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JP2007042376A - Airtight container - Google Patents

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JP2007042376A
JP2007042376A JP2005224156A JP2005224156A JP2007042376A JP 2007042376 A JP2007042376 A JP 2007042376A JP 2005224156 A JP2005224156 A JP 2005224156A JP 2005224156 A JP2005224156 A JP 2005224156A JP 2007042376 A JP2007042376 A JP 2007042376A
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JP
Japan
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glass
beads
seal glass
sealing
seal
Prior art date
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Pending
Application number
JP2005224156A
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Japanese (ja)
Inventor
Masahiro Kato
雅弘 加藤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Futaba Corp
Original Assignee
Futaba Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Futaba Corp filed Critical Futaba Corp
Priority to JP2005224156A priority Critical patent/JP2007042376A/en
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  • Manufacture Of Electron Tubes, Discharge Lamp Vessels, Lead-In Wires, And The Like (AREA)
  • Vessels, Lead-In Wires, Accessory Apparatuses For Cathode-Ray Tubes (AREA)
  • Cathode-Ray Tubes And Fluorescent Screens For Display (AREA)

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To avoid leak failure due to collapse of foam in sealing an airtight vessel with the use of seal glass containing foam. <P>SOLUTION: The airtight vessel of a box shape consisting of a front plate, a rear face plate and side face plates made of glass has beads with a diameter of 50 to 200 μm mixed in seal glass sealing each glass plate. Even in case foam of a maximum outer diameter of 200 μm or so is contained in the seal glass, since an interval between glass plates is decided by the beads in the seal glass, with a size of 50 to 200 μm, the foam of the above size will not grow but to a size of 300 μm at largest, so that a generation rate of leak failure is drastically decreased with consideration of the size of a glass plate of a sealing part of a general airtight vessel. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は、前面板と背面板の間に側面板を挟み、これらをシールガラスで気密に封止して構成した箱型の気密容器に係り、特にシールガラスが含む気泡による気密不良を改善するためにシールガラスに所定の条件でビーズを添加した気密容器に関するものである。   The present invention relates to a box-type airtight container configured by sandwiching a side plate between a front plate and a back plate and hermetically sealing them with a seal glass, and in particular to improve airtight defects due to bubbles contained in the seal glass. The present invention relates to an airtight container in which beads are added to seal glass under predetermined conditions.

表示素子等を含む各種の電子素子類において、表示部を含む電極類や内部構造を収納するための外囲器として、ガラス基板を組み合わせてなる箱型の気密容器が用いらる場合がある。   In various electronic elements including a display element and the like, a box-shaped airtight container formed by combining glass substrates may be used as an envelope for storing electrodes including a display unit and an internal structure.

例えば、図3は、このような気密容器を有する電子素子の一例である蛍光表示管の構造の一例を示す断面図である。この蛍光表示管の気密容器10は、ガラスからなる透光性の前面板1と、ガラスからなる背面板2と、矩形の四枚のガラス板を予めシールガラス11で枠状に組み合わせた側面板3とからなり、所定間隔をおいて平行に配置した前面板1と背面板2の各内面外周部の間に前記側面板3を挟み、シールガラス11で箱型となるように一体に封着したものである。   For example, FIG. 3 is a cross-sectional view showing an example of the structure of a fluorescent display tube which is an example of an electronic element having such an airtight container. The hermetic container 10 of the fluorescent display tube includes a translucent front plate 1 made of glass, a back plate 2 made of glass, and four rectangular glass plates combined in advance with a seal glass 11 in a frame shape. The side plate 3 is sandwiched between the outer peripheral portions of the inner surfaces of the front plate 1 and the back plate 2 arranged in parallel at a predetermined interval, and sealed in a box shape with a seal glass 11 It is a thing.

背面板2の内面には、陽極導体12とその上に設けられた蛍光体層13からなる陽極14が形成され、気密容器10内において陽極14の上方には制御電極15と電子源であるフィラメント状の陰極16が設けられている。駆動時には、陰極16から放出された電子は、制御電極15による制御を経て陽極14に射突し、蛍光体層13を発光させる。この発光は、透光性の前面板1を介して外部から視認することができる。   An anode 14 comprising an anode conductor 12 and a phosphor layer 13 provided thereon is formed on the inner surface of the back plate 2. A control electrode 15 and a filament as an electron source are disposed above the anode 14 in the hermetic container 10. A negative electrode 16 is provided. At the time of driving, the electrons emitted from the cathode 16 strike the anode 14 under the control of the control electrode 15 and cause the phosphor layer 13 to emit light. This light emission can be visually recognized from the outside through the translucent front plate 1.

