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JP2008014859A - Radiation image conversion panel and method for manufacturing radiation image conversion panel - Google Patents

Radiation image conversion panel and method for manufacturing radiation image conversion panel Download PDF

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JP2008014859A
JP2008014859A JP2006187699A JP2006187699A JP2008014859A JP 2008014859 A JP2008014859 A JP 2008014859A JP 2006187699 A JP2006187699 A JP 2006187699A JP 2006187699 A JP2006187699 A JP 2006187699A JP 2008014859 A JP2008014859 A JP 2008014859A
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JP
Japan
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protective layer
layer
conversion panel
radiation image
phosphor layer
Prior art date
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Pending
Application number
JP2006187699A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
So Kubota
創 久保田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujifilm Corp
Original Assignee
Fujifilm Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
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Publication date
Application filed by Fujifilm Corp filed Critical Fujifilm Corp
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  • Conversion Of X-Rays Into Visible Images (AREA)
  • Luminescent Compositions (AREA)

Abstract

【課題】放射線像変換パネルにおいて、蛍光体層と保護層との密着強度を向上することができ、さらに、ヒロックや基板上に固定される枠と蛍光体層との段差に起因する、保護層の浮きを最小限にすることができ、この保護層浮きに起因する保護層と蛍光体層との密着強度の低下および画質低下を最小限にした、高画質な放射線画像を得ることができる放射線像変換パネル、および、放射線像変換パネルの製造方法を提供する。
【解決手段】放射線像変換パネル10の製造では、基板12に蛍光体層14を形成してなるパネル本体26と、保護層36および剥離可能な裏打ちフィルム32を貼着してなるシート材30とを、蛍光体層14と保護層36とを対面させて積層し、パネル本体26とシート材30とを圧着する第1の圧着を行う。その後、保護層36から裏打ちフィルム32を剥離して、保護層36とパネル本体26とを圧着する第2の圧着を行う。
【選択図】図1
In a radiation image conversion panel, the adhesion strength between a phosphor layer and a protective layer can be improved, and the protective layer is caused by a step between a hillock or a frame fixed on a substrate and the phosphor layer. The radiation that can obtain a high-quality radiation image that minimizes the deterioration of the adhesion strength and the image quality between the protective layer and the phosphor layer due to the floating of the protective layer. An image conversion panel and a method for manufacturing a radiation image conversion panel are provided.
In manufacturing a radiation image conversion panel 10, a panel body 26 having a phosphor layer 14 formed on a substrate 12, a sheet material 30 having a protective layer 36 and a peelable backing film 32 attached thereto, The phosphor layer 14 and the protective layer 36 are laminated so as to face each other, and a first pressure bonding is performed in which the panel body 26 and the sheet material 30 are pressure bonded. Thereafter, the backing film 32 is peeled off from the protective layer 36, and a second pressure bonding is performed in which the protective layer 36 and the panel body 26 are pressure bonded.
[Selection] Figure 1

Description

本発明は、放射線像変換パネルおよび放射線像変換パネルの製造方法の技術分野に属し、詳しくは、蛍光体層表面に貼着された保護層に圧着を行う放射線像変換パネルおよび放射線像変換パネルの製造方法に関する。   The present invention belongs to a technical field of a radiation image conversion panel and a method for manufacturing a radiation image conversion panel, and more specifically, a radiation image conversion panel and a radiation image conversion panel that are pressure-bonded to a protective layer attached to the surface of a phosphor layer. It relates to a manufacturing method.

放射線(X線、α線、β線、γ線、電子線、紫外線等)の照射を受けると、この放射線エネルギーの一部を蓄積し、その後、可視光等の励起光の照射を受けると、蓄積されたエネルギーに応じた輝尽発光を示す蛍光体が知られている。この蛍光体は、輝尽性蛍光体(蓄積性蛍光体)と呼ばれ、医療用途などの各種の用途に利用されている。   When irradiated with radiation (X-rays, α-rays, β-rays, γ-rays, electron beams, ultraviolet rays, etc.), a part of this radiation energy is accumulated, and then irradiated with excitation light such as visible light, Phosphors that exhibit photostimulated luminescence according to the stored energy are known. This phosphor is called a stimulable phosphor (accumulating phosphor) and is used for various applications such as medical applications.

一例として、この輝尽性蛍光体の膜(輝尽性蛍光体層 以下、蛍光体層とする)を有する放射線像変換パネル(以下、変換パネルとする(放射線像変換シートとも呼ばれている))を利用する、放射線画像情報記録再生システムが知られており、例えば、富士写真フイルム社製のFCR(Fuji Computed Radiography)等として実用化されている。
このシステムでは、人体などの被写体を介してX線等を照射することにより、変換パネル(蛍光体層)に被写体の放射線画像情報を記録する。記録後に、変換パネルをレーザ光等の励起光で2次元的に走査して輝尽発光を生ぜしめ、この輝尽発光光を光電的に読み取って画像信号を得、この画像信号に基づいて再生した画像を、CRTなどの表示装置や、写真感光材料などの記録材料等に、被写体の放射線画像として出力する。
As an example, a radiation image conversion panel (hereinafter referred to as a conversion panel (also referred to as a radiation image conversion sheet)) having this stimulable phosphor film (stimulable phosphor layer, hereinafter referred to as a phosphor layer). Radiation image information recording / reproducing system using the above) is known, and is put into practical use, for example, as FCR (Fuji Computed Radiography) manufactured by Fuji Photo Film Co., Ltd.
In this system, radiation image information of a subject is recorded on a conversion panel (phosphor layer) by irradiating X-rays or the like through a subject such as a human body. After recording, the conversion panel is two-dimensionally scanned with excitation light such as laser light to generate stimulated emission, and this stimulated emission is read photoelectrically to obtain an image signal, which is reproduced based on this image signal. The obtained image is output as a radiation image of the subject to a display device such as a CRT or a recording material such as a photographic photosensitive material.

変換パネルは、通常、輝尽性蛍光体の粉末をバインダ等を含む溶媒に分散してなる塗料を調製して、この塗料をガラスや樹脂製のパネル状の基板に塗布し、乾燥することによって、作成される。
これに対し、真空蒸着やスパッタリング等の真空成膜法(気相成膜法)によって、基板に蛍光体層を形成してなる変換パネルも知られている。真空成膜法による蛍光体層は、真空中で形成されるので不純物が少なく、また、輝尽性蛍光体以外のバインダなどの成分が殆ど含まれないので、性能のバラツキが少なく、しかも発光効率が非常に良好であるという、優れた特性を有している。
A conversion panel is usually prepared by preparing a paint in which a stimulable phosphor powder is dispersed in a solvent containing a binder, and applying the paint to a glass or resin panel-like substrate, followed by drying. Created.
On the other hand, a conversion panel in which a phosphor layer is formed on a substrate by a vacuum film formation method (vapor phase film formation method) such as vacuum deposition or sputtering is also known. The phosphor layer formed by the vacuum film formation method is formed in a vacuum, so there are few impurities, and since there are almost no components such as binders other than the stimulable phosphor, there is little variation in performance, and the luminous efficiency Has excellent properties of being very good.

真空成膜法で蛍光体層を形成した変換パネルの特性を劣化させる1つの要因として、蛍光体層表面に生じる微少の凹凸(微少突起部、以下、ヒロックとする)が挙げられる。
蛍光体層、特に、良好な特性を有するアルカリハライド系の蛍光体層は、柱状結晶構造を有するが、この柱状結晶の成長過程において、柱状結晶が局所的に異常成長したり、隣接する柱状結晶が互いに融合したりすることによって、図4(a)に示すように、蛍光体層114表面にヒロック150を生じる。
なお、図4(a)は、蛍光体層114表面にヒロック150が生じた際の変換パネルの一部を模式的に表した図である。
One factor that deteriorates the characteristics of the conversion panel in which the phosphor layer is formed by the vacuum film formation method is a minute unevenness (small protrusion, hereinafter referred to as hillock) generated on the surface of the phosphor layer.
The phosphor layer, in particular, an alkali halide phosphor layer having good characteristics, has a columnar crystal structure. During the growth of this columnar crystal, the columnar crystal locally grows abnormally or adjacent columnar crystals. As shown in FIG. 4A, hillocks 150 are generated on the surface of the phosphor layer 114.
FIG. 4A is a diagram schematically showing a part of the conversion panel when hillocks 150 are generated on the surface of the phosphor layer 114.

また、変換パネルの特性を劣化させる別の要因として、蛍光体層114の吸湿が挙げられる。
蛍光体層114、特に、良好な特性を有するアルカリハライド系の輝尽性蛍光体層は、吸湿性が高く、通常(常温/常湿)の環境下であっても、容易に吸湿する。その結果、輝尽発光特性すなわち感度の低下や、輝尽性蛍光体の結晶性の低下(例えば、柱状構造をもつアルカリハライド系の輝尽性蛍光体であれば、結晶の柱状性の崩壊)による再生画像の鮮鋭性の低下等を生じてしまう。
このような不都合をなくすために、変換パネルには、防湿性を有する透明シートを保護層136として用いて、この保護層136で蛍光体層114を覆って封止したものが知られている。
Another factor that deteriorates the characteristics of the conversion panel is moisture absorption of the phosphor layer 114.
The phosphor layer 114, particularly an alkali halide stimulable phosphor layer having good characteristics, has high hygroscopicity and easily absorbs moisture even in a normal (normal temperature / normal humidity) environment. As a result, the photostimulable light emission characteristics, that is, the sensitivity, and the crystallinity of the photostimulable phosphor are degraded (for example, if the alkali halide photostimulable phosphor having a columnar structure is collapsed) As a result, the sharpness of the reproduced image is reduced.
In order to eliminate such inconvenience, a conversion panel is known in which a moisture-proof transparent sheet is used as the protective layer 136 and the phosphor layer 114 is covered with the protective layer 136 and sealed.

