JP2007141967A - Photovoltaic element, photovoltaic module, and method of manufacturing photovoltaic element - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、光起電力素子、光起電力モジュールおよび光起電力素子の製造方法に関し、特に、発電領域に保護層が形成された光起電力素子、光起電力モジュールおよび光起電力素子の製造方法に関する。 The present invention relates to a photovoltaic element, a photovoltaic module, and a method for manufacturing a photovoltaic element, and more particularly, to a photovoltaic element having a protective layer formed in a power generation region, a photovoltaic module, and a photovoltaic element. Regarding the method.
従来、光電変換層の表面に保護層を形成することによって、光電変換層の表面を傷や湿度から保護し、それによって素子特性が低下するのを抑制することが可能な光起電力素子およびその製造方法が知られている。図10は、従来の一例による光起電力素子の断面図である。図11は、図10に示した従来の一例による光起電力素子の平面図である。図12は、図10に示した従来の一例による光起電力素子を複数接続した状態を示す断面図である。まず、図10〜図12を参照して、従来の一例による光起電力素子100の構造について説明する。
Conventionally, a photovoltaic device capable of protecting the surface of the photoelectric conversion layer from scratches and humidity by forming a protective layer on the surface of the photoelectric conversion layer, and thereby suppressing deterioration of device characteristics, and the photovoltaic device Manufacturing methods are known. FIG. 10 is a cross-sectional view of a photovoltaic element according to a conventional example. FIG. 11 is a plan view of the photovoltaic element according to the conventional example shown in FIG. FIG. 12 is a cross-sectional view showing a state in which a plurality of photovoltaic elements according to the conventional example shown in FIG. 10 are connected. First, the structure of a
従来の一例による光起電力素子100は、図10および図11に示すように、光電変換層101の上面上に集電極102が形成されている。この集電極102は、図11に示すように、光電変換層101で発電された電流を収集するためのフィンガー電極部102aと、フィンガー電極部102aを流れる電流をさらに収集するためのバスバー電極部102bとによって構成されている。また、光電変換層101の下面上にも、光電変換層101の上面上に形成された集電極102と同様の集電極(図示せず)が形成されている。
As shown in FIGS. 10 and 11, a
また、従来の一例による光起電力素子100では、図10に示すように、光電変換層101の上面上(光入射面側)に保護層103が形成されている。この保護層103は、光電変換層101の表面に傷が付くのを抑制する機能を有するとともに、光電変換層101の表面が大気と接触するのを遮断する機能を有している。すなわち、保護層103は、光電変換層101の表面に傷が付くことにより光電変換層101の素子特性が低下するのを抑制するとともに、空気中の湿度により光電変換層101の構成物質がイオン化し、これにより素子特性が低下するのを抑制する機能を有している。また、保護層103が集電極102の側面部と接する領域では、保護層103の厚みが表面張力により集電極102の厚みと同程度の厚みまで大きくなっている。
Further, in the
また、光起電力素子100のバスバー電極部102bの上面には、図10〜図12に示すように、隣接する光起電力素子100を互いに電気的に接続するためのタブ電極104の一方端が接続されている。このタブ電極104の他方端は、隣接する光起電力素子100の裏面側に形成された集電極のバスバー電極部(図示せず)に電気的に接続されている。
Further, on the upper surface of the bus
図13および図14は、図10に示した従来の一例による光起電力素子の表面上に保護層を形成する方法を説明するための断面図である。次に、図10および図12〜図14を参照して、光電変換層101の上面上に保護層103を形成する方法について説明する。
13 and 14 are cross-sectional views for explaining a method of forming a protective layer on the surface of the photovoltaic element according to the conventional example shown in FIG. Next, a method for forming the
まず、図13に示すように、光起電力素子100のバスバー電極部102bの上面上に、マスク層105を形成する。次に、図14に示すように、マスク層105をマスクとして、光電変換層101の表面上に保護層103を構成する樹脂材料をスプレーでコーティングする。その後、マスク層105を除去する。このようにして、図10に示した従来の一例による光起電力素子100が形成される。
First, as shown in FIG. 13, a
続いて、バスバー電極部102bの上面にタブ電極104の一方端を接続するとともに、隣接する光起電力素子100の裏面側のバスバー電極部(図示せず)に、タブ電極104の他方端を接続する。これにより、図12に示した従来の一例による光起電力素子100が複数接続される。この後、接続された複数の光起電力素子100が充填材(図示せず)により充填されてモジュール化される。
Subsequently, one end of the
また、従来、保護層に内部気泡が入るのを抑制するため、光起電力素子の受光面に形成される保護層の厚みが平均厚みよりも厚くならないように構成された光起電力素子およびその製造方法が知られている(たとえば、特許文献1参照)。 Further, conventionally, in order to suppress the internal bubbles from entering the protective layer, the photovoltaic element configured so that the thickness of the protective layer formed on the light receiving surface of the photovoltaic element does not become larger than the average thickness, and the photovoltaic element A manufacturing method is known (see, for example, Patent Document 1).
