JP2007109307A - Method and apparatus for bonding disk substrates - Google Patents
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Description
本発明は、光情報記録媒体として使用されるディスクを構成するディスク基板の貼り合せ方法及び貼り合せ装置に関し、特に、光ディスクの反り角を調整することができるディスク基板の貼り合せ方法及び貼り合せ装置に関する。 The present invention relates to a bonding method and a bonding apparatus for a disk substrate constituting a disk used as an optical information recording medium, and in particular, a bonding method and a bonding apparatus for a disk substrate capable of adjusting a warp angle of an optical disk. About.
レーザ光を用いて情報を記録し、又は再生する光ディスクとしては、CD−R(Compact Disc-recordable)、CD(Compact Disc)、DVD(digital versatile disc)、DVD−R(digital versatile disc-recordable)等が既に普及している。 CD-R (Compact Disc-recordable), CD (Compact Disc), DVD (digital versatile disc), DVD-R (digital versatile disc-recordable) are optical discs that record or reproduce information using laser light. Etc. are already popular.
光ディスクの製造工程では、例えば、樹脂製のディスク基板上に液状の紫外線硬化樹脂をスピンコート塗布法やスクリーン印刷法等で塗布した後、更に別のディスク基板と貼り合わせた状態で、紫外線を照射して紫外線硬化樹脂を硬化させる。 In the optical disk manufacturing process, for example, a liquid UV curable resin is applied onto a resin disk substrate by spin coating or screen printing, and then irradiated with UV light in a state of being bonded to another disk substrate. Then, the ultraviolet curable resin is cured.
光ディスクは、記録・再生を行う際に、ディスクを回転させるとともに、ディスク表面にレーザー光を照射し、ディスク基板の記録層に形成された数ミクロンの溝上に、レーザー光をフォーカスする。レーザー光のフォーカスに使用されるレンズの収差に基づいて、DVDディスク等の高密度記録ディスクでは±0.8°以内の反り角を満たすことが必要である。このため、光ディスクの製造工程において、2つのディスク基板を貼り合せたディスクが、±0.8°以内の反り角となるように調整する必要がある。 When performing recording / reproduction, the optical disk rotates the disk and irradiates the surface of the disk with laser light to focus the laser light on a groove of several microns formed on the recording layer of the disk substrate. Based on the aberration of the lens used for focusing the laser beam, a high-density recording disk such as a DVD disk needs to satisfy a warp angle within ± 0.8 °. For this reason, in the optical disc manufacturing process, it is necessary to adjust so that the disc on which the two disc substrates are bonded has a warp angle within ± 0.8 °.
ディスクの反り角を調整してディスク基板の貼り合せを行う技術としては、例えば、下記特許文献1に示すものが知られている。 As a technique for adjusting the warp angle of the disk to bond the disk substrates, for example, the technique disclosed in Patent Document 1 below is known.
上記特許文献1は、光ディスクを配置した支持板の上方及び下方に紫外線光源を設け、これら紫外線光源から光ディスクに紫外線を照射している。そして、ディスクの一方の面に紫外線を照射する紫外線照射経路とディスクのもう一方の面に紫外線を照射する紫外線照射経路のそれぞれの途中にシャッターが設けられ、これらシャッターによって紫外線の照射開始タイミングを制御するものである。 In Patent Document 1, an ultraviolet light source is provided above and below a support plate on which an optical disk is disposed, and the optical disk is irradiated with ultraviolet light from the ultraviolet light source. A shutter is provided in the middle of the UV irradiation path for irradiating UV light to one side of the disk and the UV irradiation path for irradiating UV light to the other side of the disk, and the UV irradiation start timing is controlled by these shutters. To do.
また、ディスクの反り角を調整するものではないが、上記特許文献2には、紫外線光源とディスクとの間にマスクを設け、マスクを介してディスクに紫外線を照射することで、ディスク上にパターン又はデザインを描くことが記載されている。
Further, although the warp angle of the disk is not adjusted, in
従来では、均一に紫外線を照射して紫外線硬化樹脂を硬化させてディスク基板を貼り合せた後の反りを、貼り合わせ前の基板状態を成形機によって変化させることで貼り合わせ後のディスクの反り角を調整していた。そのため、貼り合わせ条件を変えるたびに成形機の条件を変えなければならない問題があった。本発明者は、鋭意検討の結果、紫外線の照射量に偏りを持たせることでディスク基板に反りを付けることができる点に着目した。そして、紫外線を照射することで、紫外線硬化樹脂を硬化させてディスク基板の貼り合せを行うとともに、反り角を調整できることを見出した。 Conventionally, the warping angle of the disc after pasting is changed by changing the substrate state before laminating with a molding machine, after the UV curable resin is cured by uniformly irradiating ultraviolet rays to bond the disc substrate. Was adjusting. For this reason, there is a problem that the conditions of the molding machine must be changed every time the bonding conditions are changed. As a result of intensive studies, the present inventor has paid attention to the fact that the disc substrate can be warped by imparting a bias to the amount of ultraviolet irradiation. Then, the inventors have found that by irradiating ultraviolet rays, the ultraviolet curable resin is cured to bond the disk substrates and the warp angle can be adjusted.
