JP2007115723A - Metal foil laminated body and electronic component - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、金属箔積層体、この金属箔積層体を用いたコンデンサ、回路基板、更には、コンデンサ、回路基板を回路要素として用いた電子部品に関する。 The present invention relates to a metal foil laminate, a capacitor using the metal foil laminate, a circuit board, and further an electronic component using the capacitor and the circuit board as circuit elements.
近年、電子機器の発達に伴い、それに使用されるコンデンサ、回路基板などの回路要素に関しても、高性能化が要求され、それに応える手段として、金属銅箔に誘電性薄膜を接着したものが提案されている。通常、誘電性薄膜としては、ポリエチレン樹脂、ポリプロピレン樹脂などの汎用樹脂が使用されているが、これらの樹脂は耐熱性に乏しく、単板コンデンサや、回路基板のように、直接に半田付される回路要素には使用することができない。 In recent years, with the development of electronic devices, circuit elements such as capacitors and circuit boards are also required to have high performance, and as a means to respond to this, the one in which a dielectric thin film is bonded to metal copper foil has been proposed. ing. Usually, general-purpose resins such as polyethylene resin and polypropylene resin are used as the dielectric thin film, but these resins have poor heat resistance and are directly soldered like a single plate capacitor or a circuit board. It cannot be used for circuit elements.
そこで、耐熱性の要求される回路要素の誘電性薄膜として、ポリイミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂などの耐熱性樹脂が使用されている。しかし、ポリイミド樹脂などの耐熱性樹脂を誘電性薄膜として使用する場合、その耐熱性が高いゆえに、ポリイミド樹脂など単体では、熱接着による積層が困難である。 Therefore, heat-resistant resins such as polyimide resins and polyamide-imide resins are used as dielectric thin films for circuit elements that require heat resistance. However, when a heat-resistant resin such as polyimide resin is used as the dielectric thin film, it is difficult to laminate by thermal bonding with a single substance such as polyimide resin because of its high heat resistance.
ポリイミド樹脂などの積層性に関わる問題点を解決する手段として、回路基板の用途では、熱硬化型シリコン系樹脂を接着剤として用い、ポリイミド樹脂などを接着せしめる方法(特許文献1)、エポキシ系樹脂を接着剤として配合し、ポリアミドイミド樹脂を接着せしめる方法(特許文献2)などが提案されている。 As a means to solve the problems related to the lamination properties such as polyimide resin, in a circuit board application, a thermosetting silicone resin is used as an adhesive and a polyimide resin is adhered (Patent Document 1), an epoxy resin. Has been proposed (Patent Document 2) and the like in which a polyamide-imide resin is adhered.
しかし、この場合でも、熱接着に高温、かつ、高圧の圧着が必要で、更に、熱硬化にも同様に高温での長時間処理が必要となる。また、これらの方法では、コンデンサ用途として樹脂層を薄くすると、高温高圧の処理により、誘電体層にダメージを与え、製品の歩留まりを悪化させ、実用が困難である。更に、高温での長時間処理により、金属銅箔の酸化を引き起こす可能性も高くなる。
本発明の課題は、薄膜誘電体層に対する熱的ダメージを回避し得る金属箔積層体、その具体的適用であるコンデンサ、回路基板、更には、コンデンサまたは回路基板を回路要素として有する電子部品を提供することである。 An object of the present invention is to provide a metal foil laminate capable of avoiding thermal damage to a thin film dielectric layer, a specific application of a capacitor, a circuit board, and an electronic component having the capacitor or the circuit board as a circuit element. It is to be.
上述した課題を解決するため、本発明に係る金属箔積層体は、イソシアヌレート化合物を硬化剤として含有するポリカーボネートポリウレタン樹脂層の両面に、ポリアミドイミド樹脂層及び金属箔層を、この順序で積層した部分を含む。 In order to solve the above-described problems, the metal foil laminate according to the present invention is obtained by laminating a polyamideimide resin layer and a metal foil layer in this order on both sides of a polycarbonate polyurethane resin layer containing an isocyanurate compound as a curing agent. Including parts.
上述した金属箔積層体において、ポリアミドイミド樹脂層と、ポリカーボネートポリウレタン樹脂層とが薄膜誘電体層として機能する。薄膜誘電体層のうち、半田付時などに、外部からの熱を受ける金属箔層には、耐熱性の高いポリアミドイミド樹脂が隣接する。したがって、耐熱性の高い薄膜誘電体層を構成しえる。 In the metal foil laminate described above, the polyamideimide resin layer and the polycarbonate polyurethane resin layer function as a thin film dielectric layer. Of the thin film dielectric layer, a metal imide layer that receives heat from the outside during soldering or the like is adjacent to a polyamideimide resin having high heat resistance. Accordingly, a thin film dielectric layer having high heat resistance can be formed.
本発明に係る金属箔積層体の用途は、例えば、回路基板、コンデンサ、複合部品、又は、配線板など多岐にわたる。その代表例として、両面に金属箔層を有する回路基板や、コンデンサなどは、ポリカーボネートポリウレタン樹脂層の両面に、ポリアミドイミド樹脂層及び金属箔層を、この順序で積層した構造となる。 Applications of the metal foil laminate according to the present invention are diverse, such as a circuit board, a capacitor, a composite component, or a wiring board. As a typical example, a circuit board having a metal foil layer on both sides, a capacitor, and the like have a structure in which a polyamideimide resin layer and a metal foil layer are laminated in this order on both sides of a polycarbonate polyurethane resin layer.
このような両面金属箔層の積層シートは、両面側において、金属箔層の表面に半田付処理などが実行された場合にも、十分な耐熱性を確保することができる。 Such a laminated sheet of double-sided metal foil layers can ensure sufficient heat resistance even when a soldering process or the like is performed on the surface of the metal foil layer on both sides.
しかも、ポリカーボネートポリウレタン樹脂層の両面に、ポリアミドイミド樹脂層及び金属箔層を積層した構造となるので、製造工程において、ポリカーボネートポリウレタン樹脂層の片面にポリアミドイミド樹脂層及び金属箔層を、この順序で積層したものを、2つ用意し、それらを、ポリカーボネートポリウレタン樹脂層が互いに向き合うように重ね合わせ、ポリカーボネートポリウレタン樹脂層を互いに接着することにより、金属箔積層体を簡単、かつ、確実に得ることができる。 In addition, since the polyamideimide resin layer and the metal foil layer are laminated on both sides of the polycarbonate polyurethane resin layer, the polyamideimide resin layer and the metal foil layer are arranged in this order on one side of the polycarbonate polyurethane resin layer in the manufacturing process. By preparing two laminates, stacking them so that the polycarbonate polyurethane resin layers face each other, and bonding the polycarbonate polyurethane resin layers together, a metal foil laminate can be obtained easily and reliably it can.
更に、本発明は、上述したコンデンサ又は回路基板を備えた電子部品、例えばアイソレータ等の非可逆回路素子についても開示する。 Furthermore, the present invention also discloses a nonreciprocal circuit element such as an electronic component including the above-described capacitor or circuit board, for example, an isolator.
