JP2007317565A - Organic photoelectric conversion element - Google Patents
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Abstract
【課題】入射した光線を有効に利用することができ、優れたエネルギー変換効率を得ることができる有機光電変換素子を提供する。
【解決手段】透明基板2と、透明電極層3と、光電変換層4と、金属電極層5とを備える。透明基板2の受光面に、金属電極層5で反射された光線を再反射する再反射層6を備える。再反射層6は、透明基板2と一体に形成されている。再反射層6は、複数の錐状突起7,9または錐状凹部8からなる。錐は正四角錐であり、底辺が互いに接している。前記正四角錐は、底辺が10〜100μm、頂角が20〜150°である。錐は円錐であり、底面に内接する正方形の外側の部分で互いに重なり合っている。前記円錐は、底面に内接する正方形の一辺が10〜100μm、頂角が20〜150°である。再反射層6は、紫外線遮断材を含む。
【選択図】 図1An organic photoelectric conversion element capable of effectively using incident light and obtaining excellent energy conversion efficiency is provided.
A transparent substrate, a transparent electrode layer, a photoelectric conversion layer, and a metal electrode layer are provided. A re-reflection layer 6 that re-reflects the light beam reflected by the metal electrode layer 5 is provided on the light receiving surface of the transparent substrate 2. The re-reflection layer 6 is formed integrally with the transparent substrate 2. The re-reflection layer 6 includes a plurality of conical protrusions 7 and 9 or a conical recess 8. The cones are regular quadrangular pyramids and the bases touch each other. The regular square pyramid has a base of 10 to 100 μm and an apex angle of 20 to 150 °. The cones are cones and overlap each other at the outer part of the square inscribed in the bottom surface. The cone has a square side inscribed in the bottom of 10 to 100 μm and an apex angle of 20 to 150 °. The re-reflection layer 6 includes an ultraviolet blocking material.
[Selection] Figure 1
Description
本発明は、例えば有機太陽電池として用いられる有機光電変換素子に関する。 The present invention relates to an organic photoelectric conversion element used as an organic solar cell, for example.
有機太陽電池等として用いられる有機光電変換素子は、印刷技術を応用することにより大面積化が容易であるため、製造に要するエネルギーコストが低い等、シリコンデバイスにはない利点を備えている。 Organic photoelectric conversion elements used as organic solar cells and the like have advantages not found in silicon devices, such as low energy costs required for manufacturing, because they can be easily enlarged by applying printing technology.
有機光電変換素子は、1970年代後半から有機太陽電池として研究されており、当初はショットキー接合を利用した色素光電変換素子が盛んに研究されてきた。 Organic photoelectric conversion elements have been studied as organic solar cells since the latter half of the 1970s, and initially dye photoelectric conversion elements using Schottky junctions have been actively studied.
これに対して1986年には、C.W.Tangにより、図10に示すpn接合型有機太陽電池31が発表されている。pn接合型有機太陽電池31は、透明ガラス基板2の受光面と反対側の面に形成された透明電極層3と、透明電極層3の上に形成された光電変換層4と、光電変換層4の上に形成された金属電極層5とを備え、光電変換層4は透明電極層3の側から順に積層された、p形有機半導体層32、n形有機半導体層33により形成されている。pn接合型有機太陽電池31は、エネルギー変換効率が1%とされている(非特許文献1参照)。
In contrast, in 1986, C.I. W. Tang published a pn junction organic
一方1991年には、M.Gretzelらにより、図11に示す色素増感太陽電池41が発表されている。色素増感太陽電池41は、透明ガラス基板2aの受光面と反対側の面に形成された透明電極層3と、透明電極層3の上に形成された光電変換層4と、透明ガラス基板2bの上に形成され、透明電極層3に対向する金属電極層5とを備え、光電変換層4は透明電極層3と金属電極層5とで挟まれた構成となっている。光電変換層4は、透明電極層3の上に形成された色素吸着層42と、2枚のガラス基板2a,2b間に注入された電解液層43とにより形成されている。色素増感太陽電池41は、湿式ではあるが、10%のエネルギー変換効率が得られるとされている(非特許文献2参照)。
On the other hand, in 1991, M.M. Gretzel et al. Announced a dye-sensitized
また、近年では、図12に示すpin接合型有機太陽電池51が提案されている。pin接合型有機太陽電池51は、透明ガラス基板2の受光面と反対側の面に形成された透明電極層3と、透明電極層3の上に形成された光電変換層4と、光電変換層4の上に形成された金属電極層5とを備え、光電変換層4は透明電極層3の側から順に積層された、p形有機半導体層52、p形有機半導体とn形有機半導体とを共蒸着したナノ構造層(i層)53、n形有機半導体層54、n形有機半導体層54と金属電極層5との接続性を向上するためのバッファー層55により形成されている。pin接合型有機太陽電池51によれば、2.5〜3.5%のエネルギー変換効率が得られるとされている(非特許文献3,4参照)。
In recent years, a pin junction type organic
しかしながら、前記従来の有機太陽電池31,41,51では、いずれも光電変換層4が有機薄膜により形成されており非常に薄いため、光吸収が小さく、入射した光線を有効に利用することができないという不都合がある。また、光吸収を大きくするために、前記有機薄膜の膜厚を厚くすると、光電変換により発生した電荷の移動が困難になり、エネルギー変換効率が低下するという不都合がある。
本発明は、かかる不都合を解消して、入射した光線を有効に利用することができ、優れたエネルギー変換効率を得ることができる有機光電変換素子を提供することを目的とする。 An object of the present invention is to provide an organic photoelectric conversion element that can eliminate such inconvenience, can effectively use incident light, and can obtain excellent energy conversion efficiency.