本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、その目的は、ディスク基板の反り角を効率良く調整することができるディスク基板の貼り合せ方法及び貼り合せ装置を提供することにある。 The present invention has been made in view of such circumstances, and an object of the present invention is to provide a disk substrate bonding method and a bonding apparatus capable of efficiently adjusting the warp angle of the disk substrate.
本発明の上記目的は、紫外線硬化樹脂を介して貼り合わされた2つのディスク基板に紫外線を照射して前記紫外線硬化樹脂を硬化させるディスク基板の貼り合わせ装置であって、前記ディスク基板の一方の面に紫外線を照射する紫外線光源と、前記紫外線光源から照射された紫外線が前記ディスク基板に至る経路の途中に設けられた紫外線偏光手段とを備え、前記紫外線偏光手段は、前記ディスク基板側へ射出する紫外線の照度の差が50%以上であることを特徴とするディスク基板の貼り合わせ装置によって達成される。 The object of the present invention is a disk substrate bonding apparatus for irradiating two disk substrates bonded via an ultraviolet curable resin with ultraviolet rays to cure the ultraviolet curable resin, wherein one surface of the disk substrate is An ultraviolet light source for irradiating the disk with ultraviolet light, and an ultraviolet polarization means provided in the middle of the path to which the ultraviolet light emitted from the ultraviolet light source reaches the disk substrate, the ultraviolet polarization means being emitted toward the disk substrate side. This is achieved by a disk substrate laminating apparatus characterized in that the difference in illuminance of ultraviolet rays is 50% or more.
また、本発明の上記目的は、紫外線硬化樹脂を介して貼り合わされた2つのディスク基板に紫外線を照射して前記紫外線硬化樹脂を硬化させるディスク基板の貼り合わせ方法であって、前記ディスク基板の一方の面に紫外線を照射し、照射された紫外線が前記ディスク基板に至る経路の途中で紫外線を紫外線偏光手段によって偏光する際に、前記紫外線偏光手段は、前記ディスク基板側へ射出する紫外線の照度の差が50%以上であることを特徴とするディスク基板の貼り合わせ方法によって達成される。 The above object of the present invention is a method for laminating a disk substrate by irradiating two disk substrates bonded via an ultraviolet curable resin with ultraviolet rays to cure the ultraviolet curable resin. When the ultraviolet light is polarized by the ultraviolet light polarizing means in the middle of the path of the irradiated ultraviolet light to the disk substrate, the ultraviolet light polarizing means has an illuminance of the ultraviolet light emitted to the disk substrate side. The difference is 50% or more. This is achieved by a method for laminating disk substrates, which is characterized in that the difference is 50% or more.
本発明は、紫外線偏光手段を備え、紫外線硬化樹脂に紫外線を照射して硬化する際に、ディスク基板に照射する紫外線の照射量を紫外線偏光手段によって制御することで、ディスク基板を貼りあわせてなるディスクに所定の反り角を付けることができる。このため、従来のディスクの製造工程のようにディスク基板を貼り合わせた後で、ディスクを成型機で反り角を付ける工程を行う必要がなく、製造タスクを向上することができる。 The present invention comprises an ultraviolet polarizing means, and when the ultraviolet curable resin is cured by irradiating the ultraviolet curable resin, the amount of the ultraviolet light applied to the disk substrate is controlled by the ultraviolet polarizing means, thereby bonding the disk substrates together. A predetermined warp angle can be given to the disc. For this reason, it is not necessary to perform a step of bending the disk with a molding machine after the disk substrates are bonded together as in the conventional disk manufacturing process, and the manufacturing task can be improved.