図15は、特許文献1に記載された従来の他の一例による光起電力素子の平面図である。図16は、図15の300−300線に沿った断面図である。まず、図15および図16を参照して、特許文献1に記載された従来の他の一例による光起電力素子200の構造について説明する。
FIG. 15 is a plan view of a photovoltaic element according to another conventional example described in Patent Document 1. In FIG. 16 is a cross-sectional view taken along line 300-300 in FIG. First, with reference to FIG. 15 and FIG. 16, the structure of the
特許文献1に記載された従来の他の一例による光起電力素子200は、図15に示すように、光起電力素子板201(光電変換層)の上面のY方向の両側端部に、それぞれ、絶縁部材202が設けられている。また、絶縁部材202の発電領域203側の側面部には、図16に示すように、離型剤202aが塗布されている。この離型剤202aは、絶縁部材202の側面部と接する保護層207の表面張力を低下させる機能を有している。また、発電領域203の上面上には、図15に示すように、光起電力素子板201で発電された電流を収集するための複数の集電電極204(フィンガー電極)がY方向に延びるように設けられている。
As shown in FIG. 15, a
また、絶縁部材202の上面上には、導電性箔体205(バスバー電極)が集電電極204と別体で設けられている。この導電性箔体205は、絶縁部材202の上面上で集電電極204と接続されている。また導電性箔体205は、集電電極204に流れる電流をさらに収集する機能を有している。また、図16に示すように、導電性箔体205と対向する位置である光起電力素子板201の下面の両側端部には、それぞれ、導電性箔体206が設けられている。
Further, a conductive foil body 205 (bus bar electrode) is provided separately from the current collecting
また、光起電力素子板201の発電領域203の上面上(光入射面側)には、光起電力素子板201を傷や湿度などから保護するための保護層207(図16参照)が形成されている。この保護層207は、絶縁部材202の側面部に設けられた離型剤202aと接している。このため、絶縁部材202の側面部の近傍では、図16に示すように、保護層207が離型剤202aにはじかれて、保護層207の厚みが平均厚みよりも小さくなっている。
Further, a protective layer 207 (see FIG. 16) for protecting the
次に、図15および図16を参照して、特許文献1に記載された従来の他の一例による光起電力素子200の製造方法について説明する。まず、絶縁部材202の片側の側面部に離型剤202aを塗布する。次に、離型剤202aを塗布した面が発電領域203側になるように、絶縁部材202を光起電力素子板201のY方向(図15参照)の両側端部に貼り付ける。次に、銅線からなる複数の集電電極204に導電性接着材を塗布し、光起電力素子板201の発電領域203の上面上にY方向に延びるように接着する。その際、集電電極204の端部が、絶縁部材202の上面上に位置するように集電電極204を接着する。その後、導電性箔体(バスバー電極)205を絶縁部材202の上面上に貼り付けることによって、導電性箔体(バスバー電極)205を集電電極204に接続する。
Next, with reference to FIG. 15 and FIG. 16, a manufacturing method of the
次に、導電性箔体205と対向する位置である光起電力素子板201の下面の両側端部に、導電性箔体206を貼り付ける。
Next, the
続いて、光起電力素子板201の上面上(光入射面側)の発電領域203に、スプレーにより、保護層207を構成する樹脂材料をコーティングする。なお、特許文献1の構造において、導線性箔体205の上面上に、隣接する光起電力素子200を電気的に接続するためのタブ電極(図示せず)を取り付ける場合には、導電性箔体205の上面上に保護層207が形成されるのを抑制する必要がある。この場合、樹脂材料をコーティングする際には、導電性箔体205の上面上にはマスク層208が形成されるものと考えられる。そして、タブ電極を形成する場合には、保護層207が形成された後にマスク層208を除去した後、導電性箔体205の上面にタブ電極が取り付けられる。
Subsequently, the resin material constituting the
しかしながら、図10〜図14に示した従来の一例による光起電力素子100では、上記したように、保護層103が集電極102の側面部と接する領域で、保護層103の厚みが集電極102(バスバー電極部102b)の厚みと同程度の厚みまで大きくなっているので、保護層103の形成時に集電極102のバスバー電極部102bの上面上に形成したマスク層105とバスバー電極部102bとの境界部分の隙間に保護層103を構成する樹脂材料が入り込むという不都合がある。このため、保護層103の形成後にマスク層105を除去した場合に、バスバー電極部102bの上面上の一部に保護層103が形成されてしまうので、バスバー電極部102bの上面上にタブ電極104を接続する際に、タブ電極104に接続不良が生じる場合があるという問題点がある。
However, in the
また、図15および図16に示した特許文献1に記載された従来の他の一例による光起電力素子200では、保護層207が絶縁部材202の側面部と接する領域で、保護層207の厚みが平均厚みよりも大きくなることがないので、上記従来の一例による光起電力素子100のような問題点は生じない。その一方、特許文献1では、保護層207の厚みを平均厚みよりも小さくするために、絶縁部材202の側面部に離型剤202aを塗布する必要があるという不都合がある。このため、光起電力素子200の製造工程において、絶縁部材202の側面部に離型剤202aを塗布する工程が必要となるので、製造プロセスが複雑化するという問題点がある。
Further, in the
この発明は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、この発明の1つの目的は、製造プロセスが複雑化するのを抑制しながら、接続電極を集電極に取り付ける際の接続不良を抑制することが可能な光起電力素子、光起電力モジュールおよび光起電力素子の製造方法を提供することである。 The present invention has been made in order to solve the above-described problems, and one object of the present invention is to connect a connection electrode to a collector electrode while suppressing a complicated manufacturing process. To provide a photovoltaic device, a photovoltaic module, and a method for manufacturing a photovoltaic device capable of suppressing defects.
上記目的を達成するために、この発明の第1の局面における光起電力素子は、光電変換層を含む発電領域と、発電領域の一表面上に形成される集電極と、発電領域上に形成された保護層とを備え、保護層の少なくとも一部は、集電極の側面部と接することなく側面部から所定の間隔を隔てて形成されている。 To achieve the above object, a photovoltaic device according to a first aspect of the present invention is formed on a power generation region including a photoelectric conversion layer, a collector electrode formed on one surface of the power generation region, and a power generation region. And at least a part of the protective layer is formed at a predetermined interval from the side surface without contacting the side surface of the collector electrode.
この第1の局面による光起電力素子では、上記のように、保護層の少なくとも一部を、集電極の側面部と接することなく側面部から所定の間隔を隔てて形成されていることによって、保護層が集電極の側面部に接した場合と異なり、集電極の側面部近傍の保護層の厚みが表面張力により平均厚みよりも大きくなるのを抑制することができる。このため、保護層の厚みが平均厚みよりも大きくなることに起因して、集電極の接続電極が取り付けられる部分に保護層が形成されるのを抑制することができるので、保護層の形成による接続不良箇所の発生を抑制することができる。その結果、接続電極を集電極に取り付ける際の接続不良の発生を抑制することができる。また、保護層を、集電極の側面部と接することなく側面部から所定の間隔を隔てて形成することによって、集電極の側面部に離型剤を塗布することなく、保護層の厚みが平均厚みよりも大きくなるのを抑制することができるので、離型剤を塗布する工程を省略することができる。このため、製造プロセスが複雑化するのを抑制することができる。したがって、第1の局面による光起電力素子では、製造プロセスが複雑化するのを抑制しながら、接続電極を集電極に取り付ける際の接続不良を抑制することができる。 In the photovoltaic element according to the first aspect, as described above, by forming at least a part of the protective layer at a predetermined interval from the side surface without contacting the side surface of the collector electrode, Unlike the case where the protective layer is in contact with the side surface portion of the collector electrode, the thickness of the protective layer near the side surface portion of the collector electrode can be suppressed from becoming larger than the average thickness due to surface tension. For this reason, since it can suppress that a protective layer is formed in the part to which the connection electrode of a collector electrode is attached resulting from the thickness of a protective layer becoming larger than average thickness, by formation of a protective layer Occurrence of poor connection can be suppressed. As a result, it is possible to suppress the occurrence of connection failure when the connection electrode is attached to the collector electrode. Further, by forming the protective layer at a predetermined interval from the side surface without contacting the side surface of the collector electrode, the thickness of the protective layer is averaged without applying a release agent to the side surface of the collector electrode. Since it can suppress becoming larger than thickness, the process of apply | coating a mold release agent can be skipped. For this reason, it can suppress that a manufacturing process becomes complicated. Therefore, in the photovoltaic device according to the first aspect, it is possible to suppress a connection failure when the connection electrode is attached to the collector electrode while suppressing a complicated manufacturing process.