なお、接続部分の詳細は示さないが、気密容器10内の電極類等は、気密容器10の封着部分を気密に貫通する金属製のリード17に接続され、気密容器10の外に電気的に導出される。図3では、背面板2の内面に形成された陽極導体12に接続される図示しない陽極配線等に、封着部を気密に貫通したリード17の内端部が接続されている。   Although details of the connecting portion are not shown, the electrodes and the like in the hermetic container 10 are connected to a metal lead 17 that hermetically penetrates the sealed portion of the hermetic container 10 and are electrically connected to the outside of the hermetic container 10. To be derived. In FIG. 3, the inner end portion of the lead 17 that hermetically penetrates the sealing portion is connected to an anode wiring (not shown) connected to the anode conductor 12 formed on the inner surface of the back plate 2.

また、下記特許文献1には、このような気密容器においてガラス板とガラス板の間のシール部分に一種のスペーサ部材として直径が300μm程の大径のビーズを配置することにより、シール材の厚さを一定に保持する発明が開示されている。
特開平2−106856号公報
Further, in Patent Document 1 below, the thickness of the sealing material is set by disposing a large-diameter bead having a diameter of about 300 μm as a kind of spacer member in a sealed portion between the glass plates in such an airtight container. An invention that keeps constant is disclosed.
Japanese Patent Laid-Open No. 2-106856

さて、前記気密容器に用いられるシールガラスは、一般に低融点フリットガラス、低膨張セラミックス(チタン酸鉛、ジルコン、コージェライト、シリカ、β−ユークリプタイト等)及び着色顔料を主原料として構成され、塗布時の便宜のためにペースト化されている。このシールガラスが含む低融点フリットガラスは、軟化点が350〜450℃であり、気密容器の組立においては450〜500℃程度の温度に加熱される。   The sealing glass used for the hermetic container is generally composed of a low melting point frit glass, a low expansion ceramic (lead titanate, zircon, cordierite, silica, β-eucryptite, etc.) and a coloring pigment as main raw materials. It is made into a paste for convenience during application. The low melting point frit glass included in the sealing glass has a softening point of 350 to 450 ° C., and is heated to a temperature of about 450 to 500 ° C. in assembling the hermetic container.

側面板は、あらかじめ4枚の短冊状の基板を前記シールガラスの塗布・焼成により枠状に固定して形成しておく。そして、前面板と背面板の各内面の外周部にペースト化されたシールガラスをスクリーン印刷法により適当な厚さで印刷し、枠状の側面板を両側から挟んで箱型に組立てる。これを、適当な力で押さえて固定しつつ、前述したように450〜500℃程度の温度で焼成し、前面板及び背面板と側面板との間のシールガラスの膜厚がおよそ250〜350μmとなるように製造管理して箱型の気密容器が得られる。   The side plate is previously formed by fixing four strip-shaped substrates into a frame shape by applying and baking the sealing glass. Then, the pasted seal glass is printed on the outer peripheral portions of the inner surfaces of the front plate and the rear plate with an appropriate thickness by a screen printing method, and the frame-shaped side plates are sandwiched from both sides and assembled into a box shape. This is fired at a temperature of about 450 to 500 ° C. as described above while being pressed and fixed with an appropriate force, and the thickness of the seal glass between the front plate and the back plate and the side plate is about 250 to 350 μm. A box-shaped airtight container is obtained by managing the production so that

本発明者等が研究によって得た知見によれば、一般的に前記シールガラスは気泡を含んでおり、又は潜在的に気体を含んでいて気密容器の製造時の加熱によって気泡を発生させることがあるが、これら気泡は通常直径が200μm以下のものである。   According to the knowledge obtained by the present inventors through research, the sealing glass generally contains bubbles, or potentially contains gas, and bubbles can be generated by heating at the time of manufacturing an airtight container. However, these bubbles usually have a diameter of 200 μm or less.

図4(a)に示すように、前記気密容器の製造においては、まず前面板1の内面側の外周部にシールガラス11を適当な厚さで塗布し、予め枠状に組み立てた側面板3の上端面を当接させ、全体として箱型に組み立てる。そして、図4(b)に示すように、前面板1と側面板3の間に力を加えて両板1,2を圧着させ、この状態で加熱封止する。この加圧・加熱を伴う封止工程において、同図(a)に示すようにシールガラス11中に含まれていた気泡20(又はシールガラス中に発生した気泡)は同図(b)に示すように潰されて広がった気泡21となり、元の気泡よりもガラス板の圧着面に対する投影面積が拡大し、気密容器10の内外を連通させて気密性を無くしてしまうか、直ちに連通させないまでも気密信頼性を大幅に低下させる原因となってしまう。   As shown in FIG. 4 (a), in manufacturing the airtight container, first, a seal glass 11 is first applied to the outer peripheral portion on the inner surface side of the front plate 1 with an appropriate thickness, and the side plate 3 assembled in advance in a frame shape. Assemble the upper end of the box as a whole. Then, as shown in FIG. 4B, a force is applied between the front plate 1 and the side plate 3 to pressure-bond both plates 1 and 2, and in this state, heat sealing is performed. In the sealing step involving pressurization and heating, as shown in FIG. 5A, the bubbles 20 (or bubbles generated in the seal glass) contained in the seal glass 11 are shown in FIG. As a result, the projected area on the pressure-bonding surface of the glass plate is larger than the original bubble, and the inside and outside of the airtight container 10 are communicated to eliminate airtightness, or it is not necessary to immediately communicate. Airtight reliability will be greatly reduced.

