[go: up one dir, main page]

JP2007064851A - コイル、コイルモジュールおよびその製造方法、ならびに電流センサおよびその製造方法 - Google Patents

コイル、コイルモジュールおよびその製造方法、ならびに電流センサおよびその製造方法 Download PDF

Info

Publication number
JP2007064851A
JP2007064851A JP2005252805A JP2005252805A JP2007064851A JP 2007064851 A JP2007064851 A JP 2007064851A JP 2005252805 A JP2005252805 A JP 2005252805A JP 2005252805 A JP2005252805 A JP 2005252805A JP 2007064851 A JP2007064851 A JP 2007064851A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
winding
coil
lead
pedestal
innermost circumference
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP2005252805A
Other languages
English (en)
Inventor
Shigeru Shoji
茂 庄司
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
TDK Corp
Original Assignee
TDK Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by TDK Corp filed Critical TDK Corp
Priority to JP2005252805A priority Critical patent/JP2007064851A/ja
Priority to US11/511,456 priority patent/US20070044370A1/en
Publication of JP2007064851A publication Critical patent/JP2007064851A/ja
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R15/00Details of measuring arrangements of the types provided for in groups G01R17/00 - G01R29/00, G01R33/00 - G01R33/26 or G01R35/00
    • G01R15/14Adaptations providing voltage or current isolation, e.g. for high-voltage or high-current networks
    • G01R15/20Adaptations providing voltage or current isolation, e.g. for high-voltage or high-current networks using galvano-magnetic devices, e.g. Hall-effect devices, i.e. measuring a magnetic field via the interaction between a current and a magnetic field, e.g. magneto resistive or Hall effect devices
    • G01R15/207Constructional details independent of the type of device used
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R15/00Details of measuring arrangements of the types provided for in groups G01R17/00 - G01R29/00, G01R33/00 - G01R33/26 or G01R35/00
    • G01R15/14Adaptations providing voltage or current isolation, e.g. for high-voltage or high-current networks
    • G01R15/20Adaptations providing voltage or current isolation, e.g. for high-voltage or high-current networks using galvano-magnetic devices, e.g. Hall-effect devices, i.e. measuring a magnetic field via the interaction between a current and a magnetic field, e.g. magneto resistive or Hall effect devices
    • G01R15/205Adaptations providing voltage or current isolation, e.g. for high-voltage or high-current networks using galvano-magnetic devices, e.g. Hall-effect devices, i.e. measuring a magnetic field via the interaction between a current and a magnetic field, e.g. magneto resistive or Hall effect devices using magneto-resistance devices, e.g. field plates

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Measuring Instrument Details And Bridges, And Automatic Balancing Devices (AREA)
  • Transformers For Measuring Instruments (AREA)

Abstract

【課題】 コンパクトでありながら、検出対象電流による電流磁界を高精度に、かつ安定して検出可能な電流センサを提供する。
【解決手段】 電流センサは、台座7および蓋8からなる筐体3と、台座7の凹部74に収容され、直線部分511A〜515A,511B〜515Bおよび半周回部分512C〜515C,511D〜515Dを有する巻回部ならびに引き出し部52,53を有するコイル5とを備える。引き出し部52は直線部分511Aと連続してその延長上に延在する引き出し直線部分521を含み、半周回部分512C〜515Cは、引き出し直線部分521を乗り越えつつ、それ以外の領域では巻回部511Aと同一階層内において巻回している。このため、コイル5が発生する電流磁界の分布が全体として比較的均質なものとなる。磁気センサ6に対して十分に安定した電流磁界を所定の方向へ付与することができる。
【選択図】 図3