かかる目的を達成するために、本発明の有機光電変換素子は、一方の面を受光面とする透明基板と、該透明基板の該受光面と反対側の面上に形成された透明電極層と、該透明電極上に形成された有機色素を有する光電変換層と、該光電変換層上に形成された金属電極層とを備える有機光電変換素子において、該透明基板の該受光面に、該金属電極層で反射された光線を再反射する再反射層を備えることを特徴とする。 In order to achieve such an object, the organic photoelectric conversion element of the present invention includes a transparent substrate having one surface as a light receiving surface, and a transparent electrode layer formed on a surface of the transparent substrate opposite to the light receiving surface. In the organic photoelectric conversion element comprising a photoelectric conversion layer having an organic dye formed on the transparent electrode and a metal electrode layer formed on the photoelectric conversion layer, the metal is formed on the light receiving surface of the transparent substrate. A re-reflection layer that re-reflects the light beam reflected by the electrode layer is provided.
一般に、有機光電変換素子では、前記透明基板の受光面から入射した光線は、前記光電変換層に入射し、一部の光線が光電変換により電荷を発生させる。この後、光線の残部は前記金属電極層で反射され、前記光電変換層に再入射し、さらに一部の光線が光電変換により電荷を発生させる。そして、光電変換されなかった残余の光線が前記透明基板の受光面に向かう。 In general, in an organic photoelectric conversion element, light incident from the light receiving surface of the transparent substrate enters the photoelectric conversion layer, and a part of the light generates charges by photoelectric conversion. Thereafter, the remainder of the light beam is reflected by the metal electrode layer, reenters the photoelectric conversion layer, and a part of the light beam generates a charge by photoelectric conversion. Then, the remaining light beam that has not been subjected to photoelectric conversion travels toward the light receiving surface of the transparent substrate.
ここで、本発明の有機光電変換素子では、前記透明基板の受光面に前記再反射層が備えられているので、前記光電変換層を出射した光線は該再反射層で反射され、再び前記光電変換層に入射する。この結果、前記透明基板の受光面から入射した光線は、前記金属電極層での反射と、前記再反射層での反射とを繰り返し、前記光電変換層に繰り返し入射されることとなる。 Here, in the organic photoelectric conversion element of the present invention, since the re-reflection layer is provided on the light-receiving surface of the transparent substrate, the light emitted from the photoelectric conversion layer is reflected by the re-reflection layer, and again the photoelectric photoelectric conversion element. Incident on the conversion layer. As a result, the light incident from the light receiving surface of the transparent substrate repeats reflection at the metal electrode layer and reflection at the re-reflection layer, and is repeatedly incident on the photoelectric conversion layer.
従って、本発明の有機光電変換素子によれば、前記透明基板の受光面から入射した光線を有効に利用して光電変換を行うことができ、前記光電変換層の膜厚を厚くすることなく優れたエネルギー変換効率を達成することができる。 Therefore, according to the organic photoelectric conversion element of the present invention, it is possible to perform photoelectric conversion by effectively using the light incident from the light receiving surface of the transparent substrate, and it is excellent without increasing the film thickness of the photoelectric conversion layer. Energy conversion efficiency can be achieved.
前記再反射層は、前記透明基板と別体に形成されていてもよく、一体に形成されていてもよい。 The re-reflection layer may be formed separately from the transparent substrate, or may be formed integrally.
