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JP2008052232A - Manipulator device - Google Patents

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JP2008052232A
JP2008052232A JP2006258005A JP2006258005A JP2008052232A JP 2008052232 A JP2008052232 A JP 2008052232A JP 2006258005 A JP2006258005 A JP 2006258005A JP 2006258005 A JP2006258005 A JP 2006258005A JP 2008052232 A JP2008052232 A JP 2008052232A
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JP
Japan
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stage
manipulator
focus
microscope
sample
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JP2006258005A
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Taiji Matsumoto
泰治 松本
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MICRO SUPPORT CO Ltd
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MICRO SUPPORT CO Ltd
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a manipulator device capable of achieving improved easiness and sureness in work to shift a foreign substance or a specified part to a slide glass or a container by a manipulator needle. <P>SOLUTION: A second movable stage is disposed between a microscope and a sample placed on a first stage, and in a state the second movable stage is moved, the center part of the second movable stage is positioned on the optical axis of the microscope, then, the work for the captured foreign substance and the specified part can be easily performed by the manipulator needle within the visual field of the microscope. The manipulator device also includes one manipulator and a focus stage for focusing on the sample, and by providing a means for integrally actuating the manipulator and the focus stage or synchronizing the manipulator with the focus stage, the observation can be similarly achieved for the second movable stage while keeping the sample placed on the first stage and the manipulator needle in the focused state. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

本発明は、顕微鏡とステージに載置された試料に微細な作業を行うための操作針を有する制御可能なマニピュレータを備えた顕微鏡マニピュレータ装置に関するものである。  The present invention relates to a microscope manipulator device including a controllable manipulator having an operation needle for performing a fine work on a sample placed on a microscope and a stage.

従来技術での顕微鏡を用いたマニピュータ装置では、顕微鏡下での異物の採取や特定部位の回収作業は試料を乗せるステージ内で異物の採取や特定部位の回収した試料を一旦、試料から離れた場所に移すか、あるいはその試料を他の容器またはスライドグラス移し、分析や解析を行っていた。  In the conventional manipulator device using a microscope, the collection of foreign matter and the recovery of a specific part under the microscope are performed in the stage where the sample is placed and the sample collected from the specific part is once separated from the sample. Or the sample was transferred to another container or slide glass for analysis and analysis.

上述の一連の作業において、マニピュレータの操作針に捕捉された異物または特定部位を同じステージ上で分離するとき、試料から離れた場所に移す作業をするが同じ試料において異物または特定部位の分離が複数の場合は捕捉のつど顕微鏡視野内の焦点とステージの移動位置の再現が必要となる。  In the above-described series of operations, when the foreign matter or specific part captured by the manipulator operating needle is separated on the same stage, the work is moved to a place away from the sample. In this case, it is necessary to reproduce the focal point in the microscope field of view and the moving position of the stage for each capture.

その作業例を詳しく説明すると、ステージに載置された試料に対してXY方向のステージ移動と顕微鏡の焦点を合わせ、微細な作業を行うための操作針を有する制御可能なマニピュレータで操作針を試料の表面に近い位置にしてから、試料と操作針の双方の焦点が合うまで顕微鏡の焦点調整、操作針の移動調整を何回も繰り替えし操作を行い、異物の採取や特定部位の回収を行う。  An example of the operation will be described in detail. The operation needle is sampled with a controllable manipulator having an operation needle for performing a fine operation by focusing the stage movement in the XY direction and the microscope on the sample placed on the stage. The sample is collected close to the surface of the sample, and the focus adjustment of the microscope and the movement adjustment of the operation needle are repeated many times until both the sample and the operation needle are in focus to collect foreign matter and collect a specific part. .

次に操作針の操作によって、操作針に捕捉された異物や特定部位を予めステージに載置された回収用のスライドグラスまたは容器の位置までXY方向にステージを移動させ、ふたたびマニピュレータの操作針で異物または特定部位をスライドグラスまたは容器に移す作業を行う。  Next, the stage is moved in the XY direction to the position of the collection slide glass or container previously placed on the stage by the operation of the operation needle, and the specific part is captured by the operation needle, and again with the operation needle of the manipulator Work to move foreign objects or specific parts to a slide glass or container.