以上述べたように、本発明によれば、薄膜誘電体層に対する熱的ダメージを回避し得る金属箔積層体、その具体的適用であるコンデンサ、回路基板、更には、コンデンサまたは回路基板を回路要素として有する電子部品を提供することができる。 As described above, according to the present invention, the metal foil laminate capable of avoiding thermal damage to the thin film dielectric layer, the specific application of the capacitor, the circuit board, and further the capacitor or the circuit board as a circuit element It is possible to provide an electronic component having the following.
本発明の他の目的、構成及び利点については、添付図面を参照し、更に詳しく説明する。但し、添付図面は、単なる例示に過ぎない。 Other objects, configurations and advantages of the present invention will be described in more detail with reference to the accompanying drawings. However, the attached drawings are merely examples.
図1は本発明に係る金属箔積層体の断面構造を模式的に示す図である。図を参照すると、イソシアヌレート化合物を硬化剤として含有するポリカーボネートポリウレタン樹脂層10の一面に、ポリアミドイミド樹脂層21及び金属箔層31を、この順序で積層し、他面にポリアミドイミド樹脂層22及び金属箔層32を、この順序で積層した両面金属箔積層体構造となっている。この構造は、両面回路基板や、コンデンサなどに好適なものである。ポリカーボネートポリウレタン樹脂層10において、硬化剤となるイソシアヌレート化合物は、1wt%〜30wt%の範囲で含有させることができる。
FIG. 1 is a diagram schematically showing a cross-sectional structure of a metal foil laminate according to the present invention. Referring to the figure, a
また、ポリカーボネートポリウレタン樹脂層10、ポリアミドイミド樹脂層21、22は、セラミック誘電体粉末もしくは磁性粉末又は両者を含んでいてもよい。セラミック誘電体粉末は見かけ上の比誘電率を向上させるために用いることができ、磁性粉末は、比透磁率を向上させるために用いることができる。磁性粉末としては、フェライト磁性粉末等を用いることができる。
Further, the polycarbonate
上記の金属箔積層体において、ポリアミドイミド樹脂層21、22と、ポリカーボネートポリウレタン樹脂層10とが互いに隣接し、全体として、薄膜誘電体層として機能する。これらの薄膜誘電体層のうち、半田付時などに、外部からの熱を受ける金属箔層31、32には、耐熱性の高いポリアミドイミド樹脂21、22が隣接する。したがって、耐熱性の高い薄膜誘電体層を構成しえる。
In the metal foil laminate, the
また、ポリアミドイミド樹脂層21、22には、金属箔層31、32と隣接する一面とは反対の他面に、イソシアヌレート化合物を硬化剤として含有するポリカーボネートポリウレタン樹脂層10が隣接しているから、対象物であるポリアミドイミド樹脂層21、22を、ポリカーボネートポリウレタン樹脂層10と接着させることができる。このため、金属箔層31、32にポリアミドイミド樹脂層21、22のみを設けた場合と異なって、高温高圧下における接着処理工程が不要であり、接着処理工程を短時間で終了させることが可能になる。
Further, the
しかも、ポリカーボネートポリウレタン樹脂層10の両面に、ポリアミドイミド樹脂層21、22及び金属箔層31、32を積層した構造となるので、製造工程において、図2に図示するように、ポリカーボネートポリウレタン樹脂層101の片面にポリアミドイミド樹脂層21及び金属箔層31を、この順序で積層した金属箔積層体と、ポリカーボネートポリウレタン樹脂層102の片面にポリアミドイミド樹脂層22及び金属箔層32を、この順序で積層した金属箔積層体を2つ用意し、図3に示すように、それらを、ポリカーボネートポリウレタン樹脂層101、102が互いに向き合うように重ね合わせ、ポリカーボネートポリウレタン樹脂層101、102を互いに接着することにより、両面金属箔積層体を簡単、かつ、確実に得ることができる。
Moreover, since the polyamide imide
ポリカーボネートポリウレタン樹脂層101、102の接着に当たっては、熱硬化前に熱接着した後、熱硬化処理を施してもよい。これにより、より低温での熱接着が可能である上に、十分な耐熱性を確保することができる。
In adhering the polycarbonate
ポリカーボネートポリウレタン樹脂層101、102、ポリアミドイミド樹脂層21、22及び金属箔層31、32の厚みは、特に限定するものではないが、5μm〜100μmの範囲で選択することができる。したがって、本発明に係る金属箔積層体は、実際には、非常に薄い可撓性のあるシート状となる。このことは、本発明に係る金属箔積層体によれば、非常に薄い薄膜誘電体層(絶縁層)を有するコンデンサ又は回路基板が得られることを意味する。
The thicknesses of the polycarbonate
図2、図3に示す製造方法に従って、コンデンサを製造する場合の一例を挙げると次のとおりである。まず、ポリアミドイミド樹脂と溶剤の混合液を、第1層21(22)として、金属銅箔でなる金属箔層31(32)の上に、乾燥上がりの層厚が5μmとなるように、例えばアプリケータを用いて塗布し、十分乾燥させる。 An example of manufacturing a capacitor in accordance with the manufacturing method shown in FIGS. 2 and 3 is as follows. First, a mixed solution of polyamide-imide resin and solvent is used as the first layer 21 (22) on the metal foil layer 31 (32) made of metal copper foil so that the layer thickness after drying is 5 μm, for example. Apply using an applicator and dry thoroughly.
次に、ポリカーボネートポリウレタン樹脂と溶剤との混合液を塗布、乾燥し、第2層として、ポリカーボネートポリウレタン樹脂層101(102)を得る。
具体的には、ポリカーボネートポリウレタン樹脂と、イソシアヌレート化合物をポリカーボネートポリウレタン樹脂に対して、15wt%加え、溶剤メチルエチルケトン(以下MEKと称する)で溶解し、20wt%濃度のラッカー溶液を作成する。このラッカー溶液を、乾燥済みの第1層21(22)の上に、乾燥上がりの層厚が5μmになるようにアプリケータを用いて塗布し、乾燥させる。
Next, a mixed solution of a polycarbonate polyurethane resin and a solvent is applied and dried to obtain a polycarbonate polyurethane resin layer 101 (102) as a second layer.
Specifically, a polycarbonate polyurethane resin and an isocyanurate compound are added in an amount of 15 wt% to the polycarbonate polyurethane resin, and dissolved in a solvent methyl ethyl ketone (hereinafter referred to as MEK) to prepare a lacquer solution having a concentration of 20 wt%. This lacquer solution is applied onto the dried first layer 21 (22) using an applicator so that the layer thickness after drying becomes 5 μm, and is dried.
次に、乾燥済みの2枚の金属箔積層体を樹脂層が内側となるように80℃で真空ラミネートを行う。ラミネート後の両面金属箔積層体を、例えば、180℃で3時間熱硬化処理を行う。 Next, two dried metal foil laminates are vacuum laminated at 80 ° C. so that the resin layer is on the inside. The laminated double-sided metal foil laminate is subjected to a thermosetting treatment at 180 ° C. for 3 hours, for example.