例えば、特許文献1には、蛍光体層114表面に保護層136を形成する方法の一つとして、ハンドリングやしわ防止のために、保護層136(耐湿性フィルム)に保護層136の支持体となる裏打ちフィルム(再剥離フィルム)を貼り合せてなるシート材(貼合せフィルム)を用いて、このシート材の保護層136と蛍光体層114とを対面させて積層/圧着した後、保護層136から裏打ちフィルムを剥離して得られることを特徴とする放射線像変換パネルが開示されている。   For example, in Patent Document 1, as one method for forming the protective layer 136 on the surface of the phosphor layer 114, a protective layer 136 (humidity resistant film) and a support for the protective layer 136 are provided to prevent handling and wrinkles. Using a sheet material (laminated film) obtained by laminating a backing film (removable film), the protective layer 136 of the sheet material and the phosphor layer 114 face each other and are laminated / press-bonded, and then the protective layer 136 A radiation image conversion panel obtained by peeling off a backing film from a resin is disclosed.

ここで、上述のヒロック150を有する蛍光体層114表面を、保護層136等の被膜で覆うと、図4(a)に示すように、保護層136が、ヒロック150に追随せず、ヒロック150を中心にテントを貼ったように蛍光体層114から浮いた状態になる。この状態で、変換パネルの画像の再生を行うと、ヒロック150自身に起因する画像欠陥のみならずヒロック150によって保護層136が蛍光体層114から浮いた部分全て、すなわち、ヒロック150を中心にテント状になった領域全てが画像欠陥となってしまう。その結果、このヒロック150に起因する画像欠陥は、放射線画像上で点欠陥として視認できるようになり、その結果、各種の診断や検査に支障を来すことになる。   Here, when the surface of the phosphor layer 114 having the hillock 150 described above is covered with a coating such as the protective layer 136, the protective layer 136 does not follow the hillock 150 as shown in FIG. It floats from the phosphor layer 114 as if a tent was attached to the center. When the image on the conversion panel is reproduced in this state, not only the image defect caused by the hillock 150 itself but also all the portions where the protective layer 136 is lifted from the phosphor layer 114 by the hillock 150, that is, the tent centering on the hillock 150. The entire region becomes an image defect. As a result, the image defect caused by the hillock 150 can be visually recognized as a point defect on the radiographic image, and as a result, various diagnoses and examinations are hindered.

また、図4(b)の模式図に示すように、基板112に枠120を固定し、この枠120内に蛍光体層114を形成した変換パネルも知られている。このような変換パネルの蛍光体層114を封止するためには、保護層136等の被膜を蛍光体層114表面および枠120上面に貼着する。このとき、図4(b)に示すように、保護層136が蛍光体層114表面と枠120上面との段差に追従せず、保護層136の端の部分が蛍光体層114から浮いてしまい、このような浮きは、点欠陥やムラのみならず、保護層136の強度が周囲よりも弱くなる問題があり、また、保護層136と蛍光体層114との密着強度の低下の要因ともなる。この状態で、変換パネルの画像の再生を行うと、変換パネルの画像端部の保護層136が蛍光体層114から浮いた領域にムラが生じてしまう。その結果、画像端部の結果を正確に診断することが困難になり、各種の診断や検査に支障を来すことになる。   As shown in the schematic diagram of FIG. 4B, a conversion panel in which a frame 120 is fixed to a substrate 112 and a phosphor layer 114 is formed in the frame 120 is also known. In order to seal the phosphor layer 114 of such a conversion panel, a coating such as a protective layer 136 is attached to the surface of the phosphor layer 114 and the upper surface of the frame 120. At this time, as shown in FIG. 4B, the protective layer 136 does not follow the step between the surface of the phosphor layer 114 and the upper surface of the frame 120, and the end portion of the protective layer 136 floats from the phosphor layer 114. Such a float causes not only point defects and unevenness but also a problem that the strength of the protective layer 136 is weaker than that of the surroundings, and also causes a decrease in the adhesion strength between the protective layer 136 and the phosphor layer 114. . When the image on the conversion panel is reproduced in this state, unevenness occurs in the region where the protective layer 136 at the image edge of the conversion panel is lifted from the phosphor layer 114. As a result, it becomes difficult to accurately diagnose the result of the image edge, which hinders various diagnoses and examinations.

特開2005−172800号公報JP-A-2005-172800

本発明の目的は、前記従来技術の問題点を解決することにあり、気相堆積法による蛍光体層を保護層で覆ってなる放射線像変換パネルにおいて、蛍光体層と保護層との密着強度を向上することができ、さらに、ヒロックや放射線像変換パネルの基板上に固定される枠と蛍光体層との段差に起因する、保護層の浮きを最小限にすることができ、この保護層浮きに起因する保護層と蛍光体層との密着強度の低下および画質低下を最小限にした、高画質な放射線画像を得ることができる放射線像変換パネル、および、放射線像変換パネルの製造方法を提供することにある。   An object of the present invention is to solve the problems of the prior art, and in a radiation image conversion panel in which a phosphor layer is covered with a protective layer by a vapor deposition method, the adhesion strength between the phosphor layer and the protective layer. In addition, this protective layer can minimize the floating of the protective layer due to the step between the frame fixed on the substrate of the hillock or the radiation image conversion panel and the phosphor layer. A radiation image conversion panel capable of obtaining a high-quality radiation image with minimal deterioration in adhesion strength and image quality deterioration between the protective layer and the phosphor layer caused by floating, and a method for manufacturing the radiation image conversion panel It is to provide.

上記目的を達成するために、本発明は、気相堆積法によって形成された蛍光体層を有し、この蛍光体層を保護層で覆ってなる放射線像変換パネルを製造するに際し、基板に前記蛍光体層を形成してなるパネル本体と、前記保護層および剥離可能な裏打ちフィルムを貼着してなるシート材とを、前記保護層の裏打ちフィルムの無い面あるいは前記蛍光体層表面の一方または双方に接着剤を塗布した後、前記蛍光体層と前記保護層とを対面させて積層して、前記パネル本体とシート材とを圧着する第1の圧着を行い、その後、前記保護層から前記裏打ちフィルムを剥離して、前記保護層と前記パネル本体とを圧着する第2の圧着を行うことを特徴とする放射線像変換パネルの製造方法を提供するものである。   In order to achieve the above object, the present invention has a phosphor layer formed by a vapor deposition method, and in manufacturing a radiation image conversion panel in which the phosphor layer is covered with a protective layer, A panel body formed by forming a phosphor layer and a sheet material formed by adhering the protective layer and a peelable backing film, the surface of the protective layer without the backing film or the surface of the phosphor layer or After applying the adhesive on both sides, the phosphor layer and the protective layer are laminated so as to face each other, and a first pressure bonding is performed to pressure-bond the panel body and the sheet material. The present invention provides a method for producing a radiation image conversion panel, wherein a backing film is peeled off and second pressure bonding is performed to pressure-bond the protective layer and the panel body.

本発明においては、前記蛍光体層と前記保護層とを接着する接着剤が熱可塑性樹脂であり、かつ、前記第1の圧着および第2の圧着が熱圧着であるのが好ましい。   In this invention, it is preferable that the adhesive agent which adhere | attaches the said fluorescent substance layer and the said protective layer is a thermoplastic resin, and the said 1st crimping | compression-bonding and 2nd crimping | compression-bonding are thermocompression bonding.

また、本発明においては、前記保護層の熱伝導率が0.01W/m・K〜10.0W/m・Kであるのが好ましい。   In the present invention, the protective layer preferably has a thermal conductivity of 0.01 W / m · K to 10.0 W / m · K.

また、本発明においては、前記保護層のヤング率が0.01GPa〜100GPaであるのが好ましい。   In the present invention, the Young's modulus of the protective layer is preferably 0.01 GPa to 100 GPa.

また、本発明においては、前記保護層の厚みが1μm〜20μmであるのが好ましい。   Moreover, in this invention, it is preferable that the thickness of the said protective layer is 1 micrometer-20 micrometers.

また、本発明においては、前記保護層は、熱伝導率が0.1W/m・K〜0.3W/m・Kで、ヤング率が1GPa〜10GPaで、さらに、厚みが1μm〜10μmであるのが好ましい。   In the present invention, the protective layer has a thermal conductivity of 0.1 W / m · K to 0.3 W / m · K, a Young's modulus of 1 GPa to 10 GPa, and a thickness of 1 μm to 10 μm. Is preferred.

上記目的を達成するために、本発明は、上記いずれかの放射線像変換パネルの製造方法で製造されてなる放射線像変換パネルを提供するものである。   In order to achieve the above object, the present invention provides a radiation image conversion panel manufactured by any one of the above-described methods for manufacturing a radiation image conversion panel.