しかしながら、ステージに載置された試料との焦点と回収用のスライドグラスまたは容器との焦点が異なるため、そのつど顕微鏡の焦点を合わし直す作業があり、その作業課程において一時的に焦点が合わないため、ステージに載置された試料の位置や予めステージに載置された回収用のスライドグラスの位置を見失うことが発生してしまい作業者に至っては熟練度を要求される。  However, because the focal point of the sample placed on the stage is different from the focal point of the slide glass or container for collection, there is work to refocus the microscope each time, and the focus is temporarily not in the work process. For this reason, it may happen that the position of the sample placed on the stage or the position of the slide glass for collection placed on the stage in advance is lost, and the skill level is required for the operator.

また、回収用のスライドグラスまたは容器の大きさや厚さが資料と著しく異なる場合はさらに試料からの分離に注意しなければならず、分離ができない事が発生した。
なぜならば、異物の採取や特定部位の回収作業はミクロン単位レベルでの作業と顕微鏡を通しての撮像作業のため、その作業範囲が狭く試料から採取した異物や特定部位の場所が肉眼ではその場所は判別できないため、見失うことが多々発生する。
In addition, when the size and thickness of the slide glass for collection or the container were significantly different from the materials, further attention had to be paid to separation from the sample, and separation could not be performed.
This is because the collection of foreign substances and the recovery of specific parts are performed at the micron level and the image is taken through a microscope. Because you can't, you often lose sight.

ここで、従来技術での顕微鏡を用いたマニピュレータ装置の構成図を説明する。図1は従来の技術での顕微鏡を用いたマニピュレータ装置の正面図で試料を載置するためのステージ5はXY方向に可動し、支柱3に取り付け台4が係止されている。取り付け台4に微細な作業をするためのXYZ方向ステージを配設されている。  Here, the block diagram of the manipulator apparatus using the microscope in a prior art is demonstrated. FIG. 1 is a front view of a conventional manipulator device using a microscope. A stage 5 on which a sample is placed is movable in the X and Y directions, and a mounting base 4 is locked to a column 3. An XYZ direction stage for performing fine work is arranged on the mounting base 4.

以下、微細な作業をするためのXYZ方向ステージをマニピュレータ1と言う。
マニピュレータ1に操作針4が係設されている。
Hereinafter, an XYZ direction stage for performing a fine work is referred to as a manipulator 1.
An operating needle 4 is attached to the manipulator 1.

支柱3に顕微鏡2が係止され、顕微鏡2には焦点調整が可能な焦点調整つまみ7がある。
他にマニピュレータの駆動を制御するマニピュレータ制御手段と、前記顕微鏡に視野内の画像を取得する画像取得手段21と取得された画像をコンピュータに取り入れ、ディスプレイの表示とマウスなど入力信号でマニピュレータを制御する操作手段で構成した従来例のマニピュレータ装置である。
The microscope 2 is locked to the column 3, and the microscope 2 has a focus adjustment knob 7 that can adjust the focus.
In addition, the manipulator control means for controlling the driving of the manipulator, the image acquisition means 21 for acquiring the image in the visual field in the microscope, and the acquired image are taken into the computer, and the manipulator is controlled by the display display and the input signal such as a mouse. It is the manipulator apparatus of the prior art example comprised with the operation means.

解決しようとする課題は、従来のマニピュレータ装置では操作針に捕捉された異物や特定部位を予めステージに載置された回収用のスライドグラスまたは容器の位置までステージを移動させ、マニピュレータの操作針で異物または特定部位をスライドグラスまたは容器に移す作業をするが、ステージに載置された試料との焦点と回収用のスライドグラスとの焦点が異なるため、そのつど顕微鏡の焦点を合わし直す作業があった。  The problem to be solved is that in the conventional manipulator device, the stage is moved to the position of the collection slide glass or container previously placed on the stage with the foreign matter or specific part captured by the operating needle, and the manipulator operating needle Move the foreign object or specific part to the slide glass or container, but the focus of the sample placed on the stage and the focus of the collection slide glass are different, so there is a work to refocus the microscope each time. It was.

