのCo合金を含む非晶質材料を用いて形成することができる。軟磁性層20(r,s)の膜厚は、記録に使用する磁気ヘッドの構造や特性によって最適値が変化するが、おおむね10nm以上500nm以下程度であることが、生産性との兼ね合いから望ましい。軟磁性層20(r,s)と基板との間に、Ti、またはTiCr合金のようなCrを含む非磁性材料を用いて形成される非磁性下地層を設けてもよい。   The soft magnetic layer 20 (r, s) is made of a crystalline material such as FeTaC or Sendust (FeSiAl) alloy; a microcrystalline material such as FeTaC, CoFeNi, or CoNiP; or an amorphous material containing a Co alloy such as CoZrNb or CoTaZr. Can be used. The optimum value of the thickness of the soft magnetic layer 20 (r, s) varies depending on the structure and characteristics of the magnetic head used for recording, but is preferably about 10 nm to 500 nm in view of productivity. . A nonmagnetic underlayer formed using a nonmagnetic material containing Cr such as Ti or TiCr alloy may be provided between the soft magnetic layer 20 (r, s) and the substrate.

磁気記録層30(r,s)は、好適には、少なくともCoとPtを含む合金の強磁性材料を用いて形成することができる。また、垂直磁気記録を行うためのディスクリートトラックメディアを得るためには、磁気記録層30(r,s)の材料の磁化容易軸(六方最密充填(hcp)構造のc軸)が基板10表面に垂直方向に配向していることが必要である。磁気記録層30(r,s)は、たとえばCoPt、CoCrPt、CoCrPtB、CoCrPtTaなどの合金材料を用いて形成することができる。磁気記録層30(r,s)の膜厚は、特に限定されるものではない。しかしながら、生産性および記録密度向上の観点から、磁気記録層30(r,s)は、好ましくは30nm以下、より好ましくは15nm以下の膜厚を有する。   The magnetic recording layer 30 (r, s) can be preferably formed using a ferromagnetic material of an alloy containing at least Co and Pt. Further, in order to obtain a discrete track medium for performing perpendicular magnetic recording, the easy axis of magnetization of the material of the magnetic recording layer 30 (r, s) (the c axis of the hexagonal close-packed (hcp) structure) is the surface of the substrate 10. It is necessary to be oriented in the vertical direction. The magnetic recording layer 30 (r, s) can be formed using an alloy material such as CoPt, CoCrPt, CoCrPtB, or CoCrPtTa. The film thickness of the magnetic recording layer 30 (r, s) is not particularly limited. However, from the viewpoint of improving productivity and recording density, the magnetic recording layer 30 (r, s) preferably has a thickness of 30 nm or less, more preferably 15 nm or less.

また、任意選択的に、軟磁性層20と磁気記録層30(r,s)との間にシード層を設けて、磁気記録層材料の結晶配向性を向上させてもよい。シード層は、NiFeAl、NiFeSi、NiFeNb、NiFeB、NiFeNbB、NiFeMo、NiFeCrなどのようなパーマロイ系材料;CoNiFe、CoNiFeSi、CoNiFeB、CoNiFeNbなどのようなパーマロイ系材料にCoをさらに添加した材料;Co;あるいはCoB,CoSi,CoNi,CoFeなどのCo基合金を用いて形成することができる。シード層は、磁気記録層30(r,s)の結晶構造を制御するのに充分な膜厚を有することが望ましく、通常の場合、3nm以上50nm以下の膜厚を有することが望ましい。   Optionally, a seed layer may be provided between the soft magnetic layer 20 and the magnetic recording layer 30 (r, s) to improve the crystal orientation of the magnetic recording layer material. The seed layer is made of a permalloy material such as NiFeAl, NiFeSi, NiFeNb, NiFeB, NiFeNbB, NiFeMo, NiFeCr; a material obtained by further adding Co to a permalloy material such as CoNiFe, CoNiFeSi, CoNiFeB, CoNiFeNb; Co; or It can be formed using a Co-based alloy such as CoB, CoSi, CoNi, CoFe. The seed layer desirably has a film thickness sufficient to control the crystal structure of the magnetic recording layer 30 (r, s). In general, the seed layer desirably has a film thickness of 3 nm to 50 nm.

