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JP2007248114A - Gas analyzer - Google Patents

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JP2007248114A
JP2007248114A JP2006069014A JP2006069014A JP2007248114A JP 2007248114 A JP2007248114 A JP 2007248114A JP 2006069014 A JP2006069014 A JP 2006069014A JP 2006069014 A JP2006069014 A JP 2006069014A JP 2007248114 A JP2007248114 A JP 2007248114A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
gas
adsorption
analyzer
switching
line
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2006069014A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Shozo Sakamoto
将三 阪本
Hiroaki Hashimoto
宏明 橋本
Nobuyuki Shibata
信行 柴田
Takeo Kozonoi
健夫 小薗井
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi High Tech Manufacturing and Service Corp
Original Assignee
Hitachi High Tech Control Systems Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi High Tech Control Systems Corp filed Critical Hitachi High Tech Control Systems Corp
Priority to JP2006069014A priority Critical patent/JP2007248114A/en
Publication of JP2007248114A publication Critical patent/JP2007248114A/en
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Abstract

【課題】複数個所の排ガス及び大気ラインを連続的に切替えて、ガス中の有機化合物を簡便・迅速に、しかも精度を保ちながら効率よくオンライン分析するのに適したガス状有機化合物分析装置を提供する。
【解決手段】燃焼炉、有機化合物分解処理プラントなどの排ガスや大気等の試料ガスを導入するための複数のサンプリングノズルと、該ノズルから試料ガスを導く複数の配管と、該配管の前段または後段に配置され試料ガス中の灰、ダストを取り除くための複数のフィルタと、前記複数の試料ガスラインを切替えるライン切替装置と、前記ライン切替装置によって選択された前記試料ガス内の有機化合物類を分析する分析装置とを備え、更に前記ライン切替装置によって選択された前記試料ガスが、ダイレクトに分析装置に導かれるダイレクト機構と、有機化合物類を濃縮及び脱着させるための吸脱着装置に導かれる吸脱着機構を設け、前記ダイレクト機構と吸脱着機構を任意に切替えられるようする。
【選択図】図2
Provided is a gaseous organic compound analyzer suitable for performing on-line analysis of organic compounds in gas easily and quickly while maintaining accuracy by switching exhaust gas and air lines at multiple locations continuously. To do.
SOLUTION: A plurality of sampling nozzles for introducing a sample gas such as an exhaust gas or the atmosphere of a combustion furnace, an organic compound decomposition treatment plant, etc., a plurality of pipes for introducing the sample gas from the nozzles, a front stage or a rear stage of the pipes A plurality of filters for removing ash and dust in the sample gas, a line switching device for switching the plurality of sample gas lines, and analyzing organic compounds in the sample gas selected by the line switching device A direct mechanism for directing the sample gas selected by the line switching device to the analytical device and an adsorption / desorption device for concentrating and desorbing organic compounds. A mechanism is provided so that the direct mechanism and the adsorption / desorption mechanism can be arbitrarily switched.
[Selection] Figure 2

Description

本発明は、燃焼炉、有機化合物分解処理プラント等から排出される排ガスあるいは大気中のダイオキシン類、芳香族類等の有害有機化合物を、他の夾雑成分の影響を受けずに効率よく連続的に分析するガス分析装置に係り、特に分析結果を通信手段を介して伝達する所謂オンライン分析するのに適したガス分析装置に関する。   The present invention efficiently and continuously removes harmful organic compounds such as exhaust gas discharged from combustion furnaces, organic compound decomposition treatment plants, etc. or atmospheric dioxins, aromatics and the like without being affected by other contaminant components. The present invention relates to a gas analyzer for analysis, and more particularly to a gas analyzer suitable for so-called on-line analysis in which analysis results are transmitted via communication means.

廃棄物処理法改正(H14/12/1)により焼却炉排ガス中のダイオキシン排出規制が行われ、更に「PCB廃棄物の適正な処理の推進に関する特別措置法」によるPCBの全廃に伴い、PCB分解処理プラントが建設され処理が開始されている。   Dioxin emission regulation in incinerator exhaust gas is regulated by the Waste Disposal Law revision (H14 / 12/1), and further PCB decomposition due to the total abolition of PCB by "Special Measures Law on Promotion of Proper Treatment of PCB Waste" A processing plant has been built and processing has started.

その動向に合わせ、排ガスや処理ガス、作業環境のガス化された有害有機化合物の濃度が規制内に抑制されているかを定期的に監視する必要がある。規制値は将来的に低下することが予想されるため、上記物質を迅速にしかも高精度に分析する装置が望まれている。   In line with this trend, it is necessary to regularly monitor whether the concentration of exhausted gas, processing gas, and gasified hazardous organic compounds in the work environment is regulated within the regulations. Since the regulation value is expected to decrease in the future, an apparatus for analyzing the above substances quickly and with high accuracy is desired.

従来、ダイオキシン前駆体のオンライン連続分析計として、
特許文献1には、オンラインで排ガス中のダイオキシン前駆体等を高精度で連続測定する方法が記載されている。
Traditionally, as an online continuous analyzer for dioxin precursors,
Patent Document 1 describes a method for continuously measuring dioxin precursors and the like in exhaust gas with high accuracy online.

特許第3654046号公報Japanese Patent No. 3654046

しかし、特許文献1記載のガス分析装置では、測定ラインは1ラインのみで、硫化水素、塩化水素以外の夾雑成分に関しては特に言及していないので、他の夾雑成分の影響は不明であり、夾雑成分の濃度によっては分析装置の感度が低下する可能性がある。   However, in the gas analyzer described in Patent Document 1, there is only one measurement line, and no particular mention is made regarding the contaminated components other than hydrogen sulfide and hydrogen chloride. Depending on the concentration of the component, the sensitivity of the analyzer may decrease.