本発明は、気相堆積法による蛍光体層を保護層等で覆ってなる放射線像変換パネルにおいて、ハンドリングやしわ防止のために裏打ちフィルムと保護層とを貼着したシート材を用いると共に、まず、シート材と蛍光体層とを圧着する第1の圧着を行い、保護層(シート材)から裏打ちフィルムを剥離した後に、保護層と蛍光体層とを圧着する第2の圧着を行う。
そのため、本発明は、裏打ちフィルムと保護層とを貼着したシート材を用いることで、ハンドリング性の向上や保護層のシワ防止を図り、第1の圧着で裏打ちフィルムの剥離作業性を充分に確保できると共に、第2の圧着を行うことにより、保護層をヒロックや蛍光体層表面と枠上面との段差に追随させることができ、これらに起因する保護層の浮きを最小限にできる。その結果、この浮きに起因する放射線画像の画質低下を最小限にして、高画質な放射線画像を得ることができ、さらに、放射線像変換パネルの歩留りも向上することができ、浮きに起因する保護層と蛍光体層との密着強度低下も防止できる。
The present invention uses a sheet material in which a backing film and a protective layer are attached for the purpose of handling and wrinkle prevention in a radiation image conversion panel in which a phosphor layer by a vapor deposition method is covered with a protective layer or the like. First, pressure bonding is performed to press the sheet material and the phosphor layer, and after the backing film is peeled off from the protective layer (sheet material), the second pressure bonding is performed to press the protective layer and the phosphor layer.
Therefore, the present invention uses a sheet material with a backing film and a protective layer adhered to improve handling properties and prevent the protective layer from wrinkling, and the first pressure bonding sufficiently provides the workability of peeling the backing film. In addition to securing the protective layer, it is possible to follow the step between the surface of the hillock or the phosphor layer and the upper surface of the frame by performing the second pressure bonding, and the floating of the protective layer due to these can be minimized. As a result, it is possible to obtain a high-quality radiographic image by minimizing the image quality degradation of the radiographic image due to the floating, and to improve the yield of the radiation image conversion panel, and to protect due to the floating. It is also possible to prevent a decrease in adhesion strength between the layer and the phosphor layer.

以下、本発明の放射線像変換パネルおよび放射線像変換パネルの製造方法について、添付の図を用いて詳細に説明する。図1は、本発明の放射線像変換パネルの製造方法の一実施形態を示す概略製造工程図である。   Hereinafter, the radiation image conversion panel and the method for manufacturing the radiation image conversion panel of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. FIG. 1 is a schematic production process diagram showing one embodiment of a method for producing a radiation image conversion panel of the present invention.

本発明の放射線像変換パネル(以下、単に変換パネルとする)10は、本実施形態においては、気相堆積法によって形成された蛍光体層14を有し、接着層38を介して、この蛍光体層14を保護層36で覆ってなる変換パネル10(図1(d)参照)を製造するに際し、図1(a)に示すように、枠20が固定された基板12に蛍光体層14を形成してなる放射線像変換パネル本体(以下、単に変換パネル本体とする)26と、保護層36と剥離可能な裏打ちフィルム32とを貼着し、さらに、裏打ちフィルム32が貼着されていない保護層36表面に接着層38を形成してなるシート材30とを、図1(b)に示すように、蛍光体層14と保護層36(接着層38)とを対面させて積層して、シート材30と変換パネル本体26とを圧着する第1の圧着を行い、その後、保護層36から裏打ちフィルム32を剥離して、保護層36と変換パネル本体26とを圧着する第2の圧着を行うことにより形成されるものである。   In the present embodiment, a radiation image conversion panel (hereinafter simply referred to as a conversion panel) 10 of the present invention has a phosphor layer 14 formed by a vapor deposition method, and this fluorescence is transmitted through an adhesive layer 38. When manufacturing the conversion panel 10 (see FIG. 1D) in which the body layer 14 is covered with the protective layer 36, as shown in FIG. 1A, the phosphor layer 14 is attached to the substrate 12 to which the frame 20 is fixed. A radiation image conversion panel main body (hereinafter simply referred to as a conversion panel main body) formed by forming a protective layer 36 and a peelable backing film 32 are attached, and the backing film 32 is not attached. As shown in FIG. 1B, the sheet material 30 having the adhesive layer 38 formed on the surface of the protective layer 36 is laminated with the phosphor layer 14 and the protective layer 36 (adhesive layer 38) facing each other. The sheet material 30 and the conversion panel body 26 are pressure-bonded. That first performs compression, then peeled off the backing film 32 from the protective layer 36 are those formed by performing a second crimp crimping the protective layer 36 and the conversion panel body 26.

図1(a)に示すように、シート材30は、本実施形態においては、裏打ちフィルム32、保護層36および接着層38とで構成されるものである。   As shown to Fig.1 (a), the sheet | seat material 30 is comprised by the backing film 32, the protective layer 36, and the contact bonding layer 38 in this embodiment.

本発明において、裏打ちフィルム32は、蛍光体層14に貼り合せる保護層36の支持体となるものであり、汎用の裏打ちシート付きのシール等のように、保護層36から剥離可能なものである。   In the present invention, the backing film 32 serves as a support for the protective layer 36 to be bonded to the phosphor layer 14, and can be peeled off from the protective layer 36, such as a seal with a general-purpose backing sheet. .

本発明において、裏打ちフィルム32は、上述のように、最終用途である本発明の変換パネル10を得る前に剥離されるため、透明である必要はなく、また、形成材料にも特に限定は無いが、ポリエチレンやポリプロピレン等のオレフィン系プラスチック、ポリ塩化ビニールやポリアクリロニトリル等のビニル系プラスチック、ポリエチレンテレフタレートやポリブチレンテレフタレート等のポリエステル系プラスチック、ポリウレタン系プラスチック、アクリル系プラスチック、ビスフェノールAをビスフェノール成分として含有するポリカーボネート、等のプラスチックを好ましく用いることができる。   In the present invention, as described above, the backing film 32 is peeled off before obtaining the conversion panel 10 of the present invention, which is the final application, and therefore does not need to be transparent, and the forming material is not particularly limited. Contains olefin plastics such as polyethylene and polypropylene, vinyl plastics such as polyvinyl chloride and polyacrylonitrile, polyester plastics such as polyethylene terephthalate and polybutylene terephthalate, polyurethane plastics, acrylic plastics, and bisphenol A as the bisphenol component Plastics such as polycarbonate can be preferably used.

また、裏打ちフィルム32は、置換あるいは非置換シクロアルキリデン基、炭素数が5以上のアルキリデン基やアラアルキレン基を有するビスフェノール成分をビスフェノール成分の一部として含有するポリアリレート、ポリカーボネート、ポリエステルカーボネートなどのプラスチックが好適である。具体的には、1,1−ビス(4−ヒドロキシフェニル)−シクロへキサン、1,1−ビス(4−ヒドロキシフェニル)−3,3,5−トリメチルシクロへキサン、3,3−ビス(4−ヒドロキシフェニル)−ペンタン、4,4−ビス(4−ヒドロキシフェニル)−ヘプタン、ビス(4−ヒドロキシフェニル)−フェニルメタンをビスフェノール成分として有するポリカーボネート、ポリアリレートやポリエステルカーボネート、等のプラスチックも用いることができる。   Further, the backing film 32 is a plastic such as polyarylate, polycarbonate, polyester carbonate containing a bisphenol component having a substituted or unsubstituted cycloalkylidene group, an alkylidene group having 5 or more carbon atoms or an aralkylene group as a part of the bisphenol component. Is preferred. Specifically, 1,1-bis (4-hydroxyphenyl) -cyclohexane, 1,1-bis (4-hydroxyphenyl) -3,3,5-trimethylcyclohexane, 3,3-bis ( Plastics such as polycarbonate, polyarylate and polyester carbonate having 4-hydroxyphenyl) -pentane, 4,4-bis (4-hydroxyphenyl) -heptane, and bis (4-hydroxyphenyl) -phenylmethane as the bisphenol component are also used. be able to.

さらに、裏打ちフィルム32は、ポリエーテルスルホン、ポリスルホン、ポリアミド、セルローストリアセテートなどのプラスチックも、好適に用いることができる。加えて、環状オレフィン系やノルボルネン系のプラスチックやフルオレン骨格を有するアモルファスのポリエステル系のプラスチックも好適に用いることができる。   Furthermore, as the backing film 32, plastics such as polyethersulfone, polysulfone, polyamide, and cellulose triacetate can be suitably used. In addition, a cyclic olefin-based or norbornene-based plastic or an amorphous polyester-based plastic having a fluorene skeleton can also be suitably used.

特に、裏打ちフィルム32は、ポリエチレンやポリプロピレン等のポリオレフィン系プラスチック、ポリエチレンテレフタレートやポリブチレンテレフタレート等のポリエステル系プラスチックから成るフィルムが好ましい。   In particular, the backing film 32 is preferably a film made of a polyolefin plastic such as polyethylene or polypropylene, or a polyester plastic such as polyethylene terephthalate or polybutylene terephthalate.

本発明においては、裏打ちフィルム32の厚みには、特に限定は無いが、10μm〜500μmであるのが好ましく、さらに、20μm〜150μmであるのがより好ましい。裏打ちフィルム32の厚みを10μm以上とすることにより、保護層36を支持することや保護層36を蛍光体層14表面および枠20上面にラミネートする際のハンドリングを容易にすることが可能となる。また、裏打ちフィルム32の厚みを500μm以下とすることにより、裏打ちフィルム32に保護層36を貼着した後の巻取りや第1の圧着におけるシート材30と変換パネル26との圧着を充分に行うことができる。   In the present invention, the thickness of the backing film 32 is not particularly limited, but is preferably 10 μm to 500 μm, and more preferably 20 μm to 150 μm. By setting the thickness of the backing film 32 to 10 μm or more, it becomes possible to support the protective layer 36 and facilitate handling when the protective layer 36 is laminated on the surface of the phosphor layer 14 and the upper surface of the frame 20. In addition, by setting the thickness of the backing film 32 to 500 μm or less, the sheet material 30 and the conversion panel 26 are sufficiently crimped in winding or first crimping after the protective layer 36 is adhered to the backing film 32. be able to.