また、前記再反射層は、前記金属電極層で反射された光線を前記光電変換層側に再反射することができるものであれば、どのような形状であってもよいが、該光線を効率よく反射するために、複数の錐状突起または錐状凹部からなることが好ましい。前記錐状突起または錐状凹部を形成する錐は例えば正四角錐であり、底辺が互いに接していることが好ましい。前記正四角錐は、例えば、底辺の長さが10〜100μmの範囲であり、頂角が20〜150°の範囲にあることにより、前記光線を効率よく反射することができる。 The re-reflection layer may have any shape as long as it can re-reflect the light beam reflected by the metal electrode layer to the photoelectric conversion layer side. In order to reflect well, it preferably includes a plurality of conical protrusions or conical recesses. The cones forming the cone-shaped protrusions or cone-shaped recesses are preferably regular quadrangular pyramids, for example, and their bases are preferably in contact with each other. For example, the regular quadrangular pyramid has a base length in the range of 10 to 100 μm and an apex angle in the range of 20 to 150 °, whereby the light beam can be efficiently reflected.
また、前記錐状突起または錐状凹部を形成する錐は例えば円錐であり、底面に内接する正方形の外側の部分で互いに重なり合っていることが好ましい。前記円錐は、底面に内接する正方形の一辺の長さが10〜100μmの範囲であり、頂角が20〜150°の範囲にあることにより、前記光線を効率よく反射することができる。 The cones forming the cone-shaped projections or the cone-shaped recesses are, for example, cones, and preferably overlap each other at an outer portion of a square inscribed in the bottom surface. The cone has a length of one side of a square inscribed in the bottom surface in a range of 10 to 100 μm and an apex angle in a range of 20 to 150 °, whereby the light beam can be efficiently reflected.
また、前記再反射層は、紫外線遮断材を含むことにより、前記透明基板の受光面に対する紫外線の入射を阻止することができ、前記光電変換層の紫外線による劣化を防止することができる。 In addition, the re-reflective layer includes an ultraviolet blocking material, thereby preventing ultraviolet light from entering the light receiving surface of the transparent substrate and preventing the photoelectric conversion layer from being deteriorated by ultraviolet light.
次に、添付の図面を参照しながら本発明の実施の形態についてさらに詳しく説明する。図1は本実施形態の有機光電変換素子の概略構成を示す説明的断面図であり、図2(a)は図1に示す再反射層の一構成例を示す斜視図、図2(b)は図2(a)に示す再反射層の平面図、図2(c)は図2(b)のII−II線断面図であり、図3(a)は図1に示す再反射層の他の構成例を示す斜視図、図3(b)は図3(a)に示す再反射層の平面図、図3(c)は図3(b)のIII−III線断面図であり、図4(a)は図1に示す再反射層のさらに他の構成例を示す部分平面図、図4(b)は図4(a)のIV−IV線断面図である。また、図5は図1に示す有機光電変換素子における光線の入射角と光電変換層における吸収光量との関係を示すヒストグラム、図6は図2に示す再反射層の頂角と、光電変換率、再出光率、電極損失率との関係を示すグラフ、図7は図3に示す再反射層の頂角と、光電変換率、再出光率、電極損失率との関係を示すグラフである。また、図8は図1に示す有機光電変換素子の具体的構成の第1の例を示す説明的断面図であり、図9は図1に示す有機光電変換素子の具体的構成の第2の例を示す説明的断面図である。 Next, embodiments of the present invention will be described in more detail with reference to the accompanying drawings. FIG. 1 is an explanatory cross-sectional view showing a schematic configuration of the organic photoelectric conversion element of the present embodiment, FIG. 2A is a perspective view showing a configuration example of the re-reflection layer shown in FIG. 1, and FIG. Fig. 2 (a) is a plan view of the re-reflection layer, Fig. 2 (c) is a cross-sectional view taken along the line II-II of Fig. 2 (b), and Fig. 3 (a) is a diagram of the re-reflection layer shown in Fig. 1. FIG. 3B is a plan view of the re-reflection layer shown in FIG. 3A, FIG. 3C is a cross-sectional view taken along line III-III in FIG. 4A is a partial plan view showing still another configuration example of the re-reflection layer shown in FIG. 1, and FIG. 4B is a cross-sectional view taken along line IV-IV in FIG. 4A. 5 is a histogram showing the relationship between the incident angle of light rays in the organic photoelectric conversion element shown in FIG. 1 and the amount of absorbed light in the photoelectric conversion layer, and FIG. 6 is the apex angle of the re-reflection layer shown in FIG. FIG. 7 is a graph showing the relationship between the apex angle of the re-reflection layer shown in FIG. 3, the photoelectric conversion rate, the re-emission rate, and the electrode loss rate. 8 is an explanatory cross-sectional view showing a first example of the specific configuration of the organic photoelectric conversion element shown in FIG. 1, and FIG. 9 shows a second example of the specific configuration of the organic photoelectric conversion element shown in FIG. It is explanatory sectional drawing which shows an example.