軟磁性層20、磁気記録層30(r,s)、ならびに任意選択的な非磁性下地層およびシード層の形成は、スパッタ法(DCマグネトロンスパッタ法、RFマグネトロンスパッタ法などを含む)、真空蒸着法など当該技術において知られている任意の方法を用いて実施することができる。   The soft magnetic layer 20, the magnetic recording layer 30 (r, s), and the optional nonmagnetic underlayer and seed layer are formed by sputtering (including DC magnetron sputtering, RF magnetron sputtering, etc.), vacuum deposition Any method known in the art, such as a method, can be used.

複数のトラック122を形成するためのパターニングは、フォトリソグラフィ法を利用して実施することができる。たとえば、レジストを用いて所要のパターンを有するマスクを形成し、湿式エッチング、スパッタエッチング、プラズマエッチング、反応性イオンエッチングなど当該技術において知られている任意の手段を用いて、軟磁性層20、磁気記録層30(r,s)、ならびに任意選択的な非磁性下地層およびシード層をエッチングしてもよい。エッチングの終了後、溶媒による洗浄、プラズマアッシングなどによってマスクを除去して、複数のセクタ122を得ることができる。   Patterning for forming the plurality of tracks 122 can be performed using a photolithography method. For example, a mask having a required pattern is formed using a resist, and the soft magnetic layer 20, the magnetic layer 20 is magnetically bonded using any means known in the art such as wet etching, sputter etching, plasma etching, and reactive ion etching. The recording layer 30 (r, s), and the optional nonmagnetic underlayer and seed layer may be etched. After the etching is finished, the mask is removed by cleaning with a solvent, plasma ashing, or the like, so that a plurality of sectors 122 can be obtained.

任意選択的に、磁気記録層30(r,s)の上に保護層および/または液体潤滑剤層を設けてもよい。保護層は、磁気記録層30(r,s)以下の各構成層を保護するための層であり、たとえば、カーボンを主成分とする薄膜を用いることができる。その他にも、当該技術において磁気記録媒体保護膜用の材料として知られている種々の薄膜材料を使用して、保護層を形成してもよい。保護層は、一般的にスパッタ法(DCマグネトロンスパッタ法、RFマグネトロンスパッタ法などを含む)、真空蒸着法、CVD法などを用いて形成することができる。また、液体潤滑剤層は、記録/読み出し用ヘッドが垂直記録ディスクリートトラックメディアに接触している際の潤滑を付与するための層であり、たとえば、パーフルオロポリエーテル系の液体潤滑剤、または当該技術において知られている種々の液体潤滑剤材料を使用して形成することができる。液体潤滑剤層は、ディップコート法、スピンコート法などの当該技術において知られている任意の塗布方法を用いて形成することができる。   Optionally, a protective layer and / or a liquid lubricant layer may be provided on the magnetic recording layer 30 (r, s). The protective layer is a layer for protecting each constituent layer below the magnetic recording layer 30 (r, s), and for example, a thin film mainly composed of carbon can be used. In addition, the protective layer may be formed using various thin film materials known in the art as materials for a magnetic recording medium protective film. The protective layer can be generally formed using a sputtering method (including a DC magnetron sputtering method, an RF magnetron sputtering method, etc.), a vacuum deposition method, a CVD method, or the like. The liquid lubricant layer is a layer for providing lubrication when the recording / reading head is in contact with the perpendicular recording discrete track medium. For example, a perfluoropolyether liquid lubricant, It can be formed using a variety of liquid lubricant materials known in the art. The liquid lubricant layer can be formed using any coating method known in the art such as a dip coating method or a spin coating method.