加圧・加熱を伴う上記封止工程において、シールガラス11が含む低膨張セラミックスの粒径は平均10μm、最大で30〜40μmであるから、封止部分におけるシールガラス11の厚さ(シール厚)は低膨張セラミックスの最大径よりは小さくならないはずであるが、実際にはガラス板同士が当接する各面は完全な平面ではなく、そげや凹凸があるので、前記シール厚は20〜80μm程度にまで潰され、その結果、直径200μmの気泡は気密容器10の内外を連通させる程度にまで広い面積に潰されてリーク不良の原因となってしまうのである。   In the above sealing step involving pressurization and heating, the particle size of the low expansion ceramic included in the seal glass 11 is 10 μm on average and 30 to 40 μm at the maximum, so the thickness (seal thickness) of the seal glass 11 in the sealed portion Should not be smaller than the maximum diameter of the low expansion ceramics, but actually the surfaces where the glass plates contact each other are not perfectly flat, but have bends and irregularities, so the seal thickness is about 20 to 80 μm. As a result, bubbles having a diameter of 200 μm are crushed to a large area to the extent that the inside and outside of the hermetic container 10 are communicated with each other, causing a leak failure.

特に、気密容器の前面板1と側面板3とのシール部分を、気密容器10の内外を電気的に連絡するリード17が貫通していない構造の場合には、当該シール部分におけるシール厚は、封着温度及び封着時にガラス板材を組み合わせて仮固定する際のクリップ圧力とによって決定されると考えられる。   In particular, in the case where the lead 17 that electrically connects the inside and outside of the hermetic container 10 does not penetrate the seal part between the front plate 1 and the side plate 3 of the hermetic container, the seal thickness at the seal part is: This is considered to be determined by the sealing temperature and the clip pressure when the glass plate material is temporarily fixed in combination at the time of sealing.

例えば、クリップ圧を高くすると、シール厚は、シールガラス11に含まれる低膨張セラミックスの粒径サイズまで薄く潰されてれてしまい、リークを生じる原因となる。逆に、気泡の潰れによるリーク不良を防ぐためにクリップ圧を低く設定すると、図5に示すように背面板2と側面板3のシール部分を気密容器10の内外を電気的に連絡するリード17が貫通している構造の場合には、そのリード17の気密容器10内の先端部は、電極との安定した接触を得るために屈曲されてばね性を付与されているため、そのばね性により、十分にクランプされていない側面板3は傾いてしまい、予め枠状に固定された側面板3の4隅の融着部分にリークが発生してしまうことがある。   For example, when the clip pressure is increased, the seal thickness is thinly crushed to the particle size of the low expansion ceramic contained in the seal glass 11, causing leakage. On the other hand, when the clip pressure is set low in order to prevent a leak failure due to the collapse of bubbles, the lead 17 that electrically connects the sealed portion of the back plate 2 and the side plate 3 between the inside and outside of the airtight container 10 as shown in FIG. In the case of a structure that penetrates, the tip of the lead 17 in the hermetic container 10 is bent to obtain a stable contact with the electrode and is given springiness. The side plate 3 that is not sufficiently clamped is inclined, and a leak may occur at the four corners of the side plate 3 that is fixed in a frame shape in advance.

本発明は、以上説明した本発明者が見出した新たな技術上の課題を解決せんとするものであり、ガラス板を組み合わせてシールガラスで封着してなる気密容器において、シールガラス中に最大外径200μm程度の気泡が含まれているような条件下であっても、シールガラス中の気泡の潰れによるリーク不良が封着部分に生じることがなく、シールガラスによるシール機能が封着部分で最大限に発揮されるようにするために最適なガラス板相互の間隔を容易に設定できる技術的手段を提供することを目的としている。   The present invention is intended to solve the above-described new technical problem found by the present inventor, and is an airtight container formed by combining glass plates and sealed with seal glass. Even under conditions where bubbles with an outer diameter of about 200 μm are included, there is no leakage failure due to the collapse of the bubbles in the seal glass at the sealed portion, and the sealing function by the seal glass is achieved at the sealed portion. It is an object of the present invention to provide a technical means capable of easily setting an optimum distance between glass plates in order to make the best use.

請求項1に記載された気密容器は、前面板と背面板で側面板を挟みシールガラスで気密に封止してなる箱型の気密容器において、前記封着ガラスの中に直径が50〜200μmのビーズを混入したことを特徴としている。   The airtight container according to claim 1 is a box-type airtight container in which a side plate is sandwiched between a front plate and a back plate and hermetically sealed with a seal glass, and the diameter of the sealed glass is 50 to 200 μm. It is characterized by mixing of beads.