図1に示すように、本実施形態の有機光電変換素子1は、一方の面を受光面とする透明ガラス基板2と、透明ガラス基板2の該受光面と反対側の面上に形成された透明電極層3と、透明電極層3上に形成された有機色素を有する光電変換層4と、光電変換層4上に形成された金属電極層5とを備えている。そして、透明ガラス基板2の前記受光面に、金属電極層5で反射された光線を再反射する再反射層6を備えている。
As shown in FIG. 1, the organic photoelectric conversion element 1 of the present embodiment is formed on a
透明電極層3は、例えばITOにより形成することができる。
The
光電変換層4は、それ自体公知の構成であってよく、例えば、pin接合型有機太陽電池、色素増感太陽電池等に用いられる光電変換層の構成をそのまま用いることができる。ここで、光電変換層4に含まれる前記有機色素は、例えば、亜鉛フタロシアニン、銅フタロシアニン、ルテニウム錯体等である。
The
前記pin接合型有機太陽電池に用いられる光電変換層4は、透明電極層3の側から順に、p形有機半導体層、p形有機半導体とn形有機半導体とを共蒸着したナノ構造層(i層)、n形有機半導体層、バッファー層が積層されて形成されている。前記p形有機半導体としては、例えば、亜鉛フタロシアニン、銅フタロシアニン等を用いることができ、前記n形有機半導体としては、例えば、フラーレン(C60)、ペリレン誘導体等を用いることができる。また、前記ナノ構造層(i層)は例えば銅フタロシアニンとフラーレンとを共蒸着させることにより形成することができ、前記バッファー層例えばバソクプロイン等により形成することができる。
The
一方、前記色素増感太陽電池に用いられる光電変換層4は、透明電極層3の上に形成された色素吸着層と、該色素吸着層の上に形成された電解液層とにより形成される。前記色素吸着層としては、例えば、ルテニウム錯体からなる色素を吸着させた酸化チタン等が用いられる。また、前記電解液層を形成する電解液としては、例えばヨウ素イオンを含む水溶液が用いられる。
On the other hand, the
金属電極層5は、例えば、MgAg共蒸着体、Pt、Al等の金属により形成することができる。
The
再反射層6は、例えば図2(a)、図2(b)に示すように、正四角錐状突起7が互いに底辺を接して格子状に配列されており、正四角錐状突起7の配列方向は、例えば透明ガラス基板2の辺と同一方向とすることができる。正四角錐状突起7は互いに底辺を接していることにより、正四角錐状突起7,7間に平面が形成されることがないので、金属電極層5で反射された光線を確実に反射することができる。
For example, as shown in FIGS. 2A and 2B, the
正四角錐状突起7の底辺の長さは、例えば、10〜100μmの範囲とすることができる。また、図2(c)に示す正四角錐状突起7の頂角θは、20〜150°の範囲とすることができる。
The length of the bottom side of the regular quadrangular
また、再反射層6は、例えば図3(a)、図3(b)に示すように、正四角錐状凹部8が互いに底辺を接して格子状に配列されているものであってもよい。正四角錐状凹部8は、図2に示す正四角錐状突起7と同一形状の正四角錐の頂点を再反射層6側に向けて凹入せしめ、該正四角錐を除去した形状に相当する。
In addition, the
この場合、正四角錐状凹部8は、図2に示す正四角錐状突起7と同様に、互いに底辺を接していることにより、正四角錐状凹部8,8間に平面が形成されることがないので、金属電極層5で反射された光線を確実に反射することができる。
In this case, since the regular quadrangular pyramid-shaped
正四角錐状凹部8は、図2に示す正四角錐状突起7と同様に、配列方向を、例えば透明ガラス基板2の辺と同一方向とすることができ、底辺の長さは、例えば、10〜100μmの範囲とすることができる。また、図3(c)に示す正四角錐状凹部8の頂角θは、20〜150°の範囲とすることができる。
The regular quadrangular pyramid-shaped
さらに、再反射層6は、例えば、図4(a)に示すように、円錐状突起9が格子状に配列されているものであってもよい。このとき、円錐状突起9は、仮想線で示す底面9aに内接する正方形9bの外側の部分で互いに重なり合っていることが好ましい。このようにすることにより、円錐状突起9,9間に平面が形成されることがないので、金属電極層5で反射された光線を確実に反射することができる。
Furthermore, the