上記紫外線偏光手段は、紫外線を射出する面に対して垂直方向に透過率が変わる光学フィルタであることが好ましい。こうすれば、ディスク基板に照射される紫外線を光学フィルタによって偏光し、ディスク基板側へ射出する紫外線の照度の差が50%以上となるように調整する。このように、光学フィルタによって、ディスク基板に照射する紫外線の照射量を制御することで、ディスク基板を貼りあわせてなるディスクに所定の反り角を付けることができる。 The ultraviolet polarizing means is preferably an optical filter whose transmittance changes in a direction perpendicular to the surface emitting ultraviolet light. In this way, the ultraviolet light irradiated to the disk substrate is polarized by the optical filter, and the difference in illuminance of the ultraviolet light emitted to the disk substrate side is adjusted to be 50% or more. In this way, by controlling the amount of ultraviolet light applied to the disk substrate by the optical filter, a predetermined warp angle can be given to the disk formed by bonding the disk substrates.
本発明によれば、ディスク基板の反り角を効率良く調整することができるディスク基板の貼り合せ方法及び貼り合せ装置を提供できる。 ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the bonding method and bonding apparatus of a disc substrate which can adjust the curvature angle of a disc substrate efficiently can be provided.
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳しく説明する。
図1は、本発明に係る貼り合せ装置の構成を示す図である。本実施形態の貼り合せ装置10は、DVDやDVD−R等の光記録媒体として使用される光ディスクを製造する過程で使用されるものであり、2つのディスク基板のうち一方のディスク基板に塗布された紫外線硬化樹脂を挟んで、両方のディスク基板同士を貼り合せ、紫外線硬化樹脂を硬化させることで光ディスク(以下、単にディスクともいう。)を製造する。
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
FIG. 1 is a diagram showing a configuration of a bonding apparatus according to the present invention. The
貼り合せ装置10は、上方視(図1の正面視)において正円形形状を有するターンテーブル11を備えている。ターンテーブル11には、その上面の円周方向にそれぞれ等間隔をおいて、光ディスクのディスク基板Dが載置される、複数の支持部12が設けられている。本実施形態において、ターンテーブル11の円周方向等間隔に5つの支持部12を配列した構成としたが、支持部12の数は、特に限定されず、適宜変更することができる。
The
図2は、ターンテーブルの支持部にディスク基板を載置する状態を説明する斜視図である。支持部12は、ターンテーブル11の上面から上方に突出した略円柱状の形状を有し、該支持部12の上端に一方のディスク基板d2が載置される支持面12aが形成されている。支持面12aの中央部には、載置されたディスク基板d2の中央開口に挿通されるとともに、ディスク基板Dを支持面12a上に位置決めする位置決めピン13が上方に立設されている。
FIG. 2 is a perspective view for explaining a state in which the disk substrate is placed on the support portion of the turntable. The
本実施形態においては、支持面12a上にディスク基板d2を載置した状態で、上面側に紫外線硬化樹脂が塗布された面が位置する。そして、紫外線硬化樹脂を介してディスク基板d2の上面にディスク基板d1が貼り合わされる。こうして、ディスク基板d1,d2を貼り合せることでディスクDが形成される。
In the present embodiment, the surface on which the ultraviolet curable resin is applied is located on the upper surface side in a state where the disk substrate d2 is placed on the
ターンテーブル11は、図1中矢印で示すように、回転させることで、支持部12の周方向位置を変更することができるため、ターンテーブル11の径方向外方に別途設けられた処理装置に対応する位置に支持部12を移動させて支持部12に載置されたディスク基板d1,d2に所定の処理を施すことができる。本実施形態において、ターンテーブル11は、搬送部材として機能する。
Since the
ターンテーブル11の径方向外方には、光ディスクの製造を行う各処理装置として、円周方向に対して図1の反時計回りに順番に、搬入部14と、貼り合せ部16と、紫外線照射部として機能する紫外線照射部18と、搬出部19とが設けられている。
On the outer side in the radial direction of the
搬入部14は、予め片面に紫外線硬化樹脂が塗布されたディスク基板d2を図示しないロボットアームによって、ターンテーブル11の支持部12に載置する構成である。ディスク基板d2は、紫外線硬化樹脂が塗布された面を上方(支持部12の支持面12aとは反対側)に向けた状態で置かれる。
The carry-in
