JP2007240187A - 加速度計の物理振子の支持構造及び加速度計 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】加速度の方向に振子運動する物理振子11を、一端が中央部から二つに分岐された支持部12とその支持部12の他端に固定された錘13とで構成し、分岐された二つの端部12a側で支柱に接続するようにし、また、その二つの端部12aの間の中央部一ヶ所と支柱3との間に、物理振子11を支柱3側に付勢して物理振子11の振子運動の周期を長周期化するためのバネ部材15を介在させたものである。
【選択図】図1
Description
地球惑星科学合同大会2001年度予稿集Ss−005
図1は、本発明の実施の形態1の加速度計の物理振子の支持構造を示す図である。図1において加速度の方向をZ軸、Z軸に直交する方向をX軸、Z軸及びX軸に直交する方向をY軸としている。
加速度計1は、例えば地震などの揺れの加速度を検出するもので、測定対象物に取り付けられる基台2と、基台2に立設された支柱3と、支柱3によって加速度の方向に変位可能に支持された物理振子11と、後述の制御回路41からの制御信号に基づいて物理振子11の振子運動を打ち消す方向に物理振子11を移動させる移動機構21と、物理振子11の振子運動による変位を測定して位置信号を出力するレーザー干渉計31と、レーザー干渉計31の位置信号に基づいて物理振子11の振子運動を打ち消すように移動機構21を制御し、その制御内容に基づいて物理振子11に加わった加速度を測定する制御回路41とを備えている。
レーザー干渉計31は、本例ではマイケルソン型干渉計で構成されている。レーザ発生装置32から出た光は、ハーフミラー33で2方向に分かれ、一方は物理振子11の下面に設けられた反射鏡(以下、可動鏡)34で反射してハーフミラー33に戻り、もう一方は固定鏡35で反射してハーフミラー33に戻る。そしてそこで光が重なった後、フォトダイオード36の方向に進み、フォトダイオード36で干渉の変化が測定される。その際、物理振子11が上下振動すると可動鏡34とハーフミラー33との間の間隔が変化するため、光路長が変化して干渉のパターンも変化する。この干渉のパターンの変化を測定することにより物理振子11の変位を測定することができる。
図3は、実施の形態2の加速度計の物理振子の支持構造を示す図である。図3において、図1に示した実施の形態1と同一部分には同一符号を付し、説明を省略する。また、図3には、物理振子11の支持構造部分のみを図示し、その他の構成(加速度を測定するための電気的構成部分等)については図1と同様であり図示省略している。
図4は、実施の形態3の加速度計の物理振子の支持構造を示す図である。図4において、図1に示した実施の形態1と同一部分には同一符号を付し、説明を省略する。また、図4には、物理振子11の支持構造部分のみを図示し、その他の構成(加速度を測定するための電気的構成部分等)については図1と同様であり図示省略している。
図5は、実施の形態4の加速度計の物理振子の支持構造を示す図である。図5において、図4に示した実施の形態3と同一部分には同一符号を付し、説明を省略する。また、図5には、物理振子11の支持構造部分のみを図示し、その他の構成(加速度を測定するための電気的構成部分等)については図1と同様であり図示省略している。
2 基台
3 支柱
11 物理振子
12 支持部
12a 端部
13 錘
14 金属薄板
15 バネ部材(付勢手段)
16 恒弾性バネ(弾性手段)
31 レーザー干渉計
41 制御回路
51 物理振子の支持構造
52 支持部
52a くさび部
53 V溝
54 バネ部材
61 物理振子の支持構造
62a くさび部
63 V溝
71 物理振子の支持構造
72 板材
Claims (6)
- 加速度に応じた物理振子の振子運動をレーザー干渉計によって測定し、測定結果に基づいて加速度を求める加速度計の物理振子の支持構造において、
前記物理振子に振子運動を与えるとともに、前記物理振子を、加速度の方向に立設した支柱に垂直に支持する弾性手段と、前記物理振子を前記支柱側に付勢すると同時に前記物理振子の振子運動の周期を長周期化する付勢手段とを備え、
前記物理振子は、一端が中央部から二つに分岐された支持部とその支持部の他端に固定された錘とで構成されており、前記分岐された二つの端部側が前記支柱に接続され、その二つの端部の間の前記中央部一ヶ所と前記支柱との間に前記付勢手段を介在させたことを特徴とする加速度計の物理振子の支持構造。 - 前記分岐された二つの端部の先端がくさび状に形成され、また、前記支柱において前記分岐された二つの端部との接続部分が、前記くさび部の角度よりも大きい角度を有するV溝で形成され、前記くさび部の先端が前記V溝の先端に当接し、その当接部を支点に、前記物理振子の前記錘が加速度の方向に変位して振子運動することを特徴とする請求項1記載の加速度計の物理振子の支持構造。