上記第1の局面による光起電力素子において、好ましくは、保護層は、集電極の所定部分の両方の側面部と接することなく所定部分の両方の側面部から所定の間隔を隔てて形成されている。このように構成すれば、集電極の所定部分の両方の側面部近傍の保護層の厚みが平均厚みよりも大きくなるのを抑制することができるので、集電極の接続電極が取り付けられる部分に保護層が形成されるのをより有効に抑制することができる。その結果、接続電極を集電極に取り付ける際の接続不良の発生をより有効に抑制することができる。 In the photovoltaic element according to the first aspect, preferably, the protective layer is formed at a predetermined interval from both side portions of the predetermined portion without contacting both side portions of the predetermined portion of the collector electrode. Yes. If comprised in this way, since it can suppress that the thickness of the protective layer near the side part of both the predetermined parts of a collector electrode becomes larger than average thickness, it protects in the part to which the connection electrode of a collector electrode is attached It is possible to more effectively suppress the formation of the layer. As a result, it is possible to more effectively suppress the occurrence of connection failure when the connection electrode is attached to the collector electrode.
上記第1の局面による光起電力素子において、好ましくは、集電極は、発電領域で発電された電流を収集するためのフィンガー電極部と、フィンガー電極部を流れる電流をさらに収集するバスバー電極部とを含み、保護層は、バスバー電極部の両方の側面部と接触することなく両方の側面部から所定の間隔を隔てて形成されている。このように構成すれば、バスバー電極部の両方の側面部近傍の保護層の厚みが平均厚みよりも大きくなるのを抑制することができるので、バスバー電極部の接続電極が取り付けられる部分に保護層が形成されるのをより有効に抑制することができる。その結果、接続電極をバスバー電極部に取り付ける際の接続不良の発生をより有効に抑制することができる。 In the photovoltaic element according to the first aspect, preferably, the collector electrode includes a finger electrode portion for collecting current generated in the power generation region, and a bus bar electrode portion for further collecting current flowing through the finger electrode portion. The protective layer is formed at a predetermined distance from both side surfaces without contacting both side surfaces of the bus bar electrode portion. If comprised in this way, since it can suppress that the thickness of the protective layer of both the side part vicinity of a bus-bar electrode part becomes larger than average thickness, it is a protective layer in the part to which the connection electrode of a bus-bar electrode part is attached Can be more effectively suppressed. As a result, it is possible to more effectively suppress the occurrence of connection failure when the connection electrode is attached to the bus bar electrode portion.
上記第1の局面による光起電力素子において、好ましくは、光電変換層の表面上に形成される透光性導電膜をさらに備え、保護層と集電極とは、透光性導電膜の表面上に形成されている。このように構成すれば、透光性導電膜の表面を保護層により保護することができるとともに、光電変換層により発電された電流を接続電極が取り付けられる集電極により効率よく収集することができる。 The photovoltaic device according to the first aspect preferably further includes a light-transmitting conductive film formed on the surface of the photoelectric conversion layer, and the protective layer and the collector electrode are on the surface of the light-transmitting conductive film. Is formed. If comprised in this way, while being able to protect the surface of a translucent electrically conductive film with a protective layer, the electric power generated by the photoelectric converting layer can be efficiently collected with the collector electrode to which a connection electrode is attached.
この発明の第2の局面における光起電力モジュールは、上記第1の局面による光起電力素子を備えた光起電力モジュールである。このように構成すれば、容易に、製造プロセスが複雑化するのを抑制しながら、接続電極を集電極に取り付ける際の接続不良を抑制することが可能な光起電力モジュールを得ることができる。 A photovoltaic module according to a second aspect of the present invention is a photovoltaic module including the photovoltaic element according to the first aspect. If comprised in this way, the photovoltaic module which can suppress the connection defect at the time of attaching a connection electrode to a collector electrode can be obtained easily, suppressing a complicated manufacturing process.
この発明の第3の局面における光起電力素子の製造方法は、光電変換層を含む発電領域を形成する工程と、発電領域の表面上に集電極を形成する工程と、発電領域の表面上に、集電極の所定部分の側面部と接しないように、かつ、側面部から所定の間隔を隔たるように保護層を形成する工程とを備えている。なお、この第3の局面において、「側面部と接しないように」とは、側面部と完全に接しない場合のみならず、側面部とほぼ接しない場合も含む広い意味である。 According to a third aspect of the present invention, there is provided a method for manufacturing a photovoltaic device comprising: a step of forming a power generation region including a photoelectric conversion layer; a step of forming a collecting electrode on the surface of the power generation region; and a surface of the power generation region. And a step of forming a protective layer so as not to come into contact with the side surface portion of the predetermined portion of the collector electrode and to be spaced from the side surface portion by a predetermined distance. In this third aspect, “so as not to contact the side portion” has a broad meaning including not only the case where it does not completely contact the side portion but also the case where it does not substantially contact the side portion.