請求項2に記載された気密容器は、請求項1記載の気密容器において、前記シールガラスは、フリットガラスと、前記ビーズよりも小さい直径の低膨張セラミックス粒子を含むことを特徴としている。   An airtight container according to a second aspect is the airtight container according to the first aspect, wherein the seal glass includes frit glass and low-expansion ceramic particles having a smaller diameter than the beads.

請求項3に記載された気密容器は、請求項1または2記載の気密容器において、前記ビーズは、前記シールガラスの封止温度で溶融せずかつ前記シールガラスと実質的に同等の熱膨張係数を有する材料からなり、前記シールガラスに対する添加量が重量比で0.05〜5%であることを特徴としている。   The hermetic container according to claim 3 is the hermetic container according to claim 1 or 2, wherein the beads do not melt at a sealing temperature of the seal glass and are substantially equal in thermal expansion coefficient to the seal glass. The amount added to the sealing glass is 0.05 to 5% by weight.

請求項4に記載された気密容器は、請求項1又は2又は3記載の気密容器において、前記シールガラスが、直径が200μmを上限とする気泡を含むことを特徴としている。   The hermetic container described in claim 4 is characterized in that, in the hermetic container according to claim 1, 2, or 3, the seal glass contains bubbles whose diameter is up to 200 μm.

請求項1又は4に記載された本願発明の気密容器によれば、ガラス板を箱型に組み合わせてシールガラスで封着した気密容器において、当該シールガラス中に最大外径200μm程度の気泡が含まれているような場合であっても、ガラス板同士の間隔はシールガラス中のビーズによって決まり、概ね50〜200μm程度となるので、前記サイズの気泡は潰されても高々300μm程度のサイズまでにしか成長せず、一般的な気密容器の封着部のガラス板の厚さを考慮するとリーク不良の発生確率は著しく低下する。実際、前記外径のビーズを添加して作成した気密容器では、気泡によるリーク発生の不良率はビーズを添加しない場合に比べて1/10以下となった。   According to the hermetic container of the present invention described in claim 1 or 4, in the hermetic container in which a glass plate is combined in a box shape and sealed with seal glass, the seal glass contains bubbles having a maximum outer diameter of about 200 μm. Even in such a case, the distance between the glass plates is determined by the beads in the seal glass, and is about 50 to 200 μm. Therefore, even if the bubbles of the above size are crushed, the size is about 300 μm at most. However, if the thickness of the glass plate at the sealing part of a general hermetic container is taken into consideration, the probability of occurrence of a leak failure is significantly reduced. Actually, in the airtight container prepared by adding the beads having the outer diameter, the defective rate of occurrence of leakage due to bubbles was 1/10 or less compared to the case where beads were not added.

請求項2に記載された気密容器によれば、請求項1記載の気密容器において、前記シールガラスはフリットガラスと低膨張セラミックス粒子を含んでいるが、前記ビーズの外径は低膨張セラミックス粒子よりも大きいので、シールガラス中に含まれる気泡の封着における潰れがリーク不良を発生しない程度に防止される。   According to the hermetic container of claim 2, in the hermetic container of claim 1, the seal glass includes frit glass and low expansion ceramic particles, but the outer diameter of the beads is smaller than that of the low expansion ceramic particles. Therefore, the collapse of the bubbles contained in the seal glass during the sealing is prevented to the extent that no leak failure occurs.

請求項3に記載された気密容器によれば、請求項1または2記載の気密容器において、前記ビーズは封着時に溶融せず、固化後に熱膨張率の違いによりシールガラスにクラックを生じさせるおそれもない。また、ビーズのシールガラスに対する添加量が重量比で0.05%以上であるので封着部にビーズが最小限必要な密度以上にて存在することができ、シール厚が一定する。また前記添加量が重量比で5%以下であるため、封着時にシールガラスの流動性を阻害することもない。   According to the hermetic container described in claim 3, in the hermetic container according to claim 1 or 2, the beads do not melt at the time of sealing, and may cause cracks in the seal glass due to a difference in thermal expansion coefficient after solidification. Nor. Further, since the amount of beads added to the seal glass is 0.05% or more by weight, the beads can be present at a density higher than the minimum necessary in the sealing portion, and the seal thickness is constant. Moreover, since the said addition amount is 5% or less by weight ratio, the fluidity | liquidity of seal glass is not inhibited at the time of sealing.