円錐状突起9は、図2に示す正四角錐状突起7と同様に、内接正方形9bの配列方向を、例えば透明ガラス基板2の辺と同一方向とすることができ、底辺の長さは、例えば、10〜100μmの範囲とすることができる。また、図4(b)に示す円錐状突起9の頂角θは、20〜150°の範囲とすることができる。
As in the case of the regular
図示しないが、再反射層6は、図4に示す円錐状突起9と同一形状の円錐の頂点を再反射層6側に向けて凹入せしめ、該円錐を除去した形状に相当する円錐状凹部を備えるものであってもよい。
Although not shown, the
再反射層6は、例えば、正四角錐状突起7、正四角錐状凹部8、円錐状突起9、前記円錐状凹部が前述のように配列された形状の金型(スタンパ)に、UV硬化樹脂等を注入することにより成形することができる。この場合、前記突起の高さまたは凹部の深さは、成形加工性を考慮すると、100μm程度とすることが好ましい。
The
再反射層6は、透明ガラス基板2と別体に形成されていてもよく、一体に形成されていてもよい。また、再反射層6は、紫外線遮断剤を含むものであってもよい。
The
前記構成を備える本実施形態の有機光電変換素子1によれば、透明ガラス基板2の再反射層6側から光線が入射すると、該光線は光電変換層4に入射し、一部の光線が光電変換により電荷を発生させる。この後、光線の残部は金属電極層5で反射され、光電変換層4に再入射し、さらに一部の光線が光電変換により電荷を発生させる。そして、光電変換されなかった残余の光線が透明ガラス基板2の受光面に向かう。
According to the organic photoelectric conversion element 1 of the present embodiment having the above-described configuration, when a light beam is incident from the
ここで、透明ガラス基板2の受光面には、再反射層6が備えられているので、光電変換層4を出射した光線は再反射層6で再反射され、再び光電変換層4に入射する。この結果、透明ガラス基板2の受光面から入射した光線は、金属電極層5での反射と、再反射層6での再反射とを繰り返し、光電変換層4に繰り返し入射されることとなる。そして、光電変換層4における光電変換により生じた電荷は、透明電極層3と金属電極層5とを接続することにより、電流として取り出すことができる。
Here, since the light-receiving surface of the
従って、有機光電変換素子1によれば、透明ガラス基板2の受光面から入射した光線を有効に利用して光電変換を行うことができ、優れたエネルギー変換効率を達成することができる。
Therefore, according to the organic photoelectric conversion element 1, photoelectric conversion can be performed by effectively using the light incident from the light receiving surface of the
次に、図1に示す有機光電変換素子1において、再反射層6として図2に示す正四角錐状突起7を備えるものを用いた場合(実施例)と、再反射層6を用いなかった場合(比較例)とで、透明ガラス基板2の受光面から入射する光線の入射角を変えたときの光電変換層4における吸収光量を比較した。有機光電変換素子1は、透明ガラス基板2、ITOからなる透明電極層3、有機層、Alからなる金属電極層5から構成し、透過率55%の光電変換層4を該有機層の中間に配置したものを用い、素子サイズは10mm×10mmとした。また、再反射層6の正四角錐状突起7は、底辺の長さ0.05mm、頂角90°、高さ0.025mmとした。
Next, in the case of using the organic photoelectric conversion element 1 shown in FIG. 1 having the regular tetragonal
結果は、再反射層6を用いず、透明ガラス基板2の受光面から入射する光線の入射角を0°としたときの吸収光量を1とし、該吸収光量に対する比として、図5に示す。
The result is shown in FIG. 5 as the ratio of the absorbed light quantity when the incident angle of light incident from the light receiving surface of the
図5から、再反射層6を用いた場合(実施例)は、入射角に関わらず、再反射層6を用いなかった場合(比較例)よりも吸収光量が増加しており、光線を有機光電変換素子1に閉じ込め、繰り返し光電変換層4に入射させる効果があることが明らかである。
From FIG. 5, when the