その作業課程において一時的に焦点が合わないため、ステージに載置された試料の位置や予めステージに載置された回収用のスライドグラスまたは容器の位置を見失うことが発生してしまい作業者に至っては熟練度を要求される。  Since the focus is temporarily out of focus during the work process, it may cause the operator to lose sight of the position of the sample placed on the stage or the position of the collection slide glass or container placed on the stage in advance. The skill level is required.

さらに回収用のスライドグラスまたは容器の大きさや厚さが資料と著しく異なる場合は試料からの分離に注意しなければならず、分離ができない事が発生した点にある。
なぜならば、従来のマニピュレータ装置では顕微鏡の焦点調整とマニピュレータが連動していないために操作針に捕捉されている異物あるいは特定部位の移動は顕微鏡焦点調整つまみ7とXYステージ5とマニピュレータを常に調整しなければならないことである。
Furthermore, when the size or thickness of the slide glass or container for collection is significantly different from the data, it is necessary to pay attention to the separation from the sample, and the separation cannot be performed.
This is because in the conventional manipulator device, since the focus adjustment of the microscope and the manipulator are not linked, the movement of the foreign matter or specific part captured by the operation needle always adjusts the microscope focus adjustment knob 7, the XY stage 5 and the manipulator. It must be.

本発明は、上記課題の鑑みてなされたもので、マニピュレータの操作針で異物または特定部位をスライドグラスまたは容器に移す作業の簡易性の向上と確実性を備えたマニピュレータ装置の提供を目的とする。  The present invention has been made in view of the above problems, and an object of the present invention is to provide a manipulator device having improved reliability and certainty of transferring a foreign object or a specific part to a slide glass or a container with an operation needle of the manipulator. .

本発明は、上記目的を達成するため、請求項1にかかる発明でマニピュレータの操作針で異物または特定部位をスライドグラスまたは容器に移す作業の簡易性の向上と確実性の目的が達成できる。  In order to achieve the above object, the present invention can achieve the purpose of improving the simplicity and certainty of transferring a foreign object or a specific part to a slide glass or a container with the operation needle of the manipulator in the invention according to claim 1.

上記課題は請求項2および請求項3に記載の発明によれば、移動可能な第二のステージを顕微鏡と第一のステージとの間に配設するとともに移動可能な第二のステージを移動した状態は顕微鏡の光学軸上に移動可能な第二のステージの中心に移動されることで、操作針で捕捉した異物や特定部位を顕微鏡の視野範囲で容易に作業ができるマニピュレータ装置を提供できる。  According to the invention described in claim 2 and claim 3, the movable stage is disposed between the microscope and the first stage, and the movable second stage is moved. By moving the state to the center of the second stage that can move on the optical axis of the microscope, it is possible to provide a manipulator device that can easily work on a foreign object or a specific part captured by the operation needle in the visual field range of the microscope.

上記課題は、請求項4に記載の発明によれば、試料に微細な作業を行うための操作針を有する制御可能な少なくても1つのマニピュレータと、顕微鏡は試料と焦点を合わせるためのフォーカスステージを有し、これらが一体、あるいはマニピュレータとフォーカスステージが同期させる手段を具備することで第一のステージに載置された試料の焦点と操作針の焦点が合っている状態のまま、フォーカスステージの移動で、移動可能な第二のステージに載置されたスライドグラスまたは容器の観察が容易となる。  According to the invention described in claim 4, at least one manipulator having a control needle for performing a fine work on the sample and a focus stage for focusing the sample on the sample. These are integrated or provided with means for synchronizing the manipulator and the focus stage, so that the focus of the focus stage remains in a state where the sample placed on the first stage and the operating needle are in focus. The movement facilitates observation of the slide glass or container placed on the movable second stage.

