JP2007057651A - Colored photosensitive resin composition - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、カラーフィルタの形成に用いられる着色感光性樹脂組成物に関する。 The present invention relates to a colored photosensitive resin composition used for forming a color filter.
近年、CCD、CMOSなどのイメージセンサに用いられるカラーフィルタの高画素化が進み、解像度を高く、膜厚を薄くする必要がある。しかし、着色剤として顔料を使用すると、膜厚を薄くする場合、同じ色濃度を得るためには顔料濃度を高くしなければならず、高い顔料濃度を有する着色感光性樹脂組成物を用いてカラーフィルタを形成すると、さらに残渣が多く残るという傾向があった(例えば、特許文献1参照)。 In recent years, color filters used in image sensors such as CCDs and CMOSs have increased in pixels, and it is necessary to increase the resolution and reduce the film thickness. However, when a pigment is used as a colorant, in order to obtain the same color density when the film thickness is reduced, the pigment density must be increased, and a colored photosensitive resin composition having a high pigment density is used for coloring. When the filter was formed, there was a tendency that more residue remained (see, for example, Patent Document 1).
本発明の目的は、カラーフィルタの形成において残渣が少ない、新たな着色感光性樹脂組成物を提供することにある。 An object of the present invention is to provide a new colored photosensitive resin composition with little residue in the formation of a color filter.
本発明者らは、上記したような課題を解決し得る着色感光性樹脂組成物を見出すべく、鋭意検討を重ねた結果、特定の化合物を含む着色感光性樹脂組成物が上記の問題を解決しうることを見出し、本発明を完成させるに至った。 As a result of intensive investigations to find a colored photosensitive resin composition that can solve the above-described problems, the present inventors have found that a colored photosensitive resin composition containing a specific compound solves the above problems. As a result, the present invention has been completed.
即ち、本発明は、(A)着色剤、(B)バインダー樹脂、(C)光重合性化合物、(D)光重合開始剤、(E)溶剤および(F)表面張力低下剤を含有する着色感光性樹脂組成物を提供する。 That is, the present invention is a color containing (A) a colorant, (B) a binder resin, (C) a photopolymerizable compound, (D) a photopolymerization initiator, (E) a solvent, and (F) a surface tension reducing agent. A photosensitive resin composition is provided.
また、本発明は、前記の着色感光性樹脂組成物を用いて形成されたパターン、前記のパターンを含むカラーフィルタおよび前記のカラーフィルタを具備するイメージセンサを提供する。 The present invention also provides a pattern formed by using the colored photosensitive resin composition, a color filter including the pattern, and an image sensor including the color filter.
本発明の着色感光性樹脂組成物によれば、カラーフィルタの形成において残渣が少ないカラーフィルタのパターンを形成することができる。 According to the colored photosensitive resin composition of the present invention, it is possible to form a color filter pattern with little residue in forming a color filter.
本発明の着色感光性樹脂組成物は、(A)着色剤を含有する。前記の(A)着色剤としては、顔料および染料からなる群から選ばれる少なくとも1種が挙げられる。 The colored photosensitive resin composition of the present invention contains (A) a colorant. Examples of the colorant (A) include at least one selected from the group consisting of pigments and dyes.
顔料としては、具体的には、カラーインデックス(The Society of Dyers and Colourists出版)でピグメントに分類されている化合物が挙げられる。具体的には、例えばC.I.ピグメントイエロー1、3、12、13、14、15、16、17、20、24、31、53、83、86、93、94、109、110、117、125、128、137、138、139、147、148、150、153、154、166、173、194、214などの黄色顔料;
C.I.ピグメントオレンジ13、31、36、38、40、42、43、51、55、59、61、64、65、71、73などのオレンジ色の顔料;
C.I.ピグメントレッド9、97、105、122、123、144、149、166、168、176、177、180、192、209、215、216、224、242、254、255、264、265などの赤色顔料;
C.I.ピグメントブルー15、15:3、15:4、15:6、60などの青色顔料;
C.I.ピグメントバイオレット1、19、23、29、32、36、38などのバイオレット色顔料;
C.I.ピグメントグリーン7、36などの緑色顔料;
C.I.ピグメントブラウン23、25などのブラウン色顔料;
C.I.ピグメントブラック1、7などの黒色顔料などが挙げられる。中でも、C.I.ピグメントイエロー138、139、150、C.I.ピグメントレッド177、209、254、C.I.ピグメントレッドバイオレット23、C.I.ピグメントブルー15:3、15:6およびC.I.ピグメントグリーン7、36から選ばれる少なくとも一つの顔料を含有していることが好ましい。
Specific examples of the pigment include compounds classified as pigments by Color Index (published by The Society of Dyers and Colorists). Specifically, for example, C.I. I. Pigment Yellow 1, 3, 12, 13, 14, 15, 16, 17, 20, 24, 31, 53, 83, 86, 93, 94, 109, 110, 117, 125, 128, 137, 138, 139, Yellow pigments such as 147, 148, 150, 153, 154, 166, 173, 194, 214;
C. I. Orange pigments such as CI Pigment Orange 13, 31, 36, 38, 40, 42, 43, 51, 55, 59, 61, 64, 65, 71, 73;
C. I. Red pigments such as CI Pigment Red 9, 97, 105, 122, 123, 144, 149, 166, 168, 176, 177, 180, 192, 209, 215, 216, 224, 242, 254, 255, 264, 265;
C. I. Blue pigments such as CI Pigment Blue 15, 15: 3, 15: 4, 15: 6, 60;
C. I. Violet color pigments such as CI Pigment Violet 1, 19, 23, 29, 32, 36, 38;
C. I. Green pigments such as CI Pigment Green 7 and 36;
C. I. Brown pigments such as CI Pigment Brown 23 and 25;
C. I. And black pigments such as CI Pigment Black 1 and 7. Among them, C.I. I. Pigment yellow 138, 139, 150, C.I. I. Pigment red 177, 209, 254, C.I. I. Pigment red violet 23, C.I. I. Pigment blue 15: 3, 15: 6 and C.I. I. It is preferable to contain at least one pigment selected from CI Pigment Green 7 and 36.
染料としては、酸性染料およびそのスルホンアミド誘導体ならびに油溶性染料が挙げられる。好ましい染料としては、例えば、C.I.アシッドブルー83、C.I.アシッドブルー90、C.I.アシッドグリーン9、C.I.アシッドグリーン16、C.I.ソルベントイエロー82、C.I.ソルベントイエロー162、C.I.ソルベントオレンジ56、C.I.ソルベントブルー67などが挙げられる。 Examples of the dye include acid dyes and their sulfonamide derivatives and oil-soluble dyes. Preferred examples of the dye include C.I. I. Acid Blue 83, C.I. I. Acid Blue 90, C.I. I. Acid Green 9, C.I. I. Acid Green 16, C.I. I. Solvent Yellow 82, C.I. I. Solvent Yellow 162, C.I. I. Solvent Orange 56, C.I. I. Solvent Blue 67 etc. are mentioned.
また、一般式(IV)で表される化合物も用いることができる。 Moreover, the compound represented by general formula (IV) can also be used.
D[(−SO2N(R8)R9)n] (IV) D [(— SO 2 N (R 8 ) R 9 ) n ] (IV)
[式(IV)中、Dは、ピリドン、キサンテン、トリフェニルメタン、アゾ、アントラキノン、ピラゾロンおよびフタロシアニンなどの染料母体を表す。
nは、1〜4の整数を表す。
R8およびR9は、それぞれ独立に、水素原子、酸素原子により中断されていてもよい炭素数1〜20の脂肪族炭化水素基、炭素数3〜10の脂環式炭化水素基、アルキル部分の炭素数が1〜4のアルキルシクロヘキシル基、炭素数3〜15の脂肪族アルコキシアルキル基、炭素数4〜10の脂肪族エステル基およびアリール基部分の炭素数が6〜10でかつアルキル部分の炭素数が1〜5であるアラルキル基などの置換基を表す。ただし、R8およびR9は、同時に水素原子であることはない。また、nが2〜4の場合には、複数のR8およびR9は、それぞれ同一でも相異なってもよい。]
[In the formula (IV), D represents a dye matrix such as pyridone, xanthene, triphenylmethane, azo, anthraquinone, pyrazolone and phthalocyanine.
n represents an integer of 1 to 4.
R 8 and R 9 are each independently a hydrogen atom, an aliphatic hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms which may be interrupted by an oxygen atom, an alicyclic hydrocarbon group having 3 to 10 carbon atoms, or an alkyl moiety. Having an alkyl cyclohexyl group having 1 to 4 carbon atoms, an aliphatic alkoxyalkyl group having 3 to 15 carbon atoms, an aliphatic ester group having 4 to 10 carbon atoms, and an aryl group portion having 6 to 10 carbon atoms and an alkyl moiety A substituent such as an aralkyl group having 1 to 5 carbon atoms is represented. However, R 8 and R 9 are not simultaneously hydrogen atoms. When n is 2 to 4, the plurality of R 8 and R 9 may be the same or different from each other. ]
前記の酸素原子により中断されていてもよい炭素数1〜20の脂肪族炭化水素基としては、メチル基、エチル基、n−プロピル基、イソプロピル基、n−ブチル基、sec−ブチル基、tert−ブチル基、n−ペンチル基、n−ヘキシル基、オクチル基、デキシル基、1−メチルブチル基、1,1,3,3−テトラメチルブチル基、1,5−ジメチルヘキシル基、1,6−ジメチルヘプチル基、2−エチルヘキシル基および1,1,5,5−テトラメチルヘキシル基や、前記の各脂肪族炭化水素基の任意の位置に酸素原子が1個または2個以上が導入された置換基(ただし、酸素原子が2個以上の場合、当該酸素原子が隣接することはない。)などが挙げられる。
前記の炭素数3〜10の脂環式炭化水素基としては、シクロプロピル基、シクロブチル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、シクロヘプチル基、シクロオクチル基、シクロノニル基、シクロデシル基、イソボルニル基、シクロペンタジエニル基などが挙げられる。
前記のアルキル部分の炭素数が1〜4のアルキルシクロヘキシル基としては、2−メチルシクロヘキシル基および2−エチルシクロヘキシル基などが挙げられる。
前記の炭素数が3〜15の脂肪族アルコキシアルキル基としては、エトキシ−n−プロピル基、イソプロポキシ−n−プロピル基、オクトキシ−n−プロピル基、3−エトキシ−n−プロピル基および3−(2−エチルヘキシルオキシ)−n−プロピル基などが挙げられる。
前記の炭素数が4〜10の脂肪族エステル基としては、n−プロポキシカルボニル−n−プロピル基、エトキシカルボニルブチル基、プロピオニルオキシエチル基およびブチリルオキシブチル基などが挙げられる。
前記のアリール基部分の炭素数が6〜10でかつアルキル部分の炭素数が1〜5アラルキル基としては、ベンジル基、フェネチル基、1−メチル−3−フェニル−n−プロピル基などが挙げられる。
Examples of the aliphatic hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms which may be interrupted by the oxygen atom include methyl group, ethyl group, n-propyl group, isopropyl group, n-butyl group, sec-butyl group, tert. -Butyl group, n-pentyl group, n-hexyl group, octyl group, dexyl group, 1-methylbutyl group, 1,1,3,3-tetramethylbutyl group, 1,5-dimethylhexyl group, 1,6- Substitution in which one or two or more oxygen atoms are introduced at any position of the dimethylheptyl group, 2-ethylhexyl group, 1,1,5,5-tetramethylhexyl group, or each aliphatic hydrocarbon group. Group (however, when two or more oxygen atoms are present, the oxygen atoms are not adjacent to each other).
Examples of the alicyclic hydrocarbon group having 3 to 10 carbon atoms include cyclopropyl group, cyclobutyl group, cyclopentyl group, cyclohexyl group, cycloheptyl group, cyclooctyl group, cyclononyl group, cyclodecyl group, isobornyl group, cyclopentadiyl. An enyl group etc. are mentioned.
Examples of the alkylcyclohexyl group having 1 to 4 carbon atoms in the alkyl moiety include 2-methylcyclohexyl group and 2-ethylcyclohexyl group.
Examples of the aliphatic alkoxyalkyl group having 3 to 15 carbon atoms include ethoxy-n-propyl group, isopropoxy-n-propyl group, octoxy-n-propyl group, 3-ethoxy-n-propyl group, and 3- (2-ethylhexyloxy) -n-propyl group and the like can be mentioned.
Examples of the aliphatic ester group having 4 to 10 carbon atoms include n-propoxycarbonyl-n-propyl group, ethoxycarbonylbutyl group, propionyloxyethyl group, and butyryloxybutyl group.
Examples of the aralkyl group having 6 to 10 carbon atoms in the aryl group moiety and 1 to 5 carbon atoms in the alkyl moiety include benzyl group, phenethyl group, 1-methyl-3-phenyl-n-propyl group, and the like. .
式(IV)で表される色素のうち、好ましいものとしては、以下で挙げられるものが例示される。 Among the dyes represented by the formula (IV), preferable examples include those listed below.
これらの染料は、単独でも、2種以上を混合して用いてもよい。 These dyes may be used alone or in admixture of two or more.
前記の顔料や染料は、必要に応じて、ロジン処理、酸性基または塩基性基が導入された誘導体などを用いた表面処理、高分子化合物などによる染料表面へのグラフト処理、硫酸微粒化法などによる微粒化処理、または不純物を除去するための有機溶剤や水などによる洗浄処理、イオン性不純物のイオン交換法などによる除去処理などが施されていてもよい。 The above pigments and dyes are optionally treated with rosin, surface treatment using a derivative having an acidic group or basic group introduced, grafting onto the surface of the dye with a polymer compound, sulfuric acid atomization method, etc. A pulverization process using an organic solvent, a cleaning process using an organic solvent or water for removing impurities, a removal process using an ionic impurity ion exchange method, or the like may be performed.
(A)着色剤は、必要により、分散剤や(B)バインダー樹脂の一部または全量を含有させて分散処理を行うことで、顔料や染料が溶液中で均一に分散した状態の分散液として得ることができる。 (A) The colorant is a dispersion in which pigments and dyes are uniformly dispersed in the solution by containing a dispersant or a part or all of the binder resin (B) as necessary. Obtainable.
前記の分散剤としては、例えば、カチオン系、アニオン系、ノニオン系、両性などの界面活性剤などが挙げられ、単独でも2種以上を組み合わせて用いてもよい。
該界面活性剤の例としては、ポリオキシエチレンアルキルエーテル類、ポリオキシエチレンアルキルフェニルエーテル類、ポリエチレングリコールジエステル類、ソルビタン脂肪酸エステル類、脂肪酸変性ポリエステル類、3級アミン変性ポリウレタン類、ポリエチレンイミン類等のほか、商品名でKP(信越化学工業(株)製)、ポリフロー(共栄化学(株)製)、エフトップ(トーケムプロダクツ社製)、メガファックス(大日本インキ化学工業(株)製)、フロラード(住友スリーエム(株)製)、アサヒガード、サーフロン(以上、旭硝子(株)製)、ソルスパース(ゼネカ(株)製)、EFKA(EFKA CHEMICALS社製)、PB821(味の素ファインテクノ(株)製)などが挙げられる。
分散剤を用いる場合、その使用量は着色剤に対して質量分率で、好ましくは0.1〜100質量%であり、より好ましくは5〜50質量%である。分散剤の使用量が前記の範囲にあると、均一な分散液が得られる傾向があるため好ましい。
Examples of the dispersant include cationic, anionic, nonionic, and amphoteric surfactants, and they may be used alone or in combination of two or more.
Examples of the surfactant include polyoxyethylene alkyl ethers, polyoxyethylene alkyl phenyl ethers, polyethylene glycol diesters, sorbitan fatty acid esters, fatty acid-modified polyesters, tertiary amine-modified polyurethanes, polyethyleneimines, etc. In addition, KP (manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.), Polyflow (manufactured by Kyoei Chemical Co., Ltd.), F-Top (manufactured by Tochem Products), Megafax (manufactured by Dainippon Ink & Chemicals, Inc.) , Florard (manufactured by Sumitomo 3M Co., Ltd.), Asahi Guard, Surflon (manufactured by Asahi Glass Co., Ltd.), Solsperse (manufactured by Zeneca Co., Ltd.), EFKA (manufactured by EFKA CHEMICALS), PB821 (Ajinomoto Fine Techno Co., Ltd.) Manufactured).
When using a dispersing agent, the usage-amount is a mass fraction with respect to a coloring agent, Preferably it is 0.1-100 mass%, More preferably, it is 5-50 mass%. It is preferable that the amount of the dispersant used be in the above range because a uniform dispersion tends to be obtained.
本発明の着色感光性樹脂組成物に用いられる(A)着色剤の含有量は、着色感光性樹脂組成物中の固形分に対して質量分率で、好ましくは20〜65質量%、より好ましくは25〜60質量%、とりわけ好ましくは27〜55質量%、さらに好ましくは30〜50質量%である。ここで、本明細書中における固形分とは、着色感光性樹脂組成物に対する、(A)着色剤、(B)バインダー樹脂、(C)光重合性化合物、(D)光重合開始剤、さらに必要に応じて添加される成分のうち常温で液状でない成分の合計量の比率をいう。
(A)着色剤の含有量が前記の範囲にあると、カラーフィルタとしたときの色濃度が十分であり、かつ組成物中にバインダー樹脂を必要量以上含有させることができることから、機械的強度が十分なパターンを形成することができるので、好ましい。
The content of the colorant (A) used in the colored photosensitive resin composition of the present invention is a mass fraction with respect to the solid content in the colored photosensitive resin composition, preferably 20 to 65% by mass, and more preferably. Is 25 to 60% by mass, particularly preferably 27 to 55% by mass, and further preferably 30 to 50% by mass. Here, the solid content in the present specification refers to (A) a colorant, (B) a binder resin, (C) a photopolymerizable compound, (D) a photopolymerization initiator, The ratio of the total amount of components that are not liquid at room temperature among the components that are added as necessary.
(A) When the content of the colorant is in the above range, the color density when a color filter is obtained is sufficient, and the binder resin can be contained in the composition in an amount more than necessary. Is preferable because a sufficient pattern can be formed.
本発明の着色感光性樹脂組成物は、(B)バインダー樹脂を含む。前記の(B)バインダー樹脂は、好ましくは(メタ)アクリル酸から導かれる構成単位を含有する。ここで、(メタ)アクリル酸は、アクリル酸および/またはメタクリル酸を表す。前記の(メタ)アクリル酸から導かれる構成単位の含有量は、(B)バインダー樹脂を構成する全構成単位中、モル分率で、好ましくは16モル%以上40モル%以下、より好ましくは18モル%以上38モル%以下である。メタ(アクリル)酸から導かれる構成単位の含有量が前記の範囲にあると、現像時に、非画素部の溶解性が良好であり、かつ、現像後の非画素部に残渣が残りにくい傾向があり、好ましい。 The colored photosensitive resin composition of the present invention contains (B) a binder resin. The (B) binder resin preferably contains a structural unit derived from (meth) acrylic acid. Here, (meth) acrylic acid represents acrylic acid and / or methacrylic acid. The content of the structural unit derived from the (meth) acrylic acid is preferably 16 mol% or more and 40 mol% or less, more preferably 18 in terms of mole fraction in all the structural units constituting the (B) binder resin. It is from mol% to 38 mol%. If the content of the structural unit derived from meth (acrylic) acid is in the above range, the solubility of the non-pixel portion is good during development, and the residue tends not to remain in the non-pixel portion after development. Yes, it is preferable.
(メタ)アクリル酸から導かれる構成単位以外のバインダー樹脂の構成単位を導く他のモノマーとしては、例えば、芳香族ビニル化合物、不飽和カルボン酸エステル類、不飽和カルボン酸アミノアルキルエステル類、不飽和カルボン酸グリシジルエステル類、カルボン酸ビニルエステル類、不飽和エーテル類、シアン化ビニル化合物、不飽和アミド類、不飽和イミド類、脂肪族共役ジエン類、重合体分子鎖の末端にモノアクリロイル基またはモノメタクリロイル基を有するマクロモノマー類、式(II)で表される単位に導くモノマーおよび式(III)で表される単位に導くモノマーなどを挙げることができる。 Examples of the other monomer that leads to the constituent unit of the binder resin other than the constituent unit derived from (meth) acrylic acid include, for example, aromatic vinyl compounds, unsaturated carboxylic acid esters, unsaturated carboxylic acid aminoalkyl esters, and unsaturated compounds. Carboxylic acid glycidyl esters, carboxylic acid vinyl esters, unsaturated ethers, vinyl cyanide compounds, unsaturated amides, unsaturated imides, aliphatic conjugated dienes, monoacryloyl group or mono at the end of the polymer molecular chain Examples thereof include macromonomers having a methacryloyl group, monomers derived from units represented by formula (II), and monomers derived from units represented by formula (III).
[式(II)および式(III)中、R3およびR4は、それぞれ独立に、水素原子または炭素数1〜6のアルキル基を表す。] [In Formula (II) and Formula (III), R 3 and R 4 each independently represent a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms. ]
R3およびR4としては、水素原子、メチル基、エチル基、n−プロピル基、イソプロピル基、n−ブチル基、sec−ブチル基、tert−ブチル基、n−ペンチル基、1−メチルブチル基、2−メチルブチル基、3−メチルブチル基、1−エチルプロピル基、2−エチルプロピル基、n−ヘキシル基、1−メチルペンチル基、2−メチルペンチル基、3−メチルペンチル基、4−メチルペンチル基、1−エチルブチル基、2−エチルブチル基、3−エチルブチル基などが挙げられ、好ましくは水素原子、メチル基、エチル基、n−プロピル基、イソプロピル基、n−ブチル基、sec−ブチル基、tert−ブチル基が挙げられ、より好ましくは水素原子、メチル基、エチル基が挙げられる。 R 3 and R 4 include a hydrogen atom, a methyl group, an ethyl group, an n-propyl group, an isopropyl group, an n-butyl group, a sec-butyl group, a tert-butyl group, an n-pentyl group, a 1-methylbutyl group, 2-methylbutyl group, 3-methylbutyl group, 1-ethylpropyl group, 2-ethylpropyl group, n-hexyl group, 1-methylpentyl group, 2-methylpentyl group, 3-methylpentyl group, 4-methylpentyl group 1-ethylbutyl group, 2-ethylbutyl group, 3-ethylbutyl group, etc., preferably hydrogen atom, methyl group, ethyl group, n-propyl group, isopropyl group, n-butyl group, sec-butyl group, tert. -A butyl group is mentioned, More preferably, a hydrogen atom, a methyl group, and an ethyl group are mentioned.
