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JP2007124373A - Detection sensor and photoelectric sensor - Google Patents

Detection sensor and photoelectric sensor Download PDF

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JP2007124373A
JP2007124373A JP2005315048A JP2005315048A JP2007124373A JP 2007124373 A JP2007124373 A JP 2007124373A JP 2005315048 A JP2005315048 A JP 2005315048A JP 2005315048 A JP2005315048 A JP 2005315048A JP 2007124373 A JP2007124373 A JP 2007124373A
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Japan
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signal
output
level
discrimination
light
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Pending
Application number
JP2005315048A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Kazuyoshi Miyata
和佳 宮田
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Panasonic Industrial Devices SUNX Co Ltd
Original Assignee
Sunx Ltd
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Publication date
Application filed by Sunx Ltd filed Critical Sunx Ltd
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a photoelectric sensor where the number of components can be reduced. <P>SOLUTION: A photodetection signal Si output according to a photodetection amount from a photodetective circuit 15 is input to a CPU 13 to be compared with a threshold (a) and a threshold (b) having a prescribed hysteresis band by a second discrimination means 16B within the CPU 13 and to be compared with a threshold (c) set between the threshold (a) and the threshold (b) by a first discrimination means 16A. Then, both of the two discrimination means 16A and 16B output a signal at a low level when the level of the photodetection signal Si is not lower than a threshold, but output a signal at a high level when the level of the photodetection signal Si is not higher than the threshold. An output circuit 17 outputs an output signal Pe at a high level when a pulse signal P2 of the second discrimination means 16B is at a high level when a pulse signal P1 of the first discrimination means 16A rises. It is possible to judge that a metal ball Wb is an excellent product from the output signal Pe. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は、検出センサ及び光電センサに関する。   The present invention relates to a detection sensor and a photoelectric sensor.

従来より、例えば、検出対象物の状態等を検出するための検出センサ(光電センサ)が知られている。この種の検出センサ(光電センサ)には、例えば、検出対象物に向けて投光素子から投光した光のうち、受光素子にて受光された光の受光量を所定の閾値と比較し、この比較結果に応じてハイレベル若しくはローレベルのいずれかの信号を出力するようになっているものがある。   Conventionally, for example, a detection sensor (photoelectric sensor) for detecting a state of a detection target or the like is known. For this type of detection sensor (photoelectric sensor), for example, among the light projected from the light projecting element toward the detection object, the amount of light received by the light receiving element is compared with a predetermined threshold, Some of them output either a high level signal or a low level signal according to the comparison result.

そして、例えば、図8に示すように、複数の検出センサ(光電センサ)1…1において行われる投受光動作により得られる受光信号を、コントローラ2に出力し、コントローラ2にて所定の論理演算を行うことにより、演算結果に基づき検出対象物の状態等が検出されるようになっている。
特開平5−276006号公報
Then, for example, as shown in FIG. 8, a light reception signal obtained by a light projecting / receiving operation performed by a plurality of detection sensors (photoelectric sensors) 1... 1 is output to the controller 2, and a predetermined logical operation is performed by the controller 2. By doing so, the state or the like of the detection object is detected based on the calculation result.
JP-A-5-276006

ところで、検出対象物の状態等を検出するに際して、単純な論理演算を用いるのではなく、特殊なアルゴリズムを用いて検出対象物の状態を判定する場合がある。かかる場合に、検出センサ(光電センサ)1とは別体の機器を用いて演算処理等を実行する場合には、部品点数が多くなり、その分だけ、管理コストが余計にかかってしまうという問題があった。
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、部品点数を少なくすることができる検出センサ及び光電センサを提供することにある。
By the way, when detecting the state or the like of the detection target object, the state of the detection target object may be determined using a special algorithm instead of using a simple logical operation. In such a case, when performing arithmetic processing or the like using a device separate from the detection sensor (photoelectric sensor) 1, the number of parts increases, and the management cost increases accordingly. was there.
The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object thereof is to provide a detection sensor and a photoelectric sensor capable of reducing the number of parts.

上記の目的を達成するための手段として、請求項1の発明は、検出対象物の物理量に応じたレベルの検出信号を出力する物理量検出手段と、前記物理量検出手段からの検出信号に基づき、それぞれ異なる設定条件に応じた判別結果を出力する複数の判別手段と、前記複数の判別手段のうちの、一の判別手段から出力される判別結果が変化したときの、他の判別手段から出力される判別結果に応じた出力信号を出力する出力手段と、を備える構成としたところに特徴を有する。   As means for achieving the above object, the invention of claim 1 is based on a physical quantity detection means for outputting a detection signal at a level corresponding to a physical quantity of a detection target, and a detection signal from the physical quantity detection means, respectively. A plurality of discriminating means for outputting discrimination results according to different setting conditions, and output from other discriminating means when a discrimination result output from one of the plurality of discriminating means changes. It is characterized in that it is configured to include an output means for outputting an output signal corresponding to the discrimination result.

