JP2007250836A

JP2007250836A - 筐体

Info

Publication number: JP2007250836A
Application number: JP2006072373A
Authority: JP
Inventors: Kenichi Sato; 健一佐藤
Original assignee: Nikon Corp
Current assignee: Nikon Corp
Priority date: 2006-03-16
Filing date: 2006-03-16
Publication date: 2007-09-27

Abstract

【課題】筐体を容易に成形することができるようにする。
【解決手段】ラック５０に装着される筐体において、ナベねじ４ｅとラック５０の載置面との接触を回避する凸部１ｅをエンボス加工によって底板１に形成し、底板１の板厚をフロントパネル２及びリアパネル３の板厚と同じにした。
【選択図】図１

Description

この発明は筐体に関する。

従来、半導体露光装置のウエハステージ及びレチクルステージの駆動手段として複数のモータが使用されており、各モータの駆動には電子機器ユニットや電気基板が組み込まれた筐体ユニットが必要である。筐体ユニットはその筐体ユニットの形状に合致した複数の収納室を有するラックに収納される。（特開平６−６９６７５号公報参照）。

一般に、筐体ユニットの筐体は底板とフロントパネルとリアパネルとカバーと中間パネルとを備える。底板の四辺部分を上方へ直角に折り曲げて折曲部を形成し、その折曲部にフロントパネル及びリアパネルを取り付ける。中間パネルは折曲部を介さないで底板に直接さらねじでねじ止めされる。

さらねじは底板の下面側からねじ込まれる。さらねじによってラックの載置面に傷を付けないようにするには、さらねじ頭部の頂面と底板の下面とを面一にする必要がある。
特開平６−６９６７５号公報

しかし、さらねじ頭部の頂面と底板の下面とを面一にするためには、底板の厚みをさらねじの頭部の高さより大きくする必要がある。そのため、底板はフロントパネルやリアパネルに比べて折り曲げ難いものとなり、筐体を容易に形成することは難しい。

この発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、その課題は筐体を容易に形成することができるようにすることである。

上記課題を解決するため請求項１記載の発明は、ラックに装着される筐体において、底板と、この底板に対してほぼ垂直に設けられるパネルとを備え、前記パネルが前記底板にねじで固定され、前記底板に、前記ねじと前記ラックとの接触を回避する凸部がエンボス加工によって形成されていることを特徴とする。

請求項２記載の発明は、請求項１記載の筐体において、前記パネルは、前記底板に対して垂直に設けられるフロントパネル、前記底板に対して垂直に連なり、前記フロントパネルと対向するリアパネル、及び前記底板に対して垂直に連なり、前記フロントパネルと前記リアパネルとの間に位置する中間パネルであることを特徴とする。

請求項３記載の発明は、請求項１記載の筐体において、前記凸部に前記ねじを通す穴が形成されていることを特徴とする。

請求項４記載の発明は、請求項３記載の筐体において、前記穴が長穴であることを特徴とする。

この発明によれば、筐体を容易に成形することができる。

以下、この発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。

図５はこの発明の一実施形態に係る筐体ユニットとラックとの関係を説明するための図である。

ラック５０は直方体状の筐体ユニットＢＵを収納可能な収納室５１を有する。収納室５１の開口部５２はラック５０の正面側に位置し、外部に臨む。筐体ユニットＢＵはフロントパネル２に設けられたハンドル２Ａを使用して収納室５１に挿入される。

収納室５１の背面側内壁５３にはラック側コネクタ８が設けられている。このラック側コネクタ８は図示しないホストコンピュータ、リニアモータ、外部電源等に接続されている。筐体内に配置される電子機器ユニット６及び電気基板７（図２、３参照）はラック側コネクタ８を介してホストコンピュータ、リニアモータ等に接続される。

次に、図１〜３を用いて筐体及び筐体ユニットを説明する。

図１はこの発明の一実施形態に係る筐体のカバーを外した状態を示す斜視図、図２はカバーを外した状態の筐体ユニットの平面図、図３は図２のIII−III線に沿う断面を示す概念図である。なお、図１〜３ではハンドル２Ａの図示は省略されている。

この筐体は底板１とフロントパネル２とリアパネル３と中間パネル４とカバー５とを備えている。底板１、フロントパネル２、リアパネル３、中間パネル４及びカバー５は、それぞれ例えばステンレス鋼、鉄鋼、アルミニウム、マグネシウム合金等の薄板を曲げ加工して形成される。

底板１はほぼ矩形状の板材である。底板１の四辺には折曲部１ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄ（図２参照）がそれぞれ形成されている。折曲部１ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄは底板１の四辺部分を上方へ直角に折り曲げて形成したものである。

また、底板１にはエンボス加工によって上方へ突出する複数の凸部１ｅが形成されている。図示しないが、凸部１ｅの先端にはナベねじ４ｅを通す取付穴（図示せず）が形成されている。