本発明においては、裏打ちフィルムの剥離力は、小さい方が好ましいが、余り小さいと、積層フィルム加工時に発泡などの問題を生じやすい。一方、余り大きいと再剥離時にフィルムが変形するなどの不都合を生じる。従って、剥離強度は10g/25mm〜70g/25mmの範囲が好ましく、さらには15g/25mm〜50g/25mmの範囲がより好ましい。   In the present invention, the peeling force of the backing film is preferably small, but if it is too small, problems such as foaming tend to occur during the processing of the laminated film. On the other hand, if it is too large, problems such as deformation of the film during re-peeling occur. Accordingly, the peel strength is preferably in the range of 10 g / 25 mm to 70 g / 25 mm, and more preferably in the range of 15 g / 25 mm to 50 g / 25 mm.

本発明において、保護層36は、吸湿性の高い蛍光体層14を覆って、蛍光体層14の吸湿を防止するものであり、防湿性に優れたもので、かつ、放射線の入射および蛍光体層14からの発光光の出射を妨げない光学特性を有するものであれば、特に限定は無い。   In the present invention, the protective layer 36 covers the highly hygroscopic phosphor layer 14 to prevent the phosphor layer 14 from absorbing moisture, is excellent in moisture proofness, and has a high incidence of radiation and phosphor. There is no particular limitation as long as it has optical characteristics that do not hinder emission of emitted light from the layer 14.

本発明においては、保護層36の熱伝導率には、特に限定は無いが、0.01W/m・K〜10.0W/m・Kであるのが好ましく、さらに、0.1W/m・K〜0.3W/m・Kであるのがより好ましい。
保護層36の熱伝導率が0.01W/m・K以上であることにより、第1の圧着として熱圧着(熱ラミネート)を行った際に、効果的に接着層38に熱を伝導することができ、特に、熱可塑性樹脂で形成された接着層38を介して、シート材30と蛍光体層14表面および枠上面(変換パネル本体26)とを貼着する場合には、シート材30と蛍光体層14表面および枠上面との充分な密着強度を確保することができる。また、保護層36の熱伝導率が0.01W/m・K以上であることにより、第2の圧着として熱ラミネートをを行った際にも、効果的に接着層38に熱を伝導することができ、特に、接着層38が熱可塑性樹脂で形成される場合には、接着層38を軟化させ、粘着性を上昇させることができる。これにより、保護層36が蛍光体層14表面のヒロックや蛍光体層14表面および枠20上面との段差を追従した状態で、保護層36と蛍光体層14表面および枠20上面とを貼着することが可能になる。また、保護層36の熱伝導率が10.0W/m・K以下であることにより、第1および第2の圧着として、熱ラミネートを行った際に、熱が保護層36や蛍光体層14に過剰に伝導し、保護層36や蛍光体層14にダメージを与えることを防止することができる。
In the present invention, the thermal conductivity of the protective layer 36 is not particularly limited, but is preferably 0.01 W / m · K to 10.0 W / m · K, and more preferably 0.1 W / m · K. More preferably, it is K to 0.3 W / m · K.
When the thermal conductivity of the protective layer 36 is 0.01 W / m · K or more, heat can be effectively conducted to the adhesive layer 38 when thermocompression bonding (thermal lamination) is performed as the first pressure bonding. In particular, when the sheet material 30 and the surface of the phosphor layer 14 and the upper surface of the frame (conversion panel body 26) are bonded via the adhesive layer 38 formed of a thermoplastic resin, the sheet material 30 Sufficient adhesion strength between the surface of the phosphor layer 14 and the upper surface of the frame can be ensured. Further, when the thermal conductivity of the protective layer 36 is 0.01 W / m · K or more, heat can be effectively conducted to the adhesive layer 38 even when thermal lamination is performed as the second pressure bonding. In particular, when the adhesive layer 38 is formed of a thermoplastic resin, the adhesive layer 38 can be softened and the tackiness can be increased. As a result, the protective layer 36 adheres to the surface of the phosphor layer 14 and the surface of the phosphor layer 14 and the upper surface of the frame 20 with the hillock on the surface of the phosphor layer 14 and the step difference between the surface of the phosphor layer 14 and the upper surface of the frame 20 being adhered. It becomes possible to do. Further, since the thermal conductivity of the protective layer 36 is 10.0 W / m · K or less, the heat is applied to the protective layer 36 and the phosphor layer 14 when the thermal lamination is performed as the first and second pressure bonding. Therefore, it is possible to prevent the protective layer 36 and the phosphor layer 14 from being damaged excessively.

本発明においては、保護層36のヤング率には、特に限定は無いが、0.01GPa〜100GPaであるのが好ましく、さらに、1GPa〜10GPaであるのがより好ましい。
保護層36のヤング率が0.01GPa以上であることにより、第1および第2の圧着によって、保護層36がダメージを受けることを防止することができる。また、保護層36のヤング率が10GPa以下であることにより、第2の圧着の際に、保護層36が蛍光体層14表面のヒロック50や蛍光体層14表面と枠20上面との段差を追従することが可能になる。
In the present invention, the Young's modulus of the protective layer 36 is not particularly limited, but is preferably 0.01 GPa to 100 GPa, and more preferably 1 GPa to 10 GPa.
When the Young's modulus of the protective layer 36 is 0.01 GPa or more, it is possible to prevent the protective layer 36 from being damaged by the first and second pressure bonding. Further, since the Young's modulus of the protective layer 36 is 10 GPa or less, the protective layer 36 has a step between the hillock 50 on the surface of the phosphor layer 14 and the surface of the phosphor layer 14 and the upper surface of the frame 20 during the second pressure bonding. It becomes possible to follow.

本発明においては、保護層36の厚みには、特に限定は無いが、1μm〜20μmであるのが好ましく、さらに、1μm〜10μmであるのがより好ましい。
保護層36の厚みが1μm以上であることにより、裏打ちフィルム32に保護層36を貼着する際のハンドリングを容易に行うことができる。また、保護層36の厚みが20μm以下であることにより、第1の圧着の際には、シート材30と変換パネル本体26とを充分に貼着ることが可能になり、また、第2の圧着の際には、保護層36が蛍光体層14表面のヒロック50や蛍光体層14表面と枠20上面との段差を追従することが可能になる。
In the present invention, the thickness of the protective layer 36 is not particularly limited, but is preferably 1 μm to 20 μm, and more preferably 1 μm to 10 μm.
When the thickness of the protective layer 36 is 1 μm or more, handling when the protective layer 36 is stuck to the backing film 32 can be easily performed. Further, since the thickness of the protective layer 36 is 20 μm or less, the sheet material 30 and the conversion panel main body 26 can be sufficiently attached during the first pressure bonding, and the second pressure bonding is performed. In this case, the protective layer 36 can follow the hillock 50 on the surface of the phosphor layer 14 and the step between the surface of the phosphor layer 14 and the upper surface of the frame 20.

本発明において、保護層36には、特に限定はなく、充分な防湿性、強度、透明性、化学的安定性を備えていれば公知のフィルム(シート)を使用することが可能で、具体的には、公知のポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリアミド、ポリイミド、アラミド樹脂、ポリカーボネート、ポリエチレン、ポリウレタン、ポリプロピレン、ポリ塩化ビニリデンなどの材料から任意に選ぶことができる。   In the present invention, the protective layer 36 is not particularly limited, and a known film (sheet) can be used as long as it has sufficient moisture resistance, strength, transparency, and chemical stability. Can be arbitrarily selected from known materials such as polyethylene terephthalate, polyethylene naphthalate, polyamide, polyimide, aramid resin, polycarbonate, polyethylene, polyurethane, polypropylene, and polyvinylidene chloride.

また、本発明においては、保護層36は、図1に示すような単層構造ではなく、上述のフィルムの上に、金属酸化物、金属窒化物または金属酸窒化物などの無機層を積層したものであってもよい。一例として、フィルム上に積層する膜は、波長300nmから1000nmで光吸収が少なくかつガスバリア性を有する無機物質を蒸着した透明な蒸着層であることが好ましい。波長300nmから1000nmで光吸収が少ない無機物質としては、例えば、酸化ケイ素、窒化ケイ素、酸化アルミニウム、窒化アルミニウム、酸化ジルコニウム、酸化スズ、酸化窒化ケイ素、酸化窒化アルミニウム等を好ましくあげることができる。これらのうち特に酸化アルミニウム、酸化ケイ素、酸化窒化ケイ素は光透過率が高くかつガスバリア性が高い、すなわちクラックやマイクロポアが少なく緻密な膜を形成することができるのでより好ましく用いることができる。
また、上述のフィルム上に積層する膜も単層構造に限定されず、無機層の二層構造としてもよく、それぞれの無機層は異なる材質からなるものであっても、同じ材質からなるものであってもよい。
In the present invention, the protective layer 36 is not a single layer structure as shown in FIG. 1, but an inorganic layer such as a metal oxide, a metal nitride, or a metal oxynitride is laminated on the above-described film. It may be a thing. As an example, the film laminated on the film is preferably a transparent deposited layer in which an inorganic substance having a light barrier property and a gas barrier property is deposited at a wavelength of 300 nm to 1000 nm. Preferred examples of the inorganic substance having a light absorption at a wavelength of 300 to 1000 nm include silicon oxide, silicon nitride, aluminum oxide, aluminum nitride, zirconium oxide, tin oxide, silicon oxynitride, and aluminum oxynitride. Among these, aluminum oxide, silicon oxide, and silicon oxynitride are particularly preferable because they have high light transmittance and high gas barrier properties, that is, a dense film with few cracks and micropores can be formed.
Further, the film laminated on the above-described film is not limited to a single layer structure, and may be a two-layer structure of inorganic layers. Each inorganic layer may be made of the same material even if it is made of different materials. There may be.