Description

本発明は、電流が供給されることにより電流磁界を発生するコイル、そのようなコイルを備えたコイルモジュールおよび電流センサ、ならびにコイルモジュールおよび電流センサの製造方法に関する。
一般に、制御機器の回路に流れる微小な制御電流を正確に検知するにあたっては、その回路内に抵抗を直列接続し、この抵抗の電圧降下を測定する方法を用いる。しかし、この場合には、制御系とは異なる負荷が加わることとなり制御系に対して何らかの悪影響を与える可能性が生じてしまう。このため、制御電流によって発生する電流磁界の勾配を検出することによって間接的に測定する方法が用いられている。具体的には、例えば、巨大磁気抵抗効果(Giant Magneto-Resistive effect)を発現する巨大磁気抵抗効果素子(以下、GMR素子)を4つ用いてホイートストンブリッジを構成すると共に4つのGMR素子と近接して配置した直線状またはU字状の導体(バスライン)に上記の制御電流を導くことにより電流磁界を発生させ、各GMR素子の抵抗値の差分から、その電流磁界の勾配を検出する方法である(例えば、特許文献1参照)。
米国特許第5621377号明細書
ところがGMR素子を利用した電流センサであっても、例えば10アンペア(A)を下回るような微弱な電流を測定する場合には、1本の導体から発生する電流磁界だけでは不十分となることが多い。その場合には、おおよそ同一階層内を複数回巻回するコイルをバスラインとして用いる方法が考えられる。しかしながら、直線状またはU字状のバスラインと比べ、このようなコイルによって発生する磁界分布はばらつきが大きく、より微弱な電流を精度よく測定するには不向きであった。
本発明はかかる問題に鑑みてなされたもので、その目的は、コンパクトでありながら、測定対象電流が生じる電流磁界を利用して電流を高精度に、かつ安定して測定することの可能な電流センサ、ならびに、そのような電流センサへの搭載に好適なコイルおよびコイルモジュールを提供することにある。さらに、上記のような電流センサおよびコイルモジュールの製造方法を提供することにある。
本発明のコイルは、直線部分および半周回部分を含む複数の巻回部と、これら巻回部のうちの最内周から引き出された引き出し部とを有する一の線材からなるコイルであって、引き出し部が、最内周の直線部分から連続してその延長上に延在する引き出し直線部分を含み、巻回部のうちの最内周を除く半周回部分が、引き出し直線部分を乗り越えつつ、この引き出し直線部分以外の領域では巻回部の最内周と同一階層内に位置するように巻回したものである。
本発明のコイルモジュールは、台座と、蓋と、台座および蓋を組み合わせたときに生ずる空間に収容されると共に、直線部分および半周回部分を含む複数の巻回部と、巻回部のうちの最内周から引き出された引き出し部とを有する一の線材からなるコイルとを備えるようにしたものである。ここでは、引き出し部が最内周の直線部分から連続してその延長上に延在する引き出し直線部分を含み、巻回部のうちの最内周を除く半周回部分が、引き出し直線部分を乗り越えつつ、この引き出し直線部分以外の領域では巻回部の最内周と同一階層内に位置するように巻回している。
本発明のコイルまたはコイルモジュールでは、引き出し直線部分が最内周の巻回部における直線部分から連続してその延長上に延在し、最内周を除く半周回部分が、引き出し部の直線部分を乗り越えつつ、引き出し直線部分以外の領域では巻回部の最内周と同一階層内に位置するように巻回しているので、電流を流したときに、最内周の直線部分において生じる電流磁界が、引き出し直線部分において生じる電流磁界による影響を受けにくくなる。本発明のコイルまたはコイルモジュールでは、特に、隣り合う巻回部同士が、少なくとも直線部分において互いに接するように巻回していることが望ましい。
本発明の電流センサは、台座と、蓋と、台座および蓋を組み合わせたときに生ずる空間に収容されると共に直線部分および半周回部分を含む複数の巻回部と巻回部のうちの最内周から引き出された引き出し部とを有する一の線材からなるコイルと、巻回部の直線部分に対応した位置に配置された磁気センサとを備えるようにしたものである。ここでは、引き出し部が最内周の直線部分から連続してその延長上に延在する引き出し直線部分を含み、巻回部のうちの最内周を除く半周回部分が、引き出し直線部分を乗り越えつつ、この引き出し直線部分以外の領域では巻回部の最内周と同一階層内に位置するように巻回している。
本発明の電流センサでは、引き出し直線部分が最内周の巻回部における直線部分から連続してその延長上に延在し、最内周を除く半周回部分が、引き出し直線部分を乗り越えつつ、引き出し直線部分以外の領域では巻回部の最内周と同一階層内に位置するように巻回しているので、コイルに電流を流したときに、最内周の直線部分において生じる電流磁界が、引き出し直線部分において生じる電流磁界による影響を受けにくくなる。このため、磁気センサに対して、より安定した電流磁界が所定の方向へ付与されることとなる。
本発明のコイルモジュールの製造方法は、柱状の巻心が立設されてなる台座を用意し、この巻心を中心として一の線材を巻回することにより、直線部分および半周回部分を含む複数の巻回部と、巻回部のうちの最内周から引き出された引き出し部とを有するコイルを形成するステップと、コイルを挟んで台座と対向するように蓋を被せるステップと、巻回部と台座とを接着固定するステップとを含むようにしたものである。コイルを形成するステップでは、最内周の直線部分から連続してその延長上に延在する引き出し直線部分を含むように引き出し部を形成し、かつ、引き出し直線部分を乗り越えつつ、この引き出し直線部分以外の領域では巻回部の最内周と同一階層内に位置するように最内周を除く半周回部分を形成する。
本発明の電流センサの製造方法は、柱状の巻心が立設されてなる台座を用意し、この巻心を中心として一の線材を巻回することにより、直線部分および半周回部分を含む複数の巻回部と、巻回部のうちの最内周の巻回部から引き出された引き出し部とを有するコイルを形成するステップと、コイルを挟んで台座と対向するように蓋を被せるステップと、巻回部と台座とを接着固定するステップと、巻回部の直線部分に対応した位置に磁気センサを配置するステップとを含むようにしたものである。コイルを形成するステップでは、最内周の直線部分と連続してその延長上に延在する引き出し直線部分を含むように引き出し部を形成し、かつ、引き出し直線部分を乗り越えつつ、この引き出し直線部分以外の領域では巻回部の最内周と同一階層内に位置するように最内周を除く半周回部分を形成する。