この第3の局面による光起電力素子の製造方法では、上記のように、発電領域の表面上に、集電極の側面部と接することなく側面部から所定の間隔を隔てて保護層を形成した後、集電極の上面上に接続電極を取り付けることによって、保護層が集電極の側面部に接した場合と異なり、集電極の側面部近傍の保護層の厚みが表面張力により平均厚みよりも大きくなるのを抑制することができるので、保護層の厚みが平均厚みよりも大きくなることに起因して、集電極の接続電極が取り付けられる部分に保護層が形成されるのを抑制することができる。このため、保護層の形成による接続不良箇所の発生を抑制することができるので、接続電極を集電極に取り付ける際の接続不良の発生を抑制することができる。また、保護層を、集電極の所定部分の側面部と接することなく側面部から所定の間隔を隔てて形成することによって、集電極の側面部に離型剤を塗布することなく、保護層の厚みが平均厚みよりも大きくなるのを抑制することができるので、離型剤を塗布する工程を省略することができる。このため、製造プロセスが複雑化するのを抑制することができる。したがって、第3の局面による光起電力素子の製造方法では、製造プロセスが複雑化するのを抑制しながら、接続電極を集電極に取り付ける際の接続不良を抑制することができる。 In the photovoltaic element manufacturing method according to the third aspect, as described above, the protective layer is formed on the surface of the power generation region at a predetermined interval from the side surface without contacting the side surface of the collector electrode. Later, by attaching a connection electrode on the upper surface of the collector electrode, the thickness of the protective layer near the side surface portion of the collector electrode is larger than the average thickness due to surface tension, unlike when the protective layer is in contact with the side surface portion of the collector electrode. Therefore, it is possible to suppress the formation of the protective layer in the portion where the connection electrode of the collector electrode is attached due to the thickness of the protective layer being larger than the average thickness. . For this reason, since generation | occurrence | production of the connection failure location by formation of a protective layer can be suppressed, generation | occurrence | production of the connection failure at the time of attaching a connection electrode to a collector electrode can be suppressed. Further, by forming the protective layer at a predetermined interval from the side surface without contacting the side surface of the predetermined portion of the collector electrode, the protective layer can be formed without applying a release agent to the side surface of the collector electrode. Since it can suppress that thickness becomes larger than average thickness, the process of apply | coating a mold release agent can be skipped. For this reason, it can suppress that a manufacturing process becomes complicated. Therefore, in the method for manufacturing a photovoltaic device according to the third aspect, it is possible to suppress a connection failure when the connection electrode is attached to the collector electrode while suppressing a complicated manufacturing process.
上記第3の局面による光起電力素子の製造方法において、好ましくは、集電極の所定部分の表面上に集電極の所定部分の幅よりも大きい幅の開口を有するマスク層を形成する工程と、マスク層をマスクとして、発電領域の表面上に保護層を形成する工程とを備えている。このように構成すれば、光電変換層の表面に、容易に、保護層を、集電極の所定部分の側面部と接することなく側面部から所定の間隔を隔てて形成することができる。 In the method for manufacturing a photovoltaic device according to the third aspect, preferably, a step of forming a mask layer having an opening having a width larger than the width of the predetermined portion of the collector electrode on the surface of the predetermined portion of the collector electrode; Forming a protective layer on the surface of the power generation region using the mask layer as a mask. If comprised in this way, a protective layer can be easily formed in the surface of a photoelectric converting layer at predetermined intervals from the side part, without contacting the side part of the predetermined part of a collector electrode.
なお、上記透光性導電膜を備えた光起電力素子において、透光性導電膜の表面は、凹凸形状を有していてもよい。このように構成すれば、透光性導電膜の表面の摩擦係数を大きくすることができるので、保護層を形成する際に、容易に、保護層を集電極の側面部と接することなく側面部から所定の間隔を隔てて形成することができる。 Note that, in the photovoltaic element including the above-described translucent conductive film, the surface of the translucent conductive film may have an uneven shape. With this configuration, the coefficient of friction of the surface of the translucent conductive film can be increased. Therefore, when forming the protective layer, the side surface portion can be easily formed without contacting the side surface portion of the collector electrode. Can be formed at predetermined intervals.
また、上記光起電力素子において、光電変換層は、第1導電型の第1半導体層と、第1半導体層の一方表面上に形成された実質的に真性の第2半導体層と、第2半導体層の表面上に形成された第2導電型の第3半導体層と、第1半導体層の他方表面上に形成された実質的に真性の第4半導体層と、第4半導体層の表面上に形成された第1導電型の第5半導体層とを含むように構成してもよい。このような光起電力素子に、集電極の側面部と接することなく側面部から所定の間隔を隔てて保護層を形成する構造を適用することによっても、製造プロセスが複雑化するのを抑制しながら、接続電極を集電極に取り付ける際の接続不良を抑制することができる。 In the photovoltaic device, the photoelectric conversion layer includes a first semiconductor layer of the first conductivity type, a substantially intrinsic second semiconductor layer formed on one surface of the first semiconductor layer, and a second semiconductor layer. A second semiconductor layer of a second conductivity type formed on the surface of the semiconductor layer; a substantially intrinsic fourth semiconductor layer formed on the other surface of the first semiconductor layer; and a surface of the fourth semiconductor layer. And a fifth semiconductor layer of the first conductivity type formed in the above. By applying a structure in which a protective layer is formed at a predetermined distance from the side surface without contacting the side surface of the collector electrode, the manufacturing process is prevented from becoming complicated. However, connection failure when the connection electrode is attached to the collector electrode can be suppressed.