この後、所定の大きさのコンデンサを得るために、金属銅箔面にフォトレジストドライフィルムのラミネート、露光、現像、エッチング処理、レジスト剥離などの必要な処理を行い、所定の寸法に裁断し、コンデンサ又は回路基板を作成する。なお、上述した各種数値は、説明の具体化のための例示に過ぎず、これに限定する趣旨ではない。 After that, in order to obtain a capacitor of a predetermined size, the metal copper foil surface is subjected to necessary processes such as laminating a photoresist dry film, exposure, development, etching process, resist stripping, and cutting into a predetermined dimension, Create a capacitor or circuit board. Note that the various numerical values described above are merely examples for the purpose of concrete description, and are not intended to limit the present invention.
次に、一つの具体例として、本発明に係る金属箔積層体を、単板型コンデンサとして用いた例を示す。単板型コンデンサは、図1又は図3に示す層構造となる。 Next, as one specific example, an example in which the metal foil laminate according to the present invention is used as a single plate capacitor will be shown. The single plate type capacitor has a layer structure shown in FIG.
実施例1
ポリアミドイミド樹脂(バイロマックスHR16NN 東洋紡績製、固形分濃度14wt%、Tg(ガラス転移温度):320℃)を厚み12μの電解銅箔(古河サーキットフォイル製、F1−WS−12)の上に、乾燥上がり層厚5μmになるようにアプリケータを用いて塗布し、乾燥させた後、巻き取った。
Example 1
Polyamideimide resin (Vilomax HR16NN, manufactured by Toyobo Co., Ltd., solid content concentration: 14 wt%, Tg (glass transition temperature): 320 ° C.) on an electrolytic copper foil (F1-WS-12, manufactured by Furukawa Circuit Foil) with a thickness of 12 μm, After drying, it was applied using an applicator so as to have a layer thickness of 5 μm, dried, and wound up.
更に、ポリカーボネートポリウレタン樹脂(N5230 日本ポリウレタン工業製 固形分濃度30wt%、Tg:−33℃、軟化点130℃)に対し、イソシアヌレート化合物(コロネート2030 日本ポリウレタン工業製、固形分濃度50wt%)を、15wt%加え、更に、溶剤MEKで溶解して、20wt%濃度のラッカー溶液を作成した。
Furthermore, for the polycarbonate polyurethane resin (N5230 Nippon Polyurethane Industry
得られたラッカー溶液を、ポリアミドイミド樹脂層の上に、乾燥上がり層厚5μmになるようにアプリケータを用いて塗布し、乾燥させた後、巻き取った。 The obtained lacquer solution was applied onto the polyamideimide resin layer using an applicator so that the layer thickness would be 5 μm after drying, and then wound up.
次に、乾燥済みの2枚の金属箔積層体を樹脂層が内側となるように80℃で真空ラミネートを行った後、ラミネート後の両面金属箔積層体を、180℃で3時間熱硬化処理する。 Next, two laminated metal foil laminates were vacuum-laminated at 80 ° C. so that the resin layer was inside, and then the laminated double-sided metal foil laminate was heat-cured at 180 ° C. for 3 hours. To do.
この後、銅箔面にフォトレジストドライフィルム(日立化成工業製フォテックRY−3215)をラミネートし、高圧水銀灯により所定パターンを露光する。次いで0.8wt%無水炭酸ナトリウム水溶液をスプレーして現像したのちに銅箔面を30分間エッチング処理した (シップレイ製プリポジットエッチ748を4wt%混合した1.25vol%希硫酸溶液)。次いで2wt%水酸化ナトリウム水溶液でレジスト剥離を行った (50℃、1分間)。こうして得られた所定パターンの金属箔積層体を所定の寸法に裁断し、コンデンサを作成した。 Thereafter, a photoresist dry film (Photec RY-3215 manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.) is laminated on the copper foil surface, and a predetermined pattern is exposed with a high-pressure mercury lamp. Next, after developing by spraying 0.8 wt% anhydrous sodium carbonate aqueous solution, the copper foil surface was etched for 30 minutes (1.25 vol% dilute sulfuric acid solution mixed with 4 wt% of pre-posite etch 748 manufactured by Shipley). Next, the resist was stripped with a 2 wt% aqueous sodium hydroxide solution (50 ° C., 1 minute). The metal foil laminate having a predetermined pattern thus obtained was cut into a predetermined size to produce a capacitor.
実施例2
ポリアミドイミド樹脂(バイロマックスHR11NN 東洋紡績製、固形分濃度15wt%、Tg:300℃)を厚み12μの電解銅箔(古河サーキットフォイル製、F1−WS−12)の上に、乾燥上がり層厚5μmになるようにアプリケータを用いて塗布し、乾燥させた後、巻き取った。
Example 2
Polyamideimide resin (Vilomax HR11NN, manufactured by Toyobo Co., Ltd., solid content concentration 15 wt%, Tg: 300 ° C.) is dried on a 12 μm thick electrolytic copper foil (F1-WS-12, manufactured by Furukawa Circuit Foil), and the layer thickness is 5 μm. It was applied using an applicator, dried, and wound up.
更に、ポリカーボネートポリウレタン樹脂(N5199 日本ポリウレタン工業製 固形分濃度30wt%、Tg:−29℃、軟化点105℃)に対し、イソシアヌレート化合物(コロネートHX 日本ポリウレタン工業製、固形分濃度100wt%)を、15wt%加え、更に、溶剤MEKで溶解して、20wt%濃度のラッカー溶液を作成した。
Furthermore, for the polycarbonate polyurethane resin (N5199 manufactured by Nippon Polyurethane Industry,
得られたラッカー溶液を、ポリアミドイミド樹脂層の上に、乾燥上がり層厚5μmになるようにアプリケータを用いて塗布し、乾燥させた後、巻き取った。 The obtained lacquer solution was applied onto the polyamideimide resin layer using an applicator so that the layer thickness would be 5 μm after drying, and then wound up.
次に、乾燥済みの2枚の金属箔積層体を樹脂層が内側となるように80℃で真空ラミネートを行った後、ラミネート後の両面金属箔積層体を、180℃で3時間熱硬化処理する。 Next, two laminated metal foil laminates were vacuum-laminated at 80 ° C. so that the resin layer was inside, and then the laminated double-sided metal foil laminate was heat-cured at 180 ° C. for 3 hours. To do.