本発明の目的は、複数個所の排ガス及び大気ラインを連続的に切替えて、ガス中の有機化合物を簡便・迅速に、しかも精度を保ちながら効率よく分析するのに適したガス状有機化合物分析装置を提供することにある。   An object of the present invention is to provide a gaseous organic compound analyzer suitable for analyzing organic compounds in a gas simply, quickly, and efficiently while maintaining accuracy by continuously switching exhaust gas and air lines at a plurality of locations. Is to provide.

本発明のガス状有機化合物分析装置は、燃焼炉、有機化合物分解処理プラントなどの排ガスや大気等の試料ガスを導入するための複数のサンプリングノズルと、該ノズルから試料ガスを導く複数の配管と、該配管の前段または後段に配置され試料ガス中の灰、ダストを取り除くための複数のフィルタと、前記複数の試料ガスラインを切替えるライン切替装置と、前記ライン切替装置によって選択された前記試料ガス内の有機化合物類を分析する分析装置とを備え、更に前記ライン切替装置によって選択された前記試料ガスが、ダイレクトに分析装置に導かれるダイレクト機構と、有機化合物類を濃縮及び脱着させるための吸脱着装置に導かれる吸脱着機構を設け、前記ダイレクト機構と吸脱着機構を任意に切替えられるようにしたことを特徴とする。   The gaseous organic compound analyzer of the present invention includes a plurality of sampling nozzles for introducing a sample gas such as an exhaust gas or the atmosphere of a combustion furnace or an organic compound decomposition treatment plant, and a plurality of pipes for introducing the sample gas from the nozzles. A plurality of filters for removing ash and dust in the sample gas disposed in the front stage or the rear stage of the pipe, a line switching device for switching the plurality of sample gas lines, and the sample gas selected by the line switching device An analysis device for analyzing the organic compounds in the inside, and a direct mechanism for directing the sample gas selected by the line switching device directly to the analysis device, and an absorption device for concentrating and desorbing the organic compounds. An adsorption / desorption mechanism led to the desorption device is provided, and the direct mechanism and the adsorption / desorption mechanism can be switched arbitrarily. To.

本発明によれば、複数個所の排ガス及び大気ラインを連続的に切替えて、ガス中の有機化合物を簡便・迅速に、しかも精度を保ちながら効率よくオンライン分析するのに適したガス状有機化合物分析装置を得ることができる。   According to the present invention, gaseous organic compound analysis suitable for online analysis of an organic compound in a gas simply and quickly while maintaining accuracy is achieved by continuously switching exhaust gas and air lines at a plurality of locations. A device can be obtained.

分析対象ガスを分析装置に導入するためのラインを複数設け、それらを切替えて測定する場合には、図1に示す構成が考えられる。   In the case where a plurality of lines for introducing the analysis target gas into the analyzer are provided and measurement is performed by switching them, the configuration shown in FIG. 1 can be considered.

構成としては、煙道1a、1b、1cからの試料ガスを導入する複数のサンプリング部100a、100b、100cと、試料ガスを導く複数の導入配管4a、4b、4cと、導入されたガスを切替える前処理部200と、切替えられたガスを分析する分析計300で構成される。   As a configuration, the plurality of sampling units 100a, 100b, 100c for introducing the sample gas from the flue 1a, 1b, 1c, the plurality of introduction pipes 4a, 4b, 4c for introducing the sample gas, and the introduced gas are switched. It comprises a pre-processing unit 200 and an analyzer 300 that analyzes the switched gas.

サンプリング部100a、100b、100cはサンプリングノズル2a、2b、2cとダストフィルタ3a、3b、3cから構成され、前処理部200には試料ガスを吸引する吸引ポンプ6a、6b、6cと、任意にラインを切替え、開閉するバルブ10a、10b、10cと、必要に応じ流量計7a、7b、7cが設けられている。分析計300は質量分析計などの分析部310と流量計320と吸引ポンプ330で構成される。   Sampling units 100a, 100b, and 100c are composed of sampling nozzles 2a, 2b, and 2c and dust filters 3a, 3b, and 3c. The pre-processing unit 200 includes suction pumps 6a, 6b, and 6c for sucking sample gas, and an arbitrary line. Valves 10a, 10b, and 10c for switching and opening and closing, and flow meters 7a, 7b, and 7c as necessary are provided. The analyzer 300 includes an analysis unit 310 such as a mass spectrometer, a flow meter 320, and a suction pump 330.

動作としては、各ラインの試料ガスを流量計7により一定流量吸引ポンプ6a、6b、6cで常時引いておく。測りたいラインのみのバルブ(例えば10a)を開にし、他のバルブ(10b、10c)は閉とする。   As an operation, the sample gas of each line is always drawn by the flow meter 7 by the constant flow rate suction pumps 6a, 6b, 6c. The valve (for example, 10a) only for the line to be measured is opened, and the other valves (10b, 10c) are closed.

測定ガスは吸引ポンプ330により、開のバルブ10aを通して分析部310に導かれ分析される。同様に、他の測りたいラインのバルブ10bを開け、他のバルブ10aまたは10cを閉じることにより、切替えて測定ができる。   The measurement gas is guided to the analysis unit 310 by the suction pump 330 through the open valve 10a and analyzed. Similarly, by switching the valve 10b of the other line to be measured and closing the other valve 10a or 10c, the measurement can be performed by switching.