上記課題は、請求項5に記載の発明によれば第一のステージに載置された試料に顕微鏡の焦点を合わした状態と顕微鏡を移動可能な第二のステージを移動させた状態での、焦点距離までフォーカスステージを移動するオフセット設定手段を具備し、第一のステージに載置された試料に微細な作業を行う状態と同一になることで、操作針で捕捉した異物や特定部位を顕微鏡の視野範囲での作業が容易にできる。  According to the invention described in claim 5, the above-mentioned problem is in a state in which the microscope is focused on the sample placed on the first stage and the second stage in which the microscope can be moved. It is equipped with an offset setting means that moves the focus stage to the focal length, and it is the same as the state in which fine work is performed on the sample placed on the first stage, so that foreign substances and specific parts captured by the operating needle can be observed with a microscope. Can easily work in the field of view.

本発明のマニピュレータ装置によれば、顕微鏡下での異物の採取や特定部位の回収作業が容易になるとともに確実性の向上したマニピュレータ装置を提供することができる。  According to the manipulator device of the present invention, it is possible to provide a manipulator device that facilitates the collection of foreign matter and the recovery of a specific part under a microscope and has improved reliability.

本発明のマニピュレータ装置の一実施形態を説明する。
顕微鏡2と第一のステージ8に載置された試料11に微細な作業を行うための操作針4を有する電気制御可能なマニピュレータ1、マニピュレータ1の駆動をマニピュレータ駆動手段111と、マニピュレータを制御するマニピュレータ制御手段109と、前記顕微鏡2に視野内の画像を取得する画像取得手段21と、取得された画像内でマニピュレータをマウス102や操作ボタン112を制御する入力装置104と試料と焦点を合わせるためのフォーカスステージ13の駆動を制御するフォーカス制御手段108と、移動可能な第二のステージ9を構成する。
また、移動可能な第二のステージ9は回転移動によるステージでもよい。
One embodiment of the manipulator device of the present invention is described.
An electrically controllable manipulator 1 having an operation needle 4 for performing a fine work on a sample 11 placed on the microscope 2 and the first stage 8, a manipulator driving means 111 for driving the manipulator 1, and a manipulator To focus the manipulator control means 109, the image acquisition means 21 for acquiring an image in the field of view of the microscope 2, the input device 104 for controlling the mouse 102 and the operation button 112, and the sample in the acquired image. The focus control means 108 for controlling the driving of the focus stage 13 and the movable second stage 9 are configured.
Further, the movable second stage 9 may be a stage by rotational movement.

本発明での顕微鏡下での異物の採取や特定部位の回収作業例で説明をすると、第一のステージ8に試料11を載置する。
フォーカスステージ13に係止されている顕微鏡2から得られる観察像を画像取得手段21からコンピュータ本体100の画像表示手段103を介してモニター101に表示される。
In the present invention, the sample 11 is placed on the first stage 8 as described in the example of the collection of foreign matter under a microscope and the recovery operation of a specific part.
An observation image obtained from the microscope 2 locked to the focus stage 13 is displayed on the monitor 101 from the image acquisition means 21 via the image display means 103 of the computer main body 100.

また、マニピュレータ装置のコントロールはコンピュータ本体100のマウス102や操作ボタン112から入力装置104、画像表示手段103を介してモニター101の画面内のマウスポインタや画面上の操作ボタンをマウスの信号や操作ボタン112の信号によってマニピュレータやフォーカスなどがコントロールされる。  The manipulator device is controlled from the mouse 102 and operation buttons 112 of the computer main body 100 through the input device 104 and the image display means 103 to the mouse pointer in the screen of the monitor 101 and the operation buttons on the screen. The manipulator, focus, etc. are controlled by the signal 112.