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
図1は、本発明の一実施形態による光起電力素子の構造を示した平面図である。図2は、図1の400−400線に沿った断面図である。まず、図1および図2を参照して、本発明の一実施形態による光起電力素子11の構造について説明する。
FIG. 1 is a plan view showing the structure of a photovoltaic device according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 is a cross-sectional view taken along line 400-400 in FIG. First, with reference to FIG. 1 and FIG. 2, the structure of the
本発明の一実施形態による光起電力素子11は、図2に示すように、約140μm〜約300μmの厚みを有するともに、上面および下面にテクスチャ構造(凹凸形状)が形成されたn型単結晶シリコン基板1上に、約5nm〜約20nmの厚みを有する実質的に真性のi型非晶質シリコン層2が形成されている。また、n型単結晶シリコン基板1は、発電層(光電変換層)としての機能を有している。なお、n型単結晶シリコン基板1は、本発明の「光電変換層」および「第1半導体層」の一例であり、i型非晶質シリコン層2は、本発明の「第2半導体層」の一例である。また、i型非晶質シリコン層2上には、約5nm〜約20nmの厚みを有するp型非晶質シリコン層3が形成されている。なお、p型非晶質シリコン層3は、本発明の「第3半導体層」の一例である。
As shown in FIG. 2, the
また、p型非晶質シリコン層3上には、約30nm〜約150nmの厚みを有するITO(Indium Tin Oxide)から構成される透光性導電膜4が形成されている。また、透光性導電膜4の上面上の所定領域には、銀(Ag)ペーストからなる表面側集電極5が形成されている。この表面側集電極5は、図1に示すように、X方向に所定の間隔を隔ててY方向に互いに平行に延びるように形成された複数のフィンガー電極部5aと、フィンガー電極部5aにより収集された電流を集合させるとともに、X方向に延びるように形成されたバスバー電極部5bとによって構成されている。また、フィンガー電極部5aおよびバスバー電極部5bは、約10μm〜約100μmの厚みを有している。また、バスバー電極部5bは、約0.5mm〜約3mm(たとえば、約2mm)の幅を有している。なお、表面側集電極5が形成されている面側(図2のA側)が、光起電力素子11の光入射面側となる。
On the p-type amorphous silicon layer 3, a translucent
また、図2に示すように、n型単結晶シリコン基板1の下面上には、約5nm〜約20nmの厚みを有する実質的に真性のi型非晶質シリコン層6と、約5nm〜約20nmの厚みを有するn型非晶質シリコン層7とが順次形成されている。なお、i型非晶質シリコン層6は、本発明の「第4半導体層」の一例であり、n型非晶質シリコン層7は、本発明の「第5半導体層」の一例である。また、n型非晶質シリコン層7の下面上には、約30nm〜約150nmの厚みを有するITO膜からなる透光性導電膜8が形成されている。また、透光性導電膜8の下面上には、表面側集電極5と同様の裏面側集電極9が形成されている。なお、表面側集電極5および裏面側集電極9は、本発明の「集電極」の一例である。
Further, as shown in FIG. 2, a substantially intrinsic i-type amorphous silicon layer 6 having a thickness of about 5 nm to about 20 nm and a thickness of about 5 nm to about 5 nm are formed on the lower surface of the n-type single crystal silicon substrate 1. An n-type
また、図2に示すように、光入射面側の透光性導電膜4の発電領域18に対応する表面上には、酸化ケイ素が添加剤として添加されたアクリル樹脂からなる保護層10が形成されている。この保護層10は、透光性導電膜4の表面に傷が付くのを抑制する機能を有するとともに、透光性導電膜4の表面が大気と接触するのを遮断する機能を有している。すなわち、保護層10は、発電領域13上の素子表面に形成され、透光性導電膜4の表面に傷が付くことにより光起電力素子11の素子特性が低下するのを抑制するとともに、空気中の湿度により光起電力素子11の発電領域13がダメージを受け、これにより素子特性が低下するのを抑制する機能を有している。なお、発電領域18とは、光電変換層としてのn型単結晶シリコン基板1により発電が可能な平面領域のことをいう。
Further, as shown in FIG. 2, a
ここで、本実施形態では、図2に示すように、保護層10は、バスバー電極部5bの両方の側面部と接することなくバスバー電極部5bの側面部から距離L(約2mm)を隔てて形成されている。このため、透光性導電膜4の表面のうち、バスバー電極部5bの両方の側面部近傍には、保護層10が形成されない領域が形成される。バスバー電極部5bの両方の側面部近傍以外のフィンガー電極部5aの上面上の領域には、保護層10が形成されている。また、透光性導電膜4の表面上には、n型単結晶シリコン基板1のテクスチャ構造(凹凸形状)を反映するように、凹凸形状が形成されている。
Here, in this embodiment, as shown in FIG. 2, the
また、図1および図2に示すように、表面側集電極5のバスバー電極部5bの上面上には、複数の光起電力素子11を電気的に接続するための銅箔からなるタブ電極12の一方端側が接続されている。また、裏面側集電極9のバスバー電極部5bの下面上には、図2および図3に示すように、隣接する光起電力素子11の表面側集電極5のバスバー電極部5bに接続されたタブ電極12の他方端側が接続されている。なお、タブ電極12は、本発明の「接続電極」の一例である。
As shown in FIGS. 1 and 2, a
図3は、図1に示した一実施形態による光起電力素子を含む光起電力モジュールの構造を示した断面図である。次に、図3を参照して、一実施形態による光起電力モジュールの構造について説明する。一実施形態による光起電力モジュールは、複数の光起電力素子11を備えており、この複数の光起電力素子11の各々は、ステップ状に折り曲げられたタブ電極12を介して、隣接する光起電力素子11に接続されている。また、タブ電極12を介して接続される光起電力素子11は、EVA(Ethylene Vinyl Acetate:エチレンビニルアセテート)樹脂からなる充填材13により封止されている。また、複数の光起電力素子11を封止した充填材13の上面上(光入射面側)には、表面保護用の白色ガラスからなる表面保護材14が配置されている。また、複数の光起電力素子11を封止した充填材13の下面上には、光起電力素子11側から順番に、PETフィルム15およびAl箔16が配置されている。
FIG. 3 is a cross-sectional view showing the structure of a photovoltaic module including the photovoltaic device according to the embodiment shown in FIG. Next, the structure of the photovoltaic module according to one embodiment will be described with reference to FIG. The photovoltaic module according to one embodiment includes a plurality of
本実施形態では、上記のように、保護層10の少なくとも一部を、表面側集電極5のバスバー電極部5bの両方の側面部と接することなく側面部から距離Lの間隔を隔てて形成することによって、保護層10がバスバー電極部5bの側面部に接した場合と異なり、バスバー電極部5bの側面部近傍の保護層10の厚みが表面張力により平均厚みよりも大きくなるのを抑制することができる。このため、保護層10の厚みが平均厚みよりも大きくなることに起因して、バスバー電極部5bのタブ電極12が取り付けられる上面上の部分に保護層10が形成されるのを抑制することができるので、保護層10の形成によるタブ電極12の接続不良箇所の発生を抑制することができる。その結果、タブ電極12をバスバー電極部5bに取り付ける際の接続不良の発生を抑制することができる。
In the present embodiment, as described above, at least a part of the