貼り合せ部16は、真空状態に維持されたチャンバ内で、支持面12aに載置された一方のディスク基板d2に、他方のディスク基板d1を貼り合せる機構を有している。貼り合せ部16の機構としては、従来の構成のものを使用することができる。
The
紫外線照射部18は、貼り合せ部16で貼り合わされた一対のディスク基板d1,d2に対してターンテーブル11の下方から紫外線を照射し、紫外線硬化樹脂を硬化させることでディスク基板d1,d2同士を接着させて一枚のディスクとする。紫外線照射部18の具体的な機構については後述する。
The
搬出部19は、紫外線の照射後、図示しないロボットアームによって、ターンテーブル11の各支持部12から貼り合わされたディスクDを順に取り出し、別の搬送機構や、図示しない収納部にディスクDを搬送する。
The unloading
図3は、紫外線照射部の構成を示す図である。図3に示すように、紫外線照射部18は、ターンテーブル11の支持部12に支持されたディスク基板d1,d2からなるディスクDの下側の面(つまり、本実施形態では下方のディスク基板d2の下方の面)に紫外線を照射する紫外線光源22を備えている。紫外線光源22は、上方に向って紫外線を含む平行光L0を照射する構成である。
FIG. 3 is a diagram illustrating a configuration of the ultraviolet irradiation unit. As shown in FIG. 3, the
ターンテーブル11の支持部12が設けられている部位及び支持部12は、少なくとも紫外線を透過可能な材質から構成されており、例えば、ガラスである。
The site | part in which the
また、紫外線照射部18には、紫外線光源22から照射された紫外線がディスク基板d2に至る経路の途中に、紫外線偏光手段21が設けられている。本実施形態では、紫外線偏光手段21として光学フィルタを使用した。紫外線照射部18は、紫外線偏光手段21を交換可能な構成とすることができる。
The
紫外線偏光手段21は、紫外線光源22から入射した平行光L0を所定の照度差となるように調整して得られる偏光L1とし、該偏光L1をターンテーブル11における支持部12の下方へ照射する。紫外線偏光手段21は、ディスク基板d2側へ射出する紫外線の照度の差が50%以上となるように構成されている。
The ultraviolet polarization means 21 converts the parallel light L0 incident from the
図4は、本実施形態の紫外線偏光手段である光学フィルタを紫外線の入射方向に見た状態を示す図である。図5は、図4の光学フィルタにおいてX方向の位置に対する紫外線の透過率の関係を示すグラフである。 FIG. 4 is a diagram showing a state in which the optical filter which is the ultraviolet polarization unit of the present embodiment is viewed in the ultraviolet incident direction. FIG. 5 is a graph showing the relationship between the transmittance of ultraviolet rays and the position in the X direction in the optical filter of FIG.
本実施形態の紫外線偏光手段として機能する光学フィルタは、紫外線が入射する方向に対して垂直な平面を有し、該平面上の所定の直線方向(図4のX方向)にその透過率が変わるように構成されている。つまり、本実施形態の光学フィルタは、その位置に応じて、紫外線光源22から入射した光を透過させる割合が異なるため、光学フィルタから射出される偏光は、透過率が大きい部分x2ではその照度P2が大きくなり、透過率が小さい部分x1,x3では、その照度P1が小さくなる。このように、本実施形態の紫外線偏光手段21は、光学フィルタの材質によって透過率が調整され、ディスク基板d2側へ射出する紫外線の照度の差(P2−P1)が50%以上となるように構成されている。
The optical filter functioning as the ultraviolet polarization means of the present embodiment has a plane perpendicular to the direction in which the ultraviolet light is incident, and its transmittance changes in a predetermined linear direction (X direction in FIG. 4) on the plane. It is configured as follows. That is, the optical filter of the present embodiment has a different ratio of transmitting the light incident from the
本実施形態のように、紫外線偏光手段21として光学フィルタを使用する場合には、紫外線を射出する面に対して垂直方向(面方向)に透過率が変わる構成であって、ディスク基板d2側へ射出する紫外線の照度の差が50%以上となる範囲であれば、透過率の分布は任意に設定することができる。 When an optical filter is used as the ultraviolet polarizing means 21 as in the present embodiment, the transmittance is changed in the direction perpendicular to the surface from which the ultraviolet light is emitted (plane direction), and the disk substrate d2 side is changed. If the difference in illuminance of the emitted ultraviolet rays is within a range of 50% or more, the transmittance distribution can be arbitrarily set.