次に、本発明の垂直記録ディスクリートトラックメディアの複数のサーボ領域110に記録領域120内のトラック122の位置情報(たとえば、トラック122の属するセクタ130を示す情報、該セクタ130内でのトラック122の位置を示す情報など)を示すためのサーボ信号を記録する際に用いる、マスターディスク200を説明する。図3(a)に示すように実施形態のマスターディスク200は、ディスクリートトラックメディア100の複数のサーボ領域110に相当する位置の複数のサーボパターン埋め込み領域210と、該複数のサーボパターン埋め込み領域210を離間する空き領域220とを有する。すなわち、マスターディスクは、ディスクリートトラックメディア100の複数のサーボ領域110の数と同数のサーボパターン埋め込み領域210を有する。本発明において、複数のサーボパターン埋め込み領域210のそれぞれは、対応するサーボ領域110より狭い幅を有することが望ましい。好ましくは、サーボパターン埋め込み領域210の幅は、対応するサーボ領域110の幅の80%以上であることが望ましい。振幅倍増により、サーボ帯域が約25%増加するので、その分有効サンプリングレートも25%増加可能となる。したがって上記ロス領域が20%あっても、従来方式以上のサーボ信号密度を維持できる。   Next, positional information of the track 122 in the recording area 120 (for example, information indicating the sector 130 to which the track 122 belongs, information on the track 122 in the sector 130, etc.) in the plurality of servo areas 110 of the perpendicular recording discrete track medium of the present invention. A master disk 200 used when recording a servo signal for indicating position information) will be described. As shown in FIG. 3A, the master disk 200 according to the embodiment includes a plurality of servo pattern embedding areas 210 at positions corresponding to the plurality of servo areas 110 of the discrete track medium 100, and the plurality of servo pattern embedding areas 210. And a free space 220 that is spaced apart. That is, the master disk has the same number of servo pattern embedding areas 210 as the plurality of servo areas 110 of the discrete track medium 100. In the present invention, each of the plurality of servo pattern embedding areas 210 preferably has a narrower width than the corresponding servo area 110. Preferably, the width of the servo pattern embedding area 210 is 80% or more of the width of the corresponding servo area 110. Since the servo band is increased by about 25% due to the amplitude doubling, the effective sampling rate can be increased by 25% accordingly. Therefore, even if the loss area is 20%, the servo signal density higher than that of the conventional method can be maintained.

図3(b)に示すように、複数のサーボパターン埋め込み領域210のそれぞれは、複数のサーボ信号を記録すべき位置に配置されたサーボパターン212を有する。   As shown in FIG. 3B, each of the plurality of servo pattern embedding areas 210 has a servo pattern 212 arranged at a position where a plurality of servo signals are to be recorded.

図3(c)は、図3(b)の切断線3c−3cにおける断面図を示す。マスターディスク200は、支持体40と、支持体40に埋め込まれた複数の軟磁性層42とで構成される。複数の軟磁性層42は、サーボパターン埋め込み領域内に存在して、サーボパターン212を構成する。空き領域220には軟磁性層42は存在しない。   FIG.3 (c) shows sectional drawing in the cutting | disconnection line 3c-3c of FIG.3 (b). The master disk 200 includes a support 40 and a plurality of soft magnetic layers 42 embedded in the support 40. The plurality of soft magnetic layers 42 are present in the servo pattern embedding region and constitute the servo pattern 212. The soft magnetic layer 42 does not exist in the empty area 220.

支持体40は、任意の非磁性材料(たとえばSi(単結晶Siを含む)、Al合金、ガラス類(強化ガラス、結晶化ガラスを含む)など)を用いて形成することができる。複数の軟磁性層42のそれぞれは、CoZrNb、CoTaZrなどのCo合金を含む非晶質材料;FeTaC、センダスト(FeSiAl)合金などの結晶性材料;またはFeTaC、CoFeNi、CoNiPなどの微結晶性材料などの軟磁性材料を用いて形成することができる。   The support 40 can be formed using any nonmagnetic material (for example, Si (including single crystal Si), Al alloy, glass (including tempered glass and crystallized glass), and the like). Each of the plurality of soft magnetic layers 42 includes an amorphous material including a Co alloy such as CoZrNb or CoTaZr; a crystalline material such as FeTaC or Sendust (FeSiAl) alloy; or a microcrystalline material such as FeTaC, CoFeNi, or CoNiP. The soft magnetic material can be used.