底板１に対して直角に取り付けられるフロントパネル２の三辺には折曲部２ａ，２ｂ，２ｃがそれぞれ形成されている。

折曲部２ａ，２ｂ，２ｃはフロントパネル２に対して直角に折り曲げられている。

折曲部２ａ，２ｂ，２ｃはリアパネル３に近づく方向へ折り曲げられている。

折曲部２ａにはカバー５をフロントパネル２に取り付けるナベねじ４ｄを通すための取付穴２ａ−１が形成されている。なお、折曲部２ｃにもカバー５をフロントパネル２に取り付けるナベねじ４ｄを通すための取付穴２ｃ−１が形成されている。

フロントパネル２には中間パネル４を取り付けるナベねじ４ｄを通すための取付穴（図示せず）が形成されている。

リアパネル３の三辺には折曲部３ａ，３ｂ，３ｃがそれぞれ形成されている。

折曲部３ａ，３ｂ，３ｃはリアパネル３に対して直角に折り曲げられている。折曲部３ａ，３ｂ，３ｃはフロントパネル２へ近づく方向へ折り曲げられている。

折曲部３ａにはカバー５をリアパネル３に固定するナベねじ５ｄを通すための取付穴３ａ−１が形成されている。なお、折曲部３ｃにもカバー５をリアパネル３に取り付けるナベねじ５ｄを通すための取付穴（図示せず）が形成されている。

また、リアパネル３にはラック側コネクタ８（図３参照）と嵌合可能な筐体側コネクタ（コネクタ）３Ｂが取り付けられている。

更に、リアパネル３には中間パネル４の折曲部４ｃにリアパネル３を固定するナベねじ４ｄを通すための取付穴（図示せず）が形成されている。

中間パネル４はほぼ矩形状の板材であり、中間パネル４は底板１に直角に取り付けられる。

中間パネル４の三辺には折曲部４ａ，４ｂ，４ｃがそれぞれ形成されている。折曲部４ａ，４ｂ，４ｃは中間パネル４の三辺部分を同一方向へ直角に折り曲げて形成されている。

折曲部４ａには中間パネル４を底板１に取り付けるための２つの取付穴４ａ−１が形成されている。なお、取付穴４ａ−１は底板１に形成された凸部１ｅの先端の取付穴（図示せず）と対向する。

折曲部４ｂには中間パネル４をフロントパネル２に取り付けるための２つの取付穴４ｂ−１が形成されている。取付穴４ｂ−１はフロントパネル２の取付穴（図示せず）と対向する。

折曲部４ｃにはリアパネル３の取付穴（図示せず）と対向する取付穴（図示せず）が形成されている。

カバー５は２つの側板５ａ，５ｂと天板５ｃとで構成されている。側板５ａ，５ｂは互いに平行であり、天板５ｃに対してそれぞれ直角に折り曲げられている。側板５ａ，５ｂにはカバー５をフロントパネル２及びリアパネル３に取り付けるナベねじ５ｄを通すための取付穴５ａ−１，５ｂ−１がそれぞれ形成されている。

筐体ユニットＢＵは、図示しない半導体露光装置のウエハステージ及びレチクルステージを駆動するための電子機器ユニット６及び電気基板７と、この電子機器ユニット６及び電気基板７が組み込まれた筐体とで構成されている。電子機器ユニット６は図示しないリニアモータ制御回路等の電子機器を内蔵し、底板１の凸部１ｅにねじ（図示せず）で固定されている。また、電気基板７は中間パネル４の一方の面にナベねじ７ａで固定されている。

次に、筐体ユニットの組立工程を順に説明する。

まず、ナベねじ４ｅを底板１の底面側から凸部１ｅの取付穴及び取付穴４ａ−１に挿入して底板１に中間パネル４を取り付ける。ナベねじ４ｅの位置は底板１の下面より上方となるので、筐体ユニットＢＵをラック５０の収納室５１に収容したときにナベねじ４ｅの頭部がラック５０（図５参照）の載置面５０ａに接触せず、ラック５０の載置面５０ａが傷付き難くなる。

次に、中間パネル４にナベねじ７ａで電気基板７を固定するとともに、底板１上に電子機器ユニット６を固定する。

その後、フロントパネル２及びリアパネル３を底板１に仮組みする。

次に、フロントパネル２の折曲部２ａとリアパネル３の折曲部３ａとの間、及びフロントパネル２の折曲部２ｃとリアパネル３の折曲部３ｃとの間に、底板１の前後方向の長さとほぼ等しい長さの組立基準治具（図示せず）をねじ（図示せず）によってそれぞれ取り付ける。

その後、底板１とフロントパネル２又はリアパネル３とが直角の関係になるように調整する。このとき、組立基準治具によってフロントパネル２とリアパネル３との距離が一定に保たれるので、一方のパネル（例えばフロントパネル２）を底板１に直角になるように調整すると他方のパネル（例えばリアパネル３）は底板１に直角になる。