さらに、上述のフィルム上に積層する膜は、無機層と無機層との間に有機無機複合化合物層を設けた三層構造としてもよい。有機無機複合化合物層は、各種の無機材料と各種の有機材料との複合材料からなる層である。このような複合層を有することにより、無機層の欠陥を埋めることができ、両側に配される無機層が有する防湿性能を最大限に発現することが可能となり、三層構造の機能膜は、長期にわたって吸湿による蛍光体層14の劣化を防止できる、高品位な変換パネル10を実現することができる。   Furthermore, the film laminated on the above-described film may have a three-layer structure in which an organic-inorganic composite compound layer is provided between the inorganic layer and the inorganic layer. The organic-inorganic composite compound layer is a layer made of a composite material of various inorganic materials and various organic materials. By having such a composite layer, it is possible to fill in the defects of the inorganic layer, it is possible to maximize the moisture-proof performance of the inorganic layer disposed on both sides, the functional film of the three-layer structure, A high-quality conversion panel 10 that can prevent deterioration of the phosphor layer 14 due to moisture absorption over a long period of time can be realized.

上記有機無機複合化合物層は、放射線や輝尽発光光が透過可能であれば、各種の無機材料と有機材料との複合材料からなる層が利用可能である。無機材料としては、一例として、(a)酸化ケイ素等の前述の防湿層を形成する物質であって粉末状としたもの、(b)1種以上の金属アルコキシドおよびその加水分解物、ならびに、(c)塩化スズのうちの少なくとも1種からなるものが用いられる。他方、有機材料としては、ポリビニルアルコール(PVA)やメチルセルース等の水溶性高分子物質が用いられる。   As the organic-inorganic composite compound layer, a layer made of a composite material of various inorganic materials and organic materials can be used as long as it can transmit radiation and stimulated emission light. As an inorganic material, for example, (a) a substance that forms the above moisture-proof layer, such as silicon oxide, in powder form, (b) one or more metal alkoxides and hydrolysates thereof, and ( c) At least one kind of tin chloride is used. On the other hand, as the organic material, a water-soluble polymer substance such as polyvinyl alcohol (PVA) or methyl cellulose is used.

上記有機無機複合化合物層の形成は、上記無機材料と有機材料の混合物を、水溶液あるいは水/アルコール混合溶液とし、これを主剤とするコーティング剤を塗布等することにより行う。具体的な形成方法にも、特に限定はなく、ゾルゲル法、グラビアコーティング、ロールコーティング、ドクターブレードコーティング、ディップコーティング、スライドコーティングおよびエクストルージョンコーティングなどの各種の塗布法、スクリーン印刷法、スプレー法等の各種の成膜手段が利用可能である。有機無機複合化合物層の厚さは特に限定するものではないが、良好な防湿性能が得られる厚さであって、かつトータルでの保護層14の厚膜化を回避することができるように、0.3μm〜1μmであるのが好ましい。また、有機無機複合化合物層において無機材料と有機材料との比率は、機能膜38の欠陥埋め効果が好適に得られる、すなわち、有機無機複合化合物層自身が防湿性を発現して保護層36全体として有機無機複合化合物層がバリケード効果を発揮できる等の観点から、有機材料の量を10重量%〜50重量%、特に、20重量%〜40重量%とすることが好ましい。   The organic-inorganic composite compound layer is formed by applying a coating agent containing the inorganic material and the organic material as an aqueous solution or a water / alcohol mixed solution and using the mixture as a main component. The specific forming method is not particularly limited, and various coating methods such as sol-gel method, gravure coating, roll coating, doctor blade coating, dip coating, slide coating and extrusion coating, screen printing method, spraying method, etc. Various film forming means can be used. The thickness of the organic-inorganic composite compound layer is not particularly limited, but is a thickness that can provide good moisture-proof performance, and can prevent the total thickness of the protective layer 14 from being increased. It is preferable that it is 0.3 micrometer-1 micrometer. Further, the ratio of the inorganic material to the organic material in the organic-inorganic composite compound layer is such that the defect filling effect of the functional film 38 can be suitably obtained, that is, the organic-inorganic composite compound layer itself exhibits moisture resistance and the protective layer 36 as a whole. From the standpoint that the organic-inorganic composite compound layer can exhibit a barricade effect, the amount of the organic material is preferably 10 wt% to 50 wt%, particularly preferably 20 wt% to 40 wt%.

本発明において、接着層38は、蛍光体層14を保護層36(シート材30)で封止接着するために用いられるものであり、放射線の入射及び蛍光体層14からの発光光の出射を妨げない光学特性をするものであれば、特に限定は無いが、ポリエステル、ポリアミド、ポリイミド、ポリプロピレン、ポリメチルペンテン、ポリ塩化ビニル、ポリビニルアセタール、ポリメタル酸メチル、ポリカーボネート、ポリウレタン等の熱可塑性樹脂が好ましい。
熱可塑性樹脂を用いることについての利点は、後の変換パネルの製造方法において、詳述する。
In the present invention, the adhesive layer 38 is used for sealing and adhering the phosphor layer 14 with the protective layer 36 (sheet material 30). The adhesive layer 38 is adapted to receive radiation and emit emitted light from the phosphor layer 14. There is no particular limitation as long as it has optical characteristics that do not hinder, but thermoplastic resins such as polyester, polyamide, polyimide, polypropylene, polymethylpentene, polyvinyl chloride, polyvinyl acetal, methyl polymetalate, polycarbonate, and polyurethane are preferable. .
Advantages of using the thermoplastic resin will be described in detail later in the method for manufacturing a conversion panel.

他方、図1(a)に示すように、変換パネル本体26は、本実施形態においては、基板12と基板12上に固定される枠20と枠20の内側に形成される蛍光体層14とで構成されるものである。   On the other hand, as shown in FIG. 1A, in this embodiment, the conversion panel body 26 includes a substrate 12, a frame 20 fixed on the substrate 12, and a phosphor layer 14 formed inside the frame 20. It is comprised by.

本発明において、基板12には特に限定はなく、後の蒸着や熱処理に対する耐熱性に応じて、通常の蛍光体パネルで使用されている各種のものが利用可能である。
一例として、セルロースアセテートフィルム、ポリエステルフィルム、ポリエチレンテレフタレートフィルム、ポリアミドフィルム、ポリイミドフィルム、トリアセテートフィルム、ポリカーボネートフィルムなどのプラスチックフィルム; 石英ガラス、無アルカリガラス、ソーダガラス、耐熱ガラス(パイレックスTM等)などから形成されるガラス板; アルミニウムシート、鉄シート、銅シート、クロムシートなどの金属シートあるいは金属酸化物の被服層を有する金属シート; 等が例示される。
なお、本発明においては、基板12は、前記フィルムやシートそのものであってもよく、あるいは、基材の表面に輝尽発光光を反射するための反射膜、あるいはさらに、反射膜の上に反射膜を保護するためのバリア膜、基材の保護膜等を有するものであってもよい。
In the present invention, the substrate 12 is not particularly limited, and various substrates used in ordinary phosphor panels can be used according to heat resistance against subsequent vapor deposition and heat treatment.
Examples include plastic films such as cellulose acetate film, polyester film, polyethylene terephthalate film, polyamide film, polyimide film, triacetate film and polycarbonate film; formed from quartz glass, alkali-free glass, soda glass, heat-resistant glass (Pyrex TM, etc.), etc. Examples of such a glass plate include: a metal sheet such as an aluminum sheet, an iron sheet, a copper sheet, and a chromium sheet; or a metal sheet having a metal oxide coating layer;
In the present invention, the substrate 12 may be the film or the sheet itself, or a reflective film for reflecting the photostimulated luminescent light on the surface of the base material, or further reflected on the reflective film. You may have a barrier film for protecting a film | membrane, the protective film of a base material, etc.

本実施形態においては、基板12表面に、基板12上における蛍光体層14の形成領域(すなわち、蛍光体パネルの撮像領域)に応じて、所定の厚み、外形、幅の枠20を有する。
枠20の形状には、特に限定はなく、変換パネル10の撮像領域に応じて、適宜、限定すればよいが、図示例においては、一例として、上下面が開放する四角柱状のものである。
また、枠20の形成材料にも、特に限定は無いが、変換パネル10の温度が変化した場合の熱膨張率差による変形を低減するために、例えば、基板12と同一素材のものが好ましい。
In the present embodiment, a frame 20 having a predetermined thickness, outer shape, and width is provided on the surface of the substrate 12 in accordance with the formation region of the phosphor layer 14 on the substrate 12 (that is, the imaging region of the phosphor panel).
The shape of the frame 20 is not particularly limited, and may be appropriately limited according to the imaging region of the conversion panel 10. However, in the illustrated example, the shape is a quadrangular prism with open upper and lower surfaces.
Further, the material for forming the frame 20 is not particularly limited, but for example, the same material as that of the substrate 12 is preferable in order to reduce deformation due to a difference in coefficient of thermal expansion when the temperature of the conversion panel 10 changes.