マスターディスク200は、当該技術において知られている任意の手段を用いて作製することができる。たとえば、支持体40の上にサーボパターン212に対応する開口部を有するレジストマスクを形成する工程と、支持体をエッチングして、サーボパターン212に対応する位置に凹部を形成する工程と、軟磁性材料を堆積させる工程と、レジストマスクを除去して、該凹部のみに軟磁性材料を残す工程とを含む方法を用いてマスターディスク200を作製してもよい。   The master disk 200 can be produced using any means known in the art. For example, a step of forming a resist mask having an opening corresponding to the servo pattern 212 on the support 40, a step of etching the support to form a recess at a position corresponding to the servo pattern 212, and soft magnetism The master disk 200 may be manufactured using a method including a step of depositing a material and a step of removing the resist mask and leaving a soft magnetic material only in the recess.

次に、マスターディスク200を用いて、垂直記録ディスクリートトラックメディア100のサーボ領域110にサーボ信号を記録する、本発明のサーボパターン磁化方法を説明する。最初に、図4(a)に示すように、垂直記録ディスクリートトラックメディア100を、マスターディスク200と対向させて配置する。この際に、マスターディスク200の対応する複数のサーボパターン埋め込み領域210のそれぞれが、垂直記録ディスクリートトラックメディア100の対応するサーボ領域110の範囲内に収まるように、サーボパターン埋め込み領域210とサーボ領域110とを対向させて配置する。この際に記録領域120は空き領域220と対向して配置される。   Next, a servo pattern magnetization method according to the present invention for recording a servo signal in the servo area 110 of the perpendicular recording discrete track medium 100 using the master disk 200 will be described. First, as shown in FIG. 4A, the perpendicular recording discrete track medium 100 is arranged to face the master disk 200. At this time, the servo pattern embedding area 210 and the servo area 110 are arranged so that each of the corresponding servo pattern embedding areas 210 of the master disk 200 falls within the corresponding servo area 110 of the perpendicular recording discrete track medium 100. Are placed facing each other. At this time, the recording area 120 is arranged to face the empty area 220.

次に、マスターディスク200の直上に、メディア円周方向(すなわち、トラック122の延びる方向)の磁界を発生させるリング磁石50を配置し、リング磁石50をメディアに対して相対的に移動させる。ここで、リング磁石50を固定してメディアを回転させてもよいし、あるいはメディアを固定して、リング磁石50を円周方向に移動させてもよい。サーボパターン埋め込み領域210(サーボ領域110)において軟磁性層42が不連続に存在するため、軟磁性層42が存在する部分において、リング磁石50の発生する磁束52は、高い透磁率を有する軟磁性層42に集中する。その際に、軟磁性層42の両エッジ部近傍の磁気記録層において、磁束の集中によって垂直成分を有する漏れ磁界が発生する。図4(a)では、リング磁石50によって右向きの磁界を発生させたため、軟磁性層42の左エッジ近傍の磁気記録層30s中に下方向の漏れ磁界が発生し、右エッジ近傍に上方向の漏れ磁界が発生する。この漏れ磁界によって、図4(b)に示すように、磁気記録層30s中に、基板に垂直で、かつ反対向きの2種の方向の磁化の組から構成される複数のサーボ信号が記録され、サーボパターンが形成される。なお、空き領域220には軟磁性層42が存在しないので、記録領域120内の複数のトラック122には信号が記録されない。サーボパターン形成後、マスターディスクは、垂直記録ディスクリートトラックメディア100から除去される。   Next, a ring magnet 50 that generates a magnetic field in the media circumferential direction (that is, the direction in which the track 122 extends) is disposed immediately above the master disk 200, and the ring magnet 50 is moved relative to the media. Here, the ring magnet 50 may be fixed and the medium may be rotated, or the medium may be fixed and the ring magnet 50 may be moved in the circumferential direction. Since the soft magnetic layer 42 is discontinuously present in the servo pattern embedding region 210 (servo region 110), the magnetic flux 52 generated by the ring magnet 50 in the portion where the soft magnetic layer 42 is present is a soft magnetic material having a high magnetic permeability. Concentrate on layer 42. At that time, a leakage magnetic field having a vertical component is generated in the magnetic recording layer near both edges of the soft magnetic layer 42 due to the concentration of magnetic flux. In FIG. 4 (a), a right magnetic field is generated by the ring magnet 50. Therefore, a downward leakage magnetic field is generated in the magnetic recording layer 30s near the left edge of the soft magnetic layer 42, and an upward magnetic field is generated near the right edge. A leakage magnetic field is generated. With this leakage magnetic field, as shown in FIG. 4B, a plurality of servo signals composed of a pair of magnetizations in two directions perpendicular to the substrate and opposite to each other are recorded in the magnetic recording layer 30s. A servo pattern is formed. Since the soft magnetic layer 42 does not exist in the empty area 220, no signal is recorded on the plurality of tracks 122 in the recording area 120. After forming the servo pattern, the master disk is removed from the perpendicular recording discrete track medium 100.