- 前記V溝は、前記支柱の前記くさび部との接続面において、加速度の方向に直交する方向の一方の端面から他方の端面にかけて形成されており、前記支柱には、前記物理振子の前記くさび部が前記V溝から逸脱するのを防止する規制手段が設けられていることを特徴とする請求項2記載の加速度計の物理振子の支持構造。
- 前記規制手段は、前記支柱の前記V溝を含む端面部分を塞ぐ板材で構成されることを特徴とする請求項3記載の加速度計の物理振子の支持構造。
- 加速度に応じた物理振子の振子運動を測定し、測定結果に基づいて加速度を求める加速度計の物理振子の支持構造において、
前記物理振子に振子運動を与えるとともに、前記物理振子を、加速度の方向に立設した支柱に垂直に支持する弾性手段と、前記物理振子の両側に設けられ、前記物理振子を前記支柱側に付勢して前記物理振子の振子運動の周期を長周期化する付勢手段とを備え、
前記物理振子は、一端にくさび部を有し他端に錘が固定された構成を有し、前記くさび部の先端が、前記支柱に設けられ且つ前記くさび部の角度より大きい角度を有するV溝の先端に当接し、その当接部を支点に、前記物理振子の前記錘が加速度の方向に変位して振子運動することを特徴とする加速度計の物理振子の支持構造。 - 請求項1乃至請求項5の何れかの加速度計の物理振子の支持構造を備えたことを特徴とする加速度計。
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Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5389782A (en) * | 1977-01-19 | 1978-08-07 | Akashi Seisakusho Kk | Long period vibrograph |
JP2000244319A (ja) * | 1999-02-17 | 2000-09-08 | Yuji Otake | 高精度ディジタル帰還制御装置 |
JP2003215151A (ja) * | 2002-01-21 | 2003-07-30 | Univ Tokyo | 微小距離投げ上げ式絶対重力計 |
JP2004170215A (ja) * | 2002-11-19 | 2004-06-17 | Univ Tokyo | 水平地動検出器 |
-
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Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5389782A (en) * | 1977-01-19 | 1978-08-07 | Akashi Seisakusho Kk | Long period vibrograph |
JP2000244319A (ja) * | 1999-02-17 | 2000-09-08 | Yuji Otake | 高精度ディジタル帰還制御装置 |
JP2003215151A (ja) * | 2002-01-21 | 2003-07-30 | Univ Tokyo | 微小距離投げ上げ式絶対重力計 |
JP2004170215A (ja) * | 2002-11-19 | 2004-06-17 | Univ Tokyo | 水平地動検出器 |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
JPN6011003290, 新谷昌人、他2名, ""半導体レーザー干渉計を用いた高精度広帯域地震計の性能評価"", 地球惑星科学関連学会2001年合同大会予稿集[online]、2001年6月4日、地球惑星科学合同大会運営機 * |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR200453050Y1 (ko) | 2009-07-27 | 2011-04-01 | 장성식 | 단진자 운동 실험교구 |
RU2748583C2 (ru) * | 2019-09-12 | 2021-05-27 | Андрей Юрьевич Григорьев | Акселерометр на фотоматрице |
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