前記のバインダー樹脂としては、具体的には、メタクリル酸/ベンジルメタクリレート共重合体、メタクリル酸/ベンジルメタクリレート/スチレン共重合体、メタクリル酸/ベンジルメタクリレート/イソボルニルメタクリレート共重合体、メタクリル酸/スチレン/ベンジルメタクリレート/N−フェニルマレイミド共重合体、メタクリル酸/式(II)で表される構成単位を導くモノマー(ただし、ここでは、式(II)中、R1はメチル基を表し、R2は水素原子を表す。)/ベンジルメタクリレート共重合体、メタクリル酸/式(III)で表される構成単位を導くモノマー(ただし、ここでは、式(II)中、R1はメチル基を表し、R2は水素原子を表す。)/ベンジルメタクリレート共重合体、メタクリル酸/式(III)で表される構成単位を導くモノマー(ただし、ここでは、式(II)中、R1はメチル基を表し、R2は水素原子を表す。)/ジシクロペンタニルメタクリレート/ベンジルメタクリレート共重合体、メタクリル酸/式(III)で表される構成単位を導くモノマー(ただし、ここでは、式(III)中、R1はメチル基を表し、R2は水素原子を表す。)/スチレン共重合体/トリシクロデカニルメタクリレート共重合体などが好ましい。 Specific examples of the binder resin include methacrylic acid / benzyl methacrylate copolymer, methacrylic acid / benzyl methacrylate / styrene copolymer, methacrylic acid / benzyl methacrylate / isobornyl methacrylate copolymer, and methacrylic acid / styrene. / Benzyl methacrylate / N-phenylmaleimide copolymer, methacrylic acid / monomer leading to a structural unit represented by formula (II) (wherein, in formula (II), R 1 represents a methyl group, R 2 Represents a hydrogen atom.) / Benzyl methacrylate copolymer, methacrylic acid / monomer leading to the structural unit represented by formula (III) (wherein, in formula (II), R 1 represents a methyl group, R 2 represents a hydrogen atom.) / benzyl methacrylate copolymer, methacrylic acid / formula (III) Monomer (however, here, in the formula (II), R 1 represents a methyl group, R 2 represents a hydrogen atom.) For guiding the structural unit / dicyclopentanyl methacrylate / benzyl methacrylate copolymer, methacrylic Acid / monomer leading to the structural unit represented by formula (III) (in this case, in formula (III), R 1 represents a methyl group and R 2 represents a hydrogen atom) / styrene copolymer / A tricyclodecanyl methacrylate copolymer is preferred.
本発明で用いられる(B)バインダー樹脂の酸価は、好ましくは50〜150であり、より好ましくは55〜135、とりわけ好ましくは60〜135である。酸価が、前記の範囲にあると、現像液に対する溶解性が向上して未露光部が溶解しやすくなり、また高感度化して現像時に露光部のパターンが残って残膜率が向上する傾向があり、好ましい。ここで、酸価は、アクリル系重合体1gを中和するに必要な水酸化カリウムの量(mg)として測定される値であり、通常、水酸化カリウム水溶液を用いて滴定することにより求めることができる。 The acid value of the (B) binder resin used in the present invention is preferably 50 to 150, more preferably 55 to 135, and particularly preferably 60 to 135. When the acid value is in the above range, the solubility in the developer is improved and the unexposed area is easily dissolved, and the sensitivity is increased so that the pattern of the exposed area remains during development and the remaining film ratio tends to be improved. Is preferable. Here, the acid value is a value measured as the amount (mg) of potassium hydroxide necessary to neutralize 1 g of the acrylic polymer, and is usually obtained by titration using an aqueous potassium hydroxide solution. Can do.
(B)バインダー樹脂の含有量は、着色感光性樹脂組成物の固形分に対して質量分率で、好ましくは15〜35質量%であり、より好ましくは18〜33質量%であり、とりわけ好ましくは21〜31質量%である。(B)バインダー樹脂の含有量が、前記の範囲にあると、パターンが形成でき、また解像度および残膜率が向上する傾向にあり好ましい。 (B) Content of binder resin is a mass fraction with respect to solid content of a coloring photosensitive resin composition, Preferably it is 15-35 mass%, More preferably, it is 18-33 mass%, Most preferably Is 21-31 mass%. (B) It is preferable that the content of the binder resin be in the above range because a pattern can be formed and the resolution and the remaining film ratio tend to be improved.
式(II)で表される構成成分を有するバインダー樹脂、例えばメタクリル酸/式(II)で表される構成成分(ただし、ここでは、式(II)中、R3、R4はメチル基を表す。)/ベンジルメタクリレート共重合体は、メタクリル酸とベンジルメタクリレートとを重合させて2成分重合体を得て、得られた2成分重合体と式(V−1)で表される化合物(ただし、ここでは、式(V−1)中、R5はメチル基を表す。)とを反応させて得ることができる。 Binder resin having a component represented by the formula (II), for example, methacrylic acid / a component represented by the formula (II) (in this case, in the formula (II), R 3 and R 4 are methyl groups) The benzyl methacrylate copolymer is obtained by polymerizing methacrylic acid and benzyl methacrylate to obtain a two-component polymer, and the obtained two-component polymer and a compound represented by the formula (V-1) (however, Here, in formula (V-1), R 5 represents a methyl group).
メタクリル酸/式(III)で表される構成成分(ただし、ここでは、式(III)中、R3、R4はメチル基を表す。)/スチレン共重合体/トリシクロデカニルメタクリレート共重合体は、ベンジルメタクリレート、メタクリル酸、トリシクロデカン骨格のモノメタクリレート共重合体に、該メタクリル酸のカルボキシル基にグリシジルメタクリレートを反応させて得ることができる。 Methacrylic acid / constituent component represented by formula (III) (in this case, in formula (III), R 3 and R 4 represent a methyl group) / styrene copolymer / tricyclodecanyl methacrylate copolymer The coalescence can be obtained by reacting a monomethacrylate copolymer having a benzyl methacrylate, methacrylic acid, or tricyclodecane skeleton with a carboxyl group of the methacrylic acid.
(B)バインダー樹脂のポリスチレン換算重量平均分子量は、好ましくは5,000〜35,000であり、より好ましくは6,000〜30,000であり、とりわけ好ましくは7,000〜28,000である。分子量が前記の範囲にあると、塗膜硬度が向上し、残膜率も高く、未露光部の現像液に対する溶解性が良好で、解像度が向上する傾向にあり、好ましい。 (B) The polystyrene-reduced weight average molecular weight of the binder resin is preferably 5,000 to 35,000, more preferably 6,000 to 30,000, and particularly preferably 7,000 to 28,000. . When the molecular weight is within the above range, the coating film hardness is improved, the residual film ratio is high, the solubility of the unexposed area in the developer is good, and the resolution tends to be improved, which is preferable.
本発明の着色感光性樹脂組成物は、(C)光重合性化合物を含む。(C)光重合性化合物は、光を照射されることによって(D)光重合開始剤から発生した活性ラジカル、酸などによって重合しうる化合物であって、例えば、重合性の炭素−炭素不飽和結合を有する化合物などが挙げられる。 The colored photosensitive resin composition of the present invention contains (C) a photopolymerizable compound. (C) The photopolymerizable compound is a compound that can be polymerized by active radicals, acids, etc. generated from (D) a photopolymerization initiator when irradiated with light, for example, polymerizable carbon-carbon unsaturated Examples thereof include compounds having a bond.
前記の(C)光重合性化合物としては、3官能以上の多官能の光重合性化合物であることが好ましい。3官能以上の多官能の光重合性化合物としては、例えば、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ペンタエリスリトールテトラメタクリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタメタクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサメタクリレートなどが挙げられる。前記の(C)光重合性化合物は、単独でも2種以上を組み合わせて用いてもよく、その含有量は着色感光性樹脂組成物に対して質量分率で、好ましくは5〜90質量%であり、より好ましくは10〜80質量%であり、とりわけ好ましくは20〜70質量%である。(C)光重合性化合物の含有量が、前記の範囲にあると、硬化が十分におこり、現像前後での膜厚比率が向上し、パターンにアンダーカットが入りにくくなって密着性が良好になる傾向があることから好ましい。 The photopolymerizable compound (C) is preferably a trifunctional or higher polyfunctional photopolymerizable compound. Examples of the trifunctional or higher polyfunctional photopolymerizable compound include pentaerythritol tetraacrylate, pentaerythritol tetramethacrylate, dipentaerythritol pentaacrylate, dipentaerythritol pentamethacrylate, dipentaerythritol hexaacrylate, dipentaerythritol hexamethacrylate, and the like. Is mentioned. The (C) photopolymerizable compound may be used alone or in combination of two or more, and the content thereof is a mass fraction with respect to the colored photosensitive resin composition, preferably 5 to 90% by mass. Yes, more preferably 10 to 80% by mass, particularly preferably 20 to 70% by mass. (C) When the content of the photopolymerizable compound is in the above range, curing is sufficiently performed, the film thickness ratio before and after development is improved, and undercut is difficult to enter into the pattern, and the adhesion is good. It is preferable because it tends to become.
本発明の着色感光性樹脂組成物は、(D)光重合開始剤を含む。前記の(D)光重合開始剤としては、トリアジン系化合物、アセトフェノン系化合物およびビイミダゾール系化合物、活性ラジカル発生剤、酸発生剤などが挙げられる。
前記のトリアジン系化合物としては、例えば、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−(4−メトキシフェニル)−1,3,5−トリアジン、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−(4−メトキシナフチル)−1,3,5−トリアジン、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−(4−メトキシスチリル)−1,3,5−トリアジン、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−〔2−(5−メチルフラン−2−イル)エテニル〕−1,3,5−トリアジン、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−〔2−(フラン−2−イル)エテニル〕−1,3,5−トリアジン、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−〔2−(4−ジエチルアミノ−2−メチルフェニル)エテニル〕−1,3,5−トリアジン、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−〔2−(3,4−ジメトキシフェニル)エテニル〕−1,3,5−トリアジンなどが挙げられる。
前記のアセトフェノン系化合物としては、例えば、ジエトキシアセトフェノン、2−メチル−2−モルホリノ−1−(4−メチルチオフェニル)プロパン−1−オン、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニルプロパン−1−オン、ベンジルジメチルケタール、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−〔4−(2−ヒドロキシエトキシ)フェニル〕プロパン−1−オン、1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−〔4−(1−メチルビニル)フェニル〕プロパン−1−オンのオリゴマーなどが挙げられ、好ましくは2−メチル−2−モルホリノ−1−(4−メチルチオフェニル)プロパン−1−オンが挙げられる。
前記のビイミダゾール系化合物としては、例えば、2,2’−ビス(o−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニルビイミダゾール、2,2’−ビス(o−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラ(p−カルボエトキシフェニル)ビイミダゾール、2,2’−ビス(o−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラ(p−ブロモフェニル)ビイミダゾール、2,2′−ビス(o−クロロフェニル)−4,4′,5,5′−テトラ(o,p−ジクロロフェニル)ビイミダゾール、2,2′−ビス(o−ブロモフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニルビイミダゾール、2,2’−ビス(o,p−ジクロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニルビイミダゾール、2,2’−ビス(o−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラ(m−メトキシフェニル)ビイミダゾール、2,2’−ビス(2,6−ジクロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニルビイミダゾール、2,2’−ビス(o−ニトロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニルビイミダゾール、2,2’−ビス(o−メチルフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニルビイミダゾールなどが挙げられ、好ましくは2,2’−ビス(2−クロロフェニル)―4,4’,5,5’−テトラフェニルビイミダゾール、2,2’−ビス(2−クロロフェニル)―4,4’,5,5’−テトラフェニルビイミダゾールが挙げられる。
The colored photosensitive resin composition of the present invention contains (D) a photopolymerization initiator. Examples of the photopolymerization initiator (D) include triazine compounds, acetophenone compounds and biimidazole compounds, active radical generators, and acid generators.
Examples of the triazine compound include 2,4-bis (trichloromethyl) -6- (4-methoxyphenyl) -1,3,5-triazine, 2,4-bis (trichloromethyl) -6- ( 4-methoxynaphthyl) -1,3,5-triazine, 2,4-bis (trichloromethyl) -6- (4-methoxystyryl) -1,3,5-triazine, 2,4-bis (trichloromethyl) -6- [2- (5-methylfuran-2-yl) ethenyl] -1,3,5-triazine, 2,4-bis (trichloromethyl) -6- [2- (furan-2-yl) ethenyl ] -1,3,5-triazine, 2,4-bis (trichloromethyl) -6- [2- (4-diethylamino-2-methylphenyl) ethenyl] -1,3,5-triazine, 2,4- Bis (trichloromethyl) ) Such -6- [2- (3,4-dimethoxyphenyl) ethenyl] -1,3,5-triazine.
Examples of the acetophenone compound include diethoxyacetophenone, 2-methyl-2-morpholino-1- (4-methylthiophenyl) propan-1-one, and 2-hydroxy-2-methyl-1-phenylpropane-1. -One, benzyldimethyl ketal, 2-hydroxy-2-methyl-1- [4- (2-hydroxyethoxy) phenyl] propan-1-one, 1-hydroxycyclohexyl phenyl ketone, 2-hydroxy-2-methyl-1 -[4- (1-methylvinyl) phenyl] propan-1-one oligomers and the like are preferable, and 2-methyl-2-morpholino-1- (4-methylthiophenyl) propan-1-one is preferable. .
Examples of the biimidazole compound include 2,2′-bis (o-chlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetraphenylbiimidazole, 2,2′-bis (o-chlorophenyl)- 4,4 ′, 5,5′-tetra (p-carboethoxyphenyl) biimidazole, 2,2′-bis (o-chlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetra (p-bromophenyl) Biimidazole, 2,2'-bis (o-chlorophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetra (o, p-dichlorophenyl) biimidazole, 2,2'-bis (o-bromophenyl) -4 , 4 ′, 5,5′-tetraphenylbiimidazole, 2,2′-bis (o, p-dichlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetraphenylbiimidazole, 2,2′-bis ( o-chlorophenyl) -4,4 ', 5 5′-tetra (m-methoxyphenyl) biimidazole, 2,2′-bis (2,6-dichlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetraphenylbiimidazole, 2,2′-bis (o -Nitrophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetraphenylbiimidazole, 2,2'-bis (o-methylphenyl) -4,4', 5,5'-tetraphenylbiimidazole and the like. Preferably, 2,2′-bis (2-chlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetraphenylbiimidazole, 2,2′-bis (2-chlorophenyl) -4,4 ′, 5 5'-tetraphenylbiimidazole is mentioned.
活性ラジカル発生剤は光を照射されることによって活性ラジカルを発生する。前記の活性ラジカル発生剤としては、例えば、ベンゾイン系化合物、ベンゾフェノン系化合物、チオキサントン系化合物、トリアジン系化合物、オキシム系化合物などが挙げられる。 An active radical generator generates an active radical when irradiated with light. Examples of the active radical generator include benzoin compounds, benzophenone compounds, thioxanthone compounds, triazine compounds, and oxime compounds.
前記のベンゾイン系化合物としては、例えば、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテルなどが挙げられる。 Examples of the benzoin-based compound include benzoin, benzoin methyl ether, benzoin ethyl ether, benzoin isopropyl ether, and benzoin isobutyl ether.
前記のベンゾフェノン系化合物としては、例えば、ベンゾフェノン、o−ベンゾイル安息香酸メチル、4−フェニルベンゾフェノン、4−ベンゾイル−4’−メチルジフェニルサルファイド、3,3’,4,4’−テトラ(tert−ブチルパーオキシカルボニル)ベンゾフェノン、2,4,6−トリメチルベンゾフェノンなどが挙げられる。 Examples of the benzophenone compounds include benzophenone, methyl o-benzoylbenzoate, 4-phenylbenzophenone, 4-benzoyl-4′-methyldiphenyl sulfide, 3,3 ′, 4,4′-tetra (tert-butyl). Peroxycarbonyl) benzophenone, 2,4,6-trimethylbenzophenone, and the like.
前記のチオキサントン系化合物としては、例えば、2−イソプロピルチオキサントン、4−イソプロピルチオキサントン、2,4−ジエチルチオキサントン、2,4−ジクロロチオキサントン、1−クロロ−4−プロポキシチオキサントンなどが挙げられる。 Examples of the thioxanthone compound include 2-isopropylthioxanthone, 4-isopropylthioxanthone, 2,4-diethylthioxanthone, 2,4-dichlorothioxanthone, 1-chloro-4-propoxythioxanthone, and the like.
前記のオキシム系化合物としては、例えば、O−アシルオキシム系化合物が挙げられ、その具体例としては、1−(4−フェニルスルファニル−フェニル)−ブタン−1,2−ジオン2−オキシム−O−ベンゾアート、1−(4−フェニルスルファニル−フェニル)−オクタン−1,2−ジオン2−オキシム−O−ベンゾアート、1−(4−フェニルスルファニル−フェニル)−オクタン−1−オンオキシム−O−アセタート、1−(4−フェニルスルファニル−フェニル)−ブタン−1−オンオキシム−O−アセタート等が挙げられる。 Examples of the oxime compounds include O-acyloxime compounds, and specific examples thereof include 1- (4-phenylsulfanyl-phenyl) -butane-1,2-dione 2-oxime-O—. Benzoate, 1- (4-phenylsulfanyl-phenyl) -octane-1,2-dione 2-oxime-O-benzoate, 1- (4-phenylsulfanyl-phenyl) -octane-1-one oxime-O-acetate 1- (4-phenylsulfanyl-phenyl) -butan-1-one oxime-O-acetate and the like.
前記の例示以外の活性ラジカル発生剤として、例えば、2,4,6−トリメチルベンゾイルジフェニルホスフィンオキサイド、2,2’−ビス(o−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール、10−ブチル−2−クロロアクリドン、2−エチルアントラキノン、ベンジル、9,10−フェナンスレンキノン、カンファーキノン、フェニルグリオキシル酸メチル、チタノセン化合物などを用いることもできる。 Examples of active radical generators other than those exemplified above include 2,4,6-trimethylbenzoyldiphenylphosphine oxide, 2,2′-bis (o-chlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetraphenyl- 1,2′-biimidazole, 10-butyl-2-chloroacridone, 2-ethylanthraquinone, benzyl, 9,10-phenanthrenequinone, camphorquinone, methyl phenylglyoxylate, titanocene compound, etc. can also be used. .
前記の酸発生剤としては、例えば、4−ヒドロキシフェニルジメチルスルホニウムp−トルエンスルホナート、4−ヒドロキシフェニルジメチルスルホニウムヘキサフルオロアンチモネート、4−アセトキシフェニルジメチルスルホニウム−p−トルエンスルホナート、4−アセトキシフェニル・メチル・ベンジルスルホニウムヘキサフルオロアンチモネート、トリフェニルスルホニウムp−トルエンスルホナート、トリフェニルスルホニウムヘキサフルオロアンチモネート、ジフェニルヨードニウム−p−トルエンスルホナート、ジフェニルヨードニウムヘキサフルオロアンチモネートなどのオニウム塩類や、ニトロベンジルトシレート類、ベンゾイントシレート類などを挙げることができる。 Examples of the acid generator include 4-hydroxyphenyldimethylsulfonium p-toluenesulfonate, 4-hydroxyphenyldimethylsulfonium hexafluoroantimonate, 4-acetoxyphenyldimethylsulfonium-p-toluenesulfonate, 4-acetoxyphenyl.・ Onium salts such as methyl benzylsulfonium hexafluoroantimonate, triphenylsulfonium p-toluenesulfonate, triphenylsulfonium hexafluoroantimonate, diphenyliodonium-p-toluenesulfonate, diphenyliodonium hexafluoroantimonate, and nitrobenzyl Tosylate, benzoin tosylate and the like can be mentioned.
また、前記の活性ラジカル発生剤として上記した化合物の中には、活性ラジカルと同時に酸を発生する化合物もあり、例えば、トリアジン系光重合開始剤は、酸発生剤としても使用される。 Among the compounds described above as the active radical generator, there are compounds that generate an acid simultaneously with the active radical. For example, a triazine photopolymerization initiator is also used as an acid generator.
(D)光重合開始剤の含有量は、(B)バインダー樹脂および(C)光重合性化合物の合計量に対して質量分率で、好ましくは0.1〜20質量%であり、より好ましくは1〜15質量%である。光重合開始剤の含有量が、前記の範囲にあると、高感度化して露光時間が短縮され生産性が向上し、一方感度が高すぎることによってラインアンドスペースのパターンが解像する最小線幅において線幅が太くなりすぎない傾向があることから好ましい。 (D) Content of photoinitiator is a mass fraction with respect to the total amount of (B) binder resin and (C) photopolymerizable compound, Preferably it is 0.1-20 mass%, More preferably Is 1 to 15% by mass. If the content of the photopolymerization initiator is in the above range, the sensitivity is increased, the exposure time is shortened, and the productivity is improved. Is preferable because the line width tends not to be too large.
本発明の着色感光性樹脂組成物には、さらに(G)光重合開始助剤が含まれていてもよい。(G)光重合開始助剤は、好ましくは(D)光重合開始剤と組み合わせて用いられ、光重合開始剤によって重合が開始された光重合性化合物の重合を促進するために用いられる化合物である。
(G)光重合開始助剤としては、アミン系化合物、アルコキシアントラセン系化合物、チオキサントン系化合物などが挙げられる。
前記のアミン系化合物としては、例えば、トリエタノールアミン、メチルジエタノールアミン、トリイソプロパノールアミン、4−ジメチルアミノ安息香酸メチル、4−ジメチルアミノ安息香酸エチル、4−ジメチルアミノ安息香酸イソアミル、安息香酸2−ジメチルアミノエチル、4−ジメチルアミノ安息香酸2−エチルヘキシル、N,N−ジメチルパラトルイジン、4,4’−ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン(通称ミヒラーズケトン)、4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、4,4’−ビス(エチルメチルアミノ)ベンゾフェノンなどが挙げられ、中でも4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノンが好ましい。
The colored photosensitive resin composition of the present invention may further contain (G) a photopolymerization initiation assistant. (G) The photopolymerization initiation assistant is preferably a compound that is used in combination with (D) a photopolymerization initiator and is used to promote polymerization of a photopolymerizable compound that has been polymerized by the photopolymerization initiator. is there.
Examples of the (G) photopolymerization initiation assistant include amine compounds, alkoxyanthracene compounds, thioxanthone compounds, and the like.