前述のようにサーボパターンを記録した垂直記録ディスクリートトラックメディアの記録/再生を、図5を用いて説明する。図5(a)に示すように、単磁極ヘッド60を用いて、記録すべき情報にしたがって、記録領域120内のトラック122の磁気記録層30rに上向きおよび下向きの磁化を記録する。次いで、再生用ヘッド(GMRヘッドなど、不図示)によって再生されるサーボ領域110および記録領域120の信号を、図5(b)に示す。図5(b)から明らかなように、サーボ領域110および記録領域120の両方に両方向(上向きおよび下向き)の磁化が記録されているので、サーボ領域110からは両振幅のサーボ信号が得られ、記録領域120からは両振幅のデータ信号が得られる。両領域から両振幅の信号が得られることから、サーボ信号再生時およびデータ信号再生時において、強度変更および波形整形を実施する必要を排除することができる。したがって、本発明の垂直記録ディスクリートトラックメディアを用いることによって、ヘッド位置決めの精度を向上させること、およびトラック記録密度を向上させることが可能となる。   Recording / reproduction of the perpendicular recording discrete track medium on which the servo pattern is recorded as described above will be described with reference to FIG. As shown in FIG. 5A, upward and downward magnetization is recorded on the magnetic recording layer 30r of the track 122 in the recording area 120 according to the information to be recorded, using the single magnetic pole head 60. Next, FIG. 5B shows signals in the servo area 110 and the recording area 120 that are reproduced by a reproducing head (not shown) such as a GMR head. As apparent from FIG. 5B, since both directions (upward and downward) magnetization are recorded in both the servo area 110 and the recording area 120, servo signals with both amplitudes are obtained from the servo area 110, Both amplitude data signals are obtained from the recording area 120. Since signals having both amplitudes can be obtained from both regions, it is possible to eliminate the need for intensity change and waveform shaping during servo signal reproduction and data signal reproduction. Therefore, by using the perpendicular recording discrete track medium of the present invention, it is possible to improve the head positioning accuracy and improve the track recording density.