本発明のコイルモジュールおよび電流センサの製造方法では、最内周の直線部分から連続してその延長上に延在する引き出し直線部分を含むように引き出し部を形成し、かつ、引き出し直線部分を乗り越えつつ、この引き出し直線部分以外の領域では巻回部の最内周と同一階層内に位置するように最内周を除く半周回部分を形成するようにしたので、このコイルに電流を流したときに、最内周の直線部分において生じる電流磁界が、引き出し直線部分において生じる電流磁界による影響を受けにくくなる。
本発明のコイル、コイルモジュールまたは電流センサによれば、引き出し部が最内周の直線部分から連続してその延長上に延在する引き出し直線部分を含み、最内周を除く半周回部分が、引き出し直線部分を乗り越えつつ、この引き出し直線部分以外の領域では巻回部の最内周と同一階層内に位置するように巻回しているので、電流を流した際、最内周の直線部分において生ずる電流磁界の強度および方向が比較的安定化する。このため、コイル全体が発生する電流磁界の分布が比較的均質なものとなる。特に、本発明の電流センサによれば、巻回部の直線部分に対応した位置に磁気センサを配置するようにしたので、磁気センサに対して十分に安定した電流磁界を所定の方向へ付与することができ、微弱な電流であっても高精度に検出することが可能となる。また、本発明のコイルモジュールの製造方法または電流センサの製造方法によれば、上記のような高品質のコイルモジュールまたは電流センサを比較的簡便かつ高精度に製造することができる。
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照して詳細に説明する。
最初に、図1〜図4を参照して、本発明の一実施の形態としての電流センサの構成について説明する。図1は、コイルモジュール1および磁気センサ6を備えた本実施の形態の電流センサの構成図である。特に、図1(A)は平面図であり、図1(B)は図1(A)のIB−IB切断線に沿った矢視方向の断面図である。但し、図1(A)では、簡略化のためコイルモジュール1および磁気センサ6の構成のみを示す。
この電流センサは、支持基板2に固定された筐体3と、筐体3の内部において巻回するように収容され、かつ両端末が筐体3の外部に引き出されて接着部4で固定されたコイル5と、支持基板2における筐体3の反対側に設けられた巨大磁気抵抗効果素子(GMR素子)61,62を含む磁気センサ6とを備えている。ここで、筐体3およびコイル5がコイルモジュール1を構成するものである。筐体3は、おおよそ直方体をなしており、例えばX軸方向の寸法が約10mm、Y軸方向の寸法が約20mm、Z軸方向の寸法が約1mmである。筐体3は台座7および蓋8の2つの部材により構成され、台座7が支持基板2と接するように固定されている。また、コイル5は、巻心72(後出)の周囲を巻回する複数の巻回部51(511〜515)と、この巻回部51のうちの最内周の巻回部511からの引き出し部52,53(後出)とを有している。さらに、支持基板2には、GMR素子61,62に対してバイアス磁界を印加する永久磁石HM1,HM2や、定電流源91,92(後出)を含む検出回路9などが設けられている。
図2は、筐体3における台座7の構成を表しており、特に図2(A)が平面図であり図2(B)が側面図である。台座7は、例えば0.35mmの厚みをなす基板71の上に巻心72を設けるようにしたものである。巻心72は、例えば、7.5mmの長辺および1.8mmの短辺からなる長方形部分721と、半径が0.9mmである2つの半円部分722,723とを組み合わせた平面形状を有している。ここで、2つの半円部分722,723は、その半径部分が長方形部分721の短辺と接するように組み合わされている。また、巻心72は、コイル5を構成するエナメル被覆導線(後出)の直径と対応した高さ(例えば0.55mm)を有している。また、台座7には、基板71の外縁に沿って基板71に立設する外壁731〜733からなる外壁群73が設けられており、これにより凹部74が形成されている。凹部74は、コイル5の直径に相当する(例えば0.55mmの)深さを有している。凹部74は、コイル5の巻回部51(後出)を収容するスペースである。凹部74における内壁面741および内壁面742は、巻心72の中心位置(長方形部分721の短辺方向の中心位置)を通る中心線CLから互いに等距離にあり、かつ中心線CLと平行をなしている。すなわち、長方形部分721の長辺とそれぞれ平行をなすように対向している。巻心72と、内壁面741および内壁面742との間には、例えば5ターン分のスペースがある。台座7は、さらに、コイル5の両端末を外部に引き出すための切り欠き部76A,76Bを有している。さらに、コイルモジュール1を製造するにあたって、コイル5を凹部74に接着固定させる際に接着剤の余剰分を排出するためのドレイン77を有している。また、ピン78は、コイル5の巻き付け操作を行う際、コイル5を支持するように機能するものである。
図3(A)は台座7の凹部74に収容されたコイル5の平面形状を表し、図3(B)は図3(A)に示したIIIB−IIIB切断線に沿った矢視方向の断面構成を表している。コイル5は、例えば0.55mmの直径を有するエナメル被覆導線(以下、線材という)からなり、上記したように、巻心72の周囲を巻回する複数の巻回部51(511〜515)と、引き出し部52,53とを有している。巻回部51は、巻心72のX軸方向の幅に対応した所定間隔を隔てて対向し、かつ互いに平行に延在する直線部分511A〜515Aおよび直線部分511B〜515Bと、それらを連結する半周回部分512C〜515C,511D〜515Dとを有している。
引き出し部52は、直線部分511Aと連続してその延長上に延在する引き出し直線部分521と、この引き出し直線部分521と順次連続して設けられた屈曲部分522および直線部分523を有している。直線部分523は、台座7の切り欠き部76Bから外部へ引き出されている。巻回部511および引き出し直線部分521は、基板71の表面(凹部74の底面)と接するように同一階層内に配設されている。