図5にダイレクト測定による切替シーケンスを示す。この方式でも複数ラインを切替えて測定できるが、ダイレクトに測定するために、各ラインの夾雑成分等により、分析装置の感度が低下して測れないラインが発生する場合が想定される。   FIG. 5 shows a switching sequence by direct measurement. Even with this method, measurement can be performed by switching a plurality of lines. However, in order to perform direct measurement, there may be a case where a line that cannot be measured due to a decrease in sensitivity of the analyzer is generated due to a contamination component of each line.

その問題を解決するための改良された構成を図2に示す。   An improved configuration for solving the problem is shown in FIG.

本装置は主に、煙道1a、1b、1cから測定ガスを導入する複数のサンプリング部100a、100b、100cと、導入した試料ガスを導く複数の導入配管4a、4b、4cと、導入されたガスラインを切替え、更にダイレクト測定と吸脱着測定を切替える前処理部200と、切替えられたガスを分析する分析計300で構成される。   This apparatus was mainly introduced with a plurality of sampling units 100a, 100b, 100c for introducing measurement gas from the flue 1a, 1b, 1c, and a plurality of introduction pipes 4a, 4b, 4c for introducing the introduced sample gas. It comprises a pre-processing unit 200 that switches the gas line, and further switches between direct measurement and adsorption / desorption measurement, and an analyzer 300 that analyzes the switched gas.

サンプリング部100a、100b、100cはサンプリングノズル2a、2b、2cとダストフィルタ3a、3b、3cから構成され、比較的高質量の有機化合物を測定する場合、吸着や化学反応を防ぐために試料ガスとほぼ同程度の温度100〜250℃程度に保持されている。   Sampling units 100a, 100b, and 100c are composed of sampling nozzles 2a, 2b, and 2c and dust filters 3a, 3b, and 3c. When measuring a relatively high mass organic compound, the sampling units 100a, 100b, and 100c are almost the same as the sample gas in order to prevent adsorption and chemical reaction. The same temperature is maintained at about 100 to 250 ° C.

腐食性物質も含まれる場合が有るので、通常は耐食性のあるSUSやガラス、それ相当以上の材料が使用される。複数の導入配管4も同様に通常耐食性のある材料を使用し、温度100〜250℃程度に保持されている。   Since corrosive substances may also be included, SUS or glass having a corrosion resistance or a material equivalent to or higher is usually used. Similarly, the plurality of introduction pipes 4 are usually made of a corrosion-resistant material and are maintained at a temperature of about 100 to 250 ° C.

前処理部200には各ラインの試料ガスを吸引する吸引ポンプ6a、6b、6cとその流量を測定する流量計7a、7b、7c、各ラインを任意に開閉するバルブ10a、10b、10cが設けられ、また選択された測定ガスラインをダイレクト機構25に導くバルブ15、吸脱着機構60に切替えるバルブ11を設けている。   The pretreatment unit 200 is provided with suction pumps 6a, 6b and 6c for sucking the sample gas of each line, flow meters 7a, 7b and 7c for measuring the flow rate thereof, and valves 10a, 10b and 10c for arbitrarily opening and closing each line. Further, a valve 15 for guiding the selected measurement gas line to the direct mechanism 25 and a valve 11 for switching to the adsorption / desorption mechanism 60 are provided.

なお、バルブ15とバルブ11は、切替手段(切替機構)になる。   The valves 15 and 11 serve as switching means (switching mechanism).

吸脱着機構60は、導入配管4a、4b、4cから導入された試料ガスを導くためのバルブ11とドライエアーや窒素などのクリーンガス30と該ガス30を導くためのバルブ12、及び導入した試料ガスを吸着する吸着管20と吸着管20に試料ガスを導くための吸引ポンプ50、吸引したガス量を測定する流量計40、更に吸着時のガスを排気するためのバルブ13と脱着時のガスを分析計300に導くためのバルブ14で構成される。   The adsorption / desorption mechanism 60 includes a valve 11 for guiding the sample gas introduced from the introduction pipes 4a, 4b, and 4c, a clean gas 30 such as dry air and nitrogen, a valve 12 for guiding the gas 30, and the introduced sample. An adsorption pipe 20 for adsorbing gas, a suction pump 50 for introducing the sample gas to the adsorption pipe 20, a flow meter 40 for measuring the amount of the sucked gas, a valve 13 for exhausting the gas at the time of adsorption, and a gas at the time of desorption Is constituted by a valve 14 for guiding the gas to the analyzer 300.

なお、バルブ11とバルブ12は、試料ガスラインとクリーンガスラインの切替え機構になる。バルブ14とバルブ13は、吸着管を通ったガスを排気するラインと分析計に導くラインを切替える切替機構になる。   The valves 11 and 12 serve as a switching mechanism between the sample gas line and the clean gas line. The valves 14 and 13 serve as a switching mechanism that switches between a line that exhausts the gas that has passed through the adsorption pipe and a line that leads to the analyzer.

吸着管20は耐熱性、耐食性を必要とするためガラス類などの容器を使い、吸着材23としてはTenax,ポリウレタン、XAD−2等の樹脂が使われる。吸着管20の入口にはガラスまたは金属フィルタ24が設けられており、ガス以外の成分を除去する。   Since the adsorption tube 20 requires heat resistance and corrosion resistance, a container such as glass is used, and as the adsorbent 23, resin such as Tenax, polyurethane, XAD-2 or the like is used. A glass or metal filter 24 is provided at the inlet of the adsorption tube 20 to remove components other than gas.

ただし、サンプリング部100a、100b、100cのダストフィルタ3a、3b、3cでの除去で足りる場合にはフィルタ24は特に設けなくてもかまわない。吸着管20には吸着管20を冷却するための冷却器22が設けられ、試料ガスをポンプ50で吸引すると試料ガスが吸着、濃縮されるようになっている。   However, when the removal by the dust filters 3a, 3b, and 3c of the sampling units 100a, 100b, and 100c is sufficient, the filter 24 may not be provided. The adsorption tube 20 is provided with a cooler 22 for cooling the adsorption tube 20. When the sample gas is sucked by the pump 50, the sample gas is adsorbed and concentrated.