請求項2の発明は、請求項1記載の前記検出センサは、光を投光する投光手段と、前記投光手段からの光を受光し、当該受光量に応じた受光信号を前記検出信号として出力する受光手段と、を備えて構成される光電センサであって、前記複数の判別手段は、前記一の判別手段としての第1判別手段と、前記他の判別手段としての第2判別手段と、の2つの判別手段を備えて構成されており、前記出力手段は、前記1判別手段から判別結果として出力されるパルス信号の立上がり若しくは立下り時における前記第2判別手段から判別結果として出力されるパルス信号のレベルに基づき出力信号を出力するところに特徴を有する。   According to a second aspect of the present invention, the detection sensor according to the first aspect is configured to receive light from a light projecting unit that projects light and the light projecting unit, and to receive a light reception signal corresponding to the received light amount as the detection signal. A plurality of determination means, the first determination means as the first determination means and the second determination means as the other determination means. And the output means outputs as a determination result from the second determination means at the rise or fall of the pulse signal output as the determination result from the first determination means. The output signal is output based on the level of the pulse signal to be output.

請求項3の発明は、請求項2に記載のものにおいて、前記判別手段における設定条件は、閾値であり、前記2つの判別手段は共に、前記受光信号レベルが閾値以上のときに、ローレベルの信号を出力する一方、受光信号レベルが前記閾値以下のときに、ハイレベルの信号を出力するものであって、前記第2判別手段における前記閾値は、所定のヒステリシス幅を有する第1及び第2の閾値であり、前記第1判別手段における前記閾値は、前記第1及び第2の閾値の間に設定される第3の閾値であるところに特徴を有する。   According to a third aspect of the present invention, in the second aspect, the setting condition in the determination unit is a threshold value, and both of the two determination units have a low level when the light reception signal level is equal to or higher than the threshold value. While the signal is output, a high level signal is output when the received light signal level is equal to or lower than the threshold value, and the threshold value in the second determination means has a first hysteresis width and a second hysteresis width having a predetermined hysteresis width. The threshold value in the first determination means is a third threshold value set between the first and second threshold values.

請求項4の発明は、請求項2に記載のものにおいて、前記判別手段における設定条件は、前記受光信号のレベルの変化量であり、前記第1判別手段は、前記受光信号のレベルの所定時間当たりの増加量が所定レベル以上であるときに、ハイレベルの信号を出力し、前記第2判別手段は、前記受光信号のレベルの所定時間当たりの減少量が所定レベル以上であるときに、ハイレベルの信号を所定の連続出力時間だけ連続して出力するとともに、前記出力手段は、前記第2判別手段からの信号がハイレベルであるときに、前記第1判別手段からの出力信号の立上りを条件として、ハイレベルの出力信号を出力するところに特徴を有する。   According to a fourth aspect of the present invention, in the second aspect, the setting condition in the determination unit is a change amount of the level of the light reception signal, and the first determination unit is a predetermined time of the level of the light reception signal. A high level signal is output when the amount of increase per unit is greater than or equal to a predetermined level, and the second determining means outputs a high level when the amount of decrease in the level of the received light signal per predetermined time is greater than or equal to a predetermined level. The level signal is continuously output for a predetermined continuous output time, and the output means raises the output signal from the first determination means when the signal from the second determination means is at a high level. The condition is that a high-level output signal is output.

請求項5の発明は、請求項4に記載のものにおいて、前記第2判別手段における前記連続出力時間を設定可能な設定手段を備えるところに特徴を有する。   The invention according to claim 5 is characterized in that, in the apparatus according to claim 4, there is provided setting means capable of setting the continuous output time in the second determination means.

本発明によれば、出力手段により、一の判別手段から出力される判別結果が変化したときの他の判別結果に応じた出力信号が出力される。したがって、当該処理を実行するための機器等を光電センサとは別に設ける必要がないから、部品点数を少なくすることができる。   According to the present invention, the output means outputs an output signal corresponding to another discrimination result when the discrimination result output from one discrimination means changes. Therefore, it is not necessary to provide a device or the like for executing the processing separately from the photoelectric sensor, and the number of parts can be reduced.

<実施形態1>
本発明の実施形態1(請求項3の発明に相当)を図1ないし図3を参照して説明する。
実施形態1に係る光電センサ10は、図1に示すように、金属玉Wb(検出対象物)が順次搬送される搬送ラインにおいて所定の反射率の金属玉Wb(良品の金属玉)の検出を行ういわゆる反射型の光電センサである。
<Embodiment 1>
Embodiment 1 of the present invention (corresponding to the invention of claim 3) will be described with reference to FIGS.
As shown in FIG. 1, the photoelectric sensor 10 according to the first embodiment detects a metal ball Wb (non-defective metal ball) having a predetermined reflectance in a conveyance line in which metal balls Wb (objects to be detected) are sequentially conveyed. This is a so-called reflective photoelectric sensor.