次に、図2に示す再反射層6において、正四角錐状突起7の頂角θを変えたときの、光電変換率、再出光率、電極損失率をシミュレートした結果を図6に示す。また、図3に示す再反射層6において、正四角錐状凹部8の頂角θを変えたときの、光電変換率、再出光率、電極損失率をシミュレートした結果を図7に示す。
Next, in the
図6から、正四角錐状突起7を備える再反射層6では、頂角が小さいほど再出光率が低く、光線が有機光電変換素子1に閉じ込められ、再度金属電極層5に到達していることが明らかであり、この結果、光電変換率が高くなることが明らかである。また、図6から、光線を有機光電変換素子1に閉じ込め、繰り返し光電変換層4に入射させるために、頂角の大きさθは、20〜150°の範囲で有効であることが明らかである。
From FIG. 6, in the
また、図7から、正四角錐状凹部8を備える再反射層6においても、正四角錐状突起7を備える再反射層6の場合(図6)と同様の結果が得られることが明らかであり、正四角錐状凹部8を備える再反射層6によっても光線を有機光電変換素子1に閉じ込め、繰り返し光電変換層4に入射させる効果が得られることが明らかである。
Moreover, it is clear from FIG. 7 that the same result as in the case of the
次に、図1に示す有機光電変換素子1の具体的構成の第1の例を図8に示す。 Next, the 1st example of the specific structure of the organic photoelectric conversion element 1 shown in FIG. 1 is shown in FIG.
図8(a)に示す有機光電変換素子11は、透明ガラス基板2の受光面と反対側の面上に所定のパターンに形成されたITOからなる透明電極層3と、透明電極層3上に形成された光電変換層4と、光電変換層4上に形成されたAlからなる金属電極層5とを備え、金属電極層5の一部は透明ガラス基板2上にも形成されている。透明ガラス基板2の前記受光面には、金属電極層5で反射された光線を再反射するために、図2に示す正四角錐状突起7を備える再反射層6が貼付されている。
The organic
また、有機光電変換素子11は、光電変換層4と金属電極層5とを収容する凹部を有するステンレス製の蓋体12を備え、蓋体12は周縁部に配設されたエポキシ樹脂層13により、透明ガラス基板2の光電変換層4と金属電極層5とが設けられている面を封止している。透明電極層3の一部と、金属電極層5の一部とは、取り出し電極として蓋体12の外部に露出している。また、蓋体12は、凹部内面側にゴアテックス(登録商標)製乾燥剤からなるゲッター材14を備えている。
The organic
有機光電変換素子11において、光電変換層4は、図8(b)に拡大して示すように、透明電極層3の側から順に、銅フタロシアニンからなるp形有機半導体層15、銅フタロシアニンとフラーレンとを共蒸着したナノ構造層(i層)16、フラーレンからなるn形有機半導体層17、バソクプロインからなるバッファー層18が積層されて形成されており、バッファー層18上に金属電極層5が形成されている。
In the organic
有機光電変換素子11は、次のようにして製造した。
The organic
まず、ITO付き透明ガラス基板2にフォトリソグラフィー加工を行い、ITOからなり所定の電極パターンを備える透明電極層3を形成した。次に、透明電極層3が形成された透明ガラス基板2を洗浄した。前記洗浄は、中性洗剤中で10分間超音波洗浄を行った後、リンスのために純水による10分間の超音波洗浄を3回行い、その後さらに、脱水及び脱脂のために、イソプロピルアルコールによる10分間の超音波洗浄と、アセトンによる10分間の超音波洗浄とを行った。洗浄後、透明ガラス基板2を、ウォーターマークが残らないように注意深くアセトン中から引き上げ、窒素気流により乾燥させた後、紫外線オゾン洗浄を30分間実施した。
First, the
次に、前記洗浄後の透明ガラス基板2を基板ホルダーに設置して有機槽と電極槽とが接続された真空チャンバーに導入し、該真空チャンバー内を真空排気して、透明電極層3上に光電変換層4を形成した。光電変換層4の形成は、有機槽を1×10−5Paの圧力まで排気した後、ステンレス(SUS430)製蒸着マスクを透明電極層3上に配置して、各有機物を蒸着することにより行った。各有機物の蒸着速度は、水晶振動子と水晶発振式成膜コントローラー(株式会社アルバック製、商品名:CRTM−9000)とでモニターし、1〜2オングストローム/秒とした。
Next, the cleaned
前記各有機物の蒸着は、まず、銅フタロシアニンを蒸着して20nmの厚さのp形有機半導体層15を形成し、次に銅フタロシアニンとフラーレンとをそれぞれ1オングストローム/秒の蒸着速度で共蒸着して10nmの厚さのナノ構造層(i層)16を形成した。次に、フラーレンを蒸着して30nmの厚さのn形有機半導体層17を形成し、最後にバソクプロインを蒸着して10nmの厚さのバッファー層18を形成した。