この後、銅箔面にフォトレジストドライフィルム(日立化成工業製フォテックRY−3215)をラミネートし、高圧水銀灯により所定パターンを露光する。次いで0.8wt%無水炭酸ナトリウム水溶液をスプレーして現像したのちに銅箔面を30分間エッチング処理した (シップレイ製プリポジットエッチ748を4wt%混合した1.25vol%希硫酸溶液)。次いで2wt%水酸化ナトリウム水溶液でレジスト剥離を行った (50℃、1分間)。こうして得られた所定パターンの金属箔積層体を所定の寸法に裁断し、コンデンサを作成した。 Thereafter, a photoresist dry film (Photec RY-3215 manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.) is laminated on the copper foil surface, and a predetermined pattern is exposed with a high-pressure mercury lamp. Next, after developing by spraying 0.8 wt% anhydrous sodium carbonate aqueous solution, the copper foil surface was etched for 30 minutes (1.25 vol% dilute sulfuric acid solution mixed with 4 wt% of pre-posite etch 748 manufactured by Shipley). Next, the resist was stripped with a 2 wt% aqueous sodium hydroxide solution (50 ° C., 1 minute). The metal foil laminate having a predetermined pattern thus obtained was cut into a predetermined size to produce a capacitor.
比較例1
ポリアミドイミド樹脂(バイロマックスHR16NN 東洋紡績製、固形分濃度14wt%、Tg:320℃)を厚み12μの電解銅箔(古河サーキットフォイル製、F1−WS−12)の上に、乾燥上がり層厚10μmになるようにアプリケータを用いて塗布し、乾燥させた後、巻き取った。
Comparative Example 1
Polyamideimide resin (Vilomax HR16NN, manufactured by Toyobo Co., Ltd., solid content concentration 14 wt%, Tg: 320 ° C.) is dried on a 12 μm thick electrolytic copper foil (Furukawa Circuit Foil, F1-WS-12) and the layer thickness is 10 μm. It was applied using an applicator, dried, and wound up.
次に、乾燥済みの2枚の金属箔積層体を樹脂層が内側となるように80℃で真空ラミネートを行ったが、2枚の金属箔積層体は接着しなかった。更に300℃まで昇温し、真空ラミネートを行ったが、2枚の金属箔積層体は接着せず、コンデンサは作成できなかった。 Next, vacuum lamination was performed on the two dried metal foil laminates at 80 ° C. so that the resin layer was inside, but the two metal foil laminates were not bonded. Further, the temperature was raised to 300 ° C. and vacuum lamination was performed, but the two metal foil laminates were not adhered, and a capacitor could not be produced.
比較例2
ポリアミドイミド樹脂(バイロマックスHR16NN 東洋紡績製、固形分濃度14wt%、Tg:320℃)を厚み12μの電解銅箔(古河サーキットフォイル製、F1−WS−12)の上に、乾燥上がり層厚5μmになるようにアプリケータを用いて塗布し、乾燥させた後、巻き取った。
Comparative Example 2
Polyamideimide resin (Bilomax HR16NN, manufactured by Toyobo Co., Ltd., solid content concentration 14 wt%, Tg: 320 ° C.) is dried on a 12 μm thick electrolytic copper foil (Furukawa Circuit Foil, F1-WS-12), and the layer thickness is 5 μm. It was applied using an applicator, dried, and wound up.
更に、ポリカーボネートポリウレタン樹脂(N5230 日本ポリウレタン工業製 固形分濃度30wt%、Tg:−33℃、軟化点130℃)に対し、イソシネート化合物(コロネートL 日本ポリウレタン工業製、固形分濃度75wt%)を、15wt%加え、更に、溶剤MEKで溶解して、20wt%濃度のラッカー溶液を作成した。
Furthermore, with respect to polycarbonate polyurethane resin (N5230 Nippon Polyurethane Industry Co., Ltd.,
得られたラッカー溶液を、ポリアミドイミド樹脂層の上に、乾燥上がり層厚5μmになるようにアプリケータを用いて塗布し、乾燥させた後、巻き取った。 The obtained lacquer solution was applied onto the polyamideimide resin layer using an applicator so that the layer thickness would be 5 μm after drying, and then wound up.
次に、乾燥済みの2枚の金属箔積層体を樹脂層が内側となるように80℃で真空ラミネートを行った後、ラミネート後の両面金属箔積層体を、180℃で3時間熱硬化処理する。 Next, two laminated metal foil laminates were vacuum-laminated at 80 ° C. so that the resin layer was inside, and then the laminated double-sided metal foil laminate was heat-cured at 180 ° C. for 3 hours. To do.
この後、銅箔面にフォトレジストドライフィルム(日立化成工業製フォテックRY−3215)をラミネートし、高圧水銀灯により所定パターンを露光する。次いで0.8wt%無水炭酸ナトリウム水溶液をスプレーして現像したのちに銅箔面を30分間エッチング処理した (シップレイ製プリポジットエッチ748を4wt%混合した1.25vol%希硫酸溶液)。次いで2wt%水酸化ナトリウム水溶液でレジスト剥離を行った (50℃、1分間)。こうして得られた所定パターンの金属箔積層体を所定の寸法に裁断し、コンデンサを作成した。 Thereafter, a photoresist dry film (Photec RY-3215 manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.) is laminated on the copper foil surface, and a predetermined pattern is exposed with a high-pressure mercury lamp. Next, after developing by spraying 0.8 wt% anhydrous sodium carbonate aqueous solution, the copper foil surface was etched for 30 minutes (1.25 vol% dilute sulfuric acid solution mixed with 4 wt% of pre-posite etch 748 manufactured by Shipley). Next, the resist was stripped with a 2 wt% aqueous sodium hydroxide solution (50 ° C., 1 minute). The metal foil laminate having a predetermined pattern thus obtained was cut into a predetermined size to produce a capacitor.
比較例3
ポリアミドイミド樹脂(バイロマックスHR16NN 東洋紡績製、固形分濃度14wt%、Tg:320℃)を厚み12μの電解銅箔(古河サーキットフォイル製、F1−WS−12)の上に、乾燥上がり層厚5μmになるようにアプリケータを用いて塗布し、乾燥させた後、巻き取った。
Comparative Example 3
Polyamideimide resin (Bilomax HR16NN, manufactured by Toyobo Co., Ltd., solid content concentration 14 wt%, Tg: 320 ° C.) is dried on a 12 μm thick electrolytic copper foil (Furukawa Circuit Foil, F1-WS-12), and the layer thickness is 5 μm. It was applied using an applicator, dried, and wound up.
更に、ポリカーボネートポリウレタン樹脂(N5230 日本ポリウレタン工業製 固形分濃度30wt%、Tg:−33℃、軟化点130℃)に対し、イソシネート化合物(コロネートHL 日本ポリウレタン工業製、固形分濃度75wt%)を、15wt%加え、更に、溶剤MEKで溶解して、20wt%濃度のラッカー溶液を作成した。
Furthermore, with respect to polycarbonate polyurethane resin (N5230 Nippon Polyurethane Industry Co., Ltd.,
得られたラッカー溶液を、ポリアミドイミド樹脂層の上に、乾燥上がり層厚5μmになるようにアプリケータを用いて塗布し、乾燥させた後、巻き取った。 The obtained lacquer solution was applied onto the polyamideimide resin layer using an applicator so that the layer thickness would be 5 μm after drying, and then wound up.