次に、光電センサ10の電気的構成を図2に示す。
図2中の符号13は、CPUである。光電センサ10は、CPU13と、投光素子11と、CPU13からの投光信号Saを受けて投光素子11(例えばLED、レーザダイオード)から光を出射させる投光回路12と、投光素子11から投光された光のうち、金属玉Wbで反射した光を受光する受光素子14(例えばフォトダイオード)と、受光素子14に受光される光の受光量に基づいて受光信号(検出信号)をCPU13に出力する受光回路15と、を備えて構成されている。なお、投光素子11及び投光回路12が本発明の「投光手段」に相当し、受光素子14及び受光回路15が本発明の「受光手段、物理量検出手段」に相当する。
受光回路15は、受光素子14から出力される受光量に応じた信号を増幅するとともに、A/D変換した受光信号SiをCPU13に出力する。
Next, the electrical configuration of the photoelectric sensor 10 is shown in FIG.
Reference numeral 13 in FIG. 2 denotes a CPU. The photoelectric sensor 10 includes a CPU 13, a light projecting element 11, a light projecting circuit 12 that receives a light projecting signal Sa from the CPU 13 and emits light from the light projecting element 11 (for example, LED, laser diode), and the light projecting element 11. The light receiving element 14 (for example, a photodiode) that receives the light reflected from the metal ball Wb among the light projected from the light and the light reception signal (detection signal) based on the amount of light received by the light receiving element 14 And a light receiving circuit 15 for outputting to the CPU 13. The light projecting element 11 and the light projecting circuit 12 correspond to “light projecting means” of the present invention, and the light receiving element 14 and the light receiving circuit 15 correspond to “light receiving means, physical quantity detecting means” of the present invention.
The light receiving circuit 15 amplifies a signal corresponding to the amount of light received output from the light receiving element 14 and outputs an A / D converted light receiving signal Si to the CPU 13.

CPU13は、共に受光回路15からの受光信号Siを受ける2つの判別手段16A,16Bと、2つの判別手段16A,16Bからのパルス信号P1,P2がそれぞれ入力される出力回路17と、を備えて構成されている。   The CPU 13 includes two determination means 16A and 16B that both receive the light reception signal Si from the light reception circuit 15, and an output circuit 17 that receives the pulse signals P1 and P2 from the two determination means 16A and 16B, respectively. It is configured.

2つの判別手段16A,16Bは、第1判別手段16A(一の判別手段)と第2判別手段16B(他の判別手段)とからなり、共に、受光回路15から出力される受光信号Siのレベルが閾値以上のときに、ローレベルの信号を出力する一方、受光信号Siのレベルが閾値以下のときに、ハイレベルの信号を出力するものである(いわゆるダークオン)。したがって、閾値が本発明の「設定条件」に相当し、判別手段16A,16Bから出力されるハイレベル又はローレベルの信号が「判別結果」に相当する。   The two discriminating means 16A and 16B comprise a first discriminating means 16A (one discriminating means) and a second discriminating means 16B (other discriminating means), both of which are the levels of the light receiving signal Si output from the light receiving circuit 15. When the signal is equal to or higher than the threshold, a low level signal is output, while when the light receiving signal Si is equal to or lower than the threshold, a high level signal is output (so-called dark-on). Therefore, the threshold corresponds to the “setting condition” of the present invention, and the high level or low level signal output from the determination means 16A, 16B corresponds to the “determination result”.

ここで、第2判別手段16Bにおける閾値は、所定のヒステリシス幅(図3の閾値bと閾値aとの間の間隔)を有する閾値b(第1の閾値)と閾値a(第2の閾値。a<b)であり、これらが受光信号の変化に応じて切り替わるようになっている。このように2種類の閾値が切り替わることとしたのは、一定の閾値(例えば、閾値bのみ)を設定した場合には、受光信号Siにノイズによる変動があると、閾値の上下における変動を繰り返すいわゆるチャタリングという現象が生じ、望ましくないからである。   Here, the threshold values in the second determination unit 16B are a threshold value b (first threshold value) and a threshold value a (second threshold value) having a predetermined hysteresis width (an interval between the threshold value b and the threshold value a in FIG. 3). a <b), and these are switched in accordance with a change in the received light signal. The reason why the two types of threshold values are switched in this way is that when a certain threshold value (for example, only threshold value b) is set, if the light reception signal Si varies due to noise, the variation above and below the threshold value is repeated. This is because a so-called chattering phenomenon occurs and is undesirable.

具体的には、図3に示すように、受光信号Siのレベルが閾値bを超えるまでは、閾値bと受光信号Siのレベルとの比較が第2判別手段16Bにて行われる。このとき、受光信号Siのレベルは、閾値bよりも小さいため、第2判別手段16Bからはハイレベルの信号(パルス信号P2)が出力される。   Specifically, as shown in FIG. 3, until the level of the light reception signal Si exceeds the threshold value b, the comparison between the threshold value b and the level of the light reception signal Si is performed by the second determination unit 16B. At this time, since the level of the light reception signal Si is smaller than the threshold value b, a high level signal (pulse signal P2) is output from the second determination unit 16B.

一方、受光信号Siのレベルが閾値bを超えた場合には、閾値bから閾値aに設定が切り替わり(ヒステリシス幅だけ閾値が下がり)、閾値aと受光信号Siのレベルとの比較が第2判別手段16Bにて行われる。このとき、受光信号Siのレベルは、閾値aよりも大きいため、第2判別手段16Bからはローレベルの信号(パルス信号P2)が出力される。   On the other hand, when the level of the light reception signal Si exceeds the threshold value b, the setting is switched from the threshold value b to the threshold value a (the threshold value is lowered by the hysteresis width), and the comparison between the threshold value a and the level of the light reception signal Si is the second determination. This is done by means 16B. At this time, since the level of the light reception signal Si is larger than the threshold value a, a low level signal (pulse signal P2) is output from the second determination unit 16B.