最初に第一のステージ8に載置された試料11をディスプレイ101の画面内にあるマウスポインタと操作ボタンでマニピュレータ1を操作し、試料11に操作針4が接触する手前まで移動させ、またフォーカスステージ13の移動で焦点を合わせる。
試料11と操作針4の画像が鮮明になるように、これらの操作を交互に繰り返してから異物の採取や特定部位の回収を操作針4で捕捉する。
First, the sample 11 placed on the first stage 8 is moved to a position just before the operation needle 4 comes into contact with the sample 11 by operating the manipulator 1 with the mouse pointer and operation buttons in the screen of the display 101, and focusing. The focus is adjusted by moving the stage 13.
These operations are alternately repeated so that the image of the sample 11 and the operation needle 4 becomes clear, and then the collection of the foreign matter and the collection of the specific part are captured by the operation needle 4.

次に操作針4の捕捉された異物や特定部位をマニピュレータ1と顕微鏡2は取り付け台15で係止され、その取り付け台15はフォーカスステージ13に係設されているのでフォーカスステージ13をマウスの信号によって上昇させると、マニピュレータ1と顕微鏡2は上昇する。
この操作で移動可能な第二のステージ9より十分上昇させてから移動可能な第二のステージ9をスライド機構10で前方にスライドする。
上述の動作はモニター101の画面内のマウスポインタや画面上の操作ボタンをマウスによって上昇させるが、後述でフォーカスステージ13のポジション記憶機能で所定の位置に上昇するようになっている。
Next, the manipulator 1 and the microscope 2 are locked by a mounting base 15 on the foreign matter or specific part captured by the operating needle 4, and the mounting base 15 is attached to the focus stage 13, so that the focus stage 13 is signaled by the mouse. When raised, the manipulator 1 and the microscope 2 are raised.
The movable second stage 9 is slid forward by the slide mechanism 10 after being sufficiently raised from the movable second stage 9 by this operation.
In the above-described operation, the mouse pointer on the screen of the monitor 101 and the operation button on the screen are raised by the mouse, but the position is raised to a predetermined position by the position storage function of the focus stage 13 as will be described later.

移動可能な第二のステージ9の移動方法は機械的な方法または電気的な移動で顕微鏡2に干渉しないよう位置関係を入力装置104に介してフォーカスステージ13を制御している。
移動可能な第二のステージ9の表面には採取した異物や特定部位を保管するためのスライドグラス12や容器などを載置する。
また、移動可能な第二のステージ9はXY方向の微動調整があり、複数の異物や特定部位の保管位置の移動や、その観察に使うことができる。
As the moving method of the movable second stage 9, the position of the focus stage 13 is controlled via the input device 104 so as not to interfere with the microscope 2 by a mechanical method or an electric movement.
On the surface of the movable second stage 9, a slide glass 12 or a container for storing the collected foreign matter or specific part is placed.
Moreover, the movable second stage 9 has fine movement adjustment in the XY directions, and can be used for moving and observing the storage positions of a plurality of foreign matters and specific parts.

前述で述べた顕微鏡2はフォーカスステージ13が第二の移動可能なステージ9より、上昇されているのディスプレイ101の画像は焦点が合っていない状態となっている。
次にフォーカスステージ13を下降することで移動可能な第二のステージ9に載置されているスライドグラス12や容器に焦点を合わせてから、マニピュレータ1に係設されている操作針4に捕捉されている異物あるいは特定部位を操作針4でスライドガラス12や容器に移しかえる。
In the microscope 2 described above, the image on the display 101 in which the focus stage 13 is raised from the second movable stage 9 is out of focus.
Next, after focusing on the slide glass 12 or the container placed on the movable second stage 9 by lowering the focus stage 13, it is captured by the operation needle 4 that is attached to the manipulator 1. The foreign matter or the specific part that is present is transferred to the slide glass 12 or the container by the operation needle 4.