次に、乾燥済みの2枚の金属箔積層体を樹脂層が内側となるように80℃で真空ラミネートを行った後、ラミネート後の両面金属箔積層体を、180℃で3時間熱硬化処理する。 Next, two laminated metal foil laminates were vacuum-laminated at 80 ° C. so that the resin layer was inside, and then the laminated double-sided metal foil laminate was heat-cured at 180 ° C. for 3 hours. To do.
この後、銅箔面にフォトレジストドライフィルム(日立化成工業製フォテックRY−3215)をラミネートし、高圧水銀灯により所定パターンを露光する。次いで0.8wt%無水炭酸ナトリウム水溶液をスプレーして現像したのちに銅箔面を30分間エッチング処理した (シップレイ製プリポジットエッチ748を4wt%混合した1.25vol%希硫酸溶液)。次いで2wt%水酸化ナトリウム水溶液でレジスト剥離を行った (50℃、1分間)。こうして得られた所定パターンの金属箔積層体を所定の寸法に裁断し、コンデンサを作成した。 Thereafter, a photoresist dry film (Photec RY-3215 manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.) is laminated on the copper foil surface, and a predetermined pattern is exposed with a high-pressure mercury lamp. Next, after developing by spraying 0.8 wt% anhydrous sodium carbonate aqueous solution, the copper foil surface was etched for 30 minutes (1.25 vol% dilute sulfuric acid solution mixed with 4 wt% of pre-posite etch 748 manufactured by Shipley). Next, the resist was stripped with a 2 wt% aqueous sodium hydroxide solution (50 ° C., 1 minute). The metal foil laminate having a predetermined pattern thus obtained was cut into a predetermined size to produce a capacitor.
比較例4
ポリアミドイミド樹脂(バイロマックスHR16NN 東洋紡績製、固形分濃度14wt%、Tg:320℃)を厚み12μの電解銅箔(古河サーキットフォイル製、F1−WS−12)の上に、乾燥上がり層厚5μmになるようにアプリケータを用いて塗布し、乾燥させた後、巻き取った。
Comparative Example 4
Polyamideimide resin (Bilomax HR16NN, manufactured by Toyobo Co., Ltd., solid content concentration 14 wt%, Tg: 320 ° C.) is dried on a 12 μm thick electrolytic copper foil (Furukawa Circuit Foil, F1-WS-12), and the layer thickness is 5 μm. It was applied using an applicator, dried, and wound up.
更に、ポリエステルポリウレタン樹脂(UR1400 東洋紡績製、固形分濃度30wt%、Tg:83℃)に対し、イソシアヌレート化合物(コロネート2030 日本ポリウレタン工業製、固形分濃度50wt%)を、15wt%加え、更に、溶剤MEKで溶解して、20wt%濃度のラッカー溶液を作成した。
Furthermore, to the polyester polyurethane resin (UR1400 Toyobo,
得られたラッカー溶液を、ポリアミドイミド樹脂層の上に、乾燥上がり層厚5μmになるようにアプリケータを用いて塗布し、乾燥させた後、巻き取った。 The obtained lacquer solution was applied onto the polyamideimide resin layer using an applicator so that the layer thickness would be 5 μm after drying, and then wound up.
次に、乾燥済みの2枚の金属箔積層体を樹脂層が内側となるように80℃で真空ラミネートを行ったが、2枚の金属箔積層体は接着せず、コンデンサは作成できなかった。 Next, vacuum lamination was performed on the two dried metal foil laminates at 80 ° C. so that the resin layer was inside, but the two metal foil laminates were not adhered and a capacitor could not be produced. .
比較例5
ポリアミドイミド樹脂(バイロマックスHR16NN 東洋紡績製、固形分濃度14wt%、Tg:320℃)を厚み12μの電解銅箔(古河サーキットフォイル製、F1−WS−12)の上に、乾燥上がり層厚5μmになるようにアプリケータを用いて塗布し、乾燥させた後、巻き取った。
Comparative Example 5
Polyamideimide resin (Bilomax HR16NN, manufactured by Toyobo Co., Ltd., solid content concentration 14 wt%, Tg: 320 ° C.) is dried on a 12 μm thick electrolytic copper foil (Furukawa Circuit Foil, F1-WS-12), and the layer thickness is 5 μm. It was applied using an applicator, dried, and wound up.
更に、ポリエステルポリウレタン樹脂(UR8700 東洋紡績製、固形分濃度30wt%、Tg:−22℃)に対し、イソシアヌレート化合物(コロネート2030 日本ポリウレタン工業製、固形分濃度50wt%)を、15wt%加え、更に、溶剤MEKで溶解して、20wt%濃度のラッカー溶液を作成した。 Furthermore, to the polyester polyurethane resin (UR8700, manufactured by Toyobo Co., Ltd., solid content concentration: 30 wt%, Tg: −22 ° C.), an isocyanurate compound (Coronate 2030 manufactured by Nippon Polyurethane Industry Co., Ltd., solid content concentration: 50 wt%) was added at 15 wt%. Then, it was dissolved with a solvent MEK to prepare a lacquer solution having a concentration of 20 wt%.
得られたラッカー溶液を、ポリアミドイミド樹脂層の上に、乾燥上がり層厚5μmになるようにアプリケータを用いて塗布し、乾燥させた後、巻き取った。 The obtained lacquer solution was applied onto the polyamideimide resin layer using an applicator so that the layer thickness would be 5 μm after drying, and then wound up.
次に、乾燥済みの2枚の金属箔積層体を樹脂層が内側となるように80℃で真空ラミネートを行った後、ラミネート後の両面金属箔積層体を、180℃で3時間熱硬化処理する。 Next, two laminated metal foil laminates were vacuum-laminated at 80 ° C. so that the resin layer was inside, and then the laminated double-sided metal foil laminate was heat-cured at 180 ° C. for 3 hours. To do.
この後、銅箔面にフォトレジストドライフィルム(日立化成工業製フォテックRY−3215)をラミネートし、高圧水銀灯により所定パターンを露光する。次いで0.8wt%無水炭酸ナトリウム水溶液をスプレーして現像したのちに銅箔面を30分間エッチング処理した (シップレイ製プリポジットエッチ748を4wt%混合した1.25vol%希硫酸溶液)。次いで2wt%水酸化ナトリウム水溶液でレジスト剥離を行った (50℃、1分間)が、樹脂膜が溶解し、所望の寸法のコンデンサは得られなかった。 Thereafter, a photoresist dry film (Photec RY-3215 manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.) is laminated on the copper foil surface, and a predetermined pattern is exposed with a high-pressure mercury lamp. Next, after developing by spraying 0.8 wt% anhydrous sodium carbonate aqueous solution, the copper foil surface was etched for 30 minutes (1.25 vol% dilute sulfuric acid solution mixed with 4 wt% of pre-posite etch 748 manufactured by Shipley). Next, the resist was peeled off with a 2 wt% sodium hydroxide aqueous solution (50 ° C., 1 minute), but the resin film was dissolved and a capacitor having a desired size could not be obtained.