The organic materials are vapor-deposited by first depositing copper phthalocyanine to form a p-type
前記各有機物の蒸着後、真空を維持したまま、透明電極層3上に光電変換層4が形成された透明ガラス基板2を電極槽に移動した。そして、所定の電極パターンに対応する蒸着マスクを光電変換層4上に配置し、抵抗加熱によりAlを蒸着して100nmの厚さの金属電極層5を光電変換層4上に形成した。
After the vapor deposition of each organic material, the
次に、光電変換層4上に金属電極層5が形成された透明ガラス基板2を、大気に触れることなく、窒素雰囲気下のグローブボックス内に導入し、ステンレス製の蓋体12により封止した。蓋体12は、脱脂のために、イソプロピルアルコールによる10分間の超音波洗浄と、アセトンによる10分間の超音波洗浄とを行い、さらに紫外線オゾン洗浄を30分間実施した後、前記グローブボックス内に導入した。蓋体12による封止は、蓋体12の凹部内面側に乾燥剤14を貼付した後、蓋体12の周縁部に沿ってエポキシ樹脂(長瀬ケムテックス社製)を塗布して、該エポキシ樹脂を介して蓋体12を透明ガラス基板2に密着し、該エポキシ樹脂に180秒間紫外線を照射して硬化させ、エポキシ樹脂層13を形成することにより行った。
Next, the
次に、図2に示す正四角錐状突起7を備える再反射層6に対応する形状の金型(スタンパ)に、UV硬化樹脂を注入して硬化させることにより、底辺の長さ100μm、頂角90°、高さ0.05mmの正四角錐状突起7を備える再反射層6を成形した。そして、再反射層6を、前記蓋体12で封止した透明ガラス基板2の蓋体12と反対側の面に貼付して、有機光電変換素子11を得た。
Next, by injecting a UV curable resin into a mold (stamper) having a shape corresponding to the
有機光電変換素子11に、26.6mW/m2のエネルギーを有する放電ランプ光を照射し、電流−電圧特性を測定した。得られた電流−電圧特性から、有機光電変換素子11のエネルギー変換効率を算出したところ、0.81%であった。
The organic
一方、前記蓋体12で封止した透明ガラス基板2に再反射層6を貼付しない以外は、再反射層6を貼付した場合と全く同一にしてエネルギー変換効率を算出したところ、0.71%であった。
On the other hand, when the energy conversion efficiency was calculated in exactly the same manner as when the
次に、図1に示す有機光電変換素子1の具体的構成の第2の例を図9に示す。 Next, a second example of a specific configuration of the organic photoelectric conversion element 1 shown in FIG. 1 is shown in FIG.
図9に示す有機光電素子21は、透明ガラス基板2の受光面と反対側の面上に所定のパターンに形成されたITOからなる透明電極層3と、透明電極層3に対向配置されたPt薄膜からなる金属電極層5との間に、光電変換層4とを備えている。金属電極層5は、透明ガラス基板22の一方の面上に形成されたITOからなる透明電極層23上に、所定のパターンに形成されている。尚、透明電極層3と金属電極層5とは、互いに取り出し電極分だけずらして対向配置されている。
The organic photoelectric element 21 shown in FIG. 9 includes a
光電変換層4は、透明電極層3上に形成された色素吸着層24と、金属電極層5と色素吸着層24と間に配設された電解液層25とから形成されている。色素吸着層24は、増感色素としてルテニウム錯体を吸着させたナノサイズの酸化チタン粒子からなる。また、電解液層25は、透明ガラス基板2,22間に、周囲をエポキシ樹脂層25で封止して形成された空間に注入されたヨウ素イオンを含む水溶液からなる。
The
そして、透明ガラス基板2の前記受光面には、金属電極層5で反射された光線を再反射するために、図2に示す正四角錐状突起7を備える再反射層6が貼付されている。
And in order to re-reflect the light ray reflected by the
有機光電変換素子21は、次のようにして製造した。 The organic photoelectric conversion element 21 was manufactured as follows.