調整後、中間パネル４の折曲部４ｂとフロントパネル２とをナベねじ４ｄで固定し、更に中間パネル４の折曲部４ｃとリアパネル２とをナベねじ４ｄで固定する。

次に、電子機器ユニット６及び電気基板７と筐体側コネクタ３Ｂとの配線を行う。

その後、組立基準治具をフロントパネル２及びリアパネル３から取り外す。

最後に、ナベねじ５ｄを取付穴５ａ−１及び取付穴２ａ−１に挿入してフロントパネル２をカバー５に取り付けるとともに、ナベねじ５ｄを取付穴５ａ−１及び取付穴３ａ−１に挿入してリアパネル３をカバー５に取り付ける。

以上の工程を経て、筐体ユニットＢＵの組立が完了する。

なお、プレス機を用いて形成されるエンボス加工は以下の条件の下で行われる。

図４（ａ）はエンボス加工を施した底板の一例を示す平面図、図４（ｂ）はそのｂ−ｂ線に沿う断面を示す概念図である。

なお、図４はエンボス加工の条件を説明するためのものであり、図１〜３の実施形態において底板１にエンボス加工によって形成された凸部１ｅとは凸部の配置を異にする。

エンボス加工を行う際の条件は次の通りである。

Ｍ３、Ｍ４用に共通する条件
底板１の折曲部（図４では折曲部４ｃ）からエンボス加工の中心までの距離：２０ｍｍ以上
Ｍ３用のエンボス加工の中心とＭ４用のエンボス加工の中心との距離：５０ｍｍ以上
Ｍ３用の条件
エンボス加工の中心間の距離：４５ｍｍ以上
Ｍ４用の条件
エンボス加工の中心間の距離：８０ｍｍ以上

この実施形態によれば、中間パネル４の底板１への固定にさらねじを用いなくてもよいので、底板１とフロントパネル２、リアパネル３と同じ厚さの板材を用いることができ、底板１を薄くできる。その結果、底板１の成形が容易となるとともに、軽量化を図ることができる。

また、中間パネル４の底板１への固定にナベねじ４ｅを用いたので、さらねじのように取付穴間の寸法を厳密に管理する必要がなく、しかもねじの共通化を図ることができる。

なお、エンボス加工によって形成された凸部１ｅの頂部に形成される穴は丸穴１ｆに限られるものではなく、長穴１ｇとしてもよい（図４参照）。この構成によって中間パネル４の取付位置を調整できるようになり、組立工数の低減を図ることができる。

また、エンボス加工によって形成された凸部１ｅの頂部に穴を形成しないで、頂部を底板１の下面より上方に嵩上げするための平面１ｈとしてもよい。

更に、上記実施形態では、エンボス加工によって形成される凸部として、上方へ突出する凸部１ｅを底板１に形成し、ナベねじ４ｅを挿入する取付穴を凸部１ｅに形成したが、凸部１ｅの他に下方へ突出する位置決め用凸部（図示せず）を底板１に形成してもよい。このようにすれば、位置決め用凸部をラック５０の載置面に形成された凹部に係合させて、筐体ユニットの位置決めを行うことができる。

また、凸部１ｅに代えて、下方へ突出する凸部（図示せず）を底板１に形成し、ナベねじ４ｅを挿入する取付穴（図示せず）をその凸部以外の部分に形成してもよい。

図１はこの発明の一実施形態に係る筐体のカバーを外した状態を示す斜視図である。図２はカバーを外した状態の筐体ユニットの平面図である。図３は図２のIII−III線に沿う断面を示す概念図である。図４（ａ）はエンボス加工を施した底板の一例を示す平面図、図４（ｂ）はそのｂ−ｂ線に沿う断面を示す概念図である。図５はこの発明の一実施形態に係る筐体ユニットとラックとの関係を説明するための図である。

符号の説明

１：底板、１ｅ：凸部、１ｆ：丸穴（穴）、１ｇ：長穴（穴）、２：フロントパネル、３：リアパネル、４：中間パネル、４ｅ：ナベねじ（ねじ）、５０：ラック。

Claims

ラックに装着される筐体において、
底板と、
この底板に対してほぼ垂直に設けられるパネルとを備え、
前記パネルが前記底板にねじで固定され、
前記底板に、前記ねじと前記ラックとの接触を回避する凸部がエンボス加工によって形成されている
ことを特徴とする筐体。
前記パネルは、前記底板に対して垂直に設けられるフロントパネル、前記底板に対して垂直に連なり、前記フロントパネルと対向するリアパネル、及び前記底板に対して垂直に連なり、前記フロントパネルと前記リアパネルとの間に位置する中間パネルであることを特徴とする請求項１記載の筐体。
前記凸部に前記ねじを通す穴が形成されていることを特徴とする請求項１記載の筐体。
前記穴が長穴であることを特徴とする請求項３記載の筐体。