本発明の垂直記録ディスクリートトラックメディアの実施形態を示す図であり、(a)は上面図であり、(b)は記録領域およびサーボ領域を示す拡大図である。1A and 1B are views showing an embodiment of a perpendicular recording discrete track medium of the present invention, wherein FIG. 1A is a top view and FIG. 2B is an enlarged view showing a recording area and a servo area. 本発明の図1に示す実施形態の垂直記録ディスクリートトラックメディアを示す断面図であり、(a)は円周に沿った断面図であり、(b)は切断線2b−2bで切断した断面図であり、(c)は切断線2c−2cで切断した断面図である。It is sectional drawing which shows the perpendicular recording discrete track media of embodiment shown in FIG. 1 of this invention, (a) is sectional drawing along a periphery, (b) is sectional drawing cut | disconnected by the cutting line 2b-2b (C) is a cross-sectional view taken along the cutting line 2c-2c. 本発明の図1に示す実施形態の垂直記録ディスクリートトラックメディアのサーボパターン磁化方法に使用されるマスターディスクを示す図であり、(a)は上面図であり、(b)は領域240を拡大および伸長した上面図であり、(c)は切断線3c−3cで切断した断面図である。It is a figure which shows the master disk used for the servo pattern magnetization method of the perpendicular recording discrete track media of embodiment of this invention shown in FIG. 1, (a) is a top view, (b) expands the area | region 240, and It is the expanded top view, (c) is sectional drawing cut | disconnected by the cutting line 3c-3c. 本発明の図1に示す実施形態の垂直記録ディスクリートトラックメディアのサーボパターン磁化方法の過程を示す図であり、(a)は磁化工程を示す図であり、(b)は得られるサーボパターンを示す図である。It is a figure which shows the process of the servo pattern magnetization method of the perpendicular recording discrete track media of embodiment shown in FIG. 1 of this invention, (a) is a figure which shows a magnetization process, (b) shows the servo pattern obtained. FIG. 本発明の図1に示す実施形態の垂直記録ディスクリートトラックメディアの記録/再生の過程を示す図であり、(a)は記録時を示す図であり、(b)は再生時を示す図である。It is a figure which shows the process of recording / reproduction | regeneration of the perpendicular recording discrete track media of embodiment shown in FIG. 1 of this invention, (a) is a figure which shows the time of recording, (b) is a figure which shows the time of reproduction | regeneration. . 従来の垂直記録ディスクリートトラックメディアを示す図であり、(a)は上面図であり、(b)は記録領域およびサーボ領域を示す拡大図である。It is a figure which shows the conventional perpendicular recording discrete track media, (a) is a top view, (b) is an enlarged view which shows a recording area and a servo area. 従来の垂直記録ディスクリートトラックメディアのサーボパターン磁化方法の過程を示す図であり、(a)は磁化工程を示す図であり、(b)は得られるサーボパターンを示す図である。It is a figure which shows the process of the servo pattern magnetization method of the conventional perpendicular recording discrete track media, (a) is a figure which shows a magnetization process, (b) is a figure which shows the servo pattern obtained.

符号の説明Explanation of symbols

10 基板
20(r,s)、42 軟磁性層
30(r,s) 磁気記録層
40 支持体
50 リング磁石
52 磁束
60 単磁極ヘッド
100 垂直記録ディスクリートトラックメディア
110 サーボ領域
114 同心円状のトラック
120 記録領域
122 各セクタの記録トラック
130 セクタ
200 マスターディスク
210 サーボパターン埋め込み領域
220 空き領域
10 substrate 20 (r, s), 42 soft magnetic layer 30 (r, s) magnetic recording layer 40 support 50 ring magnet 52 magnetic flux 60 single pole head 100 perpendicular recording discrete track media 110 servo area 114 concentric track 120 recording Area 122 Recording track 130 of each sector Sector 200 Master disk 210 Servo pattern embedding area 220 Free area

Claims (4)