そして、受光信号Siのレベルが閾値a以下になると、閾値aから閾値bに設定が切り替わり(ヒステリシス幅だけ閾値が上がり)、再び閾値bと受光信号Siのレベルとの比較が行われ、第2判別手段16Bからはハイレベルの信号が出力される。   When the level of the light reception signal Si becomes equal to or lower than the threshold value a, the setting is switched from the threshold value a to the threshold value b (the threshold value is increased by the hysteresis width), and the comparison between the threshold value b and the level of the light reception signal Si is performed again. A high level signal is output from the discriminating means 16B.

第1判別手段16Aにおける閾値は、閾値aと閾値bとの間に設定される閾値c(第3の閾値)とされている。
なお、第1判別手段16Aにおける比較処理及び第2判別手段16Bにおける比較処理は、微小時間だけずらしたタイミング(重複しないタイミング)で実行されている。
The threshold in the first determination unit 16A is a threshold c (third threshold) set between the threshold a and the threshold b.
The comparison process in the first determination unit 16A and the comparison process in the second determination unit 16B are executed at a timing shifted by a minute time (non-overlapping timing).

出力回路17(出力手段)は、図2に示すように、第1判別手段16Aからのパルス信号P1と第2判別手段16Bからのパルス信号P2とのそれぞれが入力されるように構成されている。   As shown in FIG. 2, the output circuit 17 (output means) is configured to receive the pulse signal P1 from the first discrimination means 16A and the pulse signal P2 from the second discrimination means 16B. .

そして、図3に示すように、第1判別手段16Aから判別結果として出力されるパルス信号P1の立上がり(ローレベルからハイレベルに変わる)を検出すると、そのときの第2判別手段16Bから判別結果として出力されるパルス信号P2がハイレベルであるかどうかを判定する。   Then, as shown in FIG. 3, when the rise (change from low level to high level) of the pulse signal P1 output as the discrimination result from the first discrimination means 16A is detected, the discrimination result from the second discrimination means 16B at that time It is determined whether the pulse signal P2 output as is at a high level.

そして、出力回路17は、第1判別手段16Aからのパルス信号P1の立上がり時に、第2判別手段16Bからのパルス信号がハイレベルであると判定したときには、所定時間だけハイレベルの出力信号Pe(パルス信号)を外部に出力する。   When the output circuit 17 determines that the pulse signal from the second determination unit 16B is at the high level at the rising edge of the pulse signal P1 from the first determination unit 16A, the output circuit Pe ( (Pulse signal) is output to the outside.

これにより、受光信号Siのレベルが所定範囲内に最大値の存在するものである場合に限り、ハイレベルの出力信号Peが出力されるから、所定の反射率の金属玉Wb(良品の金属玉)を検出することができる(不良品の金属玉(変色等により反射率が異なる金属玉)については、検出しない)。   As a result, the high-level output signal Pe is output only when the level of the light reception signal Si is within a predetermined range, so that the metal ball Wb (non-defective metal ball) having a predetermined reflectance is output. ) Can be detected (no defective metal balls (metal balls having different reflectance due to discoloration or the like) are not detected).

このように、本実施形態によれば、パルス信号P1,P2が出力回路17(出力手段)に入力されることにより、第1判別手段16A(一の判別手段)から出力される判別結果が変化したときの第2判別手段16B(他の判別手段)による判別結果に応じた出力信号Peが出力回路17から出力される。したがって、当該処理を実行するための機器等を光電センサとは別に設ける必要がないから、部品点数を少なくすることができる。   Thus, according to the present embodiment, when the pulse signals P1 and P2 are input to the output circuit 17 (output means), the determination result output from the first determination means 16A (one determination means) changes. An output signal Pe corresponding to the determination result by the second determination means 16B (other determination means) at this time is output from the output circuit 17. Therefore, it is not necessary to provide a device or the like for executing the processing separately from the photoelectric sensor, and the number of parts can be reduced.

<実施形態2>
本発明の実施形態2(請求項4の発明に相当)を図4ないし図6を参照して説明する。
実施形態1では、投光した光のうち、金属玉Wbにて反射した光の受光量を検出する反射型の光電センサであったが、実施形態2では、図4に示すように、光ファイバF1,F2の先端部F1a,F2aが対向配置されており、先端部F1a及びF2aの間の光路上を、搬送手段により搬送される光透過性を有するガラス基板Wg等(例えば、ガラスウエハ等)が通過したときの受光量の変化に基づき、検出対象物を検出するいわゆる透過型の光電センサ20(ファイバセンサ)である。ここで、実施形態2のガラス基板Wg(検出対象物)は、光透過性を有するため、CPU13では、受光素子14における入光状態又は遮光状態を検出するのではなく、ガラス基板Wgが光路上に入る(光路上から出る)ときの、受光量変化に基づき、ガラス基板Wgを検出するようになっている。なお、実施形態1と同一の構成については、同一の符号を付して説明を省略する。
<Embodiment 2>
A second embodiment (corresponding to the invention of claim 4) of the present invention will be described with reference to FIGS.
In the first embodiment, a reflection type photoelectric sensor that detects the amount of light reflected by the metal ball Wb out of the projected light is used. However, in the second embodiment, as shown in FIG. The front end portions F1a and F2a of F1 and F2 are opposed to each other, and have a light-transmitting glass substrate Wg or the like (for example, a glass wafer or the like) that is transported by a transport unit on the optical path between the front end portions F1a and F2a. This is a so-called transmissive photoelectric sensor 20 (fiber sensor) that detects a detection object based on a change in the amount of received light when the light passes. Here, since the glass substrate Wg (detection target) of the second embodiment has optical transparency, the CPU 13 does not detect the light incident state or the light shielding state in the light receiving element 14, but the glass substrate Wg is on the optical path. The glass substrate Wg is detected based on the change in the amount of received light when entering (exiting from the optical path). In addition, about the structure same as Embodiment 1, the same code | symbol is attached | subjected and description is abbreviate | omitted.