また、本実施形態では、保護層10の少なくとも一部を、バスバー電極部5bの両方の側面部と接することなく側面部から距離Lを隔てて形成することによって、バスバー電極部5bの側面部に離型剤を塗布することなく、保護層10の厚みが平均厚みよりも大きくなるのを抑制することができるので、離型剤を塗布する工程を省略することができる。このため、製造プロセスが複雑化するのを抑制することができる。したがって、本実施形態では、製造プロセスが複雑化するのを抑制しながら、タブ電極12をバスバー電極部5bに接続する際の接続不良を抑制することができる。
In the present embodiment, at least a part of the
また、本実施形態では、保護層10とタブ電極12が取り付けられる表面側集電極5とを、透光性導電膜4の表面上に形成することによって、透光性導電膜4を保護層10により保護することができるとともに、光起電力素子11により発電された電流をタブ電極12が取り付けられる表面側集電極5により効率よく収集することができる。
In the present embodiment, the light-transmitting
また、本実施形態では、透光性導電膜4の表面を、凹凸形状を有するように構成することによって、透光性導電膜4の表面の摩擦係数を大きくすることができるので、保護層10を形成する際に、容易に、保護層10をバスバー電極部5bの両方の側面部と接することなく側面部から距離Lを隔てて形成することができる。
Moreover, in this embodiment, since the surface of the translucent
図4〜図7は、図1および図2に示した一実施形態による光起電力素子の製造方法を説明するための図である。次に、図1、図2および図4〜図7を参照して、上記した一実施形態による光起電力素子11の製造プロセスについて説明する。
4-7 is a figure for demonstrating the manufacturing method of the photovoltaic device by one Embodiment shown in FIG. 1 and FIG. Next, a manufacturing process of the
まず、図4に示すように、約140μm〜約300μmの厚みを有するn型単結晶シリコン基板1の上面上に、RFプラズマCVD法を用いて、約5nm〜約20nmの厚みを有する実質的に真性のi型非晶質シリコン層2、および、約5nm〜約20nmの厚みを有するp型非晶質シリコン層3を順次形成する。次に、RFプラズマCVD法を用いて、n型単結晶シリコン基板1の下面上に、約5nm〜約20nmの厚みを有する実質的に真性のi型非晶質シリコン層6、および、約5nm〜約20nmの厚みを有するn型非晶質シリコン層7を順次形成する。
First, as shown in FIG. 4, on the upper surface of the n-type single crystal silicon substrate 1 having a thickness of about 140 μm to about 300 μm, an RF plasma CVD method is used to substantially have a thickness of about 5 nm to about 20 nm. An intrinsic i-type
そして、マグネトロンスパッタ法を用いて、p型非晶質シリコン層3およびn型非晶質シリコン層7の各々の表面上に、約30nm〜約150nmの厚みを有する透光性導電膜4および8を形成する。
Then, the transparent
次に、スクリーン印刷法を用いて、透光性導電膜4の上面上および透光性導電膜8の下面上の各々の所定の領域に、約10μm〜約100μmの厚みを有するAgペーストからなる櫛形状の表面側集電極5および裏面側集電極9をそれぞれ形成する。この表面側集電極5は、図1に示すように、それぞれ、X方向に所定の間隔を隔ててY方向に互いに平行に延びる複数のフィンガー電極部5aと、フィンガー電極部5aにより収集された電流を集合させるとともにX方向に延びるバスバー電極部5bとを有するように一体的に形成する。また、裏面側集電極9も、上記表面側集電極5と同様に形成する。
Next, an Ag paste having a thickness of about 10 μm to about 100 μm is formed in each predetermined region on the upper surface of the translucent
次に、図5および図6に示すように、表面側集電極5のバスバー電極部5bの上面上に、約50μmの厚みを有するポリエステルからなるマスク層17を形成する。
Next, as shown in FIGS. 5 and 6, a
ここで、本実施形態では、マスク層17は、バスバー電極部5bの幅(約2mm)よりも大きい約6mmの開口幅を有するように形成されている。
Here, in this embodiment, the
次に、図6に示すように、光起電力素子11の光入射面側の透光性導電膜4の上面上に、添加剤として酸化ケイ素を添加したアクリル樹脂をスプレーでコーティングする。これにより、透光性導電膜4の上面上に保護層10が形成されるとともに、マスク層17によるマスクによって、バスバー電極部5bの両方の側面部の近傍には、保護層10が形成されない領域が形成される。このため、保護層10は、バスバー電極部5bの両方の側面部と接することなく、側面部から所定の間隔を隔てて透光性導電膜4の発電領域18に対応する表面上に形成される。
Next, as shown in FIG. 6, an acrylic resin to which silicon oxide is added as an additive is coated on the upper surface of the light-transmitting
保護層10が形成された直後は保護層10が硬化していないため、図7に示すように、バスバー電極部5bの側面部側に保護層10が少し拡がり、その後、保護層10が硬化する。保護層10が硬化した後の保護層10とバスバー電極部5bの側面部との距離Lは約2mmとなる。
Since the
最後に、バスバー電極部5bに形成したマスク層17を除去することにより、図2に示した本発明による光起電力素子11が形成される。
Finally, by removing the
次に、図1〜図3を参照して、上記のようにして形成した光起電力素子11を複数接続することによってモジュール化する方法について説明する。図1〜図3に示すように、上記のようにして形成した複数の光起電力素子11の表面側集電極5のバスバー電極部5bに銅箔からなるタブ電極12の一方端側を接続する。そして、タブ電極12の他方端側を、隣接する光起電力素子11の裏面側集電極9のバスバー電極部(図示せず)に接続する。このようにして、図3に示すように、複数の光起電力素子11を直列に接続する。
Next, with reference to FIG. 1 to FIG. 3, a method of modularizing by connecting a plurality of
次に、白色ガラスからなる表面保護材14の上に、後に充填材13となるEVAシート、タブ電極12により接続した複数の光起電力素子11、後に充填材13となるEVAシート、および、PETフィルム15およびAl箔16を順次積層する。この後、加熱しながら真空ラミネート処理を行うことによって、図3に示した本実施形態による光起電力モジュールが形成される。
Next, on the surface
本実施形態では、上記のように、表面側集電極5のバスバー電極部5bの上面上にバスバー電極部5bの幅よりも大きい幅の開口を有するマスク層17を形成する工程と、マスク層17をマスクとして、透光性導電膜4の発電領域18に対応する表面上に保護層10を形成する工程とを備えることによって、透光性導電膜4の発電領域18に対応する表面上に、容易に、保護層10を、バスバー電極部5bの両方の側面部と接することなく側面部から距離Lを隔てて形成することができる。
In the present embodiment, as described above, the step of forming the
なお、今回開示された実施形態および実施例は、すべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した実施形態および実施例の説明ではなく特許請求の範囲によって示され、さらに特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれる。 The embodiments and examples disclosed this time should be considered as illustrative in all points and not restrictive. The scope of the present invention is shown not by the above description of the embodiments and examples but by the scope of claims for patent, and includes all modifications within the meaning and scope equivalent to the scope of claims for patent.