冷却器22は必要な冷却温度によってFANやペルチェなどの冷却器を使う。また、吸着管20には吸着管20を300〜400℃程度まで加熱する加熱器21が設けられ、吸着後の脱着時に加温しながら分析計300の吸引ポンプ330で吸引することにより、脱着されたガスが分析部310で測定される構造となっている。   The cooler 22 uses a cooler such as FAN or Peltier depending on the required cooling temperature. Further, the adsorption tube 20 is provided with a heater 21 for heating the adsorption tube 20 to about 300 to 400 ° C., and is desorbed by being sucked by the suction pump 330 of the analyzer 300 while being heated at the time of desorption after adsorption. The gas is measured by the analysis unit 310.

また、吸着管20は消耗品であるため、定期的に交換が必要である。交換後に漏れがないか確認するために圧力計26を設け、ドライエアー30などでガスを封じ込めて圧力低下による洩れチェックを行うことができる。   Further, since the adsorption tube 20 is a consumable item, it needs to be replaced periodically. A pressure gauge 26 is provided to check for leaks after replacement, and a leak check due to pressure drop can be performed by containing gas with dry air 30 or the like.

更に試料ガスが危険なガスの場合、吸着管を無作為に取外しするとガス洩れを起こし、安全上問題になる。このため、シーケンスが実行している間は吸着管を交換できないようカバーを設け、鍵をつける構造(図示せず)とすることも考慮すべきことである。鍵は人が介在しないよう自動ロックにすることが効果的である。   Furthermore, when the sample gas is a dangerous gas, if the adsorption tube is removed at random, gas leakage will occur, resulting in a safety problem. For this reason, it should also be considered to provide a cover (not shown) with a cover so that the adsorption tube cannot be replaced while the sequence is being executed. It is effective to automatically lock the key so that no person is involved.

分析計300は分析部310と流量計320と吸引ポンプ330で構成される。分析部310はダイレクト機構25からのガスや吸着管20で濃縮されたガスの成分分析や定量化を行う質量分析計などで構成され、特にAPCI(大気圧化学イオン化)法と呼ばれるガスをイオン化して質量分析を行う質量分析計が好ましい。   The analyzer 300 includes an analysis unit 310, a flow meter 320, and a suction pump 330. The analysis unit 310 includes a mass spectrometer that performs component analysis and quantification of the gas from the direct mechanism 25 and the gas concentrated in the adsorption tube 20, and particularly ionizes a gas called APCI (atmospheric pressure chemical ionization) method. A mass spectrometer that performs mass spectrometry is preferred.

これによると、ダイレクト機構や吸着管の脱着されたガスを瞬時に測定する事ができる。図に記載されていないが、前処理部200のシーケンス制御や分析計300の制御、データ処理はPLCやPC、専用制御ボードによって行う。   According to this, the gas desorbed from the direct mechanism and the adsorption tube can be measured instantaneously. Although not shown in the figure, sequence control of the preprocessing unit 200, control of the analyzer 300, and data processing are performed by a PLC, a PC, and a dedicated control board.

以下、図2を用い動作の説明を行う。   The operation will be described below with reference to FIG.

煙道内の試料ガスは各吸引ポンプ6a(6aのみ図示、6b,6cは図示せず)により各サンプリングノズル2a、2b、2cを通し吸引される。吸引された試料ガスは各ダストフィルタ3a、3b、3cでダストが除去された後、各導入配管4a、4b、4cを経由して前処理部200に導かれる。   The sample gas in the flue is sucked through the sampling nozzles 2a, 2b and 2c by the suction pumps 6a (only 6a is shown, 6b and 6c are not shown). The sucked sample gas is guided to the pretreatment unit 200 through the introduction pipes 4a, 4b, and 4c after the dust is removed by the dust filters 3a, 3b, and 3c.

前処理部200に導かれるまでは試料ガスは加熱器(ヒータ)5cで100〜250℃程度に保温され、吸着の発生を極力抑えている。前処理部200に導かれた試料ガスは、測定したいラインのバルブ10a、10b、10c(図では10a)を開にし、他のラインのバルブ10a、10b、10c(図では10b、10c)を閉にして1ラインのみ選択されて分析計300に導かれる。   The sample gas is kept at a temperature of about 100 to 250 ° C. by the heater (heater) 5c until it is led to the pretreatment unit 200, thereby suppressing the occurrence of adsorption as much as possible. The sample gas guided to the pretreatment unit 200 opens the valves 10a, 10b, and 10c (10a in the figure) of the line to be measured, and closes the valves 10a, 10b, and 10c (10b and 10c in the figure) of the other lines. Thus, only one line is selected and guided to the analyzer 300.

分析計300に導かれる前に、試料ガスが比較的きれいで夾雑成分が少ない場合には、バルブ15を開にしてダイレクト機構25を経由して分析計300に導かれる。   If the sample gas is relatively clean and contains few contaminant components before being led to the analyzer 300, the valve 15 is opened and led to the analyzer 300 via the direct mechanism 25.

試料ガスに夾雑成分が多い場合には、ぞのまま分析計300に導かれると測定感度が落ちるか測定不能になるため、バルブ11を開にして吸脱着機構60に導き、ガスをクリーンな状態にした後、分析計300に導かれる。   If the sample gas contains a lot of contaminants, if it is led to the analyzer 300 as it is, the measurement sensitivity will drop or the measurement will become impossible. Therefore, the valve 11 is opened and led to the adsorption / desorption mechanism 60 to keep the gas clean. After that, it is led to the analyzer 300.