表1に実施例1、2及び比較例1〜5の熱接着性,耐アルカリ性、耐熱性、容量値Cp及び誘電正接(tanδ)を示してある。 Table 1 shows the thermal adhesiveness, alkali resistance, heat resistance, capacitance value Cp, and dielectric loss tangent (tan δ) of Examples 1 and 2 and Comparative Examples 1 to 5.
表1において,熱接着性は,樹脂面を内側にして80℃で60秒間圧着した後にはがれないかどうかで判定した。耐アルカリ性は、NaOH 10wt%の水溶液を、70℃に加温した状態で30分間浸漬し,それによって樹脂膜が溶解しないかどうかで判定した。耐熱性はハンダリフロー炉で剥離しないかどうかで判定した。
In Table 1, the thermal adhesiveness was determined by whether or not it could be peeled off after pressure-bonding at 80 ° C. for 60 seconds with the resin surface inside. Alkali resistance was judged by immersing an aqueous solution of
表1を参照すると、ポリカーボネートポリウレタン樹脂層を持たない比較例1では、樹脂、つまり、ポリアミドイミド樹脂層が接着できない。ポリカーボネートポリウレタン樹脂層は持っているが、硬化剤がイソシアネートである比較例2、3では、耐熱性が悪い(×印)。また、ポリカーボネートポリウレタン樹脂に代えて、ポリエステルポリウレタン樹脂を用いた比較例4では、硬化剤として、イソシアヌレート化合物を用いても、熱接着性が悪く、接着できない(比較例4)。異なるポリエステルポリウレタン樹脂を用いた比較例5では、硬化剤として、イソシアヌレート化合物を用いても、耐アルカリ性が悪く、エッチング剥離を生じる (比較例5)などの問題を生じる。 Referring to Table 1, in Comparative Example 1 having no polycarbonate polyurethane resin layer, the resin, that is, the polyamideimide resin layer cannot be bonded. In Comparative Examples 2 and 3 in which the polycarbonate polyurethane resin layer is present but the curing agent is isocyanate, the heat resistance is poor (x mark). Further, in Comparative Example 4 using a polyester polyurethane resin instead of the polycarbonate polyurethane resin, even if an isocyanurate compound is used as a curing agent, the thermal adhesiveness is poor and cannot be bonded (Comparative Example 4). In Comparative Example 5 using a different polyester polyurethane resin, even if an isocyanurate compound is used as a curing agent, the alkali resistance is poor and etching peeling occurs (Comparative Example 5).
これに対して、実施例1、2では、熱接着性、耐アルカリ性、及び、耐熱性のいずれにおいても、問題は生じない。つまり、ポリカーボネートポリウレタン樹脂と、イソシアヌレート化合物との組み合わせが重要である。 On the other hand, in Examples 1 and 2, there is no problem in any of thermal adhesiveness, alkali resistance, and heat resistance. That is, a combination of a polycarbonate polyurethane resin and an isocyanurate compound is important.
次に、本発明に係る金属箔積層体を用いた電子部品として、非可逆回路素子を例にとり、図4〜図12を用いて説明する。図4は本発明に係る非可逆回路素子の一実施形態を示す斜視図、図5は図4に図示した非可逆回路素子の分解斜視図、図6は、図4、図5に図示した非可逆回路素子における下側ケースの分解斜視図、図7は、図4〜図6に図示した非可逆回路素子の模式的断面図、図8は図7の一部拡大図である。 Next, as an electronic component using the metal foil laminate according to the present invention, a non-reciprocal circuit element will be described as an example with reference to FIGS. 4 is a perspective view showing an embodiment of a non-reciprocal circuit device according to the present invention, FIG. 5 is an exploded perspective view of the non-reciprocal circuit device shown in FIG. 4, and FIG. 6 is a non-reciprocal view shown in FIGS. 7 is an exploded perspective view of the lower case in the reversible circuit element, FIG. 7 is a schematic cross-sectional view of the non-reciprocal circuit element shown in FIGS. 4 to 6, and FIG. 8 is a partially enlarged view of FIG.
まず、図4及び図5を参照すると、本発明に係る非可逆回路素子は、磁気回転子2と、永久磁石8と、ケース9とを含む。図示実施形態では、更に、複数の整合コンデンサC1〜C3、終端抵抗器R、コンデンサC9や押圧部材7などが備えられている。
4 and 5, the nonreciprocal circuit device according to the present invention includes a
ケース9は、上側ケース91と、下側ケース92とを含む。図4及び図5に加えて、図6を参照すると、下側ケース92は、導電性を有する磁性金属材料と、電気絶縁性樹脂材料とを含み、上部が開口した四角形の箱形に形成される。下側ケース92は、略四角形状の磁性金属板の相対向する2辺をプレス等により折り曲げて、底板920から立ち上がった接続部921、922を有する断面コ字状に形成し、これを電気絶縁性樹脂材料とともに樹脂モールド成形技術等を用いて一体成形することにより構成する。また、下側ケース92は、あらかじめ枠状に成形した電気絶縁性樹脂材料部分と磁性金属材料部分とを組み合わせて一体化することによっても構成できる。
Case 9 includes an
下側ケース92の底板920及び接続部921、922は、磁性金属材料から構成される。底板920はグランドGとされ、接続部921、922は、上側ケース91への接続部として機能する。
The
下側ケース92の橋絡片925、926、入出力電極配置用の高段部95及び終端抵抗器配置用の高段部98は、電気絶縁性樹脂材料から構成される。橋絡片925、926は、電気絶縁性樹脂材料部分の相対向する2辺を連結する。一方の橋絡片925には、コンデンサ配置用の凹部927が形成されている。凹部927には、コンデンサC9が配置される。
The bridging
入出力電極配置用の高段部95は、磁気回転子2を構成する軟磁性基体4の厚みと略同一の高さに設定され、その上面に入出力電極96が配置される。入出力電極96は、下側ケース92の外面側の電気絶縁性樹脂材料部分に引き出されて入出力外部端子97となる。終端抵抗器配置用の高段部98は、終端抵抗器Rが配置されたとき、終端抵抗器Rの上面が軟磁性基体4の厚みと略同一の高さとなるように設定され、その上面にグランドGが引き出されている。
The
整合コンデンサC1〜C3はそれぞれ直方体状に形成され、軟磁性基体4の厚さ寸法と略同じ厚さ寸法を有し、厚さ方向の両端面にそれぞれ外部電極C11〜C32を有する。整合コンデンサC1〜C3は、それぞれその厚さ方向が軟磁性基体4の厚さ方向に沿うように下側ケース92の側壁に沿って配置され、それぞれ一方の外部電極C11〜C31がグランドGにはんだ付けSによって接続されている。