まず、ITO付き透明ガラス基板2にフォトリソグラフィー加工を行い、ITOからなり所定の電極パターンを備える透明電極層3を形成した。次に、透明電極層3が形成された透明ガラス基板2を洗浄した。前記洗浄は、中性洗剤中で10分間超音波洗浄を行った後、リンスのために純水による10分間の超音波洗浄を3回行い、その後さらに、脱水及び脱脂のために、イソプロピルアルコールによる10分間の超音波洗浄と、アセトンによる10分間の超音波洗浄とを行った。洗浄後、透明ガラス基板2を、ウォーターマークが残らないように注意深くアセトン中から引き上げ、窒素気流により乾燥させた後、紫外線オゾン洗浄を30分間実施した。
First, the
次に、前記洗浄後の透明ガラス基板2の表面の両端にメンディングテープ(3M社製)を貼付してスペーサとし、テープ間にナノサイズの酸化チタン粒子を含む酸化チタンペースト(Solaronix社製、商品名:Ti−Nanoxide)を滴下して、ガラス棒を用いるスキージ法により均一に塗布した。次に、前記酸化チタンペーストが塗布された透明ガラス基板2を50℃のホットプレート上に5分間保持して、該酸化チタンペーストを乾燥させた。前記乾燥後、前記メンディングテープを剥離し、透明ガラス基板2を450℃のホットプレート上に30分間保持して、前記酸化チタンペーストの焼成を行った。次に、透明ガラス基板2を徐冷し、80℃程度の温度となったときに、増感色素としてのルテニウム錯体のエタノール溶液に浸漬し、12時間保持した。前記浸漬後、透明ガラス基板2を乾燥させ、色素吸着層24を形成した。
Next, a mending tape (manufactured by 3M) is applied to both ends of the surface of the
次に、ITO付き透明ガラス基板22のITOからなる透明電極層23上に、スパッタ方式により1000オングストロームの厚さのPt薄膜を成膜し、該Pt薄膜からなる金属電極層5を形成した。次に、透明ガラス基板2の透明電極層3が形成された面と、透明ガラス基板22の金属電極層5が形成された面とを対向させ、色素吸着層24と金属電極層5との間に50μmの厚さの高分子フィルムを挟んで透明ガラス基板2,22を重ね合わせた。尚、透明電極層3と金属電極層5とは、互いに取り出し電極分だけずれるように配置した。次に、重ね合わせた透明ガラス基板2,22の周囲にエポキシ樹脂を塗布、硬化させてエポキシ樹脂層25を形成し、透明ガラス基板2,22間に、周囲をエポキシ樹脂層25で封止された空間を形成した。そして、前記空間に電解液としてのヨウ素イオンを含む水溶液を注入して電解液層26を形成した。
Next, a Pt thin film having a thickness of 1000 angstroms was formed on the
次に、図8(a)に示す再反射層6と全く同一にして成形した再反射層6を透明ガラス基板2の透明電極層3と反対側の面に貼付して、有機光電変換素子21を得た。
Next, the
有機光電変換素子21に、26.6mW/m2のエネルギーを有する放電ランプ光を照射し、電流−電圧特性を測定した。得られた電流−電圧特性から、有機光電変換素子21のエネルギー変換効率を算出したところ、1.6%であった。 The organic photoelectric conversion element 21 was irradiated with discharge lamp light having an energy of 26.6 mW / m 2 , and current-voltage characteristics were measured. It was 1.6% when the energy conversion efficiency of the organic photoelectric conversion element 21 was computed from the obtained electric current-voltage characteristic.
一方、前記透明ガラス基板2に再反射層6を貼付しない以外は、再反射層6を貼付した場合と全く同一にしてエネルギー変換効率を算出したところ、1.5%であった。
On the other hand, when the energy conversion efficiency was calculated in exactly the same manner as when the
1,11,21,31,41,51…有機光電変換素子、 2…透明基板、 3…透明電極層、 4…光電変換層、 5…金属電極層、 6…再反射層。
DESCRIPTION OF
Claims (8)
該透明基板の該受光面に、該金属電極層で反射された光線を再反射する再反射層を備えることを特徴とする有機光電変換素子。 A transparent substrate having one surface as a light-receiving surface, a transparent electrode layer formed on the surface of the transparent substrate opposite to the light-receiving surface, and a photoelectric conversion layer having an organic dye formed on the transparent electrode; In an organic photoelectric conversion element comprising a metal electrode layer formed on the photoelectric conversion layer,
An organic photoelectric conversion element comprising a re-reflection layer that re-reflects a light beam reflected by the metal electrode layer on the light-receiving surface of the transparent substrate.
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