本発明を実施するための最良の形態を図1及び図2を参照して説明する。
本例は、前面板1と背面板2の間に側面板3を挟み、これらをシールガラス5で気密に封止して構成した箱型の気密容器6に関するものであって、表示素子等を含む各種の電子素子類において電極類や内部構造を収納するための外囲器として広く利用可能なものである。従って、シールガラス5を用いてガラス板材を箱型に組み立てた気密容器6自体の基本構造は、図3に示し又は特許文献1を参照して説明したものと実質的に同様であるので詳細な説明はこれらを援用して省略するものとする。
The best mode for carrying out the present invention will be described with reference to FIGS.
This example relates to a box-type airtight container 6 constituted by sandwiching a side plate 3 between a front plate 1 and a back plate 2 and hermetically sealing them with a seal glass 5, It can be widely used as an envelope for housing electrodes and internal structures in various electronic devices. Accordingly, the basic structure of the hermetic container 6 itself in which a glass plate material is assembled into a box shape using the seal glass 5 is substantially the same as that shown in FIG. The description will be omitted with the aid of these.

そして、本例の気密容器6は、特にシールガラス5が含む気泡による気密不良を改善するためにシールガラス5に所定の条件でビーズ7を添加してガラス板材間の間隔に所定範囲で制限を与え、シールガラス5中に存在する気泡の潰れが不都合を生じないように制御したことを特徴とするものである。   And the airtight container 6 of this example adds the bead 7 on the sealing glass 5 on the predetermined conditions, especially in order to improve the airtight defect by the bubble which the sealing glass 5 contains, and restrict | limits the space | interval between glass plate materials in a predetermined range. In addition, control is performed so that the collapse of bubbles existing in the seal glass 5 does not cause inconvenience.

(1) シールガラス5について
本例の気密容器6の製造においてガラス板の封着に使用するシールガラス5は、フリットガラスと低膨張セラミックス粒子(チタン酸鉛、ジルコン、コージェライト、シリカ、β−ユークリプタイト等)及び着色顔料を主原料として構成され、塗布時の便宜のためにペースト化されている。このシールガラス5が含む低融点フリットガラスは、軟化点が350〜450℃であり、気密容器6の組立においては450〜500℃程度の温度に加熱される。
(1) Seal glass 5 The seal glass 5 used for sealing the glass plate in the production of the airtight container 6 of this example is frit glass and low expansion ceramic particles (lead titanate, zircon, cordierite, silica, β- Eucryptite and the like) and color pigments as main raw materials, and are made into a paste for the convenience of application. The low melting point frit glass included in the seal glass 5 has a softening point of 350 to 450 ° C., and is heated to a temperature of about 450 to 500 ° C. in assembling the hermetic container 6.

前記低膨張セラミックス粒子は平均粒径が10μmであり、最大粒径が概ね30〜40μmの範囲にあり、さらにこのシールガラス5は、直径が200μmを上限とする気泡20を含んでいるものとする。   The low-expansion ceramic particles have an average particle size of 10 μm, a maximum particle size in the range of approximately 30 to 40 μm, and the seal glass 5 further includes bubbles 20 having an upper limit of 200 μm in diameter. .

一般的に、封着に用いられるシールガラスにはなるべく気泡が含まれないことが望ましいことはもちろんであるが、その大きさ(直径)が200μm以下であれば通常の気密容器の封着部分においてはリークの問題は生じないというのが本発明者の経験に基づく知見である。従って、本例で使用されるシールガラス5もそのままであれば気泡20によるリークの問題は生じないはずであるが、気密容器6の封着部分で潰された場合には気泡20は薄く長く変形して封着部にリークの問題を生じてしまう可能性がある。   In general, it is desirable that the sealing glass used for sealing is free of bubbles as much as possible. However, if the size (diameter) is 200 μm or less, the sealing glass of a normal hermetic container is used. Based on the inventor's experience, there is no leakage problem. Therefore, if the seal glass 5 used in this example is left as it is, the problem of leakage due to the bubbles 20 should not occur. However, when the seal glass 5 is crushed at the sealing portion of the hermetic container 6, the bubbles 20 are thin and long. As a result, there is a possibility of causing a leakage problem in the sealing portion.

(2) ビーズ7の必要性について
そこで、封着部におけるガラス板同士の間隔を一定以上として気泡の潰れを有害にならない程度に規制するとともに(潰れ防止)、ガラス板同士の間隔を一定以下として間隔が開き過ぎることによるシール不良を防止するため、この目的に適合したサイズ範囲のビーズ7をシールガラス5に添加するものとした。
(2) Necessity of beads 7 Therefore, the interval between the glass plates in the sealing portion is set to a certain level or more so as to prevent the bubbles from being crushed (preventing collapse), and the interval between the glass plates is set to a certain level or less. In order to prevent poor sealing due to excessive spacing, beads 7 having a size range suitable for this purpose were added to the sealing glass 5.