光電センサ20は、図5に示すように、投光素子11から出射された光は、光ファイバF1の一端側に入射する。これにより、光ファイバF1を介して先端部F1aから光が出射されるとともに(図4参照)、先端部F2aから入射した光は光ファイバF2を介して受光素子14に照射されるようになっている。   As shown in FIG. 5, in the photoelectric sensor 20, the light emitted from the light projecting element 11 is incident on one end side of the optical fiber F1. As a result, light is emitted from the tip portion F1a via the optical fiber F1 (see FIG. 4), and light incident from the tip portion F2a is irradiated to the light receiving element 14 via the optical fiber F2. Yes.

CPU13は、共に受光回路15からの受光信号Siを受ける2つの判別手段26A,26Bと、2つの判別手段26A,26Bからのパルス信号P1,P2がそれぞれ入力される出力回路17と、を備えて構成されている。   The CPU 13 includes two determination units 26A and 26B that both receive the light reception signal Si from the light reception circuit 15, and an output circuit 17 that receives the pulse signals P1 and P2 from the two determination units 26A and 26B, respectively. It is configured.

2つの判別手段26A,26Bは、第1判別手段26A(一の判別手段)と第2判別手段26B(他の判別手段)とからなり、共に、微分回路を備えて構成され、受光信号のレベルの変化量(設定条件)に応じた信号を出力する。   The two discriminating means 26A, 26B are composed of a first discriminating means 26A (one discriminating means) and a second discriminating means 26B (other discriminating means), both of which are provided with a differentiation circuit, and the level of the received light signal. A signal corresponding to the amount of change (setting condition) is output.

第1判別手段26Aは、図6に示すように、微分回路により受光信号Siのレベルが単位時間(所定時間)内に所定レベル以上増加(増加方向に変化)したことを検出したときには、ハイレベルの信号(パルス信号P1)を微小時間T1だけ出力する。   As shown in FIG. 6, when the first discriminating means 26A detects that the level of the received light signal Si has increased by a predetermined level or more (changed in the increasing direction) within a unit time (predetermined time) by the differentiating circuit, (Pulse signal P1) is output only for a minute time T1.

第2判別手段26Bは、微分回路により受光信号Siのレベルが単位時間(所定時間)内に所定レベル以上減少(減少方向に変化)したことを検出したときには、ハイレベルの信号(パルス信号P2)を連続出力時間T2だけ出力する。   When the second discriminating means 26B detects that the level of the light reception signal Si has decreased by a predetermined level or more (changed in a decreasing direction) within a unit time (predetermined time) by the differentiating circuit, the high-level signal (pulse signal P2) Is output only for the continuous output time T2.

ここで、この連続出力時間T2は、基準となるガラス基板Wr(検出対象物)の大きさ(長さ)と、搬送手段によるガラス基板Wgの搬送速度と、に基づき定められる時間である。具体的には、基準となるガラス基板Wrが光路上を通過する時間よりもわずかに長い時間(パルス信号P2がハイレベルとなってから次にパルス信号P1が(ハイレベルになり)立下がるまでの時間よりもわずかに長い時間)とされている。
なお、光電センサ20には、図5に示すように、ユーザによる入力操作が可能な入力設定部29(「本発明の設定手段」に相当)が備えられている。この入力設定部29を操作することによりCPU13にて設定されている種々の内容の設定変更が可能となっている。例えば、(第2判別手段26Bの)設定内容としては、上記した連続出力時間T2が含まれるが、入力設定部29では当該連続出力時間T2として任意の時間が入力操作(設定変更)可能となっており、この場合、入力設定部29からの入力操作に応じた信号がCPU13の第2判別手段26Bに与えられるようになっている。そして、第2判別手段26Bは、入力設定部29からの連続出力時間T2の情報を受けると、かかる連続出力時間T2を設定値として設定する(図示しない記憶手段に記憶する)。これにより、基準となる大きさのガラス基板Wrを他の大きさのガラス基板や、他の大きさの透光性部材に変更した場合であっても、連続出力時間T2を基準となるガラス基板Wr(検出対象物)の大きさと、搬送手段によるガラス基板Wgの搬送速度と、に基づき定められる時間に設定することで異なるガラス基板等(透光性部材)の検出を行うことが可能となる。
Here, the continuous output time T2 is a time determined based on the size (length) of the glass substrate Wr (detection target) serving as a reference and the transport speed of the glass substrate Wg by the transport means. Specifically, a time slightly longer than the time during which the glass substrate Wr serving as the reference passes on the optical path (from the pulse signal P2 becomes high level until the pulse signal P1 falls (becomes high level) next). Is slightly longer than the time).
As shown in FIG. 5, the photoelectric sensor 20 includes an input setting unit 29 (corresponding to “setting unit of the present invention”) that can be input by the user. By operating the input setting unit 29, various settings set by the CPU 13 can be changed. For example, the setting content (of the second determination unit 26B) includes the above-described continuous output time T2, but the input setting unit 29 can perform an input operation (setting change) for the continuous output time T2. In this case, a signal corresponding to an input operation from the input setting unit 29 is provided to the second determination unit 26B of the CPU 13. When receiving the information on the continuous output time T2 from the input setting unit 29, the second determination unit 26B sets the continuous output time T2 as a set value (stores it in a storage unit (not shown)). Thereby, even if it is a case where the glass substrate Wr of the reference | standard magnitude | size is changed into the glass substrate of another magnitude | size, or a translucent member of another magnitude | size, the glass substrate which becomes the reference | standard for continuous output time T2 It becomes possible to detect a different glass substrate or the like (translucent member) by setting the time to be determined based on the size of Wr (detection target) and the conveyance speed of the glass substrate Wg by the conveyance means. .