The matching capacitors C1 to C3 are each formed in a rectangular parallelepiped shape, have substantially the same thickness as the thickness of the soft magnetic substrate 4, and have external electrodes C11 to C32 on both end faces in the thickness direction. The matching capacitors C1 to C3 are arranged along the side wall of the
終端抵抗器Rは、抵抗体の両側に外部電極R1、R2(図5参照)が形成された汎用のチップ抵抗器で構成できる。終端抵抗器Rは、終端抵抗器配置用の高段部98に配置され、一方の電極R1が高段部98の上面に引き出されたグランドGにはんだ付けSによって接続されている。
The termination resistor R can be constituted by a general-purpose chip resistor in which external electrodes R1 and R2 (see FIG. 5) are formed on both sides of the resistor. The termination resistor R is disposed on the
次に、図5及び図7を参照すると、磁気回転子2は、中心電極3と、軟磁性基体4と、粘着性の絶縁シート6とを含み、下側ケース92に収容される。軟磁性基体4は、イットリウム/鉄/ガーネット(YIG)等の軟磁性材料が好適である。軟磁性基体4は、1辺が2mm程度の四角形状で、厚さ0.1〜0.5mm程度の平板状に形成される。
Next, referring to FIGS. 5 and 7, the
中心電極3は、グランド部30と、第1〜第3の中心導体310〜330とを含み、例えば、厚さ30μm程度の銅板を打ち抜いた導体板で構成される。グランド部30は、軟磁性基体4の板面と同様の1辺が2mm程度の略四角形状であって、軟磁性基体4の下面と対向して配置される。
The center electrode 3 includes a
第1〜第3の中心導体310〜330は、軟磁性基体4の面上で互いに所定の角度、たとえば120度の角度で交差するように、グランド部30の縁辺から引き出されている。引き出された中心導体310〜330は、軟磁性基体4の上面上に絶縁シート6を介して順次折り曲げられ、互いに絶縁されて所定の角度で交差する。最上部の第3の中心導体330上にも、絶縁シート6が重ねられる。第1〜第3の中心導体310〜330の先端は、軟磁性基体4の上面の側端から突出して形成され、整合コンデンサC1〜C3、終端抵抗器R及び入出力電極96等に対する接続用端子部311〜331となる。
The first to third
磁気回転子2は、下側ケース92の中央部に配置され、グランド部30がグランドGにはんだ付けSによって接続されている。第1、第2の中心導体310、320の接続用端子部311、321は、整合コンデンサC1、C2の他方の外部電極C12、C22(図5参照)にはんだ付けSによって接続されるとともに、入出力電極96にはんだ付けSによって接続される。第3の中心導体330の接続用端子部331は、整合コンデンサC3の他方の外部電極C32にはんだ付けSによって接続されるとともに、終端抵抗器Rの他方の外部電極R2にはんだ付けSによって接続される。
The
押圧部材7はエンジニアリングプラスチック等の絶縁材料からなり、空洞部70と、枠部71と、押圧片72とを有する。空洞部70は枠部71で囲まれて形成され、永久磁石8が配置される。押圧片72は、枠部71から突き出て形成され、永久磁石8を受けるとともに、下側ケース92内に収容され、第1〜第3の中心導体310〜330の端子部311〜331を介して、整合コンデンサC1〜C3及び終端抵抗器Rを押圧し、位置決めする。
The pressing member 7 is made of an insulating material such as engineering plastic, and includes a
永久磁石8は、空洞部70に収容できる平板状に形成され、磁気回転子2に重ねて配置されて磁気回転子2に直流磁界を印加する。
The
上側ケース91は、略四角形の磁性金属板の相対向する2辺がプレス等により折り曲げ成形されて、天板910から立ち下がった接続部911、912を有する断面コ字状に構成される。上側ケース91の天板910及び接続部911、912は、磁性金属材料から構成される。
The
上側ケース91は、永久磁石8に重なり、かつ、下側ケース92の開口を閉塞するように下側ケース92と組み合わされる。更に、コンデンサC9が、上側ケース91の接続部911の先端と、下側ケース92の底板920との間にはんだ付けSで接続される。
The
上側ケース91の接続部911と、下側ケース92の接続部921との間には、僅かな隙間901が在る。同様に、上側ケース91の接続部912と、下側ケース92の接続部922との間にも、僅かな隙間902が在る。隙間901について詳細な構造を示すため、図示では、隙間901が隙間902よりも広く表示されているが、実際には、同じ程度の隙間であり得る。
A
上側ケース91及び下側ケース92は、永久磁石8と磁気的に結合し、永久磁石8及び磁気回転子2のためのケース磁路M1、M2を構成する。ケース磁路M1は、磁気回転子2から下側ケース92の底板920、下側ケース92の接続部921、上側ケース91の接続部911及び上側ケース91の天板910を順次に経由し、永久磁石8に向かう磁路である。同様に、もう一つのケース磁路M2も、磁気回転子2から下側ケース92の底板920、下側ケース92の接続部922、上側ケース91の接続部912及び上側ケースの天板910を順次に経由し、永久磁石8に向かう磁路である。
The
ケース磁路M1には、静電容量要素Eが挿入されている。静電容量要素Eは、電気絶縁性の磁性体を容量層として構成される。具体的には、静電容量要素Eは、上側ケース91の接続部911を一方の電極とし、下側ケース92の接続部921を他方の電極とし、図1又は図3で示した金属箔積層体903を、接続部911、921によって構成される2つの電極に挟み、静電容量層として構成する。
An electrostatic capacitance element E is inserted into the case magnetic path M1. The electrostatic capacitance element E is configured with an electrically insulating magnetic material as a capacitive layer. Specifically, in the capacitive element E, the
静電容量要素Eは、直流電流に対しては、2つの電極が前記金属箔積層体903で互いに絶縁され、高インピーダンスとなる。静電容量要素Eは、高周波電流に対しては、相対的に低インピーダンスとなる。
In the capacitive element E, two electrodes are insulated from each other by the
金属箔積層体903は、上側ケース91の接続部911及び下側ケース92の接続部921の双方に接着される。図8は金属箔積層体903の挟み込み構造を拡大して示す部分拡大断面図である。本実施形態は、図3に示した金属箔積層体903を用いた例を示し、金属箔層31が、導電性接着剤904を介して上側ケース91の接続部911に接着されている。同様に、金属箔層32が導電性接着剤905を介して下側ケース92の接続部921に接着されている。導電性接着剤904、905は、例えばはんだ等で構成される。
The
図示実施形態では、2つのケース磁路M1、M2のうち、ケース磁路M1のみに静電容量要素Eを挿入した構成となっているが、本発明はこのような構成に限定されることはなく、ケース磁路M1、M2の双方に静電容量要素を挿入した構成でもよい。 In the illustrated embodiment, the capacitance element E is inserted only into the case magnetic path M1 out of the two case magnetic paths M1 and M2. However, the present invention is not limited to such a configuration. Alternatively, a configuration in which capacitance elements are inserted in both of the case magnetic paths M1 and M2 may be used.