図1は、本例の気密容器6の部分拡大断面図であって、前面板1の内面外周部と側面板3の上端面との間に設けられたシールガラス5による封着部分を示すものである。このシールガラス5にはビーズ7が含まれており、このビーズ7の外径によって前面板1と側面板3の間隔がビーズ7の外径と略同一となるように制御されている。そして、このビーズ7の外径は以下に詳述するように50μm〜200μmの範囲であるので、シールガラス5に潜在的に含まれる気泡20の最大径が200μmであっても、これを潰して封着部にリーク不良を生じせしめる恐れがない。   FIG. 1 is a partial enlarged cross-sectional view of an airtight container 6 of the present example, showing a sealing portion by a seal glass 5 provided between an inner peripheral surface of a front plate 1 and an upper end surface of a side plate 3. It is. The seal glass 5 includes beads 7, and the distance between the front plate 1 and the side plate 3 is controlled to be substantially the same as the outer diameter of the beads 7 by the outer diameter of the beads 7. Since the outer diameter of the beads 7 is in the range of 50 μm to 200 μm as described in detail below, even if the maximum diameter of the bubbles 20 potentially contained in the seal glass 5 is 200 μm, the beads 7 are crushed. There is no fear of causing a leak failure in the sealing part.

(3) ビーズ7の大きさについて
前記ビーズ7の大きさは、シールガラス5が含む低膨張セラミックス粒子よりも大きいものとした。低膨張セラミックス粒子と同程度では、シールガラス5が含む気泡20の潰れ防止には役立たないからである。本例のシールガラス5の低膨張セラミックス粒子は、前述したように平均粒径が10μmであり、最大粒径が概ね30〜40μmの範囲にあるから、本例のビーズ7の粒径の下限は50μm以上であることが必要である。
(3) About the size of the beads 7 The size of the beads 7 was larger than the low expansion ceramic particles included in the seal glass 5. This is because the same degree as the low-expansion ceramic particles does not help to prevent the bubbles 20 included in the seal glass 5 from being crushed. The low-expansion ceramic particles of the seal glass 5 of this example have an average particle size of 10 μm as described above, and the maximum particle size is generally in the range of 30 to 40 μm. Therefore, the lower limit of the particle size of the beads 7 of this example is It must be 50 μm or more.

次に、ペースト状のシールガラス5を前面板1の内面周囲に塗布する際には、通常印刷法が用いられるが、本方法ではシールガラス5の厚さを高々200μm程度にしか形成できない。従って、前記ビーズ7が外径200μm以上であると、封着時に例えば前面板1と側面板3をクリップで加圧して仮固定した場合、ガラス板間の隙間にシールガラス5が廻らない部分が生じてしまい、封着部分に耐圧不足やリークが発生するという問題が生じる。従って、本例のビーズ7の粒径の上限は200μm以下であることが必要である。   Next, when the paste-like seal glass 5 is applied around the inner surface of the front plate 1, a normal printing method is used, but with this method, the thickness of the seal glass 5 can be formed only to about 200 μm at most. Therefore, when the bead 7 has an outer diameter of 200 μm or more, when the front plate 1 and the side plate 3 are pressed with a clip and temporarily fixed at the time of sealing, for example, there is a portion where the seal glass 5 does not rotate in the gap between the glass plates. As a result, there arises a problem that insufficient pressure resistance or leakage occurs in the sealed portion. Therefore, the upper limit of the particle size of the beads 7 in this example needs to be 200 μm or less.

以上により、本例のような目的でシールガラス5に混入するビーズ7の粒径の範囲は、50μm〜200μmであることが必要である。   As described above, the range of the particle diameter of the beads 7 mixed in the seal glass 5 for the purpose as in this example needs to be 50 μm to 200 μm.

なお、シールガラス5が含む低膨張セラミックス粒子の粒径をもう少し大きくすれば、ビーズ7の代用になるので、そもそもビーズ7が不要になるのではないかという考えもありうるが、本発明者が検討したところ、シールガラス5が含む低膨張セラミックス粒子の粒径は50μm以上にはできないことが判明した。低膨張セラミックス粒子の粒径を50μm以上にすると、シールガラス5は場所ごとに熱膨張率が異なり、すなわち熱膨張率についてむらが生じ、全体として熱膨張率を均一にすることができなくなるからである。   Note that if the particle size of the low expansion ceramic particles included in the seal glass 5 is made a little larger, it can be used as a substitute for the bead 7, so it may be thought that the bead 7 is unnecessary in the first place. As a result of investigation, it has been found that the particle size of the low expansion ceramic particles included in the seal glass 5 cannot be 50 μm or more. If the particle size of the low expansion ceramic particles is 50 μm or more, the seal glass 5 has a different coefficient of thermal expansion at each location, that is, unevenness of the coefficient of thermal expansion occurs, making it impossible to make the coefficient of thermal expansion uniform as a whole. is there.

(4) ビーズ7の材質及び添加量
前記ビーズ7は、前記シールガラス5の封止温度で溶融せずかつ前記シールガラス5と実質的に同等の熱膨張係数を有する材料からなることが好ましい。そのために利用可能な材質としては、ソーダガラス、セラミックス、あるいは他の高融点ガラスがある。
(4) Material and addition amount of beads 7 The beads 7 are preferably made of a material that does not melt at the sealing temperature of the seal glass 5 and has a thermal expansion coefficient substantially equal to that of the seal glass 5. For this purpose, usable materials include soda glass, ceramics, or other high melting point glass.