出力回路17(出力手段)は、第1判別手段16Aからのパルス信号P1と第2判別手段16Bからのパルス信号P2とのそれぞれが入力され(図5参照)、図6に示すように、パルス信号P1の立上がり時に、パルス信号P2がハイレベルであると判定したときには、所定時間T3だけハイレベルの出力信号Pe(パルス信号)を外部に出力する。   The output circuit 17 (output means) receives the pulse signal P1 from the first discriminating means 16A and the pulse signal P2 from the second discriminating means 16B (see FIG. 5), and as shown in FIG. When it is determined that the pulse signal P2 is at the high level when the signal P1 rises, the high-level output signal Pe (pulse signal) is output to the outside for a predetermined time T3.

これにより、ガラス基板Wgが所定の範囲の大きさである場合には、ハイレベルの出力信号Peが外部に出力される(ガラス基板Wgが所定の範囲外の大きさである場合には、ハイレベルの出力信号Peが外部に出力されない)から、かかる出力信号Peによりガラス基板Wgが所定の範囲の大きさであるかどうかを検出することができる(所定の範囲外の大きさのガラス基板Wgについては、検出されない)。   Thereby, when the glass substrate Wg has a size within a predetermined range, a high level output signal Pe is output to the outside (when the glass substrate Wg has a size outside the predetermined range, the high level output signal Pe is output. Level output signal Pe is not output to the outside), it is possible to detect whether or not the glass substrate Wg is in a predetermined range based on the output signal Pe (a glass substrate Wg having a size outside the predetermined range). Is not detected).

このように、本実施形態によれば、パルス信号P1,P2が出力回路17(出力手段)に入力されることにより、第1判別手段26A(一の判別手段)から出力される判別結果が変化したときの第2判別手段26B(他の判別手段)による判別結果に応じた出力信号Peが出力回路17から出力される。したがって、当該処理を実行するための機器等を光電センサとは別に設ける必要がないから、部品点数を少なくすることができる。   Thus, according to the present embodiment, when the pulse signals P1 and P2 are input to the output circuit 17 (output means), the determination result output from the first determination means 26A (one determination means) changes. An output signal Pe corresponding to the determination result by the second determination means 26B (other determination means) at this time is output from the output circuit 17. Therefore, it is not necessary to provide a device or the like for executing the processing separately from the photoelectric sensor, and the number of parts can be reduced.

<他の実施形態>
本発明は上記記述及び図面によって説明した実施形態に限定されるものではなく、例えば次のような実施形態も本発明の技術的範囲に含まれ、さらに、下記以外にも要旨を逸脱しない範囲内で種々変更して実施することができる。
<Other embodiments>
The present invention is not limited to the embodiments described with reference to the above description and drawings. For example, the following embodiments are also included in the technical scope of the present invention, and further, within the scope not departing from the gist of the invention other than the following. Various modifications can be made.

(1)上記実施形態では、第1判別手段16A(26A)から出力されるパルス信号P1の立上がり時における第2判別手段16B(26B)から出力されるパルス信号P2のレベル(ハイレベル)により、出力回路17から出力信号Pe(ハイレベル)の出力が行われることとしたが、かかるタイミングはパルス信号P1の立上がり時に限られない。例えば、パルス信号P1の立下がり時であってもよく、このときのパルス信号P2のレベル(ローレベル)により、出力回路17からの出力が行われるようにしてもよい。   (1) In the above embodiment, the level (high level) of the pulse signal P2 output from the second determination unit 16B (26B) at the rising edge of the pulse signal P1 output from the first determination unit 16A (26A) Although the output circuit Pe (high level) is output from the output circuit 17, such timing is not limited to the rise of the pulse signal P1. For example, the pulse signal P1 may fall, and the output from the output circuit 17 may be performed according to the level (low level) of the pulse signal P2 at this time.