直線部分511A〜515Aおよび直線部分511B〜515Bは、それぞれ互いに隣り合うもの同士が隙間を空けることなく密に接している。また、最外周の巻回部515における直線部分515A,515Bは、それぞれ内壁面741,742と密接している。さらに半周回部分512C〜515Cは、引き出し部52の直線部分521を乗り越えるように巻回している。但し、直線部分521に対応する領域以外の領域では最内周の巻回部511と同一階層内に位置するように、すなわち基板71の表面上において巻回している。
最外周の直線部分515Bは、台座7の切り欠き部76Aから外部へ引き出された引き出し部53と繋がっている。
GMR素子61,62は、図3(A)において破線で示したように、直線部分511A〜515Aまたは直線部分511B〜515Bに対応した位置に配置されている。この場合、中心線CLから互いに等距離の位置に配置されていることが望ましい。
図4は蓋8の構成を表しており、特に図4(A)が平面図であり図4(B)が側面図である。蓋8は、例えば1.1mmの厚みを有する平行平板であり、開口81〜83を有している。開口81〜83は、コイルモジュール1を製造するにあたって、コイル5を凹部73に接着固定するための接着剤を流し込んだり、その接着剤が硬化するまでコイル5を治具などによって台座7へ押しつけたり、あるいはコイル5の巻回部が互いに交差したり曲がったりしていないことを目視等により確認するために使用する孔である。開口81〜83は、例えば2〜3mm程度の直径を有している。さらに蓋8は、巻回部512〜515が引き出し直線部分521を乗り越えた領域に対応した位置に凹部84を有している。凹部84は、線材の直径に相当する深さを有している。このため、蓋8を被せることにより、台座7の凹部74に収容されたコイル5が筐体3の内部で固定されることとなる。
このような構成の電流センサは、磁気センサ6を利用することによってコイル5に供給される検出対象電流Imを測定するものである。図5に、本実施の形態の電流センサにおける回路構成を示す。なお、図5では、コイル5を簡略化してU字形状をなすように示している。また、図5における検出対象電流Im、補償電流Id、電流磁界Hm、補償電流磁界Hd、バイアス磁界Hb1,Hb2および電流I0の全ての矢印の方向は、GMR素子61,62との相対的な方向を示している。
図5に示したように、GMR素子61とGMR素子62とは第1の接続点P1において互いに接続されている。GMR素子61,62は中心線CLから互いに等距離の位置に配置されているので、検出対象電流Imによって生じる電流磁界Hmが等しい大きさで及ぶこととなる。但し、GMR素子61に対しては−X方向へ電流磁界Hmが及び、一方でGMR素子62に対しては+X方向へ電流磁界Hmが及ぶこととなる。したがって、GMR素子61,62は、電流センサの駆動時において、電流磁界Hmによって各々の抵抗値R1,R2が互いに逆方向の変化を示すようになっている。
検出回路9は定電流源91,92を含んでおり、それらは互いの一端同士が第2の接続点P2において接続されている。定電流源91は、第3の接続点P3において、GMR素子61における第1の接続点P1とは反対側の端部と接続されており、一方の定電流源92は、第4の接続点P4において、GMR素子62における第1の接続点P1とは反対側の端部と接続されている。より具体的には、GMR素子61および定電流源91が直列接続されていると共にGMR素子62および定電流源92が直列接続されており、それらが互いに並列接続された状態となっている。ここで、定電流源91および定電流源92は、互いに等しい値の定電流I0をGMR素子61およびGMR素子62にそれぞれ供給するように構成されている。
また、永久磁石HM1,HM2は、(支持基板2上において)GMR素子61,62を挟んで対向するように配置されている。
以下、図5を参照して、検出対象電流Imによって形成される電流磁界Hmを測定する方法について説明する。
図5において、第1の接続点P1と第2の接続点P2との間に所定の電圧を印加した際の定電流源91,92からの定電流をI0とし、GMR素子61,62の抵抗値をそれぞれR1,R2とする。電流磁界Hmが印加されていない場合、第3の接続点P3における電位V1は、
V1=I0・R1
であり、第4の接続点P4における電位V2は、
V2=I0・R2
となる。よって、第3の接続点P3と第4の接続点P4との間の電位差は、
V0=V1−V2
=I0・R1−I0・R2
=I0・(R1−R2) …(1)
この回路では、電流磁界Hmが印加されたときに、電位差V0を測定することにより抵抗変化量が得られる。例えば電流磁界Hmが印加されたときに、抵抗値R1,R2がそれぞれ変化量ΔR1,ΔR2だけ増加したとすると、式(1)は、
V0=V1−V2
=I0・(R1−R2)
=I0・{(R1+ΔR1)−(R2+ΔR2)} …(2)
となる。
すでに述べたように、GMR素子61,62は電流磁界Hmによって各々の抵抗値R1,R2が互いに逆方向の変化を示すように配置されていることから、変化量ΔR1と変化量ΔR2とは互いの正負が逆の符号となる。したがって、式(2)において、電流磁界Hmが印加される前の抵抗値R1および抵抗値R2は互いに打ち消し合う一方で、変化量ΔR1および変化量ΔR2はそのまま維持される。
仮に、GMR素子61,62が全く同一の特性を有するとした場合、すなわち、
R1=R2=R
かつ
ΔR1=−ΔR2=ΔR
であると仮定した場合、式(3)は、
V0=I0・(R1+ΔR1−R2−ΔR2)
=I0・(R+ΔR−R+ΔR)
=I0・(2ΔR) …(4)
となる。したがって、予め外部磁界と抵抗変化量との関係を把握したGMR素子61,62を用いるようにすれば、電流磁界Hmの大きさを測定することができ、その電流磁界Hmを発生する検出対象電流Imの大きさを推定することができる。この場合、2つのGMR素子61,62を用いてセンシングを行っているので、GMR素子61またはGMR素子62を単独で用いてセンシングを行う場合と比べて2倍の抵抗変化量を取り出すことができ、測定値の高精度化に有利となる。また、4つのGMR素子を用いてブリッジ回路を構成してセンシングを行う場合と比べ、GMR素子同士の特性のばらつきや接続抵抗のばらつき等を小さく抑えることができるので、感度が高いGMR素子を用いた場合であってもバランス調整が容易である。また、GMR素子自体の個数を減らすことができ、それに伴い端子の数も減るので、省スペース化に有利となる。