Examples of the amine compound include triethanolamine, methyldiethanolamine, triisopropanolamine, methyl 4-dimethylaminobenzoate, ethyl 4-dimethylaminobenzoate, isoamyl 4-dimethylaminobenzoate, and 2-dimethylbenzoate. Aminoethyl, 2-ethylhexyl 4-dimethylaminobenzoate, N, N-dimethylparatoluidine, 4,4′-bis (dimethylamino) benzophenone (commonly known as Michler's ketone), 4,4′-bis (diethylamino) benzophenone, 4, Examples thereof include 4′-bis (ethylmethylamino) benzophenone, and among these, 4,4′-bis (diethylamino) benzophenone is preferable.
前記のアルコキシアントラセン系化合物としては、例えば、9,10−ジメトキシアントラセン、2−エチル−9,10−ジメトキシアントラセン、9,10−ジエトキシアントラセン、2−エチル−9,10−ジエトキシアントラセンなどが挙げられる。 Examples of the alkoxyanthracene compound include 9,10-dimethoxyanthracene, 2-ethyl-9,10-dimethoxyanthracene, 9,10-diethoxyanthracene, and 2-ethyl-9,10-diethoxyanthracene. Can be mentioned.
前記のチオキサントン系化合物としては、例えば、2−イソプロピルチオキサントン、4−イソプロピルチオキサントン、2,4−ジエチルチオキサントン、2,4−ジクロロチオキサントン、1−クロロ−4−プロポキシチオキサントンなどが挙げられる。 Examples of the thioxanthone compound include 2-isopropylthioxanthone, 4-isopropylthioxanthone, 2,4-diethylthioxanthone, 2,4-dichlorothioxanthone, 1-chloro-4-propoxythioxanthone, and the like.
(G)光重合開始助剤は、単独でも2種以上を組み合わせて用いてもよい。また、(G)光重合開始助剤としては、市販のものを用いることもでき、市販の(G)光重合開始助剤としては、例えば、EAB−F(保土谷化学工業(株)製)などが挙げられる。 (G) The photopolymerization initiation assistant may be used alone or in combination of two or more. Moreover, as (G) photopolymerization start adjuvant, a commercially available thing can also be used, and as commercially available (G) photopolymerization start adjuvant, EAB-F (made by Hodogaya Chemical Co., Ltd.) is mentioned, for example. Etc.
本発明の着色感光性樹脂組成物における(D)光重合開始剤および(G)光重合開始助剤の組み合わせとしては、例えば、ジエトキシアセトフェノン/4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、2−メチル−2−モルホリノ−1−(4−メチルチオフェニル)プロパン−1−オン/4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニル−n−プロパン−1−オン/4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、ベンジルジメチルケタール/4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−〔4−(2−ヒドロキシエトキシ)フェニル〕プロパン−1−オン/4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン/4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−〔4−(1−メチルビニル)フェニル〕−n−プロパン−1−オンのオリゴマー/4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルホリノフェニル)ブタン−1−オン/4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノンなどが挙げられ、好ましくは2−メチル−2−モルホリノ−1−(4−メチルチオフェニル)−n−プロパン−1−オン/4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノンが挙げられる。 Examples of the combination of (D) photopolymerization initiator and (G) photopolymerization initiation assistant in the colored photosensitive resin composition of the present invention include, for example, diethoxyacetophenone / 4,4′-bis (diethylamino) benzophenone, 2- Methyl-2-morpholino-1- (4-methylthiophenyl) propan-1-one / 4,4′-bis (diethylamino) benzophenone, 2-hydroxy-2-methyl-1-phenyl-n-propan-1-one / 4,4′-bis (diethylamino) benzophenone, benzyldimethyl ketal / 4,4′-bis (diethylamino) benzophenone, 2-hydroxy-2-methyl-1- [4- (2-hydroxyethoxy) phenyl] propane- 1-one / 4,4′-bis (diethylamino) benzophenone, 1-hydroxycyclohexyl Phenyl ketone / 4,4′-bis (diethylamino) benzophenone, 2-hydroxy-2-methyl-1- [4- (1-methylvinyl) phenyl] -n-propan-1-one oligomer / 4,4 ′ -Bis (diethylamino) benzophenone, 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) butan-1-one / 4,4′-bis (diethylamino) benzophenone, and the like are preferable, and 2-methyl 2-morpholino-1- (4-methylthiophenyl) -n-propan-1-one / 4,4′-bis (diethylamino) benzophenone.
これらの(G)光重合開始助剤を用いる場合、その使用量は、(D)光重合開始剤1モルあたり、好ましくは0.01〜10モル、より好ましくは0.01〜5モルである。 When these (G) photopolymerization initiation assistants are used, the amount used is preferably 0.01 to 10 mol, more preferably 0.01 to 5 mol, per mol of (D) photopolymerization initiator. .
本発明の着色感光性樹脂組成物に含まれる(E)溶剤としては、例えば、エーテル類、芳香族炭化水素類、ケトン類、アルコール類、エステル類、アミド類などが挙げられる。
前記のエーテル類としては、例えば、テトラヒドロフラン、テトラヒドロピラン、1,4−ジオキサン、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノプロピルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールジプロピルエーテル、ジエチレングリコールジブチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノプロピルエーテルアセテート、メチルセロソルブアセテート、エチルセロソルブアセテート、エチルカルビトールアセテート、ブチルカルビトールアセテート、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート、メトキシブチルアセテート、メトキシペンチルアセテート、アニソール、フェネトール、メチルアニソールなどが挙げられる。
前記の芳香族炭化水素類としては、例えば、ベンゼン、トルエン、キシレン、メシチレンなどが挙げられる。
前記のケトン類としては、例えば、アセトン、2−ブタノン、2−ヘプタノン、3−ヘプタノン、4−ヘプタノン、4−メチル−2−ペンタノン、シクロペンタノン、シクロヘキサノンなどが挙げられる。
前記のアルコール類としては、例えば、メタノール、エタノール、プロパノール、ブタノール、ヘキサノール、シクロヘキサノール、エチレングリコール、グリセリンなどが挙げられる。
前記のエステル類としては、例えば、酢酸エチル、酢酸−n−ブチル、酢酸イソブチル、ギ酸アミル、酢酸イソアミル、酢酸イソブチル、プロピオン酸ブチル、酪酸イソプロピル、酪酸エチル、酪酸ブチル、アルキルエステル類、乳酸メチル、乳酸エチル、オキシ酢酸メチル、オキシ酢酸エチル、オキシ酢酸ブチル、メトキシ酢酸メチル、メトキシ酢酸エチル、メトキシ酢酸ブチル、エトキシ酢酸メチル、エトキシ酢酸エチル、3−オキシプロピオン酸メチル、3−オキシプロピオン酸エチル、3−メトキシプロピオン酸メチル、3−メトキシプロピオン酸エチル、3−エトキシプロピオン酸メチル、3−エトキシプロピオン酸エチル、2−オキシプロピオン酸メチル、2−オキシプロピオン酸エチル、2−オキシプロピオン酸プロピル、2−メトキシプロピオン酸メチル、2−メトキシプロピオン酸エチル、2−メトキシプロピオン酸プロピル、2−エトキシプロピオン酸メチル、2−エトキシプロピオン酸エチル、2−オキシ−2−メチルプロピオン酸メチル、2−オキシ−2−メチルプロピオン酸エチル、2−メトキシ−2−メチルプロピオン酸メチル、2−エトキシ−2−メチルプロピオン酸エチル、ピルビン酸メチル、ピルビン酸エチル、ピルビン酸プロピル、アセト酢酸メチル、アセト酢酸エチル、2−オキソブタン酸メチル、2−オキソブタン酸エチル、3−メトキシブチルアセテート、3−メチル−3−メトキシブチルアセテート、γ−ブチロラクトンなどが挙げられる。
前記のアミド類としては、例えば、N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジメチルアセトアミドなどが挙げられる。
その他の溶剤としては、例えば、N−メチルピロリドン、ジメチルスルホオキシドなどが挙げられる。
前記の溶剤は、それぞれ単独でも2種類以上を組み合わせて用いてもよい。
Examples of the solvent (E) contained in the colored photosensitive resin composition of the present invention include ethers, aromatic hydrocarbons, ketones, alcohols, esters, amides and the like.
Examples of the ethers include tetrahydrofuran, tetrahydropyran, 1,4-dioxane, ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, ethylene glycol monopropyl ether, ethylene glycol monobutyl ether, diethylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol monoethyl ether. , Diethylene glycol monobutyl ether, diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol diethyl ether, diethylene glycol dipropyl ether, diethylene glycol dibutyl ether, propylene glycol monomethyl ether acetate, propylene glycol monoethyl ether acetate, propylene glycol monopropyl ether acetate Over DOO, methyl cellosolve acetate, ethyl cellosolve acetate, ethyl carbitol acetate, butyl carbitol acetate, propylene glycol methyl ether acetate, methoxybutyl acetate, methoxy pentyl acetate, anisole, phenetole, and the like methyl anisole.
Examples of the aromatic hydrocarbons include benzene, toluene, xylene, mesitylene and the like.
Examples of the ketones include acetone, 2-butanone, 2-heptanone, 3-heptanone, 4-heptanone, 4-methyl-2-pentanone, cyclopentanone, and cyclohexanone.
Examples of the alcohols include methanol, ethanol, propanol, butanol, hexanol, cyclohexanol, ethylene glycol, and glycerin.
Examples of the esters include ethyl acetate, n-butyl acetate, isobutyl acetate, amyl formate, isoamyl acetate, isobutyl acetate, butyl propionate, isopropyl butyrate, ethyl butyrate, butyl butyrate, alkyl esters, methyl lactate, Ethyl lactate, methyl oxyacetate, ethyl oxyacetate, butyl oxyacetate, methyl methoxyacetate, ethyl methoxyacetate, butyl methoxyacetate, methyl ethoxyacetate, ethyl ethoxyacetate, methyl 3-oxypropionate, ethyl 3-oxypropionate, 3 -Methyl methoxypropionate, ethyl 3-methoxypropionate, methyl 3-ethoxypropionate, ethyl 3-ethoxypropionate, methyl 2-oxypropionate, ethyl 2-oxypropionate, propyl 2-oxypropionate, Methyl methoxypropionate, ethyl 2-methoxypropionate, propyl 2-methoxypropionate, methyl 2-ethoxypropionate, ethyl 2-ethoxypropionate, methyl 2-oxy-2-methylpropionate, 2-oxy-2- Ethyl methyl propionate, methyl 2-methoxy-2-methylpropionate, ethyl 2-ethoxy-2-methylpropionate, methyl pyruvate, ethyl pyruvate, propyl pyruvate, methyl acetoacetate, ethyl acetoacetate, 2-oxobutane Examples include methyl acid, ethyl 2-oxobutanoate, 3-methoxybutyl acetate, 3-methyl-3-methoxybutyl acetate, and γ-butyrolactone.
Examples of the amides include N, N-dimethylformamide and N, N-dimethylacetamide.
Examples of other solvents include N-methylpyrrolidone and dimethyl sulfoxide.
These solvents may be used alone or in combination of two or more.
前記の溶剤の中で、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートを含む溶剤が好ましく用いられる。(E)溶剤がプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートを含む場合、その含有量は、溶剤に対して質量分率で、好ましくは50〜97質量%、より好ましくは60〜95質量%である。 Among the above solvents, a solvent containing propylene glycol monomethyl ether acetate is preferably used. (E) When a solvent contains propylene glycol monomethyl ether acetate, the content is a mass fraction with respect to a solvent, Preferably it is 50-97 mass%, More preferably, it is 60-95 mass%.
(E)溶剤の含有量は、着色感光性樹脂組成物に対して質量分率で、好ましくは70〜90質量%、より好ましくは75〜88質量%である。(E)溶剤の含有量が、前記の範囲にあると、塗布時の面内均一性が良好で、またカラーフィルタを形成した際の色濃度が十分で表示特性が良好であるため好ましい。 (E) Content of a solvent is a mass fraction with respect to a coloring photosensitive resin composition, Preferably it is 70-90 mass%, More preferably, it is 75-88 mass%. (E) It is preferable for the content of the solvent to be in the above-mentioned range since the in-plane uniformity at the time of coating is good, and the color density when the color filter is formed is sufficient and the display characteristics are good.
本発明の着色感光性樹脂組成物は、(F)表面張力低下剤を含有する。
(F)表面張力低下剤としては、これを含む着色感光性樹脂組成物の表面張力を低減する機能を有する化合物から選ばれる。このような表面張力低下剤は市販されている界面活性剤、レベリング材、消泡剤、脱泡剤、整泡剤および塗料添加剤の中から選ぶことができる。
表面張力低下剤は基本的には極性基と疎水性基の両者を含有する化合物である。構造的にはシリコーン系化合物、フッ素系化合物の製品が市販されている。表面張力低下剤は以上述べた化合物の中から選択することができるが、シリコーン系またはフッ素系の表面張力低下剤が好ましい。
シリコーン系表面張力低下剤としては、好ましくはポリエーテル変性シリコーン類、ポリエステル変性シリコーン類、アルキル変性シリコーン類、アクリル変性シリコーン類、シリコーン変性類などから選ばれ、より好ましくはポリエーテル変性シリコーン類の表面張力低下剤が選ばれる。
また、フッ素系化合物としてはフルオロアルキルシリコーン類、フルオロアルキルカルボン酸類、フルオロアルキルアルコール類、フルオロアルキルエーテル類、フルオロアルキル4級アンモニウム塩などから選ばれる。
これらの中から単独もしくは2種以上混合して配合することができる。
The colored photosensitive resin composition of the present invention contains (F) a surface tension reducing agent.
(F) The surface tension reducing agent is selected from compounds having a function of reducing the surface tension of the colored photosensitive resin composition containing the surface tension reducing agent. Such a surface tension reducing agent can be selected from commercially available surfactants, leveling materials, antifoaming agents, defoaming agents, foam stabilizers and paint additives.
The surface tension reducing agent is basically a compound containing both a polar group and a hydrophobic group. Structurally, products of silicone compounds and fluorine compounds are commercially available. The surface tension reducing agent can be selected from the above-mentioned compounds, but a silicone-based or fluorine-based surface tension reducing agent is preferable.
The silicone-based surface tension reducing agent is preferably selected from polyether-modified silicones, polyester-modified silicones, alkyl-modified silicones, acrylic-modified silicones, silicone-modifieds, and the like, more preferably the surface of polyether-modified silicones A tension reducing agent is selected.
The fluorine compound is selected from fluoroalkyl silicones, fluoroalkyl carboxylic acids, fluoroalkyl alcohols, fluoroalkyl ethers, fluoroalkyl quaternary ammonium salts and the like.
Among these, it can mix | blend individually or in mixture of 2 or more types.
表面張力低下剤の添加量は、着色感光性樹脂組成物の固形分に対して質量分率で、好ましくは0.001質量%以上1.1質量%以下、より好ましくは0.01質量%以上1.0質量%以下、とりわけ好ましくは、0.02質量%以上0.8質量%以下である。表面張力低下剤の含有量が前記の範囲にあると、これを含む着色感光性樹脂組成物を用いてパターンを形成するときに、未露光部に残渣が残りにくく好ましい。
市販されている製品を例示すると、前記のシリコーン系化合物としては、ポリエーテル変性シリコーン類であるBYK−300、BYK−301、BYK−302、BYK−306、BYK−307、BYK−320、BYK−325、BYK−330、BYK−331、BYK−332、BYK−333、BYK−341、BYK−344、BYK−375、BYK−UV3500、BYK−UV3510、BYK−UV3530、BYK−UV3570;
ポリエステル変性シリコーン類であるBYK−310、BYK−315、BYK−370、
アラルキル変性シリコーン類であるBYK−322、BYK−323;
アクリル変性シリコーン類であるBYK−352、BYK−354、BYK−355、BYK−356、BYK−357、BYK−358、BYK−359、BYK−361;
シリコーン変性類であるBYK−Silclean3700(ビックケミー・ジャパン(株)製)などをあげることができる。
また、前記のフッ素系化合物としては、例えば、フローレンAC−300、フローレンAC−900、フローレンAO−3、フローレンAKS、フローノンSB−110N、フローノンSB−210、フローノンSB−510、フローノンSB−551(共栄社化学(株)製)、EF−305、EF−306A(新秋田化成(株)製)、エマール0、エマールAD−25R、エマールTD、エマールE−27C、エマールNC−35、レオドールMS−50、レオドールSP−L10、レオドールAO−10、レオドールTW−L120、レオドールTW−O120、レオドールスーパーTW−S120、レオドール430、ネオペレックスF−25、ネオペレックスNo25、エマノーン1112、エマノーン4110、EMANO−NN3299、エマゾールL−10H、エマゾールP−120、エマゾールO120(花王(株)製)、エマルゲン105、エマルゲン108、エマルゲン147、エマルゲン210、エマルゲン320P、エマルゲン404、エマルゲン430、エマルゲン903、エマルゲン906、エマルゲン920、エマルゲン950、エマルゲン705、エマルゲンPP−150、エマルゲンPP−230、エマルゲンPP−250、エマルゲンPP−290、アミート105、アミート308、アミート320、コータミン24P、コータミンD−86P、アンヒトール24B、アンヒトール86B(花王アトラス(株)製)などを挙げることができる。
The addition amount of the surface tension reducing agent is a mass fraction with respect to the solid content of the colored photosensitive resin composition, preferably 0.001% by mass to 1.1% by mass, more preferably 0.01% by mass or more. It is 1.0 mass% or less, Most preferably, it is 0.02 mass% or more and 0.8 mass% or less. When the content of the surface tension reducing agent is in the above range, it is preferable that a residue is hardly left in an unexposed portion when a pattern is formed using a colored photosensitive resin composition containing the surface tension reducing agent.
For example, commercially available products include polyether-modified silicones BYK-300, BYK-301, BYK-302, BYK-306, BYK-307, BYK-320, BYK- 325, BYK-330, BYK-331, BYK-332, BYK-333, BYK-341, BYK-344, BYK-375, BYK-UV3500, BYK-UV3510, BYK-UV3530, BYK-UV3570;
BYK-310, BYK-315, BYK-370, which are polyester-modified silicones
BYK-322 and BYK-323 which are aralkyl-modified silicones;
Acrylic modified silicones BYK-352, BYK-354, BYK-355, BYK-356, BYK-357, BYK-358, BYK-359, BYK-361;
Examples include silicone modified BYK-Silclean 3700 (manufactured by Big Chemie Japan Co., Ltd.).
Examples of the fluorine compound include Floren AC-300, Floren AC-900, Floren AO-3, Floren AKS, Flownon SB-110N, Flownon SB-210, Flownon SB-510, Flownon SB-551 ( Kyoeisha Chemical Co., Ltd.), EF-305, EF-306A (manufactured by Shin-Akita Kasei Co., Ltd.), Emar 0, Emar AD-25R, Emar TD, Emar E-27C, Emar NC-35, Rheodor MS-50 , Leodole SP-L10, Leodole AO-10, Leodole TW-L120, Leodole TW-O120, Leodole Super TW-S120, Leodole 430, Neoperex F-25, Neoperex No25, Emanon 1112, Emanon 4110, EMANO-NN 299, Emazole L-10H, Emazole P-120, Emazole O120 (manufactured by Kao Corporation), Emulgen 105, Emulgen 108, Emulgen 147, Emulgen 210, Emulgen 320P, Emulgen 404, Emulgen 430, Emulgen 903, Emulgen 906, Emulgen 920, Emulgen 950, Emulgen 705, Emulgen PP-150, Emulgen PP-230, Emulgen PP-250, Emulgen PP-290, Amit 105, Amit 308, Amit 320, Cotamine 24P, Cotamine D-86P, Amphithol 24B, Amphithal 86B (Manufactured by Kao Atlas Co., Ltd.).
さらに、界面活性剤が含まれていてもよい。前記の界面活性剤としては、シリコーン系界面活性剤、フッ素系界面活性剤およびフッ素原子を有するシリコーン系界面活性剤が挙げられる。前記のシリコーン系界面活性剤としては、シロキサン結合を有する界面活性剤などが挙げられる。具体的には、トーレシリコーンDC3PA、同SH7PA、同DC11PA、同SH21PA、同SH28PA、同29SHPA、同SH30PA、ポリエーテル変性シリコンオイルSH8400(トーレシリコーン(株)製)、KP321、KP322、KP323、KP324、KP326、KP340、KP341(信越シリコーン製)、TSF400、TSF401、TSF410、TSF4300、TSF4440、TSF4445、TSF−4446、TSF4452、TSF4460(ジーイー東芝シリコーン(株)製)などが挙げられる。
前記のフッ素系界面活性剤としては、フルオロカーボン鎖を有する界面活性剤などが挙げられる。具体的には、フロラードFC430、同FC431(住友スリーエム(株)製)、メガファックF142D、同F171、同F172、同F173、同F177、同F183、同R30(大日本インキ化学工業(株)製)、エフトップEF301、同EF303、同EF351、同EF352(新秋田化成(株)製)、サーフロンS381、同S382、同SC101、同SC105(旭硝子(株)製)、E5844((株)ダイキンファインケミカル研究所製)、BM−1000、BM−1100(BM Chemie社製)などが挙げられる。
前記のフッ素原子を有するシリコーン系界面活性剤としては、シロキサン結合およびフルオロカーボン鎖を有する界面活性剤などが挙げられる。具体的には、メガファックR08、同BL20、同F475、同F477、同F443(大日本インキ化学工業(株)製)、サーフィノール61、オルフィンB、オルフィンP、サーフィノール82、サーフィノール104、オルフィンY、ダイノール604、サーフィノール440、サーフィノール465、サーフィノール485、サーフィノール2502(いずれも日信化学工業(株)製)が挙げられる。
これらの界面活性剤は、単独でも2種類以上を組み合わせて用いてもよい。
Further, a surfactant may be included. Examples of the surfactant include a silicone surfactant, a fluorine surfactant, and a silicone surfactant having a fluorine atom. Examples of the silicone surfactant include surfactants having a siloxane bond. Specifically, Torre Silicone DC3PA, SH7PA, DC11PA, SH21PA, SH28PA, SH28PA, 29SHPA, SH30PA, polyether-modified silicone oil SH8400 (manufactured by Torresilicone), KP321, KP322, KP323, KP324, KP326, KP340, KP341 (manufactured by Shin-Etsu Silicone), TSF400, TSF401, TSF410, TSF4300, TSF4440, TSF4445, TSF-4446, TSF4452, TSF4460 (manufactured by GE Toshiba Silicone Co., Ltd.) and the like.