本実施形態においては、上述のように、基板12上に枠20を設け、ここに蛍光体層14の封止を行う保護層36を接着する構成とすることにより、保護層36で蛍光体層14を封止する際に、蛍光体層14の表面と保護層36との接着面をほぼ同一平面上にできるため、蛍光体層14の封止を容易に行う事ができ、且つ、封止時の際における蛍光体層14の保護も図ることができる。   In the present embodiment, as described above, the frame 20 is provided on the substrate 12, and the protective layer 36 for sealing the phosphor layer 14 is adhered to the frame 20. When sealing 14, the surface of the phosphor layer 14 and the protective layer 36 can be bonded on substantially the same plane, so that the phosphor layer 14 can be easily sealed and sealed. The phosphor layer 14 can be protected at times.

蛍光体層14を形成する蛍光体には、特に限定はなく、各種のものが利用可能である。好ましくは、波長が400nm〜900nmの範囲の励起光により、300nm〜500nmの波長範囲に輝尽発光を示す輝尽性蛍光体が利用される。
好ましい一例として、特開昭61−72087号公報に開示される、一般式「MI X・aMIIX’2 ・bMIII3’’ :cA」で示されるアルカリハライド系輝尽性蛍光体が例示される。
(上記式において、MIは、Li,Na,K,RbおよびCsからなる群より選択される少なくとも一種であり、MIIは、Be,Mg,Ca,Sr,Ba,Zn,Cd,CuおよびNiからなる群より選択される少なくとも一種の二価の金属であり、MIIIは、Sc,Y,La,Ce,Pr,Nd,Pm,Sm,Eu,Gd,Tb,Dy,Ho,Er,Tm,Yb,Lu,Al,GaおよびInからなる群より選択される少なくとも一種の三価の金属であり、X、X’およびX''は、F,Cl,BrおよびIからなる群より選択される少なくとも一種であり、Aは、Eu,Tb,Ce,Tm,Dy,Pr,Ho,Nd,Yb,Er,Gd,Lu,Sm,Y,Tl,Na,Ag,Cu,BiおよびMgからなる群より選択される少なくとも一種である。また、0≦a<0.5であり、0≦b<0.5であり、0<c≦0.2である。)
The phosphor forming the phosphor layer 14 is not particularly limited, and various types can be used. Preferably, a photostimulable phosphor that exhibits stimulated emission in a wavelength range of 300 nm to 500 nm by excitation light having a wavelength of 400 nm to 900 nm is used.
As a preferred example, an alkali halide photostimulable phosphor represented by a general formula “M I X · aM II X ′ 2 · bM III X 3 ″: cA” disclosed in JP-A-61-72087. Is exemplified.
(In the above formula, M I is at least one selected from the group consisting of Li, Na, K, Rb and Cs, and M II is Be, Mg, Ca, Sr, Ba, Zn, Cd, Cu and at least one trivalent metal selected from the group consisting of Ni, M III is, Sc, Y, La, Ce , Pr, Nd, Pm, Sm, Eu, Gd, Tb, Dy, Ho, Er, At least one trivalent metal selected from the group consisting of Tm, Yb, Lu, Al, Ga and In, and X, X ′ and X ″ are selected from the group consisting of F, Cl, Br and I A is from Eu, Tb, Ce, Tm, Dy, Pr, Ho, Nd, Yb, Er, Gd, Lu, Sm, Y, Tl, Na, Ag, Cu, Bi, and Mg. At least one selected from the group consisting of . Also, a 0 ≦ a <0.5, a 0 ≦ b <0.5, it is 0 <c ≦ 0.2.)

特に、優れた輝尽発光特性を有し、且つ、本発明の効果が良好に得られる等の点で、MIが、少なくともCsを含み、Xが、少なくともBrを含み、さらに、Aが、EuまたはBiであるアルカリハライド系輝尽性蛍光体は好ましく、中でも特に、一般式「CsBr:Eu」で示される輝尽性蛍光体が好ましい。 In particular, M I includes at least Cs, X includes at least Br, and has A in that it has excellent stimulated light emission characteristics and the effects of the present invention can be satisfactorily obtained. An alkali halide photostimulable phosphor that is Eu or Bi is preferred, and among these, photostimulable phosphors represented by the general formula “CsBr: Eu” are particularly preferred.

また、これ以外にも、米国特許3,859,527号明細書や、特開昭55−12142号、同55−12144号、同55−12145号、同57−148285号、同56−116777号、同58−69281号、同59−75200号、同59−38278号等の各公報に開示される輝尽性蛍光体も、好ましく例示される。   In addition, U.S. Pat. No. 3,859,527, JP-A-55-12142, 55-12144, 55-12145, 57-148285, and 56-116777. Stimulable phosphors disclosed in publications such as 58-69281, 59-75200, and 59-38278 are also preferred.

本発明においては、蛍光体層14は、好ましくはこのような輝尽性蛍光体からなり、真空蒸着、スパッタリング、CVD(Chemical Vapor Deposition)等の各種の気相堆積法によって得られるものである。
中でも、生産性等の点で真空蒸着により形成された蛍光体層14が好ましく、特に、蛍光体成分の材料と、付活剤(賦活剤:activator)成分の材料とを別々に加熱蒸発させる、多元の真空蒸着により形成された蛍光体層14が好ましい。
In the present invention, the phosphor layer 14 is preferably made of such a stimulable phosphor, and is obtained by various vapor deposition methods such as vacuum deposition, sputtering, and CVD (Chemical Vapor Deposition).
Among them, the phosphor layer 14 formed by vacuum deposition is preferable in terms of productivity and the like, and in particular, the material of the phosphor component and the material of the activator (activator) component are separately heated and evaporated. The phosphor layer 14 formed by multi-source vacuum deposition is preferable.

蛍光体層14は、特に限定された成膜条件はなく、成膜方法や形成する蛍光体層14の組成等に応じて、適宜、決定された成膜条件によって形成され、得られる蛍光体層14であればよい。一例として、真空蒸着であれば、1×10-5Pa〜1×10-2Paの真空度で、0.05μm/min〜300μm/minの成膜速度で成膜し、得られる蛍光体層14が好ましい。なお、多元の真空蒸着により形成される場合には、母体成分と付活剤成分の量比が目的範囲となるように、両材料の蒸発速度が制御される。
また、本件出願人の検討によれば、前述した各種の輝尽性蛍光体、特にアルカリハライド系輝尽性蛍光体、中でも特にCsBr:Euを真空蒸着で成膜する場合には、一旦、系内を高い真空度に排気した後、アルゴンガスや窒素ガス等を系内に導入して、0.01Pa〜3Pa、特に、0.5Pa〜1.5Pa程度の中真空度とし、この中真空下で抵抗加熱等による真空蒸着を行うことにより、蛍光体層14を形成するのが好ましい。前記CsBr:Eu等のアルカリハライド系の蛍光体層14は、柱状結晶構造を有するが、このような中真空下で成膜して得られる蛍光体層14は、特に良好な柱状の結晶構造を有し、輝尽発光特性画像の鮮鋭性等の点で好ましい。
また、基板12の加熱等によって、成膜中に、形成された蛍光体層14を300℃以下、好ましくは200℃以下で加熱してもよい。
さらに、厚さにも、限定はないが、50μm以上、特に、200μm以上の蛍光体層14が好ましい。
The phosphor layer 14 is not limited to any particular film formation conditions. The phosphor layer is obtained by appropriately forming film conditions determined according to the film formation method, the composition of the phosphor layer 14 to be formed, and the like. 14 may be sufficient. As an example, in the case of vacuum deposition, a phosphor layer obtained by forming a film at a film formation rate of 0.05 μm / min to 300 μm / min at a vacuum degree of 1 × 10 −5 Pa to 1 × 10 −2 Pa. 14 is preferred. In addition, when formed by multi-source vacuum evaporation, the evaporation rate of both materials is controlled so that the amount ratio of the base component and the activator component falls within the target range.
Further, according to the examination by the applicant of the present application, when the above-mentioned various photostimulable phosphors, particularly alkali halide photostimulable phosphors, especially CsBr: Eu, are formed by vacuum deposition, the system is once used. After evacuating the interior to a high degree of vacuum, argon gas, nitrogen gas or the like is introduced into the system to obtain a medium vacuum degree of about 0.01 Pa to 3 Pa, particularly about 0.5 Pa to 1.5 Pa. It is preferable to form the phosphor layer 14 by performing vacuum deposition by resistance heating or the like. Although the alkali halide phosphor layer 14 such as CsBr: Eu has a columnar crystal structure, the phosphor layer 14 obtained by forming a film under such a vacuum has a particularly good columnar crystal structure. It is preferable in terms of the sharpness of the photostimulated luminescence characteristic image.
Further, the phosphor layer 14 formed may be heated at 300 ° C. or lower, preferably 200 ° C. or lower during film formation by heating the substrate 12 or the like.
Furthermore, although there is no limitation also in thickness, the fluorescent substance layer 14 of 50 micrometers or more, especially 200 micrometers or more is preferable.

また、本実施形態においては、接着層38をシート材30の保護層36表面に形成する構成としたが、本発明においては、これに限定されず、変換パネル本体26の蛍光体層14表面に設けてもよい。   In the present embodiment, the adhesive layer 38 is formed on the surface of the protective layer 36 of the sheet material 30. However, the present invention is not limited to this, and the surface of the phosphor layer 14 of the conversion panel body 26 is not limited thereto. It may be provided.

以下、本発明の変換パネル10の製造方法について説明する。   Hereinafter, the manufacturing method of the conversion panel 10 of this invention is demonstrated.