さらに、この電流センサでは、第3の接続点P3において検出される電位V1と第4の接続点P4において検出される電位V2とが差動増幅器AMPに供給されて、その差分(電位差V0)が零となるような補償電流Idが出力される。差動増幅器AMPからの補償電流Idは、GMR素子61,62の近傍を検出対象電流Imとは正反対の方向へ流れることにより電流磁界Hmとは逆方向の補償電流磁界Hdを生じ、回路中の接続抵抗のばらつきやGMR素子61,62の相互間における特性のばらつき、温度分布の偏り、あるいは外部からの妨害磁界などに起因する誤差分をキャンセルするように作用するので、結果として電流磁界Hmのみに比例した大きさに近づくこととなる。したがって、補償電流検出手段Sにおいて、出力電圧Voutを測定し、既知の抵抗体RLとの関係から補償電流Idを算出することにより、電流磁界Hmをより正確に求めることができ、ひいては検出対象電流Imの大きさを高精度に推定することができる。
続いて、本実施の形態における電流センサの製造方法について説明する。
まず、図2(A),(B)の構造をなす台座7を用意し、これに線材を巻き付けることによりコイル5を形成する。具体的には、図3(A)に示したように、線材を、切り欠き部76Bを通したのち、外壁732とピン78との間を通し、さらに、巻心72の外縁に沿ってその周囲を周回させることにより、引き出し部52と、それに続く最内周の巻回部511とを形成する。さらに続けて最内周の巻回部511を外縁に沿って外側を巻回するように線材を巻き付けることにより他の巻回部512〜515を順次形成し、最終的に切り欠き部76Aから外部へ引き出すようにする。この際、引き出し直線部分521を乗り越えるように他の巻回部512〜515を巻き付けるようにする。
コイル5を形成したのち、巻回部511〜515に接着剤を滴下し、蓋8を被せる。こののち、開口81〜83から所定の治具により巻回部511〜515を台座7に押しつけた状態で接着剤を硬化させ、巻回部511〜515と台座7とを接着固定する。このとき、余分な接着剤をドレイン77から排出させるようにする。さらに、切り欠き部76A,76Bにおいて引き出し部52,53を台座7に接着固定させることにより、コイルモジュール1が完成する。
最後に、磁気センサ6、永久磁石HM1,HM2および検出回路9などを支持基板2の一方の面上における所定位置に配置したのち、支持基板2の他方の面にモジュール1を接着固定する。このとき、GMR素子61,62が、直線部分511A〜515A,511B〜515Bとそれぞれ対応した位置となるように調整する。以上により、本実施の形態の電流センサが完成する。
以上説明したように、本実施の形態の電流センサによれば、引き出し部52が、最内周の直線部分511Aと連結してその延長上に配置された引き出し直線部分521を有しており、半周回部分512C〜515Cが、引き出し直線部分521を乗り越えつつ、それ以外の領域では最内周の巻回部511と同一階層内において巻回するようにしたので、コイル5に検出対象電流Imを流したときに、直線部分511Aにおいて生じる電流磁界が、引き出し直線部分521において生じる電流磁界による影響を受けにくくなる。すなわち、直線部分511Aにおいて生ずる電流磁界の強度および方向が比較的安定化する。このため、コイル5全体が発生する電流磁界の分布が比較的均質なものとなる。したがって、直線部分511A〜515Aに対応して配置されたGMR素子61、および直線部分511B〜515Bに対応して配置されたGMR素子62に対して、互いに等しく、かつ互いに逆向きをなす安定した電流磁界を付与することができ、微弱な電流であっても高精度に検出することが可能となる。また、本実施の形態の電流センサの製造方法によれば、上記のような高品質の電流センサを、比較的簡便かつ高精度に製造することができる、
以上、実施の形態を挙げて本発明を説明したが、本発明は上記の実施の形態に限定されず、種々の変形が可能である。例えば本実施の形態では、コイルの巻回部を5ターン分としたが、これに限定されるものではない。
また、図6に示したように、台座の巻心を2つの柱状の巻心75A,75Bによって構成するようにしてもよい。巻心75A,75Bは、互いに等しい寸法を有する円柱であり、例えば、1.8mmの直径と0.55mmの高さとを有している。
さらに、上記実施の形態では、磁気センサが2つのGMR素子によって構成された例について説明するようにしたが、本発明はこれに限定されるものでもない。例えば、図7に示したコイルモジュール1Aのように、さらに2つのGMR素子63,64を巻回部分51に沿って配置するようにしてもよい。その場合には図8に示した回路図のように、GMR素子61〜64によってフルブリッジを構成することができる。この場合、第1の接続点P1と第2の接続点P2との間に所定の電圧を印加し、第3の接続点P3および第4の接続点P4から出力を検出することによってコイル5に流れる検出対象電流Imの大きさを測定することができる。
さらに、上記実施の形態では筐体の台座側に磁気センサを設けるようにしたが、これとは反対に、蓋側に磁気センサを設けるようにしてもよい。あるいは、台座側および蓋側の双方に設けるようにしてもよい。したがって、例えば、コイルを挟むように配置された2つのフルブリッジ回路を構成し、より精密な検出対象電流の測定を行うことも可能である。
本発明の一実施の形態に係る電流センサの構造を示した平面図および断面図である。 図1に示した電流センサにおける台座の構造を示した平面図および側面図である。 図1に示した電流センサにおけるコイルの構造を示した平面図および断面図である。 図1に示した電流センサにおける蓋の構造を示した平面図および側面図である。 図1に示した電流センサに対応する回路図である。 図2に示した台座の変形例の構造を示した平面図である。 本発明の一実施の形態に係る電流センサにおける変形例としての構造を示した平面図である。 図7に示した変形例としての電流センサに対応する回路図である。
符号の説明
1,1A…コイルモジュール、2…支持基板、3…筐体、4…接着部、5…コイル,51(511〜515)…巻回部、511A〜515A,511B〜515B…直線部分、512C〜515C,511D〜515D…半周回部分、52…引き出し部、6…磁気センサ、61,62…巨大磁気抵抗効果(GMR)素子、7…台座、72…巻心、73…外壁群、74…凹部、8…蓋、81〜83…開口、84…凹部、9…検出回路、91,92…定電流源、CL…中心線、Im…検出対象電流、Hb…バイアス磁界、Hm…電流磁界、HM1,HM2…永久磁石。