Examples of the fluorine-based surfactant include surfactants having a fluorocarbon chain. Specifically, Florard FC430, FC431 (Sumitomo 3M Co., Ltd.), MegaFuck F142D, F171, F172, F173, F177, F183, and R30 (Dainippon Ink Chemical Co., Ltd.) ), EFTOP EF301, EF303, EF351, EF352 (manufactured by Shin-Akita Kasei Co., Ltd.), Surflon S381, S382, SC101, SC105 (Asahi Glass Co., Ltd.), E5844 (Daikin Fine Chemical Co., Ltd.) Laboratory), BM-1000, BM-1100 (manufactured by BM Chemie).
Examples of the silicone-based surfactant having a fluorine atom include surfactants having a siloxane bond and a fluorocarbon chain. Specifically, Mega Fuck R08, BL20, F475, F477, F443 (manufactured by Dainippon Ink & Chemicals, Inc.), Surfinol 61, Orphine B, Olphin P, Surfinol 82, Surfinol 104, Olfin Y, Dinol 604, Surfinol 440, Surfinol 465, Surfinol 485, Surfinol 2502 (all manufactured by Nissin Chemical Industry Co., Ltd.) can be mentioned.
These surfactants may be used alone or in combination of two or more.
本発明の着色感光性樹脂組成物は、分子量1,000以下の有機酸を含有してもよい。前記の分子量1,000以下の有機酸としては、例えば、特開平5−343631号に開示された有機酸が挙げられる。具体的には、マロン酸、シュウ酸、コハク酸、グルタル酸、アジピン酸、安息香酸、フタル酸、イソフタル酸、テレフタル酸、シトラコン酸、イタコン酸、メサコン酸、フマル酸、フタル酸、アクリル酸、メタクリル酸が挙げられ、好ましくはマロン酸、シュウ酸、フマル酸、フタル酸が挙げられる。分子量1,000以下の有機酸を含有することで、残渣がさらに良好となる傾向があるので、好ましい。 The colored photosensitive resin composition of the present invention may contain an organic acid having a molecular weight of 1,000 or less. Examples of the organic acid having a molecular weight of 1,000 or less include the organic acids disclosed in JP-A-5-343631. Specifically, malonic acid, oxalic acid, succinic acid, glutaric acid, adipic acid, benzoic acid, phthalic acid, isophthalic acid, terephthalic acid, citraconic acid, itaconic acid, mesaconic acid, fumaric acid, phthalic acid, acrylic acid, Methacrylic acid is mentioned, Preferably malonic acid, oxalic acid, fumaric acid, and phthalic acid are mentioned. By containing an organic acid having a molecular weight of 1,000 or less, the residue tends to be even better, which is preferable.
本発明の着色感光性樹脂組成物には、さらに、充填剤、バインダー樹脂以外の高分子化合物、密着促進剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、凝集防止剤、有機酸、有機アミノ化合物、硬化剤などの添加剤を含有していてもよい。 The colored photosensitive resin composition of the present invention further includes a filler, a polymer compound other than the binder resin, an adhesion promoter, an antioxidant, an ultraviolet absorber, an aggregation inhibitor, an organic acid, an organic amino compound, and a curing agent. Etc. may be contained.
前記の充填剤としては、例えば、ガラス、アルミナなどの微粒子が挙げられる。 Examples of the filler include fine particles such as glass and alumina.
前記のバインダー樹脂以外の高分子化合物としては、例えば、ポリビニルアルコール、ポリアクリル酸、ポリエチレングリコールモノアルキルエーテル、ポリフロロアルキルアクリレートなどが挙げられる。 Examples of the polymer compound other than the binder resin include polyvinyl alcohol, polyacrylic acid, polyethylene glycol monoalkyl ether, and polyfluoroalkyl acrylate.
前記の密着促進剤としては、例えば、ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリス(2−メトキシエトキシ)シラン、N−(2−アミノエチル)−3−アミノ−n−プロピルメチルジメトキシシラン、N−(2−アミノエチル)−3−アミノ−n−プロピルトリメトキシシラン、3−アミノ−n−プロピルトリエトキシシラン、3−グリシドキシ−n−プロピルトリメトキシシラン、3−グリシドキシメチルジメトキシシラン、2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシラン、3−クロロ−n−プロピルメチルジメトキシシラン、3−クロロ−n−プロピルトリメトキシシラン、3−メタクリロキシ−n−プロピルトリメトキシシラン、3−メルカプト−n−プロピルトリメトキシシランなどが挙げられる。 Examples of the adhesion promoter include vinyltrimethoxysilane, vinyltriethoxysilane, vinyltris (2-methoxyethoxy) silane, N- (2-aminoethyl) -3-amino-n-propylmethyldimethoxysilane, N -(2-aminoethyl) -3-amino-n-propyltrimethoxysilane, 3-amino-n-propyltriethoxysilane, 3-glycidoxy-n-propyltrimethoxysilane, 3-glycidoxymethyldimethoxysilane, 2- (3,4-epoxycyclohexyl) ethyltrimethoxysilane, 3-chloro-n-propylmethyldimethoxysilane, 3-chloro-n-propyltrimethoxysilane, 3-methacryloxy-n-propyltrimethoxysilane, 3- Mercapto-n-propyltrimethoxysilane, etc. And the like.
前記の酸化防止剤としては、例えば、4,4’−チオビス(6−tert−ブチル−3−メチルフェノール)、2,6−ジ−tert−ブチル−4−メチルフェノールなどが挙げられる。 Examples of the antioxidant include 4,4'-thiobis (6-tert-butyl-3-methylphenol), 2,6-di-tert-butyl-4-methylphenol, and the like.
前記の紫外線吸収剤としては、例えば、2−(2−ヒドロキシ−3−tert−ブチル−5−メチルフェニル)−5−クロロベンゾトリアゾールなどのベンゾトリアゾール系;
2−ヒドロキシ−4−オクチルオキシベンゾフェノンなどのベンゾフェノン系;
2,4−ジ−tert−ブチルフェニル−3,5−ジ−tert−ブチル−4−ヒドロキシベンゾエートなどのベンゾエート系;
2−(4,6−ジフェニル−1,3,5−トリアジン−2−イル)−5−ヘキシルオキシフェノールなどのトリアジン系などが挙げられる。
Examples of the ultraviolet absorber include benzotriazoles such as 2- (2-hydroxy-3-tert-butyl-5-methylphenyl) -5-chlorobenzotriazole;
Benzophenone series such as 2-hydroxy-4-octyloxybenzophenone;
Benzoate systems such as 2,4-di-tert-butylphenyl-3,5-di-tert-butyl-4-hydroxybenzoate;
And triazines such as 2- (4,6-diphenyl-1,3,5-triazin-2-yl) -5-hexyloxyphenol.
前記の凝集防止剤としては、例えば、ポリアクリル酸ナトリウムなどが挙げられる。 Examples of the aggregation preventing agent include sodium polyacrylate.
アミン化合物添加により、現像時に未露光部の基板上の残渣をさらに少なくすることができ、かつ基板への密着性に優れた画素を与えることができる。
前記の有機アミン化合物としては、例えば、n―プロピルアミン、イソプロピルアミン、n−ブチルアミン、イソブチルアミン、sec−ブチルアミン、tert−ブチルアミン、n−ペンチルアミン、n−ヘキシルアミン、n−ヘプチルアミン、n−オクチルアミン、n−ノニルアミン、n−デシルアミン、n−ウンデシルアミン、n−ドデシルアミンなどのモノアルキルアミン類;
シクロヘキシルアミン、2−メチルシクロヘキシルアミン、3−メチルシクロヘキシルアミン、4−メチルシクロヘキシルアミンなどのモノシクロアルキルアミン類;
メチルエチルアミン、ジエチルアミン、メチル−n−プロピルアミン、エチル−n−プロピルアミン、ジ−n−プロピルアミン、ジイソプロピルアミン、ジ−n−ブチルアミン、ジイソブチルアミン、ジ−sec−ブチルアミン、ジ−tert−ブチルアミン、ジn−ペンチルアミン、ジn−ヘキシルアミンなどのジアルキルアミン類;
メチルシクロヘキシルアミン、エチルシクロヘキシルアミンなどのモノアルキルモノシクロアルキルアミン類;
ジシクロヘキシルアミンなどのジシクロアルキルアミン類;
ジメチルエチルアミン、メチルジエチルアミン、トリエチルアミン、ジメチル−n−プロピルアミン、ジエチル−n−プロピルアミン、メチルジ−n−プロピルアミン、エチルジ−n−プロピルアミン、トリ−n−プロピルアミン、トリイソプロピルアミン、トリ−n−ブチルアミン、トリイソブチルアミン、トリ−sec−ブチルアミン、トリ−tert−ブチルアミン、トリ−n−ペンチルアミン、トリ−n−ヘキシルアミンなどのトリアルキルアミン類;
ジメチルシクロヘキシルアミン、ジエチルシクロヘキシルアミンなどのジアルキルモノシクロアルキルアミン類;
メチルジシクロヘキシルアミン、エチルジシクロヘキシルアミン、トリシクロヘキシルアミンなどのモノアルキルジシクロアルキルアミン類;
2−アミノエタノール、3−アミノ−1−プロパノール、1−アミノ−2−プロパノール、4−アミノ−1−ブタノール、5−アミノ−1−ペンタノール、6−アミノ−1−ヘキサノールなどのモノアルカノールアミン類;
4−アミノ−1−シクロヘキサノールなどのモノシクロアルカノールアミン類;
ジエタノールアミン、ジ−n−プロパノールアミン、ジイソプロパノールアミン、ジ−n−ブタノールアミン、ジイソブタノールアミン、ジn−ペンタノールアミン、ジ−n−ヘキサノールアミンなどのジアルカノールアミン類;
ジ(4−シクロヘキサノール)アミンなどのジシクロアルカノールアミン類;
トリエタノールアミン、トリ−n−プロパノールアミン、トリ−イソプロパノールアミン、トリ−n−ブタノールアミン、トリ−イソブタノールアミン、トリ−n−ペンタノールアミン、トリ−n−ヘキサノールアミンなどのトリアルカノールアミン類;
トリ(4−シクロヘキサノール)アミンなどのトリシクロアルカノールアミン類;
3−アミノ−1,2−プロパンジオール、2−アミノ−1,3−プロパンジオール、4−アミノ−1,2−ブタンジオール、4−アミノ−1,3−ブタンジオール、3−ジメチルアミノ−1,2−プロパンジオール、3−ジエチルアミノ−1,2−プロパンジオール、2−ジメチルアミノ−1,3−プロパンジオール、2−ジエチルアミノ−1,3−プロパンジオールなどのアミノアルカンジオール類;
4−アミノ−1,2−シクロヘキサンジオール、4−アミノ−1,3−シクロヘキサンジオールなどのアミノシクロアルカンジオール類;
1−アミノシクロペンタノンメタノール、4−アミノシクロペンタノンメタノールなどのアミノ基含有シクロアルカノンメタノール類;
1−アミノシクロヘキサノンメタノール、4−アミノシクロヘキサノンメタノール、4−ジメチルアミノシクロペンタンメタノール、4−ジエチルアミノシクロペンタンメタノール、4−ジメチルアミノシクロヘキサンメタノール、4−ジエチルアミノシクロヘキサンメタノールなどのアミノ基含有シクロアルカンメタノール類;
β−アラニン、2−アミノ酪酸、3−アミノ酪酸、4−アミノ酪酸、2−アミノイソ酢酸、3−アミノイソ酢酸、2−アミノ吉草酸、5−アミノ吉草酸、6−アミノカプロン酸、1−アミノシクロプロパンカルボン酸、1−アミノシクロヘキサンカルボン酸、4−アミノシクロヘキサンカルボン酸などのアミノカルボン酸類;
アニリン、o−メチルアニリン、m−メチルアニリン、p−メチルアニリン、p−エチルアニリン、p−n−プロピルアニリン、p−イソプロピルアニリン、p−n−ブチルアニリン、p−tert−ブチルアニリン、1−ナフチルアミン、2−ナフチルアミン、N,N−ジメチルアニリン、N,N−ジエチルアニリン、p−メチル−N,N−ジメチルアニリンなどの芳香族アミン類;
o−アミノベンジルアルコール、m−アミノベンジルアルコール、p−アミノベンジルアルコール、p−ジメチルアミノベンジルアルコール、p−ジエチルアミノベンジルアルコールなどのアミノベンジルアルコール類;
o−アミノフェノール、m−アミノフェノール、p−アミノフェノール、p−ジメチルアミノフェノール、p−ジエチルアミノフェノールなどのアミノフェノール類;
m−アミノ安息香酸、p−アミノ安息香酸、p−ジメチルアミノ安息香酸、p−ジエチルアミノ安息香酸などのアミノ安息香酸類などが挙げられる。
By adding an amine compound, it is possible to further reduce the residue on the substrate in the unexposed area during development, and to provide a pixel having excellent adhesion to the substrate.
Examples of the organic amine compound include n-propylamine, isopropylamine, n-butylamine, isobutylamine, sec-butylamine, tert-butylamine, n-pentylamine, n-hexylamine, n-heptylamine, n- Monoalkylamines such as octylamine, n-nonylamine, n-decylamine, n-undecylamine, n-dodecylamine;
Monocycloalkylamines such as cyclohexylamine, 2-methylcyclohexylamine, 3-methylcyclohexylamine, 4-methylcyclohexylamine;
Methylethylamine, diethylamine, methyl-n-propylamine, ethyl-n-propylamine, di-n-propylamine, diisopropylamine, di-n-butylamine, diisobutylamine, di-sec-butylamine, di-tert-butylamine, Dialkylamines such as di-n-pentylamine and di-n-hexylamine;
Monoalkylmonocycloalkylamines such as methylcyclohexylamine and ethylcyclohexylamine;
Dicycloalkylamines such as dicyclohexylamine;
Dimethylethylamine, methyldiethylamine, triethylamine, dimethyl-n-propylamine, diethyl-n-propylamine, methyldi-n-propylamine, ethyldi-n-propylamine, tri-n-propylamine, triisopropylamine, tri-n -Trialkylamines such as butylamine, triisobutylamine, tri-sec-butylamine, tri-tert-butylamine, tri-n-pentylamine, tri-n-hexylamine;
Dialkylmonocycloalkylamines such as dimethylcyclohexylamine and diethylcyclohexylamine;
Monoalkyldicycloalkylamines such as methyldicyclohexylamine, ethyldicyclohexylamine, tricyclohexylamine;
Monoalkanolamines such as 2-aminoethanol, 3-amino-1-propanol, 1-amino-2-propanol, 4-amino-1-butanol, 5-amino-1-pentanol, and 6-amino-1-hexanol Kind;
Monocycloalkanolamines such as 4-amino-1-cyclohexanol;
Dialkanolamines such as diethanolamine, di-n-propanolamine, diisopropanolamine, di-n-butanolamine, diisobutanolamine, din-pentanolamine, di-n-hexanolamine;
Dicycloalkanolamines such as di (4-cyclohexanol) amine;
Trialkanolamines such as triethanolamine, tri-n-propanolamine, tri-isopropanolamine, tri-n-butanolamine, tri-isobutanolamine, tri-n-pentanolamine, tri-n-hexanolamine;
Tricycloalkanolamines such as tri (4-cyclohexanol) amine;
3-amino-1,2-propanediol, 2-amino-1,3-propanediol, 4-amino-1,2-butanediol, 4-amino-1,3-butanediol, 3-dimethylamino-1 Aminoalkanediols such as 1,2-propanediol, 3-diethylamino-1,2-propanediol, 2-dimethylamino-1,3-propanediol, 2-diethylamino-1,3-propanediol;
Aminocycloalkanediols such as 4-amino-1,2-cyclohexanediol and 4-amino-1,3-cyclohexanediol;
Amino group-containing cycloalkanone methanols such as 1-aminocyclopentanone methanol and 4-aminocyclopentanone methanol;
Amino group-containing cycloalkanemethanols such as 1-aminocyclohexanone methanol, 4-aminocyclohexanone methanol, 4-dimethylaminocyclopentanemethanol, 4-diethylaminocyclopentanemethanol, 4-dimethylaminocyclohexanemethanol, 4-diethylaminocyclohexanemethanol;
β-alanine, 2-aminobutyric acid, 3-aminobutyric acid, 4-aminobutyric acid, 2-aminoisoacetic acid, 3-aminoisoacetic acid, 2-aminovaleric acid, 5-aminovaleric acid, 6-aminocaproic acid, 1-aminocyclo Aminocarboxylic acids such as propanecarboxylic acid, 1-aminocyclohexanecarboxylic acid, 4-aminocyclohexanecarboxylic acid;
Aniline, o-methylaniline, m-methylaniline, p-methylaniline, p-ethylaniline, pn-propylaniline, p-isopropylaniline, pn-butylaniline, p-tert-butylaniline, 1- Aromatic amines such as naphthylamine, 2-naphthylamine, N, N-dimethylaniline, N, N-diethylaniline, p-methyl-N, N-dimethylaniline;
aminobenzyl alcohols such as o-aminobenzyl alcohol, m-aminobenzyl alcohol, p-aminobenzyl alcohol, p-dimethylaminobenzyl alcohol, p-diethylaminobenzyl alcohol;
aminophenols such as o-aminophenol, m-aminophenol, p-aminophenol, p-dimethylaminophenol, p-diethylaminophenol;
Examples include aminobenzoic acids such as m-aminobenzoic acid, p-aminobenzoic acid, p-dimethylaminobenzoic acid, and p-diethylaminobenzoic acid.
前記の硬化剤としては、例えば、加熱されることによってバインダー樹脂中のカルボキシル基と反応してバインダー樹脂を架橋することができる化合物、単独で重合して着色パターンを硬化させ得る化合物などが挙げられる。前記の化合物としては、例えば、エポキシ化合物、オキセタン化合物などが挙げられ、オキセタン化合物が好ましく用いられる。 Examples of the curing agent include a compound that can react with a carboxyl group in the binder resin by being heated to crosslink the binder resin, and a compound that can be polymerized alone to cure the colored pattern. . As said compound, an epoxy compound, an oxetane compound, etc. are mentioned, for example, An oxetane compound is used preferably.
ここで、エポキシ化合物としては、例えば、ビスフェノールA系エポキシ樹脂、水素化ビスフェノールA系エポキシ樹脂、ビスフェノールF系エポキシ樹脂、水素化ビスフェノールF系エポキシ樹脂、ノボラック型エポキシ樹脂、他の芳香族系エポキシ樹脂、脂環族系エポキシ樹脂、複素環式エポキシ樹脂、グリシジルエステル系樹脂、グリシジルアミン系樹脂、エポキシ化油等のエポキシ樹脂や、これらのエポキシ樹脂の臭素化誘導体、エポキシ樹脂およびその臭素化誘導体以外の脂肪族、脂環族または芳香族のエポキシ化合物、ブタジエンの(共)重合体のエポキシ化物、イソプレンの(共)重合体のエポキシ化物、グリシジル(メタ)アクリレートの(共)重合体、トリグリシジルイソシアヌレートなどが挙げられる。 Here, as the epoxy compound, for example, bisphenol A type epoxy resin, hydrogenated bisphenol A type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, hydrogenated bisphenol F type epoxy resin, novolac type epoxy resin, other aromatic epoxy resins , Alicyclic epoxy resins, heterocyclic epoxy resins, glycidyl ester resins, glycidyl amine resins, epoxy resins such as epoxidized oil, brominated derivatives of these epoxy resins, epoxy resins and brominated derivatives thereof Aliphatic, cycloaliphatic or aromatic epoxy compounds, epoxidized butadiene (co) polymers, epoxidized isoprene (co) polymers, glycidyl (meth) acrylate (co) polymers, triglycidyl Examples include isocyanurate.
前記のオキセタン化合物としては、例えば、カーボネートビスオキセタン、キシリレンビスオキセタン、アジペートビスオキセタン、テレフタレートビスオキセタン、シクロヘキサンジカルボン酸ビスオキセタンなどが挙げられる。 Examples of the oxetane compound include carbonate bisoxetane, xylylene bisoxetane, adipate bisoxetane, terephthalate bisoxetane, and bisoxetane cyclohexanedicarboxylate.
本発明の着色感光性樹脂組成物は、硬化剤としてエポキシ化合物、オキセタン化合物などを含有する場合には、エポキシ化合物のエポキシ基、オキセタン化合物のオキセタン骨格を開環重合させ得る化合物を含んでいてもよい。該化合物としては、例えば、多価カルボン酸類、多価カルボン酸無水物類、酸発生剤などが挙げられる。 When the colored photosensitive resin composition of the present invention contains an epoxy compound, an oxetane compound, or the like as a curing agent, it may contain a compound capable of ring-opening polymerization of the epoxy group of the epoxy compound or the oxetane skeleton of the oxetane compound. Good. Examples of the compound include polyvalent carboxylic acids, polyvalent carboxylic acid anhydrides, and acid generators.
前記の多価カルボン酸類としては、例えば、フタル酸、3,4−ジメチルフタル酸、イソフタル酸、テレフタル酸、ピロメリット酸、トリメリット酸、1,4,5,8−ナフタレンテトラカルボン酸、3,3’,4,4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸などの芳香族多価カルボン酸類;
こはく酸、グルタル酸、アジピン酸、1,2,3,4−ブタンテトラカルボン酸、マレイン酸、フマル酸、イタコン酸などの脂肪族多価カルボン酸類;
ヘキサヒドロフタル酸、3,4−ジメチルテトラヒドロフタル酸、ヘキサヒドロイソフタル酸、ヘキサヒドロテレフタル酸、1,2,4−シクロペンタントリカルボン酸、1,2,4−シクロヘキサントリカルボン酸、シクロペンタンテトラカルボン酸、1,2,4,5−シクロヘキサンテトラカルボン酸などの脂環族多価カルボン酸類などが挙げられる。
Examples of the polyvalent carboxylic acids include phthalic acid, 3,4-dimethylphthalic acid, isophthalic acid, terephthalic acid, pyromellitic acid, trimellitic acid, 1,4,5,8-naphthalenetetracarboxylic acid, 3 Aromatic polycarboxylic acids such as 3,3 ', 4,4'-benzophenonetetracarboxylic acid;
Aliphatic polycarboxylic acids such as succinic acid, glutaric acid, adipic acid, 1,2,3,4-butanetetracarboxylic acid, maleic acid, fumaric acid, itaconic acid;
Hexahydrophthalic acid, 3,4-dimethyltetrahydrophthalic acid, hexahydroisophthalic acid, hexahydroterephthalic acid, 1,2,4-cyclopentanetricarboxylic acid, 1,2,4-cyclohexanetricarboxylic acid, cyclopentanetetracarboxylic acid And alicyclic polyvalent carboxylic acids such as 1,2,4,5-cyclohexanetetracarboxylic acid.