図9は、図4〜図8に図示した非可逆回路素子の等価回路図である。図において、L1、L2、L3は、それぞれ、第1〜第3の中心導体310〜330のインダクタンス成分を示している。L0は、ケース9のインダクタンス成分を示している。C0は、ケース9のキャパシタンス成分を示しており、ケース磁路M1に挿入された静電容量要素Eの容量値と、コンデンサC9の容量値との和で与えられる。
FIG. 9 is an equivalent circuit diagram of the non-reciprocal circuit device illustrated in FIGS. In the figure, L1, L2, and L3 indicate inductance components of the first to
図5、図7を参照して説明したように、本発明に係る非可逆回路素子では、磁気回転子2は、軟磁性基体4と、第1〜第3の中心導体310〜330とを含み、ケース9の内部に設けられる。永久磁石8は、ケース9の内部で磁気回転子2に重ねて配置され、磁気回転子2に直流磁界を印加する。ケース9は、磁性金属材料を含み、磁気回転子2及び永久磁石8のためのケース磁路M1、M2を構成する。従って、非可逆回路素子の基本的構造が得られる。
As described with reference to FIGS. 5 and 7, in the nonreciprocal circuit device according to the present invention, the
一般的に、かかる構造の非可逆回路素子では、磁気回転子2の中心導体310〜330に高周波信号が供給されると、中心導体310〜330のインダクタンス成分L1〜L3及びケースのインダクタンス成分L0(図9参照)により、ケース磁路M1、M2に高周波電流が誘起される可能性がある。
In general, in the non-reciprocal circuit device having such a structure, when a high-frequency signal is supplied to the
本発明では、ケース磁路M1に、直流電流に対して高インピーダンスとなり、高周波電流に対して相対的に低インピーダンスとなる静電容量要素Eが挿入される。電気回路的にみれば、ケース磁路M1に対して、ケース9のインダクタンス成分L0と直列に静電容量要素Eが挿入されることになる。従って、図9に示すように、インダクタンス成分L0とキャパシタンス成分C0との共振回路が構成されることになり、この共振回路によって、ケース磁路M1の高周波電流が抑制される。従って、入出力V.S.W.R.、挿入損失や動作周波数帯域幅などの電気的特性が改善される。 In the present invention, a capacitance element E that has a high impedance with respect to a direct current and a relatively low impedance with respect to a high-frequency current is inserted into the case magnetic path M1. In terms of an electric circuit, the capacitance element E is inserted in series with the inductance component L0 of the case 9 with respect to the case magnetic path M1. Accordingly, as shown in FIG. 9, a resonance circuit of an inductance component L0 and a capacitance component C0 is formed, and the resonance circuit suppresses a high-frequency current in the case magnetic path M1. Therefore, the electrical characteristics such as input / output V.S.W.R., insertion loss and operating frequency bandwidth are improved.
更に、上記の静電容量要素Eは、金属箔積層体903を容量層とした構成であるから、ケース磁路M1の連続性を損なうことなくケース磁路M1に挿入することができる。従って、静電容量要素Eの挿入による磁気抵抗の増大を回避することができる。よって、大きな直流磁界を印加する必要はなく、大型の永久磁石は不要であるから、非可逆回路素子の大型化を回避することができる。
Furthermore, since the electrostatic capacitance element E has a configuration in which the
静電容量要素Eの容量値は、金属箔積層体903の厚みなどを適宜、選択することにより調整することができ、非可逆回路素子の形状、大きさ及び動作周波数帯域や要求特性に合わせて決定される。
The capacitance value of the capacitance element E can be adjusted by appropriately selecting the thickness of the
更に、静電容量要素Eを構成する金属箔積層体903は、図3に示したように、ポリアミドイミド樹脂層21、22と、ポリカーボネートポリウレタン樹脂層101、102とが互いに隣接し、全体として、薄膜誘電体層として機能する。これらの薄膜誘電体層のうち、半田付時などに、外部からの熱を受ける金属箔層31、32には、耐熱性の高いポリアミドイミド樹脂21、22が隣接する。したがって、金属箔積層体903を、接続部911、921によって構成される2つの電極に挟み、金属箔層31、32を、はんだなどの導電性接着剤904、905で接着する場合、そのはんだ付け温度に十分に耐え得る耐熱性の高い静電容量要素Eを構成しえる。
Furthermore, as shown in FIG. 3, the
次に、本実施形態による追加的な作用効果について説明する。本実施形態では、金属箔層31、32が、金属箔積層体903の両面に設けられている。かかる構成によれば、金属箔層31、32を、静電容量要素Eの電極として機能させることができ、静電容量要素Eの容量値は、金属箔層31、32の対向面積によって与えられることになる。従って、上側ケース91の接続部911及び下側ケース92の接続部921の対向面積に制約されずに静電容量要素Eの容量値を確保することができる。例えば、接続部911、921の対向面積が小さい場合でも、金属箔層31、32の対向面積を大きく設定することにより、静電容量要素Eの容量値を確保することができる。
Next, the additional effect by this embodiment is demonstrated. In the present embodiment, the metal foil layers 31 and 32 are provided on both surfaces of the
図10は本発明に係る非可逆回路素子の別の実施形態を示す模式的断面図、図11は図10に図示した非可逆回路素子の等価回路図である。図示において、図4〜図9に図示された構成部分と同一性のある構成部分には同一の参照符号を付し、重複説明を省略する。 FIG. 10 is a schematic sectional view showing another embodiment of the non-reciprocal circuit device according to the present invention, and FIG. 11 is an equivalent circuit diagram of the non-reciprocal circuit device shown in FIG. In the drawing, the same reference numerals are assigned to the same components as those shown in FIGS. 4 to 9, and the duplicate description is omitted.
図示の非可逆回路素子は、アイソレータを構成した例を示している。具体的に説明すると、磁気回転子2が誘電体シート20を介して、下側ケース92のグランドGに配置されている。従って、その電気的等価回路は図11に図示したように表せる。図において、C20は、誘電体シート20による静電容量要素成分を示している。
The illustrated non-reciprocal circuit device shows an example in which an isolator is configured. More specifically, the
本実施形態の非可逆回路素子は、磁気回転子2とグランドGとの間に誘電体シート20による静電容量要素成分を有しているので、動作周波数及び印加磁界を同時に下げることができる。動作周波数が下がればより小型の磁気回転子2を使用することが可能となり、印加磁界が下がればより小型の永久磁石8を使用することが可能となるので、非可逆回路素子が小型化できる。
Since the nonreciprocal circuit element of this embodiment has the electrostatic capacitance element component by the
以上、好ましい実施例を参照して本発明を詳細に説明したが、本発明はこれらに限定されるものではなく、当業者であれば、その基本的技術思想および教示に基づき、種々の変形例を想到できることは自明である。 The present invention has been described in detail with reference to the preferred embodiments. However, the present invention is not limited to these embodiments, and various modifications can be made by those skilled in the art based on the basic technical idea and teachings. It is self-evident that
10、101、102 ポリカーボネートポリウレタン樹脂層
21、22 ポリアミドイミド樹脂層
31、32 金属箔層
10, 101, 102 Polycarbonate
Claims (6)
電子部品。 An electronic component including a circuit board, wherein the circuit board is the one described in claim 3.
Electronic components.
The electronic component according to claim 4, wherein the electronic component is a non-reciprocal circuit element.
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