(2)上記実施形態では、CPU13には、2つの判別手段16A,16B(26A,26B)と、2つの判別手段16A,16B(26A,26B)からのパルス信号P1,P2がそれぞれ入力される出力回路17と、が備えられる構成としたが、これらが別のCPU13から構成されるものであってもよい。
例えば、2つの判別手段16A,16B(26A,26B)が、それぞれ別のCPUに備えられる構成であってもよい。このようにすれば、2つの判別手段16A,16B(26A,26B)による処理を同時に実行することが可能となる。
(2) In the above embodiment, the CPU 13 receives the two discriminating means 16A, 16B (26A, 26B) and the pulse signals P1, P2 from the two discriminating means 16A, 16B (26A, 26B), respectively. Although the output circuit 17 is provided, these may be configured by another CPU 13.
For example, the two determination means 16A and 16B (26A and 26B) may be provided in different CPUs. In this way, it is possible to simultaneously execute processing by the two discriminating means 16A and 16B (26A and 26B).

(3)実施形態2では、ガラス基板Wgの大きさ(長さ)の検出を行う構成としたが、これに限られない。例えば、透光性を有するガラスウエハ等におけるノッチ検出を行う場合に本発明を適用してもよい。   (3) In the second embodiment, the size (length) of the glass substrate Wg is detected. However, the present invention is not limited to this. For example, the present invention may be applied when notch detection is performed on a translucent glass wafer or the like.

(4)上記実施形態に限らず、例えば、第2判別手段から基準となるパルス信号P2(のハイレベル)が所定の周期で出力される場合に、第1判別手段から出力されるパルス信号P1の立上がりのタイミングと、パルス信号P2のの立上がりのタイミングと、の順番を検出する必要があるときに、本発明を適用することも可能である。
具体的には、図7に示すように、出力回路17に複数のパルス信号P1,P2(所定時間のハイレベル信号)が入力される場合に、パルス信号P2のうちの1番目のパルスP2aが立上ってからパルス信号P1のうちの1番目のパルスP1aが立上った場合には、出力回路17から出力信号Pe(ハイレベル)が出力され、これとは逆に、2番目のパルスP1bが立上ってからパルスP2bが立上った場合には、出力回路17から出力信号Pe(ハイレベル)が出力されない。このように、本実施形態によれば、複数のパルス信号が入力される場合に、パルス信号の順番(ハイレベル(又はローレベル)となる順番)を検出することができる。
(4) Not limited to the above embodiment, for example, when the reference pulse signal P2 (its high level) is output from the second determination unit at a predetermined cycle, the pulse signal P1 output from the first determination unit The present invention can also be applied when it is necessary to detect the order of the rise timing of the pulse signal P2 and the rise timing of the pulse signal P2.
Specifically, as shown in FIG. 7, when a plurality of pulse signals P1 and P2 (high level signals for a predetermined time) are input to the output circuit 17, the first pulse P2a of the pulse signal P2 is When the first pulse P1a of the pulse signal P1 rises after rising, the output signal Pe (high level) is output from the output circuit 17, and on the contrary, the second pulse When the pulse P2b rises after P1b rises, the output signal Pe (high level) is not output from the output circuit 17. Thus, according to the present embodiment, when a plurality of pulse signals are input, the order of the pulse signals (the order of high level (or low level)) can be detected.

(5)上記実施形態では、光を投光する投光手段と、投光手段からの光を受光し、当該受光量に応じた受光信号(検出信号)を出力する受光手段と、を備えて構成される光電センサ10,20について本発明を適用したが、これに限られない。例えば、温度センサや圧力センサに本発明を適用し、受光信号Siに代えて、物理量検出手段(図示しない。例えば、温度や圧力に応じた信号を出力する回路)から出力される検出対象物の物理状態(物理量)に応じたレベルの検出信号が2つの判別手段16A,16Bに入力される構成としてもよい。   (5) The above embodiment includes a light projecting unit that projects light, and a light receiving unit that receives light from the light projecting unit and outputs a light reception signal (detection signal) corresponding to the amount of light received. Although the present invention is applied to the configured photoelectric sensors 10 and 20, the present invention is not limited to this. For example, the present invention is applied to a temperature sensor or a pressure sensor, and instead of the light reception signal Si, a physical quantity detection unit (not shown; for example, a circuit that outputs a signal corresponding to temperature or pressure) A detection signal having a level corresponding to a physical state (physical quantity) may be input to the two determination units 16A and 16B.

実施形態1の反射型光電センサによる金属玉の検出を示す図The figure which shows the detection of the metal ball by the reflective photoelectric sensor of Embodiment 1. 光電センサの電気的構成を示すブロック図Block diagram showing electrical configuration of photoelectric sensor 受光信号を受けたときのパルス信号のレベルの変化を示す図The figure which shows the change of the level of the pulse signal when the light reception signal is received 実施形態2の透過型光電センサによるガラス基板の検出を示す図The figure which shows the detection of the glass substrate by the transmission type photoelectric sensor of Embodiment 2. 光電センサの電気的構成を示すブロック図Block diagram showing electrical configuration of photoelectric sensor 受光信号を受けたときのパルス信号のレベルの変化を示す図The figure which shows the change of the level of the pulse signal when the light reception signal is received 他の実施形態のパルス信号のレベルの変化を示す図The figure which shows the change of the level of the pulse signal of other embodiment. 従来の光電センサの構成を示す図The figure which shows the structure of the conventional photoelectric sensor