図6は、本実施形態の光学フィルタの他の形態を説明する図である。図7は、光学フィルタの他の形態を説明する図である。図6及び図7は、ともに、紫外線を有する光が透過する方向に対して垂直な面を平面視した状態の光学フィルタである。図6及び図7の光学フィルタは、それぞれ、紫外線の透過率が大きい部分を濃いトーンで示し、透過率が小さい部分を薄いトーンで示している。 FIG. 6 is a diagram illustrating another form of the optical filter of the present embodiment. FIG. 7 is a diagram illustrating another form of the optical filter. 6 and 7 are optical filters in a state where a plane perpendicular to the direction in which light having ultraviolet rays is transmitted is viewed in plan. In the optical filters of FIGS. 6 and 7, a portion where the transmittance of ultraviolet rays is large is indicated by a dark tone, and a portion where the transmittance is low is indicated by a thin tone.
図6に示すように、光学フィルタは、所定の直線方向に向って次第に透過率が大きくなる(又は小さくなる)構成とすることができる。また、図7に示すように、光学フィルタは、中心に向って透過率が小さくなる(又は大きくなる)構成とすることができる。光学フィルタにおける透過率の分布のパターンは、これらに限定されず、射出する紫外線の照度の差を50%以上とすることができれば、適宜変形することができる。 As shown in FIG. 6, the optical filter can be configured such that the transmittance gradually increases (or decreases) in a predetermined linear direction. Further, as shown in FIG. 7, the optical filter can be configured such that the transmittance decreases (or increases) toward the center. The pattern of the transmittance distribution in the optical filter is not limited to these, and can be appropriately modified as long as the difference in illuminance of the emitted ultraviolet light can be 50% or more.
このような光学フィルタとしては、所定の透過率のパターンを有する液晶パネルを使用することができる。この場合、製造するディスクの所望の反り角となる透過率の分布を予め測定し、この測定した透過率の分布に基づいて、パネル上の液晶分子の配向を調整することで、所定の透過率のパターンを有する液晶パネルを得ることができる。 As such an optical filter, a liquid crystal panel having a predetermined transmittance pattern can be used. In this case, a predetermined transmittance can be obtained by measuring in advance the transmittance distribution that provides the desired warping angle of the disk to be manufactured and adjusting the orientation of the liquid crystal molecules on the panel based on the measured transmittance distribution. A liquid crystal panel having the following pattern can be obtained.
本発明に係る貼り合せ装置10は、紫外線偏光手段21を備え、紫外線硬化樹脂に紫外線を照射して硬化する際に、ディスク基板d2に照射する紫外線の照射量を紫外線偏光手段21によって制御することで、ディスク基板d1を貼りあわせてなるディスクDに所定の反り角を付けることができる。このため、従来のディスクの製造工程のようにディスク基板を貼り合わせた後で、ディスクを成型機で反り角を付ける工程を行う必要がなく、製造タスクを向上することができる。
The
次に、本発明の実施例を説明する。
上記実施形態の貼り合せ装置を使用し、実施例1,2及び比較例2として、それぞれ所定の透過率分布を有する光学フィルタで制御して紫外線硬化樹脂を硬化させ、反り角をつけてディスクを製造した後、同様の条件で製造されたディスク8枚を同じ条件で回転させて面振れの量をそれぞれ測定した。また、比較例1では、従来の貼り合せ装置を使用し、紫外線光源から紫外線を含む平行光を照射して紫外線硬化樹脂を硬化させ、ディスクを製造した後、同様の条件で製造されたディスク8枚を同じ条件で回転させて面振れの量を測定した。なお、比較例1,2及び実施例1,2のいずれについても、ディスクの半径Rを58mmの位置の面振れ量を測定することとした。実施例1,2及び比較例1,2で使用した光学フィルタの条件を下記表に示す。
Next, examples of the present invention will be described.
Using the laminating apparatus of the above embodiment, as Examples 1 and 2 and Comparative Example 2, the optical curing resin is controlled by an optical filter having a predetermined transmittance distribution, and the ultraviolet curable resin is cured, and a disk is formed with a warp angle. After manufacturing, eight discs manufactured under the same conditions were rotated under the same conditions, and the amount of surface runout was measured. In Comparative Example 1, a conventional laminating apparatus was used to irradiate parallel light including ultraviolet rays from an ultraviolet light source to cure the ultraviolet curable resin, to manufacture a disk, and then the disk 8 manufactured under the same conditions. The amount of runout was measured by rotating the sheet under the same conditions. In each of Comparative Examples 1 and 2 and Examples 1 and 2, the surface runout amount at a position where the radius R of the disk was 58 mm was measured. The conditions of the optical filters used in Examples 1 and 2 and Comparative Examples 1 and 2 are shown in the following table.