前記シールガラス5に対するビーズ7の添加量は、ビーズ7の粒度やビーズ7の組成(比重)によって異なるが、例えば外径100μmのガラスビーズ7の場合、0.1〜3重量%程度が好ましい。0.1重量%以下の場合、封着部分に存在するビーズ7の量が少なすぎ、又は存在してもガラス端面の削げに落ち込んで間隔制御の機能が発揮できず、ガラス板の間隔を所期の値に制御できなくなってシール厚がばらつく要因となる場合がある。また、3重量%以上の場合、ガラスの流動性の低下が発生し、溶融したシールガラス5が移動しにくく、封着部にリーク不良が発生する可能性がある。   The amount of beads 7 added to the seal glass 5 varies depending on the particle size of the beads 7 and the composition (specific gravity) of the beads 7, but is preferably about 0.1 to 3% by weight in the case of glass beads 7 having an outer diameter of 100 μm, for example. In the case of 0.1% by weight or less, the amount of the beads 7 present in the sealing portion is too small, or even if it exists, it falls into the shaving of the glass end face and the function of controlling the distance cannot be exerted, and the distance between the glass plates is limited. It may become impossible to control the value of the period and cause the seal thickness to vary. Further, when the content is 3% by weight or more, the fluidity of the glass is deteriorated, the molten seal glass 5 is difficult to move, and there is a possibility that a leak failure occurs in the sealing portion.

但し、比重の大きいビーズ7であれば添加量・粒度が同じ場合には粒子としての実数は少なくなるので、封着時のシールガラス5の流動性の問題は小さくなり、従ってその場合には添加量は5%まで可能である。   However, if the specific gravity is the same for the beads 7 having a large specific gravity, the actual number of particles is reduced, so the problem of fluidity of the seal glass 5 at the time of sealing is reduced. The amount can be up to 5%.

但し、比重の小さいビーズ7であれば添加量・粒度が同じ場合には粒子としての実数は多くなるので、封着時のシールガラス5の流動性の問題は大きくなり、従ってその場合には添加量は0.05%までとするのが好ましい。   However, if the specific gravity is the same for beads 7 having a small specific gravity, the actual number of particles increases, so the problem of fluidity of the seal glass 5 at the time of sealing increases. The amount is preferably up to 0.05%.

図2は、シールガラス5に対するビーズ7の添加量(重量%)と、各添加量のビーズ7を含む所定重量のシールガラス5が480℃で示す流動径(流体状となったシールガラス5の外径)の相対値との関係を示すグラフである。ビーズ7を含まない場合(横軸の値が0の場合)における流動径を100%とすると、シールガラス5はビーズ7をより多く含むほど流動性が悪くなり、流動径が小さくなっていく。ビーズ7の添加量がシールガラス5に対する重量比で5%となると、流動径は90%まで低下するが、実用上、これがビーズ7の添加による流動性の低下の許容範囲である。   FIG. 2 shows the amount of beads 7 added to the sealing glass 5 (% by weight), and the flow diameter (the amount of the sealing glass 5 in a fluid state) of the sealing glass 5 having a predetermined weight including each amount of beads 7 at 480 ° C. It is a graph which shows the relationship with the relative value of (outer diameter). Assuming that the flow diameter in the case where the beads 7 are not included (when the value on the horizontal axis is 0) is 100%, the more the beads 7 are contained in the seal glass 5, the worse the fluidity and the smaller the flow diameter. When the addition amount of the beads 7 is 5% by weight with respect to the seal glass 5, the flow diameter is reduced to 90%. However, in practice, this is an allowable range for the decrease in fluidity due to the addition of the beads 7.

以上により、本例のような目的でシールガラス5に混入するビーズ7の添加量は、シールガラス5に対する重量比で0.05〜5%の範囲であることが必要であり、さらに一定の条件下において0.1〜3%の範囲であればより好ましい結果が得られる。   As described above, the addition amount of the beads 7 mixed into the seal glass 5 for the purpose as in the present example needs to be in the range of 0.05 to 5% by weight ratio with respect to the seal glass 5, and certain conditions are satisfied. If it is 0.1 to 3% of range below, a more preferable result will be obtained.

(5) 適用位置
本例のビーズ7入りのシールガラス5によるリーク防止構造は、金属製のリード17等が気密に貫通している封着部分に適用することは好ましくない。リード17の存在する封着部分に本例のようなビーズ7入りのシールガラス5を適用すると、リード17に接続すべき導体と当該リード17との間にビーズ7が介在してしまうと、接触不良の問題が生じてしまうからである。従って、本例のような構造のビーズ7入りシールガラス5によるリーク防止構造は、リード(外部接続端子)17の貫通しない封着部分のみに適用して効果を得ることが好ましい。
(5) Application position It is not preferable to apply the leak prevention structure with the seal glass 5 containing the beads 7 in this example to a sealing portion where the metal lead 17 or the like penetrates airtightly. If the sealing glass 5 containing the beads 7 as in this example is applied to the sealing portion where the leads 17 are present, if the beads 7 are interposed between the conductors to be connected to the leads 17 and the leads 17, contact This is because a problem of failure occurs. Therefore, it is preferable that the leak prevention structure with the seal glass 5 containing the beads 7 having the structure as in this example is applied only to a sealing portion where the lead (external connection terminal) 17 does not penetrate to obtain an effect.