前記の多価カルボン酸無水物類としては、例えば、無水フタル酸、無水ピロメリット酸、無水トリメリット酸、3,3’,4,4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物などの芳香族多価カルボン酸無水物類;
無水イタコン酸、無水こはく酸、無水シトラコン酸、無水ドデセニルコハク酸、無水トリカルバリル酸、無水マレイン酸、1,2,3,4−ブタンテトラカルボン酸二無水物などの脂肪族多価カルボン酸無水物類;
無水ヘキサヒドロフタル酸、3,4−ジメチルテトラヒドロフタル酸無水物、1,2,4−シクロペンタントリカルボン酸無水物、1,2,4−シクロヘキサントリカルボン酸無水物、シクロペンタンテトラカルボン酸二無水物、1,2,4,5−シクロヘキサンテトラカルボン酸二無水物、無水ハイミック酸、無水ナジン酸などの脂環族多価カルボン酸無水物類;
エチレングリコールビストリメリテイト酸、グリセリントリストリメリテイト無水物などのエステル基含有カルボン酸無水物類などが挙げられる。
Examples of the polyvalent carboxylic acid anhydrides include aromatic phthalic anhydride, pyromellitic anhydride, trimellitic anhydride, and 3,3 ′, 4,4′-benzophenone tetracarboxylic dianhydride. Carboxylic anhydrides;
Aliphatic polycarboxylic anhydrides such as itaconic anhydride, succinic anhydride, citraconic anhydride, dodecenyl succinic anhydride, tricarballylic anhydride, maleic anhydride, 1,2,3,4-butanetetracarboxylic dianhydride Kind;
Hexahydrophthalic anhydride, 3,4-dimethyltetrahydrophthalic anhydride, 1,2,4-cyclopentanetricarboxylic anhydride, 1,2,4-cyclohexanetricarboxylic anhydride, cyclopentanetetracarboxylic dianhydride Alicyclic polycarboxylic acid anhydrides such as 1,2,4,5-cyclohexanetetracarboxylic dianhydride, hymic anhydride, and nadic anhydride;
Examples include ester group-containing carboxylic acid anhydrides such as ethylene glycol bistrimellitic acid and glycerin tristrimellitic anhydride.
前記のカルボン酸無水物類としては、エポキシ樹脂硬化剤として市販されているものを用いてもよい。前記のエポキシ樹脂硬化剤としては、例えば、アデカハードナーEH−700(旭電化工業(株)製)、リカシッドHH、MH−700(いずれも新日本理化(株)製)などが挙げられる。 As said carboxylic acid anhydride, you may use what is marketed as an epoxy resin hardening | curing agent. Examples of the epoxy resin curing agent include ADEKA HARDNER EH-700 (manufactured by Asahi Denka Kogyo Co., Ltd.), RIKACID HH, and MH-700 (all manufactured by Shin Nippon Rika Co., Ltd.).
前記の硬化剤は、単独でも2種以上を組み合わせて用いてもよい。 The above curing agents may be used alone or in combination of two or more.
本発明の着色感光性樹脂組成物を調製する方法としては、例えば、溶剤(E)中において分散剤を併存させて、顔料などの着色剤を分散させることにより、着色剤の分散液を調製し、さらに、溶剤に溶解させた(B)バインダー樹脂、(C)光重合性化合物、(D)光重合開始剤および必要によりその他の添加剤等を溶解させ、前記の(A)着色剤の分散液と混合し、必要によりさらに溶剤を添加する方法などが挙げられる。 As a method for preparing the colored photosensitive resin composition of the present invention, for example, a dispersion of a colorant is prepared by dispersing a colorant such as a pigment in the solvent (E) together with a dispersant. Furthermore, (B) binder resin, (C) photopolymerizable compound, (D) photopolymerization initiator and other additives as necessary dissolved in a solvent are dissolved, and the above-mentioned (A) colorant is dispersed. The method of mixing with a liquid and adding a solvent further as needed is mentioned.
また、本発明の着色感光性樹脂組成物は、通常、容器に封入して、流通、保管に供される。 In addition, the colored photosensitive resin composition of the present invention is usually enclosed in a container and distributed and stored.
本発明の着色感光性樹脂組成物を用いたイメージセンサ用カラーフィルタの一般的な製造法は次の通りである。本発明の着色感光性樹脂組成物を基板上に塗布・乾燥する工程、得られた乾燥塗布膜にi線ステッパー等でパターン露光する工程、露光後にアルカリ現像する工程、次に加熱処理する工程を順次行い、各色(通常、3色。場合によっては4色以上)ごとに前記工程を順次繰り返して画素を形成することによりカラーフィルタが得られる。
より具体的には、本発明の着色感光性樹脂組成物を、スピンコーター等により、適当な基板上に乾燥時の膜厚が一般的に0.1〜5μm、好ましくは0.2〜2μmになるように塗布し、100℃のオーブンに3分間放置し平滑な塗膜を得る。
基板としては、特に限定されないが、ガラス板、プラスチックス板、アルミ板、撮像素子用シリコンウエハ等の電子部品の基板、さらには透明樹脂板、樹脂フィルム、ブラウン管表示面、撮像感の受光面、CCD、BBD、CID、BASIS等の固体撮像素子が形成されたウエハー、薄膜半導体を用いた密着型イメージセンサ、液晶ディスプレイ面、カラー電子写真用感光体、エレクトロクロミィー(EC)表示装置の基板等が挙げられる。また、基板にカラーフィルタ層との接着性を向上させるために高密着処理を施すことが好ましい。具体的には、基板上に予めシランカップリング剤等で薄く塗布した後に着色感光性樹脂組成物のパターンを形成するか、あるいは予め着色感光性樹脂組成物中にシランカップリング剤を含有させてもよい。
なお、基板上に段差がある場合は、その段差を解消し塗設面を平滑にするための平坦化膜を基板上に塗設した後、本発明の着色感光性樹脂組成物を塗布することができる。例えば、CCDなどのイメージセンサはシリコン基板上に受光量に応じて電子を発生させる光電子変換部(フォトダイオード)とその発生した電子を出力する為の読み出しゲート部とで構成されているが、読み出しゲート部に光が当たるとノイズの原因となり正確なデータが出力されないため、読み出しゲート部の上部には遮光膜層が形成されており、遮光膜層を持たないフォトダイオード部との間で段差が生じている場合がある。このような段差上に着色感光性樹脂組成物を塗布し、直接カラーフィルタを形成すると光路長が長くなるため画像が暗く、また集光性も劣るようになる。これを改善する為、その段差を埋める目的で透明な平坦化膜をCCDとカラーフィルタとの間に形成することが好ましい。この平坦化膜の材料としては、本発明における着色感光性樹脂組成物から着色成分を除いたような感光性樹脂組成物や、アクリル系、エポキシ系等の熱硬化性樹脂や光硬化性樹脂等が挙げられる。
着色感光性樹脂組成物を塗布した後、溶媒を除去して乾燥塗布膜を得るため、通常、減圧乾燥やプリベークが行われる。減圧乾燥の方法としては、例えば、塗布された着色感光性樹脂組成物が塗布された基板を、0.1〜100Torrの圧力で、50℃〜120℃の温度におくことにより行う方法がある。プリベークの方法としては、高温の空気などによる加熱乾燥、ホットプレート等による加熱乾燥(80〜140℃、50〜200秒)などの方法がある。
次いで、形成したいパターンを転写するためのマスクを介して、i線などの光源を用いて着色感光性樹脂組成物層を露光する。
さらに、露光後の着色感光性樹脂組成物層を、現像液に接触させて、未露光部を除去して、パターンを得る。
着色感光性樹脂組成物の現像に使用する現像液は特に制限はなく、従来公知の現像液を使用することができる。中でも、テトラメチルアンモニウムハイドロキサイド(TMAH)などの4級アンモニウム塩類、ジエタノールアミンなどの有機アルカリ系水溶液が好ましい。
また、現像後に得られたパターンを、十分硬化させて機械強度を高め永久膜とするために好ましくはポストベークが行われる。
例えば、3色のカラーフィルタの製造に際しては、最初に形成されたパターンは、その後、他色の着色感光性樹脂組成物の塗布、露光、現像を2度受ける。この際に、塗布された着色感光性樹脂組成物との混色、露光、現像によるパターンの欠落が生じないようにポストベークを行うものである。このポストベークはプリベーク同様の方法が用いられるが、プリベークの条件よりも、高温、長時間で行われる。例えば、100〜250℃、1〜60分間行われる。
上記のようにして、各色のパターンを形成し、最終的にカラーフィルタを得ることができる。
なお、本発明の着色感光性樹脂組成物を用いて着色感光性樹脂組成物膜を形成する際、後で用いられる着色感光性樹脂組成物が、先に形成された着色感光性樹脂組成物膜の上に残りにくいことから、カラーフィルタとしたときの混色が少なくなり、好ましい。
A general method for producing a color filter for an image sensor using the colored photosensitive resin composition of the present invention is as follows. A step of applying and drying the colored photosensitive resin composition of the present invention on a substrate, a step of pattern exposure of the obtained dry coating film with an i-line stepper, a step of alkali development after exposure, and a step of heat treatment A color filter is obtained by sequentially performing the above steps for each color (usually three colors, in some cases four or more colors) to form pixels.
More specifically, the colored photosensitive resin composition of the present invention is dried on a suitable substrate by a spin coater or the like so that the film thickness when dried is generally 0.1 to 5 μm, preferably 0.2 to 2 μm. Then, it is left in an oven at 100 ° C. for 3 minutes to obtain a smooth coating film.
The substrate is not particularly limited, but is a glass plate, a plastic plate, an aluminum plate, a substrate for an electronic component such as a silicon wafer for an image sensor, a transparent resin plate, a resin film, a cathode ray tube display surface, a light receiving surface for imaging feeling, Wafers on which solid-state image sensors such as CCD, BBD, CID, and BASIS are formed, contact image sensors using thin film semiconductors, liquid crystal display surfaces, color electrophotographic photoreceptors, substrates for electrochromy (EC) display devices, etc. Is mentioned. Further, it is preferable to perform a high adhesion treatment to improve the adhesion to the color filter layer on the substrate. Specifically, after a thin coating with a silane coupling agent or the like is applied on the substrate in advance, a pattern of the colored photosensitive resin composition is formed, or the colored photosensitive resin composition is previously incorporated with a silane coupling agent. Also good.
If there is a step on the substrate, apply the colored photosensitive resin composition of the present invention after coating the substrate with a planarizing film for eliminating the step and smoothing the coating surface. Can do. For example, an image sensor such as a CCD is composed of a photoelectric conversion unit (photodiode) that generates electrons on a silicon substrate in accordance with the amount of received light and a read gate unit for outputting the generated electrons. If light hits the gate part, it causes noise and accurate data is not output.Therefore, a light shielding film layer is formed on the top of the readout gate part, and there is a step between the photodiode part without the light shielding film layer. It may have occurred. When a colored photosensitive resin composition is applied on such a step and a color filter is directly formed, the optical path length becomes long, so that the image becomes dark and the light condensing property becomes inferior. In order to improve this, it is preferable to form a transparent flattening film between the CCD and the color filter in order to fill the step. As a material for the planarizing film, a photosensitive resin composition obtained by removing a coloring component from the colored photosensitive resin composition in the present invention, an acrylic or epoxy thermosetting resin, a photocurable resin, or the like. Is mentioned.
After applying the colored photosensitive resin composition, in order to obtain a dry coating film by removing the solvent, drying under reduced pressure or pre-baking is usually performed. As a method for drying under reduced pressure, for example, there is a method in which a substrate coated with the coated colored photosensitive resin composition is placed at a temperature of 50 to 120 ° C. at a pressure of 0.1 to 100 Torr. Examples of the pre-baking method include heat drying using high-temperature air and the like, and heat drying using a hot plate or the like (80 to 140 ° C., 50 to 200 seconds).
Next, the colored photosensitive resin composition layer is exposed using a light source such as i-line through a mask for transferring a pattern to be formed.
Furthermore, the colored photosensitive resin composition layer after exposure is brought into contact with a developer, and the unexposed portion is removed to obtain a pattern.
There is no restriction | limiting in particular in the developing solution used for development of a coloring photosensitive resin composition, A conventionally well-known developing solution can be used. Of these, quaternary ammonium salts such as tetramethylammonium hydroxide (TMAH) and organic alkaline aqueous solutions such as diethanolamine are preferable.
Further, post-baking is preferably performed in order to sufficiently cure the pattern obtained after the development to increase the mechanical strength and form a permanent film.
For example, in the production of a three-color filter, the first formed pattern is then subjected twice to the application of a colored photosensitive resin composition of another color, exposure, and development. At this time, post-baking is performed so as not to cause pattern omission due to color mixing, exposure, and development with the applied colored photosensitive resin composition. This post-baking uses the same method as pre-baking, but is performed at a higher temperature and for a longer time than the pre-baking conditions. For example, it is performed at 100 to 250 ° C. for 1 to 60 minutes.
As described above, it is possible to form a pattern of each color and finally obtain a color filter.
In addition, when forming a colored photosensitive resin composition film using the colored photosensitive resin composition of the present invention, the colored photosensitive resin composition film used later is a colored photosensitive resin composition film formed in advance. Since it is difficult to remain on the color filter, the color mixture in the color filter is reduced, which is preferable.
上記において、本発明の実施の形態について説明を行ったが、上記に開示された本発明の実施の形態は、あくまで例示であって、本発明の範囲はこれらの実施の形態に限定されない。本発明の範囲は、特許請求の範囲によって示され、さらに特許請求の範囲の記載と均等の意味および範囲内でのすべての変更を含むものである。 Although the embodiments of the present invention have been described above, the embodiments of the present invention disclosed above are merely examples, and the scope of the present invention is not limited to these embodiments. The scope of the present invention is defined by the terms of the claims, and includes the meaning equivalent to the description of the claims and all modifications within the scope.
以下、実施例によって本発明をより詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例によって限定されるものではない。 EXAMPLES Hereinafter, although an Example demonstrates this invention in detail, this invention is not limited by these Examples.
<バインダー樹脂(B1)の合成>
撹拌機、温度計、還流冷却管、滴下ロートおよびガス導入管を備えたフラスコに、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート333gが導入された。その後、窒素ガスがガス導入管を通ってフラスコ内に導入されて、フラスコ内雰囲気が窒素ガスに置換された。その後、フラスコ内の溶液が100℃に昇温された後、ジシクロペンタニルメタクリレート(FA−513M;日立化成(株)製)22.0g(0.10モル)、ベンジルメタクリレート70.5g(0.40モル)、メタクリル酸43.0g(0.5モル)、アゾビスイソブチロニトリル3.6gおよびプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート164gからなる混合物が、滴下ロートを用いて2時間かけてフラスコに滴下され、滴下完了後さらに100℃で5時間撹拌が続けられた。
攪拌終了後、ガス導入管を通って空気がフラスコ内に導入されて、フラスコ内雰囲気が空気にされた後、グリシジルメタクリレート35.5g[0.25モル(本反応に用いたメタクリル酸に対してモル分率で、50モル%)]、トリスジメチルアミノメチルフェノール0.9gおよびハイドロキノン0.145gがフラスコ内に投入され、反応が110℃で6時間続けられて、樹脂B1を含む溶液が得られた(固形分38.5質量%、酸価80mgKOH/g)。
ここで、酸価は、カルボン酸などの酸基を有する重合体1gを中和するに必要な水酸化カリウムの量(mg)として測定される値であり、通常、濃度既知の水酸化カリウム水溶液を用いて滴定することにより求められる。
得られた樹脂B1のポリスチレン換算重量平均分子量は9,000であった。
<Synthesis of binder resin (B1)>
333 g of propylene glycol monomethyl ether acetate was introduced into a flask equipped with a stirrer, a thermometer, a reflux condenser, a dropping funnel and a gas introduction tube. Thereafter, nitrogen gas was introduced into the flask through the gas introduction tube, and the atmosphere in the flask was replaced with nitrogen gas. Thereafter, after the temperature of the solution in the flask was raised to 100 ° C., 22.0 g (0.10 mol) of dicyclopentanyl methacrylate (FA-513M; manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.), 70.5 g of benzyl methacrylate (0 .40 mol), 43.0 g (0.5 mol) of methacrylic acid, 3.6 g of azobisisobutyronitrile and 164 g of propylene glycol monomethyl ether acetate were added dropwise to the flask using a dropping funnel over 2 hours. After completion of the dropwise addition, stirring was further continued at 100 ° C. for 5 hours.
After the stirring was completed, air was introduced into the flask through the gas introduction tube, and the atmosphere in the flask was changed to air. Then, 35.5 g of glycidyl methacrylate [0.25 mol (based on methacrylic acid used in this reaction)] In a molar fraction, 50 mol%)], 0.9 g of trisdimethylaminomethylphenol and 0.145 g of hydroquinone were charged into the flask, and the reaction was continued at 110 ° C. for 6 hours to obtain a solution containing resin B1. (Solid content 38.5% by mass, acid value 80 mg KOH / g).
Here, the acid value is a value measured as an amount (mg) of potassium hydroxide necessary to neutralize 1 g of a polymer having an acid group such as carboxylic acid, and is usually a potassium hydroxide aqueous solution having a known concentration. It is calculated | required by titrating using.
The obtained resin B1 had a polystyrene equivalent weight average molecular weight of 9,000.
上記のバインダー樹脂のポリスチレン換算重量平均分子量の測定については、GPC法を用いて、以下の条件で行った。
装置;HLC-8120GPC(東ソー(株)製)
カラム;TSK−GELG2000HXL
カラム温度;40℃
溶媒;THF
流速;1.0ml/min
被検液固形分濃度;0.001〜0.01質量%
注入量;50μl
検出器;RI
校正用標準物質;TSK STANDARD POLYSTYRENE F−40、F−4、F−1、A−2500、A−500(東ソー(株)製)
About the measurement of the polystyrene conversion weight average molecular weight of said binder resin, it carried out on condition of the following using GPC method.
Equipment: HLC-8120GPC (manufactured by Tosoh Corporation)
Column; TSK-GELG2000HXL
Column temperature: 40 ° C
Solvent; THF
Flow rate: 1.0 ml / min
Test liquid solid content concentration: 0.001 to 0.01% by mass
Injection volume: 50 μl
Detector; RI
Standard material for calibration; TSK STANDARD POLYSTYRENE F-40, F-4, F-1, A-2500, A-500 (manufactured by Tosoh Corporation)
本実施例で用いる成分は以下の通りであり、以下、省略して表示することがある。
(A−1)着色剤:C.I.ピグメントレッド254
(A−2)着色剤:C.I.ピグメントイエロー139
(A−3)着色剤:C.I.ピグメントグリーン7
(A−4)着色剤:C.I.ピグメントグリーン36
(A−5)着色剤:C.I.ピグメントブルー15:6
(A−6)着色剤:C.I.ピグメントバイオレット23
(B−1)樹脂B1
(C−1)光重合性化合物:ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート
(D−1)光重合開始剤:2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルホリノフェニル)ブタン−1−オン
(G−1)光重合開始助剤:4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン
(E−1)溶剤:プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート
(E−2)溶剤:3−エトキシプロピオン酸エチル
(F−1)表面張力低下剤:BYK−UV3510(ビックケミー・ジャパン(株)製)
(F−2)表面張力低下剤:BYK−Silclean3700(ビックケミー・ジャパン(株)製)
(H−1)界面活性剤:メガファックF475(大日本インキ化学工業(株)製)
The components used in this example are as follows, and may be omitted below.
(A-1) Colorant: C.I. I. Pigment Red 254
(A-2) Colorant: C.I. I. Pigment Yellow 139
(A-3) Colorant: C.I. I. Pigment Green 7
(A-4) Colorant: C.I. I. Pigment Green 36
(A-5) Colorant: C.I. I. Pigment Blue 15: 6
(A-6) Colorant: C.I. I. Pigment Violet 23
(B-1) Resin B1
(C-1) Photopolymerizable compound: Dipentaerythritol hexaacrylate (D-1) Photopolymerization initiator: 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) butan-1-one (G- 1) Photopolymerization initiation assistant: 4,4'-bis (diethylamino) benzophenone (E-1) Solvent: Propylene glycol monomethyl ether acetate (E-2) Solvent: Ethyl 3-ethoxypropionate (F-1) Surface tension Reducing agent: BYK-UV3510 (manufactured by Big Chemie Japan Co., Ltd.)
(F-2) Surface tension reducing agent: BYK-Silclean 3700 (manufactured by Big Chemie Japan Co., Ltd.)
(H-1) Surfactant: Megafac F475 (Dainippon Ink Chemical Co., Ltd.)
実施例1
〔着色感光性樹脂組成物1の調製〕
(A−1) 0.6376質量部
(A−2) 0.1904質量部
アクリル系分散剤 0.2060質量部
(B−1) 1.3544質量部
(C−1) 0.1738質量部
(D−1) 0.0556質量部
(G−1) 0.0139質量部
(E−1) 6.5470質量部
(E−2) 0.8200質量部
(F−1) 0.0007質量部
(H−1) 0.0005質量部
を混合して着色感光性樹脂組成物1を得た。表面張力調整剤の含有量は、着色感光性樹脂組成物1の固形分に対して質量分率で、0.38質量%であった。
Example 1
[Preparation of colored photosensitive resin composition 1]
(A-1) 0.6376 parts by mass (A-2) 0.1904 parts by mass Acrylic dispersant 0.2060 parts by mass (B-1) 1.3544 parts by mass (C-1) 0.1738 parts by mass ( D-1) 0.0556 parts by mass (G-1) 0.0139 parts by mass (E-1) 6.5470 parts by mass (E-2) 0.8200 parts by mass (F-1) 0.0007 parts by mass ( H-1) Colored photosensitive resin composition 1 was obtained by mixing 0.0005 parts by mass. The content of the surface tension adjusting agent was 0.38% by mass in terms of mass fraction with respect to the solid content of the colored photosensitive resin composition 1.