たとえば、上記実施形態では、スプレーにより酸化ケイ素を添加したアクリル樹脂をコーティングすることによって、光起電力素子の光入射面側の表面に保護層を形成する例を示したが、本発明はこれに限らず、図8に示した第1変形例のように、スクリーン印刷法により、光起電力素子20の光入射面側の表面に保護層21を形成するようにしてもよい。この場合は、保護層21の形成時に、バスバー電極部5bの上面にマスク層を形成する必要がないので、その分、製造プロセスをさらに簡略化することができる。また、光起電力素子の光入射面側の表面に保護層を形成する方法として、スクリーン印刷法以外に、ディップ法やロールコーター法などの種々の方法を用いるようにしてもよい。
For example, in the above-described embodiment, an example in which a protective layer is formed on the surface of the photovoltaic element on the light incident surface side by coating an acrylic resin to which silicon oxide is added by spraying has been shown. However, the
また、上記実施形態では、保護層を、バスバー電極部の両方の側面部に接することなく側面部から距離Lを隔てて形成する例を示したが、本発明はこれに限らず、図9に示した第2変形例のように、所定の間隔で、バスバー電極部5bの側面部と保護層31とが接触する接触領域31aを形成するように保護層31を形成してもよい。
In the above embodiment, an example in which the protective layer is formed at a distance L from the side surface portion without contacting both side surface portions of the bus bar electrode portion is shown, but the present invention is not limited to this, and FIG. As in the second modification shown, the
また、上記実施形態では、保護層を、バスバー電極部の側面部と接触することなく、側面部から約2mm(距離L)の間隔を隔てて透光性導電膜の発電領域に対応する表面上に形成する例を示したが、本発明はこれに限らず、保護層がバスバー電極部と接触することなく形成されていれば、保護層とバスバー電極部の側面部との距離Lは2mm以外の間隔であってもよい。なお、保護層が形成される領域は、素子表面の損傷防止および素子表面の大気との接触の抑制という保護層の機能上、発電領域に対してほぼ全面であるのが好ましい。 Moreover, in the said embodiment, a protective layer is on the surface corresponding to the electric power generation area | region of a translucent electrically conductive film at intervals of about 2 mm (distance L) from a side part, without contacting the side part of a bus-bar electrode part. However, the present invention is not limited to this, and the distance L between the protective layer and the side surface portion of the bus bar electrode portion is not 2 mm as long as the protective layer is formed without contacting the bus bar electrode portion. It may be an interval. The region where the protective layer is formed is preferably almost the entire surface of the power generation region in terms of the protective layer function of preventing damage to the element surface and suppressing contact with the atmosphere on the element surface.
また、上記実施形態では、光起電力素子の透光性導電膜の表面上に凹凸形状を有するように構成した例を示したが、本発明はこれに限らず、透光性導電膜の表面に凹凸形状を設けないようにしてもよい。 Moreover, in the said embodiment, although the example comprised so that it had an uneven | corrugated shape on the surface of the transparent conductive film of a photovoltaic device was shown, this invention is not limited to this, The surface of a transparent conductive film An uneven shape may not be provided.
また、上記実施形態では、保護層を、光起電力素子の光入射面側の透光性導電膜上に形成した例を示したが、本発明はこれに限らず、透光性導電膜が設けられていない光起電力素子の光入射面側の発電領域に対応する表面上に形成してもよい。 Moreover, in the said embodiment, although the example which formed the protective layer on the translucent conductive film of the light-incidence surface side of a photovoltaic element was shown, this invention is not limited to this, A translucent conductive film is shown. You may form on the surface corresponding to the electric power generation area | region by the side of the light-incidence surface of the photovoltaic element which is not provided.
また、上記実施形態では、上面および下面にテクスチャ構造(凹凸形状)を有するn型単結晶シリコン基板を用いた例を示したが、本発明はこれに限らず、テクスチャ構造を有しないn型単結晶シリコン基板を用いるようにしてもよい。 In the above embodiment, an example in which an n-type single crystal silicon substrate having a texture structure (uneven shape) is used on the upper surface and the lower surface is shown. However, the present invention is not limited to this, and the n-type single crystal substrate having no texture structure is used. A crystalline silicon substrate may be used.
また、上記実施形態では、n型単結晶シリコン基板とp型非晶質シリコン層、および、n型単結晶シリコン基板とn型非晶質シリコン層との間に、それぞれ、i型非晶質シリコン層を含む光電変換層を用いた例を示したが、本発明はこれに限らず、i型非晶質シリコン層を含まない光電変換層を用いるようにしてもよい。また、本発明は、上記光起電力素子に限らず、単結晶型光起電力素子、アモルファス型光起電力素子などの種々の光起電力素子に適用可能であるとともに、シリコン系以外の光起電力素子にも適用可能である。 In the above embodiment, the i-type amorphous silicon layer and the p-type amorphous silicon layer and the i-type amorphous silicon layer between the n-type single crystal silicon substrate and the n-type amorphous silicon layer, respectively. Although an example using a photoelectric conversion layer including a silicon layer has been shown, the present invention is not limited to this, and a photoelectric conversion layer not including an i-type amorphous silicon layer may be used. The present invention is not limited to the above photovoltaic elements, but can be applied to various photovoltaic elements such as a single crystal type photovoltaic element and an amorphous type photovoltaic element, as well as photovoltaic elements other than silicon-based photovoltaic elements. It is applicable also to a power element.