(6) 効果
平均粒径100μmのガラスビーズ7を0.5%添加したシールガラス5を用いた本例の気密容器6において、封着部分における外径0.2mm以上の気泡20の発生率は、ビーズ7を含まない従来のシールガラス5を用いた気密容器6の場合の同発生率の1/10以下に低減し、高い信頼性の気密容器が提供可能となる。
(6) Effect In the airtight container 6 of this example using the sealing glass 5 to which 0.5% of glass beads 7 having an average particle diameter of 100 μm are added, the incidence of bubbles 20 having an outer diameter of 0.2 mm or more in the sealed portion is Further, the occurrence rate is reduced to 1/10 or less of the same rate in the case of the airtight container 6 using the conventional seal glass 5 not including the beads 7, and a highly reliable airtight container can be provided.

封着部分におけるシールガラス5の厚さはビーズ7の外径によって制御されるため、所期の一定の厚さに精密に制御可能であり、封着応力の集中による歪が原因となるクラック等の発生も緩和できる。   Since the thickness of the sealing glass 5 at the sealing portion is controlled by the outer diameter of the bead 7, it can be precisely controlled to a predetermined constant thickness, and cracks and the like caused by strain due to concentration of sealing stress Can be mitigated.

封着時にガラス板同士を固定する圧力(クリップ圧)を高く設定することが可能となり、側面板3の傾きによるリークやリードの接触不良の発生が低減する。   It becomes possible to set a high pressure (clip pressure) for fixing the glass plates to each other at the time of sealing, and the occurrence of leakage due to the inclination of the side plate 3 and poor contact of leads is reduced.

本発明の実施形態に係る気密容器の部分拡大断面図である。It is a partial expanded sectional view of the airtight container which concerns on embodiment of this invention. シールガラスに対するビーズの添加量(重量%)と、各添加量のビーズを含む所定重量のシールガラスが480℃で示す流動径(流体状となったシールガラスの外径)の相対値との関係を示すグラフである。Relationship between addition amount (% by weight) of beads with respect to seal glass and relative value of flow diameter (outer diameter of seal glass in fluid state) of seal glass having a predetermined weight including each addition amount of beads at 480 ° C. It is a graph which shows. 気密容器の構造の一例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows an example of the structure of an airtight container. 従来の気密容器における課題を示す部分拡大断面図である。It is a partial expanded sectional view which shows the subject in the conventional airtight container. 従来の気密容器における課題を示す部分拡大断面図である。It is a partial expanded sectional view which shows the subject in the conventional airtight container.

符号の説明Explanation of symbols

1…前面板
2…背面板
3…側面板
5…シールガラス
6…気密容器
7…ビーズ
17…リード
20…気泡
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Front plate 2 ... Back plate 3 ... Side plate 5 ... Seal glass 6 ... Airtight container 7 ... Bead 17 ... Lead 20 ... Air bubble

Claims (4)

前面板と背面板で側面板を挟みシールガラスで気密に封止してなる箱型の気密容器において、
前記封着ガラスの中に直径が50〜200μmのビーズを混入したことを特徴とする気密容器。
In a box-type airtight container formed by sandwiching a side plate between a front plate and a back plate and hermetically sealing with a seal glass,
An airtight container, wherein beads having a diameter of 50 to 200 μm are mixed in the sealing glass.
前記シールガラスは、フリットガラスと、前記ビーズよりも小さい直径の低膨張セラミックス粒子を含むことを特徴とする請求項1記載の気密容器。 The hermetic container according to claim 1, wherein the seal glass includes frit glass and low-expansion ceramic particles having a smaller diameter than the beads. 前記ビーズは、前記シールガラスの封止温度で溶融せずかつ前記シールガラスと実質的に同等の熱膨張係数を有する材料からなり、前記シールガラスに対する添加量が重量比で0.05〜5%であることを特徴とする請求項1または2記載の気密容器。 The beads are made of a material that does not melt at the sealing temperature of the seal glass and has a thermal expansion coefficient substantially equivalent to that of the seal glass, and the addition amount to the seal glass is 0.05 to 5% by weight. The airtight container according to claim 1 or 2, wherein 前記シールガラスが、直径が200μmを上限とする気泡を含むことを特徴とする請求項1又は2又は3記載の気密容器。 The hermetic container according to claim 1, 2 or 3, wherein the seal glass includes bubbles having a diameter of up to 200 µm.
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