比較例1,2の結果をそれぞれ図8,9に示し、実施例1,2の結果をそれぞれ図10,11に示す。図8から図11は、ディスクを回転させた際に、ディスクの測定位置(°)に対する面振れ量(mm)の関係を示すグラフである。 The results of Comparative Examples 1 and 2 are shown in FIGS. 8 and 9, respectively, and the results of Examples 1 and 2 are shown in FIGS. 10 and 11, respectively. 8 to 11 are graphs showing the relationship of the surface runout amount (mm) with respect to the measurement position (°) of the disk when the disk is rotated.
図8に示すように、比較例1では、各ディスク同士間で、ディスクの測定位置に対する面振れ量が一定ではなく、周期性がないことがわかった。また、図9に示すように、比較例2では、比較例1と同様にディスクの測定位置に対する面振れ量に周期性がないことがわかった。 As shown in FIG. 8, in Comparative Example 1, it was found that the surface runout amount with respect to the measurement position of the disk was not constant between the disks, and there was no periodicity. Further, as shown in FIG. 9, in Comparative Example 2, it was found that the surface runout amount with respect to the measurement position of the disk has no periodicity as in Comparative Example 1.
図10に示すように、実施例1では、面振れ量がディスク1回転に2周期で変化することがわかった。また図11に示すように、実施例2では、実施例1に比較して、面振れ量がディスク1回転に2周期でより顕著に変化することがわかった。ここで、面振れ量がディスク1回転に対して安定した周期をみせることで、安定した記録再生を行うことができるといえる。このように、紫外線硬化樹脂を硬化させる際に、透過率差を65%以上としてディスクに反り角をつけることで、面振れ量が一定の周期となり、安定した記録再生を行うことができることがわかった。 As shown in FIG. 10, in Example 1, it was found that the surface runout amount changed in two cycles for one rotation of the disk. Further, as shown in FIG. 11, in Example 2, it was found that the surface runout amount changed more significantly in two cycles per rotation of the disk than in Example 1. Here, it can be said that stable recording and reproduction can be performed by showing a stable period with respect to one rotation of the disk. Thus, when curing the ultraviolet curable resin, it can be seen that by making the disc a warp angle with a transmittance difference of 65% or more, the amount of surface deflection becomes a constant period and stable recording and reproduction can be performed. It was.
10 貼り合せ装置
11 ターンテーブル(搬送部材)
12 支持部
16 貼り合せ部
18 紫外線照射部
21 紫外線偏光手段
22 紫外線光源
d1,d2 ディスク基板
D ディスク
10
12 Supporting
Claims (4)
前記ディスク基板の一方の面に紫外線を照射する紫外線光源と、
前記紫外線光源から照射された紫外線が前記ディスク基板に至る経路の途中に設けられた紫外線偏光手段とを備え、
前記紫外線偏光手段は、前記ディスク基板側へ射出する紫外線の照度の差が50%以上であることを特徴とするディスク基板の貼り合わせ装置。 A disk substrate bonding apparatus for irradiating two disk substrates bonded via an ultraviolet curable resin with ultraviolet rays to cure the ultraviolet curable resin,
An ultraviolet light source that irradiates one surface of the disk substrate with ultraviolet light;
UV polarization means provided in the middle of the path where the ultraviolet light emitted from the ultraviolet light source reaches the disk substrate,
The disk substrate bonding apparatus, wherein the ultraviolet polarization means has a difference in illuminance of ultraviolet light emitted to the disk substrate side of 50% or more.
前記ディスク基板の一方の面に紫外線を照射し、
照射された紫外線が前記ディスク基板に至る経路の途中で紫外線を紫外線偏光手段によって偏光する際に、前記紫外線偏光手段は、前記ディスク基板側へ射出する紫外線の照度の差が50%以上であることを特徴とするディスク基板の貼り合わせ方法。 A method of laminating a disk substrate by irradiating two disk substrates bonded via an ultraviolet curable resin with ultraviolet rays to cure the ultraviolet curable resin,
Irradiate one side of the disk substrate with ultraviolet light,
When the irradiated ultraviolet rays are polarized by the ultraviolet polarization means in the middle of the path to the disk substrate, the ultraviolet polarization means has a difference in illuminance of the ultraviolet rays emitted to the disk substrate side of 50% or more. A method of laminating a disk substrate characterized by
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