〔パターンの形成1〕
次にガラス(#1737;コーニング社製)上に、スミレジストPR−1300Y−PG(住友化学(株)製)をスピンコートし、100℃で1分間加熱して揮発成分を除去し、膜厚0.5μmの樹脂層を形成した。次いで、このガラスを230℃で15分間加熱して樹脂層を硬化させ、平坦化被膜付き支持体を形成した。この支持体上に、着色感光性樹脂組成物1をスピンコート法で塗布した後、ホットプレート上において100℃で3分間加熱して揮発成分を揮発させて着色感光性樹脂組成物層1を形成した。冷却後、この着色感光性樹脂組成物層1にフォトマスクを介してi線〔波長365nm〕を照射して露光した。i線の光源には超高圧水銀ランプを用い、平行光としてから照射した。照射光量は150mJ/cm2とした。フォトマスクとしては、線幅3μm、4μm、5μm、6μm、7μm、8μm、9μm、10μm、20μm、30μm、40μm、50μmおよび100μmの線状の色画素を形成するためのフォトマスクを用いた。次いで露光後のガラス基板〔表面には着色感光性樹脂組成物膜が形成されている。〕を23℃の現像液(SOPD;住友化学(株)製)を純水で希釈して、0.05%TMAH濃度にした)に80秒間浸漬して現像し、純水で洗浄し、膜厚0.7μmのラインアンドスペースパターンをパターンニングしたガラス基板(赤色)を得た。
[Pattern formation 1]
Next, on the glass (# 1737; manufactured by Corning), Sumiresist PR-1300Y-PG (manufactured by Sumitomo Chemical Co., Ltd.) is spin-coated, and heated at 100 ° C. for 1 minute to remove volatile components. A 0.5 μm resin layer was formed. Next, this glass was heated at 230 ° C. for 15 minutes to cure the resin layer, thereby forming a support with a flattened film. The colored photosensitive resin composition 1 is applied onto this support by spin coating, and then heated on a hot plate at 100 ° C. for 3 minutes to volatilize volatile components to form the colored photosensitive resin composition layer 1. did. After cooling, the colored photosensitive resin composition layer 1 was exposed by irradiating with i-line [wavelength 365 nm] through a photomask. An ultra-high pressure mercury lamp was used as the i-line light source, and the light was irradiated after being converted into parallel light. The amount of irradiation light was 150 mJ / cm 2 . As the photomask, a photomask for forming linear color pixels having a line width of 3 μm, 4 μm, 5 μm, 6 μm, 7 μm, 8 μm, 9 μm, 10 μm, 20 μm, 30 μm, 40 μm, 50 μm, and 100 μm was used. Next, a glass substrate after exposure [a colored photosensitive resin composition film is formed on the surface. ] Is developed by immersing in a developer (SOPD; manufactured by Sumitomo Chemical Co., Ltd.) at 23 ° C. for 80 seconds in pure water to obtain a 0.05% TMAH concentration), washed with pure water, A glass substrate (red) patterned with a 0.7 μm thick line and space pattern was obtained.
〔評価1〕
上記で得た基板の塗膜層のうち、現像により塗膜層が除去された部分の透過率(400nm〜780nmの平均)を、顕微分光測定装置(OSP−SP−200;オリンパス(株)製)を用いて測定したところ、99.9%であった。
[Evaluation 1]
Of the coating layer of the substrate obtained above, the transmittance (average of 400 nm to 780 nm) of the portion where the coating layer was removed by development was measured using a microspectrophotometer (OSP-SP-200; Olympus Corporation). ), It was 99.9%.
〔パターンの形成2〕
(A−3) 0.4212質量部
(A−4) 0.1620質量部
(A−2) 0.2268質量部
エステル系分散剤 0.1954質量部
(B−1) 1.3801質量部
(C−1) 0.1771質量部
(D−1) 0.0708質量部
(G−1) 0.0142質量部
(E−1) 6.5312質量部
(E−2) 0.8200質量部
(F−1) 0.0007質量部
(H−1) 0.0005質量部
を混合して着色感光性樹脂組成物Aを得た。表面張力調整剤の含有量は、着色感光性樹脂組成物Aの固形分に対して質量分率で、0.39質量%であった。
[Pattern formation 2]
(A-3) 0.4212 parts by mass (A-4) 0.1620 parts by mass (A-2) 0.2268 parts by mass Ester-based dispersant 0.1954 parts by mass (B-1) 1.3801 parts by mass ( C-1) 0.1771 parts by mass (D-1) 0.0708 parts by mass (G-1) 0.0142 parts by mass (E-1) 6.512 parts by mass (E-2) 0.8200 parts by mass ( F-1) 0.0007 parts by mass (H-1) Colored photosensitive resin composition A was obtained by mixing 0.0005 parts by mass. The content of the surface tension modifier was 0.39% by mass in terms of mass fraction with respect to the solid content of the colored photosensitive resin composition A.
別にガラス(#1737;コーニング社製)上に、上記で得た着色感光性樹脂組成物Aをスピンコート法で塗布した後、100℃3分間で揮発成分を揮発させて着色感光性樹脂組成物膜を形成した。冷却後、この着色感光性樹脂組成物膜にフォトマスクを介してi線〔波長365nm〕を照射して露光した。i線の光源には超高圧水銀ランプを用い、平行光としてから照射した。照射光量は150mJ/cm2とした。
フォトマスクとしては、線幅3μm、4μm、5μm、6μm、7μm、8μm、9μm、10μm、20μm、30μm、40μm、50μmおよび100μmの線状の色画素を形成するためのフォトマスクを用いた。
次いで露光後のガラス基板を23℃の現像液(SOPD;住友化学(株)製)を純水で希釈して、0.05%TMAH濃度にした)に80秒間浸漬して現像し、純水で洗浄し、ラインアンドスペースパターンをパターンニングした着色ガラス基板(緑色)を得た。このパターン部分の明度を顕微分光測定装置(OSP−SP−200;オリンパス(株)製)を用いて測定したところ、明度は53.4であった。
次に得られた着色ガラス基板(緑色)上に、着色感光性樹脂組成物1(赤色)をスピンコート法で塗布した後、100℃3分間で揮発成分を揮発させて着色感光性樹脂組成物1膜を形成した。
次いで得られたガラス基板〔表面には着色感光性樹脂組成物Aの膜および着色感光性樹脂組成物1の膜が形成されている。〕を23℃の現像液(SOPD;住友化学(株)製を純水で希釈して、0.05%TMAH濃度にした)に80秒間浸漬して現像し、純水で洗浄して、着色感光性樹脂組成物1の膜を除去して、ラインアンドスペースパターンをパターンニングした着色ガラス基板(緑色)を得た。
Separately, on the glass (# 1737; manufactured by Corning), the colored photosensitive resin composition A obtained above was applied by spin coating, and then the volatile components were volatilized at 100 ° C. for 3 minutes to give a colored photosensitive resin composition. A film was formed. After cooling, the colored photosensitive resin composition film was exposed by irradiating i-line (wavelength 365 nm) through a photomask. An ultra-high pressure mercury lamp was used as the i-line light source, and the light was irradiated after being converted into parallel light. The amount of irradiation light was 150 mJ / cm 2 .
As the photomask, a photomask for forming linear color pixels having a line width of 3 μm, 4 μm, 5 μm, 6 μm, 7 μm, 8 μm, 9 μm, 10 μm, 20 μm, 30 μm, 40 μm, 50 μm, and 100 μm was used.
Next, the exposed glass substrate was developed by immersing it in a developing solution (SOPD; manufactured by Sumitomo Chemical Co., Ltd.) at 23 ° C. with pure water to obtain a 0.05% TMAH concentration for 80 seconds. And a colored glass substrate (green) patterned with a line and space pattern was obtained. When the brightness of this pattern portion was measured using a microspectrophotometer (OSP-SP-200; manufactured by Olympus Corporation), the brightness was 53.4.
Next, the colored photosensitive resin composition 1 (red) is applied onto the obtained colored glass substrate (green) by a spin coating method, and then the volatile components are volatilized at 100 ° C. for 3 minutes to give a colored photosensitive resin composition. One film was formed.
Next, the obtained glass substrate [the film of the colored photosensitive resin composition A and the film of the colored photosensitive resin composition 1 are formed on the surface. ] Is developed by immersing in a developing solution (SOPD; manufactured by Sumitomo Chemical Co., Ltd., diluted with pure water to a concentration of 0.05% TMAH) for 80 seconds, washed with pure water, and colored. The film | membrane of the photosensitive resin composition 1 was removed and the colored glass substrate (green) which patterned the line and space pattern was obtained.
〔評価2〕
上記で得た基板の着色感光性樹脂組成物Aによって形成された塗膜層を溶解した後の透過率(400nm〜780nmの平均)は99.8%であった。更に、着色感光性樹脂組成物Aによって形成された塗膜層の明度を測定したところ、53.1であり、着色感光性樹脂組成物1による処理前後での明度の低下は、0.3であった。
なお、透過率、明度は、顕微分光測定装置:OSP−SP−200(オリンパス製)を用いて測定し、透過率は、400nm〜780nmの間、5nm刻みで測定した数値の平均値を測定し、明度の低下は、以下の色度における、積層前後の明度の差を求めた。
[Evaluation 2]
The transmittance (average of 400 nm to 780 nm) after dissolving the coating layer formed of the colored photosensitive resin composition A of the substrate obtained above was 99.8%. Furthermore, when the brightness of the coating layer formed with the colored photosensitive resin composition A was measured, it was 53.1. The decrease in brightness before and after the treatment with the colored photosensitive resin composition 1 was 0.3. there were.
The transmittance and brightness were measured using a microscopic spectrophotometer: OSP-SP-200 (manufactured by Olympus), and the transmittance was an average value of values measured in increments of 5 nm between 400 nm and 780 nm. As for the decrease in brightness, the difference in brightness before and after lamination was determined for the following chromaticity.
赤色画素:x=0.607
緑色画素:y=0.544
青色画素:y=0.117
Red pixel: x = 0.607
Green pixel: y = 0.544
Blue pixel: y = 0.117
実施例2
〔着色感光性樹脂組成物2の調製〕
(A−3) 0.4212質量部
(A−4) 0.1620質量部
(A−2) 0.2268質量部
エステル系分散剤 0.1954質量部
(B−1) 1.3801質量部
(C−1) 0.1771質量部
(D−1) 0.0708質量部
(G−1) 0.0142質量部
(E−1) 6.5312質量部
(E−2) 0.8200質量部
(F−1) 0.0007質量部
(H−1) 0.0005質量部
を混合して着色感光性樹脂組成物2を得た。表面張力調整剤の含有量は、着色感光性樹脂組成物2の固形分に対して質量分率で、0.39質量%であった。
Example 2
[Preparation of colored photosensitive resin composition 2]
(A-3) 0.4212 parts by mass (A-4) 0.1620 parts by mass (A-2) 0.2268 parts by mass Ester-based dispersant 0.1954 parts by mass (B-1) 1.3801 parts by mass ( C-1) 0.1771 parts by mass (D-1) 0.0708 parts by mass (G-1) 0.0142 parts by mass (E-1) 6.512 parts by mass (E-2) 0.8200 parts by mass ( F-1) 0.0007 parts by mass (H-1) A colored photosensitive resin composition 2 was obtained by mixing 0.0005 parts by mass. The content of the surface tension adjusting agent was 0.39% by mass in terms of mass fraction with respect to the solid content of the colored photosensitive resin composition 2.
〔評価1〕
実施例1の着色感光性樹脂組成物1を着色感光性樹脂組成物2に変更する以外は実施例1と同様にして、基板の塗膜層を溶解した後の透過率(400nm〜780nmの平均)を測定した結果、99.9%であった。
[Evaluation 1]
Except for changing the colored photosensitive resin composition 1 of Example 1 to the colored photosensitive resin composition 2, in the same manner as in Example 1, the transmittance after dissolving the coating layer of the substrate (average of 400 nm to 780 nm) ) To be 99.9%.
〔評価2〕
実施例1の着色感光性樹脂組成物1を着色感光性樹脂組成物2に変更する以外は、実施例1と同様にして評価した結果、基板の塗膜層を溶解した後の透過率(400nm〜780nmの平均)は99.8%であった。更に、着色感光性樹脂組成物Aによって形成された塗膜層の明度を測定したところ、52.9であり、着色感光性樹脂組成物2による処理前後での明度の低下は、0.5であった。
[Evaluation 2]
As a result of evaluating in the same manner as in Example 1 except that the colored photosensitive resin composition 1 of Example 1 was changed to the colored photosensitive resin composition 2, the transmittance (400 nm) after dissolving the coating layer of the substrate was evaluated. The average of ˜780 nm was 99.8%. Furthermore, when the brightness of the coating layer formed with the colored photosensitive resin composition A was measured, it was 52.9, and the decrease in brightness before and after the treatment with the colored photosensitive resin composition 2 was 0.5. there were.
実施例3
〔着色感光性樹脂組成物3の調製〕
(A−5) 0.4968質量部
(A−6) 0.1242質量部
アクリル系分散剤 0.2174質量部
(B−1) 1.4018質量部
(C−1) 0.2540質量部
(D−1) 0.1429質量部
(G−1) 0.0238質量部
(E−1) 6.5179質量部
(E−2) 0.8200質量部
(F−1) 0.0008質量部
(H−1) 0.0005質量部
を混合して着色感光性樹脂組成物3を得た。表面張力調整剤の含有量は、着色感光性樹脂組成物3の固形分に対して質量分率で、0.44質量%であった。
Example 3
[Preparation of colored photosensitive resin composition 3]
(A-5) 0.4968 parts by mass (A-6) 0.1242 parts by mass Acrylic dispersant 0.2174 parts by mass (B-1) 1.4018 parts by mass (C-1) 0.2540 parts by mass ( D-1) 0.1429 parts by mass (G-1) 0.0238 parts by mass (E-1) 6.5179 parts by mass (E-2) 0.8200 parts by mass (F-1) 0.0008 parts by mass ( H-1) Colored photosensitive resin composition 3 was obtained by mixing 0.0005 parts by mass. The content of the surface tension adjusting agent was 0.44% by mass in terms of mass fraction with respect to the solid content of the colored photosensitive resin composition 3.
〔評価1〕
実施例1の着色感光性樹脂組成物1を着色感光性樹脂組成物3に変更する以外は実施例1と同様にして、基板の塗膜層を溶解した後の透過率(400nm〜780nmの平均)を測定した結果、99%以上であった。
[Evaluation 1]
Except for changing the colored photosensitive resin composition 1 of Example 1 to the colored photosensitive resin composition 3, the transmittance after dissolving the coating layer of the substrate (average of 400 nm to 780 nm) was the same as in Example 1. ) Was 99% or more.
〔評価2〕
実施例1の着色感光性樹脂組成物1を着色感光性樹脂組成物3に変更する以外は、実施例1と同様にして評価した結果、基板の塗膜層を溶解した後の透過率(400nm〜780nmの平均)は99.9%であった。更に、着色感光性樹脂組成物Aによって形成された塗膜層の明度を測定したところ、53.2であり、着色感光性樹脂組成物3による処理前後での明度の低下は、0.2であった。
[Evaluation 2]
As a result of evaluating in the same manner as in Example 1 except that the colored photosensitive resin composition 1 of Example 1 was changed to the colored photosensitive resin composition 3, the transmittance (400 nm) after dissolving the coating layer of the substrate was evaluated. The average of ˜780 nm was 99.9%. Furthermore, when the brightness of the coating layer formed with the colored photosensitive resin composition A was measured, it was 53.2, and the decrease in brightness before and after the treatment with the colored photosensitive resin composition 3 was 0.2. there were.
比較例1
〔着色感光性樹脂組成物4の調製〕
(A−1) 0.6376質量部
(A−2) 0.1904質量部
アクリル系分散剤 0.2060質量部
(B−1) 1.3557質量部
(C−1) 0.1740質量部
(D−1) 0.0557質量部
(G−1) 0.0139質量部
(E−1) 6.5463質量部
(E−2) 0.8200質量部
(H−1) 0.0005質量部
を混合して着色感光性樹脂組成物4を得た。
Comparative Example 1
[Preparation of colored photosensitive resin composition 4]
(A-1) 0.6376 parts by mass (A-2) 0.1904 parts by mass Acrylic dispersant 0.2060 parts by mass (B-1) 1.3557 parts by mass (C-1) 0.1740 parts by mass ( D-1) 0.0557 parts by mass (G-1) 0.0139 parts by mass (E-1) 6.5463 parts by mass (E-2) 0.8200 parts by mass (H-1) 0.0005 parts by mass By mixing, a colored photosensitive resin composition 4 was obtained.
〔評価1〕
実施例1の着色感光性樹脂組成物1を着色感光性樹脂組成物4に変更する以外は実施例1と同様にして、基板の塗膜層を溶解した後の透過率(400nm〜780nmの平均)を測定した結果、97%であった。
[Evaluation 1]
Except for changing the colored photosensitive resin composition 1 of Example 1 to the colored photosensitive resin composition 4, in the same manner as in Example 1, the transmittance after dissolving the coating layer of the substrate (average of 400 nm to 780 nm) ) To be 97%.
〔評価2〕
(A−3) 0.4212質量部
(A−4) 0.1620質量部
(A−2) 0.2268質量部
エステル系分散剤 0.1954質量部
(B−1) 1.3814質量部
(C−1) 0.1773質量部
(D−1) 0.0709質量部
(G−1) 0.0142質量部
(E−1) 6.5305質量部
(E−2) 0.8200質量部
(H−1) 0.0005質量部
を混合して着色感光性樹脂組成物Bを得た。
[Evaluation 2]
(A-3) 0.4212 parts by mass (A-4) 0.1620 parts by mass (A-2) 0.2268 parts by mass Ester-based dispersant 0.1954 parts by mass (B-1) 1.3814 parts by mass ( C-1) 0.1773 parts by mass (D-1) 0.0709 parts by mass (G-1) 0.0142 parts by mass (E-1) 6.5305 parts by mass (E-2) 0.8200 parts by mass ( H-1) Colored photosensitive resin composition B was obtained by mixing 0.0005 parts by mass.
実施例1と同様にして、着色感光性樹脂組成物Bのパターン部分の明度を顕微分光測定装置(OSP−SP−200;オリンパス(株)製)を用いて測定したところ、明度は53.3であった。 When the brightness of the pattern portion of the colored photosensitive resin composition B was measured using a microspectrophotometer (OSP-SP-200; manufactured by Olympus Corporation) in the same manner as in Example 1, the brightness was 53.3. Met.
実施例1の着色感光性樹脂組成物1を着色感光性樹脂組成物4、着色感光性樹脂組成物Aを着色感光性樹脂組成物Bに変更する以外は、実施例1と同様にして評価した結果、基板の塗膜層を溶解した後の透過率(400nm〜780nmの平均)は94%であった。更に、着色感光性樹脂組成物Bによって形成された塗膜層の明度を測定したところ、50.2であり、着色感光性樹脂組成物4による処理前後での明度の低下は、3.1であった。 Evaluation was performed in the same manner as in Example 1 except that the colored photosensitive resin composition 1 of Example 1 was changed to the colored photosensitive resin composition 4 and the colored photosensitive resin composition A was changed to the colored photosensitive resin composition B. As a result, the transmittance (average of 400 nm to 780 nm) after dissolving the coating layer of the substrate was 94%. Furthermore, when the brightness of the coating layer formed with the colored photosensitive resin composition B was measured, it was 50.2, and the decrease in brightness before and after the treatment with the colored photosensitive resin composition 4 was 3.1. there were.
比較例2
〔着色感光性樹脂組成物5の調製〕
(A−3) 0.4212質量部
(A−4) 0.1620質量部
(A−2) 0.2268質量部
エステル系分散剤 0.1954質量部
(B−1) 1.3814質量部
(C−1) 0.1773質量部
(D−1) 0.0709質量部
(G−1) 0.0142質量部
(E−1) 6.5305質量部
(E−2) 0.8200質量部
(H−1) 0.0005質量部
を混合して着色感光性樹脂組成物5を得た。
Comparative Example 2
[Preparation of colored photosensitive resin composition 5]
(A-3) 0.4212 parts by mass (A-4) 0.1620 parts by mass (A-2) 0.2268 parts by mass Ester-based dispersant 0.1954 parts by mass (B-1) 1.3814 parts by mass ( C-1) 0.1773 parts by mass (D-1) 0.0709 parts by mass (G-1) 0.0142 parts by mass (E-1) 6.5305 parts by mass (E-2) 0.8200 parts by mass ( H-1) Colored photosensitive resin composition 5 was obtained by mixing 0.0005 parts by mass.
〔評価1〕
実施例1の着色感光性樹脂組成物1を着色感光性樹脂組成物5に変更する以外は実施例1と同様にして、基板の塗膜層を溶解した後の透過率(400nm〜780nmの平均)を測定した結果、96%であった。
[Evaluation 1]
Except for changing the colored photosensitive resin composition 1 of Example 1 to the colored photosensitive resin composition 5, in the same manner as in Example 1, the transmittance after dissolving the coating layer of the substrate (average of 400 nm to 780 nm) ) To be 96%.
〔評価2〕
実施例1の着色感光性樹脂組成物1を着色感光性樹脂組成物5、着色感光性樹脂組成物Aを着色感光性樹脂組成物Bに変更する以外は、実施例1と同様にして評価した結果、基板の塗膜層を溶解した後の透過率(400nm〜780nmの平均)は91%であった。更に、着色感光性樹脂組成物Bによって形成された塗膜層の明度を測定したところ、48.7であり、着色感光性樹脂組成物5による処理前後での明度の低下は、4.6であった。
[Evaluation 2]
Evaluation was made in the same manner as in Example 1 except that the colored photosensitive resin composition 1 of Example 1 was changed to the colored photosensitive resin composition 5 and the colored photosensitive resin composition A was changed to the colored photosensitive resin composition B. As a result, the transmittance (average of 400 nm to 780 nm) after dissolving the coating layer of the substrate was 91%. Furthermore, when the brightness of the coating layer formed with the colored photosensitive resin composition B was measured, it was 48.7, and the decrease in brightness before and after the treatment with the colored photosensitive resin composition 5 was 4.6. there were.
比較例3
〔着色感光性樹脂組成物6の調製〕
(A−5) 0.4968質量部
(A−6) 0.1242質量部
アクリル系分散剤 0.2174質量部
(B−1) 1.4029質量部
(C−1) 0.2542質量部
(D−1) 0.1430質量部
(G−1) 0.0238質量部
(E−1) 6.5172質量部
(E−2) 0.8200質量部
(H−1) 0.0005質量部
を混合して着色感光性樹脂組成物6を得た。
Comparative Example 3
[Preparation of colored photosensitive resin composition 6]
(A-5) 0.4968 parts by mass (A-6) 0.1242 parts by mass Acrylic dispersant 0.2174 parts by mass (B-1) 1.4029 parts by mass (C-1) 0.2542 parts by mass ( D-1) 0.1430 parts by mass (G-1) 0.0238 parts by mass (E-1) 6.5172 parts by mass (E-2) 0.8200 parts by mass (H-1) 0.0005 parts by mass By mixing, a colored photosensitive resin composition 6 was obtained.