Claims (16)

  1. 直線部分および半周回部分を含む複数の巻回部と、前記巻回部のうちの最内周から引き出された引き出し部とを有する一の線材からなるコイルであって、
    前記引き出し部が、前記最内周の直線部分から連続してその延長上に延在する引き出し直線部分を含み、
    前記巻回部のうちの最内周を除く半周回部分が、前記引き出し直線部分を乗り越えつつ、この引き出し直線部分以外の領域では前記巻回部の最内周と同一階層内に位置するように巻回している
    ことを特徴とするコイル。
  2. 隣り合う巻回部同士が、少なくとも直線部分において互いに接するように巻回している
    ことを特徴とする請求項1に記載のコイル。
  3. 台座と、
    蓋と、
    前記台座および蓋を組み合わせたときに生ずる空間に収容されると共に、直線部分および半周回部分を含む複数の巻回部と、前記巻回部のうちの最内周から引き出された引き出し部とを有する一の線材からなるコイルと
    を備え、
    前記引き出し部が、前記最内周の直線部分から連続してその延長上に延在する引き出し直線部分を含み、
    前記巻回部のうちの最内周を除く半周回部分が、前記引き出し直線部分を乗り越えつつ、この引き出し直線部分以外の領域では前記巻回部の最内周と同一階層内に位置するように巻回している
    ことを特徴とするコイルモジュール。
  4. 前記台座は、前記巻回部に対応した領域に凹部を有し、その凹部に前記巻回部が収容されている
    ことを特徴とする請求項3に記載のコイルモジュール。
  5. 前記凹部は、前記線材の直径に相当する深さを有している
    ことを特徴とする請求項4に記載のコイルモジュール。
  6. 前記台座は前記凹部の内部に立設する巻心を有しており、前記コイルは前記巻心を中心として巻回している
    ことを特徴とする請求項4または請求項5に記載のコイルモジュール。
  7. 前記巻心は、互いに等しい径を有する一対の円柱からなる
    ことを特徴とする請求項6に記載のコイルモジュール。
  8. 前記蓋は、前記巻回部のうちの最内周を除く半周回部分が前記引き出し直線部分を乗り越えている領域に対応した位置に凹部を有している
    ことを特徴とする請求項3から請求項7のいずれか1項に記載のコイルモジュール。
  9. 前記蓋の凹部は、前記線材の直径に相当する深さを有している
    ことを特徴とする請求項8に記載のコイルモジュール。
  10. 前記蓋は、前記巻回部に対応した位置に少なくとも1つの開口を有している
    ことを特徴とする請求項3から請求項9のいずれか1項に記載のコイルモジュール。
  11. 台座と、
    蓋と、
    前記台座および蓋を組み合わせたときに生ずる空間に収容されると共に、直線部分および半周回部分を含む複数の巻回部と、前記巻回部のうちの最内周から引き出された引き出し部とを有する一の線材からなるコイルと、
    前記巻回部の直線部分に対応した位置に配置された磁気センサと
    を備え、
    前記引き出し部が、前記最内周の直線部分から連続してその延長上に延在する引き出し直線部分を含み、
    前記巻回部のうちの最内周を除く半周回部分が、前記引き出し直線部分を乗り越えつつ、この引き出し直線部分以外の領域では前記巻回部の最内周と同一階層内に位置するように巻回している
    ことを特徴とする電流センサ。
  12. 前記磁気センサは、前記コイルを流れる電流により生ずる電流磁界に応じて抵抗値が互いに逆方向の変化を示すように配置された一対の磁気抵抗効果素子を含む
    ことを特徴とする請求項11に記載の電流センサ。
  13. 柱状の巻心が立設されてなる台座を用意し、前記巻心を中心として一の線材を巻回することにより、直線部分および半周回部分を含む複数の巻回部と、前記巻回部のうちの最内周から引き出された引き出し部とを有するコイルを形成するステップと、
    前記コイルを挟んで前記台座と対向するように蓋を被せるステップと、
    前記巻回部と前記台座とを接着固定するステップと
    を含み、
    前記コイルを形成するステップでは、
    前記最内周の直線部分から連続してその延長上に延在する引き出し直線部分を含むように前記引き出し部を形成し、かつ、前記引き出し直線部分を乗り越えつつ、この引き出し直線部分以外の領域では前記巻回部の最内周と同一階層内に位置するように前記最内周を除く半周回部分を形成する
    ことを特徴とするコイルモジュールの製造方法。
  14. 前記巻回部に対応した位置に開口が設けられたものを前記蓋として用いる
    ことを特徴とする請求項13に記載のコイルモジュールの製造方法。
  15. 前記コイルを形成したのち接着剤を前記巻回部に付着させ、前記蓋を被せたのち前記開口から前記巻回部を前記台座へ押しつけた状態で前記接着剤を硬化させることにより前記巻回部と前記台座とを接着固定する
    ことを特徴とする請求項13または請求項14に記載のコイルモジュールの製造方法。
  16. 柱状の巻心が立設されてなる台座を用意し、前記巻心を中心として一の線材を巻回することにより、直線部分および半周回部分を含む複数の巻回部と、前記巻回部のうちの最内周から引き出された引き出し部とを有するコイルを形成するステップと、
    前記コイルを挟んで前記台座と対向するように蓋を被せるステップと、
    前記巻回部と前記台座とを接着固定するステップと、
    前記巻回部の直線部分に対応した位置に磁気センサを配置するステップと
    を含み、
    前記コイルを形成するステップでは、
    前記最内周の直線部分から連続してその延長上に延在する引き出し直線部分を含むように前記引き出し部を形成し、かつ、前記引き出し直線部分を乗り越えつつ、この引き出し直線部分以外の領域では前記巻回部の最内周と同一階層内に位置するように前記最内周を除く半周回部分を形成する
    ことを特徴とする電流センサの製造方法。
JP2005252805A 2005-08-31 2005-08-31 コイル、コイルモジュールおよびその製造方法、ならびに電流センサおよびその製造方法 Withdrawn JP2007064851A (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005252805A JP2007064851A (ja) 2005-08-31 2005-08-31 コイル、コイルモジュールおよびその製造方法、ならびに電流センサおよびその製造方法
US11/511,456 US20070044370A1 (en) 2005-08-31 2006-08-29 Coil, coil module and method of manufacturing the same, current sensor and method of manufacturing the same