ダイレクト機構にするか吸脱着機構にするかは事前にガス成分が分かっていれば、あらかじめ制御部に設定して選択されたラインに応じて切り分けを行う。ガス成分が分からない場合は、実際に測定してダイレクトでだめな場合は吸脱着機構60に切替えることができる。   If the gas component is known in advance as to whether to use the direct mechanism or the adsorption / desorption mechanism, it is set according to the line selected and set in advance in the control unit. If the gas component is not known, it can be switched to the adsorption / desorption mechanism 60 if it is actually measured and not direct.

ダイレクト機構25が選択されると、バルブ15が開、バルブ11が閉となり試料ガスはそのまま分析計300に導かれ、分析部310で分析される。吸脱着機構60が選択されるとバルブ15が閉、バルブ11が開となり、試料ガスは吸引ポンプ50によって吸着管20に導かれる。   When the direct mechanism 25 is selected, the valve 15 is opened, the valve 11 is closed, and the sample gas is directly introduced to the analyzer 300 and analyzed by the analysis unit 310. When the adsorption / desorption mechanism 60 is selected, the valve 15 is closed and the valve 11 is opened, and the sample gas is guided to the adsorption tube 20 by the suction pump 50.

吸着流量は流量計40によって積算し濃度換算に使用する。吸着管20では冷却器22で0〜100℃近辺に冷却する事によりガス状有機物が吸着され、一定時間経過後、濃縮された試料ガス成分が吸着管20に溜まることになる。それ以外の無機物は吸着管20を通過し、排気ライン8を通して排出される。   The adsorption flow rate is integrated by the flow meter 40 and used for concentration conversion. In the adsorption tube 20, the gaseous organic matter is adsorbed by cooling to around 0 to 100 ° C. with the cooler 22, and the concentrated sample gas component accumulates in the adsorption tube 20 after a predetermined time has elapsed. Other inorganic substances pass through the adsorption pipe 20 and are discharged through the exhaust line 8.

冷却器22の温度を変える事により、無機物以外にも不要な有機化合物を通過することができる。例えば、吸着時の温度を高めにすれば、低質量数有機化合物は沸点が低く気化しやすいので、吸着管を透過する。   By changing the temperature of the cooler 22, unnecessary organic compounds can be passed in addition to inorganic substances. For example, if the temperature at the time of adsorption is increased, the low mass number organic compound has a low boiling point and is easily vaporized, so that it passes through the adsorption tube.

測定したい対象物が吸着する、または気化しない温度上限近傍に冷却温度を設定すれば、それ以下の温度で気化する成分は吸着管20を通り抜けるので、可能な限りの余分な夾雑成分を除去することができ、コンタミの影響を小さくすることができる。   If the cooling temperature is set near the upper temperature limit at which the object to be measured adsorbs or does not evaporate, the vaporized component below that temperature passes through the adsorption tube 20 and therefore removes as much extraneous components as possible. And the influence of contamination can be reduced.

吸着後、バルブ11とバブル13を閉にし、バルブ12とバルブ14を開にして脱着を行う。吸着管20を加熱器21によって徐々にまたは一気に約300〜400℃まで上げていき、ドライエアーやドライ窒素などのクリーンガスガス30を押し込む事で吸着管20に濃縮された有機物が徐々にまた一気に脱着していき、分析計300に導かれていく。   After adsorption, the valve 11 and the bubble 13 are closed, and the valve 12 and the valve 14 are opened to perform desorption. The adsorption tube 20 is gradually or rapidly raised to about 300 to 400 ° C. by the heater 21, and the organic substance concentrated in the adsorption tube 20 is desorbed gradually and at once by pushing in a clean gas gas 30 such as dry air or dry nitrogen. Then, it is guided to the analyzer 300.

これをガスクロや質量分析計で測定する事により成分を分析する事ができる。特にAPCI法では瞬時にガスをイオン化し質量分析計でその信号を捕らえる事ができるので吸着管内の成分を数分で測定する事ができる。   By measuring this with a gas chromatograph or mass spectrometer, the components can be analyzed. In particular, in the APCI method, gas can be instantaneously ionized and the signal can be captured by a mass spectrometer, so that the components in the adsorption tube can be measured in a few minutes.

ここで分析が終了するが、通常は吸着管をクリーンするために測定後も過熱して余分な成分を取り除く事を行う。高質量の夾雑成分が多い場合は、吸着管の加熱温度を上げてクリーンにすることも可能である。   The analysis ends here, but normally, after the measurement, the excess components are removed by heating to clean the adsorption tube. When there are many high-mass impurities, it is possible to raise the heating temperature of the adsorption tube to make it clean.

高次の夾雑物がほとんどない場合にはクリーン工程を省くこともある。これで一連の吸着、脱着、クリーン化が行われ、次の吸着が始まるまで待機状態となる。   When there is almost no high-order impurities, the clean process may be omitted. Thus, a series of adsorption, desorption, and cleaning are performed, and a standby state is entered until the next adsorption starts.

図6にダイレクトと吸脱着混合時のシーケンスを示す。各試料ガスラインを4a→4b→4cの順に切替えて測定し、また、4a、4bラインはダイレクト、4cラインは吸脱着を行うとした場合、まず4aラインのバルブ10aとダイレクト機構のバルブ15を開にし、少なくともバルブ10b、10c、11、14を閉とする。   FIG. 6 shows a sequence during direct and adsorption / desorption mixing. When each sample gas line is measured in the order of 4a → 4b → 4c, and the 4a and 4b lines are direct and the 4c line is adsorbed / desorbed, the valve 10a of the 4a line and the valve 15 of the direct mechanism are first connected. Open at least the valves 10b, 10c, 11, and 14.