〔評価1〕
実施例1の着色感光性樹脂組成物1を着色感光性樹脂組成物6に変更する以外は実施例1と同様にして、基板の塗膜層を溶解した後の透過率(400nm〜780nmの平均)を測定した結果、97%であった。
[Evaluation 1]
Except for changing the colored photosensitive resin composition 1 of Example 1 to the colored photosensitive resin composition 6, in the same manner as in Example 1, the transmittance after dissolving the coating layer of the substrate (average of 400 nm to 780 nm) ) To be 97%.
〔評価2〕
実施例1の着色感光性樹脂組成物1を着色感光性樹脂組成物6、着色感光性樹脂組成物Aを着色感光性樹脂組成物Bに変更する以外は、実施例1と同様にして評価した結果、基板の塗膜層を溶解した後の透過率(400nm〜780nmの平均)は95.0%であった。更に、着色感光性樹脂組成物Bによって形成された塗膜層の明度を測定したところ、50.5であり、着色感光性樹脂組成物6による処理前後での明度の低下は、2.8であった。
[Evaluation 2]
Evaluation was performed in the same manner as in Example 1 except that the colored photosensitive resin composition 1 of Example 1 was changed to the colored photosensitive resin composition 6 and the colored photosensitive resin composition A was changed to the colored photosensitive resin composition B. As a result, the transmittance (average of 400 nm to 780 nm) after dissolving the coating layer of the substrate was 95.0%. Furthermore, when the brightness of the coating layer formed with the colored photosensitive resin composition B was measured, it was 50.5, and the decrease in brightness before and after the treatment with the colored photosensitive resin composition 6 was 2.8. there were.
実施例4
〔着色感光性樹脂組成物7の調製〕
(A−1) 0.6376質量部
(A−2) 0.1904質量部
アクリル系分散剤 0.2060質量部
(B−1) 1.3520質量部
(C−1) 0.1735質量部
(D−1) 0.0555質量部
(G−1) 0.0139質量部
(E−1) 6.5485質量部
(E−2) 0.8200質量部
(F−1) 0.0021質量部
(H−1) 0.0005質量部
を混合して着色感光性樹脂組成物7を得た。表面張力調整剤の含有量は、着色感光性樹脂組成物の固形分に対して質量分率で、1.17質量%であった。
Example 4
[Preparation of colored photosensitive resin composition 7]
(A-1) 0.6376 parts by mass (A-2) 0.1904 parts by mass Acrylic dispersant 0.2060 parts by mass (B-1) 1.3520 parts by mass (C-1) 0.1735 parts by mass ( D-1) 0.0555 parts by mass (G-1) 0.0139 parts by mass (E-1) 6.5485 parts by mass (E-2) 0.8200 parts by mass (F-1) 0.0021 parts by mass ( H-1) Colored photosensitive resin composition 7 was obtained by mixing 0.0005 parts by mass. The content of the surface tension modifier was 1.17% by mass in terms of mass fraction with respect to the solid content of the colored photosensitive resin composition.
〔評価1〕
実施例1の着色感光性樹脂組成物1を着色感光性樹脂組成物7に変更する以外は実施例1と同様にして、基板の塗膜層を溶解した後の透過率(400nm〜780nmの平均)を測定した結果、99.9%であった。
[Evaluation 1]
Except for changing the colored photosensitive resin composition 1 of Example 1 to the colored photosensitive resin composition 7, in the same manner as in Example 1, the transmittance after dissolving the coating layer of the substrate (average of 400 nm to 780 nm) ) To be 99.9%.
〔評価2〕
(A−3) 0.4212質量部
(A−4) 0.1620質量部
(A−2) 0.2268質量部
エステル系分散剤 0.1954質量部
(B−1) 1.3777質量部
(C−1) 0.1768質量部
(D−1) 0.0707質量部
(G−1) 0.0141質量部
(E−1) 6.5327質量部
(E−2) 0.8200質量部
(F−1) 0.0021質量部
(H−1) 0.0005質量部
を混合して着色感光性樹脂組成物Cを得た。表面張力調整剤の含有量は、着色感光性樹脂組成物の固形分に対して質量分率で、1.15質量%であった。
実施例1と同様にして、着色感光性樹脂組成物Cのパターン部分の明度を顕微分光測定装置(OSP−SP−200;オリンパス(株)製)を用いて測定したところ、明度は53.1であった。
[Evaluation 2]
(A-3) 0.4212 parts by mass (A-4) 0.1620 parts by mass (A-2) 0.2268 parts by mass Ester-based dispersant 0.1954 parts by mass (B-1) 1.3777 parts by mass ( C-1) 0.1768 parts by mass (D-1) 0.0707 parts by mass (G-1) 0.0141 parts by mass (E-1) 6.5327 parts by mass (E-2) 0.8200 parts by mass ( F-1) 0.0021 part by mass (H-1) 0.0005 part by mass was mixed to obtain a colored photosensitive resin composition C. The content of the surface tension adjusting agent was 1.15% by mass in terms of mass fraction with respect to the solid content of the colored photosensitive resin composition.
When the brightness of the pattern portion of the colored photosensitive resin composition C was measured using a microspectrophotometer (OSP-SP-200; manufactured by Olympus Corporation) in the same manner as in Example 1, the brightness was 53.1. Met.
実施例1の着色感光性樹脂組成物1を着色感光性樹脂組成物7、着色感光性樹脂組成物Aを着色感光性樹脂組成物Cに変更する以外は、実施例1と同様にして評価した結果、基板の塗膜層を溶解した後の透過率(400nm〜780nmの平均)は99.8%であった。更に、着色感光性樹脂組成物Cによって形成された塗膜層の明度を測定したところ、52.9であり、着色感光性樹脂組成物7による処理前後での明度の低下は、0.2であった。 Evaluation was performed in the same manner as in Example 1 except that the colored photosensitive resin composition 1 of Example 1 was changed to the colored photosensitive resin composition 7 and the colored photosensitive resin composition A was changed to the colored photosensitive resin composition C. As a result, the transmittance (average of 400 nm to 780 nm) after dissolving the coating layer of the substrate was 99.8%. Furthermore, when the brightness of the coating layer formed with the colored photosensitive resin composition C was measured, it was 52.9, and the decrease in brightness before and after the treatment with the colored photosensitive resin composition 7 was 0.2. there were.
実施例5
〔着色感光性樹脂組成物8の調製〕
(A−3) 0.4212質量部
(A−4) 0.1620質量部
(A−2) 0.2268質量部
エステル系分散剤 0.1954質量部
(B−1) 1.3777質量部
(C−1) 0.1768質量部
(D−1) 0.0707質量部
(G−1) 0.0141質量部
(E−1) 6.5327質量部
(E−2) 0.8200質量部
(F−1) 0.0021質量部
(H−1) 0.0005質量部
を混合して着色感光性樹脂組成物8を得た。表面張力調整剤の含有量は、着色感光性樹脂組成物の固形分に対して質量分率で、1.15質量%であった。
Example 5
[Preparation of colored photosensitive resin composition 8]
(A-3) 0.4212 parts by mass (A-4) 0.1620 parts by mass (A-2) 0.2268 parts by mass Ester-based dispersant 0.1954 parts by mass (B-1) 1.3777 parts by mass ( C-1) 0.1768 parts by mass (D-1) 0.0707 parts by mass (G-1) 0.0141 parts by mass (E-1) 6.5327 parts by mass (E-2) 0.8200 parts by mass ( F-1) 0.0021 part by mass (H-1) 0.0005 part by mass was mixed to obtain a colored photosensitive resin composition 8. The content of the surface tension adjusting agent was 1.15% by mass in terms of mass fraction with respect to the solid content of the colored photosensitive resin composition.
〔評価1〕
実施例1の着色感光性樹脂組成物1を着色感光性樹脂組成物8に変更する以外は実施例1と同様にして、基板の塗膜層を溶解した後の透過率(400nm〜780nmの平均)を測定した結果、99.9%であった。
[Evaluation 1]
Except for changing the colored photosensitive resin composition 1 of Example 1 to the colored photosensitive resin composition 8, in the same manner as in Example 1, the transmittance after dissolving the coating layer of the substrate (average of 400 nm to 780 nm) ) To be 99.9%.
〔評価2〕
実施例1の着色感光性樹脂組成物1を着色感光性樹脂組成物8、着色感光性樹脂組成物Aを着色感光性樹脂組成物Cに変更する以外は、実施例1と同様にして評価した結果、基板の塗膜層を溶解した後の透過率(400nm〜780nmの平均)は99.8%であった。更に、着色感光性樹脂組成物Cによって形成された塗膜層の明度を測定したところ、52.7であり、着色感光性樹脂組成物8による処理前後での明度の低下は、0.4であった。
[Evaluation 2]
Evaluation was performed in the same manner as in Example 1 except that the colored photosensitive resin composition 1 of Example 1 was changed to the colored photosensitive resin composition 8 and the colored photosensitive resin composition A was changed to the colored photosensitive resin composition C. As a result, the transmittance (average of 400 nm to 780 nm) after dissolving the coating layer of the substrate was 99.8%. Furthermore, when the brightness of the coating layer formed with the colored photosensitive resin composition C was measured, it was 52.7, and the decrease in brightness before and after the treatment with the colored photosensitive resin composition 8 was 0.4. there were.
実施例6
〔着色感光性樹脂組成物9の調製〕
(A−5) 0.4968質量部
(A−6) 0.1242質量部
アクリル系分散剤 0.2174質量部
(B−1) 1.3995質量部
(C−1) 0.2536質量部
(D−1) 0.1426質量部
(G−1) 0.0238質量部
(E−1) 6.5193質量部
(E−2) 0.8200質量部
(F−1) 0.0024質量部
(H−1) 0.0005質量部
を混合して着色感光性樹脂組成物9を得た。表面張力調整剤の含有量は、着色感光性樹脂組成物の固形分に対して質量分率で、1.33質量%であった。
Example 6
[Preparation of colored photosensitive resin composition 9]
(A-5) 0.4968 parts by mass (A-6) 0.1242 parts by mass Acrylic dispersant 0.2174 parts by mass (B-1) 1.3395 parts by mass (C-1) 0.2536 parts by mass ( D-1) 0.1426 parts by mass (G-1) 0.0238 parts by mass (E-1) 6.5193 parts by mass (E-2) 0.8200 parts by mass (F-1) 0.0024 parts by mass ( H-1) Colored photosensitive resin composition 9 was obtained by mixing 0.0005 parts by mass. The content of the surface tension modifier was 1.33% by mass in terms of mass fraction with respect to the solid content of the colored photosensitive resin composition.
〔評価1〕
実施例1の着色感光性樹脂組成物1を着色感光性樹脂組成物9に変更する以外は実施例1と同様にして、基板の塗膜層を溶解した後の透過率(400nm〜780nmの平均)を測定した結果、99.9%であった。
[Evaluation 1]
Except for changing the colored photosensitive resin composition 1 of Example 1 to the colored photosensitive resin composition 9, the transmittance after dissolving the coating layer of the substrate (average of 400 nm to 780 nm) was the same as in Example 1. ) To be 99.9%.
〔評価2〕
実施例1の着色感光性樹脂組成物1を着色感光性樹脂組成物9、着色感光性樹脂組成物Aを着色感光性樹脂組成物Cに変更する以外は、実施例1と同様にして評価した結果、基板の塗膜層を溶解した後の透過率(400nm〜780nmの平均)は99.9%であった。更に、着色感光性樹脂組成物Cによって形成された塗膜層の明度を測定したところ、53.0であり、着色感光性樹脂組成物9による処理前後での明度の低下は、0.1であった。
[Evaluation 2]
The colored photosensitive resin composition 1 of Example 1 was evaluated in the same manner as in Example 1 except that the colored photosensitive resin composition 9 and the colored photosensitive resin composition A were changed to the colored photosensitive resin composition C. As a result, the transmittance (average of 400 nm to 780 nm) after dissolving the coating layer of the substrate was 99.9%. Furthermore, when the brightness of the coating layer formed with the colored photosensitive resin composition C was measured, it was 53.0, and the decrease in brightness before and after the treatment with the colored photosensitive resin composition 9 was 0.1. there were.
実施例7
〔着色感光性樹脂組成物10の調製〕
(A−1) 0.6376質量部
(A−2) 0.1904質量部
アクリル系分散剤 0.2060質量部
(B−1) 1.3374質量部
(C−1) 0.1716質量部
(D−1) 0.0549質量部
(G−1) 0.0137質量部
(E−1) 6.5575質量部
(E−2) 0.8200質量部
(F−2) 0.0103質量部
(H−1) 0.0005質量部
を混合して着色感光性樹脂組成物10を得た。表面張力調整剤の含有量は、着色感光性樹脂組成物の固形分に対して質量分率で、0.57質量%であった。
〔評価1〕
実施例1の着色感光性樹脂組成物1を着色感光性樹脂組成物10に変更する以外は実施例1と同様にして、基板の塗膜層を溶解した後の透過率(400nm〜780nmの平均)を測定した結果、99.9%であった。
Example 7
[Preparation of colored photosensitive resin composition 10]
(A-1) 0.6376 parts by mass (A-2) 0.1904 parts by mass Acrylic dispersant 0.2060 parts by mass (B-1) 1.3374 parts by mass (C-1) 0.1716 parts by mass ( D-1) 0.0549 parts by mass (G-1) 0.0137 parts by mass (E-1) 6.5575 parts by mass (E-2) 0.8200 parts by mass (F-2) 0.0103 parts by mass ( H-1) 0.0005 mass parts was mixed and the colored photosensitive resin composition 10 was obtained. The content of the surface tension adjusting agent was 0.57% by mass in terms of mass fraction with respect to the solid content of the colored photosensitive resin composition.
[Evaluation 1]
Except for changing the colored photosensitive resin composition 1 of Example 1 to the colored photosensitive resin composition 10, the transmittance after dissolving the coating layer of the substrate (average of 400 nm to 780 nm) was the same as in Example 1. ) To be 99.9%.
〔評価2〕
(A−3) 0.4212質量部
(A−4) 0.1620質量部
(A−2) 0.2268質量部
エステル系分散剤 0.1954質量部
(B−1) 1.3631質量部
(C−1) 0.1749質量部
(D−1) 0.0700質量部
(G−1) 0.0140質量部
(E−1) 6.5417質量部
(E−2) 0.8200質量部
(F−2) 0.0140質量部
(H−1) 0.0005質量部
を混合して着色感光性樹脂組成物Dを得た。表面張力調整剤の含有量は、着色感光性樹脂組成物の固形分に対して質量分率で、0.78質量%であった。
実施例1と同様にして、着色感光性樹脂組成物Dのパターン部分の明度を顕微分光測定装置(OSP−SP−200;オリンパス(株)製)を用いて測定したところ、明度は53.2であった。
[Evaluation 2]
(A-3) 0.4212 parts by mass (A-4) 0.1620 parts by mass (A-2) 0.2268 parts by mass Ester-based dispersant 0.1954 parts by mass (B-1) 1.3631 parts by mass ( C-1) 0.1749 parts by mass (D-1) 0.0700 parts by mass (G-1) 0.0140 parts by mass (E-1) 6.5417 parts by mass (E-2) 0.8200 parts by mass ( F-2) 0.0140 mass part (H-1) 0.0005 mass part was mixed and the colored photosensitive resin composition D was obtained. The content of the surface tension modifier was 0.78% by mass in terms of mass fraction with respect to the solid content of the colored photosensitive resin composition.
When the brightness of the pattern portion of the colored photosensitive resin composition D was measured using a microspectrophotometer (OSP-SP-200; manufactured by Olympus Corporation) in the same manner as in Example 1, the brightness was 53.2. Met.
実施例1の着色感光性樹脂組成物1を着色感光性樹脂組成物10、着色感光性樹脂組成物Aを着色感光性樹脂組成物Dに変更する以外は、実施例1と同様にして評価した結果、基板の塗膜層を溶解した後の透過率(400nm〜780nmの平均)は99.9%であった。更に、着色感光性樹脂組成物Dによって形成された塗膜層の明度を測定したところ、52.9であり、着色感光性樹脂組成物10による処理前後での明度の低下は、0.3であった。 Evaluation was performed in the same manner as in Example 1 except that the colored photosensitive resin composition 1 of Example 1 was changed to the colored photosensitive resin composition 10 and the colored photosensitive resin composition A was changed to the colored photosensitive resin composition D. As a result, the transmittance (average of 400 nm to 780 nm) after dissolving the coating layer of the substrate was 99.9%. Furthermore, when the brightness of the coating layer formed by the colored photosensitive resin composition D was measured, it was 52.9, and the decrease in brightness before and after the treatment with the colored photosensitive resin composition 10 was 0.3. there were.
実施例8
〔着色感光性樹脂組成物11の調製〕
(A−3) 0.4212質量部
(A−4) 0.1620質量部
(A−2) 0.2268質量部
エステル系分散剤 0.1954質量部
(B−1) 1.3631質量部
(C−1) 0.1749質量部
(D−1) 0.0700質量部
(G−1) 0.0140質量部
(E−1) 6.5417質量部
(E−2) 0.8200質量部
(F−2) 0.0140質量部
(H−1) 0.0005質量部
を混合して着色感光性樹脂組成物11を得た。表面張力調整剤の含有量は、着色感光性樹脂組成物の固形分に対して質量分率で、0.78質量%であった。
Example 8
[Preparation of colored photosensitive resin composition 11]
(A-3) 0.4212 parts by mass (A-4) 0.1620 parts by mass (A-2) 0.2268 parts by mass Ester-based dispersant 0.1954 parts by mass (B-1) 1.3631 parts by mass ( C-1) 0.1749 parts by mass (D-1) 0.0700 parts by mass (G-1) 0.0140 parts by mass (E-1) 6.5417 parts by mass (E-2) 0.8200 parts by mass ( F-2) 0.0140 mass part (H-1) 0.0005 mass part was mixed and the colored photosensitive resin composition 11 was obtained. The content of the surface tension modifier was 0.78% by mass in terms of mass fraction with respect to the solid content of the colored photosensitive resin composition.
〔評価1〕
実施例1の着色感光性樹脂組成物1を着色感光性樹脂組成物11に変更する以外は実施例1と同様にして、基板の塗膜層を溶解した後の透過率(400nm〜780nmの平均)を測定した結果、99.9%であった。
[Evaluation 1]
Except for changing the colored photosensitive resin composition 1 of Example 1 to the colored photosensitive resin composition 11, the transmittance after dissolving the coating layer of the substrate (average of 400 nm to 780 nm) was the same as in Example 1. ) To be 99.9%.
〔評価2〕
実施例1の着色感光性樹脂組成物1を着色感光性樹脂組成物11、着色感光性樹脂組成物Aを着色感光性樹脂組成物Dに変更する以外は、実施例1と同様にして評価した結果、基板の塗膜層を溶解した後の透過率(400nm〜780nmの平均)は99.8%であった。更に、着色感光性樹脂組成物Dによって形成された塗膜層の明度を測定したところ、52.8であり、着色感光性樹脂組成物11による処理前後での明度の低下は、0.4であった。
[Evaluation 2]
Evaluation was performed in the same manner as in Example 1 except that the colored photosensitive resin composition 1 of Example 1 was changed to the colored photosensitive resin composition 11 and the colored photosensitive resin composition A was changed to the colored photosensitive resin composition D. As a result, the transmittance (average of 400 nm to 780 nm) after dissolving the coating layer of the substrate was 99.8%. Furthermore, when the brightness of the coating layer formed with the colored photosensitive resin composition D was measured, it was 52.8, and the decrease in brightness before and after the treatment with the colored photosensitive resin composition 11 was 0.4. there were.
実施例9
〔着色感光性樹脂組成物12の調製〕
(A−5) 0.4968質量部
(A−6) 0.1242質量部
アクリル系分散剤 0.2174質量部
(B−1) 1.3880質量部
(C−1) 0.2515質量部
(D−1) 0.1415質量部
(G−1) 0.0236質量部
(E−1) 6.5264質量部
(E−2) 0.8200質量部
(F−1) 0.0102質量部
(H−1) 0.0005質量部
を混合して着色感光性樹脂組成物12を得た。表面張力調整剤の含有量は、着色感光性樹脂組成物の固形分に対して質量分率で、0.57質量%であった。
Example 9
[Preparation of colored photosensitive resin composition 12]
(A-5) 0.4968 parts by mass (A-6) 0.1242 parts by mass Acrylic dispersant 0.2174 parts by mass (B-1) 1.3880 parts by mass (C-1) 0.2515 parts by mass ( D-1) 0.1415 parts by mass (G-1) 0.0236 parts by mass (E-1) 6.5264 parts by mass (E-2) 0.8200 parts by mass (F-1) 0.0102 parts by mass ( H-1) Colored photosensitive resin composition 12 was obtained by mixing 0.0005 parts by mass. The content of the surface tension adjusting agent was 0.57% by mass in terms of mass fraction with respect to the solid content of the colored photosensitive resin composition.
〔評価1〕
実施例1の着色感光性樹脂組成物1を着色感光性樹脂組成物12に変更する以外は実施例1と同様にして、基板の塗膜層を溶解した後の透過率(400nm〜780nmの平均)を測定した結果、99.9%であった。
[Evaluation 1]
Except for changing the colored photosensitive resin composition 1 of Example 1 to the colored photosensitive resin composition 12, in the same manner as in Example 1, the transmittance after dissolving the coating layer of the substrate (average of 400 nm to 780 nm) ) To be 99.9%.
〔評価2〕
実施例1の着色感光性樹脂組成物1を着色感光性樹脂組成物12、着色感光性樹脂組成物Aを着色感光性樹脂組成物Dに変更する以外は、実施例1と同様にして評価した結果、基板の塗膜層を溶解した後の透過率(400nm〜780nmの平均)は99.9%であった。更に、着色感光性樹脂組成物Dによって形成された塗膜層の明度を測定したところ、53.1であり、着色感光性樹脂組成物12による処理前後での明度の低下は、0.1であった。
[Evaluation 2]
Evaluation was performed in the same manner as in Example 1 except that the colored photosensitive resin composition 1 of Example 1 was changed to the colored photosensitive resin composition 12 and the colored photosensitive resin composition A was changed to the colored photosensitive resin composition D. As a result, the transmittance (average of 400 nm to 780 nm) after dissolving the coating layer of the substrate was 99.9%. Furthermore, when the brightness of the coating layer formed with the colored photosensitive resin composition D was measured, it was 53.1, and the decrease in brightness before and after the treatment with the colored photosensitive resin composition 12 was 0.1. there were.