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005252805A JP2007064851A (ja) 2005-08-31 2005-08-31 コイル、コイルモジュールおよびその製造方法、ならびに電流センサおよびその製造方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2007064851A true JP2007064851A (ja) 2007-03-15

Family

ID=37802090

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2005252805A Withdrawn JP2007064851A (ja) 2005-08-31 2005-08-31 コイル、コイルモジュールおよびその製造方法、ならびに電流センサおよびその製造方法

Country Status (2)

Country Link
US (1) US20070044370A1 (ja)
JP (1) JP2007064851A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2016021260A1 (ja) * 2014-08-07 2016-02-11 アルプス・グリーンデバイス株式会社 磁気センサーおよびその磁気センサーを備えた電流センサー

Families Citing this family (44)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7259545B2 (en) 2003-02-11 2007-08-21 Allegro Microsystems, Inc. Integrated sensor
US20060219436A1 (en) * 2003-08-26 2006-10-05 Taylor William P Current sensor
US7709754B2 (en) * 2003-08-26 2010-05-04 Allegro Microsystems, Inc. Current sensor
US7476816B2 (en) * 2003-08-26 2009-01-13 Allegro Microsystems, Inc. Current sensor
US7777607B2 (en) * 2004-10-12 2010-08-17 Allegro Microsystems, Inc. Resistor having a predetermined temperature coefficient
US7768083B2 (en) 2006-01-20 2010-08-03 Allegro Microsystems, Inc. Arrangements for an integrated sensor
US20070279053A1 (en) * 2006-05-12 2007-12-06 Taylor William P Integrated current sensor
US7795862B2 (en) 2007-10-22 2010-09-14 Allegro Microsystems, Inc. Matching of GMR sensors in a bridge
US8269491B2 (en) 2008-02-27 2012-09-18 Allegro Microsystems, Inc. DC offset removal for a magnetic field sensor
US7816905B2 (en) 2008-06-02 2010-10-19 Allegro Microsystems, Inc. Arrangements for a current sensing circuit and integrated current sensor
US8093670B2 (en) * 2008-07-24 2012-01-10 Allegro Microsystems, Inc. Methods and apparatus for integrated circuit having on chip capacitor with eddy current reductions
US7973527B2 (en) 2008-07-31 2011-07-05 Allegro Microsystems, Inc. Electronic circuit configured to reset a magnetoresistance element
US8063634B2 (en) * 2008-07-31 2011-11-22 Allegro Microsystems, Inc. Electronic circuit and method for resetting a magnetoresistance element
US9130395B2 (en) * 2008-12-12 2015-09-08 Hanrim Postech Co., Ltd. Non-contact charging station with planar spiral power transmission coil and method for controlling the same
US9178376B2 (en) 2008-12-12 2015-11-03 Hanrim Postech Co., Ltd. Non-contact charging station with power transmission planar spiral core, non-contact power-receiving apparatus, and method for controlling the same
JP5680287B2 (ja) * 2009-05-27 2015-03-04 新科實業有限公司SAE Magnetics(H.K.)Ltd. 電流センサ
US20110133732A1 (en) * 2009-12-03 2011-06-09 Allegro Microsystems, Inc. Methods and apparatus for enhanced frequency response of magnetic sensors
US8629539B2 (en) 2012-01-16 2014-01-14 Allegro Microsystems, Llc Methods and apparatus for magnetic sensor having non-conductive die paddle
US9494660B2 (en) 2012-03-20 2016-11-15 Allegro Microsystems, Llc Integrated circuit package having a split lead frame
US9812588B2 (en) 2012-03-20 2017-11-07 Allegro Microsystems, Llc Magnetic field sensor integrated circuit with integral ferromagnetic material
US9666788B2 (en) 2012-03-20 2017-05-30 Allegro Microsystems, Llc Integrated circuit package having a split lead frame
US10234513B2 (en) 2012-03-20 2019-03-19 Allegro Microsystems, Llc Magnetic field sensor integrated circuit with integral ferromagnetic material
US10345343B2 (en) 2013-03-15 2019-07-09 Allegro Microsystems, Llc Current sensor isolation
US9190606B2 (en) 2013-03-15 2015-11-17 Allegro Micosystems, LLC Packaging for an electronic device
US9411025B2 (en) 2013-04-26 2016-08-09 Allegro Microsystems, Llc Integrated circuit package having a split lead frame and a magnet
JP6116061B2 (ja) * 2013-07-16 2017-04-19 横河電機株式会社 電流センサ