このとき、移動可能な第二のステージ9と顕微鏡2との焦点が合っている状態でフォーカスステージ13のポジションをコンピュータ本体100の記憶装置105にポジションの記憶する。  At this time, the position of the focus stage 13 is stored in the storage device 105 of the computer main body 100 while the movable second stage 9 and the microscope 2 are in focus.

上記のポジションを記憶することで再び第一のステージ8上に載置された試料11を操作針4で異物の採取や特定部位の回収を操作針4で捕捉後、顕微鏡2をフォーカスステージ13でポジション記憶された位置まで上昇させると移動可能な第二のステージ9に載置されているスライドグラス12や容器に焦点が合っている状態となるので操作針4に捕捉されている異物あるいは特定部位を操作針4でスライドガラス12や容器に容易に移しかえることが出来る。
図6と図7は上述での第一のステージ8と移動可能な第二のステージと顕微鏡2の焦点Lが同一の状態を表す図である。
By memorizing the above position, the sample 11 placed on the first stage 8 is again captured by the operating needle 4 to collect foreign matter and collected by the operating needle 4, and then the microscope 2 is moved to the focus stage 13. When the position is raised to the stored position, the slide glass 12 placed on the movable second stage 9 and the container are in focus, so the foreign matter or specific part captured by the operation needle 4 Can be easily transferred to the slide glass 12 or the container with the operation needle 4.
FIGS. 6 and 7 are views showing a state in which the first stage 8, the movable second stage, and the focus L of the microscope 2 are the same.

以上のように第一のステージ8上に載置された試料11の大きさや厚みが異なっても常に移動可能な第二のステージ9に載置されているスライドグラス12や容器に焦点が合っているので操作針4に捕捉されている異物あるいは特定部位を顕微鏡下での移しかえができ、作業者にいたっては作業の短縮と確実性が図れる。
また、顕微鏡2の焦点が操作針4の合っている状態では第一のステージから移動可能な第二のステージの移動中でも操作針4の先端部分が鮮明にみることができるので操作針4に捕捉された異物あるいは特定部位の脱落を監視することも大きな特徴と言える。
さらに、従来の機械的なマニピュレータ装置でも本発明の構成をもって、上記課題を同様に解消することができる。
As described above, even if the sample 11 placed on the first stage 8 is different in size and thickness, the slide glass 12 and the container placed on the second stage 9 that can always move are focused. Therefore, the foreign matter or specific part captured by the operation needle 4 can be transferred under the microscope, and the work can be shortened and ensured for the operator.
In addition, when the operation needle 4 is in focus, the tip of the operation needle 4 can be clearly seen even during movement of the second stage that can be moved from the first stage. It can be said that it is also a great feature to monitor the removal of a foreign matter or a specific part.
Furthermore, the above-mentioned problem can be similarly solved even with a conventional mechanical manipulator device with the configuration of the present invention.

図1は従来例のマニピュレータ本体の正面図である。  FIG. 1 is a front view of a conventional manipulator body. 図2は本発明の1実施例を示す、正面図である。  FIG. 2 is a front view showing an embodiment of the present invention. 図3は本発明の1実施例を示す、側面図である。  FIG. 3 is a side view showing an embodiment of the present invention. 図4は本発明の1実施例で移動可能な第二のステージを移動した正面図である  FIG. 4 is a front view of a movable second stage in one embodiment of the present invention. 図5は本発明の1実施例で移動可能な第二のステージを移動した側面図である。  FIG. 5 is a side view of the movable second stage in one embodiment of the present invention. 図6は本発明の第一のステージに載置された試料と顕微鏡との焦点を示す図である。  FIG. 6 is a view showing the focal point of the sample placed on the first stage of the present invention and the microscope. 図7は本発明の移動可能な第二のステージに載置されたスライドグラスまたは容器と顕微鏡との焦点を示す図である。  FIG. 7 is a view showing the focus of the microscope and the slide glass or container placed on the movable second stage of the present invention. 図8は本発明の1実施例を示す、マニピュレータ装置の構成図である。  FIG. 8 is a block diagram of a manipulator device showing one embodiment of the present invention.