複数の記録トラックを有する記録領域と、該各トラックの幅方向位置を検出するためのサーボ信号を記録するサーボ領域とを備える垂直記録ディスクリートトラックメディアであって、
該複数のトラックのそれぞれは、基板上に他のトラックから分離して形成された軟磁性層と、軟磁性層上に他のトラックから分離して形成され、基板表面と垂直方向の磁化容易軸を有する磁気記録層とを含み、
該サーボ領域は、基板上に一体の連続層として形成されている軟磁性層と、軟磁性層上に一体の連続層として形成され、基板表面と垂直方向の磁化容易軸を有する磁気記録層とを含み、
該サーボ領域に、基板に垂直で、かつ反対向きの2種の磁化を有する複数の組からなるサーボ信号が記録されることを特徴とする垂直記録ディスクリートトラックメディア。
A perpendicular recording discrete track medium comprising a recording area having a plurality of recording tracks and a servo area for recording a servo signal for detecting a position in the width direction of each track,
Each of the plurality of tracks is a soft magnetic layer formed on the substrate separately from other tracks, and formed on the soft magnetic layer separately from other tracks, and has an easy axis of magnetization perpendicular to the substrate surface. A magnetic recording layer having
The servo area includes a soft magnetic layer formed as an integral continuous layer on the substrate, and a magnetic recording layer formed as an integral continuous layer on the soft magnetic layer and having an easy axis of magnetization perpendicular to the substrate surface; Including
A perpendicular recording discrete track medium, wherein a servo signal comprising a plurality of sets having two kinds of magnetizations perpendicular to the substrate and opposite to each other is recorded in the servo area.
複数の記録トラックを有する記録領域と、該各トラックの幅方向位置を検出するためのサーボ信号を記録する複数のサーボ領域とを備える垂直記録ディスクリートトラックメディアであって、該複数のトラックのそれぞれは、基板上に他のトラックから分離して形成された軟磁性層と、軟磁性層上に他のトラックから分離して形成され、基板表面と垂直方向の磁化容易軸を有する磁気記録層とを含み、該サーボ領域は、基板上に一体の連続層として形成されている軟磁性層と、軟磁性層上に一体の連続層として形成され、基板表面と垂直方向の磁化容易軸を有する磁気記録層とを含む垂直記録ディスクリートトラックメディアを準備する工程と、
支持体と、支持体に軟磁性層からなるサーボパターンが埋め込まれたサーボパターン埋め込み領域を有するマスターディスクであって、該サーボパターン埋め込み領域は、垂直記録ディスクリートトラックメディアのサーボ領域に対応する位置に形成され、かつサーボ信号を記録すべき位置において支持体にサーボパターンに形成されて埋め込まれた軟磁性層を含むマスターディスクを準備する工程と、
マスターディスクの上から磁界を印加して、軟磁性層からの漏れ磁界によって垂直記録ディスクリートトラックメディアのサーボ領域にサーボパターンを転写することによりサーボ信号を記録する工程と
を含み、サーボ信号は、基板に垂直で、かつ反対向きの2種の磁化を有する複数の組からなることを特徴とする垂直記録ディスクリートトラックメディアのサーボパターン磁化方法。
A perpendicular recording discrete track medium comprising a recording area having a plurality of recording tracks and a plurality of servo areas for recording a servo signal for detecting the position in the width direction of each track, each of the plurality of tracks being A soft magnetic layer formed separately from other tracks on the substrate, and a magnetic recording layer formed separately from the other tracks on the soft magnetic layer and having an axis of easy magnetization perpendicular to the substrate surface. The servo area includes a soft magnetic layer formed as an integral continuous layer on the substrate, and a magnetic recording formed as an integral continuous layer on the soft magnetic layer and having an easy axis of magnetization perpendicular to the substrate surface. Providing a perpendicular recording discrete track media including a layer;
A master disk having a support and a servo pattern embedding area in which a servo pattern made of a soft magnetic layer is embedded in the support, the servo pattern embedding area at a position corresponding to a servo area of a perpendicular recording discrete track medium Preparing a master disk including a soft magnetic layer formed and embedded in a servo pattern on a support at a position where a servo signal is to be recorded;
Recording a servo signal by applying a magnetic field from above the master disk and transferring a servo pattern to a servo area of a perpendicular recording discrete track medium by a leakage magnetic field from the soft magnetic layer. A servo pattern magnetization method for perpendicular recording discrete track media, comprising a plurality of sets having two kinds of magnetizations perpendicular to and opposite to each other.
印加する磁界は、トラックの延びる方向への一様磁界であることを特徴とする請求項2に記載のサーボパターン磁化方法。   The servo pattern magnetization method according to claim 2, wherein the applied magnetic field is a uniform magnetic field in a direction in which the track extends. サーボパターン埋め込み領域は、対応する位置のサーボ領域の幅の80%以上の幅を有することを特徴とする請求項2に記載のサーボパターン磁化方法。   3. The servo pattern magnetization method according to claim 2, wherein the servo pattern embedding area has a width of 80% or more of the width of the servo area at the corresponding position.
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