US9529060B2 (en) 2014-01-09 2016-12-27 Allegro Microsystems, Llc Magnetoresistance element with improved response to magnetic fields
US9354284B2 (en) 2014-05-07 2016-05-31 Allegro Microsystems, Llc Magnetic field sensor configured to measure a magnetic field in a closed loop manner
JP6520075B2 (ja) * 2014-11-25 2019-05-29 日立金属株式会社 電流検出装置
US9322887B1 (en) 2014-12-01 2016-04-26 Allegro Microsystems, Llc Magnetic field sensor with magnetoresistance elements and conductive-trace magnetic source
JP6763887B2 (ja) 2015-06-05 2020-09-30 アレグロ・マイクロシステムズ・エルエルシー 磁界に対する応答が改善されたスピンバルブ磁気抵抗効果素子
US10620279B2 (en) 2017-05-19 2020-04-14 Allegro Microsystems, Llc Magnetoresistance element with increased operational range
US11022661B2 (en) 2017-05-19 2021-06-01 Allegro Microsystems, Llc Magnetoresistance element with increased operational range
US10935612B2 (en) 2018-08-20 2021-03-02 Allegro Microsystems, Llc Current sensor having multiple sensitivity ranges
US10991644B2 (en) 2019-08-22 2021-04-27 Allegro Microsystems, Llc Integrated circuit package having a low profile
US11187764B2 (en) 2020-03-20 2021-11-30 Allegro Microsystems, Llc Layout of magnetoresistance element
US11800813B2 (en) 2020-05-29 2023-10-24 Allegro Microsystems, Llc High isolation current sensor
US11567108B2 (en) 2021-03-31 2023-01-31 Allegro Microsystems, Llc Multi-gain channels for multi-range sensor
US11768230B1 (en) 2022-03-30 2023-09-26 Allegro Microsystems, Llc Current sensor integrated circuit with a dual gauge lead frame
US11719771B1 (en) 2022-06-02 2023-08-08 Allegro Microsystems, Llc Magnetoresistive sensor having seed layer hysteresis suppression
US12320870B2 (en) 2022-07-19 2025-06-03 Allegro Microsystems, Llc Controlling out-of-plane anisotropy in an MR sensor with free layer dusting
US12359904B2 (en) 2023-01-26 2025-07-15 Allegro Microsystems, Llc Method of manufacturing angle sensors including magnetoresistance elements including different types of antiferromagnetic materials
US12352832B2 (en) 2023-01-30 2025-07-08 Allegro Microsystems, Llc Reducing angle error in angle sensor due to orthogonality drift over magnetic-field
US12248039B2 (en) 2023-08-08 2025-03-11 Allegro Microsystems, Llc Interleaving sub-arrays of magnetoresistance elements based on reference directions to compensate for bridge offset

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4300605C2 (de) * 1993-01-13 1994-12-15 Lust Electronic Systeme Gmbh Sensorchip

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2016021260A1 (ja) * 2014-08-07 2016-02-11 アルプス・グリーンデバイス株式会社 磁気センサーおよびその磁気センサーを備えた電流センサー
JPWO2016021260A1 (ja) * 2014-08-07 2017-04-27 アルプス電気株式会社 磁気センサーおよびその磁気センサーを備えた電流センサー

Also Published As

Publication number Publication date
US20070044370A1 (en) 2007-03-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2007064851A (ja) コイル、コイルモジュールおよびその製造方法、ならびに電流センサおよびその製造方法
JP5250108B2 (ja) 磁気平衡式電流センサ
JP4466487B2 (ja) 磁気センサおよび電流センサ
CN111308154B (zh) 电流传感器
KR101965977B1 (ko) 전류 측정 장치
JP4105142B2 (ja) 電流センサ
JP4360998B2 (ja) 電流センサ
US5952825A (en) Magnetic field sensing device having integral coils for producing magnetic fields
JP4877095B2 (ja) 電流センサおよびその製造方法
JP2009503443A (ja) 直交フラックスゲート式磁界センサー
JP7115224B2 (ja) 磁気センサ
JP2013064663A (ja) 電流センサおよび電流センサの組み付け構造
EP2610630A2 (en) Low hysteresis high sensitivity magnetic field sensor
CN103123369A (zh) 电流感应装置
CN104603890B (zh) 用于传感器的磁芯
JP6974898B2 (ja) 電流変換器
JP2013200253A (ja) 電力計測装置
JP6228663B2 (ja) 電流検知装置
JP5413866B2 (ja) 磁気検出素子を備えた電流センサ
US11573280B2 (en) Coil assembly for compensation current sensor
JP2013200250A (ja) 電力計測装置
JP2017020818A (ja) 電流検知装置およびその製造方法
JP2013200252A (ja) 電力計測装置
JP2013200251A (ja) 電力計測装置
JP2005321202A (ja) 電流センサ

Legal Events

Date Code Title Description
A300 Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300

Effective date: 20081104