符号の説明Explanation of symbols

1 マニピュレータ
2 顕微鏡
3 支柱
4 操作針
5 XYステージ
6 台座
7 顕微鏡焦点調整つまみ
8 第一のステージ
9 移動可能な第二のステージ
10 スライド機構
11 試料
12 スライドグラス
13 フォーカスステージ
15 取り付け台
21 画像取得手段
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Manipulator 2 Microscope 3 Support | pillar 4 Operation needle 5 XY stage 6 Base 7 Microscope focus adjustment knob 8 First stage 9 Movable second stage 10 Slide mechanism 11 Sample 12 Slide glass 13 Focus stage 15 Mounting base 21 Image acquisition means

Claims (5)

顕微鏡と第一のステージに載置された試料に微細な作業を行うための操作針を有する駆動制御可能な少なくても1つのマニピュレータと、前記マニピュレータを駆動する駆動手段と、マニピュレータを制御するマニピュレータ制御手段と、マニピュレータを操作する操作手段と、試料と焦点を合わせるためのフォーカスステージを有し、フォーカスステージの駆動を制御するフォーカス制御手段と移動可能な第二のステージを具備していることを特徴とするマニピュレータ装置  At least one manipulator capable of driving control having an operation needle for performing a fine work on a sample placed on a microscope and a first stage, a driving means for driving the manipulator, and a manipulator for controlling the manipulator A control means, an operation means for operating the manipulator, a focus stage for focusing the sample, and a focus control means for controlling the driving of the focus stage and a movable second stage. Characteristic manipulator device 前記、移動可能な第二のステージは移動された状態では第二のステージの中央部が顕微鏡の光学軸上に配設される手段を具備していること事を特徴とする請求項1記載のマニピュレータ装置  2. The movable second stage according to claim 1, further comprising means for arranging a central portion of the second stage on the optical axis of the microscope when the second stage is moved. Manipulator device 前記移動可能な第二のステージの移動手段は機械的な駆動または電気制御駆動を有していることを特徴とする請求項1記載のマニピュレータ装置。  The manipulator device according to claim 1, wherein the moving means of the movable second stage has a mechanical drive or an electric control drive. 前記第一のステージに載置された試料に微細な作業を行うための操作針を有する制御可能な少なくても1つのマニピュレータと、試料と焦点を合わせるためのフォーカスステージが一体、あるいはマニピュレータとフォーカスステージが同期させる手段を具備している事を特徴とする請求項1記載のマニピュレータ装置。  At least one controllable manipulator having an operation needle for performing a fine work on the sample placed on the first stage and a focus stage for focusing the sample are integrated, or the manipulator and the focus 2. The manipulator device according to claim 1, wherein the stage includes means for synchronizing. 前記顕微鏡と第一のステージに載置された試料に微細な作業を行うための操作針を有する駆動制御可能な少なくても1つのマニピュレータと、前記マニピュレータを駆動する駆動手段と、マニピュレータを制御するマニピュレータ制御手段と、マニピュレータを操作する操作手段と、試料と焦点を合わせるためのフォーカスステージを有し、フォーカスステージの駆動を制御するフォーカス制御手段によって第一のステージに載置された試料に焦点を合わした状態と顕微鏡を移動可能な第二のステージを移動させた状態までフォーカスステージを移動するオフセット設定手段を具備し、第一のステージに載置された試料に微細な作業を行う状態と同一になることを特徴とするマニピュレータ装置。  Controlling at least one manipulator having an operation needle for performing fine work on the sample placed on the microscope and the first stage, driving means for driving the manipulator, and the manipulator It has a manipulator control means, an operation means for operating the manipulator, and a focus stage for focusing the sample, and the focus control means for controlling the driving of the focus stage focuses the sample placed on the first stage. Equipped with offset setting means that moves the focus stage to the state where the microscope and the second stage that can move the microscope are moved, the same as the state of performing fine work on the sample placed on the first stage A manipulator device characterized by becoming.
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