JP2008039639A - 接触式計測用プローブ - Google Patents
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Abstract
被計測物を損傷することなく、被計測物と良好に接触できる接触式計測用プローブを提供する。
【解決手段】
プローブ5は上下駆動機構に取り付けられ、その先端が上方から電気回路に接触して電気計測器に信号を伝えるプローブにおいて、円錐の先端部3と棒状本体4とからなり、円錐の根元径が棒状本体4より細径である。
【選択図】 図2
Description
図1は、本発明を適用する接触式計測用プローブを搭載したフライングテスタで計測を行っている状態の要部を示す斜視図である。テスタのフライング部は、X軸ユニット6、Y軸ユニット7、Z軸ユニット8を有している。X軸ユニット6、Y軸ユニット7は、Z軸ユニット8に取付けられたプローブ5を平面方向(X−Y)に駆動する機構である。Z軸ユニット8はプローブ5を垂直(Z)に駆動する上下駆動機構である。Z軸ユニット8の下方であって、テスタの資料台(不図示)には計測すべき集積回路1が接着されたプリント基板10が乗せられる。したがって、プローブ5はZ軸ユニット8によりプリント基板10の検査ポイント2に接触、離脱できる。
このとき、プローブ5は、図4に示すように、万一必要以上の力が加わった場合でも、最大で円錐の先端部3までしかささらない構造になっている。あらかじめ被計測物にあった大きさの円錐の先端部3を設定しておけば、被計測物自体の突き破りを防止することができる。
Claims (4)
- 上下駆動機構に取り付けられ、その先端が上方から電気回路に接触して電気計測器に信号を伝えるプローブにおいて、円錐の先端部と棒状本体とからなり、該円錐の根元径が棒状本体より細径であることを特徴とする接触式計測用プローブ。
- 前記上下駆動機構がX-Y平面駆動機構に取り付けられていることを特徴とする請求項1に記載の接触式計測用プローブ。
- 該円錐の根元が棒状本体の平面端に固設されていることを特徴とする請求項1に記載の接触式計測用プローブ。
- 該円錐の根元が棒状本体の球面端に固設されていることを特徴とする請求項1に記載の接触式計測用プローブ。
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