本実施形態は、好ましい一例として、保護層36と蛍光体層14表面および枠20上面とを接着する接着層38に、熱可塑性樹脂を用い、熱ラミネート(熱圧着)によって、第1の圧着および第2の圧着を行うものである。
本発明の変換パネル10の製造方法は、まず、図1(a)〜(b)に示すように、変換パネル26の蛍光体層14に、シート材30の表面に熱可塑性樹脂で形成された接着層38を対面させて積層する。次いで、基板12の温度が100℃〜130℃になるように、基板12を加熱する。なお、このときの基板12の加熱温度は、接着層38に応じて適宜決定すればよい。また、ここでの基板12の加熱は、後に述べる第1の圧着として熱ラミネートをより効果的に実施することを可能とするが、必ずしも必要では無い。
基板12の加熱終了後、図1(b)に示すように、本実施形態においては、ローラ60でシート材30の表面を押圧しながら移動させて、第1の圧着として熱ラミネートを行うことにより、接着層38を介して、シート材30と蛍光体層14表面および枠20上面とを圧着する。なお、好ましくは、ローラ60を加熱しつつ、および/または、基板12を加熱しつつ圧着する熱ラミネートを行う。なお、このときのローラ60および/または基板12の加熱温度は、接着層38に応じて、適宜決定すればよい。
In the present embodiment, as a preferred example, a thermoplastic resin is used for the adhesive layer 38 that bonds the protective layer 36, the surface of the phosphor layer 14 and the upper surface of the frame 20, and the first pressure bonding and the heat bonding (thermocompression bonding) are performed by thermal lamination (thermocompression bonding). The second pressure bonding is performed.
In the method for manufacturing the conversion panel 10 of the present invention, first, as shown in FIGS. 1A to 1B, the phosphor layer 14 of the conversion panel 26 was formed with a thermoplastic resin on the surface of the sheet material 30. The adhesive layer 38 is laminated so as to face each other. Next, the substrate 12 is heated so that the temperature of the substrate 12 becomes 100 ° C. to 130 ° C. Note that the heating temperature of the substrate 12 at this time may be appropriately determined according to the adhesive layer 38. Moreover, although the heating of the board | substrate 12 here makes it possible to implement a thermal lamination more effectively as 1st crimping | compression-bonding mentioned later, it is not necessarily required.
After the heating of the substrate 12, as shown in FIG. 1 (b), in this embodiment, the surface of the sheet material 30 is moved while being pressed by the roller 60, and thermal lamination is performed as the first pressure bonding. Then, the sheet material 30 and the surface of the phosphor layer 14 and the upper surface of the frame 20 are pressure-bonded via the adhesive layer 38. Preferably, thermal lamination is performed while the roller 60 is heated and / or the substrate 12 is heated and pressed. Note that the heating temperature of the roller 60 and / or the substrate 12 at this time may be appropriately determined according to the adhesive layer 38.

次いで、図1(c)に示すように、保護層36から裏打ちフィルム32を剥離する。
その後、図1(d)に示すように、上述と同様のローラ60で保護層36の表面を押圧しながら移動させて、第2の圧着として熱ラミネートを行うことにより、保護層36と蛍光体層14表面および枠20上面とを圧着する。なお、ここでも、好ましくは、ローラ60を加熱しつつ、および/または、基板12を加熱しつつ圧着する熱ラミネートを行う。
なお、このときのローラ60および/または基板12の加熱温度も、接着層38に応じて、適宜決定すればよい。
Next, as shown in FIG. 1C, the backing film 32 is peeled from the protective layer 36.
Thereafter, as shown in FIG. 1 (d), the surface of the protective layer 36 is moved while being pressed by the same roller 60 as described above, and thermal lamination is performed as a second pressure bonding, whereby the protective layer 36 and the phosphor The surface of the layer 14 and the upper surface of the frame 20 are pressure bonded. In this case as well, it is preferable to perform thermal lamination in which the roller 60 is heated and / or the substrate 12 is heated and pressure-bonded.
It should be noted that the heating temperature of the roller 60 and / or the substrate 12 at this time may be appropriately determined according to the adhesive layer 38.

本発明の変換パネル10の製造方法は、上述のようにして、裏打ちフィルム32と保護層36とを貼着したシート材30を用いることで、ハンドリング性の向上や保護層36のシワ防止を図り、第1の圧着で裏打ちフィルム32の剥離作業性を充分に確保できる。また、本発明の変換パネル10の製造方法は、第2の圧着を行うことにより、保護層36と蛍光体層14との密着力をより強くすることができる。さらに、第2の圧着を行うことにより、先に述べた特許文献1等の従来の応報では、図4(a)に示すように、ヒロック150や蛍光体層114表面と枠120上面との段差に起因して、保護層36が浮いてしまうが、図2(a)に示すように保護層36をヒロック50に追随させることができ、さらに、図2(b)に示すように、保護層36を蛍光体層14表面および枠20上面との段差に追随させることができ、これらに起因する保護層36の浮きを最小限にすることができる。その結果、この浮きに起因する放射線画像の画質低下を最小限にすることやこの浮きに起因する保護層36と蛍光体層14との密着強度低下も防止することができ、高画質な放射線画像を得ることができる。さらに、放射線像変換パネルの歩留りも向上することができる。   As described above, the method for manufacturing the conversion panel 10 of the present invention uses the sheet material 30 to which the backing film 32 and the protective layer 36 are adhered, thereby improving handling properties and preventing the protective layer 36 from wrinkling. The first pressure bonding can sufficiently secure the peeling workability of the backing film 32. Moreover, the manufacturing method of the conversion panel 10 of this invention can strengthen the adhesive force of the protective layer 36 and the fluorescent substance layer 14 by performing 2nd crimping | compression-bonding. Further, by performing the second pressure bonding, in the conventional report such as Patent Document 1 described above, as shown in FIG. 4A, a step between the surface of the hillock 150 or the phosphor layer 114 and the upper surface of the frame 120 is obtained. The protective layer 36 floats due to the above, but the protective layer 36 can be made to follow the hillock 50 as shown in FIG. 2A, and further, as shown in FIG. 36 can follow the level difference between the surface of the phosphor layer 14 and the upper surface of the frame 20, and the floating of the protective layer 36 due to these can be minimized. As a result, it is possible to minimize the degradation of the image quality of the radiation image due to the float and to prevent the decrease in the adhesion strength between the protective layer 36 and the phosphor layer 14 due to the float. Can be obtained. Furthermore, the yield of the radiation image conversion panel can be improved.

また、特に、本実施形態においては、接着層38を熱可塑性樹脂で形成した場合に、第1の圧着として熱ラミネートを行うことにより、接着層38が軟化し、粘着性が上昇するため、シート材30(保護層36)と蛍光体層14表面および枠12上面との密着強度が向上し、充分な密着力でシート材30と蛍光体層14表面および枠12上面とを貼着することができる。
また、特に、本実施形態においては、接着層38を熱可塑性樹脂で形成した場合に、第2の圧着として熱ラミネートを行うことにより、接着層38が軟化し、粘着性が上昇するため、保護層36が図2(a)に示すようにヒロック50を追随した状態で、または、保護層36が図2(b)に示すように、蛍光体層14表面および枠16上面との段差を追随した状態で、蛍光体層14表面および枠20上面に貼着される。
In particular, in the present embodiment, when the adhesive layer 38 is formed of a thermoplastic resin, the adhesive layer 38 is softened and the tackiness is increased by performing thermal lamination as the first pressure bonding. The adhesion strength between the material 30 (protective layer 36) and the surface of the phosphor layer 14 and the upper surface of the frame 12 is improved, and the sheet material 30 and the surface of the phosphor layer 14 and the upper surface of the frame 12 can be adhered with sufficient adhesion. it can.
In particular, in this embodiment, when the adhesive layer 38 is formed of a thermoplastic resin, the adhesive layer 38 is softened and the tackiness is increased by performing thermal lamination as the second pressure bonding. In a state where the layer 36 follows the hillock 50 as shown in FIG. 2 (a), or the protective layer 36 follows the step between the surface of the phosphor layer 14 and the upper surface of the frame 16 as shown in FIG. 2 (b). In this state, it is adhered to the surface of the phosphor layer 14 and the upper surface of the frame 20.

なお、本実施形態においては、接着層38を熱可塑性樹脂で形成したが、本発明においては、これに限定されない。例えば、接着剤としてUV硬化性のものを用いてもよい。この場合、変換パネル10を製造するに際し、接着剤をシート材30の保護層36に塗布して、シート材30の接着剤塗布面を変換パネル26の蛍光体層14に対面させて積層した後、第1の圧着を行い、次いで、シート材30の裏打ちフィルム32を剥離した後、第2の圧着を行い、この第2の圧着の後に接着剤をUV照射することにより硬化させるようにする。この場合でも、裏打ちフィルム32と保護層36とを貼着したシート材30を用いることで、ハンドリング性の向上や保護層36のシワ防止を図り、第1の圧着で裏打ちフィルム32の剥離作業性を充分に確保できる。また、第2の圧着を行うことにより、保護層36と蛍光体層14との密着力をより強くすることができ、さらに、保護層36をヒロック50に追随させることや蛍光体層14表面および枠20上面との段差に追随させることができる。   In the present embodiment, the adhesive layer 38 is formed of a thermoplastic resin, but the present invention is not limited to this. For example, a UV curable adhesive may be used. In this case, after manufacturing the conversion panel 10, the adhesive is applied to the protective layer 36 of the sheet material 30, and the adhesive application surface of the sheet material 30 is opposed to the phosphor layer 14 of the conversion panel 26 and laminated. The first pressure bonding is performed, and then the backing film 32 of the sheet material 30 is peeled off, and then the second pressure bonding is performed. After the second pressure bonding, the adhesive is cured by UV irradiation. Even in this case, by using the sheet material 30 on which the backing film 32 and the protective layer 36 are adhered, the handling property is improved and the protective layer 36 is prevented from being wrinkled. Can be secured sufficiently. In addition, by performing the second pressure bonding, the adhesion between the protective layer 36 and the phosphor layer 14 can be further increased. Further, the protective layer 36 can be made to follow the hillock 50, and the surface of the phosphor layer 14 and It is possible to follow a step with the upper surface of the frame 20.