それにより4aラインのガスが分析部300に導かれ測定される。次に一定時間後、4bラインに切替える時は同様にバルブ10aを閉、10bを開にすれば4bラインの測定を行う。   Thereby, the gas of the 4a line is guided to the analysis unit 300 and measured. Next, when switching to the 4b line after a certain period of time, the valve 10a is similarly closed, and if the 10b is opened, the 4b line is measured.

次に4cラインに切り替わる時は、バルブ10a、10bを閉にし、10cを開にする。
同時にダイレクト機構のバルブ15を閉、吸脱着機構のバルブ11、13を開にして吸着管にガスを導いて吸着を行う。
Next, when switching to the 4c line, the valves 10a and 10b are closed and 10c is opened.
At the same time, the valve 15 of the direct mechanism is closed and the valves 11 and 13 of the adsorption / desorption mechanism are opened to introduce gas into the adsorption pipe for adsorption.

一定時間吸着後、脱着のためにバルブ11、13を閉にし、バルブ12,14を開にして吸着管に濃縮されたガスを分析部300に導き測定する。吸着された対象成分が放出されたのち、吸着管に残留する吸雑成分を吐き出すために、クリーニングを行う。   After adsorption for a certain time, the valves 11 and 13 are closed for desorption, the valves 12 and 14 are opened, and the gas concentrated in the adsorption tube is guided to the analyzer 300 and measured. After the adsorbed target component is released, cleaning is performed in order to discharge the contaminant components remaining in the adsorption tube.

バルブは脱着時のままで、その温度かそれ以上に温度を上げてクリーニングする。以上で一連のシーケンスが終了する。以下同じシーケンスを繰り返す。また、状況により、切替ラインの順序を変えたり、異常ラインをスキップしたりすることも可能である。   Keep the valve on and off, and clean it by raising its temperature to or above that temperature. This completes the series of sequences. The same sequence is repeated thereafter. Also, depending on the situation, it is possible to change the order of the switching lines or skip the abnormal lines.

また、全体ライン数を増やしたり、ダイレクトと吸脱着するラインも数を変更したりすることも可能である。   It is also possible to increase the total number of lines or to change the number of direct and adsorbing / desorbing lines.

このように本発明の実施例によれば、複数個所の排ガス及び大気ラインを連続的に切替えて、ガス中の有機化合物を簡便・迅速に、しかも精度を保ちながら効率よくオンライン分析することができる。   As described above, according to the embodiment of the present invention, it is possible to continuously switch the exhaust gas and the air line at a plurality of locations, and to analyze the organic compound in the gas easily and quickly and efficiently while maintaining accuracy. .

しかも、測定ガスの性状に応じ、ダイレクトと吸脱着を切替えることができ、測定精度の保持が可能という効果が有る。   Moreover, direct and adsorption / desorption can be switched according to the properties of the measurement gas, and the measurement accuracy can be maintained.

また、本発明の他の実施例を図3、図4に示す。   Another embodiment of the present invention is shown in FIGS.

図3は吸脱着機構を2セット設けた場合で、それぞれの吸脱着機構成は図2と同じである。図2では吸脱着を行う試料ラインが1つの場合を説明したが、1つの吸脱着機構で2つの試料ラインを吸脱着することも可能である。   FIG. 3 shows a case where two sets of adsorption / desorption mechanisms are provided, and the configuration of each adsorption / desorption machine is the same as FIG. Although FIG. 2 illustrates the case where one sample line is used for adsorption / desorption, two sample lines can be adsorbed / desorbed by one adsorption / desorption mechanism.

しかし、吸脱着シーケンスはダイレクトに比べ時間がかかるので、2ラインを吸脱着すると更に時間がかかり、全ライン切替の時間が長くなる場合がある。そのため、吸脱着を同時に進め、切替時間を短縮するために吸脱着機構を複数設けた例が図3である。   However, since the adsorption / desorption sequence takes more time than direct, it takes more time to adsorb / desorb two lines, and the time for switching all lines may be longer. Therefore, FIG. 3 shows an example in which a plurality of adsorption / desorption mechanisms are provided to simultaneously advance adsorption / desorption and shorten the switching time.

つまり、1つの吸脱着機構が脱着している間に、もう1つの吸脱着機構は吸着を行うことで時間短縮を図る方式である。   That is, while one adsorbing / desorbing mechanism is desorbing, another adsorbing / desorbing mechanism performs adsorption to reduce time.

図3の例では、ダイレクト機構に吸脱着機構を2つ設け、各試料ガスに応じてラインを切替える。図7にダイレクトと吸脱着機構が複数ある場合のシーケンスを示す。   In the example of FIG. 3, two adsorption / desorption mechanisms are provided in the direct mechanism, and the line is switched according to each sample gas. FIG. 7 shows a sequence when there are a plurality of direct and adsorption / desorption mechanisms.

各試料ガスラインを4a→4b→4cの順に切替えて測定し、また、4aラインはダイレクト、4b、4cラインは吸脱着を行うとした場合、まず4aラインのバルブ10aとダイレクト機構のバルブ15を開にし、少なくともバルブ10b、10c、11a、11b、14a、14bを閉とする。   When each sample gas line is measured in the order of 4a → 4b → 4c, and the 4a line is direct and the 4b and 4c lines are adsorbed / desorbed, the valve 10a of the 4a line and the valve 15 of the direct mechanism are first set. Open at least the valves 10b, 10c, 11a, 11b, 14a and 14b.