また、上記実施形態では、保護層は、添加剤として酸化ケイ素を添加したアクリル樹脂から構成するようにした例を示したが、本発明はこれに限らず、保護層は、アクリル樹脂、エポキシ樹脂、シリコン樹脂、EVA、PVA(Poly Vinyl Alcohol:ポリビニルアルコール)、PVB(Poly Vinyl Butyral:ポリビニルブチラール)、ポリシラザンなど樹脂のうち、いずれか1種類、または、2種類以上を混合したものでもよく、これらのうちの少なくとも1つを主成分とし、添加剤として、酸化ケイ素、酸化アルミニウム、酸化マグネシウム、酸化チタンおよび酸化亜鉛などを添加したものから構成するようにしてもよい。また、添加剤は、光起電力素子が吸収および発電するために影響する波長の光を実質的に吸収しない金属酸化物であれば、上記以外の物質であってもよい。また、添加剤は、有機化合物であってもよい。 Moreover, in the said embodiment, although the protective layer showed the example comprised from the acrylic resin which added the silicon oxide as an additive, this invention is not limited to this, A protective layer is an acrylic resin, an epoxy resin. , Silicone resin, EVA, PVA (Poly Vinyl Alcohol: polyvinyl alcohol), PVB (Poly Vinyl Butyral), polysilazane, etc., any one kind or a mixture of two or more kinds may be used. You may make it comprise from what added silicon oxide, aluminum oxide, magnesium oxide, titanium oxide, zinc oxide, etc. as an additive at least 1 of these as a main component. Further, the additive may be a substance other than the above as long as it is a metal oxide that does not substantially absorb light having a wavelength that affects the photovoltaic element to absorb and generate power. The additive may be an organic compound.
また、上記実施形態では、マスク層として、ポリエステルからなるマスク層を用いた例を示したが、本発明はこれに限らず、バスバー電極部の上面上に保護層が形成されないようにマスクすることができるものであれば、ポリエステル以外の材料からなるマスク層であってもよい。 Moreover, although the example using the mask layer which consists of polyester was shown as said mask layer in the said embodiment, this invention is not limited to this, It masks so that a protective layer may not be formed on the upper surface of a bus-bar electrode part. Any mask layer made of a material other than polyester may be used.
また、上記実施形態では、2本のバスバー電極部と複数のフィンガー電極部とで構成される集電極を用いた例を示したが、本発明はこれに限らず、集電極を構成するバスバー電極部は1本または3本以上であってもよい。また、集電極は、フィンガー電極部をワイヤーで構成するなど、上記以外の他の構成であってもよい。 Moreover, in the said embodiment, although the example using the collector electrode comprised by two bus-bar electrode parts and several finger electrode parts was shown, this invention is not restricted to this, The bus-bar electrode which comprises a collector electrode One or three or more parts may be used. In addition, the collector electrode may have a configuration other than the above, such as a finger electrode portion formed of a wire.
また、上記実施形態では、透光性導電膜の表面上に傷が付くのを抑制する機能を有するとともに、透光性導電膜の表面が大気と接触するのを遮断する機能を有する保護層を、透光性導電膜の発電領域に対応する表面上に形成した例を示したが、本発明はこれに限らず、本発明に係る光起電力素子上の保護層は、上記機能以外の他の機能を有する保護層であってもよい。 Moreover, in the said embodiment, while having the function which suppresses a damage | wound on the surface of a translucent conductive film, the protective layer which has a function which interrupts | blocks the surface of a translucent conductive film contacting with air | atmosphere. However, the present invention is not limited to this, and the protective layer on the photovoltaic element according to the present invention is not limited to the above functions. It may be a protective layer having the following functions.
1 n型単結晶シリコン基板(第1半導体層)
2 i型非晶質シリコン層(第2半導体層)
3 p型非晶質シリコン層(第3半導体層)
4、8 透光性導電膜
6 i型非晶質シリコン層(第4半導体層)
7 n型非晶質シリコン層(第5半導体層)
5 表面側集電極(集電極)
5a フィンガー電極部
5b バスバー電極部
9 裏面側集電極(集電極)
10、21、31 保護層
11、20、30 光起電力素子
12 タブ電極(接続電極)
13 充填材
14 表面保護材
15 PETフィルム
16 Al箔
17 マスク層
18 発電領域
1 n-type single crystal silicon substrate (first semiconductor layer)
2 i-type amorphous silicon layer (second semiconductor layer)
3 p-type amorphous silicon layer (third semiconductor layer)
4, 8 Translucent conductive film 6 i-type amorphous silicon layer (fourth semiconductor layer)
7 n-type amorphous silicon layer (fifth semiconductor layer)
5 Surface side collector (collector)
5a
10, 21, 31
13
Claims (7)
前記発電領域の一表面上に形成される集電極と、
前記発電領域上に形成された保護層とを備え、
前記保護層の少なくとも一部は、前記集電極の側面部と接することなく前記側面部から所定の間隔を隔てて形成されている、光起電力素子。 A power generation region including a photoelectric conversion layer;
A collector electrode formed on one surface of the power generation region;
A protective layer formed on the power generation region,
The photovoltaic device, wherein at least a part of the protective layer is formed at a predetermined interval from the side surface without contacting the side surface of the collector electrode.
前記保護層は、前記バスバー電極部の両方の側面部と接触することなく前記両方の側面部から所定の間隔を隔てて形成されている、請求項1または2に記載の光起電力素子。 The collector electrode includes a finger electrode part for collecting current generated in the power generation region, and a bus bar electrode part for further collecting current flowing through the finger electrode part,
3. The photovoltaic element according to claim 1, wherein the protective layer is formed at a predetermined distance from both side portions without contacting the both side portions of the bus bar electrode portion.
前記保護層と前記集電極とは、前記透光性導電膜の表面上に形成されている、請求項1〜3のいずれか1項に記載の光起電力素子。 A translucent conductive film formed on the surface of the photoelectric conversion layer;
The photovoltaic device according to any one of claims 1 to 3, wherein the protective layer and the collector electrode are formed on a surface of the translucent conductive film.
前記発電領域の表面上に集電極を形成する工程と、
前記発電領域の表面上に、前記集電極の所定部分の側面部と接しないように、かつ、前記側面部から所定の間隔を隔たるように保護層を形成する工程とを備えた、光起電力素子の製造方法。 Forming a power generation region including a photoelectric conversion layer;
Forming a collecting electrode on the surface of the power generation region;
Forming a protective layer on the surface of the power generation region so as not to contact a side surface of a predetermined portion of the collector electrode and at a predetermined interval from the side surface. A method for manufacturing a power element.
前記マスク層をマスクとして、前記発電領域の表面上に保護層を形成する工程とを備えた、請求項6に記載の光起電力素子の製造方法。 Forming a mask layer having an opening having a width larger than the width of the predetermined portion of the collector electrode on the surface of the predetermined portion of the collector electrode;
The method for manufacturing a photovoltaic device according to claim 6, further comprising: forming a protective layer on a surface of the power generation region using the mask layer as a mask.
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