実施例10
〔着色感光性樹脂組成物13の調製〕
(A−1) 0.6376質量部
(A−2) 0.1904質量部
アクリル系分散剤 0.2060質量部
(B−1) 1.3209質量部
(C−1) 0.1695質量部
(D−1) 0.0542質量部
(G−1) 0.0136質量部
(E−1) 6.5677質量部
(E−2) 0.8200質量部
(F−2) 0.0197質量部
(H−1) 0.0005質量部
を混合して着色感光性樹脂組成物13を得た。表面張力調整剤の含有量は、着色感光性樹脂組成物の固形分に対して質量分率で、1.09質量%であった。
〔評価1〕
実施例1の着色感光性樹脂組成物1を着色感光性樹脂組成物13に変更する以外は実施例1と同様にして、基板の塗膜層を溶解した後の透過率(400nm〜780nmの平均)を測定した結果、99.9%であった。
Example 10
[Preparation of colored photosensitive resin composition 13]
(A-1) 0.6376 parts by mass (A-2) 0.1904 parts by mass Acrylic dispersant 0.2060 parts by mass (B-1) 1.3209 parts by mass (C-1) 0.1695 parts by mass ( D-1) 0.0542 parts by mass (G-1) 0.0136 parts by mass (E-1) 6.577 parts by mass (E-2) 0.8200 parts by mass (F-2) 0.0197 parts by mass ( H-1) 0.0005 mass parts was mixed and the colored photosensitive resin composition 13 was obtained. The content of the surface tension modifier was 1.09% by mass in terms of mass fraction with respect to the solid content of the colored photosensitive resin composition.
[Evaluation 1]
Except for changing the colored photosensitive resin composition 1 of Example 1 to the colored photosensitive resin composition 13, in the same manner as in Example 1, the transmittance after dissolving the coating layer of the substrate (average of 400 nm to 780 nm) ) To be 99.9%.
〔評価2〕
(A−3) 0.4212質量部
(A−4) 0.1620質量部
(A−2) 0.2268質量部
エステル系分散剤 0.1954質量部
(B−1) 1.3477質量部
(C−1) 0.1730質量部
(D−1) 0.0692質量部
(G−1) 0.0138質量部
(E−1) 6.5512質量部
(E−2) 0.8200質量部
(F−2) 0.0194質量部
(H−1) 0.0005質量部
を混合して着色感光性樹脂組成物Eを得た。表面張力調整剤の含有量は、着色感光性樹脂組成物の固形分に対して質量分率で、1.08質量%であった。
実施例1と同様にして、着色感光性樹脂組成物Eのパターン部分の明度を顕微分光測定装置(OSP−SP−200;オリンパス(株)製)を用いて測定したところ、明度は53.3であった。
[Evaluation 2]
(A-3) 0.4212 parts by mass (A-4) 0.1620 parts by mass (A-2) 0.2268 parts by mass Ester-based dispersant 0.1954 parts by mass (B-1) 1.3477 parts by mass ( C-1) 0.1730 parts by mass (D-1) 0.0692 parts by mass (G-1) 0.0138 parts by mass (E-1) 6.5512 parts by mass (E-2) 0.8200 parts by mass ( F-2) 0.0194 parts by mass (H-1) 0.0005 parts by mass were mixed to obtain a colored photosensitive resin composition E. The content of the surface tension adjuster was 1.08% by mass in terms of mass fraction with respect to the solid content of the colored photosensitive resin composition.
When the brightness of the pattern portion of the colored photosensitive resin composition E was measured using a microspectrophotometer (OSP-SP-200; manufactured by Olympus Corporation) in the same manner as in Example 1, the brightness was 53.3. Met.
実施例1の着色感光性樹脂組成物1を着色感光性樹脂組成物13、着色感光性樹脂組成物Aを着色感光性樹脂組成物Eに変更する以外は、実施例1と同様にして評価した結果、基板の塗膜層を溶解した後の透過率(400nm〜780nmの平均)は99.9%であった。更に、着色感光性樹脂組成物Eによって形成された塗膜層の明度を測定したところ、53.1であり、着色感光性樹脂組成物13による処理前後での明度の低下は、0.2であった。 Evaluation was performed in the same manner as in Example 1 except that the colored photosensitive resin composition 1 of Example 1 was changed to the colored photosensitive resin composition 13 and the colored photosensitive resin composition A was changed to the colored photosensitive resin composition E. As a result, the transmittance (average of 400 nm to 780 nm) after dissolving the coating layer of the substrate was 99.9%. Furthermore, when the brightness of the coating layer formed with the colored photosensitive resin composition E was measured, it was 53.1, and the decrease in brightness before and after the treatment with the colored photosensitive resin composition 13 was 0.2. there were.
実施例11
〔着色感光性樹脂組成物14の調製〕
(A−3) 0.4212質量部
(A−4) 0.1620質量部
(A−2) 0.2268質量部
エステル系分散剤 0.1954質量部
(B−1) 1.3477質量部
(C−1) 0.1730質量部
(D−1) 0.0692質量部
(G−1) 0.0138質量部
(E−1) 6.5512質量部
(E−2) 0.8200質量部
(F−2) 0.0194質量部
(H−1) 0.0005質量部
を混合して着色感光性樹脂組成物14を得た。表面張力調整剤の含有量は、着色感光性樹脂組成物の固形分に対して質量分率で、1.08質量%であった。
Example 11
[Preparation of colored photosensitive resin composition 14]
(A-3) 0.4212 parts by mass (A-4) 0.1620 parts by mass (A-2) 0.2268 parts by mass Ester-based dispersant 0.1954 parts by mass (B-1) 1.3477 parts by mass ( C-1) 0.1730 parts by mass (D-1) 0.0692 parts by mass (G-1) 0.0138 parts by mass (E-1) 6.5512 parts by mass (E-2) 0.8200 parts by mass ( F-2) 0.0194 mass part (H-1) 0.0005 mass part was mixed and the colored photosensitive resin composition 14 was obtained. The content of the surface tension adjuster was 1.08% by mass in terms of mass fraction with respect to the solid content of the colored photosensitive resin composition.
〔評価1〕
実施例1の着色感光性樹脂組成物1を着色感光性樹脂組成物14に変更する以外は実施例1と同様にして、基板の塗膜層を溶解した後の透過率(400nm〜780nmの平均)を測定した結果、99.9%以上であった。
[Evaluation 1]
Except for changing the colored photosensitive resin composition 1 of Example 1 to the colored photosensitive resin composition 14, in the same manner as in Example 1, the transmittance after dissolving the coating layer of the substrate (average of 400 nm to 780 nm) ) Was 99.9% or more.
〔評価2〕
実施例1の着色感光性樹脂組成物1を着色感光性樹脂組成物14、着色感光性樹脂組成物Aを着色感光性樹脂組成物Eに変更する以外は、実施例1と同様にして評価した結果、基板の塗膜層を溶解した後の透過率(400nm〜780nmの平均)は99.9%であった。更に、着色感光性樹脂組成物Eによって形成された塗膜層の明度を測定したところ、53.0であり、着色感光性樹脂組成物14による処理前後での明度の低下は、0.3であった。
[Evaluation 2]
Evaluation was performed in the same manner as in Example 1 except that the colored photosensitive resin composition 1 of Example 1 was changed to the colored photosensitive resin composition 14 and the colored photosensitive resin composition A was changed to the colored photosensitive resin composition E. As a result, the transmittance (average of 400 nm to 780 nm) after dissolving the coating layer of the substrate was 99.9%. Furthermore, when the brightness of the coating layer formed with the colored photosensitive resin composition E was measured, it was 53.0, and the decrease in brightness before and after the treatment with the colored photosensitive resin composition 14 was 0.3. there were.
実施例12
〔着色感光性樹脂組成物15の調製〕
(A−5) 0.4968質量部
(A−6) 0.1242質量部
アクリル系分散剤 0.2174質量部
(B−1) 1.3745質量部
(C−1) 0.2490質量部
(D−1) 0.1401質量部
(G−1) 0.0233質量部
(E−1) 6.5347質量部
(E−2) 0.8200質量部
(F−1) 0.0195質量部
(H−1) 0.0005質量部
を混合して着色感光性樹脂組成物15を得た。表面張力調整剤の含有量は、着色感光性樹脂組成物の固形分に対して質量分率で、1.08質量%であった。
Example 12
[Preparation of colored photosensitive resin composition 15]
(A-5) 0.4968 parts by mass (A-6) 0.1242 parts by mass Acrylic dispersant 0.2174 parts by mass (B-1) 1.3745 parts by mass (C-1) 0.2490 parts by mass ( D-1) 0.1401 parts by mass (G-1) 0.0233 parts by mass (E-1) 6.5347 parts by mass (E-2) 0.8200 parts by mass (F-1) 0.0195 parts by mass ( H-1) 0.0005 mass parts was mixed and the colored photosensitive resin composition 15 was obtained. The content of the surface tension adjuster was 1.08% by mass in terms of mass fraction with respect to the solid content of the colored photosensitive resin composition.
〔評価1〕
実施例1の着色感光性樹脂組成物1を着色感光性樹脂組成物15に変更する以外は実施例1と同様にして、基板の塗膜層を溶解した後の透過率(400nm〜780nmの平均)を測定した結果、99.9%であった。
[Evaluation 1]
Except for changing the colored photosensitive resin composition 1 of Example 1 to the colored photosensitive resin composition 15, the transmittance after dissolving the coating layer of the substrate (average of 400 nm to 780 nm) was the same as in Example 1. ) To be 99.9%.
〔評価2〕
実施例1の着色感光性樹脂組成物1を着色感光性樹脂組成物15、着色感光性樹脂組成物Aを着色感光性樹脂組成物Eに変更する以外は、実施例1と同様にして評価した結果、基板の塗膜層を溶解した後の透過率(400nm〜780nmの平均)は99%以上(99.9%)であった。更に、着色感光性樹脂組成物Eによって形成された塗膜層の明度を測定したところ、53.2であり、着色感光性樹脂組成物15による処理前後での明度の低下は、0.1であった。
[Evaluation 2]
The colored photosensitive resin composition 1 of Example 1 was evaluated in the same manner as in Example 1 except that the colored photosensitive resin composition 15 and the colored photosensitive resin composition A were changed to the colored photosensitive resin composition E. As a result, the transmittance (average of 400 nm to 780 nm) after dissolving the coating layer of the substrate was 99% or more (99.9%). Furthermore, when the brightness of the coating layer formed with the colored photosensitive resin composition E was measured, it was 53.2, and the decrease in brightness before and after the treatment with the colored photosensitive resin composition 15 was 0.1. there were.
比較例4
〔着色感光性樹脂組成物16の調製〕
(A−1) 0.6376質量部
(A−2) 0.1904質量部
アクリル系分散剤 0.2060質量部
(B−1) 1.3197質量部
(C−1) 0.1694質量部
(D−1) 0.0542質量部
(G−1) 0.0135質量部
(E−1) 6.5684質量部
(E−2) 0.8200質量部
(F−2) 0.0203質量部
(H−1) 0.0005質量部
を混合して着色感光性樹脂組成物16を得た。表面張力調整剤の含有量は、着色感光性樹脂組成物の固形分に対して質量分率で、1.13質量%であった。
Comparative Example 4
[Preparation of colored photosensitive resin composition 16]
(A-1) 0.6376 parts by mass (A-2) 0.1904 parts by mass Acrylic dispersant 0.2060 parts by mass (B-1) 1.3197 parts by mass (C-1) 0.1694 parts by mass ( D-1) 0.0542 parts by mass (G-1) 0.0135 parts by mass (E-1) 6.5684 parts by mass (E-2) 0.8200 parts by mass (F-2) 0.0203 parts by mass ( H-1) 0.0005 mass parts was mixed and the colored photosensitive resin composition 16 was obtained. The content of the surface tension adjuster was 1.13% by mass in terms of mass fraction with respect to the solid content of the colored photosensitive resin composition.
〔評価1〕
実施例1の着色感光性樹脂組成物1を着色感光性樹脂組成物16に変更する以外は実施例1と同様にして、基板の塗膜層を溶解した後の透過率(400nm〜780nmの平均)を測定した結果、98%であった。
[Evaluation 1]
Except for changing the colored photosensitive resin composition 1 of Example 1 to the colored photosensitive resin composition 16, the transmittance after dissolving the coating film layer of the substrate (average of 400 nm to 780 nm) was the same as in Example 1. ) Was measured to be 98%.
〔評価2〕
(A−3) 0.4212質量部
(A−4) 0.1620質量部
(A−2) 0.2268質量部
エステル系分散剤 0.1954質量部
(B−1) 1.3453質量部
(C−1) 0.1726質量部
(D−1) 0.0691質量部
(G−1) 0.0138質量部
(E−1) 6.5526質量部
(E−2) 0.8200質量部
(F−2) 0.0207質量部
(H−1) 0.0005質量部
を混合して着色感光性樹脂組成物Fを得た。表面張力調整剤の含有量は、着色感光性樹脂組成物の固形分に対して質量分率で、1.15質量%であった。
実施例1と同様にして、着色感光性樹脂組成物Fのパターン部分の明度を顕微分光測定装置(OSP−SP−200;オリンパス(株)製)を用いて測定したところ、明度は53.3であった。
[Evaluation 2]
(A-3) 0.4212 parts by mass (A-4) 0.1620 parts by mass (A-2) 0.2268 parts by mass Ester-based dispersant 0.1954 parts by mass (B-1) 1.3453 parts by mass ( C-1) 0.1726 parts by mass (D-1) 0.0691 parts by mass (G-1) 0.0138 parts by mass (E-1) 6.5526 parts by mass (E-2) 0.8200 parts by mass ( F-2) 0.0207 parts by mass (H-1) 0.0005 parts by mass were mixed to obtain a colored photosensitive resin composition F. The content of the surface tension adjusting agent was 1.15% by mass in terms of mass fraction with respect to the solid content of the colored photosensitive resin composition.
When the brightness of the pattern portion of the colored photosensitive resin composition F was measured using a microspectrophotometer (OSP-SP-200; manufactured by Olympus Corporation) in the same manner as in Example 1, the brightness was 53.3. Met.
実施例1の着色感光性樹脂組成物1を着色感光性樹脂組成物16、着色感光性樹脂組成物Aを着色感光性樹脂組成物Fに変更する以外は、実施例1と同様にして評価した結果、基板の塗膜層を溶解した後の透過率(400nm〜780nmの平均)は96%であった。更に、着色感光性樹脂組成物Fによって形成された塗膜層の明度を測定したところ、50.9であり、着色感光性樹脂組成物16による処理前後での明度の低下は、2.4であった。 Evaluation was performed in the same manner as in Example 1 except that the colored photosensitive resin composition 1 of Example 1 was changed to the colored photosensitive resin composition 16 and the colored photosensitive resin composition A was changed to the colored photosensitive resin composition F. As a result, the transmittance (average of 400 nm to 780 nm) after dissolving the coating layer of the substrate was 96%. Furthermore, when the brightness of the coating layer formed with the colored photosensitive resin composition F was measured, it was 50.9, and the decrease in brightness before and after the treatment with the colored photosensitive resin composition 16 was 2.4. there were.
比較例5
〔着色感光性樹脂組成物17の調製〕
(A−3) 0.4212質量部
(A−4) 0.1620質量部
(A−2) 0.2268質量部
エステル系分散剤 0.1954質量部
(B−1) 1.3453質量部
(C−1) 0.1726質量部
(D−1) 0.0691質量部
(G−1) 0.0138質量部
(E−1) 6.5526質量部
(E−2) 0.8200質量部
(F−2) 0.0207質量部
(H−1) 0.0005質量部
を混合して着色感光性樹脂組成物17を得た。表面張力調整剤の含有量は、着色感光性樹脂組成物の固形分に対して質量分率で、1.15質量%であった。
Comparative Example 5
[Preparation of colored photosensitive resin composition 17]
(A-3) 0.4212 parts by mass (A-4) 0.1620 parts by mass (A-2) 0.2268 parts by mass Ester-based dispersant 0.1954 parts by mass (B-1) 1.3453 parts by mass ( C-1) 0.1726 parts by mass (D-1) 0.0691 parts by mass (G-1) 0.0138 parts by mass (E-1) 6.5526 parts by mass (E-2) 0.8200 parts by mass ( F-2) 0.0207 parts by mass (H-1) 0.0005 parts by mass were mixed to obtain a colored photosensitive resin composition 17. The content of the surface tension adjusting agent was 1.15% by mass in terms of mass fraction with respect to the solid content of the colored photosensitive resin composition.
〔評価1〕
実施例1の着色感光性樹脂組成物1を着色感光性樹脂組成物17に変更する以外は実施例1と同様にして、基板の塗膜層を溶解した後の透過率(400nm〜780nmの平均)を測定した結果、98%であった。
[Evaluation 1]
Except for changing the colored photosensitive resin composition 1 of Example 1 to the colored photosensitive resin composition 17, in the same manner as in Example 1, the transmittance after dissolving the coating layer of the substrate (average of 400 nm to 780 nm) ) Was measured to be 98%.
〔評価2〕
実施例1の着色感光性樹脂組成物1を着色感光性樹脂組成物17、着色感光性樹脂組成物Aを着色感光性樹脂組成物Fに変更する以外は、実施例1と同様にして評価した結果、基板の塗膜層を溶解した後の透過率(400nm〜780nmの平均)は96%であった。更に、着色感光性樹脂組成物Fによって形成された塗膜層の明度を測定したところ、50.4であり、着色感光性樹脂組成物17による処理前後での明度の低下は、2.9であった。
[Evaluation 2]
Evaluation was performed in the same manner as in Example 1 except that the colored photosensitive resin composition 1 of Example 1 was changed to the colored photosensitive resin composition 17 and the colored photosensitive resin composition A was changed to the colored photosensitive resin composition F. As a result, the transmittance (average of 400 nm to 780 nm) after dissolving the coating layer of the substrate was 96%. Furthermore, when the brightness of the coating layer formed with the colored photosensitive resin composition F was measured, it was 50.4, and the decrease in brightness before and after the treatment with the colored photosensitive resin composition 17 was 2.9. there were.
比較例6
〔着色感光性樹脂組成物18の調製〕
(A−5) 0.4968質量部
(A−6) 0.1242質量部
アクリル系分散剤 0.2174質量部
(B−1) 1.3690質量部
(C−1) 0.2480質量部
(D−1) 0.1395質量部
(G−1) 0.0233質量部
(E−1) 6.5381質量部
(E−2) 0.8200質量部
(F−2) 0.0233質量部
(H−1) 0.0005質量部
を混合して着色感光性樹脂組成物18を得た。表面張力調整剤の含有量は、着色感光性樹脂組成物の固形分に対して質量分率で、1.29質量%であった。
Comparative Example 6
[Preparation of colored photosensitive resin composition 18]
(A-5) 0.4968 parts by mass (A-6) 0.1242 parts by mass Acrylic dispersant 0.2174 parts by mass (B-1) 1.3690 parts by mass (C-1) 0.2480 parts by mass ( D-1) 0.1395 parts by mass (G-1) 0.0233 parts by mass (E-1) 6.5538 parts by mass (E-2) 0.8200 parts by mass (F-2) 0.0233 parts by mass ( H-1) 0.0005 mass parts was mixed and the colored photosensitive resin composition 18 was obtained. The content of the surface tension modifier was 1.29% by mass in terms of mass fraction with respect to the solid content of the colored photosensitive resin composition.
〔評価1〕
実施例1の着色感光性樹脂組成物1を着色感光性樹脂組成物18に変更する以外は実施例1と同様にして、基板の塗膜層を溶解した後の透過率(400nm〜780nmの平均)を測定した結果、98%であった。
[Evaluation 1]
Except for changing the colored photosensitive resin composition 1 of Example 1 to the colored photosensitive resin composition 18, in the same manner as in Example 1, the transmittance after dissolving the coating layer of the substrate (average of 400 nm to 780 nm) ) Was measured to be 98%.
〔評価2〕
実施例1の着色感光性樹脂組成物1を着色感光性樹脂組成物18、着色感光性樹脂組成物Aを着色感光性樹脂組成物Fに変更する以外は、実施例1と同様にして評価した結果、基板の塗膜層を溶解した後の透過率(400nm〜780nmの平均)は96%であった。更に、着色感光性樹脂組成物Fによって形成された塗膜層の明度を測定したところ、51.1であり、着色感光性樹脂組成物18による処理前後での明度の低下は、2.2であった。
[Evaluation 2]
Evaluation was conducted in the same manner as in Example 1 except that the colored photosensitive resin composition 1 of Example 1 was changed to the colored photosensitive resin composition 18 and the colored photosensitive resin composition A was changed to the colored photosensitive resin composition F. As a result, the transmittance (average of 400 nm to 780 nm) after dissolving the coating layer of the substrate was 96%. Furthermore, when the brightness of the coating layer formed with the colored photosensitive resin composition F was measured, it was 51.1. The decrease in brightness before and after the treatment with the colored photosensitive resin composition 18 was 2.2. there were.
本発明の着色感光性樹脂組成物は、残渣が良好なカラーフィルタを形成することができ、得られたカラーフィルタはイメージセンサや液晶表示装置に用いることができる。 The colored photosensitive resin composition of the present invention can form a color filter having a good residue, and the obtained color filter can be used for an image sensor or a liquid crystal display device.
Claims (6)
An image sensor comprising the color filter according to claim 5.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2005240828A JP2007057651A (en) | 2005-08-23 | 2005-08-23 | Colored photosensitive resin composition |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2005240828A JP2007057651A (en) | 2005-08-23 | 2005-08-23 | Colored photosensitive resin composition |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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Country | Link |
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JP (1) | JP2007057651A (en) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008242273A (en) * | 2007-03-28 | 2008-10-09 | Fujifilm Corp | Colored curable resin composition, colored pattern forming method, colored pattern, method for producing color filter, color filter, and liquid crystal display element |
JP2009053273A (en) * | 2007-08-23 | 2009-03-12 | Toyo Ink Mfg Co Ltd | Color composition for spin coating and color filter formed using the color composition |
JP2011039128A (en) * | 2009-08-07 | 2011-02-24 | Sumitomo Chemical Co Ltd | Resist composition |
JP2014066809A (en) * | 2012-09-25 | 2014-04-17 | Asahi Kasei E-Materials Corp | Photosensitive resin composition |
-
2005
- 2005-08-23 JP JP2005240828A patent/JP2007057651A/en active Pending
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JP2009053273A (en) * | 2007-08-23 | 2009-03-12 | Toyo Ink Mfg Co Ltd | Color composition for spin coating and color filter formed using the color composition |
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JP2014066809A (en) * | 2012-09-25 | 2014-04-17 | Asahi Kasei E-Materials Corp | Photosensitive resin composition |
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