符号の説明Explanation of symbols

10,20…光電センサ
11…投光素子
12…投光回路
13…CPU
14…受光素子
15…受光回路
16A,26A…第1判別手段(一の判別手段)
16B,26B…第2判別手段(他の判別手段)
17…出力回路(出力手段)
P1,P2…パルス信号
Pe…出力信号
Si…受光信号
T2…所定時間
Wb…金属玉
Wg…ガラス基板
Wr…基準となるガラス基板
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10,20 ... Photoelectric sensor 11 ... Light projection element 12 ... Light projection circuit 13 ... CPU
DESCRIPTION OF SYMBOLS 14 ... Light receiving element 15 ... Light receiving circuit 16A, 26A ... 1st discriminating means (one discriminating means)
16B, 26B ... second discrimination means (other discrimination means)
17 ... Output circuit (output means)
P1, P2 ... Pulse signal Pe ... Output signal Si ... Light reception signal T2 ... Predetermined time Wb ... Metal ball Wg ... Glass substrate Wr ... Reference glass substrate

Claims (5)

検出対象物の物理量に応じたレベルの検出信号を出力する物理量検出手段と、
前記物理量検出手段からの検出信号に基づき、それぞれ異なる設定条件に応じた判別結果を出力する複数の判別手段と、
前記複数の判別手段のうちの、一の判別手段から出力される判別結果が変化したときの、他の判別手段から出力される判別結果に応じた出力信号を出力する出力手段と、を備える検出センサ。
Physical quantity detection means for outputting a detection signal at a level corresponding to the physical quantity of the detection object;
A plurality of discrimination means for outputting discrimination results according to different setting conditions based on detection signals from the physical quantity detection means;
An output means for outputting an output signal corresponding to a discrimination result output from another discrimination means when a discrimination result output from one discrimination means changes among the plurality of discrimination means; Sensor.
請求項1記載の検出センサは、
光を投光する投光手段と、
前記投光手段からの光を受光し、当該受光量に応じた受光信号を前記検出信号として出力する受光手段と、を備えて構成される光電センサであって、
前記複数の判別手段は、前記一の判別手段としての第1判別手段と、前記他の判別手段としての第2判別手段と、の2つの判別手段を備えて構成されており、
前記出力手段は、前記1判別手段から判別結果として出力されるパルス信号の立上がり若しくは立下り時における前記第2判別手段から判別結果として出力されるパルス信号のレベルに基づき出力信号を出力することを特徴とする光電センサ。
The detection sensor according to claim 1,
A light projecting means for projecting light;
A light receiving means for receiving light from the light projecting means and outputting a light reception signal corresponding to the amount of received light as the detection signal,
The plurality of determination means are configured to include two determination means, a first determination means as the one determination means and a second determination means as the other determination means,
The output means outputs an output signal based on the level of the pulse signal output as the discrimination result from the second discrimination means at the rise or fall of the pulse signal output as the discrimination result from the first discrimination means. A characteristic photoelectric sensor.
前記判別手段における設定条件は、閾値であり、
前記2つの判別手段は共に、前記受光信号レベルが閾値以上のときに、ローレベルの信号を出力する一方、受光信号レベルが前記閾値以下のときに、ハイレベルの信号を出力するものであって、
前記第2判別手段における前記閾値は、所定のヒステリシス幅を有する第1及び第2の閾値であり、
前記第1判別手段における前記閾値は、前記第1及び第2の閾値の間に設定される第3の閾値であることを特徴とする請求項2記載の光電センサ。
The setting condition in the discrimination means is a threshold value,
Both of the two discriminating means output a low level signal when the received light signal level is equal to or higher than a threshold value, and output a high level signal when the received light signal level is equal to or lower than the threshold value. ,
The threshold values in the second determining means are first and second threshold values having a predetermined hysteresis width,
The photoelectric sensor according to claim 2, wherein the threshold value in the first determination unit is a third threshold value set between the first and second threshold values.
前記判別手段における設定条件は、前記受光信号のレベルの変化量であり、
前記第1判別手段は、前記受光信号のレベルの所定時間当たりの増加量が所定レベル以上であるときに、ハイレベルの信号を出力し、
前記第2判別手段は、前記受光信号のレベルの所定時間当たりの減少量が所定レベル以上であるときに、ハイレベルの信号を所定の連続出力時間だけ連続して出力するとともに、
前記出力手段は、前記第2判別手段からの信号がハイレベルであるときに、前記第1判別手段からの出力信号の立上りを条件として、ハイレベルの出力信号を出力することを特徴とする請求項2記載の光電センサ。
The setting condition in the determination means is the amount of change in the level of the received light signal,
The first determining means outputs a high level signal when the amount of increase in the level of the received light signal per predetermined time is equal to or higher than a predetermined level,
The second determining means continuously outputs a high level signal for a predetermined continuous output time when the amount of decrease in the level of the received light signal per predetermined time is equal to or higher than a predetermined level.
The output means outputs a high level output signal on condition that the output signal from the first discrimination means rises when the signal from the second discrimination means is at a high level. Item 3. The photoelectric sensor according to Item 2.
前記第2判別手段における前記連続出力時間を設定可能な設定手段を備えることを特徴とする請求項4記載の光電センサ。 The photoelectric sensor according to claim 4, further comprising setting means capable of setting the continuous output time in the second determination means.
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