それにより4aラインのガスが分析部300に導かれ測定される。次に一定時間後、4bラインに切り替わる時は、バルブ10a、10cを閉にし、10bを開にする。同時にダイレクト機構のバルブ15を閉、上段の吸脱着機構のバルブ11a、13aを開にして吸着管にガスを導いて吸着を行う。   Thereby, the gas of the 4a line is guided to the analysis unit 300 and measured. Next, when switching to the 4b line after a certain time, the valves 10a and 10c are closed and 10b is opened. At the same time, the valve 15 of the direct mechanism is closed, the valves 11a and 13a of the upper adsorption / desorption mechanism are opened, and the gas is introduced into the adsorption pipe for adsorption.

この間はまだ下段の吸脱着機構のバルブ11b、13bは閉のままである。4bラインの吸着が終わると、脱着のためにバルブ11a、13aを閉にし、バルブ12a,14aを開にして吸着管に濃縮されたガスを分析部300に導き測定する。   During this time, the valves 11b and 13b of the lower adsorption / desorption mechanism remain closed. When the adsorption of the 4b line is finished, the valves 11a and 13a are closed for desorption, the valves 12a and 14a are opened, and the gas concentrated in the adsorption tube is guided to the analysis unit 300 and measured.

ここで、4bラインの吸着が終わり脱着が始まる時に、測定ガスを4Cラインに切替え、下段の吸脱着機構でバルブ11b、13bを開にして吸着を行う。この間は上段の吸脱着機構と下段の吸脱着機構が干渉することがなく、上段では脱着を下段では吸着を同時に行うことができる。   Here, when the adsorption of the 4b line is finished and the desorption is started, the measurement gas is switched to the 4C line, and the adsorption is performed by opening the valves 11b and 13b with the lower adsorption / desorption mechanism. During this time, the upper adsorption / desorption mechanism and the lower adsorption / desorption mechanism do not interfere with each other, and desorption can be performed at the upper stage and adsorption can be performed simultaneously at the lower stage.

上段の吸脱着機構のクリーニングも下段の吸脱着機構が吸着を行っている時に行えばいい。上段の吸脱着機構で脱着が、下段の吸脱着機構で吸着が終了したら、バルブ11b、13b、12a,14aを閉、バルブ12b,14bを開にして下段の吸脱着機構での脱着を行う。   The upper adsorption / desorption mechanism may be cleaned when the lower adsorption / desorption mechanism performs adsorption. Desorption is performed by the upper adsorption / desorption mechanism, and when adsorption is completed by the lower adsorption / desorption mechanism, the valves 11b, 13b, 12a, and 14a are closed, the valves 12b and 14b are opened, and desorption is performed by the lower adsorption / desorption mechanism.

以上で一連のシーケンスが終了する。測定ガスの吸脱着したいラインが3つ以上ある場合は2つの吸脱着機構を交互に使い吸脱着を同時に行うことができる。   This completes the series of sequences. When there are three or more lines where the measurement gas is to be adsorbed / desorbed, adsorption / desorption can be performed simultaneously by alternately using two adsorption / desorption mechanisms.

このように本発明の他の実施例によれば、吸脱着を複数やる場合でも吸着と脱着を同時に行えるので、切替時間を短縮することができ迅速な測定が可能になるという効果が有る。   Thus, according to another embodiment of the present invention, since adsorption and desorption can be performed simultaneously even when a plurality of adsorption and desorption is performed, there is an effect that the switching time can be shortened and quick measurement can be performed.

また、図4はダイレクトと吸脱着機構をあらかじめ決めた場合で、吸脱着機構の構成は図2と同じである。ただし、ダイレクトと吸脱着機構を切替えるバルブ11,15は設けていない。この場合は動作としては図2と同じでバルブ11,15を省略した動きとなる。   FIG. 4 shows a case where the direct and the adsorption / desorption mechanism are determined in advance, and the configuration of the adsorption / desorption mechanism is the same as that of FIG. However, valves 11 and 15 for switching between direct and adsorption / desorption mechanisms are not provided. In this case, the operation is the same as in FIG. 2, and the valves 11 and 15 are omitted.

このように本発明の他の2つ目の実施例によれば、吸脱着をやるラインがあらかじめ決まっていれば、ダイレクトラインと吸着管ラインが互いに混ざることがないので、切替時のコンタミの影響を無くすことができ、より精度が高い測定ができるという効果がある。   As described above, according to the second embodiment of the present invention, if the line for performing adsorption / desorption is determined in advance, the direct line and the adsorption pipe line do not mix with each other. Can be eliminated, and the measurement can be performed with higher accuracy.

また、バルブ等の切替部品を省力できるので構成や操作がシンプルになるという効果がある。   Further, since the switching parts such as valves can be saved, there is an effect that the configuration and operation are simplified.

切替機構付のオンライン分析装置の構成図。The block diagram of an on-line analyzer with a switching mechanism. 本発明に基づく切替機構及び吸脱着機構付のオンライン分析装置一実施例の構成図。BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The block diagram of one Example of an on-line analyzer with a switching mechanism and adsorption / desorption mechanism based on this invention. 本発明に基づく切替機構及び複数の吸脱着機構付の他の実施例。The other Example with the switching mechanism based on this invention and several adsorption / desorption mechanism. 本発明に基づく切替機構及び吸脱着機構付の他の実施例。The other Example with the switching mechanism and adsorption / desorption mechanism based on this invention. 切替機構付のダイレクト測定シーケンス。Direct measurement sequence with switching mechanism. 本発明によるダイレクト及び吸脱着混合測定シーケンス。The direct and adsorption / desorption mixed measurement sequence according to the present invention. 本発明の他の実施例によるダイレクト及び吸脱着混合測定シーケンス。6 shows a direct and adsorption / desorption mixed measurement sequence according to another embodiment of the present invention.