また、本実施形態においては、第1の圧着を熱ラミネート(熱圧着)としたが、本発明の変換パネル10の製造方法においては、これに限定されず、裏打ちフィルム32を剥離する際に、保護層36が裏打ちフィルム32と共に、蛍光体層14表面から剥離しないように、シート材30の保護層36表面と蛍光体層14表面および枠20上面とを充分に貼着することができれる圧着方法であればどのような圧着方法でもよい。
同様に、本実施形態においては、第2の圧着を熱ラミネート(熱圧着)としたが、本発明においては、これに限定されず、保護層36が蛍光体層14表面にあるヒロック50や蛍光体層14表面と枠20上面との段差を追随することができる圧着方法であればどのような圧着方法でもよい。
Further, in the present embodiment, the first pressure bonding is thermal lamination (thermocompression bonding). However, in the manufacturing method of the conversion panel 10 of the present invention, the present invention is not limited to this, and when the backing film 32 is peeled, Pressure bonding that can sufficiently bond the surface of the protective layer 36 of the sheet material 30 to the surface of the phosphor layer 14 and the upper surface of the frame 20 so that the protective layer 36 is not peeled off from the surface of the phosphor layer 14 together with the backing film 32. Any crimping method may be used.
Similarly, in the present embodiment, the second pressure bonding is thermal lamination (thermocompression bonding). However, in the present invention, the present invention is not limited to this, and the hillock 50 or fluorescent light having the protective layer 36 on the surface of the phosphor layer 14 is not limited thereto. Any crimping method may be used as long as the crimping method can follow the step between the surface of the body layer 14 and the upper surface of the frame 20.

また、本実施形態においては、第1の圧着および第2の圧着、共に、蛍光体パネル10の表側からの押圧としたが、本発明の変換パネル10の製造方法においては、これに限定されず、少なくとも一方の圧着を、基板12の裏面からの押圧としてもよい。   In the present embodiment, both the first pressure bonding and the second pressure bonding are performed from the front side of the phosphor panel 10, but the manufacturing method of the conversion panel 10 of the present invention is not limited to this. The at least one pressure bonding may be a pressure from the back surface of the substrate 12.

なお、本実施形態においては、本発明の製造方法で製造される変換パネル10は、枠20を有する構成としたが、本発明においては、これに限定されず、図3に示すように、基板12上に枠20を設けずに、変換パネル10の撮像領域に応じて、基板12上に蛍光体層14を形成し、保護層36を蛍光体層14および基板12表面に貼着し、蛍光体層14を封止する構成としてもよい。   In the present embodiment, the conversion panel 10 manufactured by the manufacturing method of the present invention is configured to have the frame 20, but the present invention is not limited to this, and as shown in FIG. Without providing the frame 20 on 12, the phosphor layer 14 is formed on the substrate 12 according to the imaging region of the conversion panel 10, the protective layer 36 is adhered to the phosphor layer 14 and the surface of the substrate 12, and fluorescence The body layer 14 may be sealed.

以上、本発明の放射線像変換パネルの製造方法および本発明の製造方法で製造される本発明の放射線像変換パネルについて詳細に説明したが、本発明は上記実施形態に限定されず、本発明の主旨を逸脱しない範囲において、種々の改良や変更をしてもよいのはもちろんである。   As mentioned above, although the radiographic image conversion panel of the present invention manufactured by the manufacturing method of the radiographic image conversion panel of the present invention and the manufacturing method of the present invention has been described in detail, the present invention is not limited to the above-described embodiment. It goes without saying that various improvements and changes may be made without departing from the spirit of the invention.

本発明の放射線像変換パネルの製造方法の一実施形態を示す概略製造工程図である。It is a schematic manufacturing-process figure which shows one Embodiment of the manufacturing method of the radiation image conversion panel of this invention. (a) 蛍光体層表面にあるヒロックに保護層が追随している本発明の放射線像変換パネルの一部を模式的に表した図である。 (b) 蛍光体層表面と枠上面との段差に保護層が追随している本発明の放射線像変換パネルの一部を模式的に表した図である。(A) It is the figure which represented typically a part of radiation image conversion panel of this invention in which the protective layer follows the hillock in the fluorescent substance layer surface. (B) It is the figure which represented typically a part of radiation image conversion panel of this invention in which the protective layer follows the level | step difference of the fluorescent substance layer surface and a frame upper surface. 本発明の製造方法で製造する本発明の放射線像変換パネルの別の実施形態を示す概略構成図である。It is a schematic block diagram which shows another embodiment of the radiation image conversion panel of this invention manufactured with the manufacturing method of this invention. (a) 蛍光体層表面にヒロックが生じた際の従来の放射線像変換パネルの一部を模式的に表した図である。 (b) 蛍光体層表面と枠上面とに保護層が追随しない場合の従来の放射線像変換パネルの一部を模式的に表した図である。(A) It is the figure which represented typically a part of conventional radiation image conversion panel at the time of hillock producing on the fluorescent substance layer surface. (B) It is the figure which represented typically a part of conventional radiation image conversion panel in case a protective layer does not follow a fluorescent substance layer surface and a frame upper surface.

符号の説明Explanation of symbols

10 放射線像変換パネル
12,112 基板
14,114 輝尽性蛍光体層
20,120 枠
22 溝
26 放射線像変換パネル本体
30 シート材
32 裏打ちフィルム
36,136 保護層
38 接着層
50,150 ヒロック
10 Radiation image conversion panel 12, 112 Substrate 14, 114 Stimulable phosphor layer 20, 120 Frame 22 Groove 26 Radiation image conversion panel body 30 Sheet material 32 Backing film 36, 136 Protective layer 38 Adhesive layer 50, 150 Hillock

Claims (7)

気相堆積法によって形成された蛍光体層を有し、この蛍光体層を保護層で覆ってなる放射線像変換パネルを製造するに際し、
基板に前記蛍光体層を形成してなるパネル本体と、前記保護層および剥離可能な裏打ちフィルムを貼着してなるシート材とを、前記保護層の裏打ちフィルムの無い面あるいは前記蛍光体層表面の一方または双方に接着剤を塗布した後、前記蛍光体層と前記保護層とを対面させて積層して、前記パネル本体とシート材とを圧着する第1の圧着を行い、
その後、前記保護層から前記裏打ちフィルムを剥離して、前記保護層と前記パネル本体とを圧着する第2の圧着を行うことを特徴とする放射線像変換パネルの製造方法。
When manufacturing a radiation image conversion panel having a phosphor layer formed by a vapor deposition method and covering the phosphor layer with a protective layer,
A panel body formed by forming the phosphor layer on a substrate, and a sheet material formed by adhering the protective layer and a peelable backing film, the surface of the protective layer without the backing film or the surface of the phosphor layer After applying an adhesive to one or both of the above, the phosphor layer and the protective layer are laminated so as to face each other, and a first pressure bonding is performed to pressure-bond the panel body and the sheet material,
Then, the said backing film is peeled from the said protective layer, The 2nd crimping | compression-bonding which crimps | bonds the said protective layer and the said panel main body is performed, The manufacturing method of the radiation image conversion panel characterized by the above-mentioned.
前記蛍光体層と前記保護層とを接着する接着剤が熱可塑性樹脂であり、かつ、前記第1の圧着および第2の圧着が熱圧着である請求項1に記載の放射線像変換パネルの製造方法。   2. The radiation image conversion panel according to claim 1, wherein an adhesive that bonds the phosphor layer and the protective layer is a thermoplastic resin, and the first pressure bonding and the second pressure bonding are thermocompression bonding. Method. 前記保護層の熱伝導率が0.01W/m・K〜10.0W/m・Kである請求項1または2に記載の放射線像変換パネルの製造方法。   The method for manufacturing a radiation image conversion panel according to claim 1, wherein the protective layer has a thermal conductivity of 0.01 W / m · K to 10.0 W / m · K. 前記保護層のヤング率が0.01GPa〜100GPaである請求項1〜3のいずれかに記載の放射線像変換パネルの製造方法。   The method for producing a radiation image conversion panel according to claim 1, wherein the protective layer has a Young's modulus of 0.01 GPa to 100 GPa. 前記保護層の厚みが1μm〜20μmである請求項1〜4のいずれかに記載の放射線像変換パネルの製造方法。   The method for producing a radiation image conversion panel according to claim 1, wherein the protective layer has a thickness of 1 μm to 20 μm. 前記保護層は、熱伝導率が0.1W/m・K〜0.3W/m・Kで、ヤング率が1GPa〜10GPaで、さらに、厚みが1μm〜10μmである請求項1〜5のいずれかに記載の放射線像変換パネルの製造方法。   The protective layer has a thermal conductivity of 0.1 W / m · K to 0.3 W / m · K, a Young's modulus of 1 GPa to 10 GPa, and a thickness of 1 μm to 10 μm. A method for producing the radiation image conversion panel according to claim 1. 請求項1〜6のいずれかに記載の放射線像変換パネルの製造方法で製造されてなる放射線像変換パネル。   The radiation image conversion panel manufactured by the manufacturing method of the radiation image conversion panel in any one of Claims 1-6.
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