符号の説明Explanation of symbols

1a、1b、1c…煙道、2a、2b、2c…サンプリングノズル、3a、3b、3c…ダストフィルタ、4a、4b、4c…導入配管、5a、5b、5c…加熱器(ヒータ)、6a、6b、6c…吸引ポンプ、7a、7b、7c…流量計、8…排気ライン、10a、10b、10c…バルブ、11〜15…バルブ、20…吸着管、21…加熱器、22…冷却器、23…吸着剤、24…フィルタ、25…ダイレクト機構、26…圧力計、30…エアーまたは窒素、40…流量計、50…吸引ポンプ、60…吸脱着機構、100a、100b、100c…サンプリング部、200…前処理部、300…分析計、310…分析部、320…流量計、330…吸引ポンプ。   1a, 1b, 1c ... flue, 2a, 2b, 2c ... sampling nozzle, 3a, 3b, 3c ... dust filter, 4a, 4b, 4c ... introduction piping, 5a, 5b, 5c ... heater (heater), 6a, 6b, 6c ... suction pump, 7a, 7b, 7c ... flow meter, 8 ... exhaust line, 10a, 10b, 10c ... valve, 11-15 ... valve, 20 ... adsorption pipe, 21 ... heater, 22 ... cooler, 23 ... Adsorbent, 24 ... Filter, 25 ... Direct mechanism, 26 ... Pressure gauge, 30 ... Air or nitrogen, 40 ... Flow meter, 50 ... Suction pump, 60 ... Adsorption / desorption mechanism, 100a, 100b, 100c ... Sampling unit, 200 ... Pretreatment unit, 300 ... Analyzer, 310 ... Analysis unit, 320 ... Flow meter, 330 ... Suction pump.

Claims (9)

分析対象ガスをガス取り入れ口から分析装置に直接導く直接配管と、
分析対象ガスを濃縮、脱着させるための吸脱着装置を介して前記分析装置に導く間接配管と、を備え、
更に、前記直接配管と間接配管を切替える切替手段と、を備えたことを特徴とするガス分析装置。
Direct piping for directing the gas to be analyzed from the gas inlet to the analyzer;
An indirect pipe that leads to the analyzer through an adsorption / desorption device for concentrating and desorbing the gas to be analyzed,
And a switching means for switching between the direct piping and the indirect piping.
請求項1において、
前記間接配管を複数ライン備えたことを特徴とするガス分析装置。
In claim 1,
A gas analyzer comprising a plurality of indirect pipes.
請求項1または2において、
前記直接配管と前記間接配管を、分析対象ガスの種類に応じて切り替え、かつそれら異なる種類のガスが混ざらないように切り替え手段を動作させる機構を備えたことを特徴とするガス分析装置。
In claim 1 or 2,
A gas analyzer comprising a mechanism for switching the direct pipe and the indirect pipe according to the type of gas to be analyzed and operating a switching means so that the different types of gases are not mixed.
請求項1、2、3のいずれかにおいて、
前記吸脱着装置は吸着管と該吸着管を加熱及び冷却する機構と、試料ガスラインとクリーンガスラインを切替える切替機構と、吸着管を通ったガスを排気するラインと分析計に導くラインを切替える切替機構を備えたことを特徴とするガス分析装置。
In any one of Claims 1, 2, and 3,
The adsorption / desorption device switches an adsorption tube, a mechanism for heating and cooling the adsorption tube, a switching mechanism for switching between a sample gas line and a clean gas line, a line for exhausting gas passing through the adsorption tube, and a line leading to the analyzer. A gas analyzer comprising a switching mechanism.
請求項4において、
前記吸着管の冷却機構の温度は測定対象成分が吸着するまたは気化しない上限温度近傍に設定したことを特徴とするガス分析装置。
In claim 4,
The gas analyzer according to claim 1, wherein the temperature of the cooling mechanism of the adsorption pipe is set in the vicinity of an upper limit temperature at which the measurement target component is not adsorbed or vaporized.
請求項4において、
前記吸脱着装置には圧力計を設け、吸着管前後のガスを封じ込めて、圧力低下による吸着管近傍のガス洩れを検知する手段を備えたことを特徴とするガス分析装置。
In claim 4,
A gas analyzer comprising a pressure gauge in the adsorption / desorption device, and means for containing gas before and after the adsorption tube to detect gas leakage in the vicinity of the adsorption tube due to pressure drop.
請求項4において、
前記吸脱着装置の吸着管の着脱機構に鍵をつけ、特定条件の時に外れるようにしたことを特徴とするガス分析装置。
In claim 4,
A gas analyzer characterized in that a key is attached to the attachment / detachment mechanism of the adsorption tube of the adsorption / desorption device so that the adsorption / desorption device is released under specific conditions.
請求項1、2、3のいずれかにおいて、
前記切り替え手段の切替シーケンスは自動と手動の選択が可能であり、複数の試料ガスラインをダイレクト機構と吸脱着機構に任意に割振りできるように設定したことを特徴とするガス分析装置。
In any one of Claims 1, 2, and 3,
The gas analyzer is characterized in that a switching sequence of the switching means can be selected automatically or manually, and a plurality of sample gas lines are set so as to be arbitrarily assigned to a direct mechanism and an adsorption / desorption mechanism.
請求項1〜8のいずれかに記載のガス分析装置が、分析結果を通信回線を介して伝達するオンラインガス分析装置であることを特徴とするガス分析装置。   The gas analyzer according to any one of claims 1 to 8, wherein the gas analyzer is an online gas analyzer that transmits